KR102305322B1 - 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진공 흡입압을 이용하는 로봇 또는 설비의 진공 흡착 장치에서 발생되는 오류를 신속하게 검출하거나 발생될 수 있는 오류를 예측하고, 오류 발생 및 예측 결과를 관리자에게 알림하여 이에 대한 대응 및 사후 관리를 효율적으로 행할 수 있도록 하는 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 진공 상태를 이용하여 물체를 흡착하는 진공 흡착 장치의 동작 오류를 검출하는 방법으로서, 진공 흡착 장치에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 하나 이상의 진공흡착 작동인자를 계측하는 진공흡착 작동인자 계측 단계; 상기 계측된 하나 이상의 진공흡착 작동인자에 기반하여 오류 여부를 판단하는 오류 판단 단계; 및 상기 오류 판단 단계에서 실행된 판단 결과를 관리자에게 유무선으로 전송하는 정보 전송 단계;를 포함하는 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법이 제공된다.
Description
본 발명은 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 진공 흡입압을 이용하는 로봇 또는 설비의 진공 흡착 장치에서 발생되는 오류를 신속하게 검출하거나 발생될 수 있는 오류를 예측하고, 오류 발생 및 예측 결과를 관리자에게 알림하여 이에 대한 대응 및 사후 관리를 효율적으로 행할 수 있도록 하는 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템에 관한 것이다.
어떠한 물체를 척킹하여 원하는 위치에 안착시키기 위한 장치는 여러 방면에서 여러가지 형태로 사용되고 있다. 이러한 장치의 일 실시 예로는 진공 상태를 이용하여 물체를 흡착하고 이를 원하는 위치에 안착시키는 진공 흡착 장치가 제안되어 있다.
예를 들면, 반도체 분야에서 TFT-LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판디스플레이 및 쏠라셀 등은 세정, 증착, 에칭, 스트립 등 반복적이고 복잡한 제조공정을 수없이 거쳐서 생산된다. 그리고 평판디스플레이 모재인 글라스기판은 제조 공정라인에서 이송, 반송, 회전, 경사 등 운송공정을 순차적으로 거치게 된다.
이를 위해서, 글라스기판을 운반하거나 반송, 회전 등을 하기 위해서는 글라스 기판을 진공흡착장치로 흡착한 한 후 원하는 방향, 원하는 위치로 이송하게 된다. 즉, 글라스 기판용 진공흡장치를 이용하여 글라스기판을 원하는 위치, 장소, 방향으로 움직이게 되는 것이다.
또한, 전자부품과 같은 작은 부품을 운반할 때에는, 진공을 이용하여 흡착 노즐에 부품을 흡착하는 진공흡착장치가 사용된다.
상기와 같은 산업 분야의 진공 흡착 장치는, 통상적으로 테입 피더(tape feeder)와 같은 부품 공급장치로부터 원하는 부품이 흡착되었는지 아닌지, 또는 흡착된 부품이 인쇄회로기판상의 부품장착위치로 운반되는 도중에 떨어지지 않았는지를 검사하여, 부품의 흡착 여부를 결정한다. 부품이 흡착되지 않았다면, 이에 대처하는 공정, 즉 동일한 부품의 재흡착이나 경고와 같은 오류 공정이 즉시 수행되어야 한다.
구체적으로, 흡착 장치가 로봇팔에 구성되어 흡착 대상물을 진공 흡착시키는 동작을 설명한다. 도 1은 일반적인 진공 흡착 장치에서 흡착 대상물(물건)을 잡고 내려놓는 동작에서 진공도의 정상 상태를 나타내는 그래프이고, 도 2는 진공도와 시간 간의 관계에서 최대 진공도와 흡착력을 나타내는 그래프이다.
일반적으로 진공 흡착 장치에서 진공 흡착 동작을 보면, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 압축공기가 진공발생기로 들어오면, 블로오프 밸브(Blow-off valve)는 닫히고 셕션 밸브(Suction valve)는 열려서 압축공기가 벤츄리 노즐(Venturi-nozzle)을 통과하는 동안 음압이 발생하고, 공압 유로를 통하여 진공 패드로 흡착력이 발생하게 됩니다. 이후 벤츄리 노즐을 통과한 압축공기는 소음기를 통해 외부로 나가게 된다.
이때, 동작 컨트롤러는 로봇팔로 물건을 집어드는 명령, 잡은 물건을 회전시키는 명령, 또한 물건을 내려놓을 수 있는 압력(파기 도달)에 도달하도록 셕선 밸브는 닫고 블로오프를 열어 진공패드에 형성된 흡착력을 제거하는 명령 등을 내리게 된다.
즉, 동작 컨트롤러는 로봇팔의 움직임 및 진공발생기 내의 셕션 밸브 및 블로오프 밸브의 개폐를 제어하게 된다.
그러나 종래에는 유로 또는 진공 패드의 노후화로 인하여 도 2에 나타낸 바와 같이 물건을 집을 수 있는 압력(진공도달) 상태에 도달하는 시간이 늦어지거나, 최대 진공도 하락으로 흡착력이 떨어지는 문제가 발생하게 된다.
또한, 로봇팔이 물건을 집고 회전하는 동안에 횡압력(G 발생)이 발생하게 되고 이로 인해 진공도가 떨어지거나 진공도의 리플(떨림)이 발생하게 되어 물건이 진공 패드로부터 떨어지는 문제점이 있다.
더욱이, 종래에는 진공발생기 등을 포함하는 로봇암 이송 장치가 수 백개 구성되는 경우, 진공도 오류에 대한 대처 및 어떤 구성부에서 오류가 발생하였는지를 신속하게 대처하지 못하는 문제점이 있었다.
따라서, 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 진공 흡입압을 이용하는 로봇 또는 설비의 진공 흡착 장치에서 발생되는 오류를 신속하게 검출하거나 발생될 수 있는 오류를 예측하고, 오류 발생 및 예측 결과를 관리자에게 알림하여 이에 대한 대응 및 사후 관리를 효율적으로 행할 수 있도록 하는 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급한 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 본 발명의 목적들 및 다른 특징들을 달성하기 위한 본 발명의 일 관점에 따르면, 진공 상태를 이용하여 물체를 흡착하는 진공 흡착 장치의 동작 오류를 검출하는 방법으로서, 진공 흡착 장치에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 하나 이상의 진공흡착 작동인자를 계측하는 진공흡착 작동인자 계측 단계; 상기 계측된 하나 이상의 진공흡착 작동인자에 기반하여 오류 여부를 판단하는 오류 판단 단계; 및 상기 오류 판단 단계에서 실행된 판단 결과를 관리자에게 유무선으로 전송하는 정보 전송 단계;를 포함하는 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법이 제공된다.
본 발명의 일 관점에 있어서, 상기 진공흡착 작동인자는 압축 공기에 대한 압력, 진공압에 대한 진공도, 및 진공흡착을 위해 동작하는 밸브의 개폐 횟수를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 관점에 있어서, 상기 오류 판단 단계는 압축 공기의 검출 압력값과 미리 설정된 기준 압력값을 비교하여 검출 압력값이 기준 압력값에 만족하지 못하는 경우, 검출 진공도와 미리 설정된 기준 진공도를 비교하여 검출 진공도가 기준 진공도에 만족하지 못하는 경우, 및 계측된 작동 밸브의 개폐횟수가 미리 설정된 작동 밸브의 개폐횟수에 만족하지 못하는 경우, 오류로 판단하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 관점에 있어서, 상기 오류 판단 단계는 상기 진공흡착 작동인자 계측 단계에서 계측된 하나 이상의 진공흡착 작동인자에 대한 정보를 저장하고 분석하여 오류 여부를 예측하는 것을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따르면, 진공 상태를 이용하여 물체를 흡착하는 진공 흡착 장치의 동작 오류를 검출하는 시스템으로서, 유입되는 압축 공기를 개폐 연동 동작으로 진공압을 발생시키도록 구성되는 셕션 밸브와 블로우오프 밸브를 포함하는 진공압 발생 장치부; 상기 진공압 발생 장치부에서 발생된 진공압을 진공 유로를 통해 제공받아 진공 유로의 단부에 구성되는 진공 패드로 흡착 대상물을 진공 흡착시키도록 구성되는 진공 흡착 장치부; 및 상기 진공압 발생 장치부 및 진공 흡착 장치부에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 하나 이상의 진공흡착 작동인자를 계측하고, 계측된 결과에 기반하여 오류를 판단하여 외부의 관리자에게 오류 정보를 전송하도록 구성되는 오류 검출 컨트롤부;를 포함하는 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템이 제공된다.
본 발명의 다른 관점에 있어서, 상기 오류 검출 컨트롤부는 상기 진공압 발생 장치부 및 진공 흡착 장치부에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 하나 이상의 진공흡착 작동인자를 계측하는 진공흡착 작동인자 계측부; 상기 진공흡착 작동인자 계측부에서 계측된 하나 이상의 진공흡착 작동인자에 기반하여 오류 여부를 판단하는 오류 판단부; 및 상기 오류 판단부의 판단 결과를 관리자에게 유무선으로 전송하는 정보 전송부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 있어서, 상기 진공흡착 작동인자 계측부는, 상기 진공압 발생 장치부에 구성되는 압력 센서를 통해 압축 공기의 압력을 계측하고, 상기 진공압 발생 장치부에 구성되는 압력 센서를 통해 진공도를 계측하며, 상기 진공압 발생 장치부 및 진공흡착 장치부 중 적어도 하나에 구성되어 진공 흡착을 실행하도록 개폐되는 작동 밸브의 개폐 횟수를 계측하도록 이루어지며, 상기 오류 판단부는, 검출 압력값과 미리 설정된 기준 압력값을 비교하여 검출 압력값이 기준 압력값에 만족하지 못하는 경우, 검출 진공도와 미리 설정된 기준 진공도를 비교하여 검출 진공도가 기준 진공도에 만족하지 못하는 경우, 및 작동 밸브의 개폐횟수가 미리 설정된 작동 밸브의 개폐횟수에 만족하지 못하는 경우, 오류로 판단할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 있어서, 상기 오류 판단부는 상기 진공흡착 작동인자 계측부에서 계측된 하나 이상의 진공흡착 작동인자에 대한 정보를 저장하고 분석하여 오류 여부를 예측하는 오류 예측부를 더 포함하며, 상기 오류 예측부는 검출 압력값이 오류예측 압력값에 도달하는 경우, 검출 진공도가 오류예측 진공도에 도달하는 경우, 및 밸브의 검출 개폐횟수가 오류예측 개폐횟수에 도달하는 경우를 예측 판단하도록 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템에 의하면, 진공 흡착 장치에서 발생되는 진공도 및 구성부에 대한 오류를 신속하게 검출하거나, 발생될 수 있는 진공도 오류와 구성부 오류를 예측하고, 오류 발생 및 예측 결과를 관리자에게 알림하여 이에 대한 대응 및 사후 관리를 효율적으로 행할 수 있도록 하여 진공 흡착 장치의 관리 운용 및 유지 보수를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 진공 흡착 장치의 진공 흡착 장치부에서 흡착 대상물에 대한 리플(떨림)을 방지하여 흡착 대상물의 이탈을 방지하여 흡착 대상물의 파손을 방지하며, 흡착 대상물의 탈락으로 인한 생산 시설의 중단을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
도 1은 일반적인 진공 흡착 장치에서 흡착 대상물(물건)을 잡고 내려놓는 동작에서 진공도의 정상 상태를 나타내는 그래프이다.
도 2는 진공도와 시간 간의 관계에서 최대 진공도와 흡착력을 나타내는 그래프이다.
도 3은 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 과정을 나타내는 플로차트이다.
도 4는 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템을 블록화하여 개략적으로 나타내는 블록도이다.
도 2는 진공도와 시간 간의 관계에서 최대 진공도와 흡착력을 나타내는 그래프이다.
도 3은 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 과정을 나타내는 플로차트이다.
도 4는 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템을 블록화하여 개략적으로 나타내는 블록도이다.
본 발명의 추가적인 목적들, 특징들 및 장점들은 다음의 상세한 설명 및 첨부도면으로부터 보다 명료하게 이해될 수 있다.
본 발명의 상세한 설명에 앞서, 본 발명은 다양한 변경을 도모할 수 있고, 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 아래에서 설명되고 도면에 도시된 예시들은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도는 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 명세서에 기재된 "...부", "...유닛", "...모듈" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
또한, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 도면 부호에 관계없이 동일한 구성 요소는 동일한 참조부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 본원 명세서 전체에서, 어떤 단계가 다른 단계와 "상에"또는 "전에" 위치하고 있다고 할 때, 이는 어떤 단계가 다른 단계와 직접적 시계열적인 관계에 있는 경우뿐만 아니라, 각 단계 후의 혼합하는 단계와 같이 두 단계의 순서에 시계열적 순서가 바뀔 수 있는 간접적 시계열적 관계에 있는 경우와 동일한 권리를 포함한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 본 발명에 따른 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법에 대하여 도 3을 참조하여 상세히 설명한다. 도 3은 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 과정을 나타내는 플로차트이다.
본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법은, 진공 상태를 이용하여 물체를 흡착하는 진공 흡착 장치의 동작 오류를 검출하는 방법으로서, 도 3에 나타낸 바와 같이, 진공압 발생 장치부 및 진공 흡착 장치부를 포함하는 진공 흡착 장치에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 하나 이상의 진공흡착 작동인자를 계측하는 진공흡착 작동인자 계측 단계(S100); 상기 진공흡착 작동인자 계측 단계(S100)에서 계측된 하나 이상의 진공흡착 작동인자에 기반하여 오류 여부를 판단하는 오류 판단 단계(S200); 및 상기 오류 판단 단계(S200)에서 실행된 판단 결과를 관리자에게 유무선으로 전송하는 정보 전송 단계(S300);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 진공흡착 작동인자 계측 단계(S100)에서 진공흡착 작동인자는 압축 공기에 대한 압력, 진공압에 대한 진공도, 진공흡착 동작에서 각 밸브(셕션 밸브(suction valve), 블로오프 밸브(blow-off valve) 등)의 개폐 횟수 등을 포함할 수 있다.
다시 말해서, 상기 진공흡착 작동인자 계측 단계(S100)는 진공압 발생 장치부에 구성되는 압력 센서(제1 압력 센서)를 통해 압축 공기의 압력을 계측하고, 진공흡착 장치부에 구성되는 압력 센서(진공 센서 또는 제2 압력 센서)를 통해 진공도를 계측하며, 진공압 발생 장치부 및 진공흡착 장치부에 구성되어 진공 흡착을 실행하도록 개폐되는 각종 밸브(셕션 밸브(suction valve), 블로오프 밸브(blow-off valve) 등)의 개폐 횟수를 계측하는 것을 포함한다.
상기 압력 센서를 통한 압축 공기의 압력 계측은, 압축 공기가 유입되고 있는지 유무 또는 적정 압력의 압축 공기가 유입되고 있는지 유무를 계측하게 된다. 이는 후술하는 오류 판단 단계(S200)에서 압축 공기가 유입되지 않거나 적정 압축 공기가 유입되지 않아 진공흡착을 위한 음압이 발생시키지 않은 것으로 판단하게 된다.
또한, 상기 압력 센서(진공 센서 또는 제2 압력 센서)를 통한 진공도의 계측은, 적정 압력의 압축 공기가 유입되더라도 진공흡착 장치부의 유로나 진공 패드의 노후화 또는 진공 패드의 불완전 접촉으로 인하여 진공 흡착이 이루어지는 않는 오류, 진공흡착 장치부에서의 오류(유로나 진공 패드의 고장 또는 손상 등)를 판단할 수 있도록 하기 위한 것이다.
또한, 상기 밸브의 개폐횟수의 계측은, 진공압 발생 장치부에서 압력의 압축 공기의 공급, 및 진공흡착 장치부에 복수의 진공 패드에서 진공압 형성 등을 위하여 원활한 작동이 이루어지는지 여부를 계측하며, 이를 기반하여 후술하는 오류 판단 단계(S200)에서 밸브의 오류 여부를 판단할 수 있게 된다.
다음으로, 상기 오류 판단 단계(S200)는, 상기 진공흡착 작동인자 계측 단계(S100)에서 계측된 압축 공기의 검출 압력값과 미리 설정된 기준 압력값을 비교하여 검출 압력값이 기준 압력값에 만족하지 못하는 경우, 음압이 발생되지 않는 오류로 판단하고, 이러한 오류 판단에 대한 해당 오류 코드와 함께 상기 정보 전송 단계(S300)를 통해 관리자에게 통보하게 된다.
또한, 상기 오류 판단 단계(S200)는, 상기 진공흡착 작동인자 계측 단계(S100)에서 계측된 진공 정도(진공 레벨)의 검출 진공도와 미리 설정된 기준 진공도를 비교하여 검출 진공도가 기준 진공도에 만족하지 못하는 경우, 진공흡착 장치부의 유로나 진공 패드의 노후화 또는 진공 패드의 불완전 접촉으로 인하여 진공 흡착이 이루어지는 않는 오류, 즉 진공흡착 장치부에서의 오류(유로나 진공 패드의 고장 또는 손상 등)로 판단하며, 이러한 오류 판단에 대한 해당 오류 코드와 함께 상기 정보 전송 단계(S300)를 통해 관리자에게 통보하게 된다.
또한, 상기 오류 판단 단계(S200)는, 상기 진공흡착 작동인자 계측 단계(S100)에서 계측된 작동 밸브의 개폐횟수(검출 개폐횟수)가 미리 설정된 작동 밸브의 개폐횟수(기준 개폐횟수)에 만족하지 못하는 경우, 즉 검출 개폐횟수가 기준 개폐횟수에 못 미치거나 초과하는 경우, 또는 각 밸브 간의 연동 개폐횟수가 기준 개폐횟수에 만족하지 못하는 경우, 작동 밸브의 오류로 판단하여 해당 오류 코드와 함께 상기 정보 전송 단계(S300)를 통해 관리자에게 통보하게 된다.
계속해서, 상기 정보 전송 단계(S300)는 유무선 통신망으로 연결되는 관리자 관리서버 또는 관리자 단말장치로 오류 코드 정보를 송신하게 된다. 이에 따라 관리자는 진공 흡착 장치의 오류 발생뿐만 아니라, 오류 코드 정보가 제공됨으로써 어느 구성부 또는 작동부에서 오류가 발생하였는지 쉽게 확인하여 이에 대한 신속한 대처가 가능하게 이루어진다.
한편, 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법에서 상기 오류 판단 단계(S200)는 진공흡착 작동인자 계측 단계(S100)에서 계측된 하나 이상의 진공흡착 작동인자에 대한 정보(데이터)를 저장하고 분석하여 오류 여부를 예측(오류 예측 단계)하며, 예측된 결과를 상기 정보 전송 단계(S300)를 통해 관리자에게 전송하도록 하는 것을 더 포함할 수 있다.
상기 오류 판단 단계(S200)에서 오류 예측 단계는 예를 들면, 검출 압력값이 오류예측 압력값에 도달하는 경우, 검출 진공도가 오류예측 진공도에 도달하는 경우, 및 밸브의 검출 개폐횟수가 오류예측 개폐횟수에 도달하는 경우, 이를 관리자에게 미리 통보하여 오류로 인한 발생 하자가 발생하기 이전에 미리 대처할 수 있도록 할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템에 대하여 도 4를 참조하여 상세히 설명한다. 도 4는 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템을 블록화하여 개략적으로 나타내는 블록도이다.
본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템은, 진공 상태를 이용하여 물체를 흡착하는 진공 흡착 장치의 동작 오류를 검출하는 시스템으로서, 도 4에 나타낸 바와 같이, 유입되는 압축 공기를 셕션 밸브(110)와 블로우오프 밸브(120)의 연동 동작으로 음압을 발생시켜 진공압을 발생시키도록 구성되는 진공압 발생 장치부(100); 상기 진공압 발생 장치부(100)에서 발생된 진공압을 진공 유로(210)를 통해 제공받아 진공 유로(210)의 단부에 구성되는 진공 패드(220)로 흡착 대상물을 진공 흡착시키도록 구성되는 진공 흡착 장치부(200); 및 상기 진공압 발생 장치부(100) 및 진공 흡착 장치부(200)에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 하나 이상의 진공흡착 작동인자를 계측하고, 계측된 결과에 기반하여 오류를 판단하여 외부의 관리자에게 오류 정보를 전송하도록 구성되는 오류 검출 컨트롤부(300);를 포함하여 구성된다.
상기 진공압 발생 장치부(100)와 진공 흡착 장치부(200)는 진공 흡착 장치를 구성하는 공지의 기본 구성을 채용할 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기 오류 검출 컨트롤부(300)는, 상기 진공압 발생 장치부(100) 및 진공 흡착 장치부(200)에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 하나 이상의 진공흡착 작동인자를 계측하는 진공흡착 작동인자 계측부(310)와, 상기 진공흡착 작동인자 계측부(310)에서 계측된 하나 이상의 진공흡착 작동인자에 기반하여 오류 여부를 판단하는 오류 판단부(320), 및 상기 오류 판단부(320)에서 실행된 판단 결과를 관리자에게 유무선으로 전송하는 정보 전송부(330)를 포함하여 구성된다.
구체적으로, 상기 진공흡착 작동인자 계측부(310)는 상기 진공압 발생 장치부(100)에서의 압축 공기에 대한 압력, 상기 진공압 발생 장치부(100)의 각 밸브(셕션 밸브(110), 블로오프 밸브(120))개폐 횟수, 및 상기 진공 흡착 장치부(200)에서의 진공압에 대한 진공도 등을 계측하도록 이루어질 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 진공흡착 작동인자 계측부(310)는 진공압 발생 장치부(100)에 구성되는 압력 센서(제1 압력 센서)를 통해 압축 공기의 압력을 계측하고, 상기 진공압 발생 장치부(100)에 구성되는 압력 센서(진공 센서 또는 제2 압력 센서)를 통해 진공도를 계측하며, 상기 진공압 발생 장치부(100) 및/또는 진공흡착 장치부(200)에 구성되어 진공 흡착을 실행하도록 개폐되는 각종 밸브(셕션 밸브(suction valve), 블로오프 밸브(blow-off valve) 등)의 개폐 횟수를 계측하도록 이루어진다.
상기 진공흡착 작동인자 계측부(310)에서 압력 센서를 통한 압축 공기의 압력 계측은, 압축 공기가 유입되고 있는지 유무 또는 적정 압력의 압축 공기가 유입되고 있는지 유무를 계측하게 된다.
이에 따라 상기 오류 판단부(320)에서는 압축 공기가 유입되지 않거나 적정 압축 공기가 유입되지 않아 진공흡착을 위한 음압이 발생시키지 않은 것으로 판단하게 된다.
또한, 상기 진공흡착 작동인자 계측부(310)는 압력 센서(진공 센서 또는 제2 압력 센서)를 통한 진공도를 계측하며, 이에 따라 상기 오류 판단부(320)는 적정 압력의 압축 공기가 유입되더라도 진공흡착 장치부(200)의 진공 유로(210)나 진공 패드(220)의 노후화 또는 진공 패드(220)의 불완전 접촉으로 인하여 진공 흡착이 이루어지는 않는 오류, 즉 진공흡착 장치부(200)에서의 오류(유로나 진공 패드의 고장 또는 손상 등)를 판단하게 된다.
또한, 상기 진공흡착 작동인자 계측부(310)는 밸브의 개폐횟수를 계측하게 되며, 이는 진공압 발생 장치부(100)에서의 압축 공기의 공급, 및 진공흡착 장치부(200)에 복수의 진공 패드(220)에서 진공압 형성 등을 위하여 원활한 작동이 이루어지는지 여부를 계측하며, 이를 기반하여 상기 오류 판단부(320)에서는 밸브의 오류 여부를 판단하게 된다.
다음으로, 상기 오류 판단부(320)는, 상기 진공흡착 작동인자 계측부(310)에서 계측된 압축 공기의 검출 압력값과 미리 설정된 기준 압력값을 비교하여 검출 압력값이 기준 압력값에 만족하지 못하는 경우, 음압이 발생되지 않는 오류로 판단하고, 이러한 오류 판단에 대한 해당 오류 코드와 함께 상기 정보 전송부(330)를 통해 관리자에게 통보하게 된다.
또한, 상기 오류 판단부(320)는, 상기 진공흡착 작동인자 계측부(310)에서 계측된 진공 정도(진공 레벨)의 검출 진공도와 미리 설정된 기준 진공도를 비교하여 검출 진공도가 기준 진공도에 만족하지 못하는 경우, 진공흡착 장치부(200)의 진공 유로(210)나 진공 패드(220)의 노후화 또는 진공 패드의 불완전 접촉으로 인하여 진공 흡착이 이루어지는 않는 오류, 즉 진공흡착 장치부(200)에서의 오류(진공 유로(210)나 진공 패드(220)의 고장 또는 손상 등)로 판단하며, 이러한 오류 판단에 대한 해당 오류 코드와 함께 상기 정보 전송부(330)를 통해 관리자에게 통보하게 된다.
또한, 상기 오류 판단부(320)는, 상기 진공흡착 작동인자 계측부(31)에서 계측된 작동 밸브의 개폐횟수(검출 개폐횟수)가 미리 설정된 작동 밸브의 개폐횟수(기준 개폐횟수)에 만족하지 못하는 경우, 즉 검출 개폐횟수가 기준 개폐횟수에 못 미치거나 초과하는 경우, 또는 각 밸브 간의 연동 개폐횟수가 기준 개폐횟수에 만족하지 못하는 경우, 작동 밸브(110, 120)의 오류로 판단하여 해당 오류 코드와 함께 상기 정보 전송부(330)를 통해 관리자에게 통보하게 된다.
계속해서, 상기 정보 전송부(330)는 유무선 통신망으로 연결되는 관리자 관리서버 또는 관리자 단말장치로 오류 코드 정보를 송신하게 된다. 이에 따라 관리자는 진공 흡착 장치의 오류 발생뿐만 아니라, 오류 코드 정보가 제공됨으로써 어느 구성부 또는 작동부에서 오류가 발생하였는지 쉽게 확인하여 이에 대한 신속한 대처가 가능하게 이루어진다.
한편, 본 발명에 따른 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템에서 상기 오류 판단부(320)는 진공흡착 작동인자 계측부(310)에서 계측된 하나 이상의 진공흡착 작동인자에 대한 정보(데이터)를 저장하고 분석하여 오류 여부를 예측하는 오류 예측부(340)를 더 포함하며, 상기 오류 예측부(340)는 예측된 결과를 상기 정보 전송부(330)를 통해 관리자에게 전송하게 된다.
상기 오류 예측부(340)는 예를 들면, 검출 압력값이 오류예측 압력값에 도달하는 경우, 검출 진공도가 오류예측 진공도에 도달하는 경우, 및 밸브의 검출 개폐횟수가 오류예측 개폐횟수에 도달하는 경우, 이를 관리자에게 미리 통보하여 오류로 인한 발생 하자가 발생하기 이전에 미리 대처할 수 있도록 할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같은 진공 흡착 장치의 오류 검출 방법 및 진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템에 따르면, 진공 흡착 장치에서 발생되는 진공도 및 구성부에 대한 오류를 신속하게 검출하거나, 발생될 수 있는 진공도 오류와 구성부 오류를 예측하고, 오류 발생 및 예측 결과를 관리자에게 알림하여 이에 대한 대응 및 사후 관리를 효율적으로 행할 수 있도록 하여 진공 흡착 장치의 관리 운용 및 유지 보수를 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 또한, 본 발명은 진공 흡착 장치의 진공 흡착 장치부에서 흡착 대상물의 리플(떨림)을 방지하여 흡착 대상물의 이탈을 방지하여 흡착 대상물의 파손을 방지하며, 흡착 대상물의 탈락으로 인한 생산 시설의 중단을 방지할 수 있는 이점이 있다.
상기한 바와 같은 실시 예들은 비록 한정된 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기를 기초로 다양한 기술적 수정 및 변형을 적용할 수 있다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.
본 명세서에서 설명되는 실시 예와 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 예시적으로 설명하는 것에 불과하다. 따라서, 본 명세서에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이므로, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아님은 자명하다. 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
S100: 진공흡착 작동인자 계측 단계
S200: 오류 판단 단계
S300: 정보 전송 단계
100: 진공압 발생 장치부
110: 셕션 밸브
120: 블로우오프 밸브
200: 진공 흡착 장치부
210: 진공 유로
220: 진공 패드
300: 오류 검출 컨트롤부
310: 진공흡착 작동인자 계측부
320: 오류 판단부
330: 정보 전송부
340: 오류 예측부
S200: 오류 판단 단계
S300: 정보 전송 단계
100: 진공압 발생 장치부
110: 셕션 밸브
120: 블로우오프 밸브
200: 진공 흡착 장치부
210: 진공 유로
220: 진공 패드
300: 오류 검출 컨트롤부
310: 진공흡착 작동인자 계측부
320: 오류 판단부
330: 정보 전송부
340: 오류 예측부
Claims (8)
- 진공 상태를 이용하여 물체를 흡착하는 진공 흡착 장치의 동작 오류를 검출하는 방법으로서,
진공 흡착 장치에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 진공흡착 작동인자를 계측하는 진공흡착 작동인자 계측 단계;
상기 계측된 진공흡착 작동인자에 기반하여 오류 여부를 판단하는 오류 판단 단계; 및
상기 오류 판단 단계에서 실행된 판단 결과를 관리자에게 유무선으로 전송하는 정보 전송 단계;를 포함하고,
상기 진공흡착 작동인자는 진공흡착을 위해 동작하는 밸브의 개폐 횟수를 포함하고,
상기 오류 판단 단계는, 계측된 작동 밸브의 개폐횟수가 미리 설정된 작동 밸브의 개폐횟수에 만족하지 못하는 경우에 오류로 판단하며.
상기 오류 판단 단계는 상기 진공흡착 작동인자 계측 단계에서 계측된 진공흡착 작동인자에 대한 정보를 저장하고 분석하여 오류 여부를 예측하는 것을 더 포함하는
진공 흡착 장치의 오류 검출 방법.
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 진공 상태를 이용하여 물체를 흡착하는 진공 흡착 장치의 동작 오류를 검출하는 시스템으로서,
유입되는 압축 공기를 개폐 연동 동작으로 진공압을 발생시키도록 구성되는 셕션 밸브와 블로우오프 밸브를 포함하는 진공압 발생 장치부;
상기 진공압 발생 장치부에서 발생된 진공압을 진공 유로를 통해 제공받아 진공 유로의 단부에 구성되는 진공 패드로 흡착 대상물을 진공 흡착시키도록 구성되는 진공 흡착 장치부; 및
상기 진공압 발생 장치부 및 진공 흡착 장치부에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 진공흡착 작동인자를 계측하고, 계측된 결과에 기반하여 오류를 판단하여 외부의 관리자에게 오류 정보를 전송하도록 구성되는 오류 검출 컨트롤부;를 포함하고,
상기 오류 검출 컨트롤부는, 상기 진공압 발생 장치부 및 진공 흡착 장치부에서 진공 흡착 동작에 영향을 미치는 진공흡착 작동인자를 계측하는 진공흡착 작동인자 계측부와, 상기 진공흡착 작동인자 계측부에서 계측된 진공흡착 작동인자에 기반하여 오류 여부를 판단하는 오류 판단부, 및 상기 오류 판단부의 판단 결과를 관리자에게 유무선으로 전송하는 정보 전송부를 포함하고,
상기 진공흡착 작동인자 계측부는, 상기 진공압 발생 장치부 및 진공흡착 장치부 중 적어도 하나에 구성되어 진공 흡착을 실행하도록 개폐되는 작동 밸브의 개폐 횟수를 계측하도록 이루어지고,
상기 오류 판단부는, 상기 작동 밸브의 개폐횟수가 미리 설정된 작동 밸브의 개폐횟수에 만족하지 못하는 경우에 오류로 판단하며,
상기 오류 판단부는 상기 진공흡착 작동인자 계측부에서 계측된 진공흡착 작동인자에 대한 정보를 저장하고 분석하여 오류 여부를 예측하는 오류 예측부를 더 포함하며,
상기 오류 예측부는 상기 작동 밸브의 검출 개폐횟수가 오류예측 개폐횟수에 도달하는 경우를 예측 판단하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는
진공 흡착 장치의 오류 검출 시스템. - 삭제
- 삭제
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Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JP2007281073A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
| KR101117747B1 (ko) * | 2004-07-05 | 2012-03-15 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 진공 압력 제어 시스템 |
Family Cites Families (5)
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|---|---|---|---|---|
| KR0108373Y1 (en) | 1994-01-18 | 1995-08-21 | Samsung Aerospace Ind | Apparatus for vacuum suction |
| JP4030030B2 (ja) * | 1998-04-24 | 2008-01-09 | キヤノンアネルバ株式会社 | 静電吸着ホルダの吸着力検出方法と装置 |
| KR101218400B1 (ko) | 2010-06-23 | 2013-01-18 | (주)쏠백 | 진공흡착장치 |
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Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101117747B1 (ko) * | 2004-07-05 | 2012-03-15 | 씨케이디 가부시키 가이샤 | 진공 압력 제어 시스템 |
| JP2007281073A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Canon Inc | 基板搬送装置 |
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