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KR101941448B1 - Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device - Google Patents

Method of fabricating lightweight and thin liquid crystal display device Download PDF

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KR101941448B1
KR101941448B1 KR1020120055028A KR20120055028A KR101941448B1 KR 101941448 B1 KR101941448 B1 KR 101941448B1 KR 1020120055028 A KR1020120055028 A KR 1020120055028A KR 20120055028 A KR20120055028 A KR 20120055028A KR 101941448 B1 KR101941448 B1 KR 101941448B1
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auxiliary substrate
liquid crystal
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이상영
김진경
홍기상
배은진
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명의 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 박형 유리기판의 공정 진행을 위해 보조기판을 이용하는 경우에 있어, 나이프(knife)로 박형의 유리기판과 보조기판 사이의 에지부를 탈착 한 후에 에어 나이프를 통해 그 사이에 에어(air)를 주입하여 보조기판을 분리함으로써 공정이 완료되어 합착된 셀(cell) 상태의 액정패널로부터 보조기판을 용이하게 분리할 수 있는 것을 특징으로 한다.
이때, 본 발명의 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 에지부 탈착 개시 점을 형성하기 위한 푸시 핀(push pin) 형상을 최적화하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 박형의 유리기판과 보조기판 사이에 부착된 이물을 레이저나 나이프, 또는 박형 필름이나 액체질소를 이용하여 미리 제거함으로써 보조기판의 탈착 시 이물에 기인한 불량을 제거할 수 있는 것을 특징으로 한다.
In the method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device of the present invention, when an auxiliary substrate is used for progressing a thin glass substrate, an edge portion between a thin glass substrate and an auxiliary substrate is removed by a knife, The auxiliary substrate can be easily separated from the liquid crystal panel in the cell state in which the process is completed by separating the auxiliary substrate by injecting air therebetween.
At this time, the method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device of the present invention is characterized by optimizing the shape of a push pin for forming an edge desorption start point.
Further, in the method of manufacturing a lightweight and thin liquid crystal display device of the present invention, a foreign substance attached between a thin glass substrate and an auxiliary substrate is removed in advance by using a laser or a knife or a thin film or liquid nitrogen, Thereby eliminating defects caused thereby.

Description

경량 박형의 액정표시장치 제조방법{METHOD OF FABRICATING LIGHTWEIGHT AND THIN LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device,

본 발명은 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly, to a method of manufacturing a lightweight thin type liquid crystal display device.

근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 최근에는 특히 경량화, 박형화, 저소비전력화의 우수한 성능을 지닌 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 대체하고 있다.2. Description of the Related Art Recently, the display field for processing and displaying a large amount of information has been rapidly developed as society has entered into a full-fledged information age. Recently, thin-film transistors (thin A liquid crystal display (LCD) has been developed to replace a conventional cathode ray tube (CRT).

상기 액정표시장치는 크게 컬러필터 기판과 어레이 기판 및 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)으로 구성된다.The liquid crystal display device mainly comprises a color filter substrate and an array substrate, and a liquid crystal layer formed between the color filter substrate and the array substrate.

상기 컬러필터 기판은 적(Red; R), 녹(Green; G), 청(Blue; B)색의 서브컬러필터로 구성되는 컬러필터와 상기 서브컬러필터 사이를 구분하고 상기 액정층을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix), 그리고 상기 액정층에 전압을 인가하는 투명한 공통전극으로 이루어져 있다.Wherein the color filter substrate is divided into a color filter composed of sub-color filters of red (R), green (G), and blue (B) A black matrix for blocking light, and a transparent common electrode for applying a voltage to the liquid crystal layer.

상기 어레이 기판에는 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 게이트라인과 데이터라인이 형성되어 있다. 이때, 상기 게이트라인과 데이터라인의 교차영역에는 스위칭소자인 박막 트랜지스터가 형성되어 있으며, 상기 각 화소영역에는 화소전극이 형성되어 있다.A gate line and a data line are vertically and horizontally arranged on the array substrate to define a pixel region. At this time, a thin film transistor, which is a switching element, is formed in a crossing region between the gate line and the data line, and pixel electrodes are formed in the pixel regions.

이와 같이 구성된 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판은 화상표시 영역의 외곽에 형성된 실런트(sealant)에 의해 대향하도록 합착되어 액정패널을 구성하며, 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판의 합착은 상기 컬러필터 기판 또는 어레이 기판에 형성된 합착키를 통해 이루어진다.The color filter substrate and the array substrate are adhered to each other so as to face each other by a sealant formed on the outer periphery of the image display area to constitute a liquid crystal panel, And a joining key formed on the substrate.

이러한 액정표시장치는 휴대용 전자기기에 특히 많이 사용되기 때문에, 그 크기와 무게를 감소시켜야만 전자기기의 휴대성을 향상시킬 수 있게 된다. 더욱이, 근래에는 대면적의 액정표시장치가 제작됨에 따라 이러한 경량 및 박형의 요구는 더욱 거세 지고 있다.Such a liquid crystal display device is particularly used for portable electronic devices, so that the size and weight of the liquid crystal display device can be reduced to improve the portability of electronic devices. Further, recently, as a large-area liquid crystal display device is manufactured, the demand for such a light weight and thin shape is further increased.

액정표시장치의 두께나 무게를 감소시키는 방법은 여러 가지가 있을 수 있지만, 그 구조나 현재 기술상 액정표시장치의 필수 구성요소를 줄이는 것은 한계가 있다. 더욱이, 이러한 필수 구성요소는 중량이 작기 때문에 이들 필수 구성요소의 중량을 감소시켜 전체 액정표시장치의 두께나 무게를 줄이는 것은 대단히 어려운 실정이다.There are various methods for reducing the thickness and weight of the liquid crystal display device, but there are limitations in reducing the structure and the essential components of the liquid crystal display device in the current state of the art. Moreover, since these essential components are small in weight, it is very difficult to reduce the thickness and weight of the entire liquid crystal display device by reducing the weight of these essential components.

이에 액정패널을 구성하는 컬러필터 기판과 어레이 기판의 두께를 줄여 액정표시장치의 두께와 무게를 감소시키는 방법이 활발히 연구되고 있으나, 박형의 기판을 이용하여야 하기 때문에 다수의 단위공정간 이동 시 또는 단위공정 진행 시 기판이 휘거나 깨지는 현상이 발생하고 있다.A method for reducing the thickness and weight of a liquid crystal display device by reducing the thickness of a color filter substrate and an array substrate constituting a liquid crystal panel has been actively studied. However, since a thin substrate must be used, The substrate is bent or broken during the process.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 박형의 유리기판에 보조기판을 부착하여 공정을 진행함으로써 박형의 유리기판의 파손을 방지한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법을 제공하는데 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device in which breakage of a thin glass substrate is prevented by attaching an auxiliary substrate to a thin glass substrate.

본 발명의 다른 목적은 공정이 완료되어 합착된 셀(cell) 상태의 액정패널로부터 보조기판을 용이하게 분리하도록 한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a lightweight and thin liquid crystal display device in which an auxiliary substrate is easily separated from a liquid crystal panel in a cell state in which the process is completed.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 보조기판의 탈착 시 에지부 탈착 개시 점을 형성하기 위한 푸시 핀(push pin) 형상을 최적화 한 경량 박형의 액정표시장치 제조방법을 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device in which a shape of a push pin for forming an edge desorption starting point is optimized when the auxiliary substrate is detached.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 보조기판의 탈착 시 공정 중에 부착된 이물에 기인한 불량을 제거할 수 있는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법을 제공하는데 있다.It is still another object of the present invention to provide a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device capable of eliminating defects due to foreign substances adhering to the auxiliary substrate during the process of attaching and detaching the auxiliary substrate.

본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 발명의 구성 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.Other objects and features of the present invention will be described in the following description of the invention and claims.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 제 1, 제 2 보조기판 및 박형의 제 1, 제 2 모기판을 제공하는 단계; 상기 박형의 제 1, 제 2 모기판 각각에 상기 제 1, 제 2 보조기판을 부착하는 단계; 상기 제 1 보조기판이 부착된 제 1 모기판에 어레이공정을 진행하는 단계; 상기 제 2 보조기판이 부착된 제 2 모기판에 컬러필터공정을 진행하는 단계; 상기 어레이공정이 진행된 제 1 모기판과 상기 컬러필터공정이 진행된 제 2 모기판을 합착하는 단계; 테이블을 구비한 탈착장비를 제공하는 단계; 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판을 상기 테이블 상에 로딩하는 단계; 제 1, 제 2 나이프를 이용하여 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 단계; 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 상기 제 2 보조기판을 분리하는 단계; 상기 제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전하는 단계; 상기 제 1, 제 2 나이프를 이용하여 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 단계; 및 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 상기 제 1 보조기판을 분리하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device including: providing first and second auxiliary substrates and first and second thin mother boards; Attaching the first and second auxiliary substrates to the first and second thin mother boards, respectively; Performing an array process on the first mother substrate to which the first auxiliary substrate is attached; Performing a color filter process on a second mother substrate to which the second auxiliary substrate is attached; Attaching a first mother board on which the array process is performed and a second mother board on which the color filter process is performed; Providing a desorption device with a table; Loading the first and second bonded mother boards on the table; Detaching an edge portion between the second auxiliary board and the second mother board using the first and second knives; Separating the second auxiliary substrate from the first and second mother substrate; Inverting the first and second mother boards with the second auxiliary board separated; Detaching an edge portion between the first auxiliary substrate and the first mother substrate using the first and second knives; And separating the first auxiliary substrate from the first and second mother substrate.

이때, 상기 제 1, 제 2 보조기판 및 박형의 제 1, 제 2 모기판을 제공한 후, 상기 제 1, 제 2 보조기판 및 제 1, 제 2 모기판의 모서리를 기울어진 각도로 커팅(cutting)하여 모서리 컷(corner cut)을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, after the first and second auxiliary boards and the first and second mother boards are provided, the corners of the first and second auxiliary boards and the first and second mother boards are cut at an oblique angle cutting a corner cut to form a corner cut.

이때, 상기 제 1, 제 2 모기판의 적어도 2모서리는 상기 제 1, 제 2 보조기판의 모서리에 비해 더 안쪽 방향으로 커팅이 이루어짐에 따라 상기 제 1, 제 2 보조기판의 모서리 부분이 노출되어 푸시 핀(push pin) 영역을 형성하는 것을 특징으로 한다.At least two corners of the first and second mother substrates are further cut inward than the corners of the first and second mother substrates, and the corner portions of the first and second mother substrates are exposed Thereby forming a push pin region.

이때, 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판을 상기 테이블 상에 로딩한 후, 푸시 핀을 이용하여 상기 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이에 나이프 진입공간을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.In this case, after the first and second mother boards are loaded on the table, the push pin is pressed upward by a predetermined pressure using a push pin, and a knife is inserted between the second auxiliary board and the second mother board, Further comprising the step of forming an entry space.

이때, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 나이프 진입공간에 제 1, 제 2 나이프를 진입시키고, 상기 제 1, 제 2 나이프를 상기 테이블이 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 한다.At this time, first and second knives are introduced into the knife entry space between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, and the first and second knives are moved in the other direction from the first direction to the second direction, And an edge portion between the auxiliary board and the second mother board is detached.

이때, 상기 탈착장비는 다수의 진공 패드와 이들을 상하로 이동시키는 진공 패드 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 한다.At this time, the desorption apparatus includes a plurality of vacuum pads and a vacuum pad plate for moving the vacuum pads up and down.

이때, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 에지부를 탈착 한 후, 상기 다수의 진공 패드를 상기 제 2 보조기판의 표면에 부착시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The method may further include attaching the plurality of vacuum pads to the surface of the second auxiliary substrate after detaching the edge portion between the second auxiliary substrate and the second mother substrate.

이때, 상기 진공 패드나 진공 패드 플레이트를 상승시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이에 에어 나이프의 진입공간을 형성하는 것을 특징으로 한다.At this time, the vacuum pad or the vacuum pad plate is raised to form a space for entry of the air knife between the second auxiliary substrate and the second mother substrate.

이때, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이에 형성된 에어 나이프 진입공간으로 에어 나이프를 진입시키며 에어를 분사하여 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 상기 제 2 보조기판을 분리하는 것을 특징으로 한다.At this time, the air knife is introduced into the air knife entry space formed between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, and air is sprayed to separate the second auxiliary substrate from the first mother substrate and the second mother substrate .

이때, 상기 제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전한 후, 푸시 핀을 이용하여 상기 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이에 나이프 진입공간을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, after the first and second mother substrates are separated by the second auxiliary substrate, the first mother substrate and the first mother substrate are inverted by using a push pin, Thereby forming a knife entry space therebetween.

이때, 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 나이프 진입공간에 제 1, 제 2 나이프를 진입시키고, 상기 제 1, 제 2 나이프를 상기 테이블이 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 한다.At this time, the first and second knives are introduced into the knife entry space between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, and the first and second knives are moved in the other direction from one direction to the other, And an edge portion between the auxiliary substrate and the first mother substrate is detached.

이때, 상기 제 1, 제 2 나이프의 이동과 함께 상기 제 1, 제 2 나이프에 구비된 에어 홀을 통해 에어를 분사하는 것을 특징으로 한다.At this time, air is injected through the air holes provided in the first and second knives together with the movement of the first and second knives.

이때, 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착 한 후, 상기 다수의 진공 패드를 상기 제 1 보조기판의 표면에 부착시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.The method may further include attaching the plurality of vacuum pads to the surface of the first auxiliary substrate after detaching the edge portion between the first auxiliary substrate and the first mother substrate.

이때, 상기 진공 패드나 진공 패드 플레이트를 상승시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이에 에어 나이프의 진입공간을 형성하는 것을 특징으로 한다.At this time, the vacuum pad or the vacuum pad plate is raised to form a space for entry of the air knife between the first auxiliary substrate and the first mother substrate.

상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이에 형성된 에어 나이프 진입공간으로 에어 나이프를 진입시키며 에어를 분사하여 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 상기 제 1 보조기판을 분리하는 것을 특징으로 한다.The air knife is introduced into the air knife entry space formed between the first auxiliary substrate and the first mother substrate and the air is sprayed to separate the first auxiliary substrate from the first mother substrate and the second mother substrate, .

상기 제 1, 제 2 나이프는 상기 테이블의 좌우에 위치하며, 상기 제 1, 제 2 나이프 사이에 상기 에어 나이프가 세로 방향으로 길게 배열되는 것을 특징으로 한다.The first and second knives are located on the left and right sides of the table, and the air knife is arranged between the first and second knives in a longitudinal direction.

이때, 상기 제 1, 제 2 나이프는 SUS(Steel Use Stainless)와 같은 금속 또는 PET(polyethylene terephthalate), HDPE(high density polyethylene)와 같은 플라스틱으로 이루어진 나이프 날을 구비하는 것을 특징으로 한다.The first and second knives may be formed of a metal such as SUS (Steel Use Stainless) or a knife blade made of plastic such as PET (polyethylene terephthalate) or HDPE (high density polyethylene).

상기 테이블의 일단에 제 1, 제 2 나이프가 설치되는 경우, 그 중 하나의 나이프를 상기 테이블의 세로 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 일 에지부나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 일 에지부를 탈착하며, 이동된 제 1, 제 2 나이프는 원래의 위치로 복귀하는 것을 특징으로 한다.When one of the first and second knives is provided at one end of the table, one of the knives is moved in the longitudinal direction of the table so that one edge portion between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, And the first edge portion between the first mother substrate and the first mother substrate, and the moved first and second knives return to their original positions.

이때, 상기 제 1, 제 2 나이프를 상기 테이블의 가로 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 상하 에지부나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 상하 에지부를 탈착하며, 이동된 제 1, 제 2 나이프는 원래의 위치로 복귀하는 것을 특징으로 한다.At this time, the first and second knives are moved in the horizontal direction of the table so that upper and lower edge portions between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, and upper and lower edge portions between the first auxiliary substrate and the first mother substrate are detached , And the moved first and second knives return to their original positions.

상기 테이블의 전, 후단에 각각 2개의 제 1, 제 2 나이프가 설치되는 경우, 상기 전, 후단 각각 하나의 나이프를 상기 테이블의 세로 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 좌우 에지부나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 좌우 에지부를 탈착하며, 이동된 제 1, 제 2 나이프는 원래의 위치로 복귀하는 것을 특징으로 한다.When two first and second knives are provided on the front and rear ends of the table, one of the front and rear ends of the knife is moved in the longitudinal direction of the table so that the distance between the second auxiliary board and the second mother board Left and right edge portions between the first auxiliary board and the first mother board, and the first and second knives moved back to their original positions.

이때, 상기 각각 2개의 제 1, 제 2 나이프를 상기 테이블의 가로 방향으로 반만큼 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 상하 에지부나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 상하 에지부를 탈착하며, 이동된 제 1, 제 2 나이프는 원래의 위치로 복귀하는 것을 특징으로 한다.At this time, each of the two first and second knives is moved by half in the transverse direction of the table so that the upper and lower edge portions between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, and between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, The upper and lower edge portions are detached, and the moved first and second knives are returned to their original positions.

상기 푸시 핀은 상기 푸시 핀 영역과 접촉하는 접촉면이 삼각형, 원형과 삼각형의 결합 형태, 사각형이나 원형의 형태를 가지는 것을 특징으로 한다.The push pin is characterized in that the contact surface contacting the push pin region has a triangular shape, a circular shape and a triangle shape, or a quadrangular shape or a circular shape.

이때, 상기 푸시 핀 영역을 형성한 후, CCD(charge-coupled device) 카메라와 같은 관측장비를 통해 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하는 단계; 및 상기 인식된 제 1, 제 2 보조기판의 끝단의 위치를 고려하여 푸시 핀을 x축 및 y축으로 이동시켜 설정된 위치에 정렬시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, after forming the push pin region, recognizing the ends of the first and second auxiliary substrates through observation equipment such as a charge-coupled device (CCD) camera; And moving the push pins along the x-axis and the y-axis in consideration of positions of the ends of the recognized first and second auxiliary substrates to align the push pins with the set positions.

상기 푸시 핀 영역을 형성한 후, CCD 카메라와 같은 관측장비를 통해 제 1, 제 2 모기판의 끝단을 인식하는 단계; 및 상기 인식된 제 1, 제 2 모기판의 끝단의 위치를 고려하여 푸시 핀을 -x축 및 -y축으로 이동시켜 설정된 위치에 정렬시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.Recognizing the ends of the first and second mother boards through observation equipment such as a CCD camera after forming the push pin area; And moving the push pins along the -x axis and the -y axis in consideration of the positions of the ends of the recognized first and second mother boards, thereby aligning the push pins with the set positions.

이때, 상기 제 1, 제 2 모기판이나 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하여 푸시 핀을 정렬한 후, 정렬된 상기 푸시 핀을 z축 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 한다.At this time, after aligning the push pins by recognizing the ends of the first and second mother substrates and the first and second auxiliary substrates, the aligned push pins are moved in the z axis direction, And an edge portion between the mother substrate and the first auxiliary substrate and the first mother substrate is detached.

또는, 상기 제 1, 제 2 모기판이나 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하여 푸시 핀을 정렬한 후, 정렬된 상기 푸시 핀을 z축 방향과 -z축 방향으로 교대로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 한다.Alternatively, after aligning the push pins by recognizing the ends of the first and second mother substrates and the first and second auxiliary substrates, the aligned push pins are alternately moved in the z-axis direction and the -z axis direction, And an edge portion between the second auxiliary board and the second mother board or between the first auxiliary board and the first mother board is detached.

또는, 상기 제 1, 제 2 모기판이나 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하여 푸시 핀을 정렬한 후, 정렬된 상기 푸시 핀을 z축 방향과 -z축 방향으로 교대로 이동시키되, 이동거리를 순차적으로 증가시키며 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 한다.Alternatively, after aligning the push pins by recognizing the ends of the first and second mother substrates and the first and second auxiliary substrates, the aligned push pins are alternately moved in the z-axis direction and the -z axis direction, And the moving distance is sequentially increased and moved so that the edge portions between the second auxiliary substrate and the second mother substrate or between the first auxiliary substrate and the first mother substrate are removed.

상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 모서리 공간에 상기 제 1, 제 2 나이프 대신 박형 필름을 진입시키고, 상기 박형 필름을 테이블의 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이에 존재하는 이물을 제거하는 동시에 그 사이의 에지부를 탈착 하는 것을 특징으로 한다.A thin film instead of the first and second knives is introduced into the corner space between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, and the thin film is moved in the other direction in one direction of the table, 2 removes foreign objects existing between the mother substrate plates and removes the edge portions therebetween.

이때, 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 모서리 공간에 상기 제 1, 제 2 나이프 대신 박형 필름을 진입시키고, 상기 박형 필름을 테이블의 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이에 존재하는 이물을 제거하는 동시에 그 사이의 에지부를 탈착 하는 것을 특징으로 한다.At this time, a thin film instead of the first and second knives is introduced into the corner space between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, and the thin film is moved in the other direction in one direction of the table, And an edge portion between the first mother substrate and the first mother substrate is removed.

상기 박형 필름은 0.001mm ~ 1.0mm 두께를 가지는 것을 특징으로 한다.The thin film is characterized by having a thickness of 0.001 mm to 1.0 mm.

이때, 상기 박형 필름은 유리로 이루어진 기판에 대한 스크래치(scratch) 등의 손상을 최소화하기 위해 모스(Mohs) 경도 3이하의 PET(polyethylene terephthalate), PVC(Polyvinyl chloride), PE(polyethylene), PC(polycarbonate), LDPE(low density polyethylene), HDPE(high density polyethylene), EVA(ethylene vinyl acetate) 등의 물질을 사용하는 것을 특징으로 한다.In order to minimize damage such as scratches on the substrate made of glass, the thin film is made of a material having a Mohs hardness of 3 or less such as PET (polyethylene terephthalate), PVC (polyvinyl chloride), PE (polyethylene), PC polycarbonate, low density polyethylene (LDPE), high density polyethylene (HDPE) and ethylene vinyl acetate (EVA).

상기 박형 필름의 이동과 함께 상기 박형 필름에 구비된 에어 홀을 통해 에어를 분사하여 이물 제거 및 에지부 탈착 공정을 진행하는 것을 특징으로 한다.And air is sprayed through the air holes provided in the thin film together with the movement of the thin film to carry out a process of removing foreign substances and desorbing edges.

이때, 상기 박형 필름과 에어 분사를 이용하여 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 분리를 진행하는 것을 특징으로 한다.At this time, separation of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate is performed by using the thin film and the air jet.

냉각물질을 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 전면(front surface) 또는 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이 측면에 분사하여 존재하는 이물의 접착력을 약화시킨 후, 상기 제 1, 제 2 나이프 대신 박형 필름과 에어를 이용하여 제 2 보조기판 이나 제 1 보조기판의 분리를 진행하는 것을 특징으로 한다.The cooling material is sprayed on the front surface of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate or on the side between the second auxiliary substrate and the second mother substrate or between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, And separating the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate using a thin film and air instead of the first and second knives.

냉각물질을 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 전면 또는 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이 측면에 분사하는 동시에 그 하부에 열을 가하여 존재하는 이물의 접착력을 약화시킨 후, 상기 제 1, 제 2 나이프 대신 박형 필름과 에어를 이용하여 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 분리를 진행하는 것을 특징으로 한다.The cooling material is sprayed on the entire surface of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate or between the second auxiliary substrate and the second mother substrate or between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, The separation of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate is progressed by using the thin film and the air instead of the first and second knives after weakening the adhesion of the foreign matter.

이때, 상기 제 1, 제 2 모기판을 포함하는 하부에는 상온에서 80℃ 사이의 온도에 해당하는 열을 가하는 것을 특징으로 한다.At this time, heat corresponding to a temperature between room temperature and 80 ° C is applied to the lower part including the first and second mother board.

상기 냉각물질은 -196℃의 액체질소 이외에 -78.5℃의 드라이 아이스 등 이물에 열 수축 스트레스를 유발할 수 있는 -10℃ 이하의 냉각물질을 포함하는 것을 특징으로 한다.The cooling material is characterized by including a cooling material of -10 ° C or lower which can induce heat shrinkage stress on foreign matter such as dry ice at -78.5 ° C in addition to liquid nitrogen at -196 ° C.

상기 에지부의 탈착이 진행되는 방향을 따라 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 공간으로 상기 제 1, 제 2 나이프를 이동시킴으로써 물리적으로 이물을 제거하는 것을 특징으로 한다.By moving the first and second knives in the space between the second auxiliary substrate and the second mother substrate or between the first auxiliary substrate and the first mother substrate along the direction in which the edge portion is removed, And removing it.

상기 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판을 분리하는 과정에서 상기 진공 패드나 진공 패드 플레이트의 상승 시 그 압력을 센서로 감지하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.And detecting a pressure of the vacuum pad or the vacuum pad plate when the vacuum pad or the vacuum pad plate rises in the process of separating the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate.

이때, 상기 센서로 감지된 압력에 이상이 있는지 판단하며, 이상이 있는 경우 이물이 방생되었다는 알람 및 이물 발생을 모니터 등에 표시하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, it is further determined whether there is an abnormality in the pressure sensed by the sensor, and if there is an abnormality, an alarm or a foreign object occurrence indicating that the foreign object has died is displayed on a monitor or the like.

이때, 이물이 발생된 경우, 레이저를 이용하여 압력에 이상이 감지된 부분의 이물을 제거한 후, 상기 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 분리 공정을 속행하는 것을 특징으로 한다.At this time, if a foreign matter is generated, the foreign matter in the portion where the pressure abnormality is detected is removed using a laser, and then the separation process of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate is continued.

상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판의 에지를 따라 이물을 검사하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.And inspecting foreign objects along the edges of the second auxiliary board, the second mother board, the first auxiliary board and the first mother board.

이때, 이물이 발생된 경우, 이물이 방생되었다는 알람 및 이물 발생을 모니터 등에 표시하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.At this time, when a foreign object is generated, it is further characterized by displaying a monitor or the like on the occurrence of an alarm or foreign object that the foreign object is generated.

이때, 레이저를 이용하여 이물이 검출된 부분의 이물을 제거하며, 이러한 이물 검사 및 제거공정을 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판의 모든 에지에 대해 진행하는 것을 특징으로 한다.At this time, foreign substances are removed from the portion where the foreign object is detected by using a laser, and the foreign substance inspection and removal process is performed on all the edges of the second mother substrate and the second mother substrate or the first auxiliary substrate and the first mother substrate .

이때, 상기 이물 제거공정이 완료된 후, 상기 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 분리 공정을 진행하는 것을 특징으로 한다.At this time, after the foreign substance removal process is completed, the separation process of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate is performed.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 박형의 유리기판을 이용한 경량 박형의 액정표시장치를 구현할 수 있게 되어 텔레비전이나 모니터 모델 및 휴대용 전자기기의 두께나 무게를 감소시킬 수 있는 효과를 제공한다.As described above, according to the method of manufacturing a lightweight and thin liquid crystal display device according to the present invention, it is possible to realize a thin and lightweight liquid crystal display device using a thin glass substrate, thereby reducing the thickness and weight of television and monitor models and portable electronic devices Provides a possible effect.

또한, 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 나이프(knife)로 박형의 유리기판과 보조기판 사이의 에지부를 탈착 한 후에 에어 나이프를 통해 그 사이에 에어(air)를 주입하여 보조기판을 분리함으로써 공정이 완료되어 합착된 셀(cell) 상태의 액정패널로부터 보조기판을 용이하게 분리할 수 있게 된다. 그 결과 공정의 안정화를 가져와 제품의 가격 경쟁력을 향상시키는 효과를 제공한다.Also, in the method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention, an edge portion between a thin glass substrate and an auxiliary substrate is removed by a knife, air is injected therebetween through an air knife, So that the auxiliary substrate can be easily separated from the liquid crystal panel in the cell state in which the process is completed. As a result, the process is stabilized and the price competitiveness of the product is improved.

또한, 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 에지부 탈착 개시 점을 형성하기 위한 푸시 핀 형상을 최적화함으로써 푸시 핀 적용 공정의 성공률을 향상시킬 수 있게 된다. 그 결과 보조기판의 탈착 시 박형의 유리기판 및 보조기판의 파손이 저감되는 효과를 제공한다.In addition, the method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention can improve the success rate of the push pin application process by optimizing the shape of the push pin for forming the edge desorption start point. As a result, when the auxiliary substrate is detached, the damage to the thin glass substrate and the auxiliary substrate is reduced.

또한, 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 공정 중에 박형의 유리기판과 보조기판 사이에 부착된 이물을 미리 제거함으로써 보조기판의 탈착 시 이물에 기인한 불량을 제거할 수 있게 되어 수율이 향상되는 효과를 제공한다.In addition, the method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention can remove defects caused by foreign substances when the auxiliary substrate is detached by removing foreign materials adhered between the thin glass substrate and the auxiliary substrate in advance, Thereby providing an improved effect.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치의 제조방법을 개략적으로 나타내는 흐름도.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 공정 일부를 개략적으로 나타내는 예시도.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 공정 일부를 개략적으로 나타내는 다른 예시도.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 공정 일부를 개략적으로 나타내는 또 다른 예시도.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따라 모서리 컷(corner cut)이 형성된 제 1, 제 2 보조기판 및 제 1, 제 2 모기판을 개략적으로 나타내는 평면도.
도 5c는 본 발명에 따라 모서리 컷이 형성된 제 1, 제 2 보조기판이 부착되어 푸시 핀(push pin) 영역이 형성된 상태의 제 1, 제 2 모기판을 개략적으로 나타내는 평면도.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명에 따른 푸시 핀 영역(A)에 적용되는 푸시 핀 형태를 예를 들어 나타내는 단면도.
도 7a 내지 도 7d는 본 발명에 따른 다른 푸시 핀 영역(B)에 적용되는 푸시 핀 형태를 예를 들어 나타내는 단면도.
도 8a 및 도 8b는 박형의 유리기판이나 보조기판의 끝단을 인식하는 방법을 예를 들어 나타내는 사시도.
도 9a 내지 도 9c는 박형의 유리기판이나 보조기판의 끝단을 인식한 후에 푸시 핀을 푸시 하는 방법을 예를 들어 나타내는 사시도.
도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 보조기판의 분리 공정을 예를 들어 나타내는 순서도.
도 11은 본 발명에 따른 탈착장비의 하부구성을 개략적으로 나타내는 평면도.
도 12a 및 도 12b는 본 발명에 따른 나이프의 구성을 개략적으로 나타내는 도면.
도 13a 내지 도 13d는 상기 도 12a 및 도 12d에 도시된 나이프에 있어, 날의 형태를 예를 들어 나타내는 도면.
도 14는 본 발명에 따른 나이프를 이용한 에지부 탈착 공정의 순서를 예를 들어 나타내는 예시도.
도 15는 본 발명에 따른 나이프를 이용한 에지부 탈착 공정의 순서를 예를 들어 나타내는 다른 예시도.
도 16a 내지 도 16p는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 예시도.
도 17은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치의 제조방법을 개략적으로 나타내는 흐름도.
도 18은 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 예시도.
도 19는 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 다른 예시도.
도 20은 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 또 다른 예시도.
도 21은 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 또 다른 예시도.
도 22는 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 또 다른 예시도.
FIG. 1 is a flowchart schematically showing a method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.
FIGS. 2A to 2D are schematic views showing a process part of a method for manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention; FIG.
FIGS. 3A to 3D are schematic views showing another example of a process part of a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention; FIG.
FIGS. 4A to 4D are schematic views showing another example of a process part of a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention; FIG.
FIGS. 5A and 5B are plan views schematically showing first and second auxiliary substrates and first and second mother boards, each of which has a corner cut according to the present invention; FIG.
FIG. 5C is a plan view schematically showing first and second mother boards in a state where first and second auxiliary boards having edge cuts formed thereon are attached with a push pin area according to the present invention; FIG.
6A to 6D are sectional views showing, for example, a push pin shape applied to the push pin region (A) according to the present invention.
7A to 7D are cross-sectional views showing, for example, a push pin shape applied to another push pin region (B) according to the present invention.
8A and 8B are perspective views showing, for example, a method of recognizing the ends of a thin glass substrate or an auxiliary substrate.
Figs. 9A to 9C are perspective views showing, by way of example, a method of pushing a push pin after recognizing the ends of a thin glass substrate or an auxiliary substrate. Fig.
FIG. 10 is a flowchart showing an example of a separation process of an auxiliary substrate according to the first embodiment of the present invention. FIG.
11 is a plan view schematically showing a lower structure of a desorption apparatus according to the present invention.
12A and 12B are views schematically showing a configuration of a knife according to the present invention.
Figs. 13A to 13D are views showing the shape of a blade in the knife shown in Figs. 12A and 12D, for example.
FIG. 14 is an exemplary view showing an example of a sequence of an edge portion desorption process using a knife according to the present invention; FIG.
FIG. 15 is another example showing the order of the edge portion desorption process using the knife according to the present invention. FIG.
FIGS. 16A to 16P are views showing the steps of sequentially separating an auxiliary substrate in a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention. FIG.
17 is a flowchart schematically showing a method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 18 is a view showing an example of sequentially removing a foreign object and a separation step of an auxiliary substrate in the method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention shown in FIG.
19 is a view showing another example of sequentially removing the foreign object and the auxiliary substrate from the light-weight thin liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention shown in FIG.
FIG. 20 is a view showing still another example of a process of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention shown in FIG.
FIG. 21 is a view showing still another example of a process of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention shown in FIG.
FIG. 22 is a view showing still another example of a process of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention shown in FIG.

최근 액정표시장치의 용도가 다양해짐에 따라 경량 박형의 액정표시장치에 대한 관심도 많아지고 있으며, 액정패널의 두께에서 가장 큰 부분을 차지하는 기판의 박형화에도 관심이 많아지고 있다. 또한, 3D나 터치(touch) 패널에서는 액정패널에 리타더(retarder)나 터치 기능의 보호 기판을 추가하므로 더욱 박형화에 대한 요구가 증가된다. 하지만 박형 기판의 경우 휨, 강성 등 물리적 특성의 약화로 공정 진행에 한계가 있다.2. Description of the Related Art [0002] Recently, various applications of liquid crystal display devices have been gaining interest in lightweight and thin liquid crystal display devices, and attention has been paid to thinning of substrates that occupy the largest portion of the thickness of liquid crystal panels. In addition, since a retarder or a protective function substrate is added to a liquid crystal panel in a 3D or touch panel, the demand for further thinning is increased. However, in the case of a thin substrate, the process progress is limited due to weak physical properties such as warpage and rigidity.

이를 해결하기 위해 박형 유리기판에 보조기판을 부착하여 공정을 진행 후 공정이 완료된 후에 박형 유리기판과 보조기판을 분리하는 방법이 시도되고 있다.In order to solve this problem, a method of attaching an auxiliary substrate to a thin glass substrate and then separating the thin glass substrate from the auxiliary substrate after the process is completed is attempted.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 바람직한 실시예를 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치의 제조방법을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.1 is a flowchart schematically showing a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

이때, 상기 도 1은 액정적하방식으로 액정층을 형성하는 경우의 액정표시장치의 제조방법을 예를 들어 나타내고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 액정주입방식으로 액정층을 형성하는 경우의 액정표시장치의 제조방법에도 적용 가능하다.1 illustrates a method of manufacturing a liquid crystal display device in a case where a liquid crystal layer is formed by a liquid crystal dropping method. However, the present invention is not limited thereto, and the present invention can be applied to a liquid crystal display The present invention can be applied to a manufacturing method of a liquid crystal display device.

액정표시장치의 제조공정은 크게 하부 어레이 기판에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이공정과 상부 컬러필터 기판에 컬러필터를 형성하는 컬러필터공정 및 셀 공정으로 구분될 수 있다.The manufacturing process of the liquid crystal display device can be largely divided into a driving element array process for forming driving elements on the lower array substrate, a color filter process for forming a color filter on the upper color filter substrate, and a cell process.

전술한 바와 같이 액정표시장치의 두께나 무게를 좌우하는 요소에는 여러 가지가 있지만, 그 중에서도 유리로 이루어진 상기 컬러필터 기판이나 어레이 기판이 액정표시장치의 다른 구성요소 중에서 가장 무거운 구성요소이다. 따라서, 액정표시장치의 두께나 무게를 감소시키기 위해서는 이 유리기판의 두께나 무게를 감소시키는 것이 가장 효율적이다.As described above, there are various factors that determine the thickness and weight of the liquid crystal display device. Among them, the color filter substrate or the array substrate made of glass is the heaviest component among the other components of the liquid crystal display device. Therefore, it is most effective to reduce the thickness and weight of the glass substrate in order to reduce the thickness and weight of the liquid crystal display device.

이러한 유리기판의 두께나 무게를 감소시키는 방법으로 유리기판을 식각하여 그 두께를 감소시키거나 박형의 유리기판을 이용하는 방법이 있다. 이중 첫 번째 방법은 셀 완성 후에 글라스 식각 공정을 추가로 진행하여 그 두께를 감소시키는 것인데, 식각 진행 시 발생하는 불량과 비용 증가의 단점이 있다.There is a method of reducing the thickness or weight of the glass substrate by etching the glass substrate or using a thin glass substrate. In the first method, the glass etching process is further performed after the completion of the cell to reduce the thickness thereof.

이에 본 발명에서는 0.1t ~ 0.4t 정도의 두께를 갖는 박형의 유리기판을 이용하여 어레이공정과 컬러필터공정 및 셀 공정을 진행하는데, 이때 박형의 유리기판을 보조기판에 부착하여 공정을 진행함으로써 박형의 유리기판의 휨의 영향을 최소화하고 이동 중 박형의 유리기판의 파손이 없도록 하는 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 t는 mm를 의미하는 것으로 0.1t는 0.1mm의 두께를 의미하고 0.4t는 0.4mm의 두께를 의미한다. 이후 설명에서 설명의 편의를 위해 mm를 t로 표시한다.Therefore, in the present invention, a thin glass substrate having a thickness of about 0.1 t to 0.4 t is used to carry out the array process, the color filter process and the cell process. At this time, a thin glass substrate is adhered to an auxiliary substrate, So as to minimize the influence of the warp of the glass substrate and to prevent the breakage of the thin glass substrate during movement. In this case, t stands for mm, 0.1t stands for a thickness of 0.1 mm, and 0.4 t stands for a thickness of 0.4 mm. In the following description, mm is denoted by t for convenience of explanation.

즉, 0.1t ~ 0.4t 정도의 두께를 갖는 박형의 유리기판은 일반적인 액정표시장치제조라인에 투입될 때 휨 발생이 크게되어 유리기판의 처짐이 심하게 발생하기 때문에, 카세트 등의 이동수단을 이용하여 이동하는데 문제가 있으며, 단위 공정장비에 로딩 및 언로딩시 작은 충격에 의해서도 휨 발생이 급격히 발생하게 되어 위치오차가 빈번하게 발생하며, 그 결과 부딪침 등에 의해 파손불량이 증가하여 공정 진행이 실질적으로 불가능하였다.That is, when a thin glass substrate having a thickness of about 0.1 t to 0.4 t is inserted into a general liquid crystal display device manufacturing line, a large amount of warpage occurs and the glass substrate is severely deflected. Therefore, by using a moving means such as a cassette There is a problem in moving, and when loading and unloading in a unit process equipment, the occurrence of warpage occurs rapidly due to a small impact, resulting in frequent positional errors. As a result, failure failure increases due to collision, etc., Respectively.

이에 본 발명에서는 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판을 제조라인에 투입하기 전에 보조기판을 부착함으로써, 일반적인 액정표시장치에 이용되는 0.7t 정도의 두께를 갖는 유리기판과 동일하거나 더 향상된 휨 발생특성을 갖도록 하여 이동 또는 단위공정 진행 중 유리기판 처짐 등의 문제가 발생되는 것을 방지할 수 있는 것을 특징으로 한다.Therefore, in the present invention, by attaching the auxiliary substrate before putting the thin glass substrate of 0.1 t to 0.4 t into the production line, it is possible to obtain the same or further improved warpage as that of the glass substrate having the thickness of about 0.7 t used in general liquid crystal display So that it is possible to prevent the occurrence of problems such as deflection of the glass substrate during movement or the progress of the unit process.

우선, 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판을 어레이공정 및 컬러필터공정의 제조라인에 투입하기 전에 상기 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판에 0.3t ~ 0.7t 정도의 보조기판을 부착한다(S101). 다만, 본 발명이 상기 박형의 유리기판 및 보조기판의 두께에 한정되는 것은 아니다.First, an auxiliary substrate of about 0.3 t to 0.7 t is attached to the above-mentioned thin glass substrate of 0.1 t to 0.4 t before a thin glass substrate of 0.1 t to 0.4 t is put into a manufacturing line of an array process and a color filter process (S101). However, the present invention is not limited to the thicknesses of the thin glass substrate and the auxiliary substrate.

상기 박형의 유리기판과 보조기판의 합착은 두 기판들을 진공 상태에서 접촉시킴으로써 가능한데, 이때 두 기판들간 합착력은 정전기력, 진공력 또는 표면장력 등으로 추정할 수 있다.The adhesion between the thin glass substrate and the auxiliary substrate can be achieved by bringing the two substrates into contact in a vacuum state. The combining force between the two substrates can be estimated by electrostatic force, vacuum force, surface tension, or the like.

이때, 본 발명은 보조기판에 불소(fluorine) 등을 이용한 플라즈마 처리나 요철(凹凸) 패턴을 형성하여 합착력을 완화시킴으로써 박형 유리기판과의 탈착을 용이하게 할 수 있는데, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.At this time, the present invention can easily detach the auxiliary substrate from the thin glass substrate by forming a plasma treatment using a fluorine or the like on the auxiliary substrate and relieving the bonding force by forming a concave-convex pattern. Explain.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 공정 일부를 개략적으로 나타내는 예시도로써, 박형의 유리기판과 플라즈마 처리된 보조기판의 합착 및 탈착공정을 예를 들어 나타내고 있다.FIGS. 2A to 2D are schematic views illustrating a process part of a method for manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention, and illustrate a process of attaching and detaching a thin glass substrate and a plasma-processed auxiliary substrate .

이때, 상기 도 2a 내지 도 2d는 보조기판 전면에 플라즈마를 처리하여 보조기판과 박형의 유리기판간 합착력을 완화시켜 보조기판과 박형의 유리기판간 탈착이 용이하도록 하는 것을 특징으로 한다.In this case, FIGS. 2A to 2D illustrate that the plasma is processed on the entire surface of the auxiliary substrate to relax the bonding force between the auxiliary substrate and the thin glass substrate to facilitate detachment between the auxiliary substrate and the thin glass substrate.

도 2a에 도시된 바와 같이, 예를 들어 0.1t ~ 0.4t 정도의 박형의 유리기판(100)과 0.3t ~ 0.7t 정도의 보조기판(110)을 준비한다.As shown in FIG. 2A, for example, a thin glass substrate 100 of about 0.1 t to 0.4 t and an auxiliary substrate 110 of about 0.3 t to 0.7 t are prepared.

이때, 상기 박형의 유리기판(100)은 컬러필터공정을 위한 다수의 컬러필터 기판이 배치된 대면적의 모기판이거나 어레이공정을 위한 다수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 모기판일 수 있다.At this time, the thin glass substrate 100 may be a large-area mother substrate having a plurality of color filter substrates for a color filter process, or a large-area mother substrate having a plurality of array substrates for array processing.

다음으로, 도 2b에 도시된 바와 같이, 보조기판(110)의 탈착이 용이하도록 상기 보조기판(110)의 전체 표면(111)에 불소 등을 이용한 플라즈마를 처리한다.Next, as shown in FIG. 2B, the entire surface 111 of the auxiliary substrate 110 is treated with plasma using fluorine or the like, so that the auxiliary substrate 110 can be easily attached and detached.

이와 같이 보조기판(110)에 불소를 처리할 경우, 불소가 보조기판(110)의 표면(111)을 식각하여 표면 거칠기(roughness)를 증가시키거나 표면의 화학적 특성을 변화시켜 박형의 유리기판(100)과의 접촉에 의한 합착력을 약화시킬 수 있다.When the auxiliary substrate 110 is treated with fluorine, the fluorine may etch the surface 111 of the auxiliary substrate 110 to increase the surface roughness or change the chemical characteristics of the surface, 100 can be weakened.

다음으로, 도 2c에 도시된 바와 같이, 상기 박형의 유리기판(100)에 상기 플라즈마가 처리된 보조기판(110)을 부착한다. 이때, 상기 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110)의 합착은 상기 보조기판(110)으로 유리기판을 사용할 경우 두 기판(100, 110)들을 진공 상태에서 접촉시킴으로써 가능한데, 이때 두 기판(100, 110)들간 합착력은 정전기력, 진공력 또는 표면장력 등으로 추정할 수 있다.Next, as shown in FIG. 2C, the plasma-treated auxiliary substrate 110 is attached to the thin glass substrate 100. In this case, when the glass substrate 100 is used as the auxiliary substrate 110, the two glass substrates 100 and 110 are brought into contact with each other in a vacuum state. At this time, 100, and 110) can be estimated by electrostatic force, vacuum force, surface tension, and the like.

이렇게 0.1t ~ 0.4t의 두께를 갖는 박형의 유리기판(100)과 0.3t ~ 0.7t의 두께를 갖는 보조기판(110)이 합착된 상태의 공정용 패널은 이를 구성하는 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110)이 서로 동일한 유리재질로 이루어짐으로써 온도 변화에 따른 팽창률이 동일하므로 단위공정 진행 시 팽창률 차이에 의해 휨이 발생하는 등의 문제는 전혀 없는 것이 특징이다.The process panel in a state in which the thin glass substrate 100 having a thickness of 0.1 t to 0.4 t and the auxiliary substrate 110 having a thickness of 0.3 t to 0.7 t are adhered is formed on the thin glass substrate 100 And the auxiliary substrate 110 are made of the same glass material, the same expansion rate as the temperature change is the same, so that there is no such problem that warping occurs due to the difference in the expansion ratio during the unit process.

또한, 박형의 유리기판(100)은 그 자체로 0.1t ~ 0.4t의 두께를 갖지만 상기 보조기판(110)과 합착되어 공정용 패널을 구성함에 따라 그 휨 발생이 현저히 줄게 되며 일반적인 0.7t의 두께를 갖는 유리기판 정도의 휨 수준 또는 그 이하의 휨 수준이 됨으로써 액정표시장치용 단위공정을 진행하는 데에는 전혀 문제되지 않는다.Though the thin glass substrate 100 has a thickness of 0.1 t to 0.4 t itself, since the glass substrate 100 is bonded to the auxiliary substrate 110 to form a process panel, the occurrence of warpage is remarkably reduced, It is not a problem to proceed with the unit process for a liquid crystal display device.

이후, 보조기판(110)이 부착된 상기 박형의 유리기판(100)에 후술할 컬러필터공정 또는 어레이공정을 진행하여 패널영역 각각에 구동소자인 박막 트랜지스터 또는 컬러필터층을 형성하게 된다.Then, a color filter process or an array process, which will be described later, is performed on the thin glass substrate 100 to which the auxiliary substrate 110 is attached to form a thin film transistor or a color filter layer as a driving element in each of the panel regions.

그리고, 소정 공정이 완료된 후에는 도 2d에 도시된 바와 같이, 박형의 유리기판(100)으로부터 보조기판(110)을 분리해내야 하는데, 이때 상기 보조기판(110)의 전체 표면(111)에 플라즈마 처리가 되어있어 보조기판(110)의 탈착이 용이하게 이루어질 수 있다.After completion of the predetermined process, the auxiliary substrate 110 must be separated from the thin glass substrate 100, as shown in FIG. 2D. At this time, plasma is irradiated to the entire surface 111 of the auxiliary substrate 110 So that the auxiliary substrate 110 can be easily attached and detached.

즉, 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110) 사이에 합착력이 강한 경우에는 물리적으로 분리하기가 어려워 분리 시 박형의 유리기판(100)에 휨 현상이 발생할 수 있으나, 보조기판(110)의 전체 표면(111)에 플라즈마 처리가 되어있는 경우 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110) 사이에 합착력이 저하되어 보조기판(110)의 탈착이 용이하게 이루어질 수 있다.That is, if the glass substrate 100 has a strong bonding force between the glass substrate 100 and the auxiliary substrate 110, it is difficult to physically separate the glass substrate 100 and the auxiliary substrate 110, The combined force between the thin glass substrate 100 and the auxiliary substrate 110 is lowered so that the auxiliary substrate 110 can be easily attached and detached.

그리고, 이렇게 박형의 유리기판(100)으로부터 탈착된 상기 보조기판(110)은 새로운 유리기판에 부착되어 새로운 공정 진행을 위해 재활용(recycle)될 수 있다.The auxiliary substrate 110 detached from the thin glass substrate 100 may be attached to a new glass substrate and recycled for a new process.

한편, 보조기판에 플라즈마를 처리하는 방식은 전술한 전면처리 이외에 부분처리 방식이 있을 수 있으며, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Meanwhile, the method of processing plasma on the auxiliary substrate may be a partial processing method in addition to the above-mentioned front processing, and will be described in detail with reference to the drawings.

도 3a 내지 도 3d는 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 공정 일부를 개략적으로 나타내는 다른 예시도로써, 박형의 유리기판과 플라즈마 처리된 보조기판의 합착 및 탈착공정을 예를 들어 나타내고 있다.FIGS. 3A to 3D are schematic views illustrating a process part of a method for manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention. FIG. 3A to FIG. 3D illustrate a process of attaching and detaching a thin glass substrate and a plasma- have.

이때, 상기 도 3a 내지 도 3d는 보조기판의 소정 부분에 플라즈마를 처리하여 보조기판과 박형의 유리기판간 합착력을 완화시켜 보조기판과 박형의 유리기판간 탈착이 용이하도록 하는 것을 특징으로 한다.Here, FIGS. 3A to 3D are views for explaining plasma processing on a predetermined portion of the auxiliary substrate to facilitate the detachment between the auxiliary substrate and the thin glass substrate by reducing the combined force between the auxiliary substrate and the thin glass substrate.

도 3a에 도시된 바와 같이, 예를 들어 0.1t ~ 0.4t 정도의 박형의 유리기판(100)과 0.3t ~ 0.7t 정도의 보조기판(110)을 준비한다.As shown in FIG. 3A, a thin glass substrate 100 having a thickness of, for example, 0.1 t to 0.4 t and an auxiliary substrate 110 having a thickness of about 0.3 to 0.7 t are prepared.

이때, 상기 박형의 유리기판(100)은 컬러필터공정을 위한 다수의 컬러필터 기판이 배치된 대면적의 모기판이거나 어레이공정을 위한 다수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 모기판일 수 있다.At this time, the thin glass substrate 100 may be a large-area mother substrate having a plurality of color filter substrates for a color filter process, or a large-area mother substrate having a plurality of array substrates for array processing.

다음으로, 도 3b에 도시된 바와 같이, 보조기판(110)의 탈착이 용이하도록 상기 보조기판(110)의 일부 표면(111')에 불소 등을 이용한 플라즈마를 처리한다. 이때, 상기 도 3b는 보조기판(110) 중앙의 일부 표면(111')이 불소 처리된 경우를 예를 들어 나타내고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.Next, as shown in FIG. 3B, a plasma using fluorine or the like is applied to a part of the surface 111 'of the auxiliary substrate 110 so that the auxiliary substrate 110 can be easily attached and detached. 3B illustrates a case where a part of the surface 111 'of the center of the auxiliary substrate 110 is fluorine-treated, but the present invention is not limited thereto.

전술한 바와 같이 보조기판(110)에 불소를 처리할 경우, 불소가 보조기판(110)의 일부 표면(111')을 식각하여 표면 거칠기를 증가시키거나 표면의 화학적 특성을 변화시켜 박형의 유리기판(100)과의 접촉에 의한 합착력을 약화시킬 수 있다. 특히, 이 경우에는 보조기판(110)의 일부 표면(111')에만 불소를 처리함에 따라 기판(100, 110)들간 접촉이 가능한 영역에서 합착이 이루어지게 되고, 탈착할 때는 불소 처리된 영역, 즉 일부 표면(111')으로 인해 탈착이 용이해지는 이점이 있다.As described above, when the auxiliary substrate 110 is treated with fluorine, the surface of the auxiliary substrate 110 is etched by fluorine to increase the surface roughness or change the chemical characteristics of the surface, It is possible to weaken the combining force by the contact with the substrate 100. Particularly, in this case, as only a part of the surface 111 'of the auxiliary substrate 110 is treated with fluorine, coalescence is performed in an area where the substrates 100 and 110 can contact each other, There is an advantage that the detachment can be facilitated due to some surfaces 111 '.

다음으로, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 박형의 유리기판(100)에 상기 플라즈마가 처리된 보조기판(110)을 부착한다. 이때, 상기 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110)의 합착은 상기 보조기판(110)으로 유리기판을 사용할 경우 두 기판(100, 110)들을 진공 상태에서 접촉시킴으로써 가능한데, 이때 두 기판(100, 110)들간 합착력은 정전기력, 진공력 또는 표면장력 등으로 추정할 수 있다.Next, as shown in FIG. 3C, the plasma-treated auxiliary substrate 110 is attached to the thin glass substrate 100. In this case, when the glass substrate 100 is used as the auxiliary substrate 110, the two glass substrates 100 and 110 are brought into contact with each other in a vacuum state. At this time, 100, and 110) can be estimated by electrostatic force, vacuum force, surface tension, and the like.

이후, 보조기판(110)이 부착된 상기 박형의 유리기판(100)에 전술한 바와 같이 컬러필터공정 또는 어레이공정을 진행하여 패널영역 각각에 구동소자인 박막 트랜지스터 또는 컬러필터층을 형성하게 된다.Then, the color filter process or the array process is performed on the thin glass substrate 100 to which the auxiliary substrate 110 is attached to form a thin film transistor or a color filter layer as a driving device in each of the panel regions.

그리고, 소정 공정이 완료된 후에는 도 3d에 도시된 바와 같이, 박형의 유리기판(100)으로부터 보조기판(110)을 분리해내야 하는데, 이때 상기 보조기판(110)의 일부 표면(111')에 플라즈마 처리가 되어있어 보조기판(110)의 탈착이 용이하게 이루어질 수 있다.After the completion of the predetermined process, the auxiliary substrate 110 must be separated from the thin glass substrate 100, as shown in FIG. 3D. At this time, a part of the surface 111 'of the auxiliary substrate 110 Plasma processing is performed, so that the auxiliary substrate 110 can be easily attached and detached.

한편, 상기의 경우에는 보조기판에 플라즈마 처리를 진행하여 박형의 유리기판과의 합착력을 완화시킴으로써 탈착을 용이하게 하는 경우를 예를 들어 설명하고 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 보조기판에 요철(凹凸) 패턴을 형성하여 박형의 유리기판과의 합착력을 완화시킬 수도 있으며, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.On the other hand, in the above case, a case is described in which the plasma processing is performed on the auxiliary substrate to facilitate the detachment by alleviating the assisting force with the thin glass substrate. However, the present invention is not limited to this, and it is also possible to reduce an assemble force with a thin glass substrate by forming an uneven pattern on an auxiliary substrate, and this will be described in detail with reference to the drawings.

도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법의 공정 일부를 개략적으로 나타내는 또 다른 예시도로써, 박형의 유리기판과 요철 패턴이 형성된 보조기판의 합착 및 탈착공정을 예를 들어 나타내고 있다.FIGS. 4A to 4D are schematic views illustrating a process part of a method for manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the present invention. FIGS. 4A to 4D illustrate a process for attaching and detaching a thin glass substrate and an auxiliary substrate .

이때, 상기 도 4a 내지 도 4d는 보조기판의 소정 부분에 요철 패턴을 형성하여 보조기판과 박형의 유리기판간 합착력을 완화시켜 보조기판과 박형의 유리기판간 탈착이 용이하도록 하는 것을 특징으로 한다.4A to 4D are views illustrating a method of forming a concavo-convex pattern on a predetermined portion of an auxiliary substrate to facilitate the detachment between an auxiliary substrate and a thin glass substrate by alleviating an assisting force between the auxiliary substrate and the thin glass substrate .

도 4a에 도시된 바와 같이, 예를 들어 0.1t ~ 0.4t 정도의 박형의 유리기판(100)과 0.7t 정도의 보조기판(110)을 준비한다.As shown in FIG. 4A, a thin glass substrate 100 of about 0.1 t to 0.4 t and an auxiliary substrate 110 of about 0.7 t are prepared.

이때, 상기 박형의 유리기판(100)은 컬러필터공정을 위한 다수의 컬러필터 기판이 배치된 대면적의 모기판이거나 어레이공정을 위한 다수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 모기판일 수 있다.At this time, the thin glass substrate 100 may be a large-area mother substrate having a plurality of color filter substrates for a color filter process, or a large-area mother substrate having a plurality of array substrates for array processing.

다음으로, 도 4b에 도시된 바와 같이, 보조기판(110)의 탈착이 용이하도록 상기 보조기판(110)의 일부 표면에 요철 패턴(125)을 형성한다. 이때, 상기 도 4b는 보조기판(110) 중앙의 일부 표면에 요철 패턴(125)이 형성된 경우를 예를 들어 나타내고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.Next, as shown in FIG. 4B, an uneven pattern 125 is formed on a part of the surface of the auxiliary substrate 110 so that the auxiliary substrate 110 can be easily attached and detached. 4B illustrates a case where the concavo-convex pattern 125 is formed on a part of the center of the auxiliary substrate 110, but the present invention is not limited thereto.

상기 요철 패턴(125)을 형성하는 방법으로 무기절연막 패터닝, 유기절연막 패터닝, 저온 SiO2 식각, 레이저 패터닝 방법 등이 있다.As the method of forming the concavo-convex pattern 125, inorganic insulating film patterning, organic insulating film patterning, low-temperature SiO2 etching, and laser patterning method are available.

이와 같이 보조기판(110)에 요철 패턴(125)을 형성할 경우 표면 거칠기가 증가함에 따라 박형의 유리기판(100)과의 접촉에 의한 합착력을 약화시킬 수 있다. 특히, 이 경우에는 보조기판(110)의 일부 표면에만 요철 패턴(125)이 형성됨에 따라 기판(100, 110)들간 접촉이 가능한 영역에서 합착이 이루어지게 되고, 탈착할 때는 요철 패턴(125)이 형성된 영역으로 인해 탈착이 용이해지는 이점이 있다.When the concavo-convex pattern 125 is formed on the auxiliary substrate 110 as described above, as the surface roughness increases, the adhesion force due to contact with the thin glass substrate 100 can be weakened. Particularly, in this case, the concave / convex pattern 125 is formed on only a part of the surface of the auxiliary substrate 110, so that the concave / convex pattern 125 is formed in the area where the substrates 100 and 110 can contact each other. There is an advantage that desorption can be facilitated due to the formed region.

다음으로, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 박형의 유리기판(100)에 상기 요철 패턴(125)이 형성된 보조기판(110)을 부착한다. 이때, 상기 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110)의 합착은 상기 보조기판(110)으로 유리기판을 사용할 경우 두 기판(100, 110)들을 진공 상태에서 접촉시킴으로써 가능한데, 이때 두 기판(100, 110)들간 합착력은 정전기력, 진공력 또는 표면장력 등으로 추정할 수 있다.Next, as shown in FIG. 4C, the auxiliary substrate 110 on which the concavo-convex pattern 125 is formed is attached to the thin glass substrate 100. In this case, when the glass substrate 100 is used as the auxiliary substrate 110, the two glass substrates 100 and 110 are brought into contact with each other in a vacuum state. At this time, 100, and 110) can be estimated by electrostatic force, vacuum force, surface tension, and the like.

전술한 바와 같이 0.1t ~ 0.4t의 두께를 갖는 박형의 유리기판(100)과 0.3t ~ 0.7t의 두께를 갖는 보조기판(110)이 합착된 상태의 공정용 패널은 이를 구성하는 박형의 유리기판(100)과 보조기판(110)이 서로 동일한 유리재질로 이루어짐으로써 온도 변화에 따른 팽창률이 동일하므로 단위공정 진행 시 팽창률의 차이에 의해 휨이 발생하는 등의 문제는 전혀 없는 것이 특징이다.As described above, the process panel in a state in which the thin glass substrate 100 having a thickness of 0.1 t to 0.4 t and the auxiliary substrate 110 having a thickness of 0.3 t to 0.7 t are adhered is formed of a thin glass Since the substrate 100 and the auxiliary substrate 110 are made of the same glass material and have the same expansion rate according to the temperature change, there is no problem such as a warp due to the difference in the expansion ratio during the unit process.

또한, 박형의 유리기판(100)은 그 자체로 0.1t ~ 0.4t의 두께를 갖지만 상기 보조기판(110)과 합착되어 공정용 패널을 구성함에 따라 그 휨 발생이 현저히 줄게 되며 일반적인 0.7t의 두께를 갖는 유리기판 정도의 휨 수준 또는 그 이하의 휨 수준이 됨으로써 액정표시장치용 단위공정을 진행하는 데에는 전혀 문제되지 않는다.Though the thin glass substrate 100 has a thickness of 0.1 t to 0.4 t itself, since the glass substrate 100 is bonded to the auxiliary substrate 110 to form a process panel, the occurrence of warpage is remarkably reduced, It is not a problem to proceed with the unit process for a liquid crystal display device.

이후, 보조기판(110)이 부착된 상기 박형의 유리기판(100)에 전술한 바와 같이 컬러필터공정 또는 어레이공정을 진행하여 패널영역 각각에 구동소자인 박막 트랜지스터 또는 컬러필터층을 형성하게 된다.Then, the color filter process or the array process is performed on the thin glass substrate 100 to which the auxiliary substrate 110 is attached to form a thin film transistor or a color filter layer as a driving device in each of the panel regions.

그리고, 소정 공정이 완료된 후에는 도 4d에 도시된 바와 같이, 박형의 유리기판(100)으로부터 보조기판(110)을 분리해내야 하는데, 본 발명의 실시예의 경우 상기 보조기판(110)의 일부 표면에 요철 패턴(125)이 형성 되어있어 보조기판(110)의 탈착이 용이하게 이루어질 수 있다.After completion of the predetermined process, the auxiliary substrate 110 is separated from the thin glass substrate 100 as shown in FIG. 4D. In the embodiment of the present invention, a part of the surface of the auxiliary substrate 110 And the auxiliary substrate 110 can be easily attached and detached.

그리고, 이렇게 박형의 유리기판(100)으로부터 탈착된 상기 보조기판(110)은 새로운 유리기판에 부착되어 새로운 공정 진행을 위해 재활용될 수 있다.The auxiliary substrate 110 detached from the thin glass substrate 100 can be attached to a new glass substrate and recycled for a new process.

다만, 본 발명이 전술한 보조기판의 합착방법에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 상기 박형의 유리기판에 상기 보조기판을 합착하기 위해 접착제나 표면처리 없이 진공상태에서 이루어질 수 있으며, 이때 상기 두 기판들은 진공 중에서 정전기력, 진공력, 반데르발스 힘 또는 표면장력 등에 의해 합착될 수도 있다.However, the present invention is not limited to the above-described method of attaching the auxiliary substrate. The present invention can be performed in a vacuum state without an adhesive or a surface treatment for attaching the auxiliary substrate to the thin glass substrate, May be adhered in vacuum by electrostatic force, vacuum force, van der Waals force, surface tension, or the like.

한편, 후술하겠지만 상기에 적용될 수 있는 탈착 방법으로 보조기판이나 박형의 유리기판 상부를 진공 패드(vacuum pad)로 잡아 보조기판이나 박형의 유리기판을 들어올리는 방식이 있으며, 이때 보조기판 표면의 플라즈마 처리나 요철 패턴의 형성으로 인해 두 기판들간 합착력이 크지 않아 탈착이 용이하게 이루어질 수 있다. 이때, 탈착을 더욱 용이하게 하기 위해 나이프로 보조기판과 박형의 유리기판 사이에 갭을 만들어주면서 에어를 주입할 수 있다.Meanwhile, as will be described later, there is a method of lifting an auxiliary substrate or a thin glass substrate by holding the auxiliary substrate or the upper portion of the glass substrate with a vacuum pad by a desorption method applicable to the above, The formation of the concavo-convex pattern makes it possible to facilitate the desorption because the combined force between the two substrates is not large. At this time, air can be injected while making a gap between the auxiliary substrate and the thin glass substrate with a knife to facilitate the desorption.

이와 같이 박형의 유리기판에 보조기판이 부착된 후, 전술한 보조기판이 부착된 어레이 기판용 박형의 유리기판(이하, 설명의 편의를 위해 어레이 기판이라 함)은 어레이공정에 의해 어레이 기판에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인과 데이터라인을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막 트랜지스터를 형성한다(S102). 또한, 상기 어레이공정을 통해 상기 박막 트랜지스터에 접속되어 박막 트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.After the auxiliary substrate is attached to the thin glass substrate in this way, the thin glass substrate for the array substrate to which the above-described auxiliary substrate is attached (hereinafter referred to as an array substrate for convenience of explanation) is arrayed on the array substrate A plurality of gate lines and data lines defining a pixel region are formed, and a thin film transistor, which is a driving element connected to the gate line and the data line, is formed in each of the pixel regions (S102). In addition, a pixel electrode connected to the thin film transistor through the array process and driving the liquid crystal layer as a signal is applied through the thin film transistor is formed.

또한, 전술한 보조기판이 부착된 컬러필터 기판용 박형의 유리기판(이하, 설명의 편의를 위해 컬러필터 기판이라 함)에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 적, 녹 및 청색의 서브컬러필터로 구성되는 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S103). 이때, 횡전계(In Plane Switching; IPS)방식의 액정표시장치를 제작하는 경우에는 상기 어레이공정을 통해 상기 화소전극이 형성된 어레이 기판에 상기 공통전극을 형성하게 된다.Further, a thin glass substrate for a color filter substrate (hereinafter, referred to as a color filter substrate for convenience of description) to which the above-described auxiliary substrate is attached is provided with red, green and blue sub-color filters And a common electrode are formed (S103). At this time, when an in-plane switching (IPS) liquid crystal display device is manufactured, the common electrode is formed on the array substrate on which the pixel electrode is formed through the array process.

이어서, 상기 컬러필터 기판 및 어레이 기판에 각각 배향막을 인쇄한 후, 컬러필터 기판 및 어레이 기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트 각(pretilt angle)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙 처리한다(S104, S105).Then, after aligning films are printed on the color filter substrate and the array substrate, alignment control force or surface fixing force (that is, pretilt angle and orientation) is applied to the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer formed between the color filter substrate and the array substrate Direction) of the alignment film is rubbed (S104, S105).

이와 같이 러빙 처리된 상기 컬러필터 기판에는 실링재를 도포하여 소정의 실 패턴을 형성하는 동시에 상기 어레이 기판에는 액정을 적하하여 액정층을 형성하게 된다(S106, S107).A sealing material is applied to the rubbed color filter substrate to form a predetermined seal pattern, and a liquid crystal layer is formed by dropping liquid crystal on the array substrate (S106, S107).

한편, 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판은 각각 대면적의 모기판에 형성되어 있다. 다시 말해서, 대면적의 모기판 각각에 복수의 패널영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 박막 트랜지스터 또는 컬러필터층이 형성되게 된다.On the other hand, the color filter substrate and the array substrate are formed on a large-sized mother substrate. In other words, a plurality of panel regions are formed on each of the large-sized mother substrate, and a thin film transistor or color filter layer serving as a driving element is formed on each of the panel regions.

이때, 상기 적하방식은 디스펜서를 이용하여 복수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 제 1 모기판이나 복수의 컬러필터 기판이 배치된 제 2 모기판의 화상표시 영역에 액정을 적하 및 분배(dispensing)하고, 상기 제 1, 제 2 모기판을 합착하는 압력에 의해 액정을 화상표시 영역 전체에 균일하게 분포되도록 함으로써, 액정층을 형성하는 방식이다.At this time, the dropping system dispenses liquid crystal to an image display area of a large-area first mother substrate on which a plurality of array substrates are arranged or a second mother substrate on which a plurality of color filter substrates are arranged using a dispenser, And the liquid crystal is uniformly distributed over the entire image display area by the pressure for attaching the first and second mother substrates to each other, thereby forming a liquid crystal layer.

따라서, 상기 액정패널에 적하방식을 통해 액정층을 형성하는 경우에는 액정이 화상표시 영역 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있도록 실 패턴이 화소부 영역 외곽을 감싸는 폐쇄된 패턴으로 형성되어야 한다.Therefore, when the liquid crystal layer is formed on the liquid crystal panel through the dropping method, the seal pattern must be formed in a closed pattern surrounding the periphery of the pixel region so as to prevent the liquid crystal from leaking out of the image display region.

상기 적하방식은 진공주입 방식에 비해 짧은 시간에 액정을 적하할 수 있으며, 액정패널이 대형화될 경우에도 액정층을 매우 신속하게 형성할 수 있다. 또한, 제 1 모기판 위에 액정을 필요한 양만 적하하기 때문에 진공주입 방식과 같이 고가의 액정을 폐기함에 따른 액정패널의 단가 상승을 방지하여 제품의 가격경쟁력을 강화시키게 된다.The dropping method can drop the liquid crystal in a shorter time than the vacuum injection method, and even when the liquid crystal panel is enlarged, the liquid crystal layer can be formed very quickly. In addition, since only a necessary amount of liquid crystal is dropped onto the first mother substrate, it is possible to prevent an increase in the price of the liquid crystal panel due to the disposal of expensive liquid crystal such as a vacuum injection system, thereby enhancing the price competitiveness of the product.

이후, 상기와 같이 액정이 적하되고 실링재가 도포된 상기 제 1 모기판과 제 2 모기판을 정렬한 상태에서 압력을 가하여 상기 실링재에 의해 상기 제 1 모기판과 제 2 모기판을 합착 함과 동시에 압력의 인가에 의해 적하된 액정을 액정패널 전체에 걸쳐 균일하게 퍼지게 한다(S108). 이와 같은 공정에 의해 대면적의 제 1, 제 2 모기판에는 액정층이 형성된 복수의 액정패널이 형성되며, 이러한 복수의 액정패널이 형성된 대면적의 제 1, 제 2 모기판을 보조기판으로부터 분리한 후, 가공, 절단하여 복수의 액정패널로 분리하고 각각의 액정패널을 검사함으로써 액정표시장치를 제작하게 된다(S109, S110).Thereafter, the first mother substrate and the second mother substrate are bonded together by applying a pressure in a state in which the first mother substrate and the second mother substrate, to which the liquid crystal is dropped and the sealing material is coated, are aligned, The liquid crystal dropped by application of pressure is uniformly spread over the liquid crystal panel (S108). By this process, a plurality of liquid crystal panels having a liquid crystal layer are formed on the first and second large-sized mother substrates, and the first and second large-sized mother substrates on which the plurality of liquid crystal panels are formed are separated from the auxiliary substrate Then, the liquid crystal panel is processed, cut and separated into a plurality of liquid crystal panels, and each liquid crystal panel is inspected to manufacture a liquid crystal display device (S109, S110).

이때, 전술한 바와 같이 본 발명은 나이프로 보조기판과 박형의 유리기판 사이의 에지부를 탈착 한 후에 에어 나이프를 통해 그 사이에 에어를 주입하여 액정패널로부터 보조기판을 분리하는 것을 특징으로 하며, 이때 기판들의 모서리에 형성되는 모서리 컷을 이용하여 푸시 핀 영역을 형성하게 되면 상기 나이프와 에어 주입에 의한 보조기판의 분리가 용이하게 되는데, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.In this case, as described above, the present invention is characterized in that an edge portion between an auxiliary substrate and a thin glass substrate is detached with a knife, air is injected therebetween through an air knife to separate an auxiliary substrate from the liquid crystal panel, If a push-pin region is formed by using a corner cut formed at the edge of the substrates, it is easy to separate the auxiliary substrate by the knife and air injection, which will be described in detail with reference to the drawings.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따라 모서리 컷(corner cut)이 형성된 제 1, 제 2 보조기판 및 제 1, 제 2 모기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다.FIGS. 5A and 5B are plan views schematically showing first and second auxiliary substrates and first and second mother substrates having corner cuts formed according to the present invention. FIG.

또한, 도 5c는 본 발명에 따라 모서리 컷이 형성된 제 1, 제 2 보조기판이 부착되어 푸시 핀 영역이 형성된 상태의 제 1, 제 2 모기판을 개략적으로 나타내는 평면도이다.5C is a plan view schematically showing first and second mother boards in which first and second auxiliary boards having corner cuts formed thereon are attached to each other and a push pin region is formed according to the present invention.

상기 도면들을 참조하면, 전술한 바와 같이 본 발명에서는 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판, 즉 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 제조라인에 투입하기 전에 0.3t ~ 0.7t의 두께를 갖는 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)을 부착함으로써, 일반적인 액정표시장치에 이용되는 0.7t 정도의 두께를 갖는 유리기판과 동일하거나 더 향상된 휨 발생특성을 갖도록 하여 이동 또는 단위공정 진행 중 유리기판 처짐 등의 문제가 발생되는 것을 방지할 수 있는 것을 특징으로 한다.Referring to the drawings, as described above, in the present invention, a glass substrate having a thickness of 0.1 t to 0.4 t, that is, a first and a second mother substrate 101 or 102, The first auxiliary substrate 110a and the second auxiliary substrate 110b having the same thickness as the first auxiliary substrate 110a and the second auxiliary substrate 110b can be moved or unitized It is possible to prevent problems such as deflection of the glass substrate during the process.

이때, 복수의 액정패널(103)이 할당되어 있는 합착된 상태의 제 1, 제 2 모기판(101, 102) 및 보조기판(110)의 모서리는 소정의 기울어진 각도로 커팅(cutting)이 되어 있으며, 이를 모서리 컷이라 한다.At this time, the corners of the first and second mother substrates 101 and 102 and the auxiliary substrate 110 to which the plurality of liquid crystal panels 103 are allocated are cut at a predetermined inclined angle This is called a corner cut.

특히, 상기 제 1, 제 2 모기판(101, 102)의 적어도 2개의 모서리는 방향 구별과 후 공정을 위해 상기 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)에 비해 더 안쪽 방향으로 커팅이 이루어짐에 따라 상기 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 모서리 부분이 노출되게 되는데, 이 영역은 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 분리 공정을 시작하기 위해 푸시 핀이 적용되는 푸시 핀 영역(A, B)으로 사용될 수 있다.
Particularly, at least two edges of the first and second mother boards 101 and 102 are cut inward in comparison with the first and second auxiliary boards 110a and 110b for directional distinction and post-processing The edge portions of the first and second auxiliary substrates 110a and 110b are exposed in accordance with the first and second auxiliary substrates 110a and 110b in order to start the separation process of the first and second auxiliary substrates 110a and 110b Can be used as the push pin regions (A, B).

이때, 상기 제 1, 제 2 보조기판의 분리 공정을 시작하기 위한 푸시 핀은 그 접촉면이 일 예로 O-링(ring) 형태를 가질 수 있으며, 푸시 방법은 다음과 같다.At this time, the contact surface of the push pin for starting the separation process of the first and second auxiliary substrates may have an O-ring shape, for example, and the push method is as follows.

먼저, 제 1, 제 2 보조기판이 부착된 상태의 합착된 제 1, 제 2 모기판을 로딩하고 푸시 핀과 얼라인한 후에 상기 푸시 핀을 고정된 상태에서 상부로 이동시킴으로써 가능하다.First, the first and second auxiliary substrates are attached, and the first and second mother boards are loaded. After the first and second mother boards are aligned with the push pins, the push pins are moved from the fixed state to the upper state.

이렇게 별도의 푸시 공정이 정립되지 않은 상태에서는 푸시 공정 시 오정렬이 발생할 수 있으며, 이로 인해 박형의 제 1, 제 2 모기판이나 제 1, 제 2 보조기판의 모서리가 파손될 수 있다.In the state where the separate pushing process is not performed, misalignment may occur during the pushing process, so that the corners of the thin first and second mother board and the first and second auxiliary substrates may be broken.

또한, 상기 O-링 형태의 푸시 핀은 제 1, 제 2 보조기판과의 접촉 면적이 적어 푸시 공정이 불안정하게 진행될 수 있다.In addition, the O-ring type push pin has a small contact area with the first and second auxiliary substrates, so that the pushing process can proceed unstably.

이에 본 발명의 다른 예에서는 에지부 탈착 개시 점을 형성하기 위한 푸시 핀 형상을 푸시 핀 영역의 형상에 최적화시키는 한편, 푸시 방법을 정립하고자 하는데, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Thus, in another example of the present invention, the shape of the push pin for forming the edge desorption start point is optimized to the shape of the push pin area, and the push method is established, which will be described in detail with reference to the drawings.

도 6a 내지 도 6d는 본 발명에 따라 푸시 핀 영역(A)에 적용되는 푸시 핀 형태를 예를 들어 나타내는 단면도이다.6A to 6D are sectional views showing, for example, a push pin shape applied to the push pin region A according to the present invention.

또한, 도 7a 내지 도 7d는 본 발명에 따라 다른 푸시 핀 영역(B)에 적용되는 푸시 핀 형태를 예를 들어 나타내는 단면도이다.7A to 7D are sectional views showing, for example, a push pin shape applied to another push pin region B according to the present invention.

상기 도면들을 참조하면, 전술한 바와 같이 박형의 제 1, 제 2 모기판(101, 102)의 적어도 2개의 모서리는 방향 구별과 후 공정을 위해 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)에 비해 더 안쪽 방향으로 커팅이 이루어짐에 따라 상기 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 모서리 부분이 노출되게 되는데, 이 영역은 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 분리 공정을 시작하기 위해 푸시 핀(130a ~ 130d, 130a' ~ 130d')이 적용되는 푸시 핀 영역(A, B)으로 사용될 수 있다.Referring to the drawings, at least two corners of the thin first and second mother substrates 101 and 102 are formed on the first and second auxiliary substrates 110a and 110b for directional distinction and post- The corner portions of the first and second auxiliary substrates 110a and 110b are exposed as the cutting is performed in the inward direction compared to the first and second auxiliary substrates 110a and 110b. May be used as the push pin regions A and B to which the push pins 130a to 130d, 130a 'to 130d' are applied for starting.

이때, 상기 푸시 핀(130a ~ 130d, 130a' ~ 130d')은 노출된 푸시 핀 영역(A, B)과의 접촉 면적이 최대화되도록 그 접촉면을 상기 노출된 푸시 핀 영역(A, B)의 형상에 최적화시킬 수 있으며, 예를 들어 삼각형, 원형과 삼각형의 결합 형태, 사각형이나 원형의 형태를 가질 수 있다.At this time, the contact surfaces of the push pins 130a to 130d, 130a 'to 130d' are formed in the shape of the exposed push pin regions A and B so as to maximize the contact area with the exposed push pin regions A and B, For example, a triangle, a combination of a circle and a triangle, or a square or a circle.

도 8a 및 도 8b는 박형의 유리기판이나 보조기판의 끝단을 인식하는 방법을 예를 들어 나타내는 사시도로써, 푸시 핀 적용 공정의 성공률을 높이고 오정렬을 줄여 탈착 공정의 안정화를 도모하는 방법을 나타내고 있다.8A and 8B are perspective views showing, for example, a method of recognizing the ends of a thin glass substrate or auxiliary substrate, showing a method of increasing the success rate of the push pin application process and reducing misalignment to stabilize the desorption process.

이때, 상기 도 8a는 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하는 방법을 예를 들어 나타내고 있으며, 상기 도 8b는 제 1, 제 2 모기판의 끝단을 인식하는 방법을 예를 들어 나타내고 있다.8A illustrates a method of recognizing the ends of the first and second auxiliary boards. FIG. 8B illustrates a method of recognizing the ends of the first and second mother boards.

먼저, 상기 도 8a에 도시된 바와 같이, CCD(charge-coupled device) 카메라와 같은 관측장비(미도시)를 통해 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 끝단(P')을 인식하게 된다.First, as shown in FIG. 8A, the end P 'of the first and second auxiliary substrates 110a and 110b is recognized through observation equipment (not shown) such as a charge-coupled device (CCD) camera do.

이후, 상기 인식된 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 끝단(P')의 위치를 고려하여 푸시 핀(130)을 x축 및 y축으로 이동시켜 설정된 위치에 정렬시킨다.또는, 다른 방법으로 상기 도 8b에 도시된 바와 같이, CCD 카메라와 같은 관측장비(미도시)를 통해 제 1, 제 2 모기판(101, 102)의 끝단(P")을 인식하게 된다.Subsequently, the push pins 130 are moved in the x-axis and the y-axis in consideration of the position of the end P 'of the recognized first and second auxiliary substrates 110a and 110b, Alternatively, as shown in FIG. 8B, the end P "of the first and second mother boards 101 and 102 is recognized through observation equipment (not shown) such as a CCD camera.

이후, 상기 인식된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)의 끝단(P")의 위치를 고려하여 푸시 핀(130)을 -x축 및 -y축으로 이동시켜 설정된 위치에 정렬시킨다.Then, the push pins 130 are moved on the -x axis and the -y axis in consideration of the position of the end P "of the recognized first and second mother boards 101 and 102, and aligned.

도 9a 내지 도 9c는 박형의 유리기판이나 보조기판의 끝단을 인식한 후에 푸시 핀을 푸시 하는 방법을 예를 들어 나타내는 사시도이다.Figs. 9A to 9C are perspective views showing, for example, a method of pushing a push pin after recognizing the ends of a thin glass substrate or an auxiliary substrate.

전술한 방법으로 제 1, 제 2 모기판이나 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하여 푸시 핀을 정렬한 후에는 일 예로, 상기 도 9a에 도시된 바와 같이, 정렬된 상기 푸시 핀(130)을 z축 방향으로 이동시켜 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 분리 공정을 시작할 수 있다.After aligning the push pins by recognizing the ends of the first and second mother substrates and the first and second auxiliary substrates by the above-described method, as shown in FIG. 9A, the aligned push pins 130 May be moved in the z-axis direction to start the separation process of the first and second auxiliary substrates 110a and 110b.

다른 일 예로, 상기 도 9b에 도시된 바와 같이, 정렬된 상기 푸시 핀(130)을 z축 방향과 -z축 방향으로 교대로 이동시켜 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 분리 공정을 시작할 수도 있다(펄스 방식).As another example, as shown in FIG. 9B, the aligned push pins 130 are alternately moved in the z-axis direction and the -z axis direction to separate the first and second auxiliary substrates 110a and 110b (Pulse method).

또 다른 일 예로, 상기 도 9c에 도시된 바와 같이, 정렬된 상기 푸시 핀(130)을 z축 방향과 -z축 방향으로 교대로 이동시키되, 이동거리를 순차적으로 증가시키며 이동시켜 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 분리 공정을 시작할 수도 있다(순차적 펄스 방식).As another example, as shown in FIG. 9C, the aligned push pins 130 are alternately moved in the z-axis direction and the -z axis direction, and the movement distance is sequentially increased and moved, 2 auxiliary substrates 110a and 110b may be started (sequential pulse method).

이하, 공정이 완료되어 합착된 셀 상태의 액정패널로부터 보조기판을 분리하는 전체 공정을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the entire process of separating the auxiliary substrate from the liquid crystal panel in the cell state in which the process is completed is described in detail with reference to the drawings.

도 10은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 보조기판의 분리 공정을 예를 들어 나타내는 순서도이다.10 is a flowchart showing an example of a separation process of the auxiliary substrate according to the first embodiment of the present invention.

그리고, 도 11은 본 발명에 따른 탈착장비의 하부구성을 개략적으로 나타내는 평면도이다.11 is a plan view schematically showing the lower structure of the desorption apparatus according to the present invention.

도 12a 및 도 12b는 본 발명에 따른 나이프의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 13a 내지 도 13d는 상기 도 12a 및 도 12b에 도시된 나이프에 있어, 날의 형태를 예를 들어 나타내는 도면이다.FIGS. 12A and 12B are views schematically showing the construction of a knife according to the present invention, and FIGS. 13A to 13D are views showing the shape of a blade in the knife shown in FIGS. 12A and 12B, for example.

도 14는 본 발명에 따른 나이프를 이용한 에지부 탈착 공정의 순서를 예를 들어 나타내는 예시도이며, 도 15는 본 발명에 따른 나이프를 이용한 에지부 탈착 공정의 순서를 예를 들어 나타내는 다른 예시도이다.FIG. 14 is a view illustrating an example of the sequence of the edge detachment process using the knife according to the present invention, and FIG. 15 is another example showing the sequence of the edge detachment process using the knife according to the present invention .

또한, 도 16a 내지 도 16p는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 예시도이다.16A to 16P are diagrams for illustrating sequential steps of separating an auxiliary substrate in a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention.

도 16a에 도시된 바와 같이, 공정이 완료되어 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 공정 진행을 위해 부착한 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)을 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)으로부터 각각 분리하여야 하는데, 이를 위해 먼저 탈착장비의 테이블(190) 상에 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 로딩한다(S111).16A, the first and second mother boards 101 and 102 after completion of the process are connected to the first and second auxiliary boards 110a and 110b, The first and second mother boards 101 and 102 are loaded on the table 190 of the desorption apparatus (S111). The first and second mother boards 101 and 102 are separated from the first and second mother boards 101 and 102, respectively. .

이때, 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제 1 모기판(101) 상에 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판(102)이 적층된 상태일 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판(102) 상에 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제 1 모기판(101)이 적층된 상태일 수도 있다.At this time, the first and second mother boards 101 and 102 are connected to each other in a state in which the second mother board 102 on which the color filter boards are formed on the first mother board 101 on which the TFT array substrates are formed, . However, the present invention is not limited thereto. The first and second mother boards 101 and 102 may include a first mosquito board 102 having thin film transistor array substrates formed on a second mother substrate 102 on which color filter substrates are formed, The plate 101 may be in a laminated state.

이때, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제 1 모기판(101) 및 상기 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판(102)은 0.1t ~ 0.4t 정도의 박형의 유리기판으로 이루어질 수 있으며, 이 경우 공정진행을 위해 상기 박형의 유리기판, 즉 제 1 모기판(101) 및 제 2 모기판(102)에 각각 소정의 플라즈마 처리나 요철 형태의 패턴이 형성된 0.3t ~ 0.7t 정도의 제 1 보조기판(110a) 및 제 2 보조기판(110b)이 부착될 수 있다. 다만, 본 발명이 상기 박형의 제 1, 제 2 모기판(101, 102) 및 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 두께에 한정되는 것은 아니다.In this case, the first mother substrate 101 on which the thin film transistor array substrates are formed and the second mother substrate 102 on which the color filter substrates are formed may be formed of a thin glass substrate having a thickness of about 0.1 t to 0.4 t, The first mother substrate 101 and the second mother substrate 102 are subjected to a predetermined plasma process or a pattern of concavo-convex pattern to form a first auxiliary substrate (about 0.3 to 0.7t) 110a and a second auxiliary substrate 110b may be attached. However, the present invention is not limited to the thicknesses of the first and second mother substrates 101 and 102 and the first and second auxiliary substrates 110a and 110b.

상기 박형의 제 1, 제 2 모기판(101, 102)과 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 합착은 각각 두 기판(101,110a, 102,110b)들을 진공 상태에서 접촉시킴으로써 가능한데, 이때 두 기판(101,110a, 102,110b)들간 합착력은 정전기력, 진공력 또는 표면장력 등으로 추정할 수 있다.The attachment of the thin first and second mother substrates 101 and 102 and the first and second auxiliary substrates 110a and 110b can be achieved by bringing the two substrates 101, 110a, 102 and 110b into contact with each other in a vacuum state. The combined force between the two substrates 101, 110a, 102, and 110b can be estimated by an electrostatic force, a vacuum force, a surface tension, or the like.

이때, 예를 들어 분리되어야 할 제 2 보조기판(110b)이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 테이블(190) 상에 로딩하게 되며, 상기 로딩된 제 1, 제 2 모기판(101, 102) 상부에는 다수의 진공 패드(vacuum pad)(140) 및 이들을 지지하는 진공 패드 플레이트(vacuum pad plate)(145)로 이루어진 진공 패드 유닛이 설치되어 있다.At this time, for example, the first and second mother boards 101 and 102 are loaded on the table 190 with the second auxiliary board 110b to be separated upward, A vacuum pad unit consisting of a plurality of vacuum pads 140 and a vacuum pad plate 145 for supporting the vacuum pads 140 is installed on the upper part of the mother substrate 101,

이러한 탈착장비의 구성을 상기 도 11을 참조하여 보다 상세히 설명하면, 상기 탈착장비는 제 1, 제 2 보조기판(110a, 110b)의 분리를 위해 테이블(190)의 좌우(또는, 전, 후단)에 위치하는 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b) 및 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b) 사이에 세로 방향으로 길게 배열된 에어 나이프(162)를 구비할 수 있다.11, the detachable device includes left and right (or front and rear) ends of the table 190 for separating the first and second auxiliary substrates 110a and 110b, And an air knife 162 arranged longitudinally between the first and second knives 150a and 150b and the first and second knives 150a and 150b.

또한, 상기의 탈착장비는 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b) 및 에어 나이프(162)의 직선 운동을 위한 LM 가이드(Linear Motion guide)(163)와 상기 테이블(190)의 일측에 설치되어 동력을 전달하는 서보 모터(servo motor)(164) 및 케이블 베어(cable veyor)(165)를 구비할 수 있다.The desorption apparatus includes an LM guide (linear motion guide) 163 for linear motion of the first and second knives 150a and 150b and the air knife 162, A servo motor 164 and a cable veyor 165 for transmitting power.

또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 탈착장비는 테이블(190) 상에 로딩된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)과 진공 패드 유닛과의 얼라인을 위한 얼라인 유닛, 상기 진공 패드 유닛을 상하로 이동시키기 위한 진공 패드 이송유닛 및 얼라인된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 고정시키기 위한 진공 척(vacuum chuck) 등을 추가로 구비할 수 있다.Although not shown in the drawing, the desorption apparatus includes first and second mother boards 101 and 102 loaded on a table 190, an align unit for aligning the vacuum pad unit with the first and second mother boards 101 and 102, And a vacuum chuck for fixing the aligned first and second mother boards 101 and 102. The vacuum puck transfer unit may include a vacuum chuck for moving the first and second mother boards 101 and 102,

이와 같이 구성된 탈착장비의 테이블(190) 상에 로딩된 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 전술한 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 진공 패드 유닛과 얼라인을 맞추게 된다(S112).The first and second mother boards 101 and 102 loaded on the table 190 of the thus configured desorption apparatus are aligned with the upper vacuum pad unit through the above-described alignment unit (S112).

다음으로, 도 16b에 도시된 바와 같이, 그 접촉면이 삼각형, 원형과 삼각형의 결합 형태, 사각형이나 원형의 형태를 가진 푸시 핀(130)을 이용하여 상기 제 2 보조기판(110b) 모서리의 노출된 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 2 보조기판(110b)과 박형의 유리기판, 즉 제 2 모기판(102) 사이에 나이프 진입공간을 형성해준다(S113-1).Next, as shown in FIG. 16B, the contact surfaces of the first auxiliary substrate 110b and the second auxiliary substrate 110b are exposed using a push pin 130 having a triangular shape, a circular and triangular combination shape, and a rectangular or circular shape, The push pin region is pressed upward with a predetermined pressure to form a knife entry space between the second auxiliary substrate 110b and the thin glass substrate, that is, the second mother substrate 102 (S113-1).

다음으로, 도 16c에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 보조기판(110b)과 제 2 모기판(102) 사이의 모서리 공간, 즉 나이프 진입공간에 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)를 진입시키고, 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)를 테이블의 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판(110b)과 제 2 모기판(102) 사이의 에지부를 탈착 하여 에어 나이프의 진입공간을 확보한다(S113-2, S113-3).Next, as shown in FIG. 16C, the first and second knives 150a and 150b are inserted into the edge spaces between the second auxiliary board 110b and the second mother board 102, that is, And the edge portions between the second auxiliary substrate 110b and the second mother substrate 102 are detached by moving the first and second knives 150a and 150b in the other direction in the table, Thereby securing an entry space (S113-2, S113-3).

이때, 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)의 이동과 함께 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)에 구비된 에어 홀을 통해 에어를 분사함으로써 전술한 에어 나이프의 진입공간을 원활하게 확보할 수 있다.At this time, by moving the first and second knives 150a and 150b and injecting air through the air holes provided in the first and second knives 150a and 150b, .

상기 에어 홀은 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b) 내에 설치될 수도 있으나, 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)와 따로 설치될 수도 있다.The air holes may be provided in the first and second knives 150a and 150b, but they may be installed separately from the first and second knives 150a and 150b.

상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)의 구체적인 구성은 상기 도 12a 및 도 12b를 참조하면, 0.1t 정도의 나이프 날(151)과 상기 나이프 날(151)을 수납하는 몸체(152) 및 상기 몸체(152)로부터 연장되어 배관(154)을 감싸는 연장부(153)로 이루어진다.12A and 12B, the first and second knives 150a and 150b have a knife blade 151 having a size of about 0.1t, a body 152 for storing the knife blade 151, And an extension 153 extending from the body 152 and surrounding the pipe 154.

이때, 상기 배관(154)은 투입되는 에어가 이동하는 통로로 상기 배관(154)을 통해 상기 몸체(152) 내로 이동된 에어는 에어 파이프(155)를 통해 몸체(152) 하부의 다수의 에어 홀(157)을 통해 분사되게 된다. 이때, 상기 도면들은 에어 홀(157)이 몸체(152)의 하부면에 설치된 경우를 예를 들어 나타내고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 에어 홀(157)은 몸체(152)의 일 측면에 형성될 수도 있다.The pipeline 154 is a path through which air to be introduced moves and the air that has been moved into the body 152 through the pipeline 154 is passed through an air pipe 155 to a plurality of air holes (Not shown). The air holes 157 are formed on the lower surface of the body 152. However, the present invention is not limited thereto, and the air holes 157 may be formed on the lower surface of the body 152, Or may be formed on the side surface.

그리고, 상기 나이프 날(151)은 소정의 볼트(156)에 의해 몸체(152)의 상부면에 고정되게 되며, 그 형태는 상기 도 13a 내지 도 13d를 참조하면, 직사각형, 사선형, 삼각형 및 원형 등 다양하게 이루어질 수 있다.13A to 13D, the knife blade 151 is fixed to the upper surface of the body 152 by a predetermined bolt 156. The shape of the knife blade 151 is rectangular, quadrangular, triangular, And the like.

또한, 상기 나이프 날(151)은 SUS(Steel Use Stainless)와 같은 금속 이외에 폴리에틸렌테레프탈레이트(Polyethylene Terephthalate; PET), 고밀도 폴리에틸렌(High Density Poly Ethylene; HDPE)와 같은 플라스틱으로 형성될 수 있다.The knife blade 151 may be formed of a plastic such as polyethylene terephthalate (PET) or high density polyethylene (HDPE) in addition to a metal such as SUS (Steel Use Stainless).

이와 같이 구성된 제 1, 제 2 나이프를 이용한 에지부 탈착 공정은 상기 도 14 또는 도 15에 도시된 순서에 따라 이루어질 수 있다. 다만, 본 발명이 상기 도 14 또는 도 15에 도시된 에지부 탈착 공정의 순서에 한정되는 것은 아니다.The edge portion desorption process using the first and second knives thus configured may be performed according to the procedure shown in FIG. 14 or FIG. However, the present invention is not limited to the order of the edge portion desorption process shown in FIG. 14 or FIG.

상기 도 14을 예를 들면, 테이블(190)의 전단의 좌우에 2개의 나이프가 설치되는 경우, 그 중 하나의 나이프를 테이블(190)의 세로 방향(① 방향)으로 이동시켜 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 일 에지부를 탈착하며, 이동된 나이프는 원래의 위치로 복귀하게 된다. 이후, 상기 2개의 나이프를 테이블(190)의 가로 방향(②, ③ 방향)으로 이동시켜 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 상하 에지부를 탈착하며, 이동된 나이프는 원래의 위치로 복귀하게 된다. 이와 달리 상기 도 15를 예를 들면, 테이블(190)의 전, 후단에 각각 2개의 나이프가 설치되는 경우, 전, 후단 각각 하나의 나이프를 테이블(190)의 세로 방향(①,①' 방향)으로 이동시켜 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 좌우 에지부를 탈착하며, 이동된 나이프는 원래의 위치로 복귀하게 된다. 이후, 상기 각각 2개의 나이프를 테이블(190)의 가로 방향(②,②', ③,③' 방향)으로 반만큼 이동시켜 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 상하 에지부를 탈착하며, 이동된 나이프는 원래의 위치로 복귀하게 된다.14, for example, when two knives are provided on the left and right of the front end of the table 190, one of the knives is moved in the longitudinal direction of the table 190 The one edge portion between the second mother substrate is removed, and the moved knife is returned to its original position. Thereafter, the two knives are moved in the horizontal direction (the second and third directions) of the table 190 to detach the upper and lower edge portions between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, and the moved knife is returned to its original position do. 15, for example, when two knives are provided on the front and rear ends of the table 190, one knife at each of the front and rear ends is disposed in the longitudinal direction of the table 190 So that the left and right edge portions between the second auxiliary substrate and the second mother substrate are removed, and the moved knife is returned to its original position. Then, the upper and lower edge portions between the second auxiliary board and the second mother board are detached by moving the two knives by half in the horizontal direction (direction of?,? ',?, And?') Of the table 190, The knife is returned to its original position.

이와 같이 나이프를 이용하여 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 에지부를 탈착 한 후에, 도 16d에 도시된 바와 같이, 진공 패드 플레이트(145)가 하강하고, 진공 패드(140)의 진공을 켜서 제 2 보조기판(110b) 표면에 진공 패드(140)가 부착되게 된다.After the edge portion between the second auxiliary substrate and the second mother substrate is detached using the knife as described above, the vacuum pad plate 145 is lowered and the vacuum pad 140 is vacuumed The vacuum pad 140 is attached to the surface of the second auxiliary substrate 110b.

이후, 상기 도 16d 내지 도 16h에 도시된 바와 같이, 진공 패드 플레이트(145)를 10mm, 20mm, ...., 진공 패드 플레이트(145)의 대기 위치와 같이 순차적으로 상승시키면서 에어 나이프(162)를 진입시키며 상기 제 2 보조기판(110b)과 제 2 모기판(102) 사이에 형성된 공간으로 에어를 분사하여 제 2 보조기판(110b)의 탈착을 진행하게 된다(S113-4). 다만, 본 발명이 전술한 제 2 보조기판(110b)의 탈착 방법에 한정되는 것은 아니다.16A to 16H, the vacuum knife plate 145 is sequentially raised from the standby position of the vacuum pad plate 145 by 10 mm, 20 mm, And the air is sprayed into the space formed between the second auxiliary substrate 110b and the second mother substrate 102 to advance the detachment of the second auxiliary substrate 110b (S113-4). However, the present invention is not limited to the above-described method of attaching and detaching the second auxiliary substrate 110b.

이후, 도 16i에 도시된 바와 같이, 제 2 보조기판(110b)이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판(101, 102)을 상하 반전한 후, 다시 상기 탈착장비의 테이블(190) 상에 로딩하게 된다(S114).Thereafter, as shown in FIG. 16I, the first and second mother boards 101 and 102, on which the second auxiliary board 110b is separated, are reversed up and down, and then on the table 190 of the desorption apparatus (S114).

즉, 상기 테이블(190) 상에는 분리되어야 할 제 1 보조기판(110a)이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판(101, 102)이 로딩되게 되며, 상기 로딩된 제 1, 제 2 모기판(101, 102) 상부에는 전술한 진공 패드 유닛이 설치되어 있다.That is, the first and second mother boards 101 and 102 are loaded on the table 190 with the first auxiliary board 110a to be separated upward, and the first and second mother boards The above-described vacuum pad unit is provided on the upper part of the housing 101, 102.

이렇게 탈착장비의 테이블(190) 상에 로딩된 상기 제 1, 제 2 모기판(101, 102)은 전술한 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 진공 패드 유닛과 얼라인을 맞추게 된다(S115).The first and second mother boards 101 and 102 loaded on the table 190 of the desorption apparatus are aligned with the upper vacuum pad unit through the above-described alignment unit (S115).

이후, 도 16j에 도시된 바와 같이, 전술한 푸시 핀(130)을 이용하여 상기 제 1 보조기판(110a) 모서리의 노출된 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 1 보조기판(110a)과 박형의 유리기판, 즉 제 1 모기판(101) 사이에 나이프 진입공간을 형성해준다(S116-1).16J, the push pin region of the first auxiliary substrate 110a may be pressed upward by a predetermined pressure using the push pin 130 to form the first auxiliary substrate 110a, And a glass substrate, that is, a first mother substrate 101, is formed (S116-1).

다음으로, 도 16k에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 보조기판(110a)과 제 1 모기판(101) 사이의 모서리 공간, 즉 나이프 진입공간에 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)를 진입시키고, 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)를 테이블의 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보조기판(110a)과 제 1 모기판(101) 사이의 에지부를 탈착 하여 에어 나이프의 진입공간을 확보한다(S116-2, S116-3).Next, as shown in FIG. 16K, the first and second knives 150a and 150b are inserted into the edge spaces between the first auxiliary substrate 110a and the first mother substrate 101, that is, And the edge portions between the first auxiliary substrate 110a and the first mother substrate 101 are detached by moving the first and second knives 150a and 150b in the other direction of the table, Thereby securing an entry space (S116-2, S116-3).

이때, 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)의 이동과 함께 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)에 구비된 에어 홀을 통해 에어를 분사함으로써 전술한 에어 나이프의 진입공간을 원활하게 확보할 수 있다.At this time, by moving the first and second knives 150a and 150b and injecting air through the air holes provided in the first and second knives 150a and 150b, .

전술한 바와 같이, 상기 에어 홀은 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b) 내에 설치될 수도 있으나, 상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)와 따로 설치될 수도 있다.As described above, the air holes may be provided in the first and second knives 150a and 150b, but they may be installed separately from the first and second knives 150a and 150b.

상기 제 1, 제 2 나이프(150a, 150b)를 이용한 에지부 탈착 공정은 전술한 도 14 또는 도 15에 도시된 순서에 따라 이루어질 수 있다. 다만, 본 발명이 상기 도 14 또는 도 15에 도시된 에지부 탈착 공정의 순서에 한정되는 것은 아니다.The edge portion desorption process using the first and second knives 150a and 150b may be performed according to the procedure shown in FIG. 14 or FIG. However, the present invention is not limited to the order of the edge portion desorption process shown in FIG. 14 or FIG.

전술한 바와 같이 상기 도 14을 예를 들면, 테이블(190)의 전단의 좌우에 2개의 나이프가 설치되는 경우, 그 중 하나의 나이프를 테이블(190)의 세로 방향(① 방향)으로 이동시켜 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 일 에지부를 탈착하며, 이동된 나이프는 원래의 위치로 복귀하게 된다. 이후, 상기 2개의 나이프를 테이블(190)의 가로 방향(②, ③ 방향)으로 이동시켜 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 상하 에지부를 탈착하며, 이동된 나이프는 원래의 위치로 복귀하게 된다. 이와 달리 상기 도 15를 예를 들면, 테이블(190)의 전, 후단에 각각 2개의 나이프가 설치되는 경우, 전, 후단 각각 하나의 나이프를 테이블(190)의 세로 방향(①,①' 방향)으로 이동시켜 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 좌우 에지부를 탈착하며, 이동된 나이프는 원래의 위치로 복귀하게 된다. 이후, 상기 각각 2개의 나이프를 테이블(190)의 가로 방향(②,②', ③,③' 방향)으로 반만큼 이동시켜 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 상하 에지부를 탈착하며, 이동된 나이프는 원래의 위치로 복귀하게 된다.14, for example, when two knives are provided on the left and right of the front end of the table 190, one knife is moved in the longitudinal direction of the table 190 1 auxiliary substrate and the first mother substrate, and the moved knife is returned to its original position. Thereafter, the two knives are moved in the horizontal direction (the directions of [2] and [3]) of the table 190 to detach the upper and lower edge portions between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, and the moved knife is returned to its original position do. 15, for example, when two knives are provided on the front and rear ends of the table 190, one knife at each of the front and rear ends is disposed in the longitudinal direction of the table 190 The left and right edge portions between the first auxiliary substrate and the first mother substrate are removed, and the moved knife is returned to its original position. Thereafter, the upper and lower edge portions between the first auxiliary substrate and the first mother substrate are detached by moving the two knives by half in the horizontal direction (direction 2, 2, 3, and 3 ') of the table 190, The knife is returned to its original position.

이와 같이 나이프를 이용하여 제 1 보조기판(110a)과 제 1 모기판(101) 사이의 에지부를 탈착 한 후에, 도 16l에 도시된 바와 같이, 진공 패드 플레이트(145)가 하강하고, 진공 패드(140)의 진공을 켜서 제 1 보조기판(110a) 표면에 진공 패드(140)가 부착되게 된다.After the edge portion between the first auxiliary substrate 110a and the first mother substrate 101 is detached using the knife, the vacuum pad plate 145 is lowered and the vacuum pad The vacuum pad 140 is attached to the surface of the first auxiliary substrate 110a.

이후, 상기 도 16l 내지 도 16p에 도시된 바와 같이, 진공 패드 플레이트(145)를 10mm, 20mm, ...., 진공 패드 플레이트(145)의 대기 위치와 같이 순차적으로 상승시키면서 에어 나이프(162)를 진입시키며 상기 제 1 보조기판(110a)과 제 1 모기판(101) 사이에 형성된 공간으로 에어를 분사하여 제 1 보조기판(110a)의 탈착을 진행하게 된다(S116-4). 다만, 본 발명이 전술한 제 1 보조기판(110a)의 탈착 방법에 한정되는 것은 아니다.The vacuum pad plate 145 is sequentially raised to the standby position of 10 mm, 20 mm, ..., and the vacuum pad plate 145 as shown in FIGS. 16L to 16P, And the air is sprayed into the space formed between the first auxiliary substrate 110a and the first mother substrate 101 to advance the first auxiliary substrate 110a (S116-4). However, the present invention is not limited to the above-described method of attaching and detaching the first auxiliary substrate 110a.

이와 같이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 나이프로 박형의 유리기판과 보조기판 사이의 에지부를 탈착하며 에어 나이프를 통해 그 사이에 에어를 주입함으로써 공정이 완료되어 합착된 셀 상태의 액정패널로부터 보조기판을 용이하게 분리할 수 있게 된다. 그 결과 공정의 안정화를 가져와 제품의 가격 경쟁력을 향상시킬 수 있게 된다.As described above, in the method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention, the edge portion between the thin glass substrate and the auxiliary substrate is detached and the air is injected therebetween through the air knife, The auxiliary substrate can be easily separated from the liquid crystal panel in the cemented cell state. As a result, the process can be stabilized and the price competitiveness of the product can be improved.

더욱이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법은 에지부 탈착 개시 점을 형성하기 위한 푸시 핀 형상을 최적화함으로써 푸시 핀 적용 공정의 성공률을 향상시킬 수 있게 된다. 그 결과 보조기판의 탈착 시 박형의 유리기판 및 보조기판의 파손이 저감되게 된다.In addition, the method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention can improve the success rate of the push pin application process by optimizing the shape of the push pin for forming the edge desorption start point. As a result, damage to the thin glass substrate and the auxiliary substrate is reduced when the auxiliary substrate is detached.

한편, 전술한 본 발명의 제 1 실시예의 경우에는 진공 패드 유닛과 에어 나이프를 통한 보조기판의 탈착 전에 나이프의 이동을 통한 에지부 탈착을 진행함으로써 보조기판과 박형의 유리기판 사이의 측면에 존재하는 이물이 물리적으로 제거될 수 있다. 참고로, 나이프를 이용한 에지부 탈착이 진행되지 않은 상태에서 에어 나이프를 이용한 보조기판의 탈착이 진행되는 경우에는 탈착을 위한 강한 에어의 분사로 인해 보조기판 곡률의 증가로 기판들의 파손 가능성이 증가하게 된다.On the other hand, in the case of the above-described first embodiment of the present invention, the edge portion is detached through the movement of the knife before the attachment and detachment of the auxiliary substrate through the vacuum pad unit and the air knife, The foreign object can be physically removed. For reference, when the detaching of the auxiliary substrate using the air knife is progressed while the edge detachment using the knife is not progressed, the possibility of the substrate being damaged due to the increase of the curvature of the auxiliary substrate due to the strong air injection for desorption is increased do.

이때, 만약 보조기판의 탈착 전에 이물이 제거되지 않고 남아있는 경우에는 상기 진공 패드 유닛과 에어 나이프를 통한 보조기판의 탈착과정에서 기판들, 특히 박형의 유리기판이 파손될 수 있다. 즉, 상기 이물은 컬러필터공정이나 어레이공정 또는 셀 공정에서 사용하는 약액이 보조기판과 박형의 유리기판 사이에 침투하여 제거되지 않고 남아있는 물질로써 보조기판과 박형의 유리기판을 잡아주는 접착제 역할을 하며, 이물의 접착력이 정전 합착력보다 강하여 탈착 시 힘의 불균형 포인트(point)를 형성하여 박형의 유리기판의 파손을 유발한다.In this case, if the foreign matter remains before removal of the auxiliary substrate, the substrates, particularly the thin glass substrate, may be damaged during the detachment of the auxiliary substrate through the vacuum pad unit and the air knife. That is, the foreign matter is a residual material that is penetrated between the auxiliary substrate and the thin glass substrate by the chemical solution used in the color filter process, the array process or the cell process, and acts as an adhesive for holding the auxiliary substrate and the thin glass substrate And the adhesion of foreign matter is stronger than the electrostatic adhesion force, so that an unbalanced point of force is generated at the time of desorption, thereby causing breakage of the thin glass substrate.

이에 상기 나이프를 이용한 이물의 물리적 제거방법 이외에 또 다른 방법으로 본 발명의 제 2 실시예의 경우에는 보조기판과 박형의 유리기판 사이에 부착된 이물을 레이저 또는 박형 필름이나 액체질소를 이용하여 미리 제거함으로써 보조기판의 탈착 시 이물에 기인한 불량을 제거할 수 있게 되는데, 이를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.In the second embodiment of the present invention, in addition to the physical removal of the foreign object by using the knife, foreign matter adhered between the auxiliary substrate and the thin glass substrate is removed in advance by using a laser or a thin film or liquid nitrogen It is possible to eliminate defects due to foreign substances when the auxiliary substrate is detached, which will be described in detail with reference to the drawings.

도 17은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치의 제조방법을 개략적으로 나타내는 흐름도이다.17 is a flowchart schematically showing a method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention.

이때, 전술한 바와 같이 상기 도 17은 액정적하방식으로 액정층을 형성하는 경우의 액정표시장치의 제조방법을 예를 들어 나타내고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 액정주입방식으로 액정층을 형성하는 경우의 액정표시장치의 제조방법에도 적용 가능하다.17 illustrates a method of manufacturing a liquid crystal display device in a case where a liquid crystal layer is formed by a liquid crystal dropping method. However, the present invention is not limited to this, The present invention is also applicable to a liquid crystal display device manufacturing method for forming a liquid crystal layer.

액정표시장치의 제조공정은 크게 하부 어레이 기판에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이공정과 상부 컬러필터 기판에 컬러필터를 형성하는 컬러필터공정 및 셀 공정으로 구분될 수 있다.The manufacturing process of the liquid crystal display device can be largely divided into a driving element array process for forming driving elements on the lower array substrate, a color filter process for forming a color filter on the upper color filter substrate, and a cell process.

전술한 바와 같이 본 발명에서는 0.1t ~ 0.4t 정도의 두께를 갖는 박형의 유리기판을 이용하여 어레이공정과 컬러필터공정 및 셀 공정을 진행하는데, 이때 박형의 유리기판을 보조기판에 부착하여 공정을 진행함으로써 박형의 유리기판의 휨의 영향을 최소화하고 이동 중 박형의 유리기판의 파손이 없도록 하는 것을 특징으로 한다.As described above, in the present invention, an array process, a color filter process, and a cell process are performed using a thin glass substrate having a thickness of about 0.1 t to 0.4 t. At this time, a thin glass substrate is attached to an auxiliary substrate, Thereby minimizing the influence of the warping of the thin glass substrate and preventing the breakage of the thin glass substrate during movement.

우선, 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판을 어레이공정 및 컬러필터공정의 제조라인에 투입하기 전에 상기 0.1t ~ 0.4t의 박형의 유리기판에 0.3t ~ 0.7t 정도의 보조기판을 부착한다(S201). 다만, 본 발명이 상기 박형의 유리기판 및 보조기판의 두께에 한정되는 것은 아니다.First, an auxiliary substrate of about 0.3 t to 0.7 t is attached to the above-mentioned thin glass substrate of 0.1 t to 0.4 t before a thin glass substrate of 0.1 t to 0.4 t is put into a manufacturing line of an array process and a color filter process (S201). However, the present invention is not limited to the thicknesses of the thin glass substrate and the auxiliary substrate.

상기 박형의 유리기판과 보조기판의 합착은 두 기판들을 진공 상태에서 접촉시킴으로써 가능한데, 이때 두 기판들간 합착력은 정전기력, 진공력 또는 표면장력 등으로 추정할 수 있다.The adhesion between the thin glass substrate and the auxiliary substrate can be achieved by bringing the two substrates into contact in a vacuum state. The combining force between the two substrates can be estimated by electrostatic force, vacuum force, surface tension, or the like.

이때, 본 발명은 보조기판에 불소 등을 이용한 플라즈마 처리나 요철 패턴을 형성하여 합착력을 완화시킴으로써 박형 유리기판과의 탈착을 용이하게 할 수 있다. 다만, 본 발명이 전술한 보조기판의 합착방법에 한정되는 것은 아니며, 본 발명은 상기 박형의 유리기판에 상기 보조기판을 합착하기 위해 접착제나 표면처리 없이 진공상태에서 이루어질 수 있으며, 이때 상기 두 기판들은 진공 중에서 정전기력, 진공력, 반데르발스 힘 또는 표면장력 등에 의해 합착될 수도 있다.At this time, the present invention can easily detach and attach the auxiliary substrate to and from the thin glass substrate by forming a plasma treatment or an irregular pattern using fluorine or the like on the auxiliary substrate to alleviate the bonding force. However, the present invention is not limited to the above-described method of attaching the auxiliary substrate. The present invention can be performed in a vacuum state without an adhesive or a surface treatment for attaching the auxiliary substrate to the thin glass substrate, May be adhered in vacuum by electrostatic force, vacuum force, van der Waals force, surface tension, or the like.

이와 같이 박형의 유리기판에 보조기판이 부착된 후, 상기 보조기판이 부착된 어레이 기판은 어레이공정에 의해 어레이 기판에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인과 데이터라인을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막 트랜지스터를 형성한다(S202). 또한, 상기 어레이공정을 통해 상기 박막 트랜지스터에 접속되어 박막 트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.After the auxiliary substrate is attached to the thin glass substrate, the array substrate to which the auxiliary substrate is attached is arranged on the array substrate by the array process to form a plurality of gate lines and data lines defining the pixel region, A thin film transistor, which is a driving element connected to the gate line and the data line, is formed in each of them (S202). In addition, a pixel electrode connected to the thin film transistor through the array process and driving the liquid crystal layer as a signal is applied through the thin film transistor is formed.

또한, 전술한 보조기판이 부착된 컬러필터 기판에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 적, 녹 및 청색의 서브컬러필터로 구성되는 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S203). 이때, 횡전계방식의 액정표시장치를 제작하는 경우에는 상기 어레이공정을 통해 상기 화소전극이 형성된 어레이 기판에 상기 공통전극을 형성하게 된다.In addition, the color filter substrate having the auxiliary substrate described above forms a color filter layer composed of sub-color filters of red, green, and blue colors and a common electrode for realizing color by a color filter process (S203). At this time, when the transverse electric field type liquid crystal display device is manufactured, the common electrode is formed on the array substrate on which the pixel electrode is formed through the array process.

이어서, 상기 컬러필터 기판 및 어레이 기판에 각각 배향막을 인쇄한 후, 컬러필터 기판 및 어레이 기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트 각과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙 처리한다(S204, S205).Subsequently, an alignment film is printed on each of the color filter substrate and the array substrate, and alignment regulating force or surface fixing force (i.e., pre-tilt angle and alignment direction) is provided to the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer formed between the color filter substrate and the array substrate The alignment film is rubbed (S204, S205).

이와 같이 러빙 처리된 상기 컬러필터 기판에는 실링재를 도포하여 소정의 실 패턴을 형성하는 동시에 상기 어레이 기판에는 액정을 적하하여 액정층을 형성하게 된다(S206, S207).A sealing material is applied to the rubbed color filter substrate to form a predetermined seal pattern, and a liquid crystal layer is formed by dropping liquid crystal on the array substrate (S206, S207).

한편, 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판은 각각 대면적의 모기판에 형성되어 있다. 다시 말해서, 대면적의 모기판 각각에 복수의 패널영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 박막 트랜지스터 또는 컬러필터층이 형성되게 된다.On the other hand, the color filter substrate and the array substrate are formed on a large-sized mother substrate. In other words, a plurality of panel regions are formed on each of the large-sized mother substrate, and a thin film transistor or color filter layer serving as a driving element is formed on each of the panel regions.

이때, 상기 적하방식은 디스펜서를 이용하여 복수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 제 1 모기판이나 복수의 컬러필터 기판이 배치된 제 2 모기판의 화상표시 영역에 액정을 적하 및 분배하고, 상기 제 1, 제 2 모기판을 합착하는 압력에 의해 액정을 화상표시 영역 전체에 균일하게 분포되도록 함으로써, 액정층을 형성하는 방식이다.At this time, the dropping method drops and dispenses liquid crystal in an image display area of a large-area first mother substrate or a second mother substrate on which a plurality of color filter substrates are arranged using a dispenser, The liquid crystal layer is formed by uniformly distributing the liquid crystal in the entire image display area by the pressure of attaching the first and second mother substrates to each other.

따라서, 상기 액정패널에 적하방식을 통해 액정층을 형성하는 경우에는 액정이 화상표시 영역 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있도록 실 패턴이 화소부 영역 외곽을 감싸는 폐쇄된 패턴으로 형성되어야 한다.Therefore, when the liquid crystal layer is formed on the liquid crystal panel through the dropping method, the seal pattern must be formed in a closed pattern surrounding the periphery of the pixel region so as to prevent the liquid crystal from leaking out of the image display region.

상기 적하방식은 진공주입 방식에 비해 짧은 시간에 액정을 적하할 수 있으며, 액정패널이 대형화될 경우에도 액정층을 매우 신속하게 형성할 수 있다. 또한, 기판 위에 액정을 필요한 양만 적하하기 때문에 진공주입 방식과 같이 고가의 액정을 폐기함에 따른 액정패널의 단가 상승을 방지하여 제품의 가격경쟁력을 강화시키게 된다.The dropping method can drop the liquid crystal in a shorter time than the vacuum injection method, and even when the liquid crystal panel is enlarged, the liquid crystal layer can be formed very quickly. In addition, since only a necessary amount of liquid crystal is dropped onto the substrate, an increase in the price of the liquid crystal panel due to disposal of expensive liquid crystal such as a vacuum injection method is prevented, thereby enhancing the price competitiveness of the product.

이후, 상기와 같이 액정이 적하되고 실링재가 도포된 상기 제 1 모기판과 제 2 모기판을 정렬한 상태에서 압력을 가하여 상기 실링재에 의해 상기 제 1 모기판과 제 2 모기판을 합착 함과 동시에 압력의 인가에 의해 적하된 액정을 액정패널 전체에 걸쳐 균일하게 퍼지게 한다(S208). 이와 같은 공정에 의해 대면적의 제 1, 제 2 모기판에는 액정층이 형성된 복수의 액정패널이 형성되며, 이러한 복수의 액정패널이 형성된 대면적의 제 1, 제 2 모기판을 보조기판으로부터 분리한 후, 가공, 절단하여 복수의 액정패널로 분리하고 각각의 액정패널을 검사함으로써 액정표시장치를 제작하게 된다(S209, S210).Thereafter, the first mother substrate and the second mother substrate are bonded together by applying a pressure in a state in which the first mother substrate and the second mother substrate, to which the liquid crystal is dropped and the sealing material is coated, are aligned, The liquid crystal dropped by the application of the pressure is uniformly spread over the liquid crystal panel (S208). By this process, a plurality of liquid crystal panels having a liquid crystal layer are formed on the first and second large-sized mother substrates, and the first and second large-sized mother substrates on which the plurality of liquid crystal panels are formed are separated from the auxiliary substrate Then, the liquid crystal panel is processed and cut, separated into a plurality of liquid crystal panels, and each liquid crystal panel is inspected to manufacture a liquid crystal display device (S209, S210).

이때, 상기 본 발명의 제 2 실시예는 보조기판의 탈착 전에 레이저 또는 박형 필름이나 액체질소를 이용하여 보조기판과 박형의 유리기판 사이의 측면에 존재하는 이물을 제거하는 것을 특징으로 하며, 이물을 제거한 후에 전술한 본 발명의 제 1 실시예와 실질적으로 동일한 방법으로 액정패널로부터 보조기판을 분리하게 되는데, 이하 상기 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.At this time, the second embodiment of the present invention is characterized in that foreign matter existing on the side between the auxiliary substrate and the thin glass substrate is removed by using a laser or a thin film or liquid nitrogen before the attachment and detachment of the auxiliary substrate, After removing the auxiliary substrate, the auxiliary substrate is separated from the liquid crystal panel in substantially the same manner as the first embodiment of the present invention. Hereinafter, the process of removing the foreign substance and the auxiliary substrate will be described in detail with reference to the drawings.

도 18은 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 예시도로써, 보조기판을 들어올리는 탈착 방법은 기판들의 어느 한 부분에서 시작하여 기판들 전체로 순차적으로 진행되기 때문에 보조기판을 들어올리는 힘, 즉 압력을 센서로 감지하여 갑자기 압력이 커지는 부분을 찾아 그 곳의 이물을 제거하는 방법이다.FIG. 18 is a view illustrating an example of sequentially removing a foreign object and a separation step of an auxiliary substrate in a method of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention shown in FIG. 17, Since the desorption method starts from any one of the substrates and sequentially proceeds to all the substrates, a method of detecting the force of lifting the auxiliary substrate, that is, the pressure by the sensor, and locating the portion where the pressure suddenly increases, is removed .

즉, 제 1, 제 2 보조기판을 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 분리하는 과정에서 진공 패드나 진공 패드 플레이트의 상승 시 그 압력을 센서로 감지하게 된다(S211, S212). 이때, 탈착 방향을 따라 센서로 압력을 감지하게 된다.That is, in the process of separating the first and second auxiliary substrates from the first and second mother substrates, the sensor senses the pressure when the vacuum pad or the vacuum pad is lifted (S211, S212). At this time, the pressure is sensed by the sensor along the direction of detachment.

이때, 센서로 감지된 압력에 이상이 있는지 판단하게 되며, 이상이 있는 경우에는 이물이 발생되었다는 알람(alarm) 및 이물 발생을 모니터 등에 표시한다(S213). 상기 센서로 감지된 압력에 이상이 있는 부분은 탈착 시 힘의 불균형 포인트로써 이물에 의해 접착력이 강한 부분이다.At this time, it is determined whether there is an abnormality in the pressure sensed by the sensor. If there is an abnormality, an alarm indicating that a foreign object is generated and a foreign object occurrence are displayed on a monitor or the like (S213). The portion which is abnormal in the pressure sensed by the sensor is an unbalanced point of the force at the time of desorption, and is a portion having strong adhesive force by foreign matter.

이때, 이물이 발생된 경우, 레이저를 이용하여 압력에 이상이 감지된 부분의 이물을 제거하게 된다(S214).At this time, if a foreign object is generated, the foreign object in the portion where the abnormality is detected by the pressure is removed using the laser (S214).

이와 같이 이물이 제거된 후에는 제 1, 제 2보조기판을 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 분리하는 공정을 속행하게 된다(S236).After the foreign object is removed as described above, the process of separating the first and second auxiliary substrates from the first and second bonded mother boards is continued (S236).

도 19는 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 다른 예시도로써, 탈착 전 모든 기판들을 검사기에서 합착 에지를 따라 이물 검사를 진행하고 이물이 발생한 부분은 바로 제거하는 방법이다.19 is a diagram illustrating another example of a process of manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention shown in FIG. 17, which sequentially shows removal of a foreign object and separation of an auxiliary substrate. In the inspection machine, the foreign object inspection is performed along the joint edge, and the part where the foreign object is generated is immediately removed.

이를 위해 소정의 검사기를 통해 합착된 상태의 제 1, 제 2 모기판에 부착된 제 1, 제 2 보조기판의 에지를 따라 이물을 검사하다(S221).For this purpose, foreign objects are inspected along the edges of the first and second auxiliary substrates attached to the first and second mother substrates through a predetermined inspection unit (S221).

이때, 이물이 발행된 경우, 이물이 발생되었다는 알람 및 이물 발생을 모니터 등에 표시한다(S222). 그리고, 레이저를 이용하여 이물이 검출된 부분의 이물을 제거하게 되는데, 이러한 이물 검사 및 제거공정은 합착 에지의 모든 면에 대해 진행하게 된다(S223).At this time, if a foreign object is issued, an alarm and foreign object occurrence that a foreign object has occurred are displayed on a monitor or the like (S222). Then, the foreign object in the portion where the foreign object is detected is removed by using the laser. The foreign object inspection and removal process is performed on all the surfaces of the joint edge (S223).

이와 같이 이물제거가 완료된 후에는 제 1, 제 2 보조기판을 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 분리하는 공정을 진행하게 된다(S224).After the foreign object removal is completed, the first and second auxiliary substrates are separated from the first and second mother substrates (S224).

도 20은 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 또 다른 예시도로써, 박형 필름을 이용하여 제 1, 제 2 보조기판과 제 1, 제 2 모기판 사이에 존재하는 이물을 제거하는 동시에 그 사이의 에지부를 탈착 하는 방법이다.FIG. 20 is a view illustrating another example of a process of manufacturing a lightweight thin LCD according to a second embodiment of the present invention shown in FIG. 17, which sequentially removes foreign objects and separates the auxiliary substrate. Foreign matter existing between the first and second auxiliary boards and the first and second mother boards is removed and the edges between the first and second auxiliary boards are removed.

우선, 공정이 완료되어 합착된 제 1, 제 2 모기판을 탈착장비의 테이블 상에 로딩한다(S301).First, the first and second mother boards are loaded onto the table of the desorption apparatus after the process is completed (S301).

이때, 전술한 바와 같이 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판은 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제 1 모기판 상에 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판이 적층된 상태일 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판은 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판 상에 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제 1 모기판이 적층된 상태일 수도 있다.At this time, as described above, the first and second mother substrates may be laminated with a second mother substrate on which color filter substrates are formed on a first mother substrate having thin film transistor array substrates formed thereon. However, the present invention is not limited thereto, and the first and second mother substrates may be stacked with a first mother substrate on which TFT array substrates are formed on a second mother substrate on which color filter substrates are formed.

이때, 상기 박막 트랜지스터 어레이 기판들이 형성된 제 1 모기판 및 상기 컬러필터 기판들이 형성된 제 2 모기판은 0.1t ~ 0.4t 정도의 박형의 유리기판으로 이루어질 수 있으며, 이 경우 공정진행을 위해 상기 박형의 유리기판, 즉 제 1 모기판 및 제 2 모기판에 각각 소정의 플라즈마 처리나 요철 형태의 패턴이 형성된 0.3t ~ 0.7t 정도의 제 1 보조기판 및 제 2 보조기판이 부착될 수 있다. 다만, 본 발명이 상기 박형의 제 1, 제 2 모기판 및 제 1, 제 2 보조기판의 두께에 한정되는 것은 아니다.At this time, the first mother substrate on which the thin film transistor array substrates are formed and the second mother substrate on which the color filter substrates are formed may be formed of a thin glass substrate having a thickness of about 0.1 t to 0.4 t. In this case, A first auxiliary substrate and a second auxiliary substrate each having a predetermined plasma process and a concavo-convex pattern formed on a glass substrate, that is, a first mother substrate and a second mother substrate, each having a thickness of about 0.3t to 0.7t, However, the present invention is not limited to the thicknesses of the thin first and second mother substrates and the first and second auxiliary substrates.

이때, 예를 들어 분리되어야 할 제 2 보조기판이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판을 테이블 상에 로딩하게 된다.At this time, for example, the first and second mother boards are loaded on the table such that the second auxiliary board to be separated faces upward.

이와 같이 탈착장비의 테이블 상에 로딩된 제 1, 제 2 모기판은 얼라인 유닛을 통해 탈착장비와 얼라인을 맞추게 된다(S302).In this manner, the first and second mother boards loaded on the table of the desorption apparatus align the desorption apparatus with the alignment apparatus through the alignment unit (S302).

다음으로, 전술한 푸시 핀을 이용하여 상기 제 2 보조기판 모서리의 노출된 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 2 보조기판과 박형의 유리기판, 즉 제 2 모기판 사이에 박형 필름 진입공간을 형성해준다(S303-1). 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기의 박형 필름의 진입공간 형성 공정을 진행하지 않을 수도 있다.Next, the above-described push pin is used to press the exposed push-pin region of the second sub-substrate edge upward with a certain pressure to form a thin film film between the second auxiliary substrate and the thin glass substrate, Thereby forming a space (S303-1). However, the present invention is not limited thereto, and the process of forming the entrance space of the thin film may not be performed.

다음으로, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 모서리 공간, 즉 박형 필름 진입공간에 0.001mm ~ 1.0mm 두께의 박형 필름을 진입시키고, 상기 박형 필름을 테이블의 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이에 존재하는 이물을 제거하는 동시에 그 사이의 에지부를 탈착 한다(S303-2, S303-3). 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기의 이물 제거 공정만 진행할 수도 있다.Next, a thin film having a thickness of 0.001 mm to 1.0 mm is introduced into the edge space between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, that is, the thin film entering space, and the thin film is moved in one direction The foreign matter existing between the second auxiliary board and the second mother board is removed, and the edge portion between them is removed (S303-2, S303-3). However, the present invention is not limited thereto, and only the above-described foreign matter removing process may be performed.

상기 박형 필름은 유리로 이루어진 기판들에 대한 스크래치(scratch) 등의 손상을 최소화하기 위해 모스(Mohs) 경도 3이하의 PET(polyethylene terephthalate), PVC(Polyvinyl chloride), PE(polyethylene), PC(polycarbonate), LDPE(low density polyethylene), HDPE(high density polyethylene), EVA(ethylene vinyl acetate) 등의 물질을 사용할 수 있다.In order to minimize damage such as scratches on substrates made of glass, the thin film is made of polyethylene terephthalate (PET) having a Mohs hardness of 3 or less, PVC (polyvinyl chloride), PE (polyethylene), PC ), LDPE (low density polyethylene), HDPE (high density polyethylene), and EVA (ethylene vinyl acetate).

이러한 박형 필름은 두께가 얇아 물리력을 가할 경우 기판들 사이로 파고 들어 보조기판을 분리하게 되며, 기판들과의 접촉이 면 형태이기 때문에 탈착 시 상하 흔들림이 덜하여 기판들에 충격을 덜 줄 것으로 판단된다.When the thin film is thin, the auxiliary substrate is separated from the substrate when the physical strength is applied. Since the contact with the substrates is in the form of a plane, it is less likely to shake the substrates when the substrate is desorbed, .

이때, 상기 박형 필름의 이동과 함께 상기 박형 필름에 구비된 에어 홀을 통해 에어를 분사함으로써 전술한 이물 제거 및 에지부 탈착 공정을 원활하게 진행할 수도 있다.At this time, air can be sprayed through the air holes provided in the thin film along with the movement of the thin film, so that the above-described foreign matter removing and edge desorption processes can be smoothly performed.

상기 에어 홀은 상기 박형 필름 내에 설치될 수도 있으나, 상기 박형 필름과 따로 설치될 수도 있다.The air holes may be provided in the thin film, but they may be provided separately from the thin film.

이와 같이 박형 필름을 이용하여 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 이물을 제거하는 동시에 에지부를 탈착 한 후에는 상기 박형 필름과 에어 분사를 이용하여 제 2 보조기판의 탈착을 진행하게 된다(S303-4). 이때, 박형 필름만 사용할 경우 탈착을 위해 강한 힘이 필요로 하여 기판들 파손의 우려가 있으므로 에어 분사도 병행하여 기판들 파손을 최소화하고 탈착 속도도 향상시킬 수 있다. 이 경우 1차로 박형 필름이 점진적으로 제 2 보조기판을 분리하고 2차로 에어가 상기 제 2 보조기판의 분리를 촉진하기 때문에 에어 분사 압력은 전술한 제 1 실시예에 대비 적게 할 수 있다. 따라서 에어 패스 확보를 위한 제 2 보조기판 곡률 증가도 개선되며, 얼라인 불균일에 기인한 기판들 파손의 가능성도 낮출 수 있다. 다만, 본 발명이 상기 박형 필름을 이용한 탈착 방법에 한정되는 것은 아니다.After removing the foreign matter between the second auxiliary substrate and the second mother substrate by using the thin film and detaching the edge portion, the second auxiliary substrate is detached by using the thin film and the air jet (S303 -4). At this time, when only a thin film is used, strong force is required for desorption, and there is a fear of destruction of the substrates, so air blowing can also minimize destruction of substrates and improve desorption speed. In this case, since the first thin film gradually separates the second auxiliary substrate and the second air promotes the separation of the second auxiliary substrate, the air jetting pressure can be reduced compared to the first embodiment. Therefore, the curvature increase of the second auxiliary substrate for securing the air pass is also improved, and the possibility of destruction of the substrates due to the unevenness of the alignment can be lowered. However, the present invention is not limited to the desorption method using the thin film.

이후, 제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전한 후, 다시 상기 탈착장비의 테이블 상에 로딩하게 된다(S304).After the first and second mother substrates are separated from each other, the first and second mother substrates are reversed and then loaded on the table of the desorption apparatus (S304).

즉, 상기 테이블 상에는 분리되어야 할 제 1 보조기판이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판이 로딩되게 된다.That is, the first and second mother boards are loaded on the table with the first auxiliary board to be separated upward.

이렇게 탈착장비의 테이블 상에 로딩된 상기 제 1, 제 2 모기판은 전술한 얼라인 유닛을 통해 탈착장비와 얼라인을 맞추게 된다(S305).The first and second mother boards loaded on the table of the desorption apparatus are aligned with the desorption apparatus through the above-described alignment unit (S305).

이후, 전술한 푸시 핀을 이용하여 상기 제 1 보조기판 모서리의 노출된 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 1 보조기판과 박형의 유리기판, 즉 제 1 모기판 사이에 박형 필름 진입공간을 형성해준다(S306-1). 다만, 전술한 바와 같이 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기의 박형 필름의 진입공간 형성 공정을 진행하지 않을 수도 있다.Thereafter, the above-described push pin is used to press the exposed push-pin area of the first sub-substrate edge upward with a certain pressure to form a thin film entrance space between the first auxiliary substrate and the thin glass substrate, (S306-1). However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it is not necessary to proceed with the process of forming the entrance space of the thin film.

다음으로, 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 모서리 공간, 즉 박형 필름 진입공간에 전술한 박형 필름을 진입시키고, 상기 박형 필름을 테이블의 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이에 존재하는 이물을 제거하는 동시에 그 사이의 에지부를 탈착 한다(S306-2, S306-3). 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 상기의 이물 제거 공정만 진행할 수도 있다.Next, the aforementioned thin film is introduced into the edge space between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, that is, the thin film entering space, and the thin film is moved in the other direction in one direction of the table, Foreign objects existing between the substrate and the first mother substrate are removed, and the edges between them are removed (S306-2, S306-3). However, the present invention is not limited thereto, and only the above-described foreign matter removing process may be performed.

이때, 상기 박형 필름의 이동과 함께 상기 박형 필름에 구비된 에어 홀을 통해 에어를 분사함으로써 전술한 이물 제거 및 에지부 탈착 공정을 원활하게 진행할 수도 있다.At this time, air can be sprayed through the air holes provided in the thin film along with the movement of the thin film, so that the above-described foreign matter removing and edge desorption processes can be smoothly performed.

전술한 바와 같이, 상기 에어 홀은 상기 박형 필름 내에 설치될 수도 있으나, 상기 박형 필름과 따로 설치될 수도 있다.As described above, the air holes may be provided in the thin film, but they may be installed separately from the thin film.

이와 같이 박형 필름을 이용하여 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 이물을 제거하는 동시에 에지부를 탈착 한 후에는 상기 박형 필름과 에어 분사를 이용하여 제 1 보조기판의 탈착을 진행하게 된다(S306-4). 이때, 전술한 바와 같이 박형 필름만 사용할 경우 탈착을 위해 강한 힘이 필요로 하여 기판들 파손의 우려가 있으므로 에어 분사도 병행하여 기판들 파손을 최소화하고 탈착 속도도 향상시킬 수 있다. 다만, 본 발명이 상기 박형 필름을 이용한 탈착 방법에 한정되는 것은 아니다.After removing the foreign matter between the first auxiliary substrate and the first mother substrate using the thin film and detaching the edge portion, the first auxiliary substrate is detached using the thin film and air jet (S306 -4). At this time, when the thin film alone is used as described above, a strong force is required for desorption, and there is a fear of destruction of the substrates, so air blowing can minimize the breakage of the substrates and improve the desorption speed. However, the present invention is not limited to the desorption method using the thin film.

도 21은 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 또 다른 예시도로써, 액체질소를 분사하여 제 1, 제 2 보조기판과 제 1, 제 2 모기판 사이에 존재하는 이물의 접착력을 약화시키는 방법이다.FIG. 21 is a view illustrating another example of a process for manufacturing a lightweight thin liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention shown in FIG. 17, which sequentially removes foreign materials and separates an auxiliary substrate. Thereby weakening the adhesive force between the first and second auxiliary boards and the first and second mother boards.

우선, 공정이 완료되어 합착된 제 1, 제 2 모기판을 탈착장비의 테이블 상에 로딩한다(S401).First, the first and second mother boards are loaded onto the table of the desorption apparatus after the process is completed (S401).

이때, 예를 들어 분리되어야 할 제 2 보조기판이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판을 테이블 상에 로딩하게 된다.At this time, for example, the first and second mother boards are loaded on the table such that the second auxiliary board to be separated faces upward.

이와 같이 탈착장비의 테이블 상에 로딩된 제 1, 제 2 모기판은 전술한 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 탈착장비와 얼라인을 맞추게 된다(S402).In this manner, the first and second mother boards loaded on the table of the desorption apparatus are aligned with the desorption apparatus on the upper side through the above-described alignment unit (S402).

다음으로, -196℃의 액체질소를 제 2 보조기판의 전면(front surface) 또는 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이 측면에 분사하여 존재하는 이물의 접착력을 약화시킨 후, 전술한 박형 필름과 에어를 이용하여 제 2 보조기판의 탈착을 진행하게 된다(S403-1, S403-2).Next, liquid nitrogen at -196 占 폚 is jetted on the front surface of the second auxiliary substrate or between the second auxiliary substrate and the second mother substrate to weaken the adherence of foreign substances present, and then the thin film And the second auxiliary substrate is advanced by using air (S403-1, S403-2).

이때, 상기 제 2 보조기판의 전면 또는 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이 측면에 분사되는 냉각물질로는 상기 액체질소 이외에 -78.5℃의 드라이 아이스 등 이물에 열 수축 스트레스를 유발할 수 있는 -10℃ 이하의 냉각물질을 이용할 수 있다.At this time, as a cooling material sprayed on the entire surface of the second auxiliary substrate or between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, there is a possibility of causing heat shrinkage stress on foreign matters such as dry ice of -78.5 ° C in addition to the liquid nitrogen. A cooling substance of 10 DEG C or less can be used.

이물이 존재하는 제 1, 제 2 보조기판과 제 1, 제 2 모기판 사이에 액체질소를 분사하는 경우 기판들과 이물 모두 냉각되어 수축이 되게 된다. 이때, 기판들과 이물의 열 수축 계수가 서로 다르기 때문에 기판들 사이에 낀 이물 내부에 스트레스가 발생하여 기판들에 대한 이물의 접착력 저하를 기대할 수 있다.When liquid nitrogen is injected between the first and second auxiliary substrates and the first and second mother substrates, the substrates and the foreign matter are both cooled and shrunk. Since the heat shrinkage coefficients of the substrates and the foreign materials are different from each other, a stress is generated inside the foreign matter between the substrates, thereby reducing the adhesion of the foreign substances to the substrates.

이렇게 액체질소 처리로 이물의 접착력을 약화시킨다면 탈착 시 기판들의 파손을 개선할 수 있을 것이다.If the liquid nitrogen treatment weakens the adherence of foreign matter, it may improve the breakage of the substrates upon desorption.

이때, 전술한 바와 같이 제 2 보조기판의 탈착에 박형 필름만 사용할 경우 탈착을 위해 강한 힘이 필요로 하여 기판들 파손의 우려가 있으므로 에어 분사도 병행하여 기판들 파손을 최소화하고 탈착 속도도 향상시킬 수 있다. 다만, 본 발명이 상기 박형 필름을 이용한 탈착 방법에 한정되는 것은 아니다.At this time, when a thin film is used only for the detachment of the second auxiliary substrate as described above, a strong force is required for detachment and there is a fear of destruction of the substrates. Therefore, the air jetting is also minimized, . However, the present invention is not limited to the desorption method using the thin film.

이후, 제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전한 후, 다시 상기 탈착장비의 테이블 상에 로딩하게 된다(S404).Then, the first and second mother boards are reversed upside down, and then loaded onto the table of the desorption apparatus (S404).

즉, 상기 테이블 상에는 분리되어야 할 제 1 보조기판이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판이 로딩되게 된다.That is, the first and second mother boards are loaded on the table with the first auxiliary board to be separated upward.

이렇게 탈착장비의 테이블 상에 로딩된 상기 제 1, 제 2 모기판은 전술한 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 탈착장비와 얼라인을 맞추게 된다(S405).The first and second mother boards loaded on the table of the desorption apparatus are aligned with the desorption apparatus on the upper side through the above-mentioned alignment unit (S405).

이후, 전술한 액체질소, 드라이 아이스 등 이물에 열 수축 스트레스를 유발할 수 있는 -10℃ 이하의 냉각물질을 제 1 보조기판의 전면 또는 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이 측면에 분사하여 그 사이에 존재하는 이물의 접착력을 약화시킨 후, 전술한 박형 필름과 에어를 이용하여 제 1 보조기판의 탈착을 진행하게 된다(S406-1, S406-2).Thereafter, a cooling substance of -10 ° C or lower which can induce heat shrinkage stress on the foreign matter such as liquid nitrogen, dry ice or the like is sprayed on the entire surface of the first auxiliary substrate or the side between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, (S406-1, S406-2), the adhesion of the foreign matter existing between the thin film and air is weakened.

도 22는 상기 도 17에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 경량 박형의 액정표시장치 제조방법에 있어, 이물제거와 보조기판의 분리 공정을 순차적으로 나타내는 또 다른 예시도로써, 액체질소를 분사하는 동시에 열을 가하여 제 1, 제 2 보조기판과 제 1, 제 2 모기판 사이에 존재하는 이물의 접착력을 약화시키는 방법이다.FIG. 22 is a view showing another example of sequentially removing the foreign object and the auxiliary substrate in the method of manufacturing a light and thin liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention shown in FIG. 17, And the heat is applied to the first auxiliary substrate and the second auxiliary substrate to weaken the adhesive force of the foreign matter existing between the first and second mother substrates.

우선, 공정이 완료되어 합착된 제 1, 제 2 모기판을 탈착장비의 테이블 상에 로딩한다(S501).First, the first and second mother boards are loaded onto the table of the desorption apparatus after the process is completed (S501).

이때, 예를 들어 분리되어야 할 제 2 보조기판이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판을 테이블 상에 로딩하게 된다.At this time, for example, the first and second mother boards are loaded on the table such that the second auxiliary board to be separated faces upward.

이와 같이 탈착장비의 테이블 상에 로딩된 제 1, 제 2 모기판은 전술한 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 탈착장비와 얼라인을 맞추게 된다(S502).In this way, the first and second mother boards loaded on the table of the desorption apparatus are aligned with the desorption apparatus on the upper side through the above-mentioned alignment unit (S502).

다음으로, -196℃의 액체질소를 제 2 보조기판의 전면 또는 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이 측면에 분사하는 동시에 상기 제 2 모기판을 포함하는 하부에 열을 가하여 존재하는 이물의 접착력을 약화시킨 후, 전술한 박형 필름과 에어를 이용하여 제 2 보조기판의 탈착을 진행하게 된다(S503-1, S503-2).Next, liquid nitrogen at -196 캜 is sprayed on the entire surface of the second auxiliary substrate or between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, and heat is applied to the lower portion including the second mother substrate, After the adhesion is weakened, the second auxiliary substrate is detached using the thin film and air described above (S503-1, S503-2).

이때, 상기 제 2 보조기판의 전면 또는 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이 측면에 분사되는 냉각물질로는 상기 액체질소 이외에 -78.5℃의 드라이 아이스 등 이물에 열 수축 스트레스를 유발할 수 있는 -10℃ 이하의 냉각물질을 이용할 수 있다. 또한, 상기 제 2 모기판을 포함하는 하부에는 상온에서 80℃ 사이의 온도에 해당하는 열을 가할 수 있다.At this time, as a cooling material sprayed on the entire surface of the second auxiliary substrate or between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, there is a possibility of causing heat shrinkage stress on foreign matters such as dry ice of -78.5 ° C in addition to the liquid nitrogen. A cooling substance of 10 DEG C or less can be used. In addition, heat corresponding to a temperature between room temperature and 80 ° C may be applied to the lower part including the second mother substrate.

이물이 존재하는 제 1, 제 2 보조기판에 액체질소를 처리하는 동시에 그 하부, 즉 제 1, 제 2 모기판에 열을 가할 경우 제 1, 제 2 보조기판은 냉각되어 수축이 일어나고 제 1, 제 2 모기판은 팽창이 일어나게 된다. 따라서, 이러한 기판들 사이에 낀 이물 내부에 스트레스가 발생하여 기판들에 대한 이물의 접착력 저하를 기대할 수 있다.When the first and second auxiliary substrates having foreign substances are treated with liquid nitrogen and heat is applied to the lower portions thereof, that is, the first and second mother substrates, the first and second auxiliary substrates are cooled to shrink, The second mosquito plate is inflated. Therefore, stress is generated inside the foreign matter sandwiched between the substrates, and the adhesion of the foreign matter to the substrates can be expected to be lowered.

그리고, 전술한 바와 같이 제 2 보조기판의 탈착에 박형 필름만 사용할 경우 탈착을 위해 강한 힘이 필요로 하여 기판들 파손의 우려가 있으므로 에어 분사도 병행하여 기판들 파손을 최소화하고 탈착 속도도 향상시킬 수 있다. 다만, 본 발명이 상기 박형 필름을 이용한 탈착 방법에 한정되는 것은 아니다.As described above, when only a thin film is used for detachment of the second auxiliary substrate, strong force is required for detachment, and there is a risk of destruction of the substrates. Therefore, air jetting is also performed in parallel to minimize substrate breakage and improve desorption rate . However, the present invention is not limited to the desorption method using the thin film.

이후, 제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전한 후, 다시 상기 탈착장비의 테이블 상에 로딩하게 된다(S504).After the first and second mother substrates are separated by the second auxiliary substrate, the first and second mother substrates are reversed and then loaded onto the table of the desorption apparatus (S504).

즉, 상기 테이블 상에는 분리되어야 할 제 1 보조기판이 위로 향하도록 상기 제 1, 제 2 모기판이 로딩되게 된다.That is, the first and second mother boards are loaded on the table with the first auxiliary board to be separated upward.

이렇게 탈착장비의 테이블 상에 로딩된 상기 제 1, 제 2 모기판은 전술한 얼라인 유닛을 통해 그 상부의 탈착장비와 얼라인을 맞추게 된다(S505).The first and second mother boards loaded on the table of the desorption apparatus are aligned with the desorption apparatus on the upper side through the above-mentioned alignment unit (S505).

이후, 전술한 액체질소, 드라이 아이스 등 이물에 열 수축 스트레스를 유발할 수 있는 -10℃ 이하의 냉각물질을 제 1 보조기판의 전면 또는 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이 측면에 분사하는 동시에 상온에서 80℃ 사이의 온도에 해당하는 열을 상기 제 1 모기판에 가하여 그 사이에 존재하는 이물의 접착력을 약화시킨 후, 전술한 박형 필름과 에어를 이용하여 제 1 보조기판의 탈착을 진행하게 된다(S506-1, S506-2).Thereafter, a cooling substance of -10 ° C or lower which can induce heat shrinkage stress on the foreign matter such as liquid nitrogen, dry ice or the like is sprayed on the entire surface of the first auxiliary substrate or between the first auxiliary substrate and the first mother substrate The heat corresponding to the temperature between room temperature and 80 ° C is applied to the first mother substrate to weaken the adhesion of the foreign substances present therebetween and then the first auxiliary substrate is detached using the thin film and air described above (S506-1, S506-2).

상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.While a great many are described in the foregoing description, it should be construed as an example of preferred embodiments rather than limiting the scope of the invention. Therefore, the invention should not be construed as limited to the embodiments described, but should be determined by equivalents to the appended claims and the claims.

100 : 박형의 유리기판 101 : 제 1 모기판
102 : 제 2 모기판 110,110a,110b : 보조기판
140 : 진공 패드 145 : 진공 패드 플레이트
150a,150b : 나이프 162 : 에어 나이프
100: thin glass substrate 101: first mother board
102: second mother substrate 110, 110a, 110b:
140: Vacuum pad 145: Vacuum pad plate
150a, 150b: knife 162: air knife

Claims (45)

제 1 보조기판이 부착된 제 1 모기판에 어레이공정을 진행하는 단계;
제 2 보조기판이 부착된 제 2 모기판에 컬러필터공정을 진행하는 단계;
상기 어레이공정이 진행된 제 1 모기판과 상기 컬러필터공정이 진행된 제 2 모기판을 합착하는 단계;
상기 합착된 제 1, 제 2 모기판을 탈착장비의 테이블 상에 로딩하는 단계;
제 1, 제 2 나이프를 이용하여 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 단계;
상기 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 상기 제 2 보조기판을 분리하는 단계;
상기 제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전하는 단계;
상기 제 1, 제 2 나이프를 이용하여 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 단계; 및
상기 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 상기 제 1 보조기판을 분리하는 단계를 포함하되,
상기 제 1 모기판 및 상기 제 2 모기판은 각각 해당 보조기판의 푸시 핀(push pin) 영역을 노출하고,
상기 제 1 보조기판과 상기 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 단계 및 상기 제2 보조기판과 상기 제 2 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 단계는 푸시 핀을 이용하여 해당 보조기판의 푸시 핀 영역에 일정 압력을 가하여 나이프 진입공간을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.
Advancing an array process on the first mother substrate to which the first auxiliary substrate is attached;
Performing a color filter process on a second mother substrate having a second auxiliary substrate attached thereto;
Attaching a first mother board on which the array process is performed and a second mother board on which the color filter process is performed;
Loading the first and second bonded mother boards onto a table of desorption equipment;
Detaching an edge portion between the second auxiliary board and the second mother board using the first and second knives;
Separating the second auxiliary substrate from the first and second mother substrate;
Inverting the first and second mother boards with the second auxiliary board separated;
Detaching an edge portion between the first auxiliary substrate and the first mother substrate using the first and second knives; And
And separating the first auxiliary substrate from the first and second bonded mother boards,
Wherein the first mother substrate and the second mother substrate expose a push pin region of the auxiliary substrate, respectively,
Wherein the step of detaching the edge portion between the first auxiliary substrate and the first mother substrate and the step of detaching the edge portion between the second auxiliary substrate and the second mother substrate are performed using a push pin, And forming a knife entrance space by applying a predetermined pressure to the light guide plate.
제 1 항에 있어서, 상기 푸시 핀 영역은 상기 제 1, 제 2 모기판의 모서리에 형성되는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method of claim 1, wherein the push pin region is formed at an edge of the first and second mother substrates. 제 2 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 보조기판 및 상기 제 1, 제 2 모기판의 모서리는 기울어진 각도로 커팅(cutting)되어 모서리 컷(corner cut)이 형성되되, 상기 제 1, 제 2 모기판의 적어도 2모서리는 상기 제 1, 제 2 보조기판의 모서리에 비해 더 안쪽 방향으로 커팅이 이루어지는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.[3] The apparatus according to claim 2, wherein edges of the first and second auxiliary boards and the first and second mother boards are cut at an oblique angle to form corner cuts, Wherein at least two corners of the mother substrate are further cut inward than the corners of the first and second auxiliary substrates. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 나이프 진입공간에 제 1, 제 2 나이프를 진입시키고, 상기 제 1, 제 2 나이프를 상기 테이블이 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.[2] The apparatus according to claim 1, wherein the first and second knives are introduced into the knife entry space between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, and the first and second knives are moved in one direction Wherein the edge portion between the second auxiliary substrate and the second mother substrate is detached. 제 5 항에 있어서, 상기 탈착장비는 다수의 진공 패드와 이들을 상하로 이동시키는 진공 패드 플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.6. The method of claim 5, wherein the desorption apparatus comprises a plurality of vacuum pads and a vacuum pad plate for moving the vacuum pads up and down. 제 6 항에 있어서, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 에지부를 탈착 한 후, 상기 다수의 진공 패드를 상기 제 2 보조기판의 표면에 부착시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.7. The method of claim 6, further comprising attaching the plurality of vacuum pads to the surface of the second auxiliary substrate after detaching the edge portion between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, A method of manufacturing a lightweight thin type liquid crystal display device. 제 7 항에 있어서, 상기 진공 패드나 진공 패드 플레이트를 상승시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이에 에어 나이프의 진입공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.8. The method of claim 7, wherein the vacuum pad or the vacuum pad plate is raised to form an air knife entrance space between the second auxiliary substrate and the second mother substrate. 제 8 항에 있어서, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이에 형성된 에어 나이프 진입공간으로 에어 나이프를 진입시키며 에어를 분사하여 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 상기 제 2 보조기판을 분리하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method as claimed in claim 8, wherein the air knife is introduced into the air knife entering space formed between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, and air is sprayed from the first mother substrate to the second mother substrate, And separating the liquid crystal display device from the liquid crystal display device. 제 9 항에 있어서, 상기 제 2 보조기판이 분리된 상기 제 1, 제 2 모기판을 상하 반전한 후, 푸시 핀을 이용하여 상기 푸시 핀 영역을 일정압력으로 위로 눌러주어 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이에 나이프 진입공간을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.[12] The method of claim 9, further comprising: pushing up the push pin region with a predetermined pressure using a push pin, after vertically inverting the first and second mother substrate from which the second auxiliary substrate is separated, Further comprising the step of forming a knife entry space between the first mother substrate and the first mother substrate. 제 10 항에 있어서, 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 나이프 진입공간에 제 1, 제 2 나이프를 진입시키고, 상기 제 1, 제 2 나이프를 상기 테이블이 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The apparatus according to claim 10, wherein first and second knives are introduced into a knife entry space between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, and the first and second knives are moved from one direction to the other Wherein the edge portion between the first auxiliary substrate and the first mother substrate is detached. 제 11 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 나이프의 이동과 함께 상기 제 1, 제 2 나이프에 구비된 에어 홀을 통해 에어를 분사하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.12. The method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device according to claim 11, wherein air is injected through the air holes provided in the first and second knives with movement of the first and second knives. 제 12 항에 있어서, 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착 한 후, 상기 다수의 진공 패드를 상기 제 1 보조기판의 표면에 부착시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.13. The method of claim 12, further comprising attaching the plurality of vacuum pads to the surface of the first auxiliary substrate after detaching the edge between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, A method of manufacturing a lightweight thin type liquid crystal display device. 제 13 항에 있어서, 상기 진공 패드나 진공 패드 플레이트를 상승시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이에 에어 나이프의 진입공간을 형성하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.14. The method of claim 13, wherein the vacuum pad or the vacuum pad plate is raised to form an air knife entry space between the first auxiliary substrate and the first mother substrate. 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이에 형성된 에어 나이프 진입공간으로 에어 나이프를 진입시키며 에어를 분사하여 상기 합착된 제 1, 제 2 모기판으로부터 상기 제 1 보조기판을 분리하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method as claimed in claim 9, wherein an air knife is introduced into an air knife entry space formed between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, and air is injected to eject the first auxiliary substrate from the first and second mother substrates, And separating the liquid crystal display device from the liquid crystal display device. 제 15 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 나이프는 상기 테이블의 좌우에 위치하며, 상기 제 1, 제 2 나이프 사이에 상기 에어 나이프가 세로 방향으로 길게 배열되는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The liquid crystal display according to claim 15, wherein the first and second knives are located on the left and right sides of the table, and the air knife is arranged between the first and second knives in a longitudinal direction. Device manufacturing method. 제 16 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 나이프는 SUS(Steel Use Stainless)와 같은 금속 또는 PET(polyethylene terephthalate), HDPE(high density polyethylene)와 같은 플라스틱으로 이루어진 나이프 날을 구비하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.[17] The apparatus of claim 16, wherein the first and second knives include a metal such as SUS (Steel Use Stainless) or a knife blade made of plastic such as PET (polyethylene terephthalate) or HDPE (high density polyethylene) A method of manufacturing a lightweight thin type liquid crystal display device. 제 16 항에 있어서, 상기 테이블의 일단에 제 1, 제 2 나이프가 설치되는 경우, 그 중 하나의 나이프를 상기 테이블의 세로 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 일 에지부나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 일 에지부를 탈착하며, 이동된 제 1, 제 2 나이프는 원래의 위치로 복귀하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method according to claim 16, wherein when one of the first and second knives is installed at one end of the table, one of the knives is moved in the longitudinal direction of the table so that one edge between the second auxiliary board and the second mother board, Wherein the first auxiliary board and the first mother board are detached from the first mother board, and the first and second knives are returned to their original positions. 제 18 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 나이프를 상기 테이블의 가로 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 상하 에지부나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 상하 에지부를 탈착하며, 이동된 제 1, 제 2 나이프는 원래의 위치로 복귀하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method as claimed in claim 18, wherein the first and second knives are moved in the horizontal direction of the table so that the upper and lower edge portions between the second auxiliary substrate and the second mother substrate or the upper and lower edge portions between the first auxiliary substrate and the first mother substrate And the first and second knives are returned to their original positions. The method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device according to claim 1, 제 16 항에 있어서, 상기 테이블의 전, 후단에 각각 2개의 제 1, 제 2 나이프가 설치되는 경우, 상기 전, 후단 각각 하나의 나이프를 상기 테이블의 세로 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 좌우 에지부나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 좌우 에지부를 탈착하며, 이동된 제 1, 제 2 나이프는 원래의 위치로 복귀하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The apparatus according to claim 16, wherein, when two first and second knives are provided on the front and rear ends of the table, one knife is moved in the longitudinal direction of the table, The left and right edge portions between the first mother substrate and the second mother substrate, and between the first mother substrate and the first mother substrate, and the moved first and second knives return to their original positions. A method of manufacturing a display device. 제 20 항에 있어서, 상기 각각 2개의 제 1, 제 2 나이프를 상기 테이블의 가로 방향으로 반만큼 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 상하 에지부나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 상하 에지부를 탈착하며, 이동된 제 1, 제 2 나이프는 원래의 위치로 복귀하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The apparatus according to claim 20, wherein each of the two first and second knives is moved by half in the transverse direction of the table so that the upper and lower edge portions between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, Wherein the upper and lower edge portions between the mother substrate and the mother substrate are removed, and the moved first and second knives are returned to their original positions. 제 10 항에 있어서, 상기 푸시 핀은 상기 푸시 핀 영역과 접촉하는 접촉면이 삼각형, 원형과 삼각형의 결합 형태, 사각형이나 원형의 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method of claim 10, wherein the push pin has a triangular, circular, and triangular combination of contact surfaces contacting the push pin region, and a rectangular or circular shape. 제 22 항에 있어서, 상기 푸시 핀 영역을 형성한 후,
CCD(charge-coupled device) 카메라와 같은 관측장비를 통해 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하는 단계; 및
상기 인식된 제 1, 제 2 보조기판의 끝단의 위치를 고려하여 푸시 핀을 x축 및 y축으로 이동시켜 설정된 위치에 정렬시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.
23. The method of claim 22, further comprising, after forming the push pin region,
Recognizing the ends of the first and second auxiliary substrates through observation equipment such as a charge-coupled device (CCD) camera; And
Further comprising the step of moving the push pins in the x and y axes and aligning the push pins in a predetermined position in consideration of the positions of the ends of the recognized first and second auxiliary substrates. Way.
제 22 항에 있어서, 상기 푸시 핀 영역을 형성한 후,
CCD 카메라와 같은 관측장비를 통해 제 1, 제 2 모기판의 끝단을 인식하는 단계; 및
상기 인식된 제 1, 제 2 모기판의 끝단의 위치를 고려하여 푸시 핀을 -x축 및 -y축으로 이동시켜 설정된 위치에 정렬시키는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.
23. The method of claim 22, further comprising, after forming the push pin region,
Recognizing the ends of the first and second mother boards through an observation device such as a CCD camera; And
Further comprising the step of moving the push pins in the -x axis and the -y axis in consideration of the positions of the ends of the recognized first and second mother substrates, Device manufacturing method.
제 23 항 및 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 모기판이나 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하여 푸시 핀을 정렬한 후, 정렬된 상기 푸시 핀을 z축 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.A method according to any one of claims 23 and 24, wherein after aligning the push pins by recognizing the ends of the first and second mother substrates or the first and second auxiliary substrates, Wherein the second auxiliary substrate and the second mother substrate are separated from each other, and the edge portion between the second mother substrate and the first auxiliary substrate and the first mother substrate is detached. 제 23 항 및 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 모기판이나 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하여 푸시 핀을 정렬한 후, 정렬된 상기 푸시 핀을 z축 방향과 -z축 방향으로 교대로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.A method according to any one of claims 23 and 24, wherein after aligning the push pins by recognizing the ends of the first and second mother substrates or the first and second auxiliary substrates, Axis direction and the -z axis direction to detach the edge portions between the second auxiliary substrate and the second mother substrate or between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, . 제 23 항 및 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 모기판이나 제 1, 제 2 보조기판의 끝단을 인식하여 푸시 핀을 정렬한 후, 정렬된 상기 푸시 핀을 z축 방향과 -z축 방향으로 교대로 이동시키되, 이동거리를 순차적으로 증가시키며 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 에지부를 탈착하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.A method according to any one of claims 23 and 24, wherein after aligning the push pins by recognizing the ends of the first and second mother substrates or the first and second auxiliary substrates, And the moving distance is sequentially increased and moved so that the edge portions between the second auxiliary substrate and the second mother substrate or between the first auxiliary substrate and the first mother substrate are removed Wherein the liquid crystal display device is a thin, lightweight, liquid crystal display device. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이의 모서리 공간에 상기 제 1, 제 2 나이프 대신 박형 필름을 진입시키고, 상기 박형 필름을 테이블의 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이에 존재하는 이물을 제거하는 동시에 그 사이의 에지부를 탈착 하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method of claim 1, further comprising: moving a thin film in place of the first and second knives in an edge space between the second auxiliary substrate and the second mother substrate, moving the thin film in one direction of the table, And removing the foreign matter existing between the second auxiliary substrate and the second mother substrate and removing the edge portions therebetween. 제 28 항에 있어서, 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 모서리 공간에 상기 제 1, 제 2 나이프 대신 박형 필름을 진입시키고, 상기 박형 필름을 테이블의 일 방향에서 타 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이에 존재하는 이물을 제거하는 동시에 그 사이의 에지부를 탈착 하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.29. The method of claim 28, further comprising: advancing a thin film in place of the first and second knives in a corner space between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, moving the thin film in one direction of the table, And removing the foreign matter existing between the first auxiliary substrate and the first mother substrate and removing the edge portions therebetween. 제 28 항에 있어서, 상기 박형 필름은 0.001mm ~ 1.0mm 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.29. The method of claim 28, wherein the thin film has a thickness of 0.001 mm to 1.0 mm. 제 28 항에 있어서, 상기 박형 필름은 모스(Mohs) 경도 3이하의 PET(polyethylene terephthalate), PVC(Polyvinyl chloride), PE(polyethylene), PC(polycarbonate), LDPE(low density polyethylene), HDPE(high density polyethylene) 및 EVA(ethylene vinyl acetate) 중 적어도 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.29. The method of claim 28, wherein the thin film comprises a material selected from the group consisting of polyethylene terephthalate (PVC), polyvinyl chloride (PE), polyethylene (PE), polycarbonate, low density polyethylene (LDPE) density polyethylene, and ethylene vinyl acetate (EVA). < Desc / Clms Page number 19 > 제 29 항에 있어서, 상기 박형 필름의 이동과 함께 상기 박형 필름에 구비된 에어 홀을 통해 에어를 분사하여 이물 제거 및 에지부 탈착 공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method of manufacturing a lightweight thin-type liquid-crystal display device according to claim 29, wherein air is sprayed through the air holes provided in the thin film together with the movement of the thin film to perform a process of removing foreign substances and an edge portion. 제 32 항에 있어서, 상기 박형 필름과 에어 분사를 이용하여 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 분리를 진행하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.33. The method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device according to claim 32, wherein separation of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate is performed using the thin film and the air jet. 제 28 항에 있어서, 냉각물질을 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 전면(front surface) 또는 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이 측면에 분사하여 존재하는 이물의 접착력을 약화시킨 후, 상기 제 1, 제 2 나이프 대신 박형 필름과 에어를 이용하여 제 2 보조기판 이나 제 1 보조기판의 분리를 진행하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.29. The method according to claim 28, wherein the cooling material is sprayed onto the second auxiliary substrate or the front surface of the first auxiliary substrate or between the second auxiliary substrate and the second mother substrate or between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, And separating the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate by using a thin film and air instead of the first and second knives, Gt; 제 28 항에 있어서, 냉각물질을 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 전면 또는 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이 측면에 분사하는 동시에 그 하부에 열을 가하여 존재하는 이물의 접착력을 약화시킨 후, 상기 제 1, 제 2 나이프 대신 박형 필름과 에어를 이용하여 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 분리를 진행하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.29. The method according to claim 28, wherein the cooling material is sprayed onto the entire surface of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate or between the second auxiliary substrate and the second mother substrate or between the first auxiliary substrate and the first mother substrate, And then separating the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate by using a thin film and air instead of the first and second knives. A method of manufacturing a liquid crystal display device. 제 35 항에 있어서, 상기 제 1, 제 2 모기판을 포함하는 하부에는 상온에서 80℃ 사이의 온도에 해당하는 열을 가하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.36. The method of claim 35, wherein heat corresponding to a temperature between room temperature and 80 deg. C is applied to the lower portion including the first and second mother substrates. 제 34 항 및 제 35 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 냉각물질은 이물에 열 수축 스트레스를 유발할 수 있는 -10℃ 이하의 냉각물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method of any one of claims 34 and 35, wherein the cooling material includes a cooling material at -10 캜 or less which can induce heat shrinkage stress on the foreign object. 제 1 항에 있어서, 상기 에지부의 탈착이 진행되는 방향을 따라 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판 사이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판 사이의 공간으로 상기 제 1, 제 2 나이프를 이동시킴으로써 물리적으로 이물을 제거하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method according to claim 1, further comprising: moving the first and second knives in a space between the second auxiliary board and the second mother board, or between the first auxiliary board and the first mother board along the direction in which the edge portion is advanced / And removing the foreign substance physically by moving the liquid crystal display panel. 제 14 항에 있어서, 상기 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판을 분리하는 과정에서 상기 진공 패드나 진공 패드 플레이트의 상승 시 그 압력을 센서로 감지하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.15. The method of claim 14, further comprising sensing a pressure of the vacuum pad or the vacuum pad plate when the vacuum pad or the vacuum pad plate is lifted by a sensor in a process of separating the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate. Of the liquid crystal display device. 제 39 항에 있어서, 상기 센서로 감지된 압력에 이상이 있는지 판단하며, 이상이 있는 경우 이물이 발생되었다는 알람 및 이물 발생을 모니터에 표시하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.41. The method of claim 39, further comprising the step of: determining whether an abnormality is detected in the pressure sensed by the sensor, and displaying an alarm and / A method of manufacturing a display device. 제 40 항에 있어서, 이물이 발생된 경우, 레이저를 이용하여 압력에 이상이 감지된 부분의 이물을 제거한 후, 상기 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 분리 공정을 속행하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.41. The method according to claim 40, wherein when foreign matter is generated, the separation of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate is continued after removal of foreign matter in a portion where an abnormality has been detected using a laser, A method of manufacturing a thin liquid crystal display device. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판의 에지를 따라 이물을 검사하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method of claim 1, further comprising the step of inspecting foreign objects along the edges of the second auxiliary substrate, the second mother substrate, the first auxiliary substrate, and the first mother substrate. Device manufacturing method. 제 42 항에 있어서, 이물이 발생된 경우, 이물이 발생되었다는 알람 및 이물 발생을 모니터에 표시하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.The method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device according to claim 42, further comprising the step of displaying on the monitor an alarm and an occurrence of a foreign object indicating that a foreign object has been generated when foreign objects are generated. 제 43 항에 있어서, 레이저를 이용하여 이물이 검출된 부분의 이물을 제거하며, 이러한 이물 검사 및 제거공정을 상기 제 2 보조기판과 제 2 모기판이나 상기 제 1 보조기판과 제 1 모기판의 모든 에지에 대해 진행하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.45. The method of claim 43, further comprising the steps of: removing foreign objects from a portion where foreign objects have been detected using a laser; and performing such foreign object inspection and removal processes on the second and third mother substrates, The method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device according to claim 1, 제 44 항에 있어서, 상기 이물 제거공정이 완료된 후, 상기 제 2 보조기판이나 제 1 보조기판의 분리 공정을 진행하는 것을 특징으로 하는 경량 박형의 액정표시장치 제조방법.45. The method of manufacturing a lightweight thin-type liquid crystal display device according to claim 44, wherein after the removal of the foreign material, the separating step of the second auxiliary substrate or the first auxiliary substrate is performed.
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