KR101880227B1

KR101880227B1 - 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈

Info

Publication number: KR101880227B1
Application number: KR1020130020093A
Authority: KR
Inventors: 신희택; 손민수
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2013-02-25
Filing date: 2013-02-25
Publication date: 2018-08-17
Anticipated expiration: 2033-02-25
Also published as: KR20140109517A

Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈은 고객트레이가 안착되는 셋플레이트를 승강시키기 위한 것으로서, 셋플레이트의 상부에 상기 고객트레이가 삽입되는 개구부를 구비하는 셋테이블; 상기 셋플레이트가 수직으로 승강할 수 있도록 가이드 하는 수직가이드레일; 상기 셋플레이트에 고정되고 슬라이딩 가능하게 상기 수직가이드레일에 결합된 이동판; 상기 이동판에 승강력을 제공하는 승강장치; 상기 셋플레이트의 저면의 설치홈에 1개 이상 설치되어 가진력을 발생시키는 진동모터조립체; 및 상기 진동모터조립체의 동작을 제어하는 진동제어회로부를 포함할 수 있다.

Description

테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈{TRANSFER MODULE FOR TEST HANDLER}

본 발명은 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈에 관한 것이다.

전자부품(특히, 반도체소자)의 테스트를 위해서는 전기적으로 연결된 전자부품을 테스트하는 테스터(TESTER)와 테스터에 전자부품을 전기적으로 연결시키기 위한 장비인 테스트핸들러(TEST HANDLER)가 필요하다.

테스트핸들러는 처리 용량을 늘리기 위해 다수의 반도체소자를 행렬 형태로 적재한 상태에서 한꺼번에 운반할 수 있는 테스트트레이(TEST TRAY)를 사용한다.

반도체소자는 테스트트레이['캐리어보드(CARRIER BOARD)'라고도 함]에 적재된 상태에서 테스터의 테스트소켓(TEST SOCKET)에 전기적으로 접속되기 때문에, 테스트트레이에 적재된 반도체소자들 사이의 간격은 테스터의 테스트소켓들 사이의 간격에 대응되어야 한다.

한편, 테스트핸들러로 테스트될 반도체소자는 고객트레이(CUSTOMER TRAY)에 적재된 상태로 공급된다. 고객트레이는 반도체소자의 적재 및 보관이 주요 목적이므로, 적재 용량 증대를 위해 반도체소자들의 적재 간격이 테스트트레이의 반도체소자 적재 간격보다 좁게 형성될 수 있다.

테스트핸들러에는 고객트레이에 적재된 미테스트 상태의 반도체소자들을 테스트트레이로 이동시키거나 테스트트레이에 적재된 테스트 완료된 상태의 반도체소자를 고객트레이로 이동시키기 위한 픽앤플레이스장치(PICK AND PLACE APPARATUS)가 제공되어야 한다. 또한, 고객트레이와 테스트트레이에 적재된 반도체소자들은 적재된 간격이 서로 다르므로, 테스트핸들러는 고객트레이와 테스트트레이 상호간의 반도체소자 이동 시 반도체소자들의 간격을 조절하기 위한 구성도 갖추어야만 한다.

도 1은 종래기술에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.

도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 테스트핸들러(TH)는, 테스트트레이(TT), 로딩용 픽앤플레이스장치(LH), 한 벌의 소팅테이블(STa, STb), 소팅용 픽앤플레이스장치(SH), 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH) 등을 포함할 수 있다.

테스트트레이(TT)는 로딩위치(LP)에서 테스트위치(TP) 및 언로딩위치(UP)를 거쳐 다시 로딩위치(LP)로 이어지는 순환경로(C) 상을 순환한다.

로딩용 픽앤플레이스장치(LH)는, 로더 등으로도 불리며, 고객트레이(CT1)에 적재되어 있는 반도체소자를 로딩위치(LP)에 있는 캐리어보드(CB)로 로딩(loading)시킨다. 처리속도를 향상을 위해 로딩용 픽앤플레이스장치(LH)는 복수 개가 제공될 수도 있으며, 도면에는 2개가 제공되는 것을 예로 도시하였다.

한 벌의 소팅테이블(STa, STb) 각각은 전후 방향(Y축 방향으로 정의 함, 이하 같다)으로 스텝 왕복 운동이 가능하며, 다수의 반도체소자를 행렬 형태로 적재할 수 있다.

소팅용 픽앤플레이스장치(SH)는, 소터 등으로도 불리며, 언로딩위치(UP)에 있는 테스트트레이(TT)에 적재된 테스트 완료된 반도체소자를 소팅테이블(STa, STb)로 이동 적재시킨다. 이러한 소팅용 픽앤플레이스장치(SH)는 기동성을 위한 경량화 또는 언로딩용 픽앤플레이스장치(UH)와의 동작 간섭 제거 등의 목적으로 대개의 경우 X축 방향으로만 이동 가능하게 제공될 수 있으며, 이를 보충하기 위해 소팅테이블(STa, STb)이 전후 방향으로 스텝 왕복 운동할 수 있다.

언로딩용 픽앤플레이스장치(UH)는, 언로더 등으로도 불리며, 소팅테이블(STa, STb)에 적재되어 있는 반도체소자를 빈 고객트레이(CT2)(또는 도 2의 도면부호 '10' 병행 참조)로 이동 적재시킨다.

상기와 같은 종래기술은 다음과 같은 문제가 있다.

고객트레이(CT2)에 반도체소자를 적재할 때 포켓 리브 현상이 발생될 수 있다. 구체적으로 포켓 리브 현상이란, 테스트를 마친 반도체소자가 셋플레이트 위의 고객트레이(CT2)의 해당 포켓에 안착되는 과정에서, 일부 반도체소자가 고객트레이의 정해진 포켓에 완전히 안착되지 않고, 반도체소자의 일부분이 포켓의 칸막이 바깥쪽으로 위치되는 현상을 의미한다.

반도체소자의 적재가 완료된 고객트레이(CT2)는 언로딩 스택커(테스트핸들러에 제공되는 고객트레이(CT2) 보관소)로 옮겨져 적층 보관되는데, 만약 새로운 고객트레이가 포켓 리브 현상이 발생된 고객트레이의 위로 올려질 경우, 포켓 리브된 반도체소자에 크랙(crack)이 가거나, 반도체소자 하부에 있는 단자(BGA type에서는 Ball)가 손상을 입게 될 수 있다.

또한, 상부에 계속하여 고객트레이가 수평하게 적층되지 않을 수 있기 때문에, 적층된 고객트레이를 언로딩 스택커에서 외부로 반출할 때, 고객트레이가 올바르게 운반되지 못하여 고객트레이에서의 반도체소자의 분실 가능성이 높아진다는 문제가 있다.

등록특허공보 제10-0706330호 (2007.04.04. 등록) 등록실용신안공보 제20-0445512호 (2009.07.29. 등록)

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 제안된 것으로서, 셋플레이트에 진동을 가할 수 있는 진동모터조립체와 같은 장치 구성을 제공하여, 진동이 셋플레이트 위에 놓인 고객트레이에도 전달되어 잘못 놓여진 반도체소자가 원하는 위치로 이동 및 안착시킬 수 있는 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈은 셋플레이트의 상부에 상기 고객트레이가 삽입되는 개구부를 구비하는 셋테이블; 상기 셋플레이트가 수직으로 승강할 수 있도록 가이드 하는 수직가이드레일; 상기 셋플레이트에 고정되고 슬라이딩 가능하게 상기 수직가이드레일에 결합된 이동판; 상기 이동판에 승강력을 제공하는 승강장치; 상기 셋플레이트의 저면의 설치홈에 1개 이상 설치되어 가진력을 발생시키는 진동모터조립체; 및 상기 진동모터조립체의 동작을 제어하는 진동제어회로부를 포함하여 제공될 수 있다.

또한, 상기 셋플레이트는, 상기 셋플레이트의 저면의 설치홈의 테두리에서 1개 이상 형성된 외측결합홈을 포함할 수 있다.

또한, 상기 셋플레이트는, 상기 설치홈에 배치되고 1개 이상의 내측결합홈이 구비되어 있는 1개 이상의 조립체설치리브를 포함할 수 있다.

또한, 상기 진동모터조립체는, 상기 외측결합홈과 상기 내측결합홈에 결합되는 윙부; 상기 윙부와 일체형으로 형성되고, 모터설치공간을 갖는 모터브래킷; 상기 모터설치공간에 결합되는 모터; 및 상기 모터의 회전축에 결합되는 편심 무게추를 포함할 수 있다.

또한, 상기 진동모터조립체는 상기 조립체설치리브를 기준으로 일측 영역과 타측 영역에서 상기 셋플레이트의 길이 방향을 따라 이격 배치되어 있되, 상기 진동모터조립체가 상기 셋플레이트의 길이 방향을 따라 배치되고 상기 셋플레이트의 폭 방향을 따라 엇갈리게 배치되어 있을 수 있다.

또한, 상기 가진력은, 상기 셋플레이트를 상승시켜 상기 셋테이블을 가압하며 상기 셋플레이트를 고정시킨 상태에서 발생될 수 있다.

또한, 상기 셋플레이트 상부에 배치된 영상촬영장치를 더 포함하되, 상기 진동제어회로부는 상기 영상촬영장치로부터 촬영된 영상을 판독하여 상기 고객트레이 상에 반도체소자가 제 위치에 안착되지 않은 경우 상기 셋플레이트에 가진력을 발생시킬 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈에 의하면, 최적의 진동모터조립체의 배치, 수량, 구동 전압으로서의 입력값, 및 진동의 세기를 실험을 통해 규명함으로써, 반도체소자가 진동 또는 가진력을 전달받아 고객트레이의 포켓에 안치되게 할 수 있다.

즉, 본 실시예는 반도체소자가 고객트레이의 포켓에 올바르게 안치될 수 있게 함으로써, 언로딩 스택커에서 고객트레이가 적층될 때 반도체소자의 손상을 미연에 방지할 수 있다.

또한, 본 실시예는 적층된 고객트레이를 언로딩 스택커에서 외부로 반출할 때, 고객트레이가 올바르게 운반될 수 있으므로 고객트레이에서의 반도체소자의 분실 가능성을 제거할 수 있다.

도 1은 종래기술에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈의 사시도.
도 3은 도 2에 트랜스퍼 모듈의 분해 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 셋플레이트와 진동모터조립체간 결합구조를 설명하기 위한 사시도.
도 5는 실험 조건을 설명하기 위해 셋플레이트 및 고객트레이와 셋테이블간 결합관계를 도시한 정면도.

이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈의 사시도이고, 도 3은 도 2에 트랜스퍼 모듈의 분해 사시도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈은 고객트레이(10)가 안착되는 셋플레이트(160)를 승강시키기 위한 장치 구성으로서, 레일마감부(110), 수직가이드레일(120), 플레이트받침부(131), 이동판(130), 승강장치(140), 진동모터조립체(170)를 포함할 수 있다. 본 실시예의 설명에서 구성간 결합, 예컨대 레일마감부(110)와 수직가이드레일(120)간 결합에는 볼트 결합을 이용하여 서로 결합 또는 분리 가능하게 결합될 수 있다.

레일마감부(110)는 수직가이드레일(120)의 하부측 단부에 결합되는 "U"자 단면 형상의 채널부재일 수 있다. 레일마감부(110)의 일측 단부는 수직가이드레일(120)의 하부측 단부의 저면에 볼트 결합되어 있는 반면, 레일마감부(110)의 일측 단부는 자유단 구조로서 수직가이드레일(120)의 표면에 비접촉 상태를 이루고 있다. 이를 통해서 수직가이드레일(120)과 이동판(130) 사이의 LM가이드(123)가 승강장치(140)의 오작동 사고 등에 의해서, 수직가이드레일(120)의 아래쪽 방향으로 이동판(130)이 빠져 나가는 것을 막아주는 탄성 정지턱 역할을 담당할 수 있다.

수직가이드레일(120)은 셋플레이트(160)가 수직으로 승강할 수 있도록 가이드하는 역할을 담당할 수 있다.

플레이트받침부(131)는 셋플레이트(160)의 끝단 저면에 체결 볼트로 결합되어 있는 것으로서, 셋플레이트(160)에게 안정된 지지 기반을 제공하도록, 경량화를 위해서 저면 경사형 몸체를 가질 수 있다.

여기서, 저면 경사형 몸체란 플레이트받침부(131)에서 수직가이드레일(120) 쪽의 두께가 두껍고, 자유단에 해당하는 수직가이드레일(120) 반대쪽의 두께가 얇으므로, 그 결과 플레이트받침부(131)의 저면이 우측 방향으로 하향 경사지게 형성되어 있음을 의미할 수 있다.

또한, 플레이트받침부(131)의 상면은 셋플레이트(160)의 끝단 저면에 접촉하는 표면을 가지고 있고, 다수의 볼트 구멍을 구비하여, 셋플레이트(160)와 볼트 결합에 의해 서로 연결될 수 있다.

이동판(130)은 플레이트받침부에 직각을 이루도록 볼트 결합에 의해 상호연결될 수 있다. 이동판(130)과 수직가이드레일(120)의 사이에는 LM가이드(131)가 결합되어 있을 수 있다. 즉, 이동판(130)의 배면에는 볼트에 의해 LM가이드(131)의 정면이 결합되고, LM가이드(131)에서 볼 롤러가 구비된 LM가이드(131)의 결합부는 수직가이드레일(120)의 전면쪽 레일부에 끼워져서 슬라이딩 작동 가능하게 결합될 수 있다.

이렇게 LM가이드(131)에 의해 이동판(130)은 통상의 LM가이드 결합 구조와 동일하게 수직가이드레일(120)에서 슬라이딩 가능하게 결합될 수 있다.

승강장치(140)는 축방향을 따라 이동체[예: 슬라이더 블록(141)]를 이동시키는 통상의 볼스크루 샤프트 블록 또는 선형 모터 또는 슬라이더 등으로 구성될 수 있다.

예컨대, 승강장치(140)는 슬라이더로 구성될 수 있고, 이 경우 이동판(130)에 승강력을 제공하도록 수직가이드레일(120)의 측면에 평행하게 배치 및 지지될 수 있다.

승강장치(140)는, 가이드바(142), 가이드바(142)의 양단에 결합된 결합블록(143, 144), 가이드바(142)에서 슬라이딩 작동 가능하게 결합되어 있는 슬라이더 블록(141)을 포함할 수 있다.

결합블록(143, 144)은 수직가이드레일(120)의 상부 또는 하부 측면에 볼트에 의해 취부 가능하게 고정될 수 있다. 가이드바(142)는 결합블록(143, 144) 사이에 결합되어 있고, 수직가이드레일(120)의 측면에서 이격된 상태로 평행하게 배치될 수 있다.

또한, 이동체에 해당하는 슬라이더 블록(141)은 수직가이드레일(120)의 일측으로 연장되어 있는 위치를 기준으로 이동판(130)의 배면에 볼트로 연결될 수 있다.

진동모터조립체(170)는 셋플레이트(160)의 저면의 설치홈(162)에 다수로 설치되어서, 포켓 리브 현상을 제거할 수 있는 가진력을 발생시키는 역할을 담당할 수 있다.

셋플레이트(160)는 고객트레이(10)의 외곽 테두리에 대응하도록 셋플레이트(160)의 상면에서 원뿔 형상으로 돌출된 다수의 트레이 가이드핀(161)(도 2 참조) 내지 다수의 플레이트 가이드핀(169)을 구비할 수 있다.

또한, 도 3을 참조하면, 셋플레이트(160)는 셋플레이트(160)의 저면의 설치홈(162)의 테두리에서 다수로 형성된 외측결합홈(163)을 포함할 수 있다.

또한, 셋플레이트(160)는 설치홈(162)의 셋플레이트(160)의 길이 방향 중앙축을 따라 이격 배치되고, 다수의 내측결합홈(164)을 갖는 조립체설치리브(165)를 포함할 수 있다. 하지만, 셋플레이트(160)는 조립체설치리브(165)를 반드시 포함하지 않아도 되며, 조립체설치리브(165)의 배치도 상술한 중앙축에 한정되는 것은 아니다.

조립체설치리브(165)와 셋플레이트(160)는 알루미늄 합금 재질 또는 스테인레스재질 등을 이용하여 일체형으로 성형 또는 제작되어 있을 수 있다.

진동모터조립체(170)의 탈부착을 위해서, 설치홈(162)의 테두리의 외측결합홈(163)과 조립체설치리브(165)의 내측결합홈(164)에는 각각 볼트 체결 구멍이 형성되어 있을 수 있다.

여기서, 조립체설치리브(165)의 돌출 두께, 폭, 조립체설치리브(165)간 이격 거리 등의 수치값은 다수의 실험을 통해서 하기의 진동값이 나올 수 있고, 가진력이 셋플레이트(160) 전역에 안정되게 전달되는 범위 내에서 선택 또는 정해질 수 있다.

진동모터조립체(170)는 외측결합홈(163)과 내측결합홈(164)에 결합되는 윙부(171, 172)와, 상기 윙부(171, 172)와 일체형으로 형성되고, 모터를 감싸도록 모터설치공간(174)을 갖는 모터브래킷(173)을 포함할 수 있다. 모터브래킷(173) 및 윙부(171, 172)는 철판을 절곡하여 제작되거나, 사출성형에 의해 제작될 수 있다.

여기서, 모터브래킷(173)의 일측에 있는 윙부(171)는 조립체설치리브(165)의 내측결합홈(164)에 안치된 후 볼트 구멍 및 볼트에 의해 결합될 수 있다.

또한, 모터브래킷(173)의 타측에 있는 윙부(172)는 설치홈(162)의 테두리에 위치한 외측결합홈(163)에 안치된 후 역시 볼트 구멍 및 볼트에 의해 결합될 수 있다.

또한, 진동모터조립체(170)는 모터브래킷(173)의 모터설치공간(174)에 결합되는 모터(175)와, 모터(175)의 회전샤프트에 결합되는 편심 무게추(176)를 포함할 수 있다.

여기서, 모터브래킷(173)에는 모터설치공간(174)에 놓인 모터(175)의 움직임을 제한하기 위한 정지턱(177)이 더 형성되어 있을 수 있다.

도 4는 도 3에 도시된 셋플레이트(160)와 진동모터조립체(170)간 결합구조를 설명하기 위한 사시도이다.

도 4를 참조하면, 진동모터조립체(170)는 조립체설치리브(165)를 기준으로 일측 영역과 타측 영역에서 상기 셋플레이트(160)의 길이 방향(Y축 방향)을 따라 이격 배치되어 있을 수 있다.

이때, 셋플레이트(160)의 길이 방향(Y축 방향)을 기준으로 도 4를 살펴보면, 진동모터조립체(170)가 셋플레이트(160)의 길이 방향에 평행한 제 1 중심선(RL1)에 일치되도록 배치되어 있을 수 있다.

또한, 셋플레이트(160)의 폭 방향(X축 방향)을 기준으로 도 4를 살펴보면, 진동모터조립체(170)가 셋플레이트(160)의 폭 방향에 평행한 제 2 중심선(RL2)에 일치되지 않도록 엇갈리게 배치되어 있을 수 있다.

즉, 편심 무게추(176)가 위에서 회전하는 평면이 셋플레이트(160)의 XZ 평면과 동일한 평면이므로, 만일 진동모터조립체(170)가 제 2 중심선(RL2)에 일치될 경우, 편심 무게추(176)의 회전에 따른 진동이 서로 상충되거나 겹치게 되어, 진동 발생 효율이 매우 저하되거나 예상치 않은 큰 진동의 발현으로 인해 반도체소자가 정위치될 수 있는 확률이 현저히 떨어질 수 있다.

이러한 배치 또는 배열적 특징은 바람직한 진동을 발생시키고, 구체적으로, 셋플레이트(160) 전역에서의 진동값이 90 ~ 110 dB 정도 되도록 함으로써, 포켓으로부터 일부분 이탈된 반도체소자가 제자리를 찾는 확률(안착 경향성 또는 안착률)을 높일 수 있게 해줄 수 있다. 하지만, 진동모터조립체(170)의 배치는 상술한 예에 한정되는 것이 아니며, 셋플레이트(160)의 길이 방향으로 1열 또는 3열 이상으로 배치될 수도 있으며, 폭방향의 지그재그 배치 구조 외에도 다른 배치 구조도 가능하다. 또한, 상기 셋플레이트(160) 전역에서의 진동값도 셋플레이트(160), 셋플레이트(160) 위에 안착되는 고객트레이(10), 및 고객트레이(10)에 적재되는 전자부품의 형상 및 무게에 따라 다양하게 변경 적용이 가능하다.

예컨대, 셋플레이트(160)에 고객트레이(10)를 안착시키고, 고객트레이(10)에 다수의 반도체소자를 담은 다음 다수의 테스트를 수행한 바 있다.

이때, 진동모터조립체(170)의 모터(175)는 각각 24V 직류형 모터가 사용되었다. 이런 모터(175) 6개는 상기와 같은 배치 특징을 갖도록 셋플레이트(160)의 저부, 즉 안착홈(162)에 배치 및 고정되고, 모터 작동 전압 10V ~ 24V에서 선택된 어느 하나의 모터입력값으로 가동시켜 아래와 같은 [표 1]의 우수한 결과를 얻을 수 있도록 여러 차례의 테스트를 수행하였다.

[표 1]의 결과를 얻는 과정에서 셋플레이트(160)에 전달 또는 측정된 진동값이 90 ~ 110 dB 임을 알게 되었다.

또한, 진동값이 90 dB 미만일 경우, 반도체소자가 제대로 움직이지 않고, 반대로 110 dB 초과일 경우, 반도체소자가 과도한 움직임을 보여서 포켓 바깥쪽으로 튀어 나가는 현상이 발생되므로, 상기와 같은 진동값의 수치는 임계치에 해당함이 분명하다.

특히, 최대 24V로 작동 가능한 모터(175)를 사용할 때, 모터입력값에 따라 반도체소자가 제자리를 찾는 확률도 달라질 수 있고, 다수의 실험을 통해 확인한 최적화된 모터입력값은 모터 작동 전압 10V ~ 24V에서 선택된 어느 하나일 수 있고, 더욱 바람직하게 14 V일 때 가장 확률이 높게 나타날 수 있다.

도 5는 실험 조건을 설명하기 위해 셋플레이트 및 고객트레이와 셋테이블간 결합관계를 도시한 정면도이다. 도 5를 참조하면, 상기 실험은 진동모터조립체(170)로부터 발생된 진동 또는 가진력에 의해 셋플레이트(160)가 흔들리지 않도록 고정된 상태에서 수행되었으며, 실제 적용 시에도 셋플레이트(160)가 흔들려 반도체소자가 고객트레이(10)에서 튀는 현상이 일어나지 않도록, 셋플레이트(160)를 최대한 올리고, 셋플레이트(160)의 상부에 위치한 고객트레이(10)가 삽입되는 개구부(301)를 구비한 셋테이블(300)에 셋플레이트(160)가 고정된 상태에서 수행한다.

예컨대, 셋플레이트(160)의 플레이트 가이드핀(169)이 셋테이블(300)의 핀구멍(302)에 삽입되어 있으므로 셋플레이트(160)의 움직임이 좌우 방향(X축 및 Y축 방향)으로 구속될 수 있고, 셋플레이트(160)가 승강장치(140)로부터 상승력을 전달 받아 상기 개구부(301)의 테두리에 밀착되어 있으므로 셋플레이트(160)의 움직임이 수직 방향(Z축 방향)으로 구속될 수 있다.

도 2를 다시 참조하면, 셋플레이트(160)와 수직가이드레일(120)의 사이에서 고정편(151, 152)에 의해 고정된 케이블베이(150)가 더 설치되어 있을 수 있다. 즉, 케이블베이(150)의 일측의 고정편(152)은 셋플레이트(160)의 코너쪽 측면에 볼트로 연결될 수 있다. 또한, 케이블베이(150)의 타측의 고정편(151)은 수직가이드레일(120)의 배면에 볼트로 연결될 수 있다.

이러한 케이블베이(150)는 모터 전원을 공급하기 위한 전선(미 도시) 또는 모터 작동 제어용 케이블(미 도시)을 보호하는 역할을 담당할 수 있다.

또한, 플레이트받침부(131)의 코너 상면에는 셋플레이트(160)의 상면 레벨보다 더 돌출된 제 1 충격완충 댐퍼(183)가 더 설치되어 있을 수 있다.

제 1 충격완충 댐퍼(183)는 셋플레이트(160)의 상승 작동시 관성력으로 인해 셋플레이트(160) 위의 고객트레이(10)가 테스트핸들러의 프레임(미 도시)에 접촉 가능할 때, 그 때의 충격력을 저감시키는 역할을 담당하는 안전장치일 수 있다.

한편, 수직가이드레일(120)의 일측에 돌출된 지지브래킷(181)에는 상기 플레이트받침부(131)의 저면을 향하도록 제 2 충격완충 댐퍼(180)가 더 설치되어 있을 수 있다.

제 2 충격완충 댐퍼(180)는 셋플레이트(160)의 하강 작동시 오작동으로 인해 셋플레이트(160)가 과도하게 하향으로 이동되는 것을 방지시키는 역할을 담당하는 안전장치일 수 있다.

한편 도 4를 참조하면, 진동모터조립체(170)의 모터(175)는 전기적으로 진동제어회로부(400)에 전기적으로 접속되어 있을 수 있다. 여기서, 진동제어회로부는 테스트핸들러의 메인 컨트롤러(미 도시)의 모듈 형태로 구비되어 모터(175)의 전반적인 작동과 함께 진동을 가진시키는 제어 프로세스를 수행할 수 있도록 구성되어 있을 수 있다.

또한 도 2를 참조하면, 트랜스퍼 모듈(100)의 상부쪽에 해당하는 테스트핸들러용 장치 프레임(미 도시)에는 고객트레이(10)의 상부 또는 고객트레이(10)에 위치할 반도체소자의 배치 형상을 촬영하는 영상촬영장치(200)가 행거(210)에 의해 설치되어 있을 수 있다.

영상촬영장치(200)는 고객트레이(10)의 포켓에 반도체소자가 잘못 놓여져있거나 또는 정상적으로 놓여져 있는지 촬영하고, 촬영 영상 정보를 진동제어회로부(400)에 전달하는 역할을 담당할 수 있다.

진동제어회로부(400)는 영상 분석(예: 판독) 기능과, 모터 가진 제어 기능을 수행할 수 있도록 전자회로적으로 구성되어 있을 수 있다.

진동제어회로부(400)는 미리 정해져 있는 모터 작동 알고리즘, 즉 모터 가진 제어 기능에 상응하게 미리 정해진 타이밍 마다 모터(175)(도 4 참조)에 모터입력값을 입력시키고, 모터(175)의 회전샤프트에 결합된 편심 무게추(176)를 회전시킴으로써, 진동이 진동모터조립체(170)에서 발생될 수 있게 할 수 있다.

또한, 진동제어회로부(400)는 영상 분석 기능을 이용하여, 상기 정해진 타이밍외에 별도로 가진이 필요한 것으로 판단한 경우, 역시 모터(175)에 모터입력값을 입력시키고, 모터(175)의 회전샤프트에 결합된 편심 무게추(176)를 회전시킴으로써, 진동이 진동모터조립체(170)에서 발생될 수 있게 할 수 있다. 즉, 진동제어회로부(400)는 영상촬영장치(200)로부터 촬영된 영상을 판독하여 상기 고객트레이(10) 상에 반도체소자가 제 위치에 안착되지 않은 경우 셋플레이트(160)에 가진력을 전달시켜 진동을 발생시킬 수 있다.

이하, 본 실시예의 작동 관계에 대하여 설명하고자 한다.

트랜스퍼 모듈(100)은 언로딩된 반도체소자를 스택커로 이동하는 통상적인 작동을 수행한다.

이때, 셋플레이트(160) 위의 고객트레이(10)의 포켓에 잘못 놓여진 반도체소자가 없도록, 진동제어회로부는 미리 정해진 타이밍마다 각 모터(175)에 모터입력값을 입력시킨다. 이 경우, 언로딩 시 셋플레이트(160)를 셋테이블(300)(도 5 참조)로 가압하여 고정한 상태에서 모터입력값이 입력된다.

모터(175)는 그의 회전샤프트에 결합된 편심 무게추(176)를 상기 모터입력값에 대응하게 회전시키고, 그 결과 진동이 진동모터조립체(170)에서 발생된다.

진동모터조립체(170)에서 발생된 진동 또는 가진력은 셋플레이트(160)를 경유하여 고객트레이(10)에 전달된다.

이때, 진동 또는 가진력은 측정값 기준으로 2초 동안 90 ~ 110 dB 정도 될 수 있다.

이에 따라, 고객트레이(10)의 포켓에 잘못 놓여져 있던 반도체소자가 포켓에 정위치될 수 있다.

또한, 진동제어회로부(400)는 영상 분석 기능을 적용시, 6개의 모터(175) 중 어느 하나를 선별적으로 작동 또는 정지시키거나, 6개의 모터(175)에 입력시키는 모터입력값의 크기(예: 볼트값)를 크게 또는 작게하여 진동모터조립체(170)별로 가진력이 서로 다르게 발생되게 제어할 수도 있다.

이상 본 발명의 실시예에 따른 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈의 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.

10 : 고객트레이 100 : 트랜스퍼 모듈
110 : 레일마감부 120 : 수직가이드레일
130 : 이동판 131 : 플레이트받침부
140 : 승강장치 150 : 케이블베이
160 : 셋플레이트 170 : 진동모터조립체
173 : 모터브래킷 175 : 모터
176 : 편심 무게추 180 : 제 2 충격완충 댐퍼
183 : 제 1 충격완충 댐퍼 200 : 영상촬영장치
300 : 셋테이블 400 : 진동제어회로부

Claims

고객트레이가 안착되는 셋플레이트를 승강시키기 위한 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈에 있어서,
상기 셋플레이트의 상부에 상기 고객트레이가 삽입되는 개구부를 구비하는 셋테이블;
상기 셋플레이트가 수직으로 승강할 수 있도록 가이드 하는 수직가이드레일;
상기 셋플레이트에 고정되고 슬라이딩 가능하게 상기 수직가이드레일에 결합된 이동판;
상기 이동판에 승강력을 제공하는 승강장치;
상기 셋플레이트의 저면의 설치홈에 1개 이상 설치되어 가진력을 발생시키는 진동모터조립체; 및
상기 진동모터조립체의 동작을 제어하는 진동제어회로부를 포함하는 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈.
제 1 항에 있어서,
상기 셋플레이트는,
상기 셋플레이트의 저면의 설치홈의 테두리에서 1개 이상 형성된 외측결합홈을 포함하는 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈.
제 2 항에 있어서,
상기 셋플레이트는,
상기 설치홈에 배치되고 1개 이상의 내측결합홈이 구비되어 있는 1개 이상의 조립체설치리브를 포함하는 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈.
제 3 항에 있어서,
상기 진동모터조립체는,
상기 외측결합홈과 상기 내측결합홈에 결합되는 윙부;
상기 윙부와 일체형으로 형성되고, 모터설치공간을 갖는 모터브래킷;
상기 모터설치공간에 결합되는 모터; 및
상기 모터의 회전축에 결합되는 편심 무게추를 포함하는 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈.
제 3 항에 있어서,
상기 진동모터조립체는 상기 조립체설치리브를 기준으로 일측 영역과 타측 영역에서 상기 셋플레이트의 길이 방향을 따라 이격 배치되어 있되, 상기 진동모터조립체가 상기 셋플레이트의 길이 방향을 따라 배치되고 상기 셋플레이트의 폭 방향을 따라 엇갈리게 배치되는 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈.
제 1 항에 있어서,
상기 가진력은, 상기 셋플레이트를 상승시켜 상기 셋테이블을 가압하며 상기 셋플레이트를 고정시킨 상태에서 발생되는 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈.
제 1 항에 있어서,
상기 셋플레이트 상부에 배치된 영상촬영장치를 더 포함하되,
상기 진동제어회로부는 상기 영상촬영장치로부터 촬영된 영상을 판독하여 상기 고객트레이 상에 반도체소자가 제 위치에 안착되지 않은 경우 상기 셋플레이트에 가진력을 발생시키는 테스트핸들러용 트랜스퍼 모듈.