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KR101936427B1 - 이송 가이드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치 - Google Patents

이송 가이드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치 Download PDF

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KR101936427B1
KR101936427B1 KR1020170077043A KR20170077043A KR101936427B1 KR 101936427 B1 KR101936427 B1 KR 101936427B1 KR 1020170077043 A KR1020170077043 A KR 1020170077043A KR 20170077043 A KR20170077043 A KR 20170077043A KR 101936427 B1 KR101936427 B1 KR 101936427B1
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substrate
guide assembly
transfer
exemplary embodiments
transport
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김기철
박기홍
이창용
최봉만
유아멘
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세메스 주식회사
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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 플레이트로부터 부상이 이루어지는 기판을 이송하기 위한 것으로써 이송 가이드 어셈블리 및 구동부를 포함할 수 있다. 상기 이송 가이드 어셈블리는 몸체 및 접촉부를 포함하고, 특히 상기 기판을 이송시킬 때 상기 기판과 함께 부상하도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 몸체는 평판 구조로 이루어질 수 있고, 상기 접촉부는 상기 기판의 일측 단부 모서리에 접촉하도록 상기 기판을 향하는 상기 몸체의 일측 단부에 형성될 수 있다.

Description

이송 가이드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치{Transferring guide assembly and Apparatus for transferring a substrate having the same}
본 발명은 이송 가이드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 플레이트로부터 부상이 이루어지는 기판의 이송을 가이드하기 위한 이송 가이드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD) 소자는 대면적 기판(이하, '기판'이라 한다)을 대상으로 제조가 이루어진다. 그리고 평판 디스플레이로 제조하기 위한 기판의 이송은 기판이 아래로 처지는 것을 방지하기 위하여 플레이트로부터 기판을 부상시킨 상태에서 이루어질 수 있다.
여기서, 기판을 부상시킨 상태에서 이송하기 위한 기판 이송 장치는 플레이트로부터 부상시킨 기판의 이송시 기판의 이송을 가이드하기 위한 부재(이하, '이송 가이드 부재'라 한다)를 포함할 수 있다.
이송 가이드 부재는 플레이트 상부로부터 플레이트를 향하면서 기판의 일측 단부 모서리에 접촉할 수 있게 구비될 수 있다. 이에, 이송 가이드 부재가 이송 방향을 따라 구동함에 의해 이송 가이드 부재와 일측 단부 모서리가 접촉하고 있는 기판의 이송이 이루어질 수 있는 것이다.
기판의 이송시 이송 가이드 부재가 플레이트의 표면에 접촉할 경우에는 플레이트를 손상시킬 수 있기 때문에 이송 가이드 부재는 플레이트의 표면과 일정 거리가 이격되는 상태를 유지해야 한다.
그러나 최근의 약 2m 이상으로 이루어지는 기판의 이송에서는 이송 가이드 부재의 이격 상태를 일정하게 유지하는 것이 용이하지 않다. 즉, 기판의 이송 거리가 길어짐에 따라 이송 가이드 부재 또한 많이 움직여야 하기 때문에 이송 가이드 부재의 높이 편차를 정밀하게 맞추는데 어려움이 있는 것이다.
본 발명의 일 과제는 기판의 이송시 플레이트와의 이격 상태를 일정하게 유지할 수 있는 이송 가이드 어셈블리를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 언급한 이송 가이드 어셈블리를 포함하는 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 이송 가이드 어셈블리는 몸체 및 접촉부를 포함하도록 이루어질 수 있다. 상기 몸체는 평판 구조로 이루어질 수 있고, 상기 접촉부는 기판의 일측 단부 모서리에 접촉하도록 상기 기판을 향하는 상기 몸체의 일측 단부에 형성될 수 있다. 특히, 상기 이송 가이드 어셈블리는 상기 기판을 이송시킬 때 상기 기판과 함께 부상하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 몸체는 피크(PEEK : polyetheretherketone) 재질 또는 세라믹 재질로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판 및 상기 몸체는 초음파에 의해 함께 부상되도록 이루어질 수 있다.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 플레이트로부터 부상이 이루어지는 기판을 이송하기 위한 것으로써 이송 가이드 어셈블리 및 구동부를 포함할 수 있다. 상기 이송 가이드 어셈블리는 몸체 및 접촉부를 포함하고, 특히 상기 기판을 이송시킬 때 상기 기판과 함께 부상하도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 몸체는 평판 구조로 이루어질 수 있고, 상기 접촉부는 상기 기판의 일측 단부 모서리에 접촉하도록 상기 기판을 향하는 상기 몸체의 일측 단부에 형성될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 이송 가이드 어셈블리는 피크(PEEK : polyetheretherketone) 재질 또는 세라믹 재질로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판 및 상기 이송 가이드 어셈블리는 초음파에 의해 함께 부상되도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 이송 가이드 어셈블리로부터 상부 방향으로 연장되는 제1 연장부 및 상기 구동부로부터 일측 방향으로 연장되는 제2 연장부를 더 포함하고, 상기 제1 연장부 및 상기 제2 연장부를 연결시킴에 의해 상기 이송 가이드 어셈블리 및 상기 구동부가 연결될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 연장부는 상기 제2 연장부에서 수직 방향으로 유동할 수 있게 상기 제2 연장부에 끼워지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 이송 가이드 어셈블리는 기판의 이송시 기판과 함께 부상할 수 있도록 구비되고, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 기판의 이송시 기판과 함께 부상할 수 있는 이송 가이드 어셈블리를 포함할 수 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 이송 가이드 어셈블리는 기판의 이송시 기판과 함께 부상하기 때문에 플레이트와의 이격 거리를 일정하게 유지할 수 있고, 특히 기판의 부상시키는 부상력에 의해 부상되는 상태를 유지하기 때문에 높이 편차를 정밀하게 맞출 수 있다.
따라서 언급한 이송 가이드 어셈블리 및 기판 이송 장치는 기판을 안정적으로 이송할 수 있을 뿐만 아니라 플레이트의 표면에 손상되는 상황을 사전에 방지할 수 있을 것이다. 이에, 기판의 이송에 따른 공정 신뢰도의 향상과 함께 플레이트의 손상 방지에 따른 안정성의 향상도 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 이송 가이드 어셈블리를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 3은 도 1의 기판 이송 장치에 구비되는 제1 연장부 및 제2 연장부를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)는 주로 평판디스플레이의 제조에서 대면적 기판(11)을 이송하는데 사용된다.
특히, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)는 평판디스플레이의 제조 장치들 중에서 기판(11)을 가열 또는 냉각시킬 수 있는 온도 변화 공정을 수행할 수 있는 열처리 장치에 적용할 수 있다. 이외에 기판(11) 상에 포토레지스트 용액 등과 같은 케미컬을 도포할 수 있는 도포 장치 등에도 적용할 수 있을 것이다.
그리고 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)는 플레이트(13), 이송 가이드 어셈블리(110), 구동부(120) 등을 포함할 수 있다.
플레이트(13)는 그 상부에 기판(11)이 위치할 수 있는 것으로서, 기판(11)을 부상시킬 수 있도록 기판(11) 이면을 향하여 초음파 등과 같은 부상력을 제공할 수 있다. 도시하지는 않았지만 플레이트(13)에는 홀(hole)들이 형성될 수 있고, 홀들을 통하여 기판(11) 이면으로 초음파 등과 같은 부상력을 제공함으로써 플레이트(13)로부터 기판(11)을 부상시킬 수 있는 것이다. 기판 이송 장치(100)는 플레이트(13)로 초음파 등과 같은 부상력을 제공하도록 구비되는 부상력 제공 부재(도시하지 않음)와 연결될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)는 초음파를 이용하여 기판(11)을 부상시키는 구조에 대하여 설명하고 있지만, 일부 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)는 초음파 이외에도 에어 등을 이용하여 기판(11)을 부상시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수도 있다.
기판 이송 장치(100)가 언급한 열처리 장치에 적용될 경우 플레이트(13)는 가열 플레이트 또는 냉각 플레이트로 이루어질 수 있다.
이송 가이드 어셈블리(110)는 플레이트(13)로부터 부상시킨 기판(11)의 이송시 기판(11)이 이송 방향을 따라 이송되도록 기판(11)을 가이드하기 위하여 구비될 수 있다.
이하, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)의 이송 가이드 어셈블리(110)에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 이송 가이드 어셈블리를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 이송 가이드 어셈블리(110)는 몸체(113), 접촉부(115) 등을 포함하도록 구비될 수 있다.
몸체(113)는 평판 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 접촉부(115)는 기판(11)의 일측 단부 모서리에 접촉하도록 기판(11)을 향하는 몸체(113)의 일측 단부에 형성될 수 있다. 이에, 이송 가이드 어셈블리(110)는 기판(11)의 일측 단부 모서리에 접촉한 상태에서 기판(11)의 이송시 기판(11)이 이송 방향을 따라 이송하도록 가이드할 수 있는 것이다.
이송 가이드 어셈블리(110)를 포함하는 기판 이송 장치(100)를 사용한 기판(11)의 이송에서는 이송 가이드 어셈블리(110)가 플레이트(13)로부터 일정 거리가 이격되는 상태를 유지해야만 한다. 그러나 약 2m 이상으로 이루어지는 기판(11)의 이송에서는 이송 가이드 어셈블리(110)의 이격 상태를 일정하게 유지하는 것이 용이하지 않다.
그리고 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)는 기판(11)의 이송시 기판(11)을 부상시키기 위한 부상력은 정밀하게 제어해야 한다. 즉, 기판(11)의 이송시 플레이트(13)로부터 부상이 이루어지는 기판(11)의 부상 높이를 일정하게 유지하도록 제어해야 하는 것이다. 이는, 기판(11)의 이송시 기판(11)의 부상 높이를 일정하게 유지하지 못할 경우에는 공정 불량을 유발할 수 있기 때문이다.
이와 같이, 기판 이송 장치(100)는 기판(11)의 이송시 기판(11)의 부상 높이를 일정하게 제어하는 구조를 갖기 때문에 이를 이송 가이드 어셈블리(110)에도 적용할 경우 이송 가이드 어셈블리(110)의 부상 높이도 일정하게 유지할 수 있을 것이다.
따라서 기판(11)의 이송시 이송 가이드 어셈블리(110)가 플레이트(13)로부터 일정 거리가 이격되는 상태를 유지할 수 있도록 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)에서의 이송 가이드 어셈블리(110)는 기판(11)의 이송시 기판(11)과 함께 부상하도록 구비될 수 있다.
이에, 언급한 바와 같이 이송 가이드 어셈블리(110)의 몸체(113)는 부상하기 용이한 형상인 평판 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다. 즉, 이송 가이드 어셈블리(110)의 몸체(113)를 평판 구조를 갖도록 함으로서 단위 면적당 가해지는 압력을 낮출 수 있기 때문에 이송 가이드 어셈블리(110)를 기판(11)과 함께 부상시킬 수 있고 아울러 일정 높이를 유지하도록 부상시킬 수 있는 것이다.
그리고 이송 가이드 어셈블리(110)는 피크(PEEK : polyetheretherketone) 재질로 이루어질 수 있다. 즉, 이송 가이드 어셈블리(110)는 부상에 유리하도록 상대적으로 가벼운 고기능 플라스틱 재질인 피크 재질로 이루어질 수 있는 것이다.
또한, 이송 가이드 어셈블리(110)는 세라믹 재질로 이루어질 수 있다. 특히,세라믹 재질로 이루어지는 이송 가이드 어셈블리(110)는 플레이트(13)가 기판을 가열시키는 구조로 이루어질 경우 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다. 그리고 언급한 피크 재질로 이루어지는 이송 가이드 어셈블리(110)는 기판을 고온으로 가열시키는 공정 이외에 일반적인 공정을 수행하기 위한 제조 장치에 적용할 수 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)에서의 이송 가이드 어셈블리(110)는 초음파를 제공하여 이루어지는 부상력에 플레이트(13)로부터 일정 거리가 이격된 상태를 유지할 수 있기 때문에 약 2m 이상의 거리의 이송 공정을 수행하여도 이송 가이드 어셈블리(110)의 이격 상태를 일정하게 유지할 수 있다.
구동부(120)는 기판(11)의 이송이 이루어지게 이송 가이드 어셈블리(110)를 이송 방향을 따라 구동시키도록 구비될 수 있다. 이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)는 구동부(120)를 사용하여 이송 가이드 어셈블리(110)에 구동력을 제공함에 의해 이송 가이드 어셈블리(110)가 이송 방향을 따라 구동됨으로써 이송 가이드 어셈블리(110)의 접촉부(115)에 접촉되어 있는 기판(11)이 이송 방향을 따라 이송될 수 있는 것이다.
여기서 이송 가이드 어셈블리(110) 및 구동부(120)는 동일 선상이 아닌 서로 다른 선상에 배치되도록 구비될 수 있다. 또한, 이송 가이드 어셈블리(110)는 부상되는 구조를 갖기 때문에 구동부(120)에 고정되는 상태로 구비되지 않아야 한다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)에서의 이송 가이드 어셈블리(110) 및 구동부(120)는 제1 연장부(130) 및 제2 연장부(140)를 구비하여 서로 연결할 수 있다.
이하, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)의 제1 연장부(130) 및 제2 연장부(140)에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.
도 3은 도 1의 기판 이송 장치에 구비되는 제1 연장부 및 제2 연장부를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 3을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)에서는 이송 가이드 어셈블리(110)가 상대적으로 아래쪽에 위치하도록 구비될 수 있고, 구동부(120)가 위쪽에 위치하도록 구비될 수 있다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)에서 제1 연장부(130)는 이송 가이드 어셈블리(110)로부터 상부 방향으로 연장되도록 구비될 수 있고, 제2 연장부(140)는 구동부(120)로부터 일측 방향으로 연장되도록 구비될 수 있다. 이에, 제1 연장부(130) 및 제2 연장부(140)를 서로 연결시킴에 의해 이송 가이드 어셈블리(110) 및 구동부(120)가 연결될 수 있는 것이다.
여기서, 이송 가이드 어셈블리(110)는 기판(11)의 이송시 기판(11)과 함께 부상되어야 한다. 즉, 이송 가이드 어셈블리(110)로부터 상부 방향으로 연장되는 제1 연장부(130) 또한 이송 가이드 어셈블리(110)가 부상될 때 함께 부상되어야 하는 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 이송 장치(100)에서 제1 연장부(130)는 수직 방향으로 유동할 수 있도록 구비되어야 한다. 따라서 제1 연장부(130)는 제2 연장부(140)에 끼워지는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 특히 제2 연장부(140)에서 수직 방향으로 유동할 수 있게 끼워지는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이와 같이, 이송 가이드 어셈블리(110)는 기판(11)의 부상력을 이용하여 기판(11)의 이송시 기판(11)과 함께 부상되는 구조를 가질 수 있기 때문에 기판(11)의 이송 거리가 다소 길어도 플레이트(13)로부터 일정 높이를 계속적으로 유지할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 이송 가이드 어셈블리 및 기판 이송 장치는 기판을 부상시킨 상태에서 이송하는 장치에 이용할 수 있을 것이고, 특히 평판 디스플레이소자로 제조하기 위한 기판의 이송에 이용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 기판 13 : 플레이트
100 : 기판 이송 장치 110 : 이송 가이드 어셈블리
113 : 몸체 115 : 접촉부
120 : 구동부 130 : 제1 연장부
140 : 제2 연장부

Claims (8)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 플레이트로부터 부상이 이루어지는 기판을 이송하는 기판 이송 장치에 있어서,
    평판 구조로 이루어지는 몸체, 및 상기 기판의 일측 단부 모서리에 접촉하도록 상기 기판을 향하는 상기 몸체의 일측 단부에 형성되는 접촉부를 포함하고, 상기 기판을 이송시킬 때 상기 기판과 함께 부상하도록 구비되는 이송 가이드 어셈블리;
    상기 기판의 이송이 이루어지게 상기 이송 가이드 어셈블리를 이송 방향을 따라 구동시키도록 구비되는 구동부; 및,
    상기 이송 가이드 어셈블리로부터 상부 방향으로 연장되는 제1 연장부 및 상기 구동부로부터 일측 방향으로 연장되는 제2 연장부를 포함하고,
    상기 제1 연장부 및 상기 제2 연장부를 연결시킴에 의해 상기 이송 가이드 어셈블리 및 상기 구동부가 연결되고, 그리고 상기 제1 연장부는 상기 제2 연장부에서 수직 방향으로 유동할 수 있게 상기 제2 연장부에 끼워지는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 이송 가이드 어셈블리는 피크(PEEK : polyetheretherketone) 재질 또는 세라믹 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 기판 및 상기 이송 가이드 어셈블리는 초음파에 의해 함께 부상이 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
KR1020170077043A 2017-06-19 2017-06-19 이송 가이드 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 이송 장치 Active KR101936427B1 (ko)

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