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KR102148381B1 - 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치 - Google Patents

싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치 Download PDF

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KR102148381B1
KR102148381B1 KR1020200015619A KR20200015619A KR102148381B1 KR 102148381 B1 KR102148381 B1 KR 102148381B1 KR 1020200015619 A KR1020200015619 A KR 1020200015619A KR 20200015619 A KR20200015619 A KR 20200015619A KR 102148381 B1 KR102148381 B1 KR 102148381B1
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KR
South Korea
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main
flap
auxiliary
shaft
power transmission
Prior art date
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Active
Application number
KR1020200015619A
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English (en)
Inventor
이기연
김대현
신동욱
한상문
윤석현
Original Assignee
주식회사 파인솔루션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Abstract

본 발명은 반도체 공정챔버 내의 유체 압력을 조절하기 위해 반도체 공정챔버와 연결된 배기관의 내측에 배치된 상태로 제자리 회전하는 주플랩과 보조플랩이 배기관의 한 영역에서 독립적으로 제자리 회전하도록 하는 기술로서, 주플랩의 중앙부에 형성된 개구 공간에 보조플랩을 장착하고 하나의 구동유닛을 통해 제자리 회전하는 주축과 보조축이 각각 주플랩과 보조플랩에 연결된 상태로 독립적으로 동작함에 따라 하나의 구동유닛을 통해서도 주플랩의 회전각과 보조플랩의 회전각을 독립적으로 제어하는 기술에 관한 것이다. 특히, 주플랩의 회전각과 보조플랩의 회전각을 독립적으로 제어하기 위해 하나의 구동유닛이 보조축과 연결된 상태로 그 보조축에 동력을 전달하는 과정에서 그 구동유닛의 동력을 주축에도 전달시키거나 주축으로의 전달을 단절시키는 동력 전달을 스위칭하는 기술이다. 본 발명에 따르면, 동력전달 스위칭 블록이 보조축의 길이 방향을 따라 메인 조인트 블록과 서브 조인트 블록 사이를 슬라이딩하도록 구성됨에 따라 동력전달의 스위칭을 안정적으로 수행할 수 있는 장점이 있다.

Description

싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치 {dual-flapper throttle valve device of single operating type}
본 발명은 반도체 공정챔버 내의 유체 압력을 조절하기 위해 반도체 공정챔버와 연결된 배기관의 내측에 배치된 상태로 제자리 회전하는 주플랩과 보조플랩이 배기관의 한 영역에서 독립적으로 제자리 회전하도록 하는 기술에 관한 것이다.
더욱 상세하게는, 본 발명은 주플랩의 중앙부에 형성된 개구 공간에 보조플랩을 장착하고 하나의 구동유닛을 통해 제자리 회전하는 주축과 보조축이 각각 주플랩과 보조플랩에 연결된 상태로 독립적으로 동작함에 따라 하나의 구동유닛을 통해서도 주플랩의 회전각과 보조플랩의 회전각을 독립적으로 제어하는 기술에 관한 것이다.
특히, 주플랩의 회전각과 보조플랩의 회전각을 독립적으로 제어하기 위해 하나의 구동유닛이 보조축과 연결된 상태로 그 보조축에 동력을 전달하는 과정에서 그 구동유닛의 동력을 주축에도 전달시키거나 주축으로의 전달을 단절시키는 동력 전달을 스위칭하는 기술이다.
일반적으로 반도체 공정챔버는 공정 후에 남은 배기가스를 외부의 배기단을 통해 배기시킨다. 이때, 반도체 공정챔버와 그 배기단을 잇는 배기라인은 배기가스의 흐름에 따라 유체 압력을 나타내게 된다.
이때, 반도체 공정챔버가 원활하게 동작할 수 있도록 배기라인으로서의 배기관 내 압력을 조정할 필요가 있는데, 그 하나의 방법으로는 배기관의 배기가스 배출 압력을 조정함으로써 이루어질 수 있다.
이를 위해, 종래에는 배기관의 소정 위치에 원반형의 회전판을 구비하고 그 회전판을 제자리 회전시킴에 따라 배기관 내의 유체 압력을 조절하였다.
여기서, 배기관 내의 유체 압력을 미세하게 조정할 필요가 있지만 기존 회전판으로는 그 유체 압력을 미세하게 조정하는 것에 한계가 있기 때문에 이러한 한계를 극복하기 위해 그 회전판과 인접하는 배기관 내에 별도의 보조회전판을 장착하여 각각 제자리 회전하도록 구성함에 따라 배기관 내의 유체 압력을 좀더 미세하게 조정하려는 기술이 개시되었다.
그런데, 배기관의 내경은 정해져 있고 그 배기관 내 장착되는 복수의 회전판들을 제자리 회전시킨다고 해도 원반형으로 이루어지는 각각의 회전판이 제자리 회전하는 구성이기 때문에 미세 압력 조정시 불규칙하게 그 조정 압력이 흔들리는 소위 헌팅 현상을 피할 수 없다는 문제가 있다.
또한, 배기관의 다른 위치에 배치되는 각각의 회전판들을 개별적으로 조정하여 배기관 내의 유체 압력을 목적하는 방향으로 정밀하게 조정한다는 것도 쉽지 않은 일이다.
이러한 문제점들을 극복하기 위해 중공형의 대구경 회전판에 소구경 회전판을 연결하여 배기관에 장착한 후 개별적으로 그 회전을 제어하는 기술이 개시되었지만, 그 대구경 회전판과 소구경 회전판의 회전을 개별적으로 제어함에 따른 배기관의 정밀한 압력 제어가 쉽지 않다는 새로운 문제점이 발생하였다.
즉, 대구경 회전판의 회전을 정밀하게 제어함과 아울러 소구경 회전판의 회전을 정밀하게 제어함에 따라 결과적으로 배기관의 압력을 목적하는 수준으로 유지해야 하지만 실제 현장에서 대구경 회전판을 원하는 각도까지 안정적으로 회전시킴과 아울러 소구경 회전판도 원하는 각도까지 안정적으로 회전시키는 구성을 구현하는 것은 어려운 일이다.
예컨대, 대구경 회전판을 회전시킬때 소구경 회전판도 함께 회전시키는 과정인 경우 대구경 회전판과 소구경 회전판 간의 이격 공간 발생을 방지하여야 하는 해결과제가 있고, 대구경 회전판은 현재 위치를 유지시키는 상태에서 소구경 회전판만을 회전시키는 과정인 경우 대구경 회전판의 현재 위치는 그대로 유지시켜야 하는 해결과제가 있다.
그에 따라, 싱글 구동유닛이 대구경 회전판(주플랩)과 소구경 회전판(보조플랩)에 개별적으로 회전력을 전달함에 있어서 싱글 구동유닛의 구동력이 보조축에만 전달되거나 보조축과 주축에 동시에 전달되도록 동력전달을 스위칭하여 보주축과 주축 중 어느하나의 회전시 다른 하나에 대해 그 영향을 배제시킴으로써 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결할 수 있는 기술 구현이 요구된다.
본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 하나의 구동유닛에 의한 구동력이 보조플랩의 회전력으로만 동작하거나 보조플랩과 주플랩을 동시 회전력으로 동작하도록 하는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치를 제공함에 있다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 싱글 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치는 반도체 공정챔버의 배기라인에 연통 연결될 수 있도록 속이 빈 파이프 형태로 이루어진 배기관(110); 자신의 중앙부가 소정 너비 관통되어 개구 공간을 구비하고 자신의 외곽테두리가 배기관의 내벽에 근접하도록 배기관의 내측에 삽입되며 제자리 회전함에 따라 자신의 외곽테두리와 배기관의 내벽 사이에서 이격 공간을 변경하여 배기관 내 배기가스의 이동경로 공간을 조정하는 주플랩(120); 자신의 외곽테두리가 개구 공간의 테두리와 근접하도록 개구 공간에 끼워지며 개구 공간을 기준으로 제자리 회전함에 따라 자신의 외곽테두리와 개구 공간의 테두리 사이에서 이격 공간을 변경하여 배기관 내 배기가스의 이동경로 공간을 조정하는 보조플랩(130); 배기관의 외부로부터 배기관의 내측으로 관통한 후 주플랩의 외곽테두리로부터 개구 공간의 테두리를 향해 주플랩을 절개하는 형태로 주플랩에 연결되며 외력에 의해 제자리 회전함에 따라 주플랩을 회전시키는 속이 빈 원통형의 주축(140); 외부로부터 주축의 내측으로 끼워짐에 따라 주축과 동축선상에 배치된 후 보조플랩에 연결되며 외력에 의해 제자리 회전함에 따라 보조플랩을 회전시키는 보조축(150); 보조축의 외측단부에 연결된 상태로 보조축에 회전력을 제공하는 구동유닛(160); 주축의 바깥쪽 단부에 연결되어 주축과 일체로 회전하는 메인 조인트 블록(210); 메인 조인트 블록과 구동유닛 사이의 보조축 외표면에 연결되어 보조축과 일체로 회전하는 서브 조인트 블록(220); 보조축을 따라 메인 조인트 블록과 서브 조인트 블록 사이에서 슬라이딩 가능하도록 배치되며 제 1 슬라이딩 위치로의 이동 결과 메인 조인트 블록과 서브 조인트 블록에 동시에 연결되는 경우 구동유닛으로부터 보조축에 전달되는 회전력을 주축에 전달하고 제 2 슬라이딩 위치로의 이동 결과 서브 조인트 블록과 이격된 상태로 메인 조인트 블록에 연결되는 경우 구동유닛으로부터 보조축에 전달되는 회전력이 주축에 전달됨을 단절시키는 동력전달 스위칭 블록(230); 동력전달 스위칭 블록의 슬라이딩 동작을 제어하고 구동유닛의 동작을 제어함에 따라 주플랩의 회전각과 보조플랩의 회전각을 제어하는 플랩 회전 제어기(300);를 포함하여 구성된다.
그리고, 동력전달 스위칭 블록(230)은 자신의 외벽에 하나이상의 돌출부재(231)를 구비하고, 메인 조인트 블록과 서브 조인트 블록을 감싸는 하우징의 내측에 배치되며 동력전달 스위칭 블록이 보조축을 따라 제 2 슬라이딩 위치로 이동하는 경우 하나이상의 돌출부재에 대응하는 위치에 배치되어 돌출부재의 회전을 스토핑함에 따라 구동유닛으로부터 보조축에 전달되는 회전력이 주축에 전달됨을 차단시키는 회전 스토퍼(250);를 더 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 동력전달 스위칭 블록과 연결되는 메인 조인트 블록(210)은, 보조축이 그 길이 방향을 따라 끼워질 수 있도록 자신 단면의 중앙부가 중공형으로 형성되고, 동력전달 스위칭 블록이 자신에 연결될 때 상호 암수물림이 가능하도록 자신 단면의 외곽테두리를 따라 복수의 위치에서 함몰되는 복수의 메인 함몰부재(211)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
그리고, 동력전달 스위칭 블록과 연결되는 서브 조인트 블록(220)은, 보조축이 그 길이 방향을 따라 끼워질 수 있도록 자신 단면의 중앙부가 중공형으로 형성되고, 동력전달 스위칭 블록이 자신에 연결될 때 상호 암수물림이 가능하도록 자신 단면의 외곽테두리를 따라 복수의 위치에서 함몰되는 복수의 서브 함몰부재(221)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
또한, 동력전달 스위칭 블록(230)은, 보조축이 그 길이 방향을 따라 끼워질 수 있도록 자신의 몸체가 속이 빈 원통형으로 이루어지고, 복수의 메인 함몰부재와 암수물림이 가능하도록 메인 조인트 블록에 인접하는 자신의 원통형 내벽 테두리를 따라 내향하여 돌출되는 복수의 돌출리브(232)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성되며, 복수의 서브 함몰부재와 암수물림이 가능하도록 서브 조인트 블록에 인접하는 자신의 원통형 내벽 테두리를 따라 내향하여 돌출되는 복수의 돌출리브(233)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
한편, 동력전달 스위칭 블록에 인접하는 위치에 하나이상 배치되며 플랩 회전 제어기의 제어에 의해 자력을 변동시킴에 따라 동력전달 스위칭 블록을 제 1 슬라이딩 위치 또는 제 2 슬라이딩 위치로 이동시키는 하나이상의 전자석 부재;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
다른 한편, 동력전달 스위칭 블록에 인접하는 위치에 하나이상 배치되며 플랩 회전 제어기의 제어에 의해 유공압을 변동시킴에 따라 동력전달 스위칭 블록을 제 1 슬라이딩 위치 또는 제 2 슬라이딩 위치로 이동시키는 하나이상의 유공압 부재;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
다른 한편, 보조플랩을 기준으로 주축에 대향하여 주플랩의 외곽테두리로부터 개구 공간의 테두리를 향해 주플랩을 절개하는 형태로 주플랩에 연결되며 주플랩이 회전할 때 함께 제자리 회전하는 원통형의 회전 가이드 축(141);을 더 포함하여 구성되고, 보조축(150)은 자신의 선단부가 보조플랩을 가지로질러 회전 가이드 축의 내측으로 끼움 결합된 상태에서 회전 가이드 축이 고정된 상태에서도 제자리 회전 가능하게 구성되며, 회전 가이드 축과 인접하는 배기관의 내벽에 장착되어 회전 가이드 축의 제자리 회전시 회전 가이드 축의 제자리 회전을 가이드하는 제 1 메인 베어링(271); 주축과 인접하는 배기관의 내벽에 장착되어 주축의 제자리 회전시 주축의 제자리 회전을 가이드하는 제 2 메인 베어링(272); 개구 공간에 인접하는 회전 가이드 축의 단부에 배치되며 보조축을 감싸는 형태로 배치되어 보조축의 제자리 회전시 보조축의 제자리 회전을 가이드하는 제 1 서브 베어링(281); 개구 공간에 인접하는 주축의 단부에 배치되며 보조축을 감싸는 형태로 배치되어 보조축의 제자리 회전시 보조축의 제자리 회전을 가이드하는 제 2 서브 베어링(282);을 더 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 제 1 실시예에 따르면, 플랩 회전 제어기(300)는, 주플랩의 외곽테두리가 배기관의 내벽에 근접된 상태로 개구 공간에서 보조플랩을 제자리 회전시키는 미세조정 모드를 위해, 동력전달 스위칭 블록이 제 2 슬라이딩 위치로 이동하도록 동력전달 스위칭 블록과 구동유닛의 동작을 제어할 수 있다.
본 발명의 제 2 실시예에 따르면, 플랩 회전 제어기(300)는, 주플랩을 회전시킬 때 보조플랩이 개구 공간을 차단하는 상태로 주플랩과 보조플랩을 일체로 제자리 회전시키는 노멀조정 모드를 위해, 동력전달 스위칭 블록이 제 1 슬라이딩 위치로 이동하도록 동력전달 스위칭 블록과 구동유닛의 동작을 제어할 수 있다.
본 발명의 제 3 실시예에 따르면, 플랩 회전 제어기(300)는, 주플랩의 외곽테두리 일부분이 배기관의 내벽과 들뜬 상태를 유지시키고 주플랩을 현재 상태로 유지시키면서 개구 공간에서 보조플랩을 제자리 회전시키는 혼합조정 모드를 위해, 동력전달 스위칭 블록이 제 2 슬라이딩 위치로 이동하도록 동력전달 스위칭 블록과 구동유닛의 동작을 제어할 수 있다.
본 발명은 동력전달 스위칭 블록이 메인 조인트 블록과 서브 조인트 블록 사이를 슬라이딩하면서 동력전달을 스위칭함에 따라 구동유닛의 구동력을 간편하게 보조축에만 전달하거나 보조축과 주축에 동시 전달되도록 하는 장점을 나타낸다.
또한, 본 발명은 동력전달 스위칭 블록이 보조축의 길이 방향을 따라 메인 조인트 블록과 서브 조인트 블록 사이를 슬라이딩하도록 구성됨에 따라 동력전달의 스위칭을 안정적으로 수행할 수 있는 장점도 나타낸다.
[도 1]은 본 발명에 따른 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치를 위에서 바라 본 예시도,
[도 2]는 [도 1]의 메인 조인트 블록과 동력전달 스위칭 블록이 만나는 부분의 단면을 발췌하여 확대 도시한 도면,
[도 3]은 [도 1]의 서브 조인트 블록과 동력전달 스위칭 블록이 만나는 부분의 단면을 발췌하여 확대 도시한 도면,
[도 4]는 [도 1]에서 주플랩을 고정된 상태로 보조플랩이 소정 각도 회전한 상태를 도시한 예시도,
[도 5]는 [도 1]에서 주플랩이 보조플랩과 일체가 된 상태로 소정 각도 회전한 상태를 도시한 예시도,
[도 6]은 [도 5]에서 주플랩이 고정된 상태로 보조플랩이 소정 각도 회전한 상태를 도시한 예시도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
[도 1]은 본 발명에 따른 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치를 위에서 바라 본 예시도이고, [도 2]는 [도 1]의 메인 조인트 블록과 동력전달 스위칭 블록이 만나는 부분의 단면을 발췌하여 확대 도시한 도면이고, [도 3]은 [도 1]의 서브 조인트 블록과 동력전달 스위칭 블록이 만나는 부분의 단면을 발췌하여 확대 도시한 도면이다.
[도 1] 내지 [도 3]을 참조하면, 본 발명에 따른 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치는 배기관(110), 주플랩(120), 보조플랩(130), 주축(140), 보조축(150), 구동유닛(160), 메인 조인트 블록(210), 서브 조인트 블록(220), 동력전달 스위칭 블록(240), 플랩 회전 제어기(300)를 포함하여 구성된다.
배기관(110)은 [도 1]에서와 같이 반도체 공정챔버의 배기라인에 연통 연결될 수 있도록 속이 빈 파이프 형태로 이루어진다. 여기서, 배기관(110)은 반도체 공정챔버(미도시)와 배기단(미도시)을 잇는 배기라인에 연통하도록 연결될 수 있다.
그 결과, 배기관(110) 내의 유체 압력을 조정하게 되면 결과적으로 반도체 공정챔버에 대한 유체 압력을 조정하게 된다.
이를 위해, 배기관(110)은 자신의 내측 압력 조절을 위해 [도 1]에서와 같이 자신의 내측에 제자리 회전이 가능한 주플랩(120)과 보조플랩(130)을 장착할 수 있다.
주플랩(120)은 [도 1]에서와 같이 자신의 중앙부가 소정 너비 관통되어 개구 공간을 구비하고 자신의 외곽테두리가 배기관(110)의 내벽에 근접하도록 배기관(110)의 내측에 삽입된다.
그 결과, 주플랩(120)이 제자리 회전함에 따라 자신의 외곽테두리와 배기관(110)의 내벽 사이에서 이격 공간을 변경하게 되어 배기관(110) 내 배기가스의 이동경로 공간을 조정한다. 여기서, 배기관(110) 내 배기가스의 이동경로 공간을 조정한다는 것은 결국 배기관(110) 내 유체의 압력을 조정하는 것과 동일한 의미를 나타낸다.
여기서, 주플랩(120)의 외곽테두리와 배기관(110)의 내벽이 이루는 틈새가 작을수록 배기관(110) 내 배기가스의 이동경로 공간을 정밀하게 조정할 수 있을 것이다.
즉, 주플랩(120)의 외곽테두리와 배기관(110)의 내벽이 이루는 틈새가 작을수록 주플랩(120)이 배기관(110)의 내벽에서 배기관(110)의 길이방향에 대해 수직으로 배치되었을 경우 배기관(110) 내 배기가스의 이동경로를 효과적으로 차단할 수 있을 것이다.
보조플랩(130)은 [도 1]에서와 같이 자신의 외곽테두리가 개구 공간의 테두리와 근접하도록 개구 공간에 끼워지며 개구 공간을 기준으로 제자리 회전하도록 구성된다.
그 결과, 보조플랩(130)은 자신의 외곽테두리가 주플랩(120)의 개구 공간 테두리와 근접하도록 그 개구 공간에 끼워지며 그 개구 공간을 기준으로 제자리 회전함에 따라 자신의 외곽테두리와 주플랩(120)의 개구 공간 테두리 사이에서 이격 공간을 변경하여 배기관(110) 내 배기가스의 이동경로 공간을 조정한다.
여기서도, 배기관(110) 내 배기가스의 이동경로 공간을 조정한다는 것은 결국 배기관(110) 내 유체의 압력을 조정하는 것과 동일한 의미를 나타낸다.
그리고, 주플랩(120)을 제자리 회전시키는 것에 비해 보조플랩(130)을 제자리 회전시킬 때 배기관(110) 내 유체 압력의 조정을 좀더 미세하고 정밀하게 수행할 수 있다.
이때, 보조플랩(130)의 외곽테두리와 주플랩(120)의 개구 공간 테두리가 이루는 틈새가 작을수록 배기관(110) 내 배기가스의 이동경로 공간을 정밀하게 조정할 수 있을 것이다.
즉, 보조플랩(130)의 외곽테두리와 주플랩(120)의 개구 공간 테두리가 이루는 틈새가 작을수록 보조플랩(130)이 주플랩(120)과 수평을 이루었을 경우 보조플랩(130)과 주플랩(120) 간의 틈새를 통한 배기가스의 이동경로를 효과적으로 차단할 수 있을 것이다.
주축(140)은 [도 1]에서와 같이 속이 빈 원통형으로 이루어지고 배기관(110)의 외부로부터 배기관(110)의 내측으로 관통한 후 주플랩(120)의 외곽테두리로부터 개구 공간의 테두리를 향해 주플랩(120)을 절개하는 형태로 주플랩(120)에 연결된다.
그리고, 주축(140)은 구동유닛(160)의 구동력에 의해 제자리 회전함에 따라 주플랩(120)을 회전시킨다.
보조축(150)은 [도 1]에서와 같이 외부로부터 주축(140)의 내측으로 끼워짐에 따라 주축(140)과 동축선상에 배치된 후 보조플랩(130)에 연결되며 구동유닛(160)이 제공하는 구동력에 의해 제자리 회전함에 따라 보조플랩(130)을 회전시킨다.
즉, 주축(140)의 내측에 끼워진 상태의 보조축(150)은 주축(140)과의 관계에서 어느 한쪽의 회전력으로부터 다른 한쪽이 받는 영향(예: 마찰)을 최소화할 수 있도록 별도의 제 2 서브 베어링(282)을 구비함으로써 보조축(150)의 외표면이 주축(140)의 내벽에 직접적으로 맞닿지 않도록 함이 바람직하다.
구동유닛(160)은 배기관(110)의 외부에 장착됨이 바람직하다. 이를 위해, 구동유닛(160)은 [도 1]에서와 같이 보조축(150)의 외측단부에 연결된 상태로 보조축(150)에 회전력을 제공한다.
구체적으로는, [도 1]에서와 같이 주축(140)의 외부에 대응하는 보조축(150)의 일단부에 연결됨에 따라 구동유닛(160)이 동작하면 보조축(150)은 항상 자신의 회전을 위한 구동력을 제공받는다.
여기서, 구동유닛(160)의 구동력이 보조축(150)에 항상 회전력을 인가하도록 구성되지만, 보조축(150)의 회전시 주축(140)은 그대로 멈춰 있거나 보조축(150)과 함께 제자리 회전하도록 구성될 수도 있다.
이를 위해, 본 발명은 보조축(150)의 회전력을 주축(140)에 전달하거나 단절시키는 동력전달 스위칭 블록(230)을 구비하였다.
이때, 동력전달 스위칭 블록(230)이 보조축(150)의 회전력을 주축(140)에 전달하거나 단절시키기 위해 동력전달 스위칭 블록(230)을 주축(140)에 연결시킨 상태로 보조축(150)에도 연결시키거나 보조축(150)으로부터 이탈시킬 수 있다.
메인 조인트 블록(210)은 [도 1]에서와 같이 주축(140)의 바깥쪽 단부에 연결되어 주축(140)과 일체로 회전하도록 구성된다.
서브 조인트 블록(220)은 [도 1]에서와 같이 메인 조인트 블록(210)과 구동유닛(160) 사이의 보조축(150) 외표면에 연결됨에 따라 보조축(150)과 일체로 회전하도록 구성된다.
여기서, 동력전달 스위칭 블록(230)은 [도 1]에서와 같이 보조축(150)을 따라 슬라이딩 가능하게 배치되며 메인 조인트 블록(210)에는 자신의 일단부가 항상 연결된 상태로 슬라이딩 동작하도록 구성되고 서브 조인트 블록(220)과는 자신의 타단부가 연결되거나 이탈되는 슬라이딩 동작하도록 구성된다.
이를 위해, 동력전달 스위칭 블록(230)은 [도 1]에서와 같이 보조축(150)을 따라 메인 조인트 블록(210)과 서브 조인트 블록(220) 사이에서 슬라이딩 가능하도록 배치된다.
그리고, 동력전달 스위칭 블록(230)은 아래의 [도 5]에서와 같이 제 1 슬라이딩 위치로의 이동 결과 메인 조인트 블록(210)과 서브 조인트 블록(220)에 동시에 연결되는 경우 구동유닛(160)으로부터 보조축(150)에 전달되는 회전력을 주축(140)에 전달할 수 있다.
또한, 동력전달 스위칭 블록(230)은 아래의 [도 4]에서와 같이 제 2 슬라이딩 위치로의 이동 결과 서브 조인트 블록(220)과 이격된 상태로 메인 조인트 블록(210)에 연결되는 경우 구동유닛(160)으로부터 보조축(150)에 전달되는 회전력이 주축(140)에 전달됨을 단절시킬 수 있다.
플랩 회전 제어기(300)는 동력전달 스위칭 블록(230)의 슬라이딩 동작을 제어하고 구동유닛(160)의 동작을 제어함에 따라 아래의 [도 5]에서와 같이 주플랩(120)의 회전각과 보조플랩(130)의 회전각을 동시에 제어하거나 아래의 [도 4]에서와 같이 주플랩(120)의 회전각과 보조플랩(130)의 회전각을 각각 개별적으로 제어하게 된다.
한편, [도 1] 내지 [도 3]을 참조하면, 동력전달 스위칭 블록(230)은 자신의 외벽에 하나이상의 돌출부재(231)를 구비할 수 있다.
그리고, 돌출부재(231)의 변경되는 위치에 따라 그 돌출부재(231)와 걸림에 따라 동력전달 스위칭 블록(230)의 제자리 회전을 정지시키는 회전 스토퍼(250)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
회전 스토퍼(250)는 [도 1] 내지 [도 3]에서와 같이 메인 조인트 블록(210)과 서브 조인트 블록(220)을 감싸는 하우징(161)의 내측에 배치되며 동력전달 스위칭 블록(230)이 보조축(150)을 따라 제 2 슬라이딩 위치로 이동하는 경우 하나이상의 돌출부재(231)에 대응하는 위치에 배치된다.
여기서, 회전 스토퍼(250)는 돌출부재(231)의 회전을 스토핑함에 따라 구동유닛(160)으로부터 보조축(150)에 전달되는 회전력이 주축(140)까지 전달되는 것을 단절시킬 수 있다.
그 결과, 하나의 구동유닛(160)을 통해 보조축(150)으로 전달되는 구동력이 보조축(150)만의 회전력만으로 쓰이거나 보조축(150)과 주축(140)의 동시 회전력에 쓰일 수 있도록 하여 안정적인 동력전달의 스위칭이 가능하게 된다.
한편, 동력전달 스위칭 블록(230)과 연결되는 메인 조인트 블록(210)은, [도 1]과 [도 2]에서와 같이 보조축(150)이 그 길이 방향을 따라 끼워질 수 있도록 자신 단면의 중앙부가 중공형으로 형성되고, 동력전달 스위칭 블록(230)이 자신에 연결될 때 상호 암수물림이 가능하도록 자신 단면의 외곽테두리를 따라 복수의 위치에서 함몰되는 복수의 메인 함몰부재(211)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
그리고, 동력전달 스위칭 블록(230)과 연결되는 서브 조인트 블록(220)은, [도 1]과 [도 3]에서와 같이 보조축(150)이 그 길이 방향을 따라 끼워질 수 있도록 자신 단면의 중앙부가 중공형으로 형성되고, 동력전달 스위칭 블록(230)이 자신에 연결될 때 상호 암수물림이 가능하도록 자신 단면의 외곽테두리를 따라 복수의 위치에서 함몰되는 복수의 서브 함몰부재(221)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
이때, 동력전달 스위칭 블록(230)은, [도 1] 내지 [도 3]에서와 같이 보조축(150)이 그 길이 방향을 따라 끼워질 수 있도록 자신의 몸체가 속이 빈 원통형으로 이루어질 수 있다.
그리고, 동력전달 스위칭 블록(230)은 [도 1] 내지 [도 3]에서와 같이 복수의 메인 함몰부재(211)와 암수물림이 가능하도록 메인 조인트 블록(210)에 인접하는 자신의 원통형 내벽 테두리를 따라 내향하여 돌출되는 복수의 돌출리브(232)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
또한, 동력전달 스위칭 블록(230)은 [도 1] 내지 [도 3]에서와 같이 복수의 서브 함몰부재(221)와 암수물림이 가능하도록 서브 조인트 블록(220)에 인접하는 자신의 원통형 내벽 테두리를 따라 내향하여 돌출되는 복수의 돌출리브(233)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성될 수 있다.
다른 한편, 본 발명은 하나이상의 전자석 부재(미도시)를 더 포함하여 구성될 수도 있다. [도 1]을 참조하면, 전자석 부재(미도시)는 동력전달 스위칭 블록(230)에 인접하는 위치의 하우징(161) 내측에 하나이상 배치될 수 있다.
동력전달 스위칭 블록(230)에 인접하는 위치의 하우징(161) 내측에 배치되는 하나이상의 전자석 부재는 플랩 회전 제어기(300)의 제어에 의해 자력을 변동시킴에 따라 동력전달 스위칭 블록(230)을 아래의 [도 5]에서와 같은 제 1 슬라이딩 위치로 이동시키거나 동력전달 스위칭 블록(230)을 아래의 [도 4]에서와 같은 제 2 슬라이딩 위치로 이동시킬 수 있다.
여기서, 전자석 부재의 자력을 변경시키기 위한 전자석 부재의 구체적인 동작원리에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.
다른 한편, 본 발명은 동력전달 스위칭 블록(230)을 이동시키는 구동 수단으로서 하나이상의 유공압 부재(미도시)를 더 포함하여 구성될 수도 있다. 유공압 부재(미도시)는 동력전달 스위칭 블록(230)에 인접하는 위치에 하나이상 배치될 수 있다.
동력전달 스위칭 블록(230)에 인접하는 위치의 하우징(161) 내측에 배치되는 하나이상의 유공압 부재(미도시)는 플랩 회전 제어기(300)의 제어에 의해 유공압을 변동시킴에 따라 동력전달 스위칭 블록(230)을 제 1 슬라이딩 위치 또는 제 2 슬라이딩 위치로 이동시킬 수 있다.
이를 위해, 유공압 부재(미도시)는 바람직하게는 동력전달 스위칭 블록(230)의 외표면에 연결될 수 있다.
그 결과, 유공압 부재(미도시)가 유공압에 의해 직선운동을 하는 경우 그 직선운동에 연동하여 동력전달 스위칭 블록(230)이 제 1 슬라이딩 위치 또는 제 2 슬라이딩 위치로 이동하게 된다.
다른 한편, 본 발명은 원통형의 회전 가이드 축(141)을 더 포함하여 구성될 수 있다. 회전 가이드 축(141)은 [도 1]에서와 같이 보조플랩(130)을 기준으로 주축(140)에 대향하도록 주플랩(120)의 외곽테두리로부터 개구 공간의 테두리를 향해 주플랩(120)을 절개하는 형태로 주플랩(120)에 연결될 수 있다.
그 결과, 주축(140)의 제자리 회전에 의해 주플랩(120)이 회전할 때 회전 가이드 축(141)도 함께 제자리 회전함으로써 주플랩(120)의 회전이 흔들림 없이 안정적으로 이루어지도록 가이드할 수 있다.
이때, 보조축(150)은 [도 1]에서와 같이 자신의 선단부가 보조플랩(130)을 가지로질러 회전 가이드 축(141)의 내측으로 끼움 결합된 상태에서 회전 가이드 축(141)이 고정된 상태에서도 제자리 회전 가능하게 구성될 수 있다.
여기서, [도 1]을 참조하면 주축(140), 회전 가이드 축(141)보조축(150), 의 제자리 회전시 이를 안정적으로 가이드할 수 있도록 본 발명은 제 1 메인 베어링(271), 제 2 메인 베어링(272), 제 1 서브 베어링(281), 제 2 서브 베어링(282)을 더 포함하여 구성될 수 있다.
제 1 메인 베어링(271)은 [도 1]에서와 같이 회전 가이드 축(141)과 인접하는 배기관(110)의 내벽에 장착되어 회전 가이드 축(141)의 제자리 회전시 회전 가이드 축(141)의 제자리 회전을 가이드한다.
제 2 메인 베어링(272)은 [도 1]에서와 같이 주축(140)과 인접하는 배기관(110)의 내벽에 장착되어 주축(140)의 제자리 회전시 주축(140)의 제자리 회전을 가이드한다.
제 1 서브 베어링(281)은 [도 1]에서와 같이 주플랩(120)의 개구 공간에 인접하는 회전 가이드 축(141)의 단부에 배치되며 보조축(150)을 감싸는 형태로 배치되어 보조축(150)의 제자리 회전시 보조축(150)의 제자리 회전을 가이드한다.
제 2 서브 베어링(282)은 [도 1]에서와 같이 주플랩(120)의 개구 공간에 인접하는 주축(140)의 단부에 배치되며 보조축(150)을 감싸는 형태로 배치되어 보조축(150)의 제자리 회전시 보조축(150)의 제자리 회전을 가이드한다.
특히, 제 1 서브 베어링(281)과 제 2 서브 베어링(282)의 구비로 인해 동력전달 스위칭 블록(230)이 서브 조인트 블록(220)과의 연결이 해제된 상태로 구동유닛(160)의 구동력이 보조축(150)에만 전달되는 경우 그 보조축(150)의 회전에 따라 주플랩(120)에 전달되는 영향(예: 마찰)을 최소화할 수 있다.
[도 4]는 [도 1]에서 주플랩을 고정된 상태로 보조플랩이 소정 각도 회전한 상태를 도시한 예시도이다.
플랩 회전 제어기(300)는, 주플랩(120)의 외곽테두리가 배기관(110)의 내벽에 근접된 상태로 주플랩(120)의 개구 공간에서 보조플랩(130)을 제자리 회전시키는 미세조정 모드를 위해, 동력전달 스위칭 블록(230)이 [도 4]에서와 같이 제 2 슬라이딩 위치로 이동하도록 동력전달 스위칭 블록(230)과 구동유닛(160)의 동작을 제어할 수 있다.
구체적으로는, 플랩 회전 제어기(300)는 전자석 부재를 제어하여 동력전달 스위칭 블록(230)이 메인 조인트 블록(210)에 연결된 상태에서 서브 조인트 블록(220)으로부터 이탈되도록 동력전달 스위칭 블록(230)을 [도 4]에서와 같이 슬라이딩 시킨다.
이어서, 플랩 회전 제어기(300)가 구동유닛(160)을 동작시킴에 따라 구동유닛(160)에 의한 구동력이 보조축(150)에만 전달되고 그 보조축(150)의 제자리 회전에 따라 [도 4]에서와 같이 주플랩(120)의 외곽테두리가 배기관(110)의 내벽에 근접된 상태에서 보조플랩(130)만 제자리 회전할 수 있다.
[도 5]는 [도 1]에서 주플랩이 보조플랩과 일체가 된 상태로 소정 각도 회전한 상태를 도시한 예시도이다.
플랩 회전 제어기(300)는, 주플랩(120)을 회전시킬 때 보조플랩(130)이 개구 공간을 차단하는 상태로 주플랩(120)과 보조플랩(130)을 일체로 제자리 회전시키는 노멀조정 모드를 위해, 동력전달 스위칭 블록(230)이 [도 5]에서와 같이 제 1 슬라이딩 위치로 이동하도록 동력전달 스위칭 블록(230)과 구동유닛(160)의 동작을 제어한다.
구체적으로는, 플랩 회전 제어기(300)는 전자석 부재를 제어하여 동력전달 스위칭 블록(230)이 메인 조인트 블록(210)에 연결된 상태에서 서브 조인트 블록(220)에도 연결되도록 동력전달 스위칭 블록(230)을 [도 5]에서와 같이 슬라이딩 시킨다.
이어서, 플랩 회전 제어기(300)가 구동유닛(160)을 동작시킴에 따라 구동유닛(160)에 의한 구동력이 보조축(150)에 전달됨과 아울러 동력전달 스위칭 블록(230)에 의한 주축(140)에도 전달됨에 따라 그 보조축(150)과 주축(140)의 제자리 회전으로 [도 5]에서와 같이 주플랩(120)과 보조플랩(130)이 일체로 제자리 회전할 수 있다.
[도 6]은 [도 5]에서 주플랩이 고정된 상태로 보조플랩이 소정 각도 회전한 상태를 도시한 예시도이다.
플랩 회전 제어기(300)는, [도 5]에서와 같이 주플랩(120)의 외곽테두리 일부분이 배기관(110)의 내벽과 들뜬 상태를 유지시키고, 주플랩(120)을 [도 5]의 현재 상태로 유지시키면서 주플랩(120)의 개구 공간에서 [도 6]에서와 같이 보조플랩(130)을 제자리 회전시키는 혼합조정 모드를 위해, 동력전달 스위칭 블록(230)이 [도 4]와 [도 6]에서와 같이 제 2 슬라이딩 위치로 이동하도록 동력전달 스위칭 블록(230)과 구동유닛(160)의 동작을 제어한다.
구체적으로는, 플랩 회전 제어기(300)는 전자석 부재를 제어하여 동력전달 스위칭 블록(230)이 메인 조인트 블록(210)에 연결된 상태에서 서브 조인트 블록(220)으로부터 이탈되도록 동력전달 스위칭 블록(230)을 [도 4]와 [도 6]에서와 같이 슬라이딩 시킨다.
이어서, 플랩 회전 제어기(300)가 구동유닛(160)을 동작시킴에 따라 구동유닛(160)에 의한 구동력이 보조축(150)에만 전달되고 그 보조축(150)의 제자리 회전에 따라 [도 4]와 [도 6]에서와 같이 주플랩(120)의 외곽테두리가 [도 5]에서와 같이 배기관(110)의 내벽과 들뜬 상태 그대로 보조플랩(130)만 제자리 회전할 수 있다.
110 : 배기관
120 : 주플랩
130 : 보조플랩
140 : 주축
141 : 회전 가이드 축
150 : 보조축
160 : 구동유닛
161 : 하우징
210 : 메인 조인트 블록
211 : 메인 함몰부재
220 : 서브 조인트 블록
221 : 서브 함몰부재
230 : 동력전달 스위칭 블록
231 : 돌출부재
232, 233 : 돌출리브
250 : 회전 스토퍼
271 : 제 1 메인 베어링
272 : 제 2 메인 베어링
281 : 제 1 서브 베어링
282 : 제 2 서브 베어링
300 : 플랩 회전 제어기

Claims (9)

  1. 반도체 공정챔버의 배기라인에 연통 연결될 수 있도록 속이 빈 파이프 형태로 이루어진 배기관(110);
    자신의 중앙부가 소정 너비 관통되어 개구 공간을 구비하고 자신의 외곽테두리가 상기 배기관의 내벽에 근접하도록 상기 배기관의 내측에 삽입되며 제자리 회전함에 따라 자신의 외곽테두리와 상기 배기관의 내벽 사이에서 이격 공간을 변경하여 상기 배기관 내 배기가스의 이동경로 공간을 조정하는 주플랩(120);
    자신의 외곽테두리가 상기 개구 공간의 테두리와 근접하도록 상기 개구 공간에 끼워지며 상기 개구 공간을 기준으로 제자리 회전함에 따라 자신의 외곽테두리와 상기 개구 공간의 테두리 사이에서 이격 공간을 변경하여 상기 배기관 내 배기가스의 이동경로 공간을 조정하는 보조플랩(130);
    상기 배기관의 외부로부터 상기 배기관의 내측으로 관통한 후 상기 주플랩의 외곽테두리로부터 상기 개구 공간의 테두리를 향해 상기 주플랩을 절개하는 형태로 상기 주플랩에 연결되며 외력에 의해 제자리 회전함에 따라 상기 주플랩을 회전시키는 속이 빈 원통형의 주축(140);
    외부로부터 상기 주축의 내측으로 끼워짐에 따라 상기 주축과 동축선상에 배치된 후 상기 보조플랩에 연결되며 외력에 의해 제자리 회전함에 따라 상기 보조플랩을 회전시키는 보조축(150);
    상기 보조축의 외측단부에 연결된 상태로 상기 보조축에 회전력을 제공하는 구동유닛(160);
    상기 주축의 바깥쪽 단부에 연결되어 상기 주축과 일체로 회전하는 메인 조인트 블록(210);
    상기 메인 조인트 블록과 상기 구동유닛 사이의 상기 보조축 외표면에 연결되어 상기 보조축과 일체로 회전하는 서브 조인트 블록(220);
    상기 보조축을 따라 상기 메인 조인트 블록과 상기 서브 조인트 블록 사이에서 슬라이딩 가능하도록 배치되며 상기 메인 조인트 블록과 상기 서브 조인트 블록에 동시에 연결되는 제 1 슬라이딩 위치로의 이동 결과 상기 구동유닛으로부터 상기 보조축에 전달되는 회전력을 상기 주축에 전달하고 상기 서브 조인트 블록과 이격된 상태로 상기 메인 조인트 블록에 연결되는 제 2 슬라이딩 위치로의 이동 결과 상기 구동유닛으로부터 상기 보조축에 전달되는 회전력이 상기 주축에 전달됨을 단절시키는 동력전달 스위칭 블록(230);
    상기 동력전달 스위칭 블록의 슬라이딩 동작을 제어하고 상기 구동유닛의 동작을 제어함에 따라 상기 주플랩의 회전각과 상기 보조플랩의 회전각을 제어하는 플랩 회전 제어기(300);
    를 포함하여 구성되는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 동력전달 스위칭 블록(230)은 자신의 외벽에 하나이상의 돌출부재(231)를 구비하고,
    상기 메인 조인트 블록과 상기 서브 조인트 블록을 감싸는 하우징의 내측에 배치되며 상기 동력전달 스위칭 블록이 상기 보조축을 따라 상기 제 2 슬라이딩 위치로 이동하는 경우 상기 하나이상의 돌출부재에 대응하는 위치에 배치되어 상기 돌출부재의 회전을 스토핑함에 따라 상기 구동유닛으로부터 상기 보조축에 전달되는 회전력이 상기 주축에 전달됨을 차단시키는 회전 스토퍼(250);
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 동력전달 스위칭 블록과 연결되는 상기 메인 조인트 블록(210)은, 상기 보조축이 그 길이 방향을 따라 끼워질 수 있도록 자신 단면의 중앙부가 중공형으로 형성되고, 상기 동력전달 스위칭 블록이 자신에 연결될 때 상호 암수물림이 가능하도록 자신 단면의 외곽테두리를 따라 복수의 위치에서 함몰되는 복수의 메인 함몰부재(211)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성되며,
    상기 동력전달 스위칭 블록과 연결되는 상기 서브 조인트 블록(220)은, 상기 보조축이 그 길이 방향을 따라 끼워질 수 있도록 자신 단면의 중앙부가 중공형으로 형성되고, 상기 동력전달 스위칭 블록이 자신에 연결될 때 상호 암수물림이 가능하도록 자신 단면의 외곽테두리를 따라 복수의 위치에서 함몰되는 복수의 서브 함몰부재(221)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성되며,
    상기 동력전달 스위칭 블록(230)은, 상기 보조축이 그 길이 방향을 따라 끼워질 수 있도록 자신의 몸체가 속이 빈 원통형으로 이루어지고, 상기 복수의 메인 함몰부재와 암수물림이 가능하도록 상기 메인 조인트 블록에 인접하는 자신의 원통형 내벽 테두리를 따라 내향하여 돌출되는 복수의 돌출리브(232)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성되며, 상기 복수의 서브 함몰부재와 암수물림이 가능하도록 상기 서브 조인트 블록에 인접하는 자신의 원통형 내벽 테두리를 따라 내향하여 돌출되는 복수의 돌출리브(233)가 자신의 길이 방향을 따라 길게 형성되는 것을 특징으로 하는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 동력전달 스위칭 블록에 인접하는 위치에 하나이상 배치되며 상기 플랩 회전 제어기의 제어에 의해 자력을 변동시킴에 따라 상기 동력전달 스위칭 블록을 상기 제 1 슬라이딩 위치 또는 상기 제 2 슬라이딩 위치로 이동시키는 하나이상의 전자석 부재;
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치.
  5. 청구항 3에 있어서,
    상기 동력전달 스위칭 블록에 인접하는 위치에 하나이상 배치되며 상기 플랩 회전 제어기의 제어에 의해 유공압을 변동시킴에 따라 상기 동력전달 스위칭 블록을 상기 제 1 슬라이딩 위치 또는 상기 제 2 슬라이딩 위치로 이동시키는 하나이상의 유공압 부재;
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치.
  6. 청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
    상기 보조플랩을 기준으로 상기 주축에 대향하여 상기 주플랩의 외곽테두리로부터 상기 개구 공간의 테두리를 향해 상기 주플랩을 절개하는 형태로 상기 주플랩에 연결되며 상기 주플랩이 회전할 때 함께 제자리 회전하는 원통형의 회전 가이드 축(141);
    을 더 포함하여 구성되고,
    상기 보조축(150)은 자신의 선단부가 상기 보조플랩을 가지로질러 상기 회전 가이드 축의 내측으로 끼움 결합된 상태에서 상기 회전 가이드 축이 고정된 상태에서도 제자리 회전 가능하게 구성되며,
    상기 회전 가이드 축과 인접하는 상기 배기관의 내벽에 장착되어 상기 회전 가이드 축의 제자리 회전시 상기 회전 가이드 축의 제자리 회전을 가이드하는 제 1 메인 베어링(271);
    상기 주축과 인접하는 상기 배기관의 내벽에 장착되어 상기 주축의 제자리 회전시 상기 주축의 제자리 회전을 가이드하는 제 2 메인 베어링(272);
    상기 개구 공간에 인접하는 상기 회전 가이드 축의 단부에 배치되며 상기 보조축을 감싸는 형태로 배치되어 상기 보조축의 제자리 회전시 상기 보조축의 제자리 회전을 가이드하는 제 1 서브 베어링(281);
    상기 개구 공간에 인접하는 상기 주축의 단부에 배치되며 상기 보조축을 감싸는 형태로 배치되어 상기 보조축의 제자리 회전시 상기 보조축의 제자리 회전을 가이드하는 제 2 서브 베어링(282);
    을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 플랩 회전 제어기(300)는,
    상기 주플랩의 외곽테두리가 상기 배기관의 내벽에 근접된 상태에서, 상기 동력전달 스위칭 블록을 상기 제 2 슬라이딩 위치로 이동시키고 상기 구동유닛을 제어하여 상기 보조플랩을 제자리 회전시키는 미세조정 모드를 구성하는 것을 특징으로 하는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 플랩 회전 제어기(300)는,
    상기 보조플랩이 상기 개구 공간을 차단하는 상태에서, 상기 동력전달 스위칭 블록을 상기 제 1 슬라이딩 위치로 이동시키고 상기 구동유닛을 제어하여 상기 주플랩을 회전시키는 노멀조정 모드를 구성하는 것을 특징으로 하는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 플랩 회전 제어기(300)는,
    상기 주플랩의 외곽테두리 일부분을 상기 배기관의 내벽과 들뜬 상태로 유지시키고 상기 주플랩을 현재 상태로 유지시킨 상태에서, 상기 동력전달 스위칭 블록을 상기 제 2 슬라이딩 위치로 이동시키고 상기 구동유닛을 제어하여 상기 보조플랩을 제자리 회전시키는 혼합조정 모드를 구성하는 것을 특징으로 하는 싱글 구동 타입의 듀얼플랩퍼 스로틀 밸브 장치.
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