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KR102385458B1 - 플렉서블 표시 장치 및 그의 제조 방법 - Google Patents

플렉서블 표시 장치 및 그의 제조 방법 Download PDF

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KR102385458B1
KR102385458B1 KR1020160129098A KR20160129098A KR102385458B1 KR 102385458 B1 KR102385458 B1 KR 102385458B1 KR 1020160129098 A KR1020160129098 A KR 1020160129098A KR 20160129098 A KR20160129098 A KR 20160129098A KR 102385458 B1 KR102385458 B1 KR 102385458B1
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layer
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electrode
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이상조
최원석
최윤선
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치는, 벤딩 영역 및 비벤딩 영역이 정의된 기판, 상기 비벤딩 영역에 제공되는 발광부, 상기 기판 상에 배치되는 제1 절연층 및 상기 제1 절연층 상에 배치되는 도전층을 포함하고, 상기 제1 절연층의 측벽은 연속적으로 배치된 세 개 이상 만곡면들이 제공된 테이퍼 형상이다.

Description

플렉서블 표시 장치 및 그의 제조 방법{FLEXIBLE DISPLAY DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명의 실시예는 플렉서블 표시 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
휴대 가능한 표시 장치에 대한 수요가 증가하고 있고, 최근에는 사용자의 외력에 의해 휘어지거나 접힐 수 있는 플렉서블 표시 장치에 대한 관심이 증가하고 있다. 플렉서블 표시 장치는 플렉서블 기판, 박막 트랜지스터 및 발광부를 포함할 수 있다.
플렉서블 표시 장치 중 휘어지는 영역에 무기물이 배치되는 경우, 휘어짐으로 인한 스트레스로 인해 무기물이 변형, 파손될 수 있다.
플렉서블 표시 장치 중 휘어지는 영역에 단차가 있고, 단차 위에 금속성 물질이 배치되는 경우, 단차로 인해 금속성 물질이 끊어질 수 있다.
본 발명의 실시예는, 배선의 재료인 금속성 물질이 만곡면 위에 배치됨으로써 배선의 단선이 방지된 플렉서블 표시 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명의 실시예는, 플렉서블 표시 장치 중 벤딩 영역에 배치된 무기물을 레이저 조사를 통해 제거하므로, 제조에 필요한 마스크 수가 감소하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치는 벤딩 영역 및 비벤딩 영역이 정의된 기판, 상기 비벤딩 영역에 제공되는 발광부, 상기 기판 상에 배치되는 제1 절연층 및 상기 제1 절연층 상에 배치되는 도전층을 포함할 수 있고, 상기 제1 절연층의 측벽은 연속적으로 배치된 세 개 이상 만곡면들이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다.
실시예에 따라, 상기 플렉서블 표시 장치는 상기 제1 절연층 상에 배치되는 제2 절연층 및 상기 제2 절연층 상에 배치되는 제3 절연층을 더 포함할 수 있고, 상기 제1 절연층 상에 배치되는 제2 절연층 및 상기 제2 절연층 상에 배치되는 제3 절연층을 더 포함할 수 있고, 상기 제2 절연층의 측벽 및 상기 제3 절연층의 측벽 중 적어도 하나는 연속적으로 배치된 세 개 이상 만곡면들이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다.
실시예에 따라, 상기 플렉서블 표시 장치는 상기 비벤딩 영역에 제공되고, 상기 기판과 상기 발광부 사이에 배치되는 박막 트랜지스터를 더 포함할 수 있고, 상기 박막 트랜지스터는, 상기 제1 절연층과 상기 제2 절연층 사이에 배치되는 액티브 패턴, 상기 제2 절연층과 상기 제3 절연층 사이에 배치되는 게이트 전극; 및 상기 제3 절연층 상에 배치되는 소스 전극 및 드레인 전극을 포함할 수 있으며, 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 각각은 상기 제2 절연층 및 상기 제3 절연층을 관통하여 상기 액티브 패턴에 접촉될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 플렉서블 표시 장치는 상기 제3 절연층과 상기 소스 전극 사이에 배치되는 제4 절연층을 더 포함할 수 있고, 상기 제4 절연층의 측벽은 연속적으로 배치된 세 개 이상 만곡면들이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다.
실시예에 따라, 상기 박막 트랜지스터는 상기 박막 트랜지스터는, 상기 게이트 전극과 동일 평면 상에 배치되는 제1 커패시터 전극 및 상기 제3 절연층과 상기 제4 절연층 사이에 배치되는 제2 커패시터 전극을 더 포함할 수 있다.
실시예에 따라, 상기 박막 트랜지스터는 상기 소스 전극과 상기 발광부 사이에 배치되는 패시베이션층을 더 포함할 수 있고, 상기 발광부는, 상기 패시베이션층 상에 배치되고 상기 패시베이션층을 관통하여 상기 드레인 전극에 접촉되는 제1 전극, 상기 패시베이션층 및 상기 제1 전극 상에 배치되고, 상기 제1 전극 중 적어도 일부를 노출시키는 화소정의층, 상기 제1 전극 중 상기 화소정의층에 의해 노출된 부분 상에 배치되는 발광층 및 상기 화소정의층 및 상기 발광층 상에 배치되는 제2 전극을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법이라는 다른 측면이 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 벤딩 영역 및 비벤딩 영역이 정의된 기판을 준비하는 단계, 상기 기판의 전면 상에 제1 절연층을 형성하는 단계, 상기 제1 절연층 중 상기 벤딩 영역에 배치된 부분에 레이저를 조사하여 상기 제1 절연층 중 적어도 일부를 제거하는 단계, 상기 제1 절연층 상에 도전층을 형성하는 단계 및 상기 비벤딩 영역에 발광부를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
실시예에 따라, 상기 제1 절연층 중 적어도 일부를 제거하는 단계에서, 상기 레이저를 복수 회 조사하여 상기 제1 절연층의 측벽을 형성할 수 있으며, 상기 제1 절연층의 측벽은 연속적으로 배치된 세 개 이상 만곡면들이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다.
실시예에 따라, 상기 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 상기 기판의 전면 상에 상기 제1 절연층을 형성하는 단계 이후, 상기 제1 절연층 상에 제2 절연층을 형성하는 단계 및 상기 제2 절연층 상에 제3 절연층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시예에 따라, 상기 제1 절연층 중 상기 벤딩 영역에 배치된 부분에 상기 레이저를 조사하여 상기 제1 절연층 중 적어도 일부를 제거하는 단계에서, 상기 레이저를 복수 회 조사하여 상기 제2 절연층의 측벽 및 상기 제3 절연층의 측벽을 형성할 수 있으며, 상기 제2 절연층의 측벽 및 상기 제3 절연층의 측벽 중 적어도 하나는 연속적으로 배치된 세 개 이상 만곡면들이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다.
실시예에 따라, 상기 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 상기 제1 절연층을 형성하는 단계 이후, 상기 제1 절연층 상 및 상기 비벤딩 영역 내에 액티브 패턴을 형성하는 단계, 상기 제2 절연층을 형성하는 단계 이후, 상기 제2 절연층 상 및 상기 비벤딩 영역 내에 게이트 전극을 형성하는 단계 및 상기 제3 절연층을 형성하는 단계 이후, 상기 제2 절연층 및 상기 제3 절연층을 식각하여 상기 액티브 패턴 중 적어도 일부를 노출시키는 단계를 더 포함할 수 있고, 상기 도전층을 형성하는 단계에서 상기 액티브 패턴 중 노출된 부분 상에 소스 전극 및 드레인 전극이 형성될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 액티브 패턴 중 적어도 일부를 노출시키는 단계에서, 상기 제2 절연층 및 상기 제3 절연층의 식각에 의해 상기 제1 절연층의 상기 벤딩 영역에 배치된 부분 중 적어도 일부가 노출될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 상기 제1 절연층 중 적어도 일부를 제거하는 단계 이후, 상기 벤딩 영역 중 상기 기판 및 상기 제1 절연층 중 적어도 하나가 노출된 부분 상에 유기층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시예에 따라, 상기 유기층은 디스펜서의 선택적 도포에 의해 형성될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 제2 절연층 및 상기 제3 절연층을 식각하여 상기 액티브 패턴 중 적어도 일부를 노출시키는 단계에서, 상기 제2 절연층 및 상기 제3 절연층의 식각에 하프톤 마스크 또는 슬릿 마스크가 사용될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 제1 절연층 중 상기 벤딩 영역에 배치된 부분에 상기 레이저를 조사하여 상기 제1 절연층 중 적어도 일부를 제거하는 단계에서, 상기 레이저의 조사에 의해 상기 제1 절연층이 아일랜드 부분을 가질 수 있고, 상기 아일랜드 부분은 상기 제1 절연층 중 상기 아일랜드 부분을 제외한 부분과 접촉되지 않을 수 있다.
실시예에 따라, 상기 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은 상기 제1 절연층 중 상기 벤딩 영역에 배치된 부분에 상기 레이저를 조사하여 상기 제1 절연층 중 적어도 일부를 제거하는 단계 이후, 상기 벤딩 영역 중 상기 기판 및 상기 제1 절연층 중 적어도 하나가 노출된 부분 상에 유기층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있고, 상기 유기층은 상기 아일랜드의 형상에 대응되는 형상을 가지는 요철부를 가질 수 있다.
실시예에 따라, 상기 유기층은 디스펜서의 선택적 도포에 의해 형성될 수 있다.
실시예에 따라, 상기 제2 절연층 상 및 상기 비벤딩 영역 내에 상기 게이트 전극을 형성하는 단계에서, 상기 게이트 전극과 동일 평면 상에 배치되는 제1 커패시터 전극이 더 형성될 수 있고, 상기 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은, 상기 게이트 전극 상에 상기 제3 절연층을 형성하는 단계 이후, 상기 제3 절연층 상에 제2 커패시터 전극을 형성하는 단계 및 상기 제2 커패시터 전극 상에 제4 절연층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시예에 따라, 상기 제1 절연층 중 상기 벤딩 영역에 배치된 부분에 상기 레이저를 조사하여 상기 제1 절연층 중 적어도 일부를 제거하는 단계에서, 상기 레이저가 상기 제4 절연층 중 상기 벤딩 영역에 배치된 부분에도 복수 회 조사될 수 있고, 상기 제4 절연층의 측벽은 연속적으로 배치된 세 개 이상 만곡면들이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다.
본 발명의 실시예는, 만곡면 위에 금속성 물질이 배치되므로, 금속성 물질이 끊어지지 않는 플렉서블 표시 장치 및 그의 제조 방법을 제공하는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예는, 플렉서블 표시 장치 중 휘어지는 영역에 배치되는 무기물을 레이저 조사를 통해 제거하므로, 제조에 필요한 마스크 수가 감소하는 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1의 플렉서블 표시 장치를 접었을 때를 설명하기 위한 단면도이다.
도 3a는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도의 일 실시예이다.
도 3b는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도의 다른 실시예이다.
도 3c는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도의 또 다른 실시예이다.
도 3d는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도의 또 다른 실시예이다.
도 4는 도 1의 II-II' 선에 따른 단면도 중 일부로서 하나의 화소에 대응하는 영역을 도시한 것의 일 실시예이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 중 레이저 어블레이션(ablation)을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 내지 도 6k는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 8a, 도 8b, 및 도 8c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 실질적으로 동일한 구성요소들을 의미한다. 이하의 설명에서, 본 발명과 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 이하의 설명에서 사용되는 구성요소 명칭은 명세서 작성의 용이함을 고려하여 선택된 것일 수 있는 것으로서, 실제 제품의 부품 명칭과는 상이할 수 있다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, 본 명세서에 있어서, 어느 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 상(on)에 형성되었다고 할 경우, 상기 형성된 방향은 상부 방향만 한정되지 않으며 측면이나 하부 방향으로 형성된 것을 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 도 1의 플렉서블 표시 장치를 접었을 때를 설명하기 위한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 플렉서블 표시 장치는 제1 비벤딩 영역(FA1), 벤딩 영역(BA), 및 제2 비벤딩 영역(FA2)이 정의된 기판(SUB)을 가진다. 제1 비벤딩 영역(FA1) 및 제2 비벤딩 영역(FA2)은 다양한 기능을 구현하기 위해 다양한 형태로 제조될 수 있다. 예를 들어, 제1 비벤딩 영역(FA1)에는 영상을 표시하는 발광부(DIS) 및 발광부(DIS)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)가 배치될 수 있다. 제2 비벤딩 영역(FA2)에는 박막 트랜지스터(TFT) 및 발광부(DIS) 중 적어도 하나를 구동하기 위한 신호를 인가하는 회로 패턴(SD)이 배치될 수 있다. 벤딩 영역(BA)에는 도전층(CL)이 배치될 수 있다. 도전층(CL)은 회로 패턴(SD)으로부터의 신호를 박막 트랜지스터(TFT) 및 발광부(DIS) 중 적어도 하나에 전달하는 배선으로 사용될 수 있다.
벤딩 영역(BA)은 도 3a, 도 3b, 도 3c, 및 도 3d를 참조하여 이후에 상세히 설명될 것이고, 박막 트랜지스터(TFT), 발광부(DIS)은 도 4를 참조하여 이후에 상세히 설명될 것이다.
도 3a는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도의 일 실시예이고, 도 3b는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도의 다른 실시예이며, 도 3c는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도의 또 다른 실시예이고, 도 3d는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도의 또 다른 실시예이다.
도 3a를 참조하면, 벤딩 영역(BA)에서, 배리어층(BR), 게이트 절연층(GI), 제1 층간 절연층(ILD1), 제2 층간 절연층(ILD2), 및 도전층(CL)이 기판(SUB) 상에 순차적으로 배치된다.
기판(SUB)은 휘거나 접힘이 가능하도록 가요성(flexibility)을 갖는 재료로 이루어질 수 있고, 단층 구조 또는 다층 구조를 가질 수 있다.
예를 들어, 기판(SUB)은 폴리스티렌(polystyrene), 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol), 폴리메틸메타크릴레이트(Polymethyl methacrylate), 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 트리아세테이트 셀룰로오스(triacetate cellulose), 셀룰로오스아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 다만, 기판(SUB)을 구성하는 재료는 다양하게 변화될 수 있으며, 유리 섬유 강화플라스틱(Fiber glass reinforced plastic) 등으로도 이루어질 수 있다.
배리어층(BR)은 기판(SUB)의 상면의 평활성을 높이거나 기판(SUB) 등으로부터의 불순물이 게이트 절연층(GI), 제1 층간 절연층(ILD1), 제2 층간 절연층(ILD2), 및 도전층(CL)으로 침투하는 것을 최소화시킨다.
배리어층(BR)은 다중층 구조를 가질 수 있다. 다중층 중 기판(SUB)에 접촉되는 층은 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 실리콘 산질화물 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 기판(SUB)의 평활성을 높힐 수 있다. 다중층 중 기판(SUB)에 접촉되지 않는 층은 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 실리콘 산질화물 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 기판(SUB) 등으로부터의 불순물이 게이트 절연층(GI), 제1 층간 절연층(ILD1), 제2 층간 절연층(ILD2), 및 도전층(CL)으로 침투하는 것을 최소화시킬 수 있다.
배리어층(BR)의 측벽은 연속적으로 배치된 만곡면들(CS1, CS2, CS3)이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다. 실시예에 따라, 배리어층(BR)의 측벽에 제공되는 만곡면들의 개수는 3개보다 많을 수도 있다.
게이트 절연층(GI)은 배리어층(BR)에 포함될 수 있다고 언급된 물질들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 게이트 절연층(GI)의 측벽은 연속적으로 배치된 만곡면들(CS4, CS5, CS6)이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다. 실시예에 따라, 게이트 절연층(GI)의 측벽에 제공되는 만곡면들의 개수는 3개보다 많을 수도 있다.
제1 층간 절연층(ILD1)은 배리어층(BR)에 포함될 수 있다고 언급된 물질들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 제1 층간 절연층(ILD1)의 측벽은 연속적으로 배치된 만곡면들(CS7, CS8, CS9)이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다. 실시예에 따라, 제1 층간 절연층(ILD1)의 측벽에 제공되는 만곡면들의 개수는 3개보다 많을 수도 있다.
제2 층간 절연층(ILD2)은 배리어층(BR)에 포함될 수 있다고 언급된 물질들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 제2 층간 절연층(ILD2)의 측벽은 연속적으로 배치된 만곡면들(CS10, CS11, CS12)이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다. 실시예에 따라, 제2 층간 절연층(ILD2)의 측벽에 제공되는 만곡면들의 개수는 3개보다 많을 수도 있다.
도전층(CL)은 제2 층간 절연층(ILD2) 상에 배치되고, 금속을 포함할 수 있다. 예를 들어, 알루미늄, 티타늄, 금, 은, 구리, 니켈, 백금, 알루미늄, 몰리브덴, 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 도전층(CL)은 다중층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 도전층(CL)이 티타늄/알루미늄/티타늄(Ti/Al/Ti)의 3중층 구조를 가질 수 있다.
배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR, GI, ILD1, ILD2)은 벤딩 영역(BA) 내 구비된 개구부(OPN)에 의해 서로 이격되므로, 벤딩 영역(BA)이 휘어지더라도 배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR, GI, ILD1, ILD2)에 스트레스가 인가되지 않는다. 또한, 도전층(CL)이 평평한 부분 또는 만곡면들(CS1 내지 CS12)이 제공된 테이퍼 형상 상에 배치되므로, 벤딩 영역(BA)이 휘어지더라도 도전층(CL)이 끊어지지 않는다. 배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR, GI, ILD1, ILD2)은 각각 제1 절연층, 제2 절연층, 제3 절연층, 제4 절연층일 수 있다.
도 3b를 참조하면, 벤딩 영역(BA)에서, 배리어층(BR), 게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 제2 층간 절연층(ILD2'), 및 도전층(CL)이 기판(SUB) 상에 순차적으로 배치된다. 설명의 편의를 위해, 도 3a를 참조로 하여 설명된 부분과 동일한 부분에 대한 설명은 생략될 것이다.
도 3a에서 도시된 게이트 절연층(GI)과 달리, 게이트 절연층(GI')의 측벽은 만곡면들이 제공되지 않은 테이퍼 형상이다.
도 3a에서 도시된 제1 층간 절연층(ILD1)과 달리, 제1 층간 절연층(ILD1')의 측벽은 만곡면들이 제공되지 않은 테이퍼 형상이다.
도 3a에서 도시된 제2 층간 절연층(ILD2)과 달리, 제2 층간 절연층(ILD2')의 측벽은 만곡면들이 제공되지 않은 테이퍼 형상이다.
도 3b에서는 게이트 절연층(GI')과 제1 층간 절연층(ILD1') 사이 단차가 구비된 것처럼 도시되었으나, 이는 실시예에 불과하다. 실시예에 따라, 제1 층간 절연층(ILD1')과 제2 층간 절연층(ILD2') 사이 단차가 구비될 수도 있고, 게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 및 제2 층간 절연층(ILD2') 중 적어도 하나 내에 단차가 구비될 수도 있다.
배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR, GI', ILD1', ILD2')은 벤딩 영역(BA) 내 구비된 개구부(OPN)에 의해 서로 이격되므로, 벤딩 영역(BA)이 휘어지더라도 배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR, GI', ILD1', ILD2')에 스트레스가 인가되지 않는다. 또한, 도전층(CL)이 평평한 부분 또는 만곡면들(CS1' 내지 CS3')이 제공된 테이퍼 형상 상에 배치되므로, 벤딩 영역(BA)이 휘어지더라도 도전층(CL)이 끊어지지 않는다.
도 3c를 참조하면, 벤딩 영역(BA)에서, 배리어층(BR'), 게이트 절연층(GI"), 제1 층간 절연층(ILD1"), 제2 층간 절연층(ILD2"), 유기층(OL), 및 도전층(CL)이 기판(SUB) 상에 순차적으로 배치된다. 설명의 편의를 위해, 도 3a 또는 도 3b를 참조로 하여 설명된 부분과 동일한 부분에 대한 설명은 생략될 것이다.
도 3a에서 도시된 배리어층(BR)과 달리, 배리어층(BR')은 하나의 만곡면을 갖는 테이퍼 형상일 수 있다. 또한, 실시예에 따라, 배리어층(BR')이 만곡면이 제공되지 않은 테이퍼 형상을 가질 수도 있고, 테이퍼 형상이 아닌 다른 형상을 가질 수도 있다.
도 3a에서 도시된 게이트 절연층(GI)과 달리, 게이트 절연층(GI")의 측벽은 만곡면들이 제공되지 않고, 테이퍼 형상도 아닐 수도 있다.
제1 층간 절연층(ILD1")의 측벽은 만곡면들이 제공되지 않고, 테이퍼 형상이 아닐 수도 있다.
제2 층간 절연층(ILD2")의 측벽은 만곡면들이 제공되지 않고, 테이퍼 형상이 아닐 수도 있다.
유기층(OL)은 개구부(OPN)를 채우도록 배치될 수 있다. 개구부(OL)에 의해, 배리어층(BR'), 게이트 절연층(GI"), 제1 층간 절연층(ILD1"), 제2 층간 절연층(ILD2")의 측벽 및 단차들은 외부에 노출되지 않는다. 유기층(OL) 중 노출된 부분도 테이퍼 형상일 수 있다.
도전층(CL)은 유기층(OL) 상에 배치된다.
배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR', GI", ILD1", ILD2")은 벤딩 영역(BA) 내 구비된 개구부(OPN)에 의해 서로 이격되므로, 벤딩 영역(BA)이 휘어지더라도 배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR, GI', ILD1', ILD2')에 스트레스가 인가되지 않는다. 또한, 도전층(CL)이 제2 층간 절연층(ILD2") 중 평평한 부분 또는 유기층(OL) 중 노출된 테이퍼 형상 상에 배치되므로, 벤딩 영역(BA)이 휘어지더라도 도전층(CL)이 끊어지지 않는다.
도 3d를 참조하면, 벤딩 영역(BA)에서, 배리어층(BR"), 게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 제2 층간 절연층(ILD2'), 유기층(OL'), 및 도전층(CL)이 기판(SUB) 상에 순차적으로 배치된다. 설명의 편의를 위해, 도 3a 내지 도 3c를 참조로 하여 설명된 부분과 동일한 부분에 대한 설명은 생략될 것이다.
배리어층(BR)은 아일랜드 부분(ISL)을 가지고, 아일랜드 부분(ISL)은 배리어층(BR) 중 아일랜드 부분(ISL)을 제외한 부분과 접촉되지 않는다. 실시예에 따라, 아일랜드 부분(ISL)은 테이퍼 형상일 수 있다.
유기층(OL')은 요철부(PD)를 가지고, 요철부(PD)의 형상은 아일랜드 부분(ISL)의 형상에 대응된다. 유기층(OL')의 일부는 테이퍼 형상이고, 유기층(OL')의 나머지 부분은 평평한 형상이다. 예를 들어, 아일랜드 부분(ISL)이 테이퍼 형상인 경우, 요철부(PD)의 형상도 테이퍼 형상일 수 있다.
배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR", GI', ILD1', ILD2')은 벤딩 영역(BA) 내 구비된 개구부(OPN)에 의해 서로 이격되므로, 벤딩 영역(BA)이 휘어지더라도 배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR", GI', ILD1', ILD2')에 스트레스가 인가되지 않는다. 또한, 도전층(CL)이 제2 층간 절연층(ILD2') 중 평평한 부분 및 유기층(OL')의 평평한 부분 및 테이퍼 형상인 부분 상에 배치되므로, 벤딩 영역(BA)이 휘어지더라도 도전층(CL)이 끊어지지 않는다. 추가적으로, 도전층(CL)이 유기층(OL')의 요철부(PD) 상에 배치되므로, 도전층(CL) 중 일부도 요철 형상을 가질 수 있다. 도전층(CL)이 요철 형상을 가지는 경우, 벤딩 영역(BA)이 휘어짐에 의한 도전층(CL)의 스트레스가 감소될 수 있다.
도 4는 도 1의 II-II' 선에 따른 단면도 중 일부로서 하나의 화소에 대응하는 영역을 도시한 것의 일 실시예이다. 제1 비벤딩 영역(FA1)에서, 박막 트랜지스터(TFT) 및 발광부(DIS)이 기판(SUB) 상에 순차적으로 배치된다.
박막 트랜지스터(TFT)는 배리어층(BR), 액티브 패턴(ACT), 게이트 절연층(GI), 게이트 전극(GE), 제1 커패시터 전극(CE1), 제1 층간 절연층(ILD1), 제2 커패시터 전극(CE2), 제2 층간 절연층(ILD2), 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 및 패시베이션층(PSL)을 포함한다. 설명의 편의를 위해, 도 3a에 비해 추가된 구성 요소에 대해서만 설명될 것이다. 배리어층, 게이트 절연층, 제1 층간 절연층, 및 제2 층간 절연층(BR, GI, ILD1, ILD2)은 벤딩 영역(BA)에도 제공되어 도 3a 내지 도 3d에서 이미 설명되었으므로, 상세한 설명이 생략되어도 무방하다.
액티브 패턴(ACT)은 배리어층(BR)과 게이트 절연층(GI) 사이에 배치된다. 액티브 패턴(ACT)은 소스 영역, 드레인 영역, 및 소스 영역과 드레인 영역 사이에 제공된 채널 영역을 포함할 수 있다. 액티브 패턴(ACT)은 반도체 물질을 포함하고, 폴리 실리콘, 아몰퍼스 실리콘, 및 산화물 반도체 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
채널 영역은 불순물로 도핑되지 않은 반도체 패턴으로서, 진성 반도체일 수 있다. 소스 영역 및 드레인 영역은 불순물이 도핑된 반도체 패턴일 수 있다. 상기 불순물로는 n형 불순물, p형 불순물, 기타 금속과 같은 불순물이 사용될 수 있다.
게이트 전극(GE)과 제1 커패시터 전극(CE1)은 게이트 절연층(GI)과 제1 층간 절연층(ILD1) 사이에 배치된다. 즉, 게이트 전극(GE)과 제1 커패시터 전극(CE1)은 동일 평면 상에 배치된다. 게이트 전극(GE)은 액티브 패턴(ACT) 중 채널 영역에 중첩되도록 배치될 수 있다.
게이트 전극(GE)과 제1 커패시터 전극(CE1)은 금속을 포함할 수 있다. 예를 들어, 알루미늄, 티타늄, 금, 은, 구리, 니켈, 백금, 알루미늄, 몰리브덴, 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 실시예에 따라, 게이트 전극(GE)과 제1 커패시터 전극(CE1)은 티타늄/알루미늄/티타늄(Ti/Al/Ti)의 3중층 구조를 가질 수 있다.
제2 커패시터 전극(CE2)은 제1 층간 절연층(ILD1)과 제2 층간 절연층(ILD2) 사이에 배치된다. 제2 커패시터 전극(CE2)은 제1 커패시터 전극(CE1)에 포함될 수 있는 물질로 언급된 물질들 중 하나를 포함할 수 있고, 단일층 또는 다중층 구조를 가질 수 있다. 제1 커패시터 전극(CE1)과 제2 커패시터 전극(CE2)은 제1 층간 절연층(ILD1)을 사이에 두고 커패시터를 형성할 수 있다.
소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)은 제2 층간 절연층(ILD2) 상에 배치된다. 소스 전극(SE)은 액티브 패턴(ACT) 중 소스 영역에 중첩되도록 배치될 수 있고, 드레인 전극(DE)은 액티브 패턴(ACT) 중 드레인 영역에 중첩되도록 배치될 수 있다. 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)은 게이트 절연층(GI), 제1 층간 절연층(ILD1), 및 제2 층간 절연층(ILD2)을 관통하여 액티브 패턴(ACT)에 접촉된다.
소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)은 도 3a에 도시된 도전층(CL)과 동일 평면에 배치될 수 있다. 상세한 내용은 도 6i 및 도 6j를 참조하여 설명될 것이다.
패시베이션층(PSL)은 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE) 상에 배치될 수 있다. 패시베이션층(PSL)은 무기 물질을 포함할 수 있고, 실시예에 따라 유기 물질을 더 포함할 수 있다. 무기 물질은 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 실리콘 산질화물 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 유기 물질은 포토 아크릴을 포함할 수 있다.
발광부(DIS)은 제1 전극(ADE), 화소정의층(PDL), 발광층(EL), 및 제2 전극(CTE)을 포함한다.
제1 전극(ADE)은 패시베이션층(PSL) 상에 배치되고, 패시베이션층(PSL)을 관통하여 드레인 전극(DE)에 접촉된다. 제1 전극(ADE)은 금속, 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 금속은 은, 마그네슘, 알루미늄, 백금, 팔라듐, 금, 니켈, 네오디뮴, 이리듐, 및 크롬 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 도전성 산화물은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), ZnO(zinc oxide), 및 ITZO(indium tin zinc oxide) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
화소정의층(PDL)은 패시베이션층(PSL) 및 제1 전극(ADE) 상에 배치되고, 제1 전극(ADE) 중 적어도 일부를 노출시킨다.
발광층(EL)은 제1 전극(ADE) 중 화소정의층(PDL)에 의해 노출된 부분 상에 배치된다. 발광층(EL)은 저분자 유기물질 또는 고분자 유기물질을 포함할 수 있고, 단일층 구조 또는 다중층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 발광층(EL)은 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer)을 가질 수 있다.
제2 전극(CTE)은 화소정의층(PDL) 및 발광층(EL) 상에 배치된다. 제2 전극(CTE)은 제1 전극(ADE)에 포함될 수 있다고 언급된 물질들 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 제2 전극(CTE)은 단일층 구조 또는 다중층 구조를 가질 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 중 레이저 어블레이션(ablation)을 설명하기 위한 도면이다.
도 5a는 레이저 방출기(LE)가 기판(SUB') 및 무기층(IL)에 레이저를 조사하는 것을 설명하기 위한 도면이다. 레이저 방출기(LE)로부터의 레이저가 무기층(IL)에 조사된다.
도 5b는 레이저가 조사된 후의 기판(SUB') 및 무기층(IL)을 설명하기 위한 도면이다. 레이저를 조사하는 것에 의해, 무기층(IL)의 일부가 제거되고, 무기층(IL)의 측벽은 만곡면(CS)을 가지는 테이퍼 형상이다.
포토리쏘그래피(photolithography)로 패터닝을 하기 위해서는 포토레지스트(photoresist) 도포, 마스크를 사용한 선택적 노광, 현상의 과정이 필요하다. 비용 및 제조 시간 감소를 위해, 표시 장치 제조에 소요되는 포토리쏘그래피 수를 감소시키고자하는 시도가 있다.
플렉서블 표시 장치가 휘어지는 것으로 인해 벤딩 영역에 배치된 물질이 변형, 파손되는 것을 방지하는 구조를 형성하기 위해 포토리쏘그래피를 사용하여 패터닝을 하는 경우, 비용과 제조 시간이 증가될 수 있다.
반면, 플렉서블 표시 장치가 휘어지는 것으로 인해 벤딩 영역에 배치된 물질이 변형, 파손되는 것을 방지하는 구조를 형성하기 위해 레이저를 선택적으로 조사하는 경우, 포토리쏘그래피 공정이 사용되지 않아 증가되는 비용과 제조 시간이 감소될 수 있다.
도 6a 내지 도 6k는 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 6a에서, 기판(SUB) 상에 배리어층(BR)이 형성된다. 배리어층(BR)은 제1 비벤딩 영역(FA1) 및 벤딩 영역(BA) 상에 형성될 수 있다. 배리어층(BR)은 화학기상증착(CVD) 방법으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 플라즈마 화학기상증착(PECVD) 방법으로 형성될 수 있다.
도 6b에서, 배리어층(BR) 상에 액티브 패턴(ACT)이 형성된다. 액티브 패턴(ACT)은 제1 비벤딩 영역(FA1) 상에 형성될 수 있다.
도 6c에서, 액티브 패턴(ACT) 상에 게이트 절연층(GI)이 형성된다. 게이트 절연층(GI)은 제1 비벤딩 영역(FA1) 및 벤딩 영역(BA) 상에 형성될 수 있다. 게이트 절연층(GI)은 배리어층(BR)과 유사하게, 화학기상증착(CVD) 방법으로 형성될 수 있다.
도 6d에서, 게이트 절연층(GI) 상에 게이트 전극(GE) 및 제1 커패시터 전극(CE1)이 형성된다. 게이트 전극(GE)은 액티브 패턴(ACT) 중 채널 영역에 대응하여 형성될 수 있다. 게이트 전극(GE) 및 제1 커패시터 전극(CE1)은 물리기상증착(PVD) 방법으로 형성될 수 있다.
도 6e에서, 게이트 절연층(GI), 게이트 전극(GE), 및 제1 커패시터 전극(CE1) 상에 제1 층간 절연층(ILD1)이 형성된다. 제1 층간 절연층(ILD1)은 제1 비벤딩 영역(FA1) 및 벤딩 영역(BA) 상에 형성될 수 있다. 제1 층간 절연층(ILD1)은, 배리어층(BR)과 유사하게, 화학기상증착(CVD) 방법으로 형성될 수 있다.
도 6f에서, 제1 층간 절연층(ILD1) 상에 제2 커패시터 전극(CE2)이 형성된다. 제2 커패시터 전극(CE2)은 제1 커패시터 전극(CE1)에 중첩되도록 형성될 수 있다. 제2 커패시터 전극(CE2)은 제1 비벤딩 영역(FA1) 상에 형성될 수 있다.
도 6g에서, 제1 층간 절연층(ILD1) 및 제2 커패시터 전극(CE2) 상에 제2 층간 절연층(ILD2)이 형성된다. 제2 층간 절연층(ILD2)은 제1 비벤딩 영역(FA1) 및 벤딩 영역(BA) 상에 형성될 수 있다.
도 6h에서, 게이트 절연층(GI), 제1 층간 절연층(ILD1), 및 제2 층간 절연층(ILD2)을 관통하는 제1 컨택 홀(CNT1) 및 제2 컨택 홀(CNT2)이 형성된다. 제1 컨택 홀(CNT1) 및 제2 컨택 홀(CNT2)은 건식 식각(dry etch) 등의 방법을 통해 형성될 수 있다. 제1 컨택 홀(CNT1) 및 제2 컨택 홀(CNT2)에 의해, 액티브 패턴(ACT) 중 일부가 노출된다.
도 6i에서, 배리어층(BR), 게이트 절연층(GI), 제1 층간 절연층(ILD1), 및 제2 층간 절연층(ILD2) 중 벤딩 영역(BA)에 배치된 부분에 레이저가 조사되는 것으로 인해 배리어층(BR), 게이트 절연층(GI), 제1 층간 절연층(ILD1), 및 제2 층간 절연층(ILD2)의 일부가 제거된다. 레이저의 조사로 인해, 도 3a에 도시된 것과 같이 배리어층(BR), 게이트 절연층(GI), 제1 층간 절연층(ILD1), 및 제2 층간 절연층(ILD2)의 측벽이 만곡면들(CS1 내지 CS12)이 제공된 테이퍼 형상일 수 있다.
도 6j에서, 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 및 도전층(CL)이 제2 층간 절연층(ILD2) 상에 형성된다. 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 및 도전층(CL)은, 게이트 전극(GE) 및 제1 커패시터 전극(CE1)과 유사하게 물리기상증착(PVD) 방법으로 형성될 수 있다.
도 6k에서, 패시베이션층(PSL)이 소스 전극(SE), 드레인 전극(DE), 및 제2 층간 절연층(ILD2) 상에 형성된다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 설명의 편의를 위해, 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 중 도 6a 내지 도 6k와 다른 부분에 대해서만 설명될 것이다.
도 7a에서, 도 6h와 달리 제1 컨택 홀(CNT1) 및 제2 컨택 홀(CNT2)이 형성되는 동안 벤딩 영역(BA) 내 배치된 게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 및 제2 층간 절연층(ILD2')도 식각에 의해 관통된다. 식각에 의해, 배리어층(BR)이 노출된다.
게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 및 제2 층간 절연층(ILD2')의 식각 시 하프톤 마스크 또는 슬릿 마스크가 사용될 수 있다. 하프톤 마스크 또는 슬릿 마스크의 사용으로 인해, 게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 및 제2 층간 절연층(ILD2')의 측벽은 테이퍼 형상일 수 있다.
도 7b에서, 도 6i와 달리, 배리어층(BR) 중 벤딩 영역(BA)에 배치된 부분에 레이저가 조사되는 것으로 인해 배리어층(BR)의 일부가 제거된다. 배리어층(BR)의 측벽이 만곡면들(CS1 내지 CS3)이 제공된 테이퍼 형상이나, 게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 및 제2 층간 절연층(ILD2')의 측벽은 만곡면들이 제공되지 않은 테이퍼 형상일 수 있다.
도 7b 이후, 도 6j와 유사하게 도전층(CL)이 배리어층(BR), 게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 및 제2 층간 절연층(ILD2') 상에 형성될 수 있다.
도 8a, 도 8b, 및 도 8c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 설명의 편의를 위해, 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 중 도 6a 내지 도 7b와 다른 부분에 대해서만 설명될 것이다.
도 8a에서, 도 6h와 달리 제 제1 컨택 홀(CNT1) 및 제2 컨택 홀(CNT2)이 형성되는 동안 벤딩 영역(BA) 내 배치된 게이트 절연층(GI"), 제1 층간 절연층(ILD1"), 및 제2 층간 절연층(ILD2")도 식각에 의해 관통된다. 식각에 의해, 배리어층(BR')이 노출된다.
또한, 도 8a에서, 도 7a와 달리 게이트 절연층(GI"), 제1 층간 절연층(ILD1"), 및 제2 층간 절연층(ILD2")의 식각 시 하프톤 마스크 또는 슬릿 마스크가 사용되지 않으므로, 게이트 절연층(GI"), 제1 층간 절연층(ILD1"), 및 제2 층간 절연층(ILD2")의 측벽이 테이퍼 형상이 아니다.
도 8b에서, 배리어층(BR') 중 벤딩 영역(BA)에 배치된 부분에 레이저가 조사된다. 도 6i 및 도 7b와 달리, 배리어층(BR')이 복수 개의 만곡면이 제공되지 않는다. 도 3c를 추가적으로 참조하면, 도전층(CL)이 유기층(OL) 중 테이퍼 형상을 갖는 노출된 부분 상에 형성되므로, 배리어층(BR')이 복수 개의 만곡면이 제공되지 않고 벤딩 영역(BA)이 휘어지더라도 도전층(CL)이 끊어지지 않는다.
도 8c에서, 벤딩 영역(BA) 중 기판(SUB) 및 배리어층(BR') 중 적어도 하나가 노출된 부분 상에 유기층(OL)이 형성된다. 유기층(OL)은 포토리쏘그래피 공정 없이 디스펜서의 선택적 도포에 의해 형성될 수 있다.
도 8c 이후, 도 6j와 유사하게 도전층(CL)이 유기층(OL) 및 제2 층간 절연층(ILD2") 상에 형성될 수 있다.
도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 설명의 편의를 위해, 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 중 도 6a 내지 도 8c와 다른 부분에 대해서만 설명될 것이다.
도 9a에서, 도 7a와 유사하게 제1 컨택 홀(CNT1) 및 제2 컨택 홀(CNT2)이 형성되는 동안 벤딩 영역(BA) 내 배치된 게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 및 제2 층간 절연층(ILD2')도 식각에 의해 관통된다. 식각에 의해, 배리어층(BR")이 노출된다. 식각 시 슬릿 마스크 또는 하프톤 마스크가 사용될 수 있다는 것은 위에서 설명되었다.
도 9b에서, 배리어층(BR")에 레이저가 조사된다. 도 6k와 다르게 레이저의 조사에 의해 배리어층(BR")이 아일랜드 부분(ISL)을 가진다. 아일랜드 부분(ISL)은 배리어층(BR") 중 아일랜드 부분(ISL)을 제외한 부분에 접촉되지 않는다. 아일랜드 부분(ISL)은 테이퍼 형상일 수 있다.
도 9c에서, 배리어층(BR"), 게이트 절연층(GI'), 제1 층간 절연층(ILD1'), 및 제2 층간 절연층(ILD2') 상에 유기층(OL')이 형성된다. 유기층(OL')은 포토리쏘그래피 공정 없이 디스펜서의 선택적 도포에 의해 형성될 수 있다. 유기층(OL')은 요철부(PD)를 가질 수 있고, 유기층(OL')의 형상은 요철부(PD)의 형상에 대응할 수 있다.
도 9c 이후, 도 6j와 유사하게 도전층(CL)이 유기층(OL') 및 제2 층간 절연층(ILD2') 상에 형성될 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
SUB: 기판 BR,BR': 배리어층
GI,GI',GI": 게이트 절연층 ILD1,ILD1',ILD1": 제1 층간 절연층
ILD2,ILD2',ILD2": 제2 층간 절연층 CL: 도전층

Claims (36)

  1. 벤딩 영역 및 비벤딩 영역을 포함한 기판;
    상기 비벤딩 영역에서 상기 기판 상에 제공된 제1 절연층;
    상기 제1 절연층 상에 제공된 제2 절연층; 및
    상기 제2 절연층 상에 제공된 제3 절연층을 포함하고,
    상기 제1 절연층의 벤딩 영역에 인접한 제1 단부는 상기 제2 절연층의 벤딩 영역의 제2 단부보다 상기 벤딩 영역에 가깝고,
    상기 제2 절연층의 제2 단부는 상기 제3 절연층의 벤딩 영역에 인접한 제3 단부보다 상기 벤딩 영역에 가까우며,
    상기 제1 내지 제3 단부들 중 적어도 하나는 테이퍼 형상을 포함하는, 표시 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 비벤딩 영역은 제1 비벤딩 영역과 제2 비벤딩 영역을 포함하고,
    상기 벤딩 영역은 상기 제1 비벤딩 영역과 상기 제2 비벤딩 영역 사이에 위치하는, 표시 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 기판과 상기 제1 절연층 사이에 위치한 배리어층을 더 포함하는, 표시 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 배리어층의 벤딩 영역에 인접한 제4 단부는 상기 제1 절연층의 제1 단부보다 상기 벤딩 영역에 가까운, 표시 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 배리어층은 복수 개의 패턴화된 표면들을 포함하는, 표시 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 패턴화된 표면들 각각은 가변 두께를 갖는 상기 배리어층의 일부에 대응되는, 표시 장치.
  7. 제5 항에 있어서,
    상기 패턴화된 표면들 각각은 곡면인, 표시 장치.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 배리어층은 테이퍼진 표면을 포함하고,
    상기 테이퍼진 표면은 상기 패턴화된 표면들을 포함하는, 표시 장치.
  9. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제4 단부들과 직접 접촉하는 도전층을 더 포함하는, 표시 장치.
  10. 제3 항에 있어서,
    상기 비벤딩 영역의 상기 기판 상에 제공된 박막 트랜지스터를 더 포함하고,
    상기 박막 트랜지스터는,
    상기 배리어층 상에 제공된 액티브 패턴;
    상기 제1 절연층 상에 제공된 게이트 전극;
    상기 제3 절연층 상에 제공된 소스 전극; 및
    상기 제3 절연층 상에 제공된 드레인 전극을 포함하는, 표시 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 박막 트랜지스터는,
    상기 제1 절연층 상에 제공된 제1 커패시터 전극; 및
    상기 제2 절연층 상에 제공된 제2 커패시터 전극을 더 포함하고,
    상기 제2 절연층은 상기 제2 커패시터 전극과 상기 제1 커패시터 전극 사이에 배치되는, 표시 장치.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 소스 전극과 상기 드레인 전극을 커버하는 패시베이션층을 더 포함하는, 표시 장치.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 비벤딩 영역에서 상기 패시베이션층 상에 제공된 발광 소자를 더 포함하는, 표시 장치.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 발광 소자는,
    상기 패시베이션층 상에 제공되며, 상기 패시베이션층을 관통하여 상기 드레인 전극에 접촉하는 제1 전극;
    상기 패시베이션층 및 상기 제1 전극 상에 배치되고, 상기 제1 전극의 일부를 노출하는 화소 정의막;
    상기 화소 정의막에 의해 노출된 상기 제1 전극의 일부 상에 배치된 발광층; 및
    상기 화소 정의막 및 상기 발광층 상에 배치된 제2 전극을 포함하는, 플렉서블 표시 장치.
  15. 제3 항에 있어서,
    상기 배리어층은 무기 절연 물질을 포함하는, 표시 장치.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 배리어층은 상기 기판 상에 직접 배치되는, 표시 장치.
  17. 제4 항에 있어서,
    상기 제4 단부의 표면 프로파일은 상기 제1 내지 제3 단부들 중 적어도 하나의 표면 프로파일과 상이한 형상을 갖는, 표시 장치.
  18. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 단부들 각각은 상기 벤딩 영역의 외부에 배치되는, 표시 장치.
  19. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 단부들을 커버하는 유기층을 더 포함하는, 표시 장치.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 유기층 상에 제공된 도전층을 더 포함하고,
    상기 도전층은 상기 벤딩 영역을 통해 연장되는, 표시 장치.
  21. 벤딩 영역과 비벤딩 영역을 포함한 기판;
    상기 비벤딩 영역에서 상기 기판 상에 제공된 제1 절연층;
    상기 제1 절연층 상에 제공된 제2 절연층; 및
    상기 제2 절연층 상에 제공된 제3 절연층을 포함하고,
    상기 제1 절연층의 벤딩 영역에 인접한 제1 측벽은 상기 제2 절연층의 벤딩 영역에 인접한 제2 측벽보다 상기 벤딩 영역에 가깝고,
    상기 제2 절연층의 제2 측벽은 상기 제3 절연층의 벤딩 영역에 인접한 제3 측벽보다 상기 벤딩 영역에 가까우며,
    상기 제1 내지 제3 측벽들 중 적어도 하나는 테이퍼진 형상을 갖는, 표시 장치.
  22. 제21 항에 있어서,
    상기 비벤딩 영역은 제1 비벤딩 영역과 제2 비벤딩 영역을 포함하고,
    상기 벤딩 영역은 상기 제1 비벤딩 영역과 상기 제2 비벤딩 영역 사이에 위치하는, 표시 장치.
  23. 제21 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 측벽들과 직접 접촉하는 도전층을 더 포함하는, 표시 장치.
  24. 제21 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 측벽들을 커버하는 유기층을 더 포함하는, 표시 장치.
  25. 제24 항에 있어서,
    상기 유기층 상에 제공된 도전층을 더 포함하고,
    상기 도전층은 상기 벤딩 영역을 통해 연장되는, 표시 장치.
  26. 제21 항에 있어서,
    상기 비벤딩 영역의 상기 기판 상에 제공된 박막 트랜지스터를 더 포함하고,
    상기 박막 트랜지스터는,
    상기 기판 상에 제공된 액티브 패턴;
    상기 제1 절연층 상에 제공된 게이트 전극;
    상기 제3 절연층 상에 제공된 소스 전극; 및
    상기 제3 절연층 상에 제공된 드레인 전극을 포함하는, 표시 장치.
  27. 제26 항에 있어서,
    상기 박막 트랜지스터는,
    상기 제1 절연층 상에 제공된 제1 커패시터 전극; 및
    상기 제2 절연층 상에 제공된 제2 커패시터 전극을 더 포함하고,
    상기 제2 절연층은 상기 제2 커패시터 전극과 상기 제1 커패시터 전극 사이에 제공되는, 표시 장치.
  28. 제27 항에 있어서,
    상기 소스 전극과 상기 드레인 전극을 커버하는 패시베이션층을 더 포함하는, 표시 장치.
  29. 제28 항에 있어서,
    상기 비벤딩 영역에서 상기 패시베이션층 상에 위치한 발광 소자를 더 포함하는, 표시 장치.
  30. 제29 항에 있어서,
    상기 발광 소자는,
    상기 패시베이션층 상에 제공되며, 상기 패시베이션층을 관통하여 상기 드레인 전극에 접촉하는 제1 전극;
    상기 패시베이션층 및 상기 제1 전극 상에 배치되고, 상기 제1 전극의 일부를 노출하는 화소 정의막;
    상기 화소 정의막에 의해 노출된 상기 제1 전극의 일부 상에 배치된 발광층; 및
    상기 화소 정의막 및 상기 발광층 상에 제공된 제2 전극을 포함하는, 표시 장치.
  31. 제21 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제3 측벽들 각각은 상기 벤딩 영역의 외부에 배치되는, 표시 장치.
  32. 제21 항에 있어서,
    상기 기판과 상기 제1 절연층 사이에 제공된 배리어층을 더 포함하는, 표시 장치.
  33. 제32 항에 있어서,
    상기 배리어층의 벤딩 영역에 인접한 제4 측벽은 상기 제1 절연층의 제1 측벽보다 상기 벤딩 영역에 가까운, 표시 장치.
  34. 제33 항에 있어서,
    상기 배리어층은 무기 절연 물질을 포함하는, 표시 장치.
  35. 제32 항에 있어서,
    상기 배리어층은 상기 기판 상에 직접 배치되는, 표시 장치.
  36. 제33 항에 있어서,
    상기 제4 측벽의 표면 프로파일은 상기 제1 내지 제3 측벽들 중 적어도 하나의 표면 프로파일과 상이한 형상을 갖는, 표시 장치.

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