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KR102011577B1 - 폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템 - Google Patents

폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템 Download PDF

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KR102011577B1
KR102011577B1 KR1020170147899A KR20170147899A KR102011577B1 KR 102011577 B1 KR102011577 B1 KR 102011577B1 KR 1020170147899 A KR1020170147899 A KR 1020170147899A KR 20170147899 A KR20170147899 A KR 20170147899A KR 102011577 B1 KR102011577 B1 KR 102011577B1
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scrubber
gas treatment
vacuum pump
adsorbent
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김지은
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김동휘
김효섭
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Abstract

본 발명은 폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 세척 등에 의해 스크러버를 사용할 수 없을 시 진공펌프의 작동을 중단하는 것이 아니라 일시적으로 진공펌프에서 배출되는 폐가스를 정화할 수 있는 폐가스 처리장치를 사용하여 진공펌프의 손상을 방지하면서도 폐가스에 의한 환경오염을 방지할 수 있고, 스크러버의 세척 시간 동안 처리하여야 할 폐가스의 종류와 양에 맞추어 흡착제가 폐가스 처리장치에 탑재되므로 장치를 소형화하여 작업의 편리성을 향상시킬 수 있는 폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템에 대한 것이다.

Description

폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템{Apparatus for treating waste gas and System for treating waste gas using the same}
본 발명은 폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 세척 등에 의해 스크러버를 사용할 수 없을 시 진공펌프의 작동을 중단하는 것이 아니라 일시적으로 진공펌프에서 배출되는 폐가스를 정화할 수 있는 폐가스 처리장치를 사용하여 진공펌프의 손상을 방지하면서도 폐가스에 의한 환경오염을 방지할 수 있고, 스크러버의 세척 시간 동안 처리하여야 할 폐가스의 종류와 양에 맞추어 흡착제가 폐가스 처리장치에 탑재되므로 장치를 소형화하여 작업의 편리성을 향상시킬 수 있는 폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템에 대한 것이다.
반도체 제조공정에서는 다양한 반도체 가스가 사용되는데, 상기 반도체 가스는 유독성분을 포함하고 있어 사용 후 반도체 가스(이하, '폐가스'라 함)를 대기로 배출할 경우 환경을 오염시키게 된다. 따라서, 반도체를 제조하는 설비의 배기 라인에는 하기의 특허문헌처럼 폐가스를 정화하여 대기로 배출하기 위한 스크러버(Scrubber)가 설치되게 되며, 상기 폐가스는 반도체 배기 라인과 스크러버 사이에 위치하는 진공 펌프에 의해 인출되어 상기 스크러버에 공급되어 정화 후 배출되게 된다.
<특허문헌>
공개특허공보 제10-2007-0105615호(2007. 10. 31. 공개) "반도체 제조설비의 스크러버장치"
한편, 상기 스크러버는 무한정 사용할 수 있는 것이 아니어서 다시 사용하기 위해서는 일정 기간 사용 후 세척 과정을 수행하여야 하여, 스크러버의 세척시 폐가스를 정화할 수 없게 된다. 또한, 진공 펌프는 그 특성상 잠시라도 작동이 멈추면 파우더의 누적과 온도의 순간 저하로 인해 재가동시 그 기능을 발휘하지 못하는 문제가 있어, 항상 작동시켜야 한다. 따라서, 상기 스크러버의 세척시 진공 펌프에서 배출된 폐가스는 정화되지 않고 대기로 배출되어 환경을 오염시키는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로,
본 발명은 세척 등에 의해 스크러버를 사용할 수 없을 시, 진공펌프의 작동을 중단하는 것이 아니라, 일시적으로 진공펌프에서 배출되는 폐가스를 정화할 수 있는 폐가스 처리장치를 사용하여, 진공펌프의 손상을 방지하면서도 폐가스에 의한 환경오염을 방지할 수 있는 폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 스크러버의 세척 시간 동안 처리하여야 할 폐가스의 종류와 양에 맞추어 흡착제가 폐가스 처리장치에 탑재되므로, 폐가스에 의한 환경오염을 효과적으로 방지하면서도 장치를 소형화하여 작업의 편리성을 향상시킬 수 있는 폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진 실시예에 의해 구현된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치는 외형을 형성하며 내부에 흡착제가 안치되는 하우징과, 상기 하우징의 내부에 위치하여 흡착제를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 의해 상기 하우징 내부에 위치하여 상기 하우징에 유입되는 폐가스에서 유해 물질을 제거하는 흡착제를 포함하며, 상기 흡착제의 종류는 스크러버를 사용할 수 없을 때 폐가스에 포함된 유해 가스의 종류에 따라 결정되고, 상기 흡착제의 양은 스크러버를 사용할 수 없을 때 처리하여야 할 폐가스의 양에 따라 결정되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 하우징은 전측에 형성되어 진공펌프의 출력단에 연결되어 폐가스가 유입되는 유입부와, 후측에 형성되어 흡착제에서 유해 물질이 제거된 폐가스가 배출되는 유출부와, 상기 유입부와 유출부 사이에 위치하여 흡착제를 수용한 지지부가 안착되는 수용부를 포함하며, 상기 수용부는 내면에 일정 간격을 두고 함입형성되어 상기 지지부의 돌출부가 삽입되는 복수 개의 함입홈을 포함하고, 상기 지지부는 외측에 일정 간격을 두고 복수 개가 돌출되어 상기 하우징의 함입홈에 삽입되는 돌출부와, 전면에 형성되어 유입된 폐가스가 지지부의 측면으로 이동하도록 하는 이동가이드부와, 상기 지지부의 측면 및 후면에 타공되어 형성되는 복수 개의 관통공을 포함하며, 상기 돌출부의 높이는 상기 함입홈의 깊이보다 크게 형성되어, 상기 지지부를 상기 하우징에 설치시 상기 지지부는 상기 수용부의 내면과 일정 간격 이격되어 위치하여, 상기 지지부와 상기 수용부의 내면 사이에는 이격틈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리방법은 스크러버의 미작동이 예정되어 있는지 판단하는 스크러버확인단계와, 상기 스크러버확인단계에서 스크러버의 미작동이 예정되어 있다고 판단한 경우 스크러버의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스를 확인하여 출력하는 폐가스확인단계와, 상기 폐가스확인단계에서 출력된 스크러버의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스를 정보를 이용하여 흡착제의 종류와 양을 선정하여 상기 폐가스 처리장치를 준비하는 장치준비단계와, 상기 스크러버확인단계에서 판단된 스크러버의 미작동 예정 시간 동안 상기 폐가스 처리장치에 의해 폐가스가 처리될 수 있도록 상기 폐가스 처리장치의 유입부를 폐가스를 배출하는 진공펌프의 출력단에 연결하여 폐가스의 유해물질을 상기 폐가스 처리장치가 처리하도록 하는 폐가스일시처리단계를 포함하며, 상기 폐가스 처리장치는 제1항 또는 제2항의 폐가스 처리장치가 사용되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리방법은 상기 스크러버가 다시 시용될 수 있을 시 상기 폐가스 처리장치를 진공펌프에서 분리하고 상기 진공펌프를 상기 스크러버에 연결하여 스크러버가 폐가스를 처리하도록 하는 스크러버처리단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템은 폐가스를 배출하는 진공펌프와, 상기 진공펌프에서 배출되는 폐가스를 처리하는 스크러버와, 상기 스크러버의 미작동 상태 시 상기 진공펌프에서 배출되는 폐가스를 일시적으로 처리하는 폐가스 처리장치와, 상기 스크러버와 폐가스 처리장치의 작동을 제어하는 컨트롤러를 포함하며, 상기 폐가스 처리장치는 제1항 또는 제2항의 폐가스 처리장치가 사용되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템에 있어서 상기 진공펌프의 출력단에는 배출되는 폐가스의 성분을 분석하는 성분분석기가 위치하고, 상기 진공펌프의 출력단은 스크러버연결관에 의해 스크러버와 연결되고 처리장치연결관에 의해 상기 폐가스 처리장치에 연결되게 되며, 상기 스크러버연결관에는 스크러버연결관을 개폐하는 스크러버밸브가 위치하고, 상기 처리장치연결관에는 처리장치연결관을 개폐하는 장치밸브가 위치하며, 상기 스크러버의 출력단에는 배출되는 폐가스의 성분을 분석하는 성분분석기가 위치하게 되고, 상기 폐가스 처리장치는 복수 개가 사용되며, 각각의 폐가스 처리장치는 각각의 처리장치연결관에 의해 상기 진공펌프의 출력단에 연결되며, 상기 처리장치연결관 각각에는 별도로 장치밸브가 설치되게 되며, 상기 각각의 폐가스 처리장치에는 다른 종류의 흡착제가 사용되어 폐가스 처리장치마다 처리할 수 있는 유해 가스가 달라지게 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템에 있어서 상기 컨트롤러는 상기 스크러버의 출력단에 설치된 성분분석기가 출력하는 신호를 분석하여 스크러버의 정상 작동을 확인하는 스크러버확인부와, 상기 스크러버확인부가 상기 스크러버가 비정상 작동 상태에 있다고 판단한 경우 상기 진공펌프의 출력단에 위치하는 성분분석기에서 검출되는 신호를 분석하여 상기 진공펌프에서 배출되는 유해 가스를 종류를 판별하는 폐가스확인부와, 상기 폐가스확인부가 상기 진공펌프에서 특정 유해가스가 배출된다는 정보를 출력한 경우 상기 스크러버밸브를 제어하여 상기 스크러버연결관을 폐쇄하고 상기 특정 유해가스를 처리할 수 있는 흡착제가 수용된 폐가스 처리장치와 진공펌프를 연결하는 장치연결관이 개방되도록 장치밸브를 제어하는 처리변경부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템에 있어서 상기 컨트롤러는 스크러버 정상 작동이 가능하다는 신호가 출력된 경우 장치밸브를 제어하여 장치연결관을 폐쇄하고 상기 스크러버밸브를 제어하여 스크러버연결관을 개방하여 상기 진공펌프에서 배출되는 폐가스가 상기 스크러버에 의해 처리될 수 있도록 한는 정상처리부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 흡착제는 금속화합물 10 내지 80중량부, 주바인더 5 내지 50중량부, 부바인더 0.5 내지 10중량부 및 알칼리 수용액 1 내지 50중량부를 포함하며, 상기 금속화합물은 Zn, Cu, Ni 및 Co로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 금속을 포함하여 폐가스에서 산가스를 제거하고, 상기 흡착제는 산가스를 처리함에 따라 색상이 변화하도록 하는 활성표시물질을 추가로 포함하며, 상기 활성표시물질은 Ni 및 Cu로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속을 포함하는 금속 수산화물과 아민계 화합물 용액을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 활성표시물질은 금속 착염 용액을 만들 때 Ni, Cu의 금속의 신터링 현상을 방지하고 분산도를 높이기 위해 CeCO3를 추가로 포함하며, 상기 활성표시물질은 금속수화물 100중량부에 대하여 아민계 화합물 용액 300 내지 400중량부 및 CeCO3 10 내지 30중량부가 사용되며, 상기 아민계 화합물 용액은 10 내지 30%(w/w)의 농도를 가지는 수용액이 사용되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 앞서 본 실시예와 하기에 설명할 구성과 결합, 사용관계에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 세척 등에 의해 스크러버를 사용할 수 없을 시, 진공펌프의 작동을 중단하는 것이 아니라, 일시적으로 진공펌프에서 배출되는 폐가스를 정화할 수 있는 폐가스 처리장치를 사용하여, 진공펌프의 손상을 방지하면서도 폐가스에 의한 환경오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 스크러버의 세척 시간 동안 처리하여야 할 폐가스의 종류와 양에 맞추어 흡착제가 폐가스 처리장치에 탑재되므로, 폐가스에 의한 환경오염을 효과적으로 방지하면서도 장치를 소형화하여 작업의 편리성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치의 단면도.
도 2는 도 1의 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리방법을 나타내는 순서도.
도 3 및 4는 도 1의 폐가스 처리방치를 이용하는 폐가스 처리방법을 설명하기 위한 참고도.
도 5는 도 1의 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템의 구성도.
도 6은 도 5의 컨틀롤러의 세부 구성을 나타내는 블럭도.
도 7은 도 1의 폐가스 처리장치에 사용되는 흡착제를 설명하기 위한 참고도.
이하에서는 본 발명에 따른 폐가스 처리장치 및 이를 이용하는 폐가스 처리시스템을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 특별한 정의가 없는 한 본 명세서의 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 기술자가 이해하는 당해 용어의 일반적 의미와 동일하고 만약 본 명세서에 사용된 용어의 의미와 충돌하는 경우에는 본 명세서에 사용된 정의에 따른다. 또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대해 상세한 설명은 생략한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치를 도 1을 참조하여 설명하면, 상기 폐가스 처리장치(1)는 외형을 형성하며 내부에 흡착제(13)가 안치되는 하우징(11)과, 상기 하우징(11)의 내부에 위치하여 흡착제(13)를 지지하는 지지부(12)와, 상기 지지부(12)에 의해 상기 하우징(11) 내부에 위치하여 상기 하우징(11)에 유입되는 폐가스에서 유해 물질을 제거하는 흡착제(13) 등을 포함한다. 상기 폐가스에 포함되는 유해 물질로는 미세 분진, 반도체 공정에서 사용되는 유해 가스(예컨대, H2S, SiH4, Cl2, F2 등) 등을 들 수 있다.
상기 하우징(11)은 상기 폐가스 처리장치(1)의 외형을 형성하며 흡착제(13)를 수용하는 구성으로, 상기 하우징(11)의 전측에 형성되어 진공펌프의 출력단에 연결되어 폐가스가 유입되는 유입부(111)와, 상기 하우징(11)의 후측에 형성되어 흡착제(13)에서 유해 물질이 제거된 폐가스가 배출되는 유출부(112)와, 상기 유입부(111)와 유출부(112) 사이에 위치하여 흡착제(13)를 수용한 지지부(12)가 안착되는 수용부(113) 등을 포함한다. 상기 수용부(113)는 내면에 일정 간격을 두고 함입형성되어 상기 지지부(12)의 돌출부(121)가 삽입되는 복수 개의 함입홈(113a)을 포함한다. 상기 하우징(11)은 금속, 합성수지, 유리 등의 다양한 소재로 형성될 수 있으며, 일부분이 유리 등과 같은 투명 소재로 형성되어 내부가 보이도록 형성될 수도 있다.
상기 지지부(12)는 상기 하우징(11)에 안착되어 흡착제(13)를 지지하는 구성으로, 상기 지지부(12)의 외측에 일정 간격을 두고 복수 개가 돌출되어 상기 하우징(11)의 함입홈(113a)에 삽입되는 돌출부(121)와, 전면에 형성되어 유입된 폐가스가 지지부(12)의 측면으로 이동하도록 하는 이동가이드부(122)와, 상기 지지부(12)의 측면 및 후면에 타공되어 형성되는 복수 개의 관통공(123)을 포함한다. 상기 돌출부(121)의 높이(h1)는 상기 함입홈(113a)의 깊이(h2)보다 크게 형성되어, 상기 지지부(12)를 상기 하우징(11)에 설치시 상기 지지부(12)는 상기 수용부(113)의 내면과 일정 간격 이격되어 위치하여, 상기 지지부(12)와 상기 수용부(113)의 내면 사이에는 이격틈(A)이 형성되게 된다. 상기 지지부(12)는 금속, 합성수지, 유리 등의 다양한 소재로 형성될 수 있으며, 일부분이 유리 등과 같은 투명 소재로 형성되어 내부가 보이도록 형성될 수도 있다.
상기 흡착제(13)는 상기 지지부(12)에 의해 수용되어 상기 하우징(11) 내부에 위치하여 상기 하우징(11) 내부에 유입된 폐가스와 반응하여 폐가스의 유해 물질을 제거하는 구성으로, 폐가스에 포함된 유해 가스의 종류에 따라 공지의 다양한 종류의 흡착제(13)가 사용될 수 있으면, 상기 폐가스 처리장치에 사용되는 흡착제(13)의 일 예는 하기에서 자세히 설명하기로 한다. 상기 같은 구성을 포함하는 폐가스 처리장치의 작동과정을 살펴보면, 상기 진공펌프로부터 배출된 폐가스는 상기 유입부(111)를 통해 유입되고 유입된 폐가스는 지지부(12)의 전면에 형성된 이동가이드부(122)에 의해 지지부(12)의 측면으로 이동하고 측면에 형성된 관통공(123)을 통과하여 흡착제(13)와 반응하여 유해물질이 제거되고 유해 물질이 제거된 폐가스는 지지부(12)의 후면의 관통공(123)을 통해 배출되어 유출부(112)를 통해 외부로 배출되게 된다. 상기 폐가스 처리장치(1)는 스크러버의 청소 중일 때와 같이 일시적으로 스크러버를 사용할 수 없을 때 사용하는 것을 목적으로 하므로, 상기 폐가스 처리장치(1)에 사용되는 흡착제(13)의 종류는 스크러버를 사용할 수 없을 때 폐가스에 포함된 유해 가스의 종류에 따라 결정되고, 상기 폐가스 처리장치(1)에 사용되는 흡착제(13)의 양은 스크러버를 사용할 수 없을 때 처리하여야 할 폐가스의 양에 따라 결정되게 된다. 따라서, 상기 폐가스 처리장치(1)는 폐가스에 의한 환경오염을 효과적으로 방지하면서도 장치를 소형화하여 작업의 편리성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리방법을 도 1 내지 4를 참조하여 설명하면, 상기 폐가스 처리방법은 스크러버(200)의 미작동이 예정되어 있는지 판단하는 스크러버확인단계(S1)와, 상기 스크러버확인단계(S1)에서 스크러버(200)의 미작동이 예정되어 있다고 판단한 경우 스크러버(200)의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스를 확인하여 출력하는 폐가스확인단계(S2)와, 상기 폐가스확인단계(S2)에서 출력된 스크러버(200)의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스를 정보를 이용하여 흡착제(13)의 종류와 양을 선정하여 상기 폐가스 처리장치(1)를 준비하는 장치준비단계(S3)와, 상기 스크러버확인단계(S1)에서 판단된 스크러버(200)의 미작동 예정 시간 동안 상기 폐가스 처리장치(1)에 의해 폐가스가 처리될 수 있도록 상기 폐가스 처리장치(1)의 유입부(111)를 폐가스를 배출하는 진공펌프(100)의 출력단에 연결하여 폐가스의 유해물질을 상기 폐가스 처리장치(1)가 처리하도록 하는 폐가스일시처리단계(S4)와, 상기 스크러버(200)가 다시 시용될 수 있을 시 상기 폐가스 처리장치(1)를 진공펌프(100)에서 분리하고 상기 진공펌프(100)를 상기 스크러버(200)에 연결하여 스크러버(200)가 폐가스를 처리하도록 하는 스크러버처리단계(S5) 등을 포함한다.
상기 스크러버확인단계(S1)는 스크러버(200)의 미작동이 예정되어 있는지 판단하는 단계로, 앞서 설명한 바와 같이 스크러버(200)는 무한정 폐가스를 처리할 수 있는 것은 아니므로 다시 사용하기 위해서는 세척 등의 과정을 수행하여야 하므로, 상기 스크러버확인단계(S1)에서는 세척 등의 원인에 의해 상기 스크러버(200)의 미사용이 예정되어 있는지 판단하게 된다.
상기 폐가스확인단계(S2)는 상기 스크러버확인단계(S1)에서 스크러버(200)의 미작동이 예정되어 있다고 판단한 경우 스크러버(200)의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스를 확인하여 출력하는 단계이다. 반도체 제조공정에서 제조단계에 따라 사용되는 반도체 가스는 상이하여 특정 시기에는 특정 유해 가스가 포함된 폐가스 배출되게 되므로, 상기 폐가스확인단계(S2)는 상기 스크러버(200)의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스의 종류를 확인하게 된다.
상기 장치준비단계(S3)는 상기 폐가스확인단계(S2)에서 출력된 스크러버(200)의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스를 정보를 이용하여 사용하여야 할 흡착제(13)의 종류와 양을 선정하여 상기 폐가스 처리장치(1)를 준비하는 단계이다. 상기 폐가스 처리장치(1)는 스크러버(200)를 사용할 수 없을 때 일시적으로 사용하는 장치로, 소형화를 이루어 작업의 편리성의 도모가 요구되므로, 스크러버(200)의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스를 확인하여 상기 페가스 처리장치(1)에 삽입되어야 할 흡착제(13)의 종류와 양이 결정되게 된다. 예컨대, 스크러버(200)의 미작동 예정 시간에 Cl2를 포함하는 폐가스 100m3가 배출이 예정되어 있다고 가정하면, 상기 장치준비단계(S3)는 Cl2를 제거할 수 있는 흡착제가 선택되고 폐가스 100m3를 처리할 수 있는 흡착제의 양이 산정되게 된다.
상기 폐가스일시처리단계(S4)는 상기 스크러버확인단계(S1)에서 판단된 스크러버(200)의 미작동 예정 시간 동안 상기 폐가스 처리장치(1)에 의해 폐가스가 처리될 수 있도록 도 3에 도시된 바와 같이 상기 폐가스 처리장치(1)의 유입부(111)를 폐가스를 배출하는 진공펌프(100)의 출력단에 연결하여 폐가스의 유해물질을 상기 폐가스 처리장치(1)가 처리하도록 하는 단계이다.
상기 스크러버처리단계(S5)는 상기 스크러버(200)가 다시 시용될 수 있을 시 도 4에 도시된 바와 같이 상기 폐가스 처리장치(1)를 진공펌프(100)에서 분리하고 상기 진공펌프(100)를 상기 스크러버(200)에 연결하여 스크러버(200)가 폐가스를 처리하도록 하는 단계이다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템을 도 1, 5 및 6을 참조하여 설명하면, 상기 폐가스 처리시스템은 폐가스를 배출하는 진공펌프(100)와, 상기 진공펌프(100)에서 배출되는 폐가스를 처리하는 스크러버(200)와, 상기 스크러버(200)의 미작동 상태 시 상기 진공펌프(100)에서 배출되는 폐가스를 일시적으로 처리하는 폐가스 처리장치(1)와, 상기 스크러버(200)와 폐가스 처리장치(1)의 작동을 제어하는 컨트롤러(400) 등을 포함한다.
상기 진공펌프(100)는 폐가스 배출설비(예컨대, 반도체 제조설비)로부터 폐가스를 인출하여 배출하는 구성으로, 진공펌프(100)의 출력단에는 진공펌프(100)에서 배출되는 폐가스의 성분을 분석하는 성분분석기(B)가 위치하고, 상기 진공펌프(100)의 출력단은 스크러버연결관(500)에 의해 스크러버(200)와 연결되고 처리장치연결관(600)에 의해 상기 폐가스 처리장치(1)에 연결되게 된다. 상기 스크러버연결관(500)에는 스크러버연결관(500)을 개폐하는 스크러버밸브(C)가 위치하고, 상기 처리장치연결관(600)에는 처리장치연결관(600)을 개폐하는 장치밸브(D)가 위치한다.
상기 스크러버(200)는 상기 진공펌프(100)에서 배출되는 폐가스를 처리하는 구성으로, 출력단에는 배출되는 폐가스의 성분을 분석하는 성분분석기(E)가 위치하게 된다.
상기 폐가스 처리장치(1)는 상기 스크러버(200)의 미작동 상태 시 상기 진공펌프(100)에서 배출되는 폐가스를 일시적으로 처리하는 구성으로, 앞서 설명한 폐가스 처리장치(1)가 사용된다. 상기 폐가스 처리장치(1)는 도 5에 도시된 바와 같이 복수 개가 사용되며, 각각의 폐가스 처리장치(1)는 각각의 처리장치연결관(600)에 의해 상기 진공펌프(100) 출력단에 연결되며, 또한, 처리장치연결관(600) 각각에는 별도로 장치밸브(D)가 설치되게 된다. 상기 폐가스 처리장치(1)가 복수 개가 사용되는 경우, 각각의 폐가스 처리장치(1)에는 다른 종류의 흡착제(13)가 사용되어 폐가스 처리장치(1) 마다 처리할 수 있는 유해 가스가 달라지게 된다.
상기 컨트롤러(400)는 상기 스크러버(200)와 폐가스 처리장치(1)의 작동을 제어하는 구성으로, 송수신부(410), 스크러버확인부(420), 폐가스확인부(430), 처리변경부(440), 정상처리부(450), 제어부(460) 등을 포함한다.
상기 송수신부(410)는 상기 스커러버(200)와 폐가스 처리장치(1)의 작동의 제어에 사용되는 정보를 송수신하는 구성으로, 예컨대 성분분석기(B, E)에 출력되는 신호를 수신하고 처리변경부(440)에 출력된 신호를 스크러밸브(C), 장치밸브(D)에 전송한다.
상기 스크러버확인부(420)는 상기 스크러버(200)의 출력된 설치된 성분분석기(E)가 출력하는 신호를 분석하여 스크러버(200)의 정상 작동을 확인한다. 상기 스크러버(200)가 정상 작동 중에 있는 경우 상기 스크러버(200)에서 배출되는 폐가스에는 유해 가스가 없어 상기 성분분석기(E)에서 유해가스가 검출되지 않아야 하는데, 상기 성분분석기(E)에서 유해가스가 일정 농도 이상으로 검출된다는 신호가 출력되는 경우 상기 스크러버확인부(420)는 상기 스크러버(200)가 비정상 작동 상태에 있다고 판단하게 된다. 또한, 상기 스크러버확인부(420)가 상기 스크러버(200)가 비정상 작동 상태에 있다고 판단한 경우 사용자 단말기(미도시)에 경보 신호가 출력되게 된다.
상기 폐가스확인부(430)는 상기 스크러버확인부(420)가 상기 스크러버(200)가 비정상 작동 상태에 있다고 판단한 경우, 상기 진공펌프(100)의 출력단에 위치하는 성분분석기(B)에서 검출되는 신호를 분석하여 상기 진공펌프(100)에서 배출되는 유해 가스를 종류를 판별한다.
상기 처리변경부(440)는 상기 폐가스확인부(430)가 상기 진공펌프(100)에서 특정 유해가스가 배출된다는 정보를 출력한 경우, 상기 스크러버밸브(C)를 제어하여 상기 스크러버연결관(500)을 폐쇄하고, 상기 특정 유해가스를 처리할 수 있는 흡착제가 수용된 폐가스 처리장치(1)와 진공펌프(100)를 연결하는 장치연결관(600)이 개방되도록 일 장치밸브(D)를 제어한다. 상기 처리변경부(440)의 제어에 의해 상기 진공펌프(100)에서 배출되는 폐가스는 특정 유해가스를 처리할 수 있는 폐가스 처리장치(1)에 유입되어 처리되게 된다.
상기 정상처리부(450)는 사용자 단말기로부터 스크러버 정상 작동이 가능하다는 신호가 출력된 경우, 장치밸브(D)를 제어하여 장치연결관(600)을 폐쇄하고 상기 스크러버밸브(C)를 제어하여 스크러버연결관(500)을 개방하여, 상기 진공펌프(100)에서 배출되는 폐가스가 상기 스크러버(100)에 의해 처리될 수 있도록 한다. 상기 제어부(460)는 상기 컨트롤로(400)의 전체적인 작동을 제어한다.
본 발명의 폐가스 처리장치에 사용되는 흡착제의 일 예를 도 7을 참조하여 설명하면, 상기 흡착제는 금속화합물 10 내지 80중량부, 주바인더 5 내지 50중량부, 부바인더 0.5 내지 10중량부 및 알칼리 수용액 1 내지 50중량부 등을 포함한다. 상기 흡착제는 반도체 폐가스 등에서 산가스(특히, Cl2 및 F2 등)를 제거하게 되며, 펠릿, 구형, 하니컴 등의 다양한 형태로 형성되게 된다.
상기 금속화합물은 흡착제에서 산가스를 처리하기 위한 기본 물질로, 10 내지 80중량부 범위에서 사용되고, 분말의 형태로 사용될 수 있으며, 평균입도가 1 내지 100um를 가지는 것이 바람직하다. 상기 금속화합물은 Zn, Cu, Ni 및 Co로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 금속을 포함하며, 예컨대, 염화물, 질화물, 수산화물 형태로 이루어지게 된다.
상기 주바인더는 수분을 흡수하여 흡착제를 이루는 구성 성분을 결속시키는 물질로, 5 내지 50중량부 범위에서 사용되고, 100-600m2/g의 비표적을 가지고 평균입도가 1 내지 100um인 분말이 사용될 수 있다. 상기 주바인더는 실리카 또는 규조토가 사용되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 실카가 또는 규조토가 사용된 주바인더는 하기에서 설명할 아민계 화합물이 기화되는 것을 방지하게 된다.
상기 부바인더는 흡착제를 이루는 구성 성분을 결속하고 제조된 흡착제의 강도를 향상시키는 물질로, 0.5 내지 10중량부 범위에서 사용되고, 분말의 형태로 사용될 수 있으며, 평균입도가 1 내지 100um를 가지는 것이 바람직하다. 상기 부바인더는 알루미늄 화합물(예컨대, Al2O3, Al(OH)2, AlOOH 등)이 사용되는 것이 바람직하다.
상기 알칼리 수용액은 제조된 흡착제의 산가스 제거효율 및 강도를 향상시키는 물질로, 1 내지 50중량부 범위에서 사용될 수 있다. 상기 알칼리 수용액은 NaOH 또는 Na2CO3를 증류수에 녹여 형성하며, 0.1 내지 2몰 농도를 가지는 것이 바람직하다. 특히, Na을 포함하는 염기를 이용하여 알칼리 수용액을 제조하는 경우, 제조된 흡착제의 산가스 제거효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
상기 흡착제는 흡착제가 산가스를 처리함에 따라 색상이 변화하도록 하는 활성표시물질을 5 내지 20중량부를 추가로 포함할 수 있다. 상기 활성표시물질은 Ni 및 Cu로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속을 포함하는 금속 수산화물과, 아민계 화합물 용액을 포함한다. 상기 활성표시물질은 CeCO3을 추가로 포함할 수 있다.
상기 금속 수산화물은 Ni 및 Cu로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속을 포함하는 금속 수산화물이 사용되며, 분말의 형태로 사용될 수 있으며, 평균입도가 1 내지 100um를 가지는 것이 바람직하다.
상기 아민계 화합물 용액은 NH4OH, CH4N2O, CO(NH2)2, (NH4)2CO3, CH3CH(NH2)COOH, Zn(NH2)2, PO(NH2)3 등의 아민계 화합물을 포함하는 용액으로, 상기 금속 수산화물과 금속 착염 용액을 형성한다.
상기 CeCO3는 금속 착염 용액을 만들 때 Ni, Cu의 금속의 신터링(뭉치는) 현상을 방지하고 분산도를 높여준다. 상기 활성표시물질은 금속수화물 100중량부에 대하여 아민계 화합물 용액 300 내지 400중량부 및 CeCO3 10 내지 30중량부가 사용될 수 있으며, 상기 아민계 화합물 용액은 10 내지 30%의 농도(증류수 100g당 아민계 화합물 g수를 의미)를 가지는 수용액이 사용될 수 있다. 상기 활성표시물질을 포함한 상기 폐가스 처리용 흡착제는 파란 색상을 가지나 산가스와 반응하여 산가스를 처리할수록 노란색, 연두색, 희색으로 변화하게 되어, 상기 흡착제의 활성을 육안으로 확인할 수 있도록 한다(흡착제가 흰색이 된 경우 폐가스에서 산가스를 거의 제거하지 못함).
상기 흡착제의 제조방법을 살펴보면, 상기 흡착제의 제조방법은 금속화합물, 주바인더, 부바인더, 알칼리 수용액 및 활성표시물질을 혼합하여 혼합물을 형성하는 혼합단계와, 상기 혼합물을 일정 모양으로 성형하여 성형물을 형성하는 성형단계와, 상기 성형물을 건조하는 건조단계 등을 포함한다.
상기 혼합단계는 금속화합물, 주바인더, 부바인더, 알칼리 수용액 및 활성표시물질을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계로, 구체적으로 금속화합물 파우더 10 내지 80중량부, 주바인더 파우더 5 내지 50중량부, 부바인더 파우더 0.5 내지 10중량부, 알칼리 수용액 1 내지 50중량부 및 활성표시물질 5 내지 20중량부를 혼합하여 혼합물을 형성한다. 상기 혼합물은 반죽(paste) 형태를 가지는데, 일정 점도를 가지도록 일정량의 물을 추가하는 것도 가능하다. 상기 금속화합물, 주바인더, 부바인더, 알칼리 수용액 및 활성표시물질은 상기에서 설명하였으므로, 자세한 설명은 생략하기로 한다.
상기 성형단계는 상기 혼합물을 일정 모양으로 성형하여 성형물을 형성하는 단계로, 상기 혼합물은 반죽(paste) 형태를 가지므로 성형기에 삽입하여 펠릿, 구형, 하니컴 등의 형태로 성형할 수 있다.
상기 건조단계는 상기 성형물을 건조하는 단계로, 구체적으로 상기 성형물을 30 내지 150℃의 온도에서 30분 내지 6시간 동안 건조하여 흡착제를 제조하게 된다.
이하, 실시예를 통해서 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다. 하지만, 이들은 본 발명을 보다 상세하게 설명하기 위한 것일 뿐 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1>
(1) 수산화아연(Zn(OH)2) 파우더 30중량부, 실리카(SiO2) 파우더 10중량부, 알루미나(Al2O3) 파우더 5중량부 및 알칼리 수용액 15중량부를 혼합하여 30분간 교반하고 1시간 숙성하여 혼합물을 형성하였다. 상기 알칼리 수용액은 수산화나트륨(NaOH)을 증류수에 녹여 형성하며, 1몰 농도를 가진다.
(2) 상기 혼합물을 성형기에 넣어 펠릿 형태의 성형물을 형성하고, 상기 성형물을 50℃에서 2시간 건조하여, 평균입도가 2.5mm인 펠릿 형태의 흡착제를 형성하였다.
<실시예 2 내지 6>
(1) 실시예 2
수산화아연 대신에 수산화니켈(Ni(OH)2)을 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1과 동일하게 하여 흡착제를 형성하였다.
(2) 실시예 3
수산화아연 대신에 수산화구리(Cu(OH)2)를 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1과 동일하게 하여 흡착제를 형성하였다.
(3) 실시예 4
수산화아연 대신에 수산화코발트(Co(OH)2)를 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1과 동일하게 하여 흡착제를 형성하였다.
(4) 실시예 5
활성표시물질을 7중량부를 추가로 사용하여 혼합물을 형성하는 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1과 동일하게 하여 흡착제를 형성하였다. 상기 활성표시물질은 수산화구리 파우더와, 아민계 화합물 용액을 포함하며, 상기 아민계 화합물 용액은 수산화구리 파우더 100중량부에 대하여 350중량부가 사용되며, 증류수에 CH4N2O와 (NH4)2CO3를 녹여 20%(w/w) 농도를 가지도록 형성한다. 상기 CH4N2O와 (NH4)2CO3는 3:1의 중량비로 사용된다.
(5) 실시예 6
상기 활성표시물질은 수산화구리 파우더 100중량부에 대하여 CeCO3 20중량부를 추가로 포함하는 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 5과 동일하게 하여 흡착제를 형성하였다.
<비교예 1 내지 3>
(1) 비교예 1
알칼리 수용액 대신에 증류수를 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1과 동일하게 하여 흡착제를 형성하였다.
(2) 비교예 2
수산화나트륨 대신에 수산화칼륨을 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1과 동일하게 하여 흡착제를 형성하였다.
(3) 비교예 3
알루미나를 사용하지 않고 실리카 파우더 15중량부를 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1과 동일하게 하여 흡착제를 형성하였다.
<실험예 1> 산가스 처리 효율 평가
(1) 실시예 1 내지 6 및 비교예 1 내지 3에서 제조된 흡착제 각각(35ml)을 유리 반응 실린더에 채워넣고, Cl2를 포함하는 가스(N2와 Cl2로 이루어지며 Cl2는 0.5%의 농도를 가짐)를 1L/min의 유량으로 실린더 하측에서 투입하여 상측에서 배출되도록 하였다.
(2) Cl2를 포함하는 가스 대신에 F2를 포함하는 가스(N2와 F2로 이루어지며 F2는 0.5%의 농도를 가짐)를 사용한 것을 제외하고는, 다른 조건을 실험예 1의 (1)과 동일하게 하였다.
(3) 실험예 1의 (1) 및 (2)에서, 실린더 상측에 위치한 Cl2센서(또는 F2센서)가 Cl2(또는 F2) 검출하면, 실험을 종료하고 가스에서 제거된 산가스의 양을 측정하여 표 1에 나타내었다(Lresin은 흡착제의 부피를 의미하며, L은 제거된 산가스(Cl2 또는 F2를 의미함).
(4) 표 1은 보면, Zn이 사용된 경우 Ni, Cu, Co가 사용된 경우에 비해 산가스 처리 효율이 높고, Na를 포함하는 알칼리 수용액이 사용되는 경우 증류수, 또는 Na를 포함하지 않은 알칼리 수용액이 사용된 경우에 비해 산가스 처리 효율이 높음을 알 수 있다.
실시예 1 실시예 2 실시예 3 실시예 4 실시예 5 실시예 6 비교예 1 비교예 2 비교예 3
Cl2 제거량(L/Lresin) 33 25 30 31 35 32 25 27 34
F2 제거량(L/Lresin) 50 35 38 37 52 48 35 38 51
<실험예 2> 압축 강도 평가
(1) 실시예 1 및 비교예 1 내지 3에서 형성된 흡착제에 대한 압축강도(Kgf)를 측정하여, 그 결과를 표 2에 표기하였다. 압축강도는 TA-XT2 texture analyzer(Stable Micro Systems Ltd., UK)를 사용하여 측정하였다.
(2) 표 2를 보면, 알칼리 수용액이 사용되지 않거나, 알루미늄 화합물이 사용되지 않은 경우, 압축강도가 낮음을 알 수 있다.
실시예 1 비교예 1 비교예 2 비교예 3
압축강도(Kgf) 4.7 2.9 4.9 2.1
<실험예 3> 산가스 처리에 따라 색상의 변화 관찰
(1) 실시예 1, 5, 6 및 비교예 1에서 형성된 흡착제에 대하여, 실험예 1의 (1)과 같이 실험을 진행하고, 가스를 투입한 이후 200분이 흐른 후 실험을 종료하였다. 이후, 흡착제의 색깔이 변하였는지, 색깔의 변화가 균일한지 확인하여 표 3에 나타내었고, 실시예 6의 흡착제를 촬영하여 도 1에 표시하였다.
(2) 표 3은 보면, 실시예 1 및 비교예 1의 흡착제는 색상의 변화가 없고, 실시예 5 및 6의 흡착제는 색상의 변화가 있으나 실시예 5의 흡착제의 경우 색상의 변화가 균일하지 않음을 알 수 있다(흡착제의 일부분에서만 색상의 변화가 일어남). 이는, 활성표시물질을 포함한 실시예 5 및 6의 흡착제는 산가스를 처리함에 따라 색상이 변화하여 육안으로 확인이 가능하고, CeCO3를 포함한 실시예 6의 흡착제는 신터링 현상을 방지하고 분산도를 높여 색상의 변화가 균일함을 알 수 있다. 또한, 도 1을 보면, 실시예 6의 흡착제(13)는 산가스를 처리한 농도에 따라 색상이 달라짐을 확인할 수 있다(하측은 처리된 산가스의 농도가 상측에 비해 높음)
실시예 1 실시예 5 실시예 6 비교예 1
색상 변화 여부 변화 없음 변함 변함 변화 없음
색상의 변화가 균일한지 여부 해당사항 없음 불균일 균일 해당사항 없음
이상에서, 출원인은 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명하였지만, 이와 같은 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 일 실시예일 뿐이며 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 한 어떠한 변경예 또는 수정예도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
1: 폐가스 처리장치 11: 하우징 12: 지지부
13: 흡착제 111: 유입부 112: 유출부
113: 수용부 113a: 함입홈 121: 돌출부
122: 이동가이드부 123: 관통공
100: 진공펌프 200: 스크러버 400: 컨트롤러
500: 스크러버연결관 600: 장치연결관 410: 송수신부
420: 스크러버확인부 430: 폐가스확인부 440: 처리변경부
450: 정상처리부 460: 제어부
B, E: 성분분석기 C: 스크러버밸브 D: 장치밸브
h1: 높이 h2: 깊이 A: 이격틈

Claims (10)

  1. 외형을 형성하며 내부에 흡착제가 안치되는 하우징과, 상기 하우징의 내부에 위치하여 흡착제를 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 의해 상기 하우징 내부에 위치하여 상기 하우징에 유입되는 폐가스에서 유해 물질을 제거하는 흡착제를 포함하며, 상기 흡착제의 종류는 스크러버를 사용할 수 없을 때 폐가스에 포함된 유해 가스의 종류에 따라 결정되고, 상기 흡착제의 양은 스크러버를 사용할 수 없을 때 처리하여야 할 폐가스의 양에 따라 결정되며,
    상기 하우징은 전측에 형성되어 진공펌프의 출력단에 연결되어 폐가스가 유입되는 유입부와, 후측에 형성되어 흡착제에서 유해 물질이 제거된 폐가스가 배출되는 유출부와, 상기 유입부와 유출부 사이에 위치하여 흡착제를 수용한 지지부가 안착되는 수용부를 포함하며, 상기 수용부는 내면에 일정 간격을 두고 함입형성되어 상기 지지부의 돌출부가 삽입되는 복수 개의 함입홈을 포함하고,
    상기 지지부는 외측에 일정 간격을 두고 복수 개가 돌출되어 상기 하우징의 함입홈에 삽입되는 돌출부와, 전면에 형성되어 유입된 폐가스가 지지부의 측면으로 이동하도록 하는 이동가이드부와, 상기 지지부의 측면 및 후면에 타공되어 형성되는 복수 개의 관통공을 포함하며,
    상기 돌출부의 높이는 상기 함입홈의 깊이보다 크게 형성되어, 상기 지지부를 상기 하우징에 설치시 상기 지지부는 상기 수용부의 내면과 일정 간격 이격되어 위치하여, 상기 지지부와 상기 수용부의 내면 사이에는 이격틈이 형성되는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
  2. 삭제
  3. 스크러버의 미작동이 예정되어 있는지 판단하는 스크러버확인단계와, 상기 스크러버확인단계에서 스크러버의 미작동이 예정되어 있다고 판단한 경우 스크러버의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스를 확인하여 출력하는 폐가스확인단계와, 상기 폐가스확인단계에서 출력된 스크러버의 미작동 예정 시간과 그때 배출되는 폐가스에 포함된 유해 가스를 정보를 이용하여 흡착제의 종류와 양을 선정하여 상기 폐가스 처리장치를 준비하는 장치준비단계와, 상기 스크러버확인단계에서 판단된 스크러버의 미작동 예정 시간 동안 상기 폐가스 처리장치에 의해 폐가스가 처리될 수 있도록 상기 폐가스 처리장치의 유입부를 폐가스를 배출하는 진공펌프의 출력단에 연결하여 폐가스의 유해물질을 상기 폐가스 처리장치가 처리하도록 하는 폐가스일시처리단계를 포함하며,
    상기 폐가스 처리장치는 제1항의 폐가스 처리장치가 사용되는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리방법은
    상기 스크러버가 다시 시용될 수 있을 시 상기 폐가스 처리장치를 진공펌프에서 분리하고 상기 진공펌프를 상기 스크러버에 연결하여 스크러버가 폐가스를 처리하도록 하는 스크러버처리단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리방법.
  5. 폐가스를 배출하는 진공펌프와, 상기 진공펌프에서 배출되는 폐가스를 처리하는 스크러버와, 상기 스크러버의 미작동 상태 시 상기 진공펌프에서 배출되는 폐가스를 일시적으로 처리하는 폐가스 처리장치와, 상기 스크러버와 폐가스 처리장치의 작동을 제어하는 컨트롤러를 포함하며,
    상기 폐가스 처리장치는 제1항의 폐가스 처리장치가 사용되는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 진공펌프의 출력단에는 배출되는 폐가스의 성분을 분석하는 성분분석기가 위치하고, 상기 진공펌프의 출력단은 스크러버연결관에 의해 스크러버와 연결되고 처리장치연결관에 의해 상기 폐가스 처리장치에 연결되게 되며, 상기 스크러버연결관에는 스크러버연결관을 개폐하는 스크러버밸브가 위치하고, 상기 처리장치연결관에는 처리장치연결관을 개폐하는 장치밸브가 위치하며,
    상기 스크러버의 출력단에는 배출되는 폐가스의 성분을 분석하는 성분분석기가 위치하게 되고,
    상기 폐가스 처리장치는 복수 개가 사용되며, 각각의 폐가스 처리장치는 각각의 처리장치연결관에 의해 상기 진공펌프의 출력단에 연결되며, 상기 처리장치연결관 각각에는 별도로 장치밸브가 설치되게 되며, 상기 각각의 폐가스 처리장치에는 다른 종류의 흡착제가 사용되어 폐가스 처리장치마다 처리할 수 있는 유해 가스가 달라지게 되는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 컨트롤러는
    상기 스크러버의 출력단에 설치된 성분분석기가 출력하는 신호를 분석하여 스크러버의 정상 작동을 확인하는 스크러버확인부와, 상기 스크러버확인부가 상기 스크러버가 비정상 작동 상태에 있다고 판단한 경우 상기 진공펌프의 출력단에 위치하는 성분분석기에서 검출되는 신호를 분석하여 상기 진공펌프에서 배출되는 유해 가스를 종류를 판별하는 폐가스확인부와, 상기 폐가스확인부가 상기 진공펌프에서 특정 유해가스가 배출된다는 정보를 출력한 경우 상기 스크러버밸브를 제어하여 상기 스크러버연결관을 폐쇄하고 상기 특정 유해가스를 처리할 수 있는 흡착제가 수용된 폐가스 처리장치와 진공펌프를 연결하는 장치연결관이 개방되도록 장치밸브를 제어하는 처리변경부를 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 컨트롤러는
    스크러버 정상 작동이 가능하다는 신호가 출력된 경우 장치밸브를 제어하여 장치연결관을 폐쇄하고 상기 스크러버밸브를 제어하여 스크러버연결관을 개방하여 상기 진공펌프에서 배출되는 폐가스가 상기 스크러버에 의해 처리될 수 있도록 한는 정상처리부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치를 이용하는 폐가스 처리시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 흡착제는 금속화합물 10 내지 80중량부, 주바인더 5 내지 50중량부, 부바인더 0.5 내지 10중량부 및 알칼리 수용액 1 내지 50중량부를 포함하며,
    상기 금속화합물은 Zn, Cu, Ni 및 Co로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 이상의 금속을 포함하여 폐가스에서 산가스를 제거하고,
    상기 흡착제는 산가스를 처리함에 따라 색상이 변화하도록 하는 활성표시물질을 추가로 포함하며,
    상기 활성표시물질은 Ni 및 Cu로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 금속을 포함하는 금속 수산화물과 아민계 화합물 용액을 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 활성표시물질은 금속 착염 용액을 만들 때 Ni, Cu의 금속의 신터링 현상을 방지하고 분산도를 높이기 위해 CeCO3를 추가로 포함하며,
    상기 활성표시물질은 금속수화물 100중량부에 대하여 아민계 화합물 용액 300 내지 400중량부 및 CeCO3 10 내지 30중량부가 사용되며, 상기 아민계 화합물 용액은 10 내지 30%(w/w)의 농도를 가지는 수용액이 사용되는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210043998A (ko) * 2019-10-14 2021-04-22 영진아이엔디(주) 에너지 저감형 폐가스 처리용 스크러버 시스템 및 그 방법

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110523213A (zh) * 2019-09-26 2019-12-03 海诺尔(宜宾)环保发电有限公司 一种基于排气监控的垃圾池臭气负压防扩散系统及方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100441622B1 (ko) 2001-10-11 2004-07-23 주식회사 케이피씨 챔버내 오염물질 필터링 및 배출장치
JP2014534054A (ja) * 2011-09-29 2014-12-18 バブコック・アンド・ウィルコックス・パワー・ジェネレイション・グループ・インコーポレイテッドＢａｂｃｏｃｋ ＆ Ｗｉｌｃｏｘ Ｐｏｗｅｒ Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ Ｇｒｏｕｐ，Ｉｎｃ． 乾式スクラバーへの非定常状態中の乾式吸着剤注入

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020034406A (ko) * 2000-11-01 2002-05-09 이후근 가스 스크러버의 잔류수명 확인 방법 및 이중형 가스스크러버의 운전 방법
KR101329817B1 (ko) * 2011-07-01 2013-11-15 서울시립대학교 산학협력단 악취 능동감시 기능이 구비된 악취 처리시스템

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100441622B1 (ko) 2001-10-11 2004-07-23 주식회사 케이피씨 챔버내 오염물질 필터링 및 배출장치
JP2014534054A (ja) * 2011-09-29 2014-12-18 バブコック・アンド・ウィルコックス・パワー・ジェネレイション・グループ・インコーポレイテッドＢａｂｃｏｃｋ ＆ Ｗｉｌｃｏｘ Ｐｏｗｅｒ Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ Ｇｒｏｕｐ，Ｉｎｃ． 乾式スクラバーへの非定常状態中の乾式吸着剤注入

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210043998A (ko) * 2019-10-14 2021-04-22 영진아이엔디(주) 에너지 저감형 폐가스 처리용 스크러버 시스템 및 그 방법
KR102282582B1 (ko) * 2019-10-14 2021-07-29 영진아이엔디(주) 에너지 저감형 폐가스 처리용 스크러버 시스템 및 그 방법

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