KR101844537B1 - X-ray tube for improving electron focusing - Google Patents
X-ray tube for improving electron focusing Download PDFInfo
- Publication number
- KR101844537B1 KR101844537B1 KR1020160141867A KR20160141867A KR101844537B1 KR 101844537 B1 KR101844537 B1 KR 101844537B1 KR 1020160141867 A KR1020160141867 A KR 1020160141867A KR 20160141867 A KR20160141867 A KR 20160141867A KR 101844537 B1 KR101844537 B1 KR 101844537B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- tube
- focusing
- filament
- ray
- shielding
- Prior art date
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 23
- 230000005484 gravity Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 15
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 5
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N thorium dioxide Chemical compound O=[Th]=O ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/06—Cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/06—Cathodes
- H01J35/064—Details of the emitter, e.g. material or structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/16—Vessels; Containers; Shields associated therewith
- H01J35/18—Windows
- H01J35/186—Windows used as targets or X-ray converters
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
본 발명은 필라멘트에서 방출된 열전자가 X선 조사창의 타겟으로 효율적으로 이동할 수 있도록 안내할 수 있도록 하고 필라멘트에 불순물이 흡착되는 비중을 감소시킬 수 있는 "전자 집속 개선용 X선관"에 관한 것이다.
본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관은 바디를 형성하며 중공이 형성된 비도전성의 튜브관과, 상기 튜브관의 상단부를 차폐하도록 형성되고 타켓이 도포되어 있는 X선을 조사하는 X선 조사창과, 상기 튜브관의 하단부를 차폐하도록 형성되어 스템부와, 상기 스템부의 외측에서 상기 튜브관 내측으로 연장되며 소정의 네거티브 고전압이 인가되는 복수개의 금속 와이어와, 상기 튜브관 내측으로 연장되어 있는 상기 금속 와이어 사이에 연결되어 열전자를 방출하는 필라멘트와, 상기 필라멘트에서 방출되는 상기 열전자를 집속하기 위하여 상기 필라멘트를 감싸는 제 1 집속관과, 상기 튜브관의 외측을 감싸는 도전성 재질의 원통형 차폐 하우징을 구비하며, 상기 차폐 하우징은 상기 금속 와이어에 인가되는 소정의 네거티브 고전압과 동일 전압이다.
본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관은 다음과 같은 장점을 구비하고 있다.
1. X선 조사창 하부에 추가의 집속관을 제공함으로써 필라멘트에서 방출된 열전자를 효율적으로 타겟에 이동시킬 수 있다.
2. 튜브관 외부에 네거티브 전압인 인가되는 차폐 하우징에 의하여 타켓으로부터 박리(이탈)되어 가스 형태를 띠는 불순물이 튜브관 내벽에 흡착되도록 함으로써 집속관 내부에 위치한 필라멘트(-전압)에 흡착되는 확율을 저감시켜 필라멘트의 수명을 개선시킬 수 있도록 하였다.
3. 제 1 집속관에 차폐 날개부를 형성하여 튜브관 내부의 공간을 이중으로 분리하여 필라멘트에서 방출된 열전자가 X선 조사창으로 이동할 수 있는 확률을 개선시키고자 하였다.The present invention relates to an X-ray tube for improving electron focusing, which can guide the thermoelectrons emitted from a filament to efficiently move to a target of an X-ray irradiation window and reduce the specific gravity of adsorbing impurities to the filament.
The X-ray tube for electronic focusing improvement proposed in the present invention comprises a non-conductive tube tube which forms a hollow body and forms a body, an X-ray irradiation window which shields the upper end of the tube tube and irradiates X- A plurality of metal wires extending from the outside of the stem portion to the inside of the tube tube and to which a predetermined negative high voltage is applied and a plurality of metal wires extending inwardly of the tube tube, A first focusing tube that surrounds the filament for focusing the thermoelectrons emitted from the filament, and a cylindrical shielding housing made of a conductive material that surrounds the outer side of the tube tube, Wherein the shielding housing has the same voltage as the predetermined negative high voltage applied to the metal wire to be.
The X-ray tube for improving electron focusing according to the present invention has the following advantages.
1. By providing an additional focusing tube at the bottom of the X-ray irradiating window, the thermoelectrons emitted from the filament can be efficiently moved to the target.
2. The shielding housing, which is applied with a negative voltage outside the tube tube, is peeled off from the target and adsorbs gaseous impurities to the inner wall of the tube tube, so that the probability of being adsorbed to the filament (- voltage) So that the life of the filament can be improved.
3. A shielding blade was formed in the first focusing tube to double the space inside the tube to improve the probability that the thermoelectrons emitted from the filament could move to the X-ray irradiation window.
Description
본 발명은 전자 집속 개선용 X선관에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 필라멘트에서 방출된 열전자가 X선 조사창의 타겟으로 효율적으로 이동할 수 있도록 안내할 수 있도록 하고 필라멘트에 불순물이 흡착되는 비중을 감소시킬 수 있는 "전자 집속 개선용 X선관"에 관한 것이다.The present invention relates to an X-ray tube for improving electron focusing, and more particularly, to an X-ray tube for improving electron focusing, which can guide a thermoelectrically emitted from a filament to efficiently move to a target of an X-ray irradiating window and reduce a specific gravity Quot; X-ray tube for electronic focusing improvement ".
일반적으로, 물질투과성에 따라서 얇은 공기층에 의해서도 쉽게 흡수되는 투과성이 낮은 방사선을 연엑스선이라 하고, 륀트겐 등에 사용하는 투과성이 높은 것을 경엑스선이라 한다. Generally, radiation with low permeability, which is easily absorbed by a thin air layer depending on the material permeability, is called a pumped x ray, and the one having high permeability used for a nylon is called a ray ray.
연엑스선의 에너지는 경엑스선에 비해 수십분의 일 정도로 낮고, 직접 조사에 의한 영향 또한 훨씬 적다. The energy of the X-ray is lower by several tens of minutes than that of the X-ray, and the effect of direct irradiation is also much smaller.
이러한 연엑스선과 경엑스선의 특성을 구분하여 설명하면 표 1과 같다.Table 1 shows the characteristics of the soft X-ray and the soft X-ray.
알려진 바와 같이, 연엑스선 발생기의 연엑스선은 가속된 전자가 금속 타겟(Be)에 충돌하면 발생되는 것이므로, 연엑스선 발생기는 전자를 고속으로 가속시키는 고전압 발생장치와 타켓으로 구성되어있다.As is known, since the soft X-ray of the soft X-ray generator is generated when accelerated electrons collide with the metal target Be, the soft X-ray generator is composed of a high voltage generator and a target that accelerate electrons at a high speed.
전극에 인가되는 전압을 가속전압(target voltage) 이라고 하면, 충돌할 때의 전자의 운동에 에너지 E는 다음과 같은 식으로 표시된다.When the voltage applied to the electrode is referred to as an acceleration voltage (target voltage), the energy E in the movement of electrons at the time of collision is expressed by the following equation.
E=eV=(1/2)mv2 E = eV = (1/2) mv 2
여기서, here,
e: 전자전하량(-1.602X10-19C)e: electron charge amount (-1.602X10 -19 C)
m: 전자질량(9.109X10-31kg)m: electronic mass (9.109X10 -31 kg)
V: 가속전압V: Acceleration voltage
v:전자속도. v: Electronic speed.
알려진 바와 같이, 전자의 운동에너지는 타켓과 충돌할 때 대부분 열로 변하고 약 1% 정도의 에너지만이 연엑스선으로 발산되고, 연엑스선 발생 효율은 다음과 같은 식으로 표시된다.As it is known, the kinetic energy of the electron changes to almost heat when it collides with the target, and only about 1% of energy is emitted to the x-rays, and the efficiency of x-ray generation is expressed as follows.
발생 효율=1.1X10-9ZVGeneration efficiency = 1.1X10 -9 ZV
여기서, Z 는 타겟 물질의 원자 번호이다.Here, Z is the atomic number of the target material.
이러한 연엑스선 조사식은 대전체 중화에 필요한 이온 및 전자를 대전 물체 주위의 가스분자 및 원자의 광자흡수에 의하며 이온을 생성하는 방식으로 이루어지며, 이러한 연엑스선 조사식의 특징은 고농도의 이온 및 전자를 생성할 수 있기 때문에 단시간 내에 정전기 제거가 가능하고 또한 잔류 정전압을 거의 0 V로 유지할 수 있으며, 대기압 상태의 불활성 가스 분위기에서도 정전기 제거가 가능하다는 장점이 있어 정전기 제거로 널리 활용되고 있다. This pseudo-x-ray irradiation equation is based on the ionization of ions and electrons necessary for large-scale neutralization by the photon absorption of gas molecules and atoms around the charged body. It is possible to remove the static electricity in a short time and to maintain the residual constant voltage at almost 0 V and to remove the static electricity even in the atmosphere of the inert gas under the atmospheric pressure.
알려진 바와 같이, 코로나 방전식 정전기 제거장치에서는 이온의 이송을 위하여 별도의 송풍장치가 필요하나, 연엑스선 조사식 정전기 제거장치는 무풍 상태의 분위기 속에서도 제전할 수 있다는 장점이 있다. As is known, in the corona discharge type electrostatic eliminator, a separate blowing device is required for transferring ions, but the pivoting X-ray static eliminating device is advantageous in that it can discharge electricity even in a windless atmosphere.
또한, 연엑스선 조사식 정전기 제거장치는 에너지가 높기 때문에(파장은 약 1.3Å 이하) 산소분자 또는 원자도 신속히 이온화할 수 있어 오존의 발생을 거의 유발하지 않는다는 이점도 있다.In addition, since the x-ray irradiating static eliminator has high energy (wavelength is about 1.3 Å or less), oxygen molecules or atoms can be rapidly ionized, thereby causing almost no ozone generation.
도 1에는 본 출원인이 생산하여 시판중인 연엑스선 이오나이저 중에서 고전압발생기와 연결되어 연엑스선을 조사하는 X선관(X-ray tube)의 일예가 도시되어 있다.1 shows an example of an X-ray tube that is connected to a high-voltage generator among irradiating x-ray ionizers manufactured and marketed by the present applicant and irradiates an open x-ray tube.
도 2 및 도 3에는 도 1에 도시된 X선관의 정면도와 배면도가 각각 추가로 도시되어 있다(참고로, 집속관 역할을 하는 원통형의 캐소드 내부에는 코바 와이어와 연결되는 필라멘트가 존재하나 본 도면에서는 도시되지 아니하였다). 2 and 3 are respectively a front view and a rear view of the X-ray tube shown in FIG. 1 (for reference, there is a filament connected to the core wire in a cylindrical cathode serving as a focusing tube, Not shown).
도 1에 도시된 바와 같이, X선관은 유리관(100)과, 유리관의 일측 종단부에 결합되는 X선 방사부(200: Be 및 그에 도포된 W등의 금속 타겟 포함; "X선 조사창"이라고도 함), 유리관(100)의 타측 종단부에 접합되는 유리 또는 유리 또는 이와 동등한 정도의 물리적 화학적 성질을 갖는 재질(이하 유리 재질이라 한다)을 갖는 스템부(300)를 포함한다. 1, the X-ray tube includes a
또한, 도 1에 도시된 X선관은 필라멘트(미도시: 집속관 내부에 부설되어 있음)로부터 방출되는 열전자를 집속시키는 역할을 수행하는 원통형의 캐소드(110: 집속관이라고도 함), 고전압 발생기(도시되지 않음)에서 출력되는 약 -1k~-60kV의 전압이 인가되는 도전 와이어(120: 코바 와이어(kovar wire)), 유리관(100) 내부로 삽입된 도전 와이어(120)를 상호 연결시키는 유리 재질의 클립부(130), 일측이 원통 형상의 캐소드(110) 외측에 부착되고 타측이 유리관(100) 내벽에 밀착되어 캐소드(110)를 지지하는 가이드 스프링(140), 유리관(100) 내부의 진공 상태를 유지하기 위한 게터(150: getter) 등과 같은 구성 요소를 더 포함하며, X선관의 내부는 직접 진공 배기 방식에 의하여 제어된 소정의 진공도를 유지하고 있다. The X-ray tube shown in FIG. 1 includes a cylindrical cathode 110 (also referred to as a focusing tube), a high-voltage generator (not shown) for focusing thermoelectrons emitted from filaments (not shown in the drawing) A conductive wire 120 (a kovar wire) to which a voltage of about -1 k to -60 kV is applied and a
이러한 X선관은 필라멘트에서 방출된 열전자가 효율적으로 X선 방사부(200)로 이동할 수 있도록 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 원통형 구조의 집속관(110)을 일반적으로 사용하고 있다. The X-ray tube generally uses a cylindrical-shaped focusing
그런데, 이러한 구조를 갖는 종래의 X선관은 다음과 같은 문제점을 안고 있다.However, the conventional X-ray tube having such a structure has the following problems.
1. 집속관이 있음에도 불구하고 필라멘트에서 방출된 열전자가 타켓에 미치는 효율이 낮다1. Despite the presence of a focusing tube, the efficiency of the hot electrons emitted from the filament is low
2. 타켓을 때린 열전자로 인하여 타켓으로부터 박리(이탈)되어 가스 형태를 띠는 불순물이 다른 열전자와 충돌하면서 양이온으로 대전되고 이렇게 양이온으로 대전된 불순물이 집속관 내부에 위치한 필라멘트(-전압)에 흡착하여 필라멘트의 수명을 저하시킨다.2. The impurities which are separated from the target due to the thermoelectrometer hitting the target are charged with positive ions while the gas-like impurities collide with the other thermoelectrons and the impurities charged by the positive ions are adsorbed to the filament (- voltage) Thereby reducing the lifetime of the filament.
본 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 필라멘트에서 방출된 열전자가 X선 조사창의 타겟으로 효율적으로 이동할 수 있도록 안내할 수 있도록 하고 필라멘트에 불순물이 흡착되는 비중을 감소시킬 수 있는 "전자 집속 개선용 X선관"을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been proposed in order to solve the problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide an X-ray irradiator capable of guiding the thermoelectrons emitted from filaments to a target of an X-ray irradiating window efficiently and reducing the specific gravity of impurities adsorbed on the filaments. And an X-ray tube for improving focus.
본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관은 바디를 형성하며 중공이 형성된 비도전성의 튜브관과, 상기 튜브관의 상단부를 차폐하도록 형성되고 타켓이 도포되어 있는 X선을 조사하는 X선 조사창과, 상기 튜브관의 하단부를 차폐하도록 형성되어 스템부와, 상기 스템부의 외측에서 상기 튜브관 내측으로 연장되며 소정의 네거티브 고전압이 인가되는 복수개의 금속 와이어와, 상기 튜브관 내측으로 연장되어 있는 상기 금속 와이어 사이에 연결되어 열전자를 방출하는 필라멘트와, 상기 필라멘트에서 방출되는 상기 열전자를 집속하기 위하여 상기 필라멘트를 감싸는 제 1 집속관과, 상기 튜브관의 외측을 감싸는 도전성 재질의 원통형 차폐 하우징을 구비하며, 상기 차폐 하우징은 상기 금속 와이어에 인가되는 소정의 네거티브 고전압과 동일 전압이다.The X-ray tube for electronic focusing improvement proposed in the present invention comprises a non-conductive tube tube which forms a hollow body and forms a body, an X-ray irradiation window which shields the upper end of the tube tube and irradiates X- A plurality of metal wires extending from the outside of the stem portion to the inside of the tube tube and to which a predetermined negative high voltage is applied and a plurality of metal wires extending inwardly of the tube tube, A first focusing tube that surrounds the filament for focusing the thermoelectrons emitted from the filament, and a cylindrical shielding housing made of a conductive material that surrounds the outer side of the tube tube, Wherein the shielding housing has a predetermined negative high voltage applied to the metal wire, A.
본 발명에 있어서, 상기 튜브관 내측에 상기 제 1 집속관과 대향하는 방향으로 부설되되, 상기 X선 조사창 하부에 위치하여 상기 제 1 집속관에서 방출되어 상기 X선 조사창의 상기 타켓으로 향하는 상기 열전자를 재차 집속하기 위한 원통형의 제 2 집속관을 더 구비한다.In the present invention, it is preferable that the X-ray irradiation window is provided inside the tube tube in a direction opposite to the first focusing tube, and is located below the X-ray irradiation window and is emitted from the first focusing tube, And a cylindrical second focusing tube for focusing the hot electrons again.
본 발명에 있어서, 상기 제 1 집속관은 상기 필라멘트를 내장하기 위한 중공이 형성되어 있는 형통형이며, 상기 제 1 집속관의 외주면은 상기 튜브관의 내벽과 소정 거리 이격되어 있을 수 있다.In the present invention, the first focusing tube may be a mold having a hollow for embedding the filament, and the outer peripheral surface of the first focusing tube may be spaced apart from the inner wall of the tube tube by a predetermined distance.
본 발명에 있어서, 상기 제 1 집속관은 상기 필라멘트를 내장하기 위한 중공이 형성되어 있고 상기 제 1 집속관의 외주면에 형성되는 차폐 날개부는 방사형으로 연장되어 상기 튜브관의 내벽과 접하며 상기 차폐 날개부에 의하여 상기 튜브관의 내부 공간은 상기 차폐 날개부의 상부 공간인 제 1 공간과 상기 차폐 날개부의 하부 공간인 제 2 공간으로 분리되어 있다.In the present invention, the first focusing tube has a hollow for embedding the filament, and the shielding blade formed on the outer circumferential surface of the first focusing tube extends radially and contacts the inner wall of the tube tube, The inner space of the tube tube is divided into a first space which is an upper space of the shielding blade and a second space which is a lower space of the shielding blade.
본 발명에 있어서, 상기 필라멘트는 수평 방향으로 연장되어 있을 수 있다.In the present invention, the filament may extend in the horizontal direction.
본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관을 사용하는 경우 다음과 같은 이점이 있다.The use of the X-ray tube for electronic focusing improvement proposed in the present invention has the following advantages.
1. X선 조사창 하부에 또 다른 집속관을 제공함으로써 필라멘트에서 방출된 열전자를 효율적으로 타겟에 이동시킬 수 있다.1. By providing another focusing tube under the X-ray irradiation window, the thermoelectrons emitted from the filament can be efficiently moved to the target.
2. 타켓을 때린 열전자로 인하여 타켓으로부터 박리(이탈)되어 가스 형태를 띠는 불순물이 집속관 내부에 위치한 필라멘트(-전압)에 흡착하는 확율을 저감시켜 필라멘트의 수명을 개선시킴으로써 X선관의 수명을 연장시킬 수 있다.2. By reducing the probability of impurities adsorbing gaseous impurities from filament (- voltage) located inside the focusing tube by peeling off (releasing) from the target due to the thermoelectrometer hitting the target, the lifetime of the filament is improved, Can be extended.
도 1 내지 도 3은 종래 X선관의 일예이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관의 제 1 내지 제 3 실시예이다.1 to 3 show an example of a conventional X-ray tube.
Figs. 4 to 6 are first to third embodiments of an X-ray tube for improving electron focusing, which is proposed in the present invention.
이하 도면을 참조하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
참고로, 본 발명에서는 사용된 기술 용어 중 "X선 조사창"이란 당업계에서 일반적으로 구현하는 튜브관 상부에 금속 타겟, 스테린레스 스틸 재질의 플랜지, 및 금속 플랜지가 순차적으로 상호 결합되어 있는 통상의 구성 요소를 통칭하여 의미하는 것으로 해석되고 이해하여야 한다.For reference, in the present invention, the term "X-ray irradiating window" used in the present invention means a window, a metal target, a flange made of stainless steel, and a metal flange are sequentially bonded to an upper part of a tube tube And should be construed and understood as meaning a generic constituent element collectively.
또한, 본 발명에서 설명하는 X선관은 대략 평판 환형 구조인 유리 재질의 스템부와, 유리 재질 스템부의 가장자리를 관통하는 복수개의 금속 와이어와, 금속 와이어 사이에 연결되어 열전자를 방출하는 역할을 수행하는 필라멘트와, 필라멘트에서 방출된 열전자를 집속하기 위한 원통형의 집속관과, 집속관의 외측에 접합되는 게터와, 유리 재질 스템부의 중공에 일체로 연결되어 있는 원통형의 튜브관을 추가로 구비하고 있으며, 이러한 구성은 X선관을 연구 개발하는 당업계에 공지된 구성이라는 점을 미리 확인하고 기술하기로 한다.In addition, the X-ray tube described in the present invention has a stem portion of a glass material having a substantially annular planar shape, a plurality of metal wires penetrating the edge of the glass material stem portion, and a metal wire, A filament, a cylindrical focusing tube for focusing thermoelectrons emitted from the filament, a getter connected to the outside of the focusing tube, and a cylindrical tube tube integrally connected to the hollow of the glass material stem portion. It will be confirmed and described in advance that this configuration is known in the art for research and development of X-ray tubes.
더불어, 본 발명의 필라멘트로 사용되는 금속 재료에는 W, W와 Re(레듐)의 합금, W와 ThO2(이산화토륨)의 합금 등이 포함될 수 있으며, 이는 열전자 방출 효율, 필라멘트의 내구성 등을 고려한 것이다.In addition, the metal material used as the filament of the present invention may include an alloy of W, W and Re (red), an alloy of W and ThO 2 (thorium dioxide), etc., will be.
또한, 본 발명에 사용되는 유리 재질의 스템부와 원통형의 튜브관 재료로는 봉규산 유리, SiO2(석영 유리), UV Glass 등을 포함할 수 있다. In addition, the stem portion of the glass material and the tube material of the cylindrical tube used in the present invention may include glass beads, SiO 2 (quartz glass), UV glass, or the like.
위에서 설명한 이러한 X선관에 일반적으로 널리 사용되고 있고 있으므로 추가적인 설명은 생략하기로 하며, 이하에서 본 발명의 실시예에 대하여 설명하기로 한다.Since the X-ray tube described above is widely used, it will not be described further, and the embodiments of the present invention will be described below.
도 4는 본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관의 제 1 실시예이다.Fig. 4 is a first embodiment of an X-ray tube for improving electron focusing proposed in the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 제 1 실시예인 전자 집속 개선용 X선관은 바디를 형성하며 중공이 형성된 비도전성의 튜브관(100)과, 상기 튜브관의 상단부를 차폐하도록 형성되고 타켓이 도포되어 있는 X선을 조사하는 X선 조사창(200)과, 상기 튜브관의 하단부를 차폐하도록 형성되어 스템부(300)를 구비한다.As shown in the drawings, the X-ray tube for improving electron focusing according to the first embodiment of the present invention comprises a
본 발명의 제 1 실시예인 전자 집속 개선용 X선관은 상기 스템부(300)의 외측에서 상기 튜브관(100) 내측으로 연장되며 소정의 네거티브 고전압이 인가되는 복수개의 금속 와이어(400)와, 상기 튜브관(100) 내측으로 연장되어 있는 상기 금속 와이어(400) 사이에 연결되어 열전자를 방출하는 필라멘트(500)와, 상기 튜브관의 외측을 감싸는 도전성 재질의 원통형 차폐 하우징(700)을 더 구비한다. 참고로, 상기 차폐 하우징(700)은 적어도 상기 스템부(300)와 상기 제 1 집속관(600)을 감쌀 수 있는 길이를 갖는다.The X-ray tube for improving electron focusing according to the first embodiment of the present invention includes a plurality of
본 발명의 제 1 실시예에 있어서, 상기 제 1 집속관(600)은 상기 필라멘트를 내장하기 위한 중공이 형성되어 있는 형통형이며, 상기 제 1 집속관(600)의 외주면은 상기 튜브관의 내벽과 소정 거리 이격되어 있다.In the first embodiment of the present invention, the first focusing
본 발명에 따른 제 1 실시예의 동작은 다음과 같다.The operation of the first embodiment according to the present invention is as follows.
필라멘트에서 방출된 열전자는 X선 조사창으로 가속되어 X선 조사창을 구성하는 타겟과 충돌한다. The hot electrons emitted from the filament are accelerated by the X-ray irradiation window and collide with the target constituting the X-ray irradiation window.
이때, 열전자와의 충돌로 인하여 타켓의 일부가 박리(이탈)되어 가스 형상의 불순물이 튜브관 내부에 발생하고 이러한 불순물은 필라멘트 등에서 방출되는 다른 열전자와 충돌하여 양이온을 띠게 된다. 양이온 불순물의 일부는 네거티브 전압을 갖는 필라멘트로 흡착되지만, 본 발명의 경우 튜브관의 외측을 감싸는 도전성 재질의 원통형 차폐 하우징이 네거티브 고전압(금속 와이어와 동일 전압)으로 유지되고 있기 때문에 양이온의 불순물 중 일부는 차폐 하우징과 접하고 있는 튜브관의 내벽으로 흡착된다.At this time, a part of the target is peeled off due to the collision with the thermoelectrons, and gaseous impurities are generated in the tube tube, and these impurities collide with other thermoelectrons emitted from the filaments and the like and become positive ions. Some of the cationic impurities are adsorbed by filaments having a negative voltage, but in the present invention, since the cylindrical shielding housing made of a conductive material surrounding the outside of the tube tube is maintained at a negative high voltage (the same voltage as the metal wire) Is adsorbed to the inner wall of the tube tube in contact with the shielding housing.
따라서, 차폐 하우징이 없는 종래의 일반적인 X선관과 비교하여 필라멘트로 흡착되는 불순물의 양을 감소시킬 수 있고 그 결과 필라멘트의 수명을 개선시킬 수 있다는 이점이 있다. Therefore, it is advantageous to reduce the amount of impurities adsorbed by the filament as compared with the conventional general X-ray tube having no shielding housing, and as a result, the lifetime of the filament can be improved.
도 5는 본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관의 제 2 실시예이다.Fig. 5 is a second embodiment of an X-ray tube for improving electron focusing proposed in the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 제 2 실시예인 전자 집속 개선용 X선관은제 1 실시예와 마찬가지로 바디를 형성하며 중공이 형성된 비도전성의 튜브관(100)과, 상기 튜브관(100)의 상단부를 차폐하도록 형성되고 타켓이 도포되어 있는 X선을 조사하는 X선 조사창(200)과, 상기 튜브관(100)의 하단부를 차폐하도록 형성되어 스템부(300)를 기본적으로 구비한다.As shown in the drawing, the X-ray tube for improving electron focusing according to the second embodiment of the present invention includes a
본 발명의 제 2 실시예인 전자 집속 개선용 X선관은 상기 스템부(300)의 외측에서 상기 튜브관(100) 내측으로 연장되며 소정의 고전압이 인가되는 복수개의 금속 와이어(400)와, 상기 튜브관(100) 내측으로 연장되어 있는 상기 금속 와이어 (400)사이에 연결되어 열전자를 방출하는 필라멘트(500)와, 상기 필라멘트(500)에서 방출되는 상기 열전자를 집속하기 위하여 상기 필라멘트를 감싸는 제 1 집속관(600)과, 상기 튜브관(100) 내측에 상기 제 1 집속관(600)과 대향하는 방향으로 부설되되 상기 X선 조사창(200) 하부에 위치하여 상기 제 1 집속관(600)에서 방출되어 상기 X선 조사창(200)의 상기 타켓으로 향하는 상기 열전자를 재차 집속하기 위한 원통형의 제 2 집속관(800)과, 상기 튜브관(100)의 외측을 감싸는 도전성 재질의 원통형 차폐 하우징(700)을 더 구비한다. 참고로, 상기 차폐 하우징(700)은 적어도 상기 스템부(300)와 상기 제 1 집속관(600)을 감쌀 수 있는 길이를 갖는다.The X-ray tube for improving electron focusing, which is a second embodiment of the present invention, includes a plurality of
본 발명의 제 2 실시예에 있어서, 상기 제 1 집속관은 상기 필라멘트를 내장하기 위한 중공이 형성되어 있는 형통형이며, 상기 제 1 집속관의 외주면은 상기 튜브관의 내벽과 소정 거리 이격되어 있다. In the second embodiment of the present invention, the first focusing tube is a mold having a hollow for embedding the filament, and the outer peripheral surface of the first focusing tube is spaced apart from the inner wall of the tube tube by a predetermined distance .
참고로, 본 발명의 제 2 실시예는 제 2 집속관이 형성되기 때문에 튜브관의 길이를 제 1 실시예에 비하여 조금 더 길 수가 있다. For reference, since the second focusing tube is formed in the second embodiment of the present invention, the length of the tube tube may be slightly longer than that of the first embodiment.
본 발명에 따른 제 2 실시예의 동작은 다음과 같다.The operation of the second embodiment according to the present invention is as follows.
제 1 집속관 내부에 위치하는 필라멘트에서 방출된 열전자는 제 1 집속관을 지나 제 1 집속관과 대향하여 소정 거리 이격되어 위치하는 제 2 집속관을 통과한 후 제 2 집속관 상부에 위치하는 X선 조사창을 구성하는 타겟과 충돌한다. The thermoelectrons emitted from the filament located inside the first convergent tube pass through the first convergent tube and pass through the second convergent tube located at a predetermined distance to face the first convergent tube, Collision with the target constituting the pre-irradiation window.
이때, 열전자와의 충돌로 인하여 타켓의 일부가 박리(이탈)되어 가스 형상의 불순물이 생성되고 이러한 불순물은 필라멘트 등에서 방출되는 다른 열전자와 충돌하여 양이온을 띠게 된다. 양이온 불순물의 일부는 네거티브 전압을 갖는 필라멘트로 흡착될 수 있지만, 본 발명의 경우 튜브관의 외측을 감싸는 도전성 재질의 원통형 차폐 하우징이 네거티브 전압으로 유지되고 있기 때문에 양이온의 불순물 중 일부는 차폐 하우징과 접하고 있는 튜브관의 내벽으로 흡착된다.At this time, a part of the target is peeled off due to the collision with the thermoelectrons, so that gaseous impurities are generated, and these impurities collide with other thermoelectrons emitted from the filaments and the like and become positive ions. Some of the cationic impurities may be adsorbed by filaments having a negative voltage, but in the case of the present invention, since the electrically conductive cylindrical shielding housing surrounding the outside of the tube tube is maintained at a negative voltage, some of the impurities of the positive ions are in contact with the shielding housing And is adsorbed to the inner wall of the tube tube.
따라서, 차폐 하우징이 없는 종래의 일반적인 X선관과 비교하여 필라멘트로 흡착되는 불순물의 양을 감소시킬 수 있고 그 결과 필라멘트의 수명을 개선시킬 수 있다는 이점이 있다. Therefore, it is advantageous to reduce the amount of impurities adsorbed by the filament as compared with the conventional general X-ray tube having no shielding housing, and as a result, the lifetime of the filament can be improved.
더불어, 본 발명에 따른 제 2 실시예의 경우 제 2 집속관을 제공함으로써 제 1 집속관을 통과한 열전자가 제 2 집속관을 통하여 효율적으로 X선 조사창으로 가속될 수 있도록 하여 X선관의 X선 조사 능력을 추가로 개선시키고자 하였다.In addition, according to the second embodiment of the present invention, by providing the second focusing tube, the thermoelectrons passing through the first focusing tube can be efficiently accelerated to the X-ray irradiation window through the second focusing tube, And to further improve the research capacity.
도 6은 본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관의 제 3 실시예이다.Fig. 6 is a third embodiment of an X-ray tube for improving electron focusing proposed in the present invention.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 제 3 실시예인 전자 집속 개선용 X선관은 제 1 및 제 2 실시예와 마찬가지로 바디를 형성하며 중공이 형성된 비도전성의 튜브관(100)과, 상기 튜브관(100)의 상단부를 차폐하도록 형성되고 타켓이 도포되어 있는 X선을 조사하는 X선 조사창(200)과, 상기 튜브관(100)의 하단부를 차폐하도록 형성되어 스템부(300)를 기본적으로 구비한다.As shown in the drawing, the X-ray tube for improving electron focusing according to the third embodiment of the present invention includes a
본 발명의 제 3 실시예인 전자 집속 개선용 X선관은 상기 스템부(300)의 외측에서 상기 튜브관 내측으로 연장되며 소정의 고전압이 인가되는 복수개의 금속 와이어(400)와, 상기 튜브관(100) 내측으로 연장되어 있는 상기 금속 와이어(400) 사이에 연결되어 열전자를 방출하는 필라멘트(500)와, 상기 필라멘트에서 방출되는 상기 열전자를 집속하기 위하여 상기 필라멘트를 감싸는 제 1 집속관(600)과, 상기 튜브관 내측에 상기 제 1 집속관(600)과 대향하는 방향으로 부설되되 상기 X선 조사창(200) 하부에 위치하여 상기 제 1 집속관(600)에서 방출되어 상기 X선 조사창의 상기 타켓으로 향하는 상기 열전자를 재차 집속하기 위한 원통형의 제 2 집속관(800)과, 상기 튜브관의 외측을 감싸는 도전성 재질의 원통형 차폐 하우징(700)을 더 구비한다. 참고로, 상기 차폐 하우징(700)은 적어도 상기 스템부(300)와 상기 제 1 집속관(600)을 감쌀 수 있는 길이를 갖는다.The X-ray tube for improving electron focusing according to the third embodiment of the present invention includes a plurality of
본 발명의 제 3 실시예에서는 필라멘트의 형상을 원호 형상을 갖는 제 1 및 제 2 실시예와 달리 수평 방향으로 연장되는 형상을 구비하도록 하여 열전자의 진직성을 개선시키고자 하였으며 이러한 구조는 제 1 및 제 2 실시예에 동일하게 적용 가능하다.In the third embodiment of the present invention, the shape of the filament is formed to have a shape extending in the horizontal direction, unlike the first and second embodiments having an arcuate shape, so as to improve the straightness of the thermoelectrons. The present invention is equally applicable to the second embodiment.
본 발명의 제 3 실시예에 따른 상기 제 1 집속관은 위에서 설명한 본 발명의 제 1 및 제 2 실시예와 달리 상기 필라멘트를 내장하기 위한 중공이 형성되어 있고 상기 제 1 집속관의 외주면에 형성되는 차폐 날개부는 방사형으로 연장되어 상기 튜브관의 내벽과 접하고 있다.The first focusing tube according to the third embodiment of the present invention differs from the first and second embodiments of the present invention described above in that a hollow for embedding the filament is formed and formed on the outer peripheral surface of the first focusing tube The shielding blade extends radially and contacts the inner wall of the tube tube.
또한, 제 1 집속관의 차폐 날개부에 의하여 튜브관은 제 2 집속관 하부에서 제 1 집속관의 차폐 날개부의 상부면 사이의 제 1 공간과 제 1 집속관 차폐 날개부 하부와 스템부 사이의 제 2 공간으로 분리되어 있으며, 이러한 분리로 인하여 제 1 공간에서 발생한 열전자가 제 2 공간으로 이동하는 것을 차단함으로써 제 1 공간에 있는 열전자가 X선 조사창으로 이동할 수 있는 확율을 개선시키고자 하였다. Further, the shield tube of the first focusing tube has a first space between the upper surface of the shielding blade of the first focusing tube and a lower space between the lower space of the first focusing tube shielding blade and the stem, And to prevent the thermoelectrons generated in the first space from moving to the second space due to the separation, thereby improving the probability that the thermoelectrons in the first space can move to the X-ray irradiation window.
본 발명에 따른 제 3 실시예의 동작은 다음과 같다.The operation of the third embodiment according to the present invention is as follows.
제 1 집속관 내부에 위치하는 필라멘트에서 방출된 열전자는 제 1 집속관을 지나 제 1 집속관과 대향하여 소정 거리 이격되어 위치하는 제 2 집속관을 통과한 후 제 2 집속관 상부에 위치하는 X선 조사창을 구성하는 타겟과 충돌한다. The thermoelectrons emitted from the filament located inside the first convergent tube pass through the first convergent tube and pass through the second convergent tube located at a predetermined distance to face the first convergent tube, Collision with the target constituting the pre-irradiation window.
이때, 열전자와의 충돌로 인하여 타켓의 일부가 박리(이탈)되어 가스 형상의 불순물이 생성되고 이러한 불순물은 필라멘트 등에서 방출되는 다른 열전자와 충돌하여 양이온을 띠게 된다. 양이온 불순물의 일부는 네거티브 전압을 갖는 필라멘트로 흡착될 수 있지만, 본 발명의 경우 튜브관의 외측을 감싸는 도전성 재질의 원통형 차폐 하우징이 네거티브 전압으로 유지되고 있기 때문에 양이온의 불순물 중 일부는 차폐 하우징과 접하고 있는 튜브관의 내벽으로 흡착된다.At this time, a part of the target is peeled off due to the collision with the thermoelectrons, so that gaseous impurities are generated, and these impurities collide with other thermoelectrons emitted from the filaments and the like and become positive ions. Some of the cationic impurities may be adsorbed by filaments having a negative voltage, but in the case of the present invention, since the electrically conductive cylindrical shielding housing surrounding the outside of the tube tube is maintained at a negative voltage, some of the impurities of the positive ions are in contact with the shielding housing And is adsorbed to the inner wall of the tube tube.
따라서, 차폐 하우징이 없는 종래의 일반적인 X선관과 비교하여 필라멘트로 흡착되는 불순물의 양을 감소시킬 수 있고 그 결과 필라멘트의 수명을 개선시킬 수 있다는 이점이 있다. Therefore, it is advantageous to reduce the amount of impurities adsorbed by the filament as compared with the conventional general X-ray tube having no shielding housing, and as a result, the lifetime of the filament can be improved.
더불어, 본 발명에 따른 제 3 실시예의 경우 제 2 실시예와 유사하게 제 2 집속관을 제공함으로써 제 1 집속관을 통과한 열전자가 제 2 집속관을 통하여 효율적으로 X선 조사창으로 가속될 수 있도록 하여 X선관의 X선 조사 능력을 추가로 개선시키고자 하였다.In the third embodiment of the present invention, similarly to the second embodiment, by providing the second focusing tube, the thermoelectrons passing through the first focusing tube can be efficiently accelerated to the X-ray irradiation window through the second focusing tube So that the X-ray irradiation ability of the X-ray tube is further improved.
또한, 본 발명에 따른 제 3 실시예의 경우, 제 1 집속관의 외주면에 형성되는 차폐 날개부는 방사형으로 연장되어 상기 튜브관의 내벽과 접하고 있고, 튜브관은 제 1 집속관의 차폐 날개부에 의하여 제 1 집속관의 차폐 날개부 상부 공간(제 1 공간)와 차폐 날개부의 하부 공간(제 2 공간)으로 분리되어 있고, 이러한 공간 분리로 인하여 필라멘트에서 제 1 공간으로 방출된 열전자가 제 2 공간으로 이동하는 것을 차단함으로써 제 1 공간에 있는 열전자가 X선 조사창으로 이동할 수 있는 확율을 개선시키고자 하였다. In the third embodiment of the present invention, the shielding vanes formed on the outer peripheral surface of the first focusing tube radially extend into contact with the inner wall of the tube tube, and the tube tube is shielded by the shielding wing portion of the first focusing tube (First space) of the shielding blade portion of the first focusing tube and a lower space (second space) of the shielding blade portion. The thermoelectrons emitted from the filament to the first space due to the space separation are separated into the second space And to improve the probability that the thermoelectrons in the first space can move to the X-ray irradiation window by blocking movement.
또한 본 발명에 따른 제 3 실시예의 경우 필라멘트(500)가 수평 방향으로 형성되어 있다.In the third embodiment of the present invention, the
여기서 수평 방향이란 튜브관 또는 집속관의 길이 방향에 대하여 직각인 수평 방향을 의미한다.Here, the horizontal direction means a horizontal direction perpendicular to the longitudinal direction of the tube tube or the focusing tube.
기존의 경우 필라멘트가 원호 타입으로 형성되어 열전자가 방사상으로 가속되었으나, 본 발명에서는 필라멘트를 수평 방향으로 형성함으로써 열전자가 타겟에 직접 충돌하는 확률을 개선시키고자 하였다.In the conventional case, the filament is formed as an arc type so that the thermoelectrons are radially accelerated. However, in the present invention, the filaments are formed in the horizontal direction so as to improve the probability that the thermoelectrons directly collide with the target.
지금까지 설명한 본 발명에서 제안하는 전자 집속 개선용 X선관은 다음과 같은 장점을 구비하고 있다.The X-ray tube for electron focusing improvement proposed in the present invention has the following advantages.
1. X선 조사창 하부에 추가의 집속관을 제공함으로써 필라멘트에서 방출된 열전자를 효율적으로 타겟에 이동시킬 수 있다.1. By providing an additional focusing tube at the bottom of the X-ray irradiating window, the thermoelectrons emitted from the filament can be efficiently moved to the target.
2. 튜브관 외부에 네거티브 전압인 인가되는 차폐 하우징에 의하여 타켓으로부터 박리(이탈)되어 가스 형태를 띠는 불순물이 튜브관 내벽에 흡착되도록 함으로써 집속관 내부에 위치한 필라멘트(-전압)에 흡착되는 확율을 저감시켜 필라멘트의 수명을 개선시킬 수 있도록 하였다.2. The shielding housing, which is applied with a negative voltage outside the tube tube, is peeled off from the target and adsorbs gaseous impurities on the inner wall of the tube tube, so that the probability of being adsorbed to the filament (- voltage) So that the life of the filament can be improved.
3. 제 1 집속관에 차폐 날개부를 형성하여 튜브관 내부의 공간을 이중으로 분리하여 필라멘트에서 방출된 열전자가 X선 조사창으로 이동할 수 있는 확률을 개선시키고자 하였다.3. A shielding blade was formed in the first focusing tube to double the space inside the tube to improve the probability that the thermoelectrons emitted from the filament could move to the X-ray irradiation window.
Claims (5)
상기 스템부의 외측에서 상기 튜브관 내측으로 연장되며 소정의 네거티브 고전압이 인가되는 복수개의 금속 와이어와,
상기 튜브관 내측으로 연장되어 있는 상기 금속 와이어 사이에 연결되어 열전자를 방출하는 필라멘트와,
상기 필라멘트에서 방출되는 상기 열전자를 집속하기 위하여 상기 필라멘트를 감싸는 제 1 집속관과,
상기 튜브관의 외측을 감싸는 도전성 재질의 차폐 하우징을 더 구비하며,
상기 차폐 하우징은 상기 금속 와이어에 인가되는 소정의 네거티브 고전압과 동일 전압인 것을 특징으로 하는 전자 집속 개선용 X선관.
An X-ray irradiation window for shielding the upper end portion of the tube tube and for irradiating an X-ray to which a target is applied, and an X-ray irradiation window for shielding a lower end portion of the tube tube, An X-ray tube for electronic focusing improvement, comprising:
A plurality of metal wires extending from the outside of the stem portion to the inside of the tube tube and to which a predetermined negative high voltage is applied,
A filament connected between the metal wires extending inside the tube tube to emit thermoelectrons;
A first focusing tube for surrounding the filament to focus the thermoelectrons emitted from the filament,
And a shielding housing made of a conductive material to surround the outside of the tube tube,
Wherein the shielding housing is at the same voltage as a predetermined negative high voltage applied to the metal wire.
상기 튜브관 내측에 상기 제 1 집속관과 대향하는 방향으로 부설되되, 상기 X선 조사창 하부에 위치하여 상기 제 1 집속관에서 방출되어 상기 X선 조사창의 상기 타켓으로 향하는 상기 열전자를 재차 집속하기 위한 제 2 집속관을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자 집속 개선용 X선관.
The method according to claim 1,
Ray irradiating window; and a second converging tube which is disposed inside the tube tube in a direction opposite to the first focusing tube and is located below the X-ray irradiating window and is focused on the thermo- And a second focusing tube for improving the focusing of the electron beam.
상기 제 1 집속관은 상기 필라멘트를 내장하기 위한 중공이 형성되어 있는 형통형이며, 상기 제 1 집속관의 외주면은 상기 튜브관의 내벽과 소정 거리 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 집속 개선용 X선관.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the first focusing tube is a mold having a hollow for embedding the filament and the outer circumferential surface of the first focusing tube is spaced apart from the inner wall of the tube tube by a predetermined distance. .
상기 제 1 집속관은 상기 필라멘트를 내장하기 위한 중공이 형성되어 있고 상기 제 1 집속관의 외주면에 형성되는 차폐 날개부는 방사형으로 연장되어 상기 튜브관의 내벽과 접하며 상기 차폐 날개부에 의하여 상기 튜브관의 내부 공간은 상기 차폐 날개부의 상부 공간인 제 1 공간과 상기 차폐 날개부의 하부 공간인 제 2 공간으로 분리되는 것을 특징으로 하는 전자 집속 개선용 X선관.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the first focusing tube has a hollow for embedding the filament and the shielding blade formed on the outer circumferential surface of the first focusing tube extends radially and contacts the inner wall of the tube tube, Wherein the inner space of the shielding blade is divided into a first space which is an upper space of the shielding blade and a second space which is a lower space of the shielding blade.
상기 필라멘트는 상기 튜브관의 길이 방향에 대하여 직각인 수평 방향으로 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 전자 집속 개선용 X선관.
5. The method of claim 4,
Wherein the filament extends in a horizontal direction perpendicular to the longitudinal direction of the tube tube.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160141867A KR101844537B1 (en) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | X-ray tube for improving electron focusing |
| PCT/KR2017/002046 WO2018079946A1 (en) | 2016-10-28 | 2017-02-24 | X-ray tube for improving electron focusing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160141867A KR101844537B1 (en) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | X-ray tube for improving electron focusing |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101844537B1 true KR101844537B1 (en) | 2018-04-02 |
Family
ID=61976077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020160141867A KR101844537B1 (en) | 2016-10-28 | 2016-10-28 | X-ray tube for improving electron focusing |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101844537B1 (en) |
| WO (1) | WO2018079946A1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101985417B1 (en) * | 2018-05-23 | 2019-06-03 | (주)선재하이테크 | Reflection type X-ray tube |
| KR20200031795A (en) * | 2018-09-17 | 2020-03-25 | (주)선재하이테크 | Soft X-ray tube |
| WO2023027227A1 (en) * | 2021-08-24 | 2023-03-02 | 주식회사 네프 | System for inspecting defect in structure using x-rays, method for controlling x-ray output of inspection system, and method for calculating depth of defect |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20240339285A1 (en) * | 2023-04-06 | 2024-10-10 | GE Precision Healthcare LLC | X-ray cathode shield |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060093091A1 (en) | 2004-03-13 | 2006-05-04 | Lovoi Paul A | Extractor cup on a miniature x-ray tube |
| KR101439208B1 (en) | 2013-04-30 | 2014-09-12 | (주)선재하이테크 | X-ray tube structure |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101237545B1 (en) * | 2005-10-07 | 2013-02-26 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | X-ray tube and x-ray source including same |
| KR101151859B1 (en) * | 2010-03-26 | 2012-05-31 | 주식회사엑스엘 | X-ray Tube Having Non-evaporable Getter |
| JP5763032B2 (en) * | 2012-10-02 | 2015-08-12 | 双葉電子工業株式会社 | X-ray tube |
| KR20160058582A (en) * | 2014-11-17 | 2016-05-25 | 주식회사바텍 | X-ray source using nano electron emitter |
-
2016
- 2016-10-28 KR KR1020160141867A patent/KR101844537B1/en active IP Right Grant
-
2017
- 2017-02-24 WO PCT/KR2017/002046 patent/WO2018079946A1/en active Application Filing
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20060093091A1 (en) | 2004-03-13 | 2006-05-04 | Lovoi Paul A | Extractor cup on a miniature x-ray tube |
| KR101439208B1 (en) | 2013-04-30 | 2014-09-12 | (주)선재하이테크 | X-ray tube structure |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101985417B1 (en) * | 2018-05-23 | 2019-06-03 | (주)선재하이테크 | Reflection type X-ray tube |
| WO2019225814A1 (en) * | 2018-05-23 | 2019-11-28 | (주)선재하이테크 | Reflective x-ray tube |
| KR20200031795A (en) * | 2018-09-17 | 2020-03-25 | (주)선재하이테크 | Soft X-ray tube |
| KR102138020B1 (en) * | 2018-09-17 | 2020-07-27 | (주)선재하이테크 | Soft X-ray tube |
| WO2023027227A1 (en) * | 2021-08-24 | 2023-03-02 | 주식회사 네프 | System for inspecting defect in structure using x-rays, method for controlling x-ray output of inspection system, and method for calculating depth of defect |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2018079946A1 (en) | 2018-05-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4906176B2 (en) | Ionization chamber with electron source | |
| KR101844537B1 (en) | X-ray tube for improving electron focusing | |
| US7809114B2 (en) | Field emitter based electron source for multiple spot X-ray | |
| WO2010146833A1 (en) | Charged particle radiation device | |
| KR101439208B1 (en) | X-ray tube structure | |
| CN1961399A (en) | System for forming x-rays and method for using same | |
| JP2007095689A (en) | X-ray generator with cold electron source | |
| TW201346967A (en) | X-ray tube | |
| US10806018B2 (en) | Apparatus for generating accelerated electrons | |
| KR101221939B1 (en) | System for photo Ionizing with high efficiency | |
| KR101737399B1 (en) | Method for welding the stem onto the ceramic X-ray tube | |
| KR101776476B1 (en) | X-ray ionizer | |
| JP4839475B2 (en) | X-ray irradiation ionizer | |
| JP2005243331A (en) | X-ray tube | |
| TWI620470B (en) | X-ray tube for improving electron focusing | |
| US9263227B2 (en) | X-ray tube | |
| US20170250050A1 (en) | Robust Emitter For Minimizing Damage From Ion Bombardment | |
| KR20210021671A (en) | X-ray tube with extended radiation angle | |
| KR101178783B1 (en) | System for Photo Ionizer using the Soft X-ray | |
| KR102138020B1 (en) | Soft X-ray tube | |
| KR101537520B1 (en) | X-ray tube structure for multidirectional ionzing | |
| JP7137002B2 (en) | Electron source and charged particle beam device | |
| RU2524351C2 (en) | Pulsed x-ray tube | |
| KR20100030061A (en) | Low power x-ray tube and photo ionizer using the same | |
| US10147581B2 (en) | X-ray tube including hybrid electron emission source |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20161028 |
|
| PA0201 | Request for examination | ||
| PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20180102 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20180327 Patent event code: PR07011E01D |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20180328 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration | ||
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20210119 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20220126 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
| PC1903 | Unpaid annual fee |
Termination category: Default of registration fee Termination date: 20250107 |