[go: up one dir, main page]

KR101870049B1 - Muffle ffurnace - Google Patents

Muffle ffurnace Download PDF

Info

Publication number
KR101870049B1
KR101870049B1 KR1020160175984A KR20160175984A KR101870049B1 KR 101870049 B1 KR101870049 B1 KR 101870049B1 KR 1020160175984 A KR1020160175984 A KR 1020160175984A KR 20160175984 A KR20160175984 A KR 20160175984A KR 101870049 B1 KR101870049 B1 KR 101870049B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
ceramic
muffle
tube
boards
temperature sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020160175984A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이승환
박순복
Original Assignee
주식회사 포스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 포스코 filed Critical 주식회사 포스코
Priority to KR1020160175984A priority Critical patent/KR101870049B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101870049B1 publication Critical patent/KR101870049B1/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06Details, accessories or equipment specially adapted for furnaces of these types
    • F27B5/08Arrangements of linings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06Details, accessories or equipment specially adapted for furnaces of these types
    • F27B5/10Muffles
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06Details, accessories or equipment specially adapted for furnaces of these types
    • F27B5/16Arrangements of air or gas supply devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F27D1/0003Linings or walls
    • F27D1/0006Linings or walls formed from bricks or layers with a particular composition or specific characteristics
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B5/00Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
    • F27B5/06Details, accessories or equipment specially adapted for furnaces of these types
    • F27B2005/062Cooling elements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F27D2001/0059Construction elements of a furnace
    • F27D2001/0066Movable or removable parts
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D1/00Casings; Linings; Walls; Roofs
    • F27D2001/0079Means to assemble at least two parts of a furnace or of any device or accessory associated to its use

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)

Abstract

각각 마름모꼴 구조를 갖는 복수의 세라믹 보드를 적층한 상태에서 고정 부재에 의해 고정시키는 것에 의해 일회성이 아닌 재사용이 가능하도록 설계된 머플퍼니스에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 머플퍼니스는 머플튜브; 상기 머플튜브의 외측을 감싸며, 각각 사다리꼴 형태를 가지며, 상호 간이 맞물리도록 적층된 복수의 세라믹 보드; 상기 복수의 세라믹 보드의 외측을 감싸는 보호판; 상기 복수의 세라믹 보드 및 보호판에 체결되어, 상기 복수의 세라믹 보드를 고정시키는 고정 부재; 및 상기 머플튜브의 내부 온도를 측정하기 위한 온도 센서 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Disclosed is a muffle furnace designed to be reused, not one-time, by fixing a plurality of ceramic boards each having a diamond-like structure in a stacked state with a fixing member.
A muffle furnace according to the present invention comprises a muffle tube; A plurality of ceramic boards which surround the outside of the muffle tube and each have a trapezoidal shape and are stacked so as to be engaged with each other; A protective plate surrounding the outside of the plurality of ceramic boards; A fixing member fastened to the plurality of ceramic boards and the protection boards to fix the plurality of ceramic boards; And a temperature sensor module for measuring an internal temperature of the muffle tube.

Description

머플퍼니스{MUFFLE FFURNACE}Muffel Furnace {MUFFLE FFURNACE}

본 발명은 머플퍼니스에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각각 사다리꼴 구조를 갖는 복수의 세라믹 보드를 적층한 상태에서 고정 부재에 의해 고정시키는 것에 의해 일회성이 아닌 재사용이 가능하도록 설계된 머플퍼니스에 관한 것이다.
The present invention relates to a muffle furnace, and more particularly, to a muffle furnace designed to enable reuse, rather than one-time, by fixing a plurality of ceramic boards each having a trapezoidal structure in a stacked state with a fixing member.

일반적으로, 열처리 퍼니스는 비연속식 열처리 퍼니스(Batch Type Furnace)와 연속식 열처리 퍼니스(Continuous Type Furnace)로 구분된다.Generally, a heat-treated furnace is divided into a non-continuous type heat treatment furnace (Batch Type Furnace) and a continuous type heat treatment furnace (Continuous Type Furnace).

이때, 비연속식 열처리 퍼니스는 사이클 단위로 스트립을 적재 가동하는 방식으로서 열처리가 완전히 끝날 때까지 스트립이 퍼니스의 내부에 머무르는 방식을 말한다.In this case, the non-continuous heat treatment furnace is a method in which the strip is loaded on a cycle-by-cycle basis, in which the strip stays inside the furnace until the heat treatment is completely completed.

반면, 연속식 열처리 퍼니스는 스트립의 열처리 조건을 지정해놓고 스트립이 직접 이동하며 정해진 조건에 따라 열처리되는 방식으로 비연속식 열처리 퍼니스에 비해 대량 생산에 적합하다는 장점이 있다. 이러한 연속식 열처리 퍼니스는 스트립의 가열방식에 따라 연소불꽃이 직접 닿는 직접 가열하는 방식과 금속 재질의 터널인 머플튜브를 사이에 두고 간접적으로 가열하는 머플 방식이 있다.On the other hand, the continuous heat-treated furnace has a merit that it is suitable for mass production as compared with the non-continuous heat-treated furnace in that the strip is directly heated and heat-treated according to the predetermined conditions by designating the heat-treatment condition of the strip. Such a continuous heat-treated furnace has a direct heating method in which a combustion flame directly touches the strip according to a heating method of the strip, and a muffle method in which a metal material tunnel is indirectly heated with a muffle tube interposed therebetween.

이때, 직화 방식은 열의 손실이 적다는 장점은 있으나, 스트립을 일정하게 가열하지 못하고, 스트립을 더럽히고 손상시킬 수 있으므로 고부가 가치의 제품에 대해서는 간접 가열 방식인 머플식 열처리 퍼니스(이하, 머플퍼니스로 약칭함.)를 사용하고 있다.
In this case, although the flame is advantageous in that the heat loss is small, since the strip can not be heated uniformly and the strip can be soiled and damaged, a high-value-added product can be obtained by using an indirect heating type muffle type heat treatment furnace Abbreviated ").

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래에 따른 머플퍼니스에 대하여 설명하도록 한다.Hereinafter, a conventional muffle furnace will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2는 종래에 따른 머플퍼니스 내의 세라믹 보드의 단락 예를 나타낸 사진이다.1 and 2 are photographs showing an example of a short circuit of a ceramic board in a conventional muffle furnace.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 종래에 따른 머플퍼니스(1)의 경우에는 머플튜브를 감싸는 직사각형 형태의 세라믹 보드(20)를 고정 수단 없이 단순히 적층하여 사용하였다. 이와 같이, 고정 수단 없이 단순히 세라믹 보드(20)를 적층하여 사용할 경우에는, 도 2의 A 부분에 도시된 바와 같이, 작은 외부 충격에도 세라믹 보드(20)가 쉽게 단락되는 문제가 있었다.
As shown in FIGS. 1 and 2, in the conventional muffle furnace 1, the rectangular ceramic board 20 surrounding the muffle tube is simply stacked without fixing means. As described above, when the ceramic board 20 is simply laminated without fixing means, there is a problem that the ceramic board 20 is easily short-circuited even with a small external impact, as shown in part A of FIG.

이를 해결하기 위해, 종래에는 세라믹 보드의 외측을 철피로 보호하고, 세라믹 보드 및 철피를 고정 바로 고정시켜 세라믹 보드가 단락되는 것을 방지하려는 시도가 진행 중에 있다.In order to solve this problem, attempts have been made in the past to prevent the ceramic board from being short-circuited by protecting the outer side of the ceramic board with iron fat and fixing the ceramic board and the copper foil to the fixing board.

도 3은 종래에 따른 머플퍼니스를 나타낸 결합 사시도이고, 도 4는 도 3의 세라믹 보드를 확대하여 나타낸 사시도이다.3 is an assembled perspective view illustrating a conventional muffle furnace, and FIG. 4 is an enlarged perspective view of the ceramic board of FIG. 3. FIG.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 종래에 따른 머플퍼니스(1)는 스트립을 통과시키기 위한 터널(T)을 구비하는 머플튜브(10)를 중앙에 배치시키고, 머플튜브(10)의 외측에 각각 직사각형 형상을 갖는 복수의 세라믹 보드(20)를 적층한 후, 복수의 세라믹 보드(20)의 외측을 철피(30)로 보호하고 있다. 또한, 종래에 따른 머플퍼니스(1)는 철피(30) 및 복수의 세라믹 보드(20)를 고정 바(40)에 의해 고정시켜 복수의 세라믹 보드(20)가 단락되는 것을 방지하고 있다.3 and 4, a conventional muffle furnace 1 includes a muffle tube 10 having a tunnel T for passing a strip through the center thereof, A plurality of ceramic boards 20 each having a rectangular shape are laminated on the ceramic boards 20 and then the outside of the plurality of ceramic boards 20 is protected by the ceramic sheets 30. [ In the conventional muffle furnace 1, the metal foil 30 and the plurality of ceramic boards 20 are fixed by the fixing bars 40 to prevent the plurality of ceramic boards 20 from being short-circuited.

그러나, 종래에 따른 머플퍼니스(1)는 직사각형 형태의 복수의 세라믹 보드(20)를 벽돌처럼 단순히 적층시킨 후, 철피(30) 및 복수의 세라믹 보드(20)를 고정 바(40)에 의해 고정시키는 구조이므로 복수의 세라믹 보드(20)의 자체 하중에 의해 작은 외부 충격에도 복수의 세라믹 보드(20)가 쉽게 부스러지는 문제가 있었다.However, in the conventional muffle furnace 1, a plurality of rectangular ceramic boards 20 are simply stacked as bricks, and then the ceramic sheets 30 and the plurality of ceramic boards 20 are fixed by the fixing bars 40 There is a problem that a plurality of ceramic boards 20 are easily broken even by a small external impact due to the own load of the plurality of ceramic boards 20. [

이와 같이, 복수의 세라믹 보드(20)가 부스러지는 불량이 발생할 경우, 고정 바(40), 철피(30) 및 온도 센서(50)를 해체한 상태에서 불량이 발생된 세라믹 보드(20)를 전량 교환해서 조립해야 하는 번거로움과 세라믹 보드(20)의 교환 및 조립 등으로 인한 비용 발생으로 제조원가를 상승시키는 문제가 있었다.In this way, when a plurality of ceramic boards 20 are defective, the ceramic board 20 in which the defects are generated in a state in which the fixing bar 40, the iron sheet 30 and the temperature sensor 50 are dismantled, There is a problem that the manufacturing cost is increased due to the inconvenience of replacing and assembling and the cost due to replacement and assembly of the ceramic board 20. [

관련 선행 문헌으로는 대한민국 공개특허공보 제10-2004-0007919호(2004.01.28. 공개)가 있으며, 상기 문헌에는 용융 모사 시험용 2-단 수직형 고온 환원로가 기재되어 있다.
A related prior art is Korean Patent Publication No. 10-2004-0007919 (published on Jan. 28, 2004), which discloses a two-stage vertical high-temperature reduction furnace for melting simulation test.

본 발명의 목적은 각각 사다리꼴 구조를 갖는 복수의 세라믹 보드를 적층한 상태에서 고정 부재에 의해 고정시키는 것에 의해 일회성이 아닌 재사용이 가능하도록 설계된 머플퍼니스를 제공하는 것이다.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a muffle furnace which is designed to be reusable rather than one-time by fixing a plurality of ceramic boards each having a trapezoidal structure in a stacked state with a fixing member.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 머플퍼니스는 머플튜브; 상기 머플튜브의 외측을 감싸며, 각각 사다리꼴 형태를 가지며, 상호 간이 맞물리도록 적층된 복수의 세라믹 보드; 상기 복수의 세라믹 보드의 외측을 감싸는 보호판; 상기 복수의 세라믹 보드 및 보호판에 체결되어, 상기 복수의 세라믹 보드를 고정시키는 고정 부재; 및 상기 머플튜브의 내부 온도를 측정하기 위한 온도 센서 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a muffle furnace comprising: a muffle tube; A plurality of ceramic boards which surround the outside of the muffle tube and each have a trapezoidal shape and are stacked so as to be engaged with each other; A protective plate surrounding the outside of the plurality of ceramic boards; A fixing member fastened to the plurality of ceramic boards and the protection boards to fix the plurality of ceramic boards; And a temperature sensor module for measuring an internal temperature of the muffle tube.

여기서, 상기 복수의 세라믹 보드는 상기 머플튜브의 하측에 장착된 제1 세라믹 보드; 상기 머플튜브의 상측에 장착된 제2 세라믹 보드; 상기 머플튜브의 좌측에 장착되어, 상기 제1 및 제2 세라믹 보드 사이에 적층된 제3 세라믹 보드; 및 상기 머플튜브의 우측에 장착되어, 상기 제1 및 제2 세라믹 보드 사이에 적층된 제4 세라믹 보드;를 포함한다.The plurality of ceramic boards may include: a first ceramic board mounted on a lower side of the muffle tube; A second ceramic board mounted on the upper side of the muffle tube; A third ceramic board mounted on the left side of the muffle tube and stacked between the first and second ceramic boards; And a fourth ceramic board mounted on the right side of the muffle tube and stacked between the first and second ceramic boards.

이때, 상기 제1 및 제2 세라믹 보드는 상호 간이 대칭 구조의 사다리꼴 구조를 갖고, 상기 제3 및 제4 세라믹 보드는 상호 간이 대칭 구조의 사다리꼴 구조를 갖는다.In this case, the first and second ceramic boards have a trapezoidal structure having a symmetrical structure, and the third and fourth ceramic boards have a trapezoidal structure having a symmetrical structure.

또한, 상기 보호판은 상기 복수의 세라믹 보드 외측의 적어도 3면 이상을 감싸도록 장착될 수 있다.In addition, the shield plate may be mounted so as to surround at least three sides of the outside of the plurality of ceramic boards.

상기 온도 센서 모듈은 상기 복수의 세라믹 보드 중 적어도 하나의 내부에 삽입 배치된다.The temperature sensor module is inserted into at least one of the plurality of ceramic boards.

특히, 상기 온도 센서 모듈은 상기 머플튜브의 상측에 배치된 적어도 하나의 세라믹 보드의 내부에 삽입 배치되어, 상기 온도 센서 모듈의 하단이 상기 머플튜브의 상측과 맞닿도록 설치된다.Particularly, the temperature sensor module is inserted into at least one ceramic board disposed on the upper side of the muffle tube, and the lower end of the temperature sensor module abuts the upper side of the muffle tube.

이때, 상기 온도 센서 모듈은 온도 센서; 상기 온도 센서의 외주면을 감싸 보호하며, 내주면을 따라 구비된 나선형 그루브를 갖는 보호 튜브; 상기 보호 튜브의 상단에 장착되어, 상기 보호 튜브의 내부로 냉각 가스를 공급하기 위한 가스 공급배관;을 포함한다.At this time, the temperature sensor module includes a temperature sensor; A protective tube having a helical groove provided on an inner circumferential surface thereof to surround and protect the outer circumferential surface of the temperature sensor; And a gas supply pipe mounted on the upper end of the protection tube for supplying a cooling gas into the inside of the protection tube.

또한, 상기 보호 튜브는 보호 튜브 몸체와, 상기 보호 튜브 몸체의 하단에 배치되어, 상기 보호 튜브 몸체의 평면적보다 큰 평면적을 갖도록 돌출되어, 상기 머플튜브와 세라믹 보드 사이에서 상기 세라믹 보드의 처짐을 방지하기 위한 처짐 방지턱을 포함한다.The protection tube may include a protection tube body and a protection tube body disposed at a lower end of the protection tube body to protrude from the muffle tube and the ceramic board so as to have a larger planar area than the protection tube body, And a deflection preventing member for preventing the deflection.

특히, 상기 처짐 방지턱은 원통형 단턱 구조를 갖는 것이 바람직하다.
Particularly, it is preferable that the deflection preventing jaw has a cylindrical stepped structure.

본 발명에 따른 머플퍼니스는 각각 사다리꼴 형태를 갖는 복수의 세라믹 보드가 머플튜브를 중앙에 위치시키는 형태로 적층되는 구조이므로, 머플튜브 상측의 제2 세라믹 보드가 자체 하중에 의해 눌려져 머플튜브의 좌측 및 우측에 각각 배치된 제3 및 제4 세라믹 보드와의 경계점에서 제1 및 제2 세라믹 보드와 더욱 기밀하게 조립되어 단열 효과를 극대화시킬 수 있는 구조적인 이점을 갖는다.The muffle furnace according to the present invention has a structure in which a plurality of ceramic boards each having a trapezoidal shape are stacked in a manner that the muffle tubes are positioned at the center, so that the second ceramic board on the upper side of the muffle tube is pressed by its own load, The first ceramic board and the second ceramic board can be assembled more airtightly at the boundary points between the third ceramic board and the fourth ceramic board disposed on the right side, thereby maximizing the heat insulation effect.

또한, 본 발명에 따른 머플퍼니스는 복수의 세라믹 보드를 해체할 시 머플튜브의 상측에 배치되는 제2 세라믹 보드만을 꺼내어 내부에 위치하는 머플튜브를 손쉽게 점검 및 교체하는 것이 가능한 구조를 가지므로, 재 조립시 충격으로 인해 세라믹 보드를 훼손시키는 것 없이 우수한 기밀성을 유지시키는 것이 가능해질 수 있게 된다.Further, since the muffle furnace according to the present invention has a structure that can take out only the second ceramic board disposed on the upper side of the muffle tube when disassembling the plurality of ceramic boards, and can easily inspect and replace the muffle tube located therein, It becomes possible to maintain excellent airtightness without damaging the ceramic board due to impacts during assembly.

또한, 본 발명에 따른 머플퍼니스는 나선형 그루브를 구비하는 보호 튜브의 내부로 냉각 가스를 공급시키는 것에 의해, 온도 센서와의 접촉 면적을 확장시켜 냉각 효과를 극대화시킴으로써 보호 튜브가 파손되는 것을 예방할 수 있을 뿐만 아니라, 온도 센서의 오작동을 방지할 수 있게 된다.
Further, the muffle furnace according to the present invention can supply the cooling gas to the inside of the protective tube having the spiral groove, thereby maximizing the cooling effect by enlarging the contact area with the temperature sensor, thereby preventing the protection tube from being damaged In addition, malfunction of the temperature sensor can be prevented.

도 1 및 도 2는 종래에 따른 머플퍼니스 내의 세라믹 보드의 단락 예를 나타낸 사진.
도 3은 종래에 따른 머플퍼니스를 나타낸 결합 사시도.
도 4는 도 3의 세라믹 보드를 확대하여 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 머플퍼니스를 나타낸 결합 단면도.
도 6은 도 5의 온도 센서를 확대하여 나타낸 도면.
FIG. 1 and FIG. 2 are photographs showing a conventional example of a short circuit of a ceramic board in a muffle furnace.
3 is a perspective view showing a conventional muffle furnace.
Fig. 4 is an enlarged perspective view of the ceramic board of Fig. 3; Fig.
5 is an assembled cross-sectional view illustrating a muffle furnace according to an embodiment of the present invention.
6 is an enlarged view of the temperature sensor of Fig. 5; Fig.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and how to accomplish them, will become apparent by reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. It should be understood, however, that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 머플퍼니스에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, a muffle furnace according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 머플퍼니스를 나타낸 결합 단면도이고, 도 6은 도 5의 온도 센서를 확대하여 나타낸 도면이다.FIG. 5 is an assembled cross-sectional view illustrating a muffle furnace according to an embodiment of the present invention, and FIG. 6 is an enlarged view of the temperature sensor of FIG.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시에에 따른 머플퍼니스(100)는 머플튜브(110), 세라믹 보드(120), 보호판(130), 고정 부재(140) 및 온도 센서 모듈(150)을 포함한다.
5 and 6, a muffle furnace 100 according to an embodiment of the present invention includes a muffle tube 110, a ceramic board 120, a shroud 130, a fixing member 140, and a temperature sensor module 150 ).

머플튜브(110)는 소둔 열처리하기 위한 스트립(미도시)이 통과하기 위한 공간을 제공한다. 이를 위해, 머플튜브(110)는 금속 재질로 이루어지며, 스트립을 통과시키기 위한 터널(T)을 갖는다. 이때, 터널(T)은 육면체 형상을 가질 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
The muffle tube 110 provides a space through which a strip (not shown) for annealing heat treatment passes. To this end, the muffle tube 110 is made of a metal material and has a tunnel T for passing the strip. At this time, the tunnel T may have a hexahedral shape, but is not limited thereto.

세라믹 보드(120)는 머플튜브(110)의 외측을 감싸도록 장착된다. 이러한 세라믹 보드(120)는 각각 사다리꼴 형태를 가지며, 상호 간이 맞물리도록 적층된다. 이러한 세라믹 보드(120)는 머플튜브(110)를 중앙에 위치시켜 상호 간이 맞물리도록 적층시키는 형태로 조립되어 단열 작용을 하게 된다.The ceramic board 120 is mounted so as to surround the outside of the muffle tube 110. Each of the ceramic boards 120 has a trapezoidal shape and is stacked so as to be engaged with each other. The ceramic board 120 is assembled in such a manner that the muffle tubes 110 are positioned at the center and are engaged with each other to perform a heat insulating action.

이때, 복수의 세라믹 보드(120)는 제1 세라믹 보드(120a), 제2 세라믹 보드(120b), 제3 세라믹 보드(120c) 및 제4 세라믹 보드(120d)를 포함한다.The plurality of ceramic boards 120 includes a first ceramic board 120a, a second ceramic board 120b, a third ceramic board 120c, and a fourth ceramic board 120d.

제1 세라믹 보드(120a)는 머플튜브(110)의 하측에 장착된다. 이때, 제1 세라믹 보드(120a)는 머플튜브(110)의 하측에 적어도 하나 이상이 장착되어, 머플튜브(110)를 지지한다. 도 4에서는 2개의 제1 세라믹 보드(120a)가 머플튜브(110)의 하측을 지지하는 구조를 일 예로 나타내었다.The first ceramic board 120a is mounted on the lower side of the muffle tube 110. At this time, at least one of the first ceramic board 120a is mounted on the lower side of the muffle tube 110 to support the muffle tube 110. In FIG. 4, a structure in which two first ceramic boards 120a support the lower side of the muffle tube 110 is shown as an example.

제2 세라믹 보드(120b)는 머플튜브(110)의 상측에 장착된다. 이때, 제2 세라믹 보드(120b)는 머플튜브(110)의 상측에 적어도 하나 이상이 장착되어, 머플튜브(110) 및 제1 세라믹 보드(120a)에 의해 지지된다. 도 4에서는 2개의 제2 세라믹 보드(120b)가 머플튜브(110)의 상측에 배치되는 구조를 일 예로 나타내었다.The second ceramic board 120b is mounted on the upper side of the muffle tube 110. At this time, at least one second ceramic board 120b is mounted on the upper side of the muffle tube 110, and the second ceramic board 120b is supported by the muffle tube 110 and the first ceramic board 120a. In FIG. 4, a structure in which two second ceramic boards 120b are disposed on the upper side of the muffle tube 110 is shown as an example.

제3 세라믹 보드(120c)는 머플튜브(110)의 좌측에 장착되어, 제1 및 제2 세라믹 보드(120a, 120b) 사이에 적층된다. 이에 따라, 사다리꼴 형태의 제3 세라믹 보드(120c)는 머플튜브(110)의 좌측에서 사다리꼴 형태의 제1 및 제2 세라믹 보드(120a, 120b)와 맞물리는 형태로 조립된다.The third ceramic board 120c is mounted on the left side of the muffle tube 110 and is stacked between the first and second ceramic boards 120a and 120b. Accordingly, the third ceramic board 120c having a trapezoidal shape is assembled to the left of the muffle tube 110 so as to engage with the first and second ceramic boards 120a and 120b having a trapezoidal shape.

제4 세라믹 보드(120d)는 머플튜브(110)의 우측에 장착되어, 제1 및 제2 세라믹 보드(120a, 120b) 사이에 적층된다. 이에 따라, 사다리꼴 형태의 제4 세라믹 보드(120d)는 머플튜브(110)의 우측에서 사다리꼴 형태의 제1 및 제2 세라믹 보드(120a, 120b)와 맞물리는 형태로 조립된다.The fourth ceramic board 120d is mounted on the right side of the muffle tube 110 and is stacked between the first and second ceramic boards 120a and 120b. Accordingly, the fourth ceramic board 120d having a trapezoidal shape is assembled to the right side of the muffle tube 110 in such a manner as to engage with the first and second ceramic boards 120a and 120b having a trapezoidal shape.

여기서, 제1 및 제2 세라믹 보드(120a, 120b)는 상호 간이 대칭 구조의 사다리꼴 구조를 갖고, 제3 및 제4 세라믹 보드(120c, 120d)는 상호 간이 대칭 구조의 사다리꼴 구조를 갖는다. 다시 말해, 제1 세라믹 보드(120a)는 정 사다리꼴 형태를 갖고, 제2 세라믹 보드(120b)는 역 사다리꼴 형태를 갖는 대칭 구조로 적층될 수 있다. 또한, 제3 세라믹 보드(120c)는 정 사다리꼴 형태를 갖고, 제4 세라믹 보드(120d)는 역 사다리꼴 형태를 갖는 대칭 구조로 적층될 수 있다.
Here, the first and second ceramic boards 120a and 120b have a trapezoidal structure with an easily symmetrical structure, and the third and fourth ceramic boards 120c and 120d have a trapezoidal structure with a simple symmetrical structure. In other words, the first ceramic board 120a may have an orthogonal trapezoidal shape and the second ceramic board 120b may have a symmetrical structure having an inverted trapezoidal shape. Also, the third ceramic board 120c may have an orthogonal trapezoidal shape, and the fourth ceramic board 120d may have a symmetric structure having an inverted trapezoidal shape.

보호판(130)은 복수의 세라믹 보드(120)의 외측을 감싸도록 장착된다. 이러한 보호판(130)은 복수의 세라믹 보드(120) 외측의 적어도 3면 이상을 감싸도록 장착되는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게, 보호판(130)은 머플튜브(110)의 양면을 관통하는 터널(T)을 제외한 4면을 감싸도록 장착될 수 있다.The protection plate 130 is mounted so as to surround the outside of the plurality of ceramic boards 120. It is preferable that the protection plate 130 is mounted so as to surround at least three sides of the plurality of ceramic boards 120. More preferably, the protection plate 130 may be mounted so as to enclose four sides of the muffle tube 110 except the tunnel T passing through both sides of the muffle tube 110.

이러한 보호판(130)은 복수의 세라믹 보드(120)를 안정적으로 보호하기 위해 강성 및 강도가 우수한 금속 재질이 이용될 수 있으며, 구체적으로는 철판이 이용될 수 있다.
The protection plate 130 may be made of a metal material having excellent rigidity and strength to stably protect the plurality of ceramic boards 120. Specifically, an iron plate may be used.

고정 부재(140)는 복수의 세라믹 보드(120) 및 보호판(130)에 체결되어, 복수의 세라믹 보드(120)를 고정시키는 역할을 한다. 이러한 고정 부재(140)는 복수의 세라믹 보드(120) 및 보호판(130)에 결합되어, 복수의 세라믹 보드(120)를 보호판(130)에 고정시키는 역할을 한다. 이를 위해, 고정 부재(140)는 복수개가 보호판(130) 및 보호판(130) 내부의 복수의 세라믹 보드(120)에 나사 결합 형태로 체결될 수 있다.The fixing member 140 is fastened to the plurality of ceramic boards 120 and the protection plate 130 to fix the plurality of ceramic boards 120. The fixing member 140 is coupled to the plurality of ceramic boards 120 and the protection plate 130 to fix the plurality of ceramic boards 120 to the protection plate 130. A plurality of fixing members 140 may be fastened to the plurality of ceramic boards 120 inside the protection plate 130 and the protection plate 130 in a screwed manner.

특히, 본 발명의 실시예에 따른 머플퍼니스(100)는 각각 사다리꼴 형태를 갖는 복수의 세라믹 보드(120)가 머플튜브(110)를 중앙에 위치시키는 형태로 적층되는 구조이므로, 머플튜브(110) 상측의 제2 세라믹 보드(120b)가 자체 하중에 의해 눌려져 머플튜브(110)의 좌측 및 우측에 각각 배치된 제3 및 제4 세라믹 보드(120c, 120d)와의 경계점에서 제1 및 제2 세라믹 보드(120a, 120b)와 더욱 기밀하게 조립되어 단열 효과를 극대화시킬 수 있는 구조적인 이점을 갖는다.Particularly, the muffle furnace 100 according to the embodiment of the present invention has a structure in which a plurality of ceramic boards 120 each having a trapezoidal shape are stacked in such a manner that the muffle tube 110 is positioned at the center, The second ceramic board 120b on the upper side is pressed by its own load so that the first and second ceramic boards 120c and 120d are disposed at the boundary points with the third and fourth ceramic boards 120c and 120d, (120a, 120b), thereby maximizing the heat insulation effect.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 머플퍼니스(100)는 복수의 세라믹 보드(120)를 해체할 시 머플튜브(110)의 상측에 배치되는 제2 세라믹 보드만을 꺼내어 내부에 위치하는 머플튜브(110)를 손쉽게 점검 및 교체하는 것이 가능한 구조를 가지므로, 재 조립시 충격으로 인해 세라믹 보드(120)를 훼손시키는 것 없이 우수한 기밀성을 유지시키는 것이 가능해질 수 있게 된다.In addition, the muffle furnace 100 according to the embodiment of the present invention takes out only the second ceramic board disposed on the upper side of the muffle tube 110 when disassembling the plurality of ceramic boards 120, It is possible to maintain excellent airtightness without damaging the ceramic board 120 due to impacts during reassembly.

이 결과, 본 발명의 실시예에 따른 머플퍼니스(100)는 우수한 기밀성의 확보로 복수의 세라믹 보드(120)가 외부 충격에 의해 쉽게 파손될 염려가 없으므로, 고가에 신품 세리믹 보드로 재 조립할 필요가 없게 된다.
As a result, the muffle furnace 100 according to the embodiment of the present invention does not need to be reassembled with a new ceramic board at a high price because there is no fear that the plurality of ceramic boards 120 are easily damaged by an external impact owing to securing excellent airtightness I will not.

온도 센서 모듈(150)은 머플튜브(110)의 내부 온도를 측정하기 위한 목적으로 장착된다. 이러한 온도 센서 모듈(150)은 복수의 세라믹 보드(120) 중 적어도 하나의 내부에 삽입 배치된다.The temperature sensor module 150 is mounted for the purpose of measuring the internal temperature of the muffle tube 110. The temperature sensor module 150 is inserted into at least one of the plurality of ceramic boards 120.

특히, 온도 센서 모듈(150)은 머플튜브(110)의 상측에 배치된 적어도 하나의 세라믹 보드(120)의 내부에 삽입 배치되어, 온도 센서 모듈(150)의 하단이 머플튜브(110)의 상측과 맞닿도록 설치된다. 즉, 온도 센서 모듈(150)은 머플튜브(110)의 상측에 배치된 제2 세라믹 보드(120b)의 내부에 삽입 배치될 수 있다.Particularly, the temperature sensor module 150 is inserted into at least one ceramic board 120 disposed on the upper side of the muffle tube 110, and the lower end of the temperature sensor module 150 is disposed above the muffle tube 110 Respectively. That is, the temperature sensor module 150 may be inserted into the second ceramic board 120b disposed on the upper side of the muffle tube 110.

이를 위해, 온도 센서 모듈(150)은 온도 센서(152), 보호 튜브(154) 및 가스 공급배관(156)을 포함한다.To this end, the temperature sensor module 150 includes a temperature sensor 152, a protective tube 154, and a gas supply line 156.

온도 센서(152)는 봉 타입으로 설계될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 이러한 온도 센서(152)는 머플튜브(110)의 내부 온도를 측정하기 위해, 일단이 보호판(130)의 외부로 돌출되고, 타단이 머플튜브(110)의 외면과 접촉된다.The temperature sensor 152 may be designed as a rod type, but is not limited thereto. One end of the temperature sensor 152 is protruded to the outside of the protection plate 130 and the other end is in contact with the outer surface of the muffle tube 110 to measure the internal temperature of the muffle tube 110.

보호 튜브(154)는 온도 센서(152)의 외주면을 감싸 보호하며, 내주면을 따라 구비된 나선형 그루브(155)를 갖는다. 이러한 나선형 그루브(155)는 온도 센서(152)의 급속한 가열로 인하여 발생할 수 있는 오작동을 예방하기 위한 목적으로 장착된다. 즉, 온도 센서(152)를 보호하는 보호 튜브(154)의 내주면에 나선형 그루브(155)를 설계 가공할 경우, 가스 공급배관(156)을 통해 보호 튜브(154)의 내부로 공급되는 냉각 가스와의 접촉 면적이 증대되어 온도 센서(152)의 냉각 효율을 향상시킬 수 있게 된다.The protection tube 154 surrounds and protects the outer circumferential surface of the temperature sensor 152 and has a spiral groove 155 provided along the inner circumferential surface thereof. These spiral grooves 155 are mounted for the purpose of preventing malfunctions that may occur due to the rapid heating of the temperature sensor 152. [ That is, when the spiral grooves 155 are designed on the inner circumferential surface of the protective tube 154 protecting the temperature sensor 152, the cooling gas supplied to the inside of the protective tube 154 through the gas supply pipe 156 The cooling efficiency of the temperature sensor 152 can be improved.

이 결과, 냉각 가스를 나선형 그루브(155)를 구비하는 보호 튜브(154)의 내부로 공급시키는 것에 의해, 보호 튜브(154) 내부의 온도 센서(152)를 일정 온도로 냉각시켜 머플튜브(110) 내의 온도를 정확하게 측정하는 것이 가능해질 수 있게 된다.As a result, by supplying the cooling gas into the protective tube 154 having the spiral groove 155, the temperature sensor 152 inside the protective tube 154 is cooled to a predetermined temperature, So that it becomes possible to accurately measure the temperature within the chamber.

따라서, 보호 튜브(154)에 구비된 나선형 그루브(155)는 냉각 가스의 공급시, 온도 센서(152)와의 접촉 면적을 확장시켜 냉각 효과를 극대화시켜 보호 튜브(154)가 파손되는 것을 예방할 수 있을 뿐만 아니라, 온도 센서(152)의 오작동을 방지하는 효과가 있다.
Therefore, the helical groove 155 provided in the protective tube 154 can maximize the cooling effect by enlarging the contact area with the temperature sensor 152 when the cooling gas is supplied, thereby preventing the protection tube 154 from being damaged In addition, there is an effect of preventing the malfunction of the temperature sensor 152.

이러한 보호 튜브(154)는 보호 튜브 몸체(154a) 및 처짐 방지턱(154b)을 포함한다.The protective tube 154 includes a protective tube body 154a and a deflection restricting jaw 154b.

보호 튜브 몸체(154a)는 온도 센서(152)의 외주면을 감싸 보호한다. 이러한 보호 튜브 몸체(154a)는 원통 형상을 가질 수 있으나, 이는 예시적인 것으로 직육면체 형상, 육각 기둥 형상 등 다양하게 적용될 수 있다. 이때, 보호 튜브 몸체(154a)의 상단 및 하단에는 온도 센서(152)를 삽입하기 위한 관통 홀(H)이 구비된다.The protection tube body 154a surrounds and protects the outer circumferential surface of the temperature sensor 152. The protective tube body 154a may have a cylindrical shape, but the shape thereof may be various shapes such as a rectangular parallelepiped shape and a hexagonal column shape. At this time, a through hole H for inserting the temperature sensor 152 is provided at the upper and lower ends of the protective tube body 154a.

처짐 방지턱(154b)은 보호 튜브 몸체(154a)의 하단에 배치되어, 보호 튜브 몸체(154a)의 평면적보다 큰 평면적을 갖도록 돌출되어, 머플튜브(110)와 세라믹 보드(120) 사이에서 세라믹 보드(120)의 처짐을 방지하는 역할을 한다.The sagging preventing tab 154b is disposed at the lower end of the protective tube body 154a and protrudes from the muffle tube 110 and the ceramic board 120 to have a larger planar area than the protective tube body 154a, 120 from being deflected.

이러한 처짐 방지턱(154b)은 머플튜브(110)와 머플튜브(110) 상측에 배치되는 제2 세라믹 보드(120b)의 사이에서 제2 세라믹 보드(120b)를 지지하는 보강재로 사용되어, 제2 세라믹 보드(120b)의 처짐을 방지하는 역할을 한다. 이를 위해, 처짐 방지턱(154b)은 원통형 단턱 구조를 갖는 것이 바람직하다.
The deflection preventing boss 154b is used as a reinforcing material for supporting the second ceramic board 120b between the muffle tube 110 and the second ceramic board 120b disposed above the muffle tube 110, And serves to prevent sagging of the board 120b. For this purpose, it is preferable that the deflection restricting tails 154b have a cylindrical stepped structure.

가스 공급배관(156)은 보호 튜브(154)의 상단에 장착되어, 보호 튜브(154)의 내부로 냉각 가스를 공급하는 역할을 한다. 이때, 냉각 가스로는 질소 가스가 이용될 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
The gas supply pipe 156 is mounted on the upper end of the protection tube 154 and serves to supply the cooling gas into the inside of the protection tube 154. At this time, as the cooling gas, nitrogen gas may be used, but it is not limited thereto.

전술한 본 발명의 실시예에 따른 머플퍼니스는 각각 사다리꼴 형태를 갖는 복수의 세라믹 보드가 머플튜브를 중앙에 위치시키는 형태로 적층되는 구조이므로, 머플튜브 상측의 제2 세라믹 보드가 자체 하중에 의해 눌려져 머플튜브의 좌측 및 우측에 각각 배치된 제3 및 제4 세라믹 보드와의 경계점에서 제1 및 제2 세라믹 보드와 더욱 기밀하게 조립되어 단열 효과를 극대화시킬 수 있는 구조적인 이점을 갖는다.The muffle furnace according to the embodiment of the present invention has a structure in which a plurality of ceramic boards each having a trapezoidal shape are stacked in a manner that the muffle tubes are positioned at the center, so that the second ceramic board on the muffle tube is pressed by its own load The first and second ceramic boards are more airtightly assembled at the boundary points between the third and fourth ceramic boards disposed on the left and right sides of the muffle tube, respectively, thereby maximizing the heat insulation effect.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 머플퍼니스는 복수의 세라믹 보드를 해체할 시 머플튜브의 상측에 배치되는 제2 세라믹 보드만을 꺼내어 내부에 위치하는 머플튜브를 손쉽게 점검 및 교체하는 것이 가능한 구조를 가지므로, 재 조립시 충격으로 인해 세라믹 보드를 훼손시키는 것 없이 우수한 기밀성을 유지시키는 것이 가능해질 수 있게 된다.Further, the muffle furnace according to the embodiment of the present invention has a structure capable of easily inspecting and replacing the muffle tube located in the inside by taking out only the second ceramic board disposed on the upper side of the muffle tube when disassembling the plurality of ceramic boards Therefore, it becomes possible to maintain excellent airtightness without damaging the ceramic board due to impact during reassembly.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 머플퍼니스는 나선형 그루브를 구비하는 보호 튜브의 내부로 냉각 가스를 공급시키는 것에 의해, 온도 센서와의 접촉 면적을 확장시켜 냉각 효과를 극대화시킴으로써 보호 튜브가 파손되는 것을 예방할 수 있을 뿐만 아니라, 온도 센서의 오작동을 방지할 수 있다.
In the muffle furnace according to the embodiment of the present invention, the cooling gas is supplied to the inside of the protective tube having the spiral groove, thereby maximizing the cooling effect by enlarging the contact area with the temperature sensor, And it is also possible to prevent malfunction of the temperature sensor.

이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 기술자의 수준에서 다양한 변경이나 변형을 가할 수 있다. 이러한 변경과 변형은 본 발명이 제공하는 기술 사상의 범위를 벗어나지 않는 한 본 발명에 속한다고 할 수 있다. 따라서 본 발명의 권리범위는 이하에 기재되는 청구범위에 의해 판단되어야 할 것이다.
Although the preferred embodiments of the present invention have been disclosed for illustrative purposes, those skilled in the art will appreciate that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope and spirit of the invention as disclosed in the accompanying claims. These changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the scope of the present invention should be determined by the following claims.

100 : 머플퍼니스 110 : 머플튜브
120 : 세라믹 보드 120a : 제1 세라믹 보드
120b : 제2 세라믹 보드 120c : 제3 세라믹 보드
120d : 제4 세라믹 보드 130 : 보호판
140 : 고정 부재 150 : 온도 센서 모듈
152 : 온도 센서 154 : 보호 튜브
154a : 보호 튜브 몸체 154b : 처짐 방지턱
155 : 나선형 그루브 156 : 가스 공급배관
100: muffle furnace 110: muffle tube
120: ceramic board 120a: first ceramic board
120b: second ceramic board 120c: third ceramic board
120d: fourth ceramic board 130: shield plate
140: fixing member 150: temperature sensor module
152: Temperature sensor 154: Protection tube
154a: protective tube body 154b:
155: Spiral groove 156: Gas supply line

Claims (9)

머플튜브;
상기 머플튜브의 외측을 감싸며, 각각 사다리꼴 형태를 가지며, 상호 간이 맞물리도록 적층된 복수의 세라믹 보드;
상기 복수의 세라믹 보드의 외측을 감싸는 보호판;
상기 복수의 세라믹 보드 및 보호판에 체결되어, 상기 복수의 세라믹 보드를 고정시키는 고정 부재; 및
상기 머플튜브의 내부 온도를 측정하기 위한 온도 센서 모듈;을 포함하며,
상기 복수의 세라믹 보드는 상기 머플튜브의 하측에 장착된 제1 세라믹 보드와, 상기 머플튜브의 상측에 장착된 제2 세라믹 보드와, 상기 머플튜브의 좌측에 장착되어, 상기 제1 및 제2 세라믹 보드 사이에 적층된 제3 세라믹 보드와, 상기 머플튜브의 우측에 장착되어, 상기 제1 및 제2 세라믹 보드 사이에 적층된 제4 세라믹 보드를 포함하고,
상기 제1 및 제2 세라믹 보드는 상호 간이 대칭 구조의 사다리꼴 구조를 갖고, 상기 제3 및 제4 세라믹 보드는 상호 간이 대칭 구조의 사다리꼴 구조를 갖는 머플퍼니스.
Muffle tube;
A plurality of ceramic boards which surround the outside of the muffle tube and each have a trapezoidal shape and are stacked so as to be engaged with each other;
A protective plate surrounding the outside of the plurality of ceramic boards;
A fixing member fastened to the plurality of ceramic boards and the protection boards to fix the plurality of ceramic boards; And
And a temperature sensor module for measuring an internal temperature of the muffle tube,
Wherein the plurality of ceramic boards comprises a first ceramic board mounted on the lower side of the muffle tube, a second ceramic board mounted on the upper side of the muffle tube, and a second ceramic board mounted on the left side of the muffle tube, A fourth ceramic board mounted on the right side of the muffle tube and stacked between the first and second ceramic boards,
Wherein the first and second ceramic boards have a trapezoidal structure with a mutually symmetrical structure, and the third and fourth ceramic boards have a trapezoidal structure with a mutually symmetrical structure.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 보호판은
상기 복수의 세라믹 보드 외측의 적어도 3면 이상을 감싸도록 장착된 것을 특징으로 하는 머플퍼니스.
The method according to claim 1,
The shield plate
Wherein at least three sides of the plurality of ceramic boards are mounted so as to surround the ceramic board.
제1항에 있어서,
상기 온도 센서 모듈은
상기 복수의 세라믹 보드 중 적어도 하나의 내부에 삽입 배치된 것을 특징으로 하는 머플퍼니스.
The method according to claim 1,
The temperature sensor module
Wherein the ceramic board is inserted into at least one of the plurality of ceramic boards.
제1항에 있어서,
상기 온도 센서 모듈은
상기 머플튜브의 상측에 배치된 적어도 하나의 세라믹 보드의 내부에 삽입 배치되어, 상기 온도 센서 모듈의 하단이 상기 머플튜브의 상측과 맞닿도록 설치된 것을 특징으로 하는 머플퍼니스.
The method according to claim 1,
The temperature sensor module
Wherein at least one ceramic board disposed above the muffle tube is inserted and disposed such that the lower end of the temperature sensor module abuts the upper side of the muffle tube.
제1항에 있어서,
상기 온도 센서 모듈은
온도 센서;
상기 온도 센서의 외주면을 감싸 보호하며, 내주면을 따라 구비된 나선형 그루브를 갖는 보호 튜브;
상기 보호 튜브의 상단에 장착되어, 상기 보호 튜브의 내부로 냉각 가스를 공급하기 위한 가스 공급배관;
을 포함하는 머플퍼니스.
The method according to claim 1,
The temperature sensor module
temperature Senser;
A protective tube having a helical groove provided on an inner circumferential surface thereof to surround and protect the outer circumferential surface of the temperature sensor;
A gas supply pipe mounted on the upper end of the protection tube for supplying a cooling gas into the inside of the protection tube;
A muffle furnace comprising:
제7항에 있어서,
상기 보호 튜브는
보호 튜브 몸체와,
상기 보호 튜브 몸체의 하단에 배치되어, 상기 보호 튜브 몸체의 평면적보다 큰 평면적을 갖도록 돌출되어, 상기 머플튜브와 세라믹 보드 사이에서 상기 세라믹 보드의 처짐을 방지하기 위한 처짐 방지턱을 포함하는 머플퍼니스.
8. The method of claim 7,
The protective tube
A protective tube body,
And a sagging preventing protrusion disposed at a lower end of the protective tube body and protruding to have a planar area larger than a plane of the protective tube body to prevent sagging of the ceramic board between the muffle tube and the ceramic board.
제8항에 있어서,
상기 처짐 방지턱은
원통형 단턱 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 머플퍼니스.
9. The method of claim 8,
The anti-
Wherein the muffle furnace has a cylindrical stepped structure.
KR1020160175984A 2016-12-21 2016-12-21 Muffle ffurnace Active KR101870049B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160175984A KR101870049B1 (en) 2016-12-21 2016-12-21 Muffle ffurnace

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160175984A KR101870049B1 (en) 2016-12-21 2016-12-21 Muffle ffurnace

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101870049B1 true KR101870049B1 (en) 2018-06-21

Family

ID=62806520

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160175984A Active KR101870049B1 (en) 2016-12-21 2016-12-21 Muffle ffurnace

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101870049B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH116001A (en) * 1997-06-17 1999-01-12 Tamagawa Mach Kk Sintering furnace
JP2000147173A (en) * 1998-11-16 2000-05-26 Toshiba Eng Co Ltd Temperature lowering protection device for measuring device
KR100844250B1 (en) * 2004-08-04 2008-07-07 이비덴 가부시키가이샤 Firing kiln and process for producing porous ceramic member therewith
JP2010281547A (en) * 2009-06-08 2010-12-16 Koyo Thermo System Kk Heat treatment device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH116001A (en) * 1997-06-17 1999-01-12 Tamagawa Mach Kk Sintering furnace
JP2000147173A (en) * 1998-11-16 2000-05-26 Toshiba Eng Co Ltd Temperature lowering protection device for measuring device
KR100844250B1 (en) * 2004-08-04 2008-07-07 이비덴 가부시키가이샤 Firing kiln and process for producing porous ceramic member therewith
JP2010281547A (en) * 2009-06-08 2010-12-16 Koyo Thermo System Kk Heat treatment device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8071920B2 (en) Planar heater
KR102280342B1 (en) Planar Heater for Thermal Process of Substrate
US4259538A (en) Vacuum furnace arrangement having an improved heating element mounting means
KR101870049B1 (en) Muffle ffurnace
US20170141281A1 (en) Thermoelectric Generator
JP7048281B2 (en) Robot hand
US10870909B2 (en) Heat treatment facility
KR200441974Y1 (en) Heater made of wire type heating element and heating pipe for annealing furnace using same
US9570236B2 (en) Electronic component and method for manufacturing the same
JP2007309540A (en) Heating plate, combined heating plate and heating furnace comprising the same
JP2005093746A (en) Heat treatment furnace
JP6069141B2 (en) Gas laser oscillator and laser processing apparatus using the same
KR20200075662A (en) Induction Heating Apparatus
WO2020040180A1 (en) Heat treatment equipment
JP2010129967A (en) Electronic circuit module
KR20230094042A (en) Substrate Supporting Apparatus
KR101433824B1 (en) Pre-heating and post-heating apparatus for welding
US9860940B2 (en) Methods and systems for alignment of a high performance heater
JP2005226104A (en) Metal strip coil annealing apparatus and annealing method
KR101239464B1 (en) Batch annealing furnace
WO2014136288A1 (en) Superconductive magnetic shield device and method of producing same
JP4416521B2 (en) Heat treatment equipment
CN118571529B (en) Metal rod inside radio frequency electrode assembly and radio frequency electrode assembly
KR102687835B1 (en) Appratus for measuring temperature, and apparatus for processing substrate having the same
KR101562963B1 (en) Tube for high temperature annealing furnace of box type

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20161221

PA0201 Request for examination
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20171119

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20180529

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20180615

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20180615

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration
PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20210517

Start annual number: 4

End annual number: 4

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20220602

Start annual number: 5

End annual number: 5

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20230504

Start annual number: 6

End annual number: 6

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20240418

Start annual number: 7

End annual number: 7

PR1001 Payment of annual fee

Payment date: 20250422

Start annual number: 8

End annual number: 8