KR102059833B1

KR102059833B1 - Multiaxial Stage for Inspection

Info

Publication number: KR102059833B1
Application number: KR1020190032685A
Authority: KR
Inventors: 손문배; 김종호; 김병호
Original assignee: 주식회사 삼승엔지니어링
Priority date: 2019-03-22
Filing date: 2019-03-22
Publication date: 2019-12-27
Anticipated expiration: 2039-03-22

Abstract

According to the present invention, a multi-axis stage for inspection comprises: a base unit; a first linear moving unit provided on an upper part of the base unit and formed to be linearly movable along an x-axis; a second linear moving unit provided on an upper part of the first linear moving unit and formed to be linearly movable along a y-axis orthogonal to the x-axis; a first tilting unit provided on an upper part of the second linear moving unit and provided to be tiltable with the y-axis as a rotation axis; a second tilting unit provided on an upper part of the first tilting unit and provided to be tiltable with the x-axis as the rotation axis; and a rotating unit provided on an upper part of the second tilting unit and provided to be rotatable with a z-axis as the rotation axis. Therefore, an objective of the present invention is to provide the multi-axis stage for inspection capable of precisely moving or rotating an object to be inspected in various directions and being miniaturized.

Description

Multiaxial Stage for Inspection

본 발명은 검사 대상의 검사를 위한 다축 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 검사 대상을 다양한 방향으로 이동시키거나 회전시킬 수 있도록 하며, 소형화가 가능한 검사용 다축 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-axis stage for inspection of the inspection object, and more particularly, to a multi-axis stage for inspection that can be moved or rotated in a variety of directions, and can be miniaturized.

일반적인 휴대단말기용 검사 장치는, 통신 연결을 위하여 직렬 포트와 USB 포트 및 GPIB 포트 중 적어도 어느 하나의 통신 포트가 단말기 성능 검사 장치에 연결된 인터페이스와, 통신 포트를 통하여 상기단말기 성능 검사장치의 기본 설정 상태를 읽어 표시하며, 시험 진행자의 설정 변경 요청에 따라 상기 단말기 성능 검사 장치의 설정 상태를 변경하는 시험조건 설정수단과, 통신 포트를 통하여 단말기 성능 검사 장치와 연결한 후 이동 통신 단말기의 성능 측정 조건을 표시하며, 시험 진행자의 시험 진행 요청에 따라 단말기 성능 검사 장치를 원격 제어하여 시험을 진행하는 시험 개별 제어 수단을 포함한다.In general, the test device for a mobile terminal includes an interface in which at least one of a serial port, a USB port, and a GPIB port is connected to a terminal performance test device for a communication connection, and a basic setting state of the terminal performance test device through a communication port. Read and display the test condition setting means for changing the setting state of the terminal performance test apparatus according to a test request from the test coordinator, and connect to the terminal performance test apparatus through a communication port, and then measure the performance measurement conditions of the mobile communication terminal. And a test individual control means for performing a test by remotely controlling the terminal performance test apparatus according to a test progress request of the test coordinator.

대한민국 공개특허 10-2006-0133657호는, 이동통신 단말기 성능 검사유닛이 직접 이동통신 단말기에 접속되어 이동통신 단말기의 포트에 손상이 발생되는 문제가 있었다.Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2006-0133657 has a problem in that a mobile communication terminal performance test unit is directly connected to a mobile communication terminal, thereby causing damage to a port of the mobile communication terminal.

또한 상기 공개특허는 이동통신 단말기 성능 검사유닛이 직접 이동통신 단말기에 접속될 때 안정적인 결합을 위하여 접속단자 사이에 걸림 결합을 두고 있으므로, 이동통신 단말기 성능 검사유닛과 직접 이동통신 단말기를 일일이 자동화하는 것이 쉽지 않아 수작업으로 접속시켜야 되는 문제가 있었다.In addition, since the published patent has a jamming connection between the connection terminals for stable coupling when the mobile communication terminal performance test unit is directly connected to the mobile communication terminal, it is possible to automate the mobile communication terminal performance test unit and the direct mobile communication terminal individually. There was a problem that it was not easy to connect by hand.

이에 따라 상기한 문제점을 해결하기 위해 검사 지그가 개발되었다.Accordingly, an inspection jig has been developed to solve the above problems.

다만, 종래 기술에 따른 검사 지그는, 내부 구조가 매우 복잡하게 이루어지며, 이에 따라 장비가 점유하는 부피가 매우 크다는 문제가 있었으며, 또한 정밀도가 비교적 떨어지는 문제가 있었다.However, the inspection jig according to the prior art has a problem that the internal structure is made very complicated, thereby the volume occupied by the equipment is very large, and also has a problem that the precision is relatively low.

그리고 종래 기술에 따른 검사 지그는 복잡한 내부 구조로 인해 고장이 자주 발생할 수밖에 없으며, 이에 따라 유지/보수에 소요되는 비용의 낭비가 발생하는 문제가 있었다.In addition, the inspection jig according to the related art has a problem that the failure is often caused due to the complicated internal structure, and accordingly, there is a problem that waste of cost required for maintenance / repair occurs.

따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.Therefore, there is a need for a method for solving such problems.

한국공개특허 제10-2006-0133657호Korean Patent Publication No. 10-2006-0133657

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 검사 대상을 다양한 방향으로 정밀하게 이동시키거나 회전시킬 수 있도록 하며, 소형화가 가능한 검사용 다축 스테이지를 제공하기 위한 목적을 가진다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, it is possible to precisely move or rotate the inspection object in various directions, and has an object to provide a multi-axis stage for inspection that can be miniaturized.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 다축 스테이지는, 베이스유닛, 상기 베이스유닛의 상부에 구비되며, x축을 따라 선형 이동 가능하게 형성되는 제1선형이동유닛, 상기 제1선형이동유닛의 상부에 구비되며, 상기 x축과 직교하는 y축을 따라 선형 이동 가능하게 형성되는 제2선형이동유닛, 상기 제2선형이동유닛의 상부에 구비되며, 상기 y축을 회전축으로 하여 틸팅 가능하게 구비되는 제1틸팅유닛, 상기 제1틸팅유닛의 상부에 구비되며, 상기 x축을 회전축으로 하여 틸팅 가능하게 구비되는 제2틸팅유닛 및 상기 제2틸팅유닛의 상부에 구비되며, z축을 회전축으로 하여 로테이팅 가능하게 구비되는 로테이팅유닛을 포함한다.The inspection multi-axis stage of the present invention for achieving the above object, the first linear movement unit, which is provided on the base unit, the upper portion of the base unit, the linear movement along the x-axis, the first linear movement of the unit A second linear moving unit provided on an upper side of the second linear moving unit, the second linear moving unit being formed to be linearly moved along the y axis perpendicular to the x axis, and being tiltable with the y axis as the rotation axis; The first tilting unit is provided on the first tilting unit, and the second tilting unit provided on the upper side of the second tilting unit and the second tilting unit provided to be tiltable with the x-axis as the rotation axis, and the rotation is possible with the z-axis as the rotation axis. Rotating unit is provided.

그리고 상기 제2틸팅유닛에 고정되는 고정모듈 및 상기 로테이팅유닛에 고정되되, 상기 고정모듈에 대한 상대 각도를 가변 가능하게 형성됨에 따라 상기 로테이팅유닛을 상기 제2틸팅유닛으로부터 로테이팅시키는 로테이팅 유도모듈을 포함하는 회전유도유닛을 더 포함할 수 있다.And a fixing module fixed to the second tilting unit and the rotating unit, wherein the rotating unit rotates from the second tilting unit as the relative angle of the fixing module is variably formed. It may further include a rotation induction unit including an induction module.

또한 상기 로테이팅 유도모듈은 상기 고정모듈 방향으로 개구된 삽입홈을 포함하며, 상기 고정모듈은 상기 삽입홈에 삽입되도록 돌출된 삽입돌기를 포함하고, 상기 회전유도유닛은, 상기 로테이팅 유도모듈의 양측을 관통하여 구비되되, 상기 삽입홈에 삽입되는 길이를 조절 가능하게 형성됨에 따라, 상기 삽입돌기에 대한 상기 로테이팅 유도모듈의 상대 각도를 가변시키는 한 쌍의 조절볼트를 더 포함할 수 있다.In addition, the rotating induction module includes an insertion groove opened in the direction of the fixed module, the fixed module includes an insertion protrusion protruding to be inserted into the insertion groove, the rotation guide unit, the rotation of the induction module It is provided to penetrate both sides, it may further include a pair of adjusting bolts for varying the relative angle of the rotating induction module with respect to the insertion projections as it is formed to adjust the length to be inserted into the insertion groove.

그리고 상기 제1선형이동유닛은, 상기 베이스유닛 상에 구비되는 제1이동플레이트, 상기 베이스유닛에 고정되며, x축 방향으로 길게 형성된 제1가이드모듈 및 상기 제1이동플레이트에 고정되며, 상기 제1가이드모듈의 길이 방향을 따라 슬라이딩 가능하게 형성되는 제1슬라이드모듈을 포함할 수 있다.The first linear moving unit is fixed to the first moving plate provided on the base unit, the base unit, the first guide module and the first moving plate which are elongated in the x-axis direction, and the first moving plate is fixed to the base unit. The first guide module may include a first slide module slidably formed along a length direction of the guide module.

또한 상기 제1선형이동유닛은, 상기 베이스유닛의 상부에 고정되는 제1기준블록 및 상기 제1기준블록의 일측으로 회전 가능하게 연장되고, 일부가 상기 제1이동플레이트와 나사결합되어, 회전에 따라 상기 제1이동플레이트를 x축 상에서 선형 이동시키는 제1이동조절부재를 포함하는 제1이동보조모듈을 포함할 수 있다.In addition, the first linear moving unit is rotatably extended to one side of the first reference block and the first reference block is fixed to the upper portion of the base unit, a part is screwed with the first moving plate, Accordingly, it may include a first moving auxiliary module including a first moving control member for linearly moving the first moving plate on the x-axis.

그리고 상기 제1이동보조모듈은, 상기 제1기준블록을 중심으로 상기 제1조절부재의 반대 측에 구비되며, 상기 제1이동플레이트에 고정되는 제1고정부재 및 상기 제1고정부재와 상기 제1기준블록 사이에서 탄성을 제공하는 제1압축탄성부재를 더 포함할 수 있다.The first movable auxiliary module is provided on an opposite side of the first adjusting member with respect to the first reference block and is fixed to the first movable plate and the first fixing member and the first fixing member. It may further comprise a first compression elastic member for providing elasticity between the first reference block.

또한 상기 제2선형이동유닛은, 상기 제1선형이동유닛 상에 구비되는 제2이동플레이트, 상기 제1선형이동유닛에 고정되며, y축 방향으로 길게 형성된 제2가이드모듈 및 상기 제2이동플레이트에 고정되며, 상기 제2가이드모듈의 길이 방향을 따라 슬라이딩 가능하게 형성되는 제2슬라이드모듈을 포함할 수 있다.The second linear moving unit may include a second moving plate provided on the first linear moving unit, a second guide module fixed to the first linear moving unit, and extending in the y-axis direction and the second moving plate. It may be fixed to, and may include a second slide module that is formed to slide in the longitudinal direction of the second guide module.

그리고 상기 제2선형이동유닛은, 상기 제1선형이동유닛의 상부에 고정되는 제2기준블록 및 상기 제2기준블록의 일측으로 회전 가능하게 연장되고, 일부가 상기 제2이동플레이트와 나사결합되어, 회전에 따라 상기 제2이동플레이트를 y축 상에서 선형 이동시키는 제2이동조절부재를 포함하는 제2이동보조모듈을 포함할 수 있다.The second linear moving unit may be rotatably extended to one side of the second reference block and the second reference block fixed to the upper portion of the first linear moving unit, and part of the second moving plate may be screwed with the second moving plate. A second movement auxiliary module may include a second movement adjusting member configured to linearly move the second movement plate on the y axis according to rotation.

또한 상기 제2이동보조모듈은, 상기 제2기준블록을 중심으로 상기 제2이동조절부재의 반대 측에 구비되며, 상기 제2이동플레이트에 고정되는 제2고정부재 및 상기 제2고정부재와 상기 제2기준블록 사이에서 탄성을 제공하는 제2압축탄성부재를 더 포함할 수 있다.In addition, the second movable auxiliary module is provided on the opposite side of the second movement adjusting member with respect to the second reference block, the second fixing member and the second fixing member fixed to the second moving plate and the A second compression elastic member for providing elasticity between the second reference block may be further included.

그리고 상기 제1틸팅유닛은, 상기 제2선형이동유닛 상에 구비되되, y축 방향의 회전축을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 제1틸팅플레이트 및 상기 제1틸팅플레이트의 기울기를 가변시키는 제1회전모듈을 포함할 수 있다.In addition, the first tilting unit is provided on the second linear moving unit, the first tilting plate is formed to be rotatable about the rotation axis in the y-axis direction and the first rotation to change the inclination of the first tilting plate It may include a module.

또한 상기 제1회전모듈은, 상기 제1틸팅플레이트의 하부에 구비되며, 타측 하면에 제1경사면이 형성된 제1틸팅블록 및 상기 제1틸팅블록의 일측으로 회전 가능하게 연장되되, 일부가 상기 제1틸팅블록과 나사결합되어, 회전에 따라 상기 제1틸팅블록을 x축 방향으로 선형 이동시키는 제1틸팅조절부재를 포함하며, 상기 제1틸팅유닛은, 상기 제1경사면의 하부에 돌출된 상태로 구비되어, 상기 제1틸팅블록이 x축 방향으로 선형 이동될 경우 상기 제1틸팅블록 타측의 높이를 가변시키는 제1높이가변모듈을 더 포함할 수 있다.In addition, the first rotating module is provided below the first tilting plate, and extends rotatably to one side of the first tilting block and the first tilting block having a first inclined surface formed on the other lower surface thereof, and part of the first rotating module And a first tilting control member screwed with the tilting block to linearly move the first tilting block in the x-axis direction according to rotation, wherein the first tilting unit protrudes below the first inclined surface. Is provided as, may further include a first height variable module for varying the height of the other side of the first tilting block when the first tilting block is moved linearly in the x-axis direction.

그리고 상기 제1틸팅유닛은, 상기 제1틸팅플레이트와 상기 제2선형이동유닛 사이에서 탄성을 제공하는 제3압축탄성부재를 더 포함할 수 있다.The first tilting unit may further include a third compressive elastic member providing elasticity between the first tilting plate and the second linear moving unit.

또한 상기 제2틸팅유닛은, 상기 제1틸팅유닛 상에 구비되되, x축 방향의 회전축을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 제2틸팅플레이트 및 상기 제2틸팅플레이트의 기울기를 가변시키는 제2회전모듈을 포함할 수 있다.In addition, the second tilting unit is provided on the first tilting unit, the second tilting plate and the second rotary module for changing the inclination of the second tilting plate is formed to be rotatable based on the axis of rotation in the x-axis direction It may include.

그리고 상기 제2회전모듈은, 상기 제2틸팅플레이트의 하부에 구비되며, 타측 상면에 제2경사면이 형성된 제2틸팅블록 및 상기 제2틸팅블록의 일측으로 회전 가능하게 연장되되, 일부가 상기 제2틸팅블록과 나사결합되어, 회전에 따라 상기 제2틸팅블록을 y축 방향으로 선형 이동시키는 제2틸팅조절부재를 포함하며, 상기 제2틸팅유닛은, 상기 제2경사면의 상부에 돌출된 상태로 구비되어, 상기 제2틸팅블록이 y축 방향으로 선형 이동될 경우 상기 제2경사면에 의해 높이가 가변되는 제2높이가변모듈을 더 포함할 수 있다.The second rotating module is provided below the second tilting plate and extends rotatably to one side of the second tilting block and the second tilting block having a second inclined surface formed on the upper surface of the other side, and a part of the second rotating module. And a second tilting control member screwed with the second tilting block to linearly move the second tilting block in the y-axis direction according to rotation, wherein the second tilting unit protrudes from the upper portion of the second inclined surface. The second tilting block may further include a second height variable module whose height is changed by the second inclined plane when the second tilting block is linearly moved in the y-axis direction.

또한 상기 제2틸팅유닛은, 상기 제2틸팅플레이트와 상기 제1틸팅유닛 사이에서 탄성을 제공하는 제4압축탄성부재를 더 포함할 수 있다.The second tilting unit may further include a fourth compressive elastic member that provides elasticity between the second tilting plate and the first tilting unit.

그리고 상기 로테이팅유닛은, 상기 제2틸팅유닛의 상부에 고정되는 회전축모듈 및 상기 회전축모듈을 회전축으로 하여 회전 가능하게 구비되는 로테이팅플레이트를 포함할 수 있다.The rotating unit may include a rotating shaft module fixed to an upper portion of the second tilting unit and a rotating plate rotatably provided as the rotating shaft module.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 검사용 다축 스테이지는 다음과 같은 효과가 있다.The inspection multi-axis stage of the present invention for solving the above problems has the following effects.

첫째, 각 구성요소의 이동 또는 회전 구조가 매우 합리적으로 설계되어, 검사 대상의 변위를 정밀하게 가변시킬 수 있는 장점이 있다.First, the movement or rotation structure of each component is very rational design, there is an advantage that can accurately vary the displacement of the inspection object.

둘째, 하나의 이동 단위를 형성하는 각 구성요소가 상하 방향으로 배열되어 있으므로, 전체 부피를 크게 감소시킬 수 있는 장점이 있다.Second, since each component forming one moving unit is arranged in the vertical direction, there is an advantage that can greatly reduce the overall volume.

셋째, 합리적인 구조로 인해 고장 빈도를 극히 감소시킬 수 있으며, 이에 따라 유지/보수에 소요되는 비용 및 시간을 절감할 수 있는 장점이 있다.Third, due to the rational structure, the frequency of failures can be extremely reduced, thereby reducing the cost and time required for maintenance.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지의 전체 모습을 나타낸 도면;
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 베이스유닛 및 제1선형이동유닛의 구조를 나타낸 도면;
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제2선형이동유닛의 구조를 나타낸 도면;
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제1틸팅유닛의 구조를 나타낸 도면;
도 9 및 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제2틸팅유닛의 구조를 나타낸 도면;
도 11 및 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 로테이팅유닛 및 회전유도유닛의 구조를 나타낸 도면;
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제1록킹유닛의 구조를 나타낸 도면; 및
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제2록킹유닛의 구조를 나타낸 도면이다.1 is a view showing the overall appearance of a multi-axis stage for inspection according to an embodiment of the present invention;
2 and 3 are views showing the structure of the base unit and the first linear moving unit in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention;
4 and 5 are views showing the structure of the second linear moving unit in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention;
6 to 8 are views showing the structure of the first tilting unit in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention;
9 and 10 are views showing the structure of the second tilting unit in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention;
11 and 12 are views showing the structure of the rotating unit and the rotation induction unit in the multi-axis stage for inspection according to an embodiment of the present invention;
13 is a view showing the structure of the first locking unit in the multi-axis stage for inspection according to an embodiment of the present invention; And
14 is a view showing the structure of the second locking unit in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of this embodiment, the same name and the same reference numerals are used for the same configuration and additional description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지의 전체 모습을 나타낸 도면이다.1 is a view showing the overall appearance of the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지는 베이스유닛(10)과, 제1선형이동유닛(100)과, 제2선형이동유닛(200)과, 제1틸팅유닛(300)과, 제2틸팅유닛(400)과, 회전유도유닛(500)과, 로테이팅유닛(600)을 포함한다.As shown in FIG. 1, the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention includes a base unit 10, a first linear moving unit 100, a second linear moving unit 200, and a first And a tilting unit 300, a second tilting unit 400, a rotation induction unit 500, and a rotating unit 600.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지는 제1록킹유닛(700) 및 제2록킹유닛(800)을 더 포함할 수 있으며, 이에 대해서는 후술하도록 한다.In addition, the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention may further include a first locking unit 700 and the second locking unit 800, which will be described later.

상기 베이스유닛(10)은 각 구성요소 중 최하부에 위치되는 구성요소로서, 다른 구성요소들을 안정적으로 지지하는 한편 상기 제1선형이동유닛(100)의 이동을 보조하게 된다.The base unit 10 is a component located at the bottom of each component, and stably supports the other components and assists the movement of the first linear moving unit 100.

도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 베이스유닛(10) 및 제1선형이동유닛(100)의 구조를 나타낸 도면이다.2 and 3 is a view showing the structure of the base unit 10 and the first linear moving unit 100 in the multi-axis stage for inspection according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 제1선형이동유닛(100)은 상기 베이스유닛(10)의 상부에 구비되며, x축을 따라 선형 이동 가능하게 형성된다.As shown in Figure 2 and 3, the first linear moving unit 100 is provided on the base unit 10, and is formed to be linearly moved along the x-axis.

구체적으로 상기 제1선형이동유닛(100)은 상기 베이스유닛(10) 상에 구비되는 제1이동플레이트(110)와, 상기 베이스유닛(10)의 상부로 돌출된 제1가이드모듈고정부(12)에 고정되며, x축 방향으로 길게 형성된 제1가이드모듈(120a)과, 상기 제1이동플레이트(110)에 고정되며, 상기 제1가이드모듈(120a)의 길이 방향을 따라 슬라이딩 가능하게 형성되는 제1슬라이드모듈(120b)을 포함하는 형태를 가진다.In detail, the first linear moving unit 100 includes a first moving plate 110 provided on the base unit 10 and a first guide module fixing part 12 protruding to an upper portion of the base unit 10. Fixed to the first guide module 120a formed in the x-axis direction and fixed to the first moving plate 110 and slidably formed along the longitudinal direction of the first guide module 120a. It has a form including a first slide module (120b).

이에 따라 상기 제1이동플레이트(110)는 상기 제1슬라이드모듈(120b)의 슬라이딩 이동과 함께 x축 방향으로 선형 이동을 구현할 수 있다.Accordingly, the first moving plate 110 may implement linear movement in the x-axis direction together with the sliding movement of the first slide module 120b.

또한 상기 제1선형이동유닛(100)은, 상기 베이스유닛(10)의 상부에 고정되는 제1기준블록(144)과, 상기 제1기준블록(144)의 일측으로 회전 가능하게 연장되고, 일부가 상기 제1이동플레이트(110)와 나사결합되어, 회전에 따라 상기 제1이동플레이트(110)를 x축 상에서 선형 이동시키는 제1이동조절부재(142)를 포함하는 제1이동보조모듈(140)을 더 포함할 수 있다.In addition, the first linear moving unit 100, the first reference block 144 is fixed to the upper portion of the base unit 10, and extends rotatably to one side of the first reference block 144, a part Is first coupled to the first moving plate 110, the first moving auxiliary module 140 including a first moving control member 142 to linearly move the first moving plate 110 on the x-axis in accordance with the rotation ) May be further included.

이때 상기 제1이동조절부재(142)는 일측으로 길게 연장되어 일부가 상기 제1이동플레이트(110)의 외측으로 돌출될 수 있으며, 상기 제1이동조절부재(142)의 끝단부에는 별도의 공구(미도시)를 삽입하여 상기 제1이동조절부재(142)를 회전시킬 수 있도록 하는 공구삽입홈(143)이 형성된다.In this case, the first movement adjusting member 142 extends to one side so that a part of the first movement adjusting member 142 may protrude to the outside of the first movement plate 110, and a separate tool is provided at the end of the first movement adjusting member 142. A tool insertion groove 143 is formed to insert (not shown) to rotate the first movement adjusting member 142.

그리고 상기 제1이동보조모듈(140)은, 상기 제1기준블록(144)을 중심으로 상기 제1조절부재(142)의 반대 측에 구비되며, 상기 제1이동플레이트(110)에 고정되는 제1고정부재(145)와, 상기 제1고정부재(145) 및 상기 제1기준블록(144) 사이에서 탄성을 제공하는 제1압축탄성부재(146)를 더 포함한다.The first moving auxiliary module 140 is provided on the opposite side of the first adjusting member 142 around the first reference block 144 and is fixed to the first moving plate 110. Further comprising a first fixed member 145, the first compression elastic member 146 to provide elasticity between the first fixing member 145 and the first reference block 144.

전술한 바와 같이 상기 제1이동조절부재(142)를 어느 한 방향으로 회전시키게 되면 상기 제1이동플레이트(110)는 x축 방향으로 선형 이동하게 되며, 이때 상기 제1고정부재(145)는 상기 제1이동플레이트(110)에 고정된 상태이므로 상기 제1이동플레이트(110)와 함께 이동하게 된다. 또한 상기 제1기준블록(144)은 고정된 상태이므로, 상기 제1압축탄성부재(146)는 상기 제1이동플레이트(110)가 제1이동조절부재(142) 측으로 이동할 경우 압축되며, 상기 제1이동플레이트(110)가 상기 제1이동조절부재(142)의 반대측으로 이동할 경우에는 원래대로 복원될 수 있다.As described above, when the first movement adjusting member 142 is rotated in one direction, the first movement plate 110 is linearly moved in the x-axis direction, and the first fixing member 145 is Since it is fixed to the first moving plate 110, the first moving plate 110 moves together with the first moving plate 110. In addition, since the first reference block 144 is fixed, the first compression elastic member 146 is compressed when the first moving plate 110 moves to the first movement adjusting member 142. When the first movable plate 110 moves to the opposite side of the first movement adjusting member 142, it may be restored to its original state.

즉 상기 제1압축탄성부재(146)는 상기 제1이동플레이트(110)가 선형 이동하는 과정에서 다소의 저항력 또는 복원력을 제공함에 따라 보다 안정적으로 이동되도록 보조할 수 있다.That is, the first compression elastic member 146 may assist to move more stably by providing some resistance or restoring force during the linear movement of the first moving plate 110.

또한 본 실시예에서 상기 제1고정부재(145)는, 상기 제1이동플레이트(110)에 직접적으로 고정되는 제1피고정부(145a)와, 상기 제1피고정부(145a)로부터 상기 제1기준블록(144) 측으로 연장되고 상기 제1압축탄성부재(146) 내측으로 인입되어 상기 제1압축탄성부재(146)를 고정시키는 제1탄성부재고정부(145b)를 포함할 수 있다.In addition, in the present embodiment, the first fixing member 145 may include a first fixing part 145a fixed directly to the first moving plate 110 and the first reference from the first fixing part 145a. A first elastic member fixing part 145b extending to the side of the block 144 and introduced into the first compression elastic member 146 to fix the first compression elastic member 146 may be included.

한편 본 실시예의 경우, 상기 제1이동플레이트(110)의 최대 이동 범위를 제한하기 위한 제1스토핑부재(130)가 더 구비될 수 있다. 상기 제1스토핑부재(130)는 평판 형태로 형성되어 일부가 상기 베이스유닛(10)의 제1가이드모듈고정부(12)에 고정되며, 나머지 일부는 상기 제1이동플레이트(110)의 측부로 돌출된 제1스토핑볼트(114)에 의해 고정된다.Meanwhile, in the present exemplary embodiment, a first stopper member 130 may be further provided to limit the maximum range of movement of the first moving plate 110. The first stopping member 130 is formed in a flat plate shape, a part of which is fixed to the first guide module fixing part 12 of the base unit 10, and the other part of the side of the first moving plate 110. It is fixed by the first stopping bolt 114 protrudes.

이때 상기 제1이동플레이트(110)에는 상기 제1스토핑볼트(114)가 삽입되는 장홀 형태의 제1볼트삽입홀(132)이 형성되며, 이에 따라 상기 제1이동플레이트(110)가 선형 이동될 경우 상기 제1스토핑볼트(114)는 상기 제1볼트삽입홀(143)의 길이 범위 내에서 이동하며 상기 제1이동플레이트(110)의 이동 범위를 제한할 수 있다.In this case, a first bolt insertion hole 132 having a long hole shape into which the first stopping bolt 114 is inserted is formed in the first moving plate 110, and thus the first moving plate 110 is linearly moved. If so, the first stopping bolt 114 may move within the length range of the first bolt insertion hole 143 and limit the moving range of the first moving plate 110.

도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제2선형이동유닛(200)의 구조를 나타낸 도면이다.4 and 5 are views showing the structure of the second linear moving unit 200 in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제2선형이동유닛(200)은 상기 제1선형이동유닛(100)의 상부에 구비되며, y축을 따라 선형 이동 가능하게 형성된다.4 and 5, the second linear moving unit 200 is provided on the upper portion of the first linear moving unit 100, and is formed to be linearly movable along the y axis.

구체적으로 상기 제2선형이동유닛(200)은 상기 제1선형이동유닛(100) 상에 구비되는 제2이동플레이트(120)와, 상기 제1선형이동유닛((100)의 상부로 돌출된 제2가이드모듈고정부(112)에 고정되며, y축 방향으로 길게 형성된 제2가이드모듈(220a)과, 상기 제2이동플레이트(210)에 고정되며, 상기 제2가이드모듈(220a)의 길이 방향을 따라 슬라이딩 가능하게 형성되는 제2슬라이드모듈(220b)을 포함하는 형태를 가진다.In detail, the second linear moving unit 200 includes a second moving plate 120 provided on the first linear moving unit 100 and a first protruding upper portion of the first linear moving unit 100. The second guide module 220a, which is fixed to the two guide module fixing part 112 and is elongated in the y-axis direction, is fixed to the second moving plate 210, and the length direction of the second guide module 220a is fixed. It has a form including a second slide module (220b) formed to be slidable along the.

이에 따라 상기 제2이동플레이트(210)는 상기 제2슬라이드모듈(220b)의 슬라이딩 이동과 함께 y축 방향으로 선형 이동을 구현할 수 있다.Accordingly, the second moving plate 210 may implement linear movement in the y-axis direction together with the sliding movement of the second slide module 220b.

또한 상기 제2선형이동유닛(200)은, 상기 제2선형이동유닛(200)의 상부에 고정되는 제2기준블록(244)과, 상기 제2기준블록(244)의 일측으로 회전 가능하게 연장되고, 일부가 상기 제2이동플레이트(210)와 나사결합되어, 회전에 따라 상기 제2이동플레이트(210)를 y축 상에서 선형 이동시키는 제2이동조절부재(242)를 포함하는 제2이동보조모듈(240)을 더 포함할 수 있다.In addition, the second linear moving unit 200, the second reference block 244 is fixed to the upper portion of the second linear moving unit 200 and extends rotatably to one side of the second reference block 244. And a second movement aid including a second movement adjusting member 242 which is partially screwed with the second movement plate 210 and linearly moves the second movement plate 210 on the y axis according to rotation. The module 240 may further include.

이때 상기 제2이동조절부재(242)는 일측으로 길게 연장되어 일부가 상기 제2이동플레이트(210)의 외측으로 돌출될 수 있으며, 상기 제2이동조절부재(242)의 끝단부에는 별도의 공구(미도시)를 삽입하여 상기 제2이동조절부재(242)를 회전시킬 수 있도록 하는 공구삽입홈(243)이 형성된다.In this case, the second movement adjusting member 242 extends to one side so that a part of the second movement adjusting member 242 may protrude to the outside of the second movement plate 210, and a separate tool at the end of the second movement adjusting member 242. A tool insertion groove 243 is formed to insert (not shown) to rotate the second movement adjusting member 242.

그리고 상기 제2이동보조모듈(240)은, 상기 제2기준블록(244)을 중심으로 상기 제2조절부재(242)의 반대 측에 구비되며, 상기 제2이동플레이트(210)에 고정되는 제2고정부재(245)와, 상기 제2고정부재(245) 및 상기 제2기준블록(244) 사이에서 탄성을 제공하는 제2압축탄성부재(246)를 더 포함한다.In addition, the second moving auxiliary module 240 is provided on the opposite side of the second adjusting member 242 around the second reference block 244 and is fixed to the second moving plate 210. And a second compression elastic member 246 that provides elasticity between the second fixing member 245 and the second fixing member 245 and the second reference block 244.

전술한 바와 같이 상기 제2이동조절부재(242)를 어느 한 방향으로 회전시키게 되면 상기 제2이동플레이트(210)는 y축 방향으로 선형 이동하게 되며, 이때 상기 제2고정부재(245)는 상기 제2이동플레이트(210)에 고정된 상태이므로 상기 제2이동플레이트(210)와 함께 이동하게 된다. 또한 상기 제2기준블록(244)은 고정된 상태이므로, 상기 제2압축탄성부재(246)는 상기 제2이동플레이트(210)가 제2이동조절부재(242) 측으로 이동할 경우 압축되며, 상기 제2이동플레이트(210)가 상기 제2이동조절부재(242)의 반대측으로 이동할 경우에는 원래대로 복원될 수 있다.As described above, when the second movement adjusting member 242 is rotated in one direction, the second moving plate 210 is linearly moved in the y-axis direction, and the second fixing member 245 is Since it is fixed to the second moving plate 210, the second moving plate 210 moves together. In addition, since the second reference block 244 is fixed, the second compression elastic member 246 is compressed when the second moving plate 210 moves to the second movement adjusting member 242. When the two moving plate 210 is moved to the opposite side of the second movement adjusting member 242 may be restored to its original state.

즉 상기 제1압축탄성부재(246)는 상기 제2이동플레이트(210)가 선형 이동하는 과정에서 다소의 저항력 또는 복원력을 제공함에 따라 보다 안정적으로 이동되도록 보조할 수 있다.That is, the first compression elastic member 246 may assist to move more stably by providing some resistance or restoring force during the linear movement of the second moving plate 210.

또한 본 실시예에서 상기 제2고정부재(245)는, 상기 제2이동플레이트(210)에 직접적으로 고정되는 제2피고정부(245a)와, 상기 제2피고정부(245a)로부터 상기 제2기준블록(244) 측으로 연장되고 상기 제2압축탄성부재(246) 내측으로 인입되어 상기 제2압축탄성부재(246)를 고정시키는 제2탄성부재고정부(245b)를 포함할 수 있다.In addition, in the present embodiment, the second fixing member 245 may include a second fixing part 245a fixed directly to the second moving plate 210 and the second reference from the second fixing part 245a. A second elastic member fixing part 245b extending to the block 244 side and drawn into the second compression elastic member 246 to fix the second compression elastic member 246 may be included.

한편 본 실시예의 경우, 상기 제2이동플레이트(210)의 최대 이동 범위를 제한하기 위한 제2스토핑부재(230)가 더 구비될 수 있다. 상기 제2스토핑부재(230)는 평판 형태로 형성되어 일부가 상기 제2이동플레이트(210)에 고정되며, 나머지 일부는 상기 제1이동플레이트(210)의 제2가이드모듈고정부(112)의 측부로 돌출된 제2스토핑볼트(214)에 의해 고정된다.Meanwhile, in the present exemplary embodiment, a second stopping member 230 may be further provided to limit the maximum moving range of the second moving plate 210. The second stopping member 230 is formed in a flat plate shape, a part of which is fixed to the second moving plate 210, and the other part of the second guide module fixing part 112 of the first moving plate 210. It is fixed by the second stopping bolt 214 protruding to the side of.

이때 상기 제2이동플레이트(210)에는 상기 제2스토핑볼트(214)가 삽입되는 장홀 형태의 제2볼트삽입홀(232)이 형성되며, 이에 따라 상기 제2이동플레이트(210)가 선형 이동될 경우 상기 제2스토핑볼트(214)는 상기 제2볼트삽입홀(243)의 길이 범위 내에서 이동하며 상기 제2이동플레이트(210)의 이동 범위를 제한할 수 있다.In this case, a second bolt insertion hole 232 having a long hole shape into which the second stopping bolt 214 is inserted is formed in the second moving plate 210, and thus the second moving plate 210 is linearly moved. If so, the second stopping bolt 214 moves within the length range of the second bolt insertion hole 243 and may limit the moving range of the second moving plate 210.

도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제1틸팅유닛(300)의 구조를 나타낸 도면이다.6 to 8 are views showing the structure of the first tilting unit 300 in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention.

도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 제1틸팅유닛(300)은 상기 제2선형이동유닛(200)의 상부에 구비되며, 상기 y축을 회전축으로 하여 틸팅 가능하게 구비된다.6 to 8, the first tilting unit 300 is provided on the upper portion of the second linear moving unit 200, it is provided to be capable of tilting the y-axis as the rotation axis.

구체적으로 상기 제1틸팅유닛(300)은 상기 제2선형이동유닛(200) 상에 구비되되, y축 방향의 회전축을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 제1틸팅플레이트(310)와, 상기 제1틸팅플레이트(310)의 기울기를 가변시키는 제1회전모듈(330)과, 제1높이가변모듈(340)을 포함할 수 있다.Specifically, the first tilting unit 300 is provided on the second linear moving unit 200, the first tilting plate 310 is formed to be rotatable based on the rotation axis in the y-axis direction, and the first The tilting plate 310 may include a first rotation module 330 for varying the inclination of the tilting plate 310 and a first height variable module 340.

이때 본 실시예에서 상기 제1틸팅플레이트(310)는 상기 제2이동플레이트(210)의 제1회전축고정부(212)에 형성된 제1축삽입홀(211, 도 4 참조)을 관통하여 삽입되는 제1회전축부재(322)를 회전축으로 하여 회전되도록 형성된다. 또한 상기 제1회전축부재(322)는 제1축고정부재(320)에 의해 상기 제1회전축고정부(212)에 고정될 수 있다.In this embodiment, the first tilting plate 310 is inserted through the first shaft insertion hole 211 (see FIG. 4) formed in the first rotation shaft fixing unit 212 of the second moving plate 210. The first rotating shaft member 322 is formed to be rotated as a rotating shaft. In addition, the first rotation shaft member 322 may be fixed to the first rotation shaft fixing part 212 by the first shaft fixing member 320.

그리고 본 실시예에서 상기 제1회전모듈(330)은, 상기 제1틸팅플레이트(310)의 하부에 구비되며, 타측 하면에 제1경사면(336)이 형성된 제1틸팅블록(335)과, 상기 제1틸팅블록(335)의 일측으로 회전 가능하게 연장되되, 일부가 상기 제1틸팅블록(335)과 나사결합되어, 회전에 따라 상기 제1틸팅블록(335)을 x축 방향으로 선형 이동시키는 제1틸팅조절부재(334)를 포함한다.In the present embodiment, the first rotating module 330 is provided below the first tilting plate 310 and has a first tilting block 335 having a first inclined surface 336 formed on the other lower surface thereof. Is rotatably extended to one side of the first tilting block 335, a part is screwed with the first tilting block 335, to linearly move the first tilting block 335 in the x-axis direction in accordance with the rotation The first tilting control member 334 is included.

이때 상기 제1틸팅조절부재(334)는 일측으로 길게 연장되어 상기 제1틸팅플레이트(310)에 고정되되 외측으로 노출되는 제3이동조절부재(331)에 연결되며, 상기 제3이동조절부재(331)의 끝단부에는 별도의 공구(미도시)를 삽입하여 상기 제1틸팅조절부재(334)를 회전시킬 수 있도록 하는 공구삽입홈(332)이 형성된다. 또한 상기 제3이동조절부재(331)는 제1고정블록(333)에 의해 상기 제1틸팅플레이트(310)에 고정될 수 있다.At this time, the first tilting control member 334 extends to one side and is fixed to the first tilting plate 310 and connected to the third movement adjusting member 331 exposed to the outside, and the third movement adjusting member ( 331 is a tool insertion groove 332 is formed to insert a separate tool (not shown) to rotate the first tilting control member 334. In addition, the third movement adjusting member 331 may be fixed to the first tilting plate 310 by a first fixing block 333.

그리고 상기 제1높이가변모듈(340)은, 상기 제1경사면(336)의 하부에 돌출된 상태로 구비되어, 상기 제1틸팅블록(335)이 x축 방향으로 선형 이동될 경우 상기 제1틸팅블록(335) 타측의 높이를 가변시키는 구성요소이다.In addition, the first height variable module 340 is provided to protrude under the first inclined surface 336, and the first tilting block 335 is linearly moved in the x-axis direction. Block 335 is a component for varying the height of the other side.

본 실시예에서 상기 제1높이가변모듈(340)은 상기 제2이동플레이트(210)의 상면에 형성된 제1안착홈(213, 도 4 참조)에 삽입된 형태를 가지며, y축 방향으로 길게 형성된 제1기준바(342)와, 상기 제1기준바(342)의 둘레를 감싸도록 형성된 롤러 형태의 제1높이가변롤러(344)를 포함한다.In the present embodiment, the first height variable module 340 is inserted into the first seating groove 213 (see FIG. 4) formed on the upper surface of the second moving plate 210, and is formed long in the y-axis direction. The first reference bar 342 and a first height variable roller 344 in the form of a roller formed to surround the first reference bar 342.

즉 상기 제1틸팅블록(335)이 x축 방향으로 선형 이동될 경우, 상기 제1틸팅블록(335)의 제1경사면(336)은 상기 제1높이가변롤러(344)에 접촉된 상태로 미끄러지게 되며, 이 과정에서 상기 제1틸팅블록(335)의 높이가 변화하며 상기 제1틸팅플레이트(310)의 타측을 밀어내거나 또는 밀어내던 힘을 제거함에 따라 상기 제1틸팅유닛(300)의 기울기를 변화시킬 수 있다.That is, when the first tilting block 335 is linearly moved in the x-axis direction, the first inclined surface 336 of the first tilting block 335 slides in contact with the first height variable roller 344. In this process, the height of the first tilting block 335 is changed and the inclination of the first tilting unit 300 is removed as the other side of the first tilting plate 310 is pushed out or removed. Can change.

이때 상기 제1틸팅유닛(300)은, 상기 제1틸팅플레이트(310)와 상기 제2선형이동유닛(200) 사이에서 탄성을 제공하도록 제2이동플레이트(210)의 제1탄성부재안착홈(215, 도 4 참조)에 안착되는 제3압축탄성부재(350)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 상기 제1틸팅블록(335)이 타측으로 이동하여 상기 제1틸팅플레이트(310)의 타측을 상부로 밀어낼 경우 상기 제3압축탄성부재(350)가 압축되며, 상기 제1틸팅블록(335)이 일측으로 이동하여 상기 제1틸팅플레이트(310)의 타측에 가해지는 외력을 제거할 경우 상기 제3압축탄성부재(350)가 복원되어 상기 제1틸팅플레이트(310)의 일측을 밀어내게 된다.At this time, the first tilting unit 300, the first elastic member seating groove of the second movable plate 210 to provide elasticity between the first tilting plate 310 and the second linear moving unit 200 ( 215, see FIG. 4) may further include a third compression elastic member 350. Accordingly, when the first tilting block 335 moves to the other side and pushes the other side of the first tilting plate 310 upward, the third compression elastic member 350 is compressed and the first tilting block ( When the 335 is moved to one side and the external force applied to the other side of the first tilting plate 310 is removed, the third compressive elastic member 350 is restored to push out one side of the first tilting plate 310. do.

즉 상기 제3압축탄성부재(350)는 상기 제1틸팅플레이트(310)가 틸팅되는 과정에서 다소의 저항력 또는 복원력을 제공함에 따라 보다 안정적으로 이동되도록 보조할 수 있다.That is, the third compression elastic member 350 may assist to move more stably by providing some resistance or restoring force in the process of tilting the first tilting plate 310.

도 9 및 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제2틸팅유닛(400)의 구조를 나타낸 도면이다.9 and 10 are views showing the structure of the second tilting unit 400 in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention.

도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 제2틸팅유닛(400)은 상기 제1틸팅유닛(300)의 상기 x축을 회전축으로 하여 틸팅 가능하게 구비된다.9 and 10, the second tilting unit 400 may be tilted using the x-axis of the first tilting unit 300 as a rotation axis.

구체적으로 상기 제2틸팅유닛(400)은 상기 제1틸팅유닛(200) 상에 구비되되, x축 방향의 회전축을 기준으로 회전 가능하게 형성되는 제2틸팅플레이트(410)와, 상기 제2틸팅플레이트(410)의 기울기를 가변시키는 제2회전모듈(430)과, 제2높이가변모듈(440)을 포함할 수 있다.Specifically, the second tilting unit 400 is provided on the first tilting unit 200, the second tilting plate 410 is formed to be rotatable based on the axis of rotation in the x-axis direction, and the second tilting A second rotation module 430 and a second height variable module 440 for varying the inclination of the plate 410 may be included.

이때 본 실시예에서 상기 제2틸팅플레이트(410)는 상기 제1틸팅플레이트(310)의 제2회전축고정부(312)에 형성된 제1축삽입홀(311, 도 6 참조)을 관통하여 삽입되는 제2회전축부재(422)를 회전축으로 하여 회전되도록 형성된다. 또한 상기 제2회전축부재(422)는 제2축고정부재(420)에 의해 상기 제2틸팅플레이트(410)에 고정될 수 있다.In this embodiment, the second tilting plate 410 is inserted through the first shaft insertion hole 311 (see FIG. 6) formed in the second rotation shaft fixing part 312 of the first tilting plate 310. The second rotation shaft member 422 is formed to rotate as the rotation shaft. In addition, the second rotating shaft member 422 may be fixed to the second tilting plate 410 by a second shaft fixing member 420.

그리고 본 실시예에서 상기 제2회전모듈(430)은, 상기 제2틸팅플레이트(410)의 하부에 구비되며, 타측 상면에 제2경사면(436)이 형성된 제2틸팅블록(435)과, 상기 제2틸팅블록(435)의 일측으로 회전 가능하게 연장되되, 일부가 상기 제2틸팅블록(435)과 나사결합되어, 회전에 따라 상기 제2틸팅블록(435)을 y축 방향으로 선형 이동시키는 제2틸팅조절부재(434)를 포함한다.In the present embodiment, the second rotating module 430 is provided below the second tilting plate 410 and has a second tilting block 435 having a second inclined surface 436 formed on the other upper surface thereof. Is rotatably extended to one side of the second tilting block 435, a part is screwed with the second tilting block 435, to linearly move the second tilting block 435 in the y-axis direction in accordance with the rotation The second tilting control member 434 is included.

이때 상기 제1틸팅조절부재(434)는 일측으로 길게 연장되어 상기 제2틸팅플레이트(410)에 고정되되 외측으로 노출되는 제4이동조절부재(431)에 연결되며, 상기 제4이동조절부재(431)의 끝단부에는 별도의 공구(미도시)를 삽입하여 상기 제2틸팅조절부재(434)를 회전시킬 수 있도록 하는 공구삽입홈(432)이 형성된다. 또한 상기 제4이동조절부재(431)는 제2고정블록(433)에 의해 상기 제2틸팅플레이트(410)에 고정될 수 있다.At this time, the first tilting control member 434 extends to one side and is fixed to the second tilting plate 410 but connected to the fourth movement adjusting member 431 exposed to the outside, and the fourth movement adjusting member ( A tool insertion groove 432 is formed at the end of the 431 to insert a separate tool (not shown) to rotate the second tilting control member 434. In addition, the fourth movement adjusting member 431 may be fixed to the second tilting plate 410 by a second fixing block 433.

그리고 상기 제2높이가변모듈(440)은, 상기 제2경사면(436)의 상부에 돌출된 상태로 구비되어, 상기 제2틸팅블록(435)이 y축 방향으로 선형 이동될 경우 상기 제2틸팅블록(435) 타측의 높이를 가변시키는 구성요소이다.The second height variable module 440 is provided to protrude on the second inclined surface 436, so that the second tilting block 435 is linearly moved in the y-axis direction. Block 435 is a component for varying the height of the other side.

본 실시예에서 상기 제2높이가변모듈(440)은 x축 방향으로 길게 형성된 제2기준바(442)와, 상기 제2기준바(442)의 둘레를 감싸도록 형성된 롤러 형태의 제2높이가변롤러(444)를 포함한다.In the present exemplary embodiment, the second height variable module 440 includes a second reference bar 442 formed long in the x-axis direction and a second height variable in a roller shape formed to surround a circumference of the second reference bar 442. Roller 444.

즉 상기 제2틸팅블록(435)이 y축 방향으로 선형 이동될 경우, 상기 제2틸팅블록(435)의 제2경사면(436)은 상기 제2높이가변롤러(444)에 접촉된 상태로 미끄러지게 되며, 이 과정에서 상기 제2높이가변모듈(440)의 높이가 변화하며 상기 제2틸팅플레이트(410)의 타측을 밀어내거나 또는 밀어내던 힘을 제거함에 따라 상기 제2틸팅유닛(400)의 기울기를 변화시킬 수 있다.That is, when the second tilting block 435 is linearly moved in the y-axis direction, the second inclined surface 436 of the second tilting block 435 slides in contact with the second variable height roller 444. In this process, the height of the second variable height module 440 is changed, and as the other side of the second tilting plate 410 is pushed out or removed, the force of the second tilting unit 400 is removed. You can change the slope.

이때 상기 제2틸팅유닛(400)은, 상기 제2틸팅플레이트(410)와 상기 제1틸팅유닛(300) 사이에서 탄성을 제공하도록 제1틸팅플레이트(310)의 제2탄성부재안착홈(315, 도 6 참조)에 안착되는 제4압축탄성부재(450)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 상기 제2틸팅블록(435)이 타측으로 이동하여 상기 제2틸팅플레이트(410)의 타측을 상부로 밀어낼 경우 상기 제4압축탄성부재(450)가 압축되며, 상기 제2틸팅블록(435)이 일측으로 이동하여 상기 제2틸팅플레이트(410)의 타측에 가해지는 외력을 제거할 경우 상기 제4압축탄성부재(450)가 복원되어 상기 제2틸팅플레이트(410)의 일측을 밀어내게 된다.At this time, the second tilting unit 400, the second elastic member seating groove 315 of the first tilting plate 310 to provide elasticity between the second tilting plate 410 and the first tilting unit 300. It may further comprise a fourth compression elastic member 450 which is seated on (see FIG. 6). Accordingly, when the second tilting block 435 moves to the other side and pushes the other side of the second tilting plate 410 upward, the fourth compression elastic member 450 is compressed and the second tilting block ( When the 435 moves to one side to remove the external force applied to the other side of the second tilting plate 410, the fourth compression elastic member 450 is restored to push out one side of the second tilting plate 410. do.

즉 상기 제4압축탄성부재(450)는 상기 제2틸팅플레이트(410)가 틸팅되는 과정에서 다소의 저항력 또는 복원력을 제공함에 따라 보다 안정적으로 이동되도록 보조할 수 있다.That is, the fourth compressive elastic member 450 may assist to move more stably as the second tilting plate 410 provides some resistance or restoring force during the tilting process.

도 11 및 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 로테이팅유닛(600) 및 회전유도유닛(500)의 구조를 나타낸 도면이다.11 and 12 are views illustrating the structures of the rotating unit 600 and the rotation guide unit 500 in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention.

도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이 상기 로테이팅유닛(600)은 상기 제2틸팅유닛(400)의 상부에 구비되며, z축을 회전축으로 하여 로테이팅 가능하게 구비된다.As illustrated in FIGS. 11 and 12, the rotating unit 600 is provided on the second tilting unit 400 and is rotatable with the z axis as the rotation axis.

구체적으로 상기 로테이팅유닛(600)은 상기 제2틸팅유닛(400)의 상부에 고정되는 원기둥 형태의 회전축모듈(620)과, 상기 회전축모듈(620)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 구비되는 로테이팅플레이트(610)를 포함한다. 이때 상기 로테이팅플레이트(610)에는 검사 대상을 안착시키는 검사플레이트가 상부에 연결될 수 있다.Specifically, the rotating unit 600 is a rotating shaft module 620 having a cylindrical shape fixed to the upper portion of the second tilting unit 400, and the rotating shaft module 620 is a rotating shaft provided rotatably Plate 610. At this time, the rotating plate 610 may be connected to the test plate for mounting the test object on the top.

그리고 상기 회전유도유닛(500)은, 상기 제2틸팅유닛(400)에 고정되는 고정모듈(510)과, 상기 로테이팅유닛(600)에 고정되되, 상기 고정모듈(510)에 대한 상대 각도를 가변 가능하게 형성됨에 따라 상기 로테이팅유닛(600)을 상기 제2틸팅유닛(400)으로부터 로테이팅시키는 로테이팅 유도모듈(520)을 포함한다.The rotation induction unit 500 is fixed to the second tilting unit 400 and the fixing module 510 and the rotating unit 600, but the relative angle to the fixed module 510 The rotating induction module 520 rotates the rotating unit 600 from the second tilting unit 400 as it is variably formed.

이때 상기 로테이팅 유도모듈(520)은 상기 고정모듈(510) 방향으로 개구된 삽입홈(522)을 포함하며, 상기 고정모듈(510)은 상기 삽입홈(522)에 삽입되도록 돌출된 삽입돌기(512)를 포함할 수 있다. 즉 상기 고정모듈(510의 역 방향의 'T'자 형상으로 형성되어 상기 삽입돌기(512)가 상기 삽입홈(522)에 삽입된 상태를 가진다.In this case, the rotating induction module 520 includes an insertion groove 522 opened in the direction of the fixing module 510, and the fixing module 510 has an insertion protrusion protruding to be inserted into the insertion groove 522. 512). That is, the fixing module 510 is formed in a 'T' shape in the reverse direction, so that the insertion protrusion 512 is inserted into the insertion groove 522.

그리고 상기 회전유도유닛(500)은, 상기 로테이팅 유도모듈(520)의 양측을 관통하여 구비되되, 상기 삽입홈(522)에 삽입되는 길이를 조절 가능하게 형성됨에 따라, 상기 삽입돌기(512)에 대한 상기 로테이팅 유도모듈(520)의 상대 각도를 가변시키는 한 쌍의 조절볼트(530)를 더 포함할 수 있다.In addition, the rotation induction unit 500 is provided to penetrate both sides of the rotating induction module 520, and is formed to be adjustable to be inserted into the insertion groove 522, the insertion protrusion 512 It may further include a pair of adjustment bolts 530 for varying the relative angle of the rotating induction module 520 relative to.

본 실시예에서 상기 조절볼트(530)는 볼트헤드(532)와, 상기 로테이팅 유도모듈(520)의 양측 중 어느 하나를 관통하는 볼트바디(532)와, 상기 볼트바디(532)의 끝단부에 형성되고 상기 삽입돌기(512)의 측부에 접촉되는 라운드부(535)를 포함한다. 이때 상기 볼트바디(532)는 상기 로테이팅 유도모듈(520)과 나사결합될 수 있다.In this embodiment, the adjustment bolt 530 is a bolt head 532, a bolt body 532 penetrating any one of both sides of the rotating induction module 520, and the end of the bolt body 532 And a round portion 535 formed in the contact portion on the side of the insertion protrusion 512. In this case, the bolt body 532 may be screwed with the rotating induction module 520.

즉 사용자가 한 쌍의 조절볼트(530) 중 어느 하나의 조절볼트(530)를 일 방향으로 회전시켜 삽입 깊이를 보다 깊게 조절하고, 다른 하나의 조절볼트(530)를 타 방향으로 회전시켜 삽입 깊이를 보다 얕게 조절할 경우, 상기 로테이팅 유도모듈(520)과 상기 고정모듈(510) 간의 상대 각도가 변하게 되며, 이에 따라 상기 로테이팅플레이트(610)가 상기 회전축모듈(620)을 축으로 하여 회전될 수 있다.That is, the user rotates one of the adjustment bolts 530 of the pair of adjustment bolts 530 in one direction to adjust the insertion depth more deeply, and rotate the other adjustment bolt 530 in the other direction to insert depth To adjust the shallower, the relative angle between the rotating induction module 520 and the fixed module 510 is changed, so that the rotating plate 610 is rotated about the axis of rotation module 620 Can be.

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제1록킹유닛(700)의 구조를 나타낸 도면이다.13 is a view showing the structure of the first locking unit 700 in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention.

도 13에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지는 제2틸팅플레이트(410)의 틸팅을 구속하기 위한 제1록킹유닛(700)을 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 13, the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention may further include a first locking unit 700 for restraining the tilting of the second tilting plate 410.

구체적으로 상기 제1록킹유닛(700)은 별도의 공구를 삽입하여 회전시킬 수 있도록 하는 공구삽입홈(712)이 형성된 제1록킹조절부재(710)와, 상기 제1록킹조절부재(710)의 회전에 따라 수평 방향으로 선형 이동하는 제1수평이동부재(720)와, 상기 제1수평이동부재(720)의 선형 이동에 따라 수직 방향으로 선형 이동하는 제1수직이동부재(730)를 포함한다.Specifically, the first locking unit 700 of the first locking adjustment member 710 and the first locking adjustment member 710 formed with a tool insertion groove 712 to insert and rotate a separate tool The first horizontal moving member 720 linearly moves in the horizontal direction as the rotation moves, and the first vertical moving member 730 moves linearly in the vertical direction according to the linear movement of the first horizontal moving member 720. .

이때 상기 제1수평이동부재(720) 및 상기 제1수직이동부재(730)는 상기 제1틸팅플레이트(310)의 내측에 각각 수평 방향 및 수직 방향으로 길게 구비된 형태를 가지며, 상기 제1수평이동부재(720)와 상기 제1수직이동부재(730)와의 접촉면은 서로 경사지게 형성된다.In this case, the first horizontal moving member 720 and the first vertical moving member 730 have a form provided in the horizontal direction and the vertical direction, respectively, inside the first tilting plate 310, the first horizontal The contact surfaces of the movable member 720 and the first vertical movable member 730 are formed to be inclined with each other.

즉 상기 제1수평이동부재(720)가 상기 제1틸팅플레이트(310)의 내측 방향으로 선형 이동하게 될 경우, 상기 제1수평이동부재(720)의 제1경사대향면(722)이 상기 제1수직이동부재(730)의 제2경사대향면(732)을 밀어내 상기 제1수직이동부재(730)가 상향되며, 이에 따라 상기 제1수직이동부재(730)의 상단부는 상기 제2틸팅플레이트(410)의 하부에 형성된 제1록킹홈(415)에 끼워질 수 있다. 이와 같은 경우 상기 제2틸팅플레이트(410)의 회전이 구속될 수 있다.That is, when the first horizontal moving member 720 is linearly moved inwardly of the first tilting plate 310, the first inclined surface 722 of the first horizontal moving member 720 is the first tilting surface. The first vertical movement member 730 is pushed upward by pushing the second inclined surface 732 of the first vertical movement member 730, so that the upper end of the first vertical movement member 730 is tilted. It may be fitted into the first locking groove 415 formed in the lower portion of the plate 410. In this case, rotation of the second tilting plate 410 may be restricted.

반대로 상기 제1수평이동부재(720)가 상기 제1틸팅플레이트(310)의 외측 방향으로 선형 이동하게 될 경우, 상기 제1수직이동부재(730)는 중력 방향으로 낙하하게 되므로 상기 제2틸팅플레이트(410)의 구속을 해제할 수 있다.On the contrary, when the first horizontal moving member 720 is linearly moved in the outward direction of the first tilting plate 310, the first vertical moving member 730 falls in the direction of gravity and thus the second tilting plate. The restraint of 410 may be released.

도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지에 있어서, 제2록킹유닛(800)의 구조를 나타낸 도면이다.14 is a view showing the structure of the second locking unit 800 in the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention.

도 14에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 다축 스테이지는 제1틸팅플레이트(310)의 틸팅을 구속하기 위한 제2록킹유닛(800)을 더 포함할 수 있다.As shown in FIG. 14, the inspection multi-axis stage according to an embodiment of the present invention may further include a second locking unit 800 for restraining the tilting of the first tilting plate 310.

구체적으로 상기 제2록킹유닛(800)은 별도의 공구를 삽입하여 회전시킬 수 있도록 하는 공구삽입홈(812)이 형성된 제2록킹조절부재(810)와, 상기 제2록킹조절부재(810)의 회전에 따라 수평 방향으로 선형 이동하는 제2수평이동부재(820)와, 상기 제2수평이동부재(820)의 선형 이동에 따라 구속 상태가 가변되는 제2수직이동부재(830)를 포함한다.In detail, the second locking unit 800 includes a second locking adjustment member 810 having a tool insertion groove 812 formed therein for inserting and rotating a separate tool, and the second locking adjustment member 810. The second horizontal moving member 820 linearly moves in the horizontal direction in accordance with the rotation, and the second vertical moving member 830 in which the restrained state is changed according to the linear movement of the second horizontal moving member 820.

상기 제2록킹유닛(800)이 전술한 제1록킹유닛(700, 도 13 참조)과 다른 점은, 상기 제2수직이동부재(830)가 상기 제2수평이동부재(820)보다 하부에 구비된다는 점이다.The second locking unit 800 is different from the above-described first locking unit 700 (see FIG. 13). The second vertical moving member 830 is provided below the second horizontal moving member 820. Is that.

이때 상기 제2수평이동부재(820) 및 상기 제2수직이동부재(830)는 상기 제1틸팅플레이트(310)의 내측에 각각 수평 방향 및 수직 방향으로 길게 구비된 형태를 가지며, 상기 제2수평이동부재(820)와 상기 제2수직이동부재(830)와의 접촉면은 서로 경사지게 형성된다.In this case, the second horizontal moving member 820 and the second vertical moving member 830 have a form provided in the horizontal direction and the vertical direction, respectively, inside the first tilting plate 310, the second horizontal The contact surfaces of the movable member 820 and the second vertical movable member 830 are formed to be inclined with each other.

즉 상기 제2수평이동부재(820)가 상기 제1틸팅플레이트(310)의 내측 방향으로 선형 이동하게 될 경우, 상기 제2수평이동부재(820)의 제3경사대향면(822)이 상기 제2이동플레이트(210)의 상부에 형성된 제2록킹홈(215)에 끼워진 상태의 제2수직이동부재(830)의 제4경사대향면(832)에 접촉되어 상기 제2수직이동부재(830)을 구속하게 된다.That is, when the second horizontal moving member 820 is linearly moved inwardly of the first tilting plate 310, the third inclined facing surface 822 of the second horizontal moving member 820 may be formed of the second horizontal moving member 820. The second vertical movement member 830 is brought into contact with the fourth inclined surface 832 of the second vertical movement member 830 in a state of being fitted into the second locking groove 215 formed on the second movement plate 210. Will be bound.

이와 같은 경우 상기 제1틸팅플레이트(310)의 회전이 구속될 수 있다.In this case, rotation of the first tilting plate 310 may be restricted.

반대로 상기 제2수평이동부재(820)가 상기 제1틸팅플레이트(310)의 외측 방향으로 선형 이동하게 될 경우 상기 제2수직이동부재(830)의 구속이 해제되므로, 상기 제1틸팅플레이트(310)의 기울기가 가변될 경우 상기 제2수직이동부재(830)는 상기 제1틸팅플레이트(310) 내에서 자유이동하게 된다.On the contrary, when the second horizontal moving member 820 is linearly moved outwardly of the first tilting plate 310, the restraint of the second vertical moving member 830 is released, and thus, the first tilting plate 310 is removed. When the inclination of) varies, the second vertical moving member 830 is free to move in the first tilting plate 310.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.As described above, a preferred embodiment according to the present invention has been described, and the fact that the present invention can be embodied in other specific forms in addition to the above-described embodiments without departing from the spirit or scope thereof has ordinary skill in the art. It is obvious to them. Therefore, the above-described embodiments should be regarded as illustrative rather than restrictive, and thus, the present invention is not limited to the above description and may be modified within the scope of the appended claims and their equivalents.

10: 베이스유닛
100: 제1선형이동유닛
110: 제1이동플레이트
120a: 제1가이드모듈
120b: 제1슬라이딩모듈
200: 제2선형이동유닛
210: 제2이동플레이트
220a: 제2가이드모듈
220b: 제2슬라이딩모듈
300: 제1틸팅유닛
310: 제1틸팅플레이트
330: 제1회전모듈
340: 제1높이가변모듈
400: 제2틸팅유닛
410: 제2틸팅플레이트
430: 제2회전모듈
440: 제2높이가변모듈
500: 회전유도유닛
510: 고정모듈
520: 로테이팅 유도모듈
600: 로테이팅유닛
610: 로테이팅플레이트
620: 회전축모듈
700: 제1록킹유닛
800: 제2록킹유닛10: base unit
100: first linear moving unit
110: first moving plate
120a: first guide module
120b: first sliding module
200: second linear moving unit
210: second moving plate
220a: second guide module
220b: second sliding module
300: first tilting unit
310: first tilting plate
330: first rotating module
340: first height variable module
400: second tilting unit
410: second tilting plate
430: second rotation module
440: second height variable module
500: rotating induction unit
510: fixed module
520: rotating induction module
600: rotating unit
610: rotating plate
620: rotating shaft module
700: first locking unit
800: second locking unit

Claims

A base unit;
A first linear moving unit provided on an upper portion of the base unit and configured to linearly move along an x axis;
A second linear moving unit provided on an upper portion of the first linear moving unit and configured to linearly move along a y axis perpendicular to the x axis;
A first tilting unit provided on an upper portion of the second linear moving unit, the first tilting unit being tiltable with the y axis as the rotation axis;
A second tilting unit provided above the first tilting unit, the second tilting unit being tiltable with the x-axis as the rotation axis; And
A rotating unit provided on an upper portion of the second tilting unit, the rotating unit being rotatable with a z-axis as a rotation axis;
Including;
The rotating unit,
A rotary shaft module fixed to an upper portion of the second tilting unit; And
A rotating plate rotatably provided with the rotating shaft module as the rotating shaft;
Inspection multi-axis stage comprising a.

The method of claim 1,
A fixing module fixed to the second tilting unit; And
A rotating induction module which is fixed to the rotating unit and rotates the rotating unit from the second tilting unit as the relative angle of the fixing module is variably formed;
Inspection multi-axis stage further comprises a rotation induction unit comprising a.

The method of claim 2,
The rotating induction module includes an insertion groove opened toward the fixing module, and the fixing module includes an insertion protrusion protruding to be inserted into the insertion groove.
The rotation induction unit,
A pair of adjustment bolts are provided to penetrate both sides of the rotating induction module, and are formed to adjust the length to be inserted into the insertion groove, thereby varying a relative angle of the rotating induction module with respect to the insertion protrusion. Multi-axial stage for inspection further.

The method of claim 1,
The first linear moving unit,
A first moving plate provided on the base unit;
A first guide module fixed to the base unit and extending in the x-axis direction; And
A first slide module fixed to the first moving plate and slidably formed along a length direction of the first guide module;
Inspection multi-axis stage comprising a.

The method of claim 4, wherein
The first linear moving unit,
A first reference block fixed to an upper portion of the base unit; And
A first movement control member extending rotatably to one side of the first reference block and partially screwed with the first movement plate to linearly move the first movement plate on an x-axis according to rotation;
Inspection multi-axis stage comprising a first moving aid module comprising a.

The method of claim 5,
The first moving aid module,
A first fixing member provided on an opposite side of the first adjusting member with respect to the first reference block and fixed to the first moving plate; And
A first compression elastic member providing elasticity between the first fixing member and the first reference block;
Multiaxial stage for inspection further comprising.

The method of claim 1,
The second linear moving unit,
A second moving plate provided on the first linear moving unit;
A second guide module fixed to the first linear moving unit and extending in the y-axis direction; And
A second slide module fixed to the second moving plate and slidably formed along a length direction of the second guide module;
Inspection multi-axis stage comprising a.

The method of claim 7, wherein
The second linear moving unit,
A second reference block fixed to an upper portion of the first linear moving unit; And
A second movement control member rotatably extending to one side of the second reference block and partially screwed with the second movement plate to linearly move the second movement plate on a y axis according to rotation;
Inspection multi-axis stage comprising a second moving aid module comprising a.

The method of claim 8,
The second moving aid module,
A second fixing member provided on an opposite side of the second moving control member with respect to the second reference block and fixed to the second moving plate; And
A second compression elastic member providing elasticity between the second fixing member and the second reference block;
Multiaxial stage for inspection further comprising.

The method of claim 1,
The first tilting unit,
A first tilting plate provided on the second linear moving unit, the first tilting plate being rotatable based on a rotation axis in the y-axis direction; And
A first rotating module for changing a tilt of the first tilting plate;
Inspection multi-axis stage comprising a.

The method of claim 10,
The first rotary module,
A first tilting block provided below the first tilting plate, the first tilting block having a first inclined surface on the other lower surface thereof; And
A first tilting control member extending rotatably to one side of the first tilting block, a part of which is screwed with the first tilting block to linearly move the first tilting block in the x-axis direction according to rotation;
Including;
The first tilting unit,
It is provided in a state protruding in the lower portion of the first inclined surface, the inspection for further comprising a first height variable module for varying the height of the other side of the first tilting block when the first tilting block is moved linearly in the x-axis direction Multi-Axis Stage.

The method of claim 11,
The first tilting unit,
And a third compressive elastic member providing elasticity between the first tilting plate and the second linear moving unit.

The method of claim 1,
The second tilting unit,
A second tilting plate provided on the first tilting unit, the second tilting plate being rotatable based on a rotation axis in the x-axis direction; And
A second rotating module for changing a tilt of the second tilting plate;
Inspection multi-axis stage comprising a.

The method of claim 13,
The second rotary module,
A second tilting block provided below the second tilting plate and having a second inclined surface formed on an upper surface of the other side thereof; And
A second tilting control member extending rotatably to one side of the second tilting block, a part of which is screwed with the second tilting block to linearly move the second tilting block in the y-axis direction according to rotation;
Including;
The second tilting unit,
It is provided in a state protruding on the top of the second inclined surface, when the second tilting block is moved linearly in the y-axis direction further comprises a second height variable module for varying the height by the second inclined surface stage.

The method of claim 14,
The second tilting unit,
And a fourth compressive elastic member providing elasticity between the second tilting plate and the first tilting unit.

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