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KR101867377B1 - 나노박막 전사 방법 및 장치 - Google Patents

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KR101867377B1
KR101867377B1 KR1020160091081A KR20160091081A KR101867377B1 KR 101867377 B1 KR101867377 B1 KR 101867377B1 KR 1020160091081 A KR1020160091081 A KR 1020160091081A KR 20160091081 A KR20160091081 A KR 20160091081A KR 101867377 B1 KR101867377 B1 KR 101867377B1
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Abstract

본 발명은 촉매 금속 상에 형성된 나노박막을 대상이 되는 타겟 기판에 전사하되, 나노박막을 전사하기 위해 나노박막 상에 폴리실록산계 물질이 도포 또는 코팅되어 밀착된 희생층을 점착 테잎을 이용해 물리적으로 쉽게 제거할 수 있으며, 이에 따라 전사된 나노박막의 표면에 불순물을 최소화 할 수 있는 나노박막 전사 방법에 관한 것이다.

Description

나노박막 전사 방법 및 장치{Nanofilm transfer method and apparatus}
본 발명은 촉매 금속 상에 형성된 나노박막을 대상이 되는 타겟 기판에 전사하되, 나노박막을 전사하기 위한 캐리어 필름을 물리적으로 쉽게 제거할 수 있으며, 전사된 나노박막의 표면에 불순물을 최소화 할 수 있는 나노박막 전사 방법 및 장치에 관한 것이다.
그래핀(graphene)은 연필심으로 쓰이는 흑연 즉 '그래파이트(graphite)'와 탄소이중결합을 가진 분자를 뜻하는 접미사(-ene)를 결합하여 만든 용어이다.
흑연은 탄소를 6각형의 벌집모양으로 층층이 쌓아올린 구조로 이루어져 있는데 그래핀은 흑연에서 가장 얇게 한 겹을 떼어낸 것이라 보면 된다. 탄소동소체인 그래핀은 탄소나노튜브, 풀러린(Fullerene)처럼 원자번호 6번인 탄소로 구성된 나노물질이다. 한 층의 그래핀은 2차원 평면 형태를 가지고 있으며, 두께는 0.335nm 정도로 매우 얇으면서 물리적, 화학적 안정성도 높다. 또한, 구리보다 100배 이상 전기가 잘 통하고 반도체로 주로 쓰이는 단결정 실리콘보다 100배 이상 전자를 빠르게 이동시킬 수 있다. 게다가 강도는 강철보다 200배 이상 강하며, 최고의 열전도성을 자랑하는 다이아몬드보다 2배 이상 열전도성이 높으며, 투광성이 우수한 특징이 있다. 또 휨 특성(flexibility) 이 뛰어나 늘리거나 구부려도 전기적 성질을 잃지 않는다. 이런 특성으로 인해 그래핀은 차세대 신소재로 각광받는 탄소나노튜브를 뛰어넘는 소재로 평가받으며 '꿈의 나노물질'이라 불린다. 그리하여 그래핀은 구부릴 수 있는 디스플레이나 전자종이, 착용식 컴퓨터(wearable computer), 초고속 트랜지스터 등을 만들 수 있는 전자정보 산업분야의 미래 신소재로 주목받고 있다.
이러한 그래핀은 일반적으로 금속 촉매 상에 형성되며, 전사하고자 하는 대상이 되는 타겟 기판에 전사하기 위해서는 그래핀 상에 희생층인 폴리머를 도포 또는 코팅하고 경화시켜 희생층을 형성시킨 후 금속 촉매를 에칭하여 제거한 다음, 그래핀이 타겟 기판에 밀착되도록 접촉시킨 후 희생층을 에칭하여 제거함으로써 그래핀을 원하는 타겟 기판에 전사하는 방법이 사용되고 있다.
그러나 이는 폴리머층(희생층)이 그래핀에 접촉되었다가 제거되므로, 폴리머층이 제거되어 전사가 완료된 그래핀의 표면에 고분자 불순물(polymer residue)이 남게된다.
도 1은 Yung-Chang Lin et al. “Graphene Annealing: How Clean Can It be?” , Nano Lett, vol. 12, p.6563-6570 (2012)에 개시된 것으로 전사가 완료된 그래핀의 표면을 관찰한 투사전자현미경(TEM) 사진이다. 흑백 사진인 도 1a 및 도 1b에서 진한 검정색으로 진하게 보이는 부분이 불순물들이며 도 1c에서 진한 검정색으로 보이는 부분이 고분자 불순물이다. 그리고 나머지 회색으로 보이는 부분이 그래핀이다. 마찬가지로 칼라 사진인 도 1b의 하측 및 도 1c의 하측 사진에서 노란색은 불순물인 구리이며, 빨간색 및 파란색으로 나타난 부분이 고분자 불순물이다.
이와 같이 종래에는 나노박막을 전사함에 있어서 나노박막에 폴리머층이 접촉되었다가 에칭을 이용해 제거하는 방법으로 제조되므로, 전사된 나노박막의 표면에 고분자 불순물이 남아 있어 이러한 나노박막을 이용해서는 나노박막의 고유한 물성 측정과 고유의 물성을 갖는 상태로 활용되기 어려운 문제점이 있었다.
KR 10-1156478 B1 (2012.05.22.)
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 촉매 금속 상에 형성된 나노박막을 대상이 되는 타겟 기판에 전사하되, 나노박막을 전사하기 위해 나노박막 상에 밀착된 캐리어 필름을 물리적으로 쉽게 제거할 수 있으며, 전사된 나노박막의 표면에 불순물을 최소화 할 수 있는 나노박막 전사 방법을 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 나노박막 전사 방법은, 금속 촉매 상에 형성된 나노박막의 상면에 폴리실록산계 물질을 용제에 녹인 전구체 용액을 도포 또는 코팅하는 단계(S100); 상기 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 캐리어 필름을 형성하는 단계(S200); 상기 금속 촉매를 에칭하여 제거하는 단계(S300); 타겟 기판의 상면에 상기 나노박막이 접촉되도록 하여 밀착시키는 단계(S400); 상기 캐리어 필름의 상면에 점착 테잎을 부착시키는 단계(S500); 및 상기 점착 테잎을 박리하여, 상기 점착 테잎에 캐리어 필름이 부착된 상태로 타겟 기판으로부터 캐리어 필름이 제거되도록 하여 타겟 기판에 나노박막이 전사되도록 하는 단계(S600); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 S100단계에서는, 스핀코팅에 의해 상기 나노박막의 상면에 전구체 용액이 코팅되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 용제는 n-부탄올(n-butanol; C4H10O)인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 S200단계에서, 상기 전구체 용액은 도포 또는 코팅된 후 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 열처리되어 경화되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 S500단계에서, 상기 점착 테잎은 캐리어 필름보다 넓게 평면 형태로 형성되어, 상기 점착 테잎의 범위 내에 캐리어 필름이 위치하도록 부착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 S500단계 및 S600단계에서, 상기 점착 테잎은 롤러 형태로 형성되어, 상기 롤러 형태의 점착 테잎이 캐리어 필름의 일단에 부착되도록 한 후 타단까지 롤러 형태의 점착 테잎을 가압 회전시켜 캐리어 필름이 제거되도록 하는 것을 특징으로 한다.
그리고 본 발명의 나노박막 전사 방법은, 상면에 나노박막이 형성된 금속 촉매를 공급하면서 상기 나노박막의 상면에 폴리실록산계 물질을 용제에 녹인 전구체 용액을 도포 또는 코팅하는 단계(SA100); 상기 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 캐리어 필름을 형성하는 단계(SA200); 상기 나노박막에 캐리어 필름이 부착된 금속 촉매를 에칭 장치를 통과시켜 금속 촉매를 제거하는 단계(SA300); 상기 나노박막의 하측에 타겟 기판이 배치되도록 하여, 상기 나노박막이 부착된 캐리어 필름 및 타겟 기판이 공급되어 제2롤러들 사이를 통과하면서 밀착되도록 하는 단계(SA400); 및 상기 캐리어 필름의 상측에 점착 테잎이 배치되도록 하여, 상기 캐리어 필름 및 나노박막이 적층되어 밀착된 타겟 기판과 점착 테잎이 공급되어 제3롤러들 사이를 통과하며 밀착된 후, 상기 점착 테잎에 캐리어 필름이 부착된 상태로 나노박막에서 캐리어 필름이 제거되도록 하여 타겟 기판에 나노박막이 전사되도록 하는 단계(SA500); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 SA100단계 내지 SA500단계가 롤투롤 공정에 의해 연속적으로 수행 되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 SA100단계와 SA200단계 사이에, 상기 나노박막의 상면에 도포 또는 코팅된 전구체 용액의 두께를 조절하는 단계(SA150)가 더 수행되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 용제는 n-부탄올(n-butanol; C4H10O)인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전구체 용액은 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 열처리되어 경화되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 SA500단계에서, 상기 점착 테잎은 캐리어 필름의 폭보다 넓게 형성되어, 상기 점착 테잎의 범위 내에 캐리어 필름이 위치하도록 부착되는 것을 특징으로 한다.
그리고 본 발명의 나노박막 전사 장치는, 상면에 나노박막이 형성된 금속 촉매가 통과되면서 일측으로 공급되도록 하는 한 쌍의 제1롤러; 상기 제1롤러를 통과한 후 나노박막의 상면에 캐리어 필름을 형성할 전구체 용액을 도포하는 용액 도포 장치; 상기 전구체 용액 도포 후 상기 도포된 전구체 용액을 경화시켜 캐리어 필름을 형성하는 경화 장치; 상기 캐리어 필름이 형성된 후 나노박막에 캐리어 필름이 부착된 금속 촉매가 통과되면서 금속 촉매를 에칭하여 제거하는 에칭 장치; 상기 에칭 장치를 통과한 후 나노박막의 하측에 타겟 기판이 배치된 상태로 , 상기 나노박막이 부착된 캐리어 필름 및 타겟 기판이 통과되면서 밀착되도록 하는 한 쌍의 제2롤러; 상기 제2롤러를 통과한 후 캐리어 필름의 상측에 점착 테잎이 배치된 상태로, 상기 캐리어 필름 및 나노박막이 적층되어 밀착된 타겟 기판과 점착 테잎이 통과되면서 밀착되도록 하는 한 쌍의 제3롤러; 및 상기 제3롤러를 통과한 후 점착 테잎에 캐리어 필름이 부착된 상태로 나노박막에서 캐리어 필름이 제거되도록 하는 점착 테잎 및 캐리어 필름 회수장치; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2롤러측으로 타겟 기판을 공급하는 타겟 기판 공급롤; 상기 제3롤러측으로 점착 테잎을 공급하는 점착 테잎 공급롤; 및 상기 점착 테잎에 캐리어 필름이 부착된 상태로 점착 테잎 및 캐리어 필름을 회수하는 점착 테잎 및 캐리어 필름 회수롤; 을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 용액 도포 장치와 경화 장치 사이에 배치되며, 상기 나노박막의 상면에 근접하여 배치되어 나노박막의 상면에 도포된 전구체 용액의 두께를 조절하는 블레이드를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 경화 장치는, 상기 나노박막의 상측에 이격되어 배치된 복사열 히터인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 나노박막 전사 방법은, 전사된 나노박막의 표면에 고분자 불순물이 없도록 전사할 수 있는 장점이 있다.
또한, 나노박막을 전사하기 위한 캐리어 필름을 물리적으로 쉽게 제거할 수 있는 장점이 있다.
또한, 나노박막의 표면에 고분자 불순물이 없으므로, 전사된 나노박막 고유의 물성을 갖는 상태로 응용될 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래의 전사 방법을 이용해 제조된 나노박막의 표면을 촬영한 투사전자현미경(TEM) 사진.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 나노박막 전사 방법을 나타낸 사시도.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 나노박막 전사 방법을 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 롤러 형태의 점착 테잎을 이용해 캐리어 필름을 제거하는 방법을 나타낸 사시도.
도 8 내지 도 11은 본 발명에 따른 열처리 온도에 따른 최종 전사된 나노박막의 표면을 나타낸 광학현미경(OM) 사진.
도 12는 본 발명의 롤투롤 공정을 이용한 일실시예의 나노박막 전사 방법 및 장치를 나타낸 개략도.
도 13은 도 12의 부분 확대도.
이하, 상기한 바와 같은 본 발명의 나노박막 전사 방법 및 장치를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 나노박막 전사 방법을 나타낸 사시도이며, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 나노박막 전사 방법을 나타낸 단면도이다.
[실시예 1]
도시된 바와 같이 본 발명의 나노박막 전사 방법은, 금속 촉매(100) 상에 형성된 나노박막(200)의 상면에 폴리실록산계(polysiloxane-based) 물질을 용제에 녹인 전구체 용액을 도포 또는 코팅하는 단계(S100); 상기 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 캐리어 필름(300)을 형성하는 단계(S200); 상기 금속 촉매(100)를 에칭하여 제거하는 단계(S300); 타겟 기판(400)의 상면에 상기 나노박막(200)이 접촉되도록 하여 밀착시키는 단계(S400); 상기 캐리어 필름(300)의 상면에 점착 테잎(500)을 부착시키는 단계(S500); 및 상기 점착 테잎(500)을 박리하여, 상기 점착 테잎(500)에 캐리어 필름(300)이 부착된 상태로 타겟 기판(400)으로부터 캐리어 필름(300)이 제거되도록 하여 타겟 기판(400)에 나노박막(200)이 전사되도록 하는 단계(S600); 를 포함하여 이루어질 수 있다.
우선, 금속 촉매(100)는 구리(Cu)와 같은 금속 호일(foil)로 형성될 수 있으며, 금속 촉매(100)의 상면 및 하면 중 어느 하나 이상에 나노박막(200)이 형성될 수 있다. 이때, 나노박막(200)은 화학기상증착(CVD) 등의 방법을 이용해 금속 촉매(100) 상에 증착된 형태로 형성될 수 있으며, 나노박막(200)은 그래핀이 될 수 있다.
S100단계는 캐리어 필름(300)을 형성하기 위한 전구체 용액을 금속 촉매(100) 상에 형성된 나노박막(200)의 상면에 도포 또는 코팅하여, 전구체 용액이 나노박막(200)의 상면에 얇고 고르게 퍼져 접촉되어 있는 상태가 되도록 하는 단계이다. 이때, 상기 전구체 용액은 폴리실록산계(polysiloxane-based) 물질을 용제에 녹인 용액이 될 수 있으며, 폴리실록산계 물질은 스핀 온 글라스(SOG; Spin-On-Glass) 공정에 사용되는 물질로써 "-Si-O-" 형태의 결합 구조를 갖는 물질이 사용될 수 있다.
S200단계는 상기와 같이 나노박막(200)의 상면에 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 캐리어 필름(300)을 형성하는 단계이다. 즉, 전구체 용액이 나노박막(200)의 상면에 도포 또는 코팅된 상태에서는 형태를 유지할 수 없으므로, 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 고체 상태의 캐리어 필름(300)이 되도록 형성할 수 있다. 그리하여 고체 상태의 캐리어 필름(300)이 나노박막(200)의 상면에 밀착된 상태가 될 수 있으며, 도시된 바와 같이 금속 촉매(100)의 상면에 형성된 나노박막(200)의 상면에 캐리어 필름(300)이 밀착된 적층체가 될 수 있다. 이때, 도포 또는 코팅된 전구체 용액은 경화된 후 유연한 고체 상태로 형성되어 휘어질 수 있는 캐리어 필름(300)으로 형성될 수 있다.
S300단계는 금속 촉매(100)를 에칭하여 제거함으로써, 나노박막(200)으로부터 금속 촉매(100)가 분리되어 제거되도록 하는 단계이다. 즉, 상기 적층체를 에칭액에 담가 금속 촉매(100)가 식각되어 제거되도록 할 수 있으며, 금속 촉매(100)가 제거되어 캐리어 필름(300)의 하면에 나노박막(200)만이 부착된 상태로 형성될 수 있다.
S400단계는 미리 준비된 타겟 기판(400)의 상면에 나노박막(200)이 접촉되도록 하여 밀착시키는 단계이다. 이때, 타겟 기판(400)은 나노박막(200)을 전사하기 위한 대상이 되는 기판이며, 타겟 기판(400)은 다양한 종류의 기판이 사용될 수 있으나 타겟 기판(400)과 나노박막(200)과의 접착력이 캐리어 필름(300)과 나노박막(200)과의 접착력보다 큰 재질의 기판이 사용될 수 있다. 타겟 기판(400)의 상면에 나노박막(200)이 하측에 배치된 캐리어 필름(300)을 올려놓고 평면 형태의 가압장치나 롤러 형태의 가압장치를 이용해 타겟 기판(400)의 하측과 캐리어 필름(300)의 상측에서 가압하여 나노박막(200)이 타겟 기판(400)에 밀착되도록 할 수 있다. 그리하여 타겟 기판(400)의 상면에 나노박막(200)이 밀착되어 있고 나노박막(200)의 상면에 캐리어 필름(300)이 부착되어 있는 상태가 될 수 있다.
S500단계는 캐리어 필름(300)의 상면에 점착 테잎(500)을 부착시키는 단계로써, 캐리어 필름(300)의 상측에서 점착 테잎(500)을 수작업이나 기계 장치를 이용한 방법 등을 이용해 눌러 붙여 캐리어 필름(300)의 상면에 점착 테잎(500)이 부착된 형태가 될 수 있다. 이때, 점착 테잎(500)은 스카치 테잎과 같은 일반적인 점착 테잎이 될 수 있으며, 캐리어 필름(300)과 나노박막(200)과의 접착력보다 점착 테잎(500)과 캐리어 필름(300)과의 접착력이 큰 점착 테잎이 사용될 수 있다. 그리하여 타겟 기판(400)의 상면에 나노박막(200)이 밀착되어 있고 나노박막(200)의 상면에 캐리어 필름(300)이 부착되어 있으며, 캐리어 필름(300)의 상면에 점착 테잎(500)이 부착된 상태가 될 수 있다. 또한, 점착 테잎(500)으로는 열박리테잎, UV 박리테잎, PSA(pressure sensitive adhesive) 테잎 등이 사용될 수 있으며, 점착 테잎에 형성된 점착층의 두께 대비 0.03 수준의 수직 변형률이 발생하도록 점착 테잎을 캐리어 필름의 상면에 눌러 붙이는 것이 바람직하다.
S600단계는 점착 테잎(500)을 박리하여, 점착 테잎(500)에 캐리어 필름(300)이 부착된 상태로 함께 박리되도록 하는 단계로써, 수작업이나 기계장치를 이용해 물리적으로 박리되도록 할 수 있다. 이때, 점착 테잎(500)과 캐리어 기판(300)과의 접착력이 나노박막(200)과 캐리어 기판(300)과의 접착력보다 커서, 점착 테잎(500)을 떼어내면 캐리어 기판(300)이 점착 테잎(500)과 함께 제거될 수 있으며, 나노박막(200)은 타겟 기판(400)에 밀착되어 부착된 상태로 유지될 수 있다. 그리하여 점착 테잎(500)을 떼어내면서 캐리어 필름(300)과 나노박막(200)이 분리되고, 나노박막(200)이 타겟 기판(400)에 밀착되어 부착된 상태를 유지하면서 캐리어 필름(300)이 제거될 수 있다.
이에 따라 나노박막(200)과 캐리어 필름(300)이 분리되도록 하여 캐리어 필름(300)을 제거하기 위해 에칭과 같은 화학적 방법을 이용하지 않고, 폴리실록산계 물질을 이용해 경화시킨 캐리어 필름 및 점착 테잎을 이용해 물리적인 방법으로 캐리어 필름과 나노박막이 분리되도록 할 수 있어, 타겟 기판에 최종적으로 전사된 나노박막의 상면에 점착성 물질인 고분자 불순물(polymer residue)이 없도록 나노박막을 타겟 기판에 전사할 수 있다. 이때, 캐리어 필름은 폴리실록산계 물질을 이용해 형성되므로 다른 접착제나 폴리머 물질들에 비해 상대적으로 접착력이 약해 나노박막에 캐리어 필름이 부착되어 있다가 물리적인 방법으로 제거될 때 캐리어 필름의 잔유물이 나노박막의 상면에 남아 있지 않을 수 있다.
그리하여 본 발명의 나노박막 전사 방법은 전사된 나노박막의 표면에 고분자 불순물이 없도록 전사할 수 있고, 나노박막을 전사하기 위한 캐리어 필름을 물리적으로 쉽게 제거할 수 있으며, 나노박막의 표면에 고분자 불순물이 없으므로, 전사된 나노박막 고유의 물성을 정확하게 측정할 수도 있다.
[실시예 2]
또한, 상기 S100단계에서는, 스핀코팅에 의해 상기 나노박막(200)의 상면에 전구체 용액이 코팅될 수 있다.
즉, 상기 전구체 용액을 나노박막(200)의 상면에 몇 방울 떨어뜨린 후 금속 촉매(100)를 고속으로 회전시키면, 나노박막(200)의 상면에 전구체 용액이 넓고 균일하게 퍼져 코팅될 수 있으며, 두께도 얇게 형성될 수 있다. 또한, 나노박막(200)의 표면에 미세한 요철이 있더라도 요철면을 따라 전구체 용액이 밀착된 상태가 될 수 있으며, 전구체 용액의 상면은 평평한 상태로 형성되어 이후 경화 과정을 거쳐 코팅된 상태가 그대로 유지될 수 있다. 또한, 나노박막(200)과 코팅된 전구체 용액의 사이에 기포가 차지 않을 수 있다. 그리하여 이후 금속 촉매(100)를 에칭하여 제거할 때 나노박막(200)이 손상되거나 주름이 생기는 것을 방지할 수 있다. 그리고 폴리실록산계 물질을 용제에 녹인 전구체 용액은 액상 분산 기술을 이용한 코팅방법인 딥코팅, 프린팅, 스크린프린팅, 스프레이코팅, 스핀코팅, 롤코팅, 롤-투-롤 코팅 등 다양한 코팅 방법을 이용해 도포 또는 코팅될 수 있고 캐스팅 방법 등을 이용해 도포될 수도 있다.
또한, 상기 용제는 n-부탄올(n-butanol; C4H10O)일 수 있다.
즉, 폴리실록산계 물질을 용제인 n-부탄올에 녹여 전구체 용액을 형성할 수 있으며, 이와 같은 전구체 용액을 나노박막(200)의 상면에 도포 또는 코팅한 후 경화시켜 캐리어 필름(300)을 형성하면, 휘발성 성분은 모두 제거되고 실란올(silanol; SiOH)로 형성되며 약간의 탄소 성분이 남아 실란올에 탄소 성분이 포함된 형태로 유연한 성질을 갖는 캐리어 필름(300)이 형성될 수 있다.
이때, 상기 S200단계에서, 상기 전구체 용액은 도포 또는 코팅된 후 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 열처리되어 경화될 수 있다.
즉, 나노박막(200)의 상면에 도포 또는 코팅된 전구체 용액은 열처리에 의해 경화될 수 있는데, 상기한 바와 같이 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 특정한 시간동안 열처리되어 경화된 캐리어 필름(300)은 나노박막(200)과의 접착력이 타겟 기판(400)과 나노박막(200)과의 접착력보다 약하게 형성되되, 도시된 바와 같이 타겟 기판(400)에 최종적으로 전사된 나노박막(200)이 손상되지 않을 수 있으며 캐리어 필름(300)의 잔유물이 나노박막(200)에 부착되어 있지 않을 수 있다. 즉, 도 8 및 도 9와 같이 상온에서 경화시키거나 100℃에서 열처리하여 경화시켜 캐리어 필름(300)을 형성한 경우에는 점착 테잎(500)을 이용해 캐리어 필름(300)을 제거하면 나노박막(200)의 일부가 캐리어 필름(300)에 부착되어 딸려 올라와 타겟 기판(400)에서 들떠있는 형태가 되거나 찢어져 손상될 수 있으며, 도 10과 같이 300℃에서 열처리하여 경화시켜 캐리어 필름(300)을 형성한 경우에는 점착 테잎(500)을 이용해 캐리어 필름(300)을 제거하면 캐리어 필름(300)의 일부가 제거되지 않고 나노박막(200)의 상면에 그대로 붙어있어 나노박막(200)의 상면에 캐리어 필름(300)의 잔유물이 남게된다. 그리고 도 11과 같이 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 열처리하여 경화시켜 캐리어 필름(300)을 형성한 경우에는 점착 테잎(500)을 이용해 캐리어 필름(300)을 제거하면 나노박막(200)의 손상도 없으며 캐리어 필름(300)이 완전히 제거되어 나노박막(200)의 상면에 캐리어 필름(300)의 잔유물이 남지 않아 최종적으로 타겟 기판(400)에 전사된 나노박막(200)의 상면에 불순물이 없이 깨끗한 상태로 형성될 수 있다.
또한, 상기 S400단계에서, 상기 타겟 기판(400)은 실리콘(Si)층의 상면에 실리콘 옥사이드(SiO2)층이 형성된 기판이며, 상기 나노박막(200)은 상기 실리콘 옥사이드층에 밀착될 수 있다.
즉, 타겟 기판(400)은 실리콘층만으로 형성된 기판으로 형성될 수도 있으나 밀착되는 나노박막(200)과의 접착력을 보다 크게 할 수 있도록 실리콘(Si)층의 상면에 실리콘 옥사이드(SiO2; 이산화규소)층이 형성된 기판(SiO2/Si 기판)을 사용할 수 있으며, 실리콘 옥사이드(SiO2)층의 상면에 나노박막(200)이 밀착될 수 있다. 이때, 실리콘 옥사이드(SiO2)층 대신 SiNx 나 PET 등 다양한 재질의 층이 형성될 수도 있다.
또한, 상기 S500단계에서, 상기 점착 테잎(500)은 캐리어 필름(300)보다 넓게 평면 형태로 형성되어, 상기 점착 테잎(500)의 범위 내에 캐리어 필름(300)이 위치하도록 부착될 수 있다.
즉, 점착 테잎(500)은 캐리어 필름(300)보다 넓이가 넓게 형성되어 평면 형태로 형성될 수 있으며, 점착 테잎(500)의 넓이 범위 내측에 캐리어 필름(300)이 배치되어 밀착된 후 점착 테잎(500)과 함께 캐리어 필름(300)이 제거될 수 있다. 이때, 점착 테잎(500)은 적어도 일측 단부가 캐리어 필름(300)의 폭방향 또는 길이방향 단부보다 바깥쪽에 배치되어, 점착 테잎(500)에 의해 캐리어 필름(300)이 오버랩되는 형태로 부착될 수 있다. 그리하여 점착 테잎(500)을 이용해 나노박막(200)으로부터 캐리어 필름(300)을 깔끔하게 떼어낼 수 있으며, 쉽게 점착 테잎(500)을 잡아 박리할 수 있다.
[실시예 3]
또한, 상기 S500단계 및 S600단계에서, 상기 점착 테잎(500)은 롤러 형태로 형성되어, 상기 롤러 형태의 점착 테잎(500)이 캐리어 필름(300)의 일단에 부착되도록 한 후 타단까지 롤러 형태의 점착 테잎(500)을 가압 회전시켜 캐리어 필름(300)이 제거되도록 할 수 있다.
즉, 도 7과 같이 롤러 형태로 점착 테잎(500)이 형성되어, 타겟 기판(400)의 하측이 견고하게 지지되도록 한 상태에서 롤러 형태의 점착 테잎(500)을 캐리어 필름(300)의 상면 일단 부분에 하측 방향으로 눌러 점착 테잎(500)이 캐리어 필름(300)의 상면 일단에 선 접촉되어 부착되도록 한 후, 롤러 형태의 점착 테잎(500)을 누른 상태로 점착 테잎(500)을 캐리어 필름(300)의 타단을 지나도록 이동시켜 캐리어 필름(300)이 롤러 형태의 점착 테잎(500)에 부착되면서 감겨, 나노박막(200)으로부터 캐리어 필름(300)이 분리될 수 있다. 그리하여 점착 테잎(500)을 캐리어 필름(300)의 상면에 부착시키는 과정과 점착 테잎(500)을 박리하여 캐리어 필름(300)이 나노박막(200)으로부터 분리되는 과정을 동시에 한 번에 할 수 있다. 이때, 롤러 형태의 점착 테잎(500)과 타겟 기판(400)은 둘 중 어느 하나 이상이 이동되어, 상대적으로 이동되도록 할 수 있다.
[실시예 4]
도 12는 본 발명의 롤투롤 공정을 이용한 일실시예의 나노박막 전사 방법 및 장치를 나타낸 개략도이며, 도 13은 도 12의 부분 확대도이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 나노박막 전사 방법은, 상면에 나노박막(200)이 형성된 금속 촉매(100)를 공급하면서 상기 나노박막(200)의 상면에 폴리실록산계 물질을 용제에 녹인 전구체 용액을 도포 또는 코팅하는 단계(SA100); 상기 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 캐리어 필름(300)을 형성하는 단계(SA200); 상기 나노박막에 캐리어 필름이 부착된 금속 촉매를 에칭 장치를 통과시켜 금속 촉매를 제거하는 단계(SA300); 상기 나노박막(200)의 하측에 타겟 기판(400)이 배치되도록 하여, 상기 나노박막(200)이 부착된 캐리어 필름(300) 및 타겟 기판(400)이 공급되어 제2롤러(30)들 사이를 통과하면서 밀착되도록 하는 단계(SA400); 및 상기 캐리어 필름(300)의 상측에 점착 테잎(500)이 배치되도록 하여, 상기 캐리어 필름(300) 및 나노박막(200)이 적층되어 밀착된 타겟 기판(400)과 점착 테잎(500)이 공급되어 제3롤러(40)들 사이를 통과하며 밀착된 후, 상기 점착 테잎(500)에 캐리어 필름(300)이 부착된 상태로 나노박막(200)에서 캐리어 필름(300)이 제거되도록 하여 타겟 기판(400)에 나노박막(200)이 전사되도록 하는 단계(SA500); 를 포함하여 이루어질 수 있다.
우선, 금속 촉매(100)는 구리(Cu)와 같은 금속 호일(foil)로 형성될 수 있으며, 금속 촉매(100)의 상면 및 하면 중 어느 하나 이상에 나노박막(200)이 형성될 수 있다. 이때, 나노박막(200)은 화학기상증착(CVD) 등의 방법을 이용해 금속 촉매(100) 상에 증착된 형태로 형성될 수 있으며, 나노박막(200)은 그래핀이 될 수 있다.
그리고 SA100단계는 상기 나노박막(200)이 형성된 금속 촉매(100) 및 캐리어 필름(300)이 제1롤러(10)들 사이를 통과하여 일측으로 공급되도록 하면서 제1롤러(10)를 통과한 후 나노박막(200)의 상면에 폴리실록산계 물질을 용제에 녹인 전구체 용액을 도포 또는 코팅하는 단계이다.
S200단계는 상기 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 캐리어 필름(300)을 형성하는 단계이며, 경화되어 형성된 캐리어 필름(300)은 나노박막(200)의 상면에 부착된 상태가 될 수 있다. 그리하여 캐리어 필름(300), 나노박막(200) 및 금속 촉매(100)가 상측에서부터 순서대로 적층된 적층체가 될 수 있다.
SA300단계는 금속 촉매(100)를 에칭하여 제거함으로써, 나노박막(200)으로부터 금속 촉매(100)가 분리되어 제거되도록 하는 단계이다. 즉, 캐리어 필름(300)이 형성된 이후의 적층체가 에칭 장치(20)를 통과하면서 에칭액(22)에 의해 금속 촉매(100)가 식각되어 제거되도록 할 수 있으며, 에칭 용기(21) 내에 에칭액(22)이 수용되어 있고 에칭액(22)에 방향전환 롤러(23)가 잠기도록 하여 적층체가 이동되는 방향을 바꾸면서 효과적으로 금속 촉매(100)를 에칭하여 제거할 수 있다. 그리하여 에칭 장치(20)를 통과한 후의 상측으로 이동되는 적층체는 캐리어 필름(300)에 나노박막(200)만이 밀착되어 있는 적층체가 될 수 있다.
SA400단계는 미리 준비된 타겟 기판(400)에 나노박막(200)이 밀착되도록 하는 단계로써, 에칭 장치(20)를 통과한 후의 캐리어 필름(300)에 나노박막(200)이 밀착된 적층체가 공급되며 그 하측에 타겟 기판(400)이 공급되도록 하여 제2롤러(30)들 사이를 통과하면서 나노박막(200)에 타겟 기판(400)이 밀착될 수 있다. 이때, 캐리어 필름(300)의 하측에 나노박막(200)이 밀착된 상태로 제2롤러(30)의 전방측에서 공급되어 제2롤러(30)들 사이를 통과하며, 제2롤러(30)의 전방측에서 나노박막(200)의 하측에 타겟 기판(400)을 공급하여 제2롤러(30)들에 의해 타겟 기판(400)이 나노박막(200)의 하면에 밀착된 후 제2롤러(30)의 후방측으로 배출될 수 있다. 그리하여 캐리어 필름(300), 나노박막(200) 및 타겟 기판(400)이 적층된 적층체가 될 수 있다. 그리고 타겟 기판(400)은 나노박막(200)을 전사하기 위한 대상이 되는 기판이며, 타겟 기판(400)은 다양한 종류의 기판이 사용될 수 있으나 타겟 기판(400)과 나노박막(200)과의 접착력이 캐리어 필름(300)과 나노박막(200)과의 접착력보다 큰 재질의 기판이 사용될 수 있다.
SA500단계는 캐리어 필름(300)의 상면에 점착 테잎(500)을 부착시켜, 점착 테잎(500)과 함께 캐리어 필름(300)을 제거함으로써 캐리어 필름(300)이 나노박막(200)과 분리되도록 하여 나노박막(200)이 타겟 기판(400)에 전사되도록 하는 단계이다. 즉, 도시된 바와 같이 제3롤러(40)의 전방측에서 캐리어 필름(300), 나노박막(200) 및 타겟 기판(400)이 적층된 적층체가 공급되어 제3롤러(40)들 사이를 통과하며, 이때 캐리어 필름(300)의 상측으로 제3롤러(40)의 전방측에서 점착 테잎(500)이 공급되어 제3롤러(40)들 사이를 통과하면서 점착 테잎(500)이 캐리어 필름(300)의 상측에 접착되도록 할 수 있다. 그리고 제3롤러(40)를 통과한 후 점착 테잎(500)에 캐리어 필름(300)이 부착된 상태로 점착 테잎(500)을 회수하여 캐리어 필름(300)이 나노박막(200)과 분리되도록 할 수 있으며, 이에 따라 최종적으로 타겟 기판(400)의 상면에 나노박막(200)이 밀착된 상태로 전사될 수 있다. 그리고 점착 테잎(500)은 스카치 테잎과 같은 일반적인 점착 테잎이 될 수 있으며, 캐리어 필름(300)과 나노박막(200)과의 접착력보다 점착 테잎(500)과 캐리어 필름(300)과의 접착력이 큰 점착 테잎이 사용될 수 있다. 또한, 점착 테잎(500)으로는 열박리테잎, UV 박리테잎, PSA(pressure sensitive adhesive) 테잎 등이 사용될 수 있다. 또한, 점착 테잎을 캐리어 필름에 눌러 붙이는 과정에서, 롤러들 사이의 선상 접촉 압력인 닙 압력(nip force)을 점착층의 변형률을 고려하여 가해하며, 점착 테잎에 형성된 점착층의 두께 대비 0.03 수준의 수직 변형률이 발생하도록 점착 테잎을 캐리어 필름의 상면에 눌러 붙이는 것이 바람직하다.
또한, 상기 SA100단계 내지 SA500단계가 롤투롤 공정에 의해 연속적으로 수행 될 수 있다.
즉, 상측에 나노박막(200)이 형성된 금속 촉매(100)는 롤 형태 등으로 형성되거나 전방의 공정 라인과 연결되어 제1롤러(10)의 전방측으로부터 연속적으로 공급될 수 있다. 그리고 에칭 장치(20)는 일례로 도시된 바와 같이 습식으로 형성된 에칭 장치를 연속으로 통과하면서 금속 촉매가 식각되어 제거될 수 있으며, 타겟 기판(400) 및 점착 테잎(500)은 각각 타겟 기판 공급롤(31)과 점착 테잎 공급롤(41)을 이용해 연속적으로 공급될 수 있다. 또한, 점착 테잎 및 캐리어 필름 회수롤(42)을 이용해 점착 테잎(500)에 캐리어 필름(300)이 부착된 상태로 연속적으로 회수할 수 있다. 또한, 나노박막(200)이 전사된 타겟 기판(400)은 별도의 롤에 권취되어 회수되거나, 후방의 공정 라인과 연결되어 연속적으로 회수될 수 있다.
그리하여 본 발명의 나노박막 전사 방법은, 수 ㎠ 이상의 대면적으로 나노박막을 전사하기 매우 용이하며, 롤 형태의 점착 테잎을 이용해 캐리어 필름을 제거할 수 있으므로 롤-투-롤 공정을 이용해 타겟 기판에 나노박막을 쉽게 전사할 수 있으며 생산성이 향상되는 장점이 있다.
또한, 상기 SA100단계와 SA200단계 사이에, 상기 나노박막의 상면에 도포 또는 코팅된 전구체 용액의 두께를 조절하는 단계(SA150)가 더 수행될 수 있다.
즉, 도시된 바와 같이 나노박막(200)의 상면에 전구체 용액을 도포한 이후 나노박막(200)의 상면에 근접하여 배치된 블레이드(13) 등을 이용해 도포된 전구체 용액의 두께를 조절할 수 있다. 그리하여 이후의 공정에서 원하는 두께로 캐리어 필름(300)이 형성되도록 할 수 있다.
여기에서 상기 전구체 용액은 폴리실록산계(polysiloxane-based) 물질을 용제에 녹인 용액이 될 수 있으며, 폴리실록산계 물질은 스핀 온 글라스(SOG; Spin-On-Glass) 공정에 사용되는 물질로써 "-Si-O-" 형태의 결합 구조를 갖는 물질이 사용될 수 있다.
또한, 상기한 실시예 1 및 2에서와 같이, 상기 용제는 n-부탄올(n-butanol; C4H10O)일 수 있으며, 상기 전구체 용액은 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 열처리되어 경화될 수 있으며, 상기 SA500단계에서, 상기 점착 테잎(500)은 캐리어 필름(300)의 폭보다 넓게 형성되어, 상기 점착 테잎(500)의 범위 내에 캐리어 필름(300)이 위치하도록 부착될 수 있다.
[실시예 5]
그리고 본 발명의 나노박막 전사 장치는, 상면에 나노박막(200)이 형성된 금속 촉매(100)가 통과되면서 일측으로 공급되도록 하는 한 쌍의 제1롤러(10); 상기 제1롤러(10)를 통과한 후 나노박막(200)의 상면에 캐리어 필름(300)을 형성할 전구체 용액을 도포하는 용액 도포 장치(12); 상기 전구체 용액 도포 후 상기 도포된 전구체 용액을 경화시켜 캐리어 필름(300)을 형성하는 경화 장치(14); 상기 캐리어 필름(300)이 형성된 후 나노박막(200)에 캐리어 필름(300)이 부착된 금속 촉매(100)가 통과되면서 금속 촉매(100)를 에칭하여 제거하는 에칭 장치(20); 상기 에칭 장치(20)를 통과한 후 나노박막(200)의 하측에 타겟 기판(400)이 배치된 상태로 , 상기 나노박막(200)이 부착된 캐리어 필름(300) 및 타겟 기판(400)이 통과되면서 밀착되도록 하는 한 쌍의 제2롤러(30); 상기 제2롤러(30)를 통과한 후 캐리어 필름(300)의 상측에 점착 테잎(500)이 배치된 상태로, 상기 캐리어 필름(300) 및 나노박막(200)이 적층되어 밀착된 타겟 기판(400)과 점착 테잎(500)이 통과되면서 밀착되도록 하는 한 쌍의 제3롤러(40); 및 상기 제3롤러(40)를 통과한 후 점착 테잎(500)에 캐리어 필름(300)이 부착된 상태로 나노박막(200)에서 캐리어 필름(300)이 제거되도록 하는 점착 테잎 및 캐리어 필름 회수장치; 를 포함하여 이루어질 수 있다.
즉, 상기한 바와 같이 한 쌍의 제1롤러(10), 용액 도포 장치(12), 경화 장치(14), 에칭 장치(20), 한 쌍의 제2롤러(30), 한 쌍의 제3롤러(40), 점착 테잎 및 캐리어 필름 회수장치로 나노박막 전사 장치가 구성되어, 상면에 나노박막(200)이 형성된 금속 촉매(100)의 나노박막(200) 상측에 캐리어 필름(300)의 형성을 위한 전구체 용액이 도포된 후 경화되어 캐리어 필름(300)이 형성되고, 캐리어 필름(300)이 형성된 후 금속 촉매(100)가 제거되고 이후 나노박막(200)의 하면에 타겟 기판(400)이 밀착된 후 점착 테잎(500)에 의해 캐리어 필름(300)이 제거되어 타겟 기판(400)의 상측에 나노박막(200)이 전사되도록 연속적인 공정이 이루어질 수 있다.
이때, 상기 제2롤러(30)측으로 타겟 기판(400)을 공급하는 타겟 기판 공급롤(31); 상기 제3롤러(40)측으로 점착 테잎(500)을 공급하는 점착 테잎 공급롤(41); 및 상기 점착 테잎(500)에 캐리어 필름(300)이 부착된 상태로 점착 테잎 및 캐리어 필름을 회수하는 점착 테잎 및 캐리어 필름 회수롤(42); 을 더 포함하여 이루어질 수 있다.
그리하여 상면에 나노박막(200)이 형성된 금속 촉매(100)의 공급, 타겟 기판(400)의 공급, 점착 테잎(500)의 공급, 캐리어 테잎(300)이 부착된 점착 테잎(500)의 회수가 연속적으로 이루어지면서, 타겟 기판(400)에 나노박막(200)이 전사된 상태로 연속적으로 제조될 수 있다. 이때, 점착 테잎 및 캐리어 필름 회수롤(42)이 점착 테잎 및 캐리어 필름 회수장치가 될 수 있다.
또한, 상기 용액 도포 장치(12)와 경화 장치(14) 사이에 배치되며, 상기 나노박막(200)의 상면에 근접하여 배치되어 나노박막(200)의 상면에 도포된 전구체 용액의 두께를 조절하는 블레이드(13)를 더 포함하여 이루질 수 있다.
즉, 도시된 바와 같이 용액 도포 장치(12)에 의해 도포된 전구체 용액의 두께보다 얇은 두께로 캐리어 필름이 형성될 수 있도록 블레이드(13)를 나노박막(200)의 상면에 근접 배치하여 형성되는 캐리어 필름(300)의 두께를 조절할 수 있다. 이때, 블레이드(13)에 의해 블레이드(13)를 통과한 이후의 전구체 용액의 두께가 균일하게 형성될 수 있다. 또한, 용액 도포 장치(12)와 블레이드(13)의 하측에는 금속 촉매(100)의 하면을 지지할 수 있도록 받침대(15)가 구비될 수도 있다.
또한, 상기 경화 장치(14)는, 상기 나노박막(200)의 상측에 이격되어 배치된 복사열 히터일 수 있다. 즉, 복사열 히터를 이용해 도포된 전구체 용액과 접촉되지 않은 상태로 전구체 용액이 열처리되어 경화될 수 있다. 이때, 복사열 히터 이외에도 다양한 가열 방법이 이용될 수 있으며, 롤러 형태의 히터인 히팅 롤러를 이용하거나 열풍을 이용해 열처리하여 전구체 용액이 경화되도록 할 수도 있다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
100 : 금속 촉매
200 : 나노박막
300 : 캐리어 필름
400 : 타겟 기판
500 : 점착 테잎
10 : 제1롤러
12 : 용액 도포 장치 13 : 블레이드
14 : 경화 장치
20 : 에칭 장치 21 : 에칭 용기
22 : 에칭액 23 : 방향전환 롤러
30 : 제2롤러 31 : 타겟 기판 공급롤
40 : 제3롤러 41 : 점착 테잎 공급롤
42 : 점착 테잎 및 캐리어 필름 회수롤

Claims (16)

  1. 금속 촉매 상에 형성된 나노박막의 상면에 폴리실록산계 물질을 용제인 n-부탄올(n-butanol; C4H10O)에 녹인 전구체 용액을 도포 또는 코팅하는 단계(S100);
    상기 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 실란올(silanol; SiOH) 재질의 캐리어 필름을 형성하는 단계(S200);
    상기 금속 촉매를 에칭하여 제거하는 단계(S300);
    타겟 기판의 상면에 상기 나노박막이 접촉되도록 하여 밀착시키는 단계(S400);
    상기 캐리어 필름의 상면에 점착 테잎을 부착시키는 단계(S500); 및
    상기 점착 테잎을 박리하여, 상기 점착 테잎에 캐리어 필름이 부착된 상태로 타겟 기판으로부터 캐리어 필름이 제거되도록 하여 타겟 기판에 나노박막이 전사되도록 하는 단계(S600);
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 S100단계에서는,
    스핀코팅에 의해 상기 나노박막의 상면에 전구체 용액이 코팅되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 S200단계에서,
    상기 전구체 용액은 도포 또는 코팅된 후 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 열처리되어 경화되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 S500단계에서,
    상기 점착 테잎은 캐리어 필름보다 넓게 평면 형태로 형성되어, 상기 점착 테잎의 범위 내에 캐리어 필름이 위치하도록 부착되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 S500단계 및 S600단계에서,
    상기 점착 테잎은 롤러 형태로 형성되어, 상기 롤러 형태의 점착 테잎이 캐리어 필름의 일단에 부착되도록 한 후 타단까지 롤러 형태의 점착 테잎을 가압 회전시켜 캐리어 필름이 제거되도록 하는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  7. 상면에 나노박막이 형성된 금속 촉매를 공급하면서 상기 나노박막의 상면에 폴리실록산계 물질을 용제인 n-부탄올(n-butanol; C4H10O) 녹인 전구체 용액을 도포 또는 코팅하는 단계(SA100);
    상기 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 실란올(silanol; SiOH) 재질의 캐리어 필름을 형성하는 단계(SA200);
    상기 나노박막에 캐리어 필름이 부착된 금속 촉매를 에칭 장치를 통과시켜 금속 촉매를 제거하는 단계(SA300);
    상기 나노박막의 하측에 타겟 기판이 배치되도록 하여, 상기 나노박막이 부착된 캐리어 필름 및 타겟 기판이 공급되어 제2롤러들 사이를 통과하면서 밀착되도록 하는 단계(SA400); 및
    상기 캐리어 필름의 상측에 점착 테잎이 배치되도록 하여, 상기 캐리어 필름 및 나노박막이 적층되어 밀착된 타겟 기판과 점착 테잎이 공급되어 제3롤러들 사이를 통과하며 밀착된 후, 상기 점착 테잎에 캐리어 필름이 부착된 상태로 나노박막에서 캐리어 필름이 제거되도록 하여 타겟 기판에 나노박막이 전사되도록 하는 단계(SA500);
    를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 SA100단계 내지 SA500단계가 롤투롤 공정에 의해 연속적으로 수행 되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 SA100단계와 SA200단계 사이에,
    상기 나노박막의 상면에 도포 또는 코팅된 전구체 용액의 두께를 조절하는 단계(SA150)가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  10. 삭제
  11. 제7항에 있어서,
    상기 전구체 용액은 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 열처리되어 경화되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 SA500단계에서,
    상기 점착 테잎은 캐리어 필름의 폭보다 넓게 형성되어, 상기 점착 테잎의 범위 내에 캐리어 필름이 위치하도록 부착되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
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