KR102396892B1

KR102396892B1 - Spacing device and spacing method

Info

Publication number: KR102396892B1
Application number: KR1020180029555A
Authority: KR
Inventors: 기미히코 가와사키
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2017-05-29
Filing date: 2018-03-14
Publication date: 2022-05-11
Anticipated expiration: 2038-03-14
Also published as: TW201901766A; KR20180130430A; JP2018200986A; CN108933094A; JP6848151B2; TWI739997B; CN108933094B

Abstract

(과제) 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 유지시킬 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것.
(해결 수단) 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 과 타방의 면 (AS2) 의 적어도 일방에, 복수의 피착체 (CP) 또는 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 가 첩부된 일체물 (WK) 에 있어서의 당해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 복수의 이간용 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 이간용 유지 수단 (20) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 을 구비하고, 일체물 (WK) 을 유지하여 당해 일체물 (WK) 을 복수의 이간용 유지 수단 (20) 에 주고 받는 주고 받기 수단 (40) 을 가지고, 주고 받기 수단 (40) 은, 일체물 (WK) 에 있어서의 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지하는 복수의 주고 받기용 유지 수단 (41) 과, 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지한 주고 받기용 유지 수단 (41) 을 상대 이동시켜, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 수단 (42) 과, 주고 받기용 유지 수단 (41) 에 의해 유지한 일체물 (WK) 을 반송하는 반송 수단 (43) 을 구비하고 있다.(Project) To provide the separation apparatus and separation method which can hold|maintain the edge part of an adhesive sheet by the holding means for separation|spacing reliably.
(Solution) A plurality of adherends CP or a plurality of adherends CP that are divided into plural are affixed on at least one of one surface AS1 and the other surface AS2 of the adhesive sheet AS. A plurality of holding means for separation 20 for holding the end AE1 of the adhesive sheet AS in water WK, and holding means for separating the holding means for holding the end AE1 of the adhesive sheet AS ( 20) relative to each other and providing tension to the adhesive sheet AS to widen the mutual distance between the adherends CP, provided with a separation means 30 to hold the integral body WK to form the integral body WK has a give-and-take means 40 for sending and receiving to the plurality of holding means 20 for separation, wherein the sending/receiving means 40 connects the other end AE2 of the adhesive sheet AS in the integral body WK. A plurality of holding means 41 for giving and receiving to hold and the holding means 41 for sending and receiving which held the other end AE2 of the adhesive sheet AS are relatively moved, and the holding means 20 for separation is held Tension imparting means 42 for applying a predetermined tension to the outer edge of adhesive sheet AS including end AE1 to It is provided with the conveying means 43 which says.

Description

Separation device and separation method {SPACING DEVICE AND SPACING METHOD}

본 발명은, 이간 장치 및 이간 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a separation apparatus and a separation method.

종래, 접착 시트에 첩부된 복수의 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 장치가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the separation apparatus which widens the mutual space|interval of several to-be-adhered bodies affixed to the adhesive sheet is known (for example, refer patent document 1).

일본 공개특허공보 2014-232843호Japanese Patent Laid-Open No. 2014-232843

그러나, 특허문헌 1 에 기재된 바와 같은 종래의 이간 장치에서는, 웨이퍼 (W) (피착체) 가 첩부된 다이싱 테이프 (S) (접착 시트) 는, 프레임 (F) 과 같은 프레임 형상 부재에 첩부되어 인장 수단 (26) (이간용 유지 수단) 에 대한 주고 받기가 행해지고 있기 때문에, 그러한 프레임 형상 부재가 없어지면, 접착 시트의 단부가 처지거나, 흔들리거나 하여, 당해 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 주고 받을 수 없게 된다는 문제를 일으킨다.However, in the conventional separation apparatus as described in Patent Document 1, the dicing tape S (adhesive sheet) to which the wafer W (adhesive body) is affixed is affixed to a frame-like member such as the frame F, Since the tensioning means 26 (separation holding means) is exchanged with each other, when such a frame-like member is removed, the end portion of the adhesive sheet sags or shakes, and the end portion of the adhesive sheet is reliably held for separation. It causes the problem that it is impossible to give and receive the means.

본 발명의 목적은, 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 유지시킬 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a separation device and a separation method capable of reliably holding the end portion of an adhesive sheet in a separation holding means.

본 발명은, 청구항에 기재한 구성을 채용하였다.The present invention employs the configuration described in the claims.

본 발명에 의하면, 이간용 유지 수단이 유지하는 단부를 포함하는 접착 시트의 외연부에 소정의 장력을 부여하고, 일체물을 이간용 유지 수단에 주고 받으므로, 접착 시트의 단부가 처지거나, 흔들리거나 하는 경우가 없어, 당해 접착 시트의 단부를 확실하게 이간용 유지 수단에 유지시킬 수 있다.According to the present invention, since a predetermined tension is applied to the outer edge portion of the adhesive sheet including the end portion held by the separation holding means, and an integral object is exchanged with the separation holding means, the end of the adhesive sheet sags or shakes There is no case of lifting, and the edge part of the said adhesive sheet can be reliably hold|maintained by the holding means for separation|spacing.

도 1(A) 는, 본 발명의 실시형태에 관련된 이간 장치의 평면도이다. 도 1(B), 도 1(C) 는, 도 1(A) 의 측면도로서 그 동작 설명도이다.
도 2(A), 도 2(B) 는, 본 발명의 그 밖의 예의 설명도이다.Fig. 1(A) is a plan view of a separation device according to an embodiment of the present invention. Fig. 1(B), Fig. 1(C) is a side view of Fig. 1(A) and is an explanatory view of its operation.
2(A) and 2(B) are explanatory views of other examples of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described based on drawing.

또한, 본 실시형태에 있어서의 X 축, Y 축, Z 축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X 축 및 Y 축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z 축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시형태에서는, Y 축과 평행한 화살표 BD 방향으로부터 본 경우를 기준으로 하여, 기준이 되는 도면을 기재하지 않고 방향을 나타낸 경우, 「상」이 Z 축의 화살표 방향이고 「하」가 그 역방향, 「좌」가 X 축의 화살표 방향이고 「우」가 그 역방향, 「전」이 Y 축의 화살표 방향이고 「후」가 그 역방향으로 한다.Further, in the present embodiment, the X axis, Y axis, and Z axis are in a relationship that is orthogonal to each other, the X axis and the Y axis are axes within a predetermined plane, and the Z axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. . In addition, in this embodiment, on the basis of the case seen from the direction of the arrow BD parallel to the Y axis, when the direction is indicated without describing the reference drawing, "up" is the direction of the arrow of the Z axis, and "down" is the In the reverse direction, “left” is the direction of the X-axis arrow, “right” is the reverse direction, “before” is the direction of the Y-axis arrow, and “back” is the reverse direction.

본 발명의 이간 장치 (10) 는, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 에, 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 일체물 (WK) 에 있어서의 당해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 복수의 이간용 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 이간용 유지 수단 (20) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 과, 일체물 (WK) 을 유지하여 당해 일체물 (WK) 을 복수의 이간용 유지 수단 (20) 에 주고 받는 주고 받기 수단 (40) 과, 카메라나 투영기 등의 촬상 수단이나, 광학 센서나 초음파 센서 등의 각종 센서 등의 검지 수단 (50) 을 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태의 일체물 (WK) 은, 평면에서 보았을 때 정방형의 접착 시트 (AS) 의 중앙부에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부되어 있다.The separation device 10 of the present invention is an end portion of the adhesive sheet AS in an integral body WK in which a plurality of adherends CP are affixed to one surface AS1 of the adhesive sheet AS. The plurality of holding means 20 for separation which holds AE1 and the holding means 20 for separation which hold end AE1 of adhesive sheet AS are relatively moved, and tension is applied to adhesive sheet AS. Separation means 30 for widening the mutual distance between the adherends CP by applying, and a sending/receiving means for holding the integral object WK and sending and receiving the integral object WK to and from the plurality of spacing holding means 20 ( 40), and detection means 50, such as imaging means, such as a camera and a projector, and various sensors, such as an optical sensor and an ultrasonic sensor, are provided. Moreover, as for the integral body WK of this embodiment, in planar view, the some to-be-adhered body CP is affixed to the center part of the square adhesive sheet AS.

이간용 유지 수단 (20) 은, 이간 수단 (30) 에 지지된 하측 유지 부재 (21) 와, 하측 유지 부재 (21) 에 지지된 구동 기기로서의 회동 (回動) 모터 (22) 와, 그 출력 축 (22A) 에 지지된 상측 유지 부재 (23) 를 구비하고 있다.The holding means 20 for separation|spacing includes the lower holding member 21 supported by the separating means 30, the rotation motor 22 as a drive device supported by the lower holding member 21, and the output An upper holding member 23 supported by the shaft 22A is provided.

이간 수단 (30) 은, 구동 기기로서의 리니어 모터 (31) 와, 그 슬라이더 (31A) 에 지지되어, 상면측에서 하측 유지 부재 (21) 를 지지하는 유지 아암 (32) 을 구비하고 있다.The separation means 30 includes a linear motor 31 as a driving device, and a holding arm 32 supported by the slider 31A and supporting the lower holding member 21 from the upper surface side.

주고 받기 수단 (40) 은, 일체물 (WK) 에 있어서의 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지하는 복수의 주고 받기용 유지 수단 (41) 과, 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지한 주고 받기용 유지 수단 (41) 을 상대 이동시켜, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 장력 부여 수단 (42) 과, 주고 받기용 유지 수단 (41) 에 의해 유지한 일체물 (WK) 을 반송하는 반송 수단 (43) 을 구비하고 있다.The sending/receiving means 40 includes a plurality of sending/receiving holding means 41 for holding the other end AE2 of the adhesive sheet AS in the integral body WK, and the other end of the adhesive sheet AS. A predetermined tension is applied to the outer edge portion of the adhesive sheet AS including the end portion AE1 held by the holding means 20 for separation by relatively moving the holding means 41 for giving and receiving holding the AE2. It is provided with the tension|tensile_strength provision means 42 to carry out, and the conveyance means 43 which conveys the integral object WK hold|maintained by the holding means 41 for delivery.

주고 받기용 유지 수단 (41) 은, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시되지 않은 감압 수단에 의해 흡착 유지가 가능한 4 체 (體) 의 흡착 패드 (41A) 와, 각 흡착 패드 (41A) 를 지지하는 지지 아암 (41B) 을 구비하고 있다.The sending/receiving holding means 41 includes four suction pads 41A capable of adsorption and holding by an unillustrated pressure reducing means such as a pressure reducing pump or a vacuum ejector, and supporting each suction pad 41A. A support arm 41B is provided.

장력 부여 수단 (42) 은, X 축 방향 및 Y 축 방향의 2 축 방향으로 이동 가능한 슬라이더 (42B) 를 구비한 구동 기기로서의 4 체의 XY 테이블 (42A) 을 구비하고, 각 슬라이더 (42B) 각각에 지지 아암 (41B) 이 지지되어 있다.Tension applying means 42 is provided with four XY tables 42A as a drive device provided with the slider 42B movable in the biaxial direction of an X-axis direction and a Y-axis direction, and each slider 42B The support arm 41B is supported.

반송 수단 (43) 은, 복수의 아암에 의해 구성된 구동 기기로서의 다관절 로봇 (43A) 과, 그 작업부인 선단 아암 (43B) 에 지지되어, 4 체의 XY 테이블 (42A) 을 지지하는 베이스 프레임 (43C) 을 구비하고 있다. 또한, 다관절 로봇 (43A) 은, 그 작업 범위 내에 있어서, 선단 아암 (43B) 에 의해 지지한 것을 어느 위치, 어느 각도로도 변위 가능한 이른바 6 축 로봇 등이어도 되고, 예를 들어, 일본 공개특허공보 2016－81974 에 예시되어 있는 다관절 로봇 (111) 등을 예시할 수 있다.The conveying means 43 is supported by the articulated robot 43A as a driving device constituted by a plurality of arms, and a distal end arm 43B serving as its work part, and a base frame supporting four XY tables 42A. 43C) is provided. The articulated robot 43A may be a so-called 6-axis robot that can displace what is supported by the tip arm 43B at any position and at any angle within its working range, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. The articulated robot 111 etc. illustrated in Publication 2016-81974 can be exemplified.

이상의 이간 장치 (10) 의 동작을 설명한다.The operation of the above separation device 10 will be described.

먼저, 각 부재가 도 1(A), 도 1(B) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에서 대기하고 있는 이간 장치 (10) 에 대해, 당해 이간 장치 (10) 의 사용자 (이하, 간단히 「사용자」라고 한다) 가 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시되지 않은 조작 수단을 통하여 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그러면, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A) 을 구동시켜, 도시되지 않은 소정의 일체물 공급 위치에 공급된 일체물 (WK) 의 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 에 흡착 패드 (41A) 를 맞닿게 한 후, 도시되지 않은 감압 수단을 구동시켜, 당해 접착 시트 (AS) 의 흡착 유지를 개시한다. 이어서, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A) 을 구동시키고, 도 1(B) 중 실선으로 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (41A) 로 흡착 유지한 일체물 (WK) 을 각 이간용 유지 수단 (20) 의 상방으로 반송한 후, XY 테이블 (42A) 을 구동시키고, 소정의 토크로 흡착 패드 (41A) 를 접착 시트 (AS) 의 대각선 방향으로 이동시켜, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여한다.First, with respect to the separation device 10 in which each member is on standby at the initial position indicated by the solid line in FIGS. 1A and 1B , the user of the separation device 10 (hereinafter simply referred to as “user”) a) A signal for starting automatic operation is input through an operation means (not shown) such as an operation panel or a personal computer. Then, the give-and-take means 40 drives the articulated robot 43A, and the integral object WK supplied to a predetermined unillustrated object supply position is adsorbed to the other end AE2 of the adhesive sheet AS. After the pad 41A is brought into contact, a pressure-reducing means (not shown) is driven to start adsorbing and holding the adhesive sheet AS. Next, the sending/receiving means 40 drives the articulated robot 43A, and as shown by the solid line in FIG.1(B), the integral object WK hold|maintained by the suction pad 41A is hold|maintaining for each separation. After conveying above the means 20, the XY table 42A is driven, the suction pad 41A is moved diagonally of the adhesive sheet AS by predetermined torque, and the holding means 20 for separation|spacing is A predetermined tension is applied to the outer edge of the adhesive sheet AS including the holding end AE1.

이 때, 검지 수단 (50) 이 카메라 등을 구동시켜, 피착체 (CP) 의 검지를 실시함과 함께, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A) 을 구동시켜, 당해 검지 수단 (50) 의 검지 결과를 기초로 하여, 피착체 (CP) 의 위치 결정을 실시하면서, 도 1(B) 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 외연부에 소정의 장력을 부여한 상태의 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 하측 유지 부재 (21) 상에 재치 (載置) 한다. 주고 받기 수단 (40) 은, 예를 들어, 피착체 (CP) 전체의 중심 위치가 당해 이간 장치 (10) 의 소정의 위치 (예를 들어, 당해 이간 장치 (10) 의 센터의 위치) 로부터 위치 어긋나지 않도록, 또는, 피착체 (CP) 전체의 외곽변이나 각 피착체 (CP) 의 외곽변이 각각 X 축과 Y 축과 평행해지도록 피착체 (CP) 의 위치 결정을 실시한다.At this time, while the detection means 50 drives a camera etc. to detect the to-be-adhered body CP, while the sending/receiving means 40 drives the articulated robot 43A, the said detection means 50 ) while positioning the adherend CP on the basis of the detection result, as shown by the dashed-dotted line in FIG. The end portion AE1 is mounted on the lower holding member 21 . In the sending/receiving means 40 , for example, the central position of the entire adherend CP is positioned from a predetermined position of the separation device 10 (eg, the position of the center of the separation device 10 ). The adherend CP is positioned so as not to be shifted or so that the entire outer edge of the adherend CP or the outer edge of each adherend CP are parallel to the X axis and the Y axis, respectively.

그 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (22) 를 구동시켜, 하측 유지 부재 (21) 와 상측 유지 부재 (23) 에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하면, 주고 받기 수단 (40) 이 도시되지 않은 감압 수단의 구동을 정지시켜, 접착 시트 (AS) 의 흡착 유지를 해제한 후, 다관절 로봇 (43A) 을 구동시켜, 흡착 패드 (41A) 를 초기 위치로 복귀시킨다. 다음으로, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시키고, 도 1(C) 에 나타내는 바와 같이, 이간용 유지 수단 (20) 을 서로 이간시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 이 때, 각 피착체 (CP) 는, 접착 시트 (AS) 의 뒤틀림 등에 의해, 상호 간격이 소정의 간격으로 넓어지지 않는 경우가 있다. 그래서, 검지 수단 (50) 의 검지 결과를 기초로 하여, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시켜, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 각 이간용 유지 수단 (20) 을 개별적으로 이동시킨다.Then, when the holding means 20 for separation drives each rotation motor 22, and hold|maintains the edge part AE1 of the adhesive sheet AS by the lower holding member 21 and the upper holding member 23, After the sending/receiving means 40 stops the driving of the decompression means (not shown) to release the suction holding of the adhesive sheet AS, the articulated robot 43A is driven to return the suction pad 41A to the initial position. bring it back Next, the separation means 30 drives each linear motor 31, and as shown in FIG. to widen the distance between the adherends CP. At this time, the mutual space|interval may not spread by predetermined space|interval between each to-be-adhered body CP by distortion of the adhesive sheet AS, etc. at this time. Then, based on the detection result of the detection means 50, the separation means 30 drives each linear motor 31, and holding|maintenance for each separation so that the mutual space|interval of each to-be-adhered body CP may become a predetermined space|interval. The means 20 are moved individually.

그리고, 픽업 장치나 반송 장치 등의 도시되지 않은 피착체 취출 수단에 의해, 모든 피착체 (CP) 또는 소정량의 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 분리되면, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동시켜, 각각의 슬라이더 (31A) 를 초기 위치로 복귀시킨 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (22) 를 구동시켜, 상측 유지 부재 (23) 를 초기 위치로 복귀시킨다. 이어서, 작업자 또는, 도시되지 않은 반송 수단이, 하측 유지 부재 (21) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 제거하고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.Then, when all of the adherends CP or a predetermined amount of the adherends CP are separated from the adhesive sheet AS by a non-illustrated adherend taking out means such as a pickup device or a conveying device, the separation means 30 is After driving each linear motor 31 and returning each slider 31A to an initial position, the holding means 20 for separation drives the rotation motor 22, and moves the upper holding member 23 to an initial position. return to Then, an operator or an unillustrated conveying means removes the adhesive sheet AS left on the lower holding member 21, and then the same operation is repeated.

이상과 같은 이간 장치 (10) 에 의하면, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지하는 단부 (AE1) 를 포함하는 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하고, 일체물 (WK) 을 이간용 유지 수단 (20) 에 주고 받으므로, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 가 처지거나, 흔들리거나 하는 경우가 없어, 당해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 확실하게 이간용 유지 수단 (20) 에 유지시킬 수 있다.According to the above separation apparatus 10, predetermined tension is given to the outer edge part of adhesive sheet AS including the edge part AE1 held by the holding means 20 for separation|spacing, and the integral object WK is provided. Since it is exchanged with the holding means 20 for separation|spacing, the edge part AE1 of the adhesive sheet AS does not sag or shake, and it holds the edge part AE1 of the said adhesive sheet AS reliably for separation. It can be held in the means (20).

본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그 수단들 및 공정들에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 이룰 수 있는 한 전혀 한정되지 않고, 하물며, 상기 실시형태에서 나타낸 단순한 일 실시형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되지 않는다. 예를 들어, 이간용 유지 수단은, 복수 또는 단수로 구성되어, 접착 시트의 일방의 면과 타방의 면의 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 일체물에 있어서의 당해 접착 시트의 단부를 유지 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 대조하여, 그 기술 범위 내의 것이면 전혀 한정되지 않는다 (그 밖의 수단 및 공정도 동일하다).The means and processes in the present invention are not limited at all as long as the operations, functions, or processes described for the means and processes can be achieved, and much less, to the structure or process of a simple one embodiment shown in the above embodiment. not limited at all. For example, the holding means for separation is composed of a plurality or a single number, and a plurality of adherends or a plurality of adherends divided into a plurality of adherends are adhered to at least one of one side and the other side of the adhesive sheet. As long as the edge portion of the adhesive sheet can be held, it is not limited at all as long as it is within the technical scope as opposed to the technical common sense at the beginning of the application (other means and processes are the same).

본 발명의 이간 장치는, 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 이간용 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 피착체 접착 영역 (CE) 보다 외측이고, 이간용 유지 수단 (20) 이 유지한 피유지 영역 (HE) 의 내측에서 당해 접착 시트 (AS) 에 맞닿는 맞닿음 수단 (60) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 이간용 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30A) 과, 주고 받기 수단 (40) 을 구비한 이간 장치 (10A) 로 해도 된다.As shown in Fig. 2(A), the separation device of the present invention is an adherend adhesion region CE to which a separation holding means 20 and a plurality of adherends CP in an adhesive sheet AS are affixed. ) outside and abutting means 60 abutting against the adhesive sheet AS from the inside of the holding region HE held by the separation holding means 20, and the end portion AE1 of the adhesive sheet AS Separation means 30A for relatively moving the holding means 20 for separation and the abutment means 60 holding the and applying tension to the adhesive sheet AS to widen the mutual distance between the adherends CP, and It is good also as 10 A of separation devices provided with the receiving means 40.

또한, 이간 장치 (10A) 에 있어서, 이간 장치 (10) 와 동등한 구성으로 동등한 기능을 갖는 것은, 당해 이간 장치 (10) 와 동일한 번호를 부여하여 그 구성 설명은 생략하고, 동작 설명은 간략화한다.In addition, in the spacer device 10A, the structure equivalent to the spacer device 10, and what has an equivalent function is given the same number as the said spacer device 10, the structure description is abbreviate|omitted, and operation description is simplified.

이간 수단 (30A) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터 (33) 를 구비하고, 그 출력축 (33A) 에서 하측 유지 부재 (21) 를 지지하고 있다.The separation means 30A includes a linear motor 33 as a drive device supported on the base plate BP, and supports the lower holding member 21 on the output shaft 33A.

맞닿음 수단 (60) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 원통상의 맞닿음 부재 (61) 를 구비하고 있다.The abutting means 60 is provided with the cylindrical abutting member 61 supported on the base plate BP.

이와 같은 이간 장치 (10A) 는, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여, 주고 받기 수단 (40) 이 다관절 로봇 (43A), 도시되지 않은 감압 수단 및 XY 테이블 (42A) 을 구동시키고, 도 2(A) 중 이점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 흡착 패드 (41A) 로 흡착 유지한 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하면서, 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 하측 유지 부재 (21) 상에 재치한다. 그 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (22) 를 구동시키고, 도 2(B) 에 나타내는 바와 같이, 하측 유지 부재 (21) 와 상측 유지 부재 (23) 에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지한 후, 이간 수단 (30A) 이 각 직동 모터 (33) 를 구동시키고, 이간용 유지 수단 (20) 을 하강시켜 이간용 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 그 후, 도시되지 않은 피착체 취출 수단에 의해, 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 분리되면, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동시켜, 각 부재를 초기 위치로 복귀시킨 후, 하측 유지 부재 (21) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 분리시키고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.In such a separation device 10A, in the same manner as the separation device 10, the sending/receiving means 40 drives the articulated robot 43A, the unillustrated pressure reducing means and the XY table 42A, in Fig. 2 . As shown by the double-dotted chain line in (A), the end part AE1 of the adhesive sheet AS is attached to the lower holding member while a predetermined tension is applied to the outer edge of the adhesive sheet AS adsorbed and held by the suction pad 41A. (21) It is placed on the table. Then, the holding means 20 for separation drives each rotation motor 22, and, as shown in FIG.2(B), the adhesive sheet AS by the lower holding member 21 and the upper holding member 23. ), after holding the edge part AE1, the separation means 30A drives each linear motor 33, the holding means for a separation 20 is lowered, and the holding means 20 for separation|spacing and the contact|abutting means 60 ) is relatively moved, and tension is applied to the adhesive sheet AS to widen the mutual spacing between the adherends CP. After that, when the adherend CP is separated from the adhesive sheet AS by an adherend taking out means (not shown), each means drives a respective driving device to return each member to the initial position, and then The adhesive sheet AS left on the holding member 21 is separated, and then the same operation is repeated.

이와 같은 이간 장치 (10A) 에 의해서도, 이간 장치 (10) 와 동일한 효과를 얻을 수 있다.Also with such a separation device 10A, the same effect as that of the separation device 10 can be obtained.

이간용 유지 수단 (20) 은, 타방의 면 (AS2) 이나, 일방의 면 (AS1) 및 타방의 면 (AS2) 의 양방의 면에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 구성이어도 되고, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 클롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하는 구성이어도 된다.The holding means 20 for separation|spacing is the other surface AS2, the one surface AS1, and the adhesive sheet AS by which the some to-be-adhered body CP was affixed to the both surfaces of the other surface AS2. may be configured to hold the end AE1 of the adhesive sheet AS, or the end AE1 of the adhesive sheet AS is held by a holding means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, a Klong force, an adhesive, an adhesive, a magnetic force, a Bernoulli adsorption, a driving device, etc. configuration may be used.

이간용 유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10) 의 경우, 예를 들어, 우방으로 이동하는 당해 이간용 유지 수단 (20) 을 1 체로 하고, 좌방으로 이동하는 당해 이간용 유지 수단 (20) 을 1 체로 한 2 체로 구성해도 되고, 예를 들어, 우방, 좌방 및 그 밖의 방향으로 이동하는 3 체 이상으로 구성해도 된다.In the case of the separation device 10 , the holding means 20 for a separation includes the holding means 20 for a separation moving to the right as one unit, and the holding means 20 for a separation moving to the left, for example. may be constituted by two sieves made of one sieve, for example, may be constituted by three or more sieves moving in the right, left, and other directions.

이간용 유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10A) 의 경우, 1 체여도 되고 2 체 이상이어도 된다.The number of holding means 20 for separation|spacing may be one, or two or more bodies may be sufficient as it, in the case of 10 A of separation|spacing apparatuses.

이간 수단 (30, 30A) 은, 복수가 아니라 단수여도 되며, 이 경우, 예를 들어, 이간 장치 (10) 는, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로, 이간용 유지 수단 (20) 을 각각 1 체씩 지지하여, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.The separation means 30 and 30A may be singular instead of plural, and in this case, for example, the separation device 10 is two sliders of a single linear motor, and the separation holding means 20 is provided. A configuration in which each of the bodies is supported one by one to widen the mutual spacing of the adherends CP, and the mutual spacing of the adherends CP is widened only in one axial direction (for example, in the X-axis direction or the Y-axis direction, etc.) can be done with

이간 수단 (30) 은, 상호 간격을 3 축 이상의 방향 (예를 들어, X 축 방향, Y 축 방향 및 그 밖의 축 방향) 으로 넓히는 구성이어도 되고, 예를 들어, X 축 방향으로 이동시킨 복수의 이간용 유지 수단 (20) 을 각각 Y 축 방향으로 이동시키는 구성 (Y 축 방향으로 이동시킨 복수의 이간용 유지 수단 (20) 을 각각 X 축 방향으로 이동시키는 구성) 으로 하여, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록 작동할 수 없는 구성이어도 된다.The separation means 30 may be configured to widen the mutual spacing in three or more directions (eg, X-axis direction, Y-axis direction, and other axial directions), for example, a plurality of A structure in which the holding means for separation 20 is respectively moved in the Y-axis direction (the configuration in which the plurality of holding means 20 for separation moved in the Y-axis direction are respectively moved in the X-axis direction) is set as the adherend CP. may increase the mutual spacing of , or the structure may not operate so that the mutual spacing of the adherends CP becomes a predetermined spacing.

이간 수단 (30A) 은, 이간용 유지 수단 (20) 을 정지 또는 이동시키면서, 맞닿음 수단 (60) 을 이동시킴으로써, 이간용 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시키고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 된다.The separation means 30A moves the contact means 60 while stopping or moving the holding means 20 for a separation, thereby relatively moving the holding means for a separation 20 and the contact means 60, and adhesion|attachment Tension may be applied to the sheet AS to widen the mutual spacing between the adherends CP.

이간 수단 (30, 30A) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 되고, 이 경우, 예를 들어, 검지 수단 (50) 에 의한 검지 결과를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 검지 결과에 따라 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 (相似) 관계가 되도록, 작업자가 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 된다.As for the separation means 30 and 30A, an operator may operate a button, a lever, etc., and may drive the linear motor 31 and the linear motor 33, In this case, detection by the detection means 50, for example. The result is configured to be displayed on an indicator such as a monitor or detector, so that the mutual spacing of the adherends CP becomes a predetermined interval according to the detection result displayed on the indicator, or the overall aggregate shape of each adherend CP is An operator may drive the linear motor 31 and the linear motor 33 so that it may become a similar relationship with respect to the original whole assembly shape.

주고 받기 수단 (40) 은, 피착체 (CP) 의 위치 결정을 실시하지 않고, 외연부에 소정의 장력을 부여한 상태의 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 하측 유지 부재 (21) 상에 재치하도록 해도 된다.The sending/receiving means 40 does not position the adherend CP, but holds the end AE1 of the adhesive sheet AS in a state in which a predetermined tension is applied to the outer edge portion on the lower holding member 21 . You can make it funny.

장력 부여 수단 (42) 은, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 대해 X 축 방향, Y 축 방향 또는 그 밖의 방향으로만 소정의 장력을 부여해도 되고, 소정의 토크가 아니라, 흡착 패드 (41A) 를 소정 거리 이동시켜 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여해도 되고, 접착 시트 (AS) 의 대각선 방향으로부터 어긋난 방향으로 흡착 패드 (41A) 를 이동시켜도 되고, 복수가 아니라 단수여도 되며, 이 경우, 예를 들어, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로 주고 받기용 유지 수단 (41) 을 각각 1 쌍씩 지지하여, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.The tension application means 42 may apply a predetermined tension only in the X-axis direction, the Y-axis direction, or other directions with respect to the outer edge of the adhesive sheet AS, and is not a predetermined torque, but the suction pad 41A. may be moved a predetermined distance to apply a predetermined tension to the outer edge of the adhesive sheet AS, or the suction pad 41A may be moved in a direction shifted from the diagonal direction of the adhesive sheet AS, or may be singular instead of plural. In this case, for example, two sliders of a single linear motor support one pair of the holding means 41 for sending and receiving, respectively, and a configuration in which a predetermined tension is applied to the outer edge of the adhesive sheet AS. It is good also as a structure which expands the mutual space|interval of the to-be-adhered body CP only in uniaxial direction (For example, X-axis direction, Y-axis direction, etc.).

주고 받기용 유지 수단 (41) 은, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 클롱력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 접착 시트 (AS) 의 다른 단부 (AE2) 를 유지하는 구성이어도 된다.The sending/receiving holding means 41 is configured to hold the other end AE2 of the adhesive sheet AS by a holding means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, a Klong force, an adhesive, an adhesive, a magnetic force, a Bernoulli adsorption, a driving device, or the like. configuration may be sufficient.

장력 부여 수단 (42) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, XY 테이블 (42A) 을 구동시켜도 되고, 이 경우, 예를 들어, XY 테이블 (42A) 이 출력하는 토크를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 토크값이 소정값이 되도록, 또는, XY 테이블 (42A) 의 슬라이더 (42B) 의 이동량을 표시기에 표시하도록 구성하여, 이 표시기에 표시되는 이동량이 소정의 이동량이 되도록, 작업자가 XY 테이블 (42A) 을 구동시켜도 된다.The tension application means 42 may drive the XY table 42A by an operator operating a button, a lever, etc., and in this case, for example, the torque output by the XY table 42A is monitored or a detector, etc. The display is configured to be displayed so that the torque value displayed on the indicator is a predetermined value, or the movement amount of the slider 42B of the XY table 42A is configured to be displayed on the indicator, so that the movement amount displayed on the indicator is a predetermined value An operator may drive the XY table 42A so that it may become a movement amount.

주고 받기 수단 (40) 이 접착 시트 (AS) 의 외연부에 부여하는 소정의 장력은, 당해 접착 시트 (AS) 의 외연부가 느슨해지지 않을 정도 이상의 장력이면, 그 값은 사용자가 임의로 결정할 수 있다.The value of the predetermined tension applied to the outer edge portion of the adhesive sheet AS by the giving/receiving means 40 is a tension greater than or equal to the extent that the outer edge portion of the adhesive sheet AS does not loosen, the value can be arbitrarily determined by the user.

검지 수단 (50) 은, 예를 들어, 작업자의 육안이어도 되고, 이 경우, 작업자의 육안으로 접착 시트 (AS) 의 외연부에 소정의 장력을 부여하거나, 피착체 (CP) 의 위치와 당해 이간 장치 (10) 의 위치 맞춤을 실시하거나, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 원래의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록 하거나 하기 위해서, 버튼이나 레버 등을 조작하여, XY 테이블 (42A), 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시키도록 구성해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되어 있지 않아도 된다.The detection means 50 may be, for example, the naked eye of an operator, and in this case, a predetermined tension is applied to the outer edge portion of the adhesive sheet AS by the operator's naked eye, or the position of the adherend CP and the distance Positioning of the apparatus 10 is performed, the mutual spacing of the adherends CP is made to be a predetermined interval, or the overall aggregate shape of each adherend CP is made to have a similar relationship to the original overall aggregated shape, or In order to do this, the XY table 42A, the linear motor 31, and the linear motor 33 may be configured to drive the XY table 42A, the linear motor 31, and the linear motor 33 by operating a button, a lever, etc. you don't have to

맞닿음 수단 (60) 은, 각통 형상이나 타원통 형상 등의 외에, 원 기둥, 각 기둥, 타원 기둥 등의 그 밖의 형상의 맞닿음 부재 (61) 를 채용해도 된다.The contact means 60 may employ|adopt the contact member 61 of other shapes, such as a cylindrical column, a square column, and an oval column, other than a square cylindrical shape, an elliptical cylindrical shape, etc.

이간 장치 (10) 는, 먼저, 주고 받기 수단 (40) 이 XY 테이블 (42A) 을 구동시켜, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 대해 X 축 방향으로만 소정의 장력을 부여한 후, 이간용 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (22) 를 구동시켜, X 축 방향으로 늘어선 이간용 유지 수단 (20) 만에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하고, 그 후, 동일하게 하여, 접착 시트 (AS) 의 외연부에 대해 Y 축 방향으로만 소정의 장력을 부여한 후, Y 축 방향으로 늘어선 이간용 유지 수단 (20) 만에 의해 접착 시트 (AS) 의 단부 (AE1) 를 유지하도록 구성해도 된다 (이 경우, X 와 Y 는 반대여도 된다).The separation device 10 first drives the XY table 42A and applies a predetermined tension to the outer edge of the adhesive sheet AS only in the X-axis direction, and then the holding device for separation. The means 20 drives the rotation motor 22, hold|maintains the edge part AE1 of the adhesive sheet AS only by the holding means 20 for separation|spacing in a line in an X-axis direction, After that, it is carried out similarly, After applying a predetermined tension only in the Y-axis direction to the outer edge of the adhesive sheet AS, the end AE1 of the adhesive sheet AS is held by only the holding means 20 for separation arranged in the Y-axis direction. You may comprise (in this case, X and Y may be opposite).

접착 시트 (AS) 가 소정의 에너지에 의해, 그 접착력이 저하되는 것인 경우, 도시되지 않은 피착체 취출 수단으로 접착 시트 (AS) 로부터 피착체 (CP) 를 분리하기 전에, 소정의 에너지를 부여 가능한 에너지 부여 수단으로 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시켜도 된다. 또한, 이와 같은 에너지 부여 수단은, 모든 파장의 전자파 (예를 들어 X 선이나 적외선 등), 가열 또는 냉각된 기체나 액체 등의 유체등을 에너지로 하여 접착 시트 (AS) 에 부여하는 것이어도 되고, 접착 시트 (AS) 의 구성에 따라 당해 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킬 수 있는 에너지를 부여 가능한 것이면 어떤 것이어도 된다.When the adhesive sheet AS is one whose adhesive force is lowered by a predetermined energy, before separating the adherend CP from the adhesive sheet AS by an adherend taking out means (not shown), a predetermined energy is applied You may reduce the adhesive force of the adhesive sheet AS by possible energy provision means. In addition, such energy imparting means may be applied to the adhesive sheet AS using electromagnetic waves of all wavelengths (eg, X-rays or infrared rays), heated or cooled fluids such as gas or liquid, etc. as energy. , As long as the energy capable of reducing the adhesive force of the adhesive sheet AS can be provided depending on the configuration of the adhesive sheet AS, any may be used.

본 발명에 있어서의 접착 시트 (AS) 및 피착체 (CP) 의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 접착 시트 (AS) 나 피착체 (CP) 는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 접착 시트 (AS) 는, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 된다. 또, 접착 시트 (AS) 는, 예를 들어, 접착제층만인 단층의 것, 기재와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖거나 하는 3 층 이상의 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 이른바 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 그러한 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또, 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 반도체 칩, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 되고, 그것들 2 개 이상으로 형성된 복합물이어도 되며, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 (AS) 는, 기능적, 용도적인 해석법으로 바꾸어, 예를 들어, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이아 터치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 된다.The material, type, shape, etc. of the adhesive sheet AS and the to-be-adhered body CP in this invention are not specifically limited. For example, the adhesive sheet AS or the adherend CP may have a polygonal shape such as a circle, an ellipse, a triangle or a square, or other shapes, and the adhesive sheet AS may have pressure-sensitive adhesive properties, heat-sensitive adhesive properties, etc. The adhesive form may be sufficient. In addition, the adhesive sheet AS is, for example, a single-layer thing that is only an adhesive layer, a thing having an intermediate layer between the base material and the adhesive layer, three or more layers having a cover layer on the upper surface of the base material, furthermore, the base material may be such as a so-called double-sided adhesive sheet capable of peeling from the adhesive layer, and the double-sided adhesive sheet may have a single or multi-layered intermediate layer, or may be a single-layer or multi-layered one without an intermediate layer. Examples of the adherend CP include food, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, semiconductor chips, circuit boards, information recording substrates such as optical disks, glass plates, steel plates, ceramics, A single object such as a woodblock or resin may be used, or a composite formed of two or more thereof may be used, and members, articles, and the like of any shape may be used as objects. In addition, the adhesive sheet AS is changed to a functional and application analysis method, for example, an information base label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a diamond touch film, a die bonding tape, a recording layer formation resin sheet, etc. may be any sheet, film, or tape of

피착체 (CP) 는, 미리 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하고 있는 것이어도 되고, 이간 수단 (30, 30A), 그 밖의 기구 또는 사람의 손 등으로 외력을 부여한 시점에서 복수로 분할되어, 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하는 것과 같은 분할되어 복수가 되는 것이어도 된다. 이와 같은 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 로는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼나 기판 등에 레이저를 조사하여, 당해 반도체 웨이퍼나 기판 등에 선상이나 격자상 등의 취약한 취약층을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 반도체 웨이퍼나 기판 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것이나, 예를 들어, 수지나 유리판 등에 커터날로 절입하고, 당해 수지나 유리판 등에 선상이나 격자상 등의 표리에 관통하지 않는 절입이나 절취선 등의 절단 예정 라인을 형성해 두어, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 수지나 유리판 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것 등, 전혀 한정되는 것은 아니다.The adherend CP may exist in plurality on the adhesive sheet AS in advance, and is divided into plural when an external force is applied by the separation means 30 and 30A, another mechanism, or a human hand, etc. What is divided|segmented, what exists in plurality on the adhesive sheet AS, and becomes a plurality may be sufficient. As such a divided and plural adherend (CP), for example, a laser is irradiated to a semiconductor wafer or substrate, etc. to form a weakly weak layer such as a linear or a grid shape on the semiconductor wafer or substrate, and an adhesive sheet ( If tension is applied to AS), or external force is applied directly or indirectly to a semiconductor wafer or substrate, etc., or is separated into pieces at one point in time to form a plurality of adherends (CP), for example, cut into a resin or glass plate with a cutter blade. Then, on the resin or glass plate, etc., a line to be cut, such as a cut or perforation line that does not penetrate the front and the back such as a linear or grid shape, is formed to apply tension to the adhesive sheet (AS), or to apply an external force directly or indirectly to the resin or glass plate, etc. It is not limited at all, such as providing a plurality of adherends (CP) by giving them or separating them into pieces at one point in time.

상기 실시형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.As the drive device in the above embodiment, an electric device such as a rotary motor, a linear motor, a linear motor, a single-axis robot, and an articulated robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, and a rotary cylinder, etc. can be adopted. In addition, a direct or indirect combination of them may be employed.

10, 10A : 이간 장치
20 : 이간용 유지 수단
30, 30A : 이간 수단
40 : 주고 받기 수단
41 : 주고 받기용 유지 수단
42 : 장력 부여 수단
43 : 반송 수단
60 : 맞닿음 수단
AE1 : 단부
AE2 : 다른 단부
AS : 접착 시트
AS1 : 일방의 면
AS2 : 타방의 면
CE : 피착체 접착 영역
CP : 피착체
HE : 유지 영역
WK : 일체물10, 10A: separation device
20: maintenance means for separation
30, 30A: separation means
40: means of giving and receiving
41: holding means for giving and receiving
42: means for applying tension
43: conveyance means
60: abutting means
AE1: end
AE2: the other end
AS: adhesive sheet
AS1: one side
AS2: the other side
CE: Adhesive Adhesive Area
CP: adherend
HE: holding area
WK: all-in-one

Claims

A plurality of separation holding means for holding the end portions of the adhesive sheet in an integral body in which a plurality of adherends or a plurality of adherends divided into a plurality of adherends are affixed on at least one of one surface and the other surface of the adhesive sheet;
Separation means for relatively moving the separation holding means holding the end portion of the adhesive sheet, and applying tension to the adhesive sheet to widen the mutual distance between the adherends;
and a give-and-receive means for holding the integral object and sending and receiving the integral object to and from the plurality of holding means for separation;
The sending/receiving means relatively moves a plurality of sending/receiving holding means for holding the other end of the adhesive sheet in the integral body and the sending/receiving holding means holding the other end of the adhesive sheet, Tension imparting means for applying a predetermined tension to an outer edge portion of the adhesive sheet including an end portion held by the separation holding means; A separation device, characterized in that there is.

Separation holding means for holding an end of the adhesive sheet in an integral body in which a plurality of adherends or a plurality of adherends divided into a plurality of adherends are affixed on at least one of one surface and the other surface of the adhesive sheet;
abutting means in the adhesive sheet outside the adherend bonding region to which the plurality of adherends are affixed and abutting against the adhesive sheet inside the holding region held by the separation holding means;
Separation means for relatively moving the holding means for separation and the abutment means holding the ends of the adhesive sheet, and applying tension to the adhesive sheet to widen the mutual distance between the adherends;
and a give-and-receive means for holding the integral object and sending and receiving the integral object to the separation holding means;
The sending/receiving means relatively moves a plurality of sending/receiving holding means for holding the other end of the adhesive sheet in the integral body and the sending/receiving holding means holding the other end of the adhesive sheet, Tension imparting means for applying a predetermined tension to an outer edge portion of the adhesive sheet including an end portion held by the separation holding means; A separation device, characterized in that there is.

An end portion of the adhesive sheet in an integral object in which a plurality of adherends or a plurality of adherends divided into a plurality of adherends are affixed on at least one of one surface and the other surface of the adhesive sheet by a plurality of separation holding means. a maintenance process for separation,
a separation step of relatively moving the separation holding means holding the end portion of the adhesive sheet, and applying tension to the adhesive sheet to widen the mutual spacing between the adherends;
Further comprising a sending/receiving step of holding the integral and sending and receiving the integral to and from the plurality of holding means for separation;
The sending/receiving step includes a holding step for holding the other end of the adhesive sheet in the integral body with a plurality of holding means for sending/receiving, and the holding step for holding the other end of the adhesive sheet. a tension application step of relatively moving means to apply a predetermined tension to an outer edge portion of the adhesive sheet including an end portion held by the separation holding means; It has a conveying process of conveying, The separation method characterized by the above-mentioned.

For separation in which a plurality of adherends or a plurality of to-be-divided adherends are affixed on at least one of one surface and the other surface of the adhesive sheet, the end portion of the adhesive sheet is held by a separation holding means maintenance process;
abutting means in the adhesive sheet outside the adherend bonding region to which the plurality of adherends are affixed, and abutting against the adhesive sheet inside the holding region held by the separation holding means, and an end portion of the adhesive sheet a separation step of relatively moving the held holding means for separation and applying tension to the adhesive sheet to widen the mutual spacing between the adherends;
Further comprising a give-and-receive process of holding the integral object and sending and receiving the integral object to the separation holding means,
The sending/receiving step includes a holding step for holding the other end of the adhesive sheet in the integral body with a plurality of holding means for sending/receiving, and the holding step for holding the other end of the adhesive sheet. a tension application step of relatively moving means to apply a predetermined tension to an outer edge portion of the adhesive sheet including an end portion held by the separation holding means; It has a conveying process of conveying, The separation method characterized by the above-mentioned.