KR101907283B1 - 유체 제어기 - Google Patents

Abstract

설정 수단을 위한 부품 추가나 추가 가공에 의한 비용의 증가를 억제하고, 스템 상측 이동량의 설정치가 변화한다고 하는 문제를 해소한 유체 제어기를 제공한다. 다이어프램 프레서(7)의 외주 가장자리의 상면과 프레서 어댑터(15)의 내주 가장자리의 하면이 제1 간극(A)을 두고 대향하도록 형성되어 있다. 제1 간극(A)을 소정치로 설정함으로써, 다이어프램 프레서(7)의 상측으로의 이동량이 설정되어 있다.

Description

유체 제어기{FLUID CONTROLLER}

본 발명은 유체 제어기에 관한 것이며, 특히, 개폐에 따른 스템의 상하 이동량을 규제함으로써 유량을 조정하는 용도로 사용되기에 적합한 유체 제어기에 관한 것이다.

개폐에 따른 스템의 상하 이동량을 규제함으로써 유량을 조정하는 용도로 사용되기에 적합한 유체 제어기로서, 유체 통로가 마련된 보디와, 보디의 상측에 마련된 케이싱과, 유체 통로를 개폐하는 다이어프램과, 상승 또는 하강하는 것에 의해 다이어프램을 개방 또는 폐쇄 방향으로 이동시키는 스템과, 스템의 하단부에 고정된 다이어프램 프레서와, 다이어프램 프레서의 직경 방향 외측에 배치되어 보디에 고정되어 다이어프램의 외주 가장자리를 유지하는 프레서 어댑터와, 스템과 일체로 상하 이동하는 피스톤과, 피스톤을 상하 이동시키는 구동 수단과, 개폐에 따른 스템의 상측으로의 이동량을 설정하는 설정 수단을 구비하고 있는 것이 알려져 있다(특허문헌 1).

특허문헌 1에서는, 설정 수단은, 핸들의 암나사부와 케이싱에 마련된 수나사부가 나사 결합되어 있고, 핸들을 회전시켜 스토퍼의 위치를 조절함으로써, 개폐에 따른 스템의 상하 이동량을 조정하는 것으로 되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2003-14155호 공보

상기 특허문헌 1의 유체 제어기에서는, 설정 수단을 위한 부품 추가나 추가 가공이 필요하고, 비용이 높아진다고 하는 문제가 있었다.

또한, 외부에서 핸들을 조작할 수 있기 때문에, 작업자의 조작 오류에 의해 설정치가 변화하거나, 물건이나 손이 닿거나 함으로써 설정치가 변화한다고 하는 문제도 있었다.

본 발명의 목적은, 설정 수단을 위한 부품 추가나 추가 가공에 의한 비용의 증가를 억제하고, 스템 상측 이동량의 설정치가 변화한다고 하는 문제를 해소한 유체 제어기를 제공하는 것에 있다.

본 발명에 의한 유체 제어기는, 유체 통로가 마련된 보디와, 보디의 상측에 마련된 케이싱과, 유체 통로를 개폐하는 다이어프램과, 상승 또는 하강하는 것에 의해 다이어프램을 개방 또는 폐쇄 방향으로 이동시키는 스템과, 스템의 하단부에 고정된 다이어프램 프레서와, 다이어프램 프레서의 직경 방향 외측에 배치되어 보디에 고정되어 다이어프램의 외주 가장자리를 유지하는 프레서 어댑터와, 스템과 일체로 상하 이동하는 피스톤과, 피스톤을 상하 이동시키는 구동 수단을 포함하는 유체 제어기에 있어서, 다이어프램 프레서의 외주 가장자리의 상면과 프레서 어댑터의 내주 가장자리의 하면 사이를 제1 간극으로 하고, 상기 제1 간극에 의해 다이어프램 프레서의 상측으로의 이동량이 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.

종래의 유체 제어기에서는, 다이어프램 프레서의 외주 가장자리와 프레서 어댑터의 내주 가장자리 사이에는 직경 방향의 간극이 형성되어, 다이어프램 프레서의 외주 가장자리의 상면과 프레서 어댑터의 내주 가장자리의 하면이 대향하도록 되어 있지 않았던 데 비해, 이 유체 제어기에서는, 다이어프램 프레서의 외주 가장자리의 상면과 프레서 어댑터의 내주 가장자리의 하면이 제1 간극을 두고 대향된다. 따라서, 스템 및 여기에 고정된 다이어프램 프레서가 상측으로 소정량 이동하면, 다이어프램 프레서의 외주 가장자리의 상면과 프레서 어댑터의 내주 가장자리의 하면이 접촉한다(제1 간극이 제로가 된다). 이에 따라, 다이어프램 프레서가 더 이상 상측으로 이동하는 것이 저지되고, 이에 따라, 다이어프램 프레서에 압박되어 있는 다이어프램이 더 이상 변형되는 것이 방지된다.

제1 간극은, 예컨대 다이어프램 프레서의 형상을 소정의 형상으로 함으로써 얻을 수 있고, 스템 상측 이동량을 변경할 필요가 생긴 경우에는, 다이어프램 프레서를 변경함으로써 적절한 값으로의 변경이 가능해진다.

다이어프램 프레서 및 프레서 어댑터의 형상은, 종래와는 상이한 것이 되지만, 종래의 설정 수단에서는 필요했던 나사 가공이나 추가 부품은 불필요하여, 비용의 증가를 억제할 수 있다.

다이어프램 프레서 및 프레서 어댑터는, 유체 제어기의 사용 상태에 있어서는, 유체 제어기 내(케이싱, 본네트 등의 내부)에 수용되어 노출되지 않기 때문에, 작업자의 조작 오류에 의해 설정치가 변화하거나, 물건이나 손이 닿거나 함으로써 설정치가 변화하지는 않는다.

유체 제어기는, 통상 폐쇄 상태인 것이어도 좋고, 통상 개방 상태인 것이어도 좋다.

스템의 하단부에 마련된 플랜지부의 하면과 프레서 어댑터의 상면 사이에, 스템의 하측으로의 이동량을 설정하기 위한 제2 간극이 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 함으로써, 스템의 하측으로의 이동량도 설정할 수 있다.

제2 간극은, 예컨대 프레서 어댑터의 형상을 소정의 형상으로 함으로써 얻을 수 있다.

이렇게 하여, 스템과 프레서 어댑터를 이용하여 스템의 하측으로의 이동량을 설정하기 때문에, 나사 가공 이외의 추가의 가공이나 핸들이나 스토퍼 등의 별도의 부품을 추가하지 않고, 스템 상측 이동량의 설정에 더하여, 스템 하측 이동량의 설정이 가능하고, 비용의 증가를 억제하고, 새로운 기능을 부가할 수 있다.

스템과 피스톤은 서로 나사 결합됨으로써 일체로 되어 있고, 스템과 피스톤의 나사 결합량을 조정함으로써, 제1 간극에 의해 설정되는 스템의 상측으로의 이동량보다 작은 스템의 상측으로의 이동량을 설정할 수 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 함으로써, 다이어프램 프레서를 변경하지 않고, 스템 상측 이동량을 작게 할 수 있다. 또한, 다이어프램 프레서가 손상된 경우라 하더라도, 스템과 피스톤의 나사 결합량을 조정함으로써 설정된 스템의 상측으로의 이동량을 초과하여 스템이 상측으로 이동하는 것이 방지된다. 또, 조정 등이 필요가 없는 경우는, 피스톤과 스템이 일체로 되어 있는 것을 사용해도 좋다.

본 발명의 유체 제어기에 의하면, 다이어프램 프레서와 프레서 어댑터를 이용하여 스템의 상측으로의 이동량을 설정하기 때문에, 추가의 가공이나 핸들이나 스토퍼 등의 별도의 부품을 추가하지 않고, 스템 상측 이동량의 설정이 가능하고, 비용의 증가를 억제할 수 있다. 또한, 다이어프램 프레서 및 프레서 어댑터는 유체 제어기 내에 수용되어 있기 때문에, 작업자의 조작 오류에 의해 설정치가 변화하거나, 물건이나 손이 닿거나 함으로써 설정치가 변화하지는 않는다.

도 1은, 본 발명에 의한 유체 제어기의 일실시형태를 나타내는 종단면이다.
도 2는, 도 1의 주요부인 설정 수단 주변의 확대 종단면도이다.

본 발명의 실시형태를 이하 도면을 참조하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상하는 도면의 상하를 말하는 것으로 한다.

도 1 및 도 2에, 본 발명에 의한 유체 제어기의 일실시형태를 나타내고 있다.

유체 제어기(1)는, 다이렉트 터치형 메탈 다이어프램 밸브로 칭해지고 있는 것이며, 유체 유입 통로(2a) 및 유체 유출 통로(2b)가 마련된 보디(2)와, 보디(2)의 상측에 본네트(3)를 통해 부착된 케이싱(4)과, 유체 유입 통로(2a)의 둘레 가장자리에 마련된 환형 밸브 시트(5)와, 환형 밸브 시트(5)에 압박 또는 이격되어 유체 유입 통로(2a)를 개폐하는 금속제의 다이어프램(6)과, 다이어프램(6)을 하측으로 압박하는 다이어프램 프레서(7)와, 케이싱(4) 내에 배치되어 상승 또는 하강하는 것에 의해 다이어프램(6)을 개방 또는 폐쇄 방향으로 이동시키는 스템(8)과, 상측 및 하측의 피스톤(9)(10)과, 상측 및 하측의 압축 코일 스프링(압박 부재)(11)(12)과, 상측 및 하측의 피스톤(9)(10)을 구동시키는 구동 수단(13)과, 스템 상측 이동량을 설정하는 2개의 설정 수단(14)(16)과, 스템 하측 이동량을 설정하는 하나의 설정 수단(17)을 구비하고 있다.

다이어프램(6)은, 위에 볼록한 원호형이 자연 상태의 구형 셸로 되어 있다. 다이어프램(6)은, 예컨대 니켈 합금 박판으로 이루어진 것이며, 원형으로 잘라내고 중앙부를 상측으로 팽출시킨 구형 셸로 형성된다. 다이어프램(6)은, 스테인리스강 박판으로 이루어진 것이나, 스테인리스강 박판과 니켈ㆍ코발트 합금 박판의 적층체로 이루어진 것이 되는 경우가 있다.

본네트(3) 하단면과 보디(2)의 오목부(2c) 저면 사이에 프레서 어댑터(15)가 배치되어 있고, 다이어프램(6)의 외주 가장자리는, 프레서 어댑터(15)와 보디(2)의 오목부(2c) 저면 사이에서 유지되어 있다.

상측의 피스톤(9)은, 원반형의 피스톤 본체(21)와, 피스톤 본체(21)의 중앙부 상면으로부터 상측으로 연장되는 돌출축부(22)로 이루어진다. 하측의 피스톤(10)은, 원반형의 피스톤 본체(23)와, 피스톤 본체(23)의 중앙부 상면으로부터 상측으로 연장되는 상측 돌출축부(24)와, 피스톤 본체(23)의 중앙부 하면으로부터 하측으로 연장되는 하측 돌출축부(25)로 이루어진다.

상측 피스톤(9)과 하측 피스톤(10) 사이에 위치하도록, 케이싱(4)의 하단 근처의 부분에는 카운터 플레이트(26)가 고정되어 있고, 이에 따라, 카운터 플레이트(26)의 상측 및 하측에 각각 피스톤(9)(10)의 이동 공간이 형성되어 있다.

하측의 피스톤(10)의 상측 돌출축부(24)의 상단부가 상측의 피스톤(9)의 피스톤 본체(21)의 하면에 마련된 오목부에 감합되어 있다. 상측의 압축 코일 스프링(11)은, 상측의 피스톤(9)을 아래로 향해 압박하도록 마련되어 있고, 이에 따라, 상측 및 하측의 피스톤(9)(10)이 일체로 상하 이동하도록 이루어져 있다.

스템(8)은, 상부 내주에 암나사(27a)가 형성되어 있는 원통형 본체(27)와, 본체(27)의 하단부에 마련된 플랜지부(28)를 구비하고 있다.

하측의 피스톤(10)의 하측 돌출축부(25)의 하단부에는 수나사(25a)가 형성되어 있고, 스템(8)과 하측의 피스톤(10)은 서로 나사 결합되어 있음으로써 일체로 상하 이동 가능하게 되어 있다.

스템(8)이 상측으로 이동했을 때의 다이어프램(6)의 변형량이 크면 다이어프램(6)의 내구성이 저하된다. 또한, 스템(8)의 상측 이동량은 유량(Cv값)과 상관관계가 있고, 따라서, 필요한 Cv값을 얻기 위해서는 스템 상측 이동량의 조정이 필요해진다. 각 설정 수단(14)(16)(17)은, 추가 부품을 사용하지 않고, 스템 이동량(스트로크)을 설정하는 것으로 되어 있다.

구동 수단(13)은, 스템(8)을 상측으로 이동시키기 위해 조작 에어를 각 피스톤(9)(10)에 작용시키는 것이며, 그것을 위한 상측의 조작 에어 도입실(29) 및 하측의 조작 에어 도입실(30)이 각 피스톤(9)(10)의 하측에 형성되어 있다. 구동 수단(13)은, 또한, 케이싱(4)의 꼭대기부에 부착된 원터치 이음쇠부(31)를 갖고 있다. 상측 및 하측의 피스톤(9)(10)에는, 원터치 이음쇠부(31)를 통해 도입된 조작 에어를 각 조작 에어 도입실(29)(30)에 보내는 축방향 통로(9a)(10a) 및 직경 방향 통로(9b)(10b)가 형성되어 있다. 각 조작 에어 도입실(29)(30)에 조작 에어가 도입됨으로써, 각 피스톤(9)(10)은 위로 향하는 힘을 받는다.

각 조작 에어 도입실(29)(30)에 조작 에어가 도입되지 않은 상태에서는, 스템(8)은, 압축 코일 스프링(11)(12)의 압박력에 의해 폐쇄 위치(하측 위치)에 있고, 각 조작 에어 도입실(29)(30)에 조작 에어가 도입되면, 스템(8)이 압축 코일 스프링(11)(12)의 압박력에 저항하여 상측으로 이동되는 것에 의해, 다이어프램 프레서(7)가 상측으로 이동하고, 다이어프램(6)이 위로 볼록하게 변형하는 개방 상태를 얻을 수 있다.

이하에, 도 2를 참조하여 설정 수단(14)(16)(17)의 구성의 상세를 설명한다.

다이어프램 프레서(7)는, PCTFE제이며 다이어프램(6)에 접촉하고 있는 접촉 부재(41)와, 접촉 부재(41)가 감합되어 있는 아래로 향해 개구된 오목부가 마련된 스테인레스강제의 유지 부재(42)로 이루어진다.

유지 부재(42)는, 원반형이며, 상측의 소직경부(42a)와, 소직경부(42a)보다 외경이 큰 하측의 대직경부(42b)와, 소직경부(42a)와 대직경부(42b) 사이에 있고 외경이 양자의 중간 크기인 중간 직경부(42c)로 이루어진다.

유지 부재(42)는, 소직경부(42a)가 스템(8)의 본체(27) 하단부 내에 삽입되어 고정되어 있고, 중간 직경부(42c)의 상면이 스템(8)의 플랜지부(28)의 하면에 접촉하고 있다.

하측의 압축 코일 스프링(12)은, 그 상단을 본네트(3)에 마련된 스프링 받침면(3a)이 받치고 있고, 그 하단을 스템(8)의 플랜지부(28)의 상면이 받치고 있다. 스템(8)의 플랜지부(28)의 상면의 외주 가장자리(압축 코일 스프링(12)을 받치고 있는 면보다 직경 방향 외측의 부분)에, 단면이 사각형인 환형의 상측 돌출부(28a)가 마련되어 있다.

본네트(3)의 하단부에는, 그것보다 상부의 내주면에 대하여 움푹 패인 환형의 오목부(43)가 마련되어 있다. 스템(8)은, 플랜지부(28)의 외주 가장자리가 본네트(3)의 오목부(43)의 원통형 둘레면에 안내되어 상하 이동 가능하게 되어 있다. 그리고, 플랜지부(28)의 상측 돌출부(28a)의 상면이 오목부(43)의 상면(오목부(43)와 오목부(43)보다 상부의 내주면 사이에 형성된 단차면)(43a)에 접촉함으로써, 스템(8)이 그 이상 상측으로 이동하는 것이 저지되도록 되어 있다.

프레서 어댑터(15)는, 본네트(3)의 하단면에 압박되어 있는 직경 방향 외측 부분(15a)과, 본네트(3)의 하단면에 압박되어 있지 않은 직경 방향 내측 부분(15b)과, 직경 방향 내측 부분(15b)보다 얇은 내주 가장자리(15c)로 이루어진다.

프레서 어댑터(15)의 얇은 내주 가장자리(15c)의 하면은, 유지 부재(42)의 대직경부(42b)의 외주 가장자리의 상면에 상측으로부터 대향되어 있고, 양자간에는 소정의 크기를 갖는 제1 간극(A)이 형성되어 있다.

따라서, 스템(8) 및 이것에 고정된 다이어프램 프레서(7)가 제1 간극(A)과 동일한 분만큼 상측으로 이동하면, 다이어프램 프레서(7)의 대직경부(42b)의 외주 가장자리의 상면과 프레서 어댑터(15)의 내주 가장자리(15c)의 하면이 접촉한다(제1 간극(A)이 제로가 된다). 이에 따라, 다이어프램 프레서(7)가 더 이상 상측으로 이동하는 것이 저지되고, 이에 따라, 다이어프램 프레서(7)에 압박되어 있는 다이어프램(6)이 더 이상 변형되는 것이 방지된다.

이렇게 하여, 다이어프램 프레서(7)의 외주 가장자리의 상면과 프레서 어댑터(15)의 내주 가장자리의 하면이 제1 간극(A)을 두고 대향하도록 형성되어 있고, 스템 상측 이동량을 설정하는 제1 설정 수단(14)은, 제1 간극(A)을 소정치로 설정함으로써 스템(8)의 상측으로의 이동량을 설정하는 것으로 되어 있다.

프레서 어댑터(15)의 직경 방향 내측 부분(15b) 및 내주 가장자리(15c)의 상면은, 단차없이 형성되어 스템(8)의 플랜지부(28)의 하면에 하측으로부터 대향되어 있고, 양자간에는 소정의 크기를 갖는 제2 간극(B)이 형성되어 있다.

따라서, 스템(8) 및 다이어프램 프레서(7)가 제2 간극(B)과 동일한 분만큼 하측으로 이동하면, 스템(8)의 플랜지부(28)의 하면이 프레서 어댑터(15)의 직경 방향 내측 부분(15b) 및 내주 가장자리(15c)의 상면에 접촉한다. 이에 따라, 다이어프램 프레서(7)이 그 이상 하측으로 이동하는 것이 정지되어, 다이어프램 프레서(7)에 아래로 향하는 큰 힘이 가해지지 않는다.

이렇게 하여, 스템(8)의 하단부에 마련된 플랜지부(28)의 하면과 프레서 어댑터(15)의 상면 사이에, 스템(8)의 하측으로의 이동량을 설정하기 위한 제2 간극(B)이 형성되어 있고, 스템 하측 이동량을 설정하는 설정 수단(17)은, 제2 간극(B)을 소정치로 설정함으로써 스템(8)의 하측으로의 이동량을 설정하는 것으로 되어 있다.

상기에 있어서, 플랜지부(28)의 상측 돌출부(28a)의 상면이 오목부(43)의 상면(43a)에 접촉함으로써, 스템(8)이 그 이상 상측으로 이동하는 것이 저지되기 때문에, 스템(8)의 플랜지부(28)의 상측 돌출부(28a)의 상면과 오목부(43)의 상면(43a) 사이에 형성되는 제3 간극(C)을 스템(8)의 상측으로의 이동 가능량의 상한치로서 사용할 수도 있다. 이것이, 스템 상측 이동량을 설정하는 제2 설정 수단(16)으로 되어 있다. 이 제2 설정 수단(16)에 있어서는, 상측 돌출부(28a)를 마련하지 않고, 직접 플랜지부(28)와 오목부(43)의 상면(43a)이 접촉하도록 해도 좋다.

이 실시형태에서는, 초기 설정시에는 C>A로 되어 있고, 스템 상측 이동량을 설정하는 제1 설정 수단(14)의 제1 간극(A) 쪽을 스템 상측 이동량의 상한치로 하도록 설정되어 있다.

여기서, 스템 상측 이동량을 설정하는 제2 설정 수단(16)에 있어서는, 하측의 피스톤(10)을 고정해 두고, 스템(8)을 하측의 피스톤(10)에 대하여 회전시킴으로써, 제3 간극(C)을 조정할 수 있다.

따라서, 제1 간극(A)에 의해 설정되는 스템(8)의 상측으로의 이동량보다 작은 스템(8)의 상측으로의 이동량의 상한치가 필요한 경우, 스템(8)과 하측의 피스톤(10)의 나사 결합량을 변경함으로써, 초기 설정치와는 상이한 설정치로 변경할 수 있다.

또, 스템의 상승량(C)으로서, 스템(8)의 플랜지부(28)의 돌출부(28a)의 상면과 오목부(43)의 상면(43a)의 간극을 사용하는 것 대신에, 하측 피스톤(10)의 상면과 카운터 플레이트(26)의 하면의 간극을 사용해도 좋다.

또한, 스템 상측 이동량을 설정하는 제2 설정 수단(16)에 관해, 스템(8)의 상단부에 수나사를 형성하고, 하측의 피스톤(10)의 하측 돌출축부(25)의 하단부에 암나사를 형성해도 좋다.

상기에 있어서, 스템 상측 이동량(A)을 설정하는 제1 설정 수단(14)은, 다이어프램 프레서(7)와 프레서 어댑터(15)를 이용하여 스템의 상측으로의 이동량을 설정하기 때문에, 다이어프램 프레서(7) 및 프레서 어댑터(15)를 필요한 형상으로 함으로써, 추가의 가공이나 핸들이나 스토퍼 등의 별도의 부품을 추가하지 않고, 스템 상측 이동량의 설정이 가능하고, 비용의 증가를 억제할 수 있다.

또한, 스템 하측 이동량을 설정하는 설정 수단(17)은, 프레서 어댑터(15)의 직경 방향 내측 부분(15b) 및 내주 가장자리(15c)를 필요한 형상으로 함으로써, 추가의 가공이나 핸들이나 스토퍼 등의 별도의 부품을 추가하지 않고, 스템 하측 이동량의 설정이 가능하고, 비용의 증가를 억제함과 아울러, 새로운 기능을 얻을 수 있다.

또한, 스템 상측 이동량(C)을 설정하는 제2 설정 수단(16)에 관해서도, 스템(8)과 하측 피스톤(10)이 일체로 상하 이동하기 위한 나사 결합을 이용하고 있기 때문에, 설정 수단(16)을 위한 부품 추가나 추가 가공 없이, 스템 상측 이동량(C)의 설정이 가능하게 되어 있다.

더구나, 각 설정 수단(14)(16)(17)은 유체 제어기(1) 내에 있기 때문에, 핸들로 스템 상측 이동량을 설정하는 종래의 유체 제어기(1)에서 문제가 되는 조작 오류나, 물건이나 손이 닿거나 함으로써 설정치가 변하거나 하는 것이 방지된다.

또, 상기에 있어서 피스톤의 수는 2개로 했지만, 제어하는 유체나 압력 등에 맞춰, 1개로 하거나 2개 이상의 복수로 해도 좋다.

또한, 유체 제어기(1)로서, 에어 구동식의 다이렉트 터치형 메탈 다이어프램 밸브를 예시했지만, 상기 설정 수단(14)(16)(17)의 적용 대상은 이것에 한정되지 않고, 스템 상측 이동량의 조정이 필요한 각종 밸브 등에 적용할 수 있다. 적용에 있어서는, 모든 설정 수단(14)(16)(17)을 마련할 필요는 없고, 1개 또는 2개의 설정 수단(14)(16)(17)만으로 해도 좋다.

본 발명에 의하면, 개폐에 따른 스템의 상하 이동량을 규제함으로써 유량을 조정하는 용도로 사용되기에 적합한 유체 제어기에 있어서, 비용의 증가를 억제할 수 있음과 함께, 잘못해서 설정치가 변화하는 일이 없도록 할 수 있기 때문에, 유량을 조정하는 용도로 사용되는 유체 제어기의 성능 향상에 기여할 수 있다.

(1): 유체 제어기 (2): 보디
(2a): 유체 유입 통로 (2b): 유체 유출 통로
(4): 케이싱 (6): 다이어프램
(7): 다이어프램 프레서 (8): 스템
(9)(10): 피스톤 (13): 구동 수단
(14): 설정 수단 (15): 프레서 어댑터
(28): 플랜지부

Claims (3)

1. 유체 통로가 마련된 보디와, 보디의 상측에 마련된 케이싱과, 유체 통로를 개폐하는 다이어프램과, 상승 또는 하강하는 것에 의해 다이어프램을 개방 또는 폐쇄 방향으로 이동시키는 스템과, 스템의 하단부에 고정된 다이어프램 프레서와, 다이어프램 프레서의 직경 방향 외측에 배치되어 보디에 고정되어 다이어프램의 외주 가장자리를 유지하는 프레서 어댑터와, 스템과 일체로 상하 이동하는 피스톤과, 피스톤을 상하 이동시키는 구동 수단을 포함하는 유체 제어기에 있어서,
   다이어프램 프레서의 외주 가장자리의 상면과 프레서 어댑터의 내주 가장자리의 하면 사이를 제1 간극으로 하고, 상기 제1 간극에 의해 다이어프램 프레서의 상측으로의 이동량이 설정되어 있고,
   스템의 하단부에 마련된 플랜지부의 하면과 프레서 어댑터의 상면 사이에, 스템이 하측으로 이동하는 이동량을 설정하기 위한 제2 간극이 형성되어 있는 것인 유체 제어기.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 스템과 피스톤은 서로 나사 결합됨으로써 일체로 되어 있고, 스템과 피스톤의 나사 결합량을 조정함으로써, 제1 간극에 의해 설정되는 스템의 상측으로의 이동량보다 작은 스템의 상측으로의 이동량을 설정할 수 있는 것인 유체 제어기.

Images