KR102518092B1 - Display Driver IC Reliability Test Method - Google Patents
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Abstract
본 발명은 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법을 제안한다. 본 발명의 테스트 방법은, 접착 테이프(UV 테이프)에 정렬된 양품 IC 칩들을 트레이(Tray)에 장착한다. 그리고 양품 IC 칩이 제공된 트레이 자체를 대상으로 고온 환경에서의 신뢰성 테스트를 실시한다. 신뢰성 테스트가 완료되면 양품 IC 칩 상에 존재하는 오염물질을 제거하도록 에어를 이용한 클리닝(cleaning)을 실시하며, 이후에 양품 IC 칩을 다시 접착 테이프에 정렬하고 최종 테스트를 수행한 다음 테스트 결과를 제공하는 순서로 이루어진다. 이에 따라 종래 방법 대신 테스트 공정을 간단화하게 할 수 있어 비용 절감은 물론 신뢰성이 향상되는 이점이 있다.The present invention proposes a reliability test method of a display driver IC. In the test method of the present invention, non-defective IC chips arranged on an adhesive tape (UV tape) are mounted on a tray. Then, a reliability test is conducted in a high-temperature environment for the tray itself provided with the non-defective IC chip. After the reliability test is completed, air cleaning is performed to remove contaminants on the non-defective IC chip, after which the non-defective IC chip is again aligned on the adhesive tape, the final test is performed, and the test result is provided. is done in the order Accordingly, it is possible to simplify the test process instead of the conventional method, thereby reducing costs and improving reliability.
Description
본 발명은 반도체 소자의 신뢰성 테스트 방법에 관한 것으로, 특히 고온에서 견딜 수 있는 전용 트레이(tray)를 이용하여 디스플레이 드라이버 IC(Display Driver IC)의 신뢰성을 테스트하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for testing the reliability of a semiconductor device, and more particularly, to a method for testing the reliability of a display driver IC using a dedicated tray capable of withstanding a high temperature.
플렉서블 디스플레이(flexible display)는 평면 디스플레이(flat panel display)와 달리 접거나 휠 수 있는 등 그 형상을 변형시킬 수 있는 디스플레이 장치이다. 그리고 플렉서블 디스플레이를 구동하기 위하여 디스플레이 드라이버 IC(Display Driver IC)가 제공되는데, 디스플레이 드라이버 IC(Display Driver IC)는 전기적으로 연결된 다수의 입출력 패드를 통해 상기 플렉서블 디스플레이로 신호를 전송하는 구조로 설계된다. Unlike a flat panel display, a flexible display is a display device capable of transforming its shape, such as folding or bending. In addition, a display driver IC is provided to drive the flexible display, and the display driver IC is designed to transmit signals to the flexible display through a plurality of electrically connected input/output pads.
이러한 디스플레이 드라이버 IC은 소자의 신뢰성을 만족할 수 있도록 비교적 높은 온도에서 견딜 수 있는 고온 환경 테스트를 반드시 거쳐야만 한다. 일반적으로 디스플레이 드라이버 IC의 양품 및 불량 여부만 식별하는 테스트만으로는 충분하게 신뢰성을 확인할 수 없기 때문이다.Such a display driver IC must pass a high-temperature environment test capable of withstanding a relatively high temperature in order to satisfy the reliability of the device. This is because, in general, reliability cannot be sufficiently confirmed only by tests that identify whether a display driver IC is good or bad.
도 1은 종래방법에 따른 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트를 수행하는 공정 흐름도이다. 1 is a process flow chart for performing a reliability test of a display driver IC according to a conventional method.
도 1(a) 및 (b)에 따르면 소정 규격의 웨이퍼(1)에 탑재된 디스플레이 드라이버 IC 중 신뢰성 테스트를 위하여 양품 IC 칩만을 선별하고, 선별된 양품 IC 칩들을 UV 테이프(20) 상에 정렬(Align) 한다. 실제 현장에서는 이를 'Reconstruction 공정'(줄여서 'Recon 공정'이라 하기도 함)이라 부르고 있다. 도 1(a)에서 도면부호 10은 양품 IC 칩, 12는 불량 IC 칩을 말하며 불량인 IC 칩(12)에는 칩 표면에 잉크 등으로 마킹되어 있고, 다이 이동 장비(즉 Die Transfer Machine)을 이용하여 양품 IC 칩들을 선별하여 정렬하게 된다. 이후 공정에서는 신뢰성 테스트를 위해 양품 IC 칩만이 이용된다. According to FIGS. 1(a) and (b), only non-defective IC chips are selected for a reliability test among display driver ICs mounted on a
도 1(c)을 참조하면 소정 길이의 스탠다드 칩온 필름(Standard Chip on Film)(30)상에 양품 IC 칩(10)을 이격하여 본딩하고, 이후에 칩온 필름을 커팅(cutting)하며, 커팅은 후속 공정에서 소정 크기의 캐리어에 장착할 수 있는 사이즈로 자르게 된다. 커팅된 하나의 칩온 필름에 1개의 양품 IC 칩(10)이 본딩된다.Referring to FIG. 1(c), a
도 1(d)을 참조하면 커팅된 각각의 칩온 필름(32)을 캐리어(40)에 장착한다. 상기 캐리어(40)는 고온 환경에서의 양품 IC 칩(10)의 신뢰성 테스트를 위한 구성으로, 캐리어(40) 내에 칩온 필름(32)을 장착하고 브라켓(42)을 이용하여 칩온 필름(32)이 캐리어(40)에서 이탈되지 않도록 조립할 수 있는 구조이다. Referring to FIG. 1(d), each cut chip-on
도 1(e) 및 (f)을 참조하면 캐리어(40)를 소켓(50)에 넣고 프리 테스트(Pre-test)를 진행한다. 도면에서 소켓(50)은 베이스(52)와 커버(54)로 구성되며, 베이스(52)에 캐리어(40)를 넣고 그 위에 커버(54)를 결합하면 된다. 프리 테스트의 목적은 신뢰성 테스트 후의 양품 IC 칩 및 불량 IC 칩을 판정하기 위함이다. Referring to FIGS. 1(e) and (f), the
도 1(g)을 참조하면 상기 프리 테스트가 완료되면 소켓(50)에서 캐리어(40)를 분리한다. 그리고 도 1(h)에서 캐리어(40)만을 대상으로 고온 환경에서 신뢰성 테스트를 실시한다. Referring to FIG. 1(g), when the pre-test is completed, the
이러한 신뢰성 테스트 실시 후, 도 1(i)을 참조하면 캐리어(40)에서 칩온 필름(32)을 분리한 후 필름에 있을 오염물이나 이물을 제거하는 클리닝 공정을 실시한다. 그리고 도 1(j)을 참조하면 캐리어(40)에 칩온 필름(32)을 다시 조립하고, 도 1(k)처럼 소켓(50)에 캐리어(40)를 조립한 다음 최종 테스트를 진행한다. 최종 테스트 이후에 신뢰성 테스트 결과가 제공된다. After the reliability test is performed, referring to FIG. 1(i), the chip-on
그러나 이와 같은 종래 신뢰성 테스트 방법은 다음과 같은 문제들이 있다. However, such a conventional reliability test method has the following problems.
먼저 칩온 필름(30)에 양품 IC 칩(10)을 본딩하기 때문에 이러한 전용 칩온 필름(30)을 제작하기 위한 비용이 발생한다. First, since the
또 커팅된 칩온 필름(32)을 장착하기 위한 캐리어(40)가 필요하다. 그래서 캐리어(40) 제조비용이 발생하고, 캐리어(40)에 커팅된 칩온 필름(32)을 장착하는 공정이 필요하다. 그리고 메뉴얼(Manual) 방식으로 캐리어에 커팅된 칩온 필름(32)을 장착하기 때문에 인적 오류에 의한 불량 발생 가능성이 있다. In addition, a
또 고온 테스트의 특성상 환경적인 요인에 의해 필름에 오염물질이 남을 수 있으며, 나아가 고온에서 양품 IC 칩의 핀들을 통한 전기적인 테스트를 실시하기 때문에 핀 자체가 오염되기도 한다. 이러한 오염물질들이 제거가 안되면 후속 테스트가 어렵기 때문에, 이를 제거하기 위한 레이저 클리닝(laser cleaning)이나 케미컬 클리닝(chemical cleaning) 공정이 반드시 수행되어야만 했다. 클리닝 공정시 오염이 심한 경우 반복적인 클리닝 공정이 필요하며, 오염이 제거되지 않으면 테스트가 불가한 경우도 발생한다.In addition, due to the nature of the high temperature test, contaminants may remain on the film due to environmental factors, and furthermore, since the electrical test is conducted through the pins of a good IC chip at high temperatures, the pins themselves are also contaminated. Since subsequent tests are difficult if these contaminants are not removed, a laser cleaning or chemical cleaning process must be performed to remove them. In the case of severe contamination during the cleaning process, repeated cleaning processes are required, and tests may not be possible if the contamination is not removed.
또 종래에는 캐리어(40) 및 소켓(50) 사이즈에 따라 양품 IC 칩(10)에서 테스트 가능한 핀 수에 제약이 있었다. 즉 종래에는 도 2에 도시한 바와 같이 양품 IC 칩의 핀 중 약 436개의 핀 만을 대상으로 테스트가 가능하였다. 디스플레이 드라이버 IC의 핀 개수가 대략 2000 ~ 3000개임을 감안한다면 나머지 핀들에 대해서는 테스트가 불가능하다. 그만큼 신뢰성 후 특성 검증에 한계가 있다. Also, in the related art, the number of testable pins in the
그리고 신뢰성 테스트시, 캐리어(40)를 평면 배열하기 때문에 그만큼 신뢰성 테스트를 위한 공간 확보가 필요하였다. Also, during the reliability test, since the
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 신뢰성 테스트 공정을 개선하고, 신뢰성 테스트에 소요되는 각종 비용을 절감할 수 있는 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법을 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, and to provide a reliability test method of a display driver IC capable of improving a reliability test process and reducing various costs required for a reliability test.
본 발명의 다른 목적은 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트를 위한 전용 트레이를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a dedicated tray for reliability testing of display driver ICs.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법은, 접착 테이프에 정렬된 양품 IC 칩들을 대상으로 프리 테스트를 실시하는 단계; 상기 양품 IC 칩을 트레이(Tray)에 장착하는 단계; 상기 양품 IC가 장착된 상기 트레이를 대상으로 신뢰성 테스트를 실시하는 단계; 상기 신뢰성 테스트 완료 후 클리닝(cleaning)을 실시하는 단계; 상기 양품 IC 칩을 다시 접착 테이프에 정렬하는 단계; 및 상기 양품 IC 칩을 대상으로 최종 테스트를 수행하고, 테스트 결과를 제공하는 단계를 포함한다. A method for testing the reliability of a display driver IC according to the present invention to achieve the above object includes performing a pre-test on non-defective IC chips aligned on an adhesive tape; mounting the non-defective IC chip on a tray; performing a reliability test on the tray on which the non-defective IC is mounted; performing cleaning after completion of the reliability test; aligning the non-defective IC chip on the adhesive tape again; and performing a final test on the non-defective IC chip and providing a test result.
상기 웨이퍼에서 테스트 완료된 IC 칩 중 양품의 IC를 선별하는 단계를 더 포함할 수 있다.The method may further include selecting good ICs from among tested IC chips in the wafer.
상기 프리 테스트는 양품 IC 칩의 모든 핀을 대상으로 테스트하는 프로브 테스트(Probe Test)일 수 있다. The pre-test may be a probe test in which all pins of a non-defective IC chip are tested.
상기 클리닝(cleaning)은 상기 트레이 상면에 양품 IC 칩의 비산을 방지하는 커버가 조립된 상태에서 정해진 풍속 및 풍량의 에어(air)를 공급하여 수행한다.The cleaning is performed by supplying air at a predetermined wind speed and volume in a state where a cover for preventing scattering of non-defective IC chips is assembled on the upper surface of the tray.
상기 트레이(tray)는, 상면에 복수의 안착홈이 형성된 베이스; 상기 베이스 상면을 덮는 커버; 및 상기 베이스와 커버를 결합하는 락킹클립을 포함하고, 상기 커버는 팬 구동에 의해 외부에서 상기 베이스 상면으로 에어가 침투할 수 있는 그물망 구조일 수 있다.The tray (tray), a base formed with a plurality of seating grooves on the upper surface; a cover covering an upper surface of the base; and a locking clip coupling the base and the cover, and the cover may have a mesh structure through which air can penetrate from the outside to the upper surface of the base by driving a fan.
상기 트레이는, 비결정성 열가소성 수지로 제조된다.The tray is made of an amorphous thermoplastic resin.
상기 트레이는, MPPO(Modified Polyphenylene Oxide, Noryl) 소재로 제조된다. The tray is made of MPPO (Modified Polyphenylene Oxide, Noryl) material.
본 발명에 따르면 디스플레이 드라이버 IC의 고온 신뢰성 테스트를 전용 트레이를 이용하여 수행하기 때문에, 종래에 커팅 공정 및 조립 공정, 캐리어에 커팅된 테이프를 장착하는 공정, 클리닝 공정 등의 여러 공정 등을 생략할 수 있어 공정 단순화로 인하여 작업 효율성 향상을 기대할 수 있다.According to the present invention, since the high-temperature reliability test of the display driver IC is performed using a dedicated tray, conventional processes such as cutting and assembling, mounting the cut tape on the carrier, and cleaning can be omitted. It can be expected to improve work efficiency due to process simplification.
또 전용의 칩온 필름을 제작할 필요가 없고, 소켓 테스트를 위한 캐리어가 필요하지 않아 테스트 비용을 줄일 수 있으며, 캐리어 조립 등 매뉴얼 작업에서 발생 가능한 인적 불량 요인을 원천적으로 배제할 수 있어 테스트의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, there is no need to manufacture a dedicated chip-on film, and test costs can be reduced because a carrier for socket test is not required, and human defect factors that can occur in manual work such as carrier assembly can be fundamentally excluded, improving test reliability. can make it
또 시험 공간을 최소화할 수 있고, IC 칩에 마련된 모든 핀에 대한 특성 검증이 가능한 효과도 있다.In addition, the test space can be minimized, and the characteristics of all pins provided on the IC chip can be verified.
도 1은 종래 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 공정 흐름도이다.
도 2는 종래 신뢰성 테스트 공정시 디스플레이 드라이버 IC의 특성 가능한 핀 개수를 보인 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 공정 흐름도이다.
도 4는 도 3의 Reconstruction 공정 예를 설명하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 신뢰성 테스트를 위한 트레이의 분리 사시도이다.
도 6 및 도 7은 베이스와 커버의 락킹 전후 상태를 보인 도면이다.
도 8 및 도 9는 종래의 신뢰성 테스트 공정과 본 발명의 테스트 공정에 따른 작업공간을 예시한 도면이다.1 is a flowchart of a reliability test process of a conventional display driver IC.
2 is a diagram showing the number of possible pins of a display driver IC during a conventional reliability test process.
3 is a flowchart of a reliability test process of a display driver IC according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a reconstruction process of FIG. 3 .
5 is an exploded perspective view of a tray for a reliability test of the present invention.
6 and 7 are views showing states before and after locking of the base and the cover.
8 and 9 are diagrams illustrating a work space according to a conventional reliability test process and a test process according to the present invention.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail. However, it should be understood that this is not intended to limit the specific embodiments of the present invention, and includes all conversions, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of related known technologies may obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another.
본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in the present invention are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "include" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded.
공간적으로 상대적인 용어인 아래(below, beneath, lower), 위(above, upper) 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관 관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 아래(below, beneath)로 기술된 소자는 다른 소자의 위(above, upper)에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 아래는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.Spatially relative terms, such as below, beneath, lower, above, upper, etc., facilitate the correlation between one element or component and another element or component, as shown in the drawing. can be used to describe Spatially relative terms should be understood as encompassing different orientations of elements in use or operation in addition to the orientations shown in the figures. For example, when an element shown in the drawing is turned over, an element described as below or beneath another element may be placed above or above the other element. Accordingly, the exemplary term below may include both directions of down and above. Elements may also be oriented in other orientations, and thus spatially relative terms may be interpreted according to orientation.
본 발명에서 사용되는 “부” 또는 “부분” 등의 일부분을 나타내는 표현은 해당 구성요소가 특정 기능을 포함할 수 있는 장치, 특정 기능을 포함할 수 있는 소프트웨어, 또는 특정 기능을 포함할 수 있는 장치 및 소프트웨어의 결합을 나타낼 수 있음을 의미하나, 꼭 표현된 기능에 한정된다고 할 수는 없으며, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As used in the present invention, an expression indicating a part such as “part” or “part” refers to a device in which a corresponding component may include a specific function, software which may include a specific function, or a device which may include a specific function. and software, but cannot necessarily be limited to the expressed functions, which are provided only to help a more general understanding of the present invention, and those with ordinary knowledge in the field to which the present invention belongs If so, various modifications and variations are possible from these descriptions.
또한, 본 발명에서 사용되는 모든 전기 신호들은 일 예시로서, 본 발명의 회로에 반전기 등을 추가적으로 구비하는 경우 이하 설명될 모든 전기 신호들의 부호가 반대로 바뀔 수 있음을 유의해야 한다. 따라서, 본 발명의 권리범위는 신호의 방향에 한정되지 않는다.In addition, it should be noted that all electrical signals used in the present invention, as an example, can be reversed in signs of all electrical signals to be described below when an inverter or the like is additionally provided in the circuit of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the direction of the signal.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and it will be said that not only the claims to be described later, but also all modifications equivalent or equivalent to these claims fall within the scope of the spirit of the present invention. .
이하에서는 도면에 도시한 실시 예에 기초하면서 본 발명에 대하여 더욱 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on the embodiments shown in the drawings.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 공정 흐름도이다. 3 is a flowchart of a reliability test process of a display driver IC according to an embodiment of the present invention.
도 3(a)을 보면, 소정 규격의 웨이퍼(100)에 디스플레이 드라이버 IC가 탑재된 상태에서 디스플레이 드라이버 IC의 양품 IC 칩(110) 및 불량 IC 칩(120)을 확인한 테스트 결과에 따라 불량 IC 칩(120) 상에 잉크 등으로 마킹처리된 상태를 나타낸다. Referring to FIG. 3(a) , in a state in which the display driver IC is mounted on a
도 3(b)를 참조하면, 신뢰성 테스트를 위해 마킹 처리된 불량 IC 칩(120)을 제외하고 양품 IC 칩(110)만을 선별하여 UV 테이프(130)상에 정렬하는 Reconstruction 공정을 수행한다. 이러한 공정에는 다이 이송 장비인 'Die Transfer Machine' 장비가 이용된다. 실시 예에서 Reconstruction 공정은 12인치 웨이퍼에 있는 양품 IC 칩을 UV 테이프(130)에 정렬(Align) 할 수 있다. 그리고 Reconstruction 공정은 신뢰성 테스트 공정에서 테스트 전후의 IC 칩들을 순서대로 매칭시키기 위한 것으로, 신뢰성 테스트 공정에서 반드시 필요한 공정은 아니다. 필요에 따라 Reconstruction 공정은 생략할 수 있다.Referring to FIG. 3(b), a reconstruction process of sorting only
여기서 'Die Transfer Machine' 장비를 이용한 Reconstruction 공정의 예를 도 4에 도시하였다. 도 4를 참조하면, (a)는 12인치 웨이퍼(100) 상에 양품 IC 칩(110)과 마킹 처리된 불량 IC 칩(120)이 정렬 된 상태이다. 이 상태에서 'Die Transfer Machine' 장비를 이용하여 (b)에 도시한 바와 같이 소정 규격의 UV 테이프(130) 위로 양품의 IC 칩(110)들만을 옮겨 재배열(PnP; Pick & replace) 하게 된다. Here, an example of the reconstruction process using the 'Die Transfer Machine' equipment is shown in FIG. Referring to FIG. 4 , (a) is a state in which
도 3(c)를 참조하면 UV 테이프(130) 상에 얼라인된 양품 IC 칩(110)을 대상으로 프로브 테스트(probe test)를 실시한다. 프로브 테스트는 IC 칩 자체를 대상으로 하기 때문에 양품 IC 칩(110)의 모든 핀에 대한 테스트가 가능하다. 종래와 비교하면 핀 수 제약으로 인한 특성 검증 문제를 해결할 수 있다.Referring to FIG. 3(c), a probe test is performed on the
도 3(d)을 참조하면 양품 IC 칩을 고온의 전용 트레이(200)에 마련된 안착홈(212)에 공급하고, 도 3(e) 단계에서 고온 환경 테스트를 실시하다. 전용 트레이(200)의 구성은 아래에서 상세하게 살펴본다. 고온 환경에서의 신뢰성 테스트는 uHAST(Unbiased HAST), 열충격시험(T/C; Thermal Cycle Test) 방식 등이 있다. 즉 본원발명은 양품 IC 칩(110)들을 트레이(200) 내에 장착한 상태에서 그 트레이(200)를 대상으로 하여 신뢰성 테스트를 진행하는 것이다. 통상적으로 트레이(200)에는 양품 IC 칩(110)을 15개 정도 안착시켜 신뢰성 테스트를 실시하고 있으나, 트레이(200)의 사이즈 등에 따라 공급되는 IC 칩의 개수는 상이할 수 있을 것이다. 여기서 양품 IC 칩을 전용 트레이로 옮기는 방식은 픽 앤 리플레이스(PnP; Pick & replace) 방식이 사용된다. Referring to FIG. 3(d), a non-defective IC chip is supplied to the
신뢰성 테스트가 완료되면 양품 IC 칩(110) 등의 표면에 있는 오염물질을 제거하는 클리닝공정이 수행된다. 클리닝공정은 도 3(f)와 같이 트레이(200) 내에 양품 IC 칩(110)이 있는 상태로 진행되고, 소정 풍량 및 풍속의 에어(air)가 이용된다. 이처럼 본원발명은 트레이(200) 내부에 양품 IC 칩(110)이 장착된 상태로 테스트가 이루어지기 때문에, 종래와 같이 테이프, 필름 및 핀 등의 오염물을 제거하기 위한 레이저 클리닝이나 케미컬 클리닝 공정을 수행할 필요가 없다. 양품 IC 칩(110)의 표면에 있을 수 있는 오염물질만 제거하면 되기 때문이다. When the reliability test is completed, a cleaning process is performed to remove contaminants from the surface of the
에어(air)를 이용한 클리닝 공정은 트레이(200) 내부로 소정 풍량 및 풍속의 에어를 공급할 수 있는 구성이면 된다. 예를 들면 트레이(200)의 일 측에 설치되는 팬(fan)을 이용할 수 있을 것이다. 그리고 클리닝 공정시 트레이(200)의 안착 홈(212)에 놓여진 양품 IC 칩(110)들이 비산되지 않도록 트레이(200)의 상측에는 이를 방지하기 위한 커버(220)가 필요하다. 본원발명은 트레이(200) 상면에 양품 IC 칩(110)이 본딩되는 것이 아니고 단순히 올려진 상태이기 때문에, 에어에 의해 양품 IC 칩(110)이 날아가는 것을 방지할 필요가 있다.The cleaning process using air may be configured to supply air at a predetermined air volume and speed to the inside of the
도 3(g)을 참조하면, 트레이(200)를 이용한 신뢰성 테스트가 완료되면, 트레이(200) 내의 양품 IC 칩(110)들을 다시 UV 테이프(130)에 정렬한다. 그리고 도 3(h)에 도시한 바와 같이 프로브(probe)를 이용한 최종 테스트를 실시하고, 최종 결과를 제공한다. Referring to FIG. 3( g ), when the reliability test using the
이와같이 본원발명은 전용 트레이(200)를 이용하여 진행하고 있어 종래보다 공정을 단순화할 수 있고, 캐리어 및 소켓 등의 장비를 사용하지 않아도 되며, 오염 발생 가능성을 상당히 배제할 수 있는 것이다. As such, the present invention proceeds using the
도 5는 본 발명의 신뢰성 테스트를 위한 트레이의 분리 사시도, 도 6 및 도 7은 베이스와 커버의 락킹 전후 상태를 보인 도면이다.5 is an exploded perspective view of a tray for a reliability test of the present invention, and FIGS. 6 and 7 are views showing states before and after locking of a base and a cover.
도 5에 따르면 트레이(200)는 소정 크기의 베이스(210) 및 베이스(210) 상면을 덮는 커버(220)를 포함하여 구성된다. 베이스(210)에는 디스플레이 드라이버 IC(즉 양품 IC 칩)이 놓여지는 복수 개의 안착홈(212)이 마련되며, 안착홈(212)은 양품 IC 칩(110)의 외형과 대응된다. 실시 예에서 하나의 트레이(200)는 15개의 안착홈(212)이 마련되어 15개의 양품 IC 칩을 장착할 수 있으나, 개수는 변경될 수 있다. 그리고 베이스(210)의 모서리측에는 락킹 슬릿(214)이 형성된다. According to FIG. 5 , the
도 6 및 도 7을 참조하면 베이스(210)에 커버(220)가 덮어진 상태에서 락킹 클립(230)의 상단은 커버(220)의 상면과 접촉하며 하단은 락킹 슬릿(214)에 끼워진 상태로 체결되어 베이스(210)와 커버(220)를 결합시킨다. 6 and 7, in a state where the
커버(220)는 에어를 이용한 클리닝 공정 시 베이스(210)의 안착홈(212)에 놓여진 양품 IC 칩이 날아가는 것을 방지하기 위한 것이다. 그리고 커버(220)는 양품 IC 칩들의 상면에 에어가 공급되어 오염물을 제거할 수 있는 구조이어야 한다. 예를 들면 그물망 구조로 형성될 수 있다. 그러나 에어가 충분히 공급되면서 양품 IC 칩의 오염물을 제거할 수 있는 구조라면 커버(220) 구조는 특정한 구조로 한정될 필요는 없다. The
본 발명의 신뢰성 테스트는 고온에서 이루어진다. 그래서 트레이(200)는 약 150℃ 정도의 고온까지 견딜 수 있는 소재로 제조되어야 한다. 실시 예는 비결정성 열가소성 수지인 MPPO(Modified Polyphenylene Oxide, Noryl) 소재를 이용하여 제조한다. 이러한 소재 특성은 기계적 성질 및 성형 수축율이 낮고, 내열성이 우수하며 저온에서 물성 저하가 적다. 또 매우 낮은 수분 흡수율 및 내수성이 우수하여 열이나 증기에 강하고, Creep 특성이 우수하며, 흡수율이 낮아 전기적 특성이 우수하다. The reliability test of the present invention is made at high temperature. Therefore, the
상기 트레이(200)는 다른 소재로 제조 할 수 있다. ABS 수지(ABS resin, acrylonitrile butadiene styrene copolymer), PPO(Polyphehylene Oxide), PSU(Polyarylsulfones), PES(Polyether sulfone), PEEK(Polyeteretherketone) 등으로 사용 할 수 있다. 상기 실시 예에서 나타낸 비결정성 열가소성 수지 MPPO 와 혼합하여 사용할 수 있다.The
도 8 및 도 9는 종래의 신뢰성 테스트 공정과 본 발명의 테스트 공정에 따른 작업공간을 예시한 도면이다.8 and 9 are diagrams illustrating a work space according to a conventional reliability test process and a test process according to the present invention.
도 8을 참조하면, 신뢰성 테스트를 uHAST(Unbiased HAST) 방법으로 진행시 필요면적을 나타낸 도면이다. 45개의 양품 IC 칩을 대상으로 테스트를 한다면, 종래에는 45개의 캐리어를 평면으로 배열해야 한다. 즉 각 캐리어에 양품 IC 칩이 1개씩만 공급되기 때문이다. 그래서 캐리어 1개의 사이즈가 63 * 63㎟ 이면 평면 기준으로 약 178,605㎟ (63 * 63 * 45개)의 면적이 필요하다. Referring to FIG. 8, it is a diagram showing a required area when a reliability test is performed using the uHAST (Unbiased HAST) method. If 45 non-defective IC chips are tested, conventionally, 45 carriers must be arranged in a plane. This is because only one good IC chip is supplied to each carrier. So, if the size of one carrier is 63 * 63 mm2, an area of about 178,605 mm2 (63 * 63 * 45 pieces) is required on a flat surface basis.
반면 도 9를 참조하면, 본원발명은 3개의 트레이(200)만 있으면 된다. 1개 트레이에 15개의 양품 IC 칩을 수용할 수 있기 때문에 3개 트레이면 총 45개의 양품 IC 칩의 신뢰성 테스트가 가능하다. 트레이(200) 하나의 사이즈가 51 * 51㎟ 이면 평면 기준으로 약 7,803㎟ (51 * 51 * 3개)의 면적만이 필요함으로 종래 신뢰성 테스트시의 필요면적 대비 약 20배 이상의 공간을 절약할 수 있다. On the other hand, referring to FIG. 9, the present invention requires only three
이상과 같이 본 발명의 도시된 실시 예를 참고하여 설명하고 있으나, 이는 예시적인 것들에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 요지 및 범위에 벗어나지 않으면서도 다양한 변형, 변경 및 균등한 타 실시 예들이 가능하다는 것을 명백하게 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적인 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the above has been described with reference to the illustrated embodiments of the present invention, these are only examples, and those skilled in the art to which the present invention belongs can variously It will be apparent that other embodiments that are variations, modifications and equivalents are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.
100: 웨이퍼
110: 양품 IC 칩
120: 불량 IC 칩
130: UV 테이프
200: 트레이
210: 베이스
212: 안착홈
214: 락킹 슬릿
220: 커버
230: 락킹 클립100: wafer
110: good IC chip
120: bad IC chip
130: UV tape
200: tray
210: base
212: seating groove
214: locking slit
220: cover
230: locking clip
Claims (7)
상기 양품 IC 칩을 트레이(Tray)에 장착하는 단계;
상기 양품 IC 칩이 장착된 상기 트레이를 대상으로 신뢰성 테스트를 실시하는 단계;
상기 신뢰성 테스트 완료 후 클리닝(cleaning)을 실시하는 단계;
상기 양품 IC 칩을 다시 접착 테이프에 정렬하는 단계; 및
상기 양품 IC 칩을 대상으로 최종 테스트를 수행하고, 테스트 결과를 제공하는 단계를 포함하여 수행되는 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법.performing a pre-test on the non-defective IC chips aligned on the adhesive tape;
mounting the non-defective IC chip on a tray;
performing a reliability test on the tray on which the non-defective IC chip is mounted;
performing cleaning after completion of the reliability test;
aligning the non-defective IC chip on the adhesive tape again; and
A reliability test method of a display driver IC, comprising the steps of performing a final test on the non-defective IC chip and providing a test result.
상기 프리 테스트를 실시하는 단계 이전에,
웨이퍼에서 테스트 완료된 IC 칩 중 양품의 IC를 선별하고 상기 접착 테이프 상에 정렬하는 단계를 더 포함하는 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법.According to claim 1,
Before performing the pre-test,
The reliability test method of the display driver IC further comprising the step of selecting good ICs from the tested IC chips on the wafer and arranging them on the adhesive tape.
상기 프리 테스트는,
양품 IC 칩의 모든 핀을 대상으로 테스트하는 프로브 테스트(Probe Test)인 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법.According to claim 1,
The pre-test,
Reliability test method of display driver IC, which is a probe test that tests all pins of non-defective IC chips.
상기 클리닝(cleaning)은,
상기 트레이 상면에 양품 IC 칩의 비산을 방지하는 커버가 조립된 상태에서 정해진 풍속 및 풍량의 에어(air)를 공급하여 수행되는 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법.According to claim 1,
The cleaning (cleaning),
A reliability test method of a display driver IC performed by supplying air with a predetermined wind speed and air volume in a state in which a cover for preventing scattering of non-defective IC chips is assembled on the upper surface of the tray.
상기 트레이(tray)는,
상면에 복수의 안착홈이 형성된 베이스;
상기 베이스 상면을 덮는 커버; 및
상기 베이스와 커버를 결합하는 락킹클립을 포함하고,
상기 커버는 팬 구동에 의해 외부에서 상기 베이스 상면으로 에어가 침투할 수 있는 구조로 형성되는 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법.According to claim 1,
The tray,
A base having a plurality of seating grooves formed on the upper surface;
a cover covering an upper surface of the base; and
Including a locking clip coupling the base and the cover,
The reliability test method of the display driver IC in which the cover is formed in a structure in which air can penetrate from the outside to the upper surface of the base by driving a fan.
상기 트레이는,
비결정성 열가소성 수지로 제조되는 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법.According to claim 5,
the tray,
Reliability test method of display driver IC made of amorphous thermoplastic resin.
상기 트레이는,
MPPO(Modified Polyphenylene Oxide, Noryl) 소재로 제조되는 디스플레이 드라이버 IC의 신뢰성 테스트 방법.According to claim 5,
the tray,
Reliability test method of display driver IC made of MPPO (Modified Polyphenylene Oxide, Noryl) material.
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