[go: up one dir, main page]

KR101977305B1 - 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치 - Google Patents

셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101977305B1
KR101977305B1 KR1020170072861A KR20170072861A KR101977305B1 KR 101977305 B1 KR101977305 B1 KR 101977305B1 KR 1020170072861 A KR1020170072861 A KR 1020170072861A KR 20170072861 A KR20170072861 A KR 20170072861A KR 101977305 B1 KR101977305 B1 KR 101977305B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cell
camera
thermal imaging
unit
imaging camera
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020170072861A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180135501A (ko
Inventor
한재준
박정갑
강기영
Original Assignee
(주)티에스이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)티에스이 filed Critical (주)티에스이
Priority to KR1020170072861A priority Critical patent/KR101977305B1/ko
Publication of KR20180135501A publication Critical patent/KR20180135501A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101977305B1 publication Critical patent/KR101977305B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/72—Investigating presence of flaws
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels

Landscapes

  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Abstract

본 발명의 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치는 베이스, 베이스의 상부에 구비되고, 컨텍패드 및 셀로 구성되는 검사대상물이 안착되며, 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 스테이지유닛, 스테이지유닛의 상부에 마련되고, 검사대상물의 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 열화상카메라가 구비되며, 열화상카메라가 스테이지유닛의 상부에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 겐트리유닛 및 검사대상물의 하부에 배치되어 검사대상물의 배면을 촬상하는 정렬카메라와 정렬카메라를 통해 촬상된 정보를 통해 정렬되어 컨텍패드에 접촉하여 전류를 인가하는 프로브핀이 구비되는 프로브유닛을 포함하고, 프로브핀이 접촉되어 전류가 인가된 셀의 상부에서 열화상카메라가 일방향으로 이송되며 온도를 감지한다.

Description

셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치{THEMAL TESTING APPARATUS FOR FLATPANEL DISPLAY}
본 발명은 디스플레이패널의 불량픽셀을 검출하기 위한 열화상 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 형태를 지닌 OLED셀에 프로브핀을 접촉하여 전류를 인가하고 특이온도가 표시되는 불량위치를 검출할 수 있도록 한 열화상 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 디스플레이패널은 영상을 표시하기 위한 장치로서 널리 실시되고 있다.
스마트폰, 태블릿과 같은 휴대장치의 발달로 다양한 형태의 디스플레이패널이 실시되고 있고, 영상을 표시하기 위한 수단으로서만이 아닌 터치 방식의 입력이 가능하도록 구현이 되는 등 기술집약적 산업으로서 그 개발 및 개량이 빠르게 진행되고 있다.
영상을 표시하기 위한 목적이나 정전용량의 변화를 감지하여 전기적 신호로서 변환하여 입력하기 위한 목적의 디스플레이패널은 기본적으로 수많은 픽셀의 조합으로 구현된다.
수많은 픽셀들의 조합으로 인해 특정한 빛을 표시하거나 특정한 전기적 신호를 입력받을 수 있도록 구현되므로, 각각의 픽셀들이 유기적으로 작동 되어야 한다.
하지만, 다양한 공정을 거치며 제작되는 디스플레이패널의 픽셀들 중 일부에 불량이 발생될수 있어 이를 검수하기 위한 장치나 방법들을 필요로 하여왔다.
종래에는 디스플레이패널의 셀에 전기적 신호를 인가하여, 특정범위 내의 픽셀들에 불량이 존재하는지를 검수하는 방법이 널리 실시되어 왔다.
하지만, 다수개의 OLED셀이 하나의 기판이 일정한 배열로 배치되어 있는 디스플레이 기판의 경우 또는 각각의 OLED셀을 검수하기 위해 기계적인 이송 및 컨텍동작이 반복되도록 작동되도록 하였으나, 정밀한 컨텍이 요구되는 OLED셀과 프로브핀의 위치가 정확하게 일치되지 못하는 경우가 자주 발생하게 된다는 문제점이 있었다.
그리고, OLED셀을 지닌 기판의 경우 다양한 형태 및 크기로 구현될 수 있어, 각기 다른 형태 및 크기를 지닌 OLED셀에 범용적으로 검사 장치가 활용되는 것이 어려웠고, 셀에 전기적 신호를 인가하여 불량을 검수하는 방법으로는 불량이 발생된 셀을 특정하기 위한 시간이 길게 소요되었고, 이러한 검사시간의 증가는 생산성의 저하로 귀결되었다.
따라서 이와 같은 문제점들을 해결하기 위한 방법이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 발명으로서, 기판에 정렬된 OLED셀의 컨텍패드가 프로브핀과 정확한 위치에 배열될 수 있도록 셀 얼라인이 수행되고, 각각의 OLED셀에서 온도를 계측함으로써 불량이 발생된 픽셀의 정확한 위치를 획득할 수 있도록 한 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치를 제공하기 위함이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치는 베이스, 베이스의 상부에 구비되고, 컨텍패드 및 셀로 구성되는 검사대상물이 안착되며, 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 스테이지유닛, 스테이지유닛의 상부에 마련되고, 검사대상물의 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 열화상카메라가 구비되며, 열화상카메라가 스테이지유닛의 상부에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 겐트리유닛 및 검사대상물의 하부에 배치되어 검사대상물의 배면을 촬상하는 정렬카메라와 정렬카메라를 통해 촬상된 정보를 통해 정렬되어 컨텍패드에 접촉하여 전류를 인가하는 프로브핀이 구비되는 프로브유닛을 포함하고, 프로브핀이 접촉되어 전류가 인가된 셀의 상부에서 열화상카메라가 일방향으로 이송되며 온도를 감지한다.
그리고, 스테이지유닛은 검사대상물이 상면에 안착되는 안착플레이트 및 베이스에 구비되어 안착플레이트를 지지하며 안착플레이트의 전후좌우 이동 및 기울기를 조절하는 정렬구동부를 포함한다.
또는, 정렬구동부는 안착플레이트가 승강되도록 구비된다.
그리고, 겐트리유닛은 열화상카메라가 좌우 이송이 가능하게 결합되는 가로이송파트 및 가로이송파트가 전후 이송이 가능하게 결합되는 세로이송파트를 포함하고, 열화상카메라는 가로이송파트에 결합된다.
또는, 가로이송파트는 열화상카메라가 전후 이송되는 경로상에 배치되고, 검사대상물의 상면을 확대 촬영할 수 있도록 구비되되 열화상카메라와 전후방향의 일직선상에 배치되는 마이크로스코프를 포함한다.
그리고, 열화상카메라는 열화상카메라의 좌표가 산출되도록, 열화상카메라와 인접하여 배치되며 검사대상물의 상면을 촬상하는 원점카메라를 더 포함한다.
또는, 정렬카메라는 스테이지유닛의 하부에 배치되어 상부를 촬상가능하게 구비되고, 프로브핀은 승강 및 좌우 이송되도록 구비된다.
그리고, 검사대상물의 배면에 표시된 셀마크를 촬상하여 획득된 위치정보가 정렬카메라로부터 입력되고, 위치정보에 따라 스테이지유닛 및 프로브핀의 이송을 제어하여 셀과 프로브핀이 접촉되도록 제어가 수행되는 제어부를 포함한다.
상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치는 OLED셀의 온도를 감지하여 불량이 발생된 픽셀을 도출하게 되므로, 보다 신속하게 많은 수의 OLED셀의 검수를 진행할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 불량이 발생된 픽셀의 위치를 정확하게 획득할 수 있는 장점과 함께 물리적인 관측이 가능하여 발생된 불량 픽셀의 위치 뿐만 아니라 불량에 대한 진단도 가능하다는 장점이 있다.
또한, 셀 얼라인을 통해 다양한 형태의 OLED셀이 프로브핀과 정확한 위치에서 접촉될 수 있으며, 기판이 안착되는 스테이지유닛과 프로브핀이 상호 이송 가능하게 구비되므로 빠른 정렬이 수행되는 효과가 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사징치의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 부분 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 열화상카메라를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 스테이지유닛을 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 겐트리유닛을 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 프로브핀을 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 정렬카메라를 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 검사대상물인 기판의 평면도 및 배면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치에서 열화상카메라를 통해 온도 특이점을 도식화한 상태도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치를 통해 촬상된 불량픽셀의 이미지이다.
이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사징치의 정면도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 부분 사시도이다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치는 하기 되는 것과 같이 실시될 수 있다.
베이스(100), 베이스(100)의 상부에 구비되고, 적어도 하나 이상의 셀(OLED셀, 20)로 구성되는 검사대상물(P)이 안착되며, 검사대상물(P)이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 스테이지유닛(200), 스테이지유닛(200)dlm 상부에 마련되고, 검사대상물(P)의 온도를 감지하여 불량이 발생된 지점을 검출하는 열화상카메라(334)가 구비되며, 열화상카메라(334)는 스테이지유닛(200)의 상부에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 겐트리유닛(300) 및 검사대상물(P)의 하부에 배치되어 검사대상물(P)의 배면을 촬상하는 정렬카메라(420)와 정렬카메라(420)를 통해 촬상된 정보를 통해 정렬되어 복수 개의 셀(20) 각각의 컨텍패드(30)에 순차적으로 접촉하여 전류를 인가하는 프로브핀(410)이 구비되는 프로브유닛(400)이 포함되고, 복수 개의 셀(20) 중 프로브핀(410)이 접촉되어 전류가 인가된 셀(20)의 상부에서 열화상카메라(334)가 일방향으로 이송되며 온도를 감지하게 된다.
아래에서는 상기된 각각의 구성을 구체적으로 자세하게 설명한다.
베이스(100)는 바닥면과 접하여 넓게 형성되는 판상의 부재로서, 스테이지유닛(200), 겐트리유닛(300)이 결합되어 지지될 수 있도록 구비될 수 있다.
베이스(100)는 판상의 부재로 한정되는 것은 아니고, 바닥면에 견고하게 지지될 수 있도록 프레임 형태로 구현될 수 있고, 본 발명이 적용되는 실시예에 따라 다양한 형상으로 구현될 수 있다.
베이스(100)의 상면에는 일방향 및 이와 직교하는 방향으로의 이송이 가능하도록 레일이 구비될 수 있다.
스테이지유닛(200)은 베이스(100)의 상면에 형성되는 레일을 따라 수평하게 전후좌우 이동이 가능하게 구비되고, 검사대상물(P)인 기판(10)이 상면에 안착되는 안착플레이트(210), 베이스(100)의 상부에서 결합되고 안착플레이트(210)를 하부에서 지탱하며, 안착플레이트(210)의 전후좌우 이송 및 기울기를 조절할 수 있도록 구비되는 정렬구동부(220)로 구성될 수 있다.
안착플레이트(210)는 상면이 편평하게 형성되어, 적어도 하나 이상의 기판(10)이 상면에 접하여 안착될 수 있도록 구비된다.
또한, 상면에는 기판(10)이 기 설정된 위치에 안착될 수 있도록 가이드부재(미도시)가 구비될 수 있다.
정렬구동부(220)는 안착플레이트(210)와 베이스(100)를 상호 연결하고, 안착플레이트(210)가 지탱될수 있도록 구비되며, 안착플레이트(210)가 베이스(100)의 상부에서 수평한 면을 기준으로 전진, 후진 및 좌측과 우측으로의 이동이 가능하도록 구비된다.
또한, 안착플레이트(210)의 적어도 일부를 높이거나 낮출 수 있도록 구비되어 안착플레이트(210)가 수평을 유지할 수 있도록 구동될 수 있고, 안착플레이트(210)가 수평을 유지한 상태로 상승 또는 하강되도록 구비될 수 있다.
이러한 정렬구동부(220)의 작동은 다수 개의 모터구동을 통해 구현될 수 있고, 또는 유압을 이용한 실린더의 작동을 통해 구현될 수 있으며, 이는 본 발명이 적용되는 실시예에 따라 다양한 구동수단을 통해 실시될 수 있을 것이다.
겐트리유닛(300)은 가로이송파트(310) 및 세로이송파트(320)가 포함될 수 있고, 가로이송파트(310) 또는 세로이송파트(320)에 감지파트(330)가 결합되어 종국적으로 감지파트(330)가 가로이송파트(310) 및 세로이송파트(320)의 유기적인 동작에 가로이송 및 세로이송이 가능하게 구비될 수 있다.
감지파트(330)는 가로이송파트(310) 또는 세로이송파트(320)에 결합되어 가로이송 및 세로이송이 가능하도록 구비되고, 본 발명의 일 실시예에서는 도 1내지 도 3에 도시된 바와 같이, 세로이송파트(320)를 통해 가로이송파트(310)가 세로이송될 수 있도록 구비되고, 가로이송파트(310)에 감지파트(330)가 가로이송이 가능하도록 결합되어 실시될 수 있다.
감지파트(330)는 가로이송파트(310)에 가로이송이 가능하도록 결합되는 하우징(332)이 구비될 수 있고, 하우징(332)의 일측에 열화상카메라(334) 및 원점카메라(336)가 구비되며, 타측에는 마이크로스코프(338)가 더 포함될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서는 도 1 내지 도 3에 도시된 바를 참조하여, 가로이송파트(310)를 통한 가로이송을 좌우방향, 세로이송파트(320)를 통한 세로이송을 전후방향이라 하기로 한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 열화상카메라를 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 스테이지유닛을 나타낸 사시도이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 겐트리유닛을 나타낸 사시도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 열화상카메라(334) 및 원점카메라(336)는 촬상 방향이 서로 평행하도록 인접하게 배치되고, 하우징(332)의 일측에 결합되어 안착플레이트(210)의 상면을 향해 연직상방에서 아래방향으로 촬상 가능하게 구비될 수 있다.
열화상카메라(334)는 촬상되는 영역의 온도를 감지하여 특이온도가 나타난 지점을 감지할 수 있도록 구비되고, 원점카메라(336)는 기 입력된 열화상카메라(334)와의 거리 d를 변수로 하여 열화상카메라(334)를 통해 촬상되는 영역의 좌표를 감지하기 위해 구비된다.
상세하게는, 원점카메라(336)는 감지대상물(P)의 상면 또는 안착플레이트(210)의 상면에 표시된 좌표정보가 촬상되도록 구동될 수 있고, 감지된 좌표정보와 열화상카메라(334)와의 거리 d를 연산하여 열화상카메라(334)가 온도를 감지하기 위해 촬상하고 있는 영역의 좌표를 산출하게 된다.
마이크로스코프(338)는 열화상카메라(334)가 세로이송파트(320)에 의해 전후 이송되는 과정에서 일직선상에 배치되고, 열화상카메라(334)를 통해 감지된 불량위치를 고배율로 확대하여 관찰할 수 있도록 구비된다.
열화상카메라(334) 및 마이크로스코프(338)가 전후방향의 일직선상에 배치되는 것은 열화상카메라(334)를 통해 감지된 정보를 통해 마이크로스코프(338)가 이송되는 과정에서 가로이송파트(310)의 동작없이도, 세로이송파트(320)의 동작만으로 빠르게 불량위치로 마이크로스코프(338)가 이송될 수 있도록 하기 위함이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 프로브핀을 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 정렬카메라를 나타낸 사시도이다.
도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따르면 프로브유닛(400)은 안착플레이트(210)의 하부에 배치되어 검사대상물(P)의 배면을 촬영할 수 있도록 구비되는 정렬카메라(420)와 정렬카메라(420)를 통해 감지된 위치 정보를 통해 이송되어 검사대상물(P)의 컨텍패드(30)에 접하여 전류를 인가하는 프로브핀(410)이 포함될 수 있다.
프로브핀(410)은 좌우 이송이 가능하도록 구비되고, 안착플레이트(210)의 상면에 안착되어 있는 검사대상물(P)인 기판(10)에 접촉하여 기판(10)의 특정라인 또는 특정범위에 전원이 인가되도록 구비된다.
상세하게는, 본 발명의 일 실시예에서 검사대상물(P)인 기판(10)은 다수 개의 OLED셀(20)이 포함될 수 있고, 또는 다양한 형태를 지닌 OLED셀에 적용될 수 있으며, OLED셀(20)은 상면에 컨텍패드(30)가 형성되며, 배면에는 OLED셀(20)의 위치를 표시하는 셀마크(40)가 형성될 수 있다.
프로브핀(410)은 후술될 정렬카메라(420)를 통해 셀마크(40)가 감지되어 OLDE셀(20)의 위치정보가 입력되면, OLED셀(20)에 형성된 컨텍패드(30)에 접촉하여 적어도 하나 이상의 OLED셀(20)에 전원을 인가하게 된다.
따라서, 프로브핀(410)은 베이스(100)의 상부에서 전후좌우 이송 및 승강 가능하게 구비될 수 있고, 본 발명이 적용되는 실시예에 따라서 전후이송 또는 좌우이송만이 수행되어 승강가능하게 구비될 수도 있다.
전원이 인가된 OLED셀(20)에 상술하였던 열화상카메라(334)가 이송되어 상부에서 온도를 감지하게 되고, 특이 온도를 나타내는 지점을 불량픽셀이 발생된 지점으로 특정하여 마이크로스코프(338)를 통해 세부관찰을 수행할 수 있게 된다.
정렬카메라(420)는 안착플레이트(210)에 안착되는 검사대상물(P)의 배면을 연직하부에서 상부를 향해 촬상 가능하도록 적어도 하나 이상이 구비되고, 기판(10)의 배면에 각각의 OLED셀(20)의 위치를 나타내기 위해 표시된 셀마크(40)를 감지하게 된다.
또한, 정렬카메라(420)에 의해 기판(10)의 배면에 형성된 셀마크(40)가 감지되면, 셀마크(40)의 촬영을 통해 특정된 위치 정보가 입력되고, 이 정보에 따라서 스테이지유닛(200)의 정렬구동부(220)를 구동시켜 안착플레이트(210) 상의 검사대상물(P)을 이송시키고, 가로이송파트(310) 및 세로이송파트(320)의 이송을 제어하여 열화상카메라(334)의 위치를 제어하며, 프로브핀(410)의 이송 및 승강작동을 제어하게 되는 제어부(미도시)가 더 포함될 수 있다.
제어부(미도시)는 정렬카메라(420)를 통해 획득된 셀마크(40) 정보를 통해 검사대상이 되는 OLED셀(20)의 위치를 특정하게 되고, 특정된 OLED셀(20)의 컨텍패드(30)가 프로브핀(410)과 접촉될 수 있도록 안착플레이트(210) 및 프로브핀(410)의 이송 및 승강을 제어하게 된다.
또한, 제어부(미도시)는 프로브핀(410)과 컨텍패드(30)의 접촉이 수행된 후, 검사대상이 되는 OLED셀(20)의 상부로 열화상카메라(334)가 이송되도록 제어할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치의 검사대상물인 기판의 평면도 및 배면도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치에서 열화상카메라를 통해 온도 특이점을 도식화한 상태도이며, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치를 통해 촬상된 불량픽셀의 이미지이다.
도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에서 검사대상물(P)은 상면에 컨텍패드(30)가 형성된 OLED셀(20)로서, 다양한 폭과 너비를 지닌 OLED셀(20)에 두루 적용될 수 있고, 각각의 다양한 형태를 지닌 OLED셀(20)에 맞추어 정렬카메라(420)가 위치정보를 획득하여 제어부(미도시)를 통해 프로브핀(410)의 접촉 및 열화상카메라(334)를 통한 불량픽셀의 위치를 도출할 수 있게 된다.
정렬카메라(420)는 기판(10)의 배면에 형성된 셀마크(40)를 인식하여 위치정보를 특정할 수 있게 된다.
이는 예시적인 것으로서 본 발명이 적용되는 실시예에 따라서 다양한 형태의 OLED셀(20)을 지닌 기판(10)에 두루 적용될 수 있을 것이며, 하나의 기판(10)에 다수 개의 OLED셀(20)이 배치되는 경우에도 적용될 수 있다.
상세하게는, 정렬카메라(420)를 통해 안착플레이트(210)에 안착된 기판(10)의 배면을 촬영하여 각각의 OLED셀(20)의 위치를 감지하고, 검사 대상이 되는 적어도 하나 이상의 OLED셀(20)의 위치로 프로브핀(410)이 이송되어 검사대상이 되는 OLED셀(20)의 컨텍패드(30)에 접촉하게 되며, 세로이송파트(320) 및 가로이송파트(310)의 작동에 의해 열화상카메라(334)가 검사 대상이 되는 OLED셀(20)의 연직상부에 배치되어 OLED셀(20) 전체 또는 특정라인을 직선으로 이송되며 온도를 감지하게 되고, 도 10의 그래프를 통해 표시된 바와 같은 비정상 온도가 나타나는 지점이 불량이 발생된 지점인 불량픽셀(defective pixel)로 확정될 수 있으며, 불량픽셀로 확정된 지점은 마이크로스코프(338)에 의해 고배율로 재차 관찰 할 수 있게 된다.
이러한 불량픽셀의 이미지는 도 11에 도시된 바와 같으며, 본 발명의 일 실시예에 따라 검사가 수행될 경우 불량픽셀의 위치를 정화하게 특정할 수 있으므로, 불량이 발생된 위치의 픽셀을 리페어하는 작업이 보다 신속하고 정확하게 수행될 수 있게 된다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
P: 검사대상물
10: 기판 20: OLED셀
30: 컨텍패드 40: 셀마크
100: 베이스
200: 스테이지유닛 210: 안착플레이트
220: 정렬구동부
300: 겐트리유닛 310: 가로이송파트
320: 세로이송파트 330: 감지파트
332: 하우징 334: 열화상카메라
336: 원점카메라 338: 마이크로스코프
400: 프로브유닛 410: 프로브핀
420: 정렬카메라

Claims (8)

  1. 베이스;
    상기 베이스의 상부에 구비되고, 상면에 형성되는 컨텍패드 및 OLED셀 위치를 표시하는 셀마크가 배면에 형성되는 OLED셀을 다수개 포함하는 검사대상물이 안착되며, 상기 검사대상물이 수평한 평면상에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 안착플레이트, 및 상기 베이스에 구비되어 상기 안착플레이트를 지지하며 상기 안착플레이트의 전후좌우 이동 및 기울기를 조절하고 상기 안착플레이트를 승강되도록 구비되는 정렬구동부를 포함하는 스테이지유닛;
    상기 검사대상물의 하부에 배치되어 상기 검사대상물의 배면을 촬상하여 상기 셀마크를 감지하여 OLED셀의 위치정보를 파악하는 정렬카메라와 상기 정렬카메라를 통해 촬상된 위치정보를 통해 정렬되어 상기 검사대상물의 상부에 배치되어 상기 컨텍패드에 접촉하여 전류를 인가하는 프로브핀이 구비되는 프로브유닛;
    상기 스테이지유닛의 상부에 마련되고, 상기 프로브핀이 상기 검사대상물에 접촉되어 전류가 인가된 셀의 상부에서 일방향으로 이송되면서 상기 검사대상물의 온도를 감지하여 불량이 발생한 지점을 검출하는 열화상카메라가 구비되며, 상기 열화상카메라가 상기 스테이지유닛의 상부에서 전후좌우로 이송될 수 있도록 구비되는 겐트리유닛;
    상기 열화상카메라가 촬상하고 있는 영역의 좌표가 산출되도록, 상기 열화상카메라와 촬상방향이 서로 평행하도록 인접하여 배치되어 상기 검사대상물의 상면을 촬상하는 원점카메라;
    상기 열화상카메라가 전후 이송되는 경로상에 상기 열화상카메라와 전후방향의 일직선상에 배치되어, 상기 원점카메라에 의해 감지된 좌표정보를 기초로 해당 좌표부근을 확대 촬영하여 불량픽셀을 특정하도록 구비되는 마이크로스코프; 및
    상기 정렬카메라에 의해 파악되는 상기 검사대상물의 OLED셀의 위치정보를 기초로 상기 프로브 핀이 상기 검사대상물에 정확하게 접촉되도록 하기 위해 상기 프로브 핀의 이송 및 승강을 제어하고 그에 대응하여 상기 안착플레이트의 이송 및 승강을 제어하는 제어부
    를 포함하는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 겐트리유닛은,
    상기 열화상카메라가 좌우 이송이 가능하게 결합되는 가로이송파트; 및
    상기 가로이송파트가 전후 이송이 가능하게 결합되는 세로이송파트;를 포함하고,
    상기 열화상카메라는 상기 가로이송파트에 결합되는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 정렬카메라는 상기 스테이지유닛의 하부에 배치되어 상부를 촬상가능하게 구비되고, 상기 프로브핀은 승강 및 좌우 이송되도록 구비되는 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치.
  8. 삭제
KR1020170072861A 2017-06-12 2017-06-12 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치 Active KR101977305B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170072861A KR101977305B1 (ko) 2017-06-12 2017-06-12 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170072861A KR101977305B1 (ko) 2017-06-12 2017-06-12 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180135501A KR20180135501A (ko) 2018-12-21
KR101977305B1 true KR101977305B1 (ko) 2019-05-13

Family

ID=64960056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170072861A Active KR101977305B1 (ko) 2017-06-12 2017-06-12 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101977305B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102308226B1 (ko) * 2020-11-24 2021-11-04 디아이티 주식회사 기판표면 결함 리뷰장치

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109899642A (zh) * 2019-03-26 2019-06-18 平湖莱顿光学仪器制造有限公司 一种龙门架组件及显微镜

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101174860B1 (ko) 2012-02-15 2012-08-17 (주)버금시스템 피검사물과 테스트 기판의 정렬이 이루어지는 디스플레이용 패널 검사장치 및 그 제어방법
JP2013007875A (ja) * 2011-06-24 2013-01-10 Sharp Corp 欠陥検査装置及び欠陥検査方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1194918A (ja) * 1997-09-17 1999-04-09 Dainippon Printing Co Ltd 電極検査装置
KR101172747B1 (ko) * 2010-08-16 2012-08-14 한국표준과학연구원 열화상 좌표를 이용한 보안용 카메라 추적 감시 시스템 및 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013007875A (ja) * 2011-06-24 2013-01-10 Sharp Corp 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
KR101174860B1 (ko) 2012-02-15 2012-08-17 (주)버금시스템 피검사물과 테스트 기판의 정렬이 이루어지는 디스플레이용 패널 검사장치 및 그 제어방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102308226B1 (ko) * 2020-11-24 2021-11-04 디아이티 주식회사 기판표면 결함 리뷰장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20180135501A (ko) 2018-12-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106782234B (zh) 用于促进对包括多个面板的待测试的装置的检验的系统及方法
CN111742399B (zh) 接触精度保证方法、接触精度保证机构和检查装置
KR100958204B1 (ko) 평판디스플레이 패널 검사 장비 및 방법
KR101919808B1 (ko) 열화상 감지 유닛이 구비된 디스플레이패널의 다중 검사장치
US20150268298A1 (en) Flexible circuit board inspecting apparatus
TWI455221B (zh) A checking method and a program recording medium in which the inspection method is recorded
JP2014196908A (ja) ハンドラーおよび検査装置
KR101374529B1 (ko) 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법
JP6285697B2 (ja) 電子部品検査装置及び電子部品実装装置
CN105466946B (zh) 基于机器视觉的在线检测系统及其检测方法
KR101977305B1 (ko) 셀 얼라인을 통한 디스플레이 패널의 열화상 검사장치
KR100785420B1 (ko) 압흔 검사기
KR20100058395A (ko) 평판 디스플레이 패널의 검사장치
KR102036000B1 (ko) 터치 스크린 패널의 터치 감지용 전극 검사 장치
KR101695283B1 (ko) 박막 트랜지스터 기판 검사 장치
KR101074394B1 (ko) 엘시디 검사장치
KR101924853B1 (ko) 디스플레이패널의 열화상 검사장치
KR20130022126A (ko) 프로브 유닛 및 이를 포함하는 검사 장치
US11221350B2 (en) Probe device for improving transfer accuracy of needle traces of probes and needle trace transcription method therefor
KR20090074388A (ko) 표시패널의 검사 장치 및 그 방법
KR20180091510A (ko) 디스플레이 셀의 검사 장치
JPH08327658A (ja) 基板検査装置
KR100797571B1 (ko) 복합 검사기
JP6277347B2 (ja) 可撓性回路基板を対象とする検査装置及び検査方法
TWI299403B (ko)

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20170612

PA0201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20180914

Patent event code: PE09021S01D

AMND Amendment
PG1501 Laying open of application
E601 Decision to refuse application
PE0601 Decision on rejection of patent

Patent event date: 20190322

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PE06012S01D

Patent event date: 20180914

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event code: PE06011S01I

AMND Amendment
PX0901 Re-examination

Patent event code: PX09011S01I

Patent event date: 20190322

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PX09012R01I

Patent event date: 20181114

Comment text: Amendment to Specification, etc.

PX0701 Decision of registration after re-examination

Patent event date: 20190502

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event code: PX07013S01D

Patent event date: 20190424

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event code: PX07012R01I

Patent event date: 20190322

Comment text: Decision to Refuse Application

Patent event code: PX07011S01I

Patent event date: 20181114

Comment text: Amendment to Specification, etc.

Patent event code: PX07012R01I

X701 Decision to grant (after re-examination)
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20190503

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20190507

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20220328

Start annual number: 4

End annual number: 4