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KR102056908B1 - Non-contacted axial resolution measuring apparatus of objective lens for confocal endo-microscope - Google Patents

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KR102056908B1
KR102056908B1 KR1020190065391A KR20190065391A KR102056908B1 KR 102056908 B1 KR102056908 B1 KR 102056908B1 KR 1020190065391 A KR1020190065391 A KR 1020190065391A KR 20190065391 A KR20190065391 A KR 20190065391A KR 102056908 B1 KR102056908 B1 KR 102056908B1
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KR
South Korea
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objective lens
light
lens
vertical resolution
lens group
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Active
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KR1020190065391A
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Korean (ko)
Inventor
이규항
서현진
채진석
Original Assignee
제네랄옵틱스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Abstract

The present invention relates to a non-contact vertical resolution measuring device of an object lens for a confocal endoscopic microscope capable of measuring a vertical resolution of an ultra-small object lens used in a medical endoscopic microscope without damage in a non-contact manner, and evaluating a performance of the object lens based on thereof. The vertical resolution measuring device of the present invention comprises: a fixed jig for fixing the object lens to be tested and a relay lens for relaying a focus of the object lens; a mirror for reflecting an incident light while being finely moved in a Z-axis direction at one end of the fixing jig; a sensor for detecting an amount of light changed according to a change of position of the mirror; and a control IC for measuring the vertical resolution of the object lens on the basis of the light amount change data of the sensor.

Description

공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능 측정장치{Non-contacted axial resolution measuring apparatus of objective lens for confocal endo-microscope}Non-contacted axial resolution measuring apparatus of objective lens for confocal endo-microscope

본 발명은 공초점 내시 현미경용 대물렌즈에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인체 내에 삽입하는 의료용 프로브에 장착되는 공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 수직 분해능을 측정하여 그 대물렌즈의 성능을 비접촉식으로 손상없이 평가할 수 있는 대물렌즈의 수직 분해능 측정장치에 관한 것이다. The present invention relates to an objective lens for confocal endoscopy, and more particularly, to measure the vertical resolution of a confocal endoscope microscope lens mounted on a medical probe inserted into a human body, without contactlessly damaging the performance of the objective lens. An apparatus for measuring vertical resolution of an objective lens that can be evaluated.

공초점 현미경은 깊이방향의 분해능을 가지는 현미경으로써, 세포구조 연구 외에 반도체 부품 재료의 3차원 미세구조를 관측하는데 이용되고 있고, 내시 현미경은 고분해능 초소형 대물렌즈를 이용하여 인체 내에 삽입 가능한 초소형 현미경으로써 세포단위의 고분해능 영상을 획득하여 질병을 조기에 진단할 수 있는 현미경을 말한다. 그리고 공초점 내시 현미경은 상기한 공초점 기능과 내시 현미경의 기능을 통합함으로써, 3차원 영상획득이 가능한 고분해능 내시 현미경을 의미한다. Confocal microscope is a microscope with depth resolution. It is used to observe the three-dimensional microstructure of semiconductor component materials in addition to cell structure research. It refers to a microscope that can acquire a high resolution image of the unit and diagnose the disease early. The confocal endoscope microscope refers to a high resolution endoscope microscope capable of acquiring three-dimensional images by integrating the confocal function and the function of the endoscope microscope.

상기한 대물렌즈(10)는 도 1에 도시한 바와 같이 렌즈 하우징에 조립되어 구성되는데, 의료용 대물렌즈는 내시경 전방에 장착되어 식도, 대장 등의 장기에 형성되는 용종 등을 관찰해야 하기 때문에 그 수직 분해능은 굉장히 중요한 요소라 할 것이다. 즉 대물렌즈의 성능으로 이러한 의료용 내시경의 성능이 결정된다고 할 수 있다. The objective lens 10 is assembled to the lens housing as shown in Figure 1, the medical objective lens is mounted in front of the endoscope to observe the polyp formed in the organs such as esophagus, large intestine, etc. Resolution is a very important factor. In other words, it can be said that the performance of the medical endoscope is determined by the performance of the objective lens.

따라서 최초 설계 성능을 만족하는 대물렌즈를 내시경과 같은 의료용 프로브에 장착하는 것이 매우 중요하다. 대물렌즈는 매우 작은 크기이기 때문에 의료용 프로브에 결합 및 분리하는 작업이 매우 어렵기 때문이다. 의료용 프로브에 결합한 대물렌즈가 성능을 만족하지 못하여 수리를 위해 분리하고자 할 경우 매우 작은 사이즈로 인하여 분실 이유가 있다.Therefore, it is very important to mount an objective lens that satisfies the initial design performance to a medical probe such as an endoscope. Because the objective lens is very small, it is very difficult to attach and detach the medical probe. If the objective lens coupled to the medical probe does not meet the performance and wants to be removed for repair, there is a reason for loss due to the very small size.

이와 같은 이유로, 실제 의료용 프로브 등에 장착되는 대물렌즈의 성능평가가 미리 이루어져야 한다. For this reason, performance evaluation of an objective lens mounted on an actual medical probe should be made in advance.

그러나 아직까지 이러한 초소형 대물렌즈의 성능을 평가하는 장치나 방법이 전혀 없었다. 대물렌즈의 성능평가는 수직 분해능을 측정하는 것에 이루어질 수 있고, 따라서 의료용 대물렌즈의 초점에서 미러(mirror)를 전후 방향으로 이동하면서 측정해야 한다. 하지만, 대물렌즈의 수직 분해능 측정시 작동거리(working distance)가 대략 수십 ~ 수 백㎛로 매우 짧아 미러가 이동하면서 대물렌즈와 접촉함으로써 그 대물렌즈에 손상을 가할 수도 있다. 손상이 가해질 경우 매우 작은 사이즈의 의료용 대물렌즈를 수리하는 것은 매우 어렵다. However, there have been no devices or methods for evaluating the performance of such miniature objective lenses. The performance evaluation of the objective lens can be made in measuring the vertical resolution, and therefore should be measured while moving the mirror in the front-back direction at the focus of the medical objective lens. However, when the vertical resolution of the objective lens is measured, the working distance is very short, about tens to hundreds of micrometers, which may damage the objective lens by contacting the objective lens while the mirror moves. It is very difficult to repair a very small medical objective lens in case of damage.

또한, 대물렌즈의 제조업체 입장에서는 이처럼 대물렌즈에 대한 성능 평가가 어려웠기 때문에, 의료용 프로브나 내시 현미경의 전체 구성에서 다른 부품이나 구성의 불량으로 인해 정상 동작하지 않더라도, 대물렌즈가 의도한 대로 만족한 성능을 제공하고 있는가에 대한 주장이 어려웠던 것이 사실이다. In addition, since the performance evaluation of the objective lens was difficult for the manufacturer of the objective lens, the objective lens was satisfactorily satisfied as intended even though the entire component of the medical probe or the endoscope microscope did not operate normally due to a defect in other components or components. It was true that the argument for providing performance was difficult.

그러기 때문에 의료용 공초점 내시 현미경에 사용되는 대물렌즈에 대한 수직 분해능을 측정하고 이를 평가하는 방법에 대한 필요성이 꾸준하게 제기되었던 것이다. Therefore, the need for a method of measuring and evaluating the vertical resolution of an objective lens used in a medical confocal endoscope has been steadily raised.

따라서 본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 의료용 내시 현미경에 사용되는 초소형 대물렌즈의 수직 분해능을 비접촉식으로 손상 없이 측정하고 이를 근거로 대물렌즈의 성능을 평가할 수 있는 내시 현미경용 대물렌즈의 수직 분해능 측정장치를 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems, and to measure the vertical resolution of the ultra-compact objective lens used in the medical endoscope without contact damage without damage and to evaluate the performance of the objective lens based on this objective lens It is to provide a vertical resolution measuring device of.

그리고 이러한 목적은 대물렌즈가 목적한 성능을 만족하는지를 미리 테스트받고 평가받은 후에 내시 현미경에 대물렌즈를 장착하게 함으로써, 실질적으로 대물렌즈 제조업체에 대한 적격성 평가를 효과적으로 하기 위한 것이라 할 수 있을 것이다. In addition, this purpose is to effectively test the objective lens manufacturer by mounting the objective lens in the endoscope after being tested and evaluated in advance whether the objective lens satisfies the desired performance.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 광원; 상기 광원에서 발생하는 입사광의 P파만 투과하는 편광 빔 분할기(PBS); 상기 투과된 P파 입사광을 고정 지그에 설치된 대물렌즈로 입사하는 제2 렌즈군; 상기 대물렌즈의 분해능 측정을 위해 액츄에이터에 의해 z축 방향으로 이동하면서 상기 제2 렌즈군을 통과한 P파 입사광을 반사하는 미러; 상기 대물렌즈와 상기 미러 사이에 위치하여 상기 대물렌즈의 초점 위치를 릴레이 시키는 제4 렌즈군; 상기 미러에서 반사된 P파 반사광을 S파 반사광으로 변환하고 상기 편광 빔 분할기로 전달하는 파장 플레이트; 상기 편광 빔 분할기의 분할면에 의해 소정 각도로 반사되는 S파 반사광을 포커싱하는 제3 렌즈군; 상기 제3 렌즈군에 의해 포커싱되는 S파 반사광이 통과하며 상기 대물렌즈의 수직 분해능 측정을 위해 결정된 특정한 크기를 가지는 핀 홀; 상기 미러의 위치 변화에 따라 상기 핀 홀을 통해 전달되는 S파 반사광의 광량 변화를 감지하는 센서; 및 상기 센서가 감지한 광량 변화데이터를 기초로 상기 대물렌즈의 수직 분해능을 측정하는 제어 IC를 포함하는 공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능 측정장치를 제공한다. The present invention for achieving the above object is a light source; A polarization beam splitter (PBS) for transmitting only P waves of incident light generated from the light source; A second lens group for entering the transmitted P-wave incident light into an objective lens installed in a fixed jig; A mirror reflecting the P-wave incident light passing through the second lens group while moving in the z-axis direction by an actuator to measure the resolution of the objective lens; A fourth lens group positioned between the objective lens and the mirror to relay a focus position of the objective lens; A wavelength plate converting the P-wave reflected light reflected by the mirror into the S-wave reflected light and transferring it to the polarization beam splitter; A third lens group for focusing the S-wave reflected light reflected at a predetermined angle by the dividing surface of the polarizing beam splitter; A pin hole passing through the S-wave reflected light focused by the third lens group and having a specific size determined for measuring vertical resolution of the objective lens; A sensor for detecting a change in the amount of light of the S-wave reflected light transmitted through the pin hole according to a change in position of the mirror; And a control IC measuring a vertical resolution of the objective lens based on the light amount change data sensed by the sensor.

상기 광원에서 발생하는 입사광을 평행하게 변환하는 제1 렌즈군이 더 포함될 수 있다.A first lens group for converting the incident light generated by the light source in parallel may be further included.

상기 제1 렌즈군과 상기 편광 빔 분할기 사이에는 상기 입사광의 편광을 만드는 편광자(polarizer)가 더 포함될 수 있다.A polarizer for polarizing the incident light may be further included between the first lens group and the polarization beam splitter.

상기 편광자의 전단 또는 후단에는 상기 입사광의 광량을 조절하는 구경 조리개 또는 ND 필터(neutral density filter)가 더 위치할 수 있다.An aperture diaphragm or a ND filter (neutral density filter) for adjusting the light amount of the incident light may be further located at the front or rear end of the polarizer.

상기 제1 렌즈군은 평행광을 위한 하나 이상의 렌즈들이 조합된 콜리메이터 렌즈, 상기 제2 렌즈군은 비구면 렌즈, 상기 제3 렌즈군은 포커싱을 위하여 하나 이상 조합된 렌즈를 포함한다. 여기서 상기 제2 렌즈군은 대물렌즈에 적합한 버전스(Vergence)를 맞추는 하나 이상의 렌즈들의 조합일 수 있다. The first lens group includes a collimator lens in which one or more lenses are combined for parallel light, the second lens group includes an aspherical lens, and the third lens group includes one or more combined lenses for focusing. Here, the second lens group may be a combination of one or more lenses matching a vergence suitable for the objective lens.

상기 미러는 상기 제4 렌즈군의 일단과 간격 조절되면서 이동한다.The mirror moves while being spaced apart from one end of the fourth lens group.

이상과 같은 본 발명의 공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능 측정장치에 따르면, 의료용 내시 현미경에 사용되는 초소형 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능을 측정하는 장치를 제공함으로써, 대물렌즈가 목적하는 성능을 만족하는가를 그 대물렌즈의 손상 없이 미리 테스트하고 평가한 후에 의료용 프로브 등과 같은 제품에 장착할 수 있다.According to the non-contact vertical resolution measuring device of the confocal endoscope microscope of the present invention as described above, by providing a device for measuring the non-contact vertical resolution of the microscopic objective lens used in the medical endoscope microscope, It can be installed in products such as medical probes after being tested and evaluated in advance without damaging the objective lens.

따라서 의료용 프로브에 장착 전에 대물렌즈에 대한 성능 평가가 가능한 효과가 있다.Therefore, it is possible to evaluate the performance of the objective lens before mounting on the medical probe.

그리고 성능 평가가 완료된 대물렌즈를 의료용 프로브에 장착하기 때문에, 의료용 프로브의 다른 부품으로 인한 오작동이나 불량이 발생하더라도, 대물렌즈 제작업체만의 피해를 최소화할 수 있는 기대도 있다.In addition, since the objective lens, which has been evaluated for performance, is mounted on the medical probe, even if malfunctions or defects are caused by other components of the medical probe, there is also a possibility of minimizing damages only to the objective lens manufacturer.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급된 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

도 1은 본 발명을 설명하기 위한 의료용 초소형 대물렌즈의 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능 측정장치의 전체 구성도
도 3은 도 2의 비접촉식 수직 분해능 측정장치의 실제 구성도
도 4는 일반 공초점 현미경의 수직 분해능 측정결과를 보인 예시 그래프
1 is a perspective view of a medical miniature objective lens for explaining the present invention
2 is an overall configuration diagram of a non-contact vertical resolution measuring apparatus of the objective lens for confocal endoscopy according to a preferred embodiment of the present invention
3 is an actual configuration of the non-contact vertical resolution measuring apparatus of FIG.
4 is an exemplary graph showing a vertical resolution measurement result of a general confocal microscope

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시 예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시 예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시 예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시 예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.DETAILED DESCRIPTION The following detailed description of the invention refers to the accompanying drawings that show, by way of illustration, specific embodiments in which the invention may be practiced. These embodiments are described in sufficient detail to enable those skilled in the art to practice the invention. It is to be understood that the various embodiments of the invention are different, but need not be mutually exclusive. For example, certain shapes, structures, and characteristics described herein may be embodied in other embodiments without departing from the spirit and scope of the invention with respect to one embodiment. In addition, it is to be understood that the location or arrangement of individual components within each disclosed embodiment may be changed without departing from the spirit and scope of the invention. The following detailed description, therefore, is not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention, if properly described, is defined only by the appended claims, along with the full range of equivalents to which such claims are entitled. Like reference numerals in the drawings refer to the same or similar functions throughout the several aspects.

본 발명은 의료용 내시 현미경에 사용되는 초소형 대물렌즈의 수직 분해능을 측정하고 성능을 평가할 수 있는 내시 현미경용 대물렌즈의 수직 분해능 측정장치를 제안하는 것이고, 이하에서는 도면에 도시한 실시 예에 기초하면서 본 발명에 대하여 더욱 상세하게 설명하기로 한다. The present invention proposes an apparatus for measuring vertical resolution of an objective lens for an endoscope microscope that can measure the vertical resolution of an ultra-small objective lens used in a medical endoscope microscope and evaluate the performance thereof. The invention will be described in more detail.

수직 분해능 측정장치(100)는, 광원의 이동경로를 따라 다양한 렌즈군 및 필터, 미러가 배치되고 수직 분해능을 측정하는 센서는 광의 이동경로에서 수직방향으로 배치되어 구성된다. 아울러 본 발명을 설명함에 광원에서 미러까지 전달되는 광은 입사광으로 칭하고, 미러에서 반사되어 센서로 전달되는 광은 반사광으로 칭하여 설명하기로 한다. In the vertical resolution measuring apparatus 100, various lens groups, filters, and mirrors are disposed along a moving path of a light source, and a sensor measuring vertical resolution is disposed in a vertical direction in a moving path of light. In addition, in the description of the present invention, the light transmitted from the light source to the mirror will be referred to as incident light, and the light reflected from the mirror will be referred to as reflected light.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 수직 분해능 측정장치(100)는 광원(101)과, 콜리메이터 렌즈(collimator lens)(110), 편광자(polarizer)(120), 편광 빔 분할기(PBS: polarization beam spliter)(130), 파장플레이트(waveplate)(140), 비구면 렌즈(aspheric lens)(150), 테스트용 대물렌즈(160) 및 대물렌즈가 장착된 고정 지그(jig)(300), 릴레이 옵틱(relay optics) 모듈(200), 미러(170)가 배치되고, 상기 편광 빔 분할기(130)에서 수직방향으로 포커싱 렌즈(180) 및 핀홀(190), 센서(400)가 순서대로 배치되는 구성이다. 아울러 센서(400)가 측정된 정보를 기초로 하여 대물렌즈(160)의 수직 분해능을 측정하는 제어 IC(500)도 포함된다. 2 and 3, the vertical resolution measuring apparatus 100 includes a light source 101, a collimator lens 110, a polarizer 120, and a polarization beam splitter (PBS). beam spliter 130, waveplate 140, aspheric lens 150, test objective 160 and fixed jig 300 equipped with objective lens, relay optics (relay optics) module 200, the mirror 170 is disposed, the focusing lens 180, the pinhole 190, the sensor 400 in the vertical direction in the polarization beam splitter 130 is arranged in order . Also included is a control IC 500 that measures the vertical resolution of the objective lens 160 based on the information measured by the sensor 400.

그리고 도면에서 광원(101)에서 발생하는 광은 좌측에서 우측으로 전달되며, 좌표계는 +Z 축 방향이다. In the drawing, light generated from the light source 101 is transmitted from left to right, and the coordinate system is in the + Z axis direction.

수직 분해능 측정장치(100)의 구성을 각각 살펴본다. 광원(101)은 광섬유 레이저(fiber laser)나 레이저, LED 등이 사용될 수 있다. 본 실시 예에서는 광섬유 레이저(fiber laser)가 사용되는 것으로 예를 든다. The configuration of the vertical resolution measuring apparatus 100 will be described. The light source 101 may be a fiber laser, a laser, an LED, or the like. In this embodiment, an optical fiber laser is used.

콜리메이터 렌즈(collimator lens)(110)는 광섬유 레이저(101)가 조사하는 입사광을 평행하게 변환한다. 즉, 콜리메이터 렌즈(110)는 입사광을 편광 빔 분할기(130)에 평행하게 입사되게 하도록 다수의 렌즈군을 포함하여 구성된다. 실시 예에는 이를 제1 렌즈군으로 칭한다. 그리고 상기 광원(101)의 종류에 따라 이러한 제1 렌즈군에 포함되는 렌즈 및 형태들은 다양할 수 있을 것이다. The collimator lens 110 converts the incident light irradiated by the fiber laser 101 in parallel. That is, the collimator lens 110 is configured to include a plurality of lens groups to allow incident light to be incident in parallel to the polarization beam splitter 130. In the embodiment, this is called a first lens group. The lenses and shapes included in the first lens group may vary according to the type of the light source 101.

여기서 본 발명은 이러한 제1 렌즈군이 반드시 설치될 필요는 없다. 즉 실시 예는 광섬유 레이저를 사용하기 때문에 평행하게 변환하기 위한 콜리메이터 렌즈가 필요하지만 다른 광원을 사용함으로써 입사광이 평행광 형태로 입사된다면 변환할 필요가 없기 때문이다. In the present invention, such a first lens group does not necessarily need to be installed. In other words, since the embodiment uses a fiber laser, a collimator lens for converting in parallel is required, but it is not necessary to convert the incident light in the form of parallel light by using another light source.

콜리메이터 렌즈(110)로부터 평행 형태의 입사광을 입사받는 편광자(120)(polarizer)는 입사광의 편광을 생성한다. 여기서, 편광자 대신에 입사광의 광량을 감소시키는 ND 필터(120)를 사용해도 된다. 또한, ND 필터(120)와 편광자를 함께 사용하는 것도 가능하다. 두 개의 구성이 함께 사용될 경우 위치는 상관없다. 즉 편광자(120)의 전방이나 후방에 ND 필터를 배치하는 것이 가능하다. The polarizer 120 that receives incident light in parallel from the collimator lens 110 generates polarized light of the incident light. In place of the polarizer, the ND filter 120 which reduces the amount of incident light may be used. In addition, the ND filter 120 and the polarizer may be used together. The location does not matter if the two configurations are used together. That is, it is possible to arrange the ND filter in front of or behind the polarizer 120.

편광 빔 분할기(130)는 편광 빔 분할면(132)을 가지며, 입사광의 편광성분에 따라서 광원을 분할하는 광분할 소자이다. 실시 예에 따르면 편광 빔 분할기(130)는 P파(Primary wave)만 Z축으로 통과시킨다. 즉 편광 빔 분할기(130)로 입사된 입사광은 무편광 상태이나, 이 중 P파만 투과시키는 것이다. P파만 투과된 광을 P파 입사광이라 한다.The polarizing beam splitter 130 has a polarizing beam splitting surface 132 and is a light splitting element that splits a light source according to the polarization component of incident light. According to the exemplary embodiment, the polarization beam splitter 130 passes only P-primary waves along the Z axis. That is, the incident light incident on the polarization beam splitter 130 is a non-polarized state, but transmits only P waves. Light transmitted through only P waves is called P-wave incident light.

파장플레이트(waveplate)(140)는 1/4λ 파장플레이트를 사용하며 P파 입사광을 회전 편광시켜서 좌원 편광을 형성하는 역할을 한다. 즉 광원이 입사될 때(즉 입사광)와 다시 반사될 때(즉 반사광)의 편광이 전환되게 하는 위상 지연자로서의 기능을 한다. 따라서 아래에서 설명하겠지만 반사광은 이 파장플레이트(140)에서 S파로 전환되고, S파이기 때문에 편광 빔 분할기(130)를 투과하지 못하고 분할면(132)에서 센서(400)방향으로 반사될 수 있는 것이다.The wavelength plate 140 uses a 1/4 lambda wavelength plate and serves to form left circle polarization by rotationally polarizing P-wave incident light. That is, it functions as a phase retarder that causes the polarization of the light source to be incident (i.e., incident light) and reflected again (i.e., reflected light) to be switched. Therefore, as will be described below, the reflected light is converted into the S wave at the wavelength plate 140, and because of the S py, the reflected light may not be transmitted through the polarization beam splitter 130 and may be reflected from the dividing surface 132 toward the sensor 400. .

비구면 렌즈(aspheric lens)(150)는 대물렌즈에 적합한 광을 만들어 주는 제2 렌즈군이다. Aspheric lens 150 is a second lens group for producing light suitable for the objective lens.

고정 지그(300)는 테스트용 대물렌즈(160)를 고정하는 기구이다. 고정 지그(300)는 대물렌즈(160)의 수직 분해능을 측정하는 동안 그 대물렌즈(160)가 고정된 상태를 가져야 하고 이에 맞게 제작된다. 실시 예에서 고정 지그(300)는 소정 길이의 고정판(301)과, P파 입사광이 통과하는 관통공(302), 그리고 고정판(301)의 일면에서 관통공(302)을 둘러싸는 형태로 돌출 형성되어 대물렌즈(160)를 실질적으로 고정하는 홀더부(303)를 포함하여 구성된다. 홀더부(303)는 대물렌즈를 손상시키지 않으면서 고정할 수 있는 어떠한 구성으로 제작되어도 상관없다.The fixing jig 300 is a mechanism for fixing the test objective lens 160. The fixing jig 300 should have a fixed state of the objective lens 160 while measuring the vertical resolution of the objective lens 160 and manufactured accordingly. In the embodiment, the fixing jig 300 is formed to protrude in a form surrounding the fixing plate 301 of a predetermined length, the through hole 302 through which P-wave incident light passes, and the through hole 302 on one surface of the fixing plate 301. And a holder part 303 which substantially fixes the objective lens 160. The holder portion 303 may be manufactured in any configuration that can be fixed without damaging the objective lens.

본 실시 예에 따르면 상기 홀더부(303)는 소정 길이를 가진다. 바람직하게 대물렌즈(160)가 고정된 상태일 때 가장 외측(즉 고정판과 반대편)에 있는 렌즈가 릴레이 옵틱 모듈(200)이나 미러(170)와 직접 접촉되는 것을 방지하도록 대물렌즈(160) 길이와 같거나 약간 길게 하는 것이 좋을 것이다. According to the present embodiment, the holder part 303 has a predetermined length. Preferably, when the objective lens 160 is fixed, the length of the objective lens 160 to prevent the lens on the outermost side (ie, opposite the fixing plate) from directly contacting the relay optical module 200 or the mirror 170. It may be better to stay the same or slightly longer.

중계 옵틱 모듈(relay optics)(200)은 대물렌즈(160)의 초첨 위치를 릴레이 시키도록 하나 이상의 조합된 렌즈를 포함하며, 제4 렌즈군이라 칭하기로 한다. 중계 옵틱 모듈(200)은 공초점 내시 현미경용 대물렌즈와 같이 작업거리가 수십 ~ 수백 ㎛로 매우 짧은 경우, 손상 없이 수직분해능을 측정하기 위하여 반드시 필요하며, 작업거리가 긴 일반적인 공초점 현미경용 대물렌즈를 측정하는데 사용될 필요는 없다. The relay optics module 200 includes one or more combined lenses to relay the focusing position of the objective lens 160 and will be referred to as a fourth lens group. The relay optical module 200 is necessary for measuring vertical resolution without damage when the working distance is very short, such as an objective lens for a confocal endoscopy microscope, and has a long working distance. It does not need to be used to measure the lens.

미러(mirror)(170)는 대물렌즈(160)의 수직 분해능 측정을 위하여 좌우방향(즉, Z축 위치 변화)으로 이동되게 구성된다. 이러한 미러(170)는 도 3에 도시한 바와 같이 암실(171) 내부에 설치된다. 그리고 도면에는 미도시하고 있지만 미러(170)를 이동시키기 위한 액츄에이터(Actuator)가 구성되어야 한다. 이러한 액츄에이터는 후술하는 제어 IC(500)의 제어에 따라 구동된다.The mirror 170 is configured to be moved in the left and right directions (ie, the Z-axis position change) for measuring the vertical resolution of the objective lens 160. This mirror 170 is installed in the dark room 171 as shown in FIG. Although not shown in the drawing, an actuator for moving the mirror 170 should be configured. This actuator is driven under the control of the control IC 500 described later.

포커싱 렌즈(180)는 미러(170)에서 반사되는 S파 반사광의 초점이 핀홀(190)에 맺히도록 포커싱 하는 역할을 한다. 따라서 다양한 포커싱을 위해 둘 이상의 렌즈가 사용되며 제3 렌즈군이라 칭하기로 한다. 상기 포커싱을 위하여 포커싱 렌즈(180)는 도면에서 수직방향으로 이동하며. 이때 미러(170)에서 반사되는 P파 반사광은 파장플레이트(140)에서 S파 반사광으로 전환되며, S파 반사광이 편광 빔 분할기(130)의 분할면(132)에서 반사되어 포커싱 렌즈(180)로 안내된다. The focusing lens 180 focuses the focus of the S-wave reflected light reflected from the mirror 170 to the pinhole 190. Therefore, two or more lenses are used for various focusing and will be referred to as a third lens group. The focusing lens 180 moves in the vertical direction in the drawing for the focusing. In this case, the P-wave reflected light reflected from the mirror 170 is converted into the S-wave reflected light from the wavelength plate 140, and the S-wave reflected light is reflected from the dividing surface 132 of the polarization beam splitter 130 to the focusing lens 180. You are guided.

핀홀(190)은 S파 반사광이 통과하는 구멍(hole)일 수 있고, 대물렌즈(160)의 수직 분해능 측정을 위해 결정된 특정한 크기를 가질 수 있다. 예컨대, 핀홀(190)의 크기는 핀홀(190)의 지름의 길이일 수 있다. 이러한 핀홀(190)은 센서(400)의 전면에 배치된다.The pinhole 190 may be a hole through which the S-wave reflected light passes, and may have a specific size determined for measuring the vertical resolution of the objective lens 160. For example, the size of the pinhole 190 may be a length of the diameter of the pinhole 190. The pinhole 190 is disposed in front of the sensor 400.

센서(400)는 미러(170)의 움직임에 따라 미러(170)에서 반사되어 전달되어진 S파 반사광을 이용하여 수직 분해능이 측정될 수 있도록 그 광량의 변화 정도를 감지한다. 센서(400)가 검출하는 광량은 핀홀(190)의 크기에 기반하여 결정될 수 있다. The sensor 400 detects the degree of change in the amount of light so that the vertical resolution can be measured using the S-wave reflected light reflected and transmitted from the mirror 170 as the mirror 170 moves. The amount of light detected by the sensor 400 may be determined based on the size of the pinhole 190.

제어 IC(500)는 센서(400)가 감지한 정보를 이용하여 대물렌즈(160)의 수직 분해능을 측정한다. The control IC 500 measures the vertical resolution of the objective lens 160 using the information detected by the sensor 400.

다음에는 이와 같은 구성의 수직 분해능 측정장치(100)를 이용하여 대물렌즈(160)의 수직 분해능을 측정하는 동작을 설명한다. 수직 분해능 측정을 위해 먼저 테스트를 할 대물렌즈(160)를 고정지그(300)의 홀더부(303)에 고정한다. Next, an operation of measuring the vertical resolution of the objective lens 160 using the vertical resolution measuring apparatus 100 having such a configuration will be described. In order to measure the vertical resolution, the objective lens 160 to be tested is first fixed to the holder 303 of the fixing jig 300.

그 상태에서 미러(170)를 Z축 방향으로 이동시키는 동안, 광원(101)에서 레이저 광이 발생하면, 레이저 입사광은 콜리메이터 렌즈(제1 렌즈군, 110)로 입사된다.If the laser light is generated from the light source 101 while moving the mirror 170 in the Z-axis direction in this state, the laser incident light is incident on the collimator lens (first lens group 110).

콜리메이터 렌즈(110)는 광원(101)에서 발생하는 입사광을 평행하게 변경하여 편광자(120)로 전달한다. 그러면 편광자(120)는 광원의 편광을 만들어주게 되는데, 이때 편광자(120)의 전단 또는 후단에는 ND 필터가 위치할 수 있다. 따라서 ND 필터에 의해 광원의 광량은 어느 정도 감소시켜 조절할 수 있다. 광량을 조절하는 이유는 센서(400) 측으로 많은 광량이 인가될 경우 센서(400)가 손상되어 제 기능을 못할 수도 있기 때문이다. 이때 ND 필터는 광량을 조절하는 역할을 하기 때문에, 구경 조리개 등이 구비되어 광량을 조절할 수도 있을 것이다. The collimator lens 110 changes the incident light generated by the light source 101 in parallel and transmits the light to the polarizer 120. Then, the polarizer 120 creates the polarization of the light source. In this case, the ND filter may be positioned at the front end or the rear end of the polarizer 120. Therefore, the amount of light of the light source can be reduced to some extent by the ND filter. The reason for adjusting the amount of light is that if a large amount of light is applied to the sensor 400, the sensor 400 may be damaged and may not function properly. At this time, since the ND filter serves to adjust the amount of light, the aperture stop may be provided to adjust the amount of light.

다만, 본 실시 예에 따르면 이러한 편광자(120)나 ND 필터, 조리개 등의 구성은 반드시 필요하지 않다. 그러기 때문에 콜리메이터 렌즈(110)에서 나오는 입사광은 바로 편광 빔 분할기(130)로 전달될 수 있다.However, according to the present exemplary embodiment, the configuration of the polarizer 120, the ND filter, and the aperture is not necessarily required. Therefore, incident light emitted from the collimator lens 110 may be directly transmitted to the polarization beam splitter 130.

입사광은 편광 빔 분할기(130)에서 P파만 투과되어 파장플레이트(140)에 전달되고, 파장플레이트(140)에서 좌원편광이 형성되어 비구면 렌즈(제2 렌즈군, 150)로 전달된다. 이에 비구면 렌즈(150)는 대물렌즈(160)에 적합한 입사광을 만들어서 테스트용 대물렌즈(160)에 안내하고, 대물렌즈(160)를 통과한 입사광은 중계 옵틱 모듈(제4 렌즈군, 200)을 통과하여 미러(170)로 전달된다.The incident light is transmitted through the polarization beam splitter 130 to transmit the P-wave only to the wavelength plate 140, and the left circularly polarized light is formed on the wavelength plate 140 and transmitted to the aspherical lens (second lens group 150). The aspherical lens 150 generates incident light suitable for the objective lens 160 and guides the objective lens 160 to the test objective lens 160. The incident light passing through the objective lens 160 passes through the relay optical module (fourth lens group 200). Passed to and transmitted to the mirror 170.

미러(170)는 액츄에이터에 의해 Z축 방향으로 위치가 변화되고 있기 때문에, 미러(170)에서 반사되는 반사광은 센서(400)로 전달될 때 미러(170)의 위치 변화에 따라 광량이 변하게 될 것이다. 여기서 반사광은 입사광의 전달경로와는 반대방향으로 중계 옵틱모듈(200), 대물렌즈(160), 비구면 렌즈(150)를 거쳐 파장플레이트(140)에 전달되며, 파장플레이트(140)에서 P파는 S파로 전환하기 때문에 편광 빔 분할기(130)에서 S파는 분할면(132)의 각도에 대응하여 반사된다. 그리고 반사된 S파 반사광은 포커싱 렌즈(제3 렌즈군, 180) 및 핀홀(190)을 통해 센서(400)에 입사된다.Since the mirror 170 is changed in position in the Z-axis direction by the actuator, the reflected light reflected from the mirror 170 will change according to the position change of the mirror 170 when it is transmitted to the sensor 400. . The reflected light is transmitted to the wavelength plate 140 through the relay optical module 200, the objective lens 160, the aspherical lens 150 in a direction opposite to the transmission path of the incident light, and the P wave at the wavelength plate 140 is S Since the wave is converted into a wave, the S wave in the polarization beam splitter 130 is reflected corresponding to the angle of the dividing surface 132. The reflected S-wave reflected light is incident on the sensor 400 through the focusing lens (third lens group 180) and the pinhole 190.

이처럼 미러(170)의 위치 변화에 따라 광량이 변하게 되는 반사광을 계속해서 전달받는 센서(400)는 광량의 변화상태를 감지할 수 있다. 즉, 미러(170)가 움직이는 동안 그 미러(170)가 초점위치에 있을 때 광량이 최고조(peak)에 있다고 가정하면서 z축 방향으로 위치 변화시킬 때 광량이 감소하는 정도를 감지할 수 있다는 것이다.As such, the sensor 400 continuously receiving the reflected light in which the amount of light changes according to the positional change of the mirror 170 may detect a change state of the amount of light. That is, while the mirror 170 is moving, it is possible to detect the extent that the amount of light decreases when the position is changed in the z-axis direction assuming that the light amount is at the peak when the mirror 170 is in the focal position.

그리고 제어 IC(500)는 센서(400)가 감지한 데이터를 가우시안 분포 형태로 피팅하여 반치폭(FWHM:Full width at half maximum)를 계산한다. 반치폭의 측정 결과의 예로는 도 4에 도시한 바와 같다. 도 4는 일반적인 공초점 현미경의 수직 분해능에 대한 측정결과로서, 본 실시 예의 제어 IC(500)도 미러(170)의 움직임에 의하여 센서(400)가 감지하는 광량 변화 데이터를 기초로 하여 도 4와 같은 그래프를 생성하고 반치폭을 계산함으로써, 수직 분해능을 측정할 수 있다.The control IC 500 fits the data sensed by the sensor 400 into a Gaussian distribution to calculate a full width at half maximum (FWHM). An example of the measurement result of the half width is as shown in FIG. 4. 4 is a measurement result of the vertical resolution of a general confocal microscope, the control IC 500 of the present embodiment also based on the light amount change data detected by the sensor 400 by the movement of the mirror 170 and FIG. By creating the same graph and calculating the half width, the vertical resolution can be measured.

이와 같이 본 발명은 대물렌즈(160)를 결합할 수 있는 고정 지그(300)가 구비된 비접촉식 수직 분해능 측정장치(100)를 이용하여 의료용 내시 현미경에 장착할 대물렌즈(160)의 성능을 손상 없이 미리 테스트하고 평가할 수 있어, 목적하는 성능을 나타내는 대물렌즈를 사용할 수 있는 것이고, 따라서 의료용 내시 현미경의 충분한 성능을 보장받을 수 있음을 알 수 있다.As described above, the present invention uses a non-contact vertical resolution measuring apparatus 100 equipped with a fixing jig 300 to which the objective lens 160 can be coupled without damaging the performance of the objective lens 160 to be mounted on the medical endoscope microscope. Since it can be tested and evaluated in advance, it can be seen that the objective lens showing the desired performance can be used, and thus, sufficient performance of the medical endoscope microscope can be guaranteed.

이상과 같이 본 발명의 도시된 실시 예를 참고하여 설명하고 있으나, 이는 예시적인 것들에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 요지 및 범위에 벗어나지 않으면서도 다양한 변형, 변경 및 균등한 타 실시 예들이 가능하다는 것을 명백하게 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적인 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although described with reference to the illustrated embodiment of the present invention as described above, this is merely exemplary, those skilled in the art to which the present invention pertains without departing from the spirit and scope of the invention It will be apparent that other variations, modifications and equivalents are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

100: 수직 분해능 측정장치 101: 광원
110: 콜리메이터 렌즈(제1 렌즈군) 120: 편광자(polarizer)
130: 편광 빔 분할기(PBS) 140: 파장플레이트
150: 비구면 렌즈(제2 렌즈군) 160: 테스트용 대물렌즈
170: 미러 171: 암실
180: 포커싱 렌즈(제3 렌즈군) 190: 핀홀
200: 중계 옵틱 모듈(제4 렌즈군) 300: 고정 지그 301: 고정판 302: 관통홀 303: 홀더부 400: 센서
500: 제어 IC(500)
100: vertical resolution measuring device 101: light source
110: collimator lens (first lens group) 120: polarizer
130: polarization beam splitter (PBS) 140: wavelength plate
150: aspherical lens (second lens group) 160: test objective lens
170: mirror 171: darkroom
180: focusing lens (third lens group) 190: pinhole
200: relay optical module (fourth lens group) 300: fixing jig 301: fixing plate 302: through hole 303: holder 400: sensor
500: control IC (500)

Claims (5)

광원;
상기 광원에서 발생하는 입사광의 P파만 투과하는 편광 빔 분할기(PBS);
상기 투과된 P파 입사광을 고정 지그에 설치된 대물렌즈로 입사하는 제2 렌즈군;
상기 대물렌즈의 분해능 측정을 위해 z축 방향으로 이동하면서 상기 제2 렌즈군을 통과한 P파 입사광을 반사하는 미러;
상기 미러를 이동시키는 액츄에이터;
상기 대물렌즈와 상기 미러 사이에 위치하여 상기 대물렌즈의 초점 위치를 릴레이 시키도록 하나 이상의 조합된 렌즈를 포함하는 제4 렌즈군;
상기 미러에서 반사된 P파 반사광을 S파 반사광으로 변환하고 상기 편광 빔 분할기로 전달하는 파장 플레이트;
상기 편광 빔 분할기의 분할면에 의해 소정 각도로 반사되는 S파 반사광을 포커싱하는 제3 렌즈군;
상기 제3 렌즈군에 의해 포커싱되는 S파 반사광이 통과하며 상기 대물렌즈의 수직 분해능 측정을 위해 결정된 특정한 크기를 가지는 핀 홀;
상기 미러의 위치 변화에 따라 상기 핀 홀을 통해 전달되는 S파 반사광의 광량 변화를 감지하는 센서; 및
상기 센서가 감지한 광량 변화데이터를 기초로 상기 대물렌즈의 수직 분해능을 측정하는 제어 IC를 포함하는 공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능 측정장치.
Light source;
A polarization beam splitter (PBS) for transmitting only P waves of incident light generated from the light source;
A second lens group for entering the transmitted P-wave incident light into an objective lens installed in a fixed jig;
A mirror reflecting P-wave incident light passing through the second lens group while moving in a z-axis direction to measure the resolution of the objective lens;
An actuator for moving the mirror;
A fourth lens group positioned between the objective lens and the mirror and including one or more combined lenses to relay a focal position of the objective lens;
A wavelength plate converting the P-wave reflected light reflected by the mirror into the S-wave reflected light and transferring it to the polarization beam splitter;
A third lens group for focusing the S-wave reflected light reflected at a predetermined angle by the dividing surface of the polarizing beam splitter;
A pin hole passing through the S-wave reflected light focused by the third lens group and having a specific size determined for measuring vertical resolution of the objective lens;
A sensor for detecting a change in the amount of light of the S-wave reflected light transmitted through the pin hole according to a change in position of the mirror; And
Non-contact vertical resolution measuring device of the confocal endoscope microscope including a control IC for measuring the vertical resolution of the objective lens based on the light amount change data sensed by the sensor.
제 1 항에 있어서,
상기 광원에서 발생하는 입사광을 평행하게 변환하는 제1 렌즈군이 더 포함되는 공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능 측정장치.
The method of claim 1,
Non-contact vertical resolution measuring device of the confocal endoscope objective lens further comprises a first lens group for converting the incident light generated in the light source in parallel.
제 2 항에 있어서,
상기 제1 렌즈군과 상기 편광 빔 분할기 사이에는 상기 입사광의 편광을 만드는 편광자(polarizer)가 더 포함되는 공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능 측정장치.
The method of claim 2,
Non-contact vertical resolution measuring device of the objective lens for a confocal endoscope microscope further comprises a polarizer for polarizing the incident light between the first lens group and the polarizing beam splitter.
제 3 항에 있어서,
상기 편광자의 전단 또는 후단에는 상기 입사광의 광량을 조절하는 구경 조리개 또는 ND 필터(neutral density filter)가 더 위치하는 공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능 측정장치.
The method of claim 3, wherein
Non-contact vertical resolution measuring device of the confocal endoscope microscope for the aperture or ND filter (neutral density filter) for adjusting the light amount of the incident light at the front or rear end of the polarizer.
제 2 항에 있어서,
상기 제1 렌즈군은 평행광을 위한 하나 이상의 렌즈들이 조합된 콜리메이터 렌즈, 상기 제2 렌즈군은 비구면 렌즈, 상기 제3 렌즈군은 포커싱을 위하여 하나 이상 조합된 렌즈를 포함하는 공초점 내시 현미경용 대물렌즈의 비접촉식 수직 분해능 측정장치.
The method of claim 2,
The first lens group is a collimator lens in which one or more lenses are combined for parallel light, the second lens group is an aspherical lens, and the third lens group includes one or more combination lenses for focusing. Non-contact vertical resolution measuring device of objective lens.
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