KR101922177B1 - Organic light emitting display apparatus and method of manufacturing organic light emitting display apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예는 기판과, 상기 기판 상에 형성되는 복수 개의 발광 소자와, 상기 발광 소자의 적어도 일 측에 위치하는 복수 개의 커패시터를 구비하며, 상기 커패시터는 상기 기판에 형성된 트랜치 내에 형성되는 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.One embodiment of the present invention provides a light emitting device comprising a substrate, a plurality of light emitting devices formed on the substrate, and a plurality of capacitors located on at least one side of the light emitting device, the capacitors being formed in a trench An organic light emitting display, and a method of manufacturing the organic light emitting display.
Description
본 발명의 일 실시예는 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.An embodiment of the present invention relates to an organic light emitting display and a method of manufacturing the organic light emitting display.
근래에 표시 장치는 휴대가 가능한 박형의 평판 표시 장치로 대체되는 추세이다. 평판 표시 장치 중에서도 유기 발광 표시 장치는 자발광형 표시 장치로서 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가져서 차세대 디스플레이 장치로 주목을 받고 있다.In recent years, the display device has been replaced by a thin portable flat display device. Among the flat panel display devices, the organic light emitting display device is a self-luminous display device, and has a wide viewing angle, excellent contrast, and fast response speed, and is attracting attention as a next generation display device.
유기 발광 표시 장치는 중간층, 제1 전극 및 제2 전극을 구비한다. 중간층은 유기 발광층을 구비하고, 제1 전극 및 제2 전극에 전압을 가하면 유기 발광층에서 가시광선을 발생하게 된다. The organic light emitting display includes an intermediate layer, a first electrode, and a second electrode. The intermediate layer includes an organic light emitting layer. When a voltage is applied to the first electrode and the second electrode, visible light is generated in the organic light emitting layer.
본 발명의 주된 목적은 발광 영역이 증대되고 광추출 효율이 향상된 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is a primary object of the present invention to provide an organic light emitting display, an organic light emitting display, and a method of manufacturing an organic light emitting display in which the light emitting area is increased and the light extraction efficiency is improved.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는, 기판과, 상기 기판 상에 형성되는 복수 개의 발광소자와, 상기 발광소자의 적어도 일 측에 위치하는 복수 개의 커패시터를 구비하며, 상기 커패시터는 상기 기판에 형성된 트랜치 내에 형성될 수 있다.An organic light emitting display according to an embodiment of the present invention includes a substrate, a plurality of light emitting devices formed on the substrate, and a plurality of capacitors located on at least one side of the light emitting device, May be formed in the trenches formed in the substrate.
상기 커패시터들은 상기 발광소자와 이격되어 배치될 수 있다.The capacitors may be spaced apart from the light emitting device.
상기 커패시터는 상기 발광소자를 사이에 두고 상기 발광소자의 양측에 배치될 수 있다.The capacitor may be disposed on both sides of the light emitting element with the light emitting element interposed therebetween.
상기 커패시터는, 상기 발광소자의 제1측부에서 이격되어 상기 기판 상에 형성된 제1트랜치 내에 배치되는 제1커패시터와, 상기 발광소자의 상기 제1측부에 대향하는 제2측부에서 이격되어 상기 기판 상에 형성된 제2트랜치 내에 배치되는 제2커패시터로 이루어질 수 있다.The capacitor comprising a first capacitor disposed in a first trench formed on the substrate and spaced apart from a first side of the light emitting device and a second capacitor disposed on a second side of the substrate opposite to the first side of the light emitting device, And a second capacitor disposed in a second trench formed in the second trench.
상기 제1커패시터는 상기 제1측부의 길이보다 길게 형성될 수 있다.The first capacitor may be formed longer than the length of the first side.
상기 제2 커패시터는 상기 제2측부의 길이보다 길게 형성될 수 있다.The second capacitor may be formed longer than the length of the second side.
본 발명의 일 실시예는 반도체층, 게이트 전극, 및 소스 및 드레인 전극이 구비된 적어도 하나 이상의 트랜지스터와, 상기 반도체층과 상기 게이트 전극 사이에 배치되는 게이트 절연층을 더 구비하며, 상기 발광소자는, 상기 게이트 절연층 상에 형성되고, 상기 트랜지스터에 전기적으로 연결된 화소전극과, 상기 화소전극 상에 배치되며, 공통층과 발광층을 갖는 중간층과, 상기 중간층을 사이에 두고 상기 화소전극에 대향 배치되는 대향전극을 구비할 수 있다.One embodiment of the present invention is a semiconductor device including at least one transistor having a semiconductor layer, a gate electrode, and source and drain electrodes, and a gate insulating layer disposed between the semiconductor layer and the gate electrode, A pixel electrode formed on the gate insulating layer and electrically connected to the transistor, an intermediate layer disposed on the pixel electrode, the intermediate layer having a common layer and a light emitting layer, and an intermediate layer disposed opposite to the pixel electrode with the intermediate layer interposed therebetween An opposite electrode may be provided.
상기 제1커패시터는, 상기 제1트랜치 내에 배치되는 제1커패시터 하부전극 및 제1커패시터 상부전극을 구비하며, 상기 제2커패시터는, 상기 제2트랜치 내에 배치되는 제2커패시터 하부전극 및 제2커패시터 상부전극을 구비할 수 있다.Wherein the first capacitor comprises a first capacitor lower electrode and a first capacitor upper electrode disposed in the first trench and the second capacitor comprises a second capacitor lower electrode disposed in the second trench and a second capacitor lower electrode disposed in the second trench, An upper electrode may be provided.
상기 제1커패시터 하부전극과 상기 제1커패시터 상부전극 사이, 및 상기 제2커패시터 하부전극과 상기 제2커패시터 상부전극 사이에는 상기 게이트 절연층이 개재될 수 있다.The gate insulating layer may be interposed between the first capacitor lower electrode and the first capacitor upper electrode, and between the second capacitor lower electrode and the second capacitor upper electrode.
상기 제1커패시터 하부전극과 상기 제2커패시터 하부전극은 상기 반도체층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.The first capacitor lower electrode and the second capacitor lower electrode may be made of the same material as the semiconductor layer.
상기 제1커패시터 상부전극과 상기 제2커패시터 상부전극은 상기 화소전극과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.The first capacitor upper electrode and the second capacitor upper electrode may be made of the same material as the pixel electrode.
상기 화소전극은 투명도전물로 이루어질 수 있다.The pixel electrode may be made of a transparent conductive material.
상기 공통층은 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 및 전자 주입층으로 이루어지며, 상기 화소전극 상에서는 상기 정공 주입층, 상기 정공 수송층, 상기 발광층, 상기 전자 수송층, 및 상기 전자 주입층 순서로 적층될 수 있다.Wherein the common layer comprises a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer, wherein the hole injecting layer, the hole transporting layer, the light emitting layer, the electron transporting layer, .
상기 대향전극은 상기 제1커패시터 상부전극 및 상기 제2커패시터 상부전극 상에 배치되며, 상기 대향전극과 상기 제1커패시터 상부전극 사이, 또는 상기 대향전극과 상기 제2커패시터 하부전극 사이에는 상기 정공 주입층, 상기 정공 수송층, 상기 전자 수송층, 또는 상기 전자 주입층이 개재될 수 있다.Wherein the counter electrode is disposed on the first capacitor upper electrode and the second capacitor upper electrode and between the counter electrode and the first capacitor upper electrode or between the counter electrode and the second capacitor lower electrode, Layer, the hole transporting layer, the electron transporting layer, or the electron injecting layer may be interposed.
상기 반도체층은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘일 수 있다.The semiconductor layer may be amorphous silicon or crystalline silicon.
상기 대향 전극은 상기 발광층에서 방출된 광을 반사하는 반사전극일 수 있다.The counter electrode may be a reflective electrode that reflects light emitted from the light emitting layer.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 복수 개의 발광소자영역, 복수 개의 커패시터 영역, 및 복수 개의 트랜지스터 영역으로 구획 기판을 준비하는 단계와, 상기 커패시터 영역에 트랜치를 형성하는 단계와, 상기 기판 상의 상기 트랜지스터 영역에 활성층, 및 상기 트렌치 내에 커패시터 하부전극을 형성하는 제1마스크 공정단계와, 상기 발광소자영역 상에 화소전극을 형성하기 위한 제1전극유닛, 게이트 전극, 상기 트랜치 내에서 상기 커패시터 하부전극 상에 형성되는 커패시터 상부전극을 형성하기 위한 제2전극유닛을 각각 형성하는 제2마스크 공정단계와, 상기 활성층의 양쪽 가장자리를 노출하는 컨택홀들, 상기 제1전극유닛과 상기 제2전극유닛을 노출하는 개구부들이 형성된 층간 절연막을 형성하는 제3마스크 공정단계와, 상기 컨택홀을 통해 상기 활성층과 접촉하는 소스전극 및 드레인전극을 형성하고, 상기 제1전극유닛으로부터 상기 화소전극을 형성하며, 상기 제2전극유닛으로부터 상기 커패시터 상부전극을 형성하는 제4마스크 공정단계와, 상기 화소전극의 적어도 일부를 노출하는 화소정의막을 형성하는 제5마스크공정단계와, 상기 화소전극 상에 공통층과 발광층을 포함하는 중간층을 형성하며, 상기 발광영역 이외의 영역 상에는 상기 공통층을 형성하는 단계와, 상기 중간층과 상기 공통층 상에 대향전극을 형상하는 단계를 구비할 수 있다.A method of manufacturing an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention includes the steps of preparing a partition substrate using a plurality of light emitting device regions, a plurality of capacitor regions, and a plurality of transistor regions, forming a trench in the capacitor region A first mask process step of forming an active layer in the transistor region on the substrate and a capacitor lower electrode in the trench; a first mask process step of forming a pixel electrode on the light emitting device region, A second electrode unit for forming a capacitor upper electrode formed on the lower electrode of the capacitor in the first electrode unit, a contact hole exposing both edges of the active layer, A third mask process step of forming an interlayer insulating film in which openings for exposing the second electrode unit are formed; And a source electrode and a drain electrode which are in contact with the active layer through the contact hole are formed on the first electrode unit and the pixel electrode is formed from the first electrode unit, A fifth mask process step of forming a pixel defining layer exposing at least a part of the pixel electrode; forming an intermediate layer including a common layer and a light emitting layer on the pixel electrode, Forming the common layer, and forming a counter electrode on the intermediate layer and the common layer.
상기 커패시터 영역은 상기 발광영역을 사이에 두고 상기 발광영역의 양측에 배치되는 제1커패시터 영역과 제2커패시터 영역으로 이루어질 수 있다.The capacitor region may include a first capacitor region and a second capacitor region disposed on both sides of the light emitting region with the light emitting region interposed therebetween.
상기 트랜치는 상기 발광영역의 제1측에서 이격된 상기 제1커패시터 영역 내에 형성되는 제1트랜치와 상기 발광영역의 상기 제1측에 대향하는 제2측에서 이격된 상기 제2커패시터 영역 내에 형성된 제2트랜치로 이루어질 수 있다.Wherein the trench comprises a first trench formed in the first capacitor region spaced apart from a first side of the light emitting region and a second trench formed in the second capacitor region spaced apart from a second side opposite the first side of the light emitting region. 2 trenches.
상기 제1트랜치 내에 형성되는 상기 제1커패시터 하부전극과 상기 제1커패시터 상부전극으로 이루어진 제1커패시터와, 상기 제2트랜치 내에 형성되는 상기 제2커패시터 하부전극과 상기 제2커패시터 상부전극으로 이루어진 제2커패시터를 더 포함할 수 있다.A first capacitor made up of the first capacitor lower electrode and the first capacitor upper electrode formed in the first trench and a second capacitor lower electrode formed in the second trench and the second capacitor upper electrode formed in the second trench, 2 < / RTI > capacitors.
상기 제2마스크공정단계는. 상기 제1마스크 공정의 결과물 상에 게이트 절연층을 형성하는 단계와, 상기 게이트 절연층 상에 제1도전층 및 제2도전층을 차례로 형성하고 이를 패터닝하여, 트랜지스터의 게이트 전극, 상기 화소전극을 형성하기 위한 상기 제1전극유닛, 상기 제1커패시터 상부전극을 형성하기 위한 제2전극유닛, 및 상기 제2커패시터 하부전극을 형성하기 위한 제3전극유닛을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.Wherein the second mask processing step comprises: Forming a gate insulating layer on the result of the first mask process; and forming a first conductive layer and a second conductive layer on the gate insulating layer in order and patterning the gate electrode, the pixel electrode, And forming a second electrode unit for forming the first capacitor upper electrode and a third electrode unit for forming the second capacitor lower electrode.
상기 제3마스크공정단계는. 상기 제2마스크 공정의 결과물 상에 제1절연층을 형성하고, 상기 제1절연층에서 상기 반도체층의 소스 및 드레인 영역을 노출시키는 콘택홀과, 상기 제1전극유닛, 상기 제2전극유닛, 및 상기 제3전극유닛을 노출시키는 개구부들을 형성하여 층간 절연층을 형성할 수 있다.Wherein the third mask processing step comprises: A contact hole for exposing source and drain regions of the semiconductor layer in the first insulating layer, and a contact hole for exposing the source and drain regions of the semiconductor layer in the first insulating layer, And an opening for exposing the third electrode unit may be formed to form an interlayer insulating layer.
상기 제4마스크공정단계는. 상기 층간 절연층 상에 제3도전층을 형성하는 단계와, 상기 제3도전층을 패터닝하여 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극을 형성하는 단계와, 상기 제1전극유닛을 구성하는 상기 제2도전층을 제거하여 상기 제1도전층으로 이루어진 상기 화소전극을 형성함과 동시에, 상기 제2전극유닛을 구성하는 상기 제2도전층을 제거하여 상기 제1도전층으로 이루어진 상기 제1커패시터 상부전극을 형성함과 동시에, 상기 제3전극유닛을 구성하는 상기 제2도전층을 제거하여 상기 제1도전층으로 이루어진 상기 제2커패시터 상부전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.Wherein the fourth mask processing step comprises: Forming a third conductive layer on the interlayer insulating layer; patterning the third conductive layer to form the source electrode and the drain electrode; forming a second conductive layer Forming the pixel electrode of the first conductive layer and removing the second conductive layer constituting the second electrode unit to form the first capacitor upper electrode of the first conductive layer And forming the second capacitor upper electrode made of the first conductive layer by removing the second conductive layer constituting the third electrode unit.
상기 제5마스크공정단계는, 상기 제4마스크 공정의 결과물 상에 제2절연층을 형성하고, 상기 제2절연층을 상기 화소전극의 투명도전물이 노출되도록 패터닝하여 화소 정의막을 형성할 수 있다.The fifth mask process step may form a pixel defining layer by forming a second insulating layer on the result of the fourth mask process and patterning the second insulating layer to expose the transparent conductive material of the pixel electrode .
상기 대향전극은 상기 트랜치 내에서 상기 공통층 상에 형성될 수 있다.The counter electrode may be formed on the common layer in the trench.
상기 공통층은 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 및 전자 주입층으로 이루어지며, 상기 화소전극 상에서는 상기 정공 주입층, 상기 정공 수송층, 상기 발광층, 상기 전자 수송층, 및 상기 전자 주입층 순서로 적층될 수 있다.Wherein the common layer comprises a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer, wherein the hole injecting layer, the hole transporting layer, the light emitting layer, the electron transporting layer, .
상기 공통층은 제1공통층과 제2공통층으로 이루어지며, 상기 화소전극 이외의 상기 제1기판 상에 상기 공통층이 형성되며, 상기 화소전극 상에는 상기 제1공통층, 상기 발광층, 및 상기 제2공통층이 순대로 적층될 수 있다.Wherein the common layer comprises a first common layer and a second common layer, the common layer is formed on the first substrate other than the pixel electrode, and the first common layer, the light emitting layer, The second common layer can be stacked in a line-by-line manner.
상기 대향 전극은 상기 발광층에서 방출된 광을 반사하는 반사전극일 수 있다.The counter electrode may be a reflective electrode that reflects light emitted from the light emitting layer.
상기 반도체층은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘으로 이루어질 수 있다.The semiconductor layer may be formed of amorphous silicon or crystalline silicon.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 유기 발광 표시 장치의 발광영역이 증대되고 광추출 효율이 향상될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the light emitting area of the organic light emitting display device can be increased and the light extraction efficiency can be improved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 구조를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는 도 1의 I-I선을 따라 절개한 단면도이다.
도 3 내지 도 10은 도 2에 도시된 유기 발광 표시 장치의 제조공정을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 11은 발광층에서 발생한 빛의 경로를 나타내는 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.1 is a plan view schematically showing a structure of an organic light emitting display according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along the line II in Fig.
3 to 10 are cross-sectional views schematically showing a manufacturing process of the organic light emitting display shown in FIG.
11 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device showing a path of light generated in a light emitting layer.
이하 첨부된 도면들에 도시된 본 발명에 관한 실시예를 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 구조를 개략적으로 나타낸 평면도이다. 1 is a plan view schematically showing the structure of an organic light emitting diode display 1 according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 유기 발광 표시 장치(1)는 복수개의 발광소자를 포함하는 제1기판(10), 제1기판(10)과 실링을 통해 합착되는 제2기판(70)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the organic light emitting diode display 1 includes a
제1기판(10)에는 박막트랜지스터(TFT), 발광소자(EL), 커패시터(Cst1, Cst2) 등이 형성될 수 있다. 또한, 제1기판(10)은 LTPS(crystalline silicon) 기판, 유리 기판 또는 플라스틱 기판 등일 수 있다.A thin film transistor (TFT), a light emitting device EL, capacitors Cst1 and Cst2, and the like may be formed on the
제2기판(70)은 제1기판(10)에 구비된 TFT 및 발광소자 등을 외부 수분, 공기 등으로부터 차단하도록 제1기판(10) 상에 배치되는 봉지기판일 수 있다. 제2기판(70)은 제1기판(10)과 대향되도록 위치하고, 제1기판(10)과 제2기판(70)은 그 가장자리를 따라 배치되는 실링부재(90)에 의해 서로 접합된다. 제2기판(70)은 유리 기판 또는 플라스틱 기판 또는 스테인리스 스틸(Stainless Using Steel; SUS) 기판 일 수 있다.The
제1기판(10)은 빛이 출사되는 발광영역(DA)과 이 발광영역(DA)의 외곽에 위치한 비발광영역(NDA)을 포함한다. 본 발명의 실시예들에 따르면, 발광영역(DA) 외측의 비발광영역(NDA)에 실링부재(90)가 배치되어, 제1기판(10)과 제2기판(70)을 접합한다. The
상술한 바와 같이, 제1기판(10)의 발광영역(DA)에는 유기발광소자(EL), 이를 구동하는 박막트랜지스터(TFT) 및 이들과 전기적으로 연결된 배선이 형성된다. 그리고, 비발광영역(NDA)에는 발광영역(DA)의 배선으로부터 연장 형성된 패드전극(PAD)이 위치하는 패드영역(5)이 포함될 수 있다.As described above, the organic light emitting device EL, the thin film transistor (TFT) driving the organic light emitting device EL, and the wiring electrically connected thereto are formed in the light emitting area DA of the
도 1에서 발광영역(DA) 중 일부분인 A를 확대한 부분을 참조하면, 유기발광소자(EL)를 사이에 두고 제1커패시터(Cst1)와 제2커패시터(Cst2)가 배치될 수 있다. 제1커패시터(Cst1)와 제2커패시터(Cst2) 각각은 유기발광소자(EL)의 양측에서 이격되어 배치될 수 있다. 이에 대해서는 후술한다. Referring to FIG. 1, a part of the light emitting area DA is enlarged. A first capacitor Cst1 and a second capacitor Cst2 may be disposed with the organic light emitting element EL therebetween. Each of the first capacitor Cst1 and the second capacitor Cst2 may be disposed apart from both sides of the organic light emitting device EL. This will be described later.
도 2는 도 1의 I-I선을 따라 절개한 단면도이다. 2 is a cross-sectional view taken along the line I-I in Fig.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)는, 트랜지스터영역(2), 제1커패시터영역(3a), 제2커패시터영역(3b), 및 발광소자영역(4)을 포함한다.2, an OLED display 1 according to an embodiment of the present invention includes a
트랜지스터영역(2)에는 구동소자로서 박막트랜지스터(TFT)가 구비된다. 박막트랜지스터(TFT)는 활성층(21), 게이트전극(20) 및 소스/드레인 전극(26,27)으로 구성될 수 있다.The
게이트전극(20)은 게이트 하부전극(23)과 게이트 하부전극(23) 상부에 있는 게이트 상부전극(25)으로 구성될 수 있다. 게이트 하부전극(23)은 투명한 전도성 물질로 형성될 수 있는데, 구체적으로 인듐틴옥사이드(indium tin oxide: ITO), 인듐징크옥사이드(indium zinc oxide: IZO), 징크옥사이드(zinc oxide: ZnO), 인듐옥사이드(indium oxide: In2O3), 인듐갈륨옥사이드(indium gallium oxide: IGO), 및 알루미늄징크옥사이드(aluminum zinc oxide: AZO)을 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 함유할 수 있다. 게이트 상부전극(25)은 Mo, MoW, Al계 합금 등과 같은 금속 또는 금속의 합금의 단일층 또는 2층 이상의 복수층으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 게이트전극(20)과 활성층(21) 사이에는 이들 간의 절연을 위한 게이트 절연층(12)이 개재되어 있다. 또한, 활성층(21)은 채널영역(21c)와 소스/드레인 영역(21s/21d)으로 이루어질 수 있다. 채널영역(21c)의 양쪽 가장자리에 고농도의 불순물이 도핑된 소스/드레인영역(21s/21d)이 형성되어 있으며, 이들은 상기 소스/드레인 전극(26/27)에 각각 연결될 수 있다. The
제1기판(10) 상의 제1커패시터영역(3a)과 제2커패시터영역(3b) 각각에는 제1트랜치(10a)와 제2트랜치(10b)가 형성되며, 제1트랜치(10a) 내에 제1커패시터(Cst1)가 형성되고, 제2트랜치(10b) 내에 제2커패시터(Cst2)가 형성될 수 있다. A
제1트랜치(10a)와 제2트랜치(10b)는 제1기판(10) 상에 형성되는 음각 패턴이다. 즉, 제1트랜치(10a)와 제2트랜치(10b)는 화소전극(43)이 형성되는 제1기판(10)의 일면에서 이에 대향하는 타면을 향하여 형성되는 음각 패턴일 수 있다. 제1트랜치(10a)와 제2트랜치(10b)는 발광소자영역(4)을 사이에 두고 형성될 수 있다. 제1트랜치(10a)는 발광소자영역(4)의 일 측으로부터 이격되어 형성되며, 제2트랜치(10b)는 발광소자영역(4)의 일 측에 대향하는 타측으로부터 이격되어 형성될 수 있다. 제1트랜치(10a)와 제2트랜치(10b)의 길이는 화소전극(43)의 길이보다 길게 형성될 수 있다. The
제1트랜치(10a) 내에는 제1커패시터(Cst1)가 형성되며, 제2트랜치(10b) 내에는 제2커패시터(Cst2)가 형성될 수 있다. 제1커패시터(Cst1)는 제1커패시터 하부전극(31a) 및 커패시터 상부전극(33a)으로 이루어지며, 이들 사이에 게이트 절연층(12)이 개재되며, 제2커패시터(Cst2)는 제2커패시터 하부전극(31b) 및 커패시터 상부전극(33b)으로 이루어지며, 이들 사이에 게이트 절연층(12)이 개재될 수 있다. 여기서, 제1 및 2커패시터 하부전극(31a, 31b)은 박막트랜지스터(TFT)의 활성층(21)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 제1 및 2커패시터 하부전극(31a, 31b)은 반도체 물질로 이루어지며, 불순물이 도핑되어 있어 전기 전도성이 향상될 수 있다. 한편, 제1 및 2커패시터 상부전극(33a, 33b) 각각은 제1 및 2 트랜치(10a, 10b) 내에서 게이트 절연층(12) 상에 형성될 수 있다. A first capacitor Cst1 may be formed in the
이와 같이 커패시터(Cst1, Cst2)가 트랜치(10a, 10b)에 형성되므로 제1기판(10)의 평면 상에 형성되는 경우보다 커패시터(Cst1, Cst2)가 차지하는 면적을 감소시켜 발광소자영역(4)의 면적을 더 크게 할 수 있으며, 이에 따라 발광 효율을 향상시킬 수 있다. Since the capacitors Cst1 and Cst2 are formed in the
발광소자영역(4)에는 유기발광소자(EL)가 구비된다. 유기발광소자(EL)는 박막트랜지스터(TFT)의 소스/드레인전극(26/27) 중 하나와 접속된 화소전극(43), 화소전극(43)과 마주보도록 형성된 대향전극(45) 및 그 사이에 개재된 중간층(44)으로 구성될 수 있다. 화소전극(43)은 투명한 전도성 물질로 형성되며, 박막트랜지스터(TFT)의 게이트 하부전극(23) 등과 동일한 층에 동일한 물질로 형성될 수 있다. 유기발광소자(EL)에 관하여는 후술한다.
The light emitting
도 3 내지 도 10은 도 2에 도시된 유기 발광 표시 장치(1)의 제조공정을 개략적으로 나타내는 단면도이다. 이하에서는 도 2에 도시된 유기 발광 표시 장치(1)의 제조공정을 개략적으로 설명한다.3 to 10 are sectional views schematically showing a manufacturing process of the organic light emitting diode display 1 shown in FIG. Hereinafter, a manufacturing process of the OLED display 1 shown in FIG. 2 will be schematically described.
먼저 도 3에 도시된 바와 같이, 제1기판(10) 상에 제1 및 2 트랜치(10a, 10b)을 형성한다. 상세히, 제1기판(10)은 SiO2를 주성분으로 하는 투명 재질의 글라스재로 형성될 수 있다. 제1기판(10)은 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 투명한 플라스틱 재 또는 금속 재 등, 다양한 재질의 기판을 이용할 수 있다. 제1 및 2 트랜치(10a, 10b)는 제1기판(10)의 일면에서 타면 방향으로 형성된 음각 패턴이다. 제1 및 2 트랜치(10a, 10b)는 발광소자영역(4)을 사이에 두고 발광소자영역(4)의 양측에서 이격되어 형성될 수 있다. First, as shown in FIG. 3, first and
다음으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1기판(10) 상부에 보조층(11)을 형성한다. 제1기판(10) 상면에 불순물 이온이 확산되는 것을 방지하고, 수분이나 외기의 침투를 방지하며, 표면을 평탄화하기 위한 베리어층, 블록킹층, 및/또는 버퍼층과 같은 보조층(11)이 구비될 수 있다. 보조층(11)은 SiO2 및/또는 SiNx 등을 사용하여, PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition)법, APCVD(atmospheric pressure CVD)법, LPCVD(low pressure CVD)법 등 다양한 증착 방법에 의해 형성될 수 있다.Next, an
다음으로, 보조층(11) 상부에 박막트랜지스터(TFT)의 활성층(21)과 제1커패시터 하부전극(31a) 및 제2커패시터 하부전극(31b)을 형성할 수 있다. 상세히, 보조층(11) 상부에 비정질 실리콘층(미도시)을 먼저 증착한 후 이를 결정화함으로써 다결정 실리콘층(미도시)을 형성한다. 비정질 실리콘은 RTA(rapid thermal annealing)법, SPC(solid phase crystallization)법, ELA(excimer laser annealing)법, MIC(metal induced crystallization)법, MILC(metal induced lateral crystallization)법, SLS(sequential lateral solidification)법 등 다양한 방법에 의해 결정화될 수 있다. 그리고, 이와 같이 다결정 실리콘층은 제1마스크(미도시)를 사용한 마스크 공정에 의해, 박막트랜지스터(TFT)의 활성층(21) 및 제1커패시터 하부전극(31a)과 제2커패시터 하부전극(31b)으로 패터닝될 수 있다. 제1커패시터 하부전극(31a)은 제1트랜치(10a) 내의 보조층(11) 상에 형성되며, 제2커패시터 하부전극(31b)은 제2트랜치(10b) 내의 보조층(11) 상에 형성될 수 있다. Next, the
다른 실시예로서, 제1기판(10) 상의 제1 및 2 트랜치(10a, 10b)는 활성층(21) 형성과 동시에 형성될 수 있다. 보다 상세하게는, 제1기판(10) 상에 보조층(11)을 형성한 후에 보조층(11) 상부에 비정질 실리콘층(미도시)을 증착하고 이를 결정화함으로써 다결정 실리콘층을 형성한다. 이후 하프톤 마스크를 이용하여 제1 및 2 트랜치(10a, 10b)와 활성층(21)을 패터닝할 수 있다. As another embodiment, the first and
다음으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 활성층(21)과 제1 및 2커패시터 하부전극(31a, 31b)이 형성된 제1기판(10)의 전면에 게이트 절연층(12), 제1도전층(23a) 및 제2도전층(25a)을 순차로 형성한다. 5, on the entire surface of the
게이트 절연층(12)은 SiNx 또는 SiOx 등과 같은 무기 절연막을 PECVD법, APCVD법, LPCVD법 등의 방법으로 증착할 수 있다. 게이트 절연층(12)은, 박막트랜지스터(TFT)의 활성층(21)과 게이트전극(20) 사이에 개재되어 박막트랜지스터(TFT)의 절연막 역할을 하며, 제1커패시터 상부전극(33a)과 제1커패시터 하부전극(31a) 사이에 개재되어 제1커패시터(Cst1)의 유전체층 역할을 하며, 제2커패시터 상부전극(33b)과 제2커패시터 하부전극(31b) 사이에 개재되어 제2커패시터(Cst2)의 유전체층 역할을 하게 된다.The
제1도전층(23a)은 ITO, IZO, ZnO, 또는 In2O3와 같은 투명 물질 가운데 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다. 추후 상기 제1도전층(23a)은 화소전극(43), 게이트 하부전극(23), 및 제1 및 2커패시터 상부전극(33a, 33b)으로 패터닝 될 수 있다. The first
한편, 제2도전층(25a)은 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca, Mo, Ti, W, MoW, Cu 가운데 선택된 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다. 바람직하게, 제2도전층(25a)은 Mo - Al - Mo의 3층 구조로 형성될 수도 있다. 추후 제2도전층(25a)은 게이트 상부전극(25)으로 패터닝 될 수 있다.The second
그러나 이에 한정되지 않고, 제1도전층(23a)은 제2도전층(25a)에 비해 내부식성이 좋은 물질을 포함하며, 제2도전층(25a)은 제1도전층(23a)에 비해 저항이 작아 전류가 잘 흐르는 물질을 포함한다면 본 발명의 일 실시예들을 만족한다.However, the present invention is not limited to this, and the first
다음으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1기판(10) 상에 게이트전극(20)과, 제1전극유닛(43, 43a)과 제2전극유닛(33a, 35a)과 제3전극유닛(33b, 35b)을 각각 형성한다. 6, a
상세히, 제1기판(10) 전면에 차례로 적층된, 제1도전층(23a) 및 제2도전층(25a)은 제2마스크(미도시)를 사용한 마스크 공정에 의해 패터닝된다. In detail, the first
이때, 트랜지스터영역(2)에는 활성층(21) 상부에 게이트전극(20)이 형성되고, 게이트전극(20)은 제1도전층(23a)의 일부로 형성된 게이트 하부전극(23)과 제2 도전층(15)의 일부로 형성된 게이트 상부전극(25)을 포함한다. The
여기서, 게이트전극(20)은 활성층(21)의 중앙에 대응하도록 형성되며, 게이트전극(20)을 셀프 얼라인(self align) 마스크로 하여 활성층(21)으로 n형 또는 p형의 불순물을 도핑하여 게이트전극(20)의 양측에 대응하는 활성층(21)의 가장자리에 소스/드레인영역(21s/21d)과 이들 사이의 채널영역(21c)을 형성한다. 여기서 불순물은 보론(B) 이온 또는 인(P) 이온일 수 있다. The
제1커패시터 영역(3a)에는 추후 제1커패시터 상부전극(33a)을 형성하기 위한 제2전극유닛(33a, 35a)이 제1커패시터 하부전극(31a) 상부에 형성되고, 제2커패시터 영역(3b)에는 추후 제2커패시터 상부전극(33b)을 형성하기 위한 제3전극유닛(33b, 35b)이 제2커패시터 하부전극(31b) 상부에 형성되며, 발광소자영역(4)에는 추후 화소전극(43)을 형성하기 위한 제1전극유닛(43, 43a)이 형성된다.
다음으로, 도 7에 도시된 바와 같이, 게이트전극(20)이 형성된 제1기판(10)의 전면에 제1절연층(미도시)을 형성한 후 제1절연층(미도시)을 패터닝하여 화소전극(43), 제1커패시터 상부전극(33a), 및 제2커패시터 상부전극(33b)을 노출하는 개구들(H1, H2, H3)과 활성층(21)의 소스/드레인영역(21s/21d)의 일부를 노출하는 컨택홀들(H4, H5)이 형성된 층간 절연층(14)을 형성한다.7, a first insulating layer (not shown) is formed on the entire surface of the
층간 절연층(14)은 폴리이미드, 폴리아마이드, 아크릴 수지, 벤조사이클로부텐 및 페놀 수지로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 유기 절연 물질로 스핀 코팅 등의 방법으로 형성된다. 층간 절연층(14)은 충분한 두께로 형성되어, 예컨대 전술한 게이트 절연층(12)보다 두껍게 형성되어, 박막트랜지스터(TFT)의 게이트전극(20)과 소스/드레인전극(26/27) 사이의 절연막 역할을 수행한다. 한편, 층간 절연층(14)은 상기와 같은 유기 절연 물질뿐만 아니라, 전술한 게이트 절연층(12)과 같은 무기 절연 물질로 형성될 수 있으며, 유기 절연 물질과 무기절연 물질을 교번하여 형성할 수도 있다.The interlayer insulating
상세히, 상기 제1절연층은 제3마스크(미도시)를 사용한 마스크 공정에 의해 패터닝됨으로써 개구들(H1, H2, H3) 및 컨택홀들(H4, H5)이 형성된 층간 절연층(14)을 형성한다. 여기서, 컨택홀들(H4, H5)은 소스/드레인영역(21s/21d)의 일부를 각각 노출시키고, In detail, the first insulating layer is patterned by a mask process using a third mask (not shown) to form an
제1개구(H1)는 제1전극유닛(43, 43a)을 노출시킨다. 제2개구(H2)는 제2전극유닛(33a, 35a)을 노출시키며, 제3개구(H3)은 제3전극유닛(33b, 35b)을 노출시킨다. The first opening H1 exposes the
다음으로, 도 8에 도시된 바와 같이, 층간 절연층(14)을 덮도록 제1기판(10) 전면에 제3도전층(미도시)을 형성한 후 제3도전층을 패터닝하여, 소스/드레인전극(26/27), 화소전극(43), 제1커패시터 상부전극(33a) 및 제2커패시터 상부전극(33b)을 각각 형성한다. Next, as shown in FIG. 8, a third conductive layer (not shown) is formed on the entire surface of the
상기 제3도전층은 전술한 제1 또는 제2도전층과 동일한 도전 물질 가운데 선택할 수 있으며, 이에 한정되지 않고 다양한 도전 물질들로 형성될 수 있다. 또한, 상기 도전 물질은 전술한 컨택홀들(H4, H5), 개구들(H1, H2, H3) 사이를 충진할 수 있을 정도로 충분한 두께로 증착된다.The third conductive layer may be selected from the same conductive materials as the first or second conductive layer, but may be formed of various conductive materials. In addition, the conductive material is deposited to a sufficient thickness to fill between the contact holes H4 and H5 and the openings H1, H2, and H3 described above.
상기 제3도전층을 제4마스크(미도시)를 사용한 마스크 공정에 의해 패터닝하여 소스/드레인전극(26/27)을 형성한다.The third conductive layer is patterned by a mask process using a fourth mask (not shown) to form source /
한편, 소스/드레인전극(26/27)을 형성함과 동시에 화소전극(43), 제1커패시터 상부전극(33a), 및 제2커패시터 상부전극(33b)을 각각 형성한다. 그러나 본 발명은 이에 한정되지 않고, 소스/드레인전극(26/27)을 형성한 후 추가 식각에 의해 화소전극(43), 제1커패시터 상부전극(33a), 및 제2커패시터 상부전극(33b)을 각각 형성할 수도 있다. The
게이트 하부전극(23), 제1 및 2커패시터 상부전극(33a, 33b) 및 화소전극(43)은 동일층에서 동일 물질로 형성된다. The gate
여기서, 상기 제2 및 3개구(H2, H3)를 통해 n형 또는 p형의 불순물을 주입하여 제1 및 2커패시터 하부전극(31a, 31b)을 도핑할 수 있다. 상기 도핑 시 주입되는 불순물은 상기 활성층(21)의 도핑 시 사용된 것과 동일 또는 상이할 수 있다.Here, n-type or p-type impurities may be injected through the second and third openings H2 and H3 to dope the first and second capacitor
다음으로, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1기판(10) 상에 화소정의막(pixel define layer: PDL)(16)을 형성하고, 공통층(442) 및 중간층(44)을 형성한다. 9, a pixel defining layer (PDL) 16 is formed on the
상세히, 화소전극(43), 소스/드레인전극(26/27), 제1 및 2커패시터 상부전극(33a, 33b)이 형성된 제1기판(10) 전면에 제2절연층(미도시)을 형성한다. 이때 상기 제2절연층(미도시)은 폴리이미드, 폴리아마이드, 아크릴 수지, 벤조사이클로부텐 및 페놀 수지로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 유기 절연 물질로 스핀 코팅 등의 방법으로 형성될 수 있다. 한편, 상기 제2절연층은 상기와 같은 유기 절연 물질뿐만 아니라, SiO2, SiNx, Al2O3, CuOx, Tb4O7, Y2O3, Nb2O5, Pr2O3 등에서 선택된 무기 절연 물질로 형성될 수 있음은 물론이다. 또한 상기 제2절연층은 유기 절연 물질과 무기 절연 물질이 교번하는 다층 구조로 형성될 수도 있다. In detail, a second insulating layer (not shown) is formed on the entire surface of the
상기 제2절연층은 제5마스크(미도시)를 사용한 마스크 공정에 의해 패터닝되어 화소전극(43)의 중앙부가 노출되도록 개구부를 형성함으로써, 픽셀을 정의하는 화소 정의막(16)을 이루게 된다. The second insulating layer is patterned by a mask process using a fifth mask (not shown) to form an opening to expose a central portion of the
이후, 화소 정의막(16)이 형성된 제1기판(10) 상에 공통층(442)형성하고, 화소전극(43)을 노출하는 개구부에 발광층을 포함하는 중간층(44)을 형성한다. A
상세하게는, 중간층(44)은 공통층(442)과 발광층(441)으로 이루어지며, 공통층(442)은 제1공통층(442a, 442b)과 제2공통층(442c, 442d)로 이루어지고, 중간층(44)은 제1공통층(442a, 442b)과 제2공통층(442c, 442d) 사이에 배치될 수 있다. In detail, the
제1공통층(442a, 442b)은 정공 수송층(hole transport layer: HTL)(442a)과 정공 주입층(hole injection layer: HIL)(442b)이 순서대로 적층되어 이루어질 수 있으며, 제2공통층(442c, 442d)은 전자 수송층(electron transport layer: ETL)(442c)과 전자 주입층(electron injection layer: EIL)(442d)이 순서대로 적층되어 이루어질 수 있다. The first
발광소자영역(4) 이외의 영역에서는 공통층(442)이 형성된다. 즉, 제1커패시터 영역(3a), 제2커패시터 영역(3b), 및 트랜지스터영역(2) 상의 화소 정의막(16) 및 제1, 2커패시터 상부전극(33a, 33b) 상에 제1공통층(442a, 442b)과 제2공통층(442c, 442d)이 순차적으로 적층될 수 있다. The
발광소자영역(4)에서는 화소전극(43) 상에 제1공통층(442a, 442b)이 형성되고, 제1공통층(442a, 442b) 상에 발광층(441)이 형성되고, 발광층(441) 상에 제2공통층(442c, 442d)이 형성될 수 있다.In the light emitting
발광층(441)은 유기 발광층(emissive layer: EML)일 수 있다. 상기 유기 발광층은 저분자 또는 고분자 유기물로 구비될 수 있다. The
유기 발광층이 저분자 유기물로 형성되는 경우, 중간층(44)은 유기 발광층을 중심으로 화소전극(43)의 방향으로 정공 수송층(442a) 및 정공 주입층(442b) 등이 적층되고, 대향전극(45) 방향으로 전자 수송층(442c) 및 전자 주입층(442d) 등이 적층될 수 있다. 이외에도 필요에 따라 다양한 층들이 적층될 수 있다. 이때, 사용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N, N-디(나프탈렌-1-일)-N, N'-디페닐-벤지딘(N, N'-Di(naphthalene-1-yl)-N, N' -diphenyl-benzidine: NPB), 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯하여 다양하게 적용 가능하다. The
한편, 유기 발광층이 고분자 유기물로 형성되는 경우에는, 중간층(44)은 유기 발광층을 중심으로 화소전극(43) 방향으로 정공 수송층(442a)만이 포함될 수 있다. 정공 수송층(442a)은 폴리에틸렌 디히드록시티오펜(PEDOT: poly-(2,4)-ethylene-dihydroxy thiophene)이나, 폴리아닐린(PANI: polyaniline) 등을 사용하여 잉크젯 프린팅이나 스핀 코팅의 방법에 의해 화소전극(43) 상부에 형성할 수 있다. 이때 사용 가능한 유기 재료로 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등의 고분자 유기물을 사용할 수 있으며, 잉크젯 프린팅이나 스핀 코팅 또는 레이저를 이용한 열전사 방식 등의 통상의 방법으로 컬러 패턴을 형성할 수 있다.In the case where the organic light emitting layer is formed of a polymer organic material, the
상기 대향전극(45)은 제1기판(10) 전면에 증착되어 공통 전극으로 형성될 수 있다. 대향전극(45)은 도 10에 도시된 바와 같이 제1커패시터 영역(3a)의 제1트랜치(10a) 및 제2커패시터 영역(3b)의 제2트랜치(10b) 내에도 형성될 수 있다. The
본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(1)의 경우, 화소전극(43)은 애노드 전극으로 사용되고, 대향전극(45)은 캐소드 전극으로 사용된다. 물론 전극의 극성은 반대로 적용될 수 있음은 물론이다. In the organic light emitting diode display 1 according to the present embodiment, the
유기 발광 표시 장치(1)가 제1기판(10)의 방향으로 화상이 구현되는 배면 발광형(bottom emission type)의 경우, 화소전극(43)은 투명전극이 되고 대향전극(45)은 반사 전극이 된다. 이때 반사 전극은 일함수가 적은 금속, 예를 들자면, Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, 또는 이들의 화합물을 얇게 증착하여 형성할 수 있다. In the case of a bottom emission type in which an image is formed in the direction of the
상술한 바와 같이, 대향전극(45)은 유기발광소자(EL) 소자를 사이에 두고 유기발광소자(EL)의 양측에 형성된 제1, 2 트랜치(10a, 10b) 상에도 형성되므로, 도 11에 도시된 바와 같이, 유기발광소자(EL)에서 생성된 빛(P1, P2)이 제1기판(10) 내에서 전반사 되지 않고 제1, 2 트랜치(10a, 10b) 내의 대향전극(45)에 반사되어 외부로 방출되므로 광추출 효율이 향상된다. As described above, since the
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.
1: 유기 발광 표시 장치 26/27: 소스/드레인전극
2: 트랜지스터영역 3a: 제1커패시터 영역
3b: 제2커패시터 영역 4: 발광영역
10: 제1기판 11: 보조층
12: 게이트 절연층 23a: 제1도전층
14: 층간 절연층 25a: 제2도전층
16: 화소 정의막 20: 게이트전극
21: 활성층 23: 게이트 하부전극
25: 게이트 상부전극 31a: 제1커패시터 하부전극
31b: 제2커패시터 하부전극 33a: 제1커패시터 상부전극
33b: 제2커패시터 상부전극 43: 화소전극
44: 중간층 45: 대향 전극
70: 제2기판 90: 실링부재1: organic light emitting
2:
3b: second capacitor region 4: light emitting region
10: first substrate 11: auxiliary layer
12:
14:
16: pixel defining film 20: gate electrode
21: active layer 23: gate lower electrode
25: gate
31b: second capacitor
33b: second capacitor upper electrode 43: pixel electrode
44: intermediate layer 45: counter electrode
70: second substrate 90: sealing member
Claims (34)
화소전극과, 상기 화소전극 상에 위치하며 공통층과 발광층을 갖는 중간층과, 상기 중간층 상에 위치하는 대향전극을 포함하며, 상기 기판 상에 배치된, 발광소자; 및
상기 기판에 형성된 트랜치들 내에 위치하고, 상기 기판에 대해 수직인 방향에서 바라볼 시, 상기 중간층에 접촉하는 상기 화소전극의 부분과 중첩하지 않도록 상기 발광소자의 일측과 타측 각각에 위치하는 커패시터들;을 구비하는, 유기 발광 표시 장치.Board;
A light emitting element disposed on the substrate, the light emitting element comprising: a pixel electrode; an intermediate layer positioned on the pixel electrode and having a common layer and a light emitting layer; and a counter electrode positioned on the intermediate layer; And
Capacitors located in one side and the other side of the light emitting device so as not to overlap with the portion of the pixel electrode that contacts the intermediate layer when viewed in a direction perpendicular to the substrate; And the organic light emitting display device.
상기 커패시터들은 상기 발광소자와 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
Wherein the capacitors are spaced apart from the light emitting device.
상기 커패시터들은, 상기 발광소자의 제1측부에서 이격되어 상기 기판 상에 형성된 제1트랜치 내에 배치되는 제1커패시터와, 상기 발광소자의 상기 제1측부에 대향하는 제2측부에서 이격되어 상기 기판 상에 형성된 제2트랜치 내에 배치되는 제2커패시터를 포함하는, 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
Wherein the capacitors comprise a first capacitor disposed in a first trench formed on the substrate and spaced apart from a first side of the light emitting device and a second capacitor disposed on a second side of the substrate opposite to the first side of the light emitting device, And a second capacitor disposed in a second trench formed in the first trench.
상기 제1커패시터는 상기 제1측부의 길이보다 길게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the first capacitor is formed to be longer than the length of the first side portion.
상기 제2 커패시터는 상기 제2측부의 길이보다 길게 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.5. The method of claim 4,
And the second capacitor is formed to be longer than the length of the second side portion.
반도체층, 게이트 전극, 및 소스 및 드레인 전극을 포함하는 적어도 하나 이상의 트랜지스터; 및
상기 반도체층과 상기 게이트 전극 사이에 배치된 게이트 절연층;을 더 구비하며,
상기 발광소자의 상기 화소전극은 상기 게이트 절연층 상에 위치하고 상기 트랜지스터에 전기적으로 연결된, 유기 발광 표시 장치.5. The method of claim 4,
At least one transistor including a semiconductor layer, a gate electrode, and source and drain electrodes; And
And a gate insulating layer disposed between the semiconductor layer and the gate electrode,
Wherein the pixel electrode of the light emitting element is located on the gate insulating layer and is electrically connected to the transistor.
상기 제1커패시터는, 상기 제1트랜치 내에 배치되는 제1커패시터 하부전극 및 제1커패시터 상부전극을 구비하며,
상기 제2커패시터는, 상기 제2트랜치 내에 배치되는 제2커패시터 하부전극 및 제2커패시터 상부전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.8. The method of claim 7,
The first capacitor having a first capacitor lower electrode and a first capacitor upper electrode disposed in the first trench,
Wherein the second capacitor comprises a second capacitor lower electrode and a second capacitor upper electrode disposed in the second trench.
상기 제1커패시터 하부전극과 상기 제1커패시터 상부전극 사이, 및 상기 제2커패시터 하부전극과 상기 제2커패시터 상부전극 사이에는 상기 게이트 절연층이 개재되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.9. The method of claim 8,
Wherein the gate insulating layer is interposed between the first capacitor lower electrode and the first capacitor upper electrode, and between the second capacitor lower electrode and the second capacitor upper electrode.
상기 제1커패시터 하부전극과 상기 제2커패시터 하부전극은 상기 반도체층과 동일한 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.9. The method of claim 8,
Wherein the first capacitor lower electrode and the second capacitor lower electrode are made of the same material as the semiconductor layer.
상기 제1커패시터 상부전극과 상기 제2커패시터 상부전극은 상기 화소전극과 동일한 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.9. The method of claim 8,
Wherein the first capacitor upper electrode and the second capacitor upper electrode are made of the same material as the pixel electrode.
상기 화소전극은 투명도전물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.12. The method of claim 11,
Wherein the pixel electrode is made of a transparent conductive material.
상기 공통층은 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 및 전자 주입층으로 이루어지며, 상기 화소전극 상에서는 상기 정공 주입층, 상기 정공 수송층, 상기 발광층, 상기 전자 수송층, 및 상기 전자 주입층 순서로 적층된 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the common layer comprises a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer, wherein the hole injecting layer, the hole transporting layer, the light emitting layer, the electron transporting layer, The organic light emitting display device comprising:
상기 대향전극은 상기 제1커패시터 상부전극 및 상기 제2커패시터 상부전극 상에 배치되며,
상기 대향전극과 상기 제1커패시터 상부전극 사이, 또는 상기 대향전극과 상기 제2커패시터 하부전극 사이에는 상기 정공 주입층, 상기 정공 수송층, 상기 전자 수송층, 또는 상기 전자 주입층이 개재되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.14. The method of claim 13,
Wherein the counter electrode is disposed on the first capacitor upper electrode and the second capacitor upper electrode,
Wherein the hole injection layer, the hole transport layer, the electron transport layer, or the electron injection layer are interposed between the counter electrode and the first capacitor upper electrode, or between the counter electrode and the second capacitor lower electrode. Organic light emitting display.
상기 반도체층은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘인 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the semiconductor layer is amorphous silicon or crystalline silicon.
상기 대향 전극은 상기 발광층에서 방출된 광을 반사하는 반사전극인 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치.8. The method of claim 7,
Wherein the counter electrode is a reflective electrode that reflects light emitted from the light emitting layer.
상기 대향전극의 일부분들은 상기 트랜치들 내에 위치하며, 상기 발광소자에서 방출된 광은 상기 트랜치들 내의 상기 대향전극의 일부분들에서 반사되어 외부로 방출되는, 유기 발광 표시 장치.The method according to claim 1,
Wherein portions of the counter electrode are located in the trenches, and light emitted from the light emitting device is reflected by portions of the counter electrode in the trenches and is emitted to the outside.
상기 제1커패시터 영역의 트랜치 내에 배치된 제1커패시터 하부전극과, 상기 제2커패시터 영역의 트랜치 내에 배치된 제2커패시터 하부전극과, 상기 제1커패시터 영역의 트랜치 내에서 상기 제1커패시터 하부전극에 대향 배치된 제1커패시터 상부전극과, 상기 제2커패시터 영역의 트랜치 내에서 상기 제2커패시터 하부전극에 대향 배치된 제2커패시터 상부전극;
상기 트랜지스터 영역에 배치되며, 상기 제1커패시터 하부전극 및 상기 제2커패시터 하부전극과 동일층에 위치한 활성층과, 상기 제1커패시터 상부전극 및 상기 제2커패시터 상부전극과 동일층에 위치한 게이트 하부전극; 및
상기 발광소자영역에 배치되며, 상기 게이트 하부전극과 동일층에 위치한 화소전극;
을 포함하며,
상기 기판에 대해 수직인 방향에서 바라볼 시, 상기 제1커패시터 상부전극, 상기 제2커패시터 상부전극, 상기 제1커패시터 하부전극 및 상기 제2커패시터 하부전극은, 상기 화소전극의 부분과 중첩하지 않는, 유기 발광 표시 장치.A substrate including a light emitting element region, a transistor region, and a trench-shaped first capacitor region and a second capacitor region arranged on one side and the other side of the light emitting element region so as not to overlap the light emitting element region;
A first capacitor lower electrode disposed in a trench in the first capacitor region and a second capacitor lower electrode disposed in a trench in the second capacitor region and a second capacitor lower electrode disposed in the trench of the first capacitor region, A second capacitor upper electrode disposed opposite the first capacitor lower electrode in a trench of the second capacitor region;
An active layer disposed in the transistor region and located on the same layer as the first capacitor lower electrode and the second capacitor lower electrode; a gate lower electrode positioned in the same layer as the first capacitor upper electrode and the second capacitor upper electrode; And
A pixel electrode disposed on the same layer as the gate lower electrode, the pixel electrode being disposed in the light emitting element region;
/ RTI >
The first capacitor upper electrode, the second capacitor lower electrode, the first capacitor lower electrode, and the second capacitor lower electrode are formed so as not to overlap with the pixel electrode portion when viewed from a direction perpendicular to the substrate , An organic light emitting display device.
상기 제1커패시터 영역의 트랜치의 길이와 상기 제2커패시터 영역의 트랜치의 길이는 상기 화소전극의 길이보다 긴, 유기 발광 표시 장치.32. The method of claim 31,
Wherein a length of a trench of the first capacitor region and a length of a trench of the second capacitor region are longer than a length of the pixel electrode.
상기 발광소자영역의 상기 화소전극 상에 배치된 제1공통층, 발광층 및 제2공통층을 더 구비하고, 상기 발광소자영역 이외의 영역에는 상기 제1공통층 및 상기 제2공통층이 위치하는, 유기 발광 표시 장치.32. The method of claim 31,
A first common layer, a light emitting layer, and a second common layer disposed on the pixel electrode of the light emitting element region, wherein the first common layer and the second common layer are located in regions other than the light emitting element region , An organic light emitting display device.
상기 기판의 전면에 배치된 대향전극을 더 구비하고,
상기 대향전극의 상기 발광소자영역에 위치한 부분은 상기 발광층에서 방출된 광을 반사하며, 상기 광은 상기 제1커패시터 영역과 상기 제2커패시터 영역에 위치한 대향전극의 부분들에서 반사되어 외부로 방출되는, 유기 발광 표시 장치.34. The method of claim 33,
Further comprising a counter electrode disposed on a front surface of the substrate,
The portion of the counter electrode located in the light emitting device region reflects the light emitted from the light emitting layer, and the light is reflected from portions of the counter electrode located in the first capacitor region and the second capacitor region and is emitted to the outside , An organic light emitting display device.
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