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KR101859386B1 - 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드 - Google Patents

광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드 Download PDF

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KR101859386B1
KR101859386B1 KR1020160127772A KR20160127772A KR101859386B1 KR 101859386 B1 KR101859386 B1 KR 101859386B1 KR 1020160127772 A KR1020160127772 A KR 1020160127772A KR 20160127772 A KR20160127772 A KR 20160127772A KR 101859386 B1 KR101859386 B1 KR 101859386B1
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피엠피(주)
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Abstract

본 발명은 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따르면 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드는 전자 소자와 발광 소자를 가지는 테스트 대상 디바이스 와 검사 장치를 상하로 상호 접촉 연결하면서 광을 조사하여 전기적인 특성을 측정하는 수직 프로브 카드에 있어서, 상기 테스트 대상 디바이스의 상부에 배치되어 있으며, 상기 테스트 대상 디바이스에 접촉 검사되는 상기 전자 소자의 복수 위치에 접촉되도록 설치된 본체부; 상기 본체부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 본체부의 상기 전자 소자에 접촉 검사하는 부분과 전기적으로 연결되어 검사 시 상기 전자 소자와 접촉된 상태에서 검사되는 신호를 송수신하여 접촉 검사를 실시하는 접촉검사부; 및 상기 본체부의 내부에서 상부로 가로질러 배치되어 있으며, 상기 본체부와 상기 접촉검사부의 상부에서 내부를 통과하여 하부에 위치한 상기 발광 소자로 광을 조사하도록 구비되고, 조사되는 광원이 상하로 이동되면서 광량을 조절하도록 설치된 발광검사부;를 포함한다.

Description

광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드 {Optical Measurable Vertical Probe Card}
본 발명은 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 전자 소자 및 발광 소자를 가지는 테스트 대상 디바이스를 검사하기 위한 복수의 접촉 프로브를 가지는 프로브 카드의 구조를 개선하여 접촉 프로브의 접촉과 동시에 광을 조사하여 접촉 검사와 발광 검사를 동시에 실시함에 따라 검사 효율성이 향상되는 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드에 관한 것이다.
일반적으로, 프로브 카드는 기본적으로 테스트 대상 디바이스의 복수의 접촉 패드에 검사를 수행하는 검사 장치의 대응 채널과 전기적으로 연결하기에 효과적인 장치이다.
테스트 대상 디바이스에 수행되는 검사는, 이미 제조 단계에 있는 불량 또는 결함 소자들을 탐지하고 분리해내는 것이다. 따라서, 일반적으로 프로브 카드는 반도체나 실리콘 웨이퍼를 절단하고 칩 패키지(chip package) 안에 조립하기 전에 반도체나 실리콘 웨이퍼에 집적되는 전자 소자를 접촉에 의해 전기적으로 검사하는데 사용되고 있다.
도 1에서 도시된 바와 같이, 종래 기술의 수직 프로브 카드(30)는 검사 대상인 테스트 대상 디바이스(10)가 올려져 상하로 이동되는 검사 본체(20)와 검사 시 검사되는 신호를 송수신 하는 인쇄회로기판(50) 사이에 접촉에 의해 검사가 실시되도록 설치된다.
인쇄회로기판(50)은 하부에 프로브 카드(30)의 상승에 따라 전기적으로 연결되도록 접촉되는 접촉 패드(41)를 가지는 트랜스포머(40)가 설치되고, 상부에는 인쇄회로기판(50)을 지지하는 지지부(60)가 설치된다.
프로브 카드(30)는 기설정된 공간을 가지도록 상하로 떨어져 복수의 통공이 형성된 상부 플레이트(31)와 하부 플레이트(32)가 수직 지지부(33)에 지지된 상태에서 통공에 수직 방향으로 상하 이동이 가능하도록 접촉 프로브(34)가 삽입 지지됨에 따라 접촉 프로브(34)의 하부가 테스트 대상 디바이스(10)에 접촉되고, 상부 이동에 따라 상승되어 접촉 프로브(34)의 상부가 접촉 패드(41)에 접촉 연결됨으로써, 접촉 프로브(34)로 인해 테스트 대상 디바이스(10)와 접촉 패드(41)가 상호 전기적인 신호를 송수신되도록 연결되어 검사를 실시할 수 있다.
상술된 바와 같이, 테스트 대상 디바이스의 전자 소자를 접촉에 의해 검사를 실시하는 것으로, 전자 소자 이외에 다른 형태의 소자는 검사하기 어려웠다.
최근에는 반도체 집적 단자에 드라이버 칩의 속도를 증가시키면서 다양한 기능을 추가하기 위해서 광의 입출력이 가능한 광학 소자가 설치되어 널리 사용되고 있다.
이런, 발광 소자를 가지는 반도체 집적 단자를 테스트 대상 디바이스로 검사를 실시하기 위해서는 종래의 프로브 카드를 통해서 전자 소자를 접촉에 의해 검사를 실시한 후에 발광 검사 장치로 이동하여 발광 소자를 검사함에 따라 구조가 복잡하고, 이동에 따라 검사 시간이 지체되며, 검사 비용도 증대되는 문제점이 있었다.
또한, 테스트 대상 디바이스의 전자 소자와 발광 소자를 따로 검사함에 따라 접촉 검사된 신호와 발광 검사된 각각의 검사 결과가 독립적으로 분리되어 전자 소자와 발광 소자가 상호 연동되는 신호에 대해서는 검사가 어려운 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 전자 소자 및 발광 소자를 가지는 테스트 대상 디바이스를 검사하기 위한 복수의 접촉 프로브가 설치된 프로브 카드에 발광 소자에 광을 조사하여 광검사를 실시할 수 있는 광 검사부를 설치하여 접촉 검사와 광 검사를 동시에 실시함에 따라 검사 효율성이 향상되는 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드를 제공함에 있다.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명이 일 실시예에 따른 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드는 전자 소자와 발광 소자를 가지는 테스트 대상 디바이스 와 검사 장치를 상하로 상호 접촉 연결하면서 광을 조사하여 전기적인 특성을 측정하는 수직 프로브 카드에 있어서, 상기 테스트 대상 디바이스의 상부에 배치되어 있으며, 상기 테스트 대상 디바이스에 접촉 검사되는 상기 전자 소자의 복수 위치에 접촉되도록 설치된 본체부; 상기 본체부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 본체부의 상기 전자 소자에 접촉 검사하는 부분과 전기적으로 연결되어 검사 시 상기 전자 소자와 접촉된 상태에서 검사되는 신호를 송수신하여 접촉 검사를 실시하는 접촉검사부; 및 상기 본체부의 내부에서 상부로 가로질러 배치되어 있으며, 상기 본체부와 상기 접촉검사부의 상부에서 내부를 통과하여 하부에 위치한 상기 발광 소자로 광을 조사하도록 구비되고, 조사되는 광원이 상하로 이동되면서 광량을 조절하도록 설치된 발광검사부;를 포함한다.
또한, 상기 본체부는, 상기 테스트 대상 디바이스의 상부에 위치하고 있으며, 상기 테스트 대상 디바이스의 복수의 상기 전자 소자에 접촉되는 위치에 상기 접촉검사부와 접촉에 의해 전기적으로 연결되어 검사를 실시하도록 구비된 접촉 프로브; 상기 테스트 대상 디바이스의 상부에 배치되어 있으며, 상기 접촉 프로브와 상기 발광검사부가 삽입 지지는 판 형태로 구비된 하부플레이트; 상기 하부플레이트의 상부에 기설정된 간격으로 떨어져 배치되어 있으며, 상기 하부플레이트의 상부에 상기 접촉 프로브가 위치하는 공간인 공극이 형성되도록 떨어진 상부에 상기 접촉 프로브와 상기 발광검사부가 삽입 지지되는 판형태로 구비된 상부플레이트; 상기 상부플레이트와 상기 하부플레이트 사이에 배치되어 있으며, 상기 공극 내부에 위치하여 상기 접촉 프로브와 상기 발광검사부가 삽입 지지되는 판형태로 구비된 가이드블록; 및 상기 상부플레이트의 상부에 배치되어 있으며, 상기 접촉검사부와 상기 접촉 프로브가 전기적으로 연결되는 단자형태로 구비된 프로브단자;를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 하부플레이트에는 상기 접촉 프로브의 하부가 삽입 지지되도록 복수의 접촉 검사 위치에 통공 형태의 하부가이드홀을 형성할 수 있고, 상기 상부플레이트에는 상기 접촉 프로브의 상부가 삽입 지지되도록 상기 하부 지지홀과 연통된 상부 위치에 통공 형태의 상부가이드홀을 형성할 수 있으며, 상기 가이드블록에는 상기 하부가이드홀과 상기 상부가이드홀에 각각 연통되는 위치에 상기 접촉 프로브가 삽입된 상태로 상하 이동이 가이드되는 통공 형태의 블록가이드홀을 형성할 수 있어, 상기 접촉 프로브가 상기 하부가이드홀, 상기 상부가이드홀, 및 상기 블록가이드홀에 삽입되어 상하 이동이 가능한 상태로 수직 방향으로 삽입 지지되어 상기 테스트 대상 디바이스의 상기 전자 소자에 접촉된 상태에서 상기 접촉검사부와 연결된 상기 프로브단자에 접속되어 접촉 검사를 실시할 수 있다.
아울러, 상기 하부플레이트에는 상기 발광검사부의 하부가 삽입되어 상기 발광 소자에 광이 조사되는 위치에 통공 형태의 하부삽입홀을 형성할 수 있고, 상기 상부플레이트에는 상기 발광검사부가 통과되도록 삽입되어 상기 하부삽입홀과 연통된 상부 위치에 통공 형태의 상부삽입홀을 형성할 수 있으며, 상기 가이드블록에는 상기 하부삽입홀과 상기 상부삽입홀에 각각 연통되는 위치에 상기 발광검사부가 고정되는 블록삽입홀을 형성할 수 있어, 상기 발광검사부가 상기 하부삽입홀, 상기 상부삽입홀, 및 상기 블록삽입홀에 삽입된 상태로 고정되어 상기 테스트 대상 디바이스의 상기 발광 소자로 광이 조사되어 발광 검사를 실시할 수 있다.
더불어, 상기 접촉검사부는, 상기 본체부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 본체부를 통해서 상기 전자 단자와 접촉 연결되면 접촉 검사되는 신호를 송수신하는 회로 형태로 설치된 검사회로기판; 상기 검사회로기판의 신호가 송수신되는 위치에 배치되어 있으며, 상기 검사회로기판에 상기 본체부의 검사 신호를 송수신하도록 전기적으로 연결되는 위치에 단자 형태로 구비된 연결단자; 상기 본체부와 상기 검사회로기판을 전기적으로 연결하도록 배치되어 있으며, 상기 본체부의 상기 전자 소자로 복수로 접촉되는 부분과 상기 연결단자를 연결하여 검사 신호를 상호 송수신하도록 전기적으로 연결하는 와이어 형태로 구비된 연결와이어; 상기 검사회로기판의 중앙에 배치되어 있으며, 복수의 상기 연결와이어가 상기 본체부에 연결된 위치에 연통되어 상기 연결와이어가 삽입 지지되는 통공 형태의 검사연결홀을 가지고, 중앙으로 상기 본체부의 상기 발광검사부가 삽입 지지되는 위치에 연통되어 상기 발광검사부가 삽입지지되는 통공 형태의 연결삽입홀을 가지는 검사연결체; 및 상기 검사연결체와 상기 본체부 사이에 배치되어 있으며, 하부에 상기 본체부가 고정되고, 상기 검사연결홀과 연통되는 위치에 상기 연결와이어가 삽입 지지되는 통공 형태의 트랜스가이드홀을 가지고, 상기 연결삽입홀에 연통되는 위치에 상기 발광검사부가 삽입 지지되는 통공 형태의 트랜스삽입홀을 가지는 트랜스플레이트;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 발광검사부는, 상기 본체부와 상기 접촉검사부의 내부에 삽입 지지되도록 배치되어 있으며, 상기 테스트 대상 디바이스의 상기 발광소자 위치에 상기 본체부와 상기 접촉검사부에 삽입 지지되어 내부에 상하가 개방된 발광가이드공간을 가지는 발광가이드몸체; 상기 발광가이드몸체의 내부에 배치되어 있으며, 상기 발광가이드공간의 내부에서 상하로 이동이 가능하도록 삽입 위치하여 전력에 공급에 의해 발광되도록 선형의 광섬유 형태로 발광에 의해 상기 테스트 대상 디바이스의 상기 발광 소자에 입력되는 광이 조사되도록 구비된 발광체; 상기 접촉검사부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 발광체의 상부가 삽입 고정되도록 구비된 발광홀더; 상기 발광홀더의 상부에 배치되어 있으며, 상기 발광홀더에 삽입 고정된 상기 발광체에 연결되어 전력이 공급되도록 연결되는 단자 형태의 발광연결단자; 상기 발광홀더의 일측에 배치되어 있으며, 상기 발광연결단자에 전력연결선으로 연결되어 전력을 상기 발광체로 공급하도록 설치된 전력공급체; 및 상기 발광홀더의 한쪽 측면에 연결 배치되어 있으며, 상기 발광체가 고정된 상기 발광홀더를 상하로 이동시키도록 설치된 상하이동체;를 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 구체적인 사항들은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술된 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라, 서로 다른 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 하나에 의하면, 본 발명의 실시예에 따른 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드는 전자 소자 및 발광 소자를 가지는 테스트 대상 디바이스를 검사하기 위한 복수의 접촉 프로브가 설치된 프로브 카드에 발광 소자에 광을 조사하여 광검사를 실시할 수 있는 광 검사부를 설치하여 접촉 검사와 광 검사를 동시에 실시함에 따라 접촉 검사와 발광 검사를 동시에 실시하여 검사 효율성이 향상되는 효과를 제공한다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드는 접촉 검사를 실시하는 접촉 검사를 실시한 접촉 프로브의 지지 위치에 관형태의 발광지지몸체에 광원이 설치되어 광원의 발광으로 발광 검사를 실시함에 따라 광원의 설치에 의해 접촉 프로브에 이동 간섭을 최소화하면서 발광 검사를 실시함에 따라 검사 효율성을 향상시키는 효과를 제공한다.
그리고, 본 발명의 실시예에 따른 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드는 접촉 프로브가 지지된 플레이트에 관형태로 설치된 발광 지지몸체의 내부에 설치되는 광원이 조작에 의해 상하 위치를 조절 가능하게 설치되어 광원의 높이 조절에 의해 광량을 조절할 수 있어 여타의 조절 장치가 필요하지 않고 즉각적으로 조절할 수 있어 장치를 단순화하고, 조작이 용이하여 검사 효율이 향상되는 효과를 제공한다.
도 1은 통상적인 프로브 카드를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드를 나타내는 구성도이다.
도 3은 도 2의 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드의 주요 부분을 나타내는 일부 생략 확대 정면 구성도이다.
도 4는 도 2의 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드의 주요 부분을 나타내는 일부 생략 확대 측면 구성도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 이를 상세한 설명을 통해 상세히 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제1, 제2 등)는 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위한 식별기호에 불과하다.
또한, 본 명세서에서, 일 구성요소가 다른 구성요소와 "연결된다" 거나 "접속된다" 등으로 언급된 때에는, 상기 일 구성요소가 상기 다른 구성요소와 직접 연결되거나 또는 직접 접속될 수도 있지만, 특별히 반대되는 기재가 존재하지 않는 이상, 중간에 또 다른 구성요소를 매개하여 연결되거나 또는 접속될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 명확하게 설명하기 위하여 설명과 관계없는 부분은 도면에서 생략하였으며, 도면들에 있어서 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조부호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 설명하도록 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드를 나타내는 구성도이고, 도 3은 도 2의 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드의 주요 부분을 나타내는 일부 생략 확대 정면 구성도이며, 도 4는 도 2의 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드의 주요 부분을 나타내는 일부 생략 확대 측면 구성도이다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드(100)는 전자 소자(11)와 발광 소자(12)를 가지는 테스트 대상 디바이스(10) 와 검사 장치를 상하로 상호 접촉 연결하면서 광을 조사하여 전기적인 특성을 측정하는 장치이다.
이런, 광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드(100)는 테스트 대상 디바이스(10)의 전자 소자(11)에 접촉되는 본체부(110), 접촉검사부(120), 및 발광검사부(130)를 포함한다.
본체부(110)는 테스트 대상 디바이스(10)의 전자 소자(11)가 접촉되는 위치에 설치된 접촉 프로브(111), 하부플레이트(112), 상부플레이트(114), 가이드블록(115), 및 프로브단자(116)를 포함한다.
접촉 프로브(111)는 테스트 대상 디바이스(10)의 상부에 위치하고 있으며, 테스트 대상 디바이스(10)의 복수의 전자 소자(11)에 접촉되는 위치에 각각 설치되어 니들 형태로 검사 시 접촉검사부(120)와 전기적으로 연결되도록 접촉되어 검사 신호를 송수신하도록 설치된다. 여기서, 접촉 프로브(111)는 도면에서 니들 형태의 탄성을 가지도록 휘어진 곡률을 가지는 형태로 제시되어 있으나, 이는 하나의 예시를 들어 제시한 것이다. 따라서, 접촉 프로브(111)는 전기적으로 접촉되면서 탄성을 가질 수 있는 통상적인 모든 구성이 사용될 수 있음은 당업자에게 자명하다.
하부플레이트(112)는 테스트 대상 디바이스(10)의 상부에 배치되어 있으며, 복수의 접촉 프로브(111)의 하부가 삽입 지지되도록 각 위치 별로 통공 형태의 하부가이드홀(112a)을 가지고, 발광 소자(12) 위치에 연통되어 발광검사부(130)가 삽입 지지되어 발광에 의해 검사를 실시하는 통공 형태의 하부삽입홀(112b)을 가지며, 양측 끝에는 상부로 돌출된 하부돌기(112c)가 구비된다.
즉, 하부플레이트(112)는 상하로 이동되는 접촉 프로브(111)의 하부가 삽입 지지되는 복수의 전자 소자(11) 위치에 하부가이드홀(112a)이 형성되고, 발광검사부(130)가 삽입 지지되는 발광 소자(12) 위치에 하부삽입홀(112b)이 형성되어 접촉 프로브(111)와 발광검사부(130)가 각각 삽입되도록 구비된다.
또한, 하부돌기(112c)는 하부플레이트(112)의 양측에 상부로 돌출되어 상부플레이트(114)와 기설정된 공간인 공극(113)이 형성되도록 구비된다.
상부플레이트(114)는 하부플레이트(112)의 상부에 배치되어 있으며, 하부가이드홀(112a)과 연통되어 접촉 프로브(111)가 삽입 지지되는 통공 형태의 상부가이드홀(114a)을 가지고, 하부삽입홀(112b)과 연통되어 발광검사부(130)가 삽입 지지되는 위치에 통공형태의 상부삽입홀(114b)을 가지며, 양측 끝에 하부로 돌출되어 하부돌기(112c)에 접촉 고정되면 내부에 공극(113)을 가지도록 돌출된 상부돌기(114c)가 구비된다.
즉, 상부플레이트(114)는 상하로 이동되는 접촉 프로브(111)의 상부가 삽입 지지되는 복수의 전자 소자(11) 위치에 상부가이드홀(114a)이 형성되고, 발광검사부(130)가 삽입 지지되는 발광 소자(12) 위치에 상부삽입홀(114b)이 형성되어 접촉 프로브(111)와 발광검사부(130)가 각각 삽입되도록 구비된다.
또한, 상부돌기(114c)는 하부플레이트(112)의 양측에 하부로 돌출되어 하부플레이트(112)와 기설정된 공간인 공극(113)이 형성되도록 하부돌기(112c)와 접촉 고정되도록 구비된다.
가이드블록(115)은 하부플레이트(112)와 상부플레이트(114) 사이에 배치되어 있으며, 공극(113) 내부에 위치하여 하부가이드홀(112a)과 상부가이드홀(114a)에 각각 연통되어 접촉 프로브(111)가 삽입 지지되는 블록가이드홀(115a)을 가지고, 하부삽입홀(112b)과 상부삽입홀(114b)에 연통되어 발광검사부(130)가 삽입 지지되는 블록삽입홀(115b)을 가진다.
즉, 가이드블록(115)은 상하로 이동되는 접촉 프로브(111)의 공극(113) 내에서 삽입 지지되는 복수의 전자 소자(11) 위치에 블록가이드홀(115a)이 형성되고, 발광검사부(130)가 삽입 지지되는 발광 소자(12) 위치에 블록삽입홀(115b)이 형성되어 접촉 프로브(111)와 발광검사부(130)가 각각 삽입되도록 구비된다.
프로브단자(116)는 상부플레이트(114)의 상부에 배치되어 있으며, 복수의 상부가이드홀(114a)의 상부에 각각 위치한 상태에서 접촉검사부(120)와 전기적으로 연결되어 접촉 프로브(111)의 하부가 전자 소자(11)에 접촉된 상태에서 접촉검사부(120)와 전기적으로 연결되는 단자 형태로 구비된다.
접촉검사부(120)는 접촉 프로브(111)의 접촉 시에 전자 소자(11)에 검사되는 신호를 송수신하는 검사회로기판(121), 연결단자(122), 연결와이어(123), 검사연결체(124), 및 트랜스플레이트(125)를 포함한다.
검사회로기판(121)은 상부플레이트(114)의 상부에 배치되어 있으며, 접촉 프로브(111)가 테스트 대상 디바이스(10)의 전자 소자(11)에 접촉되어 전기적으로 연결되면 접촉 검사되는 신호를 송수신하는 회로 형태로 설치된다.
연결단자(122)는 검사회로기판(121)의 신호가 송수신되는 위치에 배치되어 있으며, 검사회로기판(121)에 접촉 프로브(111)의 검사 신호를 송수신하도록 전기적으로 연결되는 위치에 단자 형태로 구비된다. 연결단자(122)는 검사회로기판(121)의 일측 상부에 위치하여 검사회로기판(121)에 검사신호를 송수되는 단자 형태로 구비된다.
연결와이어(123)는 프로브단자(116)와 검사회로기판(121)을 전기적으로 연결하도록 배치되어 있으며, 검사 시 접촉 프로브(111)와 접촉 연결되는 프로브단자(116)와 연결단자(122)를 연결하여 검사 신호를 상호 송수신하도록 전기적으로 연결하는 와이어 형태로 구비된다.
검사연결체(124)는 검사회로기판(121)의 중앙에 배치되어 있으며, 복수의 연결와이어(123)가 연결단자(122)에 연결된 위치에 연통되어 연결와이어(123)가 삽입 지지되는 통공 형태의 검사연결홀(124a)을 가지고, 중앙으로 상부플레이트(114)의 상부삽입홀(114b)에 연통되어 발광검사부가 삽입지지되는 통공 형태의 연결삽입홀(124b)을 가진다. 즉, 검사연결체(124)는 검사회로기판(121)의 중앙에 연결와이어(123)와 발광검사부(130)가 삽입되는 통공이 복수로 구비되어 발광검사부(130)를 지지한 상태에서 연결와이어(123)가 통과되어 검사회로기판(121)과 연결단자(122)를 연결시키도록 설치된다.
트랜스플레이트(125)는 검사연결체(124)와 상부플레이트(114) 사이에 배치되어 있으며, 하부에 상부플레이트(114)가 고정되고, 검사연결홀(124a)과 연통되는 위치에 연결와이어(123)가 삽입 지지되는 통공 형태의 트랜스가이드홀(125a)을 가지고, 연결삽입홀(124b)에 연통되는 위치에 발광검사부(130)가 삽입 지지되는 통공 형태의 트랜스삽입홀(125b)을 가진다.
발광검사부(130)는 본체부(110)와 접촉검사부(120)의 내부에 삽입된 발광가이드몸체(131), 발광체(133), 발광홀더(134), 발광연결단자(122), 전력공급체(136), 전력연결선(137), 및 상하이동체(138)를 포함한다.
발광가이드몸체(131)는 하부플레이트(112), 상부플레이트(114), 가이드블록(115), 검사연결체(124), 및 트랜스플레이트(125)에 형성된 통공인 하부삽입홀(112b), 상부삽입홀(114b), 블록삽입홀(115b), 연결삽입홀(124b), 및 트랜스삽입홀(125b)에 삽입 지지된 관형태로 구비된다. 즉, 발광가이드몸체(131)에는 테스트 대상 디바이스(10)의 발광 소자(12) 위치에 형성된 상술된 삽입홀(112b, 114b, 115b, 124b, 125b)들에 삽입 지지되어 내부에 상하가 개방된 발광가이드공간(132)을 가진다.
발광체(133)는 발광가이드몸체(131)의 내부에 배치되어 있으며, 발광가이드공간(132)의 내부에서 상하로 이동이 가능하도록 삽입 위치하여 전력에 공급에 의해 발광되도록 선형의 광섬유 형태로 발광에 의해 테스트 대상 디바이스(10)의 발광 소자(12)에 입력되는 광이 조사되도록 구비된다.
발광홀더(134)는 검사회로기판(121)의 상부에 배치되어 있으며, 발광체(133)의 상부가 삽입 고정되는 판 형태로 구비된다.
발광연결단자(122)는 발광홀더(134)의 상부에 배치되어 있으며, 발광홀더(134)에 삽입 고정된 발광체(133)에 연결되어 전력이 공급되도록 연결되는 단자 형태로 구비된다.
전력공급체(136)는 발광홀더(134)의 일측에 배치되어 있으며, 발광연결단자(122)에 전력연결선(137)으로 연결되어 전력을 발광체(133)로 공급하도록 설치된다.
상하이동체(138)는 발광홀더(134)의 한쪽 측면에 연결 배치되어 있으며, 발광체(133)가 고정된 발광홀더(134)를 상하로 이동시키도록 설치된다.
여기서, 상하이동체(138)는 판 형태의 발광홀더(134)의 한쪽 측면에서 볼트와 너트의 체결 방식, 랙과 피니언의 체결 방식 등의 상하로 이동되는 모든 수단이 포함될 수 있고, 수동으로 조작하거나 모터의 설치에 의해 자동으로 조작할 수 있다.
상술한 바와 같이, 발광체(133)는 상하이동체(138)로 상하로 이동되는 발광홀더(134)에 고정 지지되어 발광되는 광량이 적으면 하강하면서 발광 소자(12)와 근접되도록 이동할 수 있고, 광량을 적게 조절할 경우에는 상승시켜 발광 소자와의 거리를 멀어지게 이동할 수 있다. 따라서, 상하로 이동되는 발광체(133)는 여타의 광량을 조절하는 장치 없이 발광체(133)의 높이 조절에 의해 광량을 조절할 수 있어 장치를 단순화하면서 높이 조절에 의해 즉각적으로 광량을 조절하여 사용 편의성을 향상시킬 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
100 : 프로브 카드 110 : 본체부
111 : 접촉 프로브 112 : 하부플레이트
112a : 하부가이드홀 112b : 하부삽입홀
112c : 하부돌기 113 : 공극
114 : 상부플레이트 114a : 상부가이드홀
114b : 상부삽입홀 114c : 상부돌기
115 : 가이드블록 115a : 블록가이드홀
115b : 블록삽입홀 116 : 프로브단자
120 : 접촉검사부 121 : 검사회로기판
122 : 연결단자 123 : 연결와이어
124 : 검사연결체 124a : 검사연결홀
124b : 연결삽입홀 125 : 트랜스플레이트
125a : 트랜스가이드홀 125b : 트랜스삽입홀
130 : 발광검사부 131 : 발광가이드몸체
132 : 발광가이드공간 133 : 발광체
134 : 발광홀더 135 : 발광연결단자
136 : 전력공급체 137 : 전력연결선
138 : 상하이동체

Claims (6)

  1. 전자 소자와 발광 소자를 가지는 테스트 대상 디바이스와 검사 장치를 상하로 상호 접촉 연결하면서 광을 조사하여 전기적인 특성을 측정하는 수직 프로브 카드에 있어서,
    상기 테스트 대상 디바이스의 상부에 배치되어 있으며, 상기 테스트 대상 디바이스에 접촉 검사되는 상기 전자 소자의 복수 위치에 접촉되도록 설치된 본체부;
    상기 본체부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 본체부의 상기 전자 소자에 접촉 검사하는 부분과 전기적으로 연결되어 검사 시 상기 전자 소자와 접촉된 상태에서 검사되는 신호를 송수신하여 접촉 검사를 실시하는 접촉검사부; 및
    상기 본체부의 내부에서 상부로 가로질러 배치되어 있으며, 상기 본체부와 상기 접촉검사부의 상부에서 내부를 통과하여 하부에 위치한 상기 발광 소자로 광을 조사하도록 구비되고, 조사되는 광원이 상하로 이동되면서 광량을 조절하도록 설치된 발광검사부;를 포함하고,
    상기 접촉검사부는,
    상기 본체부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 본체부를 통해서 전자 단자와 접촉 연결되면 접촉 검사되는 신호를 송수신하는 회로 형태로 설치된 검사회로기판;
    상기 검사회로기판의 신호가 송수신되는 위치에 배치되어 있으며, 상기 검사회로기판에 상기 본체부의 검사 신호를 송수신하도록 전기적으로 연결되는 위치에 단자 형태로 구비된 연결단자;
    상기 본체부와 상기 검사회로기판을 전기적으로 연결하도록 배치되어 있으며, 상기 본체부의 상기 전자 소자로 복수로 접촉되는 부분과 상기 연결단자를 연결하여 검사 신호를 상호 송수신하도록 전기적으로 연결하는 와이어 형태로 구비된 연결와이어;
    상기 검사회로기판의 중앙에 배치되어 있으며, 복수의 상기 연결와이어가 상기 본체부에 연결된 위치에 연통되어 상기 연결와이어가 삽입 지지되는 통공 형태의 검사연결홀을 가지고, 중앙으로 상기 본체부의 상기 발광검사부가 삽입 지지되는 위치에 연통되어 상기 발광검사부가 삽입지지되는 통공 형태의 연결삽입홀을 가지는 검사연결체; 및
    상기 검사연결체와 상기 본체부 사이에 배치되어 있으며, 하부에 상기 본체부가 고정되고, 상기 검사연결홀과 연통되는 위치에 상기 연결와이어가 삽입 지지되는 통공 형태의 트랜스가이드홀을 가지고, 상기 연결삽입홀에 연통되는 위치에 상기 발광검사부가 삽입 지지되는 통공 형태의 트랜스삽입홀을 가지는 트랜스플레이트;를 포함하는
    광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드.
  2. 전자 소자와 발광 소자를 가지는 테스트 대상 디바이스와 검사 장치를 상하로 상호 접촉 연결하면서 광을 조사하여 전기적인 특성을 측정하는 수직 프로브 카드에 있어서,
    상기 테스트 대상 디바이스의 상부에 배치되어 있으며, 상기 테스트 대상 디바이스에 접촉 검사되는 상기 전자 소자의 복수 위치에 접촉되도록 설치된 본체부;
    상기 본체부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 본체부의 상기 전자 소자에 접촉 검사하는 부분과 전기적으로 연결되어 검사 시 상기 전자 소자와 접촉된 상태에서 검사되는 신호를 송수신하여 접촉 검사를 실시하는 접촉검사부; 및
    상기 본체부의 내부에서 상부로 가로질러 배치되어 있으며, 상기 본체부와 상기 접촉검사부의 상부에서 내부를 통과하여 하부에 위치한 상기 발광 소자로 광을 조사하도록 구비되고, 조사되는 광원이 상하로 이동되면서 광량을 조절하도록 설치된 발광검사부;를 포함하고,
    상기 발광검사부는,
    상기 본체부와 상기 접촉검사부의 내부에 삽입 지지되도록 배치되어 있으며, 상기 테스트 대상 디바이스의 상기 발광소자 위치에 상기 본체부와 상기 접촉검사부에 삽입 지지되어 내부에 상하가 개방된 발광가이드공간을 가지는 발광가이드몸체;
    상기 발광가이드몸체의 내부에 배치되어 있으며, 상기 발광가이드공간의 내부에서 상하로 이동이 가능하도록 삽입 위치하여 전력에 공급에 의해 발광되도록 선형의 광섬유 형태로 발광에 의해 상기 테스트 대상 디바이스의 상기 발광 소자에 입력되는 광이 조사되도록 구비된 발광체;
    상기 접촉검사부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 발광체의 상부가 삽입 고정되도록 구비된 발광홀더;
    상기 발광홀더의 상부에 배치되어 있으며, 상기 발광홀더에 삽입 고정된 상기 발광체에 연결되어 전력이 공급되도록 연결되는 단자 형태의 발광연결단자;
    상기 발광홀더의 일측에 배치되어 있으며, 상기 발광연결단자에 전력연결선으로 연결되어 전력을 상기 발광체로 공급하도록 설치된 전력공급체; 및
    상기 발광홀더의 한쪽 측면에 연결 배치되어 있으며, 상기 발광체가 고정된 상기 발광홀더를 상하로 이동시키도록 설치된 상하이동체;를 포함하는
    광학 측정이 가능한 수직 프로브 카드.
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