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KR102041391B1 - 일시 보관 시스템 - Google Patents

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KR102041391B1
KR102041391B1 KR1020187028535A KR20187028535A KR102041391B1 KR 102041391 B1 KR102041391 B1 KR 102041391B1 KR 1020187028535 A KR1020187028535 A KR 1020187028535A KR 20187028535 A KR20187028535 A KR 20187028535A KR 102041391 B1 KR102041391 B1 KR 102041391B1
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traveling
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타카시 스즈키
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명의 일시 보관 시스템(100)은, 복수의 제1 레일(9)과 복수의 제2 레일(11)이 동일 면 상에 격자 형상으로 배치되고, 상방에서 볼 때에 있어서, 물품(50)이 이재되는 이재 포트를 둘러싸듯이 설치된 주행 레일(4)과, 주행부(24)와 승강부(45)를 포함하는 이재부(26)를 갖는 대차(8)와, 물품(50)을 보관하는 복수의 보관부(22)를 구비하며, 주행 레일(4)은, 이재 포트에 대해 보관부(22)가 설치된 쪽으로부터 대차(8)가 이재 포트의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 정지 위치로 들어올 수 있으며, 또한, 대차(8)가 보관부(22)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 정지 위치로 들어올 수 있게 되도록 배치되어 있다.

Description

일시 보관 시스템
[0001] 본 발명은, 일시(一時) 보관 시스템에 관한 것이다.
[0002] 종래의 일시 보관 시스템으로서 예컨대, 특허문헌 1에 기재된 시스템이 알려져 있다. 특허문헌 1에 기재된 반송 시스템은, 처리 장치의 로드 포트(load port)의 상부를 통과하는 제1 궤도와, 제1 궤도를 따라 주행하며 또한 호이스트를 구비하는 천정 주행차와, 제1 궤도의 하방에서, 로드 포트의 상방을 통과하고, 또한 제1 궤도와 평행하게 배치된 제2 궤도와, 제2 궤도의 하방에서, 로드 포트보다 높은 위치에, 로드 포트의 수직상방부(直上部)를 물품이 연직 방향으로 통과할 수 있게 설치된, 물품을 두기 위한 버퍼와, 버퍼 및 로드 포트의 사이에서 물품을 주고 받는 호이스트를 구비하며, 또한 제2 궤도를 따라 주행하는 로컬 대차(台車)를 구비하고 있다.
[0003] 일본 특허공개공보 제2012-111635호
[0004] 그러나, 버퍼의 수를 늘리기 위해서는, 제2 궤도를 연장할 필요가 있으며, 버퍼의 수를 늘릴수록, 제2 궤도의 연장 방향 양단부의 버퍼는 로드 포트로부터 멀어진다. 즉, 로드 포트의 부근에 많은 물품을 일시 보관하기는 어렵다.
[0005] 본 발명의 일 측면은, 이재(移載) 포트에 대해서, 대차에 의해 신속하게 물품을 반송할 수 있는 위치에 많은 물품을 일시 보관할 수 있는 일시 보관 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0006] 본 발명의 일 측면과 관련되는 일시 보관 시스템은, 제1 방향으로 직선 형상으로 연장되는 복수의 제1 레일과, 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 레일을 가지며, 복수의 제1 레일과 복수의 제2 레일이 동일 면 상에 격자 형상으로 배치되고, 상방에서 볼 때(平面視)에 있어서, 물품이 이재되는 이재 포트를 둘러싸듯이 설치된 주행 레일과, 주행 레일을 제1 방향 및 제2 방향으로 주행할 수 있는 주행부와, 물품을 유지하는 유지부 및 유지부를 승강시키는 승강부를 포함한 이재부를 가지는 대차와, 물품을 보관하는 복수의 보관부를 구비하며, 주행 레일은, 이재 포트에 대해 보관부가 설치된 쪽으로부터 대차가 이재 포트의 바로 위(直上)에 이재부가 배치되는 제1 정지 위치로 들어올 수 있으며, 또한, 대차가 보관부의 바로 위에 이재부가 배치되는 제2 정지 위치로 들어올 수 있게 되도록 배치되어 있다.
[0007] 본 발명의 일 측면과 관련되는 일시 보관 시스템에서는, 상방에서 볼 때(平面視)에 있어서, 물품이 이재되는 이재 포트를 둘러싸듯이 주행 레일이 설치되어 있다. 주행 레일은, 이재 포트에 대해 보관부가 설치된 쪽으로부터 대차가 이재 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 제1 정지 위치로 들어올 수 있으며, 또한, 대차가 보관부의 바로 위에 이재부가 배치되는 제2 정지 위치로 들어올 수 있게 되도록 배치되어 있다. 이로써, 일시 보관 시스템에서는, 이재 포트에 대해서, 대차에 의해 신속하게 물품을 반송할 수 있는 위치에 많은 물품을 일시 보관할 수가 있다.
[0008] 일 실시형태에 있어서는, 대차는, 이재부가 주행 레일보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일 위를 주행하고, 주행 레일은, 상방에서 볼 때에 있어서 이재 포트를 포함하는 영역이 개구부로 되어 있으며, 대차는, 개구부를 통해 이재부에 의해 이재 포트에 대해서 물품의 이재를 실시해도 된다. 이로써, 이재부가 주행 레일보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일 위를 주행하는 대차의 구성에 있어서, 상방에서 볼 때에 있어서의 이재 포트의 주위에 주행 레일을 설치하여도, 대차가 이재 포트에 대해 물품을 이재할 수가 있다.
[0009] 일 실시형태에 있어서는, 주행 레일은, 복수의 제1 레일과 복수의 제2 레일이, 각각 물품이 연직 방향으로 통과할 수 있는 간격을 두고 배치되어 있고, 보관부는, 제1 레일과 제2 레일에 의해 구획되는 공간의 바로 아래(直下)에 설치되어 있으며, 대차는, 공간을 통해 이재부에 의해 보관부에 대해서 물품의 이재를 실시해도 된다. 이 구성에서는, 이재부가 주행 레일보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일 위를 주행하는 대차의 구성에 있어서, 대차의 주행을 방해하지 않는 위치에 많은 물품을 보관할 수가 있다.
[0010] 일 실시형태에 있어서는, 이재 포트는, 처리 장치에 설치되는 로드 포트이며, 개구부는, 처리 장치에 설치되는 복수의 이재 포트를 포함하는 영역을 가지고 있어도 된다. 이 구성에서는, 상방에서 볼 때에 있어서의 주행 레일과 이재 포트 간의 상대 위치의 자유도를 확보할 수가 있다.
[0011] 일 실시형태에 있어서는, 이재부는, 승강부를 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따른 평면과 평행한 방향에 있어서 진퇴 가능한 이동부를 가지며, 대차는, 개구부를 형성하는 제1 레일 및 제2 레일의 적어도 일방(一方)의 위에서 정지하고, 이동부를 진출시킴으로써, 개구부를 통해 이재 포트에 물품을 이재해도 된다. 이 구성에서는, 개구부의 영역을 넓게 할 수 있게 된다. 따라서, 상방에서 볼 때에 있어서의 주행 레일과 이재 포트 간의 상대 위치의 자유도를 확보할 수가 있다.
[0012] 일 실시형태에 있어서는, 주행 레일에는, 이재 포트에 대한 대차의 정지 위치에 피(被)검출체가 설치되어 있으며, 대차는, 피검출체를 검출하는 검출부를 구비하고, 주행부는, 검출부에 의한 검출 결과에 근거하여, 정지 위치에 있어서 정지해도 된다. 이 구성에서는, 대차를 정지 위치에 있어서 양호한 정밀도로 정지시킬 수가 있다.
[0013] 일 실시형태에 있어서는, 주행 레일은, 이재 포트의 바로 위에서 대차가 정지할 수 있도록 배치되어 있으며, 대차는, 이재 포트의 바로 위에서 정지하고, 개구부를 통해 물품을 이재 포트에 이재해도 된다. 이 구성에서는, 이재 포트에 대해서 물품을 신속히 이재할 수가 있다.
[0014] 일 실시형태에 있어서는, 대차는, 이재부가 주행 레일보다 하측에 위치한 상태에서 주행 레일을 주행해도 된다. 이 구성에서는, 주행 레일에 개구부를 설치하지 않아도, 이재 포트에 물품을 이재할 수가 있다.
[0015] 일 실시형태에 있어서는, 주행 레일에는, 이재 포트에 대한 대차의 정지 위치에 피검출체가 설치되어 있으며, 대차는, 피검출체를 검출하는 검출부를 구비하고, 주행부는, 검출부에 의한 검출 결과에 근거하여, 정지 위치에 있어서 대차를 정지시켜도 된다. 이 구성에서는, 대차를, 이재 포트에 대한 정지 위치에 있어서 양호한 정밀도로 정지시킬 수가 있다.
[0016] 본 발명의 일 측면에 의하면, 이재 포트에 대해서, 대차에 의해 신속하게 물품을 반송할 수 있는 위치에 많은 물품을 일시 보관할 수가 있다.
[0017] 도 1은, 일 실시형태와 관련된 일시 보관 시스템을 포함하는 반송 시스템의 평면도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 반송 시스템의 일부를 나타내는 사시도이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 반송 시스템의 주행 레일의 하방에 설치된 처리 장치를 나타낸 도면이다.
도 4는, 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 5는, 대차를 나타낸 도면이다.
도 6은, 대차를 바닥 면 측에서 본 도면이다.
도 7은, 대차의 이재부가 슬라이드 포크를 신장(伸長)시킨 상태를 나타낸 도면이다.
도 8은, 바코드가 설치된 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 9는, 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 10은, 로드 포트의 바로 위에 이재부가 배치되는 정지 위치에 대차가 위치하고 있는 도면이다.
도 11은, 대차의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는, 대차의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 13은, 대차의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 14는, 대차의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 15는, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 16은, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 대차를 나타낸 도면이다.
도 17은, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 대차를 나타낸 도면이다.
도 18은, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 주행 레일을 나타낸 도면이다.
도 19는, 다른 실시형태와 관련되는 반송 시스템의 주행 레일을 나타낸 도면이다.
[0018] 이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 적합한 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서 동일하거나 또는 그에 상당하는 요소에는 동일 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.
[0019] 도 1에 나타내어지는 반송 시스템(100)은, 예컨대, 복수의 처리 장치를 구비하는 반도체 제조 공장의 클린 룸(clean room) 내에서, 복수의 반도체 웨이퍼 등의 기판이 수용된 카세트를 반송하기 위한 시스템이다. 카세트는, 반도체 웨이퍼용의 반송 및 보관 등을 목적으로 한 캐리어(물품)이며, FOUP(Front Opening Unified Pod), FOSB(Front Opening Shipping Box), SmifPod 등이다. 본 실시형태에서는, FOUP(50)를 반송하는 반송 시스템을 일례로 설명한다. FOUP(50)는, 본체부(51)와, 본체부(51)의 개구부에 부착되는 덮개(52)와, 본체부(51)의 상부에 설치된 플랜지부(53)를 구비하고 있다. 반송 시스템(100)은, FOUP(50)를 일시적으로 보관하는 일시 보관 시스템으로서의 기능도 가지고 있다.
[0020] 도 1 또는 도 2에 도시된 바와 같이, 반송 시스템(100)은, 주행 레일(4)과, 주행 레일(4)을 주행하는 대차(8)와, 궤도(R)와, 궤도(R)를 주행하는 천정 반송차(V)를 구비하고 있다. 궤도(R)는, 클린 룸의 천정 부근에 부설(敷設)되어 있다. 궤도(R)는, 반송 시스템(100)과 다른 반송 시스템에 걸쳐 설치되어 있다. 궤도(R)의 일부는, 주행 레일(4)의 상방에 배치되어 있다. 즉, 천정 반송차(V)는, 주행 레일(4)의 상방을 주행한다. 천정 반송차(V)는, FOUP(50)의 반송원(元)과 반송처가 모두 궤도(R)의 바로 아래에 있는 경우에는, 주행 레일(4)을 주행하는 대차(8)보다 신속하게 FOUP(50)를 반송할 수 있기 때문에, 이러한 조건에 있어서, 대차(8)보다 신속하게 반송하고자 하는 FOUP(50)의 반송에 이용된다. 또한, 궤도(R)는, 주행 레일(4)과 같은 높이, 혹은 주행 레일(4)보다 하방에 설치되어 있어도 된다.
[0021] 천정 반송차(V)는, OHT(Over Head Transfer)이다. 천정 반송차(V)는, 주행 레일(4)에 설치된 셀 버퍼(22, 후술함)에 대해 FOUP(50)를 반송하는 동시에, 셀 버퍼(22)로부터 FOUP(50)를 픽업하여 다른 반송 시스템에 FOUP(50)를 반송한다.
[0022] 도 1에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)의 하방에는, 처리 장치가 설치되어 있다. 구체적으로는, 주행 레일(4)의 하방에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 처리 장치(M1)를 복수로 가지는 제1 처리 장치 그룹(G1)과, 제2 처리 장치(M2)를 복수로 가지는 제2 처리 장치 그룹(G2)과, 제3 처리 장치(M3)를 복수로 가지는 제3 처리 장치 그룹(G3)과, 제4 처리 장치(M4)를 복수로 구비하는 제4 처리 장치 그룹(G4)과, 제5 처리 장치(M5)를 복수로 가지는 제5 처리 장치 그룹(G5)과, 제6 처리 장치(M6)를 복수로 가지는 제6 처리 장치 그룹(G6)과, 제7 처리 장치(M7)를 복수로 가지는 제7 처리 장치 그룹(G7)과, 제8 처리 장치(M8)를 복수로 가지는 제8 처리 장치 그룹(G8)과, 제9 처리 장치(M9)를 복수로 가지는 제9 처리 장치 그룹(G9)이 설치되어 있다. 제1 처리 장치 그룹(G1)~제9 처리 장치 그룹(G9)은, 각각 반도체의 제조와 관련되는 각 공정(제조 프로세스)의 처리를 행하는 것이다. 제1 처리 장치 그룹(G1)~제9 처리 장치 그룹(G9)은, 예컨대, 반도체 웨이퍼에 대한 막형성(成膜), 반도체 웨이퍼의 세정 등을 행한다. 반도체의 제조와 관련되는 처리는, 1개의 처리 장치 그룹으로는 완결되지 않고, 1개의 처리 장치 그룹에 의해 처리가 행해진 후, 다른 처리 장치 그룹에 의해 행해진다.
[0023] 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제2 처리 장치 그룹(G2)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제3 처리 장치 그룹(G3)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제4 처리 장치 그룹(G4)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제4 처리 장치 그룹(G4)과 제5 처리 장치 그룹(G5)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제3 처리 장치 그룹(G3)과 제5 처리 장치 그룹(G5)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제4 처리 장치 그룹(G4)과 제7 처리 장치 그룹(G7)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제4 처리 장치 그룹(G4)과 제6 처리 장치 그룹(G6)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제6 처리 장치 그룹(G6)과 제7 처리 장치 그룹(G7)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제6 처리 장치 그룹(G6)과 제8 처리 장치 그룹(G8)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제8 처리 장치 그룹(G8)과 제9 처리 장치 그룹(G9)은, Y방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다. 제7 처리 장치 그룹(G7)과 제9 처리 장치 그룹(G9)은, X방향에 있어서 인접하여 배치되어 있다.
[0024] 제1~제9 처리 장치(M1~M9)는, 반도체 웨이퍼에 대해서 같은 처리를 실시하는 장치여도 되고, 다른 처리를 실시하는 장치여도 된다. 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 수는, 설계에 따라 적절히 설정되면 된다.
[0025] 제1 처리 장치(M1)는, FOUP(50) 내의 반도체 웨이퍼를 제1 처리 장치(M1)에 대해 출입시키는 인터페이스인 제1 로드 포트(이재 포트)(이하, 단순히 「로드 포트」라 칭함; P1)를 갖는다. 제1 처리 장치(M1)에는, 예컨대, 제1 로드 포트(P1)가 3개 설치되어 있다. 제2 처리 장치(M2)는, 제2 로드 포트(P2)를 갖는다. 제3 처리 장치(M3)는, 제3 로드 포트(P3)를 갖는다. 제4 처리 장치(M4)는, 제4 로드 포트(P4)를 갖는다. 제5 처리 장치(M5)는, 제5 로드 포트(P5)를 갖는다. 제6 처리 장치(M6)는, 제6 로드 포트(P6)를 갖는다. 제7 처리 장치(M7)는 제7 로드 포트(P7)를 갖는다. 제8 처리 장치(M8)는, 제8 로드 포트(P8)를 갖는다. 제9 처리 장치(M9)는, 제9 로드 포트(P9)를 갖는다. 제1~제9 처리 장치(M1~M9)에 있어서의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 수는, 적절히 설정되면 된다.
[0026] 제1 처리 장치 그룹(G1)에서는, 제1 처리 장치(M1)가 Y방향에 있어서 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 제1 로드 포트(P1)의 각각은, Y방향을 따라 배치되어 있다. 마찬가지로, 제2~제9 처리 장치 그룹(G2~G9)의 각각에서는, 제2~제9 처리 장치(M2~M9)가 Y방향으로 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. 제2~제9 로드 포트(P2~P9)의 각각은, Y방향을 따라 배치되어 있다.
[0027] 제1 처리 장치 그룹(G1)의 제1 처리 장치(M1)와 제4 처리 장치 그룹(G4)의 제4 처리 장치(M4)는, 제1 로드 포트(P1)와 제4 로드 포트(P4)가 대향하도록 배치되어 있다. 제1 로드 포트(P1)와 제4 로드 포트(P4)의 사이에는, 통로(A1)가 설치되어 있다. 통로(A1)는, 예컨대, 작업자가 보행 가능한 폭을 갖는다. 제2 처리 장치 그룹(G2)과 제3 처리 장치 그룹(G3)의 사이에는, 통로(A2)가 설치되어 있다. 제3 처리 장치 그룹(G3)과 제5 처리 장치 그룹(G5)의 사이에는, 통로(A3)가 설치되어 있다. 제6 처리 장치 그룹(G6)과 제8 처리 장치 그룹(G8)의 사이에는, 통로(A4)가 설치되어 있다. 제7 처리 장치 그룹(G7)과 제9 처리 장치 그룹(G9)의 사이에는, 통로(A5)가 설치되어 있다.
[0028] 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)은, 상방에서 볼 때에 있어서 격자 형상으로 설치되어 있다. 주행 레일(4)은, 예컨대, 클린 룸의 천정에 지지 기둥(도시생략)에 의해 지지되어 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)은, 복수의 제1 레일(9)과, 복수의 제2 레일(11)에 의해 구성되어 있다.
[0029] 제1 레일(9)은, X방향(제1 방향)으로 직선 형상으로 연장되어 있다. 제1 레일(9)에는, 가이드(10)가 설치되어 있다. 가이드(10)는, 홈이며, 제1 레일(9)의 연장 방향을 따라 설치되어 있다. 제2 레일(11)은, 제1 레일(9)이 연장되는 X방향과 직교하는 Y방향(제2 방향)으로 직선 형상으로 연장되어 있다. 제2 레일(11)에는, 가이드(12)가 설치되어 있다. 가이드(12)는, 홈이며, 제2 레일(11)의 연장 방향을 따라 설치되어 있다. 제1 레일(9)의 가이드(10)와 제2 레일(11)의 가이드(12)가 교차하는 부분에는, 크로스 포인트(14)가 설치되어 있다.
[0030] 도 5에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)의 하방이며 또한 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 상방에는, 버퍼(6)가 설치되어 있다. 버퍼(6)는, FOUP(50)가 재치(載置)되는 선반이며, FOUP(50)를 수용한다. 버퍼(6)는, 지지 부재(20)에 의해 주행 레일(4)에 지지되어 있다. 버퍼(6)는, 복수의 셀 버퍼(보관부; 22)에 의해 구성되어 있다. 셀 버퍼(22)는, 주행 레일(4)에 있어서 제1 레일(9) 및 제2 레일(11)에 의해 구획되는 직사각형의 셀(공간; 16)마다 설정되어 있다. 셀 버퍼(22)의 각각은, 1개의 FOUP(50)를 보관한다. 셀 버퍼(22)에서는, 셀(16)을 통해 FOUP(50)가 이재된다. 즉, FOUP(50)는, 셀(16)을 연직 방향에 있어서 통과하여 셀 버퍼(22)에 이재된다. 도 5에 도시된 바와 같이, 버퍼(6)는, 그 버퍼(6) 상에 재치된 FOUP(50)의 일부가, 측면에서 볼 때에 있어서 주행 레일(4)과 겹치는 위치에 설치되어 있다.
[0031] 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4) 상에는, 대차(8)가 설치되어 있다. 대차(8)는, 주행 레일(4) 상에 복수로 설치되어 있다. 대차(8)는, 주행부(24)와, 이재부(26)를 구비하고 있다. 또, 대차(8)는, 주행부(24) 및 이재부(26)의 동작을 제어하는 제어부, 상위 컨트롤러와 통신 가능한 통신부 등을 더 구비하고 있다. 제어부는, 예컨대, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory) 및 RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다. 대차(8)는, 상위 컨트롤러로부터의 명령에 의해, FOUP(50)를 반송한다.
[0032] 주행부(24)는, 직육면체 형상을 띄고 있다. 주행부(24)는, 상방에서 볼 때에 있어서 셀(16)과 같은 사이즈이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 주행부(24)는, 복수(본 실시형태에서는 4개)의 주행 유닛(35)을 가지고 있다. 각 주행 유닛(35)은, 복수(본 실시형태에서는 2개)의 차륜(32a) 또는 차륜(32b)과, 주행 모터(34)와, 상하 기구(전환부; 30)를 각각 갖는다. 차륜(32a)은, 주행부(24)에 있어서 서로 대향하는 2변에 2개씩 설치되어 있다. 차륜(32b)은, 주행부(24)에 있어서, 차륜(32a)이 설치된 변과 직교하고, 또한 서로 대향하는 2변에 2개씩 설치되어 있다. 차륜(32a)은, 제1 레일(9)의 가이드(10)에 의해 가이드되어, 제1 레일(9)에 있어서의 주행 면 위를 주행한다. 차륜(32b)은, 제2 레일(11)의 가이드(12)에 의해 가이드되어, 제2 레일(11)에 있어서의 주행 면 위를 주행한다. 주행 모터(34)는, 차륜(32a, 32b)을 구동시킨다. 상하 기구(30)는, 차륜(32a, 32b) 및 주행 모터(34)를 상하방향으로 이동시킨다. 상하 기구(30)는, 예컨대, 팬터그래프(pantograph), 캠 등이다.
[0033] 주행부(24)는, 상하 기구(30)에 의한 차륜(32a, 32b)의 상하방향의 이동에 의해, 차륜(32a) 또는 차륜(32b)이 제1 레일(9)의 가이드(10) 또는 제2 레일(11)의 가이드(12)에 접촉하며, 제1 레일(9) 또는 제2 레일(11)을 따라 주행한다. 즉, 상하 기구(30)는, 차륜(32a) 또는 차륜(32b)을 상하방향으로 이동시킴으로써, 차륜(32a)이 제1 레일(9)을 따라 주행하는 제1 주행 상태와, 차륜(32b)이 제2 레일(11)을 따라 주행하는 제2 주행 상태로 주행 상태를 전환한다.
[0034] 주행부(24)는, 센서(36)와, 바코드 리더(검출부; 38)를 갖는다. 센서(36)는, 주행부(24)의 네 모서리에 있어서 바닥 면에 배치되어 있다. 센서(36)는, 주행 레일(4)의 크로스 포인트(14)를 검출한다. 주행부(24)는, 센서(36)에 의해 검출된 크로스 포인트(14)에 근거하여, 주행부(24)의 중심이 주행 레일(4)의 셀(16)의 중심에 위치하도록 정지한다.
[0035] 바코드 리더(38)는, 바코드(피검출체; B, 도 8 참조)를 읽어낸다. 바코드 리더(38)는, 각 주행 유닛(35)에 각각 설치되고, 주행부(24)의 바닥 면에 배치되어 있다. 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 레일(9; 제2 레일(11))에는, 바코드(B)가 설치되어 있다. 상세하게는, 바코드(B)는, 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 바로 위에 이재부(26)가 배치 가능해지는 대차(8)의 정지 위치에 배치되어 있다. 주행부(24)는, 바코드 리더(38)에 의해 검출된 바코드(B)에 근거하여, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대한 정지 위치에서 정지한다.
[0036] 이재부(26)는, 주행부(24)로부터 돌출되어 있다. 이재부(26)는, 슬라이드 포크(이동부; 40)와, 턴테이블(44)과, 승강 장치(승강부; 45)와, 승강대(46)와, 룩 다운 센서(look down sensor; 47, 48)를 구비하고 있다.
[0037] 슬라이드 포크(40)는, 주행부(24)에 지지되는 지지체(26A)에 지지되어 있다. 슬라이드 포크(40)는, 베이스부(41)와, 미들부(42)와, 탑부(43)를 갖는다. 베이스부(41)는, 이재부(26)의 지지체(26A)에 설치되어 있다. 슬라이드 포크(40)는, 승강 장치(45)를, X방향 및 Y방향을 따른 평면과 평행한 방향에 있어서 진퇴시킨다. 도 7에 도시된 바와 같이, 탑부(43)는, 베이스부(41)에 대해, 예컨대 셀(16)의 한 변에 상당하는 스트로크(stroke)로, 이재부(26)의 양측으로 진출한다.
[0038] 턴테이블(44)은, 탑부(43)의 하부에 설치되어 있다. 턴테이블(44)은, 해당 턴테이블(44)의 하부에 설치되어 있는 승강 장치(45)를 회전시킨다. 턴테이블(44)은, 예컨대, 180° 회전 가능하게 설치되어 있다. 승강 장치(45)는, 벨트, 로프, 와이어 등에 의해 승강대(46)를 승강시킨다. 승강대(46)는, FOUP(50)의 플랜지부(53)를 유지(파지(把持))하는 그립퍼(유지부; 46A)를 갖는다.
[0039] 룩 다운 센서(47, 48)는, 승강대(46)를 승강시킬 때, 승강대(46)의 주위의 물체를 검출한다. 룩 다운 센서(47, 48)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 탑부(43)에 있어서, 승강 장치(45)를 사이에 두는 위치에 배치되어 있다. 구체적으로는, 룩 다운 센서(47, 48)는, 승강대(46)에 FOUP(50)가 유지된 상태에서 FOUP(50)가 물체의 검출에 방해가 되지 않는 위치에 배치되어 있다. 이재부(26)는, 셀 버퍼(22)에 있어서의 FOUP(50)의 유무를 검출하는 센서, FOUP(50)에 설치된 ID 등을 읽어들이는 ID 리더 등을 더 구비하고 있어도 된다. 또, 이재부(26)는, 천정 반송차(V)와의 접촉을 회피하기 위해, 대차(8) 주위의 물체(장애물)를 검출하는 센서를 더 구비하고 있어도 된다.
[0040] 대차(8)는, 카운터 웨이트(49)를 가지고 있다. 카운터 웨이트(49)는, 주행부(24)에 설치되어 있다. 카운터 웨이트(49)는, 이재부(26)로부터 차륜(32)에 가해지는 힘의 모멘트를 상쇄하는 기능을 갖는다. 카운터 웨이트(49)는, 대차(8)의 중심(重心)을, 복수의 차륜(32a, 32b)에 의해 둘러싸이는 범위 내로 유지한다.
[0041] 계속해서, 주행 레일(4)에 대해, 더욱 상세하게 설명한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)은, 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9) 상에 설치되어 있다. 주행 레일(4)은, 복수의 처리 장치 그룹에 걸쳐 제1~제9 처리 장치 그룹(G1~G9)이 설치되어 있는 영역의 전면(全面)에 배치되어 있다. 구체적인 일례로서는, 격자 형상의 주행 레일(4)은, 예컨대, 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제4 처리 장치 그룹(G4)의 사이에 걸쳐 설치되어 있다. 즉, 주행 레일(4)은, 제1 처리 장치 그룹(G1)과 제4 처리 장치 그룹(G4)의 사이에 설치된 통로(A1) 상에도 설치되어 있다.
[0042] 도 9에 도시된 바와 같이, 주행 레일(4)에는, 개구부(K)가 설치되어 있다. 도 9에 나타내는 예에서는, 개구부(K)는, 제1 처리 장치(M1)의 제1 로드 포트(P1)의 바로 위(연직 상방)에 설치되어 있다. 개구부(K)는, 제1 레일(9)과 제2 레일(11)에 의해 구획된 영역이다. 개구부(K)에 의해, 제1 로드 포트(P1)의 상방은, 개방된 공간으로 되어 있다. 즉, 개구부(K)의 영역의 하방에는, 버퍼(6)가 설치되어 있지 않다. 개구부(K)는, 복수(여기에서는 3개)의 제1 로드 포트(P1)를 포함하는 영역으로 설정되어 있다. 개구부(K)의 길이방향(Y방향)의 사이즈는, 동일 방향에 있어서의 제1 로드 포트(P1)의 일방(一方)의 단부로부터 타방(他方)의 단부까지의 사이즈보다 크다. 개구부(K)는, 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 상방에 설치되어 있다. 대차(8)에 의해 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 FOUP(50)를 이재할 경우에는, 개구부(K)를 형성하는 제1 레일(9) 및 제2 레일(11)의 적어도 일방의 위에서 정지하고, 슬라이드 포크(40)를 진출시켜, 승강대(46)를 승강시킴으로써, 개구부(K)를 통해 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 FOUP(50)를 이재한다.
[0043] 셀 버퍼(22)는, X방향의 양측 및 Y방향의 양측에 설치되어 있다. 즉, 도 9에 도시된 바와 같이, 셀 버퍼(22)는, 개구부(K)의 주위에 설치되어 있다.
[0044] 주행 레일(4)은, 대차(8)가 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 정지 위치로, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 셀 버퍼(22)가 설치된 쪽으로부터 들어올 수 있으며, 또한, 대차(8)가 셀 버퍼(22)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 정지 위치로 들어올 수 있게 되도록 배치되어 있다. 이 구성에 의해, 도 10에 도시된 바와 같이, 대차(8)에 의해 셀 버퍼(22)로부터 제1 로드 포트(P1)로 FOUP(50)를 이재할 경우, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)가 설치된 쪽(도시된 좌측)으로부터 셀 버퍼(22)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치까지 이동하여 정지하고, 셀(16)을 통해 셀 버퍼(22)로부터 FOUP(50)(1점 쇄선으로 나타냄)를 꺼낸다. 그 후, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)가 설치된 쪽으로부터 제1 로드 포트(P1)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치(도 10에 있어서 대차(8)가 정지하고 있는 위치)까지 이동하여 정지하고, 제1 로드 포트(P1)에 대해서 FOUP(50)를 이재한다.
[0045] 계속해서, 대차(8)의 동작에 대해, 도 11~도 14를 참조하여 상세하게 설명한다. 도 11~도 14에서는, 개구부(K)의 영역 내에 있어서 제4 로드 포트(P4)가 중앙보다 약간 제2 레일(11)쪽으로 치우쳐 있으며, 대차(8)가 제4 로드 포트(P4)에 대해서 도면을 마주할 때 우측에 정지한 상태에서, 슬라이드 포크(40)에 의해 이재부(26)를 제4 로드 포트(P4)의 바로 위로 이동시켜 FOUP(50)의 이재를 행하는 양태에 대해 설명한다.
[0046] 맨 먼저, 도 11에 도시된 바와 같이, 예컨대, 「S1」로 나타내어지는 셀 버퍼(22)로부터, 제4 처리 장치 그룹(G4)의 제4 처리 장치(M4)의 제4 로드 포트(P4)로 FOUP(50)를 반송하는 경우에 대해 설명한다. 도 11에 도시된 바와 같이, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치(대차(8)를 파선(破線)으로 나타내는 위치)에 정지하여, FOUP(50)를 픽업한다. FOUP(50)를 픽업하면, 대차(8)는, Y방향을 따라 도시된 상측으로 이동하고, 제4 로드 포트(P4)에 대해서 셀 버퍼(22)가 설치된 쪽으로부터 제4 로드 포트(P4)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치(대차(8)를 실선으로 나타내는 위치)까지 이동하여 정지하고, 제4 로드 포트(P4)에 FOUP(50)를 이재한다. 이상과 같이, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)로부터 제4 로드 포트(P4)까지, FOUP(50)를 반송한다.
[0047] 계속해서, 도 12에 도시된 바와 같이, 예컨대, 「S2」로 나타내어지는 셀 버퍼(22)로부터, 제4 처리 장치 그룹(G4)의 제4 처리 장치(M4)의 제4 로드 포트(P4)로 FOUP(50)를 반송하는 경우에 대해 설명한다. 도 12에 도시된 바와 같이, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치(대차(8)를 파선으로 나타내는 위치)에 정지하고, FOUP(50)를 픽업한다. FOUP(50)를 픽업하면, 대차(8)는, Y방향을 따라 도시된 하측으로 이동하고, 제4 로드 포트(P4)에 대해서 셀 버퍼(22)가 설치된 쪽으로부터 제4 로드 포트(P4)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치(대차(8)를 실선으로 나타내는 위치)까지 이동하여 정지하고, 제4 로드 포트(P4)에 FOUP(50)를 이재한다. 이상과 같이, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)로부터 제4 로드 포트(P4)까지, FOUP(50)를 반송한다.
[0048] 계속해서, 도 13에 도시된 바와 같이, 예컨대, 「S3」으로 나타내어지는 셀 버퍼(22)로부터, 제4 처리 장치 그룹(G4)의 제4 처리 장치(M4)의 제4 로드 포트(P4)로 FOUP(50)를 반송하는 경우에 대해 설명한다. 도 13에 도시된 바와 같이, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치(대차(8)를 파선으로 나타내는 위치)에 정지하여, FOUP(50)를 픽업한다. FOUP(50)를 픽업하면, 대차(8)는, Y방향을 따라 도시된 하측으로 이동하며, 제4 로드 포트(P4)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치(대차(8)를 실선으로 나타내는 위치)까지 이동하여 정지하고, 제4 로드 포트(P4)에 FOUP(50)를 이재한다. 이상과 같이, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)로부터 제4 로드 포트(P4)까지, FOUP(50)를 반송한다.
[0049] 계속해서, 도 14에 도시된 바와 같이, 예컨대, 「S4」로 나타내어지는 셀 버퍼(22)로부터, 제4 처리 장치 그룹(G4)의 제4 처리 장치(M4)의 제4 로드 포트(P4)에 FOUP(50)를 반송하는 경우에 대해 설명한다. 도 14에 도시된 바와 같이, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치(「1」로 나타내는 위치)에 정지하여, FOUP(50)를 픽업한다. FOUP(50)를 픽업하면, 대차(8)는, Y방향을 따라 도시된 하측의 「2」의 위치까지 이동하고, 그 후, X방향을 따라 도시된 우측의 「3」으로 나타내는 위치까지 이동한다. 그리고, 대차(8)는, 「3」으로 나타내는 위치로부터 제4 로드 포트(P4)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치까지 이동하여 정지하고, 제4 로드 포트(P4)로 FOUP(50)를 이재한다. 이상과 같이, 대차(8)는, 셀 버퍼(22)로부터 제4 로드 포트(P4)까지, FOUP(50)를 반송한다.
[0050] 이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 상방에서 볼 때에 있어서, FOUP(50)가 이재되는 제1~제9 로드 포트(P1~P9)를 둘러싸듯이, 주행 레일(4)이 설치되어 있다. 이 구성에 있어서, 주행 레일(4)은, 상방에서 볼 때에 있어서, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)를 둘러싸는 직사각형의 부분을 구비한다. 이 직사각형의 부분의 적어도 2변에 해당하는 위치에, FOUP(50)가 보관되는 셀 버퍼(22)가 설치되어 있다. 예컨대, 상방에서 볼 때에 있어서, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 사방에, 셀 버퍼(22)가 설치되어 있다. 이 구성에 있어서, 주행 레일(4)은, 대차(8)가 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제1 정지 위치로 들어올 수 있으며, 또한, 대차(8)가 셀 버퍼(22)의 바로 위에 이재부(26)가 배치되는 제2 정지 위치로 들어올 수 있게 되도록 배치되어 있다. 이로써, 반송 시스템(100)에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서, 대차(8)에 의해 신속하게 FOUP(50)를 반송할 수 있는 위치에 많은 FOUP(50)를 일시 보관할 수가 있다.
[0051] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 주행 레일(4)은, 제1 정지 위치로, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해 셀 버퍼(22)가 설치된 쪽으로부터 들어올 수 있게 되도록 설치되어 있다. 이 구성에서는, 대차(8)에 의해 FOUP(50)를 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 신속하게 반송할 수 있는 위치에 많은 FOUP(50)를 일시 보관할 수가 있다.
[0052] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 대차(8)는, 이재부(26)가 주행 레일(4)보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일 위를 주행한다. 주행 레일(4)은, 상방에서 볼 때에 있어서 제1~제9 로드 포트(P1~P9)를 포함하는 영역이 개구부(K)로 되어 있다. 대차(8)는, 개구부(K)를 통해 이재부(26)에 의해 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 FOUP(50)의 이재를 행한다. 이로써, 이재부(26)가 주행 레일(4)보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일(4) 위를 주행하는 대차(8)의 구성에 있어서, 상방에서 볼 때에 있어서의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 주위에 주행 레일(4)을 설치하여도, 대차(8)가 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 FOUP(50)를 이재할 수가 있다.
[0053] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 주행 레일(4)은, 복수의 제1 레일(9)과 복수의 제2 레일(11)이, 각각 FOUP(50)가 연직 방향으로 통과 가능한 간격을 두고 배치되어 있다. 셀 버퍼(22)는, 제1 레일(9)과 제2 레일(11)에 의해 구획되는 셀(16)의 바로 아래에 설치되어 있다. 대차(8)는, 셀(16)을 통해 이재부(26)에 의해 셀 버퍼(22)에 대해서 FOUP(50)의 이재를 행한다. 이 구성에서는, 이재부(26)가 주행 레일(4)보다 상측에 위치한 상태에서 주행 레일(4) 위를 주행하는 대차(8)의 구성에 있어서, 대차(8)의 주행을 방해하지 않는 위치에 많은 FOUP(50)를 보관할 수가 있다.
[0054] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 셀 버퍼(22)는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)보다 상방에 설치되어 있다. 이로써, 대차(8)가 셀 버퍼(22)에 있어서 FOUP(50)를 이재하는 시간의 단축을 도모할 수가 있다. 그 결과, FOUP(50)의 반송 효율의 향상을 보다 한층 도모할 수 있다.
[0055] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)는, 제1~제9 처리 장치(M1~M9)에 설치되어 있으며, 개구부(K)는, 제1~제9 처리 장치(M1~M9)에 설치되는 복수의 제1~제9 로드 포트(P1~P9)를 포함하는 영역을 가지고 있다. 이 구성에서는, 상방에서 볼 때에 있어서의 주행 레일(4)과 제1~제9 로드 포트(P1~P9) 간의 상대 위치의 자유도를 확보할 수가 있다.
[0056] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 대차(8)의 이재부(26)는, 승강 장치(45)를 X방향 및 Y방향을 따른 평면과 평행한 방향에 있어서 진퇴시킬 수 있는 슬라이드 포크(40)를 갖는다. 대차(8)는, 개구부(K)를 형성하는 제1 레일(9) 및 제2 레일(11)의 적어도 일방의 위에서 정지하며, 슬라이드 포크(40)를 진출시킴으로써, 개구부(K)를 통해 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 FOUP(50)를 이재한다. 이 구성에서는, 개구부(K)의 영역을 넓게 할 수 있게 된다. 따라서, 상방에서 볼 때에 있어서의 주행 레일(4)과 제1~제9 로드 포트(P1~P9) 간의 상대 위치의 자유도를 보다 한층 확보할 수가 있다.
[0057] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 주행 레일(4)에는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대한 대차(8)의 정지 위치에 바코드(B)가 설치되어 있다. 대차(8)는, 바코드(B)를 검출하는 바코드 리더(38)를 구비한다. 대차(8)의 주행부(24)는, 바코드 리더(38)에 의한 검출 결과에 근거하여, 정지 위치에 있어서 대차(8)를 정지시킨다. 이 구성에서는, 대차(8)를 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대한 정지 위치에 있어서 양호한 정밀도로 정지시킬 수가 있다.
[0058] 본 실시형태와 관련되는 반송 시스템(100)에서는, 주행부(24)는, 제1 레일(9)을 따라 주행하는 제1 주행 상태와, 제2 레일(11)을 따라 주행하는 제2 주행 상태로 주행 상태를 전환하는 상하 기구(30)를 가지고 있다. 이로써, 대차(8)를 X방향 및 Y방향을 따라 종횡(縱橫)으로 주행시킬 수가 있다.
[0059] 이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다.
[0060] 상기 실시형태에서는, 궤도(R) 및 천정 반송차(V)를 구비하는 형태를 일례로 설명하였으나, 궤도(R) 및 천정 반송차(V)는 구비하지 않아도 된다.
[0061] 상기 실시형태에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)가, Y방향을 따라 배치되어 있는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 배치 형태는 이것으로 한정되지 않는다. 제1~제9 로드 포트(P1~P9)는, 설계에 따라 적절히 설치되면 된다. 예컨대, 도 15에 도시된 바와 같이, 제1 처리 장치 그룹(G1)에 있어서, 각 제1 처리 장치(M1)의 제1 로드 포트(P1)는, Y방향 또는 X방향을 따라 각각 배치되어 있다. 제1 로드 포트(P1)는, 그 배열 방향이 일직선 상에는 설치되지 않고, Y방향 또는 X방향으로 어긋나 배치되어 있다. 마찬가지로, 제2 처리 장치 그룹(G2)에 있어서, 각 제2 처리 장치(M2)의 제2 로드 포트(P2)는, Y방향 또는 X방향을 따라 각각 배치되어 있다. 제2 로드 포트(P2)는, 그 배열 방향이 일직선 상에는 설치되지 않고, Y방향 또는 X방향으로 어긋나 배치되어 있다. 이러한 구성이어도, 반송 시스템(100)에서는, 주행 레일(4)에 있어서의 X방향 및 Y방향의 조합에 의해 대차(8)가 복수의 주행 경로를 취할 수 있기 때문에, 평행하지 않게 설치된 복수의 로드 포트 상호 간에서 효율적으로 FOUP(50)를 반송할 수가 있다. 또, 이 구성에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)의 배치의 자유도, 나아가서는 제1~제9 처리 장치(M1~M9)의 배치의 자유도를 높일 수가 있다.
[0062] 상기 실시형태에서는, 버퍼(6)가, 그 버퍼(6) 상에 재치된 FOUP(50)의 일부가, 측면에서 볼 때에 있어서 주행 레일(4)과 겹치는 위치에 설치되어 있는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 버퍼(6)(셀 버퍼(22))는, 주행 레일(4)과 같은 높이, 혹은 주행 레일(4)보다 상방에 FOUP(50)의 재치면(載置面)을 구비하고 있어도 된다.
[0063] 상기 실시형태에서는, 주행 레일(4)에 설치된 바코드(B)를 바코드 리더(38)로 읽어내는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 주행 레일(4)에 설치되는 피검출체는, 예컨대, 자기 마크, 광학 마크, 리니어 스케일(linear scale) 등이어도 된다. 검출부는, 이들 피검출체를 검출할 수 있는 것이면 된다.
[0064] 상기 실시형태에서는, 셀 버퍼(22)에 1개의 FOUP(50)가 수용되는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 셀 버퍼(22)에는, 복수의 FOUP(50)가 수용되어도 된다.
[0065] 상기 실시형태에서는, 대차(8)의 이재부(26)가 슬라이드 포크(40)를 구비하는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 슬라이드 포크(40) 대신에 스카라 아암 등의 수평방향으로 진퇴하는 아암을 구비하고 있어도 된다.
[0066] 상기 실시형태에서는, 대차(8)가 주행부(24) 및 이재부(26)를 구비하며, 이재부(26)가 주행부(24)로부터 돌출되어 있는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 대차의 형태는 이것으로 한정되지 않는다. 예컨대, 도 16에 도시된 바와 같이, 대차(70)는, 주행부(72)에 슬라이드 포크(40)를 구비하고 있다. 또, 대차는, 아암 형상의 이재부가 주행부의 중심(重心) 둘레로 회전하는 구성이어도 된다. 이 구성에서는, 이재부는, 슬라이드 포크를 구비하지 않아도 된다.
[0067] 또, 도 17에 도시된 바와 같이, 대차(80)는, 주행부(84) 및 이재부(86)를 가지고 있다. 대차(80)는, 주행 레일(4)의 하방에 위치하며, 주행부(84)가 주행 레일(4)에 매달린 상태로 주행하는 형태여도 된다. 이 구성에서는, 주행 레일(4)에 개구부를 설치하지 않아도, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 FOUP(50)를 이재할 수가 있다. 또, 대차는, 주행 레일(4)의 셀(16)의 바로 위에 정지하여, 해당 셀(16)을 통해 FOUP(50)를 이재할 수 있는 형태여도 된다. 즉, 대차의 이재부가 슬라이드 포크를 구비하지 않아도 된다. 이 구성에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 FOUP(50)를 이재할 때에, 이재부를 진출시킬 필요가 없기 때문에, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 FOUP(50)를 신속히 이재할 수가 있다.
[0068] 상기 실시형태에서는, 대차(8)의 주행부(24)가 상하 기구(30)를 구비하는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 제1 레일(9)을 따라 주행하는 제1 주행 상태와, 제2 레일(11)을 따라 주행하는 제2 주행 상태로 주행 상태를 전환하는 전환부의 구성은 이것으로 한정되지 않는다. 전환부는, 다양한 기구를 채용할 수 있다. 예컨대, 전환부는, 주행부에 대해서 차륜(주행 유닛)을 이동 가능하게 하는 기구여도 된다. 이 구성에서는, 차륜을 전환부에 의해 이동시킴으로써, Y방향을 따라 주행부가 주행할 경우에는, 차륜이 Y방향을 따르도록 배치되며, X방향을 따라 주행부가 주행할 경우에는, 차륜이 X방향을 따르도록 배치된다.
[0069] 상기 실시형태에서는, 주행 레일(4)에 설치된 개구부(K)의 영역 내에 복수의 로드 포트가 위치하는 형태를 일례로 설명하였다. 그러나, 도 18에 도시된 바와 같이, 개구부(K)는, 1대의 제1 로드 포트(P1)를 영역 내에 포함하도록 설치되어 있어도 된다. 이 구성에서는, 대차(8)가, 주행 레일(4)의 개구부(K) 상에 위치하고, 해당 개구부(K)를 통해 FOUP(50)를 이재할 수 있는 구성이어도 된다. 이 구성에서는, 제1~제9 로드 포트(P1~P9)에 대해서 FOUP(50)를 보다 신속히 이재할 수가 있다.
[0070] 상기 실시형태에서는, 가이드(10)가 설치된 제1 레일(9) 및 가이드(12)가 설치된 제2 레일(11)로 구성되는 주행 레일(4)을 일례로 설명하였다. 그러나, 주행 레일은, 예컨대, 도 19에 나타내어지는 형태여도 된다. 도 19에 도시된 바와 같이, 주행 레일(17)은, 제1 레일(18) 및 제2 레일(19)로 구성되어 있다. 제1 레일(18)에는, 2개의 가이드(10, 10)가 설치되어 있다. 제2 레일(19)에는, 2개의 가이드(12, 12)가 설치되어 있다. 가이드(10)와 가이드(10)의 사이, 가이드(12)와 가이드(12)의 사이에는, 분리체가 설치되어 있다. 분리체(21)는, 볼록한 형상이며, 가이드(10)와 가이드(10), 가이드(12)와 가이드(12)를 분리한다. 주행 레일(17)을 구비하는 반송 시스템에서는, 2대의 대차(8)가, 제1 레일(18) 또는 제2 레일(19) 상에 동시에 위치할 수 있다.
[0071] 4; 주행 레일
6; 버퍼
8; 대차
9; 제1 레일
11; 제2 레일
22; 셀 버퍼(보관부)
24; 주행부
26; 이재부
38; 바코드 리더(검출부)
40; 슬라이드 포크(이동부)
45; 승강 장치(승강부)
46A; 그립퍼(유지부)
50; FOUP(물품)
100; 반송 시스템(일시 보관 시스템)
B; 바코드(피검출체)
P1~P9; 제1~제9 로드 포트

Claims (8)

  1. 제 1 방향으로 직선 형상으로 연장되는 복수의 제1 레일과, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 레일을 가지며, 복수의 상기 제1 레일과 복수의 상기 제2 레일이 동일 면 상에 격자 형상으로 배치되고, 상방에서 볼 때(平面視)에 있어서, 물품이 이재(移載)되는 이재 포트를 둘러싸듯이 설치된 주행 레일과,
    상기 주행 레일을 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향으로 주행할 수 있는 주행부와, 상기 물품을 유지하는 유지부 및 상기 유지부를 승강시키는 승강부를 포함하는 이재부를 갖는 대차(台車)와,
    상기 물품을 보관하는 복수의 보관부를 구비하며,
    상기 주행 레일은, 상기 이재 포트에 대해 상기 보관부가 설치된 쪽으로부터 상기 대차가 상기 이재 포트의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 제1 정지 위치로 들어올 수 있으며, 또한, 상기 대차가 상기 보관부의 바로 위에 상기 이재부가 배치되는 제2 정지 위치로 들어올 수 있게 되도록 배치되어 있고,
    상기 대차는, 상기 이재부가 상기 주행 레일보다 하측에 위치한 상태에서 상기 주행 레일을 주행하는,
    일시(一時) 보관 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이재부는, 상기 승강부를 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따른 평면과 평행한 방향에 있어서 진퇴시킬 수 있는 이동부를 가지며,
    상기 대차는, 상기 이동부를 진출시킴으로써, 상기 이재 포트에 상기 물품을 이재하는,
    일시 보관 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 주행 레일에는, 상기 이재 포트에 대한 상기 대차의 정지 위치에 피(被)검출체가 설치되어 있고,
    상기 대차는, 상기 피검출체를 검출하는 검출부를 구비하며,
    상기 주행부는, 상기 검출부에 의한 검출 결과에 근거하여, 상기 정지 위치에 있어서 상기 대차를 정지시키는,
    일시 보관 시스템.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
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Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3347780B1 (en) 2015-09-11 2023-06-07 Berkshire Grey Operating Company, Inc. Robotic systems and methods for identifying and processing a variety of objects
EP3384357B1 (en) 2015-12-04 2020-11-25 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for dynamic processing of objects
US10730078B2 (en) 2015-12-04 2020-08-04 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for dynamic sortation of objects
US9937532B2 (en) 2015-12-18 2018-04-10 Berkshire Grey Inc. Perception systems and methods for identifying and processing a variety of objects
US12350713B2 (en) 2015-12-18 2025-07-08 Berkshire Grey Operating Company, Inc. Perception systems and methods for identifying and processing a variety of objects
NO341707B1 (en) * 2016-11-02 2018-01-02 Autostore Tech As Track sensors for detecting position of vehicle relative to tracks
GB201701615D0 (en) 2017-02-01 2017-03-15 Ocado Innovation Ltd Safety system for an automated storage and picking system and method of operating thereof
EP3601107A1 (en) 2017-03-20 2020-02-05 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for processing objects including mobile matrix carrier systems
EP3601119A1 (en) 2017-03-20 2020-02-05 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for processing objects including transport vehicles
EP3601109A1 (en) 2017-03-20 2020-02-05 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for processing objects including a zone gantry system
CA3057313C (en) 2017-03-23 2022-11-29 Berkshire Grey, Inc. Systems and methods for processing objects, including automated mobile matrix carriers
CN110662707B (zh) 2017-03-23 2021-12-14 伯克希尔格雷股份有限公司 用于处理包括自动移动矩阵箱的物体的系统和方法
EP3700847A1 (en) * 2017-10-27 2020-09-02 Berkshire Grey, Inc. Bin infeed and removal systems and methods for exchanging bins of objects with mobile matrix carrier systems
NO345129B1 (en) * 2017-11-23 2020-10-12 Autostore Tech As Automated storage and retrieval system and a method of operating the same.
GB201803771D0 (en) * 2018-03-09 2018-04-25 Ocado Innovation Ltd Transporting device position determining apparatus and method
JP7386186B2 (ja) * 2018-06-12 2023-11-24 アウトストア・テクノロジー・エーエス 保管システム
CN112533813B (zh) * 2018-08-09 2023-06-20 村田机械株式会社 桥式吊车系统
WO2020090288A1 (ja) * 2018-10-29 2020-05-07 村田機械株式会社 天井搬送車及び天井搬送車システム
GB201900653D0 (en) * 2019-01-17 2019-03-06 Ocado Innovation Ltd RFID tags
NO20190451A1 (en) * 2019-04-03 2020-10-05 Autostore Tech As Vehicle position detection system
EP4032774B1 (en) * 2019-09-18 2025-03-05 Murata Machinery, Ltd. Transport system and storage
WO2021145087A1 (ja) * 2020-01-14 2021-07-22 ローツェ株式会社 Ｆｏｕｐ移載装置
WO2022132861A1 (en) * 2020-12-15 2022-06-23 Miller Kenneth C Suspended automation system
KR102749121B1 (ko) * 2021-01-05 2025-01-03 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 보관 시스템
DE102021200698A1 (de) 2021-01-27 2022-07-28 Gebhardt Fördertechnik GmbH Lager- und Entnahmesystem sowie Behälter für ein Lager- und Entnahmesystem
JP7388394B2 (ja) * 2021-05-28 2023-11-29 株式会社ダイフク 制御システム
NO346957B1 (en) * 2021-08-27 2023-03-20 Autostore Tech As A gripper assembly
GB202112308D0 (en) * 2021-08-27 2021-10-13 Ocado Innovation Ltd A cam mechanism for direction-change assembly of a load-handling device, and related methods and uses
CN114803861B (zh) * 2022-04-18 2023-01-24 中国矿业大学 一种煤矿井下单轨吊车高精度定位系统及定位方法
NO20220560A1 (en) * 2022-05-11 2023-11-13 Autostore Tech As Container handling vehicle with all wheel drive in at least one direction, associated system and method of assembling
JP7597762B2 (ja) * 2022-08-25 2024-12-10 大成建設株式会社 生産システム
JPWO2024070302A1 (ko) * 2022-09-29 2024-04-04
CN119947949A (zh) * 2022-09-29 2025-05-06 村田机械株式会社 有轨台车系统
EP4411795A1 (de) * 2023-02-03 2024-08-07 Siemens Aktiengesellschaft Produktionssystem
JP7671830B1 (ja) 2023-12-01 2025-05-02 大成建設株式会社 生産システム

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007017326A (ja) 2005-07-08 2007-01-25 Siemens Kk 自走移動体の高精度位置決めのための位置検出方法とそのための機構
US20100242784A1 (en) 2009-03-27 2010-09-30 Daifuku Co., Ltd. Switching Facility for Crossed Paths
WO2015127143A1 (en) 2014-02-24 2015-08-27 Sony Corporation Smart wearable devices and methods for customized haptic feedback
WO2015174181A1 (ja) 2014-05-14 2015-11-19 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3385458A (en) * 1966-11-28 1968-05-28 Joseph N. Gresham Boat storage rack
JPS61134471A (ja) * 1984-11-30 1986-06-21 小林　主基 駐車方法
JPH0434210U (ko) * 1990-07-16 1992-03-23
JP3731701B2 (ja) * 1997-12-26 2006-01-05 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP4296601B2 (ja) * 2005-01-20 2009-07-15 村田機械株式会社 搬送台車システム
KR100743194B1 (ko) * 2006-03-22 2007-07-27 삼성전자주식회사 이송시스템
US7850412B2 (en) * 2006-09-25 2010-12-14 Bec Companies, Inc. Overhead boat storage system
CN100572204C (zh) 2007-10-22 2009-12-23 友达光电股份有限公司 输送支撑装置与仓储系统
JP4807424B2 (ja) * 2009-03-17 2011-11-02 村田機械株式会社 天井搬送システムと物品の移載方法
DE102009017241B4 (de) * 2009-04-09 2016-12-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Lagersystem
US8483866B2 (en) * 2009-04-30 2013-07-09 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Automated materials handling system having multiple categories of overhead buffers
KR101716524B1 (ko) 2009-05-18 2017-03-14 크로씽 오토메이션, 인코포레이티드 기판 컨테이너 보관 시스템
CN102470985B (zh) * 2009-11-27 2015-07-22 株式会社大福 顶棚输送车
JP5229363B2 (ja) 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP5674041B2 (ja) * 2011-08-11 2015-02-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US8888434B2 (en) 2011-09-05 2014-11-18 Dynamic Micro System Container storage add-on for bare workpiece stocker
DK3653540T4 (da) * 2012-05-11 2025-01-27 Ocado Innovation Ltd Lagersystemer og fremgangsmåder til at hente enheder fra et lagersystem
SG11201407694VA (en) * 2012-07-26 2014-12-30 Murata Machinery Ltd Overhead traveling vehicle system and transfer control method for overhead traveling vehicle system
NO334806B1 (no) * 2012-11-13 2014-06-02 Jakob Hatteland Logistics As Lagringssystem
NO335839B1 (no) 2012-12-10 2015-03-02 Jakob Hatteland Logistics As Robot for transport av lagringsbeholdere
GB201310125D0 (en) * 2013-06-06 2013-07-24 Ocado Ltd Storage and retrieval system
GB201310784D0 (en) 2013-06-17 2013-07-31 Ocado Ltd Systems and Methods for Order Processing
GB201404870D0 (en) * 2014-03-18 2014-04-30 Ocado Ltd Robotic service device and handling method
GB201314313D0 (en) 2013-08-09 2013-09-25 Ocado Ltd Apparatus for retrieving units from a storage system
GB201409883D0 (en) * 2014-06-03 2014-07-16 Ocado Ltd Methods, systems, and apparatus for controlling movement of transporting devices
JP6256783B2 (ja) * 2014-09-10 2018-01-10 村田機械株式会社 一時保管システムと、これを用いた搬送システム、及び一時保管方法
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
US9632499B2 (en) * 2014-11-03 2017-04-25 GlobalFoundries, Inc. Work-in-progress substrate processing methods and systems for use in the fabrication of integrated circuits
ES2905931T3 (es) * 2015-04-27 2022-04-12 Attabotics Inc Sistema de almacenamiento y recuperación
CN105236061B (zh) 2015-10-09 2018-01-09 深圳市华星光电技术有限公司 仓储设备

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007017326A (ja) 2005-07-08 2007-01-25 Siemens Kk 自走移動体の高精度位置決めのための位置検出方法とそのための機構
US20100242784A1 (en) 2009-03-27 2010-09-30 Daifuku Co., Ltd. Switching Facility for Crossed Paths
WO2015127143A1 (en) 2014-02-24 2015-08-27 Sony Corporation Smart wearable devices and methods for customized haptic feedback
WO2015174181A1 (ja) 2014-05-14 2015-11-19 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法

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