KR102128396B1

KR102128396B1 - 필름 박리 장치

Info

Publication number: KR102128396B1
Application number: KR1020130126034A
Authority: KR
Inventors: 안경현
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2013-10-22
Filing date: 2013-10-22
Publication date: 2020-07-01
Anticipated expiration: 2033-10-22
Also published as: US9457555B2; KR20150046597A; US20150107782A1

Abstract

본 발명은 표면에 필름이 부착된 박리대상물로부터 필름을 박리하는 한 쌍의 롤러와, 박리대상물을 한 쌍의 롤러를 향해 이송하는 이송부와, 이송되는 박리대상물의 이송 경로 상에 위치하면서 박리대상정보를 감지하는 감지기와, 감지된 박리대상정보를 계산하여 박리조건정보를 도출하는 계산부 및 계산부에서 도출된 박리조건정보를 토대로 한 쌍의 롤러의 움직임을 제어하는 제어부를 포함하는 필름 박리 장치를 제공한다.

Description

필름 박리 장치 {Film peeling apparatus}

본 발명은 반도체 또는 디스플레이 등의 전자산업에 사용되는 기판으로부터 필름을 박리하는 필름 박리 장치에 관한 것이다.

기판으로부터 필름을 박리시키는 공정은 반도체 또는 디스플레이 등의 전자산업 외에도, 식재료 가공 등 제조 산업 전반에 걸쳐 사용되고 있다. 이를 위하여 위치가 고정된 롤러 사이로 피박리체를 이동시켜 필름을 박리하는 필름 박리 장치가 이미 개시되어 있다. 또한, 상기 필름 박리 장치는 사용자에 의해 일정 거리와 속도 범위 내에서 수동적으로 롤러의 위치를 조정할 수 있다.

다만, 이러한 필름 박리 장치는 다음과 같은 한계점을 내포한다.

특히, 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED) 제조 공법 중 하이브리드 패터닝 시스템(Hybrid Patterning System, HPS)의 경우, 기판에 라미네이션 된 도너 필름과 하부 지지운반 필름을 균일하게 박리시키는 것이 필요하다. 하지만 기존의 필름 박리 장치는 롤러의 이동이 사용자의 수동 조작으로 제한되고, 롤러 자체가 이동할 수 있는 거리 및 속도 또한 한정적이다. 이에 따라, 표면에 이물, 주름 등의 단차가 존재하는 피박리체는 균일한 조건으로 박리될 수 있도록 정밀 제어를 하기 어렵다.

또한, 레이저 열전사(Laser Induced Thermal Imaging, LITI)공정 후 박리 공정 진행 시, 각종 박리 얼룩과 에어 트랩 현상으로 인한 전사 유기막 뜯김 현상, 기판 내 화소정의층(Pixel Definition Layer, PDL) 단차 등이 발생할 수 있다. 또한, 박리 공정 중에는 내, 외부로부터 유입되는 이물 등에 대해 유기적인 대응이 어렵다. 결국, 박리 공정 상의 상기 문제점은 오픈 에지(Open Edge), 찍힘에 의한 명점 발생 등의 불량 기판을 발생시킴으로써 OLED 제조 공정 전반에 걸친 품질 저하를 야기할 수 있다.

본 발명은 박리대상물이 일정한 박리조건을 유지하며 박리될 수 있도록 박리대상정보를 토대로 계산된 박리조건정보를 이용해 롤러를 제어할 수 있는 필름 박리 장치를 제공하고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 표면에 필름이 부착된 박리대상물로부터 상기 필름을 박리하는 한 쌍의 롤러와, 상기 박리대상물을 상기 한 쌍의 롤러를 향해 이송하는 이송부와, 상기 이송되는 박리대상물의 이송 경로 상에 위치하면서 박리대상정보를 감지하는 감지기와, 감지된 상기 박리대상정보를 통해 롤러간격정보 또는 박리조건정보를 계산할 수 있는 계산부 및 상기 계산부에서 계산된 박리조건정보를 토대로 상기 한 쌍의 롤러의 움직임을 제어하는 제어부를 포함하는 필름 박리 장치가 제공된다.

이 때, 상기 이송부는 상기 박리대상물의 이송방향 전방으로 상기 한 쌍의 롤러를 향해 연장되고, 이송되는 상기 박리대상물을 지지하는 지지부재를 포함할 수 있다.

이 때, 상기 지지부재는 상기 박리대상물을 흡착하여 상기 이송방향 전방으로 상기 박리대상물과 함께 이송될 수 있다.

한편, 상기 이송부는 상기 지지부재의 일측에 설치되되, 상기 박리대상물과 분리가능하도록 접촉하여 상기 박리대상물을 상기 한 쌍의 롤러로 이송시키는 이송부재를 포함할 수 있다.

이 때, 상기 감지기는 상기 지지부재의 상부면에 설치될 수 있다.

이 때, 상기 한 쌍의 롤러는 회전축을 둘러싸도록 형성되는 내측부재 및 상기 내측부재를 둘러싸도록 투명하게 형성되는 외측부재를 포함하고, 상기 감지기는 상기 내측부재에 내장될 수 있다.

한편, 상기 감지기는 광감지기일 수 있다.

한편, 상기 박리대상정보는 박리대상물과의 거리 정보 또는 박리대상물의 표면 정보를 포함할 수 있다.

이 때, 상기 계산부는 상기 박리대상물의 표면 정보 및 상기 롤러 간격 정보를 토대로 박리 조건 정보를 계산할 수 있다.

한편, 상기 제어부는 상기 한 쌍의 롤러를 직선 이동시켜 상기 한 쌍의 롤러 간 간격을 제어하기 위한 롤러 간격 제어부 및 상기 한 쌍의 롤러의 회전 구동을 제어하기 위한 회전속도 제어부를 포함할 수 있다.

이 때, 상기 박리 조건 정보는 상기 롤러 간격 제어부를 제어하기 위한 보정 롤러 간격 정보 및 상기 회전속도 제어부를 제어하기 위한 보정 롤러 회전속도 정보를 포함할 수 있다.

이 때, 상기 롤러 간격 제어부는 상기 한 쌍의 롤러에 각각 설치될 수 있다.

한편, 상기 롤러 간격 제어부는 상기 한 쌍의 롤러 중 어느 하나에만 설치될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치는 박리대상정보를 토대로 실시간 박리조건정보를 계산할 수 있으며, 계산된 박리조건정보를 이용하여 롤러의 움직임을 제어하므로, 박리대상물이 일정한 박리조건을 유지하며 박리될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치는 롤러 일부 또는 전부를 이동시켜 박리대상물을 박리시킬 수 있다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치의 작동 상태를 나타낸 단면도이다.
도 2a, 도 2b 및 도 2c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 박리장치의 지지수단 상의 다양한 위치에 설치될 수 있는 감지기를 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치의 필름 박리 제어 과정을 나타낸 블록도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 박리 장치의 작동 상태를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 필름 박리 장치의 롤러 및, 롤러 내부에 설치된 감지기를 나타낸 단면도이다.
도 6a, 도 6b 및 도 6c는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름 박리 장치의 작동 상태를 나타낸 단면도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 또한, 본 발명에 있어서 "~상에"라 함은 대상부재의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력방향을 기준으로 상부에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치의 작동 상태를 나타낸 단면도이다.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)는 하우징(2) 내부에 설치될 수 있다. 이 때, 하우징(2) 내부로 양 면에 필름(6)이 부착된 박리대상물(4)이 유입될 수 있다. 이 때, 박리대상물(4)은 판형 부재로 형성되고, 양면에 각각 필름(6)이 부착될 수 있다. 이 때, 본 기재에서는 박리대상물(4)의 상부와 하부에 부착된 필름(6)을 각각 상부 필름(6a)과 하부 필름(6b)이라고 정의한다. 또한, 박리대상물(4)이 한 쌍의 롤러(100)를 향해 이송되는 방향, 즉, 도 1a의 굵은 화살표 방향을 이송방향 전방으로 정의한다.

한편, 하우징(2)은 밀폐 가능하게 형성되고, 유입된 박리대상물(4)로부터 필름(6)의 박리가 완료될 때까지 내부가 진공 상태를 유지할 수 있다. 이 때, 하우징(2)은 공지된 구성의 진공 챔버일 수 있다. 이를 통해, 외부로부터 유입된 이물질이 필름(6) 또는 필름 박리 장치(10)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 한편, 필름 박리 장치(10)는 한 쌍의 롤러(100), 이송부(200), 감지기(300), 계산부 및 제어부를 포함할 수 있다.

한 쌍의 롤러(100)는 하우징(2)의 상측과 하측에 각각 설치되되, 도 1a에 도시된 바와 같이 상하로 상호 마주보도록 배치될 수 있다. 이 때, 한 쌍의 롤러(100) 중 상측 롤러가 상부 필름(6a)과, 하측 롤러가 하부 필름(6b)과 접촉하여 박리대상물(4)로부터 필름(6)을 박리시킬 수 있다. 이 때, 한 쌍의 롤러(200)는 표면에 미세한 구멍들이 형성되는 다공성 흡착롤러일 수 있으나, 반드시 이러한 구성에 제한되는 것은 아니다. 이를 통해, 상기 한 쌍의 롤러(200)와 접촉하는 상부 필름(6a)과 하부 필름(6b)이 각각 롤러 표면에 흡착되어 박리대상물(4)로부터 박리될 수 있다. 다공성 흡착롤러의 구성 및 이를 통한 박리 방법은 공지된 것으로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하도록 한다.

또한, 한 쌍의 롤러(100)는 박리대상물(4)이 롤러(100) 사이로 진입할 때, 도 1b에 도시된 바와 같이 상측 롤러가 상부로, 하측 롤러가 하부로 각각 직선 이동 가능하도록 하우징(2) 내부에 설치될 수 있다. 이를 통해, 필름 박리 장치(10)가 다양한 두께를 구비한 박리대상물(4)의 필름(6)을 박리할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 이송부(200)는 하우징(2)의 내부로 유입된 박리대상물(4)을 도 1a에 도시된 바와 같이 이송방향 전방으로 이송시킬 수 있다. 이 때, 이송부(200)는 지지부재(210) 및 이송부재(220)를 포함한다.

지지부재(210)는 이송방향 전방을 향해 한 쌍의 롤러(100) 부근까지 길게 연장될 수 있다. 이 때, 지지부재(210)는 이송되는 박리대상물(4)의 하측을 지지할 수 있도록 판 형상으로 형성될 수 있다. 이 때, 지지부재(210)는 일면에 다수의 진공홀이 구비된 진공테이블일 수 있다. 한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 지지부재(210)는 도 1a를 기준으로 세로방향으로 설치된 한 쌍의 롤러(100) 사이로 박리대상물(4)을 이송시키기 위해 도 1a를 기준으로 상기 한 쌍의 롤러(100)의 사이로 가로방향으로 연장되나, 한 쌍의 롤러(100)의 설치 방향이나 지지부재(210)의 연장 방향이 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.

이송부재(220)는 지지부재(210)의 일측에 설치되되, 박리대상물(4) 일측과 분리 가능하도록 접촉할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 이송부재(220)는 박리대상물(4)을 클램핑 하여 이송방향 전방으로 함께 이송 가능하도록 지지부재(210) 일측에 이동 가능하도록 설치되는 공지된 구성의 이송 클램프일 수 있다. 이를 통해, 박리대상물(4)이 이송방향 전방으로 이송될 수 있다. 다만, 이송부재(220)의 구성이 반드시 이에 제한되는 것은 아니고, 지지부재(210)의 상부에 설치되어 박리대상물(4)을 이송방향 전방으로 구름이동 시킬 수 있는 공지의 구름부재일 수 있다.

도 2a, 도 2b 및 도 2c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 박리장치의 지지부재 상의 다양한 위치에 설치될 수 있는 감지기를 나타낸 도면이다.

감지기(300)는 박리대상물(4)의 이송 경로를 따라 설치되어 박리대상물(4)로부터 박리대상정보를 감지할 수 있다. 이 때, 감지기(300)는 2 이상이 박리대상물(4)의 이송 경로 상에 설치될 수 있다. 또한, 감지기(300)는 박리대상물(4)의 표면으로부터 반사되는 빛을 흡수하여 박리대상물(4)로부터 박리대상정보를 수집할 수 있도록, 내부에 광원(Light source)이 구비된 광감지기를 포함할 수 있다.

한편, 도 2a, 도 2b 및 도 2c를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 감지기(300)는 지지부재(210) 상부면 또는 지지부재(210)의 이송방향 전방측 단부에 설치될 수 있다. 다만, 도 2a, 도 2b 및 도 2c는 감지기(300)의 설치 위치에 대한 일 예시를 나타내기 위한 것으로, 설치 위치가 반드시 이에 제한되는 것은 아니며, 상부 필름(6a)과 하부 필름(6b)으로부터 각각 박리대상정보를 감지할 수 있도록 박리대상물(4)의 이송 경로 상의 이송부(200) 또는 하우징(2) 내벽 등에도 설치될 수 있다.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 필름 박리 장치의 필름 박리 제어 과정을 나타낸 블록도이다.

도 2a, 도 2b, 도 2c 및 도 3을 참조하면 감지기(300)는 박리대상물(4)을 통해 박리대상정보(310)를 감지해 낼 수 있다. 또한, 본 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 광감지기는 연속적으로 빛을 방출하여 박리대상물(4)로부터 실시간 박리대상정보(310)를 감지할 수 있다. 이 때, 박리대상정보(310)는 박리대상물과의 거리정보(312) 및 박리대상물의 표면정보(314)일 수 있다.

박리대상물과의 거리정보(312)는 한 쌍의 롤러(100)와 박리대상물(4)간 실시간 최단거리에 대한 정보일 수 있다. 이 때, 본 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 박리대상물과의 거리정보(312)는 상기 방출된 빛을 박리대상물(4)과 한 쌍의 롤러(100)에 각각 반사시켜 되돌아오는 시간을 통해 감지될 수 있다.

박리대상물의 표면정보(314)는 상기 박리대상물(4)에 부착된 필름(6)의 표면에 존재하는 미세주름, 단차 또는 이물질에 인한 굴곡에 대한 정보일 수 있다. 이 때, 상기 필름 박리 장치(10)의 박리대상물의 표면정보(314)는 광감지기 내부의 광원으로부터 박리대상물(4)을 통해 반사되는 반사광이 광감지기로 다시 입사되는 정도를 통해 감지될 수 있다. 즉, 박리대상물의 표면정보(314)는 광감지기로 입사하는 반사광의 입사량 또는 입사각을 통해 감지될 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 감지기(300)는 2 이상이 설치될 수 있는 바, 박리대상물(4)의 상부와 하부 표면정보를 각각 감지할 수 있다. 즉, 본 기재에서 박리대상물의 표면정보(314)는 상부필름 표면정보(314a)와, 하부필름 표면정보(314b)를 포함한다.

계산부(400)는 감지기(300)를 통해 감지된 박리대상정보(310)를 계산하여 박리대상물(4)의 박리에 필요한 롤러간격정보(402) 및 박리조건정보(404)를 실시간으로 계산할 수 있다.

롤러간격정보(402)는 한 쌍의 롤러(100) 사이의 최단 거리일 수 있다. 한편, 롤러간격정보(402)는 감지기(300)로부터 감지된 박리대상물과의 거리정보(312)를 토대로 이미 공지된 방법에 의해 계산될 수 있으므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.

박리조건정보(404)는 상기 계산부(400)로부터 계산된 롤러간격정보(402)와 감지기(300)로부터 감지된 박리대상물의 표면정보(314)를 토대로 계산될 수 있다. 이 때, 박리조건정보(404)는 상기 박리대상물(4)의 박리가 진행되는 동안 박리 각도, 박리속도 및 박리 힘과 같은 박리조건이 일정하게 유지되도록 실시간 표면정보(314)에 따라 한 쌍의 롤러(100)의 움직임을 보정하기 위한 정보일 수 있다. 이 때, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 박리조건 정보(404)는 한 쌍의 롤러(100) 간격의 보정치인 보정롤러 간격정보(404a)와, 한 쌍의 롤러(100)의 회전속도 보정치인 보정롤러 회전속도정보(404b)를 포함할 수 있다.

제어부(500)는 계산부(400)로부터 계산된 박리조건정보(404)를 토대로 한 쌍의 롤러(100)의 움직임을 연속적으로 제어할 수 있다. 이 때, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 제어부(500)는 제어부(500)는 롤러간격 제어부(510) 및 회전속도 제어부(520)를 포함한다.

롤러간격 제어부(510)는 도 1a에 도시된 바와 같이 한 쌍의 롤러(100)에 각각 설치되고, 도 1b에 도시된 바와 같이 직선으로 상하 이동시켜 박리조건정보(404)에 따라 연속적으로 롤러간격이 보정되도록 제어할 수 있다. 이 때, 롤러간격 제어부(510)는 상측 롤러와 하측 롤러가 각각 독립적으로 상하로 이동될 수 있도록 제어할 수 있다. 이를 통해, 한 쌍의 롤러(100) 사이로 유입된 박리대상물(4)의 표면 미세 주름 또는 단차에 유기적으로 대응할 수 있다.

회전속도 제어부(520)는 한 쌍의 롤러(100)의 회전축과 각각 연결되어 박리조건정보(404)에 따라 연속적으로 상기 한 쌍의 롤러(100)의 회전속도가 보정되도록 제어할 수 있다. 이 때, 회전속도 제어부(520)는 상측 롤러의 회전축과 하측 롤러의 회전축에 각각 연결되어 독립적으로 회전속도를 제어할 수 있다. 또한, 회전속도 제어부(520)는 도 1b에 도시된 바와 같이 한 쌍의 롤러(100)의 회전 방향을 제어할 수 있다. 이를 통해, 박리대상물(4)의 박리 속도, 박리 각도 또는 박리대상물(4)에 가해지는 박리 힘 등을 일정하게 유지시킬 수 있다.

이상에서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 구성에 대하여 설명하였다. 이하는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 작동에 대하여 설명한다.

도 1a를 다시 참조하면, 하우징(2) 내부로 유입되고, 표면에 필름(6)이 부착된 박리대상물(4)이 개시된다. 이 때, 박리대상물(4)은 하측이 지지부재(210)에 의해 지지되고, 측부가 이송부재(220)에 의해 고정된다. 이 때, 한 쌍의 롤러(100)는 지지부재(210)의 이송방향 전방에 배치되어 회전 구동된다. 또한, 상부 필름(6a)은 상측 롤러와, 하부 필름(6b)은 하측 롤러와 각각 접촉하게 된다.

한편, 박리대상물(4)이 이송부재(220)와 함께 이송방향 전방으로 한 쌍의 롤러(100)를 향해 이동하면, 박리대상물(4)의 이송 경로 상에 위치하는 감지기(300)가 박리대상물(4)과 한 쌍의 롤러(100)간의 최단거리 및, 상부 필름(6a)과 하부 필름(6b)의 표면 상태를 연속적으로 감지한다. 이 때, 계산부(400)는 감지기(300)로부터 감지된 상기 정보를 토대로 롤러 간격정보(402)를 계산하고, 상기 롤러 간격 정보(402)와 박리대상물의 표면정보(314)를 이용하여 박리조건정보(404)를 연속적으로 계산한다.

제어부(500)는 한 쌍의 롤러(100)로 유입되는 박리대상물(4)이 박리조건정보(404)에 따라 실시간 박리조건이 제어되도록 도 1b에 도시된 바와 같이 한 쌍의 롤러(100)간 간격을 조절하거나, 회전속도를 조절한다.

이상에서 본 발명의 제 1 실시예에 따른 박리장치(10)의 구성 및 작동에 대하여 설명하였다. 이하에서는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 박리장치(10')의 구성 및 작동에 대하여 설명한다. 또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 필름 박리 장치(10')를 설명함에 있어, 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)와 동일한 구성에 대하여는 상세한 설명을 생략하도록 하고 제1 실시예와 구별되는 구성을 중심으로 제 2 실시예에 대하여 설명하도록 한다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 박리 장치의 작동 상태를 나타낸 단면도이다.

도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 박리 장치(10')의 한 쌍의 롤러(100')는 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 한 쌍의 롤러(100)와 작동 면에서 차이가 있을 수 있다.

한 쌍의 롤러(100')중 상측 롤러는 상부 필름(6a')과, 하측 롤러는 하부 필름(6b')과 각각 접촉한다. 이 때, 본 실시예에 따른 필름(6')은 도 1a와 달리 박리대상물(4)의 상측으로 몰린 상태로 한 쌍의 롤러(100')에 이송될 수 있다. 이 때, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 박리 장치(10')의 한 쌍의 롤러(100') 중 하측 롤러는 상부 필름(6a')측으로 몰려 있는 하부 필름(6b')과 접촉할 수 있도록 도 1a의 하측 롤러에 비해 상승된 위치에서 회전 작동한다.

한편, 도 4b를 다시 참조하면, 박리대상물(4)이 한 쌍의 롤러(100') 사이로 유입되면, 도 1b의 작동과 달리 한 쌍의 롤러(100') 중 하측 롤러만이 직선으로 상하 이동하여 박리대상물(4)이 일정 박리조건을 유지하며 박리시킬 수 있다. 이 때, 한 쌍의 롤러(100') 중 상측 롤러는 도 4b에 도시된 바와 같이 상하 이동하지 않고 고정된 위치에서 회전 작동할 수 있다. 이 때, 롤러 간격을 박리조건에 따라 보정시키기 위한 롤러 간격 제어부는 한 쌍의 롤러(100') 중 하측 롤러에만 설치될 수 있다.

한편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름(6')은 하측 필름(6b')가 상측 필름(6a')을 향해 박리대상물(4)의 상측으로 몰린 형상에 제한되지 아니하며, 이에 따라 하측 롤러의 위치가 고정되고 상측 롤러의 직선 상하 이동이 가능하도록 상측 롤러에만 롤러 간격 제어부가 설치되어 한 쌍의 롤러(100')의 움직임이 제어될 수도 있다.

이와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 필름 박리 장치(10')는 한 쌍의 롤러(100') 중 하나의 롤러만이 상하 이동되도록 제어함으로써, 일정 박리조건을 유지하며 박리대상물(4)로부터 필름(6')을 박리시킬 수 있다.

이상에서 본 발명의 제 2 실시예에 따른 박리장치(10')의 작동에 대하여 설명하였다. 이하는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 한 쌍의 롤러(100'')의 구성에 대하여 설명한다. 또한, 본 발명의 제3 실시예에 따른 한 쌍의 롤러(100'')를 설명함에 있어, 제 1 실시예에 따른 한 쌍의 롤러(100)와 동일한 구성에 대하여는 상세한 설명을 생략하도록 하고 제1 실시예와 구별되는 구성을 중심으로 제 3 실시예에 대하여 설명하도록 한다.

도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 필름 박리 장치의 롤러 및, 롤러 내부에 설치된 감지기를 나타낸 단면도이다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 롤러(100'')는 회전축을 둘러싸도록 형성되는 내측부재(110'')와, 내측부재(110'')를 둘러싸고, 투명하게 형성되는 외측부재(120'')를 포함할 수 있다.

본 발명의 제 3 실시예에 따른 감지기(300'')는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 내측부재(110'')에 내장될 수 있다. 이 때, 감지기(300'')는 회전축으로부터 외측부재(120'') 방향을 향해 원호 형상으로 형성될 수 있다. 또한, 감지기(300'')는 내부에 광원이 설치된 광감지기의 구성이고, 상기 내측부재(110'')와 외측부재(120'')는 투광성이 비교적 우수한 부재일 수 있다. 이를 통해, 감지기(300'') 내부의 광원을 통해 방출된 빛이 외측부재(120'')와 내측부재(110'')을 차례로 투과하여 외측부재(120'')에 부착된 채 박리되는 필름(6)에 부딪혀 반사되어 돌아오면서 상기 필름(6)을 감지할 수 있다.

본 발명의 제 3 실시예에 따른 감지기(300'')는 박리대상물(4)의 이송 경로 상에 위치하는 이송부(200) 일측 또는 하우징(2) 내벽 외에도, 롤러(100'') 내부에도 설치되는 바, 롤러(100'')로 이송되어 온 박리대상물(4)의 연속적인 박리조건 정보를 보다 정밀하게 감지할 수 있다.

이상에서 본 발명의 제 3 실시예에 따른 한 쌍의 롤러(100'')의 구성에 대하여 설명하였다. 이하에서 본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름 박리 장치(10''')의 구성 및 작동에 대하여 설명한다. 또한, 본 발명의 제4 실시예에 따른 필름 박리 장치(10''')를 설명함에 있어, 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)와 동일한 구성에 대하여는 상세한 설명을 생략하도록 하고 제1 실시예와 구별되는 구성을 중심으로 제 4 실시예에 대하여 설명하도록 한다.

도 6a, 도 6b 및 도 6c는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름 박리 장치의 작동 상태를 나타낸 단면도이다.

도 6a, 도 6b 및 도 6c를 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름 박리 장치(10''')의 한 쌍의 롤러(100''')는 제 1 실시예에 따른 필름 박리 장치(10)의 한 쌍의 롤러(100)와 달리 수평 방향으로 배치될 수 있다.

또한, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 박리대상물(4)은 상기 한 쌍의 롤러(100''') 사이로 진입할 수 있도록 수직 방향으로 배치될 수 있다.

이 때, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 지지부재(210''')는 박리대상물(4)과 함께 한 쌍의 롤러(100''')를 향해 함께 이동할 수 있도록 도 6a에 도시된 바와 같이 상기 박리대상물(4)을 흡착할 수 있는 다수개의 홀(211''')이 박리대상물(4)과 접촉하는 지지부재(210''')측 면에 형성될 수 있다. 본 발명의 제 4 실시예에 따른 지지부재(210''')는 상기 홀(211''')을 통해 지속적으로 음압을 발생시켜 상기 박리대상물(4)의 흡착상태를 유지할 수 있는 진공테이블이나, 반드시 이에 제한되는 것은 아니고, 지지부재(210''')가 상기한 바와 같이 박리대상물(4)과 함께 수직 이송시킬 수 있는 다른 구성일 수 있다. 이를 통해, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 별도의 이송부재(220)의 구성 없이도 박리대상물(4)을 이송방향 전방으로 이송시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름(6''')은 도 6a에 도시된 바와 같이 상부 필름(6a''')과 하부 필름(6b''')간의 결합을 통해 박리대상물(4)을 감싸 완전히 밀봉시킬 수 있다. 이 때, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름(6''')은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 필름(6)과 달리 상부 필름(6a''')과 하부필름(6b''')이 필름 상의 점접착, 필름 단부의 열접착, 진공 차압에 의한 접착, 필름 소재의 내부 자성에 의한 접착 등, 다양한 방법에 의해 물리적, 화학적으로 상호 접착될 수 있다.

한편, 도 6b를 참조하면, 박리대상물(4)과 함께 이송되어온 지지부재(210''')는 한 쌍의 롤러(100''')에 근접하면 이동이 정지되고, 박리대상물(4)은 상기 필름(6''')과 접촉한 한 쌍의 롤러(100''')의 회전력에 의해 한 쌍의 롤러(100''') 간격 사이로 상승할 수 있다. 이 때, 지지부재(210''')는 상기 상승하는 박리대상물(4)의 갑작스러운 낙하를 방지하기 위해 홀(211''')에서 지속적으로 음압을 발생시킬 수 있다. 이 때, 상기 홀(211''')은 상기 한 쌍의 롤러(100''') 사이로 상승하는 박리대상물(4)의 이동을 방해하지 않을 정도의 음압을 발생시키도록 제어될 수 있다.

한편, 도 6c를 참조하면, 상기 한 쌍의 롤러(100''') 사이로 진입된 박리대상물(4)의 박리조건을 유지할 수 있도록 좌, 우측 롤러간 간격 또는 롤러 회전 속도가 조절될 수 있다. 이를 통해, 한 쌍의 롤러(100''')에 수직 방향으로 이송되어온 박리대상물(4)의 최적 박리조건을 유지하면서 필름(6''')을 박리시킬 수 있다.

본 발명의 제 4 실시예에 따른 필름 박리 장치(10''')는 다양한 방법으로 접착된 상부 필름(6a''')과 하부 필름(6b''')을 도 6c에 도시된 바와 같이 수직방향으로 이송되어은 박리대상물(4)로부터 용이하게 박리시킬 수 있다.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.

2: 하우징 4: 박리대상물
6: 필름 10: 필름 박리 장치
100: 한 쌍의 롤러 200: 이송부
210: 지지부재 220: 이송부재
300: 감지기 310: 박리대상정보
400: 계산부 402: 롤러 간격 정보
404: 박리 조건 정보 500: 제어부
510: 롤러 간격 제어부 520: 회전 속도 제어부

Claims

표면에 필름이 부착된 박리대상물로부터 상기 필름을 박리하는 한 쌍의 롤러;
상기 박리대상물을 상기 한 쌍의 롤러를 향해 이송하는 이송부;
상기 이송되는 박리대상물의 이송 경로 상에 위치하면서 박리대상정보를 감지하는 감지기;
감지된 상기 박리대상정보를 통해 롤러간격정보 또는 박리조건정보를 계산할 수 있는 계산부; 및
상기 계산부에서 계산된 박리조건정보를 토대로 상기 한 쌍의 롤러의 움직임을 제어하는 제어부;
를 포함하고,
상기 박리대상정보는 박리대상물과의 거리 정보 및 박리대상물의 표면 정보를 포함하고,
상기 제어부는 상기 박리조건정보를 반영하여, 상기 한 쌍의 롤러 중 적어도 하나를 직선으로 상하 이동하도록, 상기 한 쌍의 롤러 간격을 독립적으로 제어하여, 상기 박리대상물의 표면 미세 주름 또는 단차에 유기적으로 대응하도록 하는 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 이송부는
상기 박리대상물의 이송방향 전방으로 상기 한 쌍의 롤러를 향해 연장되고, 이송되는 상기 박리대상물을 지지하는 지지부재를 포함하는 필름 박리 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 지지부재는 상기 박리대상물을 흡착하여 상기 이송방향 전방으로 상기 박리대상물과 함께 이송될 수 있는 필름 박리 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 이송부는
상기 지지부재의 일측에 설치되되, 상기 박리대상물과 분리가능하도록 접촉하여 상기 박리대상물을 상기 한 쌍의 롤러로 이송시키는 이송부재를 포함하는 필름 박리 장치.
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 감지기는 상기 지지부재의 상부면에 설치되는 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 한 쌍의 롤러는
회전축을 둘러싸도록 형성되는 내측부재; 및
상기 내측부재를 둘러싸도록 투명하게 형성되는 외측부재를 포함하고,
상기 감지기는 상기 내측부재에 내장되는 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 감지기는 광감지기인 필름 박리 장치.
삭제
제 1 항에 있어서,
상기 계산부는 상기 박리대상물의 표면 정보 및 상기 롤러간격정보를 토대로 상기 박리조건정보를 계산할 수 있는 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제어부는
상기 한 쌍의 롤러를 직선 이동시켜 상기 한 쌍의 롤러 간 간격을 제어하기 위한 롤러 간격 제어부; 및
상기 한 쌍의 롤러의 회전 구동을 제어하기 위한 회전속도 제어부를 포함하는 필름 박리 장치.
제 10 항에 있어서,
상기 박리조건정보는
상기 롤러 간격 제어부를 제어하기 위한 보정 롤러 간격 정보; 및
상기 회전속도 제어부를 제어하기 위한 보정 롤러 회전속도 정보를 포함하는 필름 박리 장치.
제 10 항에 있어서,
상기 롤러 간격 제어부는 상기 한 쌍의 롤러에 각각 설치되는 필름 박리 장치.
제 12 항에 있어서,
상기 롤러 간격 제어부는 상기 한 쌍의 롤러 중 어느 하나에만 설치되는 필름 박리 장치.