KR102450073B1

KR102450073B1 - Joint

Info

Publication number: KR102450073B1
Application number: KR1020150150136A
Authority: KR
Inventors: 도모히로 나카타; 츠토무 시노하라; 미치오 야마지
Original assignee: 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2014-10-29
Filing date: 2015-10-28
Publication date: 2022-10-04
Anticipated expiration: 2035-10-28
Also published as: TW201625869A; TWI678492B; CN105570576B; CN105570576A; JP6468801B2; KR20160052355A; JP2016084926A

Abstract

조인트 부재(2, 3)는, 내주가 통로가 되는 원통형의 슬리브(11)와, 이것과는 별도의 부재인 플랜지(12)로 이루어진다. 플랜지(12)의 중앙부에 형성된 관통 구멍(12a)에, 슬리브(11)의 일단부가 삽입되어 있다. 플랜지(12)에, 플랜지(12)의 측면으로부터 관통 구멍(12a)의 외주로 통하는 절결(17)이 형성되어 있다.The joint members 2 and 3 consist of a cylindrical sleeve 11 serving as a passage on the inner periphery, and a flange 12 as a separate member. One end of the sleeve 11 is inserted into the through hole 12a formed in the central portion of the flange 12 . In the flange 12 , a cutout 17 is formed from the side surface of the flange 12 to the outer periphery of the through hole 12a.

Description

joint{JOINT}

본 발명은, 플랜지식 파이프 조인트 등의 조인트에 관한 것이다.The present invention relates to a joint such as a flanged pipe joint.

조인트로서, 서로 연통하는 유체 통로를 갖고 있는 제1 및 제2 조인트 부재와, 양 조인트 부재의 맞댐 단부면 사이에 개재되는 시일 부재와, 양 조인트 부재를 결합하는 나사 수단을 구비하고 있는 것은, 잘 알려져 있다.A joint comprising first and second joint members having a fluid passage communicating with each other, a seal member interposed between the butt end surfaces of both joint members, and screw means for engaging both joint members, is known

이러한 조인트 중 플랜지식 파이프 조인트라고 불리고 있는 것은, 각 조인트 부재가 슬리브와 플랜지로 구성되어 있고, 플랜지끼리가 복수의 볼트로 결합됨으로써 조인트 부재끼리가 결합된다. 이러한 플랜지식 파이프 조인트에서는, 어느 한쪽의 플랜지에 나사 구멍을 형성하여, 볼트만을 사용하여 결합되는 것(특허문헌 1)이 있다.In what is called a flanged pipe joint among these joints, each joint member is composed of a sleeve and a flange, and the flanges are joined by a plurality of bolts, whereby the joint members are joined to each other. In such a flanged pipe joint, there is a case in which a screw hole is formed in one of the flanges and is joined using only bolts (Patent Document 1).

또한, 집적화 유체 제어 장치라고 불리고 있는 유체 제어 장치에서는, 플랜지식의 파이프 조인트와 유사한 조인트 구조가 사용되고 있다. 예컨대, 특허문헌 2의 도 3에는, 도면 부호 24, 31이 붙여진 블록형 조인트(제1 조인트 부재)와 도면 부호 21, 26이 붙여진 본체(제2 조인트 부재)가 볼트를 사용하여 결합되어 있는 조인트가 개시되어 있다. 이 종류의 유체 제어 장치는, 반도체의 제조 장치에서 사용되기 때문에, 조인트에는, 파티클이 되는 미립자의 발생이 없는 것이나 시일성이 저하되지 않는 것에 대하여, 매우 높은 레벨이 요구되고 있다.Also, in a fluid control device called an integrated fluid control device, a joint structure similar to that of a flanged pipe joint is used. For example, in Fig. 3 of Patent Document 2, a block type joint (first joint member) denoted by reference numerals 24 and 31 and a body (second joint member) denoted by reference numerals 21 and 26 (second joint member) are joined using bolts. is disclosed. Since this type of fluid control device is used in a semiconductor manufacturing apparatus, a very high level is required for the joint to not generate fine particles as particles or to prevent deterioration of sealing properties.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2013-68268호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Laid-Open No. 2013-68268 [특허문헌 2] 일본 특허 공개 제2002-89798호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Laid-Open No. 2002-89798

상기 종래의 조인트에 있어서, 볼트를 체결했을 때에 플랜지에 발생하는 굽힘 응력에 의해, 플랜지의 일부가 변형되어, 외측으로 융기되어 버린다고 하는 현상이 발생하는 경우가 있다. 융기 부분은, 미립자의 발생이나 시일성 저하의 원인이 된다.In the above-mentioned conventional joint, a phenomenon in which a part of the flange is deformed and protrudes outward may occur due to the bending stress generated in the flange when the bolt is tightened. A raised part causes generation|occurrence|production of microparticles|fine-particles and a sealing property fall.

본 발명의 목적은, 굽힘 응력이 발생하여도 플랜지에 융기 부분이 발생하는 일이 없는 조인트를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a joint in which no ridges are generated in the flange even when bending stress occurs.

본 발명에 따른 조인트는, 서로 연통하는 유체 통로를 갖고 있는 제1 및 제2 조인트 부재와, 양 조인트 부재의 맞댐 단부면 사이에 개재되는 시일 부재와, 양 조인트 부재를 결합하는 수단을 포함하는 조인트에 있어서, 적어도 한쪽의 조인트 부재는, 내주가 통로가 되는 슬리브와, 이것과는 별도의 부재인 플랜지로 이루어지며, 플랜지의 중앙부에 형성된 관통 구멍에 슬리브의 일단부가 삽입되어 있고, 플랜지에 플랜지의 측면으로부터 관통 구멍의 외주로 통하는 절결이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.A joint according to the present invention is a joint comprising first and second joint members having a fluid passage communicating with each other, a seal member interposed between abutting end surfaces of both joint members, and means for engaging both joint members. In the present invention, at least one joint member includes a sleeve serving as an inner circumferential passage, and a flange, which is a member separate from this, and one end of the sleeve is inserted into a through hole formed in the center of the flange, and the flange is connected to the flange. It is characterized in that a notch leading from the side to the outer periphery of the through hole is formed.

절결은 플랜지의 형상에 따라 적절한 지점에 1개 또는 복수(바람직하게는 복수) 형성된다. 플랜지가 직방체형인 경우, 절결은, 예컨대, 길이가 긴 쪽의 2개의 면에 1개씩 형성된다.One or more (preferably plural) cutouts are formed at appropriate points according to the shape of the flange. When the flange is a rectangular parallelepiped, cutouts are formed, for example, one by one on the two surfaces of the longer side.

결합하는 수단으로는, 예컨대 볼트를 사용한다. 볼트는, 축부의 거의 전체 길이에 걸쳐 수나사가 형성되어 있는 시판되고 있는 것이라도 좋지만, 선단 부분에 수나사가 형성되고 나머지 부분에는 수나사가 형성되어 있지 않은 축부를 갖고 있는 것으로 되는 경우가 있다.As the coupling means, for example, a bolt is used. The bolt may be a commercially available bolt in which an external thread is formed over substantially the entire length of the shaft. However, there are cases where the bolt has a shaft portion in which an external thread is formed in the tip portion and no external thread is formed in the remaining portion.

제1 실시형태로서, 제1 및 제2 조인트 부재는, 모두, 슬리브 및 이것과는 별도의 부재인 플랜지로 이루어지는 경우가 있고, 이 경우, 각 조인트 부재에 볼트가 삽입되는 구멍으로서, 맞댐 단부면측의 축 삽통 구멍 및 이것에 이어져 반(反)맞댐 단부면까지 연장되는 나사 구멍이 형성되어 있고, 볼트는 선단 부분에 수나사가 형성되고 나머지 부분에는 수나사가 형성되어 있지 않은 축부를 갖고 있는 것으로 되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 종래에는 상이한 형상으로 되어 있던 2개의 조인트 부재를 동일 형상으로 할 수 있다.In the first embodiment, the first and second joint members may both consist of a sleeve and a flange which is a member separate from this, and in this case, a hole into which a bolt is inserted into each joint member, and a butt end face A shaft insertion hole on the side and a screw hole extending to the anti-butting end surface are formed, and the bolt has a shaft portion with an external thread formed on the tip and no external thread formed on the other portion. it is preferable Thereby, the two joint members which were conventionally made into different shapes can be made into the same shape.

이 제1 실시형태의 조인트는, 예컨대 플랜지식 파이프 조인트에 적용되지만, 이것에 한정되지 않고, 2개의 부재를 접합하는 용도에 다양하게 적용할 수 있다.Although the joint of this 1st Embodiment is applied, for example to a flange type pipe joint, it is not limited to this, It can apply variously to the use for joining two members.

제2 실시형태로서, 제1 및 제2 조인트 부재는 한쪽이 2개의 부재(슬리브 및 플랜지)로 이루어지고 다른 쪽이 하나의 부재로 이루어지는 경우가 있다. 이 경우, 2개의 부재로 이루어진 조인트 부재는 제1 실시형태의 조인트 부재와 동일한 형상인 것이 바람직하다. 하나의 부재로 이루어진 조인트 부재에는, 적어도 나사 구멍이 형성되고, 절결은 형성되어도 좋고 형성되어 있지 않아도 좋다.As the second embodiment, there is a case where one of the first and second joint members is composed of two members (sleeve and flange) and the other is composed of one member. In this case, it is preferable that the joint member which consists of two members has the same shape as the joint member of 1st Embodiment. At least a screw hole is formed in the joint member which consists of one member, and a notch may or may not be formed.

이 제2 실시형태의 조인트는, 예컨대 집적화 유체 제어 장치라고 불리고 있는 반도체 제조 장치용 유체 제어 장치에 적용되지만, 이것에 한정되지 않고, 2개의 부재를 접합하는 용도에 다양하게 적용할 수 있다.The joint of the second embodiment is applied to, for example, a fluid control device for a semiconductor manufacturing apparatus called an integrated fluid control device, but is not limited to this, and can be applied to various applications for joining two members.

본 발명의 조인트에 따르면, 플랜지의 중앙부에 형성된 관통 구멍에 슬리브의 일단부가 삽입되어 있고, 플랜지에 관통 구멍의 외주로 통하는 적어도 하나의 절결이 형성되어 있기 때문에, 볼트 체결시에 발생하는 굽힘 응력에 대하여, 플랜지에 융기 부분이 발생하는 일이 없게 된다. 이에 따라, 조인트 부재끼리의 맞댐 부분에서의 미립자의 발생 원인이 없어지고, 또한, 플랜지의 탄성이 증가함으로써, 볼트의 느슨함이 방지되며, 시일성의 저하 원인도 없어진다.According to the joint of the present invention, one end of the sleeve is inserted into the through hole formed in the central portion of the flange, and at least one cutout leading to the outer periphery of the through hole is formed in the flange, so that the bending stress generated at the time of bolting is reduced. On the other hand, there is no occurrence of a raised portion on the flange. Thereby, the cause of the generation of fine particles in the butt portion of the joint members is eliminated, and by increasing the elasticity of the flange, loosening of the bolt is prevented, and the cause of deterioration of the sealing property is also eliminated.

도 1은 본 발명에 따른 조인트의 제1 실시형태를 도시한 종단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 조인트에 사용되고 있는 플랜지를 도시한 종단면도이다.
도 3은 플랜지의 변형예를 도시한 종단면도이다.
도 4는 플랜지의 다른 변형예를 도시한 종단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 조인트의 제2 실시형태를 도시한 종단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 조인트에 작용하는 힘을 설명한 종단면도이다.1 is a longitudinal sectional view showing a first embodiment of a joint according to the present invention;
2 is a longitudinal sectional view showing a flange used in a joint according to the present invention.
3 is a longitudinal sectional view showing a modified example of the flange.
4 is a longitudinal sectional view showing another modified example of the flange.
Fig. 5 is a longitudinal sectional view showing a second embodiment of the joint according to the present invention;
6 is a longitudinal cross-sectional view illustrating a force acting on a joint according to the present invention.

본 발명의 실시형태를, 이하 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment of this invention is described below with reference to drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 조인트의 제1 실시형태를 나타내고 있고, 조인트(1)는, 서로 연통하는 유체 통로를 갖고 있는 제1 및 제2 조인트 부재(2, 3)와, 양 조인트 부재(2, 3) 사이에 개재된 원환형 개스킷(4)과, 양 조인트 부재(2, 3)를 결합하는 복수(1개 또는 복수)의 볼트(5)를 구비하고 있다.1 and 2 show a first embodiment of a joint according to the present invention, the joint 1 comprising first and second joint members 2 and 3 having fluid passages communicating with each other, both joints A ring-shaped gasket 4 interposed between the members 2 and 3, and a plurality of (one or multiple) bolts 5 for coupling both the joint members 2 and 3 are provided.

각 조인트 부재(2, 3)는, 내주가 유체 통로가 되는 원통형의 슬리브(11)와, 이것과는 별도의 부재인 직방체 블록형 플랜지(12)로 이루어지고, 맞대어지는 슬리브(11)끼리 및 플랜지(12)끼리가 모두 동일 형상으로 되어 있다.Each joint member (2, 3) is composed of a cylindrical sleeve (11) whose inner periphery serves as a fluid passage, and a rectangular parallelepiped block-type flange (12) which is a separate member from this, and the sleeves (11) facing each other and All the flanges 12 comrades have the same shape.

개스킷(4)은 리테이너(6)에 유지되어 있고, 리테이너(6)는 단면 원형의 금속제 선재가 C형으로 형성된 스냅링(7)에 의해 제2(도면에서는 하측에 나타냄) 조인트 부재(3)에 유지되어 있다.The gasket 4 is held by the retainer 6, and the retainer 6 is attached to the second (shown below in the drawing) joint member 3 by a snap ring 7 in which a metal wire having a circular cross section is formed in a C shape. has been maintained

각 볼트(5)는, 육각 구멍이 형성된 헤드부(13)와, 축부(14)로 이루어지고, 축부(14)는, 선단 부분에 수나사(14a)가 형성되고 나머지 부분(14b)에는 수나사가 형성되어 있지 않은 것으로 되어 있다.Each bolt 5 is composed of a head portion 13 having a hexagonal hole formed therein, and a shaft portion 14, and the shaft portion 14 has an external thread 14a formed at its distal end and an external thread 14b at the remaining portion 14b. is not formed.

각 조인트 부재(2, 3)의 슬리브(11)는 서로 맞대어져 있고, 그 맞댐 단부의 외주에는 플랜지부(11a)가 설치되며, 맞댐 단부면에는 개스킷(4) 및 리테이너(5)를 수용하기 위한 오목부(11b)가 형성되어 있다.The sleeve 11 of each joint member 2, 3 is abutted against each other, and a flange portion 11a is provided on the outer periphery of the butt end thereof, and the butt end face receives the gasket 4 and the retainer 5 A concave portion 11b is formed for

각 조인트 부재(2, 3)의 플랜지(12)는, 슬리브(11)에 삽입 관통되는 관통 구멍(12a)을 가지며, 슬리브(11)에 끼워 맞춰진 상태에서 서로 맞대어져 있다. 플랜지(12)의 맞댐 단부의 내주에는, 슬리브(11)의 플랜지부(11a)가 끼워 넣어져 있는 오목부(12b)가 관통 구멍(12a)의 맞댐 단부로 이어지도록 형성되어 있다. 플랜지(12)의 맞댐 단부에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 길이가 긴 쪽의 각 측면으로부터 오목부(12b)의 외주로 통하는 절결(17)이 형성되어 있다. 절결(17)은, 플랜지(12)의 길이가 긴 쪽의 측면측에서 보아, 사각형으로 되어 있다.The flanges 12 of the respective joint members 2 and 3 have a through hole 12a inserted through the sleeve 11 and are buttted to each other in a state fitted to the sleeve 11 . On the inner periphery of the butt end of the flange 12 , a recess 12b into which the flange portion 11a of the sleeve 11 is fitted is formed so as to lead to the butt end of the through hole 12a . In the butt end of the flange 12, as shown in Fig. 2, a cutout 17 leading from each side surface of the longer side to the outer periphery of the concave portion 12b is formed. The cutout 17 has a rectangular shape when viewed from the side of the longer flange 12 .

플랜지(12)에는, 볼트(5)가 삽입되는 구멍으로서, 맞댐 단부면측의 축 삽통 구멍(15) 및 이것에 이어져 반맞댐 단부면까지 연장되는 나사 구멍(16)이 형성되어 있다. 축 삽통 구멍(15)의 길이와 나사 구멍(16)의 길이는 거의 동일하게 되어 있다. 볼트(5)의 길이는 축 삽통 구멍(15)의 길이+나사 구멍(16)의 길이의 대략 2배로 되고, 볼트(5)의 수나사(14a)의 길이는 나사 구멍(16)의 길이와 대략 같게 되어 있다. 축 삽통 구멍(15) 및 나사 구멍(16)의 길이는 사용 조건 등에 따라 자유롭게 변경할 수 있는 것은 물론이다.In the flange 12, as a hole into which the bolt 5 is inserted, a shaft insertion hole 15 on the side of the butt end face and a screw hole 16 connected thereto and extending to a semi-butted end face are formed. The length of the shaft insertion hole 15 and the length of the screw hole 16 are substantially the same. The length of the bolt 5 is approximately twice the length of the shaft insertion hole 15 + the length of the screw hole 16, and the length of the male screw 14a of the bolt 5 is approximately equal to the length of the screw hole 16 is made the same It goes without saying that the length of the shaft insertion hole 15 and the screw hole 16 can be freely changed according to the conditions of use and the like.

상기한 조인트(1)에 따르면, 동일한 플랜지(I2)가 양 조인트 부재(2, 3)의 구성 부재로서 사용되고 있고, 이에 따라, 부품 종류수의 저감이 도모되고 있다. 플랜지(12)의 방향은 규정할 필요가 있으며, 한 쌍의 플랜지(12)는, 맞댐 단부면측에 축 삽통 구멍(15)이 반맞댐 단부면측에 나사 구멍(16)이 있는 대향 형상의 배치가 된다.According to the joint 1 described above, the same flange I2 is used as a constituent member of both the joint members 2 and 3, thereby reducing the number of types of parts. It is necessary to define the direction of the flanges 12, and the pair of flanges 12 have a shaft insertion hole 15 on the butt end face side and a screw hole 16 on the semi-butt end face side. will be placed

상기한 조인트(1)의 조립에 있어서는, 제1 조인트 부재(2)의 반맞댐 단부면측(도면의 상측)으로부터 볼트(5)를 플랜지(12)의 나사 구멍(16)에 맞추어 조여 나감으로써, 볼트(5)는, 그 수나사부(14a)가 나사 구멍(16)을 통과하고, 제1 조인트 부재(2)에 대한 축 방향의 이동이 자유로워진다. 따라서, 이 상태에 있어서, 제2 조인트 부재(3)의 플랜지(12)의 나사 구멍(16)에 맞댐 단부면측으로부터 볼트(5)를 맞추어 조여 나가는 것이 가능하고, 이 조작에 의해, 각 조인트 부재(2, 3)의 플랜지(12, 12)끼리가 결합된다. 이것에 따라, 양 플랜지(12, 12)의 맞댐 단부의 오목부(12b)에 슬리브(11)의 플랜지부(1la)가 끼워 넣어지고, 이 상태로부터 볼트(5)를 더 체결하여 나가면, 슬리브(11, 11)끼리가 접근되어, 슬리브(11, 11) 사이에 배치된 개스킷(4)이 변형하여 소요의 시일 효과가 발휘된다.In assembling the joint 1 described above, by tightening the bolt 5 from the half-butting end face side (upper side in the drawing) of the first joint member 2 to the screw hole 16 of the flange 12 . , as for the bolt 5 , the male threaded portion 14a passes through the screw hole 16 , and movement in the axial direction with respect to the first joint member 2 becomes free. Therefore, in this state, it is possible to align and tighten the bolt 5 from the butt end face side to the screw hole 16 of the flange 12 of the second joint member 3, and by this operation, each joint The flanges 12 and 12 of the members 2 and 3 are engaged. As a result, the flange portion 11a of the sleeve 11 is fitted into the recessed portion 12b of the butt end of both flanges 12 and 12, and from this state, when the bolts 5 are further tightened, the sleeve (11, 11) approach each other, and the gasket 4 arrange|positioned between the sleeves 11 and 11 deform|transforms, and a required sealing effect is exhibited.

여기서, 슬리브(11) 및 플랜지(12)의 각각의 치수가 공차 범위이더라도, 슬리브(11)나 개스킷(4)이 큰 쪽으로 편차가 나면, 볼트(5)를 체결했을 때, 슬리브(11)와 플랜지(12)의 접촉부를 기점으로, 도 6에 화살표 A로 나타내는 굽힘 응력이 발생한다. 이 때, 플랜지(12) 하부의 중앙 부분에 굽힘 응력에 따른 응력이 집중하기 때문에, 플랜지(12)의 관통 구멍(12a)의 주연부가 변형되어 버리고, 외측으로 융기되어 버린다고 하는 현상이 일어날 수 있다. 이 융기 부분은, 진동 등에 의해 탈락되어 버리기 때문에, 개스킷(4)에 의해 시일되어 있는 부분에 끼어 누설의 원인이 되거나, 조인트(1) 내부를 지나 반도체 제조 장치에 도달하여, 제품 불량의 원인이 되거나 한다. 또한, 탈락한 부분도 포함시켜 굽힘 응력을 받고 있던 상태였던 것이, 융기 부분이 탈락함으로써, 응력이 가해지는 방향이 변화되어, 융기 부분에도 응력이 가해진 상태에서 체결을 완료시키게 되기 때문에, 융기 부분이 누락되면, 그 부분의 응력 밸런스가 무너져, 도 6에 화살표 B로 나타내는 축력이 약해지고, 따라서, 개스킷(4)을 압착시키는 힘이 약해져, 누설 발생 원인이 되기도 한다. 또한, 축력의 저하에 따라, 도 6에 화살표 C로 나타내는 바와 같이 볼트(5) 가 느슨해질 가능성도 있다.Here, even if the dimensions of the sleeve 11 and the flange 12 are within the tolerance range, if the sleeve 11 or the gasket 4 deviates to a large side, when the bolt 5 is tightened, the sleeve 11 and A bending stress indicated by an arrow A in Fig. 6 is generated from the contact portion of the flange 12 as a starting point. At this time, since the stress corresponding to the bending stress is concentrated in the central portion of the lower portion of the flange 12, a phenomenon that the peripheral portion of the through hole 12a of the flange 12 is deformed and protrudes outward may occur. . Since this raised part falls off by vibration etc., it gets caught in the part sealed by the gasket 4, and it becomes a cause of leakage, or it passes through the inside of the joint 1 and reaches the semiconductor manufacturing apparatus, and it is a cause of product defect. become or do In addition, what was in a state that was subjected to bending stress including the dropped portion, when the raised portion falls off, the direction in which the stress is applied changes, and the tightening is completed in a state in which stress is also applied to the raised portion, so the raised portion is If it is omitted, the stress balance of that part will collapse, and the axial force shown by arrow B in FIG. 6 will become weak, and therefore the force which presses the gasket 4 will become weak, and it may become a cause of leakage. In addition, as the axial force decreases, the bolt 5 may become loose as indicated by the arrow C in FIG. 6 .

상기 제1 실시형태의 조인트(1)에 의하면, 플랜지(12)의 맞댐 단부에는, 도 2에 도시된 바와 같이, 측면으로부터 오목부(12b)의 외주로 통하는 절결(17)이 형성되어 있고, 이 절결(17)은, 융기 부분이 발생하기 쉬운 지점에 형성되어 있다. 따라서, 도 6에 화살표 A로 나타내는 굽힘 응력이 발생하여도, 플랜지(12)에는 도 6에 화살표 D 및 E로 나타내는 탄성력이 생겨, 융기 부분은 발생하지 않는다. 융기 부분이 발생하지 않음으로써, 미립자의 탈락 등도 발생하지 않고, 볼트(5)의 체결력이 약해지는 일도 없다. 또한, 플랜지(12)가 탄성을 갖고 있음으로써, 볼트(5)의 느슨함을 방지할 수 있어, 와셔나 스프링 와셔 등을 사용하지 않아도 좋다.According to the joint 1 of the first embodiment, at the butt end of the flange 12, as shown in FIG. 2, a cutout 17 leading from the side surface to the outer periphery of the concave portion 12b is formed, This notch 17 is formed at the point where a raised part is easy to generate|occur|produce. Therefore, even if the bending stress indicated by the arrow A in Fig. 6 is generated, the elastic force indicated by the arrows D and E in Fig. 6 is generated in the flange 12, and the protruding portion is not generated. By not generating the raised portion, the drop-off of the fine particles does not occur, and the fastening force of the bolt 5 is not weakened. Moreover, since the flange 12 has elasticity, loosening of the bolt 5 can be prevented, and a washer, a spring washer, etc. do not need to be used.

상기에 있어서, 볼트(5)는, 상측의 (제1) 조인트 부재(2)로부터 조여지고 있지만, 아래쪽의 (제2) 조인트 부재(2)로부터 조일 수도 있다. 또한, 플랜지(12)의 외주면 형상은, 사각형 이외의 다각형(예컨대, 육각형)이라도 좋고, 원형이라도 좋다.In the above description, the bolts 5 are tightened from the upper (first) joint member 2, but may be tightened from the lower (second) joint member 2 . In addition, the shape of the outer peripheral surface of the flange 12 may be a polygon (for example, a hexagon) other than a quadrangle, and a circular shape may be sufficient as it.

도 3에 도시된 바와 같이, 플랜지(12)에는, 볼트(5)의 헤드부(13)를 넣기 위한 스폿 페이싱(18)을 마련하도록 하여도 좋다. 이와 같이 함으로써, 볼트(5)의 헤드부(13)를 플랜지(12)의 상면과 거의 동일하거나 낮게 할 수 있어, 조인트(1)의 높이를 억제할 수 있다.As shown in FIG. 3 , the flange 12 may be provided with a spot facing 18 for inserting the head portion 13 of the bolt 5 . By doing in this way, the head part 13 of the bolt 5 can be made substantially equal to or lower than the upper surface of the flange 12, and the height of the joint 1 can be suppressed.

절결(17)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 길이가 긴 쪽의 측면측에서 보아 사각형으로 하는 것 이외에, 삼각형이나 원형 또는 반원형 등으로 하여도 좋다. 절결(17)을 길이가 긴 쪽의 측면측에서 보아 삼각형으로 하는 경우, 삼각형의 예각 부분에서 균열이 생기지 않도록, 도 4에 도시된 바와 같이, 절결(19)에 리세스부((recess part; 19a)를 형성하는 것이 바람직하다. 리세스부는, 사각형의 절결(17)에도 형성하도록 하여도 좋다.As shown in FIG. 2, the cutout 17 may be triangular, circular, semicircular, or the like, in addition to having a rectangular shape when viewed from the side of the longer side. When the cutout 17 is made into a triangle when viewed from the side of the longer side, as shown in FIG. 4 , a recess part (recess part; It is preferable to form 19a) The recessed part may be made to be formed also in the square cutout 17. As shown in FIG.

상기에 있어서, 각 부재의 형상에 대해서는 다양한 변경이 가능하다. 즉, 상기한 조인트(1)는, 플랜지(12) 및 볼트(5)를 사용하여 결합하는 다양한 용도에 적용할 수 있다.In the above, various changes are possible with respect to the shape of each member. That is, the joint (1) described above can be applied to various uses for coupling using the flange (12) and the bolt (5).

도 5는 본 발명에 따른 조인트의 제2 실시형태를 나타내고 있고, 조인트(10)는, 서로 연통하는 유체 통로를 갖고 있는 제1 및 제2 조인트 부재(2, 21)와, 양 조인트 부재(2, 21) 사이에 개재된 원환형 개스킷(4)과, 양 조인트 부재(2, 21)를 결합하는 복수(1개 또는 복수)의 볼트(22)를 구비하고 있다.Fig. 5 shows a second embodiment of a joint according to the present invention, wherein the joint 10 comprises first and second joint members 2 and 21 having fluid passages communicating with each other, and both joint members 2 , 21 , and a plurality of (one or more) bolts 22 for coupling both joint members 2 and 21 to each other.

제1 조인트 부재(2)는 제1 실시형태의 것과 동일한 형상으로 되어 있다. 또한, 개스킷(4), 리테이너(6) 및 스냅링(7)도 제1 실시형태의 것과 동일하며, 이들 구성에 대해서는, 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.The first joint member 2 has the same shape as that of the first embodiment. In addition, the gasket 4, the retainer 6, and the snap ring 7 are also the same as that of 1st Embodiment, About these structures, the same code|symbol is attached|subjected and the description is abbreviate|omitted.

제2 조인트 부재(21)는 블록형의 하나의 부품으로 이루어지고, 그 중앙부에, 슬리브(11) 내의 통로로 연통되는 관통 구멍(23)이 형성되어 있다. 제2 조인트 부재(21)에는, 또한, 슬리브(11)의 오목부(11b)와 동일 형상이며, 개스킷(4) 및 리테이너(5)를 수용하기 위한 오목부(24)가, 관통 구멍(23)의 맞댐 단부의 가장자리부에 형성되어 있다. 제2 조인트 부재(21)에는, 좌우 가장자리부를 관통하도록 좌우의 암나사부(25)가 더 형성되어 있다.The second joint member 21 is made of a single block-shaped part, and a through hole 23 communicating with a passage in the sleeve 11 is formed in its central portion. The second joint member 21 has a concave portion 24 having the same shape as the concave portion 11b of the sleeve 11 , and a concave portion 24 for accommodating the gasket 4 and the retainer 5 , the through hole 23 ) is formed on the edge of the butt end. The second joint member 21 is further provided with left and right female screw portions 25 so as to penetrate the left and right edge portions.

각 볼트(22)는, 육각 구멍이 형성된 헤드부(26)와, 축부(27)로 이루어지고, 축부(27)는, 선단 부분에 수나사(27a)가 형성되고 나머지 부분(27b)에는 수나사가 형성되어 있지 않은 것으로 되어 있다.Each bolt 22 is composed of a head portion 26 having a hexagonal hole formed therein, and a shaft portion 27, and the shaft portion 27 has an external thread 27a formed at its distal end and an external thread 27b at the remaining portion 27b. is not formed.

상기 조인트(10)에 따르면, 제1 실시형태의 것과 마찬가지로, 제1 조인트 부재(2)의 플랜지(12)의 맞댐 단부에 절결(17)이 형성되어 있음으로써, 굽힘 응력이 발생하여도 융기 부분이 발생하지 않기 때문에, 미립자의 탈락 등도 발생하지 않고, 볼트(5)의 체결력이 약해지는 일도 없다. 또한, 볼트(5)의 느슨함을 방지할 수 있어, 와셔나 스프링 와셔 등을 사용하지 않아도 된다.According to the joint 10, the notch 17 is formed in the butt end of the flange 12 of the first joint member 2 similarly to that of the first embodiment, so that even if a bending stress occurs, the raised portion Since this does not generate|occur|produce, the drop-off|omission of microparticles|fine-particles etc. does not generate|occur|produce, and the fastening force of the bolt 5 does not become weak. In addition, loosening of the bolts 5 can be prevented, and there is no need to use a washer, a spring washer, or the like.

또한, 제2 조인트 부재(21)에 대해서도 상기한 절결(17)을 형성하여도 좋고, 또한, 제2 조인트 부재(21)의 두께가 커서, 제1 조인트 부재(2)에 비해 융기 부분이 쉽게 발생하지 않는 경우에는, 제2 조인트 부재(21)에 대한 절결(17)은, 생략하도록 하여도 좋다.In addition, the above-described cutout 17 may be formed on the second joint member 21 as well, and the thickness of the second joint member 21 is large, so that the protruding portion is easier than that of the first joint member 2 . When it does not generate|occur|produce, you may make it abbreviate|omit the cutout 17 with respect to the 2nd joint member 21. As shown in FIG.

본 발명의 조인트에 따르면, 미립자의 발생이나 시일성의 저하를 억제할 수 있기 때문에, 이 조인트를 사용하는 반도체 제조 장치의 성능 향상에 기여할 수 있다.According to the joint of the present invention, since generation of fine particles and a decrease in sealing properties can be suppressed, it is possible to contribute to the improvement of the performance of a semiconductor manufacturing apparatus using the joint.

1, 10 : 조인트, 2, 3 : 조인트 부재, 4 : 개스킷, 5 : 볼트, 11 : 슬리브, 12 : 플랜지, 12a : 관통 구멍, 14 : 축부, 14a : 수나사, 14b : 나머지 부분, 15 : 축 삽통 구멍, 16 : 나사 구멍, 17, 19 : 절결, 19a : 리세스부, 21 : 조인트 부재1, 10: joint, 2, 3: joint member, 4: gasket, 5: bolt, 11: sleeve, 12: flange, 12a: through hole, 14: shaft, 14a: male thread, 14b: rest, 15: shaft Insertion hole, 16: screw hole, 17, 19: cutout, 19a: recess, 21: joint member

Claims

A joint comprising: first and second joint members having a fluid passage communicating with each other; a seal member interposed between abutting end surfaces of both joint members; and means for engaging both joint members,
At least one joint member consists of a sleeve serving as an inner circumferential passage, and a flange which is a separate member from this,
One end of the sleeve is inserted into the through hole formed in the central portion of the flange, and a cutout leading from the side surface of the flange to the outer periphery of the through hole is formed in the flange,
A joint characterized in that a recess is formed in the cutout.

The joint according to claim 1, wherein the cutout has any one of a quadrangle, a triangular and a semicircular shape when viewed from the side of the flange.

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