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KR101860406B1 - 대물 렌즈 지지 장치 및 포토 에칭 기기 - Google Patents

대물 렌즈 지지 장치 및 포토 에칭 기기 Download PDF

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KR101860406B1
KR101860406B1 KR1020167019532A KR20167019532A KR101860406B1 KR 101860406 B1 KR101860406 B1 KR 101860406B1 KR 1020167019532 A KR1020167019532 A KR 1020167019532A KR 20167019532 A KR20167019532 A KR 20167019532A KR 101860406 B1 KR101860406 B1 KR 101860406B1
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상하이 마이크로 일렉트로닉스 이큅먼트(그룹) 컴퍼니 리미티드
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Abstract

대물 렌즈 지지 장치 및 포토 에칭 기기(100)가 공개되었고, 대물 렌즈 지지 장치는 포토 에칭포토 에칭0)에 설치된다. 대물 렌즈 지지 장치는 메인 지지 장치(101)와 보조 지지 장치(102)를 포함한다. 메인 지지 장치(101)의 일단은 대물 렌즈 플랜지(104)와 연결되고, 타단은 메인 보드(107)에 설치된다. 보조 지지 장치(102)의 일단은 대물 렌즈 본체(103)와 연결되고, 타단은 내부 프레임에 설치된다. 대물 렌즈 플랜지 및 대물 렌즈 본체에 각각 메인 지지 장치와 보조 지지 장치를 설치함으로써, 대물 렌즈 플랜지 장착면을 중심으로 전체가 수평방향(X축 방향 또는 Y축 방향)으로 회전하는 모드의 진동형을 제거할 수 있어 각 단계 진동형 모드의 주파수 값을 향상시키고, 대물 렌즈의 상부 끝단, 중심, 하부 끝단 사이의 변위 응답 차이값을 줄여 노출 정밀도를 향상시킨다.

Description

대물 렌즈 지지 장치 및 포토 에칭 기기{OBJECTIVE LENS SUPPORT DEVICE AND PHOTOETCHING MACHINE}
본 발명은 포토 에칭 기기에 관한 것으로, 특히 대물 렌즈 지지 장치 및 포토 에칭 기기에 관한 것이다.
포토 에칭 시스템의 작동 과정에서 작업대와 마스크 테이블은 각각 투영 대물 렌즈의 양면 일축(물체면, 초점면과 광축)을 기준으로 하여 제어 시스템의 구동 하에 필요한 정밀도에 따라 작업대와 마스크 테이블 사이의 상대 위치 및 양자의 대물 렌즈에 상대적인 위치를 구현한다. 포토 에칭 기기는 높은 위치 결정 정밀도, 높은 동기화 운동 정밀도의 특징을 구비하기 때문에 그 어떤 외부 진동의 전달과 내부 진동의 간섭은 모두 양자 사이 또는 양자의 대물 렌즈에 상대적인 위치의 잠시적인 이탈을 야기시키고, 이는 포토 에칭 기기의 품질에 심각한 영향을 미치게 된다. 시스템 내부의 미세 진동을 야기시키고 이탈을 야기시키는 주요 요소는 지면 진동의 전달, 스테핑 또는 스캔 과정에서 발생되는 반작용력과 모멘트 및 내부 세계(가스 및 액체 도관과 가스막의 진동을 포함)와 외부 세계의 무작위 소음 등이다. 포토 에칭 기기의 노출 품질에 대한 각종 진동 요소의 영향을 제거하려면 전체 시스템에 대한 효과적인 방진과 감진 조치를 취해야 한다. 통상적인 해결방법은 1 세트의 완충기를 통해 포토 에칭 기기의 노출 유닛(주로 조명 시스템, 마스크 테이블, 대물 렌즈와 작업대를 포함)을 지면에서 격리시키는 것이고, 이렇게 함으로써 지면을 통해 노출 유닛에 전달되는 외부의 진동을 방지할 수 있다.
대규모의 IC회로 소자 집적도가 향상됨에 따라 포토 에칭 작업 분별력에 대한 요구가 갈수록 높아지고, 즉 포토 에칭 기기 노출 시스템의 안정성, 측정 시스템의 정확성이 요구되고 운동 플랫폼의 정밀도 또한 갈수록 높아지며 동시에 작업 파장도 갈수록 짧아진다. 나노 정밀도에 진입한 후, 진동에 대한 포토 에칭 해상도의 영향은 이미 상당히 민감해졌다. 투영 대물 렌즈를 포토 에칭 기기에서 가장 정밀한 부재 및 기준으로 하여 환경 진동에 대한 요구가 아주 높고, 완충기를 통해 구현되는 단단 감진은 더 이상 이의 성능 수요를 만족시킬 수 없다.
통상적인 상황에서，대물 렌즈는 스테인레스 스틸 블록을 통해 메인 보드에 지지되고, 대물 렌즈에는 장착 플랜지가 설치되며, 플랜지는 대물 렌즈의 무게 중심에 접근하는 위치에 수직방향으로 설치되고, 스테인레스 스틸 블록의 일단은 플랜지 면에 설치되고, 타단은 메인 보드와 연결되어 대물 렌즈의 지지를 구현한다. 배치 공간, 기계적 구조 또는 기타 원인의 제한으로 인해 대물 렌즈의 장착 플랜지의 장착면은 대물 렌즈의 무게 중심과 완전히 동일한 높이에 있을 수 없고, 대물 렌즈의 전체 1단계, 2단계 진동형(또는 이전 6단계 진동형 중의 2개)은 플랜지 장착면을 중심으로 전체가 수평방향(X축 방향 또는 Y축 방향)으로 회전하는 것으로 표현된다.
따라서, 연성 또는 강성 연결 방법을 사용함을 막론하고, 단지 플랜지 장착면에 대물 렌즈와 메인 보드를 연결시키기만 하면 불가피적으로 대물 렌즈의 전체 1단계 진동형은 수평방향(X축 방향 또는 Y축 방향)의 회전으로 표현되어, 대물 렌즈의 상부 끝단, 중심, 하부 끝단 사이의 변위 응답으로 인한 동적 차이값을 발생시키고, 대물 렌즈의 동적 안정성을 위협하며 노출 정밀도에 영향을 미친다.
본 발명은 대물 렌즈 플랜지 장착면을 중심으로 전체가 수평방향으로 회전하는 모드의 진동형을 제거하기 위한 대물 렌즈 지지 장치 및 포토 에칭 기기를 제공한다.
본 발명은 상술한 기술적 문제를 해결하고자, 메인 보드를 포함하는 내부 프레임 및 메인 보드에 설치되고 대물 렌즈 본체와 대물 렌즈 플랜지를 구비하는 대물 렌즈 시스템을 포함하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치에 있어서, 하나 또는 복수개의 수직방향으로 설치되는 메인 지지 장치와 하나 또는 복수개의 수평방향으로 설치되는 보조 지지 장치를 포함하고, 여기서, 각각의 상기 메인 지지 장치의 일단은 대물 렌즈 플랜지와 연결되고 타단은 메인 보드에 설치되며, 각각의 상기 보조 지지 장치의 일단은 대물 렌즈 본체와 연결되고 타단은 상기 내부 프레임에 설치되는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치를 제공한다.
바람직하게는, 상기 메인 지지 장치는 강성 지지 또는 연성 지지이다.
바람직하게는, 상기 대물 렌즈 지지 장치는 1 세트 또는 3 세트 내지 6 세트의 상기 메인 지지 장치를 포함한다.
바람직하게는, 상기3 세트 내지 6 세트의 메인 지지 장치와 대물 렌즈 플랜지의 장착면은 수직방향에서 동일한 높이에 위치한다.
바람직하게는, 상기 내부 프레임은 측정 거치대와 마스크 테이블 거치대를 더 포함하고, 각각의 상기 보조 지지 장치의 타단은 연결부를 통해 메인 보드, 측정 거치대 또는 마스크 테이블 거치대에 설치된다.
바람직하게는, 상기 보조 지지 장치는 강성 지지 또는 연성 지지이다.
바람직하게는, 상기 보조 지지 장치는 연성 힌지를 포함한다.
바람직하게는, 상기 보조 지지 장치는 1 세트 또는 3 세트 내지 6 세트이다.
바람직하게는, 상기 3 세트 내지 6 세트의 보조 지지 장치는 수직방향에서 동일한 높이에 위치한다.
바람직하게는, 상기 메인 지지 장치와 보조 지지 장치 사이에 다음 공식을 만족시킨다.
K xl × l 1 2 = K x2 ×l 2 2
K yl × l 1 2 = K y2 × l 2 2
(여기서, K xl 은 메인 지지 장치의 X축 방향의 총 강도, K x2 는 보조 지지 장치의 X축 방향의 총 강도, K yl 은 메인 지지 장치의 Y축 방향의 총 강도, K y2 는 보조 지지 장치의 Y축 방향의 총 강도, l 1 은 대물 렌즈 플랜지 장착면과 대물 렌즈 본체의 무게 중심 수직방향의 거리, l 2 는 보조 지지 장치와 대물 렌즈 본체의 무게 중심 수직방향의 거리).
바람직하게는, 상기 보조 지지 장치는 상기 메인 지지 장치의 직상에 위치한다.
바람직하게는, 상기 대물 렌즈 지지 장치는 상기 메인 지지 장치와 보조 지지 장치의 일측에 각각 위치하는 댐퍼를 더 포함한다.
본 발명은 상기 대물 렌즈 지지 장치를 사용하는 포토 에칭 기기를 더 제공하였다.
선행 기술과 비교하면 본 발명은 하기 장점을 구비한다.
1. 대물 렌즈의 플랜지 위치 및 대물 렌즈의 본체 위치에 각각 메인 지지 장치와 보조 지지 장치를 설치함으로써 대물 렌즈의 플랜지 장착면을 중심으로 전체가 수평방향으로 회전하는 모드의 진동형을 제거하여 각 단계 진동형 모드의 주파수 값을 향상시키고, 대물 렌즈의 상부 끝단, 중심, 하부 끝단 사이의 변위 응답 차이값을 줄여 노출 정밀도를 향상시킨다.
2. 보조 지지 장치와 메인 지지 장치의 공존은 대물 렌즈의 무게로 인한 연성 지지 구조의 응력 집중을 방지하고, 구조 응력을 감소하며, 피로 수명을 향상시킨다.
3. 구조가 간단하고, 각종 모델의 포토 에칭 기기에 적용되며, 기존 모델의 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 설치 방법에 대한 개량에 편리하다.
도 1은 실시예 1의 분할 프레임식 포토 에칭 기기에 설치되는 대물 렌즈 지지 장치의 구조도이다.
도 2는 실시예 1의 메인 지지 장치와 보조 지지 장치의 수직방향 위치도이다.
도 3은 실시예 1의 대물 렌즈 지지 장치와 대물 렌즈 본체의 무게 중심의 수직방향 거리도이다.
도 4는 실시예 1의 대물 렌즈 메인 지지 수평방향 위치도이다.
도 5는 실시예 1의 대물 렌즈 보조 지지 수평방향 위치도이다.
도 6은 실시예 2의 전체 프레임식 포토 에칭 기기에 설치되는 대물 렌즈 지지 장치의 구조도이다.
본 발명의 상기 목적, 특징과 장점을 더욱 명확히 이해할 수 있도록 본 발명의 구체적인 실시예에 대해 하기에 첨부된 도면과 결부시켜 구체적으로 설명하기로 한다. 설명이 필요한 점은, 본 발명의 도면은 단지 본 발명의 실시예를 편리하고 명확하게 보충 설명하려는 목적으로 모두 간소화한 형태와 비정확한 비례를 사용한다.
실시예 1
도 1에 도시된 분할 프레임식 포토 에칭 기기(100)를 예로 들면, 지면에 방치하는 상기 포토 에칭 기기(100)는 조명 시스템, 투영 대물 렌즈, 작업대, 마스크 테이블 등 주요 부재를 포함하고, 본 발명은 주로 대물 렌즈의 지지 장치에 관한 것으로, 간단하게 도면에서 조명 시스템, 작업대, 마스크 테이블 등 부재를 생략하였으나, 이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 당업자들이 본 발명을 이해하는데 영향을 미치지 않는다. 도 1에 도시된 바와 같이, 메인 보드(107)는 완충기(108)를 통해 기초 프레임(109)에 설치되고, 대물 렌즈 본체(103)와 대물 렌즈 플랜지(104)를 포함하는 투영 대물 렌즈는 메인 보드(107)에 설치된다. 본 실시예의 분할 프레임식 포토 에칭 기기(100)에서 작업대(미도시)와 메인 보드(107)는 서로 다른 완충기에 의해 지지되고, 본 실시예에서는 완충기(108)를 이용하여 메인 보드(107)를 지지한다. 도 2 내지 도 5를 결부하여 참조하면, 본 발명의 대물 렌즈 지지 장치는 하나 또는 복수개의 수직방향(Z축 방향)으로 설치되는 메인 지지 장치(101)와 하나 또는 복수개의 수평방향(XY 평면 내)으로 설치되는 보조 지지 장치(102)를 포함하고, 여기서, 각각의 상기 메인 지지 장치(101)의 일단은 대물 렌즈 플랜지(104)와 연결되고, 타단은 메인 보드(107)에 설치되며, 각각의 상기 보조 지지 장치(102)의 일단은 대물 렌즈 본체(103)와 연결되고, 타단은 내부 프레임, 구체적으로는 메인 보드(107), 측정 거치대, 마스크 테이블 또는 내부 프레임의 기타 위치에 설치되며, 본 실시예에서 상기 보조 지지 장치(102)의 타단은 연결부(106)를 통해 메인 보드(107)에 설치된다. 본 발명의 대물 렌즈 지지 장치는 대물 렌즈 플랜지(104) 및 대물 렌즈 본체(103)에 각각 메인 지지 장치(101)와 보조 지지 장치(102)를 설치함으로써 대물 렌즈 플랜지(104)의 장착면을 중심으로 전체가 수평방향(X축 방향 또는 Y축 방향)으로 회전하는 모드의 진동형을 제거할 수 있어 각 단계 진동형 모드의 주파수 값을 향상시키고, 대물 렌즈 본체(103)의 상부 끝단, 중심, 하부 끝단 사이의 변위 응답 차이값을 감소하며, 노출 정밀도를 향상시킨다.
계속하여 도 1 내지 도 5를 참조하면, 메인 지지 장치(101)는 강성 지지 또는 연성 지지일 수 있고, 상기 메인 지지 장치(101)는 1 세트 또는 3 세트 내지 6 세트이며, 상기 3 세트 내지 6 세트의 메인 지지 장치(101)와 대물 렌즈 플랜지(104)의 장착면은 수직방향에서 동일한 높이에 위치한다. 마찬가지로, 상기 보조 지지 장치(102) 역시 강성 지지 또는 연성 지지일 수 있고, 단일 세트로 구현되거나 3 세트 내지 6 세트의 조합으로 구현되며, 3 세트 내지 6 세트의 보조 지지 장치(102)는 수직방향에서 동일한 높이에 위치한다. 비교적 바람직하게, 보조 지지 장치(102)의 세트 수와 메인 지지 장치(101)의 세트 수는 동일하고 상응한 위치에 설치된다.
구체적으로, 도 4 내지 도 5를 참조하고 도 1과 결부하면, 본 실시예에서 대물 렌즈 플랜지(104)와 메인 보드(107) 사이는 3 세트의 메인 지지 장치(101)로 연결되고, 3 세트의 메인 지지 장치(101)는 모두 대물 렌즈 본체(103)의 외주에 균일하게 분포되며, 대물 렌즈 본체(103)의 중심축에 상대하여 둘씩 120도 각도로 분포된다. 대물 렌즈 본체(103)와 메인 보드(107) 사이는 3 세트의 보조 지지 장치(102)로 연결되고, 3 세트의 보조 지지 장치(102)의 연장선은 대물 렌즈 본체(103)의 중심축에 위치하는 한 점과 겹쳐지며, 둘씩 120도 각도로 분포되고, 보조 지지 장치(102)는 메인 지지 장치(101)의 직상에 위치한다. 더 구체적으로, 보조 지지 장치(102)는 연성 힌지 구조를 포함하여 수평 방향에서의 강도가 상대적으로 크고 수직 방향에서의 강도가 최대한 작아지도록 보장한다. 통상적으로, 보조 지지 장치(102)의 수직방향(Z축 방향)의 총 강도(즉 모든 보조 지지 장치(102)의 Z축 방향의 강도의 합)는 수평방향의 총 강도보다 작고, 통상적으로108N/m보다 작으며, 내부 프레임의 진동이 대물 렌즈 본체(103)에 전달되는 것을 방지할 수 있다.
도 3을 중점적으로 참조하면, 메인 지지 장치(101)의 X축 방향의 총 강도(즉 모든 메인 지지 장치(101)의 X축 방향의 강도의 합)는 K x1 이고, 대물 렌즈 플랜지(104)의 장착면 즉 대물 렌즈 플랜지(104)의 밑부분이 위치하는 평면과 대물 렌즈 본체(103)의 무게 중심(O)의 수직방향의 거리는 l 1 이며, 보조 지지 장치(102)의 X축 방향의 총 강도(즉 모든 보조 지지 장치(102)의 X축 방향의 강도의 합)는 K X2 이고, 보조 지지 장치(102)와 대물 렌즈 본체(103)의 무게 중심(O)의 수직방향의 거리는 l 2 이며, 하기 조건을 만족시킨다.
K x1 × l 1 2 = K x2 × l 2 2
메인 지지 장치(101)의 Y축 방향의 총 강도(즉 모든 메인 지지 장치(101)의 Y축 방향의 강도의 합)는 K y1 이고, 대물 렌즈 플랜지(104)의 장착면과 대물 렌즈 본체(103)의 무게 중심(O)의 수직방향 거리는 l 1 이며, 보조 지지 장치(102)의 Y축 방향의 총 강도(즉 모든 보조 지지 장치(102)의 Y축 방향의 강도의 합)는 K y2 이고, 보조 지지 장치(102)와 대물 렌즈 본체(103)의 무게 중심(O)의 수직방향 거리는 l 2 이며, 하기 조건을 만족시킨다.
K y1 × l 1 2 = K y2 × l 2 2
여기서, 보조 지지 장치(102)의 수평방향의 강도는 메인 지지 장치(101)의 수평방향의 강도에 의존하고, 보조 지지 장치(102)의 수직방향의 강도가 작을수록 내부 프레임에서 대물 렌즈 본체(103)에 전달되는 진동이 감소될 수 있다.
도 1을 참조하면, 바람직하게, 메인 지지 장치(101)와 보조 지지 장치(102)의 고유 주파수와 근접하는 진동 주파수로 인한 메인 지지 장치(101) 또는 보조 지지 장치(102)의 공진이 방진에 대한 영향을 방지하고자 상기 메인 지지 장치(101)와 보조 지지 장치(102)의 일측에 각각 댐퍼(105)가 더 설치된다.
기존의 대물 렌즈 지지 장치와 본 실시예의 대물 렌즈 지지 장치의 투영 대물 렌즈의 무작위 응답 계산 결과의 비교는 표 1에 도시된 바와 같다.
기존의 강성 지지 본 실시예의 강성 지지 기존의 연성 지지 본 실시예의 연성 지지
대물 렌즈 상면과 대물 렌즈 중심 X축 방향 변위 응답 차이값(nm) 4.69 3.19 11.5 4.74
대물 렌즈 상면과 대물 렌즈 중심 Y축 방향 변위 응답 차이값(nm) 16.6 9.46 11.4 4.88
대물 렌즈 상면과 대물 렌즈 중심 Z축 방향 변위 응답 차이값(nm) 2.8 2.3 1.01*10-2 6.54*10-3
<무작위 응답 계산 결과>
무작위 응답 입/출력 설치: 대물 렌즈 본체(103)와 메인 보드(107)의 인터페이스에 메인 보드(107)를 로딩하고 가속도 스펙트럼을 실측하여 대물 렌즈 본체(103)의 상면과 대물 렌즈 본체(103)의 중심의 변위 응답 차이값을 출력한다.
실시예 2
도 6에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 전체 프레임식 포토 에칭 기기(200)를 예로 들면, 해당 작업대와 메인 보드(207)는 동일한 완충기(208)에 의해 지지된다. 도 6에서의 도 1과 동일한 부재는 유사한 부호로 표시한다.
실시예 1과 마찬가지로, 대물 렌즈 지지 장치는 하나 또는 복수개의 수직방향으로 설치되는 메인 지지 장치(201)와 하나 또는 복수개의 수평방향으로 설치되는 보조 지지 장치(202)를 포함하고, 여기서, 상기 메인 지지 장치(201)의 일단은 대물 렌즈 플랜지(204)와 연결되고, 타단은 메인 보드(207)에 설치되며, 상기 보조 지지 장치(202)의 일단은 대물 렌즈 본체(203)와 연결되고, 타단은 연결부(206)를 통해 내부 프레임, 구체적으로는 메인 보드, 측정 거치대, 마스크 테이블 또는 내부 프레임의 기타 위치에 설치된다. 본 실시예에서 대물 렌즈 지지 장치의 작용은 실시예 1과 동일하므로 여기서 더 이상 설명하지 않기로 한다.
결론적으로, 본 발명의 대물 렌즈 지지 장치는 포토 에칭 기기에 설치되고, 메인 지지 장치와 보조 지지 장치를 포함하며, 여기서, 상기 메인 지지 장치의 일단은 대물 렌즈 플랜지와 연결되고, 상기 메인 지지 장치의 타단은 메인 보드에 설치되며, 상기 보조 지지 장치의 일단은 대물 렌즈 본체와 연결되고, 상기 보조 지지 장치의 타단은 내부 프레임에 설치된다. 본 발명의 대물 렌즈 지지 장치는 대물 렌즈 플랜지 및 대물 렌즈 본체에 각각 메인 지지 장치와 보조 지지 장치를 설치함으로써 대물 렌즈 플랜지 장착면을 중심으로 전체가 수평방향(X축 방향 또는 Y축 방향)으로 회전하는 모드의 진동형을 제거하여 각 단계 진동형 모드의 주파수 값을 향상시키고, 대물 렌즈의 상부 끝단, 중심, 하부 끝단 사이의 변위 응답 차이값을 감소하며, 노출 정밀도를 향상시킨다. 또한 대물 렌즈의 무게로 인한 연성 지지 구조의 응력 집중을 방지하고 구조 응력을 감소하며 피로 수명을 향상시킬 수 있다. 이 외에, 본 발명은 구조가 간단하고 각종 모델의 포토 에칭 기기에 적용되며, 기존 모델의 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 설치 방법에 대한 개량이 편리하다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자들이 본 발명의 사상과 범위를 벗어나지 않는 전제 하에 다양한 변동이나 변형을 진행할 수 있음은 자명한 것이다. 이와 같이, 본 발명의 이러한 보정과 변형이 본 발명의 청구범위 및 해당 균등 기술의 범위 내에 속한다면 본 발명 또한 이러한 변동과 변형을 포함시키고자 한다.
100: 포토 에칭 기기 101: 메인 지지 장치
102: 보조 지지 장치 103: 대물 렌즈 본체
104: 대물 렌즈 플랜지 105: 댐퍼
106: 연결부 107: 메인 보드
108: 완충기 109: 기초 프레임
200: 포토 에칭 기기 201: 메인 지지 장치
202: 보조 지지 장치 203: 대물 렌즈 본체
204: 대물 렌즈 플랜지 205: 댐퍼
206: 연결부 207: 메인 보드
208: 완충기 209: 메인 보드 거치대

Claims (13)

  1. 메인 보드를 포함하는 내부 프레임 및 메인 보드에 설치되고 대물 렌즈 본체와 대물 렌즈 플랜지를 구비하는 대물 렌즈 시스템을 포함하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치에 있어서,
    상기 대물 렌즈 지지 장치는,
    하나 또는 복수개의 수직방향으로 설치되는 메인 지지 장치와 하나 또는 복수개의 수평방향으로 설치되는 보조 지지 장치를 포함하고,
    각각의 상기 메인 지지 장치의 일단은 상기 대물 렌즈 플랜지와 연결되고, 타단은 상기 메인 보드에 설치되며,
    각각의 상기 보조 지지 장치의 일단은 상기 대물 렌즈 본체와 연결되고, 타단은 상기 내부 프레임에 설치되며,
    상기 메인 지지 장치와 상기 보조 지지 장치 사이에 다음 공식
    Kx1 × l1 2 = Kx2 × l2 2
    Kyl × l1 2 = Ky2 × l2 2
    (여기서, Kxl 은 메인 지지 장치의 X축 방향의 총 강도, Kx2 는 보조 지지 장치의 X축 방향의 총 강도, Kyl 은 메인 지지 장치의 Y축 방향의 총 강도, Ky2 는 보조 지지 장치의 Y축 방향의 총 강도, l1 은 대물 렌즈 플랜지 장착면과 대물 렌즈 본체의 무게 중심 수직방향의 거리, l2 는 보조 지지 장치와 대물 렌즈 본체의 무게 중심 수직방향의 거리)을 만족시키는 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메인 지지 장치는 강성 지지 또는 연성 지지인 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 대물 렌즈 지지 장치는 1 세트 또는 3 세트 내지 6 세트의 상기 메인 지지 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 3 세트 내지 6 세트의 메인 지지 장치와 대물 렌즈 플랜지의 장착면은 수직방향에서 동일한 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 내부 프레임은 측정 거치대와 마스크 테이블 거치대를 더 포함하고, 각각의 상기 보조 지지 장치의 타단은 연결부를 통해 상기 메인 보드, 상기 측정 거치대 또는 상기 마스크 테이블 거치대에 설치되는 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 보조 지지 장치는 강성 지지 또는 연성 지지인 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 보조 지지 장치는 연성 힌지를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 보조 지지 장치는 1 세트 또는 3 세트 내지 6 세트인 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 3 세트 내지 6 세트의 보조 지지 장치는 수직방향에서 동일한 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 메인 지지 장치와 상기 보조 지지 장치의 일측에 각각 위치하는 댐퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 보조 지지 장치는 상기 메인 지지 장치의 직상에 위치하는 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기의 대물 렌즈 지지 장치.
  12. 제1항 내지 제11항 중의 어느 한 항에 따른 대물 렌즈 지지 장치를 사용하는 것을 특징으로 하는 포토 에칭 기기.
  13. 삭제
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