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KR102527366B1 - 표시 모듈의 박리 방법 및 표시 모듈의 제조 방법 - Google Patents

표시 모듈의 박리 방법 및 표시 모듈의 제조 방법 Download PDF

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KR102527366B1
KR102527366B1 KR1020160136013A KR20160136013A KR102527366B1 KR 102527366 B1 KR102527366 B1 KR 102527366B1 KR 1020160136013 A KR1020160136013 A KR 1020160136013A KR 20160136013 A KR20160136013 A KR 20160136013A KR 102527366 B1 KR102527366 B1 KR 102527366B1
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South Korea
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display module
carrier substrate
peeling
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protective film
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이민우
문승준
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

표시 모듈의 박리 방법은 캐리어 기판을 제공하는 단계, 상기 캐리어 기판 상에 제1 영역 및 제2 영역으로 구분되는 표시 모듈을 형성하는 단계, 상기 표시 모듈 상에 상기 제1 영역을 커버하며, 상기 제2 영역을 노출시키는 보호 필름을 배치하는 단계, 제1 박리 유닛을 이용하여 상기 제2 영역을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제1 박리 단계, 및 제2 박리 유닛을 이용하여 상기 보호 필름 및 상기 표시 모듈을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제2 박리 단계를 포함할 수 있다.

Description

표시 모듈의 박리 방법 및 표시 모듈의 제조 방법{METHOD OF DETACHING DISPLAY MODULE AND METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY MODULE}
본 발명은 표시 모듈의 박리 방법 및 표시 모듈의 제조 방법에 관한 것으로, 구체적으로 박리 불량이 감소된 표시 모듈의 박리 방법 및 표시 모듈의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 모듈을 포함하는 표시 장치를 제조하는 공정 중에 외부 환경으로부터 표시 모듈을 보호하기 위해 보호 필름을 이용하여 표시 모듈을 커버할 수 있다. 소정의 공정 과정 동안 보호 필름은 표시 모듈을 보호하고, 이후 최종 제품에서 보호 필름은 표시 모듈로부터 제거될 수 있다.
본 발명의 목적은 캐리어 기판으로부터 표시 모듈을 박리할 때 발생할 수 있는 불량이 감소된 표시 모듈의 박리 방법 및 표시 모듈의 제조 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른, 표시 모듈의 박리 방법은 캐리어 기판을 제공하는 단계, 상기 캐리어 기판 상에 제1 영역 및 제2 영역으로 구분되는 표시 모듈을 형성하는 단계, 상기 표시 모듈 상에 상기 제1 영역을 커버하며, 상기 제2 영역을 노출시키는 보호 필름을 배치하는 단계, 제1 박리 유닛을 이용하여 상기 제2 영역을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제1 박리 단계, 및 제2 박리 유닛을 이용하여 상기 보호 필름 및 상기 표시 모듈을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제2 박리 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 박리 단계를 수행한 이후에 상기 제2 박리 단계를 수행할 수 있다.
상기 제1 박리 단계에서, 상기 제1 박리 유닛은 상기 표시 모듈과 직접 접촉되어 상기 표시 모듈의 상기 제2 영역을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하고, 상기 제2 박리 단계에서, 상기 제2 박리 유닛은 상기 보호 필름과 직접 접촉되어 상기 표시 모듈 및 상기 보호 필름을 상기 캐리어 기판으로부터 박리할 수 있다.
상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 경계는 제1 방향을 따라 연장하고, 상기 제1 박리 단계는 상기 제1 방향으로 연장하는 제2 영역을 상기 캐리어 기판으로부터 박리할 수 있다.
상기 표시 모듈은 복수의 꼭지점들을 갖고, 상기 보호 필름을 배치하는 단계는 상기 보호 필름이 상기 복수의 꼭지점들 중 하나의 꼭지점만을 커버하지 않도록 배치할 수 있다.
상기 제1 박리 단계에서, 상기 제1 박리 유닛은 상기 하나의 꼭지점을 상기 캐리어 기판으로부터 박리할 수 있다.
상기 제2 박리 단계 이전에, 상기 표시 모듈의 상기 제2 영역과 상기 캐리어 기판 사이에 커팅 부재를 삽입하는 단계, 및 상기 커팅 부재를 제1 방향을 따라 이동시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 박리 유닛은 제1 흡착 패드를 포함하고, 제2 박리 유닛은 제2 흡착 패드를 포함하고, 상기 제1 박리 단계는 상기 제1 흡착 패드에 의해 수행되고, 상기 제2 박리 단계는 상기 제2 흡착 패드에 의해 수행될 수 있다.
상기 제1 박리 단계에서의 상기 제1 흡착 패드의 흡착력은 상기 제2 박리 단계에서의 상기 제2 흡착 패드의 흡착력보다 강할 수 있다.
상기 제1 흡착 패드는 복수로 제공되고, 상기 제2 영역은 복수의 상기 제1 흡착 패드에 의해 상기 캐리어 기판으로부터 박리될 수 있다.
상기 제1 박리 유닛은 지지부 및 상기 지지부에 감긴 접착 테이프를 포함하고, 상기 제1 박리 단계에서 상기 제2 영역은 상기 접착 테이프에 부착되어 상기 캐리어 기판으로부터 박리될 수 있다.
상기 제2 박리 유닛은 복수의 흡착 패드들을 포함하고, 상기 제2 박리 단계는 상기 복수의 흡착 패드들이 동시에 상기 캐리어 기판으로부터 멀어지는 방향으로 이동되어 상기 보호 필름 및 상기 표시 모듈을 상기 상기 캐리어 기판으로부터 박리할 수 있다.
상기 제2 박리 유닛은 복수의 흡착 패드들을 포함하고, 상기 제2 박리 단계는 상기 복수의 흡착 패드들 중 상기 제1 박리 유닛과 인접한 흡착 패드들부터 순차적으로 상기 보호 필름 및 상기 표시 모듈을 상기 캐리어 기판으로부터 박리할 수 있다.
상기 표시 모듈을 형성하는 단계는 상기 캐리어 기판 위에 베이스층을 제공하는 단계, 상기 베이스층의 위에 회로층을 형성하는 단계, 및 상기 회로층 위에 발광소자층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 영역 내에는 상기 베이스층, 상기 회로층 및 상기 발광소자층이 모두 배치되고, 상기 제2 영역 내에는 상기 베이스층이 배치될 수 있다.
상기 표시 모듈을 형성하는 단계 이전에, 상기 캐리어 기판 위에 희생층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈의 제조 방법은 캐리어 기판을 제공하는 단계, 상기 캐리어 기판 상에 유효 영역 및 더미 영역을 포함하는 베이스층을 형성하는 단계, 상기 베이스층의 상기 유효 영역 위에 회로층을 형성하는 단계, 상기 회로층 위에 발광소자층을 형성하는 단계, 상기 발광소자층 위에 상기 발광소자층 및 상기 회로층을 커버하는 봉지층을 형성하는 단계, 상기 봉지층 위에 상기 유효 영역을 커버하며, 상기 더미 영역 중 적어도 일부를 노출시키는 보호 필름을 배치하는 단계, 상기 베이스층, 상기 회로층, 상기 발광소자층, 상기 봉지층, 및 상기 보호 필름을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 박리 단계, 및 상기 더미 영역과 상기 유효 영역의 경계를 커팅하여 상기 더미 영역을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 박리 단계는 상기 보호 필름에 의해 노출된 상기 베이스층의 상기 더미 영역 중 적어도 일부를 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제1 박리 단계, 및 상기 제1 박리 단계 이후에 상기 보호 필름에 의해 커버된 상기 베이스층을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제2 박리 단계를 포함할 수 있다.
상기 박리 단계는 상기 제1 박리 단계 후, 상기 제2 박리 단계 이전에 상기 캐리어 기판으로부터 박리되지 않은 상기 더미 영역의 다른 일부를 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 중간 박리 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 캐리어 기판 상에 상기 베이스층을 제공하는 단계 이전에, 상기 캐리어 기판 위에 희생층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 더미 영역을 제거하는 단계 이전에 상기 보호 필름을 상기 상기 베이스층, 상기 회로층, 상기 발광소자층, 및 상기 봉지층으로부터 박리하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 캐리어 기판으로부터 표시 모듈과 보호 필름을 모두 박리하는 단계에서, 보호 필름과 캐리어 기판 사이에 배치된 표시 모듈을 일부 노출시킨다. 따라서, 표시 모듈을 먼저 박리한 후, 표시 모듈과 보호 필름을 캐리어 기판으로부터 모두 박리할 수 있다. 따라서, 표시 모듈과 보호 필름 사이가 분리되는 현상이 방지될 수 있어, 표시 모듈을 캐리어 기판으로부터 박리하는 과정에서의 불량이 감소될 수 있다.
도 1은 적층 기판의 개략적인 단면도이다.
도 2는 도 1의 적층 기판의 평면도이다.
도 3은 도 2의 I-I`을 따라 절단한 단면도이다.
도 4a 내지 도 4i는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈의 박리 방법 및 제조 방법을 도시한 도면들이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 박리 단계를 도시한 단면도이다.
도 5c는 제1 박리 단계에서 제1 박리 유닛이 접촉되는 위치를 예시적으로 도시한 평면도이다.
도 5d는 제1 박리 단계에서 제1 박리 유닛이 접촉되는 위치를 예시적으로 도시한 평면도이다.
도 6은 제2 박리 단계를 도시한 단면도이다.
도 7은 도 1의 적층 기판의 평면도이다.
도 8은 표시 모듈 및 보호 필름이 캐리어 기판으로부터 박리되는 단계 중 일부를 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태도 에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합 된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. "및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 적층 기판(SS)의 개략적인 단면도이다.
도 1을 참조하면, 적층 기판(SS)은 캐리어 기판(GL), 희생층(SL), 표시 모듈(DM) 및 보호 필름(PF)을 포함할 수 있다. 캐리어 기판(GL) 위에는 희생층(SL)이 배치되고, 희생층(SL) 위에는 표시 모듈(DM)이 배치되고, 표시 모듈(DM) 위에는 보호 필름(PF)이 배치될 수 있다. 보호 필름(PF)은 연장되어 캐리어 기판(GL)과 결합될 수 있다.
캐리어 기판(GL)은 표시 모듈(DM)의 제조 공정에서 표시 모듈(DM)의 구성들을 형성하는 공정 라인을 따라 이동하는 기판일 수 있다. 캐리어 기판(GL)은 비교적 리지드한 성질을 가질 수 있으며, 절연성을 가질 수 있다. 예를 들어, 캐리어 기판(GL)은 유리를 포함할 수 있다.
희생층(SL)은 캐리어 기판(GL) 상에 증착 또는 코팅되어 형성될 수 있다. 희생층(SL)은 캐리어 기판(GL)과 표시 모듈(DM) 사이의 점착력을 감소시키는 역할을 할 수 있다. 희생층(SL)은 금속, 금속 산화물, 규소 산화물, 규소 질화물, 나노 입자들, 및 유기물 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 희생층(SL)이 포함하는 물질은 상기 예에 제한되는 것은 아니고, 희생층(SL)은 캐리어 기판(GL)과 표시 모듈(DM) 사이의 점착력을 감소시키는 역할을 하는 물질을 포함할 수 있다.
표시 모듈(DM)은 유연한 표시 모듈(DM)일 수 있다. 표시 모듈(DM)에 대한 설명은 이하 도 3에서 보다 상세히 설명된다.
보호 필름(PF)은 표시 모듈(DM) 위에 배치될 수 있다. 보호 필름(PF)은 외부 환경으로부터 표시 모듈(DM)을 보호할 수 있다. 보호 필름(PF)은 폴리에테르술폰(PES, polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN, polyethylenenaphthalate), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET, polyethyleneterephthalate), 폴리페닐렌설파이드(PPS, polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(PI, polyimide), 폴리카보네이트(PC, polycarbonate), 폴리아릴렌에테르술폰(poly(arylene ethersulfone)) 및 이들의 조합으로 이루어진 그룹에서 선택된 어느 하나를 포함하는 플라스틱 필름을 포함할 수 있다.
도 2는 도 1의 적층 기판의 평면도이고, 도 3은 도 2의 I-I`을 따라 절단한 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 표시 모듈(DM)은 베이스층(SUB), 회로층(DP-CL), 발광소자층(DP-OLED), 봉지층(TFE), 및 터치감지유닛(TS)을 포함할 수 있다. 표시 모듈(DM)의 일 예로 유기발광 표시 모듈에 대해 대표적으로 설명하나, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.
베이스층(SUB)은 희생층(SL) 위에 배치될 수 있다. 베이스층(SUB)은 적어도 하나의 플라스틱 필름을 포함할 수 있다. 베이스층(SUB)은 플렉서블한 기판으로 플라스틱 기판, 유리 기판, 메탈 기판, 또는 유/무기 복합재료 기판 등을 포함할 수 있다. 플라스틱 기판은 아크릴계 수지, 메타크릴계 수지, 폴리이소프렌, 비닐계 수지, 에폭시계 수지, 우레탄계 수지, 셀룰로오스계 수지, 실록산계 수지, 폴리이미드계 수지, 폴리아미드계 수지, 및 페릴렌계 수지 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
베이스층(SUB)은 유효 영역(ACT) 및 더미 영역(DUM)을 포함할 수 있다. 더미 영역(DUM)은 최종 제품에서 제거되는 영역일 수 있다. 더미 영역(DUM)에는 정렬을 위한 얼라인 패턴 등이 형성될 수 있다.
회로층(DP-CL)은 베이스층(SUB) 위에 형성될 수 있다. 구체적으로, 회로층(DP-CL)은 베이스층(SUB)의 유효 영역(ACT) 위에 형성될 수 있다. 회로층(DP-CL)은 복수 개의 절연층들, 복수 개의 도전층들 및 반도체층을 포함할 수 있다. 회로층(DP-CL)의 복수 개의 도전층들은 신호라인들 또는 화소의 제어회로를 구성할 수 있다.
발광소자층(DP-OLED)은 회로층(DP-CL) 위에 형성될 수 있다. 발광소자층(DP-OLED)은 유기발광 다이오드들을 포함할 수 있다.
봉지층(TFE)은 발광소자층(DP-OLED) 위에 형성될 수 있다. 봉지층(TFE)은 발광소자층(DP-OLED)을 밀봉할 수 있다. 봉지층(TFE)은 복수 개의 무기 박막들과 그 사이에 배치된 적어도 하나의 유기 박막을 포함한다. 무기 박막들은 수분 및 산소로부터 발광소자층(DP-OLED)을 보호하고, 유기 박막은 먼지 입자와 같은 이물질로부터 발광소자층(DP-OLED)을 보호할 수 있다.
터치감지유닛(TS)은 터치센서들과 터치 신호라인들을 포함한다. 터치센서들과 터치 신호라인들은 단층 또는 다층구조를 가질 수 있다. 터치센서들과 터치 신호라인들은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ZnO(zinc oxide), ITZO(indium tin zinc oxide), PEDOT, 금속 나노 와이어, 또는 그라핀을 포함할 수 있다. 터치센서들과 터치 신호라인들은 금속층, 예컨대 몰리브덴, 은, 티타늄, 구리, 알루미늄, 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다. 터치센서들과 터치 신호라인들은 동일한 층구조를 갖거나, 다른 층구조를 가질 수 있다.
터치감지유닛(TS)은 봉지층(TFE) 상에 직접 배치될 수 있다. 본 명세서에서 "직접 배치된다"는 것은 별도의 접착층을 이용하여 부착하는 것을 제외하며, 연속공정에 의해 형성된 것을 의미한다. 하지만, 이는 예시적인 것으로 터치감지유닛(TS)은 필름 또는 기판 위에 형성된 후 봉지층(TFE) 위에 부착될 수도 있다.
보호 필름(PF)은 표시 모듈(DM) 위에 배치될 수 있다. 보호 필름(PF)은 유효 영역(ACT)을 커버하며, 더미 영역(DUM) 중 일부를 노출시킬 수 있다. 표시 모듈(DM)은 보호 필름(PF)에 의해 커버되는 제1 영역(AR1), 및 보호 필름(PF)에 의해 커버되지 않는 제2 영역(AR2)으로 구분될 수 있다. 제2 영역(AR2)과 더미 영역(DUM)은 서로 완전히 일치할 수도 있고, 더미 영역(DUM)이 제2 영역(AR2)보다 클 수도 있다.
도 4a 내지 도 4i는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈의 제조 방법을 도시한 도면들이다. 특히, 도 4e 내지 도 4h는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 모듈의 박리 방법을 도시한 단면도들이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 캐리어 기판(GL)을 제공한 후, 캐리어 기판(GL) 상에 희생층(SL)을 형성한다. 희생층(SL)은 코팅 또는 증착 공정에 의해 형성될 수 있으며 이에 제한되는 것은 아니다.
도 4c를 참조하면, 희생층(SL) 상에 표시 모듈(DM)을 형성한다. 표시 모듈(DM)을 형성하는 공정은 구체적으로 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3 및 도 4c를 참조하면, 베이스층(SUB)을 희생층(SL) 위에 형성한다. 베이스층(SUB)은 유연한 성질을 가지는 물질을 포함할 수 있다. 베이스층(SUB) 위에 회로층(DP-CL)을 형성한다. 회로층(DP-CL)은 복수의 마스크 공정을 통해 형성될 수 있다. 회로층(DP-CL)은 복수의 절연층들, 반도체층, 및 복수의 도전층들을 포함할 수 있다. 회로층(DP-CL) 위에 발광소자층(DP-OLED)을 형성한다. 발광소자층(DP-OLED) 위에는 회로층(DP-CL) 및 발광소자층(DP-OLED)을 커버하는 봉지층(TFE)을 형성한다.
회로층(DP-CL), 발광소자층(DP-OLED), 및 봉지층(TFE)은 베이스층(SUB)의 유효 영역(ACT)에 형성되고 더미 영역(DUM)에는 형성되지 않을 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 봉지층(TFE)은 더미 영역(DUM)에도 형성될 수 있다. 다만, 더미 영역(DUM)에 형성된 봉지층(TFE)은 추후 공정에서 베이스층(SUB)의 더미 영역(DUM)과 함께 제거될 수 있다.
도 4d를 참조하면, 봉지층(TFE) 위에 보호 필름(PF)을 배치할 수 있다. 보호 필름(PF)은 표시 모듈(DM)을 감싸며 캐리어 기판(GL)과 결합될 수 있다. 보호 필름(PF)은 표시 모듈(DM)의 일부를 노출시키며 표시 모듈(DM)을 커버할 수 있다.
도 4e 내지 도 4h를 참조하면, 보호 필름(PF) 및 표시 모듈(DM)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리하는 과정을 도시한 단면도들이다.
도 4e를 참조하면, 보호 필름(PF) 위에 박리기(PM)를 제공한다. 박리기(PM)는 제1 박리 유닛(PU1) 및 제2 박리 유닛(PU2)을 포함할 수 있다. 제1 박리 유닛(PU1)은 표시 모듈(DM)의 제2 영역(AR2)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있고, 제2 박리 유닛(PU2)은 표시 모듈(DM)의 제1 영역(AR1)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있다.
제1 박리 유닛(PU1)은 하나 이상의 제1 흡착 패드를 포함하고, 제2 박리 유닛(PU2)은 하나 이상의 제2 흡착 패드를 포함할 수 있다. 제1 흡착 패드 및 제2 흡착 패드는 흡착 대상과 접촉한 후, 제1 및 제2 흡착 패드와 흡착 대상 사이의 공기가 제거된 진공 상태로 흡착 대상을 흡착할 수 있다.
도 4f를 참조하면, 제1 박리 단계를 도시한 도면이다. 제1 박리 단계에서는 제1 박리 유닛(PU1)을 이용하여 제2 영역(AR2)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있다. 제2 영역(AR2)은 보호 필름(PF)에 의해 커버되어 있지 않기 때문에, 제1 박리 유닛(PU1)은 표시 모듈(DM)과 직접 접촉되어 제2 영역(AR2)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있다.
도 4g를 참조하면, 제2 박리 단계를 도시한 도면이다. 제2 박리 단계에서는 제2 박리 유닛(PU2)을 이용하여 제1 영역(AR1)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있다. 제1 영역(AR1)은 보호 필름(PF)에 의해 커버되어 있기 때문에, 제2 박리 유닛(PU2)은 표시 모듈(DM)과 직접 접촉하지 않을 수 있다. 이 경우, 제2 박리 유닛(PU2)은 보호 필름(PF)과 직접 접촉되어, 표시 모듈(DM) 및 보호 필름(PF)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있다. 제2 박리 유닛(PU2)의 복수의 제2 흡착 패드들은 제1 박리 유닛(PU1)과 인접한 제2 흡착 패드들부터 순차적으로 보호 필름(PF) 및 표시 모듈(DM)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있다.
박리 공정 중 초기에 박리가 진행되는 단계에서 표시 모듈(DM)과 캐리어 기판(GL) 사이의 점착력과 박리 진행 중인 상태의 표시 모듈(DM)과 캐리어 기판(GL) 사이의 점착력은 차이가 있다. 예를 들어, 초기에 박리를 시작하는 단계에서의 표시 모듈(DM)과 캐리어 기판(GL) 사이의 점착력은 박리가 진행 중일 때의 표시 모듈(DM)과 캐리어 기판(GL) 사이의 점착력보다 강할 수 있다. 따라서, 제1 흡착 패드들의 흡착력은 제2 흡착 패드들의 흡착력보다 강할 수 있다.
본 발명의 실시예와 달리, 보호 필름(PF)이 표시 모듈(DM) 전체를 커버하고, 표시 모듈(DM)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리하는 경우, 보호 필름(PF)과 표시 모듈(DM) 사이의 점착력이 표시 모듈(DM)과 캐리어 기판(GL) 사이의 점착력보다 강한 경우라도 초기에 박리를 시작하는 단계에서 보호 필름(PF)과 표시 모듈(DM) 사이가 박리되는 불량이 발생될 수 있다. 하지만, 본 발명의 실시예에 따르면, 보호 필름(PF)이 표시 모듈(DM)의 일부를 커버하지 않는다. 즉, 제1 박리 유닛(PU1)을 이용하여 노출된 표시 모듈(DM)의 일부분을 우선적으로 캐리어 기판(GL)으로부터 박리시킨 후, 제2 박리 유닛(PU2)을 이용하여 보호 필름(PF)과 표시 모듈(DM)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리시킨다. 이 경우, 초기 박리 공정 단계에서 발생하는 보호 필름(PF)과 표시 모듈(DM)이 박리되는 불량이 감소될 수 있다.
도 4h를 참조하면, 보호 필름(PF) 및 표시 모듈(DM)이 캐리어 기판(GL)으로부터 완전히 박리된 상태를 도시한 단면도이다. 희생층(SL)과 접촉되어 있었던 표시 모듈(DM)의 일 면에는 희생층(SL)을 구성하는 물질의 일부가 남아 잔존할 수도 있다.
도 4i는 더미 영역(DUM)과 유효 영역(ACT)의 경계(CUT-L)를 커팅하는 단계를 도시한 도면이다. 앞서 보호 필름(PF)에 의해 커버되지 않아, 제1 박리 유닛(PU1)이 표시 모듈(DM)과 직접 접촉되는 영역은 더미 영역(DUM)의 일부이다. 따라서, 보호 필름(PF)에 의해 커버되지 않고, 제1 박리 유닛(PU1)과 직접 접촉함에 따라 스크래치 등이 발생하더라도, 더미 영역(DUM)은 커팅되어 제거되기 때문에, 최종 제품의 신뢰성에는 영향을 미치지 않을 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 제1 박리 단계를 도시한 단면도이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 보호 필름(PF) 위에 박리기(PM1)를 제공한다. 박리기(PM1)는 제1 박리 유닛(PU1a) 및 제2 박리 유닛(PU2)을 포함할 수 있다.
제1 박리 유닛(PU1a)은 지지부(SM) 및 지지부(SM)에 감긴 접착 테이프(TP)를 포함할 수 있다. 도 5a 및 도 5b에서 지지부(SM)의 단면이 원형인 것을 예시적으로 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예컨대, 지지부(SM)의 단면은 다각형 형상을 가질 수도 있다. 제2 박리 유닛(PU2)은 흡착 패드들을 포함할 수 있다.
제1 박리 단계에서, 제2 영역(AR2)은 접착 테이프(TP)에 부착되어 캐리어 기판(GL)으로부터 박리될 수 있다. 제2 영역(AR2)이 박리된 후, 제2 박리 유닛(PU2)을 이용하여, 표시 모듈(DM)의 제1 영역(AR1)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있다.
도 5c는 제1 박리 단계에서 제1 박리 유닛이 접촉되는 위치를 예시적으로 도시한 평면도이다.
도 5b 및 도 5c를 참조하면, 제1 박리 유닛(PU1a)은 하나의 지지부(SM) 및 지지부(SM)에 감긴 접착 테이프(TP)를 포함할 수 있다. 접착 테이프(TP)는 도 5c에 도시된 표시 모듈(DM)의 접촉 영역(PM-a)에 부착되어 표시 모듈(DM)의 제2 영역(AR2)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있다.
도 5d는 제1 박리 단계에서 제1 박리 유닛이 접촉되는 위치를 예시적으로 도시한 평면도이다.
도 5b 및 도 5d를 참조하면, 제1 박리 유닛(PU1a)은 복수의 지지부들(SM) 및 복수의 지지부들(SM)에 감긴 접착 테이프(TP)를 포함할 수 있다. 복수의 지지부들(SM)은 소정의 간격으로 이격되어 배치될 수 있고, 복수의 지지부들(SM)에 감긴 접착 테이프(TP) 각각은 도 5d에 도시된 표시 모듈(DM)의 접촉 영역들(PM-a1)에 부착되어 표시 모듈(DM)의 제2 영역(AR2)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리할 수 있다.
도 6은 제2 박리 단계를 도시한 단면도이다.
도 6은 도 4g와 비교하였을 때, 제1 영역(AR1)의 박리 방법에 차이가 있다. 앞서 도 4g의 경우, 제2 박리 유닛(PU2)의 복수의 흡착 패드들이 제1 박리 유닛(PU1)과 인접한 흡착 패드들부터 순차적으로 보호 필름(PF) 및 표시 모듈(DM)을 캐리어 기판(GL)으로부터 박리하였다. 하지만, 도 6의 경우, 제2 박리 유닛(PU2)의 복수의 흡착 패드들이 동시에 캐리어 기판(GL)으로부터 멀어지는 방향으로 이동된다. 따라서, 제1 박리 단계 이후에, 보호 필름(PF) 및 표시 모듈(DM)이 캐리어 기판(GL)으로부터 동시에 박리될 수 있다.
도 7은 도 1의 적층 기판의 평면도이다.
도 7을 참조하면, 표시 모듈(DM)은 복수의 꼭지점들(VTa, VTb)을 가질 수 있다. 도 7에서 표시 모듈(DM)은 직사각 형상을 가질 수 있고, 표시 모듈(DM)은 4 개의 꼭지점들(VTa, VTb)을 포함할 수 있다.
본 실시예에서 보호 필름(PF1)은 4 개의 꼭지점들(VTa, VTb) 중 3 개의 꼭지점들(VTa)을 커버하고, 하나의 꼭지점(VTb)은 커버하지 않을 수 있다. 즉, 앞서 도 2와 비교하였을 때, 보호 필름(PF1)에 의해 커버되지 않는 영역의 면적은 도 7이 더 작을 수 있다.
도 8은 표시 모듈 및 보호 필름이 캐리어 기판으로부터 박리되는 단계 중 일부를 도시한 도면이다.
도 8에 도시된 단계는 제2 영역(AR2a)을 박리하는 제1 박리 단계 후, 제1 영역(AR1a)을 박리하는 제2 박리 단계 전에 진행되는 중간 박리 단계일 수 있다.
제2 영역(AR2a)을 박리한 후, 표시 모듈(DM)의 제2 영역(AR2a)과 캐리어 기판(GL) 사이에 커팅 부재(KN)를 삽입할 수 있다. 커팅 부재(KN)는 제1 방향(DR1)을 따라 이동할 수 있다. 그 결과, 제2 영역(AR2)으로부터 제1 방향(DR1)을 따라 표시 모듈(DM)과 캐리어 기판(GL)이 서로 박리될 수 있다. 이 후, 제1 영역(AR1a)을 박리하는 제 2 박리 단계를 수행할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
GL: 캐리어 기판 SL: 희생층
DM: 표시 모듈 PF: 보호 필름
ACT: 유효 영역 DUM: 더미 영역
AR1: 제1 영역 AR2: 제2 영역

Claims (20)

  1. 캐리어 기판을 제공하는 단계;
    상기 캐리어 기판 상에 제1 영역 및 제2 영역으로 구분되는 표시 모듈을 형성하는 단계;
    상기 표시 모듈 상에 상기 제1 영역을 커버하며, 상기 제2 영역을 노출시키는 보호 필름을 배치하는 단계;
    제1 박리 유닛을 이용하여 상기 제2 영역을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제1 박리 단계; 및
    제2 박리 유닛을 이용하여 상기 보호 필름 및 상기 표시 모듈을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제2 박리 단계를 포함하는 표시 모듈의 박리 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 박리 단계를 수행한 이후에 상기 제2 박리 단계를 수행하는 표시 모듈의 박리 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 박리 단계에서, 상기 제1 박리 유닛은 상기 표시 모듈과 직접 접촉되어 상기 표시 모듈의 상기 제2 영역을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하고,
    상기 제2 박리 단계에서, 상기 제2 박리 유닛은 상기 보호 필름과 직접 접촉되어 상기 표시 모듈 및 상기 보호 필름을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 표시 모듈의 박리 방법.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 경계는 제1 방향을 따라 연장하고,
    상기 제1 박리 단계는 상기 제1 방향으로 연장하는 제2 영역을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 표시 모듈의 박리 방법.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 표시 모듈은 복수의 꼭지점들을 갖고, 상기 보호 필름을 배치하는 단계는 상기 보호 필름이 상기 복수의 꼭지점들 중 하나의 꼭지점만을 커버하지 않도록 배치하는 표시 모듈의 박리 방법.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 박리 단계에서, 상기 제1 박리 유닛은 상기 하나의 꼭지점을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 표시 모듈의 박리 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제2 박리 단계 이전에, 상기 표시 모듈의 상기 제2 영역과 상기 캐리어 기판 사이에 커팅 부재를 삽입하는 단계; 및
    상기 커팅 부재를 제1 방향을 따라 이동시키는 단계를 더 포함하는 표시 모듈의 박리 방법.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 박리 유닛은 제1 흡착 패드를 포함하고, 제2 박리 유닛은 제2 흡착 패드를 포함하고,
    상기 제1 박리 단계는 상기 제1 흡착 패드에 의해 수행되고, 상기 제2 박리 단계는 상기 제2 흡착 패드에 의해 수행되는 표시 모듈의 박리 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 박리 단계에서의 상기 제1 흡착 패드의 흡착력은 상기 제2 박리 단계에서의 상기 제2 흡착 패드의 흡착력보다 강한 표시 모듈의 박리 방법.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 흡착 패드는 복수로 제공되고, 상기 제2 영역은 복수의 상기 제1 흡착 패드에 의해 상기 캐리어 기판으로부터 박리되는 표시 모듈의 박리 방법.
  11. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 박리 유닛은 지지부 및 상기 지지부에 감긴 접착 테이프를 포함하고, 상기 제1 박리 단계에서 상기 제2 영역은 상기 접착 테이프에 부착되어 상기 캐리어 기판으로부터 박리되는 표시 모듈의 박리 방법.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 박리 유닛은 복수의 흡착 패드들을 포함하고,
    상기 제2 박리 단계는 상기 복수의 흡착 패드들이 동시에 상기 캐리어 기판으로부터 멀어지는 방향으로 이동되어 상기 보호 필름 및 상기 표시 모듈을 상기 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 표시 모듈의 박리 방법.
  13. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 박리 유닛은 복수의 흡착 패드들을 포함하고,
    상기 제2 박리 단계는 상기 복수의 흡착 패드들 중 상기 제1 박리 유닛과 인접한 흡착 패드들부터 순차적으로 상기 보호 필름 및 상기 표시 모듈을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 표시 모듈의 박리 방법.
  14. 제1 항에 있어서,
    상기 표시 모듈을 형성하는 단계는,
    상기 캐리어 기판 위에 베이스층을 제공하는 단계;
    상기 베이스층의 위에 회로층을 형성하는 단계; 및
    상기 회로층 위에 발광소자층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 영역 내에는 상기 베이스층, 상기 회로층 및 상기 발광소자층이 모두 배치되고, 상기 제2 영역 내에는 상기 베이스층이 배치된 표시 모듈의 박리 방법.
  15. 제1 항에 있어서,
    상기 표시 모듈을 형성하는 단계 이전에, 상기 캐리어 기판 위에 희생층을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 모듈의 박리 방법.
  16. 캐리어 기판을 제공하는 단계;
    상기 캐리어 기판 상에 유효 영역 및 더미 영역을 포함하는 베이스층을 형성하는 단계;
    상기 베이스층의 상기 유효 영역 위에 회로층을 형성하는 단계;
    상기 회로층 위에 발광소자층을 형성하는 단계;
    상기 발광소자층 위에 상기 발광소자층 및 상기 회로층을 커버하는 봉지층을 형성하는 단계;
    상기 봉지층 위에 상기 유효 영역을 커버하며, 상기 더미 영역 중 적어도 일부를 노출시키는 보호 필름을 배치하는 단계;
    상기 베이스층, 상기 회로층, 상기 발광소자층, 상기 봉지층, 및 상기 보호 필름을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 박리 단계; 및
    상기 더미 영역과 상기 유효 영역의 경계를 커팅하여 상기 더미 영역을 제거하는 단계를 포함하는 표시 모듈의 제조 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 박리 단계는
    상기 보호 필름에 의해 노출된 상기 베이스층의 상기 더미 영역 중 적어도 일부를 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제1 박리 단계; 및
    상기 제1 박리 단계 이후에 상기 보호 필름에 의해 커버된 상기 베이스층을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 제2 박리 단계를 포함하는 표시 모듈의 제조 방법.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 박리 단계는 상기 제1 박리 단계 후, 상기 제2 박리 단계 이전에 상기 캐리어 기판으로부터 박리되지 않은 상기 더미 영역의 다른 일부를 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 중간 박리 단계를 더 포함하는 표시 모듈의 제조 방법.
  19. 제16 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판 상에 상기 베이스층을 제공하는 단계 이전에, 상기 캐리어 기판 위에 희생층을 형성하는 단계를 더 포함하는 표시 모듈의 제조 방법.
  20. 제16 항에 있어서,
    상기 더미 영역을 제거하는 단계 이전에 상기 보호 필름을 상기 상기 베이스층, 상기 회로층, 상기 발광소자층, 및 상기 봉지층으로부터 박리하는 단계를 더 포함하는 표시 모듈의 제조 방법.
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