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KR102288354B1 - 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법 - Google Patents

플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법 Download PDF

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KR102288354B1
KR102288354B1 KR1020150112673A KR20150112673A KR102288354B1 KR 102288354 B1 KR102288354 B1 KR 102288354B1 KR 1020150112673 A KR1020150112673 A KR 1020150112673A KR 20150112673 A KR20150112673 A KR 20150112673A KR 102288354 B1 KR102288354 B1 KR 102288354B1
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윤승호
조은정
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 제1 영역 및 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하는 캐리어를 준비하는 단계, 캐리어의 적어도 제1 영역 상에 제1 기판형성층을 형성하는 단계, 캐리어의 제2 영역의 적어도 일부에서 캐리어의 상면을 제거하는 단계, 캐리어의 제1 영역과 제2 영역에 걸쳐 제1 기판형성층 상에 접착층을 형성하는 단계, 캐리어의 제1 영역과 제2 영역에 걸쳐 접착층 상에 제2 기판형성층을 형성하는 단계, 및 캐리어로부터 제1 기판형성층을 분리하는 단계를 포함하는 디스플레이 장치의 제조 방법을 개시한다.

Description

플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법{Method for manufacturing flexible display apparatus}
본 발명의 실시예들은 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 플렉서블 표시 장치에 관한 관심이 높아짐에 따라 이에 관한 연구가 활발히 진행되고 있는데, 이러한 플렉서블 표시 장치는 유기 물질 등을 이용하여 형성된 플렉서블 기판을 포함한다. 플렉서블 표시 장치는 대체로 중량이 가볍고 충격에 강한 성질을 가지며, 접거나 말아서 보관할 수 있어 휴대성이 뛰어난 장점을 가진다.
플렉서블 표시 장치는 플렉서블 기판 상에 형성된 표시 소자를 포함한다. 표시 소자로서 유기발광소자, 액정소자 및 전기영동소자 등이 사용될 수 있고, 이러한 표시 소자들은 박막 트랜지스터에 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어 유기발광 디스플레이 장치를 제조하는 경우, 플렉서블 기판 상에 박막 트랜지스터 및 이에 전기적으로 연결되는 화소전극, 발광층을 포함하는 중간층, 그리고 화소전극에 대향하는 공통전극을 형성하는 과정을 거치게 된다.
그러나 플렉서블 기판이 유연한 재질로 형성되므로, 제조 과정에서 플렉서블 기판이 휘거나 변형되어 핸들링이 용이하지 않다는 문제점이 있다.
본 발명은 캐리어로부터의 분리가 용이한 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공한다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 1 영역 및 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하는 캐리어를 준비하는 단계, 캐리어의 적어도 제1 영역 상에 제1 기판형성층을 형성하는 단계, 캐리어의 제2 영역의 적어도 일부에서 캐리어의 상면을 제거하는 단계, 캐리어의 제1 영역과 제2 영역에 걸쳐 제1 기판형성층 상에 접착층을 형성하는 단계, 캐리어의 제1 영역과 제2 영역에 걸쳐 접착층 상에 제2 기판형성층을 형성하는 단계, 및 캐리어로부터 제1 기판형성층을 분리하는 단계;를 포함하는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법이 제공된다.
상기 캐리어의 상면을 제거하는 단계는, 캐리어의 제2 영역에 있어서 캐리어의 제1 영역에 맞닿은 적어도 일부에서 캐리어의 상면을 제거하는 단계일 수 있다.
상기 제1 기판형성층을 형성하는 단계는, 캐리어 상에 플렉서블 기판용 물질을 도포하는 단계일 수 있다.
상기 제2 기판형성층을 형성하는 단계는, 접착층 상에 플렉서블 기판용 물질을 도포하는 단계일 수 있다.
상기 제2 기판형성층을 형성하는 단계는, 제1 기판형성층과 동일한 물질로 제2 기판형성층을 형성하는 단계일 수 있다.
상기 접착층을 형성하는 단계는, 투광성 재질로 접착층을 형성하는 단계일 수 있다.
상기 접착층을 형성하는 단계는, 무기 물질로 접착층을 형성하는 단계일 수 있다.
상기 접착층을 형성하는 단계는, 캐리어의 제1 영역 상에 위치한 제1 접착층과, 제1 접착층과 분리된 부분을 포함하며 캐리어의 제2 영역 상에 위치한 제2 접착층을 형성하는 단계일 수 있다.
상기 제1 기판형성층을 형성하는 단계는, 유기 물질로 제1 기판형성층을 형성하는 단계이고, 상기 제2 기판형성층을 형성하는 단계는, 제1 기판형성층과 동일한 물질로 제2 기판형성층을 형성하는 단계일 수 있다.
캐리어는 글래스재로 형성될 수 있다.
상기 제1 기판형성층을 분리하는 단계는, 캐리어의 제1 기판형성층에 형성된 면의 반대면 상에 레이저빔을 조사하여, 캐리어와 제1 기판형성층을 서로 분리하는 단계일 수 있다.
상기 캐리어의 상면을 제거하는 단계는, 캐리어의 제2 영역에 있어서 캐리어의 제1 영역에 맞닿은 적어도 일부에서 캐리어의 상면을 제거하는 단계이고, 상기 접착층을 형성하는 단계는, 캐리어의 제1 영역 상에 위치한 제1 접착층과, 제1 접착층과 분리되며 캐리어의 제2 영역 상에 위치한 제2 접착층을 형성하는 단계이며, 상기 제1 기판형성층을 분리하는 단계는, 제2 기판형성층의 제2 접착층 상의 부분이 파단되도록 하는 단계일 수 있다.
제2 기판형성층 상에 표시부를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐리어로부터 플렉서블 기판을 용이하게 분리할 수 있으므로, 플렉서블 기판이 미분리되는 불량을 방지할 수 있다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치를 제조하는 과정을 순차적으로 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 플렉서블 디스프레이 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 명세서에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분"위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
이하, 본 발명에 따른 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명함에 있어 실질적으로 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.
도 1 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치를 제조하는 과정을 순차적으로 도시한 단면도이다.
먼저 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 영역(101) 및 제2 영역(102)을 포함하는 캐리어(100)를 준비한다. 이때, 제2 영역(102)은 제1 영역(101)의 주위를 둘러싸는 영역에 해당한다.
캐리어(100)는 추후 안착될 플렉서블 기판(130)보다 충분히 두꺼울 수 있다. 플렉서블 기판(130)은 유연성을 가지므로, 제조나 핸들링 과정에서 소정의 열이나 압력이 가해질 경우 휘거나 늘어질 수 있다. 이 경우 플렉서블 기판(130) 상에 각종 전극이나, 도전성 배선 등의 박막 패턴을 사전설정된 위치에 정확하게 형성하기 어려울 수 있다. 따라서, 제조나 핸들링 과정에서 플렉서블 기판(130)이 휘거나 변형되는 것을 방지할 수 있도록, 캐리어(100)는 강성을 가지는 기판, 예를 들면 후막형의 글래스재로 된 기판일 수 있다.
이후 도 2에 도시된 바와 같이, 캐리어(100)의 제1 영역(101) 상에 제1 기판형성층(110)을 형성한다. 이때, 제1 기판형성층(110)은 추후 플렉서블 기판(130)에 포함된 하나의 층일 수 있다.
이 단계는 캐리어(100)의 상면에 플렉서블 기판용 물질을 도포하는 단계일 수 있다. 이러한 플렉서블 기판용 물질은 예를 들어 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르술폰, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌 등의 유기 물질일 수 있다. 특히 내열성 및 유연성을 갖는 폴리이미드를 이용하는 경우 투명한 플렉서블 기판(130)이 형성될 수 있다.
캐리어(100)에 제1 기판형성층(110)을 형성하는 방식은 다양할 수 있으나, 액상의 플렉서블 기판용 물질을 코팅한 후 경화시키는 방법을 이용할 수 있다. 이때, 액상의 플렉서블 기판용 물질은 스핀코팅 방식이나 슬릿코팅 방식에 의해 캐리어(100) 상에 코팅될 수 있다. 다른 예로, 폴리이미드 막과 캐리어(100)가 소정의 열과 압력을 받으며 복수의 롤러 사이를 통과함으로써 폴리이미드 막을 캐리어(100) 상에 부착하는 라미네이션 방법을 이용할 수도 있다. 이러한 경우 제1 기판형성층(110)과 캐리어(100) 사이에는 별도의 접착제가 요구되지 않을 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 제1 기판형성층(110)은 캐리어(100)의 제1 영역(101)에만 형성되고, 제2 영역(102)에는 형성되지 않을 수 있다. 즉, 제1 기판형성층(110)의 가장자리(110E)는 캐리어(100)의 제1 영역(101)과 제2 영역(102)의 경계일 수 있다.
다른 실시예로, 상기와 같이 제1 기판형성층(110)을 코팅 또는 라미네이션하는 과정에서 제1 기판형성층(110)은 캐리어(100)의 제1 영역(101)과 제2 영역(102)의 일부에 걸쳐 형성될 수도 있다.
다만, 후술하는 실시예들 및 그 변형예들에서는, 설명의 편의를 위해 제1 기판형성층(110)이 캐리어(100)의 제1 영역(101)에만 형성되는 것을 중심으로 설명하기로 한다.
제1 기판형성층(110)을 캐리어(100) 상에 형성한 후, 제1 기판형성층(110)이 형성된 캐리어(100)를 열처리할 수 있다. 이로써 제1 기판형성층(110)과 캐리어(100) 사이에 발생되는 기포 및 이물질을 제거하여, 캐리어(100)의 제1 영역(101) 상에 위치하는 제1 기판형성층(110)의 오정렬(誤整列)을 방지할 수 있다.
이후 도 3에 도시된 바와 같이, 캐리어(100)의 제2 영역(102)에서 캐리어(100)의 상면을 제거한다.
이 단계는, 캐리어(100)의 제2 영역(102)에 있어서 캐리어(100)의 제1 영역(101)에 맞닿은 적어도 일부에서 캐리어(100)의 상면을 제거하는 단계일 수 있다. 이와 같이 제2 영역(102)에서 캐리어(100)의 상면을 제거함으로써, 캐리어(100)의 제2 영역(102)의 높이가 캐리어(100)의 제1 영역(101)의 높이보다 낮아지게 된다. 이로써 캐리어(100)에는 제1 영역(101)의 높이와 제2 영역(102)의 높이가 달라지는 단차가 형성될 수 있다.
상기와 같이 상면이 제거된 부분은, 캐리어(100)의 제2 영역(102)에 있어서 캐리어(100)의 제1 영역(101)과 제2 영역(102)의 경계면으로부터 캐리어(100)의 가장자리(100E)까지 연장되는 부분일 수 있다. 다른 실시예로, 상기와 같이 상면이 제거된 부분은, 캐리어(100)의 제2 영역(102)에 있어서 캐리어(100)의 제1 영역(101)과 제2 영역(102)의 경계면에 인접한 소정의 영역에 위치할 수 있다.
캐리어(100)의 상면을 제거하는 방식은 여러 가지 방식이 있으나, 예를 들어, 가스나 플라즈마, 이온 빔을 이용하는 건식 식각 공정에 의해 수행될 수 있다.
이후 도 4에 도시된 바와 같이, 캐리어(100)의 제1 영역(101)과 제2 영역(102)에 걸쳐 접착층(115)을 형성한다.
이 단계는 무기 물질로 접착층(115)을 형성하는 단계일 수 있다. 이러한 무기 물질은 추후 레이저빔(LASER)이 접착층(115)을 투과할 수 있도록 (반)투명한 재질일 수 있다. 무기 물질은 예를 들어, 비정질 실리콘이나 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3 등일 수 있다. 접착층(115)은 상기와 같은 물질들의 단층 또는 다층 구조로 형성될 수 있다. 이로써 캐리어(100)의 제2 영역(102)에 있어서, 추후 제2 접착층(115) 상에 형성될 제2 기판형성층(120)의 부분까지 레이저빔(LASER)이 전달되어 제2 기판형성층(110)이 캐리어(100)의 제2 영역(102)으로부터 분리되는 것을 도울 수 있다.
접착층(115)을 형성하는 방식은 다양할 수 있으나, CVD 등과 같은 증착법이나 스퍼터링법을 이용할 수 있다.
상기와 같은 공정을 이용하는 경우, 접착층(115)은 캐리어(100)의 제1 영역(101) 상에 위치한 제1 접착층(115a)과, 캐리어(100)의 제2 영역(102) 상에 위치한 제2 접착층(115b)을 포함하게 된다. 이때, 캐리어(100)의 제2 영역(102) 상에 위치한 제2 접착층(115b)은 제1 접착층(115a)과 분리된 부분을 포함할 수 있다. 이는 캐리어(100)에 제1 영역(101)의 높이와 제2 영역(102)의 높이가 달라지는 단차가 형성됨에 따라, 증착법이나 스퍼터링법에 의해 캐리어(100)의 제1 영역(101)에 형성되는 제1 접착층(115a)과 제2 영역(102)에 형성되는 제2 접착층(115b)이 서로 분리되기 때문이다.
접착층(115)은 후술하는 제2 기판형성층(120)과 제1 기판형성층(110)의 사이에 개재되며, 제2 기판형성층(120) 및 제1 기판형성층(110)을 서로 접착시키는 기능을 한다.
이후 도 5에 도시된 바와 같이, 캐리어(100)의 제1 영역(101)과 제2 영역(102)에 걸쳐 제2 기판형성층(120)을 형성한다. 이때, 제2 기판형성층(120)은 제1 기판형성층(110)과 마찬가지로 추후 플렉서블 기판(130)에 구비된 하나의 층일 수 있다.
이 단계는 접착층(115)의 상면에 플렉서블 기판용 물질을 도포하는 단계일 수 있다. 이러한 플렉서블 기판용 물질은, 제1 기판형성층(110)의 재질과 마찬가지로 폴리이미드, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에테르술폰, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리카보네이트, 폴리프로필렌 등의 유기 물질일 수 있다. 일 실시예로, 제2 기판형성층(120) 및 제1 기판형성층(110)은 동일한 물질로 형성될 수 있다.
제2 기판형성층(120)은 제1 기판형성층(110)을 형성한 방법과 동일한 방법으로 형성될 수 있다. 즉, 액상의 폴리이미드를 코팅하거나, 폴리이미드 막을 접착층(115) 상에 라미네이션하는 방법을 이용할 수 있다.
제2 기판형성층(120)이 유기물질을 코팅하거나 라미네이션하여 형성되는 경우, 제2 기판형성층(120)은 접착층(115) 상에 연속적으로 도포될 수 있다. 이러한 경우 제2 기판형성층(120)은 제1 기판형성층(110)의 가장자리(110E)를 넘어 제2 접착층(115b) 상에 오버플로우(overflow)될 수 있다. 즉, 제2 기판형성층(120)은 제1 접착층(115a) 상에 위치하는 부분(120a)과, 제2 접착층(115b) 상에 위치하는 오버플로우 부분(120b)을 포함하게 된다.
오버플로우 부분(120b)은 전술한 캐리어(100)의 단차에 의해 제1 접착층(115a)의 가장자리, 제1 기판형성층(110)의 가장자리(110E) 등을 얇게 덮으면서 점점 늘어나게 된다. 이로써 오버플로우 부분(120b)의 내부응력도 점점 증가하게 되어 오버플로우 부분(120b)은 이미 크랙이 발생하거나 크랙이 발생하기 직전의 상태일 수 있다.
이후 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 캐리어(100)로부터 제1 기판형성층(110)을 분리한다.
이 단계는, 캐리어(100)의 제1 기판형성층(110)에 형성된 면의 반대면 상에 레이저빔(LASER)을 조사하여, 캐리어(100)와 제1 기판형성층(110)을 서로 분리하는 단계일 수 있다.
레이저빔(LASER)의 광원을 캐리어(100)에 인접하도록 배치한 후, 레이저빔(LASER)의 초점을 제1 기판형성층(110)과 캐리어(100)의 경계면에 맞춘다. 레이저빔(LASER)의 세기 및 광학계를 이용한 초점 깊이(depth of focus: DOF) 등을 조절하여 제1 기판형성층(110)과 캐리어(100)의 경계면에 빛을 집중시킬 수 있다. 예를 들어, 레이저는 엑시머(eximer) 계열의 레이저일 수 있다. 이때, 제1 기판형성층(110)과 캐리어(100)의 경계면의 전면(全面) 혹은 사전설정된 부분들에 엑시머 레이저빔이 조사되도록 하기 위해, 캐리어(100)의 하면이 엑시머 레이저빔에 의해 스캐닝되도록 할 수 있다.
레이저빔(laser)은 캐리어(100)와 제1 기판형성층(110) 사이에 조사되어, 캐리어(100)의 재료와 제1 기판형성층(110)의 재료 사이의 에너지 흡수도 차이를 이용하여 캐리어(100)와 제1 기판형성층(110)을 서로 분리하게 된다. 즉, 캐리어(100)를 투과한 레이저가 캐리어(100)보다 에너지 흡수도가 높은 제1 기판형성층(110)에 집중되어 흡수되고, 이로써 제1 기판형성층(110)의 표면에 인접하는 분자들이 분해되어 제1 기판형성층(110)과 캐리어(100) 사이의 접착력이 감소하게 된다. 따라서, 제1 기판형성층(110)을 기저로 하는 플렉서블 기판(130)이 캐리어(100)로부터 분리될 수 있다.
이때, 캐리어(100)로부터 제1 기판형성층(110)을 분리하는 과정에서 제2 기판형성층(120)은 쉽게 파단될 수 있다. 전술한 바와 같이, 제2 기판형성층(120)의 오버플로우 부분(120b)은 오버플로우 부분(120b)의 특정 위치에서 이미 크랙이 발생하거나 크랙이 발생하기 직전의 상태일 수 있다. 이후 제2 기판형성층(120)의 오버플로우 부분(120b)은 오버플로우 부분(120b)의 특정 위치(F)에서 상기와 같은 크랙이 성장하여 결국 파단(fracture)에 이르게 된다. 이로써 플렉서블 기판(130)은 기판의 가장자리가 대략 일직선이 되도록 캐리어(100)로부터 용이하게 분리될 수 있다
따라서, 캐리어(100)에 형성된 단차는 일정 크기 이상이어야 한다. 만일 캐리어(100)에 형성된 단차가 너무 작거나 0인 경우, 제2 기판형성층(120)의 오버플로우 부분(120b)의 분리가 용이하지 않아 플렉서블 기판(130)의 가장자리가 부분적으로 뜯기거나 지저분해질 수 있다. 또한, 분리 과정에서의 충격으로 플렉서블 기판(130)이 쉽게 변형될 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 플렉서블 기판(130)은 제1 기판형성층(110), 접착층(115), 및 제2 기판형성층(120)이 순차적으로 적층된 구조로 형성될 수 있다. 이와 같이 플렉서블 기판(130)을 유연한 물질의 다층 구조로 형성함으로써, 내부의 오염 정도를 줄일 수 있고, 일정 강도를 확보하여 취급의 용이성을 높일 수 있다.
이상에서는 공정 중에 캐리어(100)에 단차를 형성하여 플렉서블 기판(130)을 제조하는 방법에 대해 설명하였으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 애초에 단차가 형성된 캐리어(100)를 준비함으로써 플렉서블 기판(130)을 제조하는 것도 충분히 가능하다.
한편, 도 5에 도시된 접착층(115) 상에 제2 기판형성층(120)을 배치하는 단계와, 도 6에 도시된 캐리어(100)로부터 제1 기판형성층(110)을 분리하는 단계의 사이에, 표시부(200)를 배치하는 단계를 더 포함할 수 있다. 표시부(200)는 플렉서블 기판(130)의 제2 기판형성층(120) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해, 표시 소자로 유기발광소자가 배치된 경우를 중심으로 표시부(200)의 구조에 대해 설명하기로 한다.
도 9는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 플렉서블 표시 장치를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 플렉서블 유기 발광 표시 장치의 경우 각종 구성요소는 기판(50) 상에 형성된다. 여기서 플렉서블 기판(50)은 도 1 내지 도 7을 참조하여 전술한 실시예들에서 언급한 플렉서블 기판(130)이나 그 플렉서블 기판(130)이 절단된 일부일 수도 있다.
기판(50) 상에는 버퍼층(51), 게이트절연막(53), 층간절연막(55) 등과 같은 공통층이 기판(50)의 전면(全面)에 형성될 수 있고, 채널영역(52a), 소스컨택영역(52b) 및 드레인컨택영역(52c)을 포함하는 패터닝된 반도체층(52)이 형성될 수도 있으며, 이러한 패터닝된 반도체층과 함께 박막트랜지스터(TFT)의 구성요소가 되는 게이트전극(54), 소스전극(56) 및 드레인전극(57)이 형성될 수 있다.
또한, 이러한 박막트랜지스터(TFT)를 덮는 보호막(58)과, 보호막(58) 상에 위치하며 그 상면이 대략 평탄한 평탄화막(59)이 기판(50)의 전면에 형성될 수 있다. 이러한 평탄화막(59) 상에는 패터닝된 화소전극(61), 기판(50)의 전면에 대략 대응하는 대향전극(63), 그리고 화소전극(61)과 대향전극(63) 사이에 개재되며 발광층을 포함하는 다층 구조의 중간층(62)을 포함하는, 유기발광소자(OLED)가 위치하도록 형성될 수 있다.
물론 중간층(62)은 도시된 것과 달리 일부 층은 기판(50)의 전면(全面)에 대략 대응하는 공통층일 수 있고, 다른 일부 층은 화소전극(61)에 대응하도록 패터닝된 패턴층일 수 있다. 화소전극(61)은 비아홀을 통해 박막트랜지스터(TFT)에 전기적으로 연결될 수 있다. 물론 화소전극(61)의 가장자리를 덮으며 각 화소영역을 정의하는 개구를 갖는 화소정의막(60)이 기판(50)의 전면에 대략 대응하도록 평탄화막(59) 상에 형성될 수 있다.
이와 같은 플렉서블 유기 발광 표시 장치의 경우, 전술한 실시예들에 따른 플렉서블 기판(130)의 제조 방법을 이용하여 제조될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 캐리어
101: 제1 영역
102: 제2 영역
110: 제1 기판형성층
115: 접착층
120: 제2 기판형성층
130: 플렉서블 기판
200: 표시부

Claims (13)

  1. 제1 영역 및 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함하는 캐리어를 준비하는 단계;
    캐리어의 적어도 제1 영역 상에 제1 기판형성층을 형성하는 단계;
    캐리어의 제2 영역의 적어도 일부에서 캐리어의 상면을 제거하는 단계;
    캐리어의 제1 영역과 제2 영역에 걸쳐 제1 기판형성층 상에 접착층을 형성하는 단계;
    캐리어의 제1 영역과 제2 영역에 걸쳐 접착층 상에 제2 기판형성층을 형성하는 단계; 및
    캐리어로부터 제1 기판형성층을 분리하는 단계;를 포함하는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어의 상면을 제거하는 단계는, 캐리어의 제2 영역에 있어서 캐리어의 제1 영역에 맞닿은 적어도 일부에서 캐리어의 상면을 제거하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 기판형성층을 형성하는 단계는, 캐리어 상에 플렉서블 기판용 물질을 도포하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 기판형성층을 형성하는 단계는, 접착층 상에 플렉서블 기판용 물질을 도포하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 기판형성층을 형성하는 단계는, 제1 기판형성층과 동일한 물질로 제2 기판형성층을 형성하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 접착층을 형성하는 단계는, 투광성 재질로 접착층을 형성하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 접착층을 형성하는 단계는, 무기 물질로 접착층을 형성하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 접착층을 형성하는 단계는, 캐리어의 제1 영역 상에 위치한 제1 접착층과, 제1 접착층과 분리된 부분을 포함하며 캐리어의 제2 영역 상에 위치한 제2 접착층을 형성하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 기판형성층을 형성하는 단계는, 유기 물질로 제1 기판형성층을 형성하는 단계이고,
    상기 제2 기판형성층을 형성하는 단계는, 제1 기판형성층과 동일한 물질로 제2 기판형성층을 형성하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    캐리어는 글래스재로 형성되는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 기판형성층을 분리하는 단계는, 캐리어의 제1 기판형성층에 형성된 면의 반대면 상에 레이저빔을 조사하여, 캐리어와 제1 기판형성층을 서로 분리하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐리어의 상면을 제거하는 단계는, 캐리어의 제2 영역에 있어서 캐리어의 제1 영역에 맞닿은 적어도 일부에서 캐리어의 상면을 제거하는 단계이고,
    상기 접착층을 형성하는 단계는, 캐리어의 제1 영역 상에 위치한 제1 접착층과, 제1 접착층과 분리되며 캐리어의 제2 영역 상에 위치한 제2 접착층을 형성하는 단계이며,
    상기 제1 기판형성층을 분리하는 단계는, 제2 기판형성층의 제2 접착층 상의 부분이 파단되도록 하는 단계인, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  13. 제 1 항 내지 제 12 항 중 어는 한 항에 있어서,
    제2 기판형성층 상에 표시부를 형성하는 단계를 더 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
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