KR102517935B1 - Pcb exposure apparatus capable of double-sided exposure by closely keeping intervening pcb in close contact with transparent panel optically maintaining horizontal alignment - Google Patents
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Abstract
본 발명의 노광장치는 기판패널이 안착되는 한 쌍의 투명패널; 상기 기판패널이 한 쌍의 투명패널로 진입, 안착, 배출되는 시점을 센싱하며, 기준점을 검출하는 카메라; 상기 기판패널을 스캐닝하며, 상기 한 쌍의 투명패널 상측과 하측에 각각 배치된 노광기; 상기 한 쌍의 투명패널 사이에 배치되며 형상기억합금으로 이뤄진 4개의 탄성부재; 상기 탄성부재를 가열시키는 가열기와 냉각시키는 냉각기를 포함하고, 상기 카메라를 통해 센싱된 상기 기판패널의 진입, 안착, 배출되는 시점에 상기 가열기와 상기 냉각기를 제어하여 상기 한 쌍의 투명패널 사이의 간극을 조절하고, 검출된 기판패널의 기준점 위치와 미리 셋팅된 기판패널의 위치가 정합되도록 상기 노광기를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The exposure apparatus of the present invention includes a pair of transparent panels on which substrate panels are seated; a camera for sensing a point in time when the substrate panel enters, settles, and is discharged into a pair of transparent panels, and detects a reference point; an exposure unit that scans the substrate panel and is respectively disposed on upper and lower sides of the pair of transparent panels; four elastic members disposed between the pair of transparent panels and made of a shape memory alloy; A gap between the pair of transparent panels includes a heater for heating the elastic member and a cooler for cooling, and the heater and the cooler are controlled at the point in time when the substrate panel sensed through the camera enters, settles, or is discharged. and a control unit controlling the exposure machine so that the position of the reference point of the detected substrate panel matches the position of the previously set substrate panel.
Description
본 발명은 투명패널이 광학적으로 수평 정렬을 유지하여 개재된 PCB를 밀착시킴으로써 양면 노광이 가능한 PCB 노광장치 및 이에 의해 제작되는 PCB에 관한 것이다.The present invention relates to a PCB exposure apparatus capable of double-sided exposure by maintaining a transparent panel optically aligned horizontally and closely adhering an intervening PCB, and a PCB manufactured by the same.
일반적으로, 인쇄회로기판은 여러 전자제품 소자들을 일정한 틀에 따라 간편하게 연결시켜 주는 역할을 하며, 디지털 TV를 비롯한 가전제품부터 첨단 통신기기까지 모든 전자제품에 광범위하게 사용되는 부품으로서, 용도에 따라 범용 PCB, 모듈용 PCB, 패키지용 PCB 등으로 분류된다.In general, a printed circuit board plays a role in easily connecting various electronic device elements according to a certain frame, and is a part widely used in all electronic products, from home appliances including digital TVs to high-tech communication devices, and is universal depending on the purpose. It is classified into PCB, module PCB, and package PCB.
즉, 인쇄회로기판은 페놀수지 절연판 또는 에폭시수지 절연판 등의 일측면에 구리 등의 박판을 부착시킨 다음 회로의 배선패턴에 따라 식각(선상의 회로만 남기고 부식시켜 제거)하여 필요한 회로를 구성하고 부품들을 부착 탑재시키기 위한 구멍을 뚫어 형성한 것으로서, 배선 회로면의 수에 따라 단면기판·양면기판·다층기판 등으로 분류되며 층수가 많을수록 부품의 실장력이 우수하여 고정밀 제품에 채용된다.That is, the printed circuit board is made by attaching a thin plate such as copper to one side of a phenolic resin insulating board or an epoxy resin insulating board, and then etching it according to the wiring pattern of the circuit (leaving only the circuit on the line and removing it by corrosion) to configure the necessary circuit and component It is formed by drilling holes for attaching and mounting components, and is classified into single-sided board, double-sided board, multi-layer board, etc. according to the number of wiring circuit planes.
근래 들어 전자산업의 발전으로초박판의 인쇄회로기판(두께가 0.04mm ~ 0.2mm)이 널리 사용되고 있다.In recent years, with the development of the electronic industry, ultra-thin printed circuit boards (thickness of 0.04 mm to 0.2 mm) have been widely used.
양면에 회로를 형성시키고 스루홀(through hole)을 통하여 상호 연결시킨 양면기판 또는, 이를 양면뿐만 아니라 복수개의 층으로 확대시킨 다층기판이 사용이 증가하고 있다.A double-sided board in which circuits are formed on both sides and connected to each other through a through hole, or a multi-layer board in which a plurality of layers are expanded as well as both sides are increasingly used.
현재 인쇄회로기판을 제작하는데에는 사진전사에 의해 패턴을 형성하는 사진공정(photo lithography)이 범용적으로 사용되고 있다. 특히, 배선 밀도의 고밀도화에 대응 가능한 세미어디티브법이 많이 사용되고 있다.Currently, a photolithography process for forming a pattern by phototransfer is widely used in manufacturing a printed circuit board. In particular, a semi-additive method capable of coping with the high-density wiring density is widely used.
세미어디티브법을 이용한 인쇄회로기판의 제조방법은 시드층 형성 공정, 전처리 공정, 드라이 필름(Dry film)적층공정, 노광 공정, 현상 공정, 전해 동도금 공정, 드라이, 필름 박리 공정, 플레쉬 에칭(Flash Etching) 공정으로 이루어진다.The manufacturing method of the printed circuit board using the semi-additive method includes a seed layer formation process, a pretreatment process, a dry film lamination process, an exposure process, a development process, an electrolytic copper plating process, a dry film peeling process, and a flash etching process. Etching) process.
이 중 노광 공정은 아트워크 필름을 사용하여 회로패턴을 형성하기 때문에, 아트워크 필름이 손상되기 쉽고 수정이 어려운 단점이 있었다.Among them, since the exposure process uses the artwork film to form a circuit pattern, the artwork film is easily damaged and difficult to correct.
이에 따라, 포토 마스크를 사용하지 않고 레이저 다이오드(Laser Diode)를 광원으로 사용하여 기판 위의 피노광층을 직접 노광하는 레이저 다이렉트 이미징(Laser Direct Imaging) 노광기가 개발되어 사용되고 있다. 이에 따라 패널에 배선 패턴이 형성된다.Accordingly, a laser direct imaging exposure machine that directly exposes a layer to be exposed on a substrate using a laser diode as a light source without using a photo mask has been developed and used. Accordingly, a wiring pattern is formed on the panel.
이와 같은 LDI 노광기는 배선 패턴의 수정이 용이하고 공정이 간소화된다는 장점이 있다. LDI 노광기의 경우, 공정마다 하나의 패널만을 노광할 수 있다는 점, 패널의 일면만 노광할 수 있다는 점에서 생산량을 증가시키는데 문제점이 있었고, 패널의 일면에만 노광이 실시되기 때문에 양면을 순차적으로 노광하는 경우 앞면과 뒷면 패턴 간의 정합이 어렵다는 문제점이 발생하였다.Such an LDI exposure machine has advantages in that it is easy to modify a wiring pattern and the process is simplified. In the case of the LDI exposure machine, there was a problem in increasing production volume in that only one panel could be exposed for each process and only one side of the panel could be exposed. In this case, there was a problem that matching between the front and back patterns was difficult.
한편, 상술한 문제점을 해결하고자, PCB를 한 쌍의 투명패널(광학적 투과성) 사이에 안착시킨 다음 한 쌍의 투명패널을 밀착시켜 PCB를 고정시키고 상측과 하측에 각각 배치된 노광기를 이동시키며 스캐닝을 진행하는 노광장치가 개발되었으나, 종래의 노광장치는 한 쌍의 투명패널을 광학적 수평을 유지한 채 정밀하게 제어하는 기술적수단이 마련되지 않아 노광공정의 품질을 확보할 수 없는 문제가 있다.On the other hand, in order to solve the above-described problem, the PCB is seated between a pair of transparent panels (optically transmissive), and then the pair of transparent panels are brought into close contact to fix the PCB, and the exposure devices disposed on the upper and lower sides are moved to perform scanning. Although an ongoing exposure apparatus has been developed, the conventional exposure apparatus has a problem in that the quality of an exposure process cannot be secured because technical means for precisely controlling a pair of transparent panels while maintaining an optical level are not provided.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 투명패널이 광학적으로 수평 정렬을 유지하여 개재된 PCB를 밀착시킴으로써 양면 노광이 가능한 PCB 노광장치 및 이에 의해 제작되는 PCB를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a PCB exposure apparatus capable of double-sided exposure by maintaining a transparent panel optically aligned horizontally and closely contacting an interposed PCB, and a PCB manufactured thereby.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급된 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems to be solved by the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 노광장치는 기판패널이 안착되는 한 쌍의 투명패널; 상기 기판패널이 한 쌍의 투명패널로 진입, 안착, 배출되는 시점을 센싱하며, 기준점을 검출하는 카메라; 상기 기판패널을 스캐닝하며, 상기 한 쌍의 투명패널 상측과 하측에 각각 배치된 노광기; 상기 한 쌍의 투명패널 사이에 배치되며 형상기억합금으로 이뤄진 4개의 탄성부재; 상기 탄성부재를 가열시키는 가열기와 냉각시키는 냉각기를 포함하고, 상기 카메라를 통해 센싱된 상기 기판패널의 진입, 안착, 배출되는 시점에 상기 가열기와 상기 냉각기를 제어하여 상기 한 쌍의 투명패널 사이의 간극을 조절하고, 검출된 기판패널의 기준점 위치와 미리 셋팅된 기판패널의 위치가 정합되도록 상기 노광기를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.An exposure apparatus of the present invention for solving the above problems includes a pair of transparent panels on which substrate panels are seated; a camera for sensing a point in time when the substrate panel enters, settles, and is discharged into a pair of transparent panels, and detects a reference point; an exposure unit that scans the substrate panel and is respectively disposed on upper and lower sides of the pair of transparent panels; four elastic members disposed between the pair of transparent panels and made of a shape memory alloy; A gap between the pair of transparent panels includes a heater for heating the elastic member and a cooler for cooling, and the heater and the cooler are controlled at the point in time when the substrate panel sensed through the camera enters, settles, or is discharged. It may be characterized in that it includes a control unit for controlling the exposure machine so that the position of the reference point of the detected substrate panel and the position of the previously set substrate panel are matched.
상기 한 쌍의 투명패널은 기판패널을 중심으로 상면과 저면에서 밀착 결합된 것을 특징으로 할 수 있다.The pair of transparent panels may be characterized in that they are closely coupled at the top and bottom surfaces of the substrate panel.
상기 한 쌍의 투명패널은 기판패널이 배치되는 영역을 제외한 나머지 테두리 영역이 반투명 또는 불투명으로 구성된 것을 특징으로 할 수 있다.The pair of transparent panels may be characterized in that an edge area other than an area where the substrate panel is disposed is made of translucent or opaque material.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 인쇄회로기판은 상기 노광장치에 의해 제작되는 것을 특징으로 할 수 있다.The printed circuit board of the present invention for solving the above problems may be characterized in that it is manufactured by the exposure device.
본 발명의 양면 노광이 가능한 PCB 노광장치 및 이에 의해 제작되는 PCB는 패널의 양 측면을 노광하여 패널의 생산성을 향상시킬 수 있게 되며, 특히, PCB가 형상기억합금으로 정밀하게 간극이 제어되는 한 쌍의 투명패널 사이로 진입하여 밀착되므로, 한 쌍의 투명패널의 광학적 수평 정렬에 의해 기설정된 광학적 조건에 맞추어 고정된 상태로 노광공정이 진행되므로, 노광공정의 품질이 향상되는 장점이 있다. The PCB exposure apparatus capable of double-sided exposure of the present invention and the PCB manufactured by the same can expose both sides of the panel to improve the productivity of the panel. In particular, the PCB is a shape memory alloy and the gap is precisely controlled. Since it enters between the transparent panels and adheres to them, the exposure process proceeds in a fixed state according to the optical conditions set by the optical horizontal alignment of the pair of transparent panels, thereby improving the quality of the exposure process.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급된 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description below.
도 1은 종래의 노광기에서 기판패널의 양측면으로 한 쌍의 투명패널이 흡착 설치되는 상태를 나타낸 분해사시도이다.
도 2는 종래의 노광기가 설치된 상태를 나타낸 예시도이다.
도 3은 본 발명의 노광장치가 작동하는 것을 나타낸 예시도이다.1 is an exploded perspective view showing a state in which a pair of transparent panels are adsorbed and installed on both sides of a substrate panel in a conventional exposure machine.
2 is an exemplary view showing a state in which a conventional exposure machine is installed.
3 is an exemplary view showing the operation of the exposure apparatus of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 제한되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 기술자에게 본 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present invention, and methods of achieving them, will become clear with reference to the detailed description of the following embodiments taken in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, only these embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and are common in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person skilled in the art of the scope of the invention, and the invention is only defined by the scope of the claims.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 외에 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐 동일한 도면 부호는 동일한 구성 요소를 지칭하며, "및/또는"은 언급된 구성요소들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 비록 "제1", "제2" 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.Terminology used herein is for describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In this specification, singular forms also include plural forms unless specifically stated otherwise in a phrase. As used herein, "comprises" and/or "comprising" does not exclude the presence or addition of one or more other elements other than the recited elements. Like reference numerals throughout the specification refer to like elements, and “and/or” includes each and every combination of one or more of the recited elements. Although "first", "second", etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms, of course. These terms are only used to distinguish one component from another. Accordingly, it goes without saying that the first element mentioned below may also be the second element within the technical spirit of the present invention.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used with meanings commonly understood by those skilled in the art to which the present invention belongs. In addition, terms defined in commonly used dictionaries are not interpreted ideally or excessively unless explicitly specifically defined.
[종래의 노광장치: 도 1, 도 2][Conventional exposure apparatus: FIGS. 1 and 2]
종래의 노광장치(100)는 기판패널(20)의 양측에서 결합되는 한 쌍의 투명패널(10)과 기판패널(20)을 스캐닝하는 노광기(30)와 기판패널(20)의 기준점을 검출하는 카메라(미도시_와 노광기(30)와 한 쌍의 투명패널(10)의 위치를 제어하는 제어부를 포함한다.A
한 쌍의 투명패널(10)은 투과율이 우수한 유리가 소재로 사용될 수 있으며, 기판패널(20)의 상면과 저면에서 각각 밀착 결합된다. 밀착 결합시에는 진공흡착에 의해 기판패널(20)이 유동되지 않도록 강한 흡착상태를 유지하게 된다.The pair of
이렇게 한 쌍의 투명패널(10)이 기판패널(20)에 밀착 결합되면, 기판 패널(20)이 편평한 상태를 유지할 수 있게 된다.When the pair of
이때, 한 쌍의 투명패널(10)은 상부 투명패널(12)과 하부 투명패널(14)이 기판패널(20)의 상/저면에서 동시에 밀착될 수 있음은 물론, 하부 투명패널(14)은 고정된 상태에서 상부 투명패널(12)만이 기판패널(20)을 누르면서 하부 투명패널(14)과 밀착될 수도 있다.At this time, in the pair of
또한, 한 쌍의 투명패널(10)은 기판패널(20)이 배치되는 영역을 제외하고 나머지 부분이 불투명 또는 반투명영역으로 구성될 수 있다.In addition, the remaining portions of the pair of
이는 기판패널(20)의 상면과 저면에서 한 쌍의 투명패널(10)이 결합될 때, 기판패널(20)이 배치된 상태를 시각적으로 확인할 수 있도록 하기 위함이다.This is to visually check the state in which the
이와 같은 한 쌍의 투명패널(10)은 기판패널(20)을 스캐닝하는 노광기(30)가 설치된 위치까지 이동된다.Such a pair of
노광기(30)는 내부에 레이저 다이오드를 구비하며, 도면에는 도시하지 않았지만 내부에 복수개의 노광헤드가 정렬되어 있다.The
또한, 노광기(30)의 내부 또는 외측에는 도면에는 도시하지 않았지만 옵틱 헤드가 설치되어 있어서 이송되는 기판패널의 기준점 및 초기 위치와 실시간 위치 등을 측정할 수 있게 된다.In addition, although not shown in the figure, an optical head is installed inside or outside the
노광기(30)의 위치 검출은 옵틱 헤드뿐만 아니라, CCD카메라에 의해서도 위치검출이 가능하다.The location of the
즉, CCD카메라와 옵틱헤드는 기판패널의 진행방향기준으로 수평타입은 상/하면에 설치될 수 있으며, 수직타입은 좌/우면에 설치될 수 있다.That is, the horizontal type CCD camera and the optical head may be installed on the upper/lower side, and the vertical type may be installed on the left/right side based on the traveling direction of the substrate panel.
CCD카메라는 도면에는 도시하지 않았지만 스트로보를 발광시키고 스트로부로부터의 빛이 반사광을 수행하는 것에 의해 패널의 기준점을 촬상하게 된다.Although not shown in the figure, the CCD camera captures an image of the reference point of the panel by emitting light from the strobe and reflecting light from the strobe.
CCD카메라와 옵틱헤드를 통해 촬상된 데이터는 무선 또는 유선을 통해 제어부로 전송된다.Data captured by the CCD camera and the optical head are transmitted to the control unit through wireless or wired communication.
제어부는 일반적으로 제어 소프트웨어를 내장한 컴퓨터이다. 제어부는 노광기와 한 쌍의 투명패널의 정합을 제어한다.The controller is usually a computer with embedded control software. The control unit controls the matching of the exposure machine and the pair of transparent panels.
제어부에는 노광기(30)의 구동을 제어하기 위한 영상 데이터 처리부와 미러구동제어부가 편입된다. 제어부는 각각의 노광기의 구동신호, 마이크로 미러의 각도 및 구동을 제어하는 제어신호를 생성한다.The control unit incorporates an image data processing unit and a mirror driving control unit for controlling driving of the
또한, 제어부는 CCD카메라로부터 송신된 데이터와 미리 저장된 정합시의 패널기준점 위치 데이터를 비교한 후 한 쌍의 투명패널(10)과 노광기(30)의 위치 보정값을 산출하고, 한 쌍의 투명패널(10)과 노광기(30)에 포함된 위치 보정수단에 제어신호를 송신한다.In addition, the control unit compares the data transmitted from the CCD camera with the position data of the panel reference point at the time of matching stored in advance, calculates a position correction value of the pair of
이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 인쇄회로기판의 패널 노광장치는 다음과 같은 작동을 한다.The panel exposure apparatus of the printed circuit board according to the embodiment of the present invention configured as described above operates as follows.
기판패널(20)의 양면을 스캐닝하는 경우 기판패널(20)의 양 측면은 한 쌍의 투명패널(10) 사이에 배치된다. 기판패널(20)의 배치 시 한 쌍의 투명패널(10) 사이에는 강한 흡착이 이루어져 기판패널(20)이 이송되는 과정에서 유동되지 않게 된다.When both sides of the
이송된 한 쌍의 투명패널(10)은 옵틱헤드 및 CCD카메라를 통해 기판패널(20)의 기준점을 검출하여 제어부로 데이터를 송신한다.The transferred pair of
제어부는 수신받은 데이터와 저장된 기준패널 정합 위치 데이터를 비교하여 한 쌍의 투명패널(10)과 노광기(30) 중 어느 하나의 위치를 보정한다. 이러한 보정 위치에 의해 기판패널(20)이 노광기(30)와 정합된다.The controller compares the received data with the stored reference panel matching position data and corrects the position of any one of the pair of
정합이 완료된 후에는 기판패널(20)을 노광영역으로 이동되고, 기판패널(20)이 노광영역에 진입하면 제어부의 제어신호에 따라 노광기(30)가 기판패널(20)에 레이저광을 조사하여 노광이 실시된다.After the matching is completed, the
이 때, 기판패널(20)의 상면과 저면에 실시되는 패턴이 서로 다른 경우 제어부의 신호에 따라 각각의 노광기(30)가 다른 패턴으로 노광을 실시하게 된다.At this time, when the patterns applied to the upper and lower surfaces of the
기판패널(20)에 노광 공정이 모두 완료되면, 한 쌍의 투명패널(10)과 기판패널(20)은 원위치로 이송된다.When the entire exposure process is completed on the
[본 발명의 노광장치: 도 3][Exposure apparatus of the present invention: Fig. 3]
본 발명의 노광장치(1000)는 종래의 노광장치(100)와 비교하여 다음과 같은 차이점이 있다. 본 발명의 노광장치(1000)는 대략적으로 사각 플레이트 형태의 한 쌍의 투명패널(1010) 각각은 중앙영역(투명영역; 기판패널이 오버랩되어 노광공정이 진행되는 영역) 가장자리영역(불투명 또는 반투명영역; 기판패널이 오버랩되지 않아 노광공정이 진행되지 않는 영역)으로 구분되고, 한 쌍의 투명패널(1010)의 가장자리영역의 4개의 모서리에 4개의 탄성부재(1030)가 일대일로 대응되게 배치되어 일단과 타단이 한 쌍의 투명패널(1010)의 가장자리영역의 4개의 모서리를 연결할 수 있다. 또한, 4개의 탄성부재(1030)는 이방향성 형상기억합금 스프링으로서 냉각 시 수축하였다가 가열 시 원래의 형상(상대적 팽창)으로 되돌아가도록 설정될 수 있다.Compared with the
또한, 본 발명의 노광장치(1000)는 제어부의 전자 신호를 수신하여 4개의 탄성부재(1030)가 수축되도록 냉각시키는 냉각기(미도시)와 4개의 탄성부재(1030)가 원래의 형상을 유지하거나 원래의 형상으로 되돌아가도록 가열시키는 가열기(미도시)를 더 포함할 수 있다.In addition, the
아울러 한 쌍의 투명패널(1010)의 상부 투명패널(1012)의 중앙영역은 상부 투명패널(1012)의 가장자리영역보다 아래로 단차를 지게 형성되어 두껍게 형성되고, 한 쌍의 투명패널(1010)의 하부 투명패널(1014)의 가장자리영역보다 위로 단차를 지게 형성되어 두껍게 형성될 수 있다.In addition, the central region of the upper
이에 따라, 본 발명의 노광장치(1000)에서는 1) 기판패널(2020)이 한 쌍의 투명패널(1010) 사이로 진입시작 시(진입시점) 제어부에서 카메라(또는 별도의 진입감지 센서)로부터 인식된 진입 정보를 수신하여 가열기를 작동시킬 수 있으며, 그 결과, 4개의 탄성부재(1030)가 원래의 형상을 유지하거나 원래의 형상으로 되돌아가도록 가열되어 한 쌍의 투명패널(1010)의 중앙영역의 사이에 간극이 생기며 기판패널(2020)이 안착될 수 있으며, 2) 기판패널(2020)이 한 쌍의 투명패널(1010)의 중앙영역의 사이에 안착된 다음(안착시점) 제어부에서 카메라(또는 별도의 안착감지 센서)로 인식된 안착 정보를 수신하여 냉각기를 작동시킬 수 있으며, 그 결과, 4개의 탄성부재(1030)가 상호 동일한 간격으로 수축되도록 냉각되어 한 쌍의 투명패널(1010)의 중앙영역이 광학적 수평으로 정렬된 상태에서 기판패널(2020)을 밀착시켜 고정할 수 있으며, 3) 노광공정(노광기(1040)에 의한 스캐닝 완료)이 완료되어 기판패널(2020)이 한 쌍의 투명패널(1010) 사이에서 배출 시(배출시점) 제어부에서 카메라(또는 별도의 배출감지 센서)로부터 인식된 배출 정보를 수신하여 가열기를 작동시킬 수 있으며, 그 결과, 4개의 탄성부재(1030)가 원래의 형상을 유지하거나 원래의 형상으로 되돌아가도록 가열되어 한 쌍의 투명패널(1010)의 중앙영역의 사이에 간극이 생기며 기판패널(2020)이 배출될 수 있다.Accordingly, in the
상술한 바에 따르면, 본 발명의 노광장치(1000)에서는 한 쌍의 투명패널(1010)이 형상기억합급으로 이뤄진 4개의 탄성부재(1030)에 의해 정밀하게 작동하여 기판패널(2020)을 무리하게 가압하지 않는 동시에 광학적 수평으로 정렬된 상태로 밀착되어 정밀한 노광공정이 수행될 수 있는 장점이 있다.According to the foregoing, in the
이상, 첨부된 도면을 참조로 하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며, 제한적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments of the present invention have been described with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. you will be able to understand Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive.
Claims (4)
기판패널이 한 쌍의 투명패널로 진입, 안착, 배출되는 시점을 센싱하며, 기준점을 검출하는 카메라;
기판패널을 스캐닝하며, 상기 한 쌍의 투명패널 상측과 하측에 각각 배치된 노광기;
상기 한 쌍의 투명패널 사이에 배치되며 형상기억합금으로 이뤄진 4개의 탄성부재;
상기 탄성부재를 가열시키는 가열기와 냉각시키는 냉각기; 및
상기 카메라를 통해 센싱된 기판패널의 진입, 안착, 배출되는 시점에 상기 가열기와 상기 냉각기를 제어하여 상기 한 쌍의 투명패널 사이의 간극을 조절하고, 검출된 기판패널의 기준점 위치와 미리 셋팅된 기판패널의 위치가 정합되도록 상기 노광기를 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 한 쌍의 투명패널은 사각 플레이트 형태로서, 기판패널을 중심으로 상면과 저면에서 밀착 결합되며, 기판패널이 배치되어 노광공정이 진행되는 중앙영역과 기판패널이 배치되는 영역을 제외한 나머지 가장자리영역이 반투명 또는 불투명으로 구성되며, 가장자리영역의 4개의 모서리에 상기 4개의 탄성부재가 일대일로 대응되게 배치되고,
상기 한 쌍의 투명패널의 상부 투명패널의 중앙영역은 상기 한 쌍의 투명패널의 상부 투명패널의 가장자리영역보다 아래로 단차를 지도록 두껍게 형성되며, 상기 한 쌍의 투명패널의 하부 투명패널의 중앙영역은 상기 한 쌍의 투명패널의 상부 투명패널의 가장자리영역보다 위로 단차를 지도록 두껍게 형성되고,
상기 4개의 탄성부재는 이방향성 형상기억합금 스프링으로서 냉각 시 수축하였다가 가열 시 원래의 형상을 가지고,
기판패널이 상기 한 쌍의 투명패널 사이로 진입시작 시 상기 제어부에서 상기 카메라로부터 인식된 진입 정보를 수신하여 상기 가열기를 작동시킴으로써, 상기 4개의 탄성부재가 원래의 형상을 가져 상기 한 쌍의 투명패널의 중앙영역 사이에 간극이 생겨 기판패널이 안착되고,
기판패널이 상기 한 쌍의 투명패널의 중앙영역의 사이에 안착된 경우 상기 제어부에서 상기 카메라로부터 인식된 안착 정보를 수신하여 상기 냉각기를 작동시킴으로써, 상기 4개의 탄성부재가 상호 동일한 간격으로 수축되어 상기 한 쌍의 투명패널의 중앙영역이 기판패널을 밀착시켜 고정하고,
상기 노광기에 의해 기판패널의 노광이 완료되어 기판패널이 상기 한 쌍의 투명패널 사이에서 배출 시 상기 제어부는 상기 카메라로부터 인식된 배출 정보를 수신하여 상기 가열기를 작동시킴으로써, 상기 4개의 탄성부재가 원래의 형상을 가져 상기 한 쌍의 투명패널의 중앙영역의 사이에 간극이 생겨 기판패널이 배출되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
A pair of transparent panels on which the substrate panel is seated;
A camera that senses the point at which the substrate panel enters, settles, and is discharged into the pair of transparent panels and detects a reference point;
Exposure machines respectively disposed above and below the pair of transparent panels for scanning the substrate panel;
four elastic members disposed between the pair of transparent panels and made of a shape memory alloy;
a heater for heating the elastic member and a cooler for cooling; and
The gap between the pair of transparent panels is adjusted by controlling the heater and the cooler at the time of entry, seating, and discharge of the substrate panel sensed by the camera, and the location of the reference point of the detected substrate panel and the substrate set in advance. A control unit controlling the exposure machine so that the positions of the panels are matched;
The pair of transparent panels are in the form of a square plate, and are tightly coupled at the upper and lower surfaces around the substrate panel, and the edge area except for the central area where the substrate panel is disposed and the exposure process proceeds and the area where the substrate panel is disposed are It is composed of translucent or opaque, and the four elastic members are disposed in a one-to-one correspondence at the four corners of the edge area,
The central region of the upper transparent panel of the pair of transparent panels is thicker than the edge region of the upper transparent panel of the pair of transparent panels to have a step below, and the central region of the lower transparent panel of the pair of transparent panels is formed thickly so as to have a step above the edge region of the upper transparent panel of the pair of transparent panels,
The four elastic members are bidirectional shape memory alloy springs that contract when cooled and return to their original shape when heated,
When the substrate panel starts to enter between the pair of transparent panels, the controller receives entry information recognized from the camera and operates the heater, so that the four elastic members have their original shapes and A gap is created between the central regions, and the substrate panel is seated,
When the substrate panel is seated between the central regions of the pair of transparent panels, the control unit receives seating information recognized from the camera and operates the cooler so that the four elastic members are contracted at equal intervals, The central region of the pair of transparent panels adheres to and fixes the substrate panel,
When the exposure of the substrate panel is completed by the exposure machine and the substrate panel is discharged from between the pair of transparent panels, the control unit receives the discharge information recognized from the camera and operates the heater, so that the four elastic members are originally An exposure apparatus characterized in that a gap is formed between the central regions of the pair of transparent panels and the substrate panel is discharged.
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