[go: up one dir, main page]

KR101884118B1 - 투과 회절 격자 기반 분광기 - Google Patents

투과 회절 격자 기반 분광기 Download PDF

Info

Publication number
KR101884118B1
KR101884118B1 KR1020170031533A KR20170031533A KR101884118B1 KR 101884118 B1 KR101884118 B1 KR 101884118B1 KR 1020170031533 A KR1020170031533 A KR 1020170031533A KR 20170031533 A KR20170031533 A KR 20170031533A KR 101884118 B1 KR101884118 B1 KR 101884118B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
diffraction grating
mirror
light
transmission diffraction
incident
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
KR1020170031533A
Other languages
English (en)
Inventor
유홍기
형경초
Original Assignee
한양대학교 산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한양대학교 산학협력단 filed Critical 한양대학교 산학협력단
Priority to KR1020170031533A priority Critical patent/KR101884118B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101884118B1 publication Critical patent/KR101884118B1/ko
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/021—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using plane or convex mirrors, parallel phase plates, or particular reflectors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J2003/1204—Grating and filter
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G01J2003/1842—Types of grating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

파장별로 높은 회절 효율을 제공할 수 있는, 투과 회절 격자 기반 분광기가 개시된다. 개시된 분광기는 평행광을 반사하는 제1거울; 상기 반사된 평행광을 회절시키며, 고정된 투과 회절 격자; 상기 투과 회절 격자를 투과한 빛을 반사하는 제2거울; 상기 제2거울에 의해 반사된 빛을 검출기로 집광하는 제1렌즈; 및 상기 제1 및 제2거울을 회전시키는 구동부를 포함하는 투과 회절 격자 기반 분광기를 포함한다.

Description

투과 회절 격자 기반 분광기{SPECTROMETER BASED ON TRANSMISSION DIFFRACTION GRATING}
본 발명은 투과 회절 격자 기반 분광기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 파장별로 높은 회절 효율을 제공할 수 있는, 투과 회절 격자 기반 분광기에 관한 것이다.
분광기(spectrometer)는 일반적으로 회절 격자(diffraction grating)를 이용하여 빛을 파장에 따라 분산시킴으로써, 빛의 파장에 대한 정보를 추출하여 물질의 물리적, 화학적 특성을 측정할 수 있는 분석 장치이다.
회절 격자를 이용하는 분광기로, Czerny-Turner, Fastie-Ebert 및 Offner 등의 방식이 있으며, 그중에 Czerny-Turner 방식은 구조가 간단하고 광학 성능이 우수한 편이어서 분광기에 많이 사용되고 있다.
Czerny-Turner 방식은, 반사 회절 격자를 이용하는 방식이다. 광원에서 나오는 빛은 슬릿을 통과한 후, 곡면 거울에 반사되어 평행광으로 변환되며, 평행광이 반사 회절격자에 입사된다. 반사 회절 격자는 빛을 파장 별로 분산시키고, 분산된 빛은 곡면 거울에 반사되어 검출기(detector)에 초점을 형성하여 스펙트럼이 검출된다.
Fastie-Ebert와 Offner 등의 방식도 Czerny-Turner 방식과 비슷하게, 곡면 거울과 반사 회절격자로 구성된다. 이러한 분광기의 분해능은 회절격자에 입사된 격자 개수에 의해서 결정된다. 입사빔의 크기가 정해지는 경우, 격자 밀도가 높은 회절격자를 사용하면 분해능을 높일 수 있다. 하지만 격자 밀도가 높은 회절격자를 사용하면 한 번에 측정 가능한 파장 대역이 좁아지기 때문에, 반사 회절 격자를 회전시켜 높은 파장 분해능으로 넓은 파장 대역을 측정한다
분해능과 별도로, 반사 회절 격자는, 특정한 파장 대역에만 높은 회절 효율을 나타내는 특성을 보이며, 특정 파장 대역을 벗어나면 회절 격자의 회절 효율이 많이 감소되는 단점이 있다.
따라서 최근에는 투과 회절 격자(transmission diffraction grating)에 기반한 분광기를 사용하려는 시도가 있다. 관련 선행문헌으로 대한민국 등록특허 제10-0885537호가 있다.
본 발명은 파장별로 높은 회절 효율을 제공할 수 있는, 투과 회절 격자 기반 분광기를 제공하기 위한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 평행광을 반사하는 제1거울; 상기 반사된 평행광을 회절시키며, 고정된 투과 회절 격자; 상기 투과 회절 격자를 투과한 빛을 반사하는 제2거울; 상기 제2거울에 의해 반사된 빛을 검출기로 집광하는 제1렌즈; 및 상기 제1 및 제2거울을 회전시키는 구동부를 포함하는 투과 회절 격자 기반 분광기를 제공한다.
또한 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 슬릿을 통과한 입사광을 반사하는 제1오목 거울; 상기 제1오목 거울에 의해 변환된 평행광을 회절시키며, 고정된 투과 회절 격자; 상기 투과 회절 격자를 투과한 빛을 반사하여 검출기로 집광하는 제2오목 거울; 및 상기 제1 및 제2오목 거울을 회전시키는 구동부를 포함하는 투과 회절 격자 기반 분광기를 제공한다.
본 발명에 따르면, 투과 회절 격자에 대한 입사각 조절 및 검출기로 입사되는 빛의 방향 조절을, 서로 다른 거울을 이용하여 독립적으로 제어할 수 있으며, 따라서 투과 회절 격자에 대한 입사각 제어 및 검출기로 입사되는 빛의 방향 제어가 용이하게 수행될 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 투과 회절 격자가 최대의 회절 효율을 갖는 최적의 입사각을 유지할 수 있어, 넓은 파장 영역에서 분광기의 검출 효율을 높게 유지할 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 투과 회절 격자를 투과한 빛이 집광을 위한 렌즈의 광축 상에 평행하게 입사되지 못하는 상황을 방지하여, 렌즈로 인해 발생하는 광학적 수차를 최소화할 수 있으며, 검출기의 검출 효율 저하를 방지할 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 렌즈를 이용하여 평행광을 생성하거나 검출기로 집광하지 않기 때문에, 색수차 현상이 발생하지 않으며, 빛이 렌즈를 투과하는 과정에서 발생할 수 있는 빛의 손실이 방지될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 투과 회절 격자 기반의 분광기를 도시하는 도면이다.
도 2는 VPH 회절 격자의 입사각 변화에 따른 회절 효율을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 투과 회절 격자 기반의 분광기를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 도 3에서 설명된 투과 회절 격자, 제2거울 및 제1렌즈 사이의 관계를 보다 상세히 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 투과 회절 격자 기반의 분광기를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 투과 회절 격자 기반의 분광기를 도시하는 도면이며, 도 2는 VPH 회절 격자의 입사각 변화에 따른 회절 효율을 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 분광기는 슬릿(110), 제1렌즈(120), 제1거울(130), 투과 회절 격자(140), 제2렌즈(150) 및 검출기(160)를 포함한다.
슬릿(110)으로 입사된 입사광은 슬릿(110)을 통과하여 제1렌즈(120)에 의해 평행광으로 변환된다. 평행광은 제1거울(130)에 의해 반사되어 투과 회절 격자(140)로 입사된다. 투과 회절 격자(140)를 투과한 빛은 제2렌즈(150)에 의해 집광되어 검출기(160)로 입사된다.
투과 회절 격자(140)는 일실시예로서, VPH(Volume-Phase Holographic) 회절 격자일 수 있으며, 검출기(160)는 CCD, CMOS 등의 이미지 센서일 수 있다.
입사광은 투과 회절 격자(140)에 의해 여러 파장의 빛으로 분리되는데, 분광기는 제1거울(130)에 의해 반사된 평행광이, 파장 별로 최대 회절 효율을 나타내는 입사각으로, 투과 회절 격자(140)로 입사될 수 있도록 제1거울(130)을 회전시킨다. 또한 분광기는 투과 회절 격자(140)를 투과한 빛이 정확히 검출기(160)로 입사될 수 있도록 투과 회절 격자(140)를 회전시킨다.
제1거울(130) 및 투과 회절 격자(140)는 구동부에 의해 회전될 수 있으며, 구동부는 액츄에이터일 수 있다. 그리고 제1거울(130) 및 투과 회절 격자(140)의 회전축에 구동부가 연결될 수 있다.
투과 회절 격자(140)의 회전에 의해 투과 회절 격자(140)로 입사되는 평행광의 입사각이 변할 수 있으므로, 분광기는 투과 회절 격자(140)의 회전을 고려하여 제1거울(130)의 회전 각도를 조절할 수 있다. 다시 말해, 분광기는 투과 회절 격자(140)로 입사되는 평행광의 입사각과, 투과 회절 격자(140)를 투과한 빛이 검출기(160)로 입사되는 방향을 종합적으로 고려하여 제1거울(130) 및 투과 회절 격자(140)의 회전 각도를 결정할 수 있다.
예를 들어, 도 2를 참조하면, 제1파장(840 nm)의 빛이 최대 회절 효율을 나타내는 입사각이 제1각도(30도)라면, 평행광이 제1각도(30도)로 투과 회절 격자(140)로 입사될 수 있고, 투과 회절 격자(140)를 투과한 회절광이 검출기(160)로 입사될 수 있도록, 제1거울(130) 및 투과 회절 격자(140)가 회전될 수 있다. 또는 제2파장(760 nm)의 빛이 최대 회절 효율을 나타내는 입사각이 제2각도(26도)라면, 평행광이 제2각도(26도)로 투과 회절 격자로 입사될 수 있고, 회절광이 검출기(160)로 입사될 수 있도록, 제1거울(130) 및 투과 회절 격자(140)가 회전될 수 있다.
결국, 본 발명에 따르면, 파장 별로 최대 회절 효율을 나타내는 입사각으로 빛이 투과 회절 격자에 입사될 수 있으므로, 넓은 파장 대역에서 높은 회절 효율을 제공할 수 있다.
한편, 투과 회절 격자(140)가 회전할 경우, 제1거울(130)의 회전 각도 뿐만 아니라 투과 회절 격자(140)의 회전 각도까지 고려하여, 투과 회절 격자(140)로 입사되는 평행광의 입사각을 제어해야 하는 어려움이 있다. 또한 투과 회절 격자(140)가 회전할 경우, 투과 회절 격자(140)의 회전 각도에 따라서 투과 회절 격자(140)를 투과한 빛이 제2렌즈의 광축 상에 평행하도록 입사되지 못하는 상황이 발생할 수 있으며, 이러한 상황에서는 광학적 수차가 심해질 수 있고, 검출기의 검출 효율이 낮아질 수 있다. 이에, 도 3 및 도 4에서는 투과 회절 격자로 입사되는 평행광의 입사각을 용이하게 제어할 수 있고, 광학적 수차가 심해지거나 검출기의 검출 효율이 낮아지는 상황을 방지할 수 있는 분광기의 다른 실시예가 설명된다.
또한 렌즈를 이용하여 평행광을 생성하거나 검출기로 집광할 경우, 색수차(chromatic aberration) 현상이 발생할 수 있으며, 빛이 렌즈를 투과하는 과정에서 빛이 손실될 수 있다. 이에, 도 5에서는 색수차 현상이 발생하지 않고 빛의 손실을 줄일 수 있는 분광기의 다른 실시예가 설명된다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 투과 회절 격자 기반의 분광기를 설명하기 위한 도면이며, 도 4는 도 3에서 설명된 투과 회절 격자, 제2거울 및 제1렌즈 사이의 관계를 보다 상세히 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면 본 발명에 따른 분광기는 제1거울(310), 제2거울(320), 투과 회절 격자(330), 제1렌즈(340) 및 구동부(미도시)를 포함한다. 그리고 실시예에 따라서 슬릿(350) 및 제2렌즈(360)를 더 포함할 수 있다.
도 1에서 설명된 분광기와 달리, 도 3의 분광기는 투과 회절 격자가 고정되고, 투과 회절 격자를 투과한 빛을 검출기로 제공하기 위해 거울을 이용한다.
제1거울(310)은 평행광을 반사하여 투과 회절 격자(330)로 제공하며, 일실시예로서 평면 거울일 수 있다. 평행광은 슬릿(350)을 통과한 입사광을 평행광으로 변환하는 제2렌즈(360)를 통해 생성될 수 있다.
투과 회절 격자(330)는 고정된 형태로, 제1거울(310)에 의해 반사된 평행광을 회절시킨다. 제1거울(310)과 함께 후술되는 제2거울(320)은 구동부에 의해 회전되는데, 투과 회절 격자(330)가 고정된 상태이기 때문에, 제1거울(310)의 회전 각도에 따라 투과 회절 격자(330)로 입사되는 평행광의 입사각이 결정된다.
제1렌즈(340)는 제2거울(320)에 의해 반사된 빛을 검출기(370)로 집광하며, 검출기(370)가 빛을 입력받는 입력부는 제1렌즈(340)의 광축상에 위치할 수 있다.
구동부는 제1거울(310)에 의해 반사된 평행광이 기 설정된 입사각으로 투과 회절 격자(330)로 입사되도록 제1거울(310)을 회전시키며, 기 설정된 입사각은, 빛의 파장별로 최대 회절 효율을 나타내는 각도이다. 제1거울(310)의 중심이 회전축이 될 수 있다.
또한 구동부는 제2거울(320)에 의해 반사된 빛이 제1렌즈(340)의 광축에 평행하게 입사되도록 제2거울(320)을 회전시킨다. 제2거울(320)에 의해 반사된 빛이 제1렌즈(340)의 광축에 평행하게 입사되도록 하기 위해, 일실시예로서 도 4에 도시된 바와 같이, 제2거울(320)은 투과 회절 격자(330)를 투과한 빛의 중심(410)이 제2거울(320)의 회전축(420)에 위치하도록 배치되며, 제2거울(320)의 회전축(420)은, 제1렌즈(340)의 광축(430) 상에 위치하도록 설계될 수 있다. 제2거울(320)의 회전축(420)은 제2거울(320)의 중심이 될 수 있다.
일반적으로 파장별 최대 회절 효율을 나타내는 입사각은, 회절광과 투과 회절 격자(330) 사이의 각도인 회절각과 동일하므로, 본 발명에 따르면 투과 회절 격자(330)에 대한 평행광의 입사각과 무관하게, 투과 회절 격자(330)를 투과한 회절광의 중심(410)이 항상 제2거울(320)의 회전축(420)에 위치하도록, 회절광이 제2거울(320)에 입사될 수 있다. 그리고 제2거울(320)의 회전축(420)은, 제1렌즈(340)의 광축(430) 상에 위치하기 때문에, 제2거울(320)이 회전하더라도 제2거울(320)의 회전축(420)은, 항상 제1렌즈(340)의 광축(430) 상에 위치할 수 있다. 따라서 제2거울(320)에 대한 회절광의 입사각이 가변하여 제2거울(320)을 회전하더라도, 제2거울(320)에 의해 반사된 빛은 제1렌즈(340)의 광축(430)에 평행하게 입사되어 검출기(370)로 입사될 수 있다.
결국, 본 발명에 따르면, 투과 회절 격자에 대한 입사각 조절은 제1거울의 회전을 이용하고, 검출기로 입사되는 빛의 방향 조절은 제2거울의 회전을 이용할 수 있다. 다시 말해, 투과 회절 격자에 대한 입사각 조절 및 검출기로 입사되는 빛의 방향 조절을, 서로 다른 거울을 이용하여 독립적으로 제어할 수 있으며, 따라서 본 발명에 따르면, 투과 회절 격자에 대한 입사각 제어 및 검출기로 입사되는 빛의 방향 제어가 용이하게 수행될 수 있다.
또한 본 발명에 따르면, 투과 회절 격자를 투과한 빛이 제2렌즈의 광축 상에 평행하게 입사되지 못하는 상황을 방지하여, 렌즈로 인해 발생하는 광학적 수차를 최소화할 수 있으며, 검출기의 검출 효율 저하를 방지할 수 있다.
한편, 제1 및 제2렌즈(340, 350)는 볼록 렌즈로서, 색수차 현상을 줄이기 위한 색수차 보정 렌즈일 수 있다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 투과 회절 격자 기반의 분광기를 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 분광기는 제1오목 거울(510), 제2오목 거울(520), 투과 회절 격자(530) 및 구동부(미도시)를 포함한다.
도 3에서 설명된 분광기와 달리, 도 5의 분광기는 평행광을 생성하고, 검출기로 빛을 제공하기 위해 오목 거울을 이용한다.
오목 거울은 구면 거울이거나 비구면 거울일 수 있으며, 비구면 거울이 이용되는 경우, 곡면 형상이 파라볼릭(parabolic) 또는 하이퍼볼릭(hyperbolic) 형상인 파라볼릭 거울 또는 하이퍼볼릭 거울이 오목 거울로 이용될 수 있다.
제1오목 거울(510)은 슬릿(540)을 통과한 입사광을 반사하며, 입사광을 평행광으로 변환한다.
투과 회절 격자(530)는 고정된 형태로 제1오목 거울(510)에 의해 변환된 평행광을 회절시킨다.
제2오목 거울(520)은 투과 회절 격자(530)를 투과한 빛을 반사하여 검출기(550)로 집광하며, 구동부는 제1 및 제2오목 거울(510, 520)을 회전시킨다.
구동부는 평행광이 기 설정된 입사각으로 투과 회절 격자(530)로 입사되도록 제1오목 거울(510)을 회전시키며, 기 설정된 입사각은, 빛의 파장별로 최대 회절 효율을 나타내는 각도이다.
또한 구동부는 제2오목 거울(520)에 의해 반사된 빛이 검출기(550)로 입사되도록, 제2오목 거울(520)을 회전시킨다.
본 발명에 따르면, 렌즈를 이용하여 평행광을 생성하거나 검출기로 집광하지 않기 때문에, 색수차 현상이 발생하지 않으며, 빛이 렌즈를 투과하는 과정에서 발생할 수 있는 빛의 손실이 방지될 수 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

Claims (11)

  1. 평행광을 반사하는 제1거울;
    상기 반사된 평행광을 회절시키며, 고정된 투과 회절 격자;
    상기 투과 회절 격자를 투과한 빛을 반사하는 제2거울;
    상기 제2거울에 의해 반사된 빛을 검출기로 집광하는 제1렌즈; 및
    상기 제1 및 제2거울을 회전시키는 구동부를 포함하며,
    상기 제2거울은, 상기 투과 회절 격자를 투과한 빛의 중심이 상기 제2거울의 회전축에 위치하도록 배치되며,
    상기 제2거울의 회전축은, 상기 제1렌즈의 광축 상에 위치하며,
    상기 구동부는, 상기 제2거울에 의해 반사된 빛이 상기 제1렌즈의 광축에 평행하게 입사되도록 상기 제2거울을 회전시키는
    투과 회절 격자 기반 분광기.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 평행광이 기 설정된 입사각으로 상기 투과 회절 격자로 입사되도록 상기 제1거울을 회전시키며,
    상기 입사각은, 파장별로 최대 회절 효율을 나타내는 각도인
    투과 회절 격자 기반 분광기.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 투과 회절 격자는
    VPH 회절 격자인
    투과 회절 격자 기반 분광기.
  6. 제 1항에 있어서,
    슬릿을 통과한 입사광을 상기 평행광으로 변환하는 제2렌즈
    를 더 포함하는 투과 회절 격자 기반 분광기.



  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
KR1020170031533A 2017-03-14 2017-03-14 투과 회절 격자 기반 분광기 Expired - Fee Related KR101884118B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170031533A KR101884118B1 (ko) 2017-03-14 2017-03-14 투과 회절 격자 기반 분광기

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170031533A KR101884118B1 (ko) 2017-03-14 2017-03-14 투과 회절 격자 기반 분광기

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101884118B1 true KR101884118B1 (ko) 2018-07-31

Family

ID=63078172

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170031533A Expired - Fee Related KR101884118B1 (ko) 2017-03-14 2017-03-14 투과 회절 격자 기반 분광기

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101884118B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116183019A (zh) * 2022-12-23 2023-05-30 安徽创谱仪器科技有限公司 分光装置及光谱仪

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011257140A (ja) * 2010-06-04 2011-12-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 分光器
JP2013109082A (ja) * 2011-11-18 2013-06-06 Olympus Corp 検出光学系および走査型顕微鏡

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011257140A (ja) * 2010-06-04 2011-12-22 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 分光器
JP2013109082A (ja) * 2011-11-18 2013-06-06 Olympus Corp 検出光学系および走査型顕微鏡

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116183019A (zh) * 2022-12-23 2023-05-30 安徽创谱仪器科技有限公司 分光装置及光谱仪
CN116183019B (zh) * 2022-12-23 2024-03-29 安徽创谱仪器科技有限公司 分光装置及光谱仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5644396A (en) Spectrograph with low focal ratio
US7116418B2 (en) Spectral imaging apparatus and methods
US6744505B1 (en) Compact imaging spectrometer
CN101963529A (zh) 极远紫外扫描成像光谱仪
JP2007333581A (ja) 分光器及び分光方法
JPH0339572B2 (ko)
JP5517621B2 (ja) 高感度スペクトル分析ユニット
CN106441581A (zh) 一种高分辨率的线阵ccd直读型光谱仪
US20190368934A1 (en) Spectrometer and Method for Measuring the Spectral Characteristics thereof
JP2009121986A (ja) 分光装置
US7221454B2 (en) Photopolarimeters and spectrophotopolarimaters with multiple diffraction gratings
CN110501074B (zh) 高通量宽谱段高分辨率的相干色散光谱成像方法及装置
KR101884118B1 (ko) 투과 회절 격자 기반 분광기
US20170115163A1 (en) Field lens corrected three mirror anastigmat spectrograph
JP2001108523A (ja) 分光測定装置
US20050134847A1 (en) Apparatus and method for optical characterization of a sample over a broadband of wavelengths with a small spot size
US6906798B2 (en) Multi-path monochromator
JP3141106B2 (ja) 球面回折格子による収束光入射型分光装置
CN111811650B (zh) 基于全息凹面光栅的c-t型结构成像系统
CN110118602B (zh) 一种宽波段高分辨率光谱成像信息同时获取装置
KR20160143969A (ko) 평면거울 및 렌즈를 이용한 성능개선 분광기
CN212567670U (zh) 基于全息凹面光栅的c-t型结构成像系统
JPH11264762A (ja) エシェル型分光器
JP2005504318A (ja) 測定装置
US6583874B1 (en) Spectrometer with holographic and echelle gratings

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20170314

PA0201 Request for examination
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20180320

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20180717

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20180725

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20180725

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20210712

Start annual number: 4

End annual number: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20221013

Start annual number: 5

End annual number: 5

PC1903 Unpaid annual fee

Termination category: Default of registration fee

Termination date: 20240505