KR102284027B1 - 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법, 코어쉘형 금속 미립자, 도전성 잉크 및 기판의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 동을 포함하는 코어성분과 은을 포함하는 쉘성분에 의해 형성되는 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법으로서, 동 입자와, 은 입자를 준비하는 공정과, 상기 동 입자와 상기 은 입자를 유기 용매 중에 동시에 분산시키는 것에 의해서, 상기 동 입자의 표면에 복수의 상기 은 입자를 흡착시키는 공정과, 상기 은 입자가 흡착된 상기 동 입자를 가열하는 것에 의해서, 상기 동 입자의 표면에 흡착한 복수의 상기 은 입자끼리 융착시켜서, 상기 동 입자의 표면에 상기 은을 포함하는 쉘성분을 형성하는 공정,을 포함한다.

Description

코어쉘형 금속 미립자의 제조방법, 코어쉘형 금속 미립자, 도전성 잉크 및 기판의 제조방법{METHOD FOR PRODUCING CORE-SHELL TYPE METAL FINE PARTICLES, CORE-SHELL TYPE METAL FINE PARTICLES, AND METHOD FOR PRODUCING SUBSTRATE AND ELECTRICALLY CONDUCTIVE INK}

본 발명은, 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법, 코어쉘형 금속 미립자, 도전성 잉크 및 기판의 제조방법에 관한다.

금속 미립자를 포함하는 도전성 잉크를 기재 위에 도포하여 소성(firing)하는 것에 의해서 배선을 형성하는 방법이 알려져 있다. 이러한 도전성 잉크에 사용하는 금속 미립자로서는, 예를 들면, 동코어 은쉘형의 금속 미립자가 검토될 수 있다.

동코어 은쉘형의 금속 미립자에 관한 종래 기술로서는, 예를 들면, 이하의 것이 있다.

특허 문헌 1(일본 공개특허공보 제2007-224420호)에는, 코어로서 동을 포함하고, 귀금속으로 코어를 둘러싼 박막층을 형성하여, 동의 산화를 방지하는 것으로도 동의 함유량을 높혀 경제적으로 수익성(profitability)이 확보되는 금속 나노입자 및 이를 포함하는 도전성 잉크를 제공하는 것이 과제로서 기재되어 있다. 이에 대한 과제를 해결하기 위해, 특허문헌 1에 기재의 금속 나노입자로는, 동코어와, 상기 동코어를 둘러싸고 있는 상기 동으로부터 금속의 박막층을, 포함하는 구성을 채용하고 있다. 이 문헌에는, 이러한 금속 나노입자가, 1차 아민을 포함하는 용매 중에 환원제를 사용하는 동 전구체로부터 동 나노입자를 형성하는 단계와, 상기 동 나노입자의 표면에 동보다 높은 환원 전위를 가지는, 금속 전구체로부터 상기 높은 환원 전위를 가지는 금속의 박막층을 형성하는 단계,를 포함하는 방법에 의해 제조할 수 있는 것이 기재되어 있다.

특허 문헌 2(일본 공개특허공보 제2010-185135호)에는, 이온화 경향이 높은 금속을 포함하는 코어 성분과, 각 코어 성분을 피복하는 것보다 이온화 경향이 낮은 금속을 포함하는 쉘,을 가지는 코어쉘형 나노 금속 입자를 얻을 수 있는 것이 과제로서 기재되어 있다. 관련된 과제를 해결하기 위해, 특허 문헌 2에 기재된 코어쉘형 금속 나노입자의 제조방법에는, 보다 이온화 경향이 높은 금속 A를 포함하는 코어 성분과, 각 코어 성분을 피복하는 것 보다 이온화 경향이 낮은 금속 B를 포함하는 쉘,을 가지는 코어쉘형 금속 나노입자의 제조방법으로서, 탈산소한 높은 끓는점(비점)의 중에, 금속 A 이온을 환원하여 금속 A의 미립자를 형성하는 공정(1)과, 상기 공정 (1)에 의해 수득한 금속 A의 미립자를 포함하는 높은 끓는점의 용매 용액을, 금속 B 이온이 1분 동안에 80% 이상 금속 B를 환원시키는 온도 이상에 유지된 상태에서, 금속 B 이온을 포함하는 용액을 첨가하는 공정(2)을 가지는 구성을 채용하고 있다.

일본 공개특허공보 제2007-224420호 (특허문헌 002) 일본 공개특허공보 제2010-185135호

그러나, 특허문헌 1 및 2 등에 기재되어 있는 바와 같이, 종래 동코어 은쉘형의 금속 미립자는, 도전성이 아직 충분히 만족되는 것이 없었다.

본 발명의 상기 사정에 비추어 판단된 것으로서, 도전성이 뛰어난 코어쉘형 금속 미립자를 제공하는 것이다.

본 발명자들은, 도전성이 우수한 코어쉘형 금속 미립자를 제공하기 위해 예의 검토한 결과, 종래의 도전성이 낮은 코어쉘형 금속 미립자는 은을 포함하는 쉘성분이 동을 포함하는 코어 성분에 잘 피복되지 않고 은 응집체가 동에 흡착되어 있는 것과 같은 구조가 되어 있는 것이 밝혀졌다. 이러한 구조라면, 은의 피복이 일어나지 않는 곳에서 동의 산화가 서서히 나타나기 때문에, 결과적으로, 코어쉘형의 도전성이 저하되고 만다. 여기에서, 본 발명자들은, 종래의 동코어 은쉘형의 금속 미립자는, 은 이온을 동 입자의 표면에 환원시켜서 은을 석출시키는 용액 환원법에 의해서, 동 입자의 표면에 은을 형성시키기 때문에, 동의 표면에 은 응집체가 생성되었다고 추측 관찰하였다. 거기에서, 본 발명자들은, 동 입자에 대한 은의 피복 상태를 개선하기 위하여, 동코어 은쉘형의 금속 미립자의 제조방법에 대하여 예의 검토하였다. 그 결과, 동 입자 및 복수의 은 입자를 고체끼리 흡착시켜서, 그 후, 가열하는 것에 의해서 동 입자의 표면에 흡착한 은 입자를 융해시켜서 복수의 은 입자끼리를 융착시키는 것에 의해서, 동 입자에 대한 은의 피복 상태가 좋아지고, 또한, 도전성이 우수한 코어쉘형 금속 미립자가 수득될 수 있는 것을 도출하여, 본 발명의 완성하였다.

본 발명은 이러한 지식에 기반하여 발안시킨 것이다.

즉, 본 발명에 의하면, 동을 포함하는 코어 성분과 은을 포함하는 쉘성분에 의해서 형성된 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법으로서, 동 입자와, 은 입자를 준비하는 공정과, 상기 동 입자와 상기 은 입자를 유기용매 중에 동시에 분산시키는 것에 의해서, 상기 동 입자의 표면에 복수의 상기 은 입자를 흡착시키는 공정과, 상기 은 입자가 흡착한 상기 동 입자를 가열하는 것에 의해서, 상기 동 입자의 표면에 흡착한 복수의 상기 은 입자끼리를 융착시켜서, 상기 동 입자의 표면에 상기 은 입자를 포함하는 쉘성분을 형성하는 공정, 을 포함하는, 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법이 제공된다.

또한, 본 발명에 의하면, 상기 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법으로 얻어진 코어쉘형 금속 미립자가 제공된다.

또한, 본 발명에 의하면, 상기 코어쉘형 금속 미립자와, 바인더 수지와, 물 및 유기용매 중에서 적어도 한 쪽을 포함하는 용매,를 포함하는 도전성 잉크가 제공된다.

또한, 본 발명에 의하면, 소정의 도전패턴을 가지는 기판의 제조방법으로서, 상기 도전성 잉크를, 기재의 소정의 영역에 도포하는 도포 공정과, 상기 영역을 가열하여, 상기 도전성 잉크의 상기 코어쉘형 금속 미립자끼리를 융착시켜서 도전패턴을 형성하는 패턴 형성 공정을 포함하는, 기판의 제조방법이 제공된다.

본 발명에 의하면, 도전성이 우수한 코어쉘형 금속 미립자를 제공하는 것이 가능하다.

상술한 목적, 및 그 외의 목적, 특징 및 이점은, 이하에 서술되는 적절한 실시의 형태, 및 첨부된 이하의 도면에 의해서 설명된다.
[도 1] 실시예 1에서 수득된 동코어 은쉘형의 금속 미립자의 SEM 사진을 나타내는 도이다. [도 2] 비교예 2에서 수득된 동코어 은쉘형의 금속 미립자의 SEM 사진을 나타내는 도이다. [도 3] 비교예 3에서 수득된 동코어 은쉘형의 금속 미립자의 SEM 사진을 나타내는 도이다.

이하에서, 본 발명의 실시 형태에 대하여, 설명한다.

<코어쉘형 금속 미립자의 제조방법> 본 실시 형태에 관한 동을 포함하는 코어 성분과 은을 포함하는 쉘성분으로부터 형성되어 있다. 본 실시 형태와 관련된 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법은, 이하의 3 개의 공정을 포함하고 있다. (1) 동 입자와, 은 입자를 준비하는 공정 (2) 상기 동 입자와 상기 은 입자를 유기 용매 중에 동시에 분산시키는 것에 의해서, 상기 동 입자의 표면에 복수의 상기 은 입자를 흡착시키는 공정 (3) 상기 은 입자가 흡착된 상기 동 입자를 가열하는 것에 의해서, 상기 동 입자의 표면에 흡착한 복수의 상기 은 입자끼리를 융착시켜서, 상기 동 입자의 표면에 상기 은을 포함하는 쉘성분을 형성하는 공정.

본 실시형태에 관련된 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법에 의하면, 동 입자와 복수의 은 입자를 고체끼리를 흡착시킨 후, 가열하는 것에 의해서 동 입자의 표면에 흡착된 은 입자를 융해시켜서 복수의 은 입자끼리를 융착시킨다. 이러한 것에 의해서, 은의 피복 상태가 좋아지고, 또한, 도전성이 우수한 코어쉘형 금속 미립자를 안정적으로 제조하는 것이 가능하다.
이러한 제조방법에 의해서 은의 피복 상태가 좋아지고, 또한, 도전성이 우수한 코어쉘형 금속 미립자를 얻을 수 있는 이유는 반드시 명확하지는 않지만 이하의 이유가 고려될 수 있다.
먼저, 분산된 은 입자의 표면층에 최소한 가능한 동 입자의 표면 전체를 덮을 정도로 흡착하여, 은 입자로부터 나타나는 층이 형성된다. 또한, 이를 가열하는 것에 의해서, 동 입자의 표면 전체를 은 임자가 덮은 태로 은 입자끼리의 융착이 일어나서, 동에 대한 피복성이 우수한 은쉘성분이 형성된다고 고려될 수 있다. 이로부터, 은 의 피복 상태가 좋아진 코어쉘형 금속 미립자가 수득될 수 있다. 이러한 코어쉘형 금속 미립자는, 은을 포함하는 쉘성분으로부터 동의 산화를 효과적으로 억제할 수 있어, 도전성이 우수할 수 있다고 고려할 수 있다.

이하, 각 공정에 있어서 상세히 설명한다.

[동 입자와, 은 입자를 준비하는 공정] 처음으로, 본 실시 형태에 관련한 코어쉘형 금속 미립자의 원료로서 동 입자와, 은 입자를 준비한다.

(동 입자) 원료인 동 입자는 특별히 한정되지 않고, 일반적으로 사용할 수 있는 공지의 동 입자를 사용하는 것이 가능하다. 시판의 동 입자로서, 예를 들면, 고순도 화학 연구소 제작 구상 동 분말(제품명: CUE12PE) 등을 사용하는 것이 가능하다. 또는, 동 입자와, 환원법, 불균화 공정(disproportionation process) 등에 의해 제조된 것도 가능하다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 동 입자의 입자 형상은, 구상인 것과, 판상인 것도 좋다.

동 입자의 평균 입자경(particle diameter)은, 바람직하게는 100 ㎚ 이상 20 ㎛ 이하로서, 보다 바람직하게는 100 ㎚ 이상 10 ㎛ 이하로서, 특히 바람직하게는 100 ㎚ 이상 1 ㎛ 이하이다. 동 입자의 평균 입자경이 상기 하한값 이상이라면, 얻어진 도전성 잉크의 유동 특성이 보다 좋아진다. 동 입자의 평균 입자경이 상기 하한값 이하라면, 보다 미세한 배선 패턴의 형성이 가능해져, 얻어진 회로의 저항값이 보다 한 층 저감된다. 여기서, 본 실시 형태에 있어서, “평균 입자경”이라는 기재는, 정방향접선경(定方向接線)(feret diameter)의 측정에 의해 구해진 입경 분포에 있어서 적산값(quantity surveying value) 50%의 입자경을 의미한다. 또한, 「입경분포」라는 기재는, SEM 상에서 무작위로 약 300 개의 입자에 대하여, 입자경을 측정하여 얻은 값을 의미한다.

본 실시형태에 관한 동 입자는, 통상, 유기 용매에 분해산된 현탁액의 상태로 사용한다. 사용하는 유기 용매로서는 특별히 한정되지 않지만, 헥산, 벤젠, 톨루엔, 디에틸에테르, 클로로폼, 초산 에틸, 염화메틸렌 등을 소수성 용매가 바람직하다. 이로부터, 코어쉘형 금속 미립자의 제조시에, 동 입자 끼리 응집되는 것을 억제하는 것이 가능하다. 사용하는 유기용매는 1 종 단독으로 사용하여도 좋고, 2 종 이상을 병용하여 사용하여도 좋다.

또한, 동 입자를 포함하는 현탁액 중의 동 입자의 농도는, 예를 들면, 1 g/L 이상 500 g/L 이하이다.

추가로, 상기 동 입자를 포함하는 현탁액에는, 동 입자의 응집을 억제하는 관점으로부터, 분산제를 배합하는 것이 바람직하다. 분산제로서는, 동 입자를 피복하는 은 입자의 피복성을 향상시키는 관점으로부터, 부탄산, 펜탄산, 헥산산, 헵탄산, 옥탄산, 노난산, 데칸산, 운데칸산, 도데칸산, 헥사데칸산, 나프텐산, 펜텐산, 헥센산, 헵텐산, 운데실렌산, 올레인산, 리놀산, 리놀렌산 등의 카본산 계열의 분산제가 바람직하다. 이들은 1 종 단독으로 사용하여도 좋고, 2 종 이상을 병용하여 사용하여도 좋다.

현탁액 중에 배합하는 분산제의 양을 동 입자의 응집을 억제할 수 있는 양이라면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 동 입자 100 중량부에 대하여, 1 중량부 이상 100 중량부 이하이다.

또한, 상기 동 입자를 포함하는 현탁액에는, 다시 한번 동 입자의 표면에 존재하는 산화물을 제거하는 관점으로부터, 각종 환원제를 배합하여도 좋다. 환원제는 환원성을 가지는 용매를 사용하여도 좋고, 용매 이외의 환원제를 배합하여도 좋다.

상기 환원제로서는, 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, 2-부탄올, 2-헥산올 등의 지방족 모노알코올; 에틸렌 글리콜, 프로필렌글리콜, 1,3-프로판디올, 글리세린, 1,2-부탄디올 등의 지방족 다가알코올; 벤질알코올, 1-페닐에탄올, 디페닐카르비톨, 벤조인 등의 방향족 모노 알코올; 히드로벤조인 등의 방향족 다가알코올; 글루코즈, 말토오즈, 프럭토오즈 등의 당류; 폴리비닐 알코올, 에틸렌 비닐 알코올 등의 고분자 알코올; 디메틸 아민 에탄올, 메틸 디에탄올 아민, 트리에탄올아민, 페니돈(phenidone), 히드라진(hydrazine) 등의 아민화합물； 수산화붕소 나트륨(sodium borohydroride), 요화수소, 수소가스 등의 수소 화합물; 일산화탄소, 아황산 등의 산화물； 황산제일철(ferrous sulphate), 염화철, 푸마르산제일철(Ferrous Fumarate), 유산철, 옥살산제일철(ferrous oxalate), 황화철, 주석아세트산(Tin Acetate), 염화주석(Tin chloride), 주석이인산염(Tin diphosphate), 옥살산주석(Tin oxalate), 산화주석, 황산주석(Tin sulfate) 등의 저원자가 금속염; 포름알데히드, 히드록시논, 피로가롤(pyrogallol), 탄닌, 탄닌산, 2-하이드록시벤조산(2-Hydroxybenzoic Acid) 등의 유기 화합물 등을 들 수 있다. 사용하는 환원제는 1 종 단독으로 사용하여도 좋고, 2 종 이상을 병용하여 사용하여도 좋다.

현탁액 중에 배합하는 환원제의 양은 동 입자의 표면에 존재하는 산화물을 충분히 제거할 수 있는 양이면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 동 입자 100 중량부에 대하여, 1 중량부 이상 200 중량부 이하이다.

(은 입자)

원료인 은 입자는 특별히 한정되지 않고, 일반적으로 사용되는 공지의 은 나노입자를 사용하는 것이 가능하다. 시판되는 은 입자로서는, 예를 들면, IoLiTec사 제품의 나노입자 (제품명: NM-0037-HP) 등을 사용하는 것이 가능하다. 또는, 은 입자는, 환원법, 열 분해법 등에 의해 제조되는 것이 가능하다. 본 실시 형태에 있어서, 은 입자의 입자 형상은, 구체인 것도, 편상인 것도 좋다.

은 입자의 평균 입자경은, 바람직하게는 1 ㎚ 이상 200 ㎚ 이하이며, 보다 바람직하게는 2 ㎚ 이상 50 ㎚ 이하이다. 은 입자의 평균 입자경이 상기 하한값 이상이면, 수득된 코어쉘형 금속 미립자의 은 피복성이 보다 좋아진다. 은 입자의 평균 입자경이 상기 상한값 이하이면, 보다 세밀한 배선 패턴의 형성이 가능하게 되어, 수득된 회로의 저항값이 보다 한 층 저감될 수 있다.

본 실시형태에 관한 은 입자는, 통상, 유기용매에 분산된 현탁액의 상태로 사용한다. 사용하는 유기용매로서는 소수성 용매, 친수성 용매 중 어느 것이어도 좋다. 특별히 한정되지 않지만, 미네랄오일(mineral oil), 지방산, 알코올, 탄화수소 등의 소수성 용매; 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알칸디올, 글리세린 등의 다가 알코올류, 당알코올류, 에탄올, 메탄올, 프로판올, 부탄올 등의 저급 알코올류, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 등의 글리콜에테르류, 메틸아민, 트리에틸아민 등의 지방족아민류, 에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 알칸올아민류, n-메틸아세트아미드, n-메틸포름아마이드 등의 아마이드류 등의 친수성 용매; 가 바람직하다. 이를 통해서, 코어쉘형 금속 미립자의 제조시에, 은 응집체가 생성되어버리는 것을 억제하는 것이 가능하다. 사용하는 유기용매는 1 종 단독으로 사용하여도 좋고, 2 종 이상을 병용하여 사용하여도 좋다. 또한, 은 입자를 포함하는 현탁액 중의 은 입자의 농도는, 예를 들면, 1g/Ｌ 이상 1000 g/Ｌ 이하이다.

추가로, 상기 은 입자를 포함하는 현탁액은, 은 입자의 응집을 억제하기 위해 분산제를 포함하는 것이 바람직하다. 분산제로서는, 동 입자를 피복하는 은 입자의 피복성을 상승시키는 관점으로부터, 펜틸아민, 헥실아민, 헵틸아민, 옥틸아민, 노닐아민, 데실아민, 운데실아민, 도데실아민, 헥사데실아민, 옥타데실아민 등의 알킬아민계 분산제가 바람직하다. 이들은 1 종 단독으로 사용하여도 좋고, 2 종 이상을 병용하여 사용하여도 좋다.

현탁액 중에 배합하는 분산제의 양은 은 입자의 응집을 억제할 수 있는 양이라면 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 은 입자 100중량부에 대해서, 1 중량부 이상 100 중량부 이하이다.

여기에서, 동 입자의 분산제로서 전술한 칼본산계 분산제를 사용하고, 은 입자의 분산제로서 알킬아민계 분산제를 사용하는 것으로서, 동 입자를 피복하는 은 입자의 피복성을 보다 효과적으로 향상시키는 것이 가능하다.

[동 입자 표면에 복수의 은 입자를 흡착시키는 공정] 다음으로, 동 입자와 은 입자를 유기용매 중에 동시에 분산시키는 것에 의해서, 동 입자 표면에 복수의 은 입자를 흡착시킨다.

동 입자와 은 입자를 유기용매 중에 동시에 분산시키는 방법은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 유기용매 중에 동 입자를 분산시킨 현탁액에, 유기용매 중에 입자를 분산시킨 현탁액을 첨가하고, 수득된 배합액을 균일하게 배합하는 방법, 유기용매 중에 입자를 분산시킨 현탁액에, 유기용매 중에 동 입자를 분산시킨 현탁액을 첨가하여, 수득된 배합액을 균일하게 배합하는 방법, 유기 용매 중에 동 입자를 분산시킨 현탁액에 은 입자를 첨가하여, 수득한 배합액을 균일하게 배합하는 방법, 유기용매 중에 입자를 분산시킨 현탁액에 동 입자를 첨가하여, 수득된 배합액을 균일하게 배합하는 방법 등을 들 수 있다. 이들 중에도, 은 입자 및 동 입자의 응집을 보다 효과적으로 억제할 수 있는 관점으로부터, 유기용매 중에 동 입자를 분산시킨 현탁액에, 유기용매 중에 입자를 분산시킨 현탁액을 첨가하고, 수득된 배합액을 균일하게 배합하는 방법이 바람직하다.

여기에서, 동 입자의 표면에 은 입자를 충분히 흡착시키기 위해서, 예를 들면, 상기의 배합액을 10~40 ℃, 5~30 분 동안 배합하는 것이 바람직하다.

동 입자와 은 입자를 동시에 분산시킬 때 사용하는 유기용매로서는 소수성 용매, 친수성 용매 중 어떤 것이어도 좋다. 특별히 한정되지 않지만, 미네랄오일, 지방산, 알코올, 탄화수소 등의 소수성 용매; 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알칸디올, 글리세린 등의 다가 알코올류, 당알코올류, 에탄올, 메탄올, 프로판올, 부탄올 등의 저급 알코올류, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 등의 글리콜에테르류, 메틸아민, 트리에틸아민 등의 지방족아민류, 에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 알칸올아민류, n-메틸아세트아미드, n-메틸포름아마이드 등의 아마이드류 등의 친수성 용매; 가 바람직하다. 이를 통해서, 코어쉘형 금속 미립자의 제조시에, 동의 응집체 또는 은의 응집체가 생성되어버리는 것을 억제하는 것이 가능하다. 사용하는 유기용매는 1 종 단독으로 사용하여도 좋고, 2 종 이상을 병용하여 사용하여도 좋다.

유기용매 중에 분산시킨 은 입자의 양은, 동 입자 100 중량부에 대해서, 바람직하게는 1 중량부 이상 80 중량부 이하이며, 보다 바람직하게는 2 중량부 이상 40 중량부 이하이며, 특별히 바람직하게는 5 중량부 이상 25 중량부 이하이다. 유기용매 중에 분산시킨 은 입자의 양이 상기 하한값 이상이면, 동 입자에 대한 은 입자의 피복성이 보다 한층 좋아지게 된다. 또한, 유기용매 중에 분산시킨 은 입자의 양이 상기 상한값 이하이면, 은 입자의 응집체의 생성을 보다 효과적으로 억제하는 것이 가능하다.

[동 입자의 표면에 은을 포함하는 쉘성분을 형성하는 공정] 이어서, 은 입자가 흡착한 동 입자를 가열하는 것에 의해서, 동 입자의 표면에 흡착한 복수의 은 입자끼리를 융착시켜서, 동 입자의 표면에 은을 포함하는 쉘성분을 형성한다.

은 입자가 흡착한 동 입자를 가열하는 가열 온도는 특별히 한정되지 않지만, 60 ℃ 이상 150℃ 이하인 것이 바람직하다. 은 나노입자는 나노 사이즈 효과로 인해, 녹는점이 낮아지는 것이 알려져 있다. 이 때문에, 은 입자로서 은 나노입자를 사용하는 경우, 이러한 비교적으로 낮은 온도에서도 은 나노입자끼리를 융착시켜서, 동 입자의 표면에 은을 포함하는 쉘 성분을 형성할 수 있다.

은 입자가 흡착한 동 입자를 가열하는 가열시간은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 10 분간 이상 2시간 이하이다.

이상의 공정으로부터, 도전성이 우수한 코어쉘형 금속 미립자를 수득할 수 있다. 또한, 필요에 대하여, 원심분리 등의 공지된 분리 방법으로, 수득된 현탁액으로부터 코어쉘형 금속 미립자를 분리하여도 좋다.

<코어쉘형 금속 미립자> 본 실시 형태의 제조방법에 의해 수득된 코어쉘형 금속 미립자는, 예를 들면, 도전성 잉크에 사용되는 도전성 입자로서 적절하게 사용하는 것이 가능하다. 본 실시 형태의 제조방법으로 수득된 코어쉘형 금속 미립자는, 은의 피복 상태가 좋아지고, 도전성이 우수해지기 때문에, 이러한 코어쉘형 금속 미립자를 포함하는 도전성 잉크를 사용하여 수득한 회로는 도전성이 우수하다.

코어쉘형 금속 미립자의 평균 입자경은, 바람직하게는 100 ㎚ 이상 20 ㎛ 이하로서, 보다 바람직하게는 100 ㎚ 이상 10 ㎛ 이하이고, 특히 바람직하게는 100 ㎚ 이상 1 ㎛ 이하이다. 코어쉘형 금속 미립자의 평균 입자경이 상기 상한값 이상이면, 수득한 도전성 잉크의 유동특성이 보다 좋아진다. 코어쉘형 금속 미립자의 평균 입자경이 상기 상한값 이하이면, 보다 미세한 배선패턴의 형성이 가능하게 되어, 수득된 회로의 저항값을 보다 한 층 저감할 수 있다.

<도전성 잉크> 본 실시형태에 관한 도전성 잉크는, 상기 코어쉘형 금속 미립자와, 바인더 수지와, 물 및 유기용매 중에서 적어도 하나를 포함하는 용매를, 함유하는 것이다.

상기 도전성 잉크는, 예를 들면, 상기 코어쉘형 금속 미립자와, 상기 바인더수지를, 물 및 유기용매 중 적어도 하나를 포함하는 용매에 분산시킨 액체이다.

상기 도전성 잉크를, 예를 들면, 잉크젯 법이나 스크린 인쇄법 등으로 기재 상에 도포하고, 건조한 후, 가열하여, 금속 입자 함유 배선, 박막 등의 도전 부재로 하는 것이 가능하다.

본 실시형태에 있어서, 도전성 잉크의 형태는, 에멀젼이어도 좋고, 혼탁액(suspension)이어도 좋으며, 사용하는 용매는, 일반적으로 사용되는 용매라면 특별히 한정되지 않는다.

상기 도전성 잉크 중의 코어쉘형 금속 미립자의 함유량은, 도전성 잉크의 전체를 100 중량%으로 했을 때, 예를 들면, 10 중량% 이상 94 중량% 이하이다.

(바인더수지) 본 실시형태에 있어서, 도전성 잉크는 바인더수지를 함유한다. 이 바인더수지는, 코어쉘형 금속 미립자끼리 결착시키는 바인더로서 기능을 가진다.

상기 바인더수지의 도전성 잉크 중에 있어서의 존재 형태는, 용매에 대해서 용해하는 것도 좋고, 에멀전, 또는 혼탁액이어도 좋다. 상기 바인더수지로서는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 폴리에스테르수지, 폴리우레탄수지, 폴리아마이드수지, 폴리염화비닐수지, 폴리아크릴아마이드수지, 폴리에테르수지, 아크릴수지, 멜라민수지, 비닐수지, 페닐수지, 에폭시수지, 요산수지, 아세테이트비닐수지, 폴리부타디엔수지, 염화비닐-아세테이트비닐 공중합체수지, 불소수지, 실리콘수지, 로진(roSin), 로진에스테르, 염소화폴리올레핀수지, 변성염소화 폴리올레핀수지, 염소화 폴리우레탄수지, 셀로오즈계 수지, 폴리에틸렌글리콜, 폴리에틸렌옥사이드, 폴리프로필렌옥사이드, 폴리비닐알코올, 폴리비닐 부틸알(Polyvinyl butylal), 폴리비닐피롤리돈(Polyvinyl Pyrrolidone) 등을 드는 것이 가능하다. 사용하는 바인더수지는 1 종 단독으로 사용하여도 좋고, 2 종 이상을 병용하여 사용하여도 좋다.

상기 도전성 잉크 중의 바인더수지의 함유량은, 도전성 잉크의 전체를 100 중량%로 할 때, 예를 들면, 0.1 중량% 이상 10 중량% 이하이다.

(유기용매) 도전성 잉크에 사용하는 유기용매는, 소수성 용매, 친수성 용매 중 어느 것이어도 좋다.

소수성 용매로서는, 일반적으로 잉크 등을 사용하는 것이라면 좋다. 예를 들면, 미네랄오일, 지방산, 알코올, 탄화수소 등을 들 수 있다.

친수성 용매로서는, 예를 들면, 에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜 등의 알칸디올, 글리세린 등의 다가 알코올류, 당알코올류, 에탄올, 메탄올, 프로판올, 부탄올 등의 저급 알코올류, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르 등의 글리콜에테르류, 메틸아민, 트리에틸아민 등의 지방족아민류, 에탄올아민, 트리에탄올아민 등의 알칸올아민류, n-메틸아세트아미드, n-메틸포름아마이드 등의 아마이드류 등을 들 수 있다.

도전성 잉크에 사용하는 유기용매는 1 종 단독으로 사용하여도 좋고, 2 종 이상을 병용하여 사용하여도 좋다.

(은 입자) 본 실시형태에 관한 도전성 잉크는, 추가로 은 입자를 포함하는 것이 바람직하다. 이를 통해서, 본 실시형태에 관한 도전성 잉크를 사용하여 수득되는 회로의 도전성이 보다 한층 향상될 수 있다. 은 입자로서는, 본 실시형태에 관한 코어쉘형 금속 미립자의 제조에 사용하는, 전술한 은 입자와 동일한 것을 사용하는 것이 가능하다. 도전성 잉크 중의는 입자의 양은, 도전성 잉크의 전체를 100중량%으로 할 때, 바람직하게는 20 중량% 이상 50 중량% 이하이다.

(환원제) 본 실시형태에 관한 도전성 잉크에는 필요에 따라 각종 환원제를 배합하는 것이 가능하다. 환원제는 환원성을 가지는 용매를 사용하여도 좋고, 용매 이외의 별도 환원제를 배합하여도 좋다. 환원제로서는, 전숙한 동 입자를 포함하는 현탁액에 함유시킨 환원제와 같은 것을 들 수 있다.

도전성 잉크 중의 환원제의 양은, 도전성 잉크의 전체를 100 중량%으로 할 때, 바람직하게는 1 중량% 이상 10 중량% 이하이다.

(분산제) 본 실시형태에 관한 도전성 잉크에는, 필요에 따라 각종 분산제를 첨가하여도 좋다. 상기 분산제로서는, 예를 들면, 펜틸아민, 헥실아민(Hexyl amine), 헵틸아민, 옥틸아민, 노닐아민, 데실아민, 운데실아민, 도데실아민, 헥사데실아민, 옥타데실아민 등의 알킬아민계 분산제, 부탄산, 헵탄산, 헥산산, 헵탄산, 옥탄산, 노난산, 데칸산, 운데칸산, 도데칸산, 헥사데칸산, 나프텐산, 펜텐산, 헥센산, 헵텐산, 운데실렌산, 올레인산, 리놀산, 리놀렌산 등의 카본산계 분산제 등을 들 수 있다. 이들은 1종 단독으로 사용되는 것도 좋고, 1 종 단독으로 사용하여도 좋고, 2 종 이상을 병용하여 사용하여도 좋다.

도전성 잉크 중의 분산제의 양은, 도전성 잉크의 전체를 100중량%으로 하였을 때, 바람직하게는 1 중량% 이상 10 중량% 이하이다.

또한, 본 실시형태에 관한 도전성 잉크에는, 필요에 따라 각종 소포제, 착색제, 표면 조절제(Surface conditioner) 등의 도전성 잉크에 일반적으로 사용되는 각종 첨가제를 포함하여도 좋다.

<도전성 잉크의 제조방법> 본 실시형태에 관한 도전성 잉크는, 공지된 방법에 의해 제조하는 것이 가능하다. 예를 들면, 3 롤 밀(Triple roll mill), 비드 밀(bead mill), 볼 밀(ball mill), 행성식팬믹서기(Planetary mixer), 살포기(Disperser) 등의 배합기를 사용하여, 상기의 각 재료를 배합하여 도전성 잉크를 제조하는 것이 가능하다.

<기판> 본 실시형태에 관한 기판은, 본 실시형태에 관한 도전성 잉크를, 기재의 부분의 영역에 도포하여, 상기 영역을 가열하고, 상기 도전성 잉크 중의 상기 코어쉘형 금속 미립자끼리를 융착시켜서, 도전패턴을 형성하는 것에 의해서 수득할 수 있는 것이다.

상기 기판은 예를 들면, 유기 EL 디스플레이, 태양전지, 전자페이퍼, 플렉시브 기판 등의 전자 디바이스에 사용된다

본 실시 형태에 있어서, 상기 기판의 형성에 사용하는 기재는, 사용 목적 등에 의해, 유리 등의 무기 기재, 각종 플라스틱 기재가 사용 가능하다.

플라스틱 기재로서는, 예를 들면, 폴리이미드(Polyimide), 폴리아마이드이미드, 폴리에스테르, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리염화비닐, 폴리염화비닐리덴, 에틸렌-비닐알코올 공중합체, 폴리비닐알코올, 폴리메틸아크릴산, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌나프탈레이트 등의 열 가소성 수지에 의해 형성된 것을 들 수 있다. 내열성, 기계적 특성, 열적 특성 등의 면으로부터 폴리이미드, 폴리아마이드이미드, 또는 폴리에스테르에 의해 형성된 것이 바람직하다.

또한, 기재의 형상로서는, 평판, 입체물, 필름 등을 들 수 있고, 필름 상의 것이 적합하게 사용된다. 상기 수지로부터 만들어지는 수지 필름을 사용하는 것으로, R2R(roll to roll) 방식으로의 제조가 가능하게 되어, 높은 제조 효율로 생산하는 것이 가능하다.

이러한 기재는, 도전성 잉크를 도포하기 전에, 순수한 물 또는 초음파 등을 사용하여 도포면을 세척하는 것이 바람직하다.

<기판의 제조방법> 본 실시 형태에 관한 기판의 제조방법은, 도전성 잉크를 기재의 일정 영역에 도포하는 도포 공정과, 상기 영역을 가열하고, 상기 도전성 잉크 중의 상기 코어쉘형 금속 미립자끼리를 융착시켜서, 도전패턴을 형성하는 패턴 형성 공정을, 가진다. 이를 통해서, 저항치가 충분히 저감된 기판을 안정적으로 제조할 수 있다.

도전성 잉크를 기재의 일부 영역에 도포하는 방법은, 공지된 각종 방법을 사용하는 것이 가능하다. 예를 들면, 스크린 인쇄법, 잉크젯법, 딥 코팅법, 스프레이 도포법, 스핀코팅법, 디스펜서(dispenser)의 도포법 등을 사용하는 것이 가능하다.

특별히 미세한 배선 패턴을 형성하기 위해서, 잉크젯 법 또는 스크린 인쇄법이 바람직하다.

여기에서, 도전성 잉크를 기재에 도포하는 도포량으로서, 일부 영역의 원하는 막 두께에 대해서 적절하게 조정하여도 바람직하고, 잉크젯 법에서는 건조 후의 도전성 잉크를 박막 두께가 0.01 ㎛ 이상 10 ㎛ 이하의 범위가 바람직하며, 특별히 바람직하게는 0.1 ㎛ 이상 10 ㎛ 이하의 범위가 되도록 도포하여도 좋다. 스크린 인쇄법으로는, 잉크젯 방법에 비해서 박막화가 용이하기 때문에, 건조 후의 도전성 잉크 박막 두께가 0.1 ㎛ 이상 100 ㎛ 이하의 범위가 바람직하며, 특별히 바람직하게는 1 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하의 범위가 되도록 도포하는 것이 바람직하다.

패턴 형성 공정에 있어서 도전성 잉크를 도포한 영역의 가열은, 기재의 열 변형 및 변성 등을 고려하여, 금속 미립자의 녹는점 이상의 적의의 온도에서 수행하는 것이라면 바람직하다. 또한, 패턴 형성 공정의 전에, 기재를 가열하는 공정을 가져서, 가열된 기재를 사용하여, 패턴 형성 공정을 수행하는 것도 할 수 있다.

패턴 형성 공정에 있어서 도전성 잉크를 도포한 영역의 가열 방법은 공지된 각종 가열 방법을 사용하는 것이 가능하다. 예를 들면, 가열로에 의한 외부 가열, 마이크로파 가열 또는 전류에 의한 가열, 유도 가열, 원적외선 가열, 광가열 등에 의해 수행되는 것이 가능하다.

패턴 형성 공정은, 대기 하에서 수행되는 것이 가능하다.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해서 서술하였지만, 이들은 본 발명의 예시로서, 상기 이외의 다양한 구성을 채용하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명은 전술의 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 범위에서 변형, 개선 등은 본 발명에 포함되는 것이다.

이하, 본 발명을 실시예 및 비교예에 의해 설명하나, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.

각 실시예 및 각 비교예에 사용한 원료 성분을 하기에서 나타낸다. 단일 분리(Single resolution) 동 분말은 황산구리(copper Sulfate) 5 수화물 수용액을 2 단계에 환원하는 것으로 제조, 또는 시판된 것을 사용하였다. 제조한 3 종류의 평균 입자경의 제어는 수용액의 PH 및 온도를 적의 변경하는 것으로 수행하였다. 동 입자 1: 단일 분리된 동 분말(평균 입자경: 0.5㎛) 동 입자 2: 단일 분리된 동 분말(평균 입자경: 0.2㎛) 동 입자 3: 단일 분리된 동 분말(평균 입자경: 1.0㎛) 동 입자 4: 단일 분리된 동 분말(평균 입자경: 5.0㎛, 고순도화학연구소 제조의 구체상 동 분말(제품명: CUE12PE)) 은 입자를 포함하는 현탁액: 은 나노 입자 분산액(IoLitec사 제조의 은 나노입자(NM-0037-HP), 은 나노 입자 농도: 500g/Ｌ, 용매: n-옥탄, n-부탄올, 평균 입자경 20 nｍ) 환원제 1: 하이드록시수화물(와코순약공업사 제조) 분산제 1: 올레인산(와코순약공업사 제조) 분산제 2: n-헥실아민(칸토화학사 제조) 분산제 3: n-도데실아민(와코순약공업사 제조) 바인더 수지: 폴리에스테르수지(타카마츠수지사 제조, 페스레진 S-680EA)

(실시예 1) <동코어 은쉘입자의 제조> 유리 제품의 3구 플라스크에, 동 입자 1을 1g, 톨루엔을 10 ml 각각을 가하고, 배합 용액을 수득하였다. 이어서, 유리 제품의 3구 플라스크 내부를 질소 대기 하에서, 핫 마그네틱 교반기 및 PTFE(4플루오르화 에틸렌)제조 로테이터를 사용하여, 400 rpm에 배합 용액을 교반하였다. 이를 통해서, 동 입자를 포함하는 현탁액을 수득하였다. 이어서, 수득된 동 입자를 포함하는 현탁액에 환원제 1을 1.2g 가하여 교반하고, 동 입자 1 표면의 산화물을 제거하였다. 이어서, 분산제 1을 0.22g 가하여, 추가로 교반하였다. 현탁액을 교반하면서, 은 입자를 포함하는 현탁액을 0.5g(은 입자: 0.25g) 가하여, 실온(20℃)에서, 10 분 동안 교반하였다. 이를 통해서 동 입자의 표면에 복수의 은 입자를 흡착시켰다. 여기에서, 은 입자를 포함하는 현탁액은, 분산제로서, 분산제 2를 0.025 g 및 분산제 3을 0.025g 포함하고 있다. 그 후, 수득한 현탁액을 오일 욕조(oil bath)에서 120℃로, 1시간 가열 교반하였다. 이를 통해서, 동 입자의 표면에 흡착한 복수의 은 입자를 융해시켜서 복수의 은 입자끼리를 융착시켜, 동 입자의 표면에 은쉘성분을 형성시켰다. 교반 후, 분산제 2를 0.4g 가하여, 추가로 교반하였다. 이어서, 메탄올 40 ml을 가하여, 원심분리를 수행하였다. 수득된 침전물을 분리하여, 다시 한번, 메탄올 40 ml을 가하여, 침전물을 교반하고, 원심분리를 수행하였다. 이를 통해서, 동코어 은쉘형의 금속 미립자의 침전물을 수득하였다.

<동코어 은쉘 입자의 SEM 관측> 수득된 동코어 은쉘형의 금속 미립자를 유리판에 올려서 건조시킨 다음, 주사형 전자현미경(히타치 테크놀로지 사 제조, FE-SEM S-4700)으로 관측하여, 에너지 분산형 X선 분석 장치(호리바 제작소 EMAX-7000)로 분류하였다. 그 결과, 동코어 은쉘형의 금속 미립자인 것을 확인하였다. 또한, 이러한 동코어 은쉘형의 금속 미립자의 평균 입자경은 0.5㎛이다. 또한, 도 1은 실시예 1에서 수득한 동코어 은쉘형의 금속 미립자의 SEM사진(촬영 배율 10만배)를 나타낸다. 도 1의 SEM 사진으로부터, 동 입자에 대하여 은의 피복상태가 좋아진 것이 확인되었다.

<도전성 잉크의 제조> 전술한 은 입자를 포함하는 현탁액 0.4 g(은 입자: 0.2 g)에, 수득된 동코어 은쉘형의 금속 미립자를 0.3 g, 바인더수지를 0.035 g, 분산제 1을 0.037 g 각각 가하고, 혼합해서 도전성 잉크를 수득하였다.

<기판의 제조> 도전성 잉크를 유리판에 도포하여, 대기 하, 150℃에서, 1시간 소성(Firing)하고, 두께 3.5㎛의 동은도체를 제조하였다. 이 동은도체의 체적저항률을 측정하였으며, 14 μΩ·Ecm이었다. 체적 저항률의 측정은, 히오키 전기 주식회사 제조의 밀리옴 하이테스터3540(milli-ohm High tester 3540)에 의해서, 사단자법(four-terminal method)에 의해 측정을 수행하였다.

(실시예 2) 동 입자 1 대신에 동 입자 2를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, 동코어 은쉘형의 금속 미립자, 도전성 잉크, 기판을 제조하였다.

(실시예 3) 동 입자 1 대신에 동 입자 3를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, 동코어 은쉘형의 금속 미립자, 도전성 잉크, 기판을 제조하였다.

(실시예 4) 동 입자 1 대신에 동 입자 4를 사용한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, 동코어 은쉘형의 금속 미립자, 도전성 잉크, 기판을 제조하였다.

(비교예 1) 도전성 잉크를 제조할 때의 동코어 은쉘형의 금속 미립자를 동 입자 1로 하는 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, 도전성 잉크, 기판을 제조하였다.

(비교예 2) 현탁액을 오일 욕조에서 120℃로 1시간 가열 교반하는 것 대신에, 수득한 현탁액을 오일 욕조에서 실온(20℃)으로 1시간 교반한 것 이외에는 실시예 1과 동일한 방법으로, 동코어 은쉘형의 금속 미립자, 도전성 잉크, 기판을 제조하였다.

(비교예 3) 동코어 은쉘형의 금속 미립자를 제조할 때의 은 입자를 포함하는 현탁액을 아세트산은(silver acetate)의 아민 복합체 0.25g로 하는 것 이외에는 실시예 1과 동일하게, 동코어 은쉘형의 금속 미립자, 도전성 잉크, 기판을 제조하였다.

수득한 결과를 표 1에 나타낸다. 또한, 도 2 및 도 3에 비교예 2 및 3에서 수득한 동코어 은쉘형의 금속 미립자의 SEM 사진(최대 관측배율 10만배)을 각각 나타낸다.

	코어쉘형 금속미립자의 평균입자경(㎛)	은을 포함하는 쉘 형성의 원료	가열온도 (℃)	동은도전체의 박막 두께 (㎛)	체적 저항률 (μΩ·㎝)
실시예 1	0.5	은 나노입자	120	3.5	14
실시예 2	0.2	은 나노입자	120	1.5	14
실시예 3	1.0	은 나노입자	120	4.5	20
실시예 4	5.0	은 나노입자	120	8.0	23
비교예 1	0.5	-	-	2.5	6000
비교예 2	0.5	은 나노입자	비가열	2.7	521
비교예 3	0.5	아세트산은의 아민 복합체	120	2.5	455

본 실시 형태에 관한 제조방법에 의해 제조된 실시예 1~4의 코어쉘형 금속 미립자를 사용한 기판은 체적 저항률(volume resistivity)이 적어, 도전성이 우수해진다. 이와 비교하여, 비교예 1~3의 코어쉘형 금속 미립자를 사용한 기판은 체적 저항률이 높아져, 도전성이 낮아진다. 또한, 도 2 및 도 3으로부터, 도전성이 낮은 코어쉘형 금속 미립자는 은의 응집체가 동에 흡착되어 있는 바와 같은 구조가 되는 것을 확인하였다.

본 출원은, 2014년 6월 25일에 출원된 일본출원특허 제 2014-130668호를 기반으로 하는 우선권을 주장하며, 이에 개시된 전체를 여기에서 포함한다.

Claims (10)

1. 동을 포함하는 코어(core) 성분 및 은을 포함하는 쉘(shell) 성분에 의해서 형성된 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법으로서,
   동 입자 및 은 입자를 준비하는 공정;
   상기 동 입자 및 상기 은 입자를 유기용매 중에서 동시에 분산시키는 것에 의해서, 상기 동 입자의 표면에 복수의 상기 은 입자를 흡착시키는 공정; 및
   상기 은 입자가 흡착된 상기 동 입자를 가열하는 것에 의해서, 상기 동 입자의 표면에 흡착된 다수의 상기 은 입자끼리를 융착시켜서, 상기 동 입자의 표면에 상기 은을 포함하는 쉘성분을 형성하는 공정
   을 포함하되,
   상기 동 입자의 평균 입자경이 100㎚ 이상 20 ㎛ 이하인, 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 은 입자가 흡착된 상기 동 입자를 가열하는 가열온도가 60 ℃ 이상 150 ℃ 이하인, 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법.
   
3. 삭제
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 은 입자의 평균 입자경이 1㎚ 이상 200 ㎚ 이하인, 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법.
   
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 유기 용매 중에 분산시킨 상기 은 입자의 양은, 상기 동 입자 100 질량부에 대하여, 1 질량부 이상 80 질량부 이하인, 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법.
   
6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   상기 유기 용매는 소수성 용매인, 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법.
   
7. 제 1 항 또는 제 2 항의 코어쉘형 금속 미립자의 제조방법에 의해서 얻어진 코어쉘형 금속 미립자.
   
8. 제 7 항에 기재된 코어쉘형 금속 미립자와, 바인더수지와, 물 및 유기용매 중 적어도 하나를 포함하는 용매를 포함하는 도전성 잉크.
   
9. 제 8 항에 있어서,
   은 입자를 추가로 포함하는 도전성 잉크.
   
10. 소정의 도전패턴을 가지는 기판의 제조방법으로서,
    제 8 항에 기재된 도전성 잉크를, 기재(基材)의 소정 영역에 도포하는 도포 공정과,
    상기 영역을 가열하여, 상기 도전성 잉크 중의 상기 코어쉘형 금속 미립자 끼리를 융착시켜서, 도전패턴을 형성하는 패턴 형성 공정
    을 포함하는, 기판의 제조방법.

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