KR102044231B1

KR102044231B1 - Apparatus for testing

Info

Publication number: KR102044231B1
Application number: KR1020180079438A
Authority: KR
Inventors: 김완수; 김영필
Original assignee: 바이옵트로 주식회사
Priority date: 2018-07-09
Filing date: 2018-07-09
Publication date: 2019-11-13
Anticipated expiration: 2038-07-09

Abstract

The test apparatus of the present invention includes a test block provided with a plurality of test pins in contact with a substrate; a reciprocating means for moving the test block to contact the test pin with the substrate; an analysis means installed at a position spaced apart from the reciprocating means and applying a test signal to a selected specific test pin; a scan board moving with the test block by the reciprocating means and electrically connected to a plurality of the test pins; and a relay line connecting the scan board and the analysis means. The scan board is provided with a switching part for electrically connecting a specific test pin selected from the plurality of test pins to the analysis means. The relay line may connect the switching part and the analysis means, and may be provided in a smaller number than the number of the test pins. It is possible to reduce the number of the relay lines greatly.

Description

Inspection device with scan board {APPARATUS FOR TESTING}

본 발명은 기판의 통전 상태를 검사하는 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting an energized state of a substrate.

인쇄회로기판(PCB : Printed Circuit Board)은 세탁기나 텔레비전 등의 가전제품은 물론 휴대폰을 포함한 생활용품, 자동차, 인공위성 등과 같이 거의 모든 장비에서 기본이 되는 필수 부품 중의 하나이다.Printed Circuit Boards (PCBs) are one of the essential components that are fundamental to almost all equipment such as household appliances including automobiles, automobiles, satellites, as well as home appliances such as washing machines and televisions.

인쇄회로기판을 구성하는 각종 전자부품의 집적도가 높아짐에 따라 그 패턴(pattern)이 상당히 미세화되어 매우 정교한 패턴의 인쇄공정이 요구되고 있으며, 그에 따른 불량률의 증가에 의해 인쇄회로기판에 대한 검사의 중요성이 부각되고 있다.As the degree of integration of various electronic components constituting the printed circuit board increases, the pattern becomes very fine and a very precise pattern printing process is required, and the importance of inspection of the printed circuit board is increased due to the increase of the defective rate. This is emerging.

한국등록특허공보 제0176627호 공보에는 납땜 불량 및 프로브 팁의 진동을 방지하여 안정된 통전 검사를 수행할 수 있고, 납땜부의 다양한 표면 형상에 대해 적응성이 향상된 인쇄회로기판의 통전검사용 프로브 장치가 개시되고 있다.Korean Patent Publication No. 0176627 discloses a probe device for conduction inspection of a printed circuit board which can perform a stable conduction inspection by preventing a solder failure and vibration of a probe tip, and has improved adaptability to various surface shapes of a soldering portion. have.

한국등록특허공보 제0176627호Korean Registered Patent Publication No. 0176627

본 발명은 각종 신호가 흐르는 중계선의 개수가 대폭 감소된 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide an inspection apparatus in which the number of relay lines through which various signals flow is greatly reduced.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned above will be clearly understood by those skilled in the art from the following description. Could be.

본 발명의 검사 장치는 기판에 함께 접촉되는 복수의 검사 핀이 마련된 검사 블록; 상기 검사 블록을 움직여 상기 기판에 상기 검사 핀을 접촉시키는 왕복 수단; 상기 왕복 수단으로부터 이격된 위치에 설치되고, 선택된 특정 검사 핀에 검사 신호를 인가하는 분석 수단; 상기 왕복 수단에 의해 상기 검사 블록과 함께 움직이고, 복수의 상기 검사 핀에 전기적으로 연결된 스캔 보드; 상기 스캔 보드와 상기 분석 수단을 연결하는 중계선;을 포함하고, 상기 스캔 보드에는 복수의 상기 검사 핀 중 선택된 특정 검사 핀을 상기 분석 수단에 전기적으로 연결시키는 스위칭부가 마련되며, 상기 중계선은 상기 스위칭부와 상기 분석 수단을 연결하고, 상기 검사 핀의 개수보다 적은 개수로 마련될 수 있다.An inspection apparatus of the present invention includes an inspection block provided with a plurality of inspection pins in contact with the substrate; Reciprocating means for moving the inspection block to contact the inspection pin with the substrate; Analysis means installed at a position spaced apart from the reciprocating means and applying a test signal to a selected specific test pin; A scan board moving with the inspection block by the reciprocating means and electrically connected to a plurality of the inspection pins; And a relay line connecting the scan board and the analysis means, wherein the scan board is provided with a switching unit for electrically connecting a specific test pin selected from a plurality of test pins to the analysis means, wherein the relay line includes the switching unit. And the analyzing means, and may be provided in a number less than the number of the test pin.

본 발명의 검사 장치는 검사 신호를 직렬로 처리하는 분석 수단 및 복수의 검사 핀 중 특정 검사 핀을 분석 수단에 연결시키는 스캔 보드를 포함할 수 있다.The test apparatus of the present invention may include an analysis means for processing the test signal in series and a scan board for connecting a particular test pin of the plurality of test pins to the analysis means.

분석 수단 및 스캔 보드에 따르면, 분석 수단 및 검사 핀을 연결하는 중계선의 개수를 최소화할 수 있다.According to the analyzing means and the scan board, the number of relay lines connecting the analyzing means and the test pins can be minimized.

적은 개수의 중계선으로 인해, 검사 핀의 제어 정밀도 등이 개선될 수 있다.Due to the small number of relay lines, the control accuracy of the test pins and the like can be improved.

도 1은 본 발명의 검사 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 베이스 플레이트를 나타낸 개략도이다.
도 3은 비교 실시예의 와이어를 나타낸 사진이다.
도 4는 비교 실시예의 와이어를 나타낸 개략도이다.
도 5는 본 발명의 스캔 보드를 나타낸 블록도이다.
도 6은 본 발명의 다른 스캔 보드를 나타낸 블록도이다.
도 7은 스캔 보드를 정면에서 나타낸 개략도이다.
도 8은 도 7의 스캔 보드를 옆에서 바라본 개략도이다.1 is a schematic view showing an inspection apparatus of the present invention.
2 is a schematic view showing a base plate.
3 is a photograph showing a wire of a comparative example.
4 is a schematic view showing a wire of a comparative example.
5 is a block diagram illustrating a scan board of the present invention.
6 is a block diagram illustrating another scan board of the present invention.
7 is a schematic view showing the scan board from the front.
8 is a schematic view of the scan board of FIG. 7 viewed from the side.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this process, the size or shape of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of description. In addition, terms that are specifically defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may vary depending on the intention or custom of the user or operator. Definitions of these terms should be made based on the contents throughout the specification.

도 1은 본 발명의 검사 장치를 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing an inspection apparatus of the present invention.

도면에 도시된 검사 장치는 검사 블록(230), 베이스 플레이트(210), 지그 플레이트(330), 스캔 보드(110), 분석 수단(410)을 포함할 수 있다.The inspection apparatus illustrated in the drawing may include an inspection block 230, a base plate 210, a jig plate 330, a scan board 110, and an analysis means 410.

기판(10)에 형성된 회로 패턴의 이상 유무는 통전 검사를 통해 파악될 수 있다.The abnormality of the circuit pattern formed on the substrate 10 may be identified through an energization test.

통전 검사는 피검사체인 기판(10)의 회로 패턴에 실제 동작 전압 또는 유사한 정도의 전압을 걸거나 전류(이하, '검사 신호'라 칭한다)를 통과시켜 회로의 상태를 검사하는 것일 수 있다. 통전 검사를 위해 회로 패턴에 전기적으로 접촉되는 검사 핀(231)이 이용될 수 있다. 검사 핀(231)은 바늘 또는 얇은 막대 형상으로 형성될 수 있으며, 탄성을 가질 수 있다.The energization test may be to test the state of the circuit by applying an actual operating voltage or a similar voltage to the circuit pattern of the substrate 10 to be inspected, or passing a current (hereinafter referred to as an “inspection signal”). An inspection pin 231 in electrical contact with the circuit pattern may be used for conduction inspection. The test pin 231 may be formed in a needle or thin rod shape and may have elasticity.

회로 패턴이 갈수록 미세화되고 고집적화되는 경향에 따라 검사 핀(231)의 두께는 머리카락의 두께보다 작아지고 개수는 증가될 수 있다. 회로 패턴의 측정 위치에 작은 두께의 검사 핀(231)을 정확하게 접촉시키기 위해 검사 핀(231)을 지지하는 지그가 사용될 수 있다.As the circuit pattern tends to become finer and more integrated, the thickness of the test pin 231 may be smaller than that of the hair and the number may increase. A jig supporting the test pin 231 may be used to accurately contact the test pin 231 of a small thickness at the measurement position of the circuit pattern.

검사 블록(230)은 검사 핀(231)을 지지하는 지그에 해당하는 요소로, 검사 블록(230)에는 복수의 검사 핀(231)이 마련될 수 있다. 검사 블록(230)에서 회로 패턴에 대면되는 면을 제1 검사면으로 정의하고, 검사 블록(230)에서 제1 검사면의 반대면을 제2 검사면으로 정의하기로 한다.The inspection block 230 is an element corresponding to a jig supporting the inspection pin 231, and the inspection block 230 may be provided with a plurality of inspection pins 231. In the inspection block 230, the surface facing the circuit pattern is defined as the first inspection surface, and in the inspection block 230, an opposite surface of the first inspection surface is defined as the second inspection surface.

회로 패턴에 접촉되기 위해 검사 핀(231)의 일단은 제1 검사면에 노출되고 제1 검사면으로부터 회로 패턴을 향해 탄성적으로 돌출될 수 있다.One end of the test pin 231 may be exposed to the first test surface and elastically protrude toward the circuit pattern from the first test surface to be in contact with the circuit pattern.

분석 수단(410)으로부터 검사 신호를 인가받기 위해 검사 핀(231)의 타단은 제2 검사면에 노출될 수 있다. 검사 핀(231)의 타단으로 인가된 검사 신호는 검사 핀(231)의 몸체를 타고 흘러 제1 검사면으로부터 돌출된 검사 핀(231)의 일단으로 전달될 수 있다. 검사 핀(231)의 일단으로 전달된 검사 신호는 해당 검사 핀(231)에 접촉된 회로 패턴으로 입력될 수 있다.The other end of the test pin 231 may be exposed to the second test surface in order to receive the test signal from the analyzing means 410. The test signal applied to the other end of the test pin 231 may flow through the body of the test pin 231 and be transmitted to one end of the test pin 231 protruding from the first test surface. The test signal transmitted to one end of the test pin 231 may be input in a circuit pattern in contact with the test pin 231.

회로 패턴의 검사를 위해 제1 검사면에 배치된 검사 핀(231)의 위치는 회로 패턴의 검사 위치에 얼라인될 수 있다.The position of the inspection pin 231 disposed on the first inspection surface for inspecting the circuit pattern may be aligned with the inspection position of the circuit pattern.

제2 검사면에 노출된 검사 핀(231)의 타단은 전기가 소통하는 연결선(260)을 통해 분석 수단(410)에 전기적으로 연결될 수 있다.The other end of the test pin 231 exposed on the second test surface may be electrically connected to the analyzing means 410 through a connection line 260 through which electricity is communicated.

기판(10)의 통전 검사를 위해, 검사 블록(230)을 움직여 기판(10)에 검사 핀(231)을 접촉시키는 왕복 수단(310)이 마련될 수 있다.For conduction inspection of the substrate 10, a reciprocating means 310 may be provided to move the inspection block 230 to contact the inspection pin 231 with the substrate 10.

왕복 수단(310)은 기판(10)에 검사 핀(231)을 정렬시키는 동시에 검사 핀(231)을 향해 이동하도록 다양한 자유도를 가질 수 있다. 일 예로, 3개의 축이 직교하는 3차원 공간에서 왕복 수단(310)은 x축 이동 자유도, y축 이동 자유도, z축 이동 자유도, x축을 회전 중심으로 하는 회전 자유도 등을 가질 수 있다. 왕복 수단(310)은 z축 이동 자유도를 이용해서 기판(10)을 향해 접근하거나 기판(10)으로부터 도피될 수 있다.The reciprocating means 310 may have various degrees of freedom to align the test pin 231 to the substrate 10 and to move toward the test pin 231. For example, the reciprocating means 310 may have an x-axis movement freedom, a y-axis movement freedom, a z-axis movement freedom, a rotational freedom degree around the x-axis, and the like in a three-dimensional space where three axes are orthogonal. have. The reciprocating means 310 can be approached or escaped from the substrate 10 using the z-axis freedom of movement.

진동 감소 등을 위해 왕복 수단(310)은 도 4와 같이 검사 핀(231) 및 검사 블록(230)과 대비하여 중량, 크기 면에서 대규모로 형성될 수 있다. 검사 대상이 되는 회로 패턴이 기판(10)의 양면에 각각 형성된 경우, 검사 핀(231), 검사 블록(230), 왕복 수단(310) 등은 기판(10)의 일면 측과 기판(10)의 타면 측에 각각 설치될 수 있다.In order to reduce vibration, the reciprocating means 310 may be formed on a large scale in terms of weight and size as compared to the test pin 231 and the test block 230 as shown in FIG. 4. When the circuit pattern to be inspected is formed on both sides of the substrate 10, the inspection pin 231, the inspection block 230, the reciprocating means 310, and the like may be formed on one side of the substrate 10 and the substrate 10. It may be installed on the other side.

도 2는 베이스 플레이트(210)를 나타낸 개략도이다.2 is a schematic diagram illustrating the base plate 210.

검사 핀(231)이 마련된 검사 블록(230)은 베이스 플레이트(210)에 설치될 수 있다. 검사 블록(230)이 베이스 플레이트(210)로부터 돌출된 위치에 배치되도록, 검사 블록(230)과 베이스 플레이트(210) 사이에는 기둥에 해당하는 지지부(250)가 삽입될 수 있다.The inspection block 230 provided with the inspection pin 231 may be installed in the base plate 210. The support 250 corresponding to the pillar may be inserted between the test block 230 and the base plate 210 so that the test block 230 is disposed at a position protruding from the base plate 210.

검사 핀(231), 검사 블록(230), 지지부(250), 베이스 플레이트(210)는 일체로 형성될 수 있다. 왕복 수단(310)에 대해 베이스 플레이트(210) 단위로 교체가 이루어지도록, 왕복 수단(310)에는 베이스 플레이트(210)가 착탈되는 지그 플레이트(330)가 마련될 수 있다. 지그 플레이트(330)에 대한 베이스 플레이트(210)의 착탈을 위해 왕복 수단(310)에는 베이스 플레이트(210)가 삽입되는 홈 형상의 설치부(311)가 마련될 수 있다. 베이스 플레이트(210)는 슬라이딩 방식으로 설치부(311)에 삽입되거나, 설치부(311)로부터 이탈될 수 있다.The test pin 231, the test block 230, the support part 250, and the base plate 210 may be integrally formed. The reciprocating means 310 may be provided with a jig plate 330 to which the base plate 210 is attached and detached so that the reciprocating means 310 may be replaced in units of the base plate 210. In order to attach and detach the base plate 210 to the jig plate 330, the reciprocating means 310 may be provided with a groove-shaped installation part 311 into which the base plate 210 is inserted. The base plate 210 may be inserted into the installation part 311 in a sliding manner, or may be separated from the installation part 311.

베이스 플레이트(210)에는 연결선(260)에 연결되는 베이스 커넥터(270)가 마련될 수 있다. 연결선(260)에 의해 검사 핀(231)은 베이스 커넥터(270)에 전기적으로 연결될 수 있다.The base plate 210 may be provided with a base connector 270 connected to the connection line 260. The test pin 231 may be electrically connected to the base connector 270 by the connection line 260.

베이스 커넥터(270)의 일면은 검사 블록(230)이 설치된 베이스 플레이트(210)의 일면에 노출될 수 있다. 베이스 커넥터(270)의 타면은 베이스 검사 블록(230)에 반대되는 베이스 플레이트(210)의 타면에 노출될 수 있다.One surface of the base connector 270 may be exposed to one surface of the base plate 210 on which the test block 230 is installed. The other surface of the base connector 270 may be exposed to the other surface of the base plate 210 opposite to the base inspection block 230.

지그 플레이트(330)에는 베이스 커넥터(270)에 대면되는 지그 커넥터(370)가 마련될 수 있다. 지그 플레이트(330)에 베이스 플레이트(210)가 장착되면, 베이스 커넥터(270)의 타면은 지그 커넥터(370)에 전기적으로 연결될 수 있다.The jig plate 330 may be provided with a jig connector 370 facing the base connector 270. When the base plate 210 is mounted on the jig plate 330, the other surface of the base connector 270 may be electrically connected to the jig connector 370.

스캔 보드(110)는 지그 커넥터(370), 베이스 커넥터(270), 연결선(260)을 순서대로 거쳐 검사 핀(231)에 연결될 수 있다.The scan board 110 may be connected to the test pin 231 through the jig connector 370, the base connector 270, and the connection line 260 in order.

검사 핀(231)은 와이어(60)를 통해 분석 수단(410)에 전기적으로 연결될 수 있다. 일 예로, 와이어(60)는 베이스 커넥터(270)에 물리적으로 연결될 수 있다. 지그 커넥터(370)가 마련된 경우 와이어(60)는 지그 커넥터(370)에 물리적으로 연결될 수 있다.The test pin 231 may be electrically connected to the analyzing means 410 through the wire 60. As an example, the wire 60 may be physically connected to the base connector 270. When the jig connector 370 is provided, the wire 60 may be physically connected to the jig connector 370.

베이스 커넥터(270), 지그 커넥터(370)는 왕복 수단(310)에 의해 검사 핀(231)과 함께 움직일 수 있다. 반면, 분석 결과를 표시하는 디스플레이 등이 마련된 분석 수단(410)은 왕복 수단(310)으로부터 이격된 위치에 설치되고, 지면에 고정될 수 있다. 따라서, 분석 수단(410)과 각 커넥터를 연결하는 와이어(60)의 일측은 왕복 수단(310)에 의해 유동될 수 있다. 그런데, 문제는 와이어(60)의 개수가 매우 많다는 것이다.The base connector 270 and the jig connector 370 may be moved together with the test pin 231 by the reciprocating means 310. On the other hand, the analysis means 410 provided with a display for displaying the analysis result is installed at a position spaced apart from the reciprocating means 310, it may be fixed to the ground. Thus, one side of the wire 60 connecting the analysis means 410 and each connector may be flown by the reciprocating means 310. However, the problem is that the number of wires 60 is very large.

도 3은 비교 실시예의 와이어(60)를 나타낸 사진이다.3 is a photograph showing a wire 60 of a comparative example.

고집적화로 인해, 하나의 기판(10)에 대한 검사 포인트 개수가 대폭 증가하고 있다. 검사 포인트의 개수 증가에 맞춰 검사 핀(231) 및 연결선(260)의 개수 역시 대폭 증가하고 있다. 연결선(260)은 지면에 고정된 분석 수단(410)에 전기적으로 연결되어야 하며, 이를 위해 연결선(260)에 대응되는 개수로 와이어(60)가 마련될 수 있다. 일 예로, 하나의 검사 블록(230)에 수백, 수천개의 검사 핀(231)이 마련될 수 있다. 검사 핀(231)에 대응하는 개수의 와이어(60)가 검사 블록(230), 베이스 커넥터(270), 지그 커넥터(370) 중 하나에 연결될 수 있다. 이때, 수백, 수천개에 이르는 와이어(60)로 인해 각종 문제가 유발될 수 있다.Due to the high integration, the number of inspection points for one substrate 10 is greatly increased. As the number of test points increases, the number of test pins 231 and connection lines 260 also increases significantly. The connection line 260 should be electrically connected to the analysis means 410 fixed to the ground. For this purpose, the wire 60 may be provided in a number corresponding to the connection line 260. For example, hundreds or thousands of test pins 231 may be provided in one test block 230. The number of wires 60 corresponding to the test pins 231 may be connected to one of the test block 230, the base connector 270, and the jig connector 370. At this time, hundreds or thousands of wires 60 may cause various problems.

예를 들어, 각 와이어(60)를 분석 수단(410)에 연결하는 작업 및 와이어(60)에 대한 유지 보수 작업이 매우 복잡해질 수 있다. 매우 많은 개수의 와이어(60)가 외부에 노출되므로 검사 장치의 외관이 저해될 수 있다. 매우 많은 개수의 와이어(60)로 인해 왕복 수단(310)의 움직임이 간섭될 수 있다. 또한, 전체 와이어(60)의 자중 증가로 인해 왕복 수단(310)의 제어가 어려워질 수 있다. 또한, 각 와이어(60)를 통해 전파되는 신호가 약해질 수 있다. 또한, 기판(10)에 대한 누설 테스트(leakage test)가 어려워지는 문제가 있다.For example, the task of connecting each wire 60 to the analysis means 410 and the maintenance work for the wire 60 can be very complex. Since a very large number of wires 60 are exposed to the outside, the appearance of the inspection apparatus may be impaired. The very large number of wires 60 can interfere with the movement of the reciprocating means 310. In addition, control of the reciprocating means 310 may be difficult due to the increase in the weight of the entire wire 60. In addition, the signal propagated through each wire 60 may be weakened. In addition, there is a problem that a leakage test of the substrate 10 becomes difficult.

도 4는 비교 실시예의 와이어(60)를 나타낸 개략도이다.4 is a schematic diagram illustrating a wire 60 of a comparative embodiment.

이들 문제를 일부나마 해소하기 위해, 도 4와 같이 전체 중 몇 개의 와이어(60)를 하나의 납작한 판형 케이블로 형성해서 분석기(40)에 연결하는 그룹화 방안이 이용될 수 있으나, 외관의 개선만 일부 이루어질 뿐 나머지 문제에 대한 근본적인 해결책이 되지 못하고 있다.In order to solve some of these problems, as shown in FIG. 4, a grouping method of forming several wires 60 as a flat plate-shaped cable and connecting them to the analyzer 40 may be used. It does not, but it is not a fundamental solution to the rest of the problem.

다시 도 1로 돌아가서, 베이스 커넥터(270)와 분석 수단(410)을 연결하는 와이어(60)의 개수 또는 지그 커넥터(370)와 분석 수단(410)을 연결하는 와이어(60)의 개수를 줄이기 위해 스캔 보드(110), 복수 검사 핀(231)에 대한 검사 신호를 직렬로 처리하는 제어부(411)가 구비된 분석 수단(410)이 마련될 수 있다.1 again, to reduce the number of wires 60 connecting the base connector 270 and the analysis means 410 or the number of wires 60 connecting the jig connector 370 and the analysis means 410. An analysis means 410 having a control unit 411 for serially processing the test signals for the scan board 110 and the plurality of test pins 231 may be provided.

제어부(411)는 검사 신호를 복수의 검사 핀(231)에 순차적으로 인가할 수 있다. 일 예로, 복수의 검사 핀(231)은 설정 순서에 따라 순차적으로 제어부(411)에 전기적으로 연결될 수 있다. 그 결과, 일시점에서 어느 하나의 검사 핀(231)만 제어부(411)에 전기적으로 연결되면 충분하다. 통전 검사를 위해서 적어도 2개의 검사 핀(231)이 각각 (+) 단자, (-) 단자가 되어 분석 수단(410)에 전기적으로 연결될 수 있다. 본 명세서에서 제어부(411)에 전기적으로 연결되는 '하나의 검사 핀(231)'은 실질적으로 (+) 단자에 해당하는 검사 핀(231), (-) 단자에 해당하는 검사 핀(231)을 각각 포함할 수 있다.The controller 411 may sequentially apply the test signal to the test pins 231. For example, the plurality of test pins 231 may be electrically connected to the controller 411 sequentially in the setting order. As a result, it is sufficient that only one test pin 231 is electrically connected to the control unit 411 at a time point. At least two test pins 231 may be a (+) terminal and a (-) terminal to be electrically connected to the analyzing means 410 for the energization test. In the present specification, the 'one test pin 231' electrically connected to the control unit 411 includes a test pin 231 corresponding to the (+) terminal and a test pin 231 corresponding to the (-) terminal. Each may include.

도 5는 본 발명의 스캔 보드(110)를 나타낸 블록도이다.5 is a block diagram illustrating a scan board 110 of the present invention.

검사 블록(230)에 마련된 복수의 검사 핀(231)은 왕복 수단(310)에 의해 모두 함께 기판(10)의 회로 패턴에 접촉될 수 있다. 분석 수단(410)은 기판(10)에 접촉된 복수의 검사 핀(231) 중 선택된 특정 검사 핀에만 검사 신호를 인가할 수 있다.The plurality of inspection pins 231 provided in the inspection block 230 may all be in contact with the circuit pattern of the substrate 10 by the reciprocating means 310. The analyzing means 410 may apply a test signal to only a specific test pin selected from the plurality of test pins 231 in contact with the substrate 10.

제어부(411)가 정상적으로 동작하기 위해서 복수의 검사 핀(231) 중 선택된 특정 검사 핀을 분석 수단(410)의 제어부(411)에 전기적으로 연결시키는 멀티 플렉서 등의 스위칭부(120)가 마련될 수 있다. 스위칭부(120)는 도면과 같이 연결선(260)에 직접 연결되거나, 지그 커넥터(370) 또는 베이스 커넥터(270)를 통해 연결선(260)에 연결될 수 있다.In order for the control unit 411 to operate normally, a switching unit 120 such as a multiplexer for electrically connecting a specific test pin selected from the plurality of test pins 231 to the control unit 411 of the analysis unit 410 may be provided. Can be. The switching unit 120 may be directly connected to the connection line 260 as shown in the drawing, or may be connected to the connection line 260 through the jig connector 370 or the base connector 270.

스캔 보드(110)는 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)에 장착될 수 있다. 일 예로, 왕복 수단(310)에 의해 지그 플레이트(330)가 움직일 때, 스캔 보드(110)는 지그 플레이트(330)에 장착될 수 있다.The scan board 110 may be mounted on the base connector 270 or the jig connector 370. For example, when the jig plate 330 is moved by the reciprocating means 310, the scan board 110 may be mounted on the jig plate 330.

베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)에 장착된 스캔 보드(110)는 왕복 수단(310)에 의해 검사 블록(230), 베이스 플레이트(210)와 함께 움직일 수 있다. 스캔 보드(110)에는 복수의 검사 핀(231)에 전기적으로 연결된 스위칭부(120)가 마련될 수 있다.The scan board 110 mounted on the base connector 270 or the jig connector 370 may move together with the test block 230 and the base plate 210 by the reciprocating means 310. The scan board 110 may be provided with a switching unit 120 electrically connected to the plurality of test pins 231.

스위칭부(120)의 일단에는 검사 핀(231) 또는 연결선(260)이 전기적으로 연결되고, 스위칭부(120)의 타단에는 제어부(411)가 전기적으로 연결될 수 있다.The test pin 231 or the connection line 260 may be electrically connected to one end of the switching unit 120, and the control unit 411 may be electrically connected to the other end of the switching unit 120.

스위칭부(120)는 일단에 연결된 복수의 검사 핀(231) 또는 복수의 연결선(260) 중 어느 하나를 선택해서 타단에 연결시킬 수 있다. 스위칭부(120)의 스위칭 동작에 의해 특정 검사 핀이 제어부(411)에 전기적으로 연결될 수 있다.The switching unit 120 may select one of the plurality of test pins 231 or the plurality of connection lines 260 connected to one end and connect the other end to the other end. A specific test pin may be electrically connected to the control unit 411 by the switching operation of the switching unit 120.

스캔 보드(110)와 분석 수단(410)을 연결하는 중계선(460)이 마련될 수 있다. 스캔 보드(110)는 중계선(460)을 거쳐 분석 수단(410)에 연결될 수 있다. 중계선(460)은 검사 핀(231)의 개수보다 적은 개수로 마련될 수 있다. 검사 신호를 직렬 처리하는 제어부(411)에 의해, 스캔 보드(110)와 분석 수단(410)을 연결하는 중계선(460)이 단일화될 수 있다. 일 예로, 스위칭부(120)에 따르면, 스캔 보드(110)와 분석 수단(410)의 제어부(411) 간에는 1개의 중계선(460)((+) 라인, (-) 라인 2개를 포함)만 마련되면 충분하다.The relay line 460 connecting the scan board 110 and the analysis means 410 may be provided. The scan board 110 may be connected to the analysis means 410 through the relay line 460. The relay line 460 may be provided in fewer numbers than the number of test pins 231. By the controller 411 for serially processing the test signal, the relay line 460 connecting the scan board 110 and the analysis means 410 may be unified. For example, according to the switching unit 120, only one relay line 460 (including (+) lines and two (−) lines) between the scan board 110 and the control unit 411 of the analysis unit 410. It is enough if it is prepared.

제어부(411)에서 분석하고자 하는 검사 핀(231)을 제어부(411)에 연결시키기 위해, 스위칭부(120)를 제어하는 제어 신호가 요구된다. 또한, 스위칭부(120)의 구동 전력이 요구된다. 검사 신호, 제어 신호 및 구동 전력은 분석 수단(410)으로부터 제공될 수 있다In order to connect the test pin 231 to be analyzed by the controller 411 to the controller 411, a control signal for controlling the switching unit 120 is required. In addition, the driving power of the switching unit 120 is required. The test signal, the control signal and the driving power can be provided from the analyzing means 410.

따라서, 스캔 보드(110)와 분석 수단(410) 사이에는 검사 신호가 흐르는 제1 중계선(460) t 1개, 제어 신호가 흐르는 제2 중계선(460) c 1개, 구동 전력이 흐르는 제3 중계선(460) e 1개만 마련되면 충분하다. 결국, 검사 신호를 직렬 처리하는 제어부(411) 및 스위칭부(120)가 마련된 스캔 보드(110)에 따르면, 움직이는 동적 수단과 고정된 분석 수단(410) 사이에 3개의 중계선(460)만 마련되면 충분하다. 이때, 동적 수단은 왕복 수단(310), 지그 플레이트(330), 베이스 플레이트(210), 검사 블록(230), 검사 핀(231), 연결선(260), 베이스 커넥터(270), 지그 커넥터(370)를 포함할 수 있다.Therefore, between the scan board 110 and the analysis means 410, one t of the first relay line 460 through which the test signal flows, one c, the second relay line 460 c through which the control signal flows, and a third relay line through which the driving power flows. (460) Only one e is sufficient. As a result, according to the scan board 110 in which the control unit 411 and the switching unit 120 process the test signals in series, only three relay lines 460 are provided between the moving dynamic means and the fixed analysis means 410. Suffice. At this time, the dynamic means is a reciprocating means 310, jig plate 330, base plate 210, inspection block 230, inspection pin 231, connecting line 260, base connector 270, jig connector 370 ) May be included.

본 실시예에 따르면, n(여기서, n은 4개 이상)개의 검사 핀(231)이 마련될 때, 동적 수단과 분석 수단(410)은 n개의 와이어(60) 대신 3개의 중계선(460)에 의해 서로 연결될 수 있다. 그 결과, 중계선(460)에 대한 유지 보수 작업이 매우 용이해질 수 있으며, 미려한 외관이 제공될 수 있다. 또한, 왕복 수단(310)의 제어가 용이해지며, 동적 수단과 분석 수단(410)을 오고가는 각종 신호의 세기가 정상적으로 유지될 수 있다.According to the present embodiment, when n (where n is four or more) test pins 231 are provided, the dynamic means and the analysis means 410 are connected to three relay lines 460 instead of the n wires 60. Can be connected to one another. As a result, maintenance work on the relay line 460 may be very easy, and a beautiful appearance may be provided. In addition, the control of the reciprocating means 310 is facilitated, and the strength of various signals to and from the dynamic means and the analysis means 410 can be maintained normally.

도 6은 본 발명의 다른 스캔 보드(110)를 나타낸 블록도이다.6 is a block diagram illustrating another scan board 110 of the present invention.

검사 핀(231)과 제어부(411)의 사이에는 처리부(413)가 마련될 수 있다. 처리부(413)는 기판(10)의 회로 패턴을 거쳐 검사 핀(231)을 통해 되돌아온 검사 신호를 처리할 수 있다.The processor 413 may be provided between the test pin 231 and the controller 411. The processor 413 may process the test signal returned through the test pin 231 through the circuit pattern of the substrate 10.

처리부(413)는 기판(10)을 거쳐서 입수된 검사 신호를 증폭시키는 증폭기, 검사 신호에 포함된 노이즈를 감쇄시키는 필터, 교류를 직류로 바꾸거나, 설정 전압의 직류를 다른 전압의 직류로 바꾸는 변환기를 포함할 수 있다.The processor 413 may include an amplifier for amplifying the test signal received through the substrate 10, a filter for attenuating noise included in the test signal, a converter for converting an alternating current into a direct current, or a direct current of a predetermined voltage to a direct current of another voltage. It may include.

이때, 처리부(413)는 검사 신호가 흐르는 제1 중계선(460)에 연결될 수 있다. 처리부(413)는 도 5와 같이 분석 수단(410)에 마련되거나, 도 6과 같이 스캔 보드(110)에 마련될 수 있다. 분석 수단(410)의 설치 위치에 상관없이 스캔 보드(110)와 분석 수단(410) 사이에는 3개의 중계선(460)만 마련되면 충분하다.In this case, the processor 413 may be connected to the first relay line 460 through which the test signal flows. The processor 413 may be provided in the analyzing means 410 as shown in FIG. 5, or provided in the scan board 110 as shown in FIG. 6. Regardless of the installation position of the analysis means 410, only three relay lines 460 are sufficient between the scan board 110 and the analysis means 410.

분석 수단(410)에는 스위칭부(120) 및 처리부(413)의 구동 전력을 제공하는 전력부(415)가 마련될 수 있다. 전력부(415)는 제3 중계선(460)을 통해 스위칭부(120) 또는 처리부(413)에 구동 전력을 공급할 수 있다.The analyzing unit 410 may be provided with a power unit 415 providing driving power of the switching unit 120 and the processing unit 413. The power unit 415 may supply driving power to the switching unit 120 or the processing unit 413 through the third relay line 460.

도 7은 스캔 보드(110)를 정면에서 나타낸 개략도이고, 도 8은 도 7의 스캔 보드(110)를 옆에서 바라본 개략도이다.7 is a schematic view of the scan board 110 from the front, and FIG. 8 is a schematic view of the scan board 110 of FIG.

스캔 보드(110)에는 복수의 스위치(121), 스위치(121)를 제어하는 컨트롤러(123)가 마련될 수 있다.The scan board 110 may be provided with a plurality of switches 121 and a controller 123 for controlling the switches 121.

스위치(121)는 복수의 검사 핀(231) 중 특정 검사 핀을 분석 수단(410)에 연결시킬 수 있다. 일 예로, 각 스위치(121)의 일단은 각 연결선(260)에 전기적으로 연결되고, 각 스위치(121)의 타단은 제3 중계선(460)에 전기적으로 연결될 수 있다. 각 스위치(121)는 트랜지스터를 포함할 수 있다.The switch 121 may connect a specific test pin of the plurality of test pins 231 to the analyzing means 410. For example, one end of each switch 121 may be electrically connected to each connection line 260, and the other end of each switch 121 may be electrically connected to the third relay line 460. Each switch 121 may include a transistor.

컨트롤러(123)는 제3 중계선(460)을 통해 제어부(411)로부터 전달받은 제어 신호에 따라 각 스위치(121)의 동작을 제어할 수 있다.The controller 123 may control the operation of each switch 121 according to the control signal received from the controller 411 through the third relay line 460.

스캔 보드(110)의 일단에는 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)에 착탈되는 제1 스캔 커넥터(119)가 마련될 수 있다. One end of the scan board 110 may be provided with a first scan connector 119 detachable from the base connector 270 or the jig connector 370.

스위칭부(120)는 제1 스캔 커넥터(119)를 통해 연결선(260)에 전기적으로 연결될 수 있다.The switching unit 120 may be electrically connected to the connection line 260 through the first scan connector 119.

복수의 스위치(121)를 설치하기 위해, 스캔 보드(110)의 길이 등은 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)보다 클 수 있다. 그럼에도 불구하고, 제한된 설치 공간에 설치되는 한 장의 스캔 보드(110)만으로는 수백, 수천개의 연결선(260)에 대응되는 개수의 스위치(121)가 모두 설치되기 어려울 수 있다. 따라서, 도 8과 같이 복수의 스캔 보드(110)가 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)에 장착될 수 있다. 그런데, 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)를 형성하는 연결 핀 간의 간격은 스캔 보드(110)의 두께보다 작을 수 있다. 스캔 보드(110)의 일면에는 설정 두께를 갖는 스위치(121) 및 컨트롤러(123)가 설치되므로, 스위치(121) 또는 컨트롤러(123)의 두께만큼 스캔 보드(110)의 전체 두께가 증가할 수 있다. In order to install the plurality of switches 121, the length of the scan board 110 may be greater than the base connector 270 or the jig connector 370. Nevertheless, only one scan board 110 installed in a limited installation space may have difficulty installing all of the switches 121 corresponding to hundreds and thousands of connection lines 260. Thus, as shown in FIG. 8, the plurality of scan boards 110 may be mounted on the base connector 270 or the jig connector 370. However, the distance between the connecting pins forming the base connector 270 or the jig connector 370 may be smaller than the thickness of the scan board 110. Since the switch 121 and the controller 123 having a set thickness are installed on one surface of the scan board 110, the overall thickness of the scan board 110 may increase by the thickness of the switch 121 or the controller 123. .

두께 문제로 인해, 제1 스캔 커넥터(119)는 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)에 직접 장착되기 어려울 수 있다. 또한, 제1 스캔 커넥터(119)가 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)에 빈번하게 착탈되면, 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)가 훼손될 수 있다. 베이스 커넥터(270)가 훼손되면, 검사 블록(230)이 마련된 베이스 플레이트(210) 전체가 교체되어야 한다. 이와 유사하게, 지그 커넥터(370)가 훼손되면, 지그 플레이트(330) 전체가 교체되어야 한다. 베이스 플레이트(210)와 지그 플레이트(330)는 기구적인 고정밀도를 요구하는 부품으로, 수리가 어렵고 스캔 보드(110) 대비 매우 비싸다.Due to the thickness problem, the first scan connector 119 may be difficult to mount directly to the base connector 270 or the jig connector 370. In addition, when the first scan connector 119 is frequently attached to or detached from the base connector 270 or the jig connector 370, the base connector 270 or the jig connector 370 may be damaged. If the base connector 270 is damaged, the entire base plate 210 on which the test block 230 is provided should be replaced. Similarly, if the jig connector 370 is damaged, the entire jig plate 330 must be replaced. The base plate 210 and the jig plate 330 are parts requiring mechanical precision, and are difficult to repair and are very expensive compared to the scan board 110.

스캔 보드(110)의 두께 문제로 인한 장착 문제를 해소하고 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)를 보호하기 위해, 스캔 보드(110)와 베이스 커넥터(270) 사이, 또는 스캔 보드(110)와 지그 커넥터(370) 사이에 중계 보드(150)가 마련될 수 있다. 일 예로, 중계 보드(150)는 지그 플레이트(330)에 착탈될 수 있다.In order to solve the mounting problem due to the thickness problem of the scan board 110 and to protect the base connector 270 or the jig connector 370, between the scan board 110 and the base connector 270, or the scan board 110 And the relay board 150 may be provided between the jig connector 370. For example, the relay board 150 may be attached to or detached from the jig plate 330.

중계 보드(150)에는 제1 스캔 커넥터(119)에 착탈되는 중계 커넥터(159), 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)에 착탈되는 고정 커넥터(157), 중계 커넥터(159)와 고정 커넥터(157)를 전기적으로 연결하는 패턴부가 마련될 수 있다. 중계 커넥터(159)는 고정 커넥터(157)보다 길게 형성될 수 있다.The relay board 150 includes a relay connector 159 that is attached to and detached from the first scan connector 119, a fixed connector 157 that is attached to and detached from the base connector 270, or a jig connector 370, and a relay connector 159 and a fixed connector. A pattern portion for electrically connecting the 157 may be provided. The relay connector 159 may be formed longer than the fixed connector 157.

패턴부는 중계 커넥터(159)를 형성하는 중계 핀과 고정 커넥터(157)를 형성하는 고정 핀을 전기적으로 연결시킬 수 있다. 고정 핀은 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)를 통해 연결선(260)에 전기적으로 연결될 수 있다.The pattern portion may electrically connect the relay pin forming the relay connector 159 and the fixing pin forming the fixed connector 157. The fixing pin may be electrically connected to the connection line 260 through the base connector 270 or the jig connector 370.

중계 커넥터(159)를 형성하는 중계 핀은 패턴부에 의해 고정 핀의 간격보다 넓은 간격으로 분산 배치될 수 있다. 패턴부에 의해 중계 보드(150)에 마련된 복수의 중계 커넥터(159)는 스캔 보드(110)의 두께보다 큰 간격으로 형성될 수 있다.The relay pins forming the relay connector 159 may be disposed to be distributed at intervals wider than that of the fixing pin by the pattern portion. The plurality of relay connectors 159 provided on the relay board 150 by the pattern part may be formed at intervals greater than the thickness of the scan board 110.

패턴부에 의해 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)의 면적보다 넓은 면적에 분산 배치된 중계 핀 또는 중계 커넥터(159)에 따르면, 제1 스캔 커넥터(119)에 형성된 커넥터 핀의 밀집도 및 스캔 보드(110)의 밀집도가 완화될 수 있다.According to the relay pin or the relay connector 159 arranged in a larger area than the area of the base connector 270 or the jig connector 370 by the pattern portion, the density and the scan of the connector pins formed in the first scan connector 119 The density of the board 110 may be relaxed.

중계 핀에 물리적으로 접촉되는 커넥터 핀의 밀집도 완화로 인해 제1 스캔 커넥터(119)의 제조가 용이해질 수 있다. 스캔 보드(110)의 밀집도 완화로 인해, 스캔 보드(110)의 두께에 여유가 생기므로 다양한 두께의 스위치(121) 및 컨트롤러(123)가 스캔 보드(110)에 설치될 수 있다. 결과적으로, 중계 보드(150)에 따르면, 스캔 보드(110)가 용이하게 제작될 수 있다.Manufacturing of the first scan connector 119 may be facilitated due to the relaxation of the compactness of the connector pins which are in physical contact with the relay pins. Due to the relaxation of the compactness of the scan board 110, since the thickness of the scan board 110 is allowed, the switch 121 and the controller 123 having various thicknesses may be installed in the scan board 110. As a result, according to the relay board 150, the scan board 110 can be easily manufactured.

고정 커넥터(157)가 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)에 장착되면, 중계 보드(150)는 베이스 플레이트(210) 또는 지그 플레이트(330)에 체결될 수 있다. 일 예로, 중계 보드(150)는 지그 플레이트(330)에 나사 결합될 수 있다. 나사 결합 등에 의해 고정 커넥터(157)는 지그 커넥터(370)에 접촉된 상태를 유지할 수 있다. 그리고, 고정 커넥터(157)에 반대되는 면에 형성된 중계 커넥터(159)에 대해 스캔 보드(110)의 제1 스캔 커넥터(119)가 착탈될 수 있다.When the fixed connector 157 is mounted on the base connector 270 or the jig connector 370, the relay board 150 may be fastened to the base plate 210 or the jig plate 330. For example, the relay board 150 may be screwed to the jig plate 330. The fixed connector 157 may remain in contact with the jig connector 370 by screwing or the like. In addition, the first scan connector 119 of the scan board 110 may be attached to or detached from the relay connector 159 formed on the surface opposite to the fixed connector 157.

본 실시예에 따르면, 베이스 커넥터(270) 또는 지그 커넥터(370)에 대해 제1 스캔 커넥터(119)가 착탈되는 대신, 중계 보드(150)의 중계 커넥터(159)에 제1 스캔 커넥터(119)가 착탈될 수 있다. 따라서, 스캔 보드(110)가 빈번하게 교체되더라도, 중계 보드(150)의 중계 커넥터(159)만 훼손될 뿐, 베이스 커넥터(270) 및 지그 커넥터(370)의 훼손이 방지될 수 있다. 추후, 중계 커넥터(159)가 훼손되면, 중계 보드(150)만 교체하면 충분하다.According to the present exemplary embodiment, the first scan connector 119 is attached to the relay connector 159 of the relay board 150 instead of the first scan connector 119 attached to the base connector 270 or the jig connector 370. Can be removed. Therefore, even if the scan board 110 is frequently replaced, only the relay connector 159 of the relay board 150 may be damaged, and the base connector 270 and the jig connector 370 may be prevented from being damaged. In the future, if the relay connector 159 is damaged, it is sufficient to replace only the relay board 150.

한편, 하나의 검사 블록(230)에 대해 복수의 스캔 보드(110)가 설치된 경우, 복수의 스캔 보드(110)를 연결하는 연결 보드(130)가 마련될 수 있다.Meanwhile, when a plurality of scan boards 110 are installed for one test block 230, a connection board 130 for connecting the plurality of scan boards 110 may be provided.

스캔 보드(110)에는 연결 보드(130)에 착탈되는 제2 스캔 커넥터(118)가 마련될 수 있다. 연결 보드(130)에는 제2 스캔 커넥터(118)에 착탈되는 연결 커넥터(138)가 마련될 수 있다.The scan board 110 may be provided with a second scan connector 118 detachable from the connection board 130. The connection board 130 may be provided with a connection connector 138 detachable from the second scan connector 118.

3개의 중계선(460)은 연결 커넥터(138)에 연결될 수 있다.Three relay lines 460 may be connected to the connection connector 138.

제2 중계선(460)을 통해 연결 보드(130)로 전달된 제어부(411)의 제어 신호에는 각 검사 핀(231)의 어드레스 정보가 포함될 수 있다. 어드레스 정보가 포함된 제어 신호는 스캔 보드(110)의 컨트롤러(123)로 전송될 수 있다.The control signal of the controller 411 transmitted to the connection board 130 through the second relay line 460 may include address information of each test pin 231. The control signal including the address information may be transmitted to the controller 123 of the scan board 110.

연결 보드(130)에 스캔 보드(110)를 선택하는 선택부(132)가 마련된 경우, 선택부(132)는 어드레스 정보를 이용해서 제어 신호가 전달될 특정 스캔 보드(110)를 선택할 수 있다. 선택부(132)는 특정 스캔 보드(110)로 제어 신호를 전달할 수 있다. 특정 스캔 보드(110)의 컨트롤러(123)는 제어 신호의 어드레스 정보를 이용해서 특정 검사 핀이 연결 보드(130)에 전기적으로 연결되도록 스위치(121)를 제어할 수 있다.When the selector 132 selecting the scan board 110 is provided in the connection board 130, the selector 132 may select a specific scan board 110 to which a control signal is transmitted using address information. The selector 132 may transmit a control signal to the specific scan board 110. The controller 123 of the specific scan board 110 may control the switch 121 so that the specific test pin is electrically connected to the connection board 130 using the address information of the control signal.

연결 보드(130)에 선택부(132)가 없는 경우, 제어 신호는 연결 보드(130)에 연결된 모든 스캔 보드(110)로 전달될 수 있다. 각 스캔 보드(110)의 컨트롤러(123)는 제어 신호에 포함된 어드레스를 분석해서 자신의 담당 어드레스가 아니면 해당 제어 신호를 무시할 수 있다. 제어 신호에 포함된 어드레스가 자신의 담당 어드레이스에 해당하면, 해당 컨트롤러(123)는 특정 검사 핀이 연결 보드(130)에 전기적으로 연결되도록 스위치(121)를 제어할 수 있다.If there is no selector 132 in the connection board 130, the control signal may be transmitted to all the scan boards 110 connected to the connection board 130. The controller 123 of each scan board 110 may analyze an address included in the control signal and ignore the control signal unless it is an address of its own. If the address included in the control signal corresponds to its own address, the controller 123 may control the switch 121 so that a specific test pin is electrically connected to the connection board 130.

컨트롤러(123)는 제어 신호에 포함된 어드레스 정보를 이용해서 스위치(121)를 제어하고, 스위치(121)는 어드레스 정보가 나타내는 검사 핀(231)을 연결 커넥터(138)에 전기적으로 연결시킬 수 있다. 연결 커넥터(138)에 연결된 검사 핀(231)은 연결 보드(130)에 연결된 제1 중계선(460)을 통해 제어부(411)에 전기적으로 연결될 수 있다.The controller 123 controls the switch 121 using the address information included in the control signal, and the switch 121 may electrically connect the test pin 231 indicated by the address information to the connection connector 138. . The test pin 231 connected to the connection connector 138 may be electrically connected to the controller 411 through the first relay line 460 connected to the connection board 130.

제어부(411)는 해당 검사 핀(231)에 대한 통전 검사를 수행한 후, 다른 검사 핀(231)의 어드레스 정보가 포함된 제어 신호를 연결 보드(130)로 전달할 수 있다.The controller 411 may perform an energization test on the test pin 231, and then transfer a control signal including address information of another test pin 231 to the connection board 130.

이상에서 설명된 검사 장치는 검사 신호를 직렬 처리하는 제어부(411) 및 왕복 수단(310) 측에 설치되는 스캔 보드(110)를 통해, 분석 수단(410)과 왕복 수단(310)을 연결하는 전선의 개수를 대폭 줄일 수 있다.The test apparatus described above has an electric wire connecting the analysis means 410 and the reciprocating means 310 through the control unit 411 for serially processing the test signal and the scan board 110 provided on the reciprocating means 310 side. The number of can be greatly reduced.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.Although embodiments according to the present invention have been described above, these are merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent embodiments of the present invention are possible therefrom. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the following claims.

10...기판 40...분석기
60...와이어 110...스캔 보드
118...제2 스캔 커넥터 119...제1 스캔 커넥터
120...스위칭부 121...스위치
123...컨트롤러 130...연결 보드
132...선택부 138...연결 커넥터
150...중계 보드 157...고정 커넥터
159...중계 커넥터 210...베이스 플레이트
230...검사 블록 231...검사 핀
250...지지부 260...연결선
270...베이스 커넥터 310...왕복 수단
330...지그 플레이트 370...지그 커넥터
410...분석 수단 411...제어부
413...처리부 415...전력부
460...중계선10 ... substrate 40 ... analyzer
60 ... wire 110 ... scan board
118 ... 2nd scan connector 119 ... 1st scan connector
120 ... switch 121 ... switch
123 Controller 130 Connection Board
132 ... Optional 138 ... Connector
150 ... relay board 157 ... fixed connector
159 ... relay connector 210 ... base plate
230 ... Inspection block 231 ... Inspection pin
250 Support 260 Connection
270 ... base connector 310 ... round trip
330 ... Jig Plate 370 ... Jig Connector
410 Analytical Means 411 Control Unit
413 Processing section 415 Power section
460 ...

Claims

An inspection block provided with a plurality of inspection pins contacting the substrate together;
Reciprocating means for moving the inspection block to contact the inspection pin with the substrate;
Analysis means installed at a position spaced apart from the reciprocating means and applying a test signal to a selected specific test pin;
A scan board moving with the inspection block by the reciprocating means and electrically connected to a plurality of the inspection pins;
A relay line connecting the scan board and the analysis means;
Including,
The scan board is provided with a switching unit for electrically connecting a specific test pin selected from the plurality of test pins to the analysis means,
The relay line is connected to the switching unit and the analysis means, and provided with a number less than the number of the test pin,
A base plate provided with the inspection block, a jig plate to which the base plate is attached and detached, and a relay board to be attached to and detached from the jig plate,
The scan board is detached from the relay board,
The scan board is provided with a first scan connector detachable to the relay board,
The jig plate is provided with a jig connector electrically connected to the inspection pin,
The relay board is provided with a relay connector detachable from the first scan connector, a fixed connector detachable from the jig connector, a pattern portion for electrically connecting the relay connector and the fixed connector,
And the relay pins forming the relay connector are distributed by the pattern portion at a wider interval than an interval of the fixing pins forming the fixed connector.

The method of claim 1,
The analyzing means provides the test signal, the control signal of the switching unit and the driving power of the switching unit,
The relay line includes a first relay line through which the test signal flows, a second relay line through which the control signal flows, and a third relay line through which the driving power flows.

The method of claim 1,
The analyzing means is provided with a controller for serially processing test signals for a plurality of test pins,
The controller sequentially applies the test signal to a plurality of test pins.
And a first relay line which connects the scan board and the analysis means by the control unit which processes the test signal in series.

The method of claim 1,
The switch is provided with a switch for connecting the specific test pin to the analysis means, a controller for controlling the switch,
The analyzing means transmits a control signal including address information of the specific test pin to the controller,
And the controller controls the switch using the address information.

The method of claim 1,
A processing unit for processing the test signal returned through the test pin is provided,
And said processing unit is provided in any one of said scan board and said analysis means.

The method of claim 1,
A base plate provided with the inspection block and a jig plate to which the base plate is attached and detached is provided,
The reciprocating means moves the jig plate,
And the scan board is mounted to the jig plate.

The method of claim 6,
The base plate is provided with a base connector,
The jig plate is provided with a jig connector,
The test pin is connected to the base connector through a connecting line,
When the base plate is mounted on the jig plate, the base connector is connected to the jig connector,
The scan board is connected to the test pin through the jig connector, the base connector, the connecting line in order,
And the scan board is connected to the analysis means via the relay line.

delete

The method of claim 1,
And the relay board is fastened to the jig plate when the fixed connector is mounted to the jig connector.

The method of claim 1,
The scan board is provided in plurality for the inspection block,
A connection board for connecting a plurality of the scan board is provided,
The scan board is provided with a second scan connector detachable from the connection board,
The connection board is electrically connected to a plurality of the scan boards through the second scan connector.
And the relay line is connected to the connection board.