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KR101969336B1 - Light emitting device - Google Patents

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KR101969336B1
KR101969336B1 KR1020120129277A KR20120129277A KR101969336B1 KR 101969336 B1 KR101969336 B1 KR 101969336B1 KR 1020120129277 A KR1020120129277 A KR 1020120129277A KR 20120129277 A KR20120129277 A KR 20120129277A KR 101969336 B1 KR101969336 B1 KR 101969336B1
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문용태
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엘지이노텍 주식회사
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Abstract

실시예는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템에 관한 것이다.
실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층(112); 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에 활성층(114); 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 질화갈륨계열층(128); 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층 상에 제2 도전형 반도체층(116);을 포함하며, 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)은, 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(단, 0<x<1)(128a); 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a) 상에 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(단, 0≤y<1, 0≤z<1)(128b); 및 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b) 상에 제2 도전형 GaN층(128c);을 포함할 수 있다.
Embodiments relate to a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system.
The light emitting device according to the embodiment includes a first conductive semiconductor layer 112; An active layer 114 on the first conductive semiconductor layer 112; A second conductivity type gallium nitride based layer 128 on the active layer 114; And a second conductive type semiconductor layer (116) on the second conductive type gallium nitride based layer, wherein the second conductive type gallium nitride based layer (128) is formed on the active layer (114) An Al x Ga (1-x) N layer (where 0 <x <1) (128a); The second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer on the second conductivity type (128a) In y Al z Ga (1-yz) N super lattice layer (where, 0≤y <1, 0≤z <1) 128b; And a second conductive GaN layer 128c on the second conductive In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b.

Description

발광소자{LIGHT EMITTING DEVICE}[0001] LIGHT EMITTING DEVICE [0002]

실시예는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템에 관한 것이다.Embodiments relate to a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system.

발광소자(Light Emitting Device)는 전기에너지가 빛에너지로 변환되는 특성의 p-n 접합 다이오드를 주기율표상에서 Ⅲ족과 Ⅴ족의 원소가 화합하여 생성될 수 있다. LED는 화합물 반도체의 조성비를 조절함으로써 다양한 색상구현이 가능하다. A light emitting device can be produced by combining p-n junction diodes having the characteristic that electric energy is converted into light energy by elements of Group III and Group V on the periodic table. LEDs can be implemented in various colors by controlling the composition ratio of compound semiconductors.

발광소자는 순방향전압 인가 시 n층의 전자와 p층의 정공(hole)이 결합하여 전도대(Conduction band)와 가전대(Valance band)의 에너지 갭에 해당하는 만큼의 에너지를 발산하는데, 이 에너지는 주로 열이나 빛의 형태로 방출되며, 빛의 형태로 발산되면 발광소자가 되는 것이다.When a forward voltage is applied to a light emitting device, the electrons in the n-layer and the holes in the p-layer are coupled to emit energy corresponding to the energy gap between the conduction band and the valance band. It emits mainly in the form of heat or light, and emits in the form of light.

예를 들어, 질화물 반도체는 높은 열적 안정성과 폭넓은 밴드갭 에너지에 의해 광소자 및 고출력 전자소자 개발 분야에서 큰 관심을 받고 있다. 특히, 질화물 반도체를 이용한 청색(Blue) 발광소자, 녹색(Green) 발광소자, 자외선(UV) 발광소자 등은 상용화되어 널리 사용되고 있다.For example, nitride semiconductors have received great interest in the development of optical devices and high power electronic devices due to their high thermal stability and wide bandgap energy. Particularly, blue light emitting devices, green light emitting devices, ultraviolet (UV) light emitting devices, and the like using nitride semiconductors have been commercialized and widely used.

최근 고효율 LED 수요가 증가함에 광도 개선이 이슈가 되고 있다. Recently, demand for high-efficiency LEDs has been on the rise.

광도를 개선하는 방안으로 활성층(MQW) 구조 개선, 전자차단층(EBL)의 개선, 활성층 하부 층의 개선 등의 시도가 있으나 큰 효과를 보지 못하는 상황이다.There have been attempts to improve the structure of the active layer (MQW), the improvement of the electron blocking layer (EBL), and the improvement of the lower layer of the active layer.

실시예는 광도를 향상시킬 수 있는 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공하고자 한다.Embodiments provide a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system capable of improving brightness.

실시예에 따른 발광소자는 제1 도전형 반도체층(112); 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에 활성층(114); 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 질화갈륨계열층(128); 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층 상에 제2 도전형 반도체층(116);을 포함하며, 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)은, 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(단, 0<x<1)(128a); 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a) 상에 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(단, 0≤y<1, 0≤z<1)(128b); 및 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b) 상에 제2 도전형 GaN층(128c);을 포함할 수 있다.The light emitting device according to the embodiment includes a first conductive semiconductor layer 112; An active layer 114 on the first conductive semiconductor layer 112; A second conductivity type gallium nitride based layer 128 on the active layer 114; And a second conductive type semiconductor layer (116) on the second conductive type gallium nitride based layer, wherein the second conductive type gallium nitride based layer (128) is formed on the active layer (114) An Al x Ga (1-x) N layer (where 0 <x <1) (128a); The second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer on the second conductivity type (128a) In y Al z Ga (1-yz) N super lattice layer (where, 0≤y <1, 0≤z <1) 128b; And a second conductive GaN layer 128c on the second conductive In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b.

실시예에 의하면 광도를 향상시킬 수 있는 최적의 구조를 구비한 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiments, it is possible to provide a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system having an optimal structure capable of improving brightness.

또한, 실시예에 의하면 정공주입효율이 우수하면서 동시에 전자의 누설을 효과적으로 차단할 수 있는 이상적인 전자차단층 구조를 구비한 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiments, it is possible to provide a light emitting device, an emitting device, a light emitting device package, and an illumination system having an ideal electron blocking layer structure that is excellent in hole injection efficiency and can effectively block leakage of electrons.

도 1은 실시예에 따른 발광소자의 단면도.
도 2는 실시예에 따른 발광소자의 에너지 밴드 다이어그램의 부분 예시도.
도 3 내지 도 5는 실시예에 따른 발광소자의 제조방법 예시도.
도 6은 실시예에 따른 발광소자 패키지의 단면도.
도 7 내지 도 9는 실시 예에 따른 조명장치를 나타낸 도면.
도 10 및 도 11은 실시 예에 따른 조명장치의 다른 예를 나타낸 도면.
도 12는 실시예에 따른 백라이트 유닛의 사시도.
1 is a cross-sectional view of a light emitting device according to an embodiment.
2 is a partial illustration of an energy band diagram of a light emitting device according to an embodiment.
FIGS. 3 to 5 illustrate examples of a method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment.
6 is a cross-sectional view of a light emitting device package according to an embodiment.
Figures 7 to 9 show a lighting device according to an embodiment.
10 and 11 are views showing another example of the lighting apparatus according to the embodiment;
12 is a perspective view of a backlight unit according to an embodiment;

실시 예의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on/over)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on/over)"와 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 상/위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), area, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under" the substrate, each layer Quot; on " and " under " are intended to include both "directly" or "indirectly" do. Also, the criteria for top, bottom, or bottom of each layer will be described with reference to the drawings.

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size.

(실시예)(Example)

도 1은 실시예에 따른 발광소자(100)의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a light emitting device 100 according to an embodiment.

실시예에 따른 발광소자(100)는 제1 도전형 반도체층(112)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에 활성층(114)과, 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 질화갈륨계열층(128) 및 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층(128) 상에 제2 도전형 반도체층(116);을 포함한다.The light emitting device 100 according to the embodiment includes a first conductive semiconductor layer 112, an active layer 114 on the first conductive semiconductor layer 112, And a second conductive type semiconductor layer (116) on the gallium nitride based layer (128) and the second conductive type gallium nitride based layer (128).

이건 발명의 관련기술("관련기술"은 이건발명의 출원시 명백히 공지된 기술은 아님을 의미함)에 의하면 이동도가 높은 전자를 차단하기 위해 활성층 상에 소위 전자차단층(Electron Blocking Layer)을 형성하며, 전자차단층은 마지막(last) GaN 양자벽보다 에너지 밴드갭이 충분히 커서 n-GaN 층에서 공급된 전자가 발광층을 지나서 발광에 참여하지 않고 p-GaN로 넘어가는 것을 차단한다.According to the related art of the invention (which means that the related art is not a technology obviously known at the time of filing of the invention), a so-called electron blocking layer is formed on the active layer in order to block electrons having high mobility And the electron blocking layer is sufficiently larger in energy band gap than the last GaN quantum wall so that the electrons supplied from the n-GaN layer do not pass through the light emitting layer but fall into the p-GaN without participating in light emission.

관련기술의 전자차단층의 구성은 두꺼운 p-AlGaN 단일층(single layer)이거나 p-AlGaN/p-GaN이 반복적으로 적층되는 초격자(superlattice) 구조 등이 있다.The structure of the electron blocking layer in the related art is a thick p-AlGaN single layer or a superlattice structure in which p-AlGaN / p-GaN is repeatedly laminated.

그런데, 관련기술에서 두꺼운 p-AlGaN 단일층(single layer)의 경우 p-AlGaN 전자차단층이 얇으면 전자가 양자역학적 터널링을 통해서 p-GaN쪽으로 넘어가는 문제를 해결하기 위해, 전자의 터널링 현상이 일어나지 않도록 p-AlGaN 전자차단층은 충분히 두껍게 형성하는 기술인데, 두꺼운 p-AlGaN 전자차단층은 p-GaN로부터 발광층으로 주입되어야 하는 정공에게도 에너지 장벽으로 작용하여 정공의 주입효율을 크게 저하시키는 문제점이 있다.However, in the related art, when a p-AlGaN electron blocking layer is thin in the case of a thick p-AlGaN single layer, in order to solve the problem of electrons moving toward p-GaN through quantum mechanical tunneling, The p-AlGaN electron blocking layer is thick enough to prevent the p-AlGaN electron blocking layer from being formed. However, the thick p-AlGaN electron blocking layer acts as an energy barrier to the holes to be injected from the p-GaN into the light emitting layer, have.

한편, p-AlGaN/p-GaN이 반복되는 초격자 구조의 경우, 얇은 p-AlGaN층과 얇은 p-GaN층을 교대로 적층하여 이루어지는 구조인데, p-AlGaN층이 얇아서 p-GaN로부터 발광층으로 주입되는 정공들이 양자역학적 터널링을 통하여서 초격자 층을 통과할 수 있으므로, 두꺼운 p-AlGaN 단일층의 전자차단층이 갖는 낮은 정공주입효율 문제를 개선하고자 하는 기술이다. 그러나, 전자(electron) 역시 얇은 p-AlGaN층을 양자역학적 터널링을 통하여서 통과할 수 있으므로 발광층으로부터 p-GaN 방향으로의 전자의 누설을 효과적으로 차단하지 못하게 되는 문제점을 갖게 된다.On the other hand, in the superlattice structure in which p-AlGaN / p-GaN is repeated, a thin p-AlGaN layer and a thin p-GaN layer are alternately laminated. Hole injecting holes can pass through the superlattice layer through quantum mechanical tunneling, thereby improving the problem of low hole injection efficiency of the electron blocking layer of the thick p-AlGaN single layer. However, since electrons can also pass through the thin p-AlGaN layer through quantum mechanical tunneling, there is a problem that the leakage of electrons from the light emitting layer toward the p-GaN can not be effectively blocked.

따라서, 관련기술에서 p-AlGaN 단일층 기반의 전자차단층 기술에서 전자의 누설을 효과적으로 차단하는 구조는 정공주입효율이 매우 낮고, 정공주입효율을 개선한 전자차단층 초격자 구조는 전자 누설차단기능이 저하되는 기술적 모순이 발생하고 있다.Therefore, in the related art, in the electron blocking layer technique based on the p-AlGaN monolayer, the structure effectively blocking the electron leakage has a very low hole injection efficiency, and the electron blocking layer superlattice structure, which improves the hole injection efficiency, There is a technical contradiction that is deteriorated.

결국, 정공주입효율이 우수하면서 동시에 전자의 누설을 효과적으로 차단할 수 있는 이상적인 전자차단층 구조의 개발이 요구된다. As a result, it is required to develop an ideal electron blocking layer structure which is excellent in hole injection efficiency and can effectively block leakage of electrons.

도 1은 실시예에 따른 발광소자(100)의 단면도이며, 도 2는 실시예에 따른 발광소자의 에너지 밴드 다이어그램의 부분 예시도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a light emitting device 100 according to an embodiment, and FIG. 2 is a partial exemplary view of an energy band diagram of a light emitting device according to an embodiment.

실시예에 따른 발광소자(100)는 제1 도전형 반도체층(112)과, 상기 제1 도전형 반도체층(112) 상에 질화갈륨 계열의 초격자층(124)과, 상기 질화갈륨 계열의 초격자층(124) 상에 활성층(114)과, 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 질화갈륨계열층(128) 및 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층(128) 상에 제2 도전형 반도체층(116);을 포함한다.The light emitting device 100 according to the embodiment includes a first conductive semiconductor layer 112, a superlattice layer 124 of gallium nitride series on the first conductive semiconductor layer 112, A second conductive type gallium nitride based layer 128 on the active layer 114 and a second conductive type gallium nitride based on the second conductive type gallium nitride based layer 128 on the superlattice layer 124, Type semiconductor layer (116).

이때, 실시예에서 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)은 상기 활성층(114) 상에 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(단, 0<x<1)(128a)과, 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(단, 0<x<1)(128a) 상에 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(단, 0≤y<1, 0≤z<1)(128b) 및 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b) 상에 제2 도전형 GaN층(128c)을 포함할 수 있다.In this embodiment, the second conductivity type gallium nitride based layer 128 may include a second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer (where 0 <x <1) 128a ) And a second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N super lattice layer ( 2) on the second conductive type Al x Ga 1-x N layer (0 <x < A second conductive GaN layer (128b) is formed on the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b (0? Y <1, 0? Z < 128c.

실시예에서 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)은 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)과, 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b) 및 상기 제2 도전형 GaN층(128c)이 하나의 주기를 이루어 복수의 주기로 반복적층하여 형성될 수 있다.In one embodiment, the second conductivity type gallium nitride based layer 128 is formed of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer 128a and the second conductivity type In y Al z Ga 1-yz ) N super lattice layer 128b and the second conductive type GaN layer 128c may be repeatedly formed at a plurality of periods in a single period.

상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)은 상기 제2 도전형 GaN층(128c)에 비해 상기 활성층(114)에 인접하며, 상기 제2 도전형 GaN층(128c)은 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)에 비해 상기 제2 도전형 반도체층(116)에 인접할 수 있다.The second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer (128a) is the second relative to the conductive-type GaN layer (128c) adjacent to the active layer 114, the second conductive type GaN layer (128c) May be adjacent to the second conductivity type semiconductor layer 116 as compared to the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer 128a.

실시예에서 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)은 에너지 밴드갭이 서로 다른 얇은 두층이 교대로 적어도 한번 이상 반복적층되어 이루어지는 초격자 구조를 구비할 수 있다.In the embodiment, the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b has a superlattice structure in which two thin layers having different energy band gaps are alternately repeatedly laminated at least once .

실시예에서 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)의 평균 에너지밴드갭의 크기는 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)의 평균 에너지밴드갭의 크기보다 작고, 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 평균 에너지밴드갭의 크기보다 클 수 있다.In the embodiment, the average energy band gap of the second conductivity type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b is larger than the size of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer 128a Of the second conductive type GaN layer 128c and larger than the average energy band gap of the second conductive type GaN layer 128c.

실시예는 In, Al의 농도나, 각 층의 두께(두께가 얇으면 에너지 준위를 높게 할 수 있음)를 제어함으로써 각 층의 에너지 밴드갭을 제어할 수 있다.In the embodiment, the energy band gap of each layer can be controlled by controlling the concentration of In and Al and the thickness of each layer (the energy level can be increased if the thickness is thin).

실시예에서 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)에서 상기 제2 도전형 GaN층(128c) 방향으로 에너지 밴드갭이 감소할 수 있다.The energy bandgap in the second conductive type Al x Ga (1-x) N layer 128a may decrease in the direction of the second conductive type GaN layer 128c.

관련기술의 단순 초격자 구조에 비해, 실시예에 따른 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)은 활성층(114)으로부터 제2 도전형 반도체층(116) 방향으로 누설되는 전자들은 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)을 넘어가는데 상대적으로 높은 에너지장벽을 갖게 된다. 따라서, 활성층(114)에서 제2 도전형 반도체층(116) 방향으로의 전자의 누설을 효과적으로 차단할 수 있게 된다. In contrast to the simple superlattice structure of the related art, the second conductivity type gallium nitride based layer 128 according to the embodiment has electrons leaked from the active layer 114 toward the second conductivity type semiconductor layer 116, -Type Al x Ga (1-x) N layer 128a but has a relatively high energy barrier. Accordingly, leakage of electrons from the active layer 114 toward the second conductivity type semiconductor layer 116 can be effectively blocked.

또한, 실시예에서 상기 제2 도전형 GaN층(128c)에서 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a) 방향으로 에너지 밴드갭이 증가할 수 있다.In addition, in the embodiment, the energy band gap may increase from the second conductive type GaN layer 128c toward the second conductive type Al x Ga (1-x) N layer 128a.

예를 들어, 제2 도전형 반도체층(116)에서 활성층(114)으로 주입되는 정공의 경우, 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)의 에너지 밴드갭이 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)과 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 에너지 밴드갭의 사이값을 가지므로 정공이 제2 도전형 GaN층(128c)에서 단계적으로 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)을 지나 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)을 상대적으로 수월하게 넘어가게 되므로 정공주입이 용이하게 된다. For example, in the case of holes injected into the active layer 114 from the second conductivity type semiconductor layer 116, the energy band of the second conductivity type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b Since the gap has a value between the energy band gap of the second conductive type Al x Ga (1-x) N layer 128a and the second conductive type GaN layer 128c, (1-x) N layer 128a through the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b in a stepwise manner in the first conductive type Al x Ga The hole injection is facilitated.

또한, 실시예에서 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)의 면방향 평균격자상수 크기가 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)의 면방향 평균격자상수보다 작고, 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 면방향 평균격자상수보다 클 수 있다.Further, in the embodiment, the plane-direction average lattice constant of the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b is larger than the plane-direction average lattice constant of the second conductivity type Al x Ga (1-x) Directional average lattice constant of the second conductive type GaN layer 128a and larger than the plane direction average lattice constant of the second conductive type GaN layer 128c.

실시예에서 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)의 평균 면방향 격자상수가 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)와 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 면방향 평균격자상수 사이값을 가지므로 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)와 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 격자불일치에 의해 생기는 계면응력을 완화시키고 계면결함 형성을 억제하게 된다. In the embodiment, the average lattice constant of the second conductivity type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b is greater than the average plane lattice constant of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer 128a because the first of the values between the face direction average lattice constant of the second conductivity type GaN layer (128c) of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer (128a) and the second conductive type GaN layer (128c) The interfacial stress caused by the lattice mismatch is relaxed and the interfacial defect formation is suppressed.

따라서, 주입되는 정공들이 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)에서 2차원적 전류퍼짐(Current spreading)이 효과적으로 잘 되어 활성층 전체에 균일하게 전류를 주입시킬 수 있게 되므로 활광층의 내부양자효율을 증대시킬 수 있게 된다. Accordingly, the injected holes can effectively perform a two - dimensional current spreading in the second conductive In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b, and thus the current can be uniformly injected into the entire active layer The internal quantum efficiency of the light-emitting layer can be increased.

실시예에 의하면, 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)의 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)과, 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b) 및 상기 제2 도전형 GaN층(128c)이 유기적으로 결합함으로써 정공주입효율이 우수하면서 동시에 전자의 누설을 효과적으로 차단할 수 있는 이상적인 전자차단층 구조를 구비한 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiment, the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer 128a of the second conductivity type gallium nitride based layer 128 and the second conductivity type In y Al z Ga (1-yz ) N superlattice layer 128b and the second conductive GaN layer 128c are organic bonds to each other so as to have an excellent hole injection efficiency and at the same time to effectively prevent leakage of electrons, A method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system.

이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 실시예에 따른 발광소자의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a light emitting device according to an embodiment will be described with reference to FIGS.

먼저, 도 3과 같이 기판(105)을 준비한다. 상기 기판(105)은 열전도성이 뛰어난 물질로 형성될 수 있으며, 전도성 기판 또는 절연성 기판일수 있다. 예를 들어, 상기 기판(105)은 사파이어(Al2O3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga203 중 적어도 하나를 사용할 수 있다. 상기 기판(105) 위에는 PSS(Patterned Sapphire Substrate)(P)가 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.First, the substrate 105 is prepared as shown in FIG. The substrate 105 may be formed of a material having excellent thermal conductivity, and may be a conductive substrate or an insulating substrate. For example, the substrate 105 is a sapphire (Al 2 O 3), SiC, Si, GaAs, GaN, ZnO, GaP, InP, Ge, and Ga 2 0 3 May be used. A patterned sapphire substrate (PSS) P may be formed on the substrate 105, but the present invention is not limited thereto.

상기 기판(105)에 대해 습식세척을 하여 표면의 불순물을 제거할 수 있다.The substrate 105 may be wet-cleaned to remove impurities on the surface.

이후, 상기 기판(105) 상에 제1 도전형 반도체층(112), 활성층(114) 및 제2 도전형 반도체층(116)을 포함하는 발광구조물(110)을 형성할 수 있다.The light emitting structure 110 including the first conductivity type semiconductor layer 112, the active layer 114, and the second conductivity type semiconductor layer 116 may be formed on the substrate 105.

이때, 상기 기판(105) 위에는 버퍼층(107)이 형성될 수 있다. 상기 버퍼층(107)은 상기 발광구조물(110)의 재료와 기판(105)의 격자 부정합을 완화시켜 줄 수 있으며, 버퍼층(107)의 재료는 3족-5족 화합물 반도체 예컨대, GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN 중 적어도 하나로 형성될 수 있다.At this time, a buffer layer 107 may be formed on the substrate 105. The buffer layer 107 may relieve lattice mismatching between the material of the light emitting structure 110 and the substrate 105. The material of the buffer layer 107 may be a Group III-V compound semiconductor such as GaN, InN, AlN , InGaN, AlGaN, InAlGaN, and AlInN.

상기 버퍼층(107) 위에는 언도프드(undoped) 반도체층(108)이 형성될 수 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다. An undoped semiconductor layer 108 may be formed on the buffer layer 107, but the present invention is not limited thereto.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제1 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층(112)이 N형 반도체층인 경우, 상기 제1도전형 도펀트는 N형 도펀트로서, Si, Ge, Sn, Se, Te를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The first conductive semiconductor layer 112 may be formed of a semiconductor compound. Group 3-Group 5, Group 2-Group 6, and the like, and the first conductive type dopant may be doped. When the first conductive semiconductor layer 112 is an N-type semiconductor layer, the first conductive dopant may include Si, Ge, Sn, Se, and Te as an N-type dopant.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. The first conductive semiconductor layer 112 may include a semiconductor material having a composition formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + .

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN,AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP, InP 중 어느 하나 이상으로 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 112 may be formed of one or more of GaN, InN, AlN, InGaN, AlGaN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, InGaAs, AlInGaAs, GaP, AlGaP, InGaP, AlInGaP and InP.

상기 제1 도전형 반도체층(112)은 화학증착방법(CVD) 혹은 분자선 에피택시 (MBE) 혹은 스퍼터링 혹은 수산화물 증기상 에피택시(HVPE) 등의 방법을 사용하여 N형 GaN층을 형성할 수 있다. 또한, 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 챔버에 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 실리콘(Si)와 같은 n 형 불순물을 포함하는 실란 가스(SiH4)가 주입되어 형성될 수 있다.The first conductive semiconductor layer 112 may be formed by a CVD method or molecular beam epitaxy (MBE), sputtering, or vapor phase epitaxy (HVPE). . The first conductive semiconductor layer 112 may be formed by depositing a silane containing an n-type impurity such as trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ) Gas (SiH 4 ) may be implanted and formed.

다음으로, 실시예는 제1 도전형 반도체층(112) 상에 질화갈륨계열 초격자층(124)을 형성할 수 있다. 상기 질화갈륨계열 초격자층(124)은 제1 도전형 반도체층(112)과 활성층(114) 사이의 격자 불일치에 기이한 응력을 효과적으로 완화시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 질화갈륨계열 초격자층(124)은 InyAlxGa(1-x-y)N(0≤x≤1, 0≤y≤1)/GaN 등으로 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.Next, in the embodiment, the gallium nitride-based superlattice layer 124 may be formed on the first conductivity type semiconductor layer 112. The gallium nitride-based superlattice layer 124 can effectively alleviate a stress caused by lattice mismatch between the first conductivity type semiconductor layer 112 and the active layer 114. For example, the gallium nitride superlattice layer 124 may be formed of In y Al x Ga y (1-xy) N (0 x 1, 0 y 1) / GaN, It is not.

이후, 상기 질화갈륨계열 초격자층(124) 상에 활성층(114)을 형성한다. Thereafter, the active layer 114 is formed on the gallium nitride-based superlattice layer 124.

상기 활성층(114)은 제1 도전형 반도체층(112)을 통해서 주입되는 전자와 이후 형성되는 제2 도전형 반도체층(116)을 통해서 주입되는 정공이 서로 만나서 활성층(발광층) 물질 고유의 에너지 밴드에 의해서 결정되는 에너지를 갖는 빛을 방출하는 층이다. Electrons injected through the first conductive type semiconductor layer 112 and holes injected through the second conductive type semiconductor layer 116 formed after the first and second conductive type semiconductor layers 116 and 116 are mutually combined to form an energy band unique to the active layer Which emits light having an energy determined by &lt; RTI ID = 0.0 &gt;

상기 활성층(114)은 단일 양자 우물 구조, 다중 양자 우물 구조(MQW: Multi Quantum Well), 양자 선(Quantum-Wire) 구조, 또는 양자 점(Quantum Dot) 구조 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 활성층(114)은 트리메틸 갈륨 가스(TMGa), 암모니아 가스(NH3), 질소 가스(N2), 및 트리메틸 인듐 가스(TMIn)가 주입되어 다중 양자우물구조가 형성될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The active layer 114 may be formed of at least one of a single quantum well structure, a multi quantum well (MQW) structure, a quantum-wire structure, or a quantum dot structure. For example, the active layer 114 may be formed with a multiple quantum well structure by injecting trimethyl gallium gas (TMGa), ammonia gas (NH 3 ), nitrogen gas (N 2 ), and trimethyl indium gas (TMIn) But is not limited thereto.

상기 활성층(114)의 우물층/장벽층은 InGaN/GaN, InGaN/InGaN, GaN/AlGaN, InAlGaN/GaN, GaAs(InGaAs)/AlGaAs, GaP(InGaP)/AlGaP 중 어느 하나 이상의 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 상기 우물층은 상기 장벽층의 밴드 갭보다 낮은 밴드 갭을 갖는 물질로 형성될 수 있다.The well layer / barrier layer of the active layer 114 may be formed of any one or more pairs of InGaN / GaN, InGaN / InGaN, GaN / AlGaN, InAlGaN / GaN, GaAs (InGaAs) / AlGaAs, GaP But is not limited thereto. The well layer may be formed of a material having a band gap lower than the band gap of the barrier layer.

실시예는 정공주입효율이 우수하면서 동시에 전자의 누설을 효과적으로 차단할 수 있는 이상적인 전자차단층 구조의 발광소자를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide a light emitting device having an ideal electron blocking layer structure which is excellent in hole injection efficiency and can effectively block leakage of electrons.

이에 따라 실시예는 활성층(114) 상에 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)을 형성하며, 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)은 활성층(114) 상에 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(단, 0<x<1)(128a)과, 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(단, 0<x<1)(128a) 상에 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(단, 0≤y<1, 0≤z<1)(128b) 및 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b) 상에 제2 도전형 GaN층(128c)을 포함할 수 있다.The second conductive type gallium nitride based layer 128 is formed on the active layer 114 by forming a second conductive type AlGaN layer 128 on the active layer 114. The second conductive type gallium nitride based layer 128 is formed on the active layer 114, x- Ga (1-x) N layer (where 0 <x <1) 128a and the second conductive Al x Ga (1-x ) first on the second conductive type in y Al z Ga (1- yz) N super lattice layer (where, 0≤y <1, 0≤z <1 ) (128b) and the second conductive type in y Al z Ga ( 1-yz) N & lt ; / RTI &gt; superlattice layer 128b.

실시예에서 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)은 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)과, 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b) 및 상기 제2 도전형 GaN층(128c)이 하나의 주기를 이루어 복수의 주기로 반복적층하여 형성될 수 있다.In one embodiment, the second conductivity type gallium nitride based layer 128 is formed of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer 128a and the second conductivity type In y Al z Ga 1-yz ) N super lattice layer 128b and the second conductive type GaN layer 128c may be repeatedly formed at a plurality of periods in a single period.

실시예에서 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)은 에너지 밴드갭이 서로 다른 얇은 두층이 교대로 적어도 한번 이상 반복적층되어 이루어지는 초격자 구조를 구비할 수 있다.In the embodiment, the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b has a superlattice structure in which two thin layers having different energy band gaps are alternately repeatedly laminated at least once .

실시예에서 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)의 평균 에너지밴드갭의 크기는 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)의 평균 에너지밴드갭의 크기보다 작고, 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 평균 에너지밴드갭의 크기보다 클 수 있다.In the embodiment, the average energy band gap of the second conductivity type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b is larger than the size of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer 128a Of the second conductive type GaN layer 128c and larger than the average energy band gap of the second conductive type GaN layer 128c.

실시예에서 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)에서 상기 제2 도전형 GaN층(128c) 방향으로 에너지 밴드갭이 감소할 수 있다.The energy bandgap in the second conductive type Al x Ga (1-x) N layer 128a may decrease in the direction of the second conductive type GaN layer 128c.

실시예에 따른 제2 도전형 질화갈륨계열층(128)은 활성층(114)으로부터 제2 도전형 반도체층(116) 방향으로 누설되는 전자들은 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)을 넘어가는데 상대적으로 높은 에너지장벽을 갖게 된다. 따라서, 활성층(114)에서 제2 도전형 반도체층(116) 방향으로의 전자의 누설을 효과적으로 차단할 수 있게 된다. The second conductivity type gallium nitride based layer 128 according to the embodiment has a structure in which the electrons leaked from the active layer 114 toward the second conductivity type semiconductor layer 116 are the second conductivity type Al x Ga (1-x) N Lt; RTI ID = 0.0 &gt; 128a &lt; / RTI &gt; Accordingly, leakage of electrons from the active layer 114 toward the second conductivity type semiconductor layer 116 can be effectively blocked.

또한, 실시예에서 상기 제2 도전형 GaN층(128c)에서 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a) 방향으로 에너지 밴드갭이 증가할 수 있다.In addition, in the embodiment, the energy band gap may increase from the second conductive type GaN layer 128c toward the second conductive type Al x Ga (1-x) N layer 128a.

예를 들어, 제2 도전형 반도체층(116)에서 활성층(114)으로 주입되는 정공의 경우, 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)의 에너지 밴드갭이 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)과 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 에너지 밴드갭의 사이값을 가지므로 정공이 제2 도전형 GaN층(128c)에서 단계적으로 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)을 지나 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)을 상대적으로 수월하게 넘어가게 되므로 정공주입이 용이하게 된다. For example, in the case of holes injected into the active layer 114 from the second conductivity type semiconductor layer 116, the energy band of the second conductivity type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b Since the gap has a value between the energy band gap of the second conductive type Al x Ga (1-x) N layer 128a and the second conductive type GaN layer 128c, (1-x) N layer 128a through the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b in a stepwise manner in the first conductive type Al x Ga The hole injection is facilitated.

또한, 실시예에서 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)의 면방향 평균격자상수 크기가 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)의 면방향 평균격자상수보다 작고, 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 면방향 평균격자상수보다 클 수 있다.Further, in the embodiment, the plane-direction average lattice constant of the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b is larger than the plane-direction average lattice constant of the second conductivity type Al x Ga (1-x) Directional average lattice constant of the second conductive type GaN layer 128a and larger than the plane direction average lattice constant of the second conductive type GaN layer 128c.

실시예에서 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)의 평균 면방향 격자상수가 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)와 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 면방향 평균격자상수 사이값을 가지므로 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(128a)와 상기 제2 도전형 GaN층(128c)의 격자불일치에 의해 생기는 계면응력을 완화시키고 계면결함 형성을 억제하게 된다. In the embodiment, the average lattice constant of the second conductivity type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b is greater than the average plane lattice constant of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer 128a because the first of the values between the face direction average lattice constant of the second conductivity type GaN layer (128c) of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer (128a) and the second conductive type GaN layer (128c) The interfacial stress caused by the lattice mismatch is relaxed and the interfacial defect formation is suppressed.

따라서, 주입되는 정공들이 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(128b)에서 2차원적 전류퍼짐(Current spreading)이 효과적으로 잘 되어 활성층 전체에 균일하게 전류를 주입시킬 수 있게 되므로 활광층의 내부양자효율을 증대시킬 수 있게 된다. Accordingly, the injected holes can effectively perform a two - dimensional current spreading in the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer 128b, and the current can be uniformly injected into the entire active layer The internal quantum efficiency of the light-emitting layer can be increased.

실시예에 의하면 정공주입효율이 우수하면서 동시에 전자의 누설을 효과적으로 차단할 수 있는 이상적인 전자차단층 구조를 구비한 발광소자 및 발광소자의 제조방법을 제공할 수 있다.According to the embodiments, it is possible to provide a light emitting device having an ideal electron blocking layer structure and a method of manufacturing the light emitting device, which are excellent in hole injection efficiency and can effectively block leakage of electrons.

다음으로, 상기 제2 도전형 질화갈륨계열층(128) 상에 제2 도전형 반도체층(116)을 형성된다.Next, a second conductive type semiconductor layer 116 is formed on the second conductive type gallium nitride based layer 128.

상기 제2 도전형 반도체층(116)은 반도체 화합물로 형성될 수 있다. 3족-5족, 2족-6족 등의 화합물 반도체로 구현될 수 있으며, 제2 도전형 도펀트가 도핑될 수 있다.The second conductive semiconductor layer 116 may be formed of a semiconductor compound. 3-group-5, group-2-group-6, and the like, and the second conductivity type dopant may be doped.

예를 들어, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 물질을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층(116)이 p형 반도체층인 경우, 상기 제2도전형 도펀트는 p형 도펀트로서, Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등을 포함할 수 있다.For example, the second conductive semiconductor layer 116 may have a composition formula of In x Al y Ga 1 -x- y N (0? X? 1, 0? Y? 1, 0? X + And the like. When the second conductive semiconductor layer 116 is a p-type semiconductor layer, the second conductive dopant may include Mg, Zn, Ca, Sr, and Ba as p-type dopants.

다음으로, 상기 제2 도전형 반도체층(116) 상에 투광성 전극(130)을 형성되며, 상기 투광성 전극(130)은 투광성 오믹층을 포함할 수 있으며, 캐리어 주입을 효율적으로 할 수 있도록 단일 금속 혹은 금속합금, 금속산화물 등을 다중으로 적층하여 형성할 수 있다. Next, a light transmitting electrode 130 is formed on the second conductive semiconductor layer 116, and the light transmitting electrode 130 may include a light transmitting ohmic layer. In order to efficiently perform carrier injection, Or a metal alloy, a metal oxide, or the like.

상기 투광성 전극(130)은 ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO 중 적어도 하나를 포함하여 형성될 수 있으며, 이러한 재료에 한정되는 않는다.The transmissive electrode 130 may be formed of one of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), indium zinc oxide (IZTO), indium aluminum zinc oxide (IAZO), indium gallium zinc oxide ZnO, ZnO, IrOx, AlGaO, AlGaO, AZO, ATO, GZO, IZO, RuOx, and NiO, and is not limited to such a material.

실시예에서 상기 제1 도전형 반도체층(112)은 n형 반도체층, 상기 제2 도전형 반도체층(116)은 p형 반도체층으로 구현할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 또한 상기 제2 도전형 반도체층(116) 위에는 상기 제2 도전형과 반대의 극성을 갖는 반도체 예컨대 n형 반도체층(미도시)을 형성할 수 있다. 이에 따라 발광구조물(110)은 n-p 접합 구조, p-n 접합 구조, n-p-n 접합 구조, p-n-p 접합 구조 중 어느 한 구조로 구현할 수 있다.In an embodiment, the first conductive semiconductor layer 112 may be an n-type semiconductor layer, and the second conductive semiconductor layer 116 may be a p-type semiconductor layer. Also, on the second conductive semiconductor layer 116, a semiconductor (e.g., an n-type semiconductor) (not shown) having a polarity opposite to that of the second conductive type may be formed. Accordingly, the light emitting structure 110 may have any one of an n-p junction structure, a p-n junction structure, an n-p-n junction structure, and a p-n-p junction structure.

다음으로, 도 4와 같이, 상기 제1 도전형 반도체층(112)이 노출되도록 투광성 전극(130), 제2 도전형 반도체층(116), 제2 도전형 질화갈륨계열층(128), 활성층(114) 및 질화갈륨계열의 초격자층(124)의 일부를 제거할 수 있다.4, the light-transmitting electrode 130, the second conductivity type semiconductor layer 116, the second conductivity type gallium nitride series layer 128, the active layer 130, and the second conductivity type semiconductor layer 112 are formed to expose the first conductivity type semiconductor layer 112, A part of the superlattice layer 114 and the gallium nitride superlattice layer 124 can be removed.

다음으로, 도 5와 같이 상기 투광성 전극(130) 상에 제2 전극(132)을 형성하고, 상기 노출된 제1 도전형 반도체층(112) 상에 제1 전극(131)을 형성한다.5, a second electrode 132 is formed on the transmissive electrode 130, and a first electrode 131 is formed on the exposed first conductive semiconductor layer 112. Next, as shown in FIG.

실시예에 의하면 광도를 향상시킬 수 있는 최적의 구조를 구비한 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiments, it is possible to provide a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system having an optimal structure capable of improving brightness.

또한, 실시예에 의하면 정공주입효율이 우수하면서 동시에 전자의 누설을 효과적으로 차단할 수 있는 이상적인 전자차단층 구조를 구비한 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiments, it is possible to provide a light emitting device, an emitting device, a light emitting device package, and an illumination system having an ideal electron blocking layer structure that is excellent in hole injection efficiency and can effectively block leakage of electrons.

도 6은 실시예들에 따른 발광소자가 설치된 발광소자 패키지(200)를 설명하는 도면이다.6 is a view illustrating a light emitting device package 200 provided with a light emitting device according to embodiments.

실시예에 따른 발광 소자 패키지(200)는 패키지 몸체부(205)와, 상기 패키지 몸체부(205)에 설치된 제3 전극층(213) 및 제4 전극층(214)과, 상기 패키지 몸체부(205)에 설치되어 상기 제3 전극층(213) 및 제4 전극층(214)과 전기적으로 연결되는 발광 소자(100)와, 상기 발광 소자(100)를 포위하는 몰딩부재(230)가 포함된다.The light emitting device package 200 according to the embodiment includes a package body 205, a third electrode layer 213 and a fourth electrode layer 214 provided on the package body 205, a package body 205, And a molding member 230 surrounding the light emitting device 100. The light emitting device 100 is electrically connected to the third electrode layer 213 and the fourth electrode layer 214,

상기 패키지 몸체부(205)는 실리콘 재질, 합성수지 재질, 또는 금속 재질을 포함하여 형성될 수 있으며, 상기 발광 소자(100)의 주위에 경사면이 형성될 수 있다.The package body 205 may be formed of a silicon material, a synthetic resin material, or a metal material, and the inclined surface may be formed around the light emitting device 100.

상기 제3 전극층(213) 및 제4 전극층(214)은 서로 전기적으로 분리되며, 상기 발광 소자(100)에 전원을 제공하는 역할을 한다. 또한, 상기 제3 전극층(213) 및 제4 전극층(214)은 상기 발광 소자(100)에서 발생된 빛을 반사시켜 광 효율을 증가시키는 역할을 할 수 있으며, 상기 발광 소자(100)에서 발생된 열을 외부로 배출시키는 역할을 할 수도 있다.The third electrode layer 213 and the fourth electrode layer 214 are electrically isolated from each other and provide power to the light emitting device 100. The third electrode layer 213 and the fourth electrode layer 214 may function to increase light efficiency by reflecting the light generated from the light emitting device 100, And may serve to discharge heat to the outside.

상기 발광 소자(100)는 도 1에 예시된 수평형 타입의 발광 소자가 적용될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 수직형 발광소자, 플립칩 발광소자도 적용될 수 있다.The light emitting device 100 may be a horizontal type light emitting device as illustrated in FIG. 1, but is not limited thereto. Vertical light emitting devices and flip chip light emitting devices may also be used.

상기 발광 소자(100)는 상기 패키지 몸체부(205) 상에 설치되거나 상기 제3 전극층(213) 또는 제4 전극층(214) 상에 설치될 수 있다.The light emitting device 100 may be mounted on the package body 205 or on the third electrode layer 213 or the fourth electrode layer 214.

상기 발광 소자(100)는 상기 제3 전극층(213) 및/또는 제4 전극층(214)과 와이어 방식, 플립칩 방식 또는 다이 본딩 방식 중 어느 하나에 의해 전기적으로 연결될 수도 있다. 실시예에서는 상기 발광 소자(100)가 상기 제3 전극층(213)과 와이어(230)를 통해 전기적으로 연결되고 상기 제4 전극층(214)과 직접 접촉하여 전기적으로 연결된 것이 예시되어 있다.The light emitting device 100 may be electrically connected to the third electrode layer 213 and / or the fourth electrode layer 214 by a wire, flip chip, or die bonding method. The light emitting device 100 is electrically connected to the third electrode layer 213 through the wire 230 and is electrically connected to the fourth electrode layer 214 directly.

상기 몰딩부재(230)는 상기 발광 소자(100)를 포위하여 상기 발광 소자(100)를 보호할 수 있다. 또한, 상기 몰딩부재(230)에는 형광체(232)가 포함되어 상기 발광 소자(100)에서 방출된 광의 파장을 변화시킬 수 있다.The molding member 230 surrounds the light emitting device 100 to protect the light emitting device 100. In addition, the molding member 230 may include a phosphor 232 to change the wavelength of light emitted from the light emitting device 100.

실시예에 따른 발광소자 패키지는 복수개가 기판 상에 어레이되며, 상기 발광 소자 패키지에서 방출되는 광의 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트, 형광 시트 등이 배치될 수 있다. 이러한 발광 소자 패키지, 기판, 광학 부재는 백라이트 유닛으로 기능하거나 조명 유닛으로 기능할 수 있으며, 예를 들어, 조명시스템은 백라이트 유닛, 조명 유닛, 지시 장치, 램프, 가로등을 포함할 수 있다.A light guide plate, a prism sheet, a diffusion sheet, a fluorescent sheet, and the like, which are optical members, may be disposed on a path of light emitted from the light emitting device package. The light emitting device package, the substrate, and the optical member may function as a backlight unit or function as a lighting unit. For example, the lighting system may include a backlight unit, a lighting unit, a pointing device, a lamp, and a streetlight.

도 7 내지 도 9는 실시 예에 따른 조명장치를 나타낸 도면이다.7 to 9 are views showing a lighting apparatus according to an embodiment.

도 7은 실시 예에 따른 조명 장치를 위에서 바라본 사시도이고, 도 8은 도 7에 도시된 조명 장치를 아래에서 바라본 사시도이고, 도 9는 도 7에 도시된 조명 장치의 분해 사시도이다.FIG. 7 is a perspective view of the illumination device according to the embodiment viewed from above, FIG. 8 is a perspective view of the illumination device shown in FIG. 7, and FIG. 9 is an exploded perspective view of the illumination device shown in FIG.

도 7 내지 도 9를 참조하면, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(2100), 광원 모듈(2200), 방열체(2400), 전원 제공부(2600), 내부 케이스(2700), 소켓(2800)을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 조명 장치는 부재(2300)와 홀더(2500) 중 어느 하나 이상을 더 포함할 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)은 실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함할 수 있다.7 to 9, the illumination device according to the embodiment includes a cover 2100, a light source module 2200, a heat discharger 2400, a power supply unit 2600, an inner case 2700, a socket 2800, . &Lt; / RTI &gt; Further, the illumination device according to the embodiment may further include at least one of the member 2300 and the holder 2500. The light source module 2200 may include a light emitting device or a light emitting device package according to the embodiment.

예컨대, 상기 커버(2100)는 벌브(bulb) 또는 반구의 형상을 가지며, 속이 비어 있고, 일 부분이 개구된 형상으로 제공될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)과 광학적으로 결합될 수 있다. 예를 들어, 상기 커버(2100)는 상기 광원 모듈(2200)로부터 제공되는 빛을 확산, 산란 또는 여기 시킬 수 있다. 상기 커버(2100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합될 수 있다. 상기 커버(2100)는 상기 방열체(2400)와 결합하는 결합부를 가질 수 있다.For example, the cover 2100 may have a shape of a bulb or a hemisphere, and may be provided in a shape in which the hollow is hollow and a part is opened. The cover 2100 may be optically coupled to the light source module 2200. For example, the cover 2100 may diffuse, scatter, or excite light provided from the light source module 2200. The cover 2100 may be a kind of optical member. The cover 2100 may be coupled to the heat discharging body 2400. The cover 2100 may have an engaging portion that engages with the heat discharging body 2400.

상기 커버(2100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 유백색의 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(2100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(2100)의 외면의 표면 거칠기보다 크게 형성될 수 있다. 이는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 빛이 충분히 산란 및 확산되어 외부로 방출시키기 위함이다.The inner surface of the cover 2100 may be coated with a milky white paint. Milky white paints may contain a diffusing agent to diffuse light. The surface roughness of the inner surface of the cover 2100 may be larger than the surface roughness of the outer surface of the cover 2100. This is for sufficiently diffusing and diffusing the light from the light source module 2200 and emitting it to the outside.

상기 커버(2100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(2100)는 외부에서 상기 광원 모듈(2200)이 보이도록 전자차단층(126)할 수 있고, 불투명할 수 있다. 상기 커버(2100)는 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The cover 2100 may be made of glass, plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), or the like. Here, polycarbonate is excellent in light resistance, heat resistance and strength. The cover 2100 may be an opaque layer 126 and may be opaque so that the light source module 2200 can be seen from the outside. The cover 2100 may be formed by blow molding.

상기 광원 모듈(2200)은 상기 방열체(2400)의 일 면에 배치될 수 있다. 따라서, 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열은 상기 방열체(2400)로 전도된다. 상기 광원 모듈(2200)은 광원부(2210), 연결 플레이트(2230), 커넥터(2250)를 포함할 수 있다.The light source module 2200 may be disposed on one side of the heat discharging body 2400. Accordingly, heat from the light source module 2200 is conducted to the heat discharger 2400. The light source module 2200 may include a light source unit 2210, a connection plate 2230, and a connector 2250.

상기 부재(2300)는 상기 방열체(2400)의 상면 위에 배치되고, 복수의 광원부(2210)들과 커넥터(2250)이 삽입되는 가이드홈(2310)들을 갖는다. 상기 가이드홈(2310)은 상기 광원부(2210)의 기판 및 커넥터(2250)와 대응된다.The member 2300 is disposed on the upper surface of the heat discharging body 2400 and has guide grooves 2310 through which the plurality of light source portions 2210 and the connector 2250 are inserted. The guide groove 2310 corresponds to the substrate of the light source unit 2210 and the connector 2250.

상기 부재(2300)의 표면은 빛 반사 물질로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 예를 들면, 상기 부재(2300)의 표면은 백색의 도료로 도포 또는 코팅된 것일 수 있다. 이러한 상기 부재(2300)는 상기 커버(2100)의 내면에 반사되어 상기 광원 모듈(2200)측 방향으로 되돌아오는 빛을 다시 상기 커버(2100) 방향으로 반사한다. 따라서, 실시 예에 따른 조명 장치의 광 효율을 향상시킬 수 있다.The surface of the member 2300 may be coated or coated with a light reflecting material. For example, the surface of the member 2300 may be coated or coated with a white paint. The member 2300 reflects the light reflected by the inner surface of the cover 2100 toward the cover 2100 in the direction toward the light source module 2200. Therefore, the light efficiency of the illumination device according to the embodiment can be improved.

상기 부재(2300)는 예로서 절연 물질로 이루어질 수 있다. 상기 광원 모듈(2200)의 연결 플레이트(2230)는 전기 전도성의 물질을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 방열체(2400)와 상기 연결 플레이트(2230) 사이에 전기적인 접촉이 이루어질 수 있다. 상기 부재(2300)는 절연 물질로 구성되어 상기 연결 플레이트(2230)와 상기 방열체(2400)의 전기적 단락을 차단할 수 있다. 상기 방열체(2400)는 상기 광원 모듈(2200)로부터의 열과 상기 전원 제공부(2600)로부터의 열을 전달받아 방열한다.The member 2300 may be made of an insulating material, for example. The connection plate 2230 of the light source module 2200 may include an electrically conductive material. Therefore, electrical contact can be made between the heat discharging body 2400 and the connecting plate 2230. The member 2300 may be formed of an insulating material to prevent an electrical short circuit between the connection plate 2230 and the heat discharging body 2400. The heat discharger 2400 receives heat from the light source module 2200 and heat from the power supply unit 2600 to dissipate heat.

상기 홀더(2500)는 내부 케이스(2700)의 절연부(2710)의 수납홈(2719)를 막는다. 따라서, 상기 내부 케이스(2700)의 상기 절연부(2710)에 수납되는 상기 전원 제공부(2600)는 밀폐된다. 상기 홀더(2500)는 가이드 돌출부(2510)를 갖는다. 상기 가이드 돌출부(2510)는 상기 전원 제공부(2600)의 돌출부(2610)가 관통하는 홀을 갖는다.The holder 2500 blocks the receiving groove 2719 of the insulating portion 2710 of the inner case 2700. Therefore, the power supply unit 2600 housed in the insulating portion 2710 of the inner case 2700 is sealed. The holder 2500 has a guide protrusion 2510. The guide protrusion 2510 has a hole through which the protrusion 2610 of the power supply unit 2600 passes.

상기 전원 제공부(2600)는 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 상기 광원 모듈(2200)로 제공한다. 상기 전원 제공부(2600)는 상기 내부 케이스(2700)의 수납홈(2719)에 수납되고, 상기 홀더(2500)에 의해 상기 내부 케이스(2700)의 내부에 밀폐된다.The power supply unit 2600 processes or converts an electrical signal provided from the outside and provides the electrical signal to the light source module 2200. The power supply unit 2600 is housed in the receiving groove 2719 of the inner case 2700 and is sealed inside the inner case 2700 by the holder 2500.

상기 전원 제공부(2600)는 돌출부(2610), 가이드부(2630), 베이스(2650), 연장부(2670)를 포함할 수 있다.The power supply unit 2600 may include a protrusion 2610, a guide 2630, a base 2650, and an extension 2670.

상기 가이드부(2630)는 상기 베이스(2650)의 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 가이드부(2630)는 상기 홀더(2500)에 삽입될 수 있다. 상기 베이스(2650)의 일 면 위에 다수의 부품이 배치될 수 있다. 다수의 부품은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원 모듈(2200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원 모듈(2200)을 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있으나 이에 대해 한정하지는 않는다.The guide portion 2630 has a shape protruding outward from one side of the base 2650. The guide portion 2630 may be inserted into the holder 2500. A plurality of components may be disposed on one side of the base 2650. The plurality of components include, for example, a DC converter for converting AC power supplied from an external power source into DC power, a driving chip for controlling driving of the light source module 2200, an ESD (ElectroStatic discharge) protective device, and the like, but the present invention is not limited thereto.

상기 연장부(2670)는 상기 베이스(2650)의 다른 일 측에서 외부로 돌출된 형상을 갖는다. 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750) 내부에 삽입되고, 외부로부터의 전기적 신호를 제공받는다. 예컨대, 상기 연장부(2670)는 상기 내부 케이스(2700)의 연결부(2750)의 폭과 같거나 작게 제공될 수 있다. 상기 연장부(2670)에는 "+ 전선"과 "- 전선"의 각 일 단이 전기적으로 연결되고, "+ 전선"과 "- 전선"의 다른 일 단은 소켓(2800)에 전기적으로 연결될 수 있다.The extension portion 2670 has a shape protruding outward from the other side of the base 2650. The extension portion 2670 is inserted into the connection portion 2750 of the inner case 2700 and receives an external electrical signal. For example, the extension portion 2670 may be provided to be equal to or smaller than the width of the connection portion 2750 of the inner case 2700. One end of each of the positive wire and the negative wire is electrically connected to the extension portion 2670 and the other end of the positive wire and the negative wire are electrically connected to the socket 2800 .

상기 내부 케이스(2700)는 내부에 상기 전원 제공부(2600)와 함께 몰딩부를 포함할 수 있다. 몰딩부는 몰딩 액체가 굳어진 부분으로서, 상기 전원 제공부(2600)가 상기 내부 케이스(2700) 내부에 고정될 수 있도록 한다.The inner case 2700 may include a molding part together with the power supply part 2600. The molding part is a hardened portion of the molding liquid so that the power supply unit 2600 can be fixed inside the inner case 2700.

도 10 및 도 11은 실시 예에 따른 조명장치의 다른 예를 나타낸 도면이다.10 and 11 are views showing another example of the lighting apparatus according to the embodiment.

도 10은 실시 예에 따른 조명 장치의 사시도이고, 도 11은 도 10에 도시된 조명 장치의 분해 사시도이다.10 is a perspective view of a lighting apparatus according to the embodiment, and Fig. 11 is an exploded perspective view of the lighting apparatus shown in Fig.

도 10 및 도 11을 참조하면, 실시 예에 따른 조명 장치는 커버(3100), 광원부(3200), 방열체(3300), 회로부(3400), 내부 케이스(3500), 소켓(3600)을 포함할 수 있다. 상기 광원부(3200)는 실시 예에 따른 발광소자 또는 발광소자 패키지를 포함할 수 있다. 10 and 11, the lighting device according to the embodiment includes a cover 3100, a light source 3200, a heat sink 3300, a circuit portion 3400, an inner case 3500, and a socket 3600 . The light source unit 3200 may include a light emitting device or a light emitting device package according to the embodiment.

상기 커버(3100)는 벌브(bulb) 형상을 가지며, 속이 비어 있다. 상기 커버(3100)는 개구(3110)를 갖는다. 상기 개구(3110)를 통해 상기 광원부(3200)와 부재(3350)가 삽입될 수 있다. The cover 3100 has a bulb shape and is hollow. The cover 3100 has an opening 3110. The light source unit 3200 and the member 3350 can be inserted through the opening 3110. [

상기 커버(3100)는 상기 방열체(3300)와 결합하고, 상기 광원부(3200)와 상기 부재(3350)를 둘러쌀 수 있다. 상기 커버(3100)와 상기 방열체(3300)의 결합에 의해, 상기 광원부(3200)와 상기 부재(3350)는 외부와 차단될 수 있다. 상기 커버(3100)와 상기 방열체(3300)의 결합은 접착제를 통해 결합할 수도 있고, 회전 결합 방식 및 후크 결합 방식 등 다양한 방식으로 결합할 수 있다. 회전 결합 방식은 상기 방열체(3300)의 나사홈에 상기 커버(3100)의 나사산이 결합하는 방식으로서 상기 커버(3100)의 회전에 의해 상기 커버(3100)와 상기 방열체(3300)가 결합하는 방식이고, 후크 결합 방식은 상기 커버(3100)의 턱이 상기 방열체(3300)의 홈에 끼워져 상기 커버(3100)와 상기 방열체(3300)가 결합하는 방식이다.The cover 3100 may be coupled to the heat discharging body 3300 and surround the light source unit 3200 and the member 3350. The light source part 3200 and the member 3350 may be shielded from the outside by the combination of the cover 3100 and the heat discharging body 3300. The coupling between the cover 3100 and the heat discharging body 3300 may be combined through an adhesive, or may be combined by various methods such as a rotational coupling method and a hook coupling method. The rotation coupling method is a method in which the cover 3100 is coupled with the heat discharging body 3300 by the rotation of the cover 3100 in such a manner that the thread of the cover 3100 is engaged with the thread groove of the heat discharging body 3300 In the hook coupling method, the protrusion of the cover 3100 is inserted into the groove of the heat discharging body 3300, and the cover 3100 and the heat discharging body 3300 are coupled.

상기 커버(3100)는 상기 광원부(3200)와 광학적으로 결합한다. 구체적으로 상기 커버(3100)는 상기 광원부(3200)의 발광 소자(3230)로부터의 광을 확산, 산란 또는 여기시킬 수 있다. 상기 커버(3100)는 일종의 광학 부재일 수 있다. 여기서, 상기 커버(3100)는 상기 광원부(3200)로부터의 광을 여기시키기 위해, 내/외면 또는 내부에 형광체를 가질 수 있다. The cover 3100 is optically coupled to the light source unit 3200. Specifically, the cover 3100 may diffuse, scatter, or excite light from the light emitting device 3230 of the light source unit 3200. The cover 3100 may be a kind of optical member. Here, the cover 3100 may have a phosphor inside / outside or in the inside thereof to excite light from the light source part 3200.

상기 커버(3100)의 내면에는 유백색 도료가 코팅될 수 있다. 여기서, 유백색 도료는 빛을 확산시키는 확산재를 포함할 수 있다. 상기 커버(3100)의 내면의 표면 거칠기는 상기 커버(3100)의 외면의 표면 거칠기보다 클 수 있다. 이는 상기 광원부(3200)로부터의 광을 충분히 산란 및 확산시키기 위함이다.The inner surface of the cover 3100 may be coated with a milky white paint. Here, the milky white paint may include a diffusing agent for diffusing light. The surface roughness of the inner surface of the cover 3100 may be larger than the surface roughness of the outer surface of the cover 3100. This is for sufficiently scattering and diffusing light from the light source part 3200.

상기 커버(3100)의 재질은 유리(glass), 플라스틱, 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 폴리카보네이트(PC) 등일 수 있다. 여기서, 폴리카보네이트는 내광성, 내열성, 강도가 뛰어나다. 상기 커버(3100)는 외부에서 상기 광원부(3200)와 상기 부재(3350)가 보일 수 있는 투명한 재질일 수 있고, 보이지 않는 불투명한 재질일 수 있다. 상기 커버(3100)는 예컨대 블로우(blow) 성형을 통해 형성될 수 있다.The cover 3100 may be made of glass, plastic, polypropylene (PP), polyethylene (PE), polycarbonate (PC), or the like. Here, polycarbonate is excellent in light resistance, heat resistance and strength. The cover 3100 may be a transparent material that can be seen from the outside of the light source unit 3200 and the member 3350, and may be an invisible and opaque material. The cover 3100 may be formed, for example, by blow molding.

상기 광원부(3200)는 상기 방열체(3300)의 부재(3350)에 배치되고, 복수로 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 광원부(3200)는 상기 부재(3350)의 복수의 측면들 중 하나 이상의 측면에 배치될 수 있다. 그리고, 상기 광원부(3200)는 상기 부재(3350)의 측면에서도 상단부에 배치될 수 있다.The light source unit 3200 is disposed on the member 3350 of the heat sink 3300 and may be disposed in a plurality of units. Specifically, the light source portion 3200 may be disposed on at least one of the plurality of side surfaces of the member 3350. The light source unit 3200 may be disposed at the upper end of the member 3350.

도 11에서, 상기 광원부(3200)는 상기 부재(3350)의 6 개의 측면들 중 3 개의 측면들에 배치될 수 있다. 그러나 이에 한정하는 것은 아니고, 상기 광원부(3200)는 상기 부재(3350)의 모든 측면들에 배치될 수 있다. 상기 광원부(3200)는 기판(3210)과 발광 소자(3230)를 포함할 수 있다. 상기 발광 소자(3230)는 기판(3210)의 일 면 상에 배치될 수 있다.In Figure 11, the light source 3200 may be disposed on three of the six sides of the member 3350. However, the present invention is not limited thereto, and the light source portion 3200 may be disposed on all the sides of the member 3350. The light source unit 3200 may include a substrate 3210 and a light emitting device 3230. The light emitting device 3230 may be disposed on one side of the substrate 3210.

상기 기판(3210)은 사각형의 판 형상을 갖지만, 이에 한정되지 않고 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 기판(3210)은 원형 또는 다각형의 판 형상일 수 있다. 상기 기판(3210)은 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있으며, 예를 들어, 일반 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board), 메탈 코아(Metal Core) PCB, 연성(Flexible) PCB, 세라믹 PCB 등을 포함할 수 있다. 또한, 인쇄회로기판 위에 패키지 하지 않은 LED 칩을 직접 본딩할 수 있는 COB(Chips On Board) 타입을 사용할 수 있다. The substrate 3210 has a rectangular plate shape, but is not limited thereto and may have various shapes. For example, the substrate 3210 may have a circular or polygonal plate shape. The substrate 3210 may be a printed circuit pattern on an insulator. For example, the substrate 3210 may be a printed circuit board (PCB), a metal core PCB, a flexible PCB, a ceramic PCB . &Lt; / RTI &gt; In addition, a COB (Chips On Board) type that can directly bond an unpackaged LED chip on a printed circuit board can be used.

또한, 상기 기판(3210)은 광을 효율적으로 반사하는 재질로 형성되거나, 표면이 광을 효율적으로 반사하는 컬러, 예를 들어 백색, 은색 등으로 형성될 수 있다. 상기 기판(3210)은 상기 방열체(3300)에 수납되는 상기 회로부(3400)와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 기판(3210)과 상기 회로부(3400)는 예로서 와이어(wire)를 통해 연결될 수 있다. 와이어는 상기 방열체(3300)를 관통하여 상기 기판(3210)과 상기 회로부(3400)를 연결시킬 수 있다.In addition, the substrate 3210 may be formed of a material that efficiently reflects light, or may be formed of a color whose surface efficiently reflects light, for example, white, silver, or the like. The substrate 3210 may be electrically connected to the circuit unit 3400 housed in the heat discharging body 3300. The substrate 3210 and the circuit portion 3400 may be connected, for example, via a wire. The wire may pass through the heat discharging body 3300 to connect the substrate 3210 and the circuit unit 3400.

상기 발광 소자(3230)는 적색, 녹색, 청색의 광을 방출하는 발광 다이오드 칩이거나 UV를 방출하는 발광 다이오드 칩일 수 있다. 여기서, 발광 다이오드 칩은 수평형(Lateral Type) 또는 수직형(Vertical Type)일 수 있고, 발광 다이오드 칩은 청색(Blue), 적색(Red), 황색(Yellow), 또는 녹색(Green)을 발산할 수 있다.The light emitting device 3230 may be a light emitting diode chip that emits red, green, or blue light, or a light emitting diode chip that emits UV light. Here, the light emitting diode chip may be a lateral type or a vertical type, and the light emitting diode chip may emit blue, red, yellow, or green light. .

상기 발광 소자(3230)는 형광체를 가질 수 있다. 형광체는 가넷(Garnet)계(YAG, TAG), 실리케이드(Silicate)계, 나이트라이드(Nitride)계 및 옥시나이트라이드(Oxynitride)계 중 어느 하나 이상일 수 있다. 또는 형광체는 황색 형광체, 녹색 형광체 및 적색 형광체 중 어느 하나 이상일 수 있다.The light emitting device 3230 may have a phosphor. The phosphor may be at least one of a garnet system (YAG, TAG), a silicate system, a nitride system, and an oxynitride system. Alternatively, the fluorescent material may be at least one of a yellow fluorescent material, a green fluorescent material, and a red fluorescent material.

상기 방열체(3300)는 상기 커버(3100)와 결합하고, 상기 광원부(3200)로부터의 열을 방열할 수 있다. 상기 방열체(3300)는 소정의 체적을 가지며, 상면(3310), 측면(3330)을 포함한다. 상기 방열체(3300)의 상면(3310)에는 부재(3350)가 배치될 수 있다. 상기 방열체(3300)의 상면(3310)은 상기 커버(3100)와 결합할 수 있다. 상기 방열체(3300)의 상면(3310)은 상기 커버(3100)의 개구(3110)와 대응되는 형상을 가질 수 있다.The heat discharging body 3300 may be coupled to the cover 3100 to dissipate heat from the light source unit 3200. The heat discharging body 3300 has a predetermined volume and includes an upper surface 3310 and a side surface 3330. A member 3350 may be disposed on the upper surface 3310 of the heat discharging body 3300. An upper surface 3310 of the heat discharging body 3300 can be engaged with the cover 3100. The upper surface 3310 of the heat discharging body 3300 may have a shape corresponding to the opening 3110 of the cover 3100.

상기 방열체(3300)의 측면(3330)에는 복수의 방열핀(3370)이 배치될 수 있다. 상기 방열핀(3370)은 상기 방열체(3300)의 측면(3330)에서 외측으로 연장된 것이거나 측면(3330)에 연결된 것일 수 있다. 상기 방열핀(3370)은 상기 방열체(3300)의 방열 면적을 넓혀 방열 효율을 향상시킬 수 있다. 여기서, 측면(3330)은 상기 방열핀(3370)을 포함하지 않을 수도 있다.A plurality of radiating fins 3370 may be disposed on the side surface 3330 of the heat discharging body 3300. The radiating fin 3370 may extend outward from the side surface 3330 of the heat discharging body 3300 or may be connected to the side surface 3330. The heat dissipation fin 3370 may increase the heat dissipation area of the heat dissipator 3300 to improve heat dissipation efficiency. Here, the side surface 3330 may not include the radiating fin 3370.

상기 부재(3350)는 상기 방열체(3300)의 상면(3310)에 배치될 수 있다. 상기 부재(3350)는 상면(3310)과 일체일 수도 있고, 상면(3310)에 결합된 것일 수 있다. 상기 부재(3350)는 다각 기둥일 수 있다. The member 3350 may be disposed on the upper surface 3310 of the heat discharging body 3300. The member 3350 may be integral with the top surface 3310 or may be coupled to the top surface 3310. The member 3350 may be a polygonal column.

구체적으로, 상기 부재(3350)는 육각 기둥일 수 있다. 육각 기둥의 부재(3350)는 윗면과 밑면 그리고 6 개의 측면들을 갖는다. 여기서, 상기 부재(3350)는 다각 기둥뿐만 아니라 원 기둥 또는 타원 기둥일 수 있다. 상기 부재(3350)가 원 기둥 또는 타원 기둥일 경우, 상기 광원부(3200)의 상기 기판(3210)은 연성 기판일 수 있다.Specifically, the member 3350 may be a hexagonal column. The hexagonal column member 3350 has an upper surface, a lower surface, and six sides. Here, the member 3350 may be a circular column or an elliptic column as well as a polygonal column. When the member 3350 is a circular column or an elliptic column, the substrate 3210 of the light source portion 3200 may be a flexible substrate.

상기 부재(3350)의 6 개의 측면에는 상기 광원부(3200)가 배치될 수 있다. 6 개의 측면 모두에 상기 광원부(3200)가 배치될 수도 있고, 6 개의 측면들 중 몇 개의 측면들에 상기 광원부(3200)가 배치될 수도 있다. 도 11에서는 6 개의 측면들 중 3 개의 측면들에 상기 광원부(3200)가 배치되어 있다. The light source unit 3200 may be disposed on six sides of the member 3350. The light source unit 3200 may be disposed on all six sides and the light source unit 3200 may be disposed on some of the six sides. In Fig. 11, the light source unit 3200 is disposed on three sides of six sides.

상기 부재(3350)의 측면에는 상기 기판(3210)이 배치된다. 상기 부재(3350)의 측면은 상기 방열체(3300)의 상면(3310)과 실질적으로 수직을 이룰 수 있다. 따라서, 상기 기판(3210)과 상기 방열체(3300)의 상면(3310)은 실질적으로 수직을 이룰 수 있다.The substrate 3210 is disposed on a side surface of the member 3350. The side surface of the member 3350 may be substantially perpendicular to the upper surface 3310 of the heat discharging body 3300. Accordingly, the upper surface 3310 of the substrate 3210 and the heat discharging body 3300 may be substantially perpendicular to each other.

상기 부재(3350)의 재질은 열 전도성을 갖는 재질일 수 있다. 이는 상기 광원부(3200)로부터 발생되는 열을 빠르게 전달받기 위함이다. 상기 부재(3350)의 재질로서는 예를 들면, 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 은(Ag), 주석(Sn) 등과 상기 금속들의 합금일 수 있다. 또는 상기 부재(3350)는 열 전도성을 갖는 열 전도성 플라스틱으로 형성될 수 있다. 열 전도성 플라스틱은 금속보다 무게가 가볍고, 단방향성의 열 전도성을 갖는 이점이 있다.The material of the member 3350 may be a material having thermal conductivity. This is to receive the heat generated from the light source 3200 quickly. The material of the member 3350 may be, for example, aluminum (Al), nickel (Ni), copper (Cu), magnesium (Mg), silver (Ag), tin (Sn) Or the member 3350 may be formed of a thermally conductive plastic having thermal conductivity. Thermally conductive plastics are advantageous in that they are lighter in weight than metals and have unidirectional thermal conductivity.

상기 회로부(3400)는 외부로부터 전원을 제공받고, 제공받은 전원을 상기 광원부(3200)에 맞게 변환한다. 상기 회로부(3400)는 변환된 전원을 상기 광원부(3200)로 공급한다. 상기 회로부(3400)는 상기 방열체(3300)에 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 회로부(3400)는 상기 내부 케이스(3500)에 수납되고, 상기 내부 케이스(3500)와 함께 상기 방열체(3300)에 수납될 수 있다. 상기 회로부(3400)는 회로 기판(3410)과 상기 회로 기판(3410) 상에 탑재되는 다수의 부품(3430)을 포함할 수 있다.The circuit unit 3400 receives power from the outside and converts the supplied power to the light source unit 3200. The circuit unit 3400 supplies the converted power to the light source unit 3200. The circuit unit 3400 may be disposed on the heat discharging body 3300. Specifically, the circuit unit 3400 may be housed in the inner case 3500 and stored in the heat discharging body 3300 together with the inner case 3500. The circuit portion 3400 may include a circuit board 3410 and a plurality of components 3430 mounted on the circuit board 3410.

상기 회로 기판(3410)은 원형의 판 형상을 갖지만, 이에 한정되지 않고 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 회로 기판(3410)은 타원형 또는 다각형의 판 형상일 수 있다. 이러한 회로 기판(3410)은 절연체에 회로 패턴이 인쇄된 것일 수 있다. 상기 회로 기판(3410)은 상기 광원부(3200)의 기판(3210)과 전기적으로 연결된다. 상기 회로 기판(3410)과 상기 기판(3210)의 전기적 연결은 예로서 와이어(wire)를 통해 연결될 수 있다. 와이어는 상기 방열체(3300)의 내부에 배치되어 상기 회로 기판(3410)과 상기 기판(3210)을 연결할 수 있다. The circuit board 3410 has a circular plate shape, but is not limited thereto and may have various shapes. For example, the circuit board 3410 may be in the shape of an oval or polygonal plate. Such a circuit board 3410 may be one in which a circuit pattern is printed on an insulator. The circuit board 3410 is electrically connected to the substrate 3210 of the light source unit 3200. The electrical connection between the circuit board 3410 and the substrate 3210 may be connected by wire, for example. The wires may be disposed inside the heat discharging body 3300 to connect the circuit board 3410 and the substrate 3210.

다수의 부품(3430)은 예를 들어, 외부 전원으로부터 제공되는 교류 전원을 직류 전원으로 변환하는 직류변환장치, 상기 광원부(3200)의 구동을 제어하는 구동칩, 상기 광원부(3200)를 보호하기 위한 ESD(ElectroStatic discharge) 보호 소자 등을 포함할 수 있다.The plurality of components 3430 include, for example, a DC converter for converting AC power supplied from an external power source to DC power, a driving chip for controlling the driving of the light source 3200, An electrostatic discharge (ESD) protection device, and the like.

상기 내부 케이스(3500)는 내부에 상기 회로부(3400)를 수납한다. 상기 내부 케이스(3500)는 상기 회로부(3400)를 수납하기 위해 수납부(3510)를 가질 수 있다. 상기 수납부(3510)는 예로서 원통 형상을 가질 수 있다. 상기 수납부(3510)의 형상은 상기 방열체(3300)의 형상에 따라 달라질 수 있다. 상기 내부 케이스(3500)는 상기 방열체(3300)에 수납될 수 있다. 상기 내부 케이스(3500)의 수납부(3510)는 상기 방열체(3300)의 하면에 형성된 수납부에 수납될 수 있다.The inner case 3500 houses the circuit portion 3400 therein. The inner case 3500 may have a receiving portion 3510 for receiving the circuit portion 3400. The receiving portion 3510 may have a cylindrical shape as an example. The shape of the accommodating portion 3510 may vary depending on the shape of the heat discharging body 3300. The inner case 3500 can be housed in the heat discharging body 3300. The receiving portion 3510 of the inner case 3500 may be received in a receiving portion formed on the lower surface of the heat discharging body 3300.

상기 내부 케이스(3500)는 상기 소켓(3600)과 결합될 수 있다. 상기 내부 케이스(3500)는 상기 소켓(3600)과 결합하는 연결부(3530)를 가질 수 있다. 상기 연결부(3530)는 상기 소켓(3600)의 나사홈 구조와 대응되는 나사산 구조를 가질 수 있다. 상기 내부 케이스(3500)는 부도체이다. 따라서, 상기 회로부(3400)와 상기 방열체(3300) 사이의 전기적 단락을 막는다. 예로서 상기 내부 케이스(3500)는 플라스틱 또는 수지 재질로 형성될 수 있다.The inner case 3500 may be coupled to the socket 3600. The inner case 3500 may have a connection portion 3530 that engages with the socket 3600. The connection portion 3530 may have a threaded structure corresponding to the thread groove structure of the socket 3600. The inner case 3500 is nonconductive. Therefore, electrical short circuit between the circuit portion 3400 and the heat discharging body 3300 is prevented. For example, the inner case 3500 may be formed of plastic or resin.

상기 소켓(3600)은 상기 내부 케이스(3500)와 결합될 수 있다. 구체적으로, 상기 소켓(3600)은 상기 내부 케이스(3500)의 연결부(3530)와 결합될 수 있다. 상기 소켓(3600)은 종래 재래식 백열 전구와 같은 구조를 가질 수 있다. 상기 회로부(3400)와 상기 소켓(3600)은 전기적으로 연결된다. 상기 회로부(3400)와 상기 소켓(3600)의 전기적 연결은 와이어(wire)를 통해 연결될 수 있다. 따라서, 상기 소켓(3600)에 외부 전원이 인가되면, 외부 전원은 상기 회로부(3400)로 전달될 수 있다. 상기 소켓(3600)은 상기 연결부(3550)의 나사선 구조과 대응되는 나사홈 구조를 가질 수 있다.The socket 3600 may be coupled to the inner case 3500. Specifically, the socket 3600 may be engaged with the connection portion 3530 of the inner case 3500. The socket 3600 may have the same structure as a conventional incandescent bulb. The circuit portion 3400 and the socket 3600 are electrically connected. The electrical connection between the circuit part 3400 and the socket 3600 may be connected via a wire. Accordingly, when external power is applied to the socket 3600, the external power may be transmitted to the circuit unit 3400. The socket 3600 may have a screw groove structure corresponding to the threaded structure of the connection portion 3550.

도 12는 실시예에 따른 백라이트 유닛의 분해 사시도(1200)이다. 다만, 도 12의 백라이트 유닛(1200)은 조명 시스템의 한 예이며, 이에 대해 한정하지는 않는다.12 is an exploded perspective view 1200 of a backlight unit according to an embodiment. However, the backlight unit 1200 of FIG. 12 is an example of the illumination system, and the present invention is not limited thereto.

실시예에 따른 백라이트 유닛(1200)은 도광판(1210)과, 상기 도광판(1210)에 빛을 제공하는 발광모듈부(1240)와, 상기 도광판(1210) 아래에 반사 부재(1220)와, 상기 도광판(1210), 발광모듈부(1240) 및 반사 부재(1220)를 수납하는 바텀 커버(1230)를 포함할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The backlight unit 1200 according to the embodiment includes a light guide plate 1210, a light emitting module unit 1240 for providing light to the light guide plate 1210, a reflection member 1220 below the light guide plate 1210, But the present invention is not limited thereto, and may include a bottom cover 1230 for housing the light emitting module unit 1210, the light emitting module unit 1240, and the reflecting member 1220.

상기 도광판(1210)은 빛을 확산시켜 면광원화 시키는 역할을 한다. 상기 도광판(1210)은 투명한 재질로 이루어지며, 예를 들어, PMMA(polymethyl metaacrylate)와 같은 아크릴 수지 계열, PET(polyethylene terephthlate), PC(poly carbonate), COC(cycloolefin copolymer) 및 PEN(polyethylene naphthalate) 수지 중 하나를 포함할 수 있다.The light guide plate 1210 serves to diffuse light into a surface light source. The light guide plate 1210 may be made of a transparent material such as acrylic resin such as PMMA (polymethyl methacrylate), polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), cycloolefin copolymer (COC), and polyethylene naphthalate Resin. &Lt; / RTI &gt;

상기 발광모듈부(1240)은 상기 도광판(1210)의 적어도 일 측면에 빛을 제공하며, 궁극적으로는 상기 백라이트 유닛이 설치되는 디스플레이 장치의 광원으로써 작용하게 된다.The light emitting module part 1240 provides light to at least one side of the light guide plate 1210 and ultimately acts as a light source of a display device in which the backlight unit is installed.

상기 발광모듈부(1240)은 상기 도광판(1210)과 접할 수 있으나 이에 한정되지 않는). 구체적으로는, 상기 발광모듈부(1240)은 기판(1242)과, 상기 기판(1242)에 탑재된 다수의 발광소자 패키지(200)를 포함하는데, 상기 기판(1242)이 상기 도광판(1210)과 접할 수 있으나 이에 한정되지 않는다.The light emitting module 1240 may be in contact with the light guide plate 1210, but is not limited thereto. Specifically, the light emitting module 1240 includes a substrate 1242 and a plurality of light emitting device packages 200 mounted on the substrate 1242. The substrate 1242 is mounted on the light guide plate 1210, But is not limited to.

상기 기판(1242)은 회로패턴(미도시)을 포함하는 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)일 수 있다. 다만, 상기 기판(1242)은 일반 PCB 뿐 아니라, 메탈 코어 PCB(MCPCB, Metal Core PCB), 연성 PCB(FPCB, Flexible PCB) 등을 포함할 수도 있으며, 이에 대해 한정하지는 않는다.The substrate 1242 may be a printed circuit board (PCB) including a circuit pattern (not shown). However, the substrate 1242 may include not only a general PCB, but also a metal core PCB (MCPCB), a flexible PCB (FPCB), and the like.

그리고, 상기 다수의 발광소자 패키지(200)는 상기 기판(1242) 상에 빛이 방출되는 발광면이 상기 도광판(1210)과 소정 거리 이격되도록 탑재될 수 있다.The plurality of light emitting device packages 200 may be mounted on the substrate 1242 such that a light emitting surface on which the light is emitted is spaced apart from the light guiding plate 1210 by a predetermined distance.

상기 도광판(1210) 아래에는 상기 반사 부재(1220)가 형성될 수 있다. 상기 반사 부재(1220)는 상기 도광판(1210)의 하면으로 입사된 빛을 반사시켜 위로 향하게 함으로써, 상기 백라이트 유닛의 휘도를 향상시킬 수 있다. 상기 반사 부재(1220)는 예를 들어, PET, PC, PVC 레진 등으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The reflective member 1220 may be formed under the light guide plate 1210. The reflection member 1220 reflects the light incident on the lower surface of the light guide plate 1210 so as to face upward, thereby improving the brightness of the backlight unit. The reflective member 1220 may be formed of, for example, PET, PC, or PVC resin, but is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1230)는 상기 도광판(1210), 발광모듈부(1240) 및 반사 부재(1220) 등을 수납할 수 있다. 이를 위해, 상기 바텀 커버(1230)는 상면이 개구된 박스(box) 형상으로 형성될 수 있으나, 이에 대해 한정하지는 않는다.The bottom cover 1230 may receive the light guide plate 1210, the light emitting module 1240, and the reflective member 1220. For this purpose, the bottom cover 1230 may be formed in a box shape having an opened upper surface, but the present invention is not limited thereto.

상기 바텀 커버(1230)는 금속 재질 또는 수지 재질로 형성될 수 있으며, 프레스 성형 또는 압출 성형 등의 공정을 이용하여 제조될 수 있다.The bottom cover 1230 may be formed of a metal material or a resin material, and may be manufactured using a process such as press molding or extrusion molding.

실시예에 의하면 광도를 향상시킬 수 있는 최적의 구조를 구비한 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.According to the embodiments, it is possible to provide a light emitting device, a method of manufacturing a light emitting device, a light emitting device package, and an illumination system having an optimal structure capable of improving brightness.

또한, 실시예에 의하면 정공주입효율이 우수하면서 동시에 전자의 누설을 효과적으로 차단할 수 있는 이상적인 전자차단층 구조를 구비한 발광소자, 발광소자의 제조방법, 발광소자 패키지 및 조명시스템을 제공할 수 있다.In addition, according to the embodiments, it is possible to provide a light emitting device, an emitting device, a light emitting device package, and an illumination system having an ideal electron blocking layer structure that is excellent in hole injection efficiency and can effectively block leakage of electrons.

이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects and the like illustrated in the embodiments can be combined and modified by other persons skilled in the art to which the embodiments belong. Accordingly, the contents of such combinations and modifications should be construed as being included in the scope of the embodiments.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 실시예를 한정하는 것이 아니며, 실시예가 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 설정하는 실시예의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It can be seen that the modification and application of branches are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

제1 도전형 반도체층(112),
질화갈륨 계열의 초격자층(124),
활성층(114), 제2 도전형 반도체층(116),
제2 도전형 질화갈륨계열층(128),
제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(단, 0<x<1)(128a),
제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(단, 0≤y<1, 0≤z<1)(128b),
제2 도전형 GaN층(128c)
The first conductive semiconductor layer 112,
A superlattice layer 124 of gallium nitride type,
The active layer 114, the second conductivity type semiconductor layer 116,
A second conductivity type gallium nitride based layer 128,
A second conductive type Al x Ga (1-x) N layer (where 0 <x <1) 128a,
The second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer (where 0? Y <1, 0? Z <1) 128b,
The second conductive type GaN layer 128c,

Claims (6)

제1 도전형 반도체층;
상기 제1 도전형 반도체층 상에 활성층;
상기 활성층 상에 제2 도전형 질화갈륨계열층;
상기 제2 도전형 질화갈륨계열층 상에 제2 도전형 반도체층;을 포함하며,
상기 제2 도전형 질화갈륨계열층은,
상기 활성층 상에 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층(단, 0<x<1);
상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층 상에 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층(단, 0≤y<1, 0≤z<1); 및
상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층 상에 제2 도전형 GaN층을 포함하고,
상기 제2도전형 질화갈륨계열층은 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층, 상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층, 상기 제2도전형 GaN층이 하나의 주기를 이루어 반복적층되고,
상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층의 평균 에너지밴드갭의 크기는 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층의 평균 에너지밴드갭의 크기보다 작고, 상기 제2 도전형 GaN층의 평균 에너지밴드갭의 크기보다 크며,
상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층에서 상기 제2 도전형 GaN층 방향으로 에너지 밴드갭이 감소하고,
상기 제2 도전형 InyAlzGa(1-y-z)N 초격자층의 면방향 평균격자상수 크기가 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층의 면방향 평균격자상수보다 작고, 상기 제2 도전형 GaN층의 면방향 평균격자상수보다 큰 발광소자.
A first conductive semiconductor layer;
An active layer on the first conductive semiconductor layer;
A second conductivity type gallium nitride based layer on the active layer;
And a second conductivity type semiconductor layer on the second conductivity type gallium nitride series layer,
Wherein the second conductivity type gallium nitride based layer comprises
A second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer on the active layer (where, 0 <x <1);
The second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer on the second conductive type In y Al z Ga (1- yz) N super lattice layer (where, 0≤y <1, 0≤z <1 ) ; And
And a second conductive type GaN layer on the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N superlattice layer,
Wherein the second conductive type gallium nitride based layer is formed of the second conductive type Al x Ga (1-x) N layer, the second conductive type In y Al z Ga (1-yz) N super lattice layer, Type GaN layers are repeatedly layered in one period,
The average energy band gap of the second conductivity type In y Al z Ga (1-yz) N super lattice layer is larger than the average energy band gap size of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer And is larger than the average energy band gap of the second conductive type GaN layer,
The energy band gap decreases in the direction of the second conductivity type GaN layer from the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer,
(1-yz) N super lattice layer of the second conductivity type In y Al z Ga 1 -yz N is smaller than the planar direction average lattice constant of the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer And the second conductivity type GaN layer is larger than a plane direction average lattice constant of the second conductivity type GaN layer.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층 상에 질화갈륨 계열의 초격자층을 더 포함하는 발광소자.
The method according to claim 1,
And a superlattice layer of a gallium nitride series on the first conductive type semiconductor layer.
제5항에 있어서,
상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층은 상기 제2 도전형 GaN층에 비해 상기 활성층에 인접하며,
상기 제2 도전형 GaN층은 상기 제2 도전형 AlxGa(1-x)N층에 비해 상기 제2 도전형 반도체층에 인접한 발광소자.
6. The method of claim 5,
Wherein the second conductive type Al x Ga (1-x) N layer is adjacent to the active layer as compared to the second conductive type GaN layer,
Wherein the second conductivity type GaN layer is adjacent to the second conductivity type semiconductor layer as compared to the second conductivity type Al x Ga (1-x) N layer.
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