KR102170164B1 - 광대역 광 소스들의 스펙트럼 튜닝을 위한 시스템 및 방법 - Google Patents
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- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title claims abstract description 98
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 70
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 390
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims abstract description 330
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 214
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 169
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 100
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 11
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 4
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000002459 sustained effect Effects 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
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- G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0237—Adjustable, e.g. focussing
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/10—Arrangements of light sources specially adapted for spectrometry or colorimetry
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1828—Diffraction gratings having means for producing variable diffraction
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
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- G01J2003/1828—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating with order sorter or prefilter
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N2021/3185—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry typically monochromatic or band-limited
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- G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
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- G02F2201/305—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 grating diffraction grating
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/05—Function characteristic wavelength dependent
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Abstract
Description
도 1은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 튜너블 스펙트럼 필터(tunable spectral filter)를 예시하는 개념도이다.
도 2a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 저역 통과 필터로서 구성된 필터링 요소의 상면도이다.
도 2b는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 고역 통과 필터로서 구성된 필터링 요소의 상면도이다.
도 2c는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 노치 필터로서 구성된 필터링 요소의 상면도이다.
도 2d는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 대역 통과 필터로서 구성된 필터링 요소의 상면도이다.
도 3a는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 제1 선택 파장을 통과시키는 튜너블 스펙트럼 필터의 부분의 개략도이다.
도 3b는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 제2 선택 파장을 통과시키는 튜너블 스펙트럼 필터의 부분의 개략도이다.
도 3c는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 제3 선택 파장을 통과시키는 튜너블 스펙트럼 필터의 부분의 개략도이다.
도 4는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 저역 통과 필터를 제공하기 위한 제1 필터링 스테이지 및 고역 통과 필터를 제공하기 위한 제2 필터링 스테이지를 포함하는 튜너블 스펙트럼 필터의 개념도이다.
도 5는 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 광대역 조명 소스를 튜닝하기 위한 방법에서 수행되는 단계들을 예시하는 흐름도이다.
도 6은 본 개시내용의 하나 이상의 실시예들에 따른, 튜너블 스펙트럼 필터를 포함하는 튜너블 조명 소스를 예시하는 블록도이다.
Claims (56)
- 튜너블 스펙트럼 필터(tunable spectral filter)로서,
제1 튜너블 분산 요소 - 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산은 조정가능하고, 상기 제1 튜너블 분산 요소는 스펙트럼 분산을 조명 빔에 도입하도록 구성됨 -;
제1 광학 요소 - 상기 제1 광학 요소는 상기 제1 튜너블 분산 요소로부터 상기 조명 빔을 수신하고 상기 조명 빔을 초점 평면에서 초점조정하도록 구성되고, 상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포는 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산을 조정하는 것에 의해 제어가능함 -;
상기 초점 평면에 위치된 공간 필터링 요소 - 상기 공간 필터링 요소는 필터링된 스펙트럼을 가진 필터링된 조명 빔을 형성하기 위해 상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포에 기초하여 상기 조명 빔의 스펙트럼을 필터링함 -;
상기 공간 필터링 요소로부터 상기 필터링된 조명 빔을 수집하도록 구성된 제2 광학 요소;
상기 제2 광학 요소로부터 상기 필터링된 조명 빔을 수신하도록 구성된 제2 튜너블 분산 요소 - 상기 제2 튜너블 분산 요소의 분산은 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산에 대응하도록 구성되고, 상기 제2 튜너블 분산 요소는 상기 필터링된 조명 빔으로부터 상기 제1 튜너블 분산 요소에 의해 도입된 상기 스펙트럼 분산을 제거하도록 구성됨 -; 및
상기 제1 튜너블 분산 요소, 상기 제2 튜너블 분산 요소 및 상기 공간 필터링 요소에 통신가능하게 커플링된 제어기 - 상기 제어기는 상기 공간 필터링 요소 상의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 분포를 수정하기 위해 상기 제1 튜너블 분산 요소 및 상기 제2 튜너블 분산 요소의 분산 특성들을 수정하도록 구성됨 -
를 포함하고,
상기 제1 튜너블 분산 요소 및 상기 제2 튜너블 분산 요소, 중 적어도 하나는 회절 격자(diffraction grating)를 포함하고, 상기 회절 격자는 음향-광학 편향기를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제1항에 있어서,
상기 제1 튜너블 분산 요소는 공간적으로 가간섭성인 조명 빔(spatially coherent illumination beam)을 수용하도록 구성되는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제2항에 있어서,
상기 공간적으로 가간섭성인 조명 빔은,
슈퍼컨티뉴엄 레이저 소스(supercontinuum laser source)를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 회절 격자의 피치 및 회절 효율, 중 적어도 하나는 조정가능한 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제1항에 있어서,
상기 회절 격자는,
전기-광학 편향기를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제1항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는, 필터링 세그먼트 상의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포에 기초하여 상기 조명 빔의 스펙트럼의 부분을 차단하기 위한 상기 필터링 세그먼트를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제7항에 있어서,
상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산을 조정하는 것은, 상기 필터링된 조명 빔을 형성하기 위해 상기 필터링 세그먼트에 의해 차단되는 상기 조명 빔의 스펙트럼의 부분을 제어하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제7항에 있어서,
상기 필터링 세그먼트는,
저역 통과 필터 및 고역 통과 필터, 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제1항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는,
상기 필터링된 조명 빔을 형성하기 위해 애퍼처(aperture) 상의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포에 기초하여 상기 조명 빔의 스펙트럼의 부분을 통과시키기 위한 상기 애퍼처를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제10항에 있어서,
상기 애퍼처는,
대역 통과 필터를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제10항에 있어서,
상기 애퍼처는, 상기 애퍼처의 폭에 의해 분리된 제1 필터링 세그먼트 및 제2 필터링 세그먼트를 포함하고, 상기 제1 필터링 세그먼트는 상기 조명 빔의 스펙트럼의 제1 부분을 차단하도록 구성되고, 상기 제2 필터링 세그먼트는 상기 조명 빔의 스펙트럼의 제2 부분을 차단하도록 구성되고, 상기 조명 빔의 스펙트럼의 제3 부분은 상기 필터링된 조명 빔으로서 상기 애퍼처를 통해 전파되고 상기 제2 광학 요소에 의해 수집되는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제12항에 있어서,
상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산을 조정하는 것은, 상기 필터링된 조명 빔의 중심 파장을 제어하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제10항에 있어서,
상기 애퍼처의 폭은 조정가능한 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제14항에 있어서,
상기 애퍼처의 폭을 조정하는 것은, 상기 필터링된 조명 빔의 대역폭을 제어하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제1항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는,
투과형 필터링 요소 및 반사형 필터링 요소, 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제1항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는,
픽셀화된 필터링 요소를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제17항에 있어서,
상기 픽셀화된 필터링 요소는,
공간 광 변조기, 마이크로 미러 어레이, 및 변형가능 미러, 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제1항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는,
하나 이상의 아포다이징 요소(apodizing element)를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제1항에 있어서,
상기 제1 광학 요소 및 상기 제2 광학 요소는,
무한초점 광학 릴레이(afocal optical relay)를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 튜너블 스펙트럼 필터로서,
제1 튜너블 분산 요소 - 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산은 조정가능하고, 상기 제1 튜너블 분산 요소는 스펙트럼 분산을 조명 빔에 도입하도록 구성됨 -;
제1 광학 요소 - 상기 제1 광학 요소는 상기 제1 튜너블 분산 요소로부터 상기 조명 빔을 수신하고 상기 조명 빔을 제1 초점 평면에서 초점조정하도록 구성되고, 상기 제1 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포는 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산을 조정하는 것에 의해 제어가능함 -;
상기 제1 초점 평면에 위치된 제1 필터링 세그먼트 - 상기 제1 필터링 세그먼트는 상기 제1 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포에 기초하여 상기 조명 빔의 스펙트럼을 필터링함 -;
상기 제1 필터링 세그먼트로부터 상기 조명 빔을 수집하도록 구성된 제2 광학 요소;
상기 제2 광학 요소로부터 상기 조명 빔을 수신하고 상기 조명 빔의 궤도를 조정가능하게 수정하도록 구성된 빔 스티어링 요소(beam steering element);
제3 광학 요소 - 상기 제3 광학 요소는 상기 빔 스티어링 요소로부터 상기 조명 빔을 수신하고 상기 조명 빔을 제2 초점 평면에서 초점조정하도록 구성되고, 상기 제2 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포는 상기 빔 스티어링 요소를 조정하는 것에 의해 제어가능함 -;
상기 제1 초점 평면에 위치된 제2 필터링 세그먼트 - 상기 제2 필터링 세그먼트는 상기 제2 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포에 기초하여 상기 조명 빔의 스펙트럼을 필터링함 -;
상기 제2 필터링 세그먼트로부터 상기 조명 빔을 수집하도록 구성된 제4 광학 요소;
상기 제4 광학 요소로부터 상기 조명 빔을 수신하도록 구성된 제2 튜너블 분산 요소 - 상기 제2 튜너블 분산 요소의 분산은 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산에 대응하도록 구성되고, 상기 제2 튜너블 분산 요소는 상기 조명 빔으로부터 상기 제1 튜너블 분산 요소에 의해 도입된 상기 스펙트럼 분산을 제거하도록 구성됨 - 및
상기 제1 튜너블 분산 요소, 상기 제2 튜너블 분산 요소, 제1 필터링 세그먼트 및 제2 필터링 세그먼트에 통신가능하게 커플링된 제어기 - 상기 제어기는 제1 필터링 세그먼트 및 제2 필터링 세그먼트 상의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 분포를 수정하기 위해 상기 제1 튜너블 분산 요소 및 상기 제2 튜너블 분산 요소의 분산 특성들을 수정하도록 구성됨 -
를 포함하고,
상기 제1 튜너블 분산 요소 및 상기 제2 튜너블 분산 요소, 중 적어도 하나는 회절 격자를 포함하고, 상기 회절 격자는 음향-광학 편향기를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제21항에 있어서,
상기 빔 스티어링 요소는,
회전 병진 조립체(rotational translation assembly), 선형 병진 조립체, 및 틸트 조정 조립체(tilt adjustment assembly), 중 적어도 하나에 고정된 미러를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제21항에 있어서,
상기 빔 스티어링 요소는,
변형가능 미러를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제21항에 있어서,
상기 제1 필터링 세그먼트 및 상기 제2 필터링 세그먼트, 중 적어도 하나는 픽스된 포지션(fixed position)에 고정되는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제21항에 있어서,
상기 제1 필터링 세그먼트 및 상기 제2 필터링 세그먼트, 중 적어도 하나는,
저역 통과 필터 및 고역 통과 필터, 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 튜너블 광대역 조명 소스로서,
조명 빔을 생성하도록 구성된 조명 소스; 및
상기 조명 빔을 수신하도록 구성된 튜너블 스펙트럼 필터
를 포함하고,
상기 튜너블 스펙트럼 필터는,
제1 튜너블 분산 요소 - 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산은 조정가능하고, 상기 제1 튜너블 분산 요소는 스펙트럼 분산을 상기 조명 빔에 도입하도록 구성됨 -;
제1 광학 요소 - 상기 제1 광학 요소는 상기 제1 튜너블 분산 요소로부터 상기 조명 빔을 수신하고 상기 조명 빔을 초점 평면에서 초점조정하도록 구성되고, 상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포는 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산을 조정하는 것에 의해 제어가능함 -;
상기 초점 평면에 위치된 공간 필터링 요소 - 상기 공간 필터링 요소는 필터링된 스펙트럼을 가진 필터링된 조명 빔을 형성하기 위해 상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포에 기초하여 상기 조명 빔의 스펙트럼을 필터링함 -;
상기 공간 필터링 요소로부터 상기 필터링된 조명 빔을 수집하도록 구성된 제2 광학 요소;
상기 제2 광학 요소로부터 상기 필터링된 조명 빔을 수신하도록 구성된 제2 튜너블 분산 요소 - 상기 제2 튜너블 분산 요소의 분산은 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산에 대응하도록 구성되고, 상기 제2 튜너블 분산 요소는 상기 필터링된 조명 빔으로부터 상기 제1 튜너블 분산 요소에 의해 도입된 상기 스펙트럼 분산을 제거하도록 구성됨 -; 및
상기 제1 튜너블 분산 요소, 상기 제2 튜너블 분산 요소 및 상기 공간 필터링 요소에 통신가능하게 커플링된 제어기 - 상기 제어기는 상기 공간 필터링 요소 상의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 분포를 수정하기 위해 상기 제1 튜너블 분산 요소 및 상기 제2 튜너블 분산 요소의 분산 특성들을 수정하도록 구성됨 -
를 포함하고,
상기 제1 튜너블 분산 요소 및 상기 제2 튜너블 분산 요소, 중 적어도 하나는 회절 격자를 포함하고, 상기 회절 격자는 음향-광학 편향기를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제26항에 있어서,
상기 제1 튜너블 분산 요소는 공간적으로 가간섭성인 조명 빔을 수용하도록 구성되는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제27항에 있어서,
상기 공간적으로 가간섭성인 조명 빔은,
슈퍼컨티뉴엄 레이저 소스를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 삭제
- 제26항에 있어서,
상기 회절 격자의 피치 및 회절 효율, 중 적어도 하나는 조정가능한 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제26항에 있어서,
상기 회절 격자는,
전기-광학 편향기를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제26항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는, 상기 필터링된 조명 빔을 형성하기 위해 필터링 세그먼트 상의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포에 기초하여 상기 조명 빔의 스펙트럼의 부분을 차단하기 위한 상기 필터링 세그먼트를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제32항에 있어서,
상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산을 조정하는 것은, 상기 필터링 세그먼트에 의해 차단되는 상기 조명 빔의 스펙트럼의 부분을 제어하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제32항에 있어서,
상기 필터링 세그먼트는,
저역 통과 필터 및 고역 통과 필터, 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제26항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는,
상기 필터링된 조명 빔을 형성하기 위해 애퍼처 상의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포에 기초하여 상기 조명 빔의 스펙트럼의 부분을 통과시키기 위한 상기 애퍼처를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제35항에 있어서,
상기 애퍼처는,
대역 통과 필터를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제35항에 있어서,
상기 애퍼처는, 상기 애퍼처의 폭에 의해 분리된 제1 필터링 세그먼트 및 제2 필터링 세그먼트를 포함하고, 상기 제1 필터링 세그먼트는 상기 조명 빔의 스펙트럼의 제1 부분을 차단하도록 구성되고, 상기 제2 필터링 세그먼트는 상기 조명 빔의 스펙트럼의 제2 부분을 차단하도록 구성되고, 상기 조명 빔의 스펙트럼의 제3 부분은 상기 필터링된 조명 빔으로서 상기 애퍼처를 통해 전파되고 상기 제2 광학 요소에 의해 수집되는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제37항에 있어서,
상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산을 조정하는 것은, 상기 필터링된 조명 빔의 중심 파장을 제어하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제35항에 있어서,
상기 애퍼처의 폭은 조정가능한 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제39항에 있어서,
상기 애퍼처의 폭을 조정하는 것은, 상기 필터링된 조명 빔의 대역폭을 제어하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제26항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는,
투과형 필터링 요소 및 반사형 필터링 요소, 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제26항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는,
픽셀화된 필터링 요소를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제42항에 있어서,
상기 픽셀화된 필터링 요소는,
공간 광 변조기, 마이크로 미러 어레이, 및 변형가능 미러, 중 적어도 하나를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 제26항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는,
하나 이상의 아포다이징 요소를 포함하는 것인, 튜너블 광대역 조명 소스. - 광대역 조명 소스를 튜닝하기 위한 방법으로서,
제1 튜너블 분산 요소로 스펙트럼 분산을 조명 빔에 도입하는 단계 - 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산은 조정가능함 -;
상기 조명 빔을 초점 평면에서 초점조정하는 단계 - 상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 분포는 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산을 조정하는 것에 의해 제어가능함 -;
공간 필터링 요소로 상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼을 공간적으로 필터링하는 단계; 및
제2 튜너블 분산 요소로 상기 조명 빔의 스펙트럼 분산을 제거하는 단계 - 상기 제2 튜너블 분산 요소의 분산은 상기 제1 튜너블 분산 요소의 분산에 대응하도록 구성됨 -
를 포함하고,
상기 제1 튜너블 분산 요소, 상기 제2 튜너블 분산 요소 및 상기 공간 필터링 요소는 제어기에 통신가능하게 커플링되고, 상기 제어기는 상기 공간 필터링 요소 상의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 분포를 수정하기 위해 상기 제1 튜너블 분산 요소 및 상기 제2 튜너블 분산 요소의 분산 특성들을 수정하도록 구성되며,
상기 제1 튜너블 분산 요소 및 상기 제2 튜너블 분산 요소, 중 적어도 하나는 회절 격자를 포함하고, 상기 회절 격자는 음향-광학 편향기를 포함하는 것인, 광대역 조명 소스를 튜닝하기 위한 방법. - 제1항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소의 적어도 일부는 반사형이고,
단일 광학 요소가 상기 제1 광학 요소 및 상기 제2 광학 요소를 포함하고,
단일 튜너블 분산 요소가 상기 제1 튜너블 분산 요소 및 상기 제2 튜너블 분산 요소를 포함하고,
상기 공간 필터링 요소는 상기 단일 튜너블 분산 요소 및 상기 단일 광학 요소를 통해 미러링된 광학 경로를 따라 상기 필터링된 조명 빔을 반사시키고,
상기 단일 광학 요소는 상기 공간 필터링 요소로부터 상기 필터링된 조명 빔을 수집하도록 구성되고,
상기 단일 튜너블 분산 요소는 상기 필터링된 조명 빔으로부터 상기 스펙트럼 분산을 제거하도록 구성되는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제46항에 있어서,
상기 미러링된 광학 경로를 따라 상기 단일 튜너블 분산 요소로부터 수신된 상기 필터링된 조명 빔으로부터 상기 조명 빔을 분리하도록 구성된 빔 셀렉터(beam selector)를 더 포함하는, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제47항에 있어서,
상기 빔 셀렉터는,
상기 단일 튜너블 분산 요소 전에, 상기 조명 빔의 광학 경로 상에 위치된 편광 빔 스플리터; 및
상기 편광 빔 스플리터와 상기 단일 튜너블 분산 요소 사이에서 상기 조명 빔의 광학 경로 상에 위치된 1/4 파장 판(quarter-wave plate) - 상기 편광 빔 스플리터는 상기 미러링된 광학 경로를 따라 상기 1/4 파장 판으로부터 수신된 상기 단일 튜너블 분산 요소로부터 수신된 상기 필터링된 조명 빔으로부터 상기 조명 빔을 분리함 -
을 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제46항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는 미세 전자 기계 시스템(microelectromechanical system)을 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제46항에 있어서,
상기 단일 광학 요소와 상기 공간 필터링 요소 사이에 있고 상기 단일 광학 요소로부터 상기 조명 빔을 수신하도록 구성된 빔 스티어링 요소(beam steering element)를 더 포함하고,
상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포는 또한, 상기 빔 스티어링 요소를 조정하는 것에 의해 제어 가능한 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 튜너블 스펙트럼 필터로서,
조명 빔을 수신하도록 구성된 튜너블 분산 요소 - 상기 튜너블 분산 요소의 분산은 조정가능하고, 상기 튜너블 분산 요소는 스펙트럼 분산을 제1 패스(pass)에서 상기 조명 빔에 도입하도록 구성됨 -;
상기 튜너블 분산 요소로부터 상기 조명 빔을 수신하고 상기 조명 빔을 초점 평면에서 초점조정하도록 구성되는 광학 요소 - 상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포는 상기 튜너블 분산 요소의 분산을 조정하는 것에 의해 제어가능함 -;
상기 초점 평면에 위치된 공간 필터링 요소 - 상기 공간 필터링 요소는 필터링된 스펙트럼을 가진 필터링된 조명 빔을 형성하기 위해 상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포에 기초하여 상기 조명 빔의 스펙트럼을 필터링하고, 상기 공간 필터링 요소의 적어도 일부는 반사형이고, 상기 필터링된 조명 빔은 상기 광학 요소 및 상기 튜너블 분산 요소를 통해 미러링된 광학 경로를 따라 상기 공간 필터링 요소로부터 반사되고, 상기 광학 요소는 또한 상기 공간 필터링 요소로부터 상기 필터링된 조명 빔을 수집하도록 구성되고, 상기 튜너블 분산 요소는 또한 상기 광학 요소로부터 상기 필터링된 조명 빔을 수신하고 상기 필터링된 조명 빔으로부터 상기 스펙트럼 분산을 제거하도록 구성됨 -; 및
상기 튜너블 분산 요소 및 상기 공간 필터링 요소에 통신가능하게 커플링된 제어기 - 상기 제어기는 상기 공간 필터링 요소 상의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 분포를 수정하기 위해 상기 튜너블 분산 요소의 분산 특성들을 수정하도록 구성됨 -
를 포함하고,
상기 튜너블 분산 요소는 회절 격자를 포함하고, 상기 회절 격자는 음향-광학 편향기를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제51항에 있어서,
상기 미러링된 광학 경로를 따라 상기 튜너블 분산 요소로부터 수신된 상기 필터링된 조명 빔으로부터 상기 조명 빔을 분리하도록 구성된 빔 셀렉터를 더 포함하는, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제52항에 있어서,
상기 빔 셀렉터는,
상기 튜너블 분산 요소 전에, 상기 조명 빔의 광학 경로 상에 위치된 편광 빔 스플리터; 및
상기 편광 빔 스플리터와 상기 튜너블 분산 요소 사이에서 상기 조명 빔의 광학 경로 상에 위치된 1/4 파장 판 - 상기 편광 빔 스플리터는 상기 미러링된 광학 경로를 따라 상기 튜너블 분산 요소로부터 수신된 상기 필터링된 조명 빔으로부터 상기 조명 빔을 분리함 -
을 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제51항에 있어서,
상기 튜너블 분산 요소는,
전기-광학 편향기를 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제51항에 있어서,
상기 공간 필터링 요소는 미세 전자 기계 시스템을 포함하는 것인, 튜너블 스펙트럼 필터. - 제51항에 있어서,
상기 광학 요소와 상기 공간 필터링 요소 사이에 있고 상기 광학 요소로부터 상기 조명 빔을 수신하도록 구성된 빔 스티어링 요소를 더 포함하고,
상기 초점 평면에서의 상기 조명 빔의 스펙트럼의 공간 분포는 또한, 상기 빔 스티어링 요소를 조정하는 것에 의해 제어 가능한 것인, 튜너블 스펙트럼 필터.
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201662314364P | 2016-03-28 | 2016-03-28 | |
US62/314,364 | 2016-03-28 | ||
US201662365129P | 2016-07-21 | 2016-07-21 | |
US62/365,129 | 2016-07-21 | ||
US15/339,312 | 2016-10-31 | ||
US15/339,312 US10422508B2 (en) | 2016-03-28 | 2016-10-31 | System and method for spectral tuning of broadband light sources |
PCT/US2017/024157 WO2017172540A2 (en) | 2016-03-28 | 2017-03-24 | System and method for spectral tuning of broadband light sources |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180130105A KR20180130105A (ko) | 2018-12-06 |
KR102170164B1 true KR102170164B1 (ko) | 2020-10-27 |
Family
ID=59965115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020187030824A Active KR102170164B1 (ko) | 2016-03-28 | 2017-03-24 | 광대역 광 소스들의 스펙트럼 튜닝을 위한 시스템 및 방법 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10422508B2 (ko) |
EP (1) | EP3436802B1 (ko) |
JP (2) | JP6921852B2 (ko) |
KR (1) | KR102170164B1 (ko) |
CN (1) | CN108700509B (ko) |
IL (1) | IL261430B (ko) |
TW (1) | TWI733785B (ko) |
WO (1) | WO2017172540A2 (ko) |
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- 2016-10-31 US US15/339,312 patent/US10422508B2/en active Active
-
2017
- 2017-03-24 WO PCT/US2017/024157 patent/WO2017172540A2/en active Application Filing
- 2017-03-24 EP EP17776362.0A patent/EP3436802B1/en active Active
- 2017-03-24 JP JP2018550749A patent/JP6921852B2/ja active Active
- 2017-03-24 KR KR1020187030824A patent/KR102170164B1/ko active Active
- 2017-03-24 CN CN201780014888.6A patent/CN108700509B/zh active Active
- 2017-03-28 TW TW106110226A patent/TWI733785B/zh active
-
2018
- 2018-08-28 IL IL261430A patent/IL261430B/en unknown
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2021
- 2021-07-28 JP JP2021122952A patent/JP2021167979A/ja active Pending
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JP6921852B2 (ja) | 2021-08-18 |
JP2019516126A (ja) | 2019-06-13 |
IL261430A (en) | 2018-10-31 |
KR20180130105A (ko) | 2018-12-06 |
IL261430B (en) | 2021-10-31 |
WO2017172540A3 (en) | 2018-08-23 |
US10422508B2 (en) | 2019-09-24 |
WO2017172540A2 (en) | 2017-10-05 |
CN108700509B (zh) | 2022-08-02 |
CN108700509A (zh) | 2018-10-23 |
JP2021167979A (ja) | 2021-10-21 |
EP3436802B1 (en) | 2024-11-27 |
EP3436802A4 (en) | 2019-11-20 |
EP3436802A2 (en) | 2019-02-06 |
TW201800737A (zh) | 2018-01-01 |
US20170350575A1 (en) | 2017-12-07 |
TWI733785B (zh) | 2021-07-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0105 | International application |
Patent event date: 20181024 Patent event code: PA01051R01D Comment text: International Patent Application |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
A201 | Request for examination | ||
A302 | Request for accelerated examination | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20200323 Comment text: Request for Examination of Application |
|
PA0302 | Request for accelerated examination |
Patent event date: 20200323 Patent event code: PA03022R01D Comment text: Request for Accelerated Examination |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20200504 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20200724 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20201020 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20201020 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20231011 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20241008 Start annual number: 5 End annual number: 5 |