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KR102167529B1 - Manual stage of fixing device - Google Patents

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KR102167529B1
KR102167529B1 KR1020200079994A KR20200079994A KR102167529B1 KR 102167529 B1 KR102167529 B1 KR 102167529B1 KR 1020200079994 A KR1020200079994 A KR 1020200079994A KR 20200079994 A KR20200079994 A KR 20200079994A KR 102167529 B1 KR102167529 B1 KR 102167529B1
Authority
KR
South Korea
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tilting
plate
rotation
rotating
rod
Prior art date
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Active
Application number
KR1020200079994A
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Korean (ko)
Inventor
류덕재
Original Assignee
주식회사 리얼마이크로시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Priority to KR1020200079994A priority Critical patent/KR102167529B1/en
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    • G03B17/561Support related camera accessories
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Abstract

본 발명은 카메라모듈이 구비된 상판플레이트의 위치 결정을 위해 해당 상판플레이트의 기울임, 회전 및 이동이 가능하게 슬림한 높이를 갖는 슬림형 위치결정 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 분체가 적층 형태로 배치되되 볼 베어링을 중심으로 어느 하나의 분체는 기울어짐과 회전이 가능함과 동시에 상기 볼 베어링과 함께 해당 분체 일부가 이동 가능하도록 연결되는 몸체부와, 상기 몸체부 외면에 회전가능하게 한 쌍으로 구비되되 그 회전에 의해 상기 볼 베어링을 중심으로 상기 몸체부 상부가 TX 또는 TY 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 기울어지도록 설치되는 틸팅부재 및 상기 몸체부 외면에 회전가능하게 구비되되 그 회전에 의해 상기 볼 베어링을 중심으로 상기 몸체부 상부가 X축이나 Y축 중 적어도 어느 한 방향으로 회전할 수 있도록 구비되는 회전부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a slim-type positioning stage having a slim height to enable tilt, rotation, and movement of the upper plate to determine the position of the upper plate equipped with a camera module, and more specifically, a plurality of powders are stacked. It is arranged as a body part to which one of the powders can be tilted and rotated around the ball bearing, and a part of the powder is movable together with the ball bearing, and a pair of rotatable parts on the outer surface of the body part. A tilting member provided so that the upper portion of the body portion is inclined in at least one of the TX or TY directions by rotation thereof, and the ball is rotatably provided on the outer surface of the body portion by the rotation of the ball bearing. It characterized in that it comprises a rotation member provided to rotate in at least one direction of the X-axis or Y-axis, the upper portion of the body part around the bearing.

Description

슬림형 위치결정 스테이지장치{Manual stage of fixing device}Slim type positioning stage device {Manual stage of fixing device}

본 발명은 카메라모듈이 구비된 상판플레이트의 위치 결정을 위해 해당 상판플레이트의 기울임, 회전 및 이동이 가능하게 슬림한 높이를 갖는 슬림형 위치결정 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a slim-type positioning stage having a slim height to enable tilting, rotation, and movement of the upper plate to determine the position of the upper plate equipped with a camera module.

최근 출시되는 스마트폰, 태블릿, 랩탑 등과 같은 휴대용 기기 또는 CCTV는 카메라 탑재된 형태로 출시되어 정지 화상 및 동영상의 촬영이 가능하도록 구성된다. 이러한 카메라는 고해상도 및 고화질의 촬영 결과물을 위해 성능이 점차 개선되고 있으며, 소형화되는 기기에 배치되도록 카메라의 크기도 소형화되고 있다.Recently released portable devices such as smartphones, tablets, laptops, etc. or CCTVs are released in the form of a camera and are configured to capture still images and videos. The performance of these cameras is gradually improving for high-resolution and high-definition photographing results, and the size of the camera is being reduced so that it can be placed in a device that is miniaturized.

이러한 카메라는 영상의 빛을 모아주는 렌즈, 영상을 전기적 신호로 변환해주는 이미지 센서, 이미지 센서를 지지하며 전기적 신호를 외부로 입력 및 출력할 수 있는 통로의 역할을 수행하는 PCB 및 외부 Backed Chip에 직접적으로 연결되는 FPCB 등으로 이루어지고, 이러한 구성이 일체로 결합된 것을 카메라 모듈이라 지칭한다.These cameras support the lens that collects the light of the image, the image sensor that converts the image into an electrical signal, the image sensor, and are directly connected to the PCB and the external backed chip that serve as a path to input and output electrical signals to the outside. It consists of an FPCB, etc. connected to each other, and such a configuration is integrally combined is referred to as a camera module.

상기 카메라 모듈은 크게 FF형과 AF형으로 구분되는데, FF형(Fixed Focus Type)은 하나의 초점거리로 고정된 모듈이고, AF형(Auto Focus Type)은 기본적인 고정 초점거리는 정해져 있으나, 전류 또는 전압을 렌즈부에 인가하여 렌즈부내에 구성된 구동기를 작동시켜 초점거리를 변화시킬 수 있는 것으로, 일반적인 AF형 카메라 모듈은 다수 개의 렌즈로 렌즈계를 구성하고 있으며, VCM(Voice Coil Motor) 등을 구동기로 사용하고 각각의 렌즈를 이동시켜 그 상대거리를 변화시킴으로써 광학적인 초점 거리를 조절하도록 구성된다.The camera module is largely divided into an FF type and an AF type. The FF type (Fixed Focus Type) is a module fixed with one focal length, and the AF type (Auto Focus Type) has a basic fixed focal length, but current or voltage The focal length can be changed by applying to the lens unit to operate a driver configured in the lens unit. A general AF type camera module consists of a lens system with a plurality of lenses, and a VCM (Voice Coil Motor) is used as a driver. And it is configured to adjust the optical focal length by moving each lens and changing its relative distance.

한편, 상기 카메라 모듈의 기능이 개선되고 크기가 소형화되면서 해당 카메라 모듈의 작동 검사의 높은 정확성과 신뢰도가 요구되는데, 여기서 카메라 모듈의 작동 검사는 해당 카메라 모듈의 종류에 따라 차이는 있으나 일반적으로 오픈/숏 검사, 전원 라인의 저항값 측정, 소비전류 검사, 입출력 누설 전류검사 등을 수행하며, 이러한 검사를 통해 불량 여부를 판정한다. On the other hand, as the function of the camera module is improved and the size is reduced, high accuracy and reliability of the operation inspection of the camera module is required. Here, the operation inspection of the camera module varies depending on the type of the camera module, but is generally open/ Short test, power line resistance measurement, current consumption test, input/output leakage current test, etc. are performed, and defects are determined through these tests.

또한, 카메라 모듈은 출하 전에 렌즈부를 센서 및 하우징부와 특정 고정 초점거리에 맞도록 렌즈부를 정밀 회전시켜 체결깊이를 결정하는 고정 포커싱 조정 검사를 통해 렌즈의 고정 초점, 이미지 검사를 통해 카메라 모듈의 출력이미지를 정밀 분석하여 센서 내 단위픽셀의 결함 내지는 렌즈의 스크래치나 파티클 등의 결함이 있는지 확인하고, AF 구동 검사를 통해 카메라 모듈 자체가 가진 구동기를 작동시켜 구현하는 자동 초점 기능의 동작 이상 유무를 위치결정장치에 의해 검사한다.In addition, the camera module outputs the camera module through a fixed focus of the lens and image inspection through a fixed focusing adjustment inspection that determines the coupling depth by precisely rotating the lens unit to match a specific fixed focal length with the sensor and housing unit before shipping. By analyzing the image precisely, it checks whether there is a defect in the unit pixel in the sensor or a defect such as a scratch or particle in the lens, and through AF drive inspection, the operation of the auto focus function implemented by operating the actuator of the camera module itself is located. It is inspected by a crystal device.

이러한 이상 유무의 검사는 도 1에 도시한 바와 같이, 적어도 둘 이상의 위치결정장치(10,10',10'')를 적층 구조로 서로 연결하여 사용하며, 이를 통해 카메라모듈의 X축, Y축 및 Z축 등을 가변시킬 수 있도록 이동시켜 검사를 실행한다.As shown in Fig. 1, the inspection of the presence or absence of such abnormalities is performed by connecting at least two positioning devices (10, 10', 10``) to each other in a stacked structure, and through this, the X-axis and Y-axis of the camera module And the Z-axis and the like are moved to be variable to perform the inspection.

그러나, 이러한 검사 방식의 경우, 도시한 바와 같이, 각각의 위치결정장치를 이동시켜 카메라모듈의 위치를 결정하기 위한 조절기(11,11',11'')가 서로 다른 방향에 위치하여 제품으로 출시 됨과 동시에 그 이동한 이후의 고정을 위한 고정나사(13,13'') 역시, 서로 다른 위치에 존재하고 있어 작업자는 여러 방향으로 이동하면서 해당 카메라모듈의 위치를 조절해야 하는 불편함이 존재함과 동시에 작업공간의 여유를 요구한다는 불편함이 공존하는 문제점이 있었다.However, in the case of this inspection method, as shown, the adjusters (11, 11', 11``) for determining the position of the camera module by moving each positioning device are located in different directions and released as a product. At the same time, the fixing screws (13, 13'') for fixing after the movement are also present in different positions, so the operator has the inconvenience of adjusting the position of the camera module while moving in various directions. At the same time, there was a problem that the inconvenience of requiring a space in the work space coexisted.

이러한 문제점을 해결하기 위해 본 출원인에 의해 개선된 종래기술인 국내등록실용 제20-0491352호(공고일:2020.03.25.) '고정수단이 구비된 위치결정 스테이지'가 개시되어 있다.In order to solve this problem, the Korean registration office No. 20-0491352 (announcement date: 2020.03.25.)'positioning stage provided with fixing means', which is a prior art improved by the present applicant, is disclosed.

도 2를 참조하여, 이러한 종래기술 구성을 살펴보면, 상부체와 상기 하부체 간의 이동거리를 조절 후, 고정하기 위한 고정수단을 포함하되, 상기 고정수단은 체결수단에 의해 상기 상부체 외면에 고정설치되는 이동몸체와, 상기 체결수단에 의해 상기 하부체 외면에 고정설치되는 고정몸체 및 외면은 상기 이동몸체와 회전가능하게 관통 삽입되되 일단은 상기 고정몸체 내측으로 회전가능하게 삽입되어 회전방향에 따라 상기 이동몸체와 결합한 상기 상부체를 당기거나 밀어내어 전방 또는 후방으로 이동시키는 거리조절체를 포함한다.Referring to FIG. 2, referring to this prior art configuration, after adjusting the moving distance between the upper body and the lower body, it includes a fixing means for fixing, wherein the fixing means is fixedly installed on the outer surface of the upper body by a fastening means. The movable body and the fixed body and the outer surface fixedly installed on the outer surface of the lower body by the fastening means are rotatably inserted through the movable body, and one end is rotatably inserted into the fixed body, so that the It includes a distance adjusting body for moving forward or backward by pulling or pushing the upper body coupled with the moving body.

하여, 회전체의 회전방향에 따라 상부체가 하부체를 중심으로 전방(X축 방향) 또는 후방(Y축 방향)으로 슬라이드 이동하여 카메라모듈을 검사하기 위한 위치를 용이하게 결정하도록 함과 동시에 제1돌출부에 형성된 고정공을 통해 관통공 내부로 관통 삽입된 로드 외면을 가압에 의해 고정할 수 있도록 함으로써, 다수의 위치결정장치가 서로 적층 구조를 갖도록 복수로 연결하여 사용하여도 상기 고정수단의 위치가 편향되게 설치되어 작업공간의 활용도는 물론, 작업자의 편의성을 가져오는 효과를 구현할 수 있었다.Thus, the upper body slides forward (X-axis direction) or rearward (Y-axis direction) around the lower body according to the rotation direction of the rotating body, so that the position for inspecting the camera module is easily determined and the first By making it possible to fix the outer surface of the rod penetrating into the through hole through the fixing hole formed in the protrusion by pressing, the position of the fixing means can be changed even if a plurality of positioning devices are connected to each other to have a stacked structure. It was installed to be biased, so that it was possible to realize the effect of bringing the convenience of the worker as well as the utilization of the work space.

그러나, 이러한 종래기술은 상부체가 X축 또는 Y축 방향으로의 이동은 가능하나 상기 상부체의 기울임이나 회전은 불가하여 활용도 측면에서 불편함이 여전히 존재한다는 문제점이 있었다.However, this prior art has a problem in that the upper body can be moved in the X-axis or Y-axis direction, but the upper body cannot be tilted or rotated, and thus there is still inconvenience in terms of utilization.

국내등록실용 제20-0491352호(공고일:2020.03.25.)Domestic Registration Office No. 20-0491352 (Announcement Date: 2020.03.25.)

상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 본 발명은 상부체의 X축과 Y축으로의 이동은 물론, 해당 상부체의 기울임 및 회전 등도 가능하게 설계하여 카메라모듈의 위치를 다양하게 적용할 수 있도록 하고자 하는데 그 목적이 있다.In order to solve the above-described conventional problems, the present invention is designed to enable the movement of the upper body to the X and Y axes, as well as tilt and rotation of the upper body, so that the position of the camera module can be applied in various ways. It has its purpose.

상술한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 슬림형 위치결정 스테이지장치는 다수의 분체가 적층 형태로 배치되되 볼 베어링을 중심으로 어느 하나의 분체는 기울어짐과 회전이 가능함과 동시에 상기 볼 베어링과 함께 해당 분체 일부가 이동 가능하도록 연결되는 몸체부와, 상기 몸체부 외면에 회전가능하게 한 쌍으로 구비되되 그 회전에 의해 상기 볼 베어링을 중심으로 상기 몸체부 상부가 TX 또는 TY 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 기울어지도록 설치되는 틸팅부재 및 상기 몸체부 외면에 회전가능하게 구비되되 그 회전에 의해 상기 볼 베어링을 중심으로 상기 몸체부 상부가 X축이나 Y축 중 적어도 어느 한 방향으로 회전할 수 있도록 구비되는 회전부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-described technical problem, the slim positioning stage device according to the present invention includes a plurality of powders arranged in a stacked form, but any one of the powders can be tilted and rotated around the ball bearing, and at the same time, together with the ball bearing. A body portion to which a part of the powder is connected to be movable, and a pair of rotatably provided on the outer surface of the body portion, but the upper portion of the body portion is rotated around the ball bearing in at least one of TX or TY directions A tilting member installed to be inclined toward and rotatably provided on the outer surface of the body portion, but provided so that the upper portion of the body portion rotates in at least one of the X-axis and the Y-axis around the ball bearing by the rotation. It characterized in that it comprises a rotating member.

또한, 적층 형태를 갖는 상기 몸체부는 하부에서 상부방향으로 순차되게 하판플레이트, 미들플레이트, 틸팅플레이트 및 상면에 위치를 결정하고자 하는 카메라모듈이 장착되는 상판플레이트를 포함하며, 상기 볼 베어링은 하부가 상기 틸팅플레이트에 고정되되 상부는 상기 상판플레이트와 기울어짐 및 회전 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 슬림형 위치결정 스테이지장치.In addition, the body portion having a stacked shape includes a lower plate, a middle plate, a tilting plate, and an upper plate on which a camera module to be positioned is mounted on an upper surface in order from a lower side to an upper side. A slim positioning stage device, characterized in that fixed to the tilting plate, the upper portion being inclined and rotatably installed with the top plate.

또한, 외면에 상기 틸팅부재가 설치되는 상기 틸팅플레이트는 회전에 의해 상기 틸팅플레이트 내부로 삽입되는 상기 틸팅부재의 외력에 의해 상기 틸팅플레이트 내에서 다수가 서로 밀어내어 이동하되 그 이동에 의해 상기 상판플레이트 하면을 밀어내어 상기 상판플레이트가 상기 볼 베어링을 중심으로 기울어지도록 구비되는 가이드볼 및 상기 가이드볼의 외력이 해소시에 기울어진 상기 상판플레이트가 제1탄성체의 탄성력에 의해 원위치로 복귀할 수 있도록 구비되는 복귀볼을 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the tilting plate on which the tilting member is installed on the outer surface is moved by pushing each other in the tilting plate by an external force of the tilting member inserted into the tilting plate by rotation, but the top plate is moved by the movement. A guide ball provided to push the lower surface so that the upper plate tilts around the ball bearing and the upper plate tilted when the external force of the guide ball is relieved are provided to return to their original position by the elastic force of the first elastic body. It is preferable to include a return ball.

이때, 상기 틸팅플레이트는 상기 상판플레이트 하면과 일정간격을 유지함과 동시에 상기 상판플레이의 회전이 용이하도록 회전 가능하게 돌출 구비되는 간격유지구가 더 포함되되, 상기 틸팅플레이트 상방으로 돌출되는 상기 간격유지구 상단의 돌출높이는 고정된 높이를 갖도록 하는 것이 바람직하다.At this time, the tilting plate further includes a gap holding device which is rotatably provided to protrude to facilitate rotation of the top plate while maintaining a predetermined distance from the bottom surface of the top plate, the gap holding device protruding above the tilting plate It is desirable that the protruding height of the upper end has a fixed height.

이때, 상기 가이드볼은 상기 틸팅플레이트 임의의 중심선을 기준으로 그 일측에 상기 틸팅부재와 연통되게 한 쌍이 상기 틸팅플레이트 상면에 상단이 돌출되도록 구비되며, 상기 복귀볼은 해당 중심선을 기준으로 상기 틸팅플레이트 상면 타측에 한 쌍이 서로 대칭되게 구비되는 것이 바람직하다.At this time, the guide ball is provided so that an upper end of the guide ball protrudes from the upper surface of the tilting plate so as to communicate with the tilting member on one side thereof based on an arbitrary center line of the tilting plate, and the return ball is the tilting plate It is preferable that a pair is provided symmetrically to each other on the other side of the upper surface.

또한, 상기 틸팅부재는 상기 틸팅플레이트 측면에서 상면까지 이어지는 한 쌍의 이동공과 서로 대향하는 한 쌍의 삽입공이 형성된 틸팅블럭 및 각각의 상기 삽입공에 회전가능하게 삽입되되 그 회전방향에 따라 틸팅로드의 길이가 조절되도록 출입하여 상기 이동공에 구비된 다수의 상기 가이드볼이 외력에 의해 밀리거나 당겨질 수 있도록 하는 조절헤드를 포함하되, 상기 조절헤드는 상기 상판플레이트를 각각 TX 또는 TY 방향으로 기울이는 TX-틸팅헤드와 TY-틸팅헤드를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the tilting member is a tilting block having a pair of moving holes extending from the side of the tilting plate to the upper surface and a pair of insertion holes facing each other, and is rotatably inserted into each of the insertion holes. It includes an adjustment head that allows the length of the guide ball provided in the moving hole to be pushed or pulled by an external force, wherein the adjustment head tilts the top plate in the TX or TY direction, respectively. It is preferable to include a tilting head and a TY-tilting head.

또한, 상기 회전부재는 상기 틸팅부재와 서로 대칭되게 상기 틸팅플레이트에 고정설치되되 양측에는 한 쌍의 조절편이 서로 이웃하여 공간부를 갖도록 돌출 형성된 회전블럭과, 한 쌍의 상기 조절편 중 어느 하나에 회전가능하도록 관통설치되되 그 회전 방향에 따라 상기 공간부 내측 방향으로 길이가 조절되는 회전로드가 구비된 회전헤드와, 상기 회전로드와 서로 마주보게 상기 회전헤드가 구비되는 않은 상기 조절편에 회전가능하도록 관통 설치되되 그 회전에 의해 상기 공간부 내측방향으로 부시로드의 돌출길이가 조절되는 회전부시 및 양측에 상기 회전로드와 상기 부시로드가 면 접촉할 수 있도록 상기 공간부에 배치되되 그 상부는 상기 상판플레이와 고정 설치되어 상기 상판플레이트가 상기 볼 베어링을 중심으로 회전할 수 있도록 하는 회전샤프트를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the rotating member is fixedly installed on the tilting plate so as to be symmetrical with the tilting member, but a pair of adjustment pieces are adjacent to each other and a rotating block protruding so as to have a space portion, and a pair of adjustment pieces rotated on either The rotating head is provided with a rotating rod that is installed through the space and has a length adjusted in the direction of the space portion according to the rotating direction, and the rotating rod is rotatable to the adjustment piece not provided with the rotating head to face each other. A rotating bush which is installed through, and the protruding length of the bush rod is adjusted in the inner direction of the space by its rotation, and is disposed in the space so that the rotating rod and the bush rod can surface contact on both sides, the upper part of which is the top plate It is preferable to include a rotation shaft that is fixed to the play and allows the top plate to rotate about the ball bearing.

이때, 상기 회전샤프트는 회전하는 각각의 상기 회전로드 또는 상기 부시로드의 돌출길이에 따라 상기 상판플레이트가 상기 볼 베어링을 축으로 X축 또는 Y축 방향으로 회전할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that the rotation shaft allows the top plate to rotate about the ball bearing in the X-axis or Y-axis direction according to the protruding length of each rotating rod or bush rod.

이때, 상기 회전부시 내부에는 탄성력에 의해 상기 부시로드를 밀어내는 제2탄성체가 구비되는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that the inside of the rotating bush is provided with a second elastic body that pushes the bush rod by an elastic force.

또한, 상기 틸팅플레이트는 제1이동부재의 회전에 의해 상기 미들플레이트 상면에 가이드되어 X축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 연결되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the tilting plate is guided to the upper surface of the middle plate by the rotation of the first moving member so as to reciprocate in the X-axis direction.

또한, 상기 미들플레이트는 제2이동부재의 회전에 의해 상기 하판플레이트 상면에 가이드되어 Y축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 연결되는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the middle plate is guided to the upper surface of the lower plate by rotation of the second moving member so as to reciprocate in the Y-axis direction.

본 발명에 따르면, 종래와는 차별되게 다수의 플레이트가 슬림한 높이를 갖도록 적층 구조를 갖되 그 상부에는 검사수단에 의해 검사를 진행하고자 하는 카메라모듈을 구비시켜 틸팅부재, 회전부재, 제1이동부재 및 제2이동부재를 통해 해당 카메라모듈이 장착된 상판플레이트의 'TX'나'TY' 방향으로 기울임이 가능하게 함과 동시에 상기 상판플레이트를 'X축'이나 'Y축' 방향으로 회전 및 이동시킬 수 있어 작업환경의 여건에 간섭없이 해당 카메라모듈의 위치결정이 자유로울 수 있는 효과를 갖게 된다.According to the present invention, differently from the conventional one, a plurality of plates have a stacked structure to have a slim height, but a camera module to be inspected by an inspection means is provided on the upper portion thereof, so that a tilting member, a rotating member, and a first moving member And through the second moving member, it is possible to tilt the top plate on which the camera module is mounted in the'TX' or'TY' direction while rotating and moving the top plate in the'X-axis' or'Y-axis' direction. It has the effect of freely positioning the camera module without interfering with the conditions of the work environment.

도 1 및 도 2는 종래의 위치결정장치를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명에 따른 슬림형 위치결정 스테이지장치를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명에 따른 슬림형 위치결정 스테이지장치의 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 슬림형 위치결정 스테이지장치에 대한 회전부재를 나타낸 도면.
도 6은 본 발명에 따른 슬림형 위치결정 스테이지장치에 대한 평면도.
도 7은 본 발명에 따른 슬림형 위치결정 스테이지장치에 대한 제1 및 제2이동부재를 나타낸 도면.
도 8은 도 7에 대한 상판플레이트, 틸팅부재 및 회전부재가 생략된 상태를 나타낸 도면.
1 and 2 are views showing a conventional positioning device.
3 is a view showing a slim positioning stage device according to the present invention.
4 is a cross-sectional view of a slim positioning stage apparatus according to the present invention.
5 is a view showing a rotating member for the slim positioning stage device according to the present invention.
6 is a plan view of a slim positioning stage device according to the present invention.
7 is a view showing the first and second moving members for the slim positioning stage device according to the present invention.
8 is a view showing a state in which the upper plate, the tilting member and the rotating member of FIG. 7 are omitted.

이하, 상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부 도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백히 드러나게 될 것이며, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Hereinafter, other objects and features of the present invention in addition to the above objects will be clearly revealed through the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings, and unless otherwise defined, all terms used herein including technical or scientific terms are It has the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the invention belongs. Terms such as those defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 슬림형 위치결정 스테이지장치(이하, 간략하게 '스테이지'라 한다)에 대하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, a slim-type positioning stage apparatus (hereinafter, simply referred to as'stage') according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 스테이지(1)는 크게 몸체부(100), 틸팅부재(200), 회전부재(300), 제1이동부재(400) 및 제2이동부재(500)를 포함한다.First, as shown in Fig. 3, the stage 1 according to the present invention is largely a body part 100, a tilting member 200, a rotating member 300, a first moving member 400, and a second moving member. Includes 500.

더욱 상세하게 설명하면, 상기 몸체부(100)는 도 3 내지 도 7에 도시한 바와 같이, 다수의 분체가 서로 적층된 형태를 갖되 후술하는 틸팅부재(200), 회전부재(300), 제1이동부재(400) 및 제2이동부재(500)에 의해 기울어짐(TILT), 회전(ROTATION) 및 이동(MOVE)하여 검사수단(미도시)에 의해 검사하고자 하는 카메라모듈(미도시)의 위치를 결정할 수 있도록 하기 위한 구성으로 볼 베어링(110), 하판플레이트(120), 미들플레이트(130), 틸팅플레이트(140) 및 상판플레이트(150)를 포함한다.In more detail, the body portion 100 has a form in which a plurality of powders are stacked on each other, as shown in FIGS. 3 to 7, but the tilting member 200, the rotating member 300, and the first Position of the camera module (not shown) to be inspected by the inspection means (not shown) by tilting (TILT), rotation (ROTATION), and movement (MOVE) by the moving member 400 and the second moving member 500 A ball bearing 110, a lower plate 120, a middle plate 130, a tilting plate 140, and an upper plate 150 are included as a configuration to enable determination.

예컨대 볼 베어링(110)은 수직방향으로 길이를 갖도록 상판플레이트(150)와 틸팅플레이트(140) 사이에 구비되되 볼(BALL) 형상을 갖는 상부는 상기 상판플레이트(150) 하부와 회전가능하게 결합하며, 하부는 틸팅플레이트(140)에 고정설치된다.(도 4 참조)For example, the ball bearing 110 is provided between the top plate 150 and the tilting plate 140 so as to have a length in the vertical direction, but the top having a ball shape is rotatably coupled with the bottom of the top plate 150 , The lower part is fixedly installed on the tilting plate 140 (see FIG. 4).

상판플레이트(150) 하부와 결합하는 볼 베어링(110) 상부는 상기 상판플레이트(150)의 전체 면적과 대비하여 구 중앙부에 회전가능하도록 결합하여 후술하는 틸팅부재(200) 및 회전부재(300)가 동작시에 상기 볼 베어링(110) 상부를 중심축(도 4에 도시된 'Z축')을 중심으로 하여 상기 상판플레이트(150)가 기울어지거나 회전할 수 있는 구조를 갖는다.The upper portion of the ball bearing 110 coupled to the lower portion of the upper plate 150 is rotatably coupled to the center of the sphere compared to the total area of the upper plate 150 so that the tilting member 200 and the rotating member 300 described later are During operation, the upper plate 150 has a structure in which the upper plate 150 can be tilted or rotated with an upper portion of the ball bearing 110 as a center axis ('Z axis' shown in FIG. 4).

하판플레이트(120)는 전체적으로 판의 형상을 갖도록 형성되되 그 하부는 검사수단(미도시) 등과 탈착 가능하게 결합하여 상판플레이트(150) 상면에 구비되는 카메라모듈의 위치가 결정되어 해당 검사수단에 의해 검사가 이루어지도록 한다.The lower plate 120 is formed to have a shape of a plate as a whole, but the lower part is detachably coupled with an inspection means (not shown), and the position of the camera module provided on the upper surface of the upper plate 150 is determined by the corresponding inspection means. Let the test take place.

이때, 하판플레이트(120) 상면은 미들플레이트(130) 하면과 Y축 방향으로 왕복 이동할 수 있게 결합하여 제2이동부재(500)의 동작에 의해 상판플레이트(150)가 Y축 방향으로 이동할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 이에 대한 상세한 설명은 후술하는 제2이동부재(500)에서 더욱 상세히 설명하도록 한다.At this time, the upper surface of the lower plate 120 is coupled to the lower surface of the middle plate 130 so as to reciprocate in the Y-axis direction so that the upper plate 150 can move in the Y-axis direction by the operation of the second moving member 500. It is preferable to do, and a detailed description thereof will be described in more detail in the second moving member 500 to be described later.

아울러, 하판플레이트(120) 측면에는 제2이동부재(500)가 회전가능하게 설치되며, 그 회전에 의해 상기 하판플레이트(120)를 기준으로 미들플레이트(130)가 Y축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 한다.In addition, the second movable member 500 is rotatably installed on the side of the lower plate 120 so that the middle plate 130 can reciprocate in the Y-axis direction with respect to the lower plate 120 by the rotation. do.

미들플레이트(130)는 전체적으로 판의 형상을 갖도록 형성되되 그 하부가 상술한 바와 같이 하판플레이트(120)와 Y축 방향으로 왕복 이동가능하게 적층 형태로 결합하며, 상부에는 틸팅플레이트(140)가 적층 형태로 결합한다.The middle plate 130 is formed to have a shape of a plate as a whole, but the lower portion thereof is coupled to the lower plate 120 in a stacked manner to reciprocate in the Y-axis direction as described above, and a tilting plate 140 is stacked on the upper portion. Combine in form.

이때, 미들플레이트(130) 상부에 결합하는 틸팅플레이트(140) 하면은 상기 미들플레이트(130) 상면과 X축 방향으로 왕복 이동가능하게 결합하여 후술하는 제1이동부재(400)에 의해 상기 틸팅플레이트(140)가 X축 방향으로 이동할 수 있도록 하는 것이 바람직하며, 이에 대한 상세한 설명은 후술하는 제1이동부재(400)의 설명에서 더욱 상세하게 설명하도록 한다.At this time, the lower surface of the tilting plate 140 coupled to the upper portion of the middle plate 130 is coupled to the upper surface of the middle plate 130 so as to be reciprocally moved in the X-axis direction, and the tilting plate is formed by a first moving member 400 to be described later. It is preferable to allow the 140 to move in the X-axis direction, and a detailed description thereof will be described in more detail in the description of the first moving member 400 to be described later.

아울러, 미들플레이트(130) 측면에는 제1이동부재(400)가 회전가능하게 설치되되 그 회전에 의해 상기 미들플레이트(130)를 기준으로 틸팅플레이트(140)가 X축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 한다.In addition, the first moving member 400 is rotatably installed on the side of the middle plate 130 so that the tilting plate 140 can reciprocate in the X-axis direction with respect to the middle plate 130 by the rotation. .

틸팅플레이트(140)는 전체적으로 판의 형상을 갖도록 형성되되 미들플레이트(130) 상부에 적층 형태로 이동가능하게 결합한다.The tilting plate 140 is formed to have a shape of a plate as a whole, and is movably coupled to the middle plate 130 in a stacked form.

틸팅플레이트(140) 상부에는 상기 틸팅플레이트(140) 전체 면적과 대비하여 그 중앙부에 볼 베어링(110) 하부가 삽입 고정되며, 틸팅부재(200)가 설치되는 측면에는 한 쌍의 이동공(149)이 서로 이웃하게 상기 틸팅플레이트(140) 상면과 이어지도록 천공 형성된다.In the upper part of the tilting plate 140, the lower part of the ball bearing 110 is inserted and fixed in the center of the tilting plate 140 compared to the total area, and a pair of moving holes 149 on the side where the tilting member 200 is installed. The perforations are formed so as to be adjacent to each other and connect with the upper surface of the tilting plate 140.

이동공(149) 내에는 다수의 가이드볼(143)이 구비되며, 상기 가이드볼(143)은 삽입공(211)을 통해 상기 이동공(149) 내부로 출입하는 틸팅로드(240)의 외력에 의해 일 방향(틸팅플레이트 상면 방향)으로 밀리거나 타 방향(틸팅플레이트 측면 방향)으로 복귀되어 상판플레이트(150)가 볼 베어링(110)을 중심으로 하여 기울어질 수 있도록 한다.(도 4참조)A plurality of guide balls 143 are provided in the moving hole 149, and the guide ball 143 is applied to the external force of the tilting rod 240 entering and leaving the moving hole 149 through the insertion hole 211. As a result, it is pushed in one direction (toward the top of the tilting plate) or returned to the other direction (toward the side of the tilting plate) so that the top plate 150 can be tilted with the ball bearing 110 as the center (see FIG. 4).

틸팅플레이트(140) 상면에는 이동공(149)과 대칭되게 한 쌍의 복귀볼(147)이 상방으로 돌출될 수 있도록 구비되며, 각각의 상기 복귀볼(147)은 상기 틸팅플레이트(140) 내부에 수직방향으로 탄성 복원력을 갖는 제1탄성체(145)의 탄성력에 의해 수축/이완되어 틸팅부재(200)에 의해 기울어진 상판플레이트(150)가 원상태로 복귀할 수 있는 구조를 갖는다.(도 6 및 도 8 참조)On the upper surface of the tilting plate 140, a pair of return balls 147 are provided to protrude upwardly so as to be symmetric with the moving hole 149, and each of the return balls 147 is inside the tilting plate 140. The upper plate 150 inclined by the tilting member 200 is contracted/relaxed by the elastic force of the first elastic body 145 having an elastic restoring force in the vertical direction and has a structure capable of returning to its original state (FIG. 6 and See Fig. 8)

아울러 한 쌍의 복귀볼(147) 사이에는 틸팅플레이트(140) 상면과 상판플레이트(150) 하면 간의 간격을 유지하되 후술하는 회전부재(300)에 의해 상기 상판플레이트(150)가 볼 베어링(110)을 중심으로 회전시에 용이하게 회전할 수 있도록 볼(BALL) 형상의 간격유지구(141)가 상방으로 돌출되게 상기 틸팅플레이트(140) 상부에 회전 가능하도록 구비된다.In addition, a gap between the upper surface of the tilting plate 140 and the lower surface of the upper plate 150 is maintained between the pair of return balls 147, but the upper plate 150 is provided with a ball bearing 110 by a rotating member 300 to be described later. A ball (BALL)-shaped spacing tool 141 is provided to be rotatable on the top of the tilting plate 140 so as to protrude upward so that it can be easily rotated when rotating around.

즉, 틸팅플레이트(140)는 도시한 바와 같이, 임의의 중심선(C-L)을 기준으로 그 상면 일측에는 상기 틸팅플레이트(140) 측면에 형성된 한 쌍의 이동공(149)이 상기 틸팅플레이트(140) 상면과 이어지도록 형성되되 그 각각의 상기 이동공(149) 내에 다수의 가이드볼(143)이 서로 접촉되게 구비되며, 해당 중심선(C-L) 타측으로는 한 쌍의 복귀볼(147)이 형성되고, 한 쌍의 상기 복귀볼(147) 사이에 간격유지구(141)가 배치될 수 있도록 하는 것이다.That is, the tilting plate 140 has a pair of moving holes 149 formed on the side of the tilting plate 140 on one side of the upper surface of the tilting plate 140 based on an arbitrary center line CL. A plurality of guide balls 143 are formed to be connected to the upper surface, and a plurality of guide balls 143 are provided in contact with each other in each of the moving holes 149, and a pair of return balls 147 are formed on the other side of the center line CL, It is to allow a gap maintaining unit 141 to be disposed between a pair of the return balls 147.

아울러, 복귀볼(147)이 볼(BALL) 형상을 갖는 이유는 상판플레이트(150)가 이동공(149)이 형성된 방향으로 기울어지는 과정에서 상기 상판플레이트(150) 하면이 돌출길이가 제한된 간격유지구(141) 상단과 밀착되지 못하는 경우, 상기 복귀볼(147) 상단이 상기 간격유지구(141)의 기능을 대신 수행할 수 있도록 함으로써, 상기 상판플레이트(150)가 기울어진 상태에서도 용이하게 회전할 수 있도록 하는 것이다.In addition, the reason that the return ball 147 has a ball shape is that while the upper plate 150 is inclined in the direction in which the moving hole 149 is formed, the lower surface of the upper plate 150 maintains a limited protrusion length. When the ball 141 cannot be in close contact with the top, the top of the return ball 147 can perform the function of the gap maintaining unit 141 instead, so that the top plate 150 easily rotates even in a tilted state. To be able to do it.

이러한 이유로 본 발명에서의 간격유지구(141)는 필요에 따라 생략되는 것도 가능하다.For this reason, it is also possible to omit the interval maintenance tool 141 in the present invention as necessary.

상판플레이트(150)는 전체적으로 판의 형상으로 이루어지되 그 하부는 볼 베어링(110)의 상부와 회전가능하게 결합하며, 상면에는 위치를 결정하고자 하는 카메라모듈이 탈착 가능하게 구비된다.The upper plate 150 is generally formed in the shape of a plate, but the lower portion thereof is rotatably coupled with the upper portion of the ball bearing 110, and a camera module to determine a position is detachably provided on the upper surface.

상판플레이트(150) 측면 즉, 후술하는 틸팅플레이트(140) 측면에 설치되는 회전부재(300) 방향으로 회전샤프트(340)가 상기 상판플레이트(150) 외측 방향으로 돌출 구비되기 위한 돌출편(151)이 형성되어 상기 회전샤프트(340)의 밀리는 방향으로 상기 상판플레이트(150)가 볼 베어링(110)을 중심으로 회전할 수 있는 구조를 갖는다.A protruding piece 151 for protruding outwardly from the top plate 150 in the direction of the rotating member 300 installed on the side of the top plate 150, that is, the tilting plate 140 to be described later. This is formed so that the upper plate 150 can rotate around the ball bearing 110 in the pushing direction of the rotation shaft 340.

그리고, 상기 틸팅부재(200)는 상판플레이트(150)가 TX 또는 TY 방향으로 기울어질 수 있게 하기 위한 구성으로 틸팅블럭(210) 및 한 쌍의 조절헤드를 포함하며, 본 발명에서의 상기 조절헤드는 도시한 바와 같이, 상기 상판플레이트(150)를 TX 방향으로 기울이고자 하는 TX-틸팅헤드(220)와 상기 상판플레이트(150)를 TY 방향으로 기울이고자 하는 TY-틸팅헤드(230)로 각각 설명하고 있음에 유의하며, 본 발명인 조절해드의 요지를 명확하게 하기 위해 하기에는 상기 TX-틸팅헤드(220)의 설명으로 상기 TY-틸팅헤드(230)의 설명을 대신하도록 한다.In addition, the tilting member 200 includes a tilting block 210 and a pair of adjustment heads in a configuration for allowing the top plate 150 to be tilted in the TX or TY direction, and the adjustment head in the present invention As shown, each of the TX-tilting head 220 to tilt the top plate 150 in the TX direction and the TY-tilting head 230 to tilt the top plate 150 in the TY direction are respectively described. Note that, in order to clarify the gist of the control head of the present invention, the description of the TX-tilting head 220 will replace the description of the TY-tilting head 230.

예컨대 틸팅블럭(210)은 한 쌍의 이동공(149)이 형성된 틸팅플레이트(140) 측면에 고정설치되되 그 외면에는 각각의 상기 이동공(149)과 연통됨과 동시에 조절헤드(TX-틸팅헤드 및 TY-틸팅헤드)가 각각 삽입되는 한 쌍의 삽입공(211)이 이웃하게 천공형성된다.For example, the tilting block 210 is fixedly installed on the side of the tilting plate 140 on which a pair of moving holes 149 is formed, but the outer surface thereof communicates with each of the moving holes 149 and at the same time adjusts the head (TX-tilting head and A pair of insertion holes 211 into which TY-tilting heads) are respectively inserted are perforated adjacent to each other.

TX-틸팅헤드(220)는 한 쌍의 삽입공(211) 중 어느 하나에 회전가능하게 삽입되어 그 회전에 의해 이동공(149) 내의 가이드볼(143)에 외력을 가하여 상판플레이트(150)를 '+TX' 및 '-TX' 방향으로 이동시키기 위한 구성이다.(도 3 및 도 4 참조)The TX-tilting head 220 is rotatably inserted into any one of the pair of insertion holes 211 and applies an external force to the guide ball 143 in the moving hole 149 by the rotation of the top plate 150. This is a configuration for moving in the'+TX' and'-TX' directions. (See FIGS. 3 and 4)

이를 위해, TX-틸팅헤드(220) 외면에는 정방향(시계방향) 및 역방향(반 시계방향)으로 회전할 수 있게 회전체가 구비되며, 그 내부에는 해당 회전체의 회전방향에 따라 전방(이동공 방향)이나 후방(회전체 방향)으로 이동할 수 있는 틸팅로드(240)가 구비되어 다수의 가이드볼(143)가 밀리거나 원위치로 복귀할 수 있도록 한다.To this end, a rotating body is provided on the outer surface of the TX-tilting head 220 so as to rotate in the forward (clockwise) and reverse (counterclockwise) directions, and the inside thereof is forward (moving hole) according to the rotation direction of the rotating body. Direction) or rearward (rotator direction) is provided so that the plurality of guide balls 143 can be pushed or returned to their original position.

일 예로, 도시한 바와 같이, TX-틸팅헤드(220)의 회전체를 정방향으로 회전시키면 상기 TX-틸팅헤드(220) 내의 틸팅로드(240)가 이동공(149) 내부로 삽입될 수 있게 전방으로 돌출되며, 그 돌출에 의해 상기 이동공(149) 내부에 서로 접하도록 다수 구비된 가이드볼(143) 중 어느 하나를 밀어내게 된다.For example, as shown, when the rotating body of the TX-tilting head 220 is rotated in the forward direction, the tilting rod 240 in the TX-tilting head 220 can be inserted into the moving hole 149. It protrudes to, and pushes out any one of the guide balls 143 provided so as to contact each other inside the moving hole 149 by the protrusion.

이 과정에서 다수의 가이드볼(143)은 이동공(149)에 안내되어 상판플레이트(150) 하면과 접촉하는 상기 가이드볼(143)이 틸팅플레이트(140) 상면으로 돌출되어 상기 상판플레이트(150)가 볼 베어링(110)을 중심으로 하여 '+TX' 방향으로 올라가 상기 상판플레이트(150)가 기울어지는 형상을 갖게 되는 것이다.In this process, a plurality of guide balls 143 are guided by a moving hole 149 so that the guide balls 143 in contact with the lower surface of the upper plate 150 protrude to the upper surface of the tilting plate 140 and the upper plate 150 The ball bearing 110 is centered in the direction of'+TX' and the top plate 150 is inclined.

반대로, TX-틸팅헤드(220)의 회전체를 역방향으로 회전시키면 그 역순에 의해 상판플레이트(150)가 '-TX' 방향으로 내려앉게 되는데, 이 내려앉는 힘은 상술한 틸팅플레이트(140)에 구비된 한 쌍의 복귀볼(147) 중 어느 하나의 상기 복귀볼(147)의 제1탄성체(145)의 탄성력에 의해 상판플레이트(150) 하면을 밀어내어 원상복귀되거나 그 원위치에서 더 하방으로 기울어지는 것이 가능하게 하는 것이다.On the contrary, when the rotating body of the TX-tilting head 220 is rotated in the reverse direction, the upper plate 150 is lowered in the'-TX' direction by the reverse order, and this sinking force is applied to the tilting plate 140 described above. The lower surface of the upper plate 150 is pushed out by the elastic force of the first elastic body 145 of the return ball 147 of any one of the pair of return balls 147 provided to return to its original position or tilted downward from its original position. It is what makes it possible to lose.

이때, TX 방향이나 TY 방향으로 기울어지는 상판플레이트(150)의 기울기는 틸팅플레이트(140) 상면에 형성된 이동공(149)을 통하여 가이드볼(143)이 이탈되지 않는 범위 내에서 기울어짐이 가능하도록 하는 것이 바람직하다.At this time, the inclination of the top plate 150 inclined in the TX direction or the TY direction can be inclined within a range in which the guide ball 143 does not deviate through the moving hole 149 formed on the upper surface of the tilting plate 140. It is desirable to do.

한편, TY-틸팅헤드(230) 역시, 상술한 TX-틸팅헤드(220)와 동일 구조 및 작용관계를 가지고 있되 상판플레이트(150)가 기울어지는 방향(TY 방향)만의 차이가 있기에 이에 대한 상세한 설명은 상기 TX-틸팅헤드(220)의 설명으로 대신한다.On the other hand, the TY-tilting head 230 also has the same structure and action relationship as the TX-tilting head 220 described above, but there is a difference only in the direction in which the top plate 150 is inclined (TY direction). Is replaced by the description of the TX-tilting head 220.

그리고, 상기 회전부재(300)는 틸팅플레이트(140) 측면에 설치되되 볼 베어링(110)의 'Z축'을 중심으로 상판플레이트(150)가 X축 또는 Y축 방향으로 회전시키기 위한 구성으로 회전블럭(310), 회전헤드(320) 및 회전부시(330)를 포함한다.(도 6 참조)In addition, the rotating member 300 is installed on the side of the tilting plate 140 and rotates in a configuration for rotating the top plate 150 in the X-axis or Y-axis direction around the'Z axis' of the ball bearing 110. It includes a block 310, a rotating head 320 and a rotating bush 330. (See FIG. 6)

예컨대 회전블럭(310)은 도시한 바와 같이, 상술한 틸팅블럭(210)과 서로 대칭되는 틸팅플레이트(140) 측면에 고정설치된다.For example, as shown, the rotating block 310 is fixedly installed on the side of the tilting plate 140 that is symmetrical to the above-described tilting block 210.

틸팅플레이트(140)와 접하지 않는 회전블럭(310) 외면에는 외측 방향으로 한 쌍의 조절편(311)이 서로 이웃하여 공간부(313)를 형성할 수 있도록 형성되되 상기 공간부(313) 내측에는 상판플레이트(150)와 결합한 회전샤프트(340)가 배치될 수 있도록 한다.On the outer surface of the rotating block 310 not in contact with the tilting plate 140, a pair of adjustment pieces 311 are formed so as to be adjacent to each other to form a space 313 inside the space 313 The rotation shaft 340 coupled with the top plate 150 may be disposed therein.

이때, 각각의 조절편(311)에는 서로 마주보게 관통공(315)이 천공형성되어 어느 하나의 상기 관통공(315)에는 회전헤드(320)가 삽입 설치되며, 다른 하나에는 회전부시(330)가 삽입 설치되는 것이 바림직하다.At this time, a through hole 315 is perforated to face each other in each of the adjustment pieces 311, so that a rotating head 320 is inserted and installed in one of the through holes 315, and a rotating bush 330 is provided in the other. It is desirable to insert and install.

회전헤드(320)는 상술한 TX-틸팅헤드(220)나 TY-틸팅헤드(230)와 유사하게 그 외면에 회전가능한 회전체가 형성되며, 내부에는 해당 회전체의 회전방향에 따라 회전로드(321)의 돌출길이가 가변될 수 있게 상기 회전헤드(320)에 출입하는 구조를 갖는다.Similar to the above-described TX-tilting head 220 or TY-tilting head 230, the rotating head 320 has a rotatable rotating body formed on its outer surface, and inside the rotating rod according to the rotation direction of the rotating body ( It has a structure that enters and exits the rotation head 320 so that the protrusion length of the 321 can be varied.

이때, 회전로드(321)의 끝단은 공간부(313) 내에 위치하는 회전샤프트(340) 외면과 대향되게 설치되어 상기 회전로드(321)의 돌출길이에 따라 상기 회전샤프트(340)를 밀어내어 상판플레이트(150)가 그 밀어내는 방향으로 회전할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.At this time, the end of the rotation rod 321 is installed to face the outer surface of the rotation shaft 340 located in the space part 313 to push the rotation shaft 340 according to the protruding length of the rotation rod 321 It is desirable to allow the plate 150 to rotate in the pushing direction.

회전부시(330)는 상술한 회전로드(321)가 회전샤프트(340) 일측을 밀어내는 과정에서 상기 회전샤프트(340) 타측을 지지하여 X축 방향으로 회전이 이루어진 상판플레이트(150)를 안정적으로 고정함과 동시에 상기 상판플레이트(150)를 Y축 방향으로 밀어내기 위한 구성이다.The rotating bush 330 stably supports the upper plate 150 rotated in the X-axis direction by supporting the other side of the rotating shaft 340 while the rotating rod 321 pushes one side of the rotating shaft 340 described above. It is a configuration for fixing and simultaneously pushing the top plate 150 in the Y-axis direction.

이를 위해, 회전부시(330) 역시, 그 외면에 소정길이를 갖는 로드가 형성된 회전체가 구비되며, 정방향이나 역방향으로 회전하는 상기 회전체의 회전을 통해 상기 로드가 회전샤프트(340)의 측면 방향으로 돌출되어 상기 회전샤프트(340)를 Y축 방향으로 밀어낼 수 있는 구조를 갖는다.To this end, the rotating bush 330 is also provided with a rotating body in which a rod having a predetermined length is formed on its outer surface, and the rod is rotated in the lateral direction of the rotating shaft 340 through rotation of the rotating body rotating in a forward or reverse direction. It has a structure that can protrude to and push the rotation shaft 340 in the Y-axis direction.

물론, 회전샤프트(340)를 Y축 방향으로 밀어내는 로드는 상기 회전샤프트(340) 일측에 구비된 회전로드(321)의 지지를 통해 그 회전반경을 제한할 수 있도록 한다.Of course, the rod that pushes the rotation shaft 340 in the Y-axis direction can limit its rotation radius through the support of the rotation rod 321 provided on one side of the rotation shaft 340.

이때, 회전부시(330) 내부에는 탄성력에 의해 로드를 지지하는 제2탄성체(333)가 더 구비될 수 있으며, 상기 제2탄성체(333)는 특히, 회전로드(321)가 회전샤프트(340)를 X축 방향으로 밀어낸 이후에 미세하게 해당 방향으로 정밀 조정이 필요한 경우, 용이하게 사용할 수 있도록 한다.In this case, a second elastic body 333 for supporting the rod by an elastic force may be further provided inside the rotation bush 330, and the second elastic body 333 is, in particular, a rotation rod 321 in the rotation shaft 340. After pushing in the X-axis direction, it can be easily used if fine adjustment is required in the corresponding direction.

즉, 회전로드(321)가 회전샤프트(340)의 일측을 밀어내어 상판플레이트(150)가 X축 방향으로 회전시켜 카메라모듈의 검사를 실행하는 과정에서 작업자는 필요에 따라 해당 X축 방향으로 미세하게 더 조정해야 하는 이유가 발생하게 되는데, 이 경우에 제2탄성체(333)가 구비되는 않은 상태에서는 상기 회전샤프트(340) 타측을 지지하고 있는 회전부시(330)의 로드를 일일이 조절하여 상기 회전로드(321)가 X축 방향으로 더 이동할 수 있는 거리를 제어해야 하는 불편함이 존재하게 된다.That is, in the process of performing the inspection of the camera module by the rotation rod 321 pushing one side of the rotation shaft 340 to rotate the top plate 150 in the X-axis direction, the operator In this case, when the second elastic body 333 is not provided, the rod of the rotating bush 330 supporting the other side of the rotating shaft 340 is manually adjusted to rotate the rotation. There is an inconvenience of controlling the distance at which the rod 321 can further move in the X-axis direction.

하여, 회전부시(330) 내부에 로드가 미세하게 이동할 수 있게 제2탄성체(333)를 구비함으로써, 그 탄성력에 의해 상기 회전부시(330)를 조절하지 않은 상태에서도 회전로드(321)를 X축 방향으로 미세하게 이동시켜 상판플레이트(150)가 해당 X축 방향으로 이동할 수 있도록 함으로써, 이러한 문제점을 해결할 수 있게 되는 것이다.Thus, by providing the second elastic body 333 so that the rod can move finely inside the rotating bush 330, the rotating rod 321 is X-axis even when the rotating bush 330 is not adjusted by its elastic force. By finely moving in the direction so that the top plate 150 can move in the corresponding X-axis direction, this problem can be solved.

물론, 제2탄성체(333)는 상술한 문제점의 개선을 위해 회전부시(330) 내부에도 상기 제2탄성체(333)를 더 구비시켜 Y축 방향으로의 미세조정도 가능하게 할 수 있으나, 이 경우에 한 쌍의 상기 제2탄성체(333)로 인하여 상판플레이트(150)의 고정력이 미세하게 저하되어 카메라모듈의 정밀검사에 간섭이 일어날 수 있어, 바람직하게는 상기 회전부시(330) 또는 회전헤드(320) 중 어느 하나에만 상기 제2탄성체(333)를 구비하여 사용하는 것이 바람직한 사용법이라 할 수 있다.Of course, the second elastic body 333 may be further provided with the second elastic body 333 inside the rotating bush 330 to improve the above-described problem so that fine adjustment in the Y-axis direction may be possible. Due to the pair of second elastic bodies 333, the fixing force of the upper plate 150 is slightly lowered, so that interference may occur in the detailed inspection of the camera module, preferably the rotating bush 330 or the rotating head ( It can be said that it is preferable to use the second elastic body 333 provided in only one of 320).

그리고, 상기 제1이동부재(400)는 미들플레이트(130)를 중심으로 틸팅플레이트(140) 자체를 X축 방향으로 이동시켜 상기 틸팅플레이트(140)와 연결된 상판플레이트(150)가 해당 X축 방향으로 이동할 수 있도록 하기 위한 구성으로 제1고정체(410), 제1조절체(420) 및 제1이동체(430)를 포함한다.In addition, the first moving member 400 moves the tilting plate 140 itself around the middle plate 130 in the X-axis direction so that the upper plate 150 connected to the tilting plate 140 is moved in the corresponding X-axis direction. It includes a first fixing body 410, a first adjusting body 420, and a first moving body 430 in a configuration to be able to move to.

예컨대 제1고정체(410)는 일측이 미들플레이트(130) 외면과 이어지게 돌출 형성되되 타측에는 제1조절체(420)가 회전가능하게 설치된다.For example, one side of the first fixing body 410 is protruding so as to connect with the outer surface of the middle plate 130, but the first adjusting body 420 is rotatably installed on the other side.

제1고정체(410)에 설치된 제1조절체(420)는 일측 외면에 정방향이나 역방향으로 회전가능한 제1볼륨체(421)가 구비되며, 타측에는 상기 제1볼륨체(421)의 회전방향에 따라 제1로드(423)의 돌출 길이가 가변되게 상기 제1조절체(420) 내/외부로 출입할 수 있는 구조를 갖는다.The first adjusting body 420 installed in the first fixing body 410 has a first volume body 421 that can rotate in a forward or reverse direction on one outer surface, and a rotation direction of the first volume body 421 on the other side. Accordingly, the first rod 423 has a structure in which the protruding length of the first rod 423 can be varied in and out of the first control body 420.

이때, 제1로드(423) 끝단은 도시한 바와 같이, 제1이동체(430)와 회전가능하도록 결합하여 상기 제1볼륨체(421)의 회전방향에 따라 상기 제1로드(423)의 돌출길이가 가변되어 상기 제1이동체(430)를 밀거나 당길 수 있는 구조를 갖도록 설치되는 것이 바람직하다.At this time, the end of the first rod 423 is rotatably coupled with the first moving body 430 as shown, and the protruding length of the first rod 423 according to the rotation direction of the first volume body 421 It is preferable to be installed so as to have a structure capable of pushing or pulling the first moving body 430 by being variable.

제1이동체(430)은 제1로드(423)의 끝단과 회전가능하게 결합하되 그 외면은 틸팅플레이트(140)와 이어지게 형성되어 상기 제1로드(423)가 밀리거나 당겨지는 이동에 의해 상기 틸팅플레이트(140)와 결합한 상판플레이트(150)가 X축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 한다.The first moving body 430 is rotatably coupled to the end of the first rod 423, but its outer surface is formed to be connected to the tilting plate 140 so that the first rod 423 is pushed or pulled to move the tilting body. The upper plate 150 combined with the plate 140 is reciprocated in the X-axis direction.

그리고, 상기 제2이동부재(500)는 도 7 및 도 8에 도시한 바와 같이, 하판플레이트(120)를 중심으로 미들플레이트(130) 자체를 Y축 방향으로 이동시켜 상기 미들플레이트(130)와 연결된 틸팅플레이트(140)가 해당 Y축 방향으로 이동할 수 있도록 하기 위한 구성으로 제2고정체(510), 제2조절체(520) 및 제2이동체(530)를 포함한다.In addition, the second moving member 500 moves the middle plate 130 itself around the lower plate 120 in the Y-axis direction, as shown in FIGS. 7 and 8, so that the middle plate 130 and the The connected tilting plate 140 is configured to move in the corresponding Y-axis direction, and includes a second fixing body 510, a second adjusting body 520, and a second moving body 530.

예컨대 제2고정체(510)는 일측이 하판플레이트(120) 외면과 이어지게 돌출 형성되되 타측에는 제2조절체(520)가 회전가능하게 설치된다.For example, the second fixing body 510 has one side protruding to connect with the outer surface of the lower plate 120, and the second adjusting body 520 is rotatably installed on the other side.

제2고정체(510)에 설치된 제2조절체(520)는 일측 외면에 정방향이나 역방향으로 회전가능한 제2볼륨체(521)가 구비되며, 타측에는 상기 제2볼륨체(521)의 회전방향에 따라 제2로드(523)의 돌출 길이가 가변되게 상기 제2조절체(520) 내/외부로 출입할 수 있는 구조를 갖는다.The second adjusting body 520 installed on the second fixing body 510 has a second volume body 521 that can rotate in a forward or reverse direction on one outer surface, and a rotation direction of the second volume body 521 on the other side. Accordingly, the second rod 523 has a structure in which the protruding length of the second rod 523 can be varied so that the second controller 520 can enter and exit the inside/outside.

이때, 제2로드(523) 끝단은 도시한 바와 같이, 제2이동체(530)와 회전가능하도록 결합하여 상기 제2볼륨체(521)의 회전방향에 따라 상기 제2로드(523)의 돌출길이가 가변되어 상기 제2이동체(530)를 밀거나 당길 수 있는 구조를 갖도록 설치되는 것이 바람직하다.At this time, the end of the second rod 523 is rotatably coupled with the second moving body 530 as shown, and the protruding length of the second rod 523 according to the rotation direction of the second volume body 521 It is preferable that it is installed to have a structure capable of pushing or pulling the second moving body 530 by being variable.

제2이동체(530)은 제2로드(523)의 끝단과 회전가능하게 결합하되 그 외면은 미들플레이트(130)와 이어지게 형성되어 상기 제2로드(523)가 밀리거나 당겨지는 이동에 의해 상기 미들플레이트(130)와 결합한 틸팅플레이트(140)가 Y축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 함으로써, 상기 틸팅플레이트(140)와 결합하는 상판플레이트(150)가 해당 Y축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 한다.The second moving body 530 is rotatably coupled to the end of the second rod 523, but the outer surface thereof is formed to be connected to the middle plate 130 so that the second rod 523 is pushed or pulled to move the middle By allowing the tilting plate 140 coupled with the plate 130 to reciprocate in the Y-axis direction, the top plate 150 coupled with the tilting plate 140 can reciprocate in the corresponding Y-axis direction.

전술한 바와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 스테이지(1)는 종래와는 차별되게 다수의 플레이트가 슬림한 높이를 갖도록 적층 구조를 갖되 그 상부에는 검사수단에 의해 검사를 진행하고자 하는 카메라모듈을 구비시켜 틸팅부재(200), 회전부재(300), 제1이동부재(400) 및 제2이동부재(500)를 통해 해당 카메라모듈이 장착된 상판플레이트(150)의 'TX'나'TY' 방향으로 기울임이 가능하게 함과 동시에 상기 상판플레이트(150)를 'X축'이나 'Y축' 방향으로 회전 및 이동시킬 수 있어 작업환경의 여건에 간섭없이 해당 카메라모듈의 위치결정이 자유로울 수 있는 효과를 갖게 된다.The stage 1 according to the present invention having the configuration as described above has a stacked structure so that a plurality of plates have a slim height, different from the conventional one, but the camera module to be inspected by the inspection means is provided on the top thereof. The tilting member 200, the rotating member 300, the first moving member 400 and the second moving member 500 in the'TX' or'TY' direction of the top plate 150 on which the camera module is mounted In addition to enabling tilting, the top plate 150 can be rotated and moved in the'X-axis' or'Y-axis' direction so that the camera module can be positioned freely without interfering with the conditions of the work environment. Will have.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.As described above, in the present invention, specific matters such as specific components, etc., and limited embodiments and drawings have been described, but this is provided only to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited to the above embodiments. , If a person of ordinary skill in the field to which the present invention belongs, various modifications and variations are possible from these descriptions.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적인 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Accordingly, the spirit of the present invention is limited to the described embodiments and should not be determined, and all those having variations equivalent or equivalent to the claims, as well as the claims to be described later, will belong to the scope of the inventive concept. .

1: 본 발명에 따른 슬림형 위치결정 스테이지장치
100: 몸체부
110: 볼 베어링 120: 하판플레이트
130: 미들플레이트 140: 틸팅플레이트
141: 간격유지구 143: 가이드볼
145: 제1탄성체 147: 복귀볼
149: 이동공 150: 상판플레이트
151: 돌출편
200: 틸팅부재
210: 틸팅블럭 211: 삽입공
220: TX-틸팅헤드 230: TY-틸팅헤드
240: 틸팅로드
300: 회전부재
310: 회전블럭 311: 조절편
313: 공간부 315: 관통공
320: 회전헤드 321: 회전로드
330: 회전부시 331: 부시로드
333: 제2탄성체 340: 회전샤프트
400: 제1이동부재
410: 제1고정체 420: 제1조절체
421: 제1볼륨체 423: 제1로드
430: 제1이동체
500: 제2이동부재
510: 제2고정체 520: 제2조절체
521: 제2볼륨체 523: 제2로드
530: 제2이동체
C-L: 중심선
1: Slim type positioning stage device according to the present invention
100: body
110: ball bearing 120: lower plate
130: middle plate 140: tilting plate
141: spacing zone 143: guide ball
145: first elastic body 147: return ball
149: moving hole 150: top plate
151: protruding piece
200: tilting member
210: tilting block 211: insertion hole
220: TX-tilting head 230: TY-tilting head
240: tilting rod
300: rotating member
310: rotation block 311: adjustment piece
313: space part 315: through hole
320: rotating head 321: rotating rod
330: rotating bush 331: bush rod
333: second elastic body 340: rotating shaft
400: first moving member
410: first fixture 420: first regulator
421: first volume body 423: first rod
430: first moving object
500: second moving member
510: second fixture 520: second regulator
521: second volume body 523: second rod
530: second moving object
CL: Centerline

Claims (11)

다수의 분체가 적층 형태로 배치되되 볼 베어링(110)을 중심으로 어느 하나의 분체는 기울어짐과 회전이 가능함과 동시에 상기 볼 베어링(110)과 함께 해당 분체 일부가 이동 가능하도록 연결되는 몸체부(100);
상기 몸체부(100) 외면에 회전가능하게 한 쌍으로 구비되되 그 회전에 의해 상기 볼 베어링(110)을 중심으로 상기 몸체부(100) 상부가 TX 또는 TY 방향 중 적어도 어느 한 방향으로 기울어지도록 설치되는 틸팅부재(200); 및
상기 몸체부(100) 외면에 회전가능하게 구비되되 그 회전에 의해 상기 볼 베어링(110)을 중심으로 상기 몸체부(100) 상부가 X축이나 Y축 중 적어도 어느 한 방향으로 회전할 수 있도록 구비되는 회전부재(300);를 포함하되,
적층 형태를 갖는 상기 몸체부(100)는 하부에서 상부방향으로 순차되게 하판플레이트(120), 미들플레이트(130), 틸팅플레이트(140) 및 상면에 위치를 결정하고자 하는 카메라모듈이 장착되는 상판플레이트(150)를 포함하며, 상기 볼 베어링(110)은 하부가 상기 틸팅플레이트(140)에 고정되되 상부는 상기 상판플레이트(150)와 기울어짐 및 회전 가능하게 설치되며,
외면에 상기 틸팅부재(200)가 설치되는 상기 틸팅플레이트(140)는 회전에 의해 상기 틸팅플레이트(140) 내부로 삽입되는 상기 틸팅부재(200)의 외력에 의해 상기 틸팅플레이트(140) 내에서 다수가 서로 밀어내어 이동하되 그 이동에 의해 상기 상판플레이트(150) 하면을 밀어내어 상기 상판플레이트(150)가 상기 볼 베어링(110)을 중심으로 기울어지도록 구비되는 가이드볼(143) 및 상기 가이드볼(143)의 외력이 해소시에 기울어진 상기 상판플레이트(150)가 제1탄성체(145)의 탄성력에 의해 원위치로 복귀할 수 있도록 구비되는 복귀볼(147)을 포함하며,
상기 틸팅플레이트(140)는 상기 상판플레이트(150) 하면과 일정간격을 유지함과 동시에 상기 상판플레이트(150)의 회전이 용이하도록 회전 가능하게 돌출 구비되는 간격유지구(141)가 더 포함되되, 상기 틸팅플레이트(140) 상방으로 돌출되는 상기 간격유지구(141) 상단의 돌출높이는 고정된 높이를 갖도록 하는 것을 특징으로 하는 슬림형 위치결정 스테이지장치.
A plurality of powders are arranged in a stacked form, but one of the powders can be tilted and rotated around the ball bearing 110, and at the same time, a body part connected to the ball bearing 110 so that a part of the powder is movable ( 100);
It is provided in a pair so as to be rotatable on the outer surface of the body part 100, and the upper part of the body part 100 is installed so that the upper part of the body part 100 is inclined in at least one of the TX or TY directions around the ball bearing 110 by the rotation A tilting member 200; And
It is provided rotatably on the outer surface of the body part 100, but provided so that the upper part of the body part 100 rotates in at least one of the X-axis and the Y-axis around the ball bearing 110 by the rotation Including; rotating member 300;
The body portion 100 having a stacked shape is a lower plate 120, a middle plate 130, a tilting plate 140, and a top plate on which a camera module to be positioned is mounted on the upper surface in order from the bottom to the top. 150, wherein the ball bearing 110 has a lower portion fixed to the tilting plate 140, but an upper portion thereof is installed to be inclined and rotatable with the top plate 150,
The tilting plate 140 on which the tilting member 200 is installed on the outer surface is a plurality of the tilting plate 140 by the external force of the tilting member 200 inserted into the tilting plate 140 by rotation. The guide ball 143 and the guide ball are provided so that the upper plate 150 is inclined with respect to the ball bearing 110 by pushing the upper plate 150 and pushing the lower surface of the upper plate 150 by the movement. The top plate 150 inclined when the external force of 143 is resolved includes a return ball 147 provided to return to its original position by the elastic force of the first elastic body 145,
The tilting plate 140 further includes a gap retaining tool 141 that is rotatably protruded so as to maintain a predetermined distance from the bottom surface of the top plate 150 and to facilitate rotation of the top plate 150, the Slim-type positioning stage device, characterized in that the protruding height of the upper end of the gap maintaining unit 141 protruding upward of the tilting plate 140 has a fixed height.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 가이드볼(143)은
상기 틸팅플레이트(140) 임의의 중심선(C-L)을 기준으로 그 일측에 상기 틸팅부재(200)와 연통되게 한 쌍이 상기 틸팅플레이트(140) 상면에 상단이 돌출되도록 구비되며,
상기 복귀볼(147)은
해당 중심선(C-L)을 기준으로 상기 틸팅플레이트(140) 상면 타측에 한 쌍이 서로 대칭되게 구비되는 것을 특징으로 하는 슬림형 위치결정 스테이지장치.
The method of claim 1,
The guide ball 143 is
A pair of the tilting plate 140 is provided on one side of the tilting plate 140 so as to be in communication with the tilting member 200 so that the upper end of the tilting plate 140 protrudes,
The return ball 147 is
A slim positioning stage device, characterized in that a pair is provided symmetrically to each other on the other side of the upper surface of the tilting plate 140 based on a corresponding center line CL.
제1항에 있어서,
상기 틸팅부재(200)는
상기 틸팅플레이트(140) 측면에서 상면까지 이어지는 한 쌍의 이동공(149)과 서로 대향하는 한 쌍의 삽입공(211)이 형성된 틸팅블럭(210); 및
각각의 상기 삽입공(211)에 회전가능하게 삽입되되 그 회전방향에 따라 틸팅로드(240)의 길이가 조절되도록 출입하여 상기 이동공(149)에 구비된 다수의 상기 가이드볼(143)이 외력에 의해 밀리거나 당겨질 수 있도록 하는 조절헤드;를 포함하되,
상기 조절헤드는 상기 상판플레이트(150)를 각각 TX 또는 TY 방향으로 기울이는 TX-틸팅헤드(220)와 TY-틸팅헤드(230)를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬림형 위치결정 스테이지장치.
The method of claim 1,
The tilting member 200 is
A tilting block 210 having a pair of moving holes 149 extending from the side of the tilting plate 140 to an upper surface and a pair of insertion holes 211 facing each other; And
It is rotatably inserted into each of the insertion holes 211, but the length of the tilting rod 240 is adjusted according to the direction of rotation so that the plurality of guide balls 143 provided in the movable hole 149 Including; an adjustment head that can be pushed or pulled by,
Wherein the adjustment head includes a TX-tilting head 220 and a TY-tilting head 230 for tilting the top plate 150 in the TX or TY direction, respectively.
제1항에 있어서,
상기 회전부재(300)는
상기 틸팅부재(200)와 서로 대칭되게 상기 틸팅플레이트(140)에 고정설치되되 양측에는 한 쌍의 조절편(311)이 서로 이웃하여 공간부(313)를 갖도록 돌출 형성된 회전블럭(310);
한 쌍의 상기 조절편(311) 중 어느 하나에 회전가능하도록 관통설치되되 그 회전 방향에 따라 상기 공간부(313) 내측 방향으로 길이가 조절되는 회전로드(321)가 구비된 회전헤드(320);
상기 회전로드(321)와 서로 마주보게 상기 회전헤드(320)가 구비되는 않은 상기 조절편(311)에 회전가능하도록 관통 설치되되 그 회전에 의해 상기 공간부(313) 내측방향으로 부시로드(331)의 돌출길이가 조절되는 회전부시(330); 및
양측에 상기 회전로드(321)와 상기 부시로드(331)가 면 접촉할 수 있도록 상기 공간부(313)에 배치되되 그 상부는 상기 상판플레이트(150)와 고정 설치되어 상기 상판플레이트(150)가 상기 볼 베어링(110)을 중심으로 회전할 수 있도록 하는 회전샤프트(340);를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬림형 위치결정 스테이지장치.
The method of claim 1,
The rotating member 300 is
A rotating block 310 which is fixedly installed on the tilting plate 140 so as to be symmetrical to each other with the tilting member 200, and has a pair of adjusting pieces 311 adjacent to each other and protruding to have a space 313;
A rotating head 320 provided with a rotating rod 321 which is rotatably installed through any one of the pair of adjustment pieces 311 and whose length is adjusted in the inner direction of the space 313 according to the rotating direction ;
A bush rod 331 which is rotatably installed through the adjustment piece 311 not provided with the rotation head 320 so as to face each other with the rotation rod 321, but in the inner direction of the space 313 by the rotation ) A rotating bush 330 in which the protruding length is adjusted; And
The rotating rod 321 and the bush rod 331 on both sides are disposed in the space 313 so that the surface contact, the upper portion of which is fixedly installed with the top plate 150 so that the top plate 150 A slim-type positioning stage device comprising: a rotating shaft 340 that enables rotation about the ball bearing 110.
제7항에 있어서,
상기 회전샤프트(340)는
회전하는 각각의 상기 회전로드(321) 또는 상기 부시로드(331)의 돌출길이에 따라 상기 상판플레이트(150)가 상기 볼 베어링(110)을 축으로 X축 또는 Y축 방향으로 회전할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 슬림형 위치결정 스테이지장치.
The method of claim 7,
The rotation shaft 340 is
According to the protruding length of each of the rotating rods 321 or bush rods 331 that rotate, the top plate 150 can rotate the ball bearings 110 in the X-axis or Y-axis direction. Slim type positioning stage device, characterized in that.
제7항에 있어서,
상기 회전부시(330) 내부에는 탄성력에 의해 상기 부시로드(331)를 밀어내는 제2탄성체(333);가 구비되는 것을 특징으로 하는 슬림형 위치결정 스테이지장치.
The method of claim 7,
And a second elastic body 333 that pushes the bush rod 331 by an elastic force inside the rotary bush 330.
제1항에 있어서,
상기 틸팅플레이트(140)는 제1이동부재(400)의 회전에 의해 상기 미들플레이트(130) 상면에 가이드되어 X축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 연결되는 것을 특징으로 하는 슬림형 위치결정 스테이지장치.
The method of claim 1,
The tilting plate 140 is guided to the upper surface of the middle plate 130 by the rotation of the first moving member 400 and connected to reciprocate in the X-axis direction.
제1항에 있어서,
상기 미들플레이트(130)는 제2이동부재(500)의 회전에 의해 상기 하판플레이트(120) 상면에 가이드되어 Y축 방향으로 왕복 이동할 수 있도록 연결되는 것을 특징으로 하는 슬림형 위치결정 스테이지장치.
The method of claim 1,
The middle plate 130 is guided to the upper surface of the lower plate 120 by rotation of the second moving member 500, and is connected to reciprocate in the Y-axis direction.
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