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KR102328368B1 - 전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치 - Google Patents

전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치 Download PDF

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KR102328368B1
KR102328368B1 KR1020150150807A KR20150150807A KR102328368B1 KR 102328368 B1 KR102328368 B1 KR 102328368B1 KR 1020150150807 A KR1020150150807 A KR 1020150150807A KR 20150150807 A KR20150150807 A KR 20150150807A KR 102328368 B1 KR102328368 B1 KR 102328368B1
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electromagnetic wave
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옥경식
최성욱
장현주
박기상
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한국식품연구원
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Abstract

본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈은 검사 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부 및 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부를 포함한다.

Description

전자기파 검출 모듈 및 전자기파를 이용한 투과 검출 장치{MODULE FOR DETECTING ELECTROMAGNETIC WAVE AND, APPARATUS FOR DETECTING TRANSMISSION OF ELECTROMAGNETIC WAVE INCLUDING ADJACENT DETECTOR}
본 발명은 전자기파를 이용한 비파괴적인 방법으로, 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는, 고속으로 투과 영상을 얻을 수 있는 장치에 관한 것이다.
본 발명은 비파괴적인 방법으로, 전자기파를 물체의 내부에 투과시켜, 투과 영상을 획득하는 기술에 관한 것이다. 본 발명과 관련된 종래의 방법으로는 조명없이 단일한 픽셀 카메라로 압축센싱하여, 영상을 얻거나 회전거울이나 진동거울을 이용하여 영상을 얻는 방법(수동형 영상법) 또는, 조명없이 카메라, 혹은 1-d line 검출기로 직접 영상을 얻는 방법 또는, 출력이 강한 자이로트론이나 레이저로 조명하고 카메라로 영상(능동형 영상법)을 얻는 방법이 있다.
전자기파는 물체를 통과할 때 흡수되거나 산란되기 때문에, 물체를 투과하면서 전자기파의 세기가 감소하는 성질을 가진다. 따라서, 전자기파를 잘 흡수하는 매질을 통과한 경우의 투과영상은 신호 대 잡음비(SNR)이 낮아지는 문제점이 있다. 이러한 문제점을 해결하기 위해, 고출력광원을 사용하는 것보다 저출력이라도 포인트 빔으로 전자기파를 초점 위치에 집속시켜 레스터 스캐닝(raster scanning)하면, 효율적으로 선명한 투과영상을 얻을 수 있다. 이를 통해, 신호 대 잡읍비(SNR)를 높일 수 있다.
그런데, 전자기파를 초점위치에 집속하여 투과영상을 얻으려면, 전자파 빔을 고속으로 움직이는 도구가 필요하다. 또한, 전자기파 빔을 움직이며 영상을 얻는 경우, 영상의 분해능은 카메라의 화소 크기보다는 전자파 빔을 얼마나 최대로 작은 점으로 집속하느냐에 크게 영향을 받게 된다.
이에, 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는, 고속으로 투과 영상을 얻을 수 있는 기술에 대한 개발이 필요하다.
본 기술과 관련된 내용을 포함하는 특허로는 한국등록특허 10-1365261가 있다.
높은 신호 대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는 투과 영상을 얻을 수 있는 검출 기술을 제공하고자 한다.
본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 알게 될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈은 검사 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부 및 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 포함한다.
하우징부는 상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함한다.
고정부는 상기 검출부의 상단에 상기 검사 대상 물체가 배치되도록, 상기 하우징부에 형성된다.
검출부는 상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비된다.
검출부는 단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함된다.
검출부용 구동부는 2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시킨다.
본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈은 검사 대상 물체를 이송하는 이송부 및 상기 이송부의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함한다.
검출부는 단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부용 구동부를 더 포함한다.
검출부의 구동부는 2차원 영상을 획득하기 위해, 상기 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시킬 수 있다.
검출부는 2차원 영상을 획득하기 위한 2차원 배열형 검출부일 수 있다.
본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시키는 경로 변경부와, 상기 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 집속 렌즈 및 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;를 포함한다.
전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하는 하우징부;를 더 포함한다.
하우징부는 상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 더 포함한다.
검출부는 상기 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 매립되어 구비된다.
전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 상기 집속 렌즈 및 상기 검출부 사이에 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 이송하는 이송부를 더 포함하고, 검출부는 상기 이송부의 하단에 인접하게 구비된다.
검출부는 단일 검출부이고, 상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 검출부를 이동시키는 검출부의 구동부를 더 포함한다.
경로 변경부는 원 형태로 상기 전자기파의 경로를 변경하고, 상기 검출부의 구동부는 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 상기 검출부를 이동시킬 수 있다.
경로 변경부는 2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고, 상기 검출부의 구동부는 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 상기 검출부를 2차원으로 이동시킬 수 있다.
경로 변경부는 2차원으로 상기 전자기파의 경로를 변경하고, 검출부는 2차원 배열형 검출부일 수 있다.
경로 변경부는 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나이거나, 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합일 수 있다.
전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함할 수 있다.
개시된 발명에 따르면, 높은 신호 대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는 투과 영상을 얻을 수 있다.
또한, 검출부가 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되어 있으므로, 검사 대상 물체와 검출부 사이에 별도의 광학 장치가 필요 없을 뿐만 아니라 전자기파가 별도의 광학 장치를 통과하면서 발생하는 신호 대 잡음비(SNR)의 저하도 방지할 수 있다.
또한, 구동부를 이용하여 검출부를 전자기파의 이동 경로와 동기시켜 이동시킴으로써, 대면적의 검사 대상 물체를 고속으로 검사할 수 있을 뿐만 아니라 검출부를 저가로 구현할 수 있으므로 생산 비용을 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 1을 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(100)는 전자기파 생성부(110), 콜리메이팅부(120), 경로변경부(130), 집속 렌즈(140) 및, 검출부(150)를 포함한다.
전자기파 생성부(110)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다. 예를 들면, 전자기파 생성부(110)는 밀리미터파나 테라파를 발생시킬 수 있다. 밀리미터파란 초고주파(extremely high frequency)영역의 전자기파로 바람직하게는, 30GHz에서 300GHz대역의 진동수를 가진다. 테라파란 테라헤르츠(terahertz) 영역의 전자기파를 의미하는 것으로, 바람직하게는, 0.1THz 내지 10THz의 진동수를 가질 수 있다. 다만, 이러한 범위를 다소 벗어난다 하더라도, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 용이하게 생각해낼 수 있는 범위라면, 본 발명에서의 테라파로 인정될 수 있음은 물론이다.
콜리메이팅부(120)는 전자기파 생성부(110)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(130)로 입사된다.
경로변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(130)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(140)로 입사된다.
예를 들면, 경로 변경부(130)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경하기 위한 반사면을 포함할 수 있다. 반사면은 입사되는 전자기파를 반사시켜 집속 렌즈(140)로 입사시킬 수 있다.
예를 들면, 경로 변경부(130)는 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나로 구성 될 수 있다.
예를 들면, 경로 변경부(130)는 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합일 수 있다. 예를 들면, 경로 변경부(130)는 2개의 경로 변경부가 구비되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다.
경로변경부(130)는 위치를 변경시킬 수 있는 경로변경부용 구동부(미도시)와 기계적으로 결합될 수 있다. 경로변경부용 구동부(미도시)는 경로 변경부(130)를 이동시켜 전자기파의 경로를 조절할 수 있다. 예를 들면, 경로변경부용 구동부(미도시)가 회전 운동을 하는 경우, 경로변경부용 구동부(미도시)가 회전 운동함에 따라 경로 변경부(130)가 회전될 수 있다.
또 다른 예를 들면, 경로변경부용 구동부(미도시)는 서로 다른 축방향으로 구동되는 2개의 엑츄에이터로 구현되거나 1개의 2축 엑츄에이터로 구현되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다. 이외에도 다양한 방식으로, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원 또는 3차원으로 집속되도록 경로 변경부 및 경로변경부용 구동부를 구현할 수 있다.
집속 렌즈(140)는 경로 변경부(130)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시킬 수 있다.
검출부(150)는 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(180)는 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비될 수 있다. 이와 같이, 검출부(180)를 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 배치하여 직접 전자기파를 검출함으로써, 검사 대상 물체와 검출부(180) 사이에 별도의 장치(예를 들면, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 반사시키는 반사판 등)가 필요 없다. 이와 같이, 별도의 장치가 필요 없으므로, 투과된 전자기파가 검출기로 입사되는 과정에서 발생하는 왜곡을 현저히 줄일 수 있다. 이에, 최종적으로 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖을 수 있다.
예를 들면, 검출부(180)는 검사 대상 물체를 투과한 전자기파의 세기를 검출할 수 있다.
본 발명에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 높은 신호대 잡음비(SNR)를 갖으면서도 높은 검출 분해능을 갖는, 고속의 투과 영상을 얻을 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예와 관련된 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 2를 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(200)는 전자기파 생성부(210), 콜리메이팅부(220), 경로변경부(230), 집속 렌즈(240), 검출부(260) 및, 하우징부(270)를 포함한다. 여기서, 전자기파 검출 모듈은 검출부(260) 및 하우징부(270)를 구비한 모듈을 의미한다.
전자기파 생성부(210)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.
콜리메이팅부(220)는 전자기파 생성부(210)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(230)로 입사된다.
경로변경부(230)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(230)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(240)로 입사된다.
집속 렌즈(240)는 경로 변경부(230)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(250)로 집속시킬 수 있다.
검출부(260)는 검사 대상 물체(250)를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(250)는 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비될 수 있다. 예를 들면, 검출부(260)는 하우징부(270)의 상단에 형성될 수 있다. 또 다른 예를 들면, 검출부(260)는 검사 대상 물체가 올려지는 위치의 하단에 하우징부(270) 내에 매립되어 구비될 수 있다.
하우징부(270)는 검사 대상 물체(250)의 하단에 인접하게 구비된 검출부(260)를 포함할 수 있다.
하우징부(270)는 검사 대상 물체(250)를 고정시킬 수 있는 고정부(271)를 포함할 수 있다. 고정부(271)는 검출부(260)의 상단에 검사 대상 물체(250)가 고정배치되도록, 가이드 해주는 장치이다.
예를 들면, 검출부(260)는 단일 검출부이고, 검출부용 구동부(미도시)는 검출부(260)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(미도시)는 검사 대상 물체(250)를 통과한 전자기파가 검출부(260)에 집속되도록, 검출부(260)를 이동시킬 수 있다.
또 다른 예를 들면, 검출부용 구동부(미도시)는 2차원 영상을 획득하기 위해, 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 검출부(260)를 2차원으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 경로 변경부(230)에 의해 2차원의 전자기파의 이동 경로가 생성되고, 생성된 2차원의 전자기파의 이동 경로에 따라, 집속 렌즈(240)가 전자기파를 검사 대상 물체에 집속시킨다. 차원의 전자기파의 이동 경로를 따라, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파가 생성된다. 이에, 검출부용 구동부는 2차원의 전자기파의 이동 경로와 동기시켜, 검출부(260)를 이동시킴으로써, 2차원의 영상을 얻을 수 있다.
본 발명에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 검출부가 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되어 있으므로, 검사 대상 물체와 검출부 사이에 별도의 광학 장치가 필요 없을 뿐만 아니라 전자기파가 별도의 광학 장치를 통과하면서 발생하는 신호 대 잡음비(SNR)의 저하도 방지할 수 있다.
도 3은 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 3을 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(300)는 전자기파 생성부(310), 콜리메이팅부(320), 경로변경부(330), 집속 렌즈(340), 검출부(360) 및, 이송부(370)를 포함한다. 여기서, 전자기파 검출 모듈은 검출부(360) 및 이송부(370)를 구비한 모듈을 의미한다.
전자기파 생성부(310)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.
콜리메이팅부(320)는 전자기파 생성부(310)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(330)로 입사된다.
경로변경부(330)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(330)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(340)로 입사된다. 본 실시예에서는, 경로 변경부(330)를 폴리곤 미러로 구현한 경우를 기준으로 설명하겠다.
집속 렌즈(340)는 경로 변경부(330)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(350)로 집속시킬 수 있다.
검출부(360)는 검사 대상 물체(350)를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(360)는 이송부(370)의 하단에 인접하게 구비될 수 있다. 즉, 검출부(360)는 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비될 수 있다.
이송부(370)는 검사 대상 물체(350)를 특정 방향으로 이송할 수 있다. 예를 들면, 이송부(370)는 집속 렌즈(340) 및 검출부(360) 사이에 구비될 수 있다. 예를 들면, 이송부(370)는 검사 대상 물체(350)를 이송할 수 있는 컨베이어 벨트일 수 있으나, 이외에도 검사 대상 물체(350)를 이송할 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.
예를 들면, 검출부(360)는 단일 검출부이고, 검출부용 구동부(미도시)는 검출부(360)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(미도시)는 검사 대상 물체(350)를 통과한 전자기파가 검출부(360)에 집속되도록, 검출부(360)를 이동시킬 수 있다.
또 다른 예를 들면, 검출부용 구동부(미도시)는 2차원 영상을 획득하기 위해, 검사 대상 물체를 투과하는 전자기파의 2차원 이동 경로와 동기시켜 검출부(360)를 2차원으로 이동시킬 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 경로 변경부(330)에 의해 2차원의 전자기파의 이동 경로가 생성되고, 생성된 2차원의 전자기파의 이동 경로에 따라, 집속 렌즈(340)가 전자기파를 검사 대상 물체에 집속시킨다. 차원의 전자기파의 이동 경로를 따라, 검사 대상 물체를 투과한 전자기파가 생성된다. 이에, 검출부용 구동부는 2차원의 전자기파의 이동 경로와 동기시켜, 검출부(360)를 이동시킴으로써, 2차원의 영상을 얻을 수 있다.
또 다른 예를 들면, 검출부는 2차원 영상을 획득하기 위한 2차원 배열형 검출부일 수 있다.
본 발명에 따른 전자기파를 이용한 투과 검출 장치는 구동부를 이용하여 검출부를 전자기파의 이동 경로와 동기시켜 이동시킴으로써, 대면적의 검사 대상 물체를 고속으로 검사할 수 있을 뿐만 아니라 검출부를 저가로 구현할 수 있으므로 생산 비용을 절감할 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 일 실시예와 관련된 전자기파 검출 모듈 및, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치에 대한 블록 구성도(block diagram)이다.
도 4를 참조하면, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치(400)는 전자기파 생성부(410), 콜리메이팅부(420), 경로변경부(430), 집속 렌즈(440), 검출부(460) 및, 검출부용 구동부(470)를 포함한다. 여기서, 전자기파 검출 모듈은 검출부(460) 및 검출부용 구동부(470)를 구비한 모듈을 의미한다.
전자기파 생성부(410)는 전자기파를 발생시킬 수 있는 다양한 형태의 장치일 수 있다.
콜리메이팅부(420)는 전자기파 생성부(410)로부터 입사된 전자기파를 평행하게 형성할 수 있다. 평행하게 형성된 전자기파는 경로 변경부(430)로 입사된다.
경로변경부(430)는 입사되는 전자기파의 경로를 변경시킬 수 있다. 경로 변경부(430)에 의해 경로가 변경된 전자기파는 집속 렌즈(440)로 입사된다. 본 실시예에서는, 경로 변경부(430)를 폴리곤 미러로 구현한 경우를 기준으로 설명하겠다.
경로변경부(430)는 반사 미러(431) 및 웨지 프리즘(432)를 포함할 수 있다. 이와 같이, 반사 미러(431) 및 웨지 프리즘(432)을 이용하여, 2차원 스캐닝을 수행할 수 있다.
집속 렌즈(440)는 경로 변경부(430)로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체(450)로 집속시킬 수 있다.
검출부(460)는 검사 대상 물체(450)를 투과한 전자기파를 직접 검출할 수 있다. 검출부(460)는 검사 대상 물체(450)의 하단에 인접하게 배치될 수 있다. 본 실시예에서는, 검출부(260)가 단일 검출부인 경우를 기준으로 설명하겠습니다.
검출부용 구동부(470)는 검출부(460)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(470)의 상부에는 검사 대상 물체(450)가 배치될 수 있다. 예를 들면, 검출부의 구동부(470)는 검출부(460)를 지름 방향(471)으로 이동시키거나, 검출부(460)를 회전 방향(472)으로 이동시킬 수 있다. 즉, 검출부의 구동부(470)는 회전 운동과 직선 운동을 모두 수행할 수 있는 장치이거나, 회전 운동을 하는 장치 및 직선 운동을 장치의 조합일 수 있다. 또 다른 예를 들면, 검출부용 구동부(470)는 서로 다른 축방향으로 구동되는 2개의 엑츄에이터로 구현되거나 1개의 2축 엑츄에이터로 구현되어, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원으로 집속되도록 할 수 있다. 이외에도 다양한 방식으로, 전자기파가 검사 대상 물체에 2차원 또는 3차원으로 집속되도록 경로 변경부 및 경로변경부용 구동부를 구현할 수 있다.
예를 들면, 검출부(460)는 단일 검출부이고, 검출부용 구동부(470)는 검출부(460)와 결합될 수 있다. 검출부용 구동부(470)는 검사 대상 물체(450)를 통과한 전자기파가 검출부(460)에 집속되도록, 검출부(460)를 이동시킬 수 있다.
또 다른 예를 들면, 경로 변경부(430)는 원 형태로 전자기파의 경로를 변경할 수 있다. 이 경우, 검출부용 구동부(470)는 경로 변경부(430)에 의해 변경된 전자기파가 상기 검사 대상 물체로 집속되도록, 경로 변경부(430)에 의해 변경된 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 검출부(460)를 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 검출부(460)는 검사 대상 물체(450)를 원 형태로 투과한 2차원의 전자기파를 검출할 수 있다.
설명된 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
또한, 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 전자기파를 이용한 투과 검출 장치
110 : 전자기파 생성부
120 : 콜리메이팅부
130 : 경로변경부
140 : 집속 렌즈
150 : 검출부

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  11. 입사되는 전자기파의 경로를 지름이 변경되는 원 형태로 변경시키고, 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘 중 어느 하나이거나, 회절 격자(diffraction grating), 홀로그램, 갈바노 미러, 모노곤(monogon) 미러, 폴리곤(polygon) 미러 및 웨지(wedge) 프리즘의 조합인 경로 변경부;
    상기 경로 변경부로부터 입사되는 전자기파를 검사 대상 물체로 집속시키는 집속 렌즈;
    상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비되고, 상기 검사 대상 물체를 투과한 전자기파를 직접 검출하는 검출부;
    상기 검사 대상 물체의 하단에 인접하게 구비된 상기 검출부를 포함하고, 상기 검사 대상 물체를 고정시킬 수 있는 고정부를 포함하는 하우징부; 및
    상기 검출부와 결합되고, 상기 검사 대상 물체를 통과한 전자기파가 상기 검출부에 집속되도록 상기 경로 변경부에 의해 변경된 원 형태 전자기파의 회전 경로와 동기시켜 상기 검출부를 회전시키고, 상기 경로 변경부에 의해 변경된 지름과 동기시켜 상기 검출부를 직선으로 이동시켜, 상기 검출부가 상기 검사 대상 물체를 지름이 변경되는 원 형태로 투과한 2차원의 전자기파를 검출할 수 있도록 하는 검출부용 구동부를 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
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  21. 제 11 항에 있어서,
    입사된 전자기파를 평행하게 형성하여 상기 경로 변경부로 입사시키는 콜리메이팅부를 더 포함하는, 전자기파를 이용한 투과 검출 장치.
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