KR102065114B1 - 파워 소자의 전류 붕괴를 감소시키는 구동방법 - Google Patents
파워 소자의 전류 붕괴를 감소시키는 구동방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
도 2 내지 도 5는 다른 실시예에 따른 파워 소자의 전류 붕괴를 감소시키는 구동방법을 보여주는 타이밍도이다.
112: 버퍼층 120: 채널층
122: 2DEG 130: 채널 공급층
141: 소스 전극 142: 드레인 전극
150: 게이트 전극 160: 보호층
170: 콘트롤 전극 Vg: 게이트 전압
Vc: 콘트롤 전압
Claims (16)
- 파워소자의 턴오프 상태에서 턴온시 전류공급층에 트랩된 전자로 일어나는 전류붕괴를 감소시키는 방법에 있어서,
소스전극, 드레인 전극, 및 게이트 전극과 전기적으로 분리된 콘트롤 전극에 별도의 콘트롤 전압을 인가하며,
상기 콘트롤 전압 인가 단계는,
상기 게이트 전극에 게이트 전압을 인가하는 단계; 및
상기 콘트롤 전극에 네거티브 전압을 인가하여 상기 트랩된 전자를 빼내는 단계를 포함하고,
상기 파워소자의 턴오프 상태에서 상기 콘트롤 전극에 상기 네거티브 전압 보다 절대값이 작은 0 ~ -20V의 바이어스 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는 구동방법. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 네거티브 전압 인가를 상기 게이트 전압 인가 이전에 수행하는 구동방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 네거티브 전압은 -5V ~ -20V인 구동방법. - 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 콘트롤 전극은 상기 게이트 전극 및 상기 드레인 전극 사이에 배치된 구동방법. - 제 1 항에 있어서,
상기 콘트롤 전극은 상기 게이트 전극 하부의 GaN계 층 하부에 형성된 구동방법. - 파워소자의 턴오프 상태에서 턴온시 전류공급층에 트랩된 전자로 일어나는 전류붕괴를 감소시키는 방법에 있어서,
소스전극, 드레인 전극, 및 게이트 전극과 전기적으로 분리된 콘트롤 전극에 별도의 콘트롤 전압을 인가하며
상기 콘트롤 전압인가 단계는,
상기 게이트 전극에 게이트 전압 인가시 상기 콘트롤 전극에 포지티브 전압을 인가하여 상기 콘트롤 전극 하부에 전자들을 형성하는 단계이며,
상기 파워소자의 턴오프 상태에서 상기 콘트롤 전극에 그라운드 전압 또는 네거티브 바이어스 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는 구동방법. - 제 8 항에 있어서,
상기 게이트 전압 인가와 상기 포지티브 전압 인가가 동시에 수행되는 구동방법. - 제 8 항에 있어서,
상기 포지티브 전압은 5V ~ 20V인 구동방법. - 제 8 항에 있어서,
상기 포지티브 전압은 상기 게이트 전압과 다른 전압인 구동방법. - 삭제
- 파워소자의 턴오프 상태에서 턴온시 전류공급층에 트랩된 전자로 일어나는 전류붕괴를 감소시키는 방법에 있어서,
소스전극, 드레인 전극, 및 게이트 전극과 전기적으로 분리된 콘트롤 전극에 별도의 콘트롤 전압을 인가하며,
상기 콘트롤 전압인가 단계는,
상기 게이트 전극에 게이트 전압 인가 이전에 상기 콘트롤 전극에 네거티브 전압을 인가하는 단계; 및
상기 게이트 전극에 상기 게이트 전압 인가시 상기 콘트롤 전극에 포지티브 전압을 인가하는 단계:를 포함하는 구동방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 네거티브 전압 인가단계 및 상기 포지티브 전압 인가단계는 연속적으로 수행되는 구동방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 게이트 전압 인가와 상기 포지티브 전압 인가가 동시에 수행되는 구동방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 파워소자의 턴오프 상태에서 상기 콘트롤 전극에 상기 네거티브 전압 보다 절대값이 작은 0 ~ -20V의 바이어스 전압을 인가하는 단계를 더 포함하는 구동방법.
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