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KR102177784B1 - Open mask assembly - Google Patents

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KR102177784B1
KR102177784B1 KR1020130158200A KR20130158200A KR102177784B1 KR 102177784 B1 KR102177784 B1 KR 102177784B1 KR 1020130158200 A KR1020130158200 A KR 1020130158200A KR 20130158200 A KR20130158200 A KR 20130158200A KR 102177784 B1 KR102177784 B1 KR 102177784B1
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김명규
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체는 개구부를 가지는 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임에 설치되어 있으며 상기 마스크 프레임을 따라 이동가능하게 설치되어 있는 복수개의 이송 부재, 상기 복수개의 이송 부재에 연결되어 있는 복수개의 선형 시트를 포함하고, 상기 복수개의 선형 시트는 상기 개구부를 복수개의 증착 개구부로 분할할 수 있다.An open mask assembly according to an embodiment of the present invention includes a mask frame having an opening, a plurality of transfer members installed in the mask frame and movably installed along the mask frame, and connected to the plurality of transfer members. A plurality of linear sheets may be included, and the plurality of linear sheets may divide the opening into a plurality of deposition openings.

Description

오픈 마스크 조립체{OPEN MASK ASSEMBLY}Open mask assembly {OPEN MASK ASSEMBLY}

본 발명은 오픈 마스크 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 박막 증착용 오픈 마스크 조립체에 관한 것이다.The present invention relates to an open mask assembly, and more particularly, to an open mask assembly for thin film deposition.

평판 표시 장치로서 액정 표시 장치(LCD)와 유기 발광 표시 장치(OLED)가 알려져 있다. 평판 표시 장치는 특정 패턴의 금속층, 특정 패턴의 유기 발광층 또는 절연막 등을 포함한다. 이러한 금속층, 유기 발광층 또는 절연막 등을 형성하기 위해 마스크 조립체를 이용한 증착법이 사용되고 있다. As flat panel displays, a liquid crystal display (LCD) and an organic light emitting display (OLED) are known. A flat panel display device includes a metal layer having a specific pattern, an organic light emitting layer or an insulating layer having a specific pattern, and the like. In order to form such a metal layer, an organic light emitting layer, or an insulating film, a vapor deposition method using a mask assembly is used.

마스크 조립체는 증착하고자 하는 금속층 또는 유기 발광층과 동일한 형상의 패턴 개구부가 형성된 패턴 마스크 조립체와, 패턴없이 절연막의 증착 면적과 동일한 면적의 증착 개구부가 형성된 오픈 마스크 조립체로 나눌 수 있다. The mask assembly may be divided into a pattern mask assembly in which a pattern opening having the same shape as a metal layer or an organic emission layer to be deposited is formed, and an open mask assembly in which a deposition opening having the same area as the deposition area of the insulating layer is formed without a pattern.

이 중 오픈 마스크 조립체는 증착하고자 하는 절연막의 증착 면적에 맞추어 복수개의 마스크 프레임을 개별적으로 제조하거나, 오픈 마스크 조립체를 절연막의 증착 면적에 맞추어 외부 업체에서 별도로 수리하여 사용한다. Among them, the open mask assembly individually manufactures a plurality of mask frames according to the deposition area of the insulating layer to be deposited, or the open mask assembly is separately repaired and used by an external company according to the deposition area of the insulating layer.

그러나, 절연막의 증착 면적에 맞추어 복수개의 마스크 프레임을 개별적으로 제조하는 경우에는 사용할 마스크 프레임의 수량이 증가하므로, 오픈 마스크 조립체의 제조 비용 또는 보관 비용 등이 증가한다. 또한, 절연막의 증착 면적에 맞추어 외부 업체에서 별도로 마스크 프레임을 수선할 경우, 수선 기간 및 운반 비용도 증가한다.However, when a plurality of mask frames are individually manufactured according to the deposition area of the insulating film, since the number of mask frames to be used increases, the manufacturing cost or storage cost of the open mask assembly increases. In addition, if the mask frame is separately repaired by an external company according to the deposition area of the insulating film, the repair period and transportation cost are increased.

본 발명은 전술한 배경 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 증착 면적을 조절하여 비용을 절감할 수 있는 오픈 마스크 조립체를 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide an open mask assembly capable of reducing cost by controlling a deposition area as to solve the problems of the background technology described above.

본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체는 개구부를 가지는 마스크 프레임, 상기 마스크 프레임에 설치되어 있으며 상기 마스크 프레임을 따라 이동가능하게 설치되어 있는 복수개의 이송 부재, 상기 복수개의 이송 부재에 연결되는 복수개의 선형 시트를 포함하고, 상기 복수개의 선형 시트는 상기 개구부를 복수개의 증착 개구부로 분할할 수 있다.An open mask assembly according to an embodiment of the present invention includes a mask frame having an opening, a plurality of transfer members installed in the mask frame and movably installed along the mask frame, and a plurality of transfer members connected to the plurality of transfer members. A plurality of linear sheets may be included, and the plurality of linear sheets may divide the opening into a plurality of deposition openings.

상기 복수개의 이송 부재 중 서로 마주보는 한 쌍의 이송 부재는 상기 선형시트의 양단부와 연결되어 있을 수 있다.A pair of transfer members facing each other among the plurality of transfer members may be connected to both ends of the linear sheet.

상기 이송 부재를 이동시켜 상기 선형 시트를 이송시킴으로써 상기 복수개의 증착 개구부의 증착 면적을 변경시킬 수 있다.By moving the transfer member to transfer the linear sheet, the deposition areas of the plurality of deposition openings may be changed.

상기 마스크 프레임은 상기 복수개의 이송 부재가 설치되는 지지 프레임부, 상기 지지 프레임부에서 상기 개구부로 돌출되는 돌출 프레임부를 포함할 수 있다.The mask frame may include a support frame portion on which the plurality of transfer members are installed, and a protrusion frame portion protruding from the support frame portion to the opening.

상기 이송 부재는 상기 지지 프레임부 위에 탑재되는 이송 블록, 상기 이송 블록 내부에 설치되며 상기 선형 시트에 연결되어 상기 선형 시트의 인장력을 조절하는 인장력 조절 부재를 포함할 수 있다.The transfer member may include a transfer block mounted on the support frame portion, and a tensile force adjusting member installed inside the transfer block and connected to the linear sheet to adjust the tensile force of the linear sheet.

상기 인장력 조절 부재에 설치되어 상기 인장력 조절 부재를 회전시키는 회전 부재를 더 포함하고, 상기 회전 부재는 상기 인장력 조절 부재에 감겨진 상기 선형 시트의 인장력을 조절할 수 있다.Further comprising a rotation member installed on the tension adjustment member to rotate the tension adjustment member, the rotation member may adjust the tensile force of the linear sheet wound around the tension adjustment member.

상기 이송 부재는 상기 이송 블록의 하부에 설치되어 있으며, 상기 지지 프레임부에 형성되는 이송홈에 결합되는 이송 가이드를 더 포함할 수 있다.The transfer member may further include a transfer guide installed under the transfer block and coupled to a transfer groove formed in the support frame.

상기 돌출 프레임부의 상부면의 높이는 상기 선형 시트의 높이보다 낮을 수있다.The height of the upper surface of the protruding frame part may be lower than the height of the linear sheet.

상기 마스크 프레임은 서로 연결된 4개의 변 마스크 프레임을 포함하고, 상기 변 마스크 프레임에 적어도 하나 이상의 상기 이송 부재가 설치될 수 있다.The mask frame may include four side mask frames connected to each other, and at least one of the transfer members may be installed in the side mask frame.

상기 4개의 변 마스크 프레임 중 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재가 설치될 수 있다.A different number of conveying members may be installed in adjacent side mask frames among the four side mask frames.

본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체는 이송 부재에 연결되며 마스크 프레임의 개구부를 복수개의 증착 개구부로 분할하는 선형 시트를 복수개의 이송 부재에 연결하고, 이송 부재를 마스크 프레임을 따라 이동가능하게 설치함으로써, 복수개의 증착 개구부의 증착 면적을 용이하게 조절할 수 있다.The open mask assembly according to an embodiment of the present invention is connected to a transfer member, and a linear sheet dividing the opening of the mask frame into a plurality of deposition openings is connected to the plurality of transfer members, and the transfer member is movable along the mask frame. By installing, it is possible to easily adjust the evaporation area of the plurality of evaporation openings.

따라서, 불필요한 마스크 프레임의 수량 및 종류를 최소화 할 수 있으므로,자재 비용, 인건 비용 등의 비용 절감이 가능하고, 선형 시트의 파손 시에는 현장에서 신속하게 교체할 수 있어 제조 비용 및 제조 시간을 줄일 수 있다.Therefore, it is possible to minimize the number and types of unnecessary mask frames, so that costs such as material costs and labor costs can be reduced, and when the linear sheet is damaged, it can be replaced quickly in the field, reducing manufacturing costs and manufacturing time. have.

또한, 이송 부재의 인장력 조절 부재를 이용하여 선형 시트가 처지는 것을 방지할 수 있다. In addition, it is possible to prevent the linear sheet from sagging by using the tension adjusting member of the conveying member.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 II-II선을 따라 자른 단면도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 이송 부재를 이동시켜 증착 개구부의 증착 면적을 변경한 상태의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 사시도이다.1 is a perspective view of an open mask assembly according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along line II-II of the open mask assembly according to an embodiment of the present invention.
3 to 5 are perspective views illustrating a state in which a deposition area of a deposition opening is changed by moving a transfer member of the open mask assembly according to an embodiment of the present invention.
6 is a perspective view of an open mask assembly according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention. The present invention may be implemented in various different forms, and is not limited to the embodiments described herein.

명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 또는 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분의 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 또한, "~ 상에" 또는 "~ 위에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것을 의미하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하지 않는다.When a part of the specification "includes" a certain component, it means that other components may be further included unless otherwise specified. In addition, when a part such as a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on" or "on" another part throughout the specification, it is not only "directly over" another part, but also another part in the middle. Includes cases. In addition, "on" or "on" means to be positioned above or below the target portion, and does not necessarily mean to be positioned above the direction of gravity.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 II-II선을 따라 자른 단면도이다. 1 is a perspective view of an open mask assembly according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of an open mask assembly according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체는 개구부(A)를 가지는 마스크 프레임(100), 마스크 프레임(100)에 설치되어 있는 복수개의 이송 부재(200), 복수개의 이송 부재(200)에 연결되는 복수개의 선형 시트(300)를 포함한다. 1 and 2, the open mask assembly according to an embodiment of the present invention includes a mask frame 100 having an opening A, and a plurality of transfer members 200 installed in the mask frame 100. ), and a plurality of linear sheets 300 connected to the plurality of transfer members 200.

마스크 프레임(100)은 서로 직각으로 연결된 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)을 포함한다. 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)은 서로 연결되어 액자 형성을 이룬다. The mask frame 100 includes four side mask frames 101, 102, 103, and 104 connected at right angles to each other. The four side mask frames 101, 102, 103, and 104 are connected to each other to form a frame.

마스크 프레임(100)은 복수개의 이송 부재(200)가 설치되는 지지 프레임부(110), 지지 프레임부(110)에서 개구부로(A) 돌출되는 돌출 프레임부(120)를 포함한다. 돌출 프레임부(120)의 상부면의 높이(h1)은 선형 시트(300)의 높이(h2)보다 낮으므로, 선형 시트(300)의 인장력이 작아져 처지는 경우에도 돌출 프레임부(120)가 선형 시트(300)를 지지하여 선형 시트(300)가 처지는 것을 방지할 수 있다.The mask frame 100 includes a support frame portion 110 on which a plurality of transfer members 200 are installed, and a protruding frame portion 120 protruding from the support frame portion 110 to an opening (A). Since the height h1 of the upper surface of the protruding frame unit 120 is lower than the height h2 of the linear sheet 300, the protruding frame unit 120 is linear even when the tensile force of the linear sheet 300 is reduced and sags. By supporting the sheet 300, it is possible to prevent the linear sheet 300 from sagging.

복수개의 이송 부재(200)는 마스크 프레임(100)을 따라 이동가능하게 설치되어 있으며, 적어도 하나 이상의 이송 부재(200)가 각각의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)에 설치되어 있다. 복수개의 이송 부재(200) 중 서로 마주보는 한 쌍의 이송 부재(200)는 선형 시트(300)의 양단부와 연결되어 있다. The plurality of conveying members 200 are installed to be movable along the mask frame 100, and at least one conveying member 200 is installed on each of the side mask frames 101, 102, 103, and 104. A pair of transfer members 200 facing each other among the plurality of transfer members 200 are connected to both ends of the linear sheet 300.

이송 부재(200)는 지지 프레임부(110) 위에 탑재되며 내부 공간을 가지는 이송 블록(210), 이송 블록(210)의 내부 공간에 설치되는 인장력 조절 부재(220)를 포함한다. 인장력 조절 부재(220)는 선형 시트(300)에 연결되어 선형 시트(300)의 인장력을 조절한다.The transfer member 200 is mounted on the support frame unit 110 and includes a transfer block 210 having an inner space, and a tensile force adjustment member 220 installed in the inner space of the transfer block 210. The tensile force adjustment member 220 is connected to the linear sheet 300 to adjust the tensile force of the linear sheet 300.

인장력 조절 부재(220)의 회전 중심축선 상에는 인장력 조절 부재(220)를 회전시키는 회전 부재(230)가 설치되어 있다. 이러한 회전 부재(230)는 인장력 조절 부재(220)를 정방향 또는 역방향으로 회전시켜 인장력 조절 부재(220)에 감겨진 선형 시트(300)의 인장력을 조절할 수 있다.A rotation member 230 for rotating the tension adjustment member 220 is installed on the rotational center axis of the tension adjustment member 220. The rotating member 230 may adjust the tensile force of the linear sheet 300 wound around the tensile force adjusting member 220 by rotating the tensile force adjusting member 220 in a forward or reverse direction.

이송 블록(210)의 하부에는 이송 가이드(240)가 설치되어 있으며, 이송 가이드(240)는 지지 프레임부(110)에 형성되는 이송홈(110a)에 결합되어 이송 부재(200)가 이송홈(110a)을 따라 이동할 수 있도록 한다. A transfer guide 240 is installed at the lower part of the transfer block 210, and the transfer guide 240 is coupled to a transfer groove 110a formed in the support frame unit 110 so that the transfer member 200 is transferred to the transfer groove ( 110a).

복수개의 선형 시트(300)는 마스크 프레임(100)의 개구부(A)를 가로지르고 있으므로, 마스크 프레임(100)의 개구부(A)를 9개의 증착 개구부(A1, A2, A3, A4, A5, A6, A7, A8, A9)로 분할한다.Since the plurality of linear sheets 300 cross the opening (A) of the mask frame 100, the opening (A) of the mask frame 100 is divided into nine deposition openings (A1, A2, A3, A4, A5, A6). , A7, A8, A9).

따라서, 이송 부재(200)를 이동시켜 이송 부재(200)에 연결된 선형 시트(300)를 이송시킴으로써 이러한 9개의 증착 개구부(A1, A2, A3, A4, A5, A6, A7, A8, A9)의 증착 면적을 변경시킬 수 있다.Therefore, by moving the transfer member 200 to transfer the linear sheet 300 connected to the transfer member 200, these nine deposition openings (A1, A2, A3, A4, A5, A6, A7, A8, A9) The deposition area can be changed.

도 3 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 이송 부재를 이동시켜 증착 개구부의 증착 면적을 변경한 상태의 사시도이다.3 to 5 are perspective views illustrating a state in which a deposition area of a deposition opening is changed by moving a transfer member of the open mask assembly according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시한 바와 같이, 이송 부재(200)를 이동시켜 가운데에 위치한 증착 개구부(A5)의 증착 면적만을 증가시킬 수 있고, 도 4에 도시한 바와 같이, 이송 부재(200)를 이동시켜 두 개의 증착 개구부(A2, A8)의 증착 면적만을 증가시킬 수도 있으며, 도 5에 도시한 바와 같이, 3개의 증착 개구부(A2, A3, A4)의 증착 면적만을 증가시킬 수도 있다. 3, by moving the transfer member 200, only the deposition area of the deposition opening A5 located in the center can be increased, and as shown in FIG. 4, the transfer member 200 is moved Only the deposition areas of the three deposition openings A2 and A8 may be increased, and as shown in FIG. 5, only the deposition areas of the three deposition openings A2, A3 and A4 may be increased.

한편, 상기 일 실시예에서는 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)에 동일한 수의 이송 부재가 설치되어 있으나, 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104) 중 서로 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재가 설치되는 다른 실시예도 가능하다. On the other hand, in the above embodiment, the same number of conveying members are installed in the four side mask frames 101, 102, 103, and 104, but among the four side mask frames 101, 102, 103, 104 Other embodiments are possible in which different numbers of conveying members are installed in the side mask frame.

이하에서 도 6을 참조하여 다른 실시예에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, another embodiment will be described in detail with reference to FIG. 6.

도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체의 사시도이다.6 is a perspective view of an open mask assembly according to another embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 다른 실시예는 도 1 내지 도 5에 도시된 일 실시예와 비교하여 서로 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재가 설치되는 것만을 제외하고 실질적으로 동일한 바 반복되는 설명은 생략한다.The other embodiment shown in FIG. 6 is substantially the same as the embodiment shown in FIGS. 1 to 5 except that different numbers of transfer members are installed in the side mask frames adjacent to each other. Is omitted.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 오픈 마스크 조립체는 개구부(A)를 가지는 마스크 프레임(100), 마스크 프레임(100)에 설치되어 있는 복수개의 이송 부재(200), 복수개의 이송 부재(200)에 연결되는 복수개의 선형 시트(300)를 포함한다. 6, the open mask assembly according to another embodiment of the present invention includes a mask frame 100 having an opening A, a plurality of transfer members 200 installed in the mask frame 100, and a plurality of It includes a plurality of linear sheets 300 connected to the transfer member 200.

복수개의 이송 부재(200)는 마스크 프레임(100)을 따라 이동가능하게 설치되어 있으며, 적어도 하나 이상의 이송 부재(200)가 각각의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104)에 설치되어 있다. 이 때, 4개의 변 마스크 프레임(101, 102, 103, 104) 중 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재(200)가 설치되어 있다. 즉, 제1 변 마스크 프레임(101)에는 하나의 이송 부재(200)가 설치되어 있고, 제1 변 마스크 프레임(101)과 이웃하는 제2 변 마스크 프레임(102)에는 2개의 이송 부재(200)가 설치되어 있다. 또한, 제3 변 마스크 프레임(103)에는 하나의 이송 부재(200)가 설치되어 있고, 제3 변 마스크 프레임(103)과 이웃하는 제4 변 마스크 프레임(104)에는 2개의 이송 부재(200)가 설치되어 있다. The plurality of conveying members 200 are installed to be movable along the mask frame 100, and at least one conveying member 200 is installed on each of the side mask frames 101, 102, 103, and 104. At this time, different numbers of conveying members 200 are provided in the adjacent side mask frames among the four side mask frames 101, 102, 103, and 104. That is, one transfer member 200 is installed in the first side mask frame 101, and two transfer members 200 are provided in the second side mask frame 102 adjacent to the first side mask frame 101. Is installed. In addition, one conveying member 200 is installed in the third side mask frame 103, and two conveying members 200 are provided in the fourth side mask frame 104 adjacent to the third side mask frame 103. Is installed.

이러한 복수개의 이송 부재(200)에 연결된 복수개의 선형 시트(300)는 마스크 프레임(100)의 개구부(A)를 가로지르고 있으므로, 마스크 프레임(100)의 개구부(A)를 6개의 증착 개구부(B1, B2, B3, B4, B5, B6)로 분할한다.Since the plurality of linear sheets 300 connected to the plurality of transfer members 200 cross the opening (A) of the mask frame 100, the opening (A) of the mask frame 100 is formed with six deposition openings (B1). , B2, B3, B4, B5, B6).

그리고, 이송 부재(200)를 이동시켜 이송 부재(200)에 연결된 선형 시트(300)를 이송시킴으로써 이러한 6개의 증착 개구부(B1, B2, B3, B4, B5, B6)의 증착 면적을 변경시킬 수 있다.And, by moving the transfer member 200 to transfer the linear sheet 300 connected to the transfer member 200, the deposition area of these six deposition openings (B1, B2, B3, B4, B5, B6) can be changed. have.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.In the above, preferred embodiments of the present invention have been described, but the present invention is not limited thereto, and it is possible to implement various modifications within the scope of the claims, the detailed description of the invention, and the accompanying drawings. It is natural to fall within the scope of

100: 마스크 프레임 200: 이송 부재
300: 선형 시트100: mask frame 200: transfer member
300: linear sheet

Claims (10)

개구부를 가지는 마스크 프레임,
상기 마스크 프레임에 설치되어 있으며 상기 마스크 프레임을 따라 이동가능하게 설치되어 있는 복수개의 이송 부재,
상기 복수개의 이송 부재에 연결되는 복수개의 선형 시트
를 포함하고,
상기 마스크 프레임은
상기 복수개의 이송 부재가 설치되는 지지 프레임부,
상기 지지 프레임부에서 돌출되고, 상기 복수개의 선형 시트를 지지하여 상기 복수개의 선형 시트가 처지는 것을 방지하는 돌출 프레임부
를 포함하고,
상기 복수개의 선형 시트는 상기 개구부를 복수개의 증착 개구부로 분할하는 오픈 마스크 조립체.A mask frame having an opening,
A plurality of transfer members installed on the mask frame and movably installed along the mask frame,
A plurality of linear sheets connected to the plurality of transfer members
Including,
The mask frame
A support frame portion on which the plurality of transfer members are installed,
A protruding frame part protruding from the support frame part and supporting the plurality of linear sheets to prevent sagging of the plurality of linear sheets
Including,
The plurality of linear sheets divide the opening into a plurality of deposition openings. 제1항에 있어서,
상기 복수개의 이송 부재 중 서로 마주보는 한 쌍의 이송 부재는 상기 선형시트의 양단부와 연결되어 있는 오픈 마스크 조립체.The method of claim 1,
An open mask assembly in which a pair of conveying members facing each other among the plurality of conveying members are connected to both ends of the linear sheet. 제2항에 있어서,
상기 이송 부재를 이동시켜 상기 선형 시트를 이송시킴으로써 상기 복수개의 증착 개구부의 증착 면적을 변경시키는 오픈 마스크 조립체.The method of claim 2,
An open mask assembly for changing a deposition area of the plurality of deposition openings by moving the transfer member to transfer the linear sheet. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 이송 부재는
상기 지지 프레임부 위에 탑재되는 이송 블록,
상기 이송 블록 내부에 설치되며 상기 선형 시트에 연결되어 상기 선형 시트의 인장력을 조절하는 인장력 조절 부재
를 포함하는 오픈 마스크 조립체.The method of claim 1,
The transfer member
A transfer block mounted on the support frame portion,
A tensile force adjusting member installed inside the transfer block and connected to the linear sheet to adjust the tensile force of the linear sheet
Open mask assembly comprising a. 제5항에 있어서,
상기 인장력 조절 부재에 설치되어 상기 인장력 조절 부재를 회전시키는 회전 부재를 더 포함하고,
상기 회전 부재는 상기 인장력 조절 부재에 감겨진 상기 선형 시트의 인장력을 조절하는 오픈 마스크 조립체.The method of claim 5,
Further comprising a rotating member installed on the tension adjustment member to rotate the tension adjustment member,
The rotating member is an open mask assembly for adjusting the tensile force of the linear sheet wound around the tensile force adjusting member. 제6항에 있어서,
상기 이송 부재는
상기 이송 블록의 하부에 설치되어 있으며, 상기 지지 프레임부에 형성되는 이송홈에 결합되는 이송 가이드를 더 포함하는 오픈 마스크 조립체.The method of claim 6,
The transfer member
An open mask assembly that is installed under the transfer block and further comprises a transfer guide coupled to a transfer groove formed in the support frame. 제7항에 있어서,
상기 돌출 프레임부의 상부면의 높이는 상기 선형 시트의 높이보다 낮은 오픈 마스크 조립체.The method of claim 7,
The height of the upper surface of the protruding frame part is lower than the height of the linear sheet. 제1항에 있어서,
상기 마스크 프레임은 서로 연결된 4개의 변 마스크 프레임을 포함하고, 상기 변 마스크 프레임에 적어도 하나 이상의 상기 이송 부재가 설치되는 오픈 마스크 조립체.The method of claim 1,
The mask frame includes four side mask frames connected to each other, and an open mask assembly in which at least one transfer member is installed in the side mask frame. 제9항에 있어서,
상기 4개의 변 마스크 프레임 중 이웃하는 변 마스크 프레임에 서로 다른 수의 이송 부재가 설치되는 오픈 마스크 조립체.The method of claim 9,
An open mask assembly in which different numbers of conveying members are installed in neighboring side mask frames among the four side mask frames.
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