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KR102375891B1 - 투명전극 및 이를 포함하는 전자 소자 - Google Patents

투명전극 및 이를 포함하는 전자 소자 Download PDF

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KR102375891B1
KR102375891B1 KR1020140188949A KR20140188949A KR102375891B1 KR 102375891 B1 KR102375891 B1 KR 102375891B1 KR 1020140188949 A KR1020140188949 A KR 1020140188949A KR 20140188949 A KR20140188949 A KR 20140188949A KR 102375891 B1 KR102375891 B1 KR 102375891B1
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nano
transparent electrode
sized
organic
conductive layer
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신원호
우윤성
양대진
황진영
곽찬
박현철
최재영
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삼성전자주식회사
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Abstract

기판; 상기 기판 상에 배치되고 복수개의 나노크기 도전체 들을 포함하는 도전층; 및 상기 도전층 바로 위에 놓이고, 가교된 폴리머 및 나노크기의 무기 산화물 입자를 포함하되, 상기 무기 산화물의 함량이 상기 가교된 폴리머 100 중량부 당 1 중량부 이상 및 35 중량부 미만인 유무기 복합체 층을 포함하는 투명 전극 및 이를 포함하는 전자 소자가 개시된다.

Description

투명전극 및 이를 포함하는 전자 소자{TRANSPARENT ELECTRODES AND ELECTRONIC DECIVES INCLUDING THE SAME}
투명전극 및 이를 포함하는 전자 소자에 관한 것이다.
LCD 또는 LED 등의 평판 디스플레이, 터치 패널, 태양 전지, 투명 트랜지스터 등의 전자 소자는 투명 전극을 포함한다. 투명 전극용 재료는, 380 내지 780nm의 파장 범위에서 (예컨대 70% 이상의) 높은 광투과도를 가지고, 박막으로 제조된 경우에도 예컨대 100 ohm/sq. 이하 또는 50 ohm/sq. 이하의 낮은 면저항을 가지도록 요구될 수 있다.
현재 가장 널리 사용되고 있는 투명 전극 재료 중 하나는, 인듐 주석 산화물 (ITO)이다. ITO는, 가시광 전범위에서 투과도 물성도 만족할만한 수준이지만 상온 증착 시 100 ohm/sq 이상의 면저항을 나타낸다. 또, ITO는 인듐의 제한된 매장량으로 인해 제조 원가의 상승이 불가피하고, ITO는 취성이 좋지 않아 유연 디스플레이를 위한 전극으로 적용하기 어렵다. 따라서, 높은 투과도를 유지하면서 낮은 면저항을 나타낼 수 있는 유연한 투명 전극 재료의 개발이 필요하다.
일 구현예는 높은 전도성 및 우수한 광투과도를 가지는 유연한 투명 전극을 제공한다.
다른 구현예는 상기 투명 전극을 포함하는 전자 소자에 대한 것이다.
일 구현예에서, 투명 전극은, 기판 (substrate);
상기 기판 상에 배치되고 복수개의 나노크기 도전체(nano-sized conductor)들을 포함하는 도전층(electrically conductive layer); 및
상기 도전층 바로 위에 놓이고, 가교된 폴리머 및 나노크기의 무기 산화물 입자를 포함하는 유무기 복합체 층을 포함하되, 상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 함량은 상기 가교된 폴리머 100 중량부 당 1 중량부 이상 및 35 중량부 미만이다.
상기 도전층은 2개 이상의 상기 나노크기의 도전체들이 서로 접촉하여 전기적 연결을 제공하는 불연속 층(discontinuous layer)을 포함할 수 있다.
상기 나노크기 도전체는 도전성 금속 나노 와이어, 도전성 나노 시트, 도전성 금속 나노 메쉬, 도전성 카본 나노 튜브, 또는 이들의 조합할 수 있다.
상기 도전층은, 상기 복수개의 나노크기 도전체들을 결합하기 위한 유기 결합제(organic binder)를 포함할 수 있다.
상기 나노 크기의 무기 산화물 입자는, 크기가 50 nm 미만일 수 있다.
상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들은, SiO2, Al2O3, TiO2, ZnO, ZrO2, Y2O3, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다.
상기 가교된 폴리머는, 아크릴레이트 가교 결합을 포함할 수 있다.
상기 가교된 폴리머는, 우레탄 (메타)아크릴레이트, (메타)아크릴레이트기를 가지는 퍼플루오로폴리머, (메타)아크릴레이트기를 가지는 폴리(메타)아크릴레이트, 에폭시(메타)아크릴레이트, 또는 이들의 조합의 가교 중합 생성물을 포함할 수 있다.
상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 적어도 일부는 상기 가교된 폴리머의 매트릭스 내에 분산되어 있을 수 있다.
상기 도전층과 상기 유무기 복합체 층은 일체화된 구조물(integrated structure)을 형성할 수 있다.
상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 적어도 일부는 상기 복수개의 나노크기 도전체들 사이에 존재하는 간격(gap)에 배치될 수 있다.
상기 일체화된 구조물의 두께는 80 nm 보다 크고 150 nm 보다 작을 수 있다.
상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 함량은 상기 가교된 폴리머 100 중량부 당 5 중량부 내지 25 중량부 일 수 있다.
상기 유무기 복합체 층의 표면 조도는, 5 nm 이하일 수 있다.
상기 투명 전극은 헤이즈가 1% 이하이고 파장 550nm의 광에 대한 투과율이 88% 이상일 수 있다.
상기 투명전극은 면저항이 30옴/sq 이하일 수 있다.
다른 구현예에서 전술한 투명 전극을 포함하는 전자 소자를 제공한다.
상기 전자 소자는, 평판 또는 곡면 디스플레이, 터치 스크린 패널, 태양전지, e-윈도우, 전기 변색 미러(electrochromic mirror), 투명 발열판 (transparent heater), 히트 미러(heat mirror), 투명 변위 감지 센서 (strain sensor), 투명 트랜지스터, 또는 유연 디스플레이일 수 있다.
일구현예에 따른 투명 전극은 높은 광투과도, 낮은 헤이즈 및 낮은 면저항을 가질 뿐만 아니라 향상된 유연성을 나타낼 수 있다. 또, 상기 투명 전극은 수분 및 공기의 확산에 대하여 저항성을 가지므로 향상된 장기 안정성을 나타낼 수 있다. 따라서, 상기 투명 전극은, 터치 스크린 패널이나, 혹은 스마트폰, 태블릿 PC, 웨어러블 디바이스, E-페이퍼 등 각종 (휴대용) 전자 장치에서 포함되어 있는 차세대 디스플레이에서 유리하게 사용될 수 있다.
도 1은 일 구현예에 따른 투명 전극의 구조를 모식적으로 나타낸 것이다,
도 2는 일 구현예에 따른 투명 전극의 단면을 모식적으로 나타낸 것이다.
도 3은 실시예 1에서 제조된 투명 전극의 상면(top surface)의 주사 전자 현미경 이미지를 나타낸 것이다.
도 4는 실시예 1에서 제조된 투명 전극의 측단면의 주사 전자 현미경 이미지를 나타낸 것이다.
도 5는, 실시예 1에서 제조된 투명 전극의 유기 복합체층 표면 프로파일 이미지를 나타낸 것이다.
도 6은 비교예 1에서 제조된 투명 전극의 상면(top surface)의 주사 전자 현미경 이미지를 나타낸 것이다.
도 7은 비교예 1에서 제조된 투명 전극의 측단면의 주사 전자 현미경 이미지를 나타낸 것이다.
도 8은, 비교예 1에서 제조된 투명 전극의 유기 복합체층 표면 프로파일 이미지를 나타낸 것이다.
도 9는 유무기 복합체 층의 실리카 나노입자 함량에 따른 투명 전극의 투과도 변화를 나타낸 그래프이다.
도 10은 유무기 복합체 층의 실리카 나노입자 함량에 따른 투명 전극의 헤이즈 변화를 나타낸 그래프이다.
도 11은 도전층 및 유무기 복합체층의 두께에 따른 투과도 및 헤이즈 변화를 나타낸 그래프들을 포함한다.
도 12는 일실시예에 따른 투명 전극을 포함하는 OLED의 단면 구조를 모식적으로 나타낸 것이다.
도 13은, 일실시예에 따른 투명 전극을 포함하는 터치 스크린 패널의 단면 구조를 모식적으로 나타낸 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 구현예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 구현예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 구현예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 따라서, 몇몇 구현예들에서, 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다. 다른 정의가 없다면 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않은 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다. 명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타낸다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
본 명세서에서, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
일 구현예에 따른 투명 전극은,
기판;
상기 기판 상에 배치되고 복수개의 나노크기 도전체들을 포함하는 도전층; 및
상기 도전층 바로 위에 놓이는 유무기 복합체층을 포함하고,
상기 유무기 복합체 층은 가교된 폴리머 및 나노크기의 무기 산화물 입자를 포함한다. 상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 함량은 상기 가교된 폴리머 100 중량부 당 1 중량부 이상, (예컨대, 2 중량부 이상, 3 중량부 이상, 또는 4 중량부 이상) 및 35 중량부 미만 (예컨대, 30 중량부 이하)이다.
상기 기판은, 투명 기판일 수 있다. 상기 기판의 재료는 특별히 제한되지 않으며, 유리 기판, 반도체 기판, 고분자 기판, 또는 이들의 조합일 수 있고 절연막 및/또는 도전막이 적층되어 있는 기판일 수 있다. 비제한적인 예에서, 상기 기판은, 유리 등의 무기 재료, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부티렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 아크릴계 수지, 셀룰로오스 또는 그 유도체, 폴리이미드등의 폴리머, 또는 유무기 하이브리드 재료, 이들의 조합을 포함할 수 있다. 상기 기판의 두께도 특별히 제한되지 않으며, 최종 제품의 종류에 따라 적절히 선택할 수 있다. 예컨대, 상기 기판의 두께는, 0.5 um 이상, 예컨대 1 um 이상, 또는 10 um 이상일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 상기 기판의 두께는, 1mm 이하, 예컨대 500 um 이하, 또는 200 um 이하일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다.
상기 기판과 상기 도전층의 사이에는 필요에 따라 (예컨대, 굴절률의 조절을 위한) 추가의 층 (예컨대, 언더코트)이 제공될 수 있다.
상기 기판 상에는 복수개의 나노크기 도전체들을 포함하는 도전층이 배치된다. 여기서, "나노 크기의 도전체" 들이라 함은, 나노미터의 두께 또는 나노미터의 직경을 가지는 도전체를 의미한다. 상기 도전층은 2개 이상의 상기 나노크기의 도전체들이 서로 접촉하여 전기적 연결을 제공하는 불연속 층(discontinuous layer)을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 도전층은 나노크기의 도전체들 사이에 존재하는 간격(gap)을 포함할 수 있다.
일구현예에서, 상기 나노 크기의 도전체는, 도전성 금속 나노 와이어, 도전성 나노 시트, 도전성 금속 나노 메쉬, 도전성 카본 나노 튜브, 또는 이들의 조합일 수 있다.
상기 도전성 금속 나노 와이어는, 직경이 50 nm 이하, 예컨대, 40 nm 이하, 30 nm 이하일 수 있다. 상기 도전성 금속 나노 와이어의 길이는 특별히 제한되지 않으며 직경에 따라 적절히 선택할 수 있다. 예컨대, 상기 도전성 금속 나노 와이어의 길이는 1㎛ 이상, 2㎛ 이상, 3㎛ 이상, 4㎛ 이상, 5㎛ 이상일 수 있으나 이에 제한되지 않는다. 다른 구현예에서, 상기 도전성 금속 나노 와이어는, 길이가 10 ㎛ 이상, 예를 들어, 11 ㎛ 이상, 12 ㎛ 이상, 13 ㎛ 이상, 14 ㎛ 이상, 또는 15 ㎛ 이상일 수 있다. 상기 도전성 금속 나노 와이어는, 은(Ag), 구리(Cu), 금(Au), 알루미늄(Al), 코발트(Co), 팔라듐(Pd), 또는 이들의 조합 (예컨대, 이들의 합금, 혹은 2 이상의 세그멘트를 가지는 나노금속 와이어)을 포함할 수 있다. 이러한 도전성 금속 나노 와이어는 알려진 방법에 의해 제조할 수 있거나, 혹은 상업적으로 입수 가능하다. 상기 나노 와이어는, 표면에 폴리비닐피롤리돈 등의 고분자 코팅을 포함할 수 있다.
도전성 나노 시트는, 나노미터 두께의 금속 시트 또는 나노미터 두께의 세라믹 시트를 포함한다. 시트의 측방향 크기는 0.1um 이상, 예컨대, 1 um 이상일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 상기 도전성 나노 시트는, 임의의 공지된 방법에 의해 제조될 수 있거나 혹은 상업적으로 입수 가능하다. 예컨대, 상기 도전성 세라믹 나노 시트(나노 플레이크)는 WO 2003041183 또는 WO 2002095841 A2 에 기재된 방법에 의해 제조될 수 있거나, 혹은 이와 유사한 방법을 사용하여 제조될 수 있다.
금속 나노 메쉬는, 금속을 이용하여 나노크기의 망 구조를 형성한 구조이다. 망 구조의 두께는 1um 이하일 수 있으나, 이에 제한되지 않는다. 이러한 도전성 금속 나노 메쉬의 제조 방법은 공지되어 있다. (참조문헌: KR10-1328483)
도전성 카본 나노 튜브는, 실린더 나노 구조를 가지는 탄소 동소체의 일종이다. 도전성 카본 나노 튜브는 공지된 방법에 의해 제조할 수 있거나, 혹은 상업적으로 입수 가능하다.
상기 도전층은, 상기 복수개의 나노크기 도전체 (예컨대, 나노 와이어)들을 결합하기 위한 유기 결합제(organic binder)를 포함할 수 있다. 상기 바인더는 도전층 형성을 위한 조성물의 점도를 적절하게 조절하거나 기판 위에 상기 나노크기 도전체들의 결착력을 높이는 역할을 할 수 있다. 상기 바인더의 비제한적인 예들은, 메틸셀룰로오즈(methyl cellulose), 에틸셀룰로오즈(ethyl cellulose), 히드록시프로필 메틸셀룰로오즈(hydroxypropyl methyl cellulose, HPMC), 히드록시프로필셀룰로오즈(hydroxylpropyl cellulose, HPC), 잔탄검(xanthan gum), 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol, PVA), 폴리비닐피롤리돈(polyvinyl pyrrolidone, PVP), 카르복시메틸셀룰로오즈(carboxy methyl cellulose), 히드록시에틸셀룰로오즈(hydroxyl ethyl cellulose), 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 상기 바인더의 함량은 적절히 선택할 수 있으며, 특별히 제한되지 않는다. 비제한적인 예에서, 상기 바인더의 함량은 상기 나노크기 도전체들 100 중량부에 대하여 1 내지 100 중량부일 수 있다.
상기 기재 상에 상기 도전층을 형성하는 것은 공지된 방법에 의해 수행될 수 있다. 예컨대, 상기 나노크기 도전체 (예컨대, 나노 와이어)들을 포함하는 코팅 조성물을 상기 기재 상에 적용하고 용매를 제거함에 의해 형성할 수 있다. 상기 나노크기 도전체를 포함하는 코팅 조성물은, 적절한 용매 (예컨대, 물, 물과 혼화성 또는 비혼화성인 유기용매 등) 및 분산제를 더 포함할 수 있으며, 이는 알려져 있다. 예를 들어, 나노 와이어를 포함하는 잉크 조성물은 상업적으로 입수 가능하다. 입수한 상기 조성물을 기판에 도포하고, 선택에 따라 건조 및/또는 열처리를 수행하여 도전층을 준비한다. 상기 조성물의 도포는 다양한 방법으로 수행될 수 있으며, 일 예로 바 코팅(bar coating), 블래이드 코팅(blade coating), 슬롯 다이 코팅(slot die coating), 스프레이 코팅 (spray coating), 스핀 코팅 (spin coating), 그라비아 코팅 (Gravure coating), 잉크젯 프린팅 (ink jet printing) 또는 이들의 조합에 의해 적용될 수 있다.
일구현예에 따른 투명 전극은, 상기 도전층 바로 위에 놓이는 유무기 복합체 층을 가진다. 상기 유무기 복합체 층은 가교된 폴리머 및 나노크기의 무기 산화물 입자를 포함한다. 상기 유무기 복합체 층은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 도전층을 보호하는 보호층의 역할을 하여 기계적 접촉에 의한 도전층의 손상을 방지 또는 최소화하면서도 도전층 및 투명 전극 전체의 광특성 및 전기적 물성에 실질적인 영향을 주지 않는다.
유연한 투명 전극에 대한 수요가 증가하면서, 그라핀(graphene), 탄소나노튜브(carbon nanotube), 금속 메쉬(metal mesh), 금속 나노 와이어 (metal nanowire) 등의 나노 크기의 도전체를 투명 전극의 도전 재료로 사용하고자 하는 다양한 시도가 있어왔다. 그러나, ITO와 달리, 전술한 나노크기 도전체들은 기계적 마찰 등의 외력과 화학 물질에 손상받기 쉽다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 종래 기술에서는, 이러한 나노크기 도전체들을 포함하는 도전층 표면에 폴리머 기반의 보호막을 제공하고 있다. 그러나, 이러한 폴리머 보호막은 나노크기의 도전체들을 포함하는 투명 전극의 광특성 (예컨대, 투명성 및 헤이즈) 및 전도도에 부정적인 영향을 주기 쉽다. 또, 폴리머 보호막은 고온 다습한 환경 하에서 나노 크기의 도전체들을 효과적으로 보호하기 어렵다.
이와 대조적으로, 상기 유무기 복합체층은, 바로 아래에 있는 나노크기의 도전체들을 포함하는 도전층을 기계적 마찰 등 외부 손상으로부터 효과적으로 보호할 뿐만 아니라, 상기 도전층의 광특성 및 전도도를 그대로 유지하거나 혹은 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 유무기 복합체층은 고온 다습한 환경 하에서도 투명 전극의 신뢰성을 높일 수 있다. 또한, 상기 유무기 복합체층은 투명 전극의 내굴곡성을 향상시킬 수 있다.
특정 이론에 의해 구속되려 함은 아니지만, 상기 유무기 복합체층 내에 포함된 무기 나노 입자들은 보호막 형성을 위한 수지의 경화 과정에서 폴리머 수축을 억제할 뿐만 아니라 도전층에 존재할 수 있는 도전체들 간의 갭(gap)을 제거할 수 있고, 이로써 도전층 표면의 조도를 감소시킬 수 있다. 이러한 표면 조도의 감소는 전극의 투과도를 향상시키면서 헤이즈를 낮출 수 있다. 또한, 무기 나노입자들로 인해 전극 내에서 기체 또는 수분의 확산 (이동) 경로가 길어지게 되므로, 상기 유무기 복합체층은 더 낮은 기체 투과도를 나타낼 수 있고, 그 결과, 고온 다습한 환경에서 향상된 신뢰성을 나타낼 수 있다. 예컨대, 은 나노 와이어를 포함하는 투명 전극의 경우, 전극 내부로 침투하는 공기와 수분이 은 나노와이어의 산화 및 황화를 초래하여 전극 전체의 저항을 크게 증가시킬 수 있다. 상기 유무기 복합체층은 가교된 폴리머 매트릭스 내에 균일하게 분산된 무기 산화물 나노 입자를 포함하는데, 이러한 무기산화물 나노 입자는 공기 및 수분의 확산 경로를 길어지게 할 수 있으므로, 상기 복합체층은 공기/수분에 대한 더 낮은 투과도를 나타낼 수 있다. 따라서, 상기 유무기 복합체층을 포함하는 투명 전극에서는, 공기 및 수분에 의한 나노 와이어의 퇴화가 방지되어 현저히 향상된 장기 신뢰성을 구현할 수 있다.
일구현예에서, 상기 나노 크기의 무기 산화물 입자는, 크기가 50 nm 미만, 예컨대, 40 nm 이하, 30 nm 이하, 또는 25 nm 이하일 수 있다. 유무기 복합체 층 내의 무기 산화물 입자가 이러한 크기를 가지는 경우, 전극의 투과도를 향상시키면서 헤이즈를 낮출 수 있다. 상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들은, SiO2, Al2O3, TiO2, ZnO, ZrO2, Y2O3, 또는 이들의 조합을 포함할 수 있다. 상기 무기 산화물 입자는 폴리머에 대한 친화성을 높일 수 있도록 표면 처리된 것일 수 있다. 상기 나노크기의 무기 산화물 입자는 비다공성 입자일 수 있다.
상기 가교된 폴리머는, 아크릴레이트 가교 결합을 포함할 수 있다. 상기 가교된 폴리머는, 우레탄 (메타)아크릴레이트, (메타)아크릴레이트기를 가지는 퍼플루오로폴리머, (메타)아크릴레이트기를 가지는 폴리(메타)아크릴레이트, 에폭시(메타)아크릴레이트, 또는 이들의 조합의 가교 중합 생성물을 포함할 수 있다. 가교 중합 생성물은 광 경화된 폴리머일 수 있다. 전술한 폴리머는 공지된 임의의 방법에 의해 합성할 수 있거나 혹은 다양한 공급업자들로부터 상업적으로 입수할 수 있다. 일구현예에서, 상기 폴리머는 우레탄아크릴레이트를 포함할 수 있다. 상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 적어도 일부는 상기 가교된 폴리머의 매트릭스 내에, 예컨대, 균일하게, 분산되어 있을 수 있다.
일구현예에서, 상기 도전층과 상기 유무기 복합체 층은 일체화된 구조물(integrated structure)을 형성할 수 있다. 따라서, 상기 도전층과 상기 유무기 복합체층은 구별 가능한 경계선 없이 하나의 막을 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 적어도 일부는 상기 복수개의 나노크기 도전체들 사이에 존재하는 간격(gap)에 배치될 수 있다. 상기 일체화된 구조물의 두께 또는 상기 도전층과 상기 유무기 복합체층의 두께의 합은 80 nm 보다 크고 150 nm 보다 작을 수 있다.
전술한 바와 같이, 상기 유무기 복합체층에서, 상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 함량은 상기 가교된 폴리머 100 중량부 당 1 중량부 이상, 예컨대, 2 중량부 이상, 3 중량부 이상, 4 중량부 이상, 5 중량부 이상, 9 중량부 이상, 또는 10 중량부 이상일 수 있다. 또, 상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 함량은, 35 중량부 미만, 예컨대, 34 중량부 이하, 33 중량부 이하, 32 중량부 이하, 31 중량부 이하, 30 중량부 이하, 25 중량부 이하, 또는 20 중량부 이하일 수 있다. 이러한 범위 내에서, 상기 유기 복합체층은 더 낮은 표면 조도를 가질 수 있으며, 투명 전극의 헤이즈를 감소시키면서 그의 투과도를 증가시킬 수 있다. 일구현예에서, 상기 유무기 복합체 층의 표면 조도는, 10 nm 미만, 예컨대 7 nm 이하, 6 nm 이하, 또는 5 nm 이하일 수 있다. 상기 유무기 복합체층의 이처럼 낮은 표면 조도는 광특성의 향상으로 이어질 수 있다. 예컨대, 상기 투명 전극은 헤이즈가 1 % 이하이고 파장 550 nm의 광에 대한 투과율이 88 % 이상일 수 있다.
상기 유무기 복합체층은, 바로 아래에 놓인 도전층의 전도성에 부정적 영향을 실질적으로 주지 않는다. 높은 전도도의 유연성 전도성 박막을 제조하기 위해 도전성 금속 나노 와이어 (예컨대, 은 나노와이어)를 사용하고자 하는 다양한 시도들이 있었다. 소망하는 정도의 면저항을 얻기 위해 은 나노 와이어의 함량을 높여야 하지만, 높은 함량의 은 나노 와이어는 금속 자체의 반사 특성 때문에 요구되는 수준의 광투과율을 제공하기 어렵다. 예컨대, 금속 나노 와이어를 포함하는 도전층의 경우, 그의 면저항과 광 투과도가 트레이드 오프(trade-off) 관계에 있어 낮은 면저항과 높은 광투과도 (낮은 헤이즈)를 동시에 가지기는 어렵다. 그러나, 일구현예에 따른 상기 투명 전극은, 도전층 바로 위에 놓인 상기 유기 복합체층으로 인해 전기 전도도에서의 실질적 손실 없이 그의 광특성 (즉, 투과도 및 헤이즈)을 향상시킬 수 있다. 예컨대 상기 투명 전극은, 탁도계 (Haze meter)로 측정한 헤이즈 1 %에서, 면저항이 50 옴/sq. 이하, 예컨대, 40 옴/sq. 이하이고, 가시광 전범위 (380 ~ 780nm)에 대한 투과도가 90 % 이상일 수 있다.
일구현예에서, 상기 유무기 복합체층의 형성은 다음과 같은 방법에 의해 수행될 수 있다. 상기 가교 폴리머의 전구체 (예컨대, 중합성 아크릴레이트기를 가지는 폴리머, 예를 들면, 우레탄 (메타)아크릴레이트, (메타)아크릴레이트기를 가지는 퍼플루오로폴리머, (메타)아크릴레이트기를 가지는 폴리(메타)아크릴레이트, 에폭시(메타)아크릴레이트 등), 상기 무기 산화물 나노 입자, 및 선택에 따라 용매, 분산제, 광개시제 등을 포함한 조성물을 준비한다. 준비된 조성물을 상기 도전층 상에 적절한 방법으로 코팅한다. 코팅 방법은, 도전층에서 설명된 바와 같다. 코팅된 조성물은, 선택에 따라 건조하고, 가교를 위한 중합을 수행하여 유무기 복합체층을 얻는다. 전술한 바와 같이, 상기 유무기 복합체층은 상기 도전층과 일체화된 구조를 형성할 수 있다.
상기 투명전극은, 평판 또는 곡면 디스플레이, 터치 스크린 패널, 태양전지, e-윈도우, 전기 변색 미러(electrochromic mirror), 투명 발열판 (transparent heater), 히트 미러(heat mirror), 투명 트랜지스터, 투명 변위 감지 센서 (strain sensor) 또는 유연 디스플레이 등의 전자 소자에서 사용될 수 있다. 또, 상기 투명 전극은, 기능성 유리, 정전기 방지막에서도 유용성을 찾을 수 있다. 특히, 상기 투명 전극은 우수한 가요성을 나타낼 수 있으므로, 플랙서블한 전자 소자에 유용하게 적용될 수 있다.
이하 상기 전자 소자의 일 예로, 상기 투명 전극을 포함한 유기 발광 장치에 대하여 도면을 참고하여 설명한다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 또, 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우 뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함할 수 있다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻할 수 있다.
도 12는 일 구현예에 따른 유기 발광 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 12를 참고하면, 일 구현예에 따른 유기 발광 장치는 기판(10), 하부 전극(20), 하부 전극(20)과 마주하는 상부 전극(40), 그리고 하부 전극(20)과 상부 전극(40) 사이에 개재되어 있는 발광층(30)을 포함한다.
기판(10)은 예컨대 유리와 같은 무기 물질 또는 폴리카보네이트, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리아미드, 폴리에테르술폰 또는 이들의 조합과 같은 유기 물질, 실리콘웨이퍼 등으로 만들어질 수 있다.
하부 전극(20)과 상부 전극(40) 중 하나는 캐소드(cathode)이고 다른 하나는 애노드(anode)이다. 예컨대 하부 전극(20)은 애노드이고 상부 전극(40)은 캐소드일 수 있다.
하부 전극(20)과 상부 전극(40) 중 적어도 하나는 투명 전극이며, 하부 전극(20)이 투명 전극인 경우 기판(10) 측으로 빛을 내는 배면 발광(bottom emission)일 수 있으며 상부 전극(40)이 투명 전극인 경우 기판(10)의 반대 측으로 빛을 내는 전면 발광(top emission)일 수 있다. 또한 하부 전극(20) 및 상부 전극(40)이 모두 투명 전극인 경우 기판(10) 측 및 기판(10)의 반대 측으로 양면 발광할 수 있다.
상기 투명 전극은 전술한 수성 조성물로 만들어진다. 발광층(30)은 적색, 녹색, 청색의 삼원색 등 기본색(primary color) 중 어느 하나의 빛을 고유하게 내는 유기 물질 또는 유기 물질과 무기 물질의 혼합물로 만들어지며, 예컨대 폴리플루오렌(polyfluorene) 유도체, (폴리)파라페닐렌비닐렌((poly)paraphenylenevinylene) 유도체, 폴리페닐렌(polyphenylene) 유도체, 폴리비닐카바졸(polyvinylcarbazole), 폴리티오펜(polythiophene) 유도체 또는 이들의 고분자 재료에 페릴렌(perylene)계 색소, 쿠마린(cumarine)계 색소, 로더민계 색소, 루브렌(rubrene), 페릴렌(perylene), 9,10-디페닐안트라센(9,10-diphenylanthracene), 테트라페닐부타디엔(tetraphenylbutadiene), 나일 레드(Nile red), 쿠마린(coumarin), 퀴나크리돈(quinacridone) 등을 도핑한 화합물이 포함될 수 있다. 유기 발광 장치는 발광층에서 내는 기본색 색광의 공간적인 합으로 원하는 영상을 표시한다.
발광층(30)은 적색, 녹색, 청색의 삼원색 등 기본색들의 조합에 의해 백색 발광할 수 있으며, 이 때 색의 조합은 이웃하는 서브화소들의 색을 조합하여 백색 발광할 수도 있고 수직 방향으로 적층된 색을 조합하여 백색 발광할 수도 있다.
발광층(30)과 상부 전극(40) 사이에는 발광층(30)의 발광 효율을 개선하기 위한 보조층(50)을 포함한다. 도면에서는 발광층(30)과 상부 전극(40) 사이에만 도시하였지만 이에 한정되지 않고 발광층(30)과 하부 전극(20) 사이에 위치하거나 발광층(30)과 상부 전극(40) 사이 및 발광층(30)과 하부 전극(20) 사이에 모두 위치할 수도 있다.
보조층(50)은 전자와 정공의 균형을 맞추기 위한 전자 수송층(electron transport layer) 및 정공 수송층(hole transport layer)과 전자와 정공의 주입을 강화하기 위한 전자 주입층(electron injection layer) 및 정공 주입층(hole injection layer) 등이 있으며, 이 중에서 선택된 하나 또는 둘 이상의 층을 포함할 수 있다. 보조층(50)은 생략될 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 전기 소자는 터치스크린 패널일 수 있다. 터치 스크린 패널의 상세한 구조는, 공지되어 있다. 터치스크린 패널의 간략화된 구조를 도 13에 모식적으로 나타낸다. 도 13을 참조하면, 상기 터치 스크린 패널은, 표시 장치용 패널 (예컨대, LCD 패널) 상에 제1 전도성 박막, 제1 투명 접착층 (예컨대, 광학용 접착제(Optical Clear Adhesive: OCA) 필름, 제2 전도성 박막, 제2 투명 접착층, 및 표시 장치용 윈도우(window)를 포함하는 구조를 가질 수 있다. 제1 전도성 박막 및/또는 제2 전도성 박막은 일구현예에 따른 투명전극일 수 있다.
여기서는 상기 투명 전극을 유기 발광 장치 또는 터치스크린 패널 (예컨대, 이들의 투명 전극)에 적용한 예를 설명하였지만, 이에 한정되지 않고 투명 전극이 사용되는 모든 전자 소자의 전극으로 사용될 수 있으며, 예컨대 액정 표시 장치의 화소 전극 및/또는 공통 전극, 유기 발광 장치의 애노드 및/또는 캐소드, 플라즈마 표시 장치의 표시 전극에도 사용될 수 있다. 또한, 상기 투명 전극은, 기능성 유리 또는 정전기 방지층으로도 사용될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예들을 제시한다. 다만, 하기에 기재된 실시예들은 본 발명을 구체적으로 예시하거나 설명하기 위한 것에 불과하며, 이로써 본 발명이 제한되어서는 아니된다.
[ 실시예 ]
참조예 1: 나노 와이어 분산액의 준비
나노크기의 도전체로서 은 나노 와이어를 함유한 수계 분산액 (구입처: Cambrios Co., Ltd., Nanopyxis, Aiden, 은 나노 와이어 무게 함량 0.5 wt.%, 은 나노 와이어 평균 직경: 20 ~ 35 nm, 평균 길이: 15 ~ 30 um)을 준비한다. 증류수에 히드록시프로필메틸셀룰로오스 (hydroxypropyl methyl cellulose: HPMC) 0.25wt%를 녹여 바인더 용액을 준비한다. 상기 은 나노 와이어 용액과 상기 바인더 용액을 혼합하고, 물과 에탄올의 혼합 용액 (물:에탄올 = 70 부피:30 부피)을 준비하여 나노 와이어의 농도가 0.1 내지 0.2 wt%로 되도록 희석하여 나노 와이어 수계 분산액을 얻는다. 나노 와이어와 바인더의 첨가량은 무게비로 바인더/AgNW = 0.05 내지 0.1 wt/wt%로 유지한다.
참조예 2 내지 11: 무기 산화물 나노입자와 우레탄 아크릴레이트를 포함하는 유무기 복합체를 위한 조성물의 준비
우레탄 아크릴레이트 (제조사: 석경 AT, 제품명: SG-P-type) 100 중량부 및 무기 산화물 나노입자로서, 실리카(SiO2) 입자 (평균 입경: 20nm, 제조사: 석경 AT, 비다공성(non-porous)) 1 중량부 (참조예 2), 3 중량부 (참조예 3), 5 중량부 (참조예 4), 10 중량부 (참조예 5), 15 중량부 (참조예 6), 17.5 중량부 (참조예 7), 20 중량부 (참조예 8), 25 중량부 (참조예 9), 35 중량부 (참조예 10), 및 50 중량부 (참조예 11)를 각각 포함한 분산액 (고형분 함량: 3%) 을 준비한다. 분산용매로서 디아세톤알콜, 이소프로필알콜 또는 그 혼합액을 사용한다.
참조예 12:
우레탄 아크릴레이트 (제조사: 석경 AT, 제품명: SG-P-type) 100 중량부 및 무기 산화물 나노입자로서, 실리카(SiO2) 입자 (평균 입경: 50nm, 제조사: 석경 AT) 17.5 중량부 (참조예 9)를 포함한 분산액 (고형분 함량: 3%)을 준비한다. 분산용매로서 디아세톤알콜, 이소프로필알콜 또는 그 혼합액을 사용한다.
[투명 전극 제조]
실시예 1:
[1] 참조예 1에서 제조한 나노 와이어 수분산액을 자동화된 바코터 (automated bar coater) (GBC-A4, GIST)를 이용하여 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET) 또는 폴리카아보네이트(PC) 기판 상에 도포하고 90도씨에서의 열풍 건조 및 100도씨 오븐 건조를 수행하여 도전층을 얻는다.
[2] 참조예 2 내지 9 에서 제조한 분산액 조성물 을 각각 마이어 바 (Mayer bar) 를 이용하여 상기 도전층 상에 코팅하고, 100도씨에서 1분간 건조한 다음 UV 램프 (파장: 365nm, 광량: 800mJ/cm2)로 15초간 조사하여 아크릴레이트간의 가교 중합을 수행하여 표 1에 나타낸 바와 같이 투명 전극 (실시예 1 내지 실시예 8)을 얻는다.
[3] 제조된 투명 전극 (실시예 4:실리카 나노입자 함량 10 중량부)의 유기 복합체층 쪽 표면의 주사 전자 현미경 사진을 도 3에 나타낸다. 도 3의 결과로부터, 실리카 나노 입자가 유기 복합체층 전체에 고르게 분포되어 있음을 확인한다.
마이크로톰(microtome) 법에 따라 얻은 투명 전극의 단면의 주사 전자 현미경 사진을 도 4에 나타낸다. 도 4의 결과로부터 도전층 및 유기 복합체층의 일체화된 구조물의 두께는 대략 120 nm 임을 확인한다.
[4] 3D optical microscopy (제조사: Bruker, 모델명: OM-CONTOUR GT-X) 를 사용하여 표면 프로파일 이미지를 얻고, 이를 도 5에 나타낸다. 도 5로부터 유기 복합체층 표면의 조도는 4.66 nm 임을 확인한다.
비교예 1:
[1] 참조예 2 내지 9에서 제조한 조성물 대신, 우레탄아크릴레이트 (제조사: 석경 AT, 제품명: SG-P-type) 를 포함한 분산액 (고형분 3%)을 도전체 층 상에 코팅하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 투명 전극을 제조한다.
[2] 제조된 투명 전극의 폴리머 층 표면의 주사 전자 현미경 사진을 도 6에 나타낸다. 도 6의 결과로부터, 제조된 투명 전극은 입자 없이 나노 와이어만 포함하고 있음을 확인한다. 마이크로톰(microtome) 법에 따라 얻은 투명 전극의 단면의 주사 전자 현미경 사진을 도 7에 나타낸다. 도 7의 결과로부터 도전층 및 폴리머층의 두께의 합은 대략 120 nm 임을 확인한다.
[3] 3D optical microscopy (제조사: Bruker, 모델명: OM-CONTOUR GT-X) 를 사용하여 표면 프로파일 이미지를 얻고, 이를 도 8에 나타낸다. 도 8로부터 유기 복합체층 표면의 조도는 12.23 nm 임을 확인한다.
비교예 2:
참조예 2 내지 9에서 제조한 조성물 대신, 참조예 10의 분산액 조성물 (실리카 나노입자 함량: 35 중량부)을 도전체 층 상에 코팅하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 투명 전극을 제조한다.
비교예 3:
참조예 2 내지 8에서 제조한 조성물 대신, 참조예 11의 분산액 조성물 (실리카 나노입자 함량: 50 중량부)을 도전체 층 상에 코팅하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 투명 전극을 제조한다.
비교예 4:
참조예 2에서 제조한 조성물 대신, 참조예 12의 분산액 조성물 (실리카 나노입자 크기 50nm)을 도전체 층 상에 코팅하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 투명 전극을 제조한다.
[투명 전극 특성 평가]
실험예 1 : 광학적 특성의 평가
[1] 탁도계 (haze meter, NDH-7000SP, Nippon Denshokku)를 이용하여, 도전층, 실시예 1 내지 8 의 투명 전극, 비교예 1 내지 3의 투명전극의 광투과도와 헤이즈를 측정하고 그 결과를 각각 도 9 및 도 10에 나타낸다. 도 9 및 도 10의 결과로부터 실시예 1 내지 8 의 투명 전극은 도전층보다 향상된 투과도를 나타낼 수 있음을 확인한다. 또한, 비교예 1 내지 3의 투명 전극에 비해, 실시예들의 투명 전극은, 감소된 헤이즈를 나타낼 수 있음을 확인한다.
[2] 도전층, 비교예 1 내지 4의 투명 전극, 실시예 1 내지 8의 투명 전극 에 대하여 전술한 방법으로 투과도 및 헤이즈를 측정하고 그 결과를 아래 표 1에 정리한다.
구분 실리카 함량 (우레탄 아크릴레이트 100 중량부에 대한 중량부) 투과도(%) 헤이즈(%)
도전층 (오버코트 없음) 0 88.1% 1.14%
비교예 1 0 90.38 1.185
실시예 1 1 90.42 1.173
실시예 2 3 90.4 1.168
실시예 3 5 90.42 1.167
실시예 4 10 90.45 1.146
실시예 5 15 90.35 1.03
실시예 6 17.5 90.39 0.999
실시예 7 20 90.36 1.01
실시예 8 25 89.96 1.08
비교예 2 35 88.87 1.25
비교예 3 50 88.31 1.35
비교예 4 17.5 (실리카 입경 50nm) 89.4% 25.54%
표 1의 결과로부터 실시예의 투명 전극은 도전층 또는 비교예들의 투명 전극에 비해 현저히 향상된 광특성을 나타낼 수 있음을 확인한다.
실험예 2 : 전기적 물성의 특성의 평가
제조된 도전층 및 실시예 1 내지 5의 투명 전극에 대하여 4 point 면저항 측정계인 R-Chek 을 이용하여 면저항을 측정한다. A4 용지 기준 24 지점의 면저항을 평균하여 측정한다. 그 결과 실시예 1 내지 5의 투명 전극의 면저항은 대략 (30 옴/sq)이고, 도전층의 면저항은 (30 옴/sq) 임을 확인한다.
실험예 3 : 신뢰성 특성의 평가
비교예 1 및 비교예 3의 투명 전극 및 실시예 1 내지 5의 투명 전극을 85도씨의 온도 및 85%의 습도 조건 하에 10일간 방치한 후 방치 전과 후의 면저항 변화율(%)을 측정하고, 그 결과를 하기 표 2에 정리한다.
실리카 함량 (우레탄 아크릴레이트 100 중량부에 대한 중량부) 10일 후 저항 변화율 (%)
비교예 1 0 6.5%
실시예 4 10 2.7%
실시예 5 15 0.3%
실시예 6 17.5 0.6%
실시예 7 20 1.2%
실시예 8 25 3.5%
비교예 3 50 20.6%
상기 표 2의 결과로부터, 실시예 1 내지 5의 투명 전극은, 비교예 1 및 3의 투명 전극에 비해 가혹한 환경 하에서도 현저히 향상된 신뢰성을 나타낼 수 있음을 확인한다.
실험예 4 : 외측 굴곡 시험 (굴곡 반경 3 mm)
비교예 1의 투명 전극과 실시예 4의 투명 전극에 대하여 곡률 반경 3 mm로 20만회 굴곡시킨 후 초기 면저항에 대한 저항 변화율을 측정한다. 그 결과 비교예 1의 투명 전극은 저항 증가율이 1.6%인 반면 실시예 4의 투명 전극은 저항 증가율이 0.8%임을 확인한다.
실험예 5 : 도전층과 유무기 복합층의 두께 합에 따른 투과도 및 헤이즈 평가
참조예 8 에서 제조한 분산액 조성물을 사용하여 실시예 1과 동일한 방법에 따라 투명전극을 제조하되, 상기 분산액 조성물의 코팅양을 조절하여 도전층 두께 및 유무기 복합체층 두께의 합이 각각 80 nm, 100 nm, 120 nm, 및 150 nm 이 되도록 한다. 상이한 두께를 가진 투명 전극에 대하여 실험예 1에서와 동일한 방법으로 투과도 및 헤이즈를 측정한다. 그 결과를 도 11에 나타낸다. 도 11의 결과로부터, 100 nm 부근에서 투과도가 최대임을 확인한다. 도 11의 결과에 따르면, 도막 두께가 너무 낮은 경우, 나노 와이어의 표면 조도로 인해 헤이즈가 증가할 수 있음을 확인한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구 범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리 범위에 속하는 것이다.

Claims (18)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 배치되고 복수개의 나노크기 도전체(nano-sized conductor)들을 포함하는 도전층(electrically conductive layer); 및
    상기 도전층 바로 위에 놓이고, 가교된 폴리머 및 나노크기의 무기 산화물 입자를 포함하되, 상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 함량은 상기 가교된 폴리머 100 중량부 당 10 중량부 이상 및 17.5 중량부 이하인 유무기 복합체 층
    을 포함하는 투명 전극으로서,
    상기 나노 크기의 무기 산화물 입자는 비다공성 실리카 입자이고,
    상기 나노 크기의 무기 산화물 입자는, 크기가 50 nm 미만이고,
    상기 가교된 폴리머는 우레탄 아크릴레이트인, 투명전극.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도전층은 2개 이상의 상기 나노크기의 도전체들이 서로 접촉하여 전기적 연결을 제공하는 불연속 층(discontinuous layer)을 포함하는 투명전극.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 나노크기 도전체는 도전성 금속 나노 와이어, 도전성 나노 시트, 도전성 금속 나노 메쉬, 도전성 카본 나노 튜브, 또는 이들의 조합을 포함하는 투명 전극.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 도전층은, 상기 복수개의 나노크기 도전체들을 결합하기 위한 유기 결합제(organic binder)를 포함하는 투명전극.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 나노 크기의 무기 산화물 입자는, 크기가 20 nm 이상인 투명 전극.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 가교된 폴리머는, 아크릴레이트 가교 결합을 포함하는 투명 전극.
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 적어도 일부는 상기 가교된 폴리머의 매트릭스 내에 분산되어 있는 투명 전극.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 도전층과 상기 유무기 복합체 층은 일체화된 구조물(integrated structure)을 형성하는 투명 전극.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 나노 크기의 무기 산화물 입자들의 적어도 일부는 상기 복수개의 나노크기 도전체들 사이에 존재하는 간격(gap)에 배치되는 투명 전극.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 도전층과 상기 유무기 복합체층의 총 두께는 80 nm 보다 크고 150 nm 보다 작은 투명 전극.
  13. 삭제
  14. 제1항에 있어서,
    상기 유무기 복합체 층의 표면 조도는, 5 nm 이하인 투명 전극.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 투명 전극은 헤이즈가 1 % 이하이고 파장 550nm 의 광에 대한 투과율이 88 % 이상인 투명 전극.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 투명전극은 면저항이 30 옴/sq 이하인 투명 전극.
  17. 제1항에 따른 투명 전극을 포함하는 전자 소자.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 전자 소자는, 디스플레이, 터치 스크린 패널, 태양전지, e-윈도우, 전기 변색 미러(electrochromic mirror), 투명 발열판 (transparent heater) 히트 미러(heat mirror), 투명 트랜지스터, 투명 변위 감지 센서 (strain sensor), 또는 유연 디스플레이인 전자 소자.
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