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KR102528838B1 - Transfer and transferring system - Google Patents

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KR102528838B1
KR102528838B1 KR1020210098317A KR20210098317A KR102528838B1 KR 102528838 B1 KR102528838 B1 KR 102528838B1 KR 1020210098317 A KR1020210098317 A KR 1020210098317A KR 20210098317 A KR20210098317 A KR 20210098317A KR 102528838 B1 KR102528838 B1 KR 102528838B1
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transfer
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main body
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suction
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선충석
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주식회사 엔티에스
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Abstract

트랜스퍼가 개시되며, 상기 트랜스퍼는, 베이스부; 상기 베이스부로부터 상측으로 연장되는 상하 레일부; 상기 상하 레일부를 따라 상하 이동가능한 본체; 및 상기 본체에 결합되는 결합부, 상기 결합부에 결합되어 상기 본체의 전방으로 돌출되는 돌출부 및 상기 돌출부의 전단에 형성되어 대상체를 흡착하는 흡착부를 포함하는 암을 포함하되, 상기 암은 상기 본체에 대하여 상대적으로 회전 가능하다.A transfer is initiated, and the transfer includes a base part; Upper and lower rail portions extending upward from the base portion; a main body movable up and down along the upper and lower rails; and an arm including a coupling portion coupled to the main body, a protrusion coupled to the coupling portion and protruding forward of the main body, and an adsorption portion formed at a front end of the protrusion to adsorb an object, wherein the arm is attached to the main body. relative rotation is possible.

Description

트랜스퍼 및 이송 시스템{TRANSFER AND TRANSFERRING SYSTEM}Transfer and conveying system {TRANSFER AND TRANSFERRING SYSTEM}

본원은 트랜스퍼 및 이송 시스템에 관한 것이다.The present application relates to transfers and conveying systems.

소정의 대상체 (예를 들어, 사파이어 웨이퍼) Back thinning 시 생산성을 위하여, 블록(block) 상에 여러 장의 웨이퍼를 배열하고, 한번에 여러 장의 웨이퍼를 동시에 가공함에 따라 웨이퍼를 부착하는 블록도 대형화되었다.For productivity when back thinning a given object (for example, a sapphire wafer), as several wafers are arranged on a block and multiple wafers are processed simultaneously, the block to which the wafers are attached has also increased in size.

4" 웨이퍼 7장을 부착하는 경우 블록의 크기는 360파이이고 세라믹 재질이므로 무게도 10kg이상이 된다. 이러한 블록을 사용한 공정의 자동화에서 이송하기 위해서는 이송 로봇이 필요한데, 이송 로봇으로 일반적 다관절 로봇을 사용 시 거대해 지고 매우 고가의 로봇을 사용해야 한다.When 7 sheets of 4" wafers are attached, the size of the block is 360 pie and its weight is more than 10kg because it is made of ceramic. A transfer robot is needed to transfer in the automation of the process using these blocks, and a general articulated robot is used as a transfer robot. When used, it becomes huge and requires the use of very expensive robots.

본원의 배경이 되는 기술은 한국공개특허 제 10-2018-0096121호에 개시되어 있다.The background technology of the present application is disclosed in Korean Patent Publication No. 10-2018-0096121.

본원은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 종래 대비 작은 규모를 가지고 대상체를 이송할 수 있는 트랜스퍼 및 이송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.The object of the present application is to provide a transfer and transport system capable of transporting an object with a smaller scale than the prior art, as to solve the above-described problems of the prior art.

다만, 본원의 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들도 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.However, the technical problems to be achieved by the embodiments of the present application are not limited to the technical problems as described above, and other technical problems may exist.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본원의 제1 측면에 따른 트랜스퍼는, 베이스부; 상기 베이스부로부터 상측으로 연장되는 상하 레일부; 상기 상하 레일부를 따라 상하 이동가능한 본체; 상기 본체에 결합되는 결합부, 상기 결합부에 결합되어 상기 본체의 전방으로 돌출되는 돌출부 및 상기 돌출부의 전단에 형성되어 대상체를 흡착하는 흡착부를 포함하는 암을 포함하되, 상기 암은 상기 본체에 대하여 상대적으로 회전 가능하다.As a technical means for achieving the above technical problem, the transfer according to the first aspect of the present application, the base portion; Upper and lower rail portions extending upward from the base portion; a main body movable up and down along the upper and lower rails; An arm including a coupling portion coupled to the main body, a protrusion coupled to the coupling portion and protruding forward of the main body, and an adsorption portion formed at a front end of the protrusion to adsorb an object, wherein the arm is relative to the main body. relatively rotatable.

본원의 일 구현예에 따른 트랜스퍼는, 진공 형성 구조체를 더 포함하고, 상기 흡착부는, 하향 개구되는 하나 이상의 흡착구 및 상기 하나 이상의 흡착구와 상기 진공 형성 구조체를 연통시키는 기체 이동 통로가 형성될 수 있다.The transfer according to one embodiment of the present application may further include a vacuum forming structure, and the adsorbing unit may include at least one suction port opening downward and a gas transfer passage communicating the one or more suction ports and the vacuum forming structure. .

본원의 일 구현예에 따른 트랜스퍼는, 상기 흡착부의 하면 상에 배치되는 흡착 가이드 부재를 더 포함하되, 상기 흡착 가이드 부재는 상기 흡착구와 연통되는 연통구가 상하 방향으로 관통 형성될 수 있다.The transfer according to one embodiment of the present application may further include a suction guide member disposed on a lower surface of the suction unit, and the suction guide member may have a communication hole communicating with the suction hole through the vertical direction.

본원의 일 구현예에 따른 트랜스퍼에 있어서, 상기 흡착부는 대상체의 중심 영역을 흡착하고, 상기 돌출부의 길이는 상기 대상체의 상기 본체를 향하는 테두리 부분으로부터 상기 중심 영역의 최외곽 부분까지의 길이보다 큰 길이를 가질 수 있다.In the transfer according to one embodiment of the present invention, the adsorbing unit adsorbs the central region of the target object, and the length of the protrusion is greater than a length from an edge portion of the target object toward the main body to an outermost portion of the central region. can have

본원의 일 구현예에 따른 트랜스퍼에 있어서, 상기 대상체는, 원형의 블록 및 상기 블록 상에서 상기 블록의 둘레 방향을 따라 배치되는 복수의 웨이퍼를 포함할 수 있다.In the transfer according to one embodiment of the present invention, the object may include a circular block and a plurality of wafers disposed on the block along a circumferential direction of the block.

본원의 일 구현예에 따른 트랜스퍼는, 상기 본체의 하측에서 상기 본체를 지지하는 보강부를 더 포함할 수 있다.The transfer according to one embodiment of the present application may further include a reinforcement part supporting the main body at a lower side of the main body.

본원의 일 구현예에 따른 트랜스퍼는, 상기 상하 레일부의 상기 베이스부에 대한 상대적 회전을 가이드하는 회전 구조체를 더 포함할 수 있다.The transfer according to one embodiment of the present application may further include a rotation structure for guiding relative rotation of the upper and lower rail parts to the base part.

본원의 제1 측면에 따른 이송 시스템은, 길이 방향으로 대상체를 이송하는 이송부; 상기 이송부의 폭 방향 일측에 상기 길이 방향을 따라 간격을 두고 배치되는 복수의 처리 장치; 상기 이송부의 폭 방향 일측에서 상기 이송부와 상기 복수의 처리 장치 사이에 배치되는 이송 구조체를 포함하되, 상기 이송 구조체는, 상기 길이 방향을 따라 연장되는 트랙; 상기 트랙을 따라 이동 가능하게 구비되는 트랜스퍼를 포함하며, 상기 트랜스퍼는, 상기 이송부와 상기 처리 장치 간에 상기 대상체를 이송할 수 있다.A transport system according to a first aspect of the present disclosure includes a transport unit for transporting an object in a longitudinal direction; a plurality of processing devices arranged at intervals along the longitudinal direction on one side of the transfer unit in the width direction; A transport structure disposed between the transport unit and the plurality of processing devices at one side of the transport unit in a width direction, wherein the transport structure includes: a track extending along the longitudinal direction; A transfer is provided to be movable along the track, and the transfer can transfer the object between the transfer unit and the processing device.

본원의 일 구현예에 따른 이송 시스템에 있어서, 상기 이송 구조체는, 상기 트랜스퍼를 복수개 포함할 수 있다.In the transfer system according to one embodiment of the present application, the transfer structure may include a plurality of transfers.

본원의 일 구현예에 따른 이송 시스템에 있어서, 상기 복수의 처리 장치는, 복수의 그룹으로 나뉘고, 상기 복수의 트랜스퍼 각각은 상기 복수의 그룹 각각에 대하여 상기 이송을 수행할 수 있다.In the transfer system according to one embodiment of the present application, the plurality of processing devices may be divided into a plurality of groups, and each of the plurality of transfers may perform the transfer for each of the plurality of groups.

본원의 일 구현예에 따른 이송 시스템에 있어서, 상기 트랜스퍼는, 상기 베이스부로부터 상측으로 연장되는 상하 트랙; 상기 상하 트랙을 따라 상하 이동가능한 본체; 상기 본체에 결합되는 결합부, 상기 결합부로부터 상기 본체의 전방으로 돌출되는 돌출부 및 상기 돌출부의 전단에 형성되어 대상체를 흡착하는 흡착부를 포함하는 암을 포함하되, 상기 암은 상기 본체에 대하여 상대적으로 회전 가능하다.In the transfer system according to one embodiment of the present application, the transfer includes an upper and lower track extending upward from the base portion; a main body movable up and down along the up and down tracks; An arm including a coupling portion coupled to the main body, a protrusion protruding from the coupling portion toward the front of the main body, and an adsorption portion formed at a front end of the protrusion to adsorb an object, wherein the arm is relatively can be rotated

본원의 일 구현예에 따른 이송 시스템에 있어서, 상기 이송부는 높이가 다른 이송 장치를 복수 개 포함하고, 상기 복수의 이송 장치 중 하나는 상기 이송부로부터 상기 처리장치로 이동하는 대상체가 적재되고, 상기 복수의 이송 장치 중 다른 하나는 상기 처리장치로부터 상기 이송부로 이동하는 대상체가 적재될 수 있다.In the transport system according to one embodiment of the present application, the transport unit includes a plurality of transport devices having different heights, one of the plurality of transport devices is loaded with an object moving from the transport unit to the processing device, and the plurality of transport devices are loaded. Another one of the transfer devices may be loaded with an object moving from the processing unit to the transfer unit.

상술한 과제 해결 수단은 단지 예시적인 것으로서, 본원을 제한하려는 의도로 해석되지 않아야 한다. 상술한 예시적인 실시예 외에도, 도면 및 발명의 상세한 설명에 추가적인 실시예가 존재할 수 있다.The above-described problem solving means are merely exemplary and should not be construed as intended to limit the present disclosure. In addition to the exemplary embodiments described above, additional embodiments may exist in the drawings and detailed description of the invention.

전술한 본원의 과제 해결 수단에 의하면, 다관절 구조를 갖지 않음에도, 대상체를 이송할 수 있고, 대상체를 뒤집을 수 있는 트랜스퍼 및 이를 포함하는 이송 시스템이 구현될 수 있다. 이에 따라, 시닝 공정, 그라인딩 공정, DMP 공정, CMP 공정 등에서 대상체를 이송하는데 사용될 수 있는 저비용의 공간 효율적인 자동화가 이루어질 수 있다.According to the above-described problem solving means of the present application, a transfer capable of transporting an object and overturning an object without having a multi-joint structure and a transport system including the same can be implemented. Accordingly, low-cost and space-efficient automation that can be used to transfer an object in a thinning process, a grinding process, a DMP process, a CMP process, and the like can be achieved.

공간 효율성도 확보할 수 있다. Space efficiency can also be secured.

도 1은 본원의 일 실시예에 따른 트랜스퍼의 개략적인 사시도이다.
도 2는 본원의 일 실시예에 따른 트랜스퍼의 도 1과 다른 각도에서 바라보고 도시한 입체도이다.
도 3은 본원의 일 실시예에 따른 트랜스퍼의 암의 일부의 확대도이다.
도 4는 본원의 일 실시예에 따른 이송 시스템의 개략적인 개념 사시도이다.
도 5는 본원의 일 실시예에 따른 이송 시스템의 다른 예의 개략적인 개념 사시도이다.
도 6은 본원의 일 실시예에 따른 이송 시스템의 또 다른 예의 개략적인 개념 평면도이다.1 is a schematic perspective view of a transfer according to an embodiment of the present application.
2 is a three-dimensional view of a transfer according to an embodiment of the present application viewed from a different angle from that of FIG. 1 .
3 is an enlarged view of a portion of an arm of a transfer according to an embodiment of the present disclosure.
4 is a schematic conceptual perspective view of a transport system according to an embodiment of the present application.
5 is a schematic conceptual perspective view of another example of a transport system according to an embodiment of the present disclosure.
6 is a schematic conceptual plan view of yet another example of a transport system according to an embodiment of the present disclosure.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본원이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본원의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본원은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본원을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present application will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice with reference to the accompanying drawings. However, the present disclosure may be implemented in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. And in order to clearly describe the present application in the drawings, parts irrelevant to the description are omitted, and similar reference numerals are attached to similar parts throughout the specification.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. Throughout this specification, when a part is said to be "connected" to another part, this includes not only the case of being "directly connected" but also the case of being "electrically connected" with another element in between. do.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부재가 다른 부재 "상에", "상부에", "상단에", "하에", "하부에", "하단에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 부재가 다른 부재에 접해 있는 경우뿐 아니라 두 부재 사이에 또 다른 부재가 존재하는 경우도 포함한다.Throughout the present specification, when a member is referred to as being “on,” “above,” “on top of,” “below,” “below,” or “below” another member, this means that a member is located in relation to another member. This includes not only the case of contact but also the case of another member between the two members.

본원 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the present specification, when a part "includes" a certain component, it means that it may further include other components without excluding other components unless otherwise stated.

또한, 본원의 실시예에 관한 설명 중 방향이나 위치와 관련된 용어(상측, 상면, 하측 등)는 도면에 나타나 있는 각 구성의 배치 상태를 기준으로 설정한 것이다. 예를 들면, 도 1을 보았을 때, 전반적으로 12시 방향이 상측, 전반적으로 12시 방향을 향하는 면이 상면, 전반적으로 6시 방향이 하측 등이 될 수 있다.In addition, terms (upper side, upper surface, lower side, etc.) related to direction or position in the description of the embodiments of the present application are set based on the arrangement state of each component shown in the drawings. For example, when looking at FIG. 1 , the 12 o'clock direction may be the upper side, the generally 12 o'clock direction may be the upper side, and the 6 o'clock direction may be the lower side.

본원은 트랜스퍼 및 이송 시스템에 관한 것이다.The present application relates to transfers and conveying systems.

먼저, 본원의 일 실시예에 따른 트랜스퍼(이하 '본 트랜스퍼'라 함)(1)에 대해 설명한다. 또한, 트랜스퍼는 트랜스퍼 로봇과 동일 또는 유사한 의미를 가지는 것으로 사용될 수 있다. 참고로, 본 트랜스퍼(1)는 후술할 본원의 일 실시예에 따른 이송 시스템과 내용을 공유할 수 있다.First, a transfer (hereinafter referred to as 'this transfer') 1 according to an embodiment of the present application will be described. In addition, transfer may be used as having the same or similar meaning as transfer robot. For reference, the transfer 1 may share contents with a transfer system according to an embodiment of the present disclosure, which will be described later.

도 1을 참조하면, 본 트랜스퍼(1)는 베이스부(11)를 포함한다.Referring to FIG. 1 , the transfer 1 includes a base part 11 .

또한, 본 트랜스퍼(1)는 상하 레일부(12)를 포함한다. 상하 레일부(12)는 베이스부(11)로부터 상측으로 연장된다.In addition, the transfer 1 includes upper and lower rail parts 12 . The upper and lower rail portions 12 extend upward from the base portion 11 .

또한, 본 트랜스퍼(1)는 상하 레일(12)를 따라 상하 이동 가능한 본체(13)를 포함한다.In addition, this transfer 1 includes a main body 13 that can move up and down along the up and down rails 12 .

또한, 본 트랜스퍼(1)는 암(14)을 포함한다. 암(14)은 본체(13)에 결합되는 결합부(141), 결합부(141)에 결합되어 본체(13)의 전방으로 돌출되는 돌출부(142) 및 돌출부(142)의 전단에 형성되어 대상체(9)를 흡착하는 흡착부(143)를 포함한다.In addition, this transfer 1 includes an arm 14 . The arm 14 includes a coupling portion 141 coupled to the main body 13, a protrusion 142 coupled to the coupling portion 141 and protruding forward of the main body 13, and a front end of the protrusion 142 formed on the target object. (9) includes an adsorption unit 143 adsorbing.

암(14)은 본체(13)에 대하여 상대적으로 회전 가능하다.Arm 14 is rotatable relative to body 13 .

도 2를 참조하면, 예를 들어, 결합부(141)는 원형 단면을 가지고 본체(13)에 결합되는 결합 유닛(1412) 및 결합 유닛(1412)의 전단에 구비되어 돌출부(142)의 후단을 파지하며 돌출부(142)의 후단부와 결합되는 체결 유닛(1411)을 포함할 수 있고, 본체(13)는 전후방으로 연장되는 하우징(131), 하우징(131)의 내부에 구비되며 전후방으로 연장되는 각관부(132), 각관부(132) 내부에 전후으로 연장되게 구비되며 결합부(141)의 결합 유닛(1412)을 감싸는 체결부(133)를 포함할 수 있다. 결합 유닛(1412)은 체결부(133)에 대해 전후방 이동은 제한되면서 전후방을 축으로 회전 가능하게 체결부(133)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 도면에는 도시 되지 않았지만, 결합 유닛(1412)은 원형 단면을 가지고 전후 방향으로 연장될 수 있는데, 이러한 결합 유닛(1412)의 외면에는 외측으로 돌출되거나 내측으로 돌출되는 단턱이 하나 이상 형성될 수 있고, 체결부(133)의 내면에는 이러한 결합 유닛(1412)의 외면과 맞물리는 함몰부 또는 단턱이 형성될 수 있으며, 이러한 하나 이상의 단턱에 의해 결합 유닛(1412)은 전후방 이동은 제한되면서 전후방을 축으로 회전 가능할 수 있다. 이에 따라, 암(4)의 회전이 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 2 , for example, the coupling unit 141 has a circular cross-section and is provided at the front end of the coupling unit 1412 coupled to the main body 13 and the coupling unit 1412 to cover the rear end of the protrusion 142. It may include a fastening unit 1411 that is gripped and coupled to the rear end of the protrusion 142, and the main body 13 is provided inside the housing 131 extending forward and backward, and the housing 131 extends forward and backward. Each tube portion 132 may include a fastening portion 133 extending back and forth inside the square tube portion 132 and surrounding the coupling unit 1412 of the coupling portion 141 . The coupling unit 1412 may be coupled to the fastening unit 133 so as to be rotatable around an axis while forward and backward movement with respect to the fastening unit 133 is restricted. For example, although not shown in the drawing, the coupling unit 1412 may have a circular cross-section and extend in the front-rear direction, and at least one stepped protruding outward or inward protruding is formed on the outer surface of the coupling unit 1412. It may be, and on the inner surface of the fastening part 133, a depression or a step that engages with the outer surface of the coupling unit 1412 may be formed. It may be rotatable about the front and rear axes. Accordingly, rotation of the arm 4 can be made.

이러한 암(14) 구조에 의해 본 트랜스퍼(1)는 큰 무게를 갖는 블록을 용이하게 이동시키고 뒤집을 수 있다.Due to the structure of the arm 14, the transfer 1 can easily move and overturn a block having a large weight.

또한, 흡착부(143)는 암(14)이 대상체(9)를 흡착하였을 때, 대상체(9)의 흡착되는 부분과 대향하는 부분일 수 있다. 이하에서는 흡착부(143)에 대해 설명한다.Also, when the arm 14 adsorbs the target object 9, the adsorbing unit 143 may be a portion opposite to the adsorbed portion of the target object 9. Hereinafter, the adsorption unit 143 will be described.

본 트랜스퍼(1)는 진공 형성 구조체를 포함할 수 있다. 예를 들어, 진공 형성 구조체는 진공 형성부 및 관 부재(151)를 포함할 수 있다.The transfer 1 may include a vacuum forming structure. For example, the vacuum forming structure may include a vacuum forming unit and a tubular member 151 .

또한, 흡착부(143)는 하향 개구되는 하나 이상의 흡착구 및 하나 이상의 흡착구와 진공 형성 구조체를 연통시키는 기체 이동 통로가 형성될 수 있다. 기체 이동 통로는 관 부재(151)와 연통될 수 있다. 이에 따라, 진공 형성부는 흡착구와 연통될 수 있고, 진공 형성부가 기체를 흡입(진공 형성)하면, 흡착구 내부에 진공(음압)이 형성되어 흡착이 이루어질 수 있고, 진공 형성부가 기체 흡입을 중단하면 흡착이 중단될 수 있다.In addition, the adsorption unit 143 may be formed with one or more adsorption holes that open downward and a gas flow passage that communicates the one or more adsorption holes with the vacuum forming structure. The gas movement passage may communicate with the pipe member 151 . Accordingly, the vacuum forming unit may communicate with the suction port, and when the vacuum forming unit sucks gas (vacuum formation), a vacuum (negative pressure) is formed inside the suction port so that adsorption can be performed, and when the vacuum forming unit stops sucking gas Adsorption may cease.

또한, 기체 이동 통로와 관 부재(151)는 직접 연결되거나 또는 간접 연결될 수 있다. 예를 들어, 기체 이동 통로에 관 부재(151)가 직접 연통될 수 있고, 또는, 돌출부(142)에 일단이 기체 이동 통로와 연통되고 타단이 관 부재(151)와 연통되는 추가 통로가 형성되는 형태로 기체 이동 통로와 관 부재(151)는 간접적으로 연통될 수 있다.In addition, the gas movement passage and the pipe member 151 may be directly or indirectly connected. For example, the pipe member 151 may be directly communicated with the gas movement passage, or an additional passage is formed in the protrusion 142 with one end communicating with the gas movement passage and the other end communicating with the pipe member 151 In the form of a gas movement passage and the tube member 151 may be indirectly communicated.

또한, 본 트랜스퍼(1)는 흡착부(143)의 하면 상에 배치되는 흡착 가이드 부재(16)를 포함할 수 있다.In addition, the transfer 1 may include a suction guide member 16 disposed on the lower surface of the suction unit 143 .

흡착 가이드 부재(15)는 탄성을 갖는 재질, 이를 테면, 플렉서블한 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 흡착 가이드 부재(15)는 고무, 실리콘 등 중 하나 이상을 포함하는 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 흡착 가이드 부재(16)는 흡착구와 연통되는 연통구가 상하 방향으로 관통 형성될 수 있다. 이에 따라, 흡착부(143)가 흡착하면, 흡착력은 흡착구 및 흡착구와 연통되는 연통구를 통해 작용되어 대상체는 흡착될 수 있고, 이러한 대상체의 흡착이 이루어질 때 흡착 가이드 부재(!5)가 탄성 변형되며 대상체에 가해지는 충격을 줄여줄 수 있다.The suction guide member 15 may be made of a material having elasticity, for example, a flexible material. For example, the suction guide member 15 may be made of a material containing at least one of rubber and silicon. In addition, the adsorption guide member 16 may be formed through a communication port communicating with the suction port in the vertical direction. Accordingly, when the adsorbing unit 143 adsorbs, the adsorbing force is applied through the adsorber and the communication port communicating with the adsorber so that the object can be adsorbed, and when the adsorbed object is adsorbed, the adsorption guide member (!5) is elastic. It is deformed and can reduce the impact applied to the object.

또한, 도 1을 참조하면, 흡착부(143)는 대상체의 중심 영역을 흡착할 수 있다.Also, referring to FIG. 1 , the adsorption unit 143 may adsorb the central region of the target object.

도 1을 참조하면, 예를 들어, 대상체(9)는 원형의 블록(91) 및 블록(91) 상에서 블록(91)의 둘레 방향을 따라 배치되는 복수의 웨이퍼(92)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 블록(91)의 중심 영역은 복수의 웨이퍼(91)가 둘러쌓으며 웨이퍼(91)가 배치되지 않은 영역이 될 수 있고, 흡착부(143)는 이러한 블록(91)의 중심 영역을 흡착할 수 있다.Referring to FIG. 1 , for example, an object 9 may include a circular block 91 and a plurality of wafers 92 disposed on the block 91 along the circumferential direction of the block 91 . Accordingly, the central region of the block 91 may be a region in which a plurality of wafers 91 are surrounded and no wafers 91 are disposed, and the suction unit 143 adsorbs the central region of the block 91. can do.

참고로, 본 트랜스퍼에 있어서, 대상체는 웨이퍼 시닝(thinning )시 시닝 가공 처리 장치로 유입되는 세라믹 또는 사파이어 재질의 블록 및 블록 상에 블록의 둘레 방향을 따라 배치되는 복수의 웨이퍼를 포함할 수 있다.For reference, in this transfer, the object may include a ceramic or sapphire block introduced into the thinning processing apparatus during wafer thinning and a plurality of wafers disposed on the block along the circumferential direction of the block.

또한, 돌출부(142)의 길이(a)는 대상체(9)의 본체(13)를 향하는 테두리 부분으로부터 중심 영역의 최외곽 부분까지의 길이보다 큰 길이를 가질 수 있다. 대상체(9)가 원형의 블록(91) 및 복수의 웨이퍼(92)를 포함하는 경우, 대상체(9)의 테두리 부분은 대상체(9)의 상면의 외주 중 돌출부(142)의 길이(a) 방향을 향하는 부분(즉 본체(13)를 향하는 부분)을 의미할 수 있고, 돌출부(142)의 길이는 대상체(9)의 상면의 외주 중 돌출부(142)의 길이(a) 방향을 향하는 부분으로부터 중심 영역의 외주까지의 길이보다 큰 길이를 가질 수 있다. 이에 따라, 암(14)은 흡착부(143)가 대상체(9)의 중심 영역을 덮으며 중심 영역을 흡착할 수 있다.In addition, the length (a) of the protrusion 142 may have a length greater than the length from the edge portion toward the main body 13 of the object 9 to the outermost portion of the central region. When the object 9 includes a circular block 91 and a plurality of wafers 92, the edge portion of the object 9 is the length (a) direction of the protrusion 142 of the outer circumference of the upper surface of the object 9 It may mean a portion toward (ie, a portion toward the main body 13), and the length of the protrusion 142 is the center from the portion toward the length (a) direction of the protrusion 142 of the outer circumference of the upper surface of the object 9. It may have a length greater than the length to the outer periphery of the region. Accordingly, the arm 14 may adsorb the central region of the target object 9 while the adsorption unit 143 covers the central region.

또한, 본체(13)의 레일부(12)를 향하는 부분은 레일부(12)에 대하여 상하 이동 가능하게 레일부(12)에 장착될 수 있다. 이러한 부분은 장착부라 할 수 있다.In addition, a portion of the main body 13 facing the rail unit 12 may be mounted on the rail unit 12 so as to be movable up and down with respect to the rail unit 12 . These parts may be referred to as mounting parts.

또한, 본체(13)의 하측에서 본체(13)를 지지하는 보강부(17)를 예를 들어, 보강부(17)는 레일부(12)를 향하는 부분이 레일부(12)에 대하여 상하 이동 가능하게 장착될 수 있다. 이에 따라, 보강부(17)는 본체(13)를 지지하며 본체(13)의 상하 이동과 연동되어 이동될 수 있다.In addition, for example, the reinforcing part 17 supporting the main body 13 at the lower side of the main body 13, the part of the reinforcing part 17 facing the rail part 12 moves up and down with respect to the rail part 12 can possibly be installed. Accordingly, the reinforcing part 17 supports the main body 13 and can be moved in conjunction with the vertical movement of the main body 13 .

또한, 도 2를 참조하면, 본 트랜스퍼(1)는 상하 레일부(12)의 베이스부(11)에 대한 상대적 회전을 가이드하는 회전 구조체(18)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 회전 구조체(18)는 상하 레일부(12)로부터 하측으로 연장되어 베이스부(11)의 하측에 위치하는 메인 랙 기어, 베이스부(11)의 하측에 위치하며 메인 랙 기어와 맞물리는 피니언 기어, 베이스부(11)의 하측에 위치하며 피니언 기어와 맞물리는 보조 랙 기어 및 보조 랙 기어를 회전시키는 동력 제공부(모터 포함)를 포함할 수 있다. 동력 제공부가 보조 랙 기어를 회전시키면, 피니언 기어가 회전될 수 있고, 피니언 기어의 회전에 의해 메인 랙 기어가 상하 레일부(12)의 둘레 방향으로 회전할 수 있으며, 이에 따라, 상하 레일부(12)의 회전이 이루어질 수 있다.Also, referring to FIG. 2 , the transfer 1 may include a rotation structure 18 for guiding relative rotation of the upper and lower rails 12 with respect to the base 11 . For example, the rotating structure 18 extends downward from the upper and lower rail parts 12 and is located on the lower side of the main rack gear and the base part 11 located on the lower side of the base part 11 and matches the main rack gear. It may include a pinion gear engaged, an auxiliary rack gear positioned below the base portion 11 and engaged with the pinion gear, and a power supply unit (including a motor) for rotating the auxiliary rack gear. When the power supply unit rotates the auxiliary rack gear, the pinion gear can be rotated, and the main rack gear can be rotated in the circumferential direction of the upper and lower rail parts 12 by the rotation of the pinion gear, and accordingly, the upper and lower rail parts ( 12) may be rotated.

전술한 바에 따르면, 본 트랜스퍼(1)는 대상체(9)의 중앙 영역을 흡착하여 픽업하고 이송하여 프레이싱할 수 있다. 이때, 본 트랜스퍼(1)의 암(14)의 구조에 의해, 대상체(9)가 블록(91) 및 블록(91) 상에 배치되는 복수의 웨이퍼(92)를 포함하여 큰 무게를 갖더라도, 크지 않은 규모를 가지고 대상체(9)를 용이하게 픽업 및 이송할 수 있다.According to the foregoing, the present transfer 1 can adsorb, pick up, transfer, and place the central region of the target object 9 . At this time, by the structure of the arm 14 of the present transfer 1, even if the object 9 has a large weight including the block 91 and a plurality of wafers 92 disposed on the block 91, It is possible to easily pick up and transfer the object 9 with a small scale.

또한, 본 트랜스퍼(1)에 의하면, 암(14)이 본체(13)에 대하여 상대적 회전 가능하므로, 암(14)은 대상체(9)를 픽업하여 뒤집을 수 있다. In addition, according to the present transfer 1, since the arm 14 is relatively rotatable with respect to the main body 13, the arm 14 can pick up the object 9 and turn it over.

이하에서는, 본원의 일 실시예에 따른 이송 시스템(이하 '본 이송 시스템'이라 함)에 대해 설명한다. 다만, 본 이송 시스템은 전술한 본 트랜스퍼를 포함할 수 있다. 따라서 본 트랜스퍼와 내용을 공유할 수 있다. 이에 따라, 본 이송 시스템의 설명과 관련하여 전술한 본 트랜스퍼에서 설명한 구성과 동일 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하고, 중복되는 설명은 간략히 하거나 생략하기로 한다.Hereinafter, a transport system (hereinafter referred to as 'this transport system') according to an embodiment of the present application will be described. However, this transfer system may include the transfer described above. Therefore, the content can be shared with this transfer. Accordingly, the same reference numerals are used for components identical or similar to those described in the transfer described above in relation to the description of the transfer system, and overlapping descriptions will be simplified or omitted.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 이송 시스템은 길이 방향으로 대상체(9)를 이송하는 이송부(8)를 포함한다. 이송부(8)는 이송 장치(81)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 이송 장치(81)는 컨베이어 벨트 및 컨베이어 벨트를 회주시키는 회주 장치(예를 들어, 두개 이상의 풀리를 포함할 수 있음)를 포함할 수 있다. 컨베이어 벨트 상에 대상체(9)가 적재될 수 있고, 회주 장치에 의해 컨베이어 벨트가 회주됨으로써, 컨베이어 벨트 상의 대상체(9)는 이송될 수 있다. 이러한 이송 장치(81)의 구조는 통상의 기술자에게 자명하므로 상세한 설명은 생략한다.Referring to FIGS. 4 and 5 , the conveying system includes a conveying unit 8 for conveying the object 9 in the longitudinal direction. The conveying unit 8 may include a conveying device 81 . For example, the conveying device 81 may include a conveyor belt and a turning device (eg, may include two or more pulleys) for turning the conveyor belt. An object 9 may be loaded on the conveyor belt, and the object 9 on the conveyor belt may be transported as the conveyor belt rotates by the rotation device. Since the structure of the conveying device 81 is obvious to those skilled in the art, detailed description thereof will be omitted.

또한, 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 이송 시스템은 대상체(9)가 준비되어있는 로딩부(7)를 포함할 수 있다. 이송부(8)는 로딩부(7)로부터 대상체(9)를 적재 받아 이송할 수 있다. 예를 들어, 이송 장치(81)의 길이 방향 일측에 로딩부(7)가 위치할 수 있고, 대상체(9)는 로딩부(7)로부터 이송 장치(81)에 적재될 수 있으며, 이송 장치(81)의 길이 방향을 따라 이송(컨베이어 벨트의 회주에 의해)될 수 있다.Also, referring to FIGS. 4 and 5 , the transfer system may include a loading unit 7 in which an object 9 is prepared. The transfer unit 8 may receive and transfer the object 9 from the loading unit 7 . For example, the loading unit 7 may be located on one side of the transport device 81 in the longitudinal direction, and the object 9 may be loaded on the transport device 81 from the loading unit 7, and the transport device ( 81) can be conveyed (by rotation of the conveyor belt) along the length direction.

또한, 도 4 및 도 5를 참조하면, 이송부(8)는 높이가 다른 이송 장치(81, 82)를 복수 개 포함할 수 있다. 다시 말해, 이송부(8)는 복수의 이송 장치(81, 82)를 포함할 수 있는데, 복수의 이송 장치(81, 82)는 상하 방향으로 배치될 수 있다. 이에 따라, 이송부(8)는 제1이송 장치(81) 및 제1 이송 장치(81)의 하측에 위치하는 제2 이송 장치(82)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 이송 장치(81, 82) 중 하나는 로딩부(7)로부터 대상체를(9)를 적재받아 대상체(9)가 이동해야할 처리 장치(6)측으로 이송할 수 있고, 다른 하나는 처리 장치(6)로부터 이송된 대상체(9)를 적재 받아 로딩부(7)로 이송할 수 있다. 이에 따라, 제1 이송 장치(81)와 제2 이송 장치(82)는 대상체를 이동시키는 방향이 반대 방향일 수 있고, 따라서, 제1 및 제2 이송 장치(81, 82) 각각의 컨베이어 벨트는 회주 방향이 서로 다를 수 있다(반대 방향). Also, referring to FIGS. 4 and 5 , the transfer unit 8 may include a plurality of transfer devices 81 and 82 having different heights. In other words, the conveying unit 8 may include a plurality of conveying devices 81 and 82, and the plurality of conveying devices 81 and 82 may be arranged in a vertical direction. Accordingly, the transfer unit 8 may include a first transfer device 81 and a second transfer device 82 positioned below the first transfer device 81 . One of the first and second transfer devices 81 and 82 may receive the object 9 from the loading unit 7 and transfer the object 9 to the side of the processing device 6 to be moved, and the other The object 9 transported from the processing device 6 may be loaded and transferred to the loading unit 7 . Accordingly, the first conveying device 81 and the second conveying device 82 may move the object in opposite directions, and thus, the conveyor belts of the first and second conveying devices 81 and 82 may be The direction of rotation may be different (opposite direction).

또한, 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 이송 시스템은 복수의 처리 장치(6)를 포함한다. 복수의 처리 장치(6)는 이송부(8)의 폭 방향 일측에 이송부(8)의 길이 방향을 따라 간격을 두고 배치된다. 참고로, 처리 장치(6)는 대상체에 대한 처리 공정을 수행하는 장치를 의미할 수 있는데, 예를 들어, 처리 장치(6)는 대상체에 대한 그라인딩을 수행하는 그라인더일 수 있다. 또는, 처리 장치(6)는 시닝 가공을 수행하는 처리 장치 일 수 있다. 또는, 처리 장치(6)는 DMP 장비, CMP 장비, Wax mounter 등 중 하나일 수 있다.Also referring to FIGS. 4 and 5 , the transport system includes a plurality of processing devices 6 . The plurality of processing devices 6 are disposed at intervals along the longitudinal direction of the conveying part 8 on one side of the conveying part 8 in the width direction. For reference, the processing device 6 may refer to a device that performs a treatment process on an object. For example, the processing device 6 may be a grinder that grinds the object. Alternatively, the processing device 6 may be a processing device that performs thinning processing. Alternatively, the processing device 6 may be one of a DMP device, a CMP device, and a wax mounter.

예를 들어, 도 4를 참조하면, 2개의 처리 장치(6)가 이송부(8)의 폭 방향 일측에 이송부(8)의 길이 방향을 따라 간격을 두고 배치될 수 있다. 또한, 도 5를 참조하면, 2개 이상의 처리 장치(6)가 이송부(8)의 폭 방향 일측에 이송부(8)의 길이 방향을 따라 간격을 두고 배치될 수 있다. 이렇게 처리 장치(6)는 다양한 개수로 구비될 수 있다.For example, referring to FIG. 4 , two processing devices 6 may be disposed on one side of the conveying part 8 in the width direction at intervals along the longitudinal direction of the conveying part 8 . In addition, referring to FIG. 5 , two or more processing devices 6 may be disposed on one side of the conveying part 8 in the width direction at intervals along the longitudinal direction of the conveying part 8 . In this way, the processing device 6 may be provided in various numbers.

또한, 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 이송 시스템은 이송부(8)의 폭 방향 일측에서 이송부(8)와 복수의 처리 장치(6) 사이에 배치되는 이송 구조체(5)를 포함한다.Also, referring to FIGS. 4 and 5 , the transfer system includes a transfer structure 5 disposed between the transfer unit 8 and the plurality of processing devices 6 at one side of the transfer unit 8 in the width direction.

이송 구조체(5)는 이송부(8)의 길이 방향을 따라 연장되는 트랙(51) 및 트랙(51)을 따라 이동 가능하게 구비되는 전술한 본 트랜스퍼(1)를 포함한다.The transfer structure 5 includes a track 51 extending along the longitudinal direction of the transfer unit 8 and the aforementioned transfer 1 provided to be movable along the track 51 .

본 트랜스퍼(1)는 이송부(8)와 처리 장치(6) 간에 대상체(9)를 이송할 수 있다. 다시 말해, 본 트랜스퍼(1)는 이송부(8)로부터 대상체(9)를 픽업하여 처리 장치(6)에 플레이싱하거나, 또는, 처리 장치(6)로부터 대상체(9)를 픽업하여 이송부(8)에 플레이싱할 수 있다.The transfer 1 may transfer the object 9 between the transfer unit 8 and the processing device 6 . In other words, the transfer 1 picks up the object 9 from the transfer unit 8 and places it in the processing device 6, or picks up the object 9 from the processing device 6 and transfers the object 9 to the transfer unit 8. can be placed on.

전술한 바에 따르면, 이송부(8)는 제1 이송 장치(81)와 제2 이송 장치(82)를 포함할 수 있고, 제1 이송 장치(81)와 제2 이송 장치(82) 중 하나는 로딩부(7)로부터 대상체(9)를 적재받아 대상체(9)가 이동해야할 처리 장치(6)측으로 이송할 수 있고, 다른 하나는 처리 장치(6)로부터 이송된 대상체(9)를 적재 받아 로딩부(7)로 이송할 수 있는데, 이 점을 고려해, 본 트랜스퍼(1)는 상기 하나의 이송 구조체로부터 대상체(9)를 픽업하여 처리 장치(6) 측으로 이송해 플레이싱할 수 있고, 처리 장치(6)로부터 처리 완료된 대상체(9)를 픽업하여 상기 다른 하나의 이송 구조로 이송하여 플레이싱할 수 있다.According to the foregoing, the conveying unit 8 may include a first conveying device 81 and a second conveying device 82, and one of the first conveying device 81 and the second conveying device 82 is a loading device. The object 9 can be loaded from the unit 7 and transported to the side of the processing device 6 to which the object 9 is to be moved, and the other is a loading unit that receives the object 9 transferred from the processing device 6. (7). Considering this point, the transfer (1) can pick up the object (9) from the one transfer structure and transfer it to the processing device (6) for placement, and the processing device ( 6), the processed object 9 may be picked up and transferred to the other transport structure for placement.

또한, 도 4 및 도 5를 참조하면, 이송 구조체(5)는 1개 이상의 본 트랜스퍼(1)를 포함할 수 있다. 도 4를 참조하면, 본 트랜스퍼(1)가 1개인 경우, 1개의 본 트랜스퍼(1)는 복수의 처리 장치(6)에 대하여 이송을 수행할 수 있다. 예를 들어, 본 트랜스퍼(1)가 1개이고, 처리 장치(6)가 2개인 경우, 본 트랜스퍼(1)는 2개의 처리 장치(6) 중 하나와 이송부(8)간의 대상체(9) 이동을 수행하고, 2개의 처리 장치(6) 중 다른 하나와 이송부(8)간의 대상체(9) 이동을 수행할 수 있다. 이를 테면, 본 트랜스퍼(1)는 하나의 처리 장치(6)에 대상체(9)를 이송한 후, 하나의 처리 장치(6)가 대상체(9)에 처리 공정을 수행하는 동안, 다른 처리 장치(6)와 이송부(8) 간의 대상체(9) 이송(이를 테면, 이송부(8)로부터 다른 처리 장치(6)로 대상체(9)를 옮기거나, 다른 처리 장치(6)로부터 이송부(8)로 대상체(9)를 옮길 수 있음)을 수행할 수 있다.Also, referring to FIGS. 4 and 5 , the transfer structure 5 may include one or more bone transfers 1 . Referring to FIG. 4 , when there is one transfer unit 1 , one transfer unit 1 may perform transfer to a plurality of processing devices 6 . For example, when the present transfer 1 is one and the processing device 6 is two, the present transfer 1 controls the movement of the object 9 between one of the two processing devices 6 and the transfer unit 8. and the movement of the object 9 between the other one of the two processing devices 6 and the transfer unit 8 can be performed. For example, the present transfer 1 transfers the object 9 to one processing device 6, and then, while the one processing device 6 performs a treatment process on the object 9, the other processing device ( 6) and transfer of the object 9 between the transfer unit 8 (for example, transferring the object 9 from the transfer unit 8 to another processing device 6, or moving the object 9 from another processing device 6 to the transfer unit 8) (9) can be moved).

또한, 도 5를 참조하면, 이송 구조체(5)는 본 트랜스퍼(1)를 복수 개 포함할 수 있다. 이때, 본 트랜스퍼(1)의 개수는 처리 장치(6)의 개수보다 작을 수 있다. 이에 따라, 복수의 처리 장치(6)는 복수의 그룹으로 나뉘고, 복수의 본 트랜스퍼 각각은 복수의 그룹 각각에 대하여 이송을 수행할 수 있다. 이때, 그룹의 개수는 본 트랜스퍼(1)의 개수와 대응될 수 있다. 예를 들어, 처리 장치(6)가 4 개로 구비되고 본 트랜스퍼(1)가 2개 구비되는 경우, 4 개의 처리 장치(6)는 2개씩 두 그룹으로 나뉠 수 있고, 두 그룹 각각에 대하여 본 트랜스퍼(1)가 이송을 담당할 수 있다. 즉, 본 트랜스퍼(1) 1개는 한 그룹의 2개의 처리 장치(6) 각각과 이송부(8) 간에 대상체(9) 이송을 수행할 수 있다.Also, referring to FIG. 5 , the transfer structure 5 may include a plurality of transfer units 1 . At this time, the number of transfers 1 may be smaller than the number of processing devices 6 . Accordingly, the plurality of processing devices 6 are divided into a plurality of groups, and each of the plurality of bone transfers may perform transfer for each of the plurality of groups. At this time, the number of groups may correspond to the number of transfers 1. For example, when four processing devices 6 are provided and two bone transfers 1 are provided, the four processing devices 6 can be divided into two groups of two each, and the bone transfers for each of the two groups (1) may be responsible for the transfer. That is, one transfer unit 1 may transfer the object 9 between each of the two processing devices 6 of a group and the transfer unit 8 .

이에 따라, 본 트랜스퍼(1)는 이송부(8)로부터 대상체(9)를 픽업하여 그룹 내의 하나의 처리 장치(6)에 플레이싱 한 후, 하나의 처리 장치(6)가 대상체(9)를 처리하는 동안, 다른 대상체(9)를 픽업하여 그룹 내의 다른 처리 장치(6)에 플레이싱할 수 있고, 이에 따라, 본 트랜스퍼(1)가 처리 장치(6) 각각에 대응하여 구비되지 않아도, 딜레이가 발생되지 않게 대상체(9) 이송이 이루어질 수 있다.Accordingly, the present transfer 1 picks up the object 9 from the transfer unit 8 and places it in one processing device 6 in the group, and then one processing device 6 processes the object 9. During the process, it is possible to pick up another object 9 and place it in another processing device 6 in the group, and thus, even if the transfer 1 is not provided to correspond to each processing device 6, there is no delay. The transfer of the object 9 may be performed so as not to occur.

또한, 본 트랜스퍼(1)는 베이스부(11)를 포함한다.In addition, the present transfer 1 includes a base portion 11.

또한, 본 트랜스퍼(1)는 상하 레일부(12)를 포함한다. 상하 레일부(12)는 베이스부(11)로부터 상측으로 연장된다.In addition, the transfer 1 includes upper and lower rail parts 12 . The upper and lower rail portions 12 extend upward from the base portion 11 .

또한, 본 트랜스퍼(1)는 상하 레일(12)를 따라 상하 이동 가능한 본체(13)를 포함한다.In addition, this transfer 1 includes a main body 13 that can move up and down along the up and down rails 12 .

또한, 본 트랜스퍼(1)는 암(14)을 포함한다. 암(14)은 본체(13)에 결합되는 결합부(141), 결합부(141)로부터 본체(13)의 전방으로 돌출되는 돌출부(142) 및 돌출부의 전단에 형성되어 대상체(9)를 흡착하는 흡착부(143)를 포함한다. 암(14)은 본체(13)에 대하여 상대적으로 회전 가능하다.In addition, this transfer 1 includes an arm 14 . The arm 14 is formed on a coupling portion 141 coupled to the body 13, a protrusion 142 protruding forward of the body 13 from the coupling portion 141, and the front end of the protrusion to adsorb the object 9. It includes an adsorption unit 143 to. Arm 14 is rotatable relative to body 13 .

이러한 본 트랜스퍼(1)는 앞서 전술하였으므로, 상세한 설명은 생략한다.Since this transfer 1 has been described above, a detailed description thereof will be omitted.

또한, 본 이송 시스템은, 이송부(8)의 폭 방향 타측에 이송부(8)의 길이 방향을 따라 간격을 두고 배치되는 복수의 처리 장치(6)를 포함할 수 있다. 또한, 본 이송 시스템은, 이송부(8)의 폭 방향 타측에서 이송부(8)와 복수의 처리 장치(6) 사이에 배치되는 이송 구조체(5)를 포함한다.In addition, the conveying system may include a plurality of treatment devices 6 arranged at intervals along the longitudinal direction of the conveying part 8 on the other side in the width direction of the conveying part 8 . In addition, the conveying system includes a conveying structure 5 disposed between the conveying part 8 and the plurality of processing devices 6 on the other side of the conveying part 8 in the width direction.

이러한, 이송부(8)의 폭 방향 타측에 배치되는 복수의 처리 장치(6) 및 이송 구조체(5)는 앞서 전술한 이송부(8)의 폭 방향 일측에 배치되는 복수의 처리 장치(6) 및 이송 구조체(5)와 대응 내지 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.The plurality of processing devices 6 and the transport structure 5 disposed on the other side of the transport unit 8 in the width direction are the plurality of processing devices 6 and transport disposed on one side of the transport unit 8 in the width direction described above. Since it corresponds to or is the same as the structure 5, detailed description is omitted.

또한, 도 6을 참조하면, 본 이송 시스템의 다른 예로서, 본 이송 시스템은, 본 트랜스퍼(1), 본 트랜스퍼(1)의 일측 및 타측 각각에 위치하는 2개의 처리 장치(6) 및 본 트랜스퍼(1)의 전방에 위치하는 로딩부(7)를 포함할 수 있다. 이러한 경우, 본 트랜스퍼(1)는 로딩부(7)로부터 대상체(9)를 픽업하여 2개의 처리 장치(6) 중 하나에 이송할 수 있고, 하나의 처리 장치(6)가 처리 공정을 수행하는 동안 다른 처리 장치(6)로부터 대상체(9)를 픽업하여 로딩부(7)에 플레이싱하거나, 또는, 로딩부(7)로부터 대상체(9)를 픽업하여 다른 처리 장치(6)에 플레이싱할 수 있다.In addition, referring to FIG. 6, as another example of the transfer system, the transfer system includes the transfer 1, two processing devices 6 located on one side and the other side of the transfer 1, and the transfer system. It may include a loading unit 7 located in front of (1). In this case, the present transfer 1 can pick up the object 9 from the loading unit 7 and transfer it to one of the two processing devices 6, and one processing device 6 performs the processing process. During the process, the object 9 is picked up from another processing device 6 and placed in the loading unit 7, or the object 9 is picked up from the loading unit 7 and placed in another processing device 6. can

전술한 본원의 설명은 예시를 위한 것이며, 본원이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본원의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above description of the present application is for illustrative purposes, and those skilled in the art will understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present application. Therefore, the embodiments described above should be understood as illustrative in all respects and not limiting. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as distributed may be implemented in a combined form.

본원의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본원의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present application is indicated by the following claims rather than the detailed description above, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and equivalent concepts thereof should be construed as being included in the scope of the present application.

1: 트랜스퍼
11: 베이스부
12: 상하 레일
13: 본체
131: 하우징
132: 각관부
133: 체결부
14: 암
141: 결합부
1411: 체결 유닛
1412: 결합 유닛
142: 돌출부
143: 흡착부
151: 관 부재
16: 흡착 가이드 부재
17: 보강부
18: 회전 구조체
5: 이송 구조체
51: 트랙
6: 처리 장치
7: 로딩부
8: 이송부
81: 이송 장치
82: 이송 장치
9: 대상체
91: 블록
92: 웨이퍼1: transfer
11: base part
12: upper and lower rails
13: body
131 housing
132: each pipe
133: fastening part
14: Cancer
141: coupling part
1411: fastening unit
1412: coupling unit
142: protrusion
143: adsorption unit
151: pipe member
16: adsorption guide member
17: reinforcement part
18: rotation structure
5: transport structure
51: track
6: processing unit
7: loading part
8: transfer part
81: conveying device
82: conveying device
9: object
91: block
92 wafer

Claims (7)

트랜스퍼에 있어서,
베이스부;
상기 베이스부로부터 상측으로 연장되는 상하 레일부;
상기 상하 레일부를 따라 상하 이동가능한 본체;
상기 본체에 결합되는 결합부, 상기 결합부에 결합되어 상기 본체의 전방으로 돌출되는 돌출부 및 상기 돌출부의 전단에 형성되어 대상체를 흡착하는 흡착부를 포함하는 암; 및
진공 형성 구조체를 포함하되,
상기 암은 상기 본체에 대하여 상대적으로 회전 가능하고,
상기 흡착부는, 하향 개구되는 하나 이상의 흡착구 및 상기 하나 이상의 흡착구와 상기 진공 형성 구조체를 연통시키는 기체 이동 통로가 형성되고, 대상체의 중심 영역을 흡착하고,
상기 돌출부의 길이는 상기 대상체의 상기 본체를 향하는 테두리 부분으로부터 상기 중심 영역의 최외곽 부분까지의 길이보다 큰 길이를 갖고,
상기 대상체는, 원형의 블록 및 상기 블록 상에서 상기 블록의 둘레 방향을 따라 배치되는 복수의 웨이퍼를 포함하는 것인, 트랜스퍼.In transfer,
base part;
Upper and lower rail portions extending upward from the base portion;
a main body movable up and down along the upper and lower rails;
an arm including a coupling portion coupled to the main body, a protrusion coupled to the coupling portion and protruding forward of the main body, and an adsorption portion formed at a front end of the protrusion to adsorb an object; and
Including a vacuum forming structure,
The arm is rotatable relative to the body,
The adsorbing part is formed with one or more suction ports opening downward and a gas flow passage communicating the one or more suction ports and the vacuum forming structure, adsorbing the central region of the object,
The length of the protrusion has a length greater than the length from the edge portion facing the main body of the object to the outermost portion of the central region,
The transfer, wherein the object includes a circular block and a plurality of wafers disposed on the block along a circumferential direction of the block. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 흡착부의 하면 상에 배치되는 흡착 가이드 부재를 더 포함하되,
상기 흡착 가이드 부재는 상기 흡착구와 연통되는 연통구가 상하 방향으로 관통 형성되는 것인, 트랜스퍼.According to claim 1,
Further comprising a suction guide member disposed on the lower surface of the suction unit,
Transfer, wherein the adsorption guide member is formed through a communication port communicating with the suction port in the vertical direction. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 본체의 하측에서 상기 본체를 지지하는 보강부를 더 포함하는, 트랜스퍼.According to claim 1,
Further comprising a reinforcing portion supporting the body at the lower side of the body, the transfer. 제1항에 있어서,
상기 상하 레일부의 상기 베이스부에 대한 상대적 회전을 가이드하는 회전 구조체를 더 포함하는, 트랜스퍼.According to claim 1,
Further comprising a rotation structure for guiding relative rotation of the upper and lower rails with respect to the base portion, the transfer.
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