KR102433880B1

KR102433880B1 - Gate valve

Info

Publication number: KR102433880B1
Application number: KR1020200118838A
Authority: KR
Inventors: 김배진; 김강현; 박광묵; 이동호
Original assignee: 프리시스 주식회사
Priority date: 2020-04-14
Filing date: 2020-09-16
Publication date: 2022-08-18
Anticipated expiration: 2040-09-16
Also published as: KR20210127585A

Abstract

본 발명은 반도체 공정 챔버의 슬릿에 인접하게 설치되는 하우징; 상기 하우징의 내부에 설치되되, 일 측이 상기 하우징의 외부로 인출되도록 설치되는 이동 축; 상기 이동 축에 연결 설치되어 상기 이동 축을 이동시키는 이동 유닛; 및 상기 이동 축의 상기 일 측에 설치되어 상기 반도체 공정 챔버의 슬릿 입구 인근에 배치되며, 상기 이동 축의 이동에 따라 상기 슬릿 입구와 접촉 또는 접촉 해제되어 상기 슬릿을 개폐하는 개폐 부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 챔버의 슬릿을 개폐하는 개폐 부재를 슬릿 입구에 대응되는 형상으로 형성시키고, 이동 유닛에 의해 개폐 부재를 다 방향으로 이동시켜 슬릿을 개폐함으로써, 게이트 밸브를 경사지게 형성시키지 않더라도 경사진 슬릿 입구를 개방 또는 폐쇄할 수 있는 효과가 있다.The present invention provides a housing installed adjacent to a slit of a semiconductor processing chamber; a moving shaft installed inside the housing, one side of which is drawn out of the housing; a moving unit connected to the moving shaft to move the moving shaft; and an opening/closing member installed on the one side of the moving shaft and disposed near the slit inlet of the semiconductor process chamber and contacting or releasing contact with the slit inlet according to the movement of the moving shaft to open and close the slit. do it with
According to the present invention, the opening and closing member for opening and closing the slit of the chamber is formed in a shape corresponding to the slit inlet, and by moving the opening and closing member in multiple directions by the moving unit to open and close the slit, the gate valve is inclined even if it is not formed inclined. There is an effect that can open or close the slit entrance.

Description

gate valve {GATE VALVE}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 챔버의 슬릿을 개폐하는 개폐 부재를 슬릿 입구에 대응되는 형상으로 형성시키고, 이동 유닛에 의해 개폐 부재를 다 방향으로 이동시켜 슬릿을 개폐함으로써, 게이트 밸브를 경사지게 형성시키지 않더라도 경사진 슬릿 입구를 개방 또는 폐쇄할 수 있는 게이트 밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve, and more particularly, by forming an opening/closing member for opening and closing a slit of a chamber in a shape corresponding to the slit inlet, and moving the opening/closing member in multiple directions by a moving unit to open and close the slit, It relates to a gate valve capable of opening or closing an inclined slit inlet without forming the valve inclined.

일반적으로 반도체 제조공정은 현상, 식각, 확산, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정을 반복 수행함으로써 이루어지게 된다. 이들 각 공정은 설계 상태에 적합하도록 반도체를 제작하는데 필요한 특정 조건으로 설정되며, 다수의 공정은 진공상태에서 공정이 진행된다. 이렇게 진공상태로 공정이 수행되는 공정 챔버외에도 가공을 위한 웨이퍼를 로드 또는 언로드하는 로드락 챔버, 그리고 공정 챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어 웨이퍼를 이송시키는 이송 챔버가 존재한다.In general, a semiconductor manufacturing process is made by repeatedly performing processes such as development, etching, diffusion, chemical vapor deposition, and metal deposition. Each of these processes is set to specific conditions necessary for manufacturing a semiconductor to suit the design state, and a number of processes are performed in a vacuum state. In addition to the process chamber in which the process is performed in a vacuum state, there are a load lock chamber for loading or unloading a wafer for processing, and a transfer chamber installed between the process chamber and the load lock chamber to transfer the wafer.

이러한 각각의 챔버 사이에는 웨이퍼를 통과시키기 위한 슬릿이 형성되어 있고, 각 슬릿에는 게이트 밸브가 설치되어 슬릿의 개폐가 이루어지도록 되어 있다. 게이트 밸브는 이송 챔버와 공정 챔버 사이에 위치하며, 이송 로봇의 설정 동작 이후에 공정 챔버의 공정을 진행하기 위해 완벽한 격리 기능의 목적을 가진 밸브를 말한다. 이러한 게이트 밸브는 에어 실린더 및 기어 유닛의 업다운을 이용하여 내부 게이트 플레이트를 동작시켜 슬릿의 개폐를 제어하는 방식으로 이루어진다.A slit for passing a wafer is formed between each of these chambers, and a gate valve is installed in each slit to open and close the slit. The gate valve is located between the transfer chamber and the process chamber, and refers to a valve with the purpose of a perfect isolation function in order to proceed with the process of the process chamber after the setting operation of the transfer robot. Such a gate valve is made in such a way that the opening and closing of the slit is controlled by operating the inner gate plate using the up and down of the air cylinder and the gear unit.

도 1은 종래의 게이트 밸브(10)를 도시한 도면으로, 종래의 게이트 밸브(10)는 슬릿(14)을 구비한 챔버(12)에 설치된다. 슬릿(14)은 웨이퍼가 이동되기 위한 통로로서, 슬릿(14)의 입구(24)는 하향 경사지도록 비스듬히 형성된다. 게이트 밸브(10)는 슬릿(14)의 입구(24)와 접촉되는 접촉면(30)을 갖는 도어(28), 도어(28)에 결합되는 이동 축(36) 및 이동 축(36)을 이동시키는 액추에이터(40)를 포함한다. 상기한 종래의 게이트 밸브(10)는 액추에이터(40)의 작동에 따라 이동 축(36)이 이동되어 이동 축(36)과 연결된 도어(28)가 슬릿(14)의 입구를 개방하거나 폐쇄하게 된다.1 is a view showing a conventional gate valve 10, the conventional gate valve 10 is installed in the chamber 12 having a slit (14). The slit 14 is a passage for the wafer to move, and the inlet 24 of the slit 14 is obliquely inclined downward. The gate valve 10 has a door 28 having a contact surface 30 in contact with the inlet 24 of the slit 14 , a moving shaft 36 coupled to the door 28 and a moving shaft 36 for moving the moving shaft 36 . An actuator 40 is included. In the conventional gate valve 10 described above, the moving shaft 36 is moved according to the operation of the actuator 40 so that the door 28 connected to the moving shaft 36 opens or closes the inlet of the slit 14 . .

이때, 챔버(12)에 형성된 슬릿(14)의 입구(24)가 하향 경사지도록 비스듬히 형성되어 있어, 종래의 게이트 밸브(10) 또한 슬릿(14)의 입구(24)에 대응되도록 챔버(12)에 비스듬히 설치된다. At this time, the inlet 24 of the slit 14 formed in the chamber 12 is obliquely formed so as to be inclined downward, so that the conventional gate valve 10 also corresponds to the inlet 24 of the slit 14 in the chamber 12 . installed at an angle to the

상기와 같이 게이트 밸브(10)가 비스듬히 설치될 경우, 챔버(12)의 전체적인 크기가 증가하게 된다.When the gate valve 10 is installed at an angle as described above, the overall size of the chamber 12 is increased.

그러나 반도체 공정 챔버(12)는 전체적인 크기에 제약이 따르기 때문에, 종래의 게이트 밸브(10)를 챔버(12)에 설치하는데 공간적 제약이 발생하는 문제점이 있었다.However, since the overall size of the semiconductor process chamber 12 is limited, there is a problem in that a conventional gate valve 10 is installed in the chamber 12, and a space limitation occurs.

대한민국 특허등록공보 제0210693호Korean Patent Registration Publication No. 0210693

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 챔버의 슬릿을 개폐하는 개폐 부재를 슬릿 입구에 대응되는 형상으로 형성시키고, 이동 유닛에 의해 개폐 부재를 다 방향으로 이동시켜 슬릿을 개폐함으로써, 게이트 밸브를 경사지게 형성시키지 않더라도 경사진 슬릿 입구를 개방 또는 폐쇄할 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것이다.The present invention is to solve the above problems, and an object of the present invention is to form an opening/closing member that opens and closes a slit in a chamber in a shape corresponding to the slit inlet, and moves the opening/closing member in multiple directions by a moving unit to make the slit By opening and closing the gate valve, it is to provide a gate valve capable of opening or closing the inclined slit inlet without forming the gate valve inclined.

상기 목적은 본 발명에 따라, 반도체 공정 챔버의 슬릿에 인접하게 설치되는 하우징; 상기 하우징의 내부에 설치되되, 일 측이 상기 하우징의 외부로 인출되도록 설치되는 이동 축; 상기 이동 축에 연결 설치되어 상기 이동 축을 이동시키는 이동 유닛; 및 상기 이동 축의 상기 일 측에 설치되어 상기 반도체 공정 챔버의 슬릿 입구 인근에 배치되며, 상기 이동 축의 이동에 따라 상기 슬릿 입구와 접촉 또는 접촉 해제되어 상기 슬릿을 개폐하는 개폐 부재;에 의해 달성된다.The above object according to the present invention, the housing installed adjacent to the slit of the semiconductor processing chamber; a moving shaft installed inside the housing, one side of which is drawn out of the housing; a moving unit connected to the moving shaft to move the moving shaft; and an opening/closing member installed on the one side of the moving shaft and disposed near the slit inlet of the semiconductor process chamber and contacting or releasing contact with the slit inlet according to the movement of the moving shaft to open and close the slit.

이때, 상기 반도체 공정 챔버의 슬릿 입구는 일 측으로 경사지도록 형성되며, 상기 슬릿 입구와 접촉되는 상기 개폐 부재의 접촉 면은 상기 슬릿 입구에 대응되도록 형성될 수 있다.In this case, the slit inlet of the semiconductor process chamber may be inclined to one side, and the contact surface of the opening and closing member in contact with the slit inlet may be formed to correspond to the slit inlet.

한편, 상기 이동 유닛은, 상기 하우징의 내부에 설치되는 이동 플레이트; 상기 이동 플레이트에 연결되어 상기 이동 플레이트를 슬라이드 이동시키는 액추에이터; 상기 이동 플레이트에 형성되되, 상기 이동 플레이트의 길이 방향을 따라 형성되는 가이드 홈; 상기 이동 플레이트에 형성되되, 일 방향으로 경사지도록 형성되는 경사 홈; 상기 하우징에 고정 설치되어 상기 가이드 홈에 삽입되는 가이드 돌기; 및 상기 이동 축에 고정 설치되어 상기 경사 홈에 삽입되는 이동 돌기;를 포함할 수 있다.Meanwhile, the moving unit may include a moving plate installed inside the housing; an actuator connected to the moving plate to slide the moving plate; a guide groove formed in the moving plate and formed along a longitudinal direction of the moving plate; an inclined groove formed in the moving plate and inclined in one direction; a guide protrusion fixed to the housing and inserted into the guide groove; and a moving protrusion fixed to the moving shaft and inserted into the inclined groove.

여기서, 상기 가이드 홈과 상기 경사 홈은 서로 평행하게 배치되며, 상기 경사 홈은 상기 개폐 부재가 위치한 방향 측 단부가 상기 가이드 홈이 위치한 방향과 반대 방향 측으로 경사지도록 형성될 수 있다.Here, the guide groove and the inclined groove may be disposed parallel to each other, and the inclined groove may be formed such that an end in a direction in which the opening and closing member is positioned is inclined in a direction opposite to a direction in which the guide groove is positioned.

또한, 본 발명은 상기 하우징의 내부에 고정 설치되는 가이드 플레이트; 상기 가이드 플레이트에 형성되되, 일 방향으로 경사지도록 형성되는 보조 가이드 홈; 및 상기 이동 축에 고정 설치되어 상기 보조 가이드 홈에 삽입되는 보조 가이드 돌기;를 더 포함할 수 있다.In addition, the present invention is a guide plate fixedly installed inside the housing; an auxiliary guide groove formed in the guide plate and inclined in one direction; and an auxiliary guide protrusion fixed to the moving shaft and inserted into the auxiliary guide groove.

이때, 상기 가이드 플레이트는 상기 이동 플레이트와 상기 개폐 부재의 사이에 배치되며, 상기 보조 가이드 홈은 상기 이동 플레이트가 위치한 방향 측으로 경사지도록 형성될 수 있다.In this case, the guide plate may be disposed between the moving plate and the opening/closing member, and the auxiliary guide groove may be formed to be inclined in a direction in which the moving plate is located.

이에 의해, 본 발명은 챔버의 슬릿을 개폐하는 개폐 부재를 슬릿 입구에 대응되는 형상으로 형성시키고, 이동 유닛에 의해 개폐 부재를 다 방향으로 이동시켜 슬릿을 개폐함으로써, 게이트 밸브를 경사지게 형성시키지 않더라도 경사진 슬릿 입구를 개방 또는 폐쇄할 수 있는 효과가 있다.Accordingly, the present invention forms the opening/closing member for opening and closing the slit of the chamber in a shape corresponding to the slit inlet, and by moving the opening/closing member in multiple directions by the moving unit to open and close the slit, even if the gate valve is not formed to be inclined. There is an effect that can open or close the entrance of the photo slit.

도 1은 종래의 게이트 밸브가 설치된 것을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 분해 사시도이다.
도 3 내지 5는 본 발명에 따른 게이트 밸브의 작동 상태롤 도시한 도면이다.1 is a view showing a conventional gate valve is installed.
2 is an exploded perspective view of a gate valve according to the present invention.
3 to 5 are views showing the operating state of the gate valve according to the present invention.

본 명세서에서 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.Specific structural or functional descriptions of the embodiments according to the concept of the present invention disclosed in this specification are only exemplified for the purpose of explaining the embodiments according to the concept of the present invention, and the embodiments according to the concept of the present invention are It may be implemented in various forms and is not limited to the embodiments described herein.

본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 변경, 균등물 또는 대체물을 포함한다.Since the embodiments according to the concept of the present invention may have various changes and may have various forms, the embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail herein. However, this is not intended to limit the embodiments according to the concept of the present invention to specific disclosed forms, and includes changes, equivalents or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

제1 또는 제2 등의 용어를 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만, 예를 들어 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소는 제1 구성요소로도 명명될 수 있다.Terms such as first or second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from other components, for example, without departing from the scope of rights according to the concept of the present invention, a first component may be named as a second component, Similarly, the second component may also be referred to as the first component.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 “연결되어” 있다거나 “접속되어” 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 “직접 연결되어” 있다거나 “직접 접속되어” 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 표현들, 예를 들어 “~사이에”와 “바로~사이에” 또는 “~에 이웃하는”과 “~에 직접 이웃하는” 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.When an element is referred to as being “connected” or “connected” to another element, it is understood that it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may exist in between. it should be On the other hand, when it is mentioned that a certain element is "directly connected" or "directly connected" to another element, it should be understood that there is no other element in the middle. Expressions describing the relationship between components, for example, “between” and “between” or “neighboring to” and “directly adjacent to”, should be interpreted similarly.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서 “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어를 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함으로 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used herein are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present specification, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate the presence of the specified feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof, but one or more other features, number, or step , it should be understood that it does not preclude the possibility of the existence or addition of , operation, components, parts or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present specification. does not

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 게이트 밸브에 관하여 살펴보기로 한다.Hereinafter, a gate valve according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 게이트 밸브는, 도 2 내지 4에 도시된 바와 같이, 반도체 공정 챔버(10)의 슬릿(20)에 인접하게 설치되는 하우징(100), 하우징(100)의 내부에 설치되되 일 측이 하우징(100)의 외부로 인출되도록 설치되는 이동 축(200), 이동 축(200)에 연결 설치되어 이동 축(200)을 이동시키는 이동 유닛(300) 및 이동 축(200)의 상기 일 측에 설치되어 반도체 공정 챔버(10)의 슬릿 입구(21) 인근에 배치되며 이동 축(200)의 이동에 따라 슬릿 입구(21)와 접촉 또는 접촉 해제되어 슬릿(20)을 개폐하는 개폐 부재(210)를 포함한다.As shown in FIGS. 2 to 4 , the gate valve according to the present invention includes a housing 100 installed adjacent to the slit 20 of the semiconductor process chamber 10 , and one side installed inside the housing 100 . The moving shaft 200 installed to be drawn out of the housing 100 , the moving unit 300 connected to the moving shaft 200 and installed to move the moving shaft 200 , and the one side of the moving shaft 200 . An opening/closing member 210 installed in the semiconductor process chamber 10 and disposed near the slit inlet 21 of the semiconductor process chamber 10 and contacting or releasing contact with the slit inlet 21 according to the movement of the moving shaft 200 to open and close the slit 20 ) is included.

먼저, 반도체 공정 챔버(10)는 반도체의 제조 공정이 수행되는 챔버로서, 각각의 챔버(10) 사이에는 웨이퍼를 통과시키기 위한 슬릿(20)이 형성된다. 이때, 공정 챔버(10)의 슬릿 입구(21)는 도 3의 상부에서 하부로 갈수록 도면 상 좌측 방향으로 경사지도록 형성된다.First, the semiconductor process chamber 10 is a chamber in which a semiconductor manufacturing process is performed, and a slit 20 for passing a wafer is formed between each chamber 10 . At this time, the slit inlet 21 of the process chamber 10 is formed to be inclined in the left direction in the drawing from the upper part to the lower part of FIG. 3 .

하우징(100)은 내부에 설치 공간이 형성되는 대략 사각 박스 형상의 구조물로, 공정 챔버(10)의 슬릿(20) 인근에 설치된다. 이때, 하우징(100)은 챔버(10)의 외부에 설치될 수도 있고, 공정 챔버(10)의 내부에 고정되어 설치될 수도 있다. 상기한 하우징(100)은 사각 박스 형상의 일체형 구조물로 형성될 수 있으며, 일부가 탈착 가능하도록 형성되어 이의 조립에 의해 형성될 수도 있다. 본 실시 예에서는 하우징(100)이 사각 박스 형상으로 형성되는 것으로 설명하지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 원통 형상 또는 삼각 기둥 형상 등 다양한 형상으로 형성될 수 있다.The housing 100 is a substantially rectangular box-shaped structure having an installation space therein, and is installed near the slit 20 of the process chamber 10 . In this case, the housing 100 may be installed outside the chamber 10 , or may be fixedly installed inside the process chamber 10 . The housing 100 may be formed as an integrated structure in the shape of a square box, and may be formed by assembling a part of the housing 100 to be detachable. In this embodiment, although it is described that the housing 100 is formed in a rectangular box shape, it is not necessarily limited thereto, and may be formed in various shapes such as a cylindrical shape or a triangular pole shape.

또한, 이동 축(200)은 소정 직경을 갖는 원통 형상의 구조물로서, 하우징(100)의 내부에 설치되며, 일 측이 하우징(100)의 외부로 인출되도록 설치된다. 이때, 하우징(100)의 외부로 인출된 상기 일 측은 공정 챔버(10)의 슬릿(20) 인근에 위치하도록 배치된다. 본 실시 예에서는 이동 축(200)이 소정 직경을 갖는 원통 형상의 구조물로 설명하지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 사각 기둥 형상 또는 일부는 원통 형상, 일부는 사각 기둥 형상으로 형성될 수도 있다. 이동 축(200)의 일부가 원통 형상이고 일부는 사각 기둥 형상일 경우, 하우징(100)의 내부에 배치된 이동 축(200)이 사각 기둥 형상으로 형성되고, 하우징(100)의 외부로 인출된 이동 축(200)이 원통 형상으로 형성될 수 있다.In addition, the moving shaft 200 is a cylindrical structure having a predetermined diameter, is installed inside the housing 100, one side is installed so as to be drawn out of the housing (100). At this time, the one side drawn out of the housing 100 is disposed to be located near the slit 20 of the process chamber 10 . In the present embodiment, the moving shaft 200 is described as a structure having a cylindrical shape having a predetermined diameter, but the present invention is not limited thereto, and may be formed in a quadrangular prism shape or a part cylindrical shape, and some quadrangular prism shape. When a part of the moving shaft 200 has a cylindrical shape and a part has a quadrangular pole shape, the moving shaft 200 disposed inside the housing 100 is formed in a quadrangular pole shape, and is drawn out of the housing 100 . The moving shaft 200 may be formed in a cylindrical shape.

개폐 부재(210)는 이동 축(200)의 하우징(100) 외부로 인출된 상기 일 측에 고정 설치되는 부재로서, 슬릿 입구(21)와 접촉되는 접촉 면(211)이 슬릿 입구(21)에 대응되는 형상으로 형성된다. 즉, 개폐 부재(210)의 접촉 면(211)은 도 3의 상부에서 하부로 갈수록 도면 상 좌측 방향으로 경사지게 형성된다. 상기한 개폐 부재(210)는 슬릿 입구(21) 인근에 배치되며, 이동 축(200)의 이동에 따라 접촉 면(211)이 슬릿 입구(21)와 접촉 또는 접촉 해제되어 슬릿(20)을 개폐하게 된다.The opening/closing member 210 is a member fixedly installed on the one side drawn out of the housing 100 of the moving shaft 200 , and the contact surface 211 in contact with the slit inlet 21 is at the slit inlet 21 . formed in a corresponding shape. That is, the contact surface 211 of the opening and closing member 210 is inclined in the left direction in the drawing from the upper part to the lower part in FIG. 3 . The opening/closing member 210 is disposed near the slit inlet 21 , and the contact surface 211 is in contact with or released from the slit inlet 21 according to the movement of the moving shaft 200 to open and close the slit 20 . will do

한편, 이동 유닛(300)은 하우징(100)의 내부에 설치되는 이동 플레이트(310), 이동 플레이트(310)에 연결되어 이동 플레이트(310)를 슬라이드 이동 시키는 액추에이터(340), 이동 플레이트(310)에 형성되되 이동 플레이트의 길이 방향을 따라 형성되는 가이드 홈(320), 이동 플레이트(310)에 형성되되 일 방향으로 경사지도록 형성되는 경사 홈(330), 하우징(100)에 고정 설치되어 가이드 홈(320)에 삽입되는 가이드 돌기(350) 및 이동 축(200)에 고정 설치되어 경사 홈(330)에 삽입되는 이동 돌기(360)를 포함한다.Meanwhile, the moving unit 300 includes a moving plate 310 installed inside the housing 100 , an actuator 340 connected to the moving plate 310 to slide the moving plate 310 , and a moving plate 310 . A guide groove 320 formed in the doedoe along the longitudinal direction of the moving plate, an inclined groove 330 formed in the moving plate 310 to be inclined in one direction, and a guide groove fixed to the housing 100 ( It includes a guide protrusion 350 inserted into the 320 and a moving protrusion 360 fixed to the moving shaft 200 and inserted into the inclined groove 330 .

이동 플레이트(310) 소정 두께를 갖는 직사각 형상의 플레이트로서, 하우징(100)의 내부에 길이 방향을 따라 설치된다. 이때, 이동 플레이트(310)는 쌍으로 구비되어 하우징(100) 내부 양 측에 각각 배치될 수 있다. 본 실시 예에서는 이동 플레이트(310)가 소정 두께를 갖는 직사각 형상의 플레이트로 설명하지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 다양한 형상의 플레이트를 모두 포함할 수 있다.The moving plate 310 is a rectangular plate having a predetermined thickness, and is installed in the housing 100 in the longitudinal direction. In this case, the movable plate 310 may be provided in pairs and disposed on both sides of the inside of the housing 100 . In the present embodiment, the movable plate 310 is described as a rectangular plate having a predetermined thickness, but is not limited thereto, and may include all plates of various shapes.

액추에이터(340)는 일반적인 공압 실린더로 마련되어 하우징의 내부에 고정 설치되고, 구동축이 이동 플레이트(310)에 연결 설치되어 액추에이터(340)의 구동에 따라 이동 플레이트(310)가 하우징(100)의 길이 방향으로 슬라이드 이동된다. 본 실시 예에서는 액추에이터(340)를 공압 실린더로 설명하지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 다양한 액추에이터를 모두 포함할 수 있다.The actuator 340 is provided as a general pneumatic cylinder and is fixedly installed inside the housing, and the driving shaft is connected to the moving plate 310 so that the moving plate 310 is moved according to the driving of the actuator 340 in the longitudinal direction of the housing 100 . slides to In this embodiment, the actuator 340 is described as a pneumatic cylinder, but is not necessarily limited thereto, and may include all of various actuators.

가이드 홈(320)은 이동 플레이트(310)의 길이 방향을 따라 형성되는 장공의 홈으로써, 이동 플레이트(310)의 면 중 하우징(100)의 내부 면과 마주 보는 면 상에 형성된다.The guide groove 320 is a long hole formed along the longitudinal direction of the moving plate 310 , and is formed on a surface of the moving plate 310 that faces the inner surface of the housing 100 .

그리고, 경사 홈(330)은 가이드 홈과 서로 평행하게 배치되는 홈으로써, 이동 플레이트(310)의 면 중 이동 축(200)과 마주 보는 면 상에 형성된다. 이때, 경사 홈(330)은 개폐 부재(210)가 위치한 방향 측 단부가 가이드 홈(320)이 위치한 방향과 반대 방향 측으로 경사지도록 형성된다. 즉, 경사 홈(330)은 도 3의 상부에서 하부로 갈수록 도면 상 좌측 방향으로 경사지도록 형성되는 것이다.Further, the inclined groove 330 is a groove disposed parallel to the guide groove, and is formed on a surface facing the movement shaft 200 among the surfaces of the movement plate 310 . In this case, the inclined groove 330 is formed so that an end in the direction in which the opening and closing member 210 is positioned is inclined in a direction opposite to the direction in which the guide groove 320 is positioned. That is, the inclined groove 330 is formed to be inclined in the left direction in the drawing from the upper part to the lower part in FIG. 3 .

상기한 가이드 홈(320) 및 경사 홈(330)은 하나의 이동 플레이트(310)에 복수 개로 형성될 수 있으며, 복수 개로 형성될 경우, 서로 이격하여 배치된다.A plurality of the guide grooves 320 and the inclined grooves 330 may be formed in one moving plate 310, and when formed in plurality, they are disposed to be spaced apart from each other.

본 실시 예에서는 가이드 홈(320)과 경사 홈(330)을 홈 형태의 구성으로 설명하지만, 이동 플레이트(310)를 완전히 관통하여 형성되는 홀 형태로 형성될 수도 있다.In the present embodiment, the guide groove 320 and the inclined groove 330 are described as a configuration in the form of a groove, but they may also be formed in the form of a hole that completely penetrates the moving plate 310 .

또한, 가이드 돌기(350)는 소정 직경을 갖는 원통 형상의 부재로서, 하우징(100)의 측면 내부에 고정 설치되어 가이드 홈(320)에 삽입되도록 배치된다.Also, the guide protrusion 350 is a cylindrical member having a predetermined diameter, is fixedly installed inside the side surface of the housing 100 , and is disposed to be inserted into the guide groove 320 .

그리고 이동 돌기(360)는 소정 직경을 갖는 원통 형상의 부재로서, 이동 축(200)에 고정 설치되어 경사 홈(330)에 삽입되도록 배치된다.In addition, the moving protrusion 360 is a cylindrical member having a predetermined diameter, is fixedly installed on the moving shaft 200 , and is disposed to be inserted into the inclined groove 330 .

본 실시 예에서는, 상술한 가이드 돌기(350) 및 이동 돌기(360)를 원통 형상의 부재로 설명하지만, 반드시 이에 한정되지 않고, 다양한 형상을 모두 포함할 수 있다. 이때, 가이드 돌기(350) 및 이동 돌기(360)의 직경 또는 너비는 가이드 홈(320) 및 경사 홈(330)의 너비보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.In the present embodiment, although the above-described guide protrusion 350 and the moving protrusion 360 are described as a member having a cylindrical shape, the present invention is not limited thereto, and may include all of various shapes. In this case, the diameter or width of the guide protrusion 350 and the moving protrusion 360 is preferably formed smaller than the width of the guide groove 320 and the inclined groove 330 .

한편, 본 발명은 하우징(100) 내부에 고정 설치되는 가이드 플레이트(400), 가이드 플레이트(400)에 형성되되 일 방향으로 경사지도록 형성되는 보조 가이드 홈(410) 및 이동 축(200)에 고정 설치되어 보조 가이드 홈(410)에 삽입되는 보조 가이드 돌기(420)를 더 포함한다.On the other hand, in the present invention, the guide plate 400 is fixedly installed inside the housing 100 , the auxiliary guide groove 410 is formed on the guide plate 400 to be inclined in one direction, and the movable shaft 200 is fixedly installed. It further includes an auxiliary guide protrusion 420 inserted into the auxiliary guide groove 410 .

가이드 플레이트(400)는 소정 두께를 갖는 플레이트 형상의 구조물로서, 이동 플레이트(310)와 개폐 부재(210)의 사이에 배치된다. 이때, 가이드 플레이트(400)는 쌍으로 구비되어 하우징(100) 내부 양 측에 각각 고정 설치될 수 있다.The guide plate 400 is a plate-shaped structure having a predetermined thickness and is disposed between the movable plate 310 and the opening and closing member 210 . In this case, the guide plates 400 may be provided in pairs and fixedly installed on both sides of the housing 100 .

보조 가이드 홈(410)은 장공의 홈으로써, 가이드 플레이트(400)의 면 중 이동 축(200)과 마주보는 면 상에 형성된다. 이때, 보조 가이드 홈(410)은 이동 플레이트(310)가 위치한 방향 측으로 하향 경사지도록 형성된다. 즉, 보조 가이드 홈(410)은 도 3의 상부에서 하부로 갈수록 도면 상 우측 방향으로 경사지도록 형성되는 것이다. 본 실시 예에서는 보조 가이드 홈(40)을 홈 형태의 구성으로 설명하지만, 가이드 플레이트(400)를 완전히 관통하여 형성되는 홀 형태로 형성될 수도 있다.The auxiliary guide groove 410 is a long hole, and is formed on a surface facing the moving shaft 200 among surfaces of the guide plate 400 . At this time, the auxiliary guide groove 410 is formed to be inclined downward in the direction in which the moving plate 310 is located. That is, the auxiliary guide groove 410 is formed to be inclined in the right direction in the drawing from the top to the bottom in FIG. 3 . In this embodiment, the auxiliary guide groove 40 is described as a configuration in the form of a groove, but it may also be formed in the form of a hole formed completely penetrating the guide plate 400 .

또한, 보조 가이드 돌기(420)는 소정 직경을 갖는 원통 형상의 부재로서, 이동 축(200)에 고정 설치되어 보조 가이드 홈(410)에 삽입되도록 배치된다.In addition, the auxiliary guide protrusion 420 is a cylindrical member having a predetermined diameter, is fixedly installed on the moving shaft 200 , and is disposed to be inserted into the auxiliary guide groove 410 .

이하에서는, 도 3 내지 5를 참조하여 본 발명에 따른 게이트 밸브의 작동에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, the operation of the gate valve according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 5 .

도 3은 공정 챔버(10)의 슬릿(20)이 폐쇄된 상태를 도시한 도면으로, 액추에이터(340)가 이동 플레이트(310)를 개폐 부재(210) 측으로 밀고 있는 상태이다. 이에 따라, 이동 플레이트(310)의 경사 홈(330)에 삽입된 이동 돌기(360)가 이동되어 이동 축(200)이 도 3의 상부 방향으로 이동된다. 상기와 같이 이동 축(200)이 도 3의 상부 방향으로 이동되면, 이동 축(200)과 연결된 개폐 부재(210) 또한 도 3의 상부 방향으로 이동되어 개폐 부재(210)의 접촉 면(211)이 슬릿 입구(21)와 접촉되게 된다. 이에 따라, 공정 챔버(10)의 슬릿(20)이 폐쇄되는 것이다. 이때, 보조 가이드 돌기(420)는 보조 가이드 홈(410)을 따라 이동되며, 이동 축(200)의 움직임을 가이드한다.3 is a view illustrating a state in which the slit 20 of the process chamber 10 is closed, in a state in which the actuator 340 is pushing the moving plate 310 toward the opening and closing member 210 . Accordingly, the moving protrusion 360 inserted into the inclined groove 330 of the moving plate 310 is moved to move the moving shaft 200 in the upper direction of FIG. 3 . As described above, when the moving shaft 200 is moved in the upper direction of FIG. 3 , the opening/closing member 210 connected to the moving axis 200 is also moved in the upper direction of FIG. 3 to the contact surface 211 of the opening and closing member 210 . It comes into contact with this slit inlet 21. Accordingly, the slit 20 of the process chamber 10 is closed. At this time, the auxiliary guide protrusion 420 is moved along the auxiliary guide groove 410 and guides the movement of the moving shaft 200 .

도 5는 공정 챔버(10)의 슬릿(20)의 개방된 상태를 도시한 도면으로, 도 3의 상태에서 도 4를 거쳐 도 5의 상태가 된다. 도 3의 상태에서 액추에이터(340)가 작동되어 이동 플레이트(310)를 도 5의 하부 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 이동 플레이트(310)의 경사 홈(330)에 삽입된 이동 돌기(360)가 이동되어 이동 축(200)이 도 5의 하부 방향으로 이동된다. 상기와 같이 이동 축(200)이 도 5의 하부 방향으로 이동되면, 이동 축(200)과 연결된 개폐 부재(210) 또한 도 5의 하부 방향으로 이동되어 개폐 부재(210)의 접촉 면(211)과 슬릿 입구(21)와의 접촉이 해제되게 된다. 이에 따라, 공정 챔버(10)의 슬릿(20)이 개방되는 것이다. 이때, 이동 돌기(360)가 경사 홈(330)을 따라 이동되면서, 개폐 부재(210)는 도 5의 하부 우측 대각선 방향으로 이동될 수 있게 된다. 이때에도 보조 가이드 돌기(420)는 보조 가이드 홈(410)을 따라 이동되며, 이동 축(200)의 움직임을 가이드하게 된다.5 is a view showing an open state of the slit 20 of the process chamber 10, from the state of FIG. 3 to the state of FIG. 5 through FIG. 4 . In the state of FIG. 3 , the actuator 340 is operated to move the moving plate 310 in the lower direction of FIG. 5 . Accordingly, the moving protrusion 360 inserted into the inclined groove 330 of the moving plate 310 is moved and the moving shaft 200 is moved in the lower direction of FIG. 5 . As described above, when the moving shaft 200 is moved in the lower direction of FIG. 5 , the opening/closing member 210 connected to the moving axis 200 is also moved in the lower direction of FIG. 5 , so that the contact surface 211 of the opening and closing member 210 is Contact with the slit inlet 21 is released. Accordingly, the slit 20 of the process chamber 10 is opened. At this time, as the moving protrusion 360 moves along the inclined groove 330 , the opening/closing member 210 may be moved in the lower right diagonal direction of FIG. 5 . Even at this time, the auxiliary guide protrusion 420 moves along the auxiliary guide groove 410 to guide the movement of the moving shaft 200 .

상기와 같이, 개폐 부재(210)가 수직 방향만이 아닌 수평 방향으로도 함께 움직이게 됨으로써, 개폐 부재(210)의 접촉 면(211)은 슬릿 입구(21)와 한 번에 접촉되거나 한 번에 접촉이 해제된다. 이는, 공정 챔버(10)의 슬릿(20) 개폐 시 개폐 부재(210)의 접촉 면(211)과 슬릿 입구(21)의 마찰이 최소화되는 것을 의미한다. 따라서 개폐 부재(210)의 접촉 면(211) 및 상기 접촉 면(211)에 형성되는 오링(미도시)의 변형 및 손상이 적어 게이트 밸브의 유지 및 보수 비용이 절감될 수 있다.As described above, since the opening and closing member 210 moves together not only in the vertical direction but also in the horizontal direction, the contact surface 211 of the opening and closing member 210 is in contact with the slit inlet 21 at one time or is in contact at one time. this is released This means that friction between the contact surface 211 of the opening and closing member 210 and the slit inlet 21 is minimized when opening and closing the slit 20 of the process chamber 10 . Accordingly, the contact surface 211 of the opening and closing member 210 and the O-ring (not shown) formed on the contact surface 211 are less deformed and damaged, so that the maintenance and repair cost of the gate valve can be reduced.

상술한 바와 같이 구성되어 작동되는 본 발명에 따른 게이트 밸브는 챔버(10)의 슬릿(20)을 개폐하는 개폐 부재(210)를 슬릿 입구(21)에 대응되는 형상으로 형성시키고, 이동 유닛(300)에 의해 개폐 부재(210)를 다 방향으로 이동시켜 슬릿(20)을 개폐함으로써, 게이트 밸브를 경사지게 형성시키지 않더라도 경사진 슬릿 입구(21)를 개방 또는 폐쇄할 수 있는 매우 뛰어난 효과가 있다.The gate valve according to the present invention configured and operated as described above forms the opening/closing member 210 for opening and closing the slit 20 of the chamber 10 in a shape corresponding to the slit inlet 21, and the moving unit 300 ) by moving the opening and closing member 210 in multiple directions to open and close the slit 20, there is a very excellent effect that can open or close the inclined slit inlet 21 without forming the gate valve inclined.

이상으로 본 발명에 따른 게이트 밸브에 대한 바람직한 실시 예에 관하여 설명하였다.The above has been described with respect to a preferred embodiment of the gate valve according to the present invention.

전술된 실시 예는 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술 될 특허청구범위에 의하여 나타내어질 것이다. 그리고 이 특허청구범위의 의미 및 범위는 물론, 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 및 변형 가능한 형태가 본 발명의 범주에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all respects and not restrictive, and the scope of the present invention will be indicated by the claims to be described later rather than the above detailed description. And it should be construed that all changes and modifications derived from the meaning and scope of the claims as well as equivalent concepts are included in the scope of the present invention.

10: 공정 챔버 20: 슬릿
21: 슬릿 입구 100: 하우징
200: 이동 축 210: 개폐 부재
211: 접촉 면 300: 이동 유닛
310: 이동 플레이트 320: 가이드 홈
330: 경사 홈 340: 액추에이터
350: 가이드 돌기 360: 이동 돌기
400: 가이드 플레이트 410: 보조 가이드 홈
420: 가이드 돌기10: process chamber 20: slit
21: slit inlet 100: housing
200: moving axis 210: opening and closing member
211: contact surface 300: mobile unit
310: moving plate 320: guide groove
330: inclined groove 340: actuator
350: guide projection 360: moving projection
400: guide plate 410: auxiliary guide groove
420: guide turn

Claims

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a housing 100 installed adjacent to the slit 20 of the semiconductor process chamber 10;
a moving shaft 200 installed inside the housing 100 and installed so that one side is drawn out of the housing 100;
a moving unit 300 connected to the moving shaft 200 to move the moving shaft 200; and
It is installed on the one side of the moving shaft 200 and is disposed near the slit inlet 21 of the semiconductor process chamber 10, and comes into contact with or in contact with the slit inlet 21 according to the movement of the moving shaft 200. Including; an opening and closing member 210 for opening and closing the slit 20 by releasing contact;
The slit inlet 21 of the semiconductor process chamber 10 is inclined to one side,
The contact surface 211 of the opening and closing member 210 in contact with the slit inlet 21 is formed to correspond to the slit inlet 21,
The mobile unit 300,
a moving plate 310 installed inside the housing 100;
an actuator 340 connected to the moving plate 310 to slide the moving plate 310;
a guide groove 320 formed in the moving plate 310 and formed along the longitudinal direction of the moving plate 310;
an inclined groove 330 formed in the moving plate 310 to be inclined in one direction;
a guide protrusion 350 fixed to the housing 100 and inserted into the guide groove 320; and
and a moving protrusion 360 that is fixedly installed on the moving shaft 200 and inserted into the inclined groove 330.
a guide plate 400 fixedly installed inside the housing 100 and disposed between the movable plate 310 and the opening/closing member 210;
It is formed on the guide plate 400, is located on a surface facing the moving shaft 200 among the surfaces of the guide plate 400, and is perforated so as to be inclined downward in the direction in which the moving plate 310 is located. Auxiliary guide groove 410; and
The gate valve further comprising; an auxiliary guide protrusion 420 fixedly installed on the moving shaft 200 and inserted into the auxiliary guide groove 410 .

4. The method of claim 3,
The guide groove 320 and the inclined groove 330 are arranged parallel to each other,
The inclined groove (330) is a gate valve, characterized in that the end in the direction in which the opening and closing member (210) is located is formed to be inclined in a direction opposite to the direction in which the guide groove (320) is located.

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