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KR102354022B1 - Lifting Apparatus for Transferring Substrate Apparatus - Google Patents

Lifting Apparatus for Transferring Substrate Apparatus Download PDF

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KR102354022B1
KR102354022B1 KR1020160117598A KR20160117598A KR102354022B1 KR 102354022 B1 KR102354022 B1 KR 102354022B1 KR 1020160117598 A KR1020160117598 A KR 1020160117598A KR 20160117598 A KR20160117598 A KR 20160117598A KR 102354022 B1 KR102354022 B1 KR 102354022B1
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driving
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현대중공업지주 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판을 지지하기 위한 암이 결합되는 암베이스, 상기 암베이스에 결합되는 지지부, 상기 지지부의 일측에 결합되고 상기 암베이스를 승강시키기 위한 구동력을 발생시키는 구동부, 상기 구동부에 연결되고 구동력을 전달하기 위한 구동전달부, 상기 지지부의 타측에 결합되고 상기 구동전달부로부터 구동력을 전달받는 너트, 및 상기 너트가 이동 가능하게 결합되는 볼스크류를 포함하고, 상기 지지부, 상기 구동부, 상기 구동전달부 및 상기 너트는 일체로 결합되는 일체형모듈로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치에 관한 것이다.The present invention provides an arm base to which an arm for supporting a substrate is coupled, a support part coupled to the arm base, a driving part coupled to one side of the support part and generating a driving force for elevating the arm base, connected to the driving part and applying a driving force a drive transmission unit for transmitting the driving force, a nut coupled to the other side of the support unit and receiving a driving force from the drive transmission unit, and a ball screw to which the nut is movably coupled, the support unit, the driving unit, and the drive transmission unit and the nut relates to a lifting device for a substrate transfer device, characterized in that it is formed as an integral module coupled integrally.

Description

기판이송장치용 승강장치{Lifting Apparatus for Transferring Substrate Apparatus}Lifting Apparatus for Transferring Substrate Apparatus

본 발명은 전자부품을 제조하는 과정에서 기판을 승강시키기 위한 기판이송장치용 승강장치에 관한 것이다.The present invention relates to an elevating device for a substrate transfer device for elevating a substrate in the process of manufacturing an electronic component.

디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다. 이러한 기판이송장치는 기판을 승강시키기 위한 승강장치를 포함한다.Display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as 'electronic components') are manufactured through various processes. Such a manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing the electronic component. For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film such as a conductor, a semiconductor, or a dielectric on a substrate, an etching process for forming the deposited thin film in a predetermined pattern, and the like. These manufacturing processes are performed in a process chamber that performs the corresponding process. The substrate transfer apparatus is for transferring the substrate between the process chambers. Such a substrate transfer device includes a lifting device for lifting and lowering the substrate.

종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 너트(Nut) 회전방식의 볼스크류(Ball Screw) 타입으로 구현되어, 기판을 승강시킨다. 이러한 너트회전 방식의 볼스크류 타입은 암베이스, 모터, 벨트, 너트 및 승강축에 결합되는 볼스크류로 구성된다.The elevating device for a substrate transfer device according to the prior art is implemented as a nut-rotating ball screw type, and elevates the substrate. This nut-rotating ball screw type consists of an arm base, a motor, a belt, a nut, and a ball screw coupled to the lifting shaft.

상기 암베이스에는 기판을 지지하는 암이 결합된다. 상기 모터는 상기 암베이스의 내부에 설치되고 상기 암베이스를 승강시키기 위한 구동력을 발생시킨다. 상기 벨트는 일측이 상기 모터에 연결되고 타측이 상기 너트에 연결되며, 상기 모터가 발생시키는 구동력을 상기 너트에 전달한다. 상기 너트는 상기 벨트가 전달하는 구동력을 전달받아 회전한다. 상기 볼스크류에는 상기 너트가 상하 이동 가능하게 결합된다. 따라서, 상기 너트는 회전하여 상기 볼스크류 상에서 상하 이동한다. 상기 승강축은 상기 볼스크류의 상단과 하단을 지지한다.An arm supporting the substrate is coupled to the arm base. The motor is installed inside the arm base and generates a driving force for elevating the arm base. One side of the belt is connected to the motor and the other side is connected to the nut, and the driving force generated by the motor is transmitted to the nut. The nut rotates by receiving the driving force transmitted by the belt. The nut is movably coupled to the ball screw. Accordingly, the nut rotates and moves up and down on the ball screw. The lifting shaft supports upper and lower ends of the ball screw.

여기서, 종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 볼스크류나 너트에 대한 유지보수 작업이나 교체작업 수행시 다음과 같은 문제가 있다.Here, the elevating device for a substrate transfer device according to the prior art has the following problems when performing maintenance work or replacement work for the ball screw or nut.

첫째, 종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 볼스크류와 너트가 암베이스의 내부에 설치된 모터 등 여러 부품에 체결되어 있기 때문에 볼스크류나 너트에 대한 유지보수 작업이나 교체작업 수행시, 암베이스에 부착된 모든 부품들을 함께 분리 및 결합하여야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 상기 부품들을 분리 및 결합시키는 공수가 많으므로, 유지보수작업 및 교체작업 시간이 오래 걸리는 문제가 있다.First, since the elevating device for a board transfer device according to the prior art is fastened to various parts such as a motor installed inside the arm base, the ball screw and the nut are fastened to the arm base when maintenance work or replacement work is performed on the ball screw or nut. All attached parts must be separated and joined together. Accordingly, since the elevating apparatus for a substrate transfer device according to the prior art has a large number of steps for separating and combining the parts, there is a problem that maintenance work and replacement work take a long time.

둘째, 종래 기술에 따른 기판이송장치용 승강장치는 볼스크류나 너트에 대한 유지보수 작업이나 교체작업 수행시, 암베이스의 내부에 정렬(Align)이 완료된 부품들을 분리하고 부품에 대한 유지보수 및 교체 후 결합시 다시 정렬(Align)을 해야 하므로, 유지보수작업 및 교체작업 시간이 더 오래 걸리는 문제가 있다.Second, when performing maintenance work or replacement work for the ball screw or nut, the elevating device for the board transfer device according to the prior art separates the parts that have been aligned inside the arm base, and after the maintenance and replacement of the parts Since it is necessary to realign when combining, there is a problem that maintenance work and replacement work take longer time.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 볼스크류나 너트에 대한 유지보수작업 및 교체작업 시간을 줄일 수 있는 기판이송장치용 승강장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention has been devised to solve the above-described problems, and to provide a lifting device for a substrate transfer device capable of reducing maintenance work and replacement work time for a ball screw or nut.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to solve the problems as described above, the present invention may include the following configuration.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치는 기판을 지지하기 위한 암이 결합되는 암베이스; 상기 암베이스에 결합되는 지지부; 상기 지지부의 일측에 결합되고, 상기 암베이스를 승강시키기 위한 구동력을 발생시키는 구동부; 상기 구동부에 연결되고 구동력을 전달하기 위한 구동전달부; 상기 지지부의 타측에 결합되고, 상기 구동전달부로부터 구동력을 전달받는 너트; 및 상기 너트가 이동 가능하게 결합되는 볼스크류를 포함할 수 있다. 상기 지지부, 상기 구동부, 상기 구동전달부 및 상기 너트는 일체로 결합되는 일체형모듈로 형성될 수 있다.A lifting device for a substrate transfer device according to the present invention includes: an arm base to which an arm for supporting a substrate is coupled; a support part coupled to the arm base; a driving unit coupled to one side of the support unit and generating a driving force for elevating the arm base; a driving transmission unit connected to the driving unit and transmitting driving force; a nut coupled to the other side of the support part and receiving a driving force from the driving transmission part; and a ball screw to which the nut is movably coupled. The support part, the driving part, the driving transmission part, and the nut may be formed as an integrated module that is integrally coupled.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 일체형모듈은 상기 암베이스에 탈착 가능하게 결합될 수 있다.In the lifting device for a substrate transfer device according to the present invention, the integrated module may be detachably coupled to the arm base.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 암베이스는 상기 일체형모듈의 일부 또는 전부가 삽입되기 위한 수용공을 포함할 수 있다.In the lifting device for a substrate transfer device according to the present invention, the arm base may include a receiving hole into which a part or all of the integrated module is inserted.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 암베이스는 상기 수용공과 연통되게 형성되고, 상기 지지부가 삽입되기 위한 삽입홈을 포함할 수 있다. 상기 삽입홈은 상기 암베이스의 내부를 향하는 방향으로 함몰되게 형성될 수 있다.In the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the arm base may be formed to communicate with the receiving hole, and may include an insertion groove into which the support part is inserted. The insertion groove may be formed to be depressed in a direction toward the inside of the arm base.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치는 상기 지지부를 상기 암베이스에 결합시키기 위한 결합부를 포함할 수 있다. 상기 결합부는 상기 지지부가 상기 암베이스에 삽입된 상태에서 상기 암베이스의 외측에서 상기 지지부를 향하는 방향으로 삽입되어 상기 지지부를 상기 암베이스에 결합시킬 수 있다.The lifting device for a substrate transfer apparatus according to the present invention may include a coupling part for coupling the support part to the arm base. The coupling part may be inserted from the outside of the arm base toward the support part in a state in which the support part is inserted into the arm base to couple the support part to the arm base.

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 있어서, 상기 지지부는 상기 수용공에 먼지와 같은 이물질이 침투하는 것을 방지하기 위한 커버기구를 포함할 수 있다.In the elevating apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the support part may include a cover mechanism for preventing foreign substances such as dust from penetrating into the accommodation hole.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, the following effects can be obtained.

본 발명은 볼스크류, 너트, 모터, 벨트를 일체형으로 모듈화시킴으로써, 볼스크류나 너트에 대한 유지보수작업 및 교체작업 시간을 줄일 수 있으므로 기판 이송에 걸리는 시간이 지연되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, by modularizing the ball screw, the nut, the motor, and the belt as an integral part, the maintenance work and replacement work time for the ball screw or the nut can be reduced, so that the time taken for the transfer of the substrate can be prevented from being delayed.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치가 기판이송장치에 설치된 개략적인 사시도
도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 지지부 및 구동부를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 너트 및 볼스크류를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 수용공 및 삽입홈을 설명하기 위한 개략적인 평면도
도 5는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 결합부를 설명하기 위한 개략적인 평면도1 is a schematic perspective view of an elevating device for a substrate transport device according to the present invention installed in the substrate transport device;
Figure 2 is a schematic perspective view for explaining the support and drive in the lifting device for the substrate transfer device according to the present invention
Figure 3 is a schematic perspective view for explaining a nut and a ball screw in the lifting device for the substrate transfer device according to the present invention
Figure 4 is a schematic plan view for explaining the receiving hole and the insertion groove in the lifting device for the substrate transfer device according to the present invention
Figure 5 is a schematic plan view for explaining the coupling portion in the lifting device for the substrate transfer device according to the present invention

본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. In the present specification, it should be noted that, in adding reference numbers to the components of each drawing, the same numbers are provided to the same components as possible even though they are indicated on different drawings.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. On the other hand, the meaning of the terms described in this specification should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.The singular expression is to be understood as including the plural expression unless the context clearly defines otherwise, and the terms "first", "second", etc. are used to distinguish one element from another, The scope of rights should not be limited by these terms.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.It should be understood that terms such as “comprise” or “have” do not preclude the possibility of addition or existence of one or more other features or numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.The term “at least one” should be understood to include all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first, second, and third items" means 2 of the first, second, and third items as well as each of the first, second, or third items. It means a combination of all items that can be presented from more than one.

이하에서는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, an elevating device for a substrate transfer device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치가 기판이송장치에 설치된 개략적인 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 지지부 및 구동부를 설명하기 위한 개략적인 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 너트 및 볼스크류를 설명하기 위한 개략적인 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 수용공 및 삽입홈을 설명하기 위한 개략적인 평면도, 도 5는 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치에서 결합부를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.Figure 1 is a schematic perspective view of a substrate transfer device elevating device according to the present invention is installed in the substrate transfer device, Figure 2 is a schematic perspective view for explaining a support and a driving unit in the substrate transfer device elevating device according to the present invention, Figure 3 is A schematic perspective view for explaining a nut and a ball screw in the lifting device for a substrate transport device according to the present invention, Figure 4 is a schematic plan view for explaining a receiving hole and an insertion groove in the elevation device for a substrate transport device according to the present invention; 5 is a schematic plan view for explaining a coupling unit in the elevating device for a substrate transfer device according to the present invention.

도 1 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 기판을 승강시키기 위한 것이다. 특히, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 기판을 지지하기 위한 암(10)이 결합되는 암베이스와 일체형모듈이 탈착 가능하게 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 일체형모듈에 속하는 부품 및 볼스크류에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업을 용이하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라 작업 시간을 단축시킬 수 있다.1 to 5 , the lifting device 1 for a substrate transfer device according to the present invention is for lifting and lowering a substrate. In particular, in the lifting device 1 for a substrate transfer device according to the present invention, the arm base to which the arm 10 for supporting the substrate is coupled and the integrated module are detachably coupled. Accordingly, the elevating device 1 for the substrate transfer device according to the present invention can not only easily perform maintenance work and replacement work for the parts and ball screws belonging to the integrated module, but also shorten the work time. .

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 암베이스(2), 지지부(3), 구동부(4), 구동전달부(5), 너트(6) 및 볼스크류(7)를 포함한다.The lifting device 1 for a substrate transfer device according to the present invention includes an arm base 2 , a support part 3 , a driving part 4 , a driving transmission part 5 , a nut 6 and a ball screw 7 . .

여기서, 일체형모듈(AM)은 상기 지지부(3), 상기 구동부(4), 상기 구동전달부(5) 및 너트(6)를 포함한다. 상기 볼스크류(7)는 바닥에 대해 수직으로 배치되는 승강축(20)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 볼스크류(7)에는 너트(6)가 회전 가능하게 결합된다. 상기 너트(6)가 회전함으로써, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 볼스크류(7)를 따라 승강할 수 있다. 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)에 결합되어 상기 암베이스(2)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(2)에 결합된 암(10)을 승강시킬 수 있다. 이 경우, 상기 일체형모듈(AM)에 결합된 암베이스(2)는 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD, 도 1에 도시됨) 또는 하측방향(DD, 도 1에 도시됨)으로 승강할 수 있다. 상기 일체형모듈(AM)에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업이 필요할 경우, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 이 경우, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)와 결합이 해제된 상태에서 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동함으로써, 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다.Here, the integrated module AM includes the support part 3 , the driving part 4 , the driving transmission part 5 and the nut 6 . The ball screw 7 is rotatably coupled to the lifting shaft 20 disposed perpendicular to the floor. A nut 6 is rotatably coupled to the ball screw 7 . As the nut 6 rotates, the integrated module AM can move up and down along the ball screw 7 . The integrated module AM may be coupled to the arm base 2 to elevate the arm base 2 , thereby elevating the arm 10 coupled to the arm base 2 . In this case, the arm base 2 coupled to the integrated module AM moves upward (UD, shown in FIG. 1 ) or downward (DD, shown in FIG. 1 ) along the ball screw 7 . can ascend When maintenance work and replacement work for the integrated module AM are required, the integrated module AM may be separated from the arm base 2 . In this case, the integrated module AM moves in the upward direction (UD) or downward direction (DD) along the ball screw 7 in a state in which the coupling with the arm base 2 is released, so that the arm base ( 2) can be separated.

이하에서는, 상기 암베이스(2), 상기 지지부(3), 상기 구동부(4), 상기 구동전달부(5), 상기 너트(6) 및 상기 볼스크류(7)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the arm base 2, the support part 3, the driving part 4, the driving transmission part 5, the nut 6 and the ball screw 7 with reference to the accompanying drawings Described specifically.

도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 암베이스(2)에는 기판을 지지하기 위한 암(Arm)(10)이 결합된다. 상기 암베이스(2)가 승강함에 따라 상기 암(10) 및 기판(미도시)은 함께 승강할 수 있다. 상기 암베이스(2)는 상기 승강축(20)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 암베이스(2)가 엘엠블록을 포함하고 상기 엘엠블록이 상기 승강축(20)에 형성된 엘엠가이드레일을 따라 이동함으로써, 상기 암베이스(2)는 상기 승강축(20) 상에서 이동할 수 있다. 상기 암베이스(2)는 상기 일체형모듈(AM)이 이동함에 따라 상기 승강축(20) 상에서 이동할 수 있다. 상기 암베이스(2)는 후술할 결합부(8)를 통해 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 암베이스(2)는 상기 일체형모듈(AM)에 결합될 수 있다. 상기 일체형모듈(AM)이 상기 볼스크류(7)를 따라 승강함으로써, 상기 암베이스(2)는 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 따라서, 상기 암베이스(2)에 결합되는 암(10)에 지지된 기판은 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 상기 암베이스(2)는 직방체형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 암(10) 및 상기 승강축(20)에 결합되고 상기 일체형모듈(AM)이 결합될 수 있으면 다른 형태로 형성될 수도 있다. 상기 암베이스(2)는 수용공(21) 및 삽입홈(22)을 더 포함할 수 있다.1 to 5 , an arm 10 for supporting a substrate is coupled to the arm base 2 . As the arm base 2 moves up and down, the arm 10 and the substrate (not shown) may move up and down together. The arm base 2 may be movably coupled to the lifting shaft 20 . For example, when the arm base 2 includes the LM block and the LM block moves along the LM guide rail formed on the lifting shaft 20 , the arm base 2 can move on the lifting shaft 20 . have. The arm base 2 may move on the lifting shaft 20 as the integrated module AM moves. The arm base 2 may be coupled to the support part 3 through a coupling part 8 to be described later. Accordingly, the arm base 2 may be coupled to the integrated module AM. As the integrated module AM moves up and down along the ball screw 7 , the arm base 2 may move in an upward direction UD or a downward direction DD. Accordingly, the substrate supported by the arm 10 coupled to the arm base 2 may move in the upper direction UD or the lower direction DD. The arm base 2 may be formed in a rectangular parallelepiped shape, but is not limited thereto, and may be formed in a different shape if it is coupled to the arm 10 and the lifting shaft 20 and the integrated module AM can be coupled to it. may be The arm base 2 may further include a receiving hole 21 and an insertion groove 22 .

상기 수용공(21)은 상기 일체형모듈(AM)의 일부 또는 전부가 삽입되기 위한 것이다. 상기 수용공(21)은 상기 암베이스(2)의 내측에 형성될 수 있다. 상기 수용공(21)은 상기 암베이스(2)가 상기 승강축(20)에 결합될 경우 상기 승강축(20)을 향하는 방향에 위치되도록 상기 암베이스(2)에 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 암베이스(2)는 상기 승강축(20)을 향하는 방향으로 개방된 형태로 형성될 수 있다. 따라서, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 수용공(21)에 삽입되어도 상기 승강축(20)에 설치된 상기 볼스크류(7)에 용이하게 결합될 수 있다. 상기 수용공(21)에는 상기 구동부(4) 및 상기 구동전달부(5)의 일부가 삽입될 수 있다. 상기 수용공(21)에는 상기 일체형모듈(AM)의 구조 또는 상기 승강축(20)의 배치에 따라 상기 일체형모듈(AM)의 전부가 삽입될 수도 있다. 상기 일체형모듈(AM)은 상기 수용공(21)에 삽입된 상태에서 후술할 결합부(8)에 의해 상기 암베이스(2)에 결합될 수 있다. 상기 일체형모듈(AM)은 유지보수 작업 및 교체 작업 시 상기 암베이스(2)로부터 결합이 해제된 후에 상기 볼스크류(7)를 따라 승강함으로써, 상기 수용공(21)으로부터 이격되어 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 상기 수용공(21)은 상기 일체형모듈(AM)이 결합되면, 상기 지지부(3)에 의해 밀폐될 수 있다.The receiving hole 21 is for a part or all of the integrated module AM to be inserted. The receiving hole 21 may be formed inside the arm base 2 . The receiving hole 21 may be formed in the arm base 2 to be positioned in a direction toward the lifting shaft 20 when the arm base 2 is coupled to the lifting shaft 20 . Accordingly, the arm base 2 may be formed in an open shape toward the lifting shaft 20 . Accordingly, the integrated module AM can be easily coupled to the ball screw 7 installed on the lifting shaft 20 even when it is inserted into the receiving hole 21 . A portion of the driving unit 4 and the driving transmission unit 5 may be inserted into the receiving hole 21 . All of the integrated module AM may be inserted into the receiving hole 21 according to the structure of the integrated module AM or the arrangement of the lifting shaft 20 . The integrated module AM may be coupled to the arm base 2 by a coupling part 8 to be described later in a state inserted into the receiving hole 21 . The integrated module AM is spaced apart from the receiving hole 21 by lifting and lowering along the ball screw 7 after the coupling is released from the arm base 2 during maintenance work and replacement work, and the arm base ( 2) can be separated. The receiving hole 21 may be sealed by the support part 3 when the integrated module AM is coupled.

상기 삽입홈(22)은 상기 지지부(3)가 삽입되기 위한 것이다. 상기 삽입홈(22)은 상기 수용공(21)과 연통되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입될 경우, 상기 구동부(4) 및 상기 구동전달부(5)는 상기 암베이스(2)에 간섭되지 않으면서 상기 수용공(21)에 삽입될 수 있다. 상기 삽입홈(22)은 상기 암베이스(2)에 서로 마주보게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)는 일측과 타측이 마주보게 형성되는 삽입홈(22)에 각각 삽입될 수 있다. 상기 삽입홈(22)은 상기 암베이스(2)의 내부를 향하는 방향으로 함몰되게 상기 암베이스(2)에 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)는 상기 삽입홈(22)에 용이하게 삽입될 수 있을 뿐만 아니라, 상기 삽입홈(22)에 삽입된 상태에서 상기 암베이스(2)에 일부가 지지되어 상기 암베이스(2)로부터 쉽게 이탈되지 않을 수 있다.The insertion groove 22 is for the support part 3 to be inserted. The insertion groove 22 may be formed to communicate with the receiving hole 21 . Accordingly, when the support part 3 is inserted into the insertion groove 22 , the driving part 4 and the driving transmission part 5 do not interfere with the arm base 2 and the receiving hole 21 . ) can be inserted. The insertion groove 22 may be formed in the arm base 2 to face each other. Accordingly, the support part 3 may be respectively inserted into the insertion groove 22 in which one side and the other side are formed to face each other. The insertion groove 22 may be formed in the arm base 2 to be depressed in a direction toward the inside of the arm base 2 . Accordingly, the support part 3 can be easily inserted into the insertion groove 22 , and a part of the support part 3 is supported by the arm base 2 while being inserted into the insertion groove 22 , so that the arm base It may not be easily separated from (2).

상기 지지부(3)는 상기 암베이스(2)에 결합된다. 상기 지지부(3)는 전체적인 형태가 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 지지부(3)는 상기 삽입홈(22)에 삽입됨으로써, 상기 암베이스(2)에 결합될 수 있다. 상기 지지부(3)는 상기 삽입홈(22)으로부터 이격됨으로써, 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 상기 지지부(3)의 일측에는 상기 구동부(4)가 결합될 수 있다. 상기 구동부(4)에는 상기 구동전달부(5)의 일부가 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)의 일측에는 상기 구동부(4) 및 상기 구동전달부(5)의 일측이 위치될 수 있다. 상기 지지부(3)의 타측에는 상기 너트(6)가 결합될 수 있다. 상기 너트(6)에는 상기 구동전달부(5)의 타측이 결합될 수 있다. 또한, 상기 너트(6)는 상기 지지부(3)의 타측에 위치하는 볼스크류(7)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부(3)의 타측에는 상기 너트(6), 상기 구동전달부(5)의 타측 및 상기 볼스크류(7)가 위치될 수 있다. 상기 구동부(4) 및 상기 너트(6)는 볼트 결합, 접착 결합, 억지끼워맞춤 결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 지지부(3)를 기준으로 일측에 상기 구동부(4)가 결합되고, 타측에 상기 볼스크류(7)에 결합된 너트(6)가 결합되며, 상기 구동부(4)와 상기 너트(6)를 구동전달부(5)가 연결함으로써 일체로 형성될 수 있다. 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입되어 상기 결합부(8)에 의해 상기 암베이스(2)에 결합되면, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 암베이스(2)는 상기 일체형모듈(AM)에 의해 상기 볼스크류(7)를 따라 승강할 수 있다. 상기 일체형모듈(AM) 및 상기 볼스크류(7)에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업이 수행되어야 할 경우, 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)으로부터 이격됨으로써, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 이 경우, 상기 암베이스(2)는 상기 승강축(20)에 결합되어 있고, 상기 일체형모듈(AM)만 상기 수용공(21) 및 상기 삽입홈(22)으로부터 이격될 수 있다. 상기 지지부(3)는 상기 구동부(4)가 발생시키는 구동력으로 상기 너트(6)가 회전하여 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동됨으로써, 상기 암베이스(2)에 결합되거나 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 상기 지지부(3)는 커버기구(31)를 더 포함할 수 있다.The support 3 is coupled to the arm base 2 . The support part 3 may be formed in a rectangular plate shape as a whole. The support part 3 may be coupled to the arm base 2 by being inserted into the insertion groove 22 . The support part 3 may be separated from the arm base 2 by being spaced apart from the insertion groove 22 . The driving part 4 may be coupled to one side of the support part 3 . A part of the driving transmission unit 5 may be coupled to the driving unit 4 . Accordingly, one side of the driving unit 4 and the driving transmission unit 5 may be located on one side of the support unit 3 . The nut 6 may be coupled to the other side of the support part 3 . The other side of the drive transmission unit 5 may be coupled to the nut 6 . In addition, the nut 6 may be movably coupled to the ball screw 7 located on the other side of the support part 3 . Accordingly, the nut 6 , the other side of the drive transmission unit 5 , and the ball screw 7 may be positioned on the other side of the support part 3 . The driving part 4 and the nut 6 may be coupled to the support part 3 by at least one of bolt coupling, adhesive coupling, and interference fitting coupling. Accordingly, in the integrated module AM, the driving part 4 is coupled to one side with respect to the support part 3, and the nut 6 coupled to the ball screw 7 is coupled to the other side, and the driving part (4) and the nut (6) can be integrally formed by connecting the drive transmission unit (5). When the support part 3 is inserted into the insertion groove 22 and coupled to the arm base 2 by the coupling part 8 , the integrated module AM may be coupled to the arm base 2 . have. Accordingly, the arm base 2 can be raised and lowered along the ball screw 7 by the integrated module AM. When maintenance work and replacement work for the integrated module AM and the ball screw 7 are to be performed, the support part 3 is spaced apart from the insertion groove 22, so that the integrated module AM is It can be separated from the arm base (2). In this case, the arm base 2 may be coupled to the lifting shaft 20 , and only the integrated module AM may be spaced apart from the receiving hole 21 and the insertion groove 22 . The support part 3 is coupled to the arm base 2 or coupled to the arm base 2 by rotating the nut 6 with the driving force generated by the driving part 4 and moving it in the upper direction UD or the lower direction DD. It can be separated from the base (2). The support part 3 may further include a cover mechanism 31 .

상기 커버기구(31)는 상기 수용공(21)에 먼지와 같은 이물질이 침투하는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 커버기구(31)는 상기 지지부(3)에 대해 수직한 수직방향으로 상기 지지부(3)의 상측 끝단에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 커버기구(31)와 상기 지지부(3)가 결합된 전체적인 측면 형태는 '┑'일 수 있다. 상기 커버기구(31)는 볼트결합, 접착결합, 용접결합 중 적어도 하나의 방법으로 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 커버기구(31)는 상기 지지부(3)와 일체로 사출성형되어 벤딩(Bending)되거나 일체로 금형 제작되어 형성될 수도 있다. 상기 커버기구(31)는 상기 수용공(21)의 크기와 같거나 더 크게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 커버기구(31)는 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입되면, 상기 수용공(21)의 상측을 밀폐시킬 수 있다. 상기 커버기구(31)가 상기 수용공(21)의 크기보다 더 클 경우, 상기 커버기구(31)는 상기 암베이스(2)의 상면에 결합됨으로써 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시킬 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 커버기구(31)가 상기 수용공(21)의 상측을 밀폐시키고 상기 지지부(3) 및 상기 암베이스(2)가 상기 수용공(21)의 측면을 밀폐시킴으로써, 상기 수용공(21)에 이물질이 쉽게 침투하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 이물질로 인해 상기 일체형모듈(AM)이 손상 내지 파손되는 것을 방지함으로써, 상기 일체형모듈(AM)에 대한 유지보수 비용 및 교체 비용을 절감할 수 있다.The cover mechanism 31 is for preventing foreign substances such as dust from penetrating into the receiving hole 21 . The cover mechanism 31 may be coupled to the upper end of the support part 3 in a vertical direction perpendicular to the support part 3 . Accordingly, the overall side shape in which the cover mechanism 31 and the support part 3 are coupled may be '┑'. The cover mechanism 31 may be coupled to the support part 3 by at least one of bolt coupling, adhesive coupling, and welding coupling. The cover mechanism 31 may be formed integrally with the support part 3 by injection molding and bending, or may be formed by integrally forming a mold. The cover mechanism 31 may be formed to be the same as or larger than the size of the receiving hole 21 . Accordingly, the cover mechanism 31 can seal the upper side of the receiving hole 21 when the support part 3 is inserted into the insertion groove 22 . When the cover mechanism 31 is larger than the size of the accommodating hole 21 , the cover mechanism 31 is coupled to the upper surface of the arm base 2 , thereby connecting the support part 3 to the arm base 2 . can also be coupled to Accordingly, in the elevating apparatus 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the cover mechanism 31 seals the upper side of the accommodation hole 21 , and the support part 3 and the arm base 2 are accommodated By sealing the side of the ball 21 , it is possible to prevent foreign substances from easily penetrating into the receiving hole 21 . Therefore, the lifting device 1 for the substrate transfer device according to the present invention prevents the integrated module AM from being damaged or damaged due to foreign substances, thereby reducing maintenance and replacement costs for the integrated module AM. can do.

상기 구동부(4)는 상기 지지부(3)의 일측에 결합된다. 상기 구동부(4)는 상기 암베이스(2)를 승강시키기 위한 구동력을 발생시킬 수 있다. 예컨대, 상기 구동부(4)는 모터(Motor)일 수 있다. 상기 구동부(4)는 상기 너트(6)를 회전시켜 상기 지지부(3)가 상기 볼스크류(7)를 따라 승강하도록 할 수 있다. 상기 지지부(3)에 상기 암베이스(2)가 결합되면, 상기 구동부(4)는 상기 암베이스(2)를 승강시킬 수 있다. 상기 구동부(4)에서 발생시킨 구동력은 상기 구동전달부(5)를 통해 상기 너트(6)에 전달될 수 있다. 상기 구동부(4)는 상기 너트(6)가 시계방향 또는 반시계방향으로 회전하도록 구동력을 발생시킬 수 있다. 상기 구동부(4)는 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입되면, 상기 수용공(21)에 삽입될 수 있다.The driving part 4 is coupled to one side of the support part 3 . The driving unit 4 may generate a driving force for elevating the arm base 2 . For example, the driving unit 4 may be a motor. The driving part 4 may rotate the nut 6 so that the support part 3 moves up and down along the ball screw 7 . When the arm base 2 is coupled to the support part 3 , the driving part 4 may elevate the arm base 2 . The driving force generated by the driving unit 4 may be transmitted to the nut 6 through the driving transmission unit 5 . The driving unit 4 may generate a driving force to rotate the nut 6 in a clockwise or counterclockwise direction. The driving part 4 may be inserted into the receiving hole 21 when the supporting part 3 is inserted into the insertion groove 22 .

상기 구동전달부(5)는 일측이 상기 구동부(4)에 연결될 수 있다. 상기 구동전달부(5)는 타측이 상기 너트(6)에 연결될 수 있다. 상기 구동전달부(5)는 상기 지지부(3)를 관통하여 상기 지지부(3)의 일측에 위치된 구동부(4)와 타측에 위치된 너트(6)를 연결할 수 있다. 이에 따라, 상기 구동전달부(5)는 상기 구동부(4)가 발생시키는 구동력을 상기 너트(6)에 전달할 수 있다. 예컨대, 상기 구동전달부(5)는 풀리(Pully)와 벨트(Belt)일 수 있다. 상기 구동전달부(5)가 구동력을 상기 너트(6)에 전달함에 따라 상기 너트(6)는 회전할 수 있다.One side of the driving transmission unit 5 may be connected to the driving unit 4 . The other side of the drive transmission unit 5 may be connected to the nut 6 . The driving transmission unit 5 may pass through the supporting unit 3 to connect the driving unit 4 located at one side of the supporting unit 3 and the nut 6 located at the other side. Accordingly, the driving transmission unit 5 may transmit the driving force generated by the driving unit 4 to the nut 6 . For example, the drive transmission unit 5 may be a pulley and a belt. As the drive transmission unit 5 transmits a driving force to the nut 6 , the nut 6 may rotate.

상기 너트(6)는 상기 지지부(3)의 타측에 결합된다. 상기 너트(6)는 상기 지지부(3)의 타측에 형성된 너트브라켓(Nut Bracket)에 결합됨으로써, 상기 지지부(3)의 타측에 결합될 수 있다. 상기 너트(6)는 상기 구동전달부(5)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 너트(6)는 상기 구동전달부(5)로부터 구동력을 전달받아 시계방향 또는 반시계방향으로 회전할 수 있다. 상기 너트(6)는 상기 볼스크류(7)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 너트(6)의 내면과 상기 볼스크류(7)의 외면에는 각각 나사산이 형성될 수 있다. 따라서, 상기 너트(6)는 회전함으로써, 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 예컨대, 상기 너트(6)는 시계방향으로 회전하면, 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD)으로 이동할 수 있다. 상기 너트(6)는 반시계방향으로 회전하면, 상기 볼스크류(7)를 따라 하측방향(UD)으로 이동할 수 있다. 상기 너트(6)는 시계방향으로 회전하여 상기 볼스크류(7)를 따라 하측방향(DD)으로 이동하고, 반시계방향으로 회전하여 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD)으로 이동할 수도 있다. 상기 너트(6)가 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동함에 따라 상기 지지부(3)도 함께 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 여기서, 상기 지지부(3)에 상기 암베이스(2)가 결합되면, 상기 암베이스(2), 상기 암(10) 및 기판도 함께 이동할 수 있다. 상기 지지부(3)가 상기 암베이스(2)로부터 결합이 해제되면, 상기 일체형모듈(AM)만 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동되어 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 암베이스(2)에 결합되는 암(10)과 같은 부품들을 상기 암베이스(2)로부터 분리시키지 않고 상기 일체형모듈(AM)만 상기 암베이스(2)로부터 용이하게 분리시킬 수 있으므로, 상기 일체형모듈(AM)에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 암베이스(2)에 결합되는 암(10)과 같은 부품들을 상기 암베이스(2)로부터 분리시키지 않아도 되므로, 상기 부품들에 대한 정렬작업을 다시 수행할 필요가 없어 유지보수 작업 및 교체 작업 시간을 더욱 단축시킬 수 있다.The nut 6 is coupled to the other side of the support 3 . The nut 6 may be coupled to the other side of the support part 3 by being coupled to a nut bracket formed on the other side of the support part 3 . The nut 6 may be connected to the drive transmission unit 5 . Accordingly, the nut 6 may be rotated clockwise or counterclockwise by receiving a driving force from the driving transmission unit 5 . The nut 6 may be rotatably coupled to the ball screw 7 . In this case, threads may be formed on the inner surface of the nut 6 and the outer surface of the ball screw 7 , respectively. Accordingly, by rotating the nut 6 , it can move along the ball screw 7 in an upward direction (UD) or a downward direction (DD). For example, when the nut 6 rotates clockwise, it can move in the upward direction UD along the ball screw 7 . When the nut 6 rotates counterclockwise, it can move in the downward direction UD along the ball screw 7 . The nut 6 may rotate clockwise to move in the lower direction DD along the ball screw 7, and rotate counterclockwise to move in the upper direction UD along the ball screw 7 have. As the nut 6 moves in the upward direction (UD) or downward direction (DD) along the ball screw 7, the support part 3 can also move in the upward direction (UD) or downward direction (DD). have. Here, when the arm base 2 is coupled to the support part 3 , the arm base 2 , the arm 10 , and the substrate may also move together. When the support part 3 is disengaged from the arm base 2 , only the integrated module AM is moved in the upper direction UD or the lower direction DD to be separated from the arm base 2 . . Accordingly, the elevating device 1 for the substrate transfer device according to the present invention does not separate the parts such as the arm 10 coupled to the arm base 2 from the arm base 2, and the integrated module (AM) However, since it can be easily separated from the arm base 2 , it is possible to shorten the maintenance work and replacement work time for the integrated module AM. In addition, in the lifting device 1 for a substrate transfer device according to the present invention, it is not necessary to separate parts such as the arm 10 coupled to the arm base 2 from the arm base 2, so that the Maintenance work and replacement work time can be further shortened by eliminating the need to re-align.

상기 볼스크류(7)에는 상기 너트(6)가 이동 가능하게 결합된다. 상기 볼스크류(7)는 바닥에 대해 수직한 수직방향으로 위치되도록 상기 승강축(20)에 결합될 수 있다. 상기 볼스크류(7)는 일측과 타측이 상기 승강축(20)의 상면과 하면에 각각 결합될 수 있다. 상기 볼스크류(7)는 일측이 상기 승강축(20)의 상면에 결합되고, 타측이 상기 승강축(20)이 결합되는 선회부에 결합될 수도 있다. 상기 너트(6)는 상기 볼스크류(7)에 결합된 상태에서 상기 구동부(4)에 의해 시계방향 또는 반시계방향으로 회전함으로써, 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD) 또는 하측방향(DD)으로 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 볼스크류(7)는 회전하지 않도록 상기 승강축(20) 또는 상기 선회부에 결합될 수 있다. 상기 볼스크류(7)는 상기 구동부(4)가 손상 내지 파손되었을 경우, 상기 일체형모듈(AM)을 상기 암베이스(2)로부터 분리시키기 위해 타측이 상기 승강축(20)의 하면 또는 상기 선회부로부터 결합 해제될 수 있다. 이 경우, 상기 볼스크류(7)는 일측이 크레인과 같은 권상장치에 의해 상측방향(UD)으로 권상되어 상기 일체형모듈(AM)과 함께 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 유지보수 작업 및 교체 작업이 필요할 경우에 상기 구동부(4)가 손상 내지 파손되더라도 상기 암베이스(2)로부터 상기 일체형모듈(AM)을 분리시킬 수 있으므로, 유지보수 작업 및 교체 작업을 용이하게 수행하도록 할 수 있다.The nut 6 is movably coupled to the ball screw 7 . The ball screw 7 may be coupled to the lifting shaft 20 so as to be positioned in a vertical direction perpendicular to the floor. One side and the other side of the ball screw 7 may be respectively coupled to the upper and lower surfaces of the lifting shaft 20 . One side of the ball screw 7 may be coupled to the upper surface of the lifting shaft 20 , and the other side may be coupled to a turning part to which the lifting shaft 20 is coupled. The nut 6 is rotated in a clockwise or counterclockwise direction by the driving unit 4 in a state coupled to the ball screw 7 in an upward direction (UD) or downward direction along the ball screw 7 . You can move to (DD). In this case, the ball screw 7 may be coupled to the lifting shaft 20 or the revolving part so as not to rotate. When the driving part 4 is damaged or damaged, the other side of the ball screw 7 has the lower surface of the lifting shaft 20 or the turning part to separate the integrated module AM from the arm base 2 . can be disassociated from In this case, one side of the ball screw 7 may be hoisted in the upward direction UD by a hoisting device such as a crane and separated from the arm base 2 together with the integrated module AM. Therefore, the lifting device 1 for a substrate transfer device according to the present invention removes the integrated module AM from the arm base 2 even if the driving unit 4 is damaged or damaged when maintenance work and replacement work are required. Since it can be separated, it is possible to easily perform maintenance work and replacement work.

상기 결합부(8)는 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시키기 위한 것이다. 상기 결합부(8)는 상기 지지부(3)가 상기 삽입홈(22)에 삽입된 상태에서 상기 암베이스(2)의 외측에서 상기 지지부(3)를 향하는 방향으로 삽입되어 상기 지지부(3)에 결합됨으로써, 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시킬 수 있다. 이 경우, 상기 결합부(8)는 일부가 상기 암베이스(2)를 관통하여 상기 지지부(3)에 결합될 수 있다. 상기 지지부(3)에는 상기 결합부(8)가 결합되기 위한 결합홈이 형성될 수 있다. 상기 암베이스(2)에는 상기 결합부(8)의 일부가 관통하기 위한 관통공이 형성될 수 있다. 상기 결합부(8)가 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시킴에 따라 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)에 결합될 수 있다. 상기 결합부(8)가 상기 지지부(3)로부터 이격되면 상기 일체형모듈(AM)은 상기 암베이스(2)로부터 분리 가능한 상태가 될 수 있다. 예컨대, 상기 결합부(8)는 볼트(Bolt)일 수 있다. 상기 결합부(8)는 상기 암베이스(2)의 외측에 일부가 노출된다. 예컨대, 상기 노출부분은 볼트머리일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 암베이스(2)의 외측에서 상기 결합부(8)를 이용하여 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 용이하게 결합시키거나 분리시킬 수 있다. 상기 결합부(8)는 상기 커버기구(31)를 상기 암베이스(2)에 결합시킴으로써, 상기 지지부(3)를 상기 암베이스(2)에 결합시킬 수도 있다.The coupling part 8 is for coupling the support part 3 to the arm base 2 . The coupling part 8 is inserted in a direction from the outside of the arm base 2 toward the support part 3 in a state in which the support part 3 is inserted into the insertion groove 22 to be inserted into the support part 3 . By being coupled, the support 3 may be coupled to the arm base 2 . In this case, a part of the coupling part 8 may pass through the arm base 2 to be coupled to the support part 3 . A coupling groove for coupling the coupling part 8 may be formed in the support part 3 . A through hole through which a part of the coupling part 8 passes may be formed in the arm base 2 . As the coupling part 8 couples the support part 3 to the arm base 2 , the integrated module AM may be coupled to the arm base 2 . When the coupling part 8 is spaced apart from the support part 3 , the integrated module AM may be in a detachable state from the arm base 2 . For example, the coupling part 8 may be a bolt. A part of the coupling part 8 is exposed on the outside of the arm base 2 . For example, the exposed portion may be a bolt head. Accordingly, in the lifting device 1 for a substrate transfer device according to the present invention, the support part 3 is easily attached to the arm base 2 by using the coupling part 8 from the outside of the arm base 2 . can be combined or separated. The coupling part 8 may couple the support part 3 to the arm base 2 by coupling the cover mechanism 31 to the arm base 2 .

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 다음과 같은 과정으로 상기 일체형모듈(AM)을 상기 암베이스(2)로부터 분리시킬 수 있다.In the lifting device 1 for a substrate transfer device according to the present invention, the integrated module AM can be separated from the arm base 2 by the following process.

먼저, 상기 결합부(8)를 회전시켜 상기 지지부(3)가 상기 암베이스(2)로부터 분리 가능한 상태가 되도록 한다.First, the coupling part 8 is rotated so that the support part 3 is detachable from the arm base 2 .

다음, 상기 구동부(4)를 작동시켜 상기 너트(6)가 시계방향으로 회전하도록 하여 상기 너트(6)를 상측방향(UD)으로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 일체형모듈(AM)은 상기 볼스크류(7)를 따라 상측방향(UD)으로 이동하여 상기 암베이스(2)로부터 분리될 수 있다.Next, the driving unit 4 is operated to rotate the nut 6 clockwise to move the nut 6 in the upward direction UD. Accordingly, the integrated module AM can be separated from the arm base 2 by moving in the upward direction UD along the ball screw 7 .

본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기 구동부(4)가 손상 내지 파손된 경우 상기 볼스크류(7)의 하단을 상기 승강축(20) 또는 선회부로부터 결합 해제시킨 다음 권상장치를 이용하여 상기 볼스크류(7)의 상단을 권상함으로써, 상기 볼스크류(7) 및 상기 일체형모듈(AM)을 상기 암베이스(2)로부터 분리시킬 수 있다.In the lifting device 1 for a substrate transfer device according to the present invention, when the driving unit 4 is damaged or damaged, the lower end of the ball screw 7 is released from the lifting shaft 20 or the revolving unit and then the hoisting device By hoisting the upper end of the ball screw 7 using a , the ball screw 7 and the integrated module AM can be separated from the arm base 2 .

따라서, 본 발명에 따른 기판이송장치용 승강장치(1)는 상기와 같은 과정을 통해 상기 일체형모듈(AM)을 상기 암베이스(2)로부터 용이하게 분리시킬 수 있으므로, 상기 일체형모듈(AM) 및 상기 볼스크류(7)에 대한 유지보수 작업 및 교체 작업을 용이하게 수행하도록 할 수 있을 뿐만 아니라 유지보수 작업 및 교체 작업 시간을 단축시킬 수 있다.Therefore, in the elevating apparatus 1 for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the integrated module AM can be easily separated from the arm base 2 through the above process, so that the integrated module AM and It is possible to easily perform maintenance work and replacement work for the ball screw 7 , as well as shorten the maintenance work and replacement work time.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common in the technical field to which the present invention pertains that various substitutions, modifications and changes are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be clear to those who have the knowledge of

1 : 기판이송장치용 승강장치
2 : 암베이스 21 : 수용공
22 : 삽입홈 3 : 지지부
31 : 커버기구 4 : 구동부
5 : 구동전달부 6 : 너트
7 : 볼스크류 8 : 결합부1: Elevating device for substrate transfer device
2: arm base 21: receiving hole
22: insertion groove 3: support part
31: cover mechanism 4: drive unit
5: drive transmission unit 6: nut
7: ball screw 8: coupling part

Claims (6)

기판을 지지하기 위한 암이 결합되는 암베이스;
상기 암베이스에 결합되는 지지부;
상기 지지부의 일측에 결합되고, 상기 암베이스를 승강시키기 위한 구동력을 발생시키는 구동부;
상기 구동부에 연결되고 구동력을 전달하기 위한 구동전달부;
상기 지지부의 타측에 결합되고, 상기 구동전달부로부터 구동력을 전달받는 너트; 및
상기 너트가 이동 가능하게 결합되는 볼스크류를 포함하고,
상기 지지부, 상기 구동부, 상기 구동전달부 및 상기 너트는 일체로 결합되는 일체형모듈로 형성되며,
상기 일체형모듈은 상기 암베이스에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치.an arm base to which an arm for supporting the substrate is coupled;
a support portion coupled to the arm base;
a driving unit coupled to one side of the support unit and generating a driving force for elevating the arm base;
a driving transmission unit connected to the driving unit and transmitting driving force;
a nut coupled to the other side of the support part and receiving a driving force from the driving transmission part; and
and a ball screw to which the nut is movably coupled,
The support part, the driving part, the driving transmission part and the nut are formed as an integrated module integrally coupled,
wherein the integrated module is detachably coupled to the arm base. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 암베이스는 상기 일체형모듈의 일부 또는 전부가 삽입되기 위한 수용공을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치.According to claim 1,
The arm base is a lifting device for a substrate transfer device, characterized in that it includes an accommodating hole through which a part or all of the integrated module is inserted. 제3항에 있어서,
상기 암베이스는 상기 수용공과 연통되게 형성되고, 상기 지지부가 삽입되기 위한 삽입홈을 포함하고,
상기 삽입홈은 상기 암베이스의 내부를 향하는 방향으로 함몰되게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치.4. The method of claim 3,
The arm base is formed in communication with the receiving hole, and includes an insertion groove for inserting the support part,
The insertion groove for a substrate transfer device, characterized in that formed to be depressed in a direction toward the inside of the arm base. 제1항에 있어서,
상기 지지부를 상기 암베이스에 결합시키기 위한 결합부를 포함하고,
상기 결합부는 상기 지지부가 상기 암베이스에 삽입된 상태에서 상기 암베이스의 외측에서 상기 지지부를 향하는 방향으로 삽입되어 상기 지지부를 상기 암베이스에 결합시키는 것을 특징으로 하는 기판이송장치용 승강장치.According to claim 1,
a coupling part for coupling the support part to the arm base;
The coupling part is inserted in a direction from the outside of the arm base toward the support part in a state in which the support part is inserted into the arm base to couple the support part to the arm base. 제3항에 있어서,
상기 지지부는 상기 수용공에 먼지와 같은 이물질이 침투하는 것을 방지하기 위한 커버기구를 포함하는 기판이송장치용 승강장치.4. The method of claim 3,
The support unit includes a cover mechanism for preventing foreign substances, such as dust, from penetrating into the receiving hole.
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