KR101862754B1 - Clearance adjusting cassette for substrate - Google Patents
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Abstract
가변식 카세트가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 가변식 카세트는, 서로 마주보는 일측면에 기판이 삽입되는 슬릿을 구비하고, 연장 방향 측단부에 베이스판이 결합되는 한 쌍의 측면 플레이트를 구비하는 기판 적재부; 한 쌍의 측면 플레이트의 연장 방향 양 단부측에서 한 쌍의 측면 플레이트를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트를 구비하는 지지부; 한 쌍의 측면 플레이트 사이의 폭 방향인 제 1 방향 간격을 조절할 수 있도록 베이스판과 지지 플레이트 사이에 결합되는 작동부; 및 한 쌍의 측면 플레이트 사이의 폭 방향 간격을 조절할 때 작동부 및 베이스판 사이의 상대적 위치를 고정하거나 해제하기 위하여 작동부 및 베이스판에 제공되는 위치 고정부를 포함하되, 작동부는, 일측이 지지 플레이트에 고정되고, 타측에 베이스판이 제 1 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합되는 가이드 플레이트; 가이드 플레이트와 지지 플레이트 사이에 위치되어 가이드 플레이트에 대하여 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 이동가능한 이동편; 및 지지 플레이트의 제 1 홀, 이동편의 제 2 홀, 가이드 플레이트의 제 3 홀을 관통하여 베이스판에 결합되는 이동지지핀을 포함하며, 지지 플레이트의 제 1 홀 및 가이드 플레이트의 제 3 홀은 제 1 방향으로 연장된 장홀 형태이며, 이동편의 제 2 홀은 제 2 방향에 대하여 사선 방향으로 연장되고 제 1 및 제 3 홀보다 긴 형태의 장홀 형태로 이루어져, 이동편이 제 2 방향으로 이동함에 따라 제 1 홀 및 제 3 홀을 관통한 이동 지지핀이 지지 플레이트에 대하여 제 1 방향으로 이동가능하고, 이동 지지핀이 이동함에 따라 베이스판 및 베이스판에 결합된 측면 플레이트가 이동가능하다.Variable cassettes are provided. According to an aspect of the present invention, there is provided a variable cassette including: a substrate loading unit having a slit for inserting a substrate on one side facing each other, and a pair of side plates coupled to a base plate at a side end in the extending direction; A support having a pair of support plates for supporting a pair of side plates at both ends in the extending direction of the pair of side plates; An operating portion coupled between the base plate and the support plate so as to adjust the first directional gap in the width direction between the pair of side plates; And a position fixing portion provided on the actuating portion and the base plate for fixing or releasing a relative position between the actuating portion and the base plate when the widthwise spacing between the pair of side plates is adjusted, A guide plate which is fixed to the plate and to which the base plate is slidably engaged in the first direction; A moving piece positioned between the guide plate and the support plate and movable in a second direction perpendicular to the first direction with respect to the guide plate; And a movable support pin penetrating through the first hole of the support plate, the second hole of the movable piece, and the third hole of the guide plate, and the first hole of the support plate and the third hole of the guide plate And the second hole of the moving piece extends in a diagonal direction with respect to the second direction and has a shape of a long hole that is longer than the first and third holes. When the moving piece moves in the second direction, The movable support pin passing through the first hole and the third hole is movable in the first direction with respect to the support plate, and the side plate coupled to the base plate and the base plate is movable as the movable support pin moves.
Description
본 발명은 가변식 카세트에 관한 것으로, 보다 구체적으로 기판의 크기에 따라서 크기 변경이 가능한 가변식 카세트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a variable cassette, and more particularly to a variable cassette capable of changing its size according to the size of a substrate.
평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판 또는 웨이퍼 등은 외부의 작은 충격에도 손상될 우려가 있다. 따라서 이러한 기판을 다량 운반하는 경우 기판 또는 웨이퍼 사이의 간격을 두고 수납할 수 있는 기판 적재용 카세트에 의해 보관되거나 운반된다.A glass substrate or a wafer used for manufacturing a flat panel display may be damaged even by a small external impact. Therefore, when a large amount of such a substrate is transported, it is stored or transported by a cassette for loading a substrate that can be accommodated with a space between the substrates or wafers.
한편, 기판은 그 용도 및 제조 공정에 따라서 다양한 기판이 존재한다. 예를 들어, 원형의 기판의 경우, 그 용도에 따라서 직경이 상이할 수 있다. On the other hand, the substrate has various substrates depending on its use and manufacturing process. For example, in the case of a circular substrate, the diameters may differ depending on the application.
그러나, 종래의 기판 적재용 카세트의 경우 그 크기가 고정되어 다양한 사이즈의 기판을 운반하는 경우, 그 사이즈에 맞는 기판 적재용 카세트를 제작해야 하는 문제점이 있다. However, in the case of a conventional cassette for mounting a substrate, when the size of the cassette for carrying the substrates is fixed and the cassette of various sizes is to be transported, there is a problem that a cassette for loading a substrate suited to the size is required.
또한, 사이즈에 맞는 기판 적재용 카세트를 제작하는 비용 및 사이즈에 따른 다양한 기판 적재용 카세트를 구비하여야 하여 그 비용 및 운반 시 번거로움이 존재한다.In addition, there is a need for a cassette for loading various substrates according to the cost and size of a cassette for carrying a substrate, which is suitable for a size, and there are costs and transportation troubles.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 기판의 크기에 따라서 크기 변경이 가능한 가변식 카세트를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is to provide a variable cassette capable of changing its size according to the size of a substrate in order to solve the above-mentioned problems.
본 발명은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned may be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명은 기판을 적재할 수 있는 가변식 카세트를 제공한다. The present invention provides a variable cassette capable of loading a substrate.
본 발명의 일 측면에 따른 가변식 카세트는, 서로 마주보는 일측면에 기판이 삽입되는 슬릿을 구비하고, 연장 방향 측단부에 베이스판이 결합되는 한 쌍의 측면 플레이트를 구비하는 기판 적재부; 상기 한 쌍의 측면 플레이트의 연장 방향 양 단부측에서 상기 한 쌍의 측면 플레이트를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트를 구비하는 지지부; 상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이의 폭 방향인 제 1 방향 간격을 조절할 수 있도록 상기 베이스판과 상기 지지 플레이트 사이에 결합되는 작동부; 및 상기 한 쌍의 상기 측면 플레이트 사이의 폭 방향 간격을 조절할 때 상기 작동부 및 상기 베이스판 사이의 상대적 위치를 고정하거나 해제하기 위하여 상기 작동부 및 상기 베이스판에 제공되는 위치 고정부를 포함하되, 상기 작동부는, 일측이 상기 지지 플레이트에 고정되고, 타측에 상기 베이스판이 상기 제 1 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합되는 가이드 플레이트; 상기 가이드 플레이트와 상기 지지 플레이트 사이에 위치되어 상기 가이드 플레이트에 대하여 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 이동가능한 이동편; 및 상기 지지 플레이트의 제 1 홀, 상기 이동편의 제 2 홀, 상기 가이드 플레이트의 제 3 홀을 관통하여 상기 베이스판에 결합되는 이동지지핀을 포함하며, 상기 지지 플레이트의 상기 제 1 홀 및 상기 가이드 플레이트의 제 3 홀은 제 1 방향으로 연장된 장홀 형태이며, 상기 이동편의 상기 제 2 홀은 상기 제 2 방향에 대하여 사선 방향으로 연장되고 상기 제 1 및 제 3 홀보다 긴 형태의 장홀 형태로 이루어져, 상기 이동편이 상기 제 2 방향으로 이동함에 따라 상기 제 1 홀 및 제 3 홀을 관통한 이동 지지핀이 상기 지지 플레이트에 대하여 상기 제 1 방향으로 이동가능하고, 상기 이동 지지핀이 이동함에 따라 상기 베이스판 및 상기 베이스판에 결합된 상기 측면 플레이트가 이동가능할 수 있다. A variable cassette according to one aspect of the present invention includes: a substrate loading unit having a slit for inserting a substrate on one side facing each other, and a pair of side plates coupled to a base plate at a side end in the extending direction; And a pair of support plates for supporting the pair of side plates at both ends in the extending direction of the pair of side plates; An actuating part coupled between the base plate and the support plate so as to adjust a width in a first direction between the pair of side plates; And a position fixing portion provided on the actuating portion and the base plate for fixing or releasing a relative position between the actuating portion and the base plate when the widthwise spacing between the pair of side plates is adjusted, Wherein the actuating portion includes a guide plate having one side fixed to the support plate and the other side of which the base plate is slidably coupled in the first direction; A moving piece positioned between the guide plate and the support plate and movable in a second direction perpendicular to the first direction with respect to the guide plate; And a movable support pin penetrating through the first hole of the support plate, the second hole of the movable piece, and the third hole of the guide plate and coupled to the base plate, wherein the first hole of the support plate and the guide The third hole of the plate is in the form of a long hole extending in the first direction and the second hole is formed in the shape of a long hole extending in the diagonal direction with respect to the second direction and longer than the first and third holes A movable support pin passing through the first hole and the third hole is movable in the first direction with respect to the support plate as the movable member moves in the second direction, The base plate and the side plate coupled to the base plate may be movable.
이 때, 상기 한 쌍의 측면 플레이트의 양 측단부에 각각 상기 베이스판, 상기 작동부 및 상기 위치 고정부가 제공될 수 있다. At this time, the base plate, the operation portion, and the position fixing portion may be provided on both side ends of the pair of side plates, respectively.
이 때, 상기 가이드 플레이트의 타면에는 상기 베이스판에 형성된 가이드 홈에 삽입되는 가이드 돌기가 형성될 수 있다. At this time, a guide protrusion inserted into the guide groove formed in the base plate may be formed on the other surface of the guide plate.
이 때, 상기 위치 고정부는, 상기 베이스판에 형성된 베이스 홈에 삽입되며 한 쌍의 상기 제 1 방향을 따라 형성된 해제홀 및 상기 가이드 플레이트에 형성된 고정홈에 삽입가능하도록 돌출 형성된 고정돌기를 구비하는 고정바; 상기 베이스 홈의 내부에 위치하여 상기 고정바를 상기 지지 플레이트를 향하는 제 3 방향으로 가압하는 탄성부재를 포함할 수 있다. In this case, the position fixing unit may include a fixing protrusion inserted into the base groove formed in the base plate and formed with a release hole formed along a pair of the first direction and a fixing protrusion protruded to be insertable into a fixing groove formed in the guide plate bar; And an elastic member positioned inside the base groove and pressing the fixing bar in a third direction toward the support plate.
이 때, 상기 가이드 플레이트에는 상기 고정돌기가 삽입될 수 있는 상기 고정홈이 복수개 형성되며, 복수개의 상기 고정홈은 상기 제1방향을 따라 일정 거리 이격되어 형성될 수 있다. At this time, a plurality of the fixing grooves into which the fixing protrusions can be inserted may be formed on the guide plate, and the plurality of fixing grooves may be spaced apart from each other by a predetermined distance along the first direction.
이 때, 상기 가변식 카세트는 상기 위치 고정부에 의한 상기 작동부 및 상기 베이스판 사이의 상대적 위치 고정을 해제하는 위치 고정 해제부를 더 포함하며, 상기 위치 고정 해제부는, 상기 해제홀에 삽입되어 상기 고정바를 상기 지지 플레이트에서 상기 측면 플레이트를 향하는 방향으로 이동시키는 해제바; 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입시키거나 상기 해제홀에 위치한 상기 해제바를 외부로 이동시키도록 상기 해제바를 이동시키는 해제바 구동부; 및 상기 해제바 구동부를 제어하는 제어기를 포함할 수 있다. In this case, the variable cassette further includes a position fixing releasing portion for releasing the relative position fixing between the operating portion and the base plate by the position fixing portion, wherein the position fixing releasing portion is inserted into the releasing hole, A release bar for moving the fixing bar in the direction from the support plate toward the side plate; A release bar driving unit for moving the release bar to insert the release bar into the release hole or to move the release bar located in the release hole to the outside; And a controller for controlling the release bar driver.
이 때, 상기 해제바의 일측 단부는 그 단부로 갈수록 그 단면적이 점차 작아지는 형상으로 제공될 수 있다. At this time, one end of the release bar may be provided with a shape in which the cross-sectional area gradually decreases toward the end thereof.
이 때, 상기 제어기는 한 쌍의 상기 측면 플레이트의 사이의 간격을 조절 할 때, 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입하여 상기 작동부 및 상기 베이스판 사이의 상대적 위치 고정을 해제하도록 상기 해제바 구동부를 제어할 수 있다. At this time, when the interval between the pair of side plates is adjusted, the controller inserts the release bar into the release hole to release the relative position fixation between the operation part and the base plate, Can be controlled.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판의 사이즈에 따라서 크기가 변경이 가능한 가변식 카세트를 제공하여 다양한 사이즈의 기판을 적재할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, various size substrates can be loaded by providing a variable cassette whose size can be changed according to the size of the substrate.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and the effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the present specification and attached drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1의 A 영역을 확대해서 보여주는 확대 사시도이다.
도 3은 도 1의 가변식 카세트의 일부를 보여주는 정면도이다.
도 4는 도 1의 가변식 카세트 부품의 일부를 보여주는 분해 사시도이다.
도 5는 도 1의 가이드 플레이트를 보여주는 사시도이다.
도 6은 도 1의 가변식 카세트를 보여주는 측면도이다.
도 7은 도 1의 위치 고정부를 보여주는 단면도이다.
도 8 내지 도 10은 위치 고정 해제부를 이용하여 작동부 및 베이스판 사이의 상대적 위치 고정을 해제하는 것을 순차적으로 보여주는 단면도이다.
도 11 및 도 12는 도 1의 가변식 카세트 중 한 쌍의 측면 플레이트 사이의 간격이 조절되는 모습을 개략적으로 보여주는 도면이다. 1 is a perspective view showing a variable cassette according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged perspective view showing an enlarged view of the area A in Fig.
3 is a front view showing a part of the variable cassette of FIG.
4 is an exploded perspective view showing a part of the variable cassette part of Fig.
5 is a perspective view showing the guide plate of FIG.
Figure 6 is a side view showing the variable cassette of Figure 1;
7 is a cross-sectional view showing the position fixing portion of FIG.
8 to 10 are sectional views sequentially showing release of the relative position fixation between the operation portion and the base plate by using the position fixing releasing portion.
Figs. 11 and 12 are views schematically showing a state in which the interval between a pair of side plates of the variable cassettes of Fig. 1 is adjusted.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되게 도시된 부분도 있다. 또한, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more fully describe the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the figures may be exaggerated in order to emphasize a clearer description. In addition, terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary meanings, and the inventor should appropriately define the concept of the term to describe its invention in the best way possible. It should be construed as meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.
본 발명의 가변식 카세트(10)는 내부에 기판을 수용할 수 있다. 일 예로 가변식 카세트(10)는 원형의 웨이퍼를 수용할 수 있다. 이와는 달리, 가변식 카세트(10)는 다양한 사이즈의 기판을 내부에 수용할 수 있다.The
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가변식 카세트를 보여주는 사시도이고, 도 2는 도 1의 A 영역을 확대해서 보여주는 확대 사시도이고, 도 3은 도 1의 가변식 카세트의 일부를 보여주는 정면도이고, 도 4는 도 1의 가변식 카세트 부품의 일부를 보여주는 분해 사시도이고, 도 5는 도 1의 가이드 플레이트를 보여주는 사시도이고, 도 6은 도 1의 가변식 카세트를 보여주는 측면도이다. FIG. 1 is a perspective view showing a variable cassette according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged perspective view showing an area A of FIG. 1, FIG. 3 is a front view showing a part of a variable cassette of FIG. FIG. 4 is an exploded perspective view showing a part of the variable cassette part of FIG. 1, FIG. 5 is a perspective view showing the guide plate of FIG. 1, and FIG. 6 is a side view of the variable cassette of FIG.
도 1 내지 도 6을 참고하면, 가변식 카세트(10)는 기판 적재부(100), 지지부(200), 작동부(300), 위치 고정부(400)를 포함한다. 1 to 6, the
기판 적재부(100)는 내부에 공간을 가지며 기판을 수용할 수 있다. 기판 적재부(100)는 한 쌍의 측면 플레이트(110)를 포함한다. The
여기서, 한 쌍의 측면 플레이트(110)가 서로 나란하게 배치된 방향을 제1방향(X)이라 한다. 도 1에서 상측을 향하며, 제1방향(X)과 수직한 방향을 제2방향(Z)이라 한다. 제1방향(X) 및 제2방향(Z)에 모두 수직한 측면 플레이트의 연장 방향을 제3방향(Y)이라 한다. Here, the direction in which the pair of
한 쌍의 측면 플레이트(110)는 제1방향(X)을 따라 이격되어 위치할 수 있다. 한 쌍의 측면 플레이트(110)는 서로 마주보며 위치할 수 있다. 측면 플레이트(110)는 후술하는 작동부(300) 및 위치 고정부(400)의 동작에 의해 거리가 조절될 수 있다. 측면 플레이트(110)에는 슬릿(120)이 형성될 수 있다.The pair of
슬릿(120)은 기판이 삽입될 수 있도록 제공된다. 슬릿(120)은 한 쌍의 측면 플레이트(110)가 마주보고 있는 면에 각각 형성될 수 있다. 슬릿(120)은 측면 플레이트(110)의 일면에 제2방향(Z)을 따라서 형성될 수 있다. 일 예로 슬릿(120)에는 원형의 웨이퍼가 삽입되어 보관될 수 있다.The
지지부(200)는 기판 적재부(100)를 지지할 수 있다. 지지부(200)는 지지 플레이트(210) 및 지지바(230)를 포함한다. The supporting
지지 플레이트(210)는 측면 플레이트(110)와 결합되어, 측면 플레이트(110)를 지지 할 수 있다. 지지 플레이트(210)는 한 쌍이 제공될 수 있다. 한 쌍의 지지 플레이트(210)는 서로 마주보며 위치할 수 있다. 한 쌍의 지지 플레이트(210)는 제3방향(Y)을 따라 일정 거리 이격되어 위치할 수 있다.The
지지 플레이트(210)는 영문 대문자 'U' 자 형상과 유사하게 형성될 수 있다. 하나의 지지 플레이트(210)에는 한 쌍의 측면 플레이트(110)가 결합 될 수 있다. 일 예로 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 일측은 하나의 지지 플레이트(210)와 결합되고, 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 타측은 다른 하나의 지지 플레이트(210)와 결합될 수 있다.The
지지 플레이트(210)는 후술하는 작동부(300)와 결합되기 위해 홀들이 형성될 수 있다. 지지 플레이트(210)에 형성된 홀들은 작동부(300)와 결합되기 위해 제공될 수 있다. The
지지바(230)는 한 쌍의 지지 플레이트(210)와 결합되어 지지 플레이트(210)를 지지할 수 있다. 일 예로 지지바(230)의 일측은 하나의 지지 플레이트(210)와 결합되며, 지지바(230)의 타측은 다른 하나의 지지 플레이트(210)와 결합될 수 있다. 지지바(230)는 원형의 바 형태로 제공될 수 있다. The
지지바(230)는 복수개가 제공될 수 있다. 일 예로 지지바(230)는 하나의 측면 플레이트(110)의 제2방향(Z)의 상부 및 하부에 각각 제공될 수 있다. 본 발명의 실시 예에서는 지지바(230)가 4개가 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 지지바(230)의 개수는 이에 한정되지 않는다.A plurality of support bars 230 may be provided. For example, the support bars 230 may be provided at upper and lower portions of the one
작동부(300)는 일단이 측면 플레이트(110)와 결합되어, 측면 플레이트(110)를 일방향으로 이동시킬 수 있다. 일 예로, 작동부(300)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 거리를 줄이거나 늘리도록 측면 플레이트(110)를 이동 시킬 수 있다. One end of the
작동부(300)는 일단은 지지 플레이트(210) 중 일부와 결합되며, 타단은 측면 플레이트(110)의 일부와 결합될 수 있다. 작동부(300)는 복수개가 제공될 수 있다. 일 예로, 작동부(300)는 한 쌍의 지지 플레이트(210)와 한 쌍의 측면 플레이트(110)의 사이에 각각 4개가 위치할 수 있다. The
작동부(300)는 이동편(310), 이동지지핀(320) 그리고 가이드 플레이트(330)를 포함한다. The
가이드 플레이트(330)는, 핀과 같은 고정 부재(322)에 의하여 일측면이 지지 플레이트(210)에 고정되고, 타측면에는 베이스판(410)이 제 1 방향(X)으로 슬라이딩 가능하게 결합된다. 가이드 플레이트의 일측면에는 고정 부재(322)가 결합될 수 있도록 홈(339)이 형성되어 있다. 가이드 플레이트(330)의 타측, 즉 타면에는 베이스판(410)에 형성된 가이드 홈(413)에 삽입되는 가이드 돌기(335)가 형성된다. 이에 따라 베이스판(410)이 가이드 플레이트(330)를 따라 제 1 방향으로 슬라이딩될 수 있다. One side of the
가이드 플레이트(330)에는 일측면에 제 2 방향(Z)으로 연장된 가이드홈(331)이 형성될 수 있다. 가이드홈(331)에는 이동편(310)이 상하 방향으로 이동가능하게 삽입될 수 있다. 가이드 홈(331) 내에서 이동편(310)은 제 2 방향으로 이동될 수 있다. The
이동편(310)은 가이드 플레이트(330)와 지지 플레이트(210) 사이에 위치되어 가이드 플레이트(330)에 대하여 제 1 방향(X)에 수직한 제 2 방향(Z)으로 이동가능하다. 이동편(310)은 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 거리가 조절될 때 제 2 방향으로 이동될 수 있다. The moving
이동편(310)은 제 2 방향으로 연장된 바 형상으로 이루어지며, 양측 끝단이 후술하는 가이드 플레이트(330)를 향하는 방향으로 굽어지게 형성될 수 있다. 즉, 이동편(310)은 'ㄷ'자 형상으로 형성될 수 있다. 이동편(310)의 연장 길이는 가이드 플레이트(330)의 제 2 방향 연장 길이보다 길게 형성된다. The moving
도 4 및 도 5의 (a) 및 (b)를 참조하면, 지지 플레이트(210)에는 제 1 홀(212)이 형성되고, 이동편(310)에는 제 2 홀(311)이 형성되고, 가이드 플레이트(330)에는 제 3 홀(333)이 형성될 수 있다. 상기 지지 플레이트(210)의 제 1 홀(212), 이동편(310)의 제 2 홀(311) 및, 가이드 플레이트(330)의 제 3 홀(333)을 관통하여 이동지지핀(320)이 베이스판(410)에 형성된 결합홈(415)에 결합될 수 있다. 이에 따라 이동지지핀(320)은 베이스판(410)과 함께 지지 플레이트(210)에 대하여 제 1 방향(X)으로 이동될 수 있다. Referring to FIGS. 4 and 5A and 5B, a
이 때, 지지 플레이트(210)의 제 1 홀(212) 및 가이드 플레이트(330)의 제 3 홀(333)은 제 1 방향으로 연장된 장홀 형태일 수 있고, 이동편(310)의 제 2 홀(311)은 사선 방향으로 연장되고 제 1 및 제 3 홀(212, 333)보다 긴 형태의 장홀 형태로 이루어질 수 있다. 지지 플레이트(210)의 제 1 홀(212) 및 가이드 플레이트(330)의 제 3 홀(333)은 베이스판(410)이 이동지지핀(320)과 함께 제 1 방향으로 이동할 때 이동을 가이드한다. 지지 플레이트(210)의 제 1 홀(212) 및 가이드 플레이트(330)의 제 3 홀(333)은 동일한 크기로 형성될 수 있다. At this time, the
본 발명의 일 실시예에 따르면, 이동편(310)이 제 2 방향(Z)으로 상하 방향으로 이동함에 따라 제 1 홀(212) 및 제 3 홀(333)을 관통한 이동지지핀(320)이 제 1 방향(X)으로 이동가능하고, 이동지지핀(320)이 이동함에 따라 베이스판(410) 및 베이스판(410)에 결합된 측면 플레이트(110)가 이동될 수 있다. 제 2 홀(311)은 이동편(310)에 복수개가 형성될 수 있다. 일 예로, 제 2 홀(311)은 이동편(310)의 제2방향(Z)의 양측 가장자리 영역에 제공될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, as the moving
제 2 홀(311)은 그 단면이 타원 형상의 장홀로 제공될 수 있다. 보다 구체적으로, 두 개의 원형 단면이 사선 방향으로 형성되며, 그 두개의 원형을 양측 끝단을 연결하는 모양으로 형성될 수 있다. 제 2 홀(311)은 이동편(310)의 연장 방향인 제2방향(Z)을 기준으로 사선방향으로 배치될 수 있다. The
이동지지핀(320)은 지지 플레이트(210), 이동편(310), 가이드 플레이트(330)를 관통하여 베이스판(410)에 결합될 수 있다. 일 예로, 이동지지핀(320)는 볼트로 제공되며, 지지 플레이트(210)에 형성된 제 1 홀(212), 이동편(310)에 형성된 제 2 홀(311), 가이드 플레이트(330)에 형성된 제 3 홀(333)을 관통하여 베이스판(410)에 형성된 결합홈(415)에 삽입 고정될 수 있다. The
본 발명의 일 실시예에 따르면, 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 폭 방향 간격을 조절할 때 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치를 고정하거나 해제하기 위하여 작동부(300) 및 베이스판(410)에 위치 고정부(400)가 제공될 수 있다. 이 때, 위치 고정부(400)에 의한 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치 고정을 해제하기 위하여 위치 고정 해제부(500)가 제공된다. 위치 고정 해제부(500)에 의하여 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치 고정이 해제된 이 후, 측면 플레이트(110)를 내측 방향(측면 플레이트 사이의 거리가 좁아지는 방향) 또는 외측 방향(측면 플레이트 사이의 거리가 멀어지는 방향)으로 이동시킬 수 있다. According to an embodiment of the present invention, when adjusting the widthwise spacing between the pair of
가이드 플레이트(330)에는 복수개의 제 3 홀(333)이 형성될 수 있다. 제 3 홀(333)은 이동지지핀(320)이 관통될 수 있다. 제 3 홀(333)은 이동지지핀(320)과 대응되는 개수로 제공될 수 있다. A plurality of
도 5의 (a) 및 (b)를 참조하면, 가이드 플레이트(330)에는 가이드 돌기(335)가 형성된 일측면에 고정홈(337)이 형성될 수 있다. 고정홈(337)에는 후술하는 위치 고정부(400)의 고정돌기(435)가 삽입될 수 있다. 고정홈(337)은 복수개가 제공될 수 있다. 복수개의 고정홈(337)은 제 1방향으로 일정간격 이격되어 위치할 수 있다. 복수개의 고정홈(337)은 복수개의 가이드 돌기(335) 사이에 위치할 수 있다. 가이드 돌기(335) 및 고정홈(337)은 제2방향(Z)을 따라 나란하게 배치될 수 있다. 측면 플레이트(110)의 거리를 조절 후 고정홈(337)에 고정돌기(435)가 삽입되어 지지 플레이트(210)에 대한 측면 플레이트(110)의 위치가 고정될 수 있다. 5A and 5B, the
도 7은 도 1의 위치 고정부(400)를 보여주는 단면도이다. 도 1 내지 도 7을 참고하면, 위치 고정부(400)는 작동부(300) 및 베이스판(410)에 복수개 제공될 수 있다. 일 예로 위치 고정부(400)는 하나의 측면 플레이트(110)의 양측 가장자리에 결합되어 제공될 수 있다. 7 is a cross-sectional view showing the
위치 고정부(400)는 고정바(430) 탄성부재(450)를 포함한다.The
베이스판(410)에는 베이스홈(411)이 형성될 수 있다. 베이스홈(411)에는 후술하는 고정바(430)가 위치될 수 있다. 베이스홈(411)은 베이스판(410)의 제2방향(Z)의 길이를 기준으로 중앙 부위에 형성될 수 있다.The
고정바(430)는 베이스홈(411)에 삽입될 수 있다. 고정바(430)는 후술하는 위치 고정 해제부(500)에 의해서 가이드 플레이트(330)와 결합이 해제될 때, 제3방향(Y)을 따라서 이동될 수 있다. The fixing
고정바(430)에는 해제홀(433)이 형성될 수 있다. 해제홀(433)은 제 1 방향을 따라서 고정바(430)의 중앙 영역에 형성될 수 있다. 해제홀(433)에는 후술하는 해제바(510)가 삽입될 수 있다. A
고정바(430)의 외측면 중 일면에는 탄성홈(451)이 형성될 수 있다. 탄성홈(451)에는 후술하는 탄성부재(450)가 배치될 수 있다. 탄성부재(450)는 베이스 홈(411)의 내부에 위치하여 고정바(430)를 지지 플레이트(210)를 향하는 제 3 방향(Y)으로 가압할 수 있다. 고정바(430)의 면 중 탄성홈(451)이 형성된 면의 반대면에는 고정돌기(435)가 형성될 수 있다. 탄성홈(451)은 복수개 제공될 수 있다. 복수개의 탄성홈(451)에는 각각 후술하는 탄성부재(450)가 삽입될 수 있다. An
고정돌기(435)는 가이드 플레이트(330)의 고정홈(337)에 삽입될 수 있도록 돌출 형성된다. 고정돌기(435)는 고정홈(337)에 삽입되어 위치 고정부(400)를 가이드 플레이트(330)에 고정할 수 있다. 고정돌기(435)는 고정홈(337)과 대응되는 형상으로 제공될 수 있다. The fixing
탄성부재(450)의 일단은 고정바(430)에 형성된 탄성홈(451)에 삽입되고, 타단은 베이스홈(411)의 내면과 접촉 할 수 있다. 일 예로 탄성부재(450)는 스프링으로 제공될 수 있다. One end of the
위치 고정 해제부(500)는 위치 고정부(400)에 의한 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치 고정을 해제하여, 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 줄이거나 늘릴 수 있도록 할 수 있다. The
일 예로 위치 고정 해제부(500)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 늘리고자 하는 경우, 위치 고정부(400)와 지지 플레이트(210)의 상대적 위치 고정을 해제시킬 수 있다. 이와 같이 위치 고정부(400)와 지지 플레이트(210) 사이의 상대적 위치 고정이 해제된 상태에서, 지지 플레이트(210) 중 외측에 위치하는 고정홈(337) 측에 고정돌기(435)가 삽입되도록 측면 플레이트(110)를 제1방향(X)의 외측방향으로 이동시키고, 그 후 위치 고정부(400)와 지지 플레이트(210)의 상대적 위치를 고정시키면 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격이 벌어질 수 있다. For example, when the
이와는 달리, 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 좁히고자 경우, 위치 고정부(400)와 지지 플레이트(210)의 상대적 위치 고정을 해제시키고, 이와 같이 위치 고정부(400)와 지지 플레이트(210) 사이의 상대적 위치 고정이 해제된 상태에서, 가이드 플레이트(330) 중 내측에 위치하는 고정홈(337)에 고정돌기(435)가 삽입되도록 측면 플레이트(110)를 제1방향(X)의 내측 방향으로 이동시키고, 그 후, 위치 고정부(400)와 지지 플레이트(210)의 상대적 위치를 고정시키면 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 좁힐 수 있다. Alternatively, in order to narrow the gap between the pair of
이를 위하여, 위치 고정 해제부(500)는 해제바(510), 해제바 구동부(530) 그리고 제어기(550)를 포함한다. To this end, the
해제바(510)는 해제홀(433)에 삽입되어 고정바(430)를 지지 플레이트(210)에서 측면 플레이트(110)를 향하는 방향인 제3방향(Y)으로 이동시킬 수 있다. 해제바(510)의 일측 단부는 그 끝단으로 갈수록 그 단면적이 점차 작아지는 형상으로 제공될 수 있다. 일 예로 해제바(510)의 끝단은 뾰족한 형상으로 제공될 수 있다. The
해제바 구동부(530)는 해제바(510)를 이동시킬 수 있다. 일 예로 해제바 구동부(530)는 해제바(510)를 해제홀(433)에 삽입시키거나, 해제홀(433)에 위치한 해제바(510)를 해제홀(433)의 외측으로 후퇴 이동시키도록 해제바(510)를 이동시킬 수 있다. 일 예로 해제바 구동부(530)는 해제바(510)를 제1방향(X)을 따라 이동시킬 수 있다. 해제바 구동부는 해제바를 이동시킬 수 있는 공지의 구동 장치, 예를 들어 리니어 모터, 유압 실린더, 스텝 모터를 포함하는 구동기로 이루어질 수 있다. The release
제어기(550)는 해제바 구동부(530)를 제어할 수 있다. 일 예로 제어기(550)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 조절 할 때, 해제바(510)를 해제홀(433)에 삽입하여 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치 고정을 해제하도록 함으로써 해제바 구동부(530)를 제어할 수 있다. The
제어기(550)는 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격 조절이 끝난 경우, 해제바(510)를 해제홀(433)의 외측으로 후퇴 이동시키도록 해제바 구동부(530)를 제어할 수 있다.The
이하, 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치 고정을 해제하기 위한 구동을 설명한다. The driving for releasing the relative position fixation between the actuating
도 8 내지 도 10은 위치 고정 해제부를 이용하여 작동부 및 베이스판 사이의 상대적 위치 고정을 해제하는 것을 순차적으로 보여주는 단면도이다. 8 to 10 are sectional views sequentially showing release of the relative position fixation between the operation part and the base plate by using the position fixing releasing part.
도 8 내지 도 10을 참고하면, 위치 고정부(400)의 고정바(430)의 고정 돌기(435)가 가이드 플레이트(330)의 고정홈(337)에 삽입된 상태에서 해제바(510)를 고정바(430)의 해제홀(433)에 삽입시킨다. 해제바(510)의 끝단은 뾰족한 형상으로 제공되어, 해제홀(433)에 쉽게 삽입될 수 있다.8 to 10, when the fixing
해제홀(433)에 해제바(510)가 삽입되면 도 10에 도시된 바와 같이, 해제바(510)는 탄성부재(450)를 후퇴시킬 수 있다. 탄성부재(450)가 후퇴되면서 고정바(430)의 고정돌기(435)가 제3방향(Y)으로 이동하여 가이드 플레이트의 고정홈(337)의 외부로 나와 가이드 플레이트(330)에 대한 고정바(430)의 이동이 자유로워진다. 이에 따라, 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치 고정이 해제된다. 이 후, 이동편(310)을 제 2 방향(Z)으로 상하 방향으로 이동시키면, 제 1 홀(212) 및 제 3 홀(333)을 관통한 이동지지핀(320)이 제 1 방향(X)으로 이동가능하고, 이동지지핀(320)이 이동함에 따라 베이스판(410) 및 베이스판(410)에 결합된 측면 플레이트(110)가 이동될 수 있다. 이에 따라, 측면 플레이트(110)를 제1방향(X)으로 원하는 위치로 이동시킬 수 있다. 이 후 해제바(510)를 해제홀(433)의 외측으로 후퇴 이동시키면, 다시 가이드 플레이트(330)의 다른 고정홈(337)에 고정바(430)의 고정돌기(435)가 삽입될 수 있고, 이에 따라, 가이드 플레이트(330)에 고정바(430)를 위치 고정시킬 수 있다.When the
도 11 및 도 12는 도 1의 가변식 카세트 중 한 쌍의 측면 플레이트 사이의 간격이 조절되는 모습을 개략적으로 보여주는 도면이다. Figs. 11 and 12 are views schematically showing a state in which the interval between a pair of side plates of the variable cassettes of Fig. 1 is adjusted.
도 11 및 도 12을 참조하면, 본 발명의 가변식 카세트(10)는 전술한 위치 고정 해제부(500)를 이용하여 위치 고정부(400)에 의한 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치 고정을 해제할 수 있다. 11 and 12, the
일 예로, 도 11와 같이 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 L1의 간격으로 늘이는 경우 위치 고정 해제부(500)를 이용하여 위치 고정부(400)에 의한 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치 고정을 해제시킨 상태에서 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 늘일 수 있다. 이 때, 이동지지핀(320)은 제 1 홀(212) 및 제 3 홀(333)의 중심선(C)보다 외측에 위치되고, 이동편(310)은 가이드 플레이트(330)를 중심으로 하측단이 하측 방향으로 내려간 상태이다. 11, when the gap between the pair of
한편, 도 12와 같이 한 쌍의 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 L2 간격으로 좁히는 경우, 고정 해제부(500)를 이용하여 위치 고정부(400)에 의한 작동부(300) 및 베이스판(410) 사이의 상대적 위치 고정을 해제시킨 상태에서 측면 플레이트(110) 사이의 간격을 좁힐 수 있다. 이 때, 이동지지핀(320)은 제 1 홀(212) 및 제 3 홀(333)의 중심선(C)보다 내측에 위치되고, 이동편(310)은 가이드 플레이트(330)를 중심으로 상측단이 상측 방향으로 올라간 상태이다. 이 때, 측면 플레이트가 좁혀진 상태와 넓혀진 상태에서의 폭의 차이(L1- L2)는, 측면 플레이트가 한 쌍으로 이루어지기 때문에 도 11에 도시된 거리 a와 도 12에 도시된 거리 b의 차이만큼의 길이(b-a)의 2배일 수 있다. 12, when the gap between the pair of
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 가변식 카세트(10)는 필요에 따라 측면 플레이트(110)의 사이의 간격을 줄이거나 늘리어 다양한 사이즈의 기판을 적재할 수 있다. As described above, according to one embodiment of the present invention, the
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.The foregoing detailed description is illustrative of the present invention. In addition, the foregoing is intended to illustrate and explain the preferred embodiments of the present invention, and the present invention may be used in various other combinations, modifications, and environments. That is, it is possible to make changes or modifications within the scope of the concept of the invention disclosed in this specification, within the scope of the disclosure, and / or within the skill and knowledge of the art. The above-described embodiments illustrate the best mode for carrying out the technical idea of the present invention, and various modifications required for specific application fields and uses of the present invention are also possible. Accordingly, the detailed description of the invention is not intended to limit the invention to the disclosed embodiments. It is also to be understood that the appended claims are intended to cover such other embodiments.
10: 가변식 카세트 100: 기판 적재부
110: 측면 플레이트 200: 지지부
210: 지지 플레이트 300: 작동부
310: 이동편 311: 제 2 홀
320: 이동지지핀 330: 가이드 플레이트
400: 위치 고정부 410: 베이스판
430: 고정바 450: 탄성부재
500: 위치 고정 해제부 10: variable cassette 100: substrate loading section
110: side plate 200: support
210: support plate 300:
310: Moving piece 311: Second hole
320: moving support pin 330: guide plate
400: Position fixing part 410: Base plate
430: Fixing bar 450: Elastic member
500: position fixing releasing portion
Claims (9)
서로 마주보는 일측면에 기판이 삽입되는 슬릿을 구비하고, 연장 방향 측단부에 베이스판이 결합되는 한 쌍의 측면 플레이트를 구비하는 기판 적재부;
상기 한 쌍의 측면 플레이트의 연장 방향 양 단부측에서 상기 한 쌍의 측면 플레이트를 지지하는 한 쌍의 지지 플레이트를 구비하는 지지부;
상기 한 쌍의 측면 플레이트 사이의 폭 방향인 제 1 방향 간격을 조절할 수 있도록 상기 베이스판과 상기 지지 플레이트 사이에 결합되는 작동부; 및
상기 한 쌍의 상기 측면 플레이트 사이의 폭 방향 간격을 조절할 때 상기 작동부 및 상기 베이스판 사이의 상대적 위치를 고정하거나 해제하기 위하여 상기 작동부 및 상기 베이스판에 제공되는 위치 고정부를 포함하되,
상기 작동부는,
일측이 상기 지지 플레이트에 고정되고, 타측에 상기 베이스판이 상기 제 1 방향으로 슬라이딩 가능하게 결합되는 가이드 플레이트;
상기 가이드 플레이트와 상기 지지 플레이트 사이에 위치되어 상기 가이드 플레이트에 대하여 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 이동가능한 이동편; 및
상기 지지 플레이트의 제 1 홀, 상기 이동편의 제 2 홀, 상기 가이드 플레이트의 제 3 홀을 관통하여 상기 베이스판에 결합되는 이동지지핀을 포함하며,
상기 지지 플레이트의 상기 제 1 홀 및 상기 가이드 플레이트의 제 3 홀은 제 1 방향으로 연장된 장홀 형태이며, 상기 이동편의 상기 제 2 홀은 상기 제 2 방향에 대하여 사선 방향으로 연장되고 상기 제 1 및 제 3 홀보다 긴 형태의 장홀 형태로 이루어져, 상기 이동편이 상기 제 2 방향으로 이동함에 따라 상기 제 1 홀 및 제 3 홀을 관통한 이동 지지핀이 상기 지지 플레이트에 대하여 상기 제 1 방향으로 이동가능하고, 상기 이동 지지핀이 이동함에 따라 상기 베이스판 및 상기 베이스판에 결합된 상기 측면 플레이트가 이동가능한 가변식 카세트. As the variable cassette,
A substrate mounting portion having a pair of side plates having a slit for inserting a substrate on one side facing each other and a base plate coupled to a side end portion in the extending direction;
And a pair of support plates for supporting the pair of side plates at both ends in the extending direction of the pair of side plates;
An actuating part coupled between the base plate and the support plate so as to adjust a width in a first direction between the pair of side plates; And
And a position fixing portion provided on the actuating portion and the base plate for fixing or releasing a relative position between the actuating portion and the base plate when the widthwise spacing between the pair of side plates is adjusted,
Wherein,
A guide plate having one side fixed to the support plate and the other side of which the base plate is slidably coupled in the first direction;
A moving piece positioned between the guide plate and the support plate and movable in a second direction perpendicular to the first direction with respect to the guide plate; And
And a movable support pin penetrating the first hole of the support plate, the second hole of the movable piece, and the third hole of the guide plate and coupled to the base plate,
Wherein the first hole of the support plate and the third hole of the guide plate are in the shape of an elongated hole extending in a first direction and the second hole extends in a diagonal direction with respect to the second direction, And a movable support pin passing through the first hole and the third hole moves in the first direction with respect to the support plate as the movable member moves in the second direction, And the side plates coupled to the base plate and the base plate are movable as the movable support pin moves.
상기 한 쌍의 측면 플레이트의 양 측단부에 각각 상기 베이스판, 상기 작동부 및 상기 위치 고정부가 제공되는 가변식 카세트. The method according to claim 1,
Wherein the base plate, the actuating portion and the position fixing portion are provided on both side ends of the pair of side plates, respectively.
상기 가이드 플레이트의 타면에는 상기 베이스판에 형성된 가이드 홈에 삽입되는 가이드 돌기가 형성되는 가변식 카세트. The method according to claim 1,
And a guide protrusion inserted into a guide groove formed in the base plate is formed on the other surface of the guide plate.
상기 지지 플레이트의 제 1 홀, 상기 이동편의 제 2 홀, 상기 가이드 플레이트의 제 3 홀 및 상기 베이스판에 결합되는 이동지지핀은 상기 제 2 방향으로 복수개가 구비되는 가변식 카세트. The method according to claim 1,
Wherein a plurality of support pins are provided in the second direction, the support holes being coupled to the first hole of the support plate, the second hole of the movable piece, the third hole of the guide plate, and the base plate.
상기 위치 고정부는,
상기 베이스판에 형성된 베이스 홈에 삽입되며 상기 제 1 방향을 따라 형성된 해제홀 및 상기 가이드 플레이트에 형성된 고정홈에 삽입가능하도록 돌출 형성된 고정돌기를 구비하는 고정바 및
상기 베이스 홈의 내부에 위치하여 상기 고정바를 상기 지지 플레이트를 향하는 제 3 방향으로 가압하는 탄성부재를 포함하는 가변식 카세트.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the position fixing portion comprises:
A fixing bar inserted into the base groove formed in the base plate and having a release hole formed along the first direction and a fixing protrusion protruded to be insertable into a fixing groove formed in the guide plate;
And an elastic member positioned inside the base groove and pressing the fixing bar in a third direction toward the support plate.
상기 가이드 플레이트에는 상기 고정돌기가 삽입될 수 있는 상기 고정홈이 복수개 형성되며,
복수개의 상기 고정홈은 상기 제1방향을 따라 일정 거리 이격되어 형성되는 가변식 카세트.6. The method of claim 5,
Wherein the guide plate has a plurality of fixing grooves into which the fixing protrusions can be inserted,
Wherein the plurality of fixing grooves are spaced apart from each other by a predetermined distance along the first direction.
상기 가변식 카세트는 상기 위치 고정부에 의한 상기 작동부 및 상기 베이스판 사이의 상대적 위치 고정을 해제하는 위치 고정 해제부를 더 포함하며,
상기 위치 고정 해제부는,
상기 해제홀에 삽입되어 상기 고정바를 상기 지지 플레이트에서 상기 측면 플레이트를 향하는 방향으로 이동시키는 해제바;
상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입시키거나 상기 해제홀에 위치한 상기 해제바를 외부로 이동시키도록 상기 해제바를 이동시키는 해제바 구동부; 및
상기 해제바 구동부를 제어하는 제어기를 포함하는 가변식 카세트.The method according to claim 6,
The variable cassette further includes a position fixing releasing portion for releasing the relative position fixing between the operating portion and the base plate by the position fixing portion,
Wherein the position-
A release bar inserted into the release hole to move the fixing bar in a direction from the support plate toward the side plate;
A release bar driving unit for moving the release bar to insert the release bar into the release hole or to move the release bar located in the release hole to the outside; And
And a controller for controlling the release bar driving unit.
상기 해제바의 일측 단부는 그 단부로 갈수록 그 단면적이 점차 작아지는 형상으로 제공되는 가변식 카세트.8. The method of claim 7,
Wherein one end of the release bar is provided in a shape such that the cross-sectional area gradually decreases toward the end thereof.
상기 제어기는 한 쌍의 상기 측면 플레이트의 사이의 간격을 조절 할 때, 상기 해제바를 상기 해제홀에 삽입하여 상기 작동부 및 상기 베이스판 사이의 상대적 위치 고정을 해제하도록 상기 해제바 구동부를 제어하는 가변식 카세트.9. The method of claim 8,
Wherein the controller controls the release bar driving unit so as to release the relative position fixation between the operation unit and the base plate by inserting the release bar into the release hole when the interval between the pair of side plates is adjusted, Expression cassette.
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100580608B1 (en) * | 2005-01-05 | 2006-05-16 | (주)상아프론테크 | Board Loading Cassette |
KR20070121270A (en) * | 2006-06-21 | 2007-12-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Glass substrate cassette |
KR101162032B1 (en) * | 2011-12-29 | 2012-07-03 | (주)상아프론테크 | The spacing between bars in the slot with adjustable glass substrate cassette loaded |
KR101190696B1 (en) * | 2011-08-25 | 2012-10-12 | (주)코리아마그네슘 | Magazine for depositing substrates |
KR20130015621A (en) * | 2011-08-04 | 2013-02-14 | 임충기 | Clearance adjusting cassette for substrate |
KR20130111070A (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | 삼성전자주식회사 | Magazine for loading of a lead frame |
KR20160087480A (en) * | 2015-01-13 | 2016-07-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | Substrate cassette |
KR101793235B1 (en) * | 2017-02-01 | 2017-11-02 | (주)상아프론테크 | Clearance adjusting cassette for substrate |
KR20170127884A (en) * | 2016-05-13 | 2017-11-22 | 주식회사 도호세미텍 | Variable magazine for semiconductor package |
JP6294908B2 (en) * | 2015-04-30 | 2018-03-14 | 環球晶圓股▲ふん▼有限公司Global Wafers Co.,Ltd. | Wafer transfer apparatus and wafer transfer method |
-
2018
- 2018-04-25 KR KR1020180047795A patent/KR101862754B1/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100580608B1 (en) * | 2005-01-05 | 2006-05-16 | (주)상아프론테크 | Board Loading Cassette |
KR20070121270A (en) * | 2006-06-21 | 2007-12-27 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Glass substrate cassette |
KR20130015621A (en) * | 2011-08-04 | 2013-02-14 | 임충기 | Clearance adjusting cassette for substrate |
KR101190696B1 (en) * | 2011-08-25 | 2012-10-12 | (주)코리아마그네슘 | Magazine for depositing substrates |
KR101162032B1 (en) * | 2011-12-29 | 2012-07-03 | (주)상아프론테크 | The spacing between bars in the slot with adjustable glass substrate cassette loaded |
KR20130111070A (en) * | 2012-03-30 | 2013-10-10 | 삼성전자주식회사 | Magazine for loading of a lead frame |
KR20160087480A (en) * | 2015-01-13 | 2016-07-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | Substrate cassette |
JP6294908B2 (en) * | 2015-04-30 | 2018-03-14 | 環球晶圓股▲ふん▼有限公司Global Wafers Co.,Ltd. | Wafer transfer apparatus and wafer transfer method |
KR20170127884A (en) * | 2016-05-13 | 2017-11-22 | 주식회사 도호세미텍 | Variable magazine for semiconductor package |
KR101793235B1 (en) * | 2017-02-01 | 2017-11-02 | (주)상아프론테크 | Clearance adjusting cassette for substrate |
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