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KR102373043B1 - Thin type air filter and air filtering apparatus having the same - Google Patents

Thin type air filter and air filtering apparatus having the same Download PDF

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KR102373043B1
KR102373043B1 KR1020200016494A KR20200016494A KR102373043B1 KR 102373043 B1 KR102373043 B1 KR 102373043B1 KR 1020200016494 A KR1020200016494 A KR 1020200016494A KR 20200016494 A KR20200016494 A KR 20200016494A KR 102373043 B1 KR102373043 B1 KR 102373043B1
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강진선
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Abstract

본 발명은 초박형 필터 및 그것을 구비한 공기여과장치에 관한 것으로, 본 발명은 사각 프레임 형태를 이루는 필터프레임; 상기 필터프레임의 내부에 결합되어 이물질을 여과하는 필터미디어팩; 상기 필터미디어팩으로 공기가 유입되는 전측과 유출되는 후측에 각각 접촉되어 상기 필터미디어팩의 전측과 후측을 각각 지지하는 전면지지망 및 후면지지망;을 포함하며, 상기 필터미디어팩은 사각형의 필터미디어시트가 지그재그로 다단으로 절곡되어 다수 개의 산들이 형성된 형태이며, 상기 전면지지망과 후면지지망이 상기 필터미디어팩의 전측과 후측에 각각 접촉 지지되어 상기 필터미디어팩의 산과 산들의 간격을 유지시킨다. 본 발명에 따르면, 필터의 두께를 얇고 크게게 할 뿐만 아니라 구조적 강도가 크게 된다.The present invention relates to an ultra-thin filter and an air filtration device having the same, and the present invention relates to a filter frame having a rectangular frame shape; a filter media pack coupled to the inside of the filter frame to filter foreign substances; and a front support net and a rear support net respectively in contact with the front side and the rear side through which air flows into the filter media pack to support the front and rear sides of the filter media pack, respectively, wherein the filter media pack includes a rectangular filter media sheet is bent in a zigzag manner to form a plurality of mountains, and the front support network and the rear support network are respectively supported in contact with the front and rear sides of the filter media pack to maintain the distance between the mountains and the mountains of the filter media pack. According to the present invention, not only the thickness of the filter is made thin and large, but also the structural strength is increased.

Description

초박형 필터 및 그것을 구비한 공기여과장치{THIN TYPE AIR FILTER AND AIR FILTERING APPARATUS HAVING THE SAME}Ultra-thin filter and air filtration device having the same

본 발명은 초박형 필터 및 그것을 구비한 공기여과장치에 관한 것이다.The present invention relates to an ultra-thin filter and an air filtration device having the same.

일반적으로, 공기 속의 이물질을 제거하는 에어 필터는 이물질을 여과하는 필터미디어팩과, 필터미디어팩의 테두리를 감싸 지지하는 필터프레임으로 구성된다. 이와 같은 에어 필터는 일반 건물 공조용, 지하철 역사 공조용, 반도체 제조 챔버 공조용 등에 사용된다. 에어 필터는 필터링하는 이물질의 입자에 따라 프리 필터(pre-filter), 미디엄 필터(medium filter), 헤파 필터(hepa filter), 울파(ulpa) 등으로 나누어진다.In general, an air filter for removing foreign substances in the air is composed of a filter media pack that filters foreign substances, and a filter frame that surrounds and supports the edge of the filter media pack. Such an air filter is used for air conditioning in general buildings, air conditioning in subway stations, and air conditioning in semiconductor manufacturing chambers. Air filters are divided into pre-filters, medium filters, hepa filters, ulpas, and the like according to the particles of foreign substances to be filtered.

필터 프레임 형상은 설치되는 공간에 따라 사각 형상, 원통 형상, 절곡 형상 등으로 형성된다. 또한, 필터 프레임은 강판, 알루미늄합금, 또는 플라스틱 재질로 제작된다. 필터프레임이 사각형일 경우 필터미디어팩은 사각형의 필터미디어시트에 핫멜트를 직선 형태로 도포하여 복수 개의 핫멜트라인들을 형성하고 그 핫멜트라인들이 도포된 필터미디어시트를 지그재그로 다수 회 절곡하여 다수 개의 산들과 골들이 형성된 형태이다. 복수 개의 핫멜트라인들은 서로 중첩되어 필터미디어시트의 산과 산들의 간격을 유지시킨다. 대한민국 등록실용신안 제20-0419501호(2006. 06. 20. 공고일)에는 공조기용 에어필터의 핫멜트가 개시되어 있다.The filter frame shape is formed in a rectangular shape, a cylindrical shape, a bent shape, etc. depending on the space in which it is installed. In addition, the filter frame is made of a steel plate, an aluminum alloy, or a plastic material. When the filter frame is square, the filter media pack applies hot melt to the square filter media sheet in a straight line to form a plurality of hot melt lines, and bends the filter media sheet coated with the hot melt lines in a zigzag a plurality of times to form a plurality of mountains. It is a form in which bones are formed. A plurality of hot melt lines overlap each other to maintain a gap between the mountains of the filter media sheet. The Republic of Korea Registered Utility Model No. 20-0419501 (published on June 20, 2006) discloses a hot melt of an air filter for an air conditioner.

그러나, 종래의 에어필터는 필터미디어시트의 산과 산들 사이에 핫멜트라인들이 구비되어 산과 산들의 간격을 일정하게 유지할 수 있느나, 핫멜트라인들로 인하여 필터의 두께가 두꺼워져 두께가 얇은 필터를 제작하는데 한계가 있는 단점이 있다. 따라서, 반도체 제조장비에 필터를 장착하게 될 경우 필터 장착공간이 크게 되어 장비의 크기가 크게 되는 단점이 있다.However, in the conventional air filter, hot melt lines are provided between the mountains and mountains of the filter media sheet, so that the distance between the mountains and mountains can be kept constant. It has its drawbacks with limitations. Therefore, when the filter is mounted on the semiconductor manufacturing equipment, the filter mounting space becomes large and the size of the equipment becomes large.

본 발명의 목적은 필터의 두께를 얇게 할 뿐만 아니라 필터미디어팩의 산과 산들의 간격을 균일하게 유지하는 초박형 필터 및 그것을 구비한 공기여과장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an ultra-thin filter that not only makes the thickness of the filter thin, but also maintains a uniform distance between the mountains of the filter media pack, and an air filtration device having the same.

또한, 본 발명의 다른 목적은 필터의 두께를 얇게 하고 크기를 크게할 뿐만 아니라 구조적 강도가 큰 초박형 필터 및 그것을 구비한 공기여과장치를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide an ultra-thin filter having a high structural strength as well as reducing the thickness and increasing the size of the filter, and an air filtration device having the same.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 사각 프레임 형태를 이루는 필터프레임; 상기 필터프레임의 내부에 결합되어 이물질을 여과하는 필터미디어팩; 상기 필터미디어팩으로 공기가 유입되는 전측과 유출되는 후측에 각각 접촉되어 상기 필터미디어팩의 전측과 후측을 각각 지지하는 전면지지망 및 후면지지망;을 포함하며, 상기 필터미디어팩은 사각형의 필터미디어시트가 지그재그로 다단으로 절곡되어 다수 개의 산들이 형성된 형태이며, 상기 전면지지망과 후면지지망이 상기 필터미디어팩의 전측과 후측에 각각 접촉 지지되어 상기 필터미디어팩의 산과 산들의 간격을 유지시키는 것을 특징으로 하는 초박형 필터가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention, a filter frame forming a rectangular frame shape; a filter media pack coupled to the inside of the filter frame to filter foreign substances; and a front support net and a rear support net respectively in contact with the front side and the rear side through which air flows into the filter media pack to support the front and rear sides of the filter media pack, respectively, wherein the filter media pack includes a rectangular filter media sheet is bent in a zigzag manner to form a plurality of mountains, and the front and rear support networks are respectively supported in contact with the front and rear sides of the filter media pack to maintain the distance between the mountains and the mountains of the filter media pack. An ultra-thin filter is provided.

상기 필터프레임은, 사각형을 이루도록 서로 연결되는 네 개의 직선프레임들과, 상기 네 개의 직선프레임들에 의해 형성되는 사각형의 네모서리에 각각 위치하여 서로 인접하는 두 개의 직선프레임들을 연결시키는 절곡형 연결브라켓들을 포함하는 것이 바람직하다.The filter frame includes four straight frames that are connected to each other to form a quadrangle, and a bending type connecting bracket that connects two adjacent straight frames positioned at the four corners of a quadrangle formed by the four straight frames. It is preferable to include

상기 직선프레임은 균일한 폭과 설정된 길이를 가지며 길이 방향 양단이 경사진 경사면을 갖는 제1 측판부와, 상기 제1 측판부와 같은 크기와 형상으로 형성되어 상기 제1 측판부와 서로 대면되도록 나란하게 위치하는 제2 측판부와, 상기 제1,2 측판부 사이에 위치하여 제1,2 측판부를 연결하는 제1 연결판부와, 상기 제1 연결판부와 간격을 두고 상기 제1,2 측판부 사이에 위치하여 제1,2 측판부를 연결하는 제2 연결판부와, 상기 제2 연결판부에 인접하는 상기 제1,2 측판부의 폭방향 단부에 각각 서로 마주보는 방향으로 절곡 연장되는 절곡판부들을 포함하며, 상기 필터미디어팩의 테두리가 제1 연결판부, 제1,2 측판부에 의해 형성되는 팩삽입홈에 삽입되는 것이 바람직하다.The straight frame has a uniform width and a set length, and a first side plate having inclined surfaces at both ends in the longitudinal direction, is formed in the same size and shape as the first side plate, and is parallel to the first side plate to face each other A second side plate portion positioned to be positioned above, a first connecting plate portion positioned between the first and second side plate portions to connect the first and second side plate portions, and the first and second side plate portions spaced apart from the first connecting plate portion a second connecting plate portion positioned between the first and second side plate portions to connect the first and second side plate portions, and bending plate portions extending in opposite directions to each other at the widthwise ends of the first and second side plate portions adjacent to the second connecting plate portion It is preferable that the edge of the filter media pack is inserted into the pack insertion groove formed by the first connecting plate part and the first and second side plate parts.

상기 절곡형 연결브라켓은 균일한 폭과 길이를 갖는 제1 삽입판부와, 상기 제1 삽입판부에 절곡 연장된 제2 삽입판부를 포함하며, 상기 제1,2 삽입판부가 각각 서로 연결되는 두 개의 직선프레임의 제2 연결판부와 절곡판부 사이에 삽입되는 것이 바람직하다. The bendable connection bracket includes a first inserting plate part having a uniform width and length, and a second inserting plate part bent and extended to the first inserting plate part, wherein the first and second inserting plate parts are connected to each other, respectively. It is preferable to be inserted between the second connecting plate portion and the bent plate portion of the straight frame.

상기 필터프레임에 서로 간격을 두고 복수 개의 체결홀들이 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that the filter frame be provided with a plurality of fastening holes spaced apart from each other.

상기 필터프레임의 양쪽면에 각각 실링부재가 구비되며, 상기 실링부재는 균일한 두께를 갖는 사각링 형상으로 형성된 것이 바람직하다.It is preferable that sealing members are provided on both sides of the filter frame, respectively, and the sealing members are formed in a rectangular ring shape having a uniform thickness.

또한, 공기가 유입되는 유입구와, 유입된 공기가 유출되는 유출구를 포함하는 여과기케이스; 상기 여과기케이스 내부에 구비되어 공기의 유동을 발생시키는 적어도 한 개의 송풍팬; 상기 여과기케이스의 유출구측에 위치하여 유출구를 통해 유출되는 공기를 여과하는 초박형 필터; 상기 여과기케이스와 초박형 필터를 체결하는 체결유닛을 포함하며, 상기 초박형 필터는, 사각 프레임 형태를 이루는 필터프레임; 상기 필터프레임의 내부에 결합되어 이물질을 여과하는 필터미디어팩; 상기 필터미디어팩으로 공기가 유입되는 전측과 유출되는 후측에 각각 접촉되어 상기 필터미디어팩의 전측과 후측을 각각 지지하는 전면지지망 및 후면지지망; 상기 필터프레임의 양쪽면에 각각 부착된 실링부재를 포함하며, 상기 필터미디어팩은 사각형의 필터미디어시트가 지그재그로 다단으로 절곡되어 다수 개의 산들이 형성된 형태이며, 상기 전면지지망과 후면지지망이 상기 필터미디어팩의 전측과 후측에 각각 접촉 지지되어 상기 필터미디어팩의 산과 산들의 간격을 유지시키는 것을 특징으로 하는 초박형 필터를 구비한 공기여과장치가 제공된다.In addition, the filter case including an inlet through which air is introduced and an outlet through which the introduced air is discharged; at least one blower fan provided inside the filter case to generate air flow; an ultra-thin filter positioned on the outlet side of the filter case to filter the air flowing out through the outlet; and a fastening unit for fastening the filter case and the ultra-thin filter, wherein the ultra-thin filter includes: a filter frame having a rectangular frame shape; a filter media pack coupled to the inside of the filter frame to filter foreign substances; a front support network and a rear support network respectively in contact with the front side and the rear side through which air flows into the filter media pack to support the front side and the rear side of the filter media pack; It includes sealing members attached to both sides of the filter frame, respectively, and the filter media pack has a shape in which a rectangular filter media sheet is bent in zigzag steps to form a plurality of mountains, and the front support network and the rear support network are the filter media packs. There is provided an air filtration device having an ultra-thin filter, characterized in that each of the front and rear sides of the media pack are supported in contact with each other to maintain the distance between the mountains and the mountains of the filter media pack.

본 발명은 필터미디어팩이 사각형의 필터미디어시트가 지그재그로 다단으로 절곡되어 다수 개의 산들이 형성된 형태이며, 필터미디어팩의 전측에 전면지지망이 접촉 지지되고 필터미디어팩의 후측에 후면지지망이 접촉 지지됨에 의해 전,후면지지망이 필터미디어팩의 산과 산들의 간격을 유지시키게 된다. 이로 인하여, 필터미디어팩의 간격을 유지시키는 핫멜트라인을 배제하게 되므로 필터미디어팩의 두께를 대폭 감소시킬 수 있게 되어 초박형 필터의 제작이 가능하게 된다.In the present invention, the filter media pack has a form in which a rectangular filter media sheet is bent in zigzag steps to form a plurality of mountains, and a front support net is supported in contact with the front side of the filter media pack, and a rear support net is supported in contact with the rear side of the filter media pack. As a result, the front and rear support nets maintain the distance between the mountains of the filter media pack. For this reason, since the hot melt line maintaining the interval between the filter media packs is excluded, the thickness of the filter media pack can be significantly reduced, thereby making it possible to manufacture an ultra-thin filter.

또한, 본 발명은 초박형 필터의 필터프레임을 구성하는 네 개의 직선프레임이 각각 제1 측판부, 제2 측판부, 제1 연결판부, 제2 연결판부, 절곡판부를 포함하게 되므로 구조적 강도가 크게 되어 필터프레임의 두께가 얇고 크기가 크게 되어도 필터프레임의 변형을 최소화할 뿐만 아니라 필터이디어팩과 전,후면지지망의 조립이 간단하고 편리하게 된다.In addition, in the present invention, since the four straight frames constituting the filter frame of the ultra-thin filter each include a first side plate part, a second side plate part, a first connection plate part, a second connection plate part, and a bending plate part, the structural strength is large. Even if the thickness of the filter frame is thin and large, it not only minimizes the deformation of the filter frame, but also makes the assembly of the filter ear pack and front and rear support nets simple and convenient.

도 1은 본 발명에 따른 초박형 필터의 일실시예를 도시한 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 초박형 필터의 일실시예를 도시한 분해사시도,
도 3은 본 발명에 따른 초박형 필터의 일실시예를 구성하는 필터프레임의 일부분을 확대하여 도시한 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 초박형 필터의 일실시예를 구성하는 필터미티어팩의 일부분을 확대하여 도시한 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 초박형 필터가 구비된 공기여과기의 일실시예를 도시한 정면도,
도 6은 본 발명에 따른 초박형 필터가 구비된 공기여과기의 일실시예를 도시한 저면도. 1 is a perspective view showing an embodiment of an ultra-thin filter according to the present invention;
2 is an exploded perspective view showing an embodiment of an ultra-thin filter according to the present invention;
3 is an enlarged cross-sectional view of a part of a filter frame constituting an embodiment of an ultra-thin filter according to the present invention;
4 is an enlarged cross-sectional view of a part of a filter media pack constituting an embodiment of an ultra-thin filter according to the present invention;
5 is a front view showing an embodiment of an air filter equipped with an ultra-thin filter according to the present invention;
6 is a bottom view showing an embodiment of an air filter equipped with an ultra-thin filter according to the present invention.

이하, 본 발명에 따른 초박형 필터 및 그것을 구비한 공기여과장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, an embodiment of an ultra-thin filter according to the present invention and an air filtration device having the same will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 초박형 필터의 일실시예를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명에 따른 초박형 필터의 일실시예를 도시한 분해사시도이다.1 is a perspective view showing an embodiment of an ultra-thin filter according to the present invention. 2 is an exploded perspective view showing an embodiment of an ultra-thin filter according to the present invention.

도 1, 2에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 초박형 필터의 일실시예는, 필터프레임(10), 필터미디어팩(20), 전면지지망(30), 후면지지망(40)을 포함한다.1 and 2 , an embodiment of the ultra-thin filter according to the present invention includes a filter frame 10 , a filter media pack 20 , a front support network 30 , and a rear support network 40 .

필터프레임(10)은 사각 프레임 형태로 형성됨이 바람직하다. 필터프레임(10)의 일예로, 필터프레임(10)은, 사각형을 이루도록 서로 연결되는 네 개의 직선프레임(11)들과, 그 네 개의 직선프레임(11)들에 의해 형성되는 사각형의 네모서리에 각각 위치하여 서로 인접하는 두 개의 직선프레임(11)들을 연결시키는 절곡형 연결브라켓(12)들을 포함한다.The filter frame 10 is preferably formed in a rectangular frame shape. As an example of the filter frame 10 , the filter frame 10 includes four straight frames 11 connected to each other to form a quadrangle, and at the four corners of a quadrangle formed by the four straight frames 11 . It includes a bending type connection bracket (12) for connecting the two linear frames (11) adjacent to each other located respectively.

네 개의 직선프레임(11)들은 각각, 도 3에 도시한 바와 같이, 균일한 폭과 설정된 길이를 가지며 길이 방향 양단이 경사진 경사면을 갖는 제1 측판부(1)와, 그 제1 측판부(1)와 같은 크기와 형상으로 형성되어 제1 측판부(1)와 서로 대면되도록 나란하게 위치하는 제2 측판부(2)와, 제1,2 측판부(1)(2) 사이에 위치하여 제1,2 측판부(1)(2)를 연결하는 제1 연결판부(3)와, 그 제1 연결판부(3)와 간격을 두고 제1,2 측판부(1)(2) 사이에 위치하여 제1,2 측판부(1)(2)를 연결하는 제2 연결판부(4)와, 그 제2 연결판부(4)에 인접하는 제1,2 측판부(1)(2)의 폭방향 단부에 각각 서로 마주보는 방향으로 절곡 연장되는 절곡판부(5)들을 포함한다. 직선프레임(11)의 양단에 각각 형성된 두 개의 경사면들은 사다리꼴 형태로 형성되며 서로 인접하는 두 개의 직선프레임(11)은 경사면이 서로 접면된다. 제1 연결판부(3)는 제1,2 측판부(1)(2)에 수직 방향으로 위치한다. 제2 연결판부(4) 또한 제1,2 측판부(1)(2)에 수직 방향으로 위치하며, 제1,2 연결판부(3)(4)는 서로 평행하다. 제1 연결판부(3)와 제1,2 측판부(1)(2)에 의해 팩삽입홈이 형성되며, 필터미디어팩(20)의 테두리가 제1 연결판부(3), 제1,2 측판부(1)(2)에 의해 형성되는 팩삽입홈에 삽입된다. 제1,2 측판부(1)(2)의 폭방향 단부에 각각 절곡 연장된 절곡판부(5)와 제2 연결판부(4)에 의해 브라켓삽입홈이 형성된다. 직선프레임(11)의 두께는 6 ~ 12mm인 것이 바람직하다.Each of the four straight frames 11, as shown in FIG. 3, has a uniform width and a set length, and a first side plate part 1 having both ends inclined in the longitudinal direction, and the first side plate part ( 1) is formed in the same size and shape as the first side plate part 1 and positioned between the second side plate part 2 and the second side plate part 2 positioned in parallel to face each other, and the first and second side plate parts 1 and 2, The first connecting plate part 3 connecting the first and second side plate parts 1 and 2, and the first connecting plate part 3 and the first and second side plate parts 1 and 2 are spaced apart between the first and second side plate parts 1 and 2 of the second connecting plate portion 4 positioned to connect the first and second side plate portions 1 and 2, and the first and second side plate portions 1 and 2 adjacent to the second connecting plate portion 4 Each of the bending plate portions 5 extending in the opposite direction to each other is included in the width direction end. The two inclined surfaces respectively formed at both ends of the straight frame 11 are formed in a trapezoidal shape, and the inclined surfaces of the two linear frames 11 adjacent to each other are in contact with each other. The first connecting plate part 3 is positioned in a direction perpendicular to the first and second side plate parts 1 and 2 . The second connecting plate part 4 is also positioned in a direction perpendicular to the first and second side plate parts 1 and 2, and the first and second connecting plate parts 3 and 4 are parallel to each other. A pack insertion groove is formed by the first connecting plate part 3 and the first and second side plate parts 1 and 2, and the edge of the filter media pack 20 is formed by the first connecting plate part 3, the first and second side plate parts 1 and 2 It is inserted into the pack insertion groove formed by the side plate parts (1) and (2). Bracket insertion grooves are formed at the widthwise ends of the first and second side plate parts 1 and 2 by the bending plate part 5 and the second connecting plate part 4 bent and extended, respectively. The thickness of the straight frame 11 is preferably 6 to 12 mm.

절곡형 연결브라켓(12)은 균일한 폭과 길이를 갖는 제1 삽입판부(6)와, 그 제1 삽입판부(6)에 절곡 연장된 제2 삽입판부(7)를 포함한다. 제1,2 삽입판부(6)(7)가 각각 서로 연결되는 두 개의 직선프레임(11)의 제2 연결판부(4)와 절곡판부 사이인 브라켓삽입홈에 삽입된다. 서로 인접하는 두 개의 직선프레임(11)은 절곡형 연결브라켓(12)에 의해 서로 연결된다.The bendable connection bracket 12 includes a first inserting plate part 6 having a uniform width and length, and a second inserting plate part 7 bent and extended to the first inserting plate part 6 . The first and second insertion plate parts 6 and 7 are respectively inserted into the bracket insertion groove between the second connecting plate part 4 and the bending plate part of the two straight frames 11 connected to each other. Two straight frames 11 adjacent to each other are connected to each other by a bent connection bracket 12 .

필터미디어팩(20)은 필터프레임(10)의 내부에 결합되어 이물질을 여과한다. 필터미디어팩(20)의 일예로, 도 4에 도시한 바와 같이, 필터미디어팩(20)은 사각형상의 필터미디어시트가 지그재그로 다단으로 절곡되어 다수 개의 산(8)들과 골들이 형성된 형태이다. 필터미디어팩(20)은 산(8)과 산(8)들의 간격을 유지시키는 핫멜트라인이 구비되지 않게 되며 그로 인하여 필터미디어팩(20)의 두께가 얇게 된다. 필터미디어팩(20)의 두께는 3 ~ 9mm인 것이 바람직하다. 필터미디어팩(20)은, 네 개의 변이 필터프레임(10)의 네 개의 직선형 프레임(11)의 각 팩삽입홈에 삽입되어 접착제에 의해 네 개의 직선형 프레임(11)에 부착된다. 즉, 필터프레임(10)의 네 개의 직선형 프레임(11)(12)(13)(14)의 각 팩삽입홈에 접착제층이 형성되고 그 접착제층에 필터미디어팩(20)의 네 개의 변이 접착된다. 필터미디어팩(20)은 공기가 유입되는 쪽이 전측이고 공기가 유출되는 쪽이 후측이다.The filter media pack 20 is coupled to the inside of the filter frame 10 to filter foreign substances. As an example of the filter media pack 20, as shown in FIG. 4, the filter media pack 20 has a shape in which a rectangular filter media sheet is bent in multiple steps in a zigzag manner to form a plurality of mountains 8 and valleys. . The filter media pack 20 is not provided with a hot melt line for maintaining the distance between the peaks 8 and the peaks 8, so that the thickness of the filter media pack 20 is reduced. The thickness of the filter media pack 20 is preferably 3 to 9 mm. The filter media pack 20 is inserted into each pack insertion groove of the four straight frames 11 of the four side filter frame 10 and is attached to the four straight frames 11 with an adhesive. That is, an adhesive layer is formed in each pack insertion groove of the four straight frames 11, 12, 13, and 14 of the filter frame 10, and the four sides of the filter media pack 20 are adhered to the adhesive layer. do. The filter media pack 20 has a front side where air flows in and a rear side at which air flows out.

전면지지망(30) 및 후면지지망(40)은 필터미디어팩(20)의 전측과 후측에 각각 접촉되어 필터미디어팩(20)의 전측과 후측을 각각 지지한다. 전면지지망(30)과 후면지지망(40)은 각각 다수 개의 작은 구멍들이 형성된 사각시트 형태의 망(mesh)이다. 전면지지망(30)의 크기는 필터미디어팩(20)의 크기와 상응하는 크기인 것이 바람직하다. 전면지지망(30)과 후면지지망(40)은 서로 같은 크기와 형태로 형성됨이 바람직하다. 전면지지망(30)과 후면지지망(40)은 필터미디어팩(20)의 전,후측 전체에 각각 접촉된 상태에서 전면지지망(30)과 후측지지망(40)의 테두리부분이 필터프레임(10)의 네 개 직선프레임(11)의 팩삽입홈에 삽입된다. 전면지지망(30)과 후면지지망(40)이 필터미디어팩(20)의 전측과 후측에 각각 접촉 지지되어 필터미디어팩(20)의 산(8)과 산(8)들의 간격을 유지시킨다.The front support net 30 and the rear support net 40 respectively contact the front and rear sides of the filter media pack 20 to support the front and rear sides of the filter media pack 20 , respectively. The front support net 30 and the rear support net 40 are meshes in the form of a square sheet in which a plurality of small holes are formed, respectively. The size of the front support network 30 is preferably a size corresponding to the size of the filter media pack 20 . The front support network 30 and the rear support network 40 are preferably formed in the same size and shape as each other. The front support net 30 and the rear support net 40 are in contact with the entire front and rear sides of the filter media pack 20, respectively, and the edge of the front support net 30 and the rear support net 40 is the filter frame 10. It is inserted into the pack insertion groove of the four straight frames 11 of the. The front support net 30 and the rear support net 40 are respectively supported in contact with the front and rear sides of the filter media pack 20 to maintain the distance between the mounts 8 and 8 of the filter media pack 20 .

한편, 상기 필터미디어팩(20)의 전측과 후측에 각각 위치하는 전면지지망(30)과 후면지지망(40)에 각각 접착제가 코팅된 접착제막을 형성하여 전,후면지지망(30)(40)을 필터미디어팩(20)의 전,후측에 각각 부착시킬 수도 있다. 이와 같은 경우, 전,후면지지망(30)(40)이 각각 접착제막에 의해 필터미디어팩(20)의 전,후측 산(8)들에 접착됨에 의해 전,후측지지망(30)(40)이 필터미디어팩(20)의 산(8)과 산(8)들의 간격을 보다 견고하게 유지시킨다.On the other hand, an adhesive film coated with an adhesive is formed on the front support net 30 and the rear support net 40 respectively located on the front and rear sides of the filter media pack 20 to filter the front and rear support nets 30 and 40. It may be attached to the front and rear sides of the media pack 20, respectively. In this case, the front and rear support networks 30 and 40 are respectively adhered to the front and rear mountains 8 of the filter media pack 20 with an adhesive film, so that the front and rear support networks 30 and 40 are attached to each other. The distance between the mountains (8) and the mountains (8) of the filter media pack (20) is maintained more firmly.

필터프레임(10)의 양쪽면에 각각 실링부재(50)가 구비됨이 바람직하다. 실링부재(50)는 균일한 두께를 갖는 사각링 형상으로 형성됨이 바람직하다. 실링부재(50)는 필터프레임(10)에 접착제에 의해 부착된다.It is preferable that sealing members 50 are provided on both sides of the filter frame 10, respectively. The sealing member 50 is preferably formed in a rectangular ring shape having a uniform thickness. The sealing member 50 is attached to the filter frame 10 by an adhesive.

필터프레임(10)에 서로 간격을 두고 복수 개의 체결홀들이 구비되는 것이 바람직하다. 체결홀은 필터프레임(10)에 구멍이 구비되고 그 구멍에 너트가 삽입되어 결합됨에 의해 형성되는 것이 바람직하다. 체결홀들이 위치하는 실링부재(50)의 위치에 관통구멍들이 구비된다.It is preferable that the filter frame 10 be provided with a plurality of fastening holes spaced apart from each other. The fastening hole is preferably formed by having a hole in the filter frame 10 and inserting a nut into the hole to be coupled. Through holes are provided at positions of the sealing member 50 in which the fastening holes are located.

도 5는 본 발명에 따른 초박형 필터가 구비된 공기여과기의 일실시예를 도시한 정면도이다. 도 6은 본 발명에 따른 초박형 필터가 구비된 공기여과기의 일실시예를 도시한 저면도이다. 5 is a front view showing an embodiment of an air filter equipped with an ultra-thin filter according to the present invention. 6 is a bottom view showing an embodiment of an air filter equipped with an ultra-thin filter according to the present invention.

도 5, 6에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 초박형 필터가 구비된 공기여과기의 일실시예는, 여과기케이스(100), 송풍팬(200), 초박형 필터(300), 체결유닛(400)을 포함한다.5 and 6, an embodiment of the air filter equipped with an ultra-thin filter according to the present invention is a filter case 100, a blower fan 200, an ultra-thin filter 300, and a fastening unit 400. includes

여과기케이스(100)는 공기가 유입되는 유입구(111)와, 유입된 공기가 유출되는 유출구(112)를 포함한다. 여과기케이스(100)의 일예로, 유입구(111)들이 구비되는 사각형의 전면판(110)과, 그 전면판(110)의 네 개 변에 각각 절곡 연장되는 네 개의 측면판(120)들과, 그 네 개의 측면판들의 끝 네 개의 변들에 의해 형성되는 상기 유출구(112)와, 그 네 개의 측면판(120)들 중 서로 대면되는 두 개의 측면판(120)들 끝에 각각 외측으로 절곡 연장되는 두 개의 플랜지판(130)들을 포함한다. 즉, 전면판(110)에 대면되는 위치에 있는 부분이 유출구(112)가 된다.The filter case 100 includes an inlet 111 through which air is introduced, and an outlet 112 through which the introduced air flows out. As an example of the filter case 100, a rectangular front plate 110 provided with inlets 111, and four side plates 120 bent and extended on four sides of the front plate 110, respectively, The outlet 112 formed by the four ends of the four side plates, and the two side plates 120 facing each other among the four side plates 120 bent outward, respectively It includes four flange plates 130 . That is, a portion at a position facing the front plate 110 becomes the outlet 112 .

송풍팬(200)은 여과기케이스(100) 내부에 구비되어 공기의 유동을 발생시킨다. 송풍팬(200)은 적어도 한 개 이상 구비됨이 바람직하다. 송풍팬(200)은 각각 송풍팬(200)을 구동시키는 모터(400)에 연결된다. 유입구(111)는 송풍팬(200)의 수에 맞게 구비되는 것이 바람직하다.The blowing fan 200 is provided inside the filter case 100 to generate a flow of air. It is preferable that at least one blowing fan 200 is provided. The blowing fans 200 are respectively connected to motors 400 for driving the blowing fans 200 . The inlet 111 is preferably provided to match the number of the blowing fans 200 .

초박형 필터(300)는 여과기케이스(100)의 유출구(112)측에 위치하여 유출구(112)를 통해 유출되는 공기를 여과한다. 초박형 필터(300)의 일예로, 초박형 필터(300)는, 사각 프레임 형태를 이루는 필터프레임(10)과, 필터프레임(10)의 내부에 결합되어 이물질을 여과하는 필터미디어팩(20)과, 그 필터미디어팩(20)으로 공기가 유입되는 전측과 유출되는 후측에 각각 접촉되어 필터미디어팩(20)의 전측과 후측을 각각 지지하는 전,후면지지망(30)(40)과, 필터프레임(10)의 양쪽면에 각각 부착된 실링부재(50)를 포함한다. 초박형 필터(300)를 구성하는 필터프레임(10), 필터미디어팩(20), 전,후면지지망(30)(40), 실링부재(50)는 위에서 설명한 초박형 필터(300)의 필터프레임(10), 필터미디어팩(20), 전,후면지지망(30)(40), 실링부재(50)와 각각 구성이 같다.The ultra-thin filter 300 is positioned on the outlet 112 side of the filter case 100 to filter the air flowing out through the outlet 112 . As an example of the ultra-thin filter 300, the ultra-thin filter 300 includes a filter frame 10 having a rectangular frame shape, and a filter media pack 20 coupled to the inside of the filter frame 10 to filter foreign substances, The front and rear support nets 30 and 40 respectively supporting the front and rear sides of the filter media pack 20 by contacting the front side through which air flows into the filter media pack 20 and the rear side through which air flows out, respectively, and a filter frame ( 10) includes a sealing member 50 attached to both sides, respectively. The filter frame 10, the filter media pack 20, the front and rear support nets 30 and 40, and the sealing member 50 constituting the ultra-thin filter 300 are the filter frame 10 of the ultra-thin filter 300 described above. ), the filter media pack 20, the front and rear support nets 30 and 40, and the sealing member 50 have the same configuration, respectively.

체결유닛(400)은 여과기케이스(100)와 초박형 필터(300)를 체결한다. 체결유닛(400)의 일예로, 체결유닛(400)은 복수 개의 체결볼트(410)를 포함한다. 초박형 필터(300)가 여과기케이스(100)의 유출구(112)를 복개하도록 위치하여 초박형 필터(300)의 필터프레임(10) 한쪽면에 부착된 실링부재(50)가 여과기케이스(100)의 두 개의 플랜지판(130)들에 접촉 지지된 상태에서 체결유닛(400)의 체결볼트(410)들이 여과기케이스(100)의 플랜지판(130)과 실링부재(50)를 관통하여 필터프레임(10)의 체결홀에 체결된다.The fastening unit 400 fastens the filter case 100 and the ultra-thin filter 300 . As an example of the fastening unit 400 , the fastening unit 400 includes a plurality of fastening bolts 410 . The ultra-thin filter 300 is positioned so as to cover the outlet 112 of the filter case 100 so that the sealing member 50 attached to one side of the filter frame 10 of the ultra-thin filter 300 is provided with two of the filter case 100. In a state supported by contact with the flange plates 130 , the fastening bolts 410 of the fastening unit 400 penetrate the flange plate 130 and the sealing member 50 of the filter case 100 to the filter frame 10 . It is fastened to the fastening hole of

이하, 본 발명에 따른 초박형 필터 및 그것을 구비한 공기여과장치의 작용과 효과를 설명한다.Hereinafter, the operation and effect of the ultra-thin filter according to the present invention and an air filtration device having the same will be described.

본 발명에 따른 초박형 필터가 구비된 공기여과장치는 반도체 제조장비 또는 반도체 제조용 챔버에 설치된다. 반도체 제조장비에 설치된 경우 송풍팬(200)의 작동에 의해 공기유동이 발생되면서 공기가 여과기케이스(100)의 유입구(111)를 통해 유입되어 유출구(112)를 통해 유출되고 그 유출구(112)를 통해 유출되는 공기는 초박형 필터(300)의 필터미디어팩(20)을 통해 유동하면서 필터미디어팩(20)에 의해 이물질이 여과되어 장비 내부로 공급된다.The air filtering device provided with an ultra-thin filter according to the present invention is installed in a semiconductor manufacturing equipment or a semiconductor manufacturing chamber. When installed in semiconductor manufacturing equipment, as air flow is generated by the operation of the blower fan 200, air flows in through the inlet 111 of the filter case 100 and flows out through the outlet 112, and the outlet 112 While the air flowing out through the ultra-thin filter 300 flows through the filter media pack 20, foreign substances are filtered by the filter media pack 20 and supplied to the inside of the equipment.

본 발명의 초박형 필터(300)는 필터미디어팩(20)이 사각형의 필터미디어시트가 지그재그로 다단으로 절곡되어 다수 개의 산(8)들이 형성된 형태이며, 필터미디어팩(20)의 전측에 전면지지망(30)이 접촉 지지되고 필터미디어팩(20)의 후측에 후면지지망(40)이 접촉 지지됨에 의해 전,후면지지망(30)(40)이 필터미디어팩(20)의 산(8)과 산(8)들의 간격을 유지시키게 된다. 이로 인하여, 필터미디어팩(20)의 간격을 유지시키는 핫멜트라인을 배제하게 되므로 필터미디어팩(20)의 두께를 대폭 감소시킬 수 있게 되어 초박형 필터(300)의 제작이 가능하게 된다. 따라서 반도체 제조장비에 설치시 설치 공간을 최소화하게 되어 반도체 제조장비의 크기를 감소시키게 된다.In the ultra-thin filter 300 of the present invention, the filter media pack 20 has a shape in which a rectangular filter media sheet is bent in multi-stage zigzags to form a plurality of mountains 8, and a front support network on the front side of the filter media pack 20 30 is supported in contact and the rear support net 40 is supported in contact with the rear side of the filter media pack 20 so that the front and rear support nets 30 and 40 are connected to the acid 8 of the filter media pack 20 and the acid. (8) is maintained. For this reason, since the hot melt line maintaining the interval between the filter media packs 20 is excluded, the thickness of the filter media pack 20 can be significantly reduced, thereby making it possible to manufacture the ultra-thin filter 300 . Accordingly, the installation space is minimized when installed in the semiconductor manufacturing equipment, thereby reducing the size of the semiconductor manufacturing equipment.

또한, 본 발명의 초박형 필터(300)는 필터프레임(10)을 구성하는 네 개의 직선프레임(11)이 각각 제1 측판부(1), 제2 측판부(2), 제1 연결판부(3), 제2 연결판부(4), 절곡판부(5)를 포함하게 되므로 구조적 강도가 크게 되어 필터프레임(10)의 두께가 얇고 크기가 크게 되어도 필터프레임(10)의 변형을 최소화할 뿐만 아니라 필터이디어팩920)과 전,후면지지망(30)(40)의 조립이 간단하고 편리하게 된다.In addition, in the ultra-thin filter 300 of the present invention, four straight frames 11 constituting the filter frame 10 have a first side plate part 1, a second side plate part 2, and a first connecting plate part 3, respectively. ), the second connecting plate part 4, and the bending plate part 5 are included, so that structural strength is increased to minimize the deformation of the filter frame 10 even when the thickness of the filter frame 10 is thin and the size is large. The assembly of the ear pack 920 and the front and rear support nets 30 and 40 is simple and convenient.

10; 필터프레임 20; 필터미디어팩
30; 전면지지망 40; 후면지지망10; filter frame 20; filter media pack
30; full support network 40; back support net

Claims (7)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 공기가 유입되는 유입구와, 유입된 공기가 유출되는 유출구를 포함하는 여과기케이스;
상기 여과기케이스 내부에 구비되어 공기의 유동을 발생시키는 적어도 한 개의 송풍팬;
상기 여과기케이스의 유출구측에 위치하여 유출구를 통해 유출되는 공기를 여과하는 초박형 필터;
상기 여과기케이스와 초박형 필터를 체결하는 체결유닛을 포함하며,
상기 초박형 필터는,
사각 프레임 형태를 이루는 필터프레임;
상기 필터프레임의 내부에 결합되어 이물질을 여과하는 필터미디어팩;
상기 필터미디어팩으로 공기가 유입되는 전측과 유출되는 후측에 각각 접촉되어 상기 필터미디어팩의 전측과 후측을 각각 지지하는 전면지지망 및 후면지지망;
상기 필터프레임의 양쪽면에 각각 부착된 실링부재를 포함하며,
상기 여과기케이스는 상기 유입구들이 구비되는 사각형의 전면판과, 상기 전면판의 네 개 변에 각각 절곡 연장되는 네 개의 측면판들과, 상기 네 개의 측면판들의 끝 네 개의 변들에 의해 형성되는 상기 유출구와, 상기 네 개의 측면판들 중 서로 대면되는 두 개의 측면판들끝에 각각 외측으로 절곡 연장되는 두 개의 플랜지판들을 포함하며,
상기 체결유닛은 복수 개의 체결볼트들을 포함하며,
상기 초박형 필터가 상기 여과기케이스의 유출구를 복개하도록 위치하여 초박형 필터의 필터프레임 한쪽면에 부착된 상기 실링부재가 여과기케이스의 두 개의 플랜지판들에 접촉 지지되며, 상기 체결유닛의 체결볼트들이 여과기케이스의 플랜지판과 실링부재를 관통하여 필터프레임의 체결홀에 체결되며,
상기 필터미디어팩은 사각형의 필터미디어시트가 지그재그로 다단으로 절곡되어 다수 개의 산들이 형성된 형태이며, 두께는 3 ~ 9mm이고, 상기 전면지지망과 후면지지망이 상기 필터미디어팩의 전측과 후측에 각각 접촉 지지되어 상기 필터미디어팩의 산과 산들의 간격을 유지시키는 것을 특징으로 하는 초박형 필터를 구비한 공기여과장치.a filter case including an inlet through which air is introduced and an outlet through which the introduced air is discharged;
at least one blower fan provided inside the filter case to generate air flow;
an ultra-thin filter positioned on the outlet side of the filter case to filter the air flowing out through the outlet;
It includes a fastening unit for fastening the filter case and the ultra-thin filter,
The ultra-thin filter is
Filter frame forming a rectangular frame shape;
a filter media pack coupled to the inside of the filter frame to filter foreign substances;
a front support network and a rear support network respectively in contact with the front side and the rear side through which air flows into the filter media pack to support the front side and the rear side of the filter media pack;
It includes sealing members respectively attached to both sides of the filter frame,
The filter case has a rectangular front plate provided with the inlets, four side plates bent and extended on each of the four sides of the front plate, and the outlet formed by the last four sides of the four side plates. and two flange plates bent outward, respectively, at the ends of the two side plates facing each other among the four side plates,
The fastening unit includes a plurality of fastening bolts,
The ultra-thin filter is positioned to cover the outlet of the filter case, and the sealing member attached to one side of the filter frame of the ultra-thin filter is supported in contact with two flange plates of the filter case, and the fastening bolts of the fastening unit are connected to the filter case. It passes through the flange plate and sealing member of the filter frame and is fastened to the fastening hole of the filter frame.
The filter media pack has a shape in which a rectangular filter media sheet is bent in multiple stages in a zigzag manner to form a plurality of mountains, has a thickness of 3 to 9 mm, and the front and rear support networks are in contact with the front and rear sides of the filter media pack, respectively. An air filtration device with an ultra-thin filter, characterized in that it is supported and maintains an interval between the mountains of the filter media pack.
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