KR102317422B1 - A stocker device - Google Patents
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Abstract
스토커 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 스토커 장치는, 카세트(Cassette)의 적재를 위해 선반들 사이를 이동 가능하게 설치되는 스토커 본체와, 스토커 본체에 지지되고 카세트를 선반에 적재하거나 선반으로부터 카세트를 반출하기 위해 카세트를 핸들링하되 카세트의 상부 영역에 연결되어 카세트를 지지하는 상부 지지형 포크유닛을 포함한다.A stocker device is disclosed. The stocker device according to the present invention includes a stocker body that is movably installed between shelves for loading a cassette, and a stocker that is supported on the stocker body and handles the cassette to load the cassette on the shelf or take out the cassette from the shelf However, it includes an upper support type fork unit connected to the upper region of the cassette to support the cassette.
Description
본 발명은, 스토커 장치에 관한 것에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 카세트(Cassette)를 선반에 적재하거나 선반에서 카세트를 반출하는 스토커 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stocker device, and more particularly, to a stocker device for loading a cassette on a shelf or unloading a cassette from the shelf.
정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광 받고 있다.With the rapid development of information and communication technology and the expansion of the market, a flat panel display is in the spotlight as a display device.
이러한 평판표시소자에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이장치(Plasma Display Panel), 유기발광다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diode Display ) 등이 있다.Such flat panel display devices include a liquid crystal display, a plasma display panel, an organic light emitting diode display, and the like.
이 중에서 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)는, 빠른 응답속도, 기존의 액정표시장치(LCD)보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 소자로 각광받고 있다.Among them, the organic light emitting diode display (OLED display) has a fast response speed, lower power consumption than a conventional liquid crystal display (LCD), light weight, and can be made ultra-thin because there is no need for a separate backlight device, It has very good advantages such as high luminance, so it is in the spotlight as a next-generation display device.
유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와 능동형인 AMOLED로 나눌 수 있다. 특히 AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다. 또한 AMOLED는 기판이 아닌 필름(Film) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있게 된다.Organic light emitting diode display (OLED display) can be divided into passive type PMOLED and active type AMOLED according to the driving method. In particular, AMOLED is a self-luminous display, which has a faster response speed than conventional displays, natural colors, and low power consumption. In addition, when AMOLED is applied to a film rather than a substrate, it becomes possible to realize the technology of a flexible display.
이러한 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)는 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 에칭 공정, 봉지 공정, 그리고 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정 등을 통해 제품으로 생산될 수 있다.Such an organic light emitting diode display (OLED display) is a product through a pattern forming process, an organic thin film deposition process, an etching process, an encapsulation process, and a bonding process for attaching the substrate on which the organic thin film is deposited and the substrate that has undergone the encapsulation process. can be produced
이러한 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)에 사용되는 유기전계발광소자는 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막을 순서대로 입히고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어줌으로써 적당한 에너지의 차이가 유기 박막에 형성되어 스스로 발광하는 원리이다.The organic light emitting device used in such an organic light emitting diode display (OLED display) has an anode film, an organic thin film, and a cathode film on a substrate in order, and a voltage is applied between the anode and the cathode so that an appropriate energy difference is formed on the organic thin film. It is a self-luminous principle.
다시 말해, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다.In other words, injected electrons and holes recombine, and the remaining excitation energy is generated as light. In this case, since the wavelength of the generated light can be adjusted according to the amount of the dopant of the organic material, it is possible to realize a full color.
유기전계발광소자는 기판 상에 애노드(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 정공 방지층(hole blocking layer), 전자 운송층(electron transfer layer), 전자 주입층(electron injection layer), 캐소드(cathode) 등의 막이 순서대로 적층되어 형성된다.An organic electroluminescent device has an anode, a hole injection layer, a hole transfer layer, an emitting layer, a hole blocking layer, an electron transport layer on a substrate. A film such as a transfer layer, an electron injection layer, and a cathode is sequentially stacked and formed.
이러한 구조에서 애노드로는 면 저항이 작고 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 사용된다. 그리고 유기 박막은 발광 효율을 높이기 위하여 정공 주입층, 정공 운송층, 발광층, 정공 방지층, 전자 운송층, 전자 주입층의 다층으로 구성된다. 발광층으로 사용되는 유기물질은 Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA 등이 있다. 캐소드로는 LiF-Al 금속막이 사용된다. 그리고 유기 박막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다.In this structure, ITO (Indium Tin Oxide) with low sheet resistance and good permeability is mainly used as the anode. In addition, the organic thin film is composed of multiple layers of a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, a hole blocking layer, an electron transport layer, and an electron injection layer in order to increase luminous efficiency. The organic material used as the light emitting layer includes Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA, and the like. As the cathode, a LiF-Al metal film is used. In addition, since the organic thin film is very weak to moisture and oxygen in the air, an encapsulation film is formed on the top to increase the life time of the device.
유기전계발광소자를 다시 간략하게 정리하면, 유기전계발광소자는 애노드, 캐소드, 그리고 애노드와 캐소드 사이에 개재된 발광층을 포함하며, 구동 시 정공은 애노드로부터 발광층 내로 주입되고, 전자는 캐소드로부터 발광층 내로 주입된다. 발광층 내로 주입된 정공과 전자는 발광층에서 결합하여 엑시톤(exciton)을 생성하고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 전이하면서 빛을 방출하게 된다.To briefly summarize the organic light emitting device again, the organic light emitting device includes an anode, a cathode, and a light emitting layer interposed between the anode and the cathode. is injected Holes and electrons injected into the emission layer combine in the emission layer to generate excitons, and these excitons emit light while transitioning from an excited state to a ground state.
이러한 유기전계발광소자는 구현하는 색상에 따라 단색 또는 풀 칼라(full color) 유기전계발광소자로 구분될 수 있는데, 풀 칼라 유기전계발광소자는 빛의 삼원색인 적색, 녹색 및 청색 별로 패터닝된 발광층을 구비함으로써 풀 칼라를 구현한다.Such an organic light emitting device can be divided into a single color or a full color organic light emitting device according to the color to be implemented. By providing it, full color is realized.
풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 대형 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)를 제작하는 방식으로는 FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과 LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 있다.In order to realize full color, the light emitting layer needs to be patterned. As a method of manufacturing a large organic light emitting diode display (OLED display), direct patterning method using FMM (Fine Metal Mask, hereinafter referred to as mask) and LITI (Fine Metal Mask) method are used. There are a method applying a laser induced thermal imaging method, a method using a color filter, and the like.
마스크 방식을 적용하여 대형 유기발광다이오드 디스플레이(OLED display)를 제작하는 경우에는 공정챔버 내부에 기판과 패터닝(patterning)된 금속재질의 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 마스크를 향해 증착물질을 분사하여 기판에 증착물질을 증착시키는 수평식 상향 증착공법이 널리 적용되고 있다.In the case of manufacturing a large-sized organic light emitting diode display (OLED display) by applying the mask method, the substrate and the patterned metal mask are horizontally placed inside the process chamber, and then the deposition material is sprayed toward the mask to the substrate. A horizontal upward deposition method for depositing a deposition material is widely applied.
수평식 상향 증착공법은, 공정챔버의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 정렬한 후 합착시켜 수평상태에서 기판에 유기물을 증착하는 방법이다.The horizontal upward deposition method is a method of depositing an organic material on a substrate in a horizontal state by aligning a substrate and a mask arranged horizontally with respect to the bottom surface of the process chamber and then bonding them together.
상술한 유기전계발광소자의 제작에 사용되는 기판 또는 마스크는 카세트에 적재되어 반송장치라고도 불리는 소위, 스토커 장치에 의해 운반되어 카세트 선반에 적재되거나 적재된 상태에서 반출된다.The substrate or mask used for manufacturing the above-described organic light emitting device is loaded on a cassette, transported by a so-called stocker device, also called a transport device, and loaded on a cassette shelf or taken out in a loaded state.
즉, 기판 또는 마스크가 수납되는 카세트는 평판표시장치의 제조 설비에서 해당 공정이 완료된 후 바로 다음의 제조 공정으로 이송되는 것이 아니라 각 공정의 처리 능력 및 시간의 차이에 의해 발생되는 버퍼링(buffering) 문제의 해소를 위해 카세트 보관 시스템의 카세트 선반에 임시로 보관될 수 있으며, 필요에 따라 해당 공정을 수행하는 평판표시장치의 각 제조 설비로 이송될 수 있다.That is, the cassette in which the substrate or mask is accommodated is not transferred to the next manufacturing process immediately after the corresponding process is completed in the manufacturing facility of the flat panel display, but is a buffering problem caused by the difference in processing capacity and time of each process. It may be temporarily stored on the cassette shelf of the cassette storage system to solve the
종래기술에 따른 스토커 장치는, 카세트를 선반에 적재하거나 카세트를 선반에서 반출하기 위하 카세트를 핸들링하는 포크부를 포함한다. 이러한 종래기술에 따른 스토커 장치의 포크부는 카세트의 하부를 지지 또는 파지한다. The stocker device according to the prior art includes a fork for handling the cassette in order to load the cassette on the shelf or take the cassette out from the shelf. The fork portion of the stocker device according to the prior art supports or grips the lower portion of the cassette.
그런데, 종래기술에 따른 스토커 장치의 포크부가 카세트의 하부를 지지 또는 파지하기 때문에 컴팩트(compact)한 공간 활용이 어려운 문제점이 있다.However, since the fork portion of the stocker device according to the prior art supports or grips the lower portion of the cassette, there is a problem in that it is difficult to utilize a compact space.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 컴팩트(compact)한 구조를 가져 공간 활용도를 높일 수 있는 스토커 장치를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a stocker device that has a compact structure and can increase space utilization.
본 발명의 일 측면에 따르면, 카세트(Cassette)의 적재를 위해 선반들 사이를 이동 가능하게 설치되는 스토커 본체; 및 상기 스토커 본체에 지지되고, 상기 카세트를 상기 선반에 적재하거나 상기 선반으로부터 상기 카세트를 반출하기 위해 상기 카세트를 핸들링하되, 상기 카세트의 상부 영역에 연결되어 상기 카세트를 지지하는 상부 지지형 포크유닛을 포함하는 스토커 장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, a stocker body that is movably installed between the shelves for loading the cassette; and an upper support type fork unit supported by the stocker body and handling the cassette in order to load the cassette on the shelf or take out the cassette from the shelf, which is connected to the upper region of the cassette to support the cassette. A stocker device comprising can be provided.
상기 상부 지지형 포크유닛은, 상기 카세트의 상부벽부를 지지하는 상단 포크모듈; 상기 상단 포크모듈이 가로방향으로 상대이동 가능하게 연결되며, 상기 상단 포크모듈을 가로방향으로 이동시키는 중단 포크모듈; 상기 중단 포크모듈이 가로방향으로 상대이동 가능하게 연결되며, 상기 중단 포크모듈을 가로방향으로 이동시키는 하단 포크모듈; 상기 스토커 본체에 연결되며, 상기 하단 포크모듈을 지지하는 포크유닛 프레임부; 및 상기 포크유닛 프레임부에 지지되며, 상기 하단 포크모듈에 연결되어 상기 하단 포크모듈에 상기 중단 포크모듈을 이동시키는 구동력을 전달하는 드라이빙모듈을 포함할 수 있다.The upper support type fork unit may include: an upper fork module supporting an upper wall portion of the cassette; a middle fork module to which the upper fork module is connected to be relatively movable in a horizontal direction, the middle fork module for moving the upper fork module in a horizontal direction; a lower fork module connected to the middle fork module to be relatively movable in the horizontal direction, and configured to move the middle fork module in the horizontal direction; a fork unit frame part connected to the stocker body and supporting the lower fork module; and a driving module supported by the fork unit frame portion and connected to the lower fork module to transmit a driving force for moving the middle fork module to the lower fork module.
상기 하단 포크모듈은 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치될 수 있다.The lower fork modules may be provided as a pair and disposed to be spaced apart from each other.
상기 하단 포크모듈은, 상기 포크유닛 프레임부에 결합되는 하단포크 프레임부; 상기 하단포크 프레임부에 회전 가능하게 결합되는 하단포크용 타이밍 풀리부; 상기 하단포크용 타이밍 풀리부에 연결되는 하단포크용 타이밍 벨트부; 및 상기 하단포크용 타이밍 벨트부에 결합되며, 상기 중단 포크모듈에 결합되어 상기 하단포크용 타이밍 벨트부의 회전에 따라 상기 중단 포크모듈을 이동시키는 중단포크 이동용 클램핑부를 포함할 수 있다.The lower fork module may include: a lower fork frame unit coupled to the fork unit frame unit; a timing pulley portion for a lower fork rotatably coupled to the lower fork frame portion; a timing belt portion for a lower fork connected to the timing pulley portion for the lower fork; and a clamping part for moving the middle fork that is coupled to the timing belt for the lower fork and is coupled to the middle fork module to move the middle fork module according to the rotation of the timing belt for the lower fork.
상기 하단 포크모듈은, 상기 하단포크 프레임부에 지지되고 상기 중단 포크모듈에 연결되며, 상기 중단 포크모듈의 이동을 안내하는 중단포크 이동용 가이드부를 더 포함할 수 있다.The lower fork module may further include a guide part for moving the middle fork that is supported by the lower fork frame part and is connected to the middle fork module and guides the movement of the middle fork module.
상기 중단포크 이동용 가이드부는, 상기 하단포크 프레임부의 상단부에 결합되는 중단포크 이동용 가이드레일부; 및 상기 중단포크 이동용 가이드레일부에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 중단 포크모듈에 결합되는 중단포크 이동용 이동블록부를 포함할 수 있다.The guide rail for moving the middle fork includes: a guide rail for moving the middle fork coupled to the upper end of the lower fork frame; and a moving block part for moving the middle fork that is connected to the guide rail for moving the middle fork to be slidably and coupled to the middle fork module.
상기 드라이빙모듈은, 상기 하단포크용 타이밍 벨트부에 연결되며, 회전에 의해 상기 하단포크용 타이밍 벨트부를 회전시키는 구동 타이밍 풀리부; 상기 포크유닛 프레임부에 회전 가능하게 연결되며, 상기 구동 타이밍 풀리부에 결합되어 상기 구동 타이밍 풀리부를 회전시키는 구동 샤프트부; 및 상기 구동 샤프트부를 연결되며, 상기 구동 샤프트부를 회전시키는 구동 모터부를 포함할 수 있다.The driving module may include: a driving timing pulley part connected to the timing belt part for the lower fork and configured to rotate the timing belt part for the lower fork by rotation; a driving shaft part rotatably connected to the fork unit frame part and coupled to the driving timing pulley part to rotate the driving timing pulley part; and a driving motor unit connected to the driving shaft unit and configured to rotate the driving shaft unit.
상기 중단 포크모듈은 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치될 수 있다.The middle fork module may be provided as a pair and disposed to be spaced apart from each other.
상기 중단 포크모듈은, 상기 하단 포크모듈에 지지되는 중단포크 프레임부; 상기 중단포크 프레임부에 회전 가능하게 결합되는 중단포크용 타이밍 풀리부; 상기 중단포크용 타이밍 풀리부에 연결되는 중단포크용 타이밍 벨트부; 및 상기 중단포크용 타이밍 벨트부에 결합되며, 상기 하단 포크모듈에 결합되어 상기 중단포크 프레임부의 이동에 따라 상기 중단포크용 타이밍 벨트부를 회전시키는 타이밍벨트 회전용 클램핑부를 포함할 수 있다.The middle fork module includes: a middle fork frame part supported by the lower fork module; a timing pulley part for the middle fork rotatably coupled to the middle fork frame part; a timing belt part for the middle fork connected to the timing pulley part for the middle fork; and a clamping part for rotating the timing belt coupled to the timing belt part for the middle fork and coupled to the lower fork module to rotate the timing belt part for the middle fork according to the movement of the middle fork frame part.
상기 중단 포크모듈은, 상기 중단포크 프레임부에 지지되고 상기 상단 포크모듈에 연결되며, 상기 상단 포크모듈의 이동을 안내하는 상단포크 이동용 가이드부를 더 포함할 수 있다.The middle fork module may further include a guide part for moving the upper fork supported by the middle fork frame part and connected to the upper fork module, and guiding the movement of the upper fork module.
상기 상단포크 이동용 가이드부는, 상기 중단포크 프레임부의 상단부에 결합되는 상단포크 이동용 가이드레일부; 및 상기 상단포크 이동용 가이드레일부에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 상단 포크모듈에 결합되는 상단포크 이동용 이동블록부를 포함할 수 있다.The guide for moving the upper fork includes: a guide rail for moving the upper fork coupled to the upper end of the middle fork frame; and a moving block unit connected to the guide rail for moving the upper fork to be slidably movable, and coupled to the upper fork module, for moving the upper fork.
상기 상단 포크모듈은 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치될 수 있다.The upper fork module may be provided as a pair and disposed to be spaced apart from each other.
상기 상단 포크모듈은, 상기 중단 포크모듈에 지지되는 상단포크 프레임부; 및 상기 중단포크용 타이밍 벨트부에 결합되며, 상기 상단포크 프레임부에 결합되어 상기 중단포크용 타이밍 벨트부의 회전에 따라 상기 상단포크 프레임부를 이동시키는 상단포크 이동용 클램핑부를 포함할 수 있다.The upper fork module includes: an upper fork frame part supported by the middle fork module; and a clamping unit coupled to the timing belt for the middle fork and coupled to the upper fork frame to move the upper fork frame according to rotation of the timing belt for the middle fork.
상기 상단 포크모듈은, 상기 상단포크 프레임부의 상단부에 결합되며, 상기 카세트의 상부벽부가 접촉되는 안착 패드부를 더 포함할 수 있다.The upper fork module may further include a seating pad portion coupled to the upper end of the upper fork frame portion and contacting the upper wall portion of the cassette.
상기 안착 패드부는 다수개로 마련되어 상호 이격되어 배치될 수 있다.A plurality of the seating pad parts may be provided to be spaced apart from each other.
본 발명의 실시예들은, 카세트의 상부 영역에 연결되어 카세트를 지지하는 상부 지지형 포크유닛을 구비함으로써, 컴팩트(compact)한 구조를 가져 공간 활용도를 높일 수 있다.Embodiments of the present invention, by having an upper support type fork unit connected to the upper region of the cassette to support the cassette, it is possible to increase the space utilization by having a compact structure.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치의 상부 지지형 포크유닛이 카세트를 지지하고 있는 상태가 도시된 도면이다.
도 2는 도 1의 정면도이다.
도 3은 도 1의 카세트가 도시된 사시도이다.
도 4는 도 3의 정면도이다.
도 5는 도 1에서 상부 지지형 포크유닛이 도시된 사시도이다.
도 6은 도 5의 측면도이다.
도 7은 도 6의 'A'의 확대도이다.
도 8은 도 6의 'B'의 확대도이다.
도 9는 도 6의 'C'의 확대도이다.
도 10과 도 11은 도 6의 상부 지지형 포크유닛의 동작상태도이다.1 is a view illustrating a state in which an upper support type fork unit of a stocker device according to an embodiment of the present invention supports a cassette.
FIG. 2 is a front view of FIG. 1 ;
3 is a perspective view illustrating the cassette of FIG. 1 .
FIG. 4 is a front view of FIG. 3 .
5 is a perspective view showing the upper support type fork unit in FIG. 1 .
FIG. 6 is a side view of FIG. 5 ;
7 is an enlarged view of 'A' of FIG. 6 .
8 is an enlarged view of 'B' of FIG. 6 .
9 is an enlarged view of 'C' of FIG.
10 and 11 are operational state diagrams of the upper support type fork unit of FIG.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings illustrating preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. However, in describing the present invention, a description of a function or configuration already known will be omitted in order to clarify the gist of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커 장치의 상부 지지형 포크유닛이 카세트를 지지하고 있는 상태가 도시된 도면이고, 도 2는 도 1의 정면도이며, 도 3은 도 1의 카세트가 도시된 사시도이고, 도 4는 도 3의 정면도이며, 도 5는 도 1에서 상부 지지형 포크유닛이 도시된 사시도이고, 도 6은 도 5의 측면도이며, 도 7은 도 6의 'A'의 확대도이고, 도 8은 도 6의 'B'의 확대도이며, 도 9는 도 6의 'C'의 확대도이고, 도 10과 도 11은 도 6의 상부 지지형 포크유닛의 동작상태도이다.1 is a view showing a state in which the upper support type fork unit of the stocker device according to an embodiment of the present invention supports the cassette, FIG. 2 is a front view of FIG. 1, and FIG. 3 is the cassette of FIG. 4 is a front view of FIG. 3, FIG. 5 is a perspective view showing the upper support type fork unit in FIG. 1, FIG. 6 is a side view of FIG. 5, and FIG. 7 is an enlarged view of 'A' in FIG. FIG. 8 is an enlarged view of 'B' of FIG. 6 , FIG. 9 is an enlarged view of 'C' of FIG. 6 , and FIGS. 10 and 11 are operational state diagrams of the upper support type fork unit of FIG. 6 .
도 1 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 스토커 장치는, 카세트(Cassette, CA)의 적재를 위해 선반(미도시)들 사이를 이동 가능하게 설치되는 스토커 본체(미도시)와, 스토커 본체(미도시)에 지지되고 카세트(CA)를 선반(미도시)에 적재하거나 선반(미도시)으로부터 카세트(CA)를 반출하기 위해 카세트(CA)를 핸들링하되 카세트(CA)의 상부 영역에 연결되어 카세트(CA)를 지지하는 상부 지지형 포크유닛(100)을 포함한다.1 to 11 , the stocker device according to this embodiment includes a stocker body (not shown) that is movably installed between shelves (not shown) for loading a cassette (Cassette, CA) and , is supported on the stocker body (not shown) and handles the cassette (CA) to load the cassette (CA) on a shelf (not shown) or take out the cassette (CA) from the shelf (not shown), but the upper part of the cassette (CA) It is connected to the area and includes an upper support
이와 같이 본 실시예에 따른 스토커 장치는, 카세트(CA)의 상부 영역에 연결되어 카세트(CA)를 지지하는 상부 지지형 포크유닛(100)을 구비함으로써, 컴팩트(compact)한 구조를 가져 공간 활용도를 높일 수 있다.As described above, the stocker device according to the present embodiment is connected to the upper region of the cassette CA and provided with the upper support
본 실시예의 카세트(CA)는 내부가 중공된 형상으로 마련된다. 이러한 카세트(CA)는, 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 가장자리 영역이 상부 지지형 포크유닛(100)에 지지되는 상부벽부(CA1)와, 상부벽부(CA1)에 결합되는 측벽부(CA2)와, 측벽부(CA2)에 결합되며 상부벽부(CA1)의 하측에 배치되는 하부벽부(CA3)를 포함한다. The cassette CA of this embodiment is provided in a hollow shape inside. This cassette CA, as shown in FIGS. 3 to 4, has an upper wall portion CA1 of which an edge region is supported by the upper support
상부벽부(CA1)와 하부벽부(CA3)는 평평한 플레이트 형상으로 마련된다. 하부벽부(CA3)는 상부벽부(CA1)에 이격되어 상부벽부(CA1)의 하부 영역에 배치된다. The upper wall portion CA1 and the lower wall portion CA3 are provided in a flat plate shape. The lower wall portion CA3 is spaced apart from the upper wall portion CA1 and disposed in a lower region of the upper wall portion CA1 .
측벽부(CA2)는 상부벽부(CA1)와 하부벽부(CA3)를 연결한다. 측벽부(CA2)의 상단부는 상부벽부(CA1)에 결합되고 하단부는 하부벽부(CA3)에 결합된다. 본 실시예에서 측벽부(CA2)는 다수개로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. The side wall part CA2 connects the upper wall part CA1 and the lower wall part CA3. The upper end of the side wall portion CA2 is coupled to the upper wall portion CA1 and the lower end portion is coupled to the lower wall portion CA3. In the present embodiment, a plurality of side wall portions CA2 are provided and disposed to be spaced apart from each other.
스토커 본체(미도시)는 카세트(CA)가 적재되는 선반(미도시)들 사이를 이동한다. 본 실시예에 따른 스토커 본체(미도시)는, 레일(미도시) 상에 배치되어 레일(미도시)을 따라 이동되는 주행부(미도시)와, 주행부(미도시)에 연결되며 상부 지지형 포크유닛(100)을 지지하는 포크 업/다운부(미도시)를 포함한다. The stocker body (not shown) moves between shelves (not shown) on which the cassette CA is loaded. The stocker body (not shown) according to the present embodiment is connected to a traveling unit (not shown) and a traveling unit (not shown) that are disposed on a rail (not shown) and move along the rail (not shown) and support the upper part. It includes a fork up/down part (not shown) for supporting the
주행부(미도시)에는, 추진력을 발생시키는 주행동력부(미도시)와, 주행부(미도시)가 레일 상의 원하는 위치에 정지될 수 있도록 주행동력부(미도시)를 제어하는 이동제어부(미도시)가 마련된다.In the driving unit (not shown), a driving power unit (not shown) that generates a driving force, and a movement control unit (not shown) for controlling the driving power unit (not shown) so that the driving unit (not shown) can be stopped at a desired position on the rail ( not shown) is provided.
포크 업/다운유닛(미도시)은, 주행부(미도시)에 결합되는 수직프레임(미도시)과, 수직프레임(미도시)에 지지되고 상부 지지형 포크유닛(100)에 연결되어 상부 지지형 포크유닛(100)을 상하방향으로 이동시키는 업/다운(up/down) 이동 구동부(미도시)를 포함한다. The fork up/down unit (not shown) includes a vertical frame (not shown) coupled to the driving unit (not shown), supported on the vertical frame (not shown), and connected to the upper support
상부 지지형 포크유닛(100)은 스토커 본체(미도시)의 업/다운(up/down) 이동 구동부(미도시)에 지지된다. 이러한 상부 지지형 포크유닛(100)은 카세트(CA)를 선반(미도시)에 적재하거나 선반(미도시)으로부터 카세트(CA)를 반출하기 위해 카세트(CA)를 핸들링하되 카세트(CA)의 상부 영역에 연결되어 카세트(CA)를 지지한다. The upper support
본 실시예에 따른 상부 지지형 포크유닛(100)은, 도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 카세트(CA)의 상부벽부(CA1)를 지지하는 상단 포크모듈(110)과, 상단 포크모듈(110)이 가로방향으로 상대이동 가능하게 연결되며 상단 포크모듈(110)을 가로방향으로 이동시키는 중단 포크모듈(120)과, 중단 포크모듈(120)이 가로방향으로 상대이동 가능하게 연결되며 중단 포크모듈(120)을 가로방향으로 이동시키는 하단 포크모듈(130)과, 스토커 본체(미도시)에 연결되며 하단 포크모듈(130)을 지지하는 포크유닛 프레임부(140)와, 포크유닛 프레임부(140)에 지지되며, 하단 포크모듈(130)에 연결되어 하단 포크모듈(130)에 중단 포크모듈(120)을 이동시키는 구동력을 전달하는 드라이빙모듈(150)을 포함한다. The upper support
포크유닛 프레임부(140)는 스토커 본체(미도시)의 업/다운(up/down) 이동 구동부(미도시)에 결합된다. 이러한 포크유닛 프레임부(140)는 하단 포크모듈(130)을 지지한다. The fork
하단 포크모듈(130)은 포크유닛 프레임부(140)에 연결된다. 이러한 하단 포크모듈(130)에는 중단 포크모듈(120)이 가로방향으로 상대이동 가능하게 연결된다. 또한, 하단 포크모듈(130)은 중단 포크모듈(120)을 가로방향으로 이동시킨다. The
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 본 실시예의 하단 포크모듈(130)은 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. As shown in Figures 1 and 2, the
하단 포크모듈(130)은, 도 1 내지 도 9에 자세히 도시된 바와 같이, 포크유닛 프레임부(140)에 결합되는 하단포크 프레임부(131)와, 하단포크 프레임부(131)에 회전 가능하게 결합되는 하단포크용 타이밍 풀리부(133)와, 하단포크용 타이밍 풀리부(133)에 연결되는 하단포크용 타이밍 벨트부(135)와, 하단포크용 타이밍 벨트부(135)에 결합되며 중단 포크모듈(120)에 결합되어 하단포크용 타이밍 벨트부(135)의 회전에 따라 중단 포크모듈(120)을 이동시키는 중단포크 이동용 클램핑부(137)와, 하단포크 프레임부(131)에 지지되고 중단 포크모듈(120)에 연결되며 중단 포크모듈(120)의 이동을 안내하는 중단포크 이동용 가이드부(139)를 포함한다.As shown in detail in FIGS. 1 to 9 , the
하단포크 프레임부(131)는 포크유닛 프레임부(140)에 결합된다. 본 실시예의 한 쌍의 하단포크 프레임부(131)는 카세트(CA)를 사이에 두고 상호 이격되어 배치된다. The lower
하단포크용 타이밍 풀리부(133)는 하단포크 프레임부(131)에 회전 가능하게 결합된다. 이러한 하단포크용 타이밍 풀리부(133)는 도 6에 도시된 바와 같이 대수개로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. 이러한 하단포크용 타이밍 풀리부(133)의 외주면에는 하단포크용 타이밍 벨트부(135)의 내주면에 형성된 기어치에 치합되는 기어치가 형성된다.The timing
하단포크용 타이밍 벨트부(135)는 하단포크용 타이밍 풀리부(133)에 연결된다. 본 실시예에 하단포크용 타이밍 벨트부(135)는 무한궤도를 이루는 형상으로 마련되며 하단포크용 타이밍 풀리부(133)에 감아걸려 회전된다.The
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 중단포크 이동용 클램핑부(137)의 하단부 영역은 하단포크용 타이밍 벨트부(135)에 결합된다. 또한 중단포크 이동용 클램핑부(137)의 하단부 영역은 중단 포크모듈(120)의 후술할 중단포크 프레임부(121)에 결합된다. 상술한 바와 같이 중단포크 이동용 클램핑부(137)가 하단포크용 타이밍 벨트부(135)와 중단 포크모듈(120)에 결합됨으로써, 하단포크용 타이밍 벨트부(135)의 회전에 따라 중단포크 이동용 클램핑부(137)가 이동되어 중단 포크모듈(120)을 이동시킨다. 6 and 7, the lower end region of the clamping
중단포크 이동용 가이드부(139)는 하단포크 프레임부(131)에 지지되고 중단 포크모듈(120)에 연결된다. 이러한 중단포크 이동용 가이드부(139)는 중단 포크모듈(120)의 이동을 안내한다. The
본 실시예에 따른 중단포크 이동용 가이드부(139)는, 도 6 내지 도 7에 자세히 도시된 바와 같이, 하단포크 프레임부(131)의 상단부에 결합되는 중단포크 이동용 가이드레일부(139a)와, 중단포크 이동용 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며 중단 포크모듈(120)에 결합되는 중단포크 이동용 이동블록부(139b)를 포함한다. The
중단포크 이동용 가이드레일부(139a)는 하단포크 프레임부(131)의 상단부에 배치되어 하단포크 프레임부(131)의 길이 방향으로 길게 연장되어 마련된다. The
중단포크 이동용 이동블록부(139b)는 중단포크 이동용 가이드레일부(139a)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다. 이러한 중단포크 이동용 이동블록부(139b)는 중단 포크모듈(120)의 후술할 중단포크 프레임부(121)에 결합된다.The moving
한편, 드라이빙모듈(150)은 포크유닛 프레임부(140)에 지지된다. 이러한 드라이빙모듈(150)은 하단 포크모듈(130)에 연결되어 하단 포크모듈(130)에 중단 포크모듈(120)을 이동시키는 구동력을 전달한다. Meanwhile, the
본 실시예에 따른 드라이빙모듈(150)은, 도 2 및 도 5 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 하단포크용 타이밍 벨트부(135)에 연결되며 회전에 의해 하단포크용 타이밍 벨트부(135)를 회전시키는 구동 타이밍 풀리부(151)와, 포크유닛 프레임부(140)에 회전 가능하게 연결되며 구동 타이밍 풀리부(151)에 결합되어 구동 타이밍 풀리부(151)를 회전시키는 구동 샤프트부(153)와, 구동 샤프트부(153)를 연결되며 구동 샤프트부(153)를 회전시키는 구동 모터부(155)를 포함한다. As shown in detail in FIGS. 2 and 5 to 6 , the
구동 타이밍 풀리부(151)는 하단포크용 타이밍 벨트부(135)에 연결된다. 이러한 구동 타이밍 풀리부(151)는 회전에 의해 하단포크용 타이밍 벨트부(135)를 회전시킨다. 본 실시예에 따른 구동 타이밍 풀리부(151)는 한 쌍으로 마련된다. 이러한 한 쌍의 구동 타이밍 풀리부(151)는 상호 이격되어 배치되어 한 쌍의 하단 포크모듈(130) 각각의 하단포크용 타이밍 벨트부(135)에 연결된다.The driving timing
본 실시예의 구동 타이밍 풀리부(151)의 외주면에는 하단포크용 타이밍 벨트부(135)의 내주면에 형성된 기어치에 치합되는 기어치가 형성된다.Gear teeth meshing with the gear teeth formed on the inner peripheral surface of the
구동 샤프트부(153)는 포크유닛 프레임부(140)에 회전 가능하게 연결된다. 이러한 구동 샤프트부(153)에는 구동 타이밍 풀리부(151)가 결합된다. 이러한 구동 샤프트부(153)의 회전에 의해 구동 타이밍 풀리부(151)가 회전된다.The
구동 모터부(155)는 구동 샤프트부(153)에 연결되어 구동 샤프트부(153)를 회전시킨다. 구동 모터부(155)의 동작에 의해 구동 샤프트부(153)가 회전되고, 구동 샤프트부(153)의 회전에 의해 구동 타이밍 풀리부(151)가 회전되며, 구동 타이밍 풀리부(151)의 회전에 의해 구동 타이밍 풀리부(151)에 연결된 하단포크용 타이밍 벨트부(135)가 회전된다. 상술한 바와 같이 하단포크용 타이밍 벨트부(135)의 회전에 의해 중단 포크모듈(120)이 이동된다.The
한편, 중단 포크모듈(120)은 상단 포크모듈(110)에 가로방향으로 상대이동 가능하게 연결된다. 이러한 중단 포크모듈(120)은 상단 포크모듈(110)을 가로방향으로 이동시킨다. 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이, 중단 포크모듈(120)은 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다.On the other hand, the
본 중단 포크모듈(120)은, 도 5 내지 도 8에 자세히 도시된 바와 같이, 하단 포크모듈(130)에 지지되는 중단포크 프레임부(121)와, 중단포크 프레임부(121)에 회전 가능하게 결합되는 중단포크용 타이밍 풀리부(123)와, 중단포크용 타이밍 풀리부(123)에 연결되는 중단포크용 타이밍 벨트부(125)와, 중단포크용 타이밍 벨트부(125)에 결합되며 하단 포크모듈(130)에 결합되어 중단포크 프레임부(121)의 이동에 따라 중단포크용 타이밍 벨트부(125)를 회전시키는 타이밍벨트 회전용 클램핑부(127)와, 중단포크 프레임부(121)에 지지되고 상단 포크모듈(110)에 연결되며 상단 포크모듈(110)의 이동을 안내하는 상단포크 이동용 가이드부(129)를 포함한다. The
중단포크 프레임부(121)는 하단 포크모듈(130)에 지지된다. 본 실시예의 한 쌍의 중단포크 프레임부(121)는 카세트(CA)를 사이에 두고 상호 이격되어 배치된다. The middle
중단포크용 타이밍 풀리부(123)는 중단포크 프레임부(121)에 회전 가능하게 결합된다. 이러한 중단포크용 타이밍 풀리부(123)는 도 6에 도시된 바와 같이 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. 본 실시예의 중단포크용 타이밍 풀리부(123)의 외주면에는 중단포크용 타이밍 벨트부(125)의 내주면에 형성된 기어치에 치합되는 기어치가 형성된다.The timing
본 실시예에서 중단포크용 타이밍 풀리부(123)의 외주면에 형성된 기어치의 개수는 하단포크용 타이밍 풀리부(133)의 외주면에 형성된 기어치의 개수보다 크게 마련된다.In the present embodiment, the number of gear teeth formed on the outer peripheral surface of the timing
이와 같이 중단포크용 타이밍 풀리부(123)의 기어치의 개수가 하단포크용 타이밍 풀리부(133)의 기어치의 개수보다 많게 마련됨으로써, 상단 포크모듈(110)과 중단 포크모듈(120)의 이동과정에서 상단 포크모듈(110)이 중단 포크모듈(120)보다 더 빠른 속도로 이동할 수 있다.As described above, the number of gear teeth of the timing
중단포크용 타이밍 벨트부(125)는 중단포크용 타이밍 풀리부(123)에 연결된다. 본 실시예의 중단포크용 타이밍 벨트부(125)는 무한궤도를 이루는 형상으로 마련되며 중단포크용 타이밍 풀리부(123)에 감아걸려 회전된다.The
도 6 및 도 8에 도시된 바와 같이, 타이밍벨트 회전용 클램핑부(127)의 상단부 영역은 중단포크용 타이밍 벨트부(125)에 결합된다. 또한, 타이밍벨트 회전용 클램핑부(127)의 하단부 영역은 하단 포크모듈(130)의 하단포크 프레임부(131)에 결합된다. 6 and 8, the upper end region of the clamping
상술한 바와 같이 중단포크용 타이밍 벨트부(125)와 하단포크 프레임부(131)에 결합된 타이밍벨트 회전용 클램핑부(127)는, 중단포크 프레임부(121)의 이동과정에서 중단포크용 타이밍 벨트부(125)를 회전시킨다. As described above, the
상단포크 이동용 가이드부(129)는 중단포크 프레임부(121)에 지지되고 상단 포크모듈(110)에 연결된다. 이러한 상단포크 이동용 가이드부(129)는 상단 포크모듈(110)의 이동을 안내한다. The upper fork
본 실시예에 따른 상단포크 이동용 가이드부(129)는, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 중단포크 프레임부(121)의 상단부에 결합되는 상단포크 이동용 가이드레일부(129a)와, 상단포크 이동용 가이드레일부(129a)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며 상단 포크모듈(110)에 결합되는 상단포크 이동용 이동블록부(129b)를 포함한다. The
상단포크 이동용 가이드레일부(129a)는 중단포크 프레임부(121)의 상단부에 배치되어 중단포크 프레임부(121)의 길이 방향으로 길게 연장되어 마련된다. The
상단포크 이동용 이동블록부(129b)는 상단포크 이동용 가이드레일부(129a)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다. 이러한 상단포크 이동용 이동블록부(129b)는 상단 포크모듈(110)의 후술할 상단포크 프레임부(111)에 결합된다. The moving
한편, 상단 포크모듈(110)은 카세트(CA)의 상부벽부(CA1)를 지지한다. 이러한 상단 포크모듈(110)은 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치된다.On the other hand, the
본 실시예에 따른 상단 포크모듈(110)은, 도 5 내지 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 중단 포크모듈(120)에 지지되는 상단포크 프레임부(111)와, 중단포크용 타이밍 벨트부(125)에 결합되며 상단포크 프레임부(111)에 결합되어 중단포크용 타이밍 벨트부(125)의 회전에 따라 상단포크 프레임부(111)를 이동시키는 상단포크 이동용 클램핑부(113)와, 중단포크 프레임부(121)의 상단부에 결합되며 카세트(CA)의 상부벽부(CA1)가 접촉되는 안착 패드부(115)를 포함한다.As shown in detail in FIGS. 5 to 6 , the
상단포크 프레임부(111)는 중단 포크모듈(120)에 지지된다. 본 실시예의 한 쌍의 상단포크 프레임부(111)는 카세트(CA)를 사이에 두고 상호 이격되어 배치된다. The upper
상단포크 이동용 클램핑부(113)의 하단부 영역은 중단포크용 타이밍 벨트부(125)에 결합된다. 또한, 상단포크 이동용 클램핑부(113)의 상단부 영역은 상단포크 프레임부(111)에 결합된다. The lower end region of the clamping
상술한 바와 같이 중단포크용 타이밍 벨트부(125)와 상단포크 프레임부(111)에 결합된 상단포크 이동용 클램핑부(113)는, 중단포크용 타이밍 벨트부(125)의 회전에 따라 이동되어 상단포크 프레임부(111)를 이동시킨다. As described above, the upper fork
안착 패드부(115)는 상단포크 프레임부(111)의 상단부에 결합된다. 이러한 안착 패드부(115)의 상면에는 카세트(CA)의 상부벽부(CA1)의 하면이 접촉된다. 본 실시예에서 안착 패드부(115)는 다수개로 마련되어 상호 이격되어 배치된다. The
이와 같이 본 실시예에 따른 스토커 장치는, 상단포크 프레임부(111)의 상단부에 결합되어 카세트(CA)의 상부벽부(CA1)가 접촉되는 안착 패드부(115)를 구비함으로써, 카세트(CA)를 안정적으로 지지할 수 있다.As described above, the stocker device according to the present embodiment is coupled to the upper end of the upper
이하에서 본 실시예에 따른 스토커 장치의 동작을 도 1 내지 도 11을 참고하여 설명한다. Hereinafter, an operation of the stocker device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 11 .
먼저, 카세트(CA)를 선반(미도시)에 적재하는 설명한다. 카세트(CA)의 상부 영역에 연결되어 카세트(CA)를 지지하는 상부 지지형 포크유닛(100)이 선반(미도시)의 앞쪽에 위치된다.First, a description will be given of loading the cassette CA on a shelf (not shown). The upper support
이후, 구동 샤프트부(153)에 연결된 구동 모터부(155)가 동작한다. 구동 모터부(155)의 동작에 의해 구동 샤프트부(153)가 회전되고, 구동 샤프트부(153)의 회전에 의해 구동 타이밍 풀리부(151)가 회전되며, 구동 타이밍 풀리부(151)의 회전에 의해 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 구동 타이밍 풀리부(151)에 연결된 하단포크용 타이밍 벨트부(135)가 회전된다.Thereafter, the
하단포크용 타이밍 벨트부(135)의 회전에 의해 중단포크 이동용 클램핑부(137)가 이동되며, 중단포크 이동용 클램핑부(137)의 이동에 의해 중단포크 프레임부(121)가 이동된다.The clamping
이때, 중단포크 프레임부(121)의 이동에 의해 타이밍벨트 회전용 클램핑부(127)에 결합된 중단포크용 타이밍 벨트부(125)가 중단포크 프레임부(121)에 대해 상대회전된다.At this time, by the movement of the middle
중단포크용 타이밍 벨트부(125)의 회전에 의해 상단포크 이동용 클램핑부(113)가 이동되며, 상단포크 이동용 클램핑부(113)의 이동에 의해 상단포크 프레임부(111)가 이동된다. The clamping
이러한 상단포크 프레임부(111)의 이동에 의해 상단 포크모듈(110)에 지지된 카세트(CA)가 선반(미도시)으로 이동되어 선반(미도시)에 적재된다.The cassette CA supported by the
카세트(CA)를 선반(미도시)에서 반출하는 과정은 상술한 카세트(CA)를 선반(미도시)에 적재과정과 반대로 이루어지므로 자세한 설명은 생략한다.Since the process of unloading the cassette CA from the shelf (not shown) is opposite to the process of loading the cassette CA on the shelf (not shown), a detailed description thereof will be omitted.
이와 같이 본 실시예에 따른 스토커 장치는, 카세트(CA)의 상부 영역에 연결되어 카세트(CA)를 지지하는 상부 지지형 포크유닛(100)을 구비함으로써, 컴팩트(compact)한 구조를 가져 공간 활용도를 높일 수 있다.As described above, the stocker device according to the present embodiment is connected to the upper region of the cassette (CA) and provided with the upper support
이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.Although this embodiment has been described in detail with reference to the drawings above, the scope of the present embodiment is not limited to the drawings and descriptions described above.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As such, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, it should be said that such modifications or variations belong to the claims of the present invention.
100: 상부 지지형 포크유닛 110: 상단 포크모듈
111: 상단포크 프레임부 113: 상단포크 이동용 클램핑부
115: 안착 패드부 120: 중단 포크모듈
121: 중단포크 프레임부 123: 중단포크용 타이밍 풀리부
125: 중단포크용 타이밍 벨트부 127: 타이밍벨트 회전용 클램핑부
129: 상단포크 이동용 가이드부
129a: 상단포크 이동용 가이드레일부
129b: 상단포크 이동용 이동블록부 130: 하단 포크모듈
131: 하단포크 프레임부 133: 하단포크용 타이밍 풀리부
135: 하단포크용 타이밍 벨트부 137: 중단포크 이동용 클램핑부
139: 중단포크 이동용 가이드부
139a: 중단포크 이동용 가이드레일부
139b: 중단포크 이동용 이동블록부 140: 포크유닛 프레임부
150: 드라이빙모듈 151: 구동 타이밍 풀리부
153: 구동 샤프트부 155: 구동 모터부
CA: 카세트100: upper support type fork unit 110: upper fork module
111: upper fork frame portion 113: upper fork clamping portion for moving
115: seating pad part 120: middle fork module
121: middle fork frame part 123: timing pulley part for middle fork
125: timing belt part for middle fork 127: clamping part for timing belt rotation
129: guide portion for moving the upper fork
129a: guide rail for moving the upper fork
129b: moving block unit for moving the upper fork 130: lower fork module
131: lower fork frame portion 133: timing pulley portion for lower fork
135: timing belt portion for the lower fork 137: clamping portion for moving the middle fork
139: guide part for moving the middle fork
139a: guide rail part for moving the middle fork
139b: moving block unit for moving the middle fork 140: fork unit frame unit
150: driving module 151: driving timing pulley part
153: drive shaft unit 155: drive motor unit
CA: Cassette
Claims (15)
상기 스토커 본체에 지지되고, 상기 카세트를 상기 선반에 적재하거나 상기 선반으로부터 상기 카세트를 반출하기 위해 상기 카세트를 핸들링하되, 상기 카세트의 상부 영역에 연결되어 상기 카세트를 지지하는 상부 지지형 포크유닛을 포함하며,
상기 상부 지지형 포크유닛은,
상기 카세트의 상부벽부를 지지하는 상단 포크모듈;
상기 상단 포크모듈이 가로방향으로 상대이동 가능하게 연결되며, 상기 상단 포크모듈을 가로방향으로 이동시키는 중단 포크모듈;
상기 중단 포크모듈이 가로방향으로 상대이동 가능하게 연결되며, 상기 중단 포크모듈을 가로방향으로 이동시키는 하단 포크모듈;
상기 스토커 본체에 연결되며, 상기 하단 포크모듈을 지지하는 포크유닛 프레임부; 및
상기 포크유닛 프레임부에 지지되며, 상기 하단 포크모듈에 연결되어 상기 하단 포크모듈에 상기 중단 포크모듈을 이동시키는 구동력을 전달하는 드라이빙모듈을 포함하고,
상기 하단 포크모듈은,
상기 포크유닛 프레임부에 결합되는 하단포크 프레임부;
상기 하단포크 프레임부에 회전 가능하게 결합되는 하단포크용 타이밍 풀리부;
상기 하단포크용 타이밍 풀리부에 연결되는 하단포크용 타이밍 벨트부; 및
상기 하단포크용 타이밍 벨트부에 결합되며, 상기 중단 포크모듈에 결합되어 상기 하단포크용 타이밍 벨트부의 회전에 따라 상기 중단 포크모듈을 이동시키는 중단포크 이동용 클램핑부를 포함하는 스토커 장치.a stocker body that is movably installed between shelves for loading a cassette; and
An upper support type fork unit supported by the stocker body and handling the cassette to load the cassette on the shelf or take out the cassette from the shelf, which is connected to the upper region of the cassette to support the cassette and
The upper support type fork unit,
an upper fork module supporting the upper wall portion of the cassette;
a middle fork module to which the upper fork module is connected to be relatively movable in a horizontal direction, and for moving the upper fork module in a horizontal direction;
a lower fork module connected to the middle fork module to be relatively movable in the horizontal direction, and configured to move the middle fork module in the horizontal direction;
a fork unit frame part connected to the stocker body and supporting the lower fork module; and
and a driving module supported by the fork unit frame portion and connected to the lower fork module to transmit a driving force for moving the middle fork module to the lower fork module,
The lower fork module,
a lower fork frame part coupled to the fork unit frame part;
a timing pulley portion for a lower fork rotatably coupled to the lower fork frame portion;
a timing belt portion for a lower fork connected to the timing pulley portion for the lower fork; and
and a clamping part for moving the middle fork coupled to the timing belt part for the lower fork and coupled to the middle fork module to move the middle fork module according to the rotation of the timing belt part for the lower fork.
상기 하단 포크모듈은 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치되는 스토커 장치.According to claim 1,
The lower fork module is provided as a pair and is a stocker device spaced apart from each other.
상기 하단 포크모듈은,
상기 하단포크 프레임부에 지지되고 상기 중단 포크모듈에 연결되며, 상기 중단 포크모듈의 이동을 안내하는 중단포크 이동용 가이드부를 더 포함하는 스토커 장치.According to claim 1,
The lower fork module,
The stocker device supported by the lower fork frame part and connected to the middle fork module, further comprising a guide part for moving the middle fork for guiding the movement of the middle fork module.
상기 중단포크 이동용 가이드부는,
상기 하단포크 프레임부의 상단부에 결합되는 중단포크 이동용 가이드레일부; 및
상기 중단포크 이동용 가이드레일부에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 중단 포크모듈에 결합되는 중단포크 이동용 이동블록부를 포함하는 스토커 장치.6. The method of claim 5,
The guide part for moving the middle fork,
a guide rail for moving the middle fork coupled to the upper end of the lower fork frame; and
The stocker device including a moving block unit for moving the middle fork coupled to the middle fork module slidably connected to the guide rail for moving the middle fork.
상기 드라이빙모듈은,
상기 하단포크용 타이밍 벨트부에 연결되며, 회전에 의해 상기 하단포크용 타이밍 벨트부를 회전시키는 구동 타이밍 풀리부;
상기 포크유닛 프레임부에 회전 가능하게 연결되며, 상기 구동 타이밍 풀리부에 결합되어 상기 구동 타이밍 풀리부를 회전시키는 구동 샤프트부; 및
상기 구동 샤프트부를 연결되며, 상기 구동 샤프트부를 회전시키는 구동 모터부를 포함하는 스토커 장치.According to claim 1,
The driving module is
a driving timing pulley part connected to the timing belt part for the lower fork and rotating the timing belt part for the lower fork by rotation;
a driving shaft part rotatably connected to the fork unit frame part and coupled to the driving timing pulley part to rotate the driving timing pulley part; and
A stocker device connected to the drive shaft and including a drive motor configured to rotate the drive shaft.
상기 중단 포크모듈은 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치되는 스토커 장치.According to claim 1,
The middle fork module is provided in a pair and is a stocker device spaced apart from each other.
상기 중단 포크모듈은,
상기 하단 포크모듈에 지지되는 중단포크 프레임부;
상기 중단포크 프레임부에 회전 가능하게 결합되는 중단포크용 타이밍 풀리부;
상기 중단포크용 타이밍 풀리부에 연결되는 중단포크용 타이밍 벨트부; 및
상기 중단포크용 타이밍 벨트부에 결합되며, 상기 하단 포크모듈에 결합되어 상기 중단포크 프레임부의 이동에 따라 상기 중단포크용 타이밍 벨트부를 회전시키는 타이밍벨트 회전용 클램핑부를 포함하는 스토커 장치.According to claim 1,
The stop fork module,
a middle fork frame part supported by the lower fork module;
a timing pulley part for the middle fork rotatably coupled to the middle fork frame part;
a timing belt part for the middle fork connected to the timing pulley part for the middle fork; and
and a clamping part for rotating the timing belt coupled to the timing belt part for the middle fork and coupled to the lower fork module to rotate the timing belt part for the middle fork according to the movement of the middle fork frame part.
상기 중단 포크모듈은,
상기 중단포크 프레임부에 지지되고 상기 상단 포크모듈에 연결되며, 상기 상단 포크모듈의 이동을 안내하는 상단포크 이동용 가이드부를 더 포함하는 스토커 장치.10. The method of claim 9,
The stop fork module,
The stocker device supported by the middle fork frame part and connected to the upper fork module, and further comprising a guide part for moving the upper fork for guiding the movement of the upper fork module.
상기 상단포크 이동용 가이드부는,
상기 중단포크 프레임부의 상단부에 결합되는 상단포크 이동용 가이드레일부; 및
상기 상단포크 이동용 가이드레일부에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상기 상단 포크모듈에 결합되는 상단포크 이동용 이동블록부를 포함하는 스토커 장치.11. The method of claim 10,
The upper fork moving guide part,
a guide rail for moving an upper fork coupled to an upper end of the middle fork frame; and
The stocker device including a moving block unit for moving the upper fork coupled to the upper fork module slidably connected to the guide rail for moving the upper fork.
상기 상단 포크모듈은 한 쌍으로 마련되어 상호 이격되어 배치되는 스토커 장치.According to claim 1,
The upper fork module is provided as a pair and is a stocker device spaced apart from each other.
상기 상단 포크모듈은,
상기 중단 포크모듈에 지지되는 상단포크 프레임부; 및
상기 중단포크용 타이밍 벨트부에 결합되며, 상기 상단포크 프레임부에 결합되어 상기 중단포크용 타이밍 벨트부의 회전에 따라 상기 상단포크 프레임부를 이동시키는 상단포크 이동용 클램핑부를 포함하는 스토커 장치.10. The method of claim 9,
The upper fork module,
an upper fork frame part supported by the middle fork module; and
and a clamping part for moving the upper fork coupled to the timing belt part for the middle fork and coupled to the upper fork frame part to move the upper fork frame part according to the rotation of the timing belt part for the middle fork.
상기 상단 포크모듈은,
상기 상단포크 프레임부의 상단부에 결합되며, 상기 카세트의 상부벽부가 접촉되는 안착 패드부를 더 포함하는 스토커 장치.14. The method of claim 13,
The upper fork module,
The stocker device further comprising a seating pad portion coupled to the upper end of the upper fork frame portion, the upper wall portion of the cassette in contact.
상기 안착 패드부는 다수개로 마련되어 상호 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 스토커 장치.15. The method of claim 14,
The stocker device, characterized in that provided with a plurality of the seating pad parts are spaced apart from each other.
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| KR1020190174235A KR102317422B1 (en) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | A stocker device |
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Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011136790A (en) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Murata Machinery Ltd | Transfer device |
| KR101344615B1 (en) * | 2006-06-13 | 2013-12-26 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | Slide type fork device |
| KR101511963B1 (en) * | 2013-09-16 | 2015-04-14 | 주식회사 에스에프에이 | Cassette supplying system |
Family Cites Families (1)
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|---|---|---|---|---|
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101344615B1 (en) * | 2006-06-13 | 2013-12-26 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | Slide type fork device |
| JP2011136790A (en) * | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Murata Machinery Ltd | Transfer device |
| KR101511963B1 (en) * | 2013-09-16 | 2015-04-14 | 주식회사 에스에프에이 | Cassette supplying system |
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