KR101763121B1 - An Improved Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same - Google Patents
An Improved Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same Download PDFInfo
- Publication number
- KR101763121B1 KR101763121B1 KR1020160024661A KR20160024661A KR101763121B1 KR 101763121 B1 KR101763121 B1 KR 101763121B1 KR 1020160024661 A KR1020160024661 A KR 1020160024661A KR 20160024661 A KR20160024661 A KR 20160024661A KR 101763121 B1 KR101763121 B1 KR 101763121B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- indirect
- piston
- housing
- indirect liquid
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 489
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 192
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 31
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 3
- 239000002023 wood Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 6
- 239000003570 air Substances 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 2
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
- B05C11/1026—Valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
본 발명은 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 개시한다.
본 발명에 따른 약액 가압 장치는 간접액이 수용되는 간접액 챔버를 구비하는 제 2 하우징; 상기 제 2 하우징 내에 제공되며, 상기 간접액을 가압하기 위한 피스톤; 상기 피스톤의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징에 각각 연결되며, 상기 피스톤의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈; 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징 사이에 제 2 간접액 챔버를 형성하도록 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징; 상기 내부 하우징의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버와 상기 제 2 간접액 챔버 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로; 상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 1 간접액 흐름 조절 장치; 상기 피스톤과 연결되며, 상기 피스톤을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드; 및 상기 피스톤 로드와 연결되며, 상기 피스톤 로드를 구동하기 위한 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention discloses an improved chemical-liquid pressurizing apparatus and a chemical-liquid supplying apparatus having the same.
The chemical liquid pressurizing apparatus according to the present invention includes: a second housing having an indirect liquid chamber in which an indirect liquid is accommodated; A piston provided in the second housing for pressurizing the indirect fluid; A bellows connected to the outer side of the lower end of the piston and to the second housing, the bellows being elastically deformable in the axial direction of the piston; An inner housing provided between an outer surface of the piston and an inner surface of the second housing to form a second indirect liquid chamber between the outer surface of the piston and the second housing; An indirect liquid flow passage provided between an outer surface of the inner housing and an inner surface of the second housing, the indirect liquid flow passage being formed so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber and the second indirect liquid chamber; A first indirect liquid flow regulator provided in the indirect liquid flow passage for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage; A piston rod connected to the piston and axially moving the piston; And a driving member connected to the piston rod and driving the piston rod.
Description
본 발명은 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an improved chemical liquid pressurizing apparatus and a chemical liquid supply apparatus having the same.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 간접액을 피스톤과 벨로우즈에 의해 가압하되, 피스톤 전진 시 간접액의 압력 증가로 튜브의 체적을 감소시켜 튜브 내의 약액을 공급함과 동시에 피스톤과 벨로우즈 사이에 별도로 제공되는 간접액 흐름 조절 장치를 통해 피스톤 후진 시 벨로우즈 내부의 간접액을 간접액 챔버로 이동시켜 벨루우즈의 압축과 압력 상승을 방지하고, 또한 간접액 흐름 조절 장치를 이용하여 벨로우즈 내부의 간접액의 압력 및 속도를 조절하여 과압력으로 인한 부품의 수명 저하를 방지하여, 궁극적으로 약액 공급 장치의 응답성을 향상시킬 수 있는 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 관한 것이다.More specifically, the present invention relates to a method of controlling a pressure of an indirect fluid by a piston and a bellows, reducing the volume of the tube by increasing the pressure of the indirect fluid at the time of advancing the piston, The pressure and speed of the indirect fluid inside the bellows can be controlled by using the indirect fluid flow regulator to prevent the compression of the bellows and the pressure rise by moving the indirect fluid inside the bellows to the indirect fluid chamber when the piston moves back through the fluid flow control device. To an improved chemical liquid pressure device capable of ultimately improving the responsiveness of a chemical liquid supply device, and a chemical liquid supply device having the same.
일반적으로, 반도체 웨이퍼, 자기 디스크, 다층 배선기판, PDP, LCD, 또는 OLED를 제조하기 위해서는 글래스와 같은 기재 상에 포토 레지스트액, 스피니언 글라스액(Spinion glass solution), 폴리이미드 수지액(Polyimide solution), 순수(pure water), 현상액, 에칭액, 유기 용제, 및 도액(coating liquids) 등과 같은 화학 약액(이하 약액이라 함)을 공급하여야 한다. 이러한 약액을 공급하기 위한 다양한 약액 공급 장치가 사용된다.Generally, in order to manufacture a semiconductor wafer, a magnetic disk, a multilayer wiring board, a PDP, an LCD, or an OLED, a photoresist solution, a spinion glass solution, a polyimide solution ), Pure water, developer, etchant, organic solvent, and coating liquids (hereinafter referred to as "chemical liquid"). Various chemical liquid supply devices for supplying such chemical liquids are used.
상술한 종래 기술의 약액 펌핑 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치의 하나가 2001년 12월 12일자로 약액공급 장치라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원번호 제10-2001-0078429호 출원되어, 2003년 6월 25일자로 공개된 대한민국 공개특허 제10-2003-0048515호(이하 종래 기술1이라 함)에 구체적으로 예시되어 있다.One of the chemical liquid pumping apparatus and the chemical liquid supply apparatus having the chemical liquid pumping apparatus described above was filed in Korean Patent Application No. 10-2001-0078429 under the name of invention as a chemical liquid supply apparatus as of December 12, Korean Patent Laid-Open No. 10-2003-0048515 (hereinafter referred to as "
도 1은 종래 기술1의 약액 공급 장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a chemical liquid supply apparatus of the
도 1을 참조하면, 종래 기술1의 약액 공급 장치(100)는 구동 펌프(11)와 펌프 구동부(12)를 구비한다. 구동 펌프(11)는 탄성부재에 의해 형성되어 직경 방향으로 탄성팽창 수축이 가능한 가요성 튜브(13), 및 가요성 튜브(13) 외측에 배치되며, 탄성부재에 의해 형성되고, 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈(14)를 구비하고 있다. 가요성 튜브(13)의 양쪽 단부에는 어댑터부(15,16)가 부착되고, 일측 어댑터부(15)에는 공급 유로(17)가 접속되고, 이 공급 유로(17)는 약액을 수용하는 약액 탱크(18)에 접속되어 있다. 타측 어댑터부(16)에는 토출 유로(19)가 접속되고, 이 토출 유로(19)는 약액을 토출 및 도포하는 노즐 장치(20)에 접속되어 있다. 공급 유로(17)에는 공급 유로(17)를 개폐하기 위한 공급측 개폐밸브(21)가 설치되며, 토출 유로(19)에는 토출 유로(19)를 개폐하기 위한 토출측 개폐밸브(22)가 설치되어 있다. 각각의 개폐밸브(21, 22)로서 전기신호에 의해 작동하는 솔레노이드 밸브, 공기압에 의해 작동하는 에어 동작 밸브(air operate valve) 또는 체크 밸브(check valves)가 사용될 수 있다.Referring to FIG. 1, the chemical
한편, 벨로우즈(14)는 축방향 중앙부의 작동 디스크부(23), 작동 디스크부(23)에 일체로 형성되며 제 1 유효직경(d)을 갖는 소형 벨로우즈부(24), 상기 작동 디스크부(23)를 통하여 상기 소형 벨로우즈부(24)와 일체로 형성되고, 소형 벨로우즈부(24)의 유효직경(d) 보다도 큰 내경의 제 2 유효직경(D)을 갖는 대형 벨로우즈부(25)를 구비한다. 즉, 대형 벨로우즈부(25)는 소형 벨로우즈부(24) 보다 큰 단면적을 갖는다. 여기서, 제 1 및 제 2 유효직경(d,D)은 소형 벨로우즈부(24)와 대형 벨로우즈부(25)의 팽창 및 수축 시에 각각의 벨로우즈(24, 25)의 평균 내경을 의미한다. 가요성 튜브(13)와 벨로우즈(14) 사이의 공간이 펌프실(42)을 구성하며, 이 펌프실(42) 내에는 액체 등의 비압축성매체인 간접액(43)이 충전되어 있다. 따라서, 벨로우즈(14)를 중앙 부분의 작동 디스크부(23)에서 축방향으로 탄성 변형하면, 벨로우즈(14)의 전체 길이는 변하지 않으며, 소형 벨로우즈부(24)와 대형 벨로우즈부(25)의 내측 체적이 변화하게 된다. 이러한 방식으로 간접액(43)을 통해 가요성 튜브(13)가 직경방향으로 팽창 또는 수축함으로써 가요성 튜브(13)는 펌프 동작을 하게 된다.On the other hand, the
그러나, 상술한 종래 기술의 약액 공급 장치(100)는 1) 압력 변화에 따른 가요성 튜브(13)의 체적 변화량을 정밀하게 제어하는 것이 어려워 약액의 정밀한 정량 도포가 어렵고, 2) 수지 재질의 벨로우즈(14)는 좌우 평탄도를 매우 정밀하게 조정하기 위해 장시간의 설치 시간이 요구되며, 3) 구조가 복잡하고, 4) 약액의 공급시 약액의 가요성 튜브(13) 내에서의 이동 속도가 일정하지 않아 바람직하지 않은 리플(ripples) 및 그에 따른 기포가 발생할 가능성이 높으며, 5) 약액 공급 장치(100)의 유지 보수가 복잡하고, 시간이 많이 걸리며, 6) 수명으로 짧다는 등의 문제점을 갖는다.However, it is difficult to precisely control the amount of change in the volume of the
상술한 문제점을 해결하기 위한 방안의 하나가 2011년 4월 20일자에 약액 공급 장치라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제10-2011-0036605호로 출원되어, 2011년 10월 26일자로 대한민국 공개특허 제10-2011-0117023호(이하 종래기술2라 함)에 상세히 개시되어 있다.One of the measures for solving the above-mentioned problems was filed as Korean Patent Application No. 10-2011-0036605 under the name of invention as a chemical liquid supply device on Apr. 20, 2011, 10-2011-0117023 (hereinafter referred to as "
좀 더 구체적으로, 도 2는 종래 기술2에 따른 약액 공급 장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the chemical liquid supply apparatus according to the
도 2를 참조하면, 종래 기술2에 따른 약액 공급 장치(10a)는 하나의 구동 펌프(11)와 하나의 약액 펌프(12)를 포함하여 구성된다. 구동 펌프(11)는 구동 하우징(13a)을 가지며, 약액 펌프(12)는 약액 하우징(13b)을 가진다. 2개의 하우징들(13a 및 13b)이 일체화되어 하우징 부재(13)를 만들고, 하우징 부재(13)는 구동 유닛(14)에 부착된다. 원통형 수용공(15)이 구동 하우징(13a) 내측에 형성되고, 구동 하우징(13a)의 일단부(an end portion)는 폐쇄벽(blockage wall)(16)에 의해 폐쇄된 폐쇄 단부(blockage end)이며, 구동 하우징(13a)의 다른 단부에는 개구부(17)가 형성된다. 구동 로드(18)가 구동 하우징(13a) 내측에 선형으로 왕복 운동 가능하게 설치되고, 구동 유닛(14)에 설치된 구동 장치(미도시)에 의해 왕복 운동을 한다.Referring to FIG. 2, the chemical
구동 하우징(13a) 내에 설치되는 것은 펌프 부재인 벨로우즈(21)이다. 벨로우즈(21)에서, 구동 로드(18)가 축 방향으로 왕복 운동을 할 때, 말단 플레이트부(23)는 구동 로드(18)와 함께 축 방향으로 이동되고, 아코디언 형상부(22)는 축방향으로 탄성 변형된다. 연통 챔버(25)가 구동 하우징(13a)의 수용공(15)의 내주면과 벨로우즈(21) 사이에 형성된다. 벨로우즈(21)의 내부는 구동 유닛(14)에 형성된 배기공(escape hole: 미도시)을 통해 외부와 연통하고, 외기(ambient air)가 구동 로드(18)의 왕복 운동에 따라 벨로우즈(21) 내부로 유입되며, 그와 동시에, 벨로우즈(21) 내부의 공기가 외부로 배출된다. 벨로우즈(21)의 말단 플레이트부(23)와 폐쇄벽(16) 사이는 구동 펌프(11)의 펌프 챔버(26)의 역할을 하고, 간접액의 유입과 유출이 펌프 챔버(26)와 연통 챔버(25) 사이에서 일어난다. 구동 로드(18)가 전진 이동될 때, 펌프 챔버(26)가 수축하고, 펌프 챔버(26) 내측의 간접액이 구동 하우징(13a)의 외부로 토출된다. 한편, 구동 로드(18)가 후퇴 이동될 때, 펌프 챔버(26)가 팽창하고, 간접액이 외부로부터 펌프 챔버(26) 내부로 흡입된다.What is installed in the
그러나, 상술한 종래 기술2에서는 1) 매우 복잡한 구조가 사용되어야 하고, 2) 간접액의 공급 시 스틱 슬립(섭동) 현상이 발생하여 간접액의 미세 토출 및 정량 토출이 어려우며, 3) 간접액의 공급량의 정량/정속 편차가 발생하고, 또한 빠른 압력 응답 특성을 얻기 어렵고, 4) 수명이 짧다는 등의 문제가 발생한다.However, in the above-described
따라서, 상술한 종래 기술들의 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.Therefore, there is a need for a new method for solving the problems of the above-described conventional techniques.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 간접액을 피스톤과 벨로우즈에 의해 가압하되, 피스톤 전진 시 간접액의 압력 증가로 튜브의 체적을 감소시켜 튜브 내의 약액을 공급함과 동시에 피스톤과 벨로우즈 사이에 별도로 제공되는 간접액 흐름 조절 장치를 통해 피스톤 후진 시 벨로우즈 내부의 간접액을 간접액 챔버로 이동시켜 벨루우즈의 압축과 압력 상승을 방지하고, 또한 간접액 흐름 조절 장치를 이용하여 벨로우즈 내부의 간접액의 압력 및 속도를 조절하여 과압력으로 인한 부품의 수명 저하를 방지하여, 궁극적으로 약액 공급 장치의 응답성을 향상시킬 수 있는 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the problems of the prior art described above, and it is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for reducing the volume of a tube by increasing the pressure of an indirect fluid during a piston advance, Through the indirect fluid flow regulator provided separately between the bellows, the indirect fluid inside the bellows is moved to the indirect fluid chamber when the piston is moved backward to prevent the compression of the bellows and the pressure rise. Also, by using the indirect fluid flow control device, To provide an improved chemical liquid pressure device capable of ultimately improving the responsiveness of the chemical liquid supply device by controlling the pressure and speed of the indirect liquid of the chemical liquid supply device .
본 발명의 제 1 특징에 따른 약액 가압 장치는 간접액이 수용되는 간접액 챔버를 구비하는 제 2 하우징; 상기 제 2 하우징 내에 제공되며, 상기 간접액을 가압하기 위한 피스톤; 상기 피스톤의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징에 각각 연결되며, 상기 피스톤의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈; 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징 사이에 제 2 간접액 챔버를 형성하도록 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징; 상기 내부 하우징의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버와 상기 제 2 간접액 챔버 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로; 상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 1 간접액 흐름 조절 장치; 상기 피스톤과 연결되며, 상기 피스톤을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드; 및 상기 피스톤 로드와 연결되며, 상기 피스톤 로드를 구동하기 위한 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.A chemical liquid pressurizing apparatus according to a first aspect of the present invention includes: a second housing having an indirect liquid chamber in which an indirect liquid is accommodated; A piston provided in the second housing for pressurizing the indirect fluid; A bellows connected to the outer side of the lower end of the piston and to the second housing, the bellows being elastically deformable in the axial direction of the piston; An inner housing provided between an outer surface of the piston and an inner surface of the second housing to form a second indirect liquid chamber between the outer surface of the piston and the second housing; An indirect liquid flow passage provided between an outer surface of the inner housing and an inner surface of the second housing, the indirect liquid flow passage being formed so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber and the second indirect liquid chamber; A first indirect liquid flow regulator provided in the indirect liquid flow passage for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage; A piston rod connected to the piston and axially moving the piston; And a driving member connected to the piston rod and driving the piston rod.
본 발명의 제 2 특징에 따른 약액 가압 장치는 간접액이 수용되는 간접액 챔버를 구비하는 제 2 하우징; 상기 제 2 하우징 내에 제공되며, 상기 간접액을 가압하기 위한 피스톤; 상기 피스톤의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징에 각각 연결되며, 상기 피스톤의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈; 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징 사이에 제 2 간접액 챔버를 형성하도록 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징; 상기 내부 하우징의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버와 상기 제 2 간접액 챔버 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로; 상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 2 간접액 흐름 조절 장치; 상기 피스톤과 연결되며, 상기 피스톤을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드; 및 상기 피스톤 로드와 연결되며, 상기 피스톤 로드를 구동하기 위한 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.A chemical liquid pressurizing apparatus according to a second aspect of the present invention includes: a second housing having an indirect liquid chamber in which an indirect liquid is accommodated; A piston provided in the second housing for pressurizing the indirect fluid; A bellows connected to the outer side of the lower end of the piston and to the second housing, the bellows being elastically deformable in the axial direction of the piston; An inner housing provided between an outer surface of the piston and an inner surface of the second housing to form a second indirect liquid chamber between the outer surface of the piston and the second housing; An indirect liquid flow passage provided between an outer surface of the inner housing and an inner surface of the second housing, the indirect liquid flow passage being formed so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber and the second indirect liquid chamber; A second indirect liquid flow regulator provided in the indirect liquid flow passage for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage; A piston rod connected to the piston and axially moving the piston; And a driving member connected to the piston rod and driving the piston rod.
본 발명의 제 3 특징에 따른 약액 공급 장치는 내부에 가압 챔버를 구비하는 제 1 하우징; 상기 제 1 하우징의 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 유입구; 상기 제 1 하우징의 타측에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구; 상기 가압 챔버 내에 제공되며, 상기 약액이 공급되는 튜브; 간접액이 수용되는 간접액 챔버를 구비하는 제 2 하우징; 상기 피스톤의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징에 각각 연결되며, 상기 피스톤의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈; 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징 사이에 제 2 간접액 챔버를 형성하도록 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징; 상기 내부 하우징의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버와 상기 제 2 간접액 챔버 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로; 상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 1 간접액 흐름 조절 장치; 상기 피스톤과 연결되며, 상기 피스톤을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드; 및 상기 피스톤 로드와 연결되며, 상기 피스톤 로드를 구동하기 위한 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a chemical liquid supply apparatus including: a first housing having a pressurizing chamber therein; A chemical liquid inlet provided at one side of the first housing and connected to a chemical liquid tank for containing the chemical liquid; A chemical solution discharge port provided on the other side of the first housing and connected to a nozzle device for discharging and applying the chemical solution; A tube provided in the pressurizing chamber and supplied with the chemical liquid; A second housing having an indirect liquid chamber in which the indirect liquid is accommodated; A bellows connected to the outer side of the lower end of the piston and to the second housing, the bellows being elastically deformable in the axial direction of the piston; An inner housing provided between an outer surface of the piston and an inner surface of the second housing to form a second indirect liquid chamber between the outer surface of the piston and the second housing; An indirect liquid flow passage provided between an outer surface of the inner housing and an inner surface of the second housing, the indirect liquid flow passage being formed so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber and the second indirect liquid chamber; A first indirect liquid flow regulator provided in the indirect liquid flow passage for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage; A piston rod connected to the piston and axially moving the piston; And a driving member connected to the piston rod and driving the piston rod.
본 발명의 제 4 특징에 따른 약액 공급 장치는 내부에 가압 챔버를 구비하는 제 1 하우징; 상기 제 1 하우징의 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 유입구; 상기 제 1 하우징의 타측에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구; 상기 가압 챔버 내에 제공되며, 상기 약액이 공급되는 튜브; 간접액이 수용되는 간접액 챔버를 구비하는 제 2 하우징; 상기 피스톤의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징에 각각 연결되며, 상기 피스톤의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈; 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징 사이에 제 2 간접액 챔버를 형성하도록 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징; 상기 내부 하우징의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버와 상기 제 2 간접액 챔버 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로; 상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 2 간접액 흐름 조절 장치; 상기 피스톤과 연결되며, 상기 피스톤을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드; 및 상기 피스톤 로드와 연결되며, 상기 피스톤 로드를 구동하기 위한 구동 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a chemical liquid supply apparatus comprising: a first housing having a pressurizing chamber therein; A chemical liquid inlet provided at one side of the first housing and connected to a chemical liquid tank for containing the chemical liquid; A chemical solution discharge port provided on the other side of the first housing and connected to a nozzle device for discharging and applying the chemical solution; A tube provided in the pressurizing chamber and supplied with the chemical liquid; A second housing having an indirect liquid chamber in which the indirect liquid is accommodated; A bellows connected to the outer side of the lower end of the piston and to the second housing, the bellows being elastically deformable in the axial direction of the piston; An inner housing provided between an outer surface of the piston and an inner surface of the second housing to form a second indirect liquid chamber between the outer surface of the piston and the second housing; An indirect liquid flow passage provided between an outer surface of the inner housing and an inner surface of the second housing, the indirect liquid flow passage being formed so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber and the second indirect liquid chamber; A second indirect liquid flow regulator provided in the indirect liquid flow passage for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage; A piston rod connected to the piston and axially moving the piston; And a driving member connected to the piston rod and driving the piston rod.
본 발명에 따른 개선된 약액 가압 장치, 및 이를 구비한 약액 공급 장치를 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.INDUSTRIAL APPLICABILITY The following advantages are achieved by using the improved chemical liquid pressure device and the chemical liquid supply device having the same according to the present invention.
1. 간접액 흐름 조절 장치의 사용에 의해 벨루우즈의 압축과 압력 상승이 방지된다.1. The compression of the bellows and the pressure rise are prevented by the use of the indirect fluid flow control device.
2. 벨로우즈 내부의 간접액의 압력 및 속도의 조절이 가능하여 과압력 발생이 방지된다.2. It is possible to adjust the pressure and speed of the indirect fluid inside the bellows, thus preventing overpressure.
3. 약액 공급 장치를 구성하는 부품의 수명 저하가 방지된다.3. It is possible to prevent deterioration of the service life of parts constituting the chemical liquid supply device.
4. 약액 공급 장치의 응답성이 크게 향상된다.4. The response of the chemical liquid supply device is greatly improved.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.
도 1은 종래 기술1의 약액 공급 장치의 단면도이다.
도 2는 종래 기술2에 따른 약액 공급 장치의 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 펌핑용 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치의 개략적인 단면도이다.
도 3b는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 적용될 수 있는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치의 단면도 및 상기 제 1 간접액 흐름 조절 장치가 폐쇄된 경우의 부분 상세 도면이다.
도 3c는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 적용될 수 있는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치의 단면도 및 상기 제 1 간접액 흐름 조절 장치가 개방된 경우의 부분 상세 도면이다.
도 3d는 도 3a 내지 도 3c에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에서 제 1 간접액 흐름 조절 장치의 구비 유무에 따른 압력 분포를 도시한 그래프이다.
도 3e는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 적용될 수 있는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치의 단면도 및 상기 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 폐쇄된 경우의 부분 상세 도면이다.
도 3f는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 적용될 수 있는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치의 단면도 및 상기 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 개방된 경우의 부분 상세 도면이다.
도 3g 및 도 3h는 도 3e 및 도 3f에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치에서 발생하는 압력 차이에 따른 피스톤의 원점 위치 조정 방법을 설명하기 위한 도면이다.1 is a cross-sectional view of a chemical liquid supply apparatus of the
2 is a cross-sectional view of the chemical liquid supply device according to the
FIG. 3A is a schematic cross-sectional view of a pressurizing device for pumping a drug solution and a drug solution supply device having the pressurizing device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3B is a schematic view of a chemical liquid pressurizing apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 3A, and a chemical liquid supply apparatus having the chemical liquid pressurizing apparatus according to the present invention, Sectional view of the pressurizing device and a partial detail view of the case where the first indirect liquid flow regulating device is closed.
FIG. 3c is a schematic diagram of a chemical liquid pressurizing apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 3a, and a chemical liquid supply apparatus having the chemical liquid pressurizing apparatus according to the present invention, Sectional view of the pressurizing device and a partial detail view when the first indirect liquid flow regulating device is opened.
FIG. 3D is a graph showing the pressure distribution depending on the presence or absence of the first indirect liquid flow control device in the chemical liquid pressurizing device and the chemical liquid feeder having the chemical liquid pressurizing device according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 3A to FIG. 3C.
FIG. 3E is a schematic view of a chemical liquid pressurizing apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 3A, and a chemical liquid supply apparatus having the chemical liquid pressurizing apparatus according to the present invention, A cross-sectional view of the pressurizing device, and a partial detail view when the second indirect liquid flow regulating device is closed.
FIG. 3F is a schematic diagram of a chemical liquid pressurizing apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 3A, and a chemical liquid supply apparatus having the chemical liquid pressurizing apparatus according to the second embodiment of the present invention, Sectional view of the pressurizing device and a partial detail view of the second indirect liquid flow regulating device when the second indirect liquid flow regulating device is opened.
FIGS. 3G and 3H are views showing a method of adjusting the origin position of the piston according to the pressure difference occurring in the chemical liquid pressure applying device provided with the second indirect liquid flow adjusting device according to the second embodiment of the present invention shown in FIGS. 3E and 3F Fig.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 기술한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to embodiments and drawings of the present invention.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 펌핑용 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치의 개략적인 단면도이고, 도 3b는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 적용될 수 있는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치의 단면도 및 상기 제 1 간접액 흐름 조절 장치가 폐쇄된 경우의 부분 상세 도면이며, 도 3c는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 적용될 수 있는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치의 단면도 및 상기 제 1 간접액 흐름 조절 장치가 개방된 경우의 부분 상세 도면이고, 도 3d는 도 3a 내지 도 3c에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에서 제 1 간접액 흐름 조절 장치의 구비 유무에 따른 압력 분포를 도시한 그래프이다.FIG. 3A is a schematic cross-sectional view of a pressurizing device for pumping a chemical liquid according to an embodiment of the present invention and a chemical liquid supply device having the pressurizing device, and FIG. 3B is a cross-sectional view of the chemical liquid pressurizing device according to an embodiment of the present invention shown in FIG. Sectional view of a chemical liquid pressure device having a first indirect liquid flow control device according to a first embodiment of the present invention which can be applied to a chemical liquid supply device provided therein and a partial detail drawing when the first indirect liquid flow control device is closed And FIG. 3C is a schematic diagram illustrating a first indirect fluid flow control device according to a first embodiment of the present invention, which can be applied to the chemical fluid pressure device and the chemical liquid supply device having the chemical fluid pressure device according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 3A FIG. 3B is a cross-sectional view of the chemical liquid pressure applying device according to the embodiment of the present invention shown in FIGS. 3A to 3C, and FIG. 3D is a partial detail view when the first indirect liquid flow adjusting device is opened. Pressure apparatus and is a graph showing the pressure distribution in the liquid supply device according to
도 3a 내지 도 3d를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 가압 장치(301)는 간접액이 수용되는 간접액 챔버(333)를 구비하는 제 2 하우징(335); 상기 제 2 하우징(335) 내에 제공되며, 상기 간접액을 가압하기 위한 피스톤(336); 상기 피스톤(336)의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징(335)에 각각 연결되며, 상기 피스톤(336)의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈(334); 상기 피스톤(336)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335) 사이에 제 2 간접액 챔버(333a)를 형성하도록 상기 피스톤(336)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징(335a); 상기 내부 하우징(335a)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버(333)와 상기 제 2 간접액 챔버(333a) 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로(333b); 상기 간접액 흐름 통로(333b) 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로(333b)를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 1 간접액 흐름 조절 장치(350); 상기 피스톤(336)과 연결되며, 상기 피스톤(336)을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드(338); 및 상기 피스톤 로드(338)와 연결되며, 상기 피스톤 로드(338)를 구동하기 위한 구동 부재(340)를 포함한다.Referring to FIGS. 3A to 3D, a chemical liquid pressurizing apparatus 301 according to a first embodiment of the present invention includes a second housing 335 having an indirect liquid chamber 333 in which indirect liquid is accommodated; A piston (336) provided in the second housing (335) for pressurizing the indirect fluid; A bellows 334 connected to the outer side of the lower end of the piston 336 and to the second housing 335 and elastically deformable in the axial direction of the piston 336; Between the outer surface of the piston 336 and the inner surface of the second housing 335 so as to form a second indirect liquid chamber 333a between the outer surface of the piston 336 and the second housing 335, An inner housing 335a provided; Is provided between the outer surface of the inner housing 335a and the inner surface of the second housing 335 so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber 333 and the second indirect liquid chamber 333a An indirect liquid flow passage 333b formed therein; A first indirect liquid flow control device (350) provided in the indirect liquid flow passage (333b) for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage (333b); A piston rod (338) connected to the piston (336) for moving the piston (336) in the axial direction; And a driving member 340 connected to the piston rod 338 and driving the piston rod 338.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(300)는 내부에 가압 챔버(305)를 구비하는 제 1 하우징(304); 상기 제 1 하우징(304)의 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크(미도시)에 연결되는 약액 유입구(310); 상기 제 1 하우징(304)의 타측에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치(미도시)에 연결되는 약액 토출구(319); 상기 가압 챔버(305) 내에 제공되며, 상기 약액이 공급되는 튜브(306); 간접액이 수용되는 간접액 챔버(333)를 구비하는 제 2 하우징(335); 상기 제 2 하우징(335) 내에 제공되며, 상기 간접액을 가압하기 위한 피스톤(336); 상기 피스톤(336)의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징(335)에 각각 연결되며, 상기 피스톤(336)의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈(334); 상기 피스톤(336)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335) 사이에 제 2 간접액 챔버(333a)를 형성하도록 상기 피스톤(336)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징(335a); 상기 내부 하우징(335a)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버(333)와 상기 제 2 간접액 챔버(333a) 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로(333b); 상기 간접액 흐름 통로(333b) 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로(333b)를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 1 간접액 흐름 조절 장치(350); 상기 피스톤(336)과 연결되며, 상기 피스톤(336)을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드(338); 및 상기 피스톤 로드(338)와 연결되며, 상기 피스톤 로드(338)를 구동하기 위한 구동 부재(340)를 포함한다.In addition, the chemical liquid supply apparatus 300 according to an embodiment of the present invention includes a first housing 304 having a pressurizing chamber 305 therein; A chemical liquid inlet 310 provided at one side of the first housing 304 and connected to a chemical liquid tank (not shown) for containing the chemical liquid; A chemical solution discharge port (319) provided on the other side of the first housing (304) and connected to a nozzle device (not shown) for discharging and applying the chemical solution; A tube (306) provided in the pressurization chamber (305) and supplied with the chemical liquid; A second housing (335) having an indirect liquid chamber (333) in which indirect liquid is accommodated; A piston (336) provided in the second housing (335) for pressurizing the indirect fluid; A bellows 334 connected to the outer side of the lower end of the piston 336 and to the second housing 335 and elastically deformable in the axial direction of the piston 336; Between the outer surface of the piston 336 and the inner surface of the second housing 335 so as to form a second indirect liquid chamber 333a between the outer surface of the piston 336 and the second housing 335, An inner housing 335a provided; Is provided between the outer surface of the inner housing 335a and the inner surface of the second housing 335 so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber 333 and the second indirect liquid chamber 333a An indirect liquid flow passage 333b formed therein; A first indirect liquid flow control device (350) provided in the indirect liquid flow passage (333b) for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage (333b); A piston rod (338) connected to the piston (336) for moving the piston (336) in the axial direction; And a driving member 340 connected to the piston rod 338 and driving the piston rod 338.
이하에서는 약액 펌핑용 가압 장치(301) 및 이를 구비한 약액 공급 장치(300)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, specific configurations and operations of the
다시 도 3a 내지 도 3d를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 공급 장치(300)는 내부에 가압 챔버(305)를 구비하는 제 1 하우징(304)을 구비한다. 제 1 하우징(304)의 일측에는 약액 유입구(310)가 제공되고, 타측에는 약액 토출구(319)가 제공된다. 약액 유입구(310)는 약액을 수용하는 약액 탱크(미도시)와 연결되어 있으며, 약액 유입구(310)와 약액 탱크 사이에는 약액 유입구(310)를 개폐하기 위한 제 1 개폐밸브(321)가 제공된다. 또한, 약액 토출구(319)는 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치(미도시)와 연결되어 있으며, 약액 토출구(319)와 노즐 장치 사이에는 약액 토출구(319)를 개폐하기 위한 제 2 개폐밸브(322)가 제공된다. 상술한 제 1 및 제 2 개폐밸브(321,322)는 선택 사양으로 반드시 사용되어야 하는 것은 아니다. 또한, 제 1 및 제 2 개폐밸브(321,322)는 각각 전기신호에 의해 작동하는 솔레노이드 밸브, 공기압에 의해 작동하는 에어 동작 밸브(air operate valve) 또는 체크 밸브(check valves)로 구현될 수 있다.Referring again to FIGS. 3A to 3D, the chemical
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 공급 장치(300)는 제 1 하우징(304)의 가압 챔버(305) 내에 제공되는 튜브(306)를 구비한다. 튜브(306)는 약액이 공급되는 통로로 후술하는 바와 같이 약액 가압 장치(301)에 의한 간접액의 가압 및 감압 동작에 의해 탄성 변형될 수 있다.The chemical
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 공급 장치(300)는 약액 가압 장치(301)를 포함한다. 이러한 약액 가압 장치(301)는 간접액이 수용되는 간접액 챔버(333)를 구비하는 제 2 하우징(335)을 포함한다. 제 2 하우징(335) 및 간접액 챔버(333)는 각각 별개로 제공되어 결합되거나 또는 일체형으로 구현될 수 있다. 가압 챔버(305)와 간접액 챔버(333)는 연결부재(332)에 의해 서로 유체연통되도록 연결된다.Further, the chemical
또한, 제 2 하우징(335) 내에 제공되는 피스톤(336)은 간접액을 가압할 수 있다. 피스톤(336)의 하단부 외측에는 벨로우즈(334)의 일측이 연결되어 있고, 제 2 하우징(335)의 내측에는 벨로우즈(334)의 타측이 연결되어 있다. 피스톤(336)에는 피스톤 로드(338)가 연결되어 있으며, 피스톤 로드(338)는 또한 구동 부재(340)와 연결되어 있다. 구동 부재(340)의 구동력에 의해 피스톤 로드(338) 및 피스톤 로드(338)와 연결된 피스톤(336)이 제 2 하우징(335) 내에서 축방향(전진 방향 및 후진 방향)으로 이동될 수 있다. 그에 따라, 벨로우즈(334)도 탄성변형 가능하게 피스톤(336)의 축방향을 따라 이동될 수 있다.Further, the
상술한 본 발명의 제 1 실시예 따른 약액 공급 장치(300)의 약액 가압 장치(301)는 도 3c 및 도 3d에 도시된 바와 같이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1 간접액 흐름 조절 장치(350)를 포함한다. 이를 위해, 약액 가압 장치(301)는 피스톤(336)의 외측면과 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징(335a)을 포함한다. 이러한 내부 하우징(335a)은 피스톤(336)의 외측면과 제 2 하우징(335) 사이에 제 2 간접액 챔버(333a)를 형성한다. 또한, 내부 하우징(335a)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에는 간접액 흐름 통로(333b)가 제공되어, 간접액 챔버(333)와 상기 제 2 간접액 챔버(333a) 사이에서 간접액이 이동될 수 있다. 이러한 간접액 흐름 통로(333b)를 통한 간접액의 이동은 간접액 흐름 통로(333b) 내에 제공되는 제 1 간접액 흐름 조절 장치(350)에 의해 제어된다.3C and 3D, the chemical
좀 더 구체적으로, 도 3a 내지 도 3c를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 가압 장치(301)에서, 피스톤(336)이 전진 이동하는 경우(도 3b의 경우), 피스톤(336)이 간접액 챔버(333) 내의 간접액을 가압하여 연결부재(332)를 통해 가압 챔버(305) 내로 이동시킨다. 그에 따라, 튜브(306) 내의 약액이 간접액에 의해 가압되어 약액 토출구(319)를 통해 노즐 장치(미도시)로 공급된다. 그 후, 피스톤(336)이 후진 이동하는 경우(도 3c의 경우), 간접액이 연결부재(332)를 통해 가압 챔버(305)로부터 간접액 챔버(333) 내로 이동하고, 약액 탱크(미도시)에 연결되는 약액 유입구(310)를 통해 약액이 튜브(306) 내로 유입된다. 그 후, 피스톤(336)의 전진 이동 및 후진 이동에 따라 상술한 동작이 반복된다.3A to 3C, in the chemical
상술한 바와 같은 피스톤(336)과 벨로우즈(334)를 이용하여 간접액의 가압 및 감압 동작에 따라 간접액이 가압 챔버(305)와 간접액 챔버(333) 사이에서 이동하여 튜브(306) 내의 약액 펌핑 동작을 수행하게 된다.The indirect liquid moves between the pressurizing
그러나, 피스톤(336)과 벨로우즈(334)를 이용한 간접액의 가압 및 감압 동작이 지속적으로 수행되는 경우, 피스톤(336)과 제 2 하우징(335)/내부 하우징(335a) 사이에 제공되는 실링 부재(337)가 마모된다. 그에 따라, 피스톤(336)이 전진 이동하여 간접액 챔버(333) 내의 간접액을 가압하는 경우, 간접액 챔버(333) 내의 간접액의 일부가 제 2 간접액 챔버(333a) 내로 이동하게 된다. 제 2 간접액 챔버(333a) 내로 이동한 간접액은 벨로우즈(334)를 가압하여 압축 및 압력 상승을 일으키고, 그에 따라 벨로우즈(334)와 피스톤(336) 사이의 간접액의 압력 및 속도의 변형에 따른 과압력이 발생한다. 이러한 벨로우즈(334)의 과압력으로 인하여 간접액의 가압 시 도 3d에 도시된 바와 같이, 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1)이 정상 압력을 유지하다가 시간이 경과되면서 압력 저하가 발생한다. 그에 따라, 본 발명의 실시예 따른 약액 공급 장치(300)의 약액 가압 장치(301)를 지속적으로 사용할 경우, 약액 토출 시 정량 및 정속 편차가 발생하여, 약액의 정밀한 토출이 어려워질 뿐만 아니라, 벨로우즈(334)를 포함한 부품의 수명이 단축될 수 있다.However, when the operation of depressurizing and depressurizing the indirect liquid using the
상술한 문제점은 도 3c 및 도 3d에 도시된 바와 같이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제 1 간접액 흐름 조절 장치(350)에 의해 개선되거나 해결될 수 있다.The above-mentioned problem can be solved or solved by the first indirect liquid
좀 더 구체적으로, 다시 도 3a 내지 도 3c를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 가압 장치(301)에서도, 피스톤(336)과 벨로우즈(334)의 지속적인 사용에 따라 실링 부재(337)가 마모되어, 간접액 챔버(333) 내의 간접액의 일부가 제 2 간접액 챔버(333a) 내로 이동하게 된다(도 3b 참조). 그러나, 이 경우 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 가압 장치(301)에 사용되는 제 1 간접액 흐름 조절 장치(350)에 의해 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 간접액을 간접액 챔버(333) 내로 이동시킴으로써, 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1)이 도 3d에 도시된 바와 같은 정상 압력을 유지하도록 해준다.3A and 3C, the chemical
상기 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 가압 장치(301)에 사용되는 제 1 간접액 흐름 조절 장치(350)는 간접액 흐름 통로(333b) 내에 고정 방식으로 장착되는 탄성 부재(352), 및 상기 탄성 부재(352)와 접촉하여 이동 가능하게 제공되는 가동 부재(354)로 구성된다. 여기서, 탄성 부재(352)는 스프링으로 구현되고, 가동 부재(354)는 금속제 구체(spherical body)로 구현되는 것이 바람직하지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 가동 부재(354)는 직육면체, 정육면체, 원추체, 다면체 등의 형상을 구비한 금속 재질, 나무 재질, 플라스틱 재질을 포함한 다양한 재질로 구현될 수 있다는 점에 유의하여야 한다.The first indirect liquid
상술한 제 1 간접액 흐름 조절 장치(350)는, 예를 들어, 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2)이 소정 압력 값(예를 들어, 5Kpa)을 초과하면, 탄성 부재(352)에 의해 제공되는 탄성력을 초과하게 되어, 탄성 부재(352)를 압축한다. 그 결과, 가동 부재(354)는 간접액 흐름 통로(333b)가 개방되도록 이동되어(도 3c의 경우), 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 간접액이 간접액 흐름 통로(333b)를 통해 간접액 챔버(333) 내로 이동하게 된다. 이러한 간접액의 이동은 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2)이 탄성 부재(352)에 의해 제공되는 탄성력 이하가 될 때까지 계속된다. 그 후, 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2)이 탄성 부재(352)에 의해 제공되는 탄성력 이하가 되면, 탄성 부재(352)의 탄성력이 가동 부재(354)를 간접액 흐름 통로(333b)가 폐쇄되도록 이동시킨다. 따라서, 피스톤(336)과 벨로우즈(334)의 지속적인 사용에 따라 실링 부재(337)가 마모되어 간접액 챔버(333) 내의 간접액의 일부가 제 2 간접액 챔버(333a) 내로 이동하게 되더라도, 제 1 간접액 흐름 조절 장치(350)에 의해 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 간접액이 다시 간접액 챔버(333)로 이동하게 되어 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2) 및 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1)이 각각 일정 압력을 유지할 수 있다. 그에 따라, 벨로우즈(334)를 가압하여 압축 및 압력 상승을 일으키고, 그에 따라, 벨로우즈(334)와 피스톤(336) 사이의 간접액의 과압력 발생이 방지되고, 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1)이 정상 압력을 계속 유지할 수 있으므로, 약액 토출 시 정량 및 정속 편차 발생이 방지되어 약액의 정밀한 토출이 가능해지고, 또한 벨로우즈(334)를 포함한 부품의 수명이 연장될 수 있다.When the second pressure P2 in the second
도 3e는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 적용될 수 있는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치의 단면도 및 상기 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 폐쇄된 경우의 부분 상세 도면이고, 도 3f는 도 3a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 가압 장치 및 이를 구비한 약액 공급 장치에 적용될 수 있는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치의 단면도 및 상기 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 개방된 경우의 부분 상세 도면이다.FIG. 3E is a schematic view of a chemical liquid pressurizing apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 3A, and a chemical liquid supply apparatus having the chemical liquid pressurizing apparatus according to the present invention, FIG. 3F is a cross-sectional view of the pressurizing device, and FIG. 3F is a partial cross-sectional view of the chemical liquid pressurizing device and the chemical liquid supply device having the chemical liquid pressurizing device according to an embodiment of the present invention shown in FIG. Sectional view of a chemical-liquid pressurizing apparatus having a second indirect liquid flow regulating device according to a second embodiment of the present invention, and a partial detail view of the second indirect liquid flow regulating device when the second indirect liquid flow regulating device is opened.
도 3e 및 도 3f를 도 3a와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 가압 장치(301)는 간접액이 수용되는 간접액 챔버(333)를 구비하는 제 2 하우징(335); 상기 제 2 하우징(335) 내에 제공되며, 상기 간접액을 가압하기 위한 피스톤(336); 상기 피스톤(336)의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징(335)에 각각 연결되며, 상기 피스톤(336)의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈(334); 상기 피스톤(336)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335) 사이에 제 2 간접액 챔버(333a)를 형성하도록 상기 피스톤(336)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징(335a); 상기 내부 하우징(335a)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버(333)와 상기 제 2 간접액 챔버(333a) 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로(333b); 상기 간접액 흐름 통로(333b) 내에 제공되며, 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 2 간접액 흐름 조절 장치(360); 상기 피스톤(336)과 연결되며, 상기 피스톤(336)을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드(338); 및 상기 피스톤 로드(338)와 연결되며, 상기 피스톤 로드(338)를 구동하기 위한 구동 부재(340)를 포함한다.Referring to FIGS. 3E and 3F together with FIG. 3A, the chemical liquid pressurization apparatus 301 according to the second embodiment of the present invention includes a second housing 335 having an indirect liquid chamber 333 in which indirect liquid is accommodated; A piston (336) provided in the second housing (335) for pressurizing the indirect fluid; A bellows 334 connected to the outer side of the lower end of the piston 336 and to the second housing 335 and elastically deformable in the axial direction of the piston 336; Between the outer surface of the piston 336 and the inner surface of the second housing 335 so as to form a second indirect liquid chamber 333a between the outer surface of the piston 336 and the second housing 335, An inner housing 335a provided; Is provided between the outer surface of the inner housing 335a and the inner surface of the second housing 335 so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber 333 and the second indirect liquid chamber 333a An indirect liquid flow passage 333b formed therein; A second indirect liquid flow control device (360) provided in the indirect liquid flow passage (333b) for controlling the movement of the indirect liquid; A piston rod (338) connected to the piston (336) for moving the piston (336) in the axial direction; And a driving member 340 connected to the piston rod 338 and driving the piston rod 338.
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 공급 장치(300)는 내부에 가압 챔버(305)를 구비하는 제 1 하우징(304); 상기 제 1 하우징(304)의 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크(미도시)에 연결되는 약액 유입구(310); 상기 제 1 하우징(304)의 타측에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치(미도시)에 연결되는 약액 토출구(319); 상기 가압 챔버(305) 내에 제공되며, 상기 약액이 공급되는 튜브(306); 간접액이 수용되는 간접액 챔버(333)를 구비하는 제 2 하우징(335); 상기 제 2 하우징(335) 내에 제공되며, 상기 간접액을 가압하기 위한 피스톤(336); 상기 피스톤(336)의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징(335)에 각각 연결되며, 상기 피스톤(336)의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈(334); 상기 피스톤(336)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335) 사이에 제 2 간접액 챔버(333a)를 형성하도록 상기 피스톤(336)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징(335a); 상기 내부 하우징(335a)의 외측면과 상기 제 2 하우징(335)의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버(333)와 상기 제 2 간접액 챔버(333a) 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로(333b); 상기 간접액 흐름 통로(333b) 내에 제공되며, 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 2 간접액 흐름 조절 장치(360); 상기 피스톤(336)과 연결되며, 상기 피스톤(336)을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드(338); 및 상기 피스톤 로드(338)와 연결되며, 상기 피스톤 로드(338)를 구동하기 위한 구동 부재(340)를 포함한다.In addition, the chemical liquid supply apparatus 300 according to the second embodiment of the present invention includes a first housing 304 having a pressurizing chamber 305 therein; A chemical liquid inlet 310 provided at one side of the first housing 304 and connected to a chemical liquid tank (not shown) for containing the chemical liquid; A chemical solution discharge port (319) provided on the other side of the first housing (304) and connected to a nozzle device (not shown) for discharging and applying the chemical solution; A tube (306) provided in the pressurization chamber (305) and supplied with the chemical liquid; A second housing (335) having an indirect liquid chamber (333) in which indirect liquid is accommodated; A piston (336) provided in the second housing (335) for pressurizing the indirect fluid; A bellows 334 connected to the outer side of the lower end of the piston 336 and to the second housing 335 and elastically deformable in the axial direction of the piston 336; Between the outer surface of the piston 336 and the inner surface of the second housing 335 so as to form a second indirect liquid chamber 333a between the outer surface of the piston 336 and the second housing 335, An inner housing 335a provided; Is provided between the outer surface of the inner housing 335a and the inner surface of the second housing 335 so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber 333 and the second indirect liquid chamber 333a An indirect liquid flow passage 333b formed therein; A second indirect liquid flow control device (360) provided in the indirect liquid flow passage (333b) for controlling the movement of the indirect liquid; A piston rod (338) connected to the piston (336) for moving the piston (336) in the axial direction; And a driving member 340 connected to the piston rod 338 and driving the piston rod 338.
상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 가압 장치(301) 및 이를 구비한 약액 공급 장치(300)는 제 2 간접액 흐름 조절 장치(360)가 사용된다는 점을 제외하고는 도 3a 내지 도 3c에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 약액 가압 장치(301) 및 이를 구비한 약액 공급 장치(300)와 실질적으로 동일하다. 따라서, 이하에서는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 가압 장치(301) 및 이를 구비한 약액 공급 장치(300)는 제 2 간접액 흐름 조절 장치(360)의 구체적인 구성 및 동작만을 기술하기로 한다.The chemical
다시 도 3e 및 도 3f를 도 3a와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 가압 장치(301)에 사용되는 제 2 간접액 흐름 조절 장치(360)는 상기 간접액 흐름 통로(333b) 내에 제공되는 개폐 밸브(364); 및 상기 간접액 흐름 통로(333b)의 양 단부측에 제공되며, 상기 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1)과 상기 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2)을 각각 측정하는 제 1 및 제2 압력 센서(362a,362b)로 구성된다. 여기서, 개폐 밸브(364)는 전자 개폐 밸브로 구현되는 것이 바람직하지만, 이에 제한되는 것은 아니라는 점에 유의하여야 한다.Referring again to FIGS. 3E and 3F, the second indirect liquid
상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 간접액 흐름 조절 장치(360)는, 예를 들어, 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2)이 미리 설정된 최대 압력 값(예를 들어, 40Kpa)을 초과하면, 제 2 압력 센서(362b)가 이를 감지하여 개폐 밸브(364)를 개방하도록 한다(도 3f). 그에 따라, 개방된 간접액 흐름 통로(333b)를 통해 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 간접액이 간접액 챔버(333) 내로 이동하게 된다. 그 후, 피스톤(336)과 벨로우즈(334)의 지속적인 사용에 따라 실링 부재(337)가 마모되면, 간접액 챔버(333) 내의 간접액의 일부가 제 2 간접액 챔버(333a) 내로 이동하게 되어, 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2)은 상승하고, 또한 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1)은 저하되어 동일 조건으로 계속 피스톤(336)과 벨로우즈(334)를 사용할 경우, 제 1 압력(P1)의 저하에 따른 약액 도포 두께의 불균형이 발생한다. 이 경우, 이러한 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1) 저하에 따른 문제점을 해소하기 위해, 후술하는 도 3g 및 도 3h를 참조하하여 상세히 설명하는 바와 같이, 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1) 및 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2)을 실시간으로 체크(확인)하고, 압력 차(즉, P1-P2)가 일정 값 이상일 경우 이를 보상해 주기 위해 피스톤(336)의 초기 시작 위치(원점 위치)를 조정하여 재설정(re-setting)해준다.The second indirect liquid
그에 따라, 피스톤(336)과 벨로우즈(334)의 지속적인 사용에 따라 실링 부재(337)가 마모되어 간접액 챔버(333) 내의 간접액의 일부가 제 2 간접액 챔버(333a) 내로 이동하게 되더라도, 제 2 간접액 흐름 조절 장치(360)에 의해 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 간접액이 다시 간접액 챔버(333)로 이동하게 되어 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2) 및 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1)이 각각 일정 압력을 유지할 수 있다. 그 결과, 벨로우즈(334)가 미리 정해진 일정 최대 압력(예를 들어, 40Kpa)으로 압축 및 압력 상승을 일으키고, 벨로우즈(334)와 피스톤(336) 사이의 간접액의 과압력 발생이 방지되며, 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1)이 정상 압력을 계속 유지할 수 있으므로, 약액 토출 시 정량 및 정속 편차 발생이 방지되어 약액의 정밀한 토출이 가능해지고, 또한 벨로우즈(334)를 포함한 부품의 수명이 연장될 수 있다.Even if a part of the indirect liquid in the indirect
특히, 상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 간접액 흐름 조절 장치(360)에서는, 제 1 및 제 2 압력 센서(362a,362b)를 이용하여 개폐 밸브(364)의 개방 및 폐쇄를 제어하므로, 약액의 정량 및 정속 토출을 매우 정밀하게 제어할 수 있다는 장점을 갖는다.Particularly, in the second indirect liquid
한편, 도 3g 및 도 3h는 도 3e 및 도 3f에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 간접액 흐름 조절 장치가 구비된 약액 가압 장치에서 발생하는 압력 차이에 따른 피스톤의 원점 위치 조정 방법을 설명하기 위한 도면이다.FIGS. 3G and 3H illustrate the adjustment of the origin position of the piston according to the pressure difference generated in the chemical liquid pressurizing apparatus having the second indirect liquid flow control apparatus according to the second embodiment of the present invention shown in FIGS. 3E and 3F Fig.
도 3g 및 도 3h를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 간접액 흐름 조절 장치(360)의 제 1 및 제 2 압력 센서(362a,362b)가 각각 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1) 및 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2)을 실시간으로 측정하고, 측정된 제 1 압력(P1) 및 제 2 압력(P2)이 각각 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 공급 장치(300)에 제공되는 제어부를 구성하는 PLC(Programmable Logic Controller) 모듈(미도시)로 전송된다. PLC 모듈은 실시간으로 측정된 제 1 압력(P1) 및 제 2 압력(P2) 간의 압력 변동 값인 차이값(즉, P2 - P1)을 연산하고, 차이값이 미리 정해진 차이값(예를 들어, 2Kpa) 이상인 경우(예를 들어, 피스톤(336)과 벨로우즈(334)의 지속적인 사용에 따라 실링 부재(337)가 마모되어 간접액 챔버(333) 내의 간접액의 일부가 제 2 간접액 챔버(333a) 내로 이동하여 압력 편차가 미리 정해진 임계값 이상인 경우), 개폐 밸브(364)를 개방한다. 그 후, 개폐 밸브(364)가 개방된 상태에서 구동 모터(340)를 이용하여 피스톤(340)을 전방으로 소정 거리(예를 들어, 0.1mm)만큼 이동시킨다. 그 후, 개폐 밸브(364)가 개방된 상태에서 피스톤(340)을 전진 및 후진시키면서, 제 1 압력 센서(362a) 및 제 2 압력 센서(362b)에 의해 측정된 각각의 압력 값(P1 및 P2 값)의 변통 상황을 체크한다. 측정된 압력 차(즉, P2-P1)가 여전히 미리 정해진 임계값 이상인 경우, 개폐 밸브(364)를 개방한 상태로 다시 구동 모터(340)를 이용하여 피스톤(340)을 전방으로 소정 거리(예를 들어, 0.1mm)만큼 추가로 이동시킨다. 그 후, 측정된 압력 차(즉, P2-P1)가 미리 정해진 임계값 미만으로 확인될 때까지 상술한 동작을 반복한다. 측정된 압력 차(즉, P2-P1)가 미리 정해진 임계값 미만인 경우, 개폐 밸브(364)를 폐쇄한 후, 해당 위치를 피스톤(336)의 초기 시작 위치(원점 위치)로 재설정(re-setting)하고 등록한다(즉, 피스톤(336)의 원점 위치 조정). 그 후, 재설정된 피스톤(336)의 초기 시작 위치(원점 위치)에서 상술한 바와 같은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 약액 가압 장치(301) 및 이를 구비한 약액 공급 장치(300)를 구동하여 약액 펌핑 동작을 수행할 수 있으며, 그에 따라, 피스톤(336)과 벨로우즈(334)의 지속적인 사용에 따른 실링 부재(337)의 마모 정도에 따라서 간접액 챔버(333) 내의 제 1 압력(P1) 및 제 2 간접액 챔버(333a) 내의 제 2 압력(P2) 간의 압력 편차 발생 시에 이들 압력 편차가 해소되도록 피스톤(336)의 원점 위치를 지속적으로 조정해 줌으로써, 약액의 정량 및 정속 토출을 추가적으로 매우 정밀하게 제어할 수 있다는 장점이 달성될 뿐만 아니라, 벨로우즈(334)와 피스톤(336) 사이의 간접액의 과압력 발생 방지, 약액 토출 시 정량 및 정속 편차 발생 방지, 및 벨로우즈(334)를 포함한 부품의 수명 연장 등이 장점이 추가적으로 달성될 수 있다.3G and 3H, the first and
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.
10a,10b,100,300: 약액 공급 장치 11: 구동 펌프
12: 펌프 구동부/약액 펌프 13: 가요성 튜브/하우징 부재
13a,13b: 구동 하우징/약액 하우징 14: 벨로우즈/구동 유닛
15: 어댑터부/수용공 16: 어댑터부/폐쇄벽 17: 공급 유로/개구부
18: 약액 탱크/구동 로드 19: 토출 유로 20: 노즐 장치
21: 개폐밸브/벨로우즈 22: 개폐밸브/아코디언 형상부
23: 작동 디스크부/말단 플레이트부 24: 소형 벨로우즈부
25: 대형 벨로우즈부/연통 챔버 26: 펌프 챔버 42: 펌프실
43: 간접액 301: 약액 가압 장치 304: 제 1 하우징
305: 가압 챔버 306: 튜브 310: 약액 유입구
319: 약액 토출구 321,322: 제 1/제 2 개폐밸브 332: 연결부재
333: 간접액 챔버 333a: 제 2 간접액 챔버 333b: 간접액 흐름 통로
334: 벨로우즈 335: 제 2 하우징 335a: 내부 하우징
336: 피스톤 337: 실링 부재 338: 피스톤 로드
340: 구동 부재 350,360: 제 1/제 2 간접액 흐름 조절 장치
352: 탄성 부재 354: 가동 부재 362a,362b: 제 1/제2 압력 센서
364: 개폐 밸브10a, 10b, 100, 300: chemical liquid supply device 11: drive pump
12: pump drive / chemical pump 13: flexible tube / housing member
13a, 13b: drive housing / chemical liquid housing 14: bellows / drive unit
15: adapter portion / accommodation hole 16: adapter portion / closed wall 17: supply flow path / opening
18: chemical liquid tank / driving rod 19: discharge passage 20: nozzle device
21: opening / closing valve / bellows 22: opening / closing valve / accordion portion
23: operation disc portion / end plate portion 24: small bellows portion
25: large bellows part / communication chamber 26: pump chamber 42: pump chamber
43: Indirect liquid 301: Chemical liquid pressurizing device 304: First housing
305: pressurizing chamber 306: tube 310: chemical liquid inlet
319: chemical
333: Indirect
334: Bellows 335:
336: piston 337: sealing member 338: piston rod
340: driving
352: elastic member 354:
364: opening and closing valve
Claims (16)
간접액이 수용되는 간접액 챔버를 구비하는 제 2 하우징;
상기 제 2 하우징 내에 제공되며, 상기 간접액을 가압하기 위한 피스톤;
상기 피스톤의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징에 각각 연결되며, 상기 피스톤의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈;
상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징 사이에 제 2 간접액 챔버를 형성하도록 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징;
상기 내부 하우징의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버와 상기 제 2 간접액 챔버 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로;
상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 1 간접액 흐름 조절 장치;
상기 피스톤과 연결되며, 상기 피스톤을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드; 및
상기 피스톤 로드와 연결되며, 상기 피스톤 로드를 구동하기 위한 구동 부재
를 포함하는 약액 가압 장치.In the chemical liquid pressurizing apparatus,
A second housing having an indirect liquid chamber in which the indirect liquid is accommodated;
A piston provided in the second housing for pressurizing the indirect fluid;
A bellows connected to the outer side of the lower end of the piston and to the second housing, the bellows being elastically deformable in the axial direction of the piston;
An inner housing provided between an outer surface of the piston and an inner surface of the second housing to form a second indirect liquid chamber between the outer surface of the piston and the second housing;
An indirect liquid flow passage provided between an outer surface of the inner housing and an inner surface of the second housing, the indirect liquid flow passage being formed so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber and the second indirect liquid chamber;
A first indirect liquid flow regulator provided in the indirect liquid flow passage for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage;
A piston rod connected to the piston and axially moving the piston; And
And a driving member connected to the piston rod for driving the piston rod,
And a chemical liquid pressurizing device.
상기 제 1 간접액 흐름 조절 장치는
상기 간접액 흐름 통로 내에 고정 방식으로 장착되는 탄성 부재; 및
상기 탄성 부재와 접촉하여 이동 가능하게 제공되는 가동 부재
로 구성되는 약액 가압 장치.The method according to claim 1,
The first indirect liquid flow control device
An elastic member fixedly installed in the indirect liquid flow passage; And
A movable member provided movably in contact with the elastic member,
And the chemical liquid pressurizing device.
상기 탄성 부재는 스프링으로 구현되고,
상기 가동 부재는 구체(spherical body), 직육면체, 정육면체, 원추체, 및 다면체 중 어느 하나의 형상을 구비하며, 금속 재질, 나무 재질, 및 플라스틱 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 구현되는
약액 가압 장치.3. The method of claim 2,
The elastic member is embodied as a spring,
The movable member has a shape selected from the group consisting of a spherical body, a rectangular parallelepiped, a cube, a cone, and a polyhedron, and is formed of any one material selected from a metal material, a wood material, and a plastic material
Chemical liquid pressure device.
상기 제 1 간접액 흐름 조절 장치는 상기 제 2 간접액 챔버 내의 제 2 압력이 소정 압력 값을 초과하면, 상기 가동 부재를 상기 간접액 흐름 통로가 개방되도록 이동시키고, 상기 제 2 간접액 챔버 내의 상기 제 2 압력이 소정 압력 값 이하이면, 상기 가동 부재를 상기 간접액 흐름 통로가 폐쇄되도록 이동시키는 약액 가압 장치.The method according to claim 2 or 3,
Wherein the first indirect liquid flow control device moves the movable member to open the indirect liquid flow passage when the second pressure in the second indirect liquid chamber exceeds a predetermined pressure value, And moves the movable member to close the indirect liquid flow passage when the second pressure is equal to or less than a predetermined pressure value.
간접액이 수용되는 간접액 챔버를 구비하는 제 2 하우징;
상기 제 2 하우징 내에 제공되며, 상기 간접액을 가압하기 위한 피스톤;
상기 피스톤의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징에 각각 연결되며, 상기 피스톤의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈;
상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징 사이에 제 2 간접액 챔버를 형성하도록 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징;
상기 내부 하우징의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버와 상기 제 2 간접액 챔버 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로;
상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되며, 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 2 간접액 흐름 조절 장치;
상기 피스톤과 연결되며, 상기 피스톤을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드; 및
상기 피스톤 로드와 연결되며, 상기 피스톤 로드를 구동하기 위한 구동 부재
를 포함하는 약액 가압 장치.In the chemical liquid pressurizing apparatus,
A second housing having an indirect liquid chamber in which the indirect liquid is accommodated;
A piston provided in the second housing for pressurizing the indirect fluid;
A bellows connected to the outer side of the lower end of the piston and to the second housing, the bellows being elastically deformable in the axial direction of the piston;
An inner housing provided between an outer surface of the piston and an inner surface of the second housing to form a second indirect liquid chamber between the outer surface of the piston and the second housing;
An indirect liquid flow passage provided between an outer surface of the inner housing and an inner surface of the second housing, the indirect liquid flow passage being formed so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber and the second indirect liquid chamber;
A second indirect liquid flow regulating device provided in the indirect liquid flow passage for controlling the movement of the indirect liquid;
A piston rod connected to the piston and axially moving the piston; And
And a driving member connected to the piston rod for driving the piston rod,
And a chemical liquid pressurizing device.
상기 제 2 간접액 흐름 조절 장치는
상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되는 개폐 밸브; 및
상기 간접액 흐름 통로의 양 단부측에 제공되며, 상기 간접액 챔버 내의 제 1 압력과 상기 제 2 간접액 챔버 내의 제 2 압력을 각각 측정하는 제 1 및 제2 압력 센서
로 구성되는 약액 가압 장치.6. The method of claim 5,
The second indirect liquid flow adjustment device
An on-off valve provided in the indirect liquid flow passage; And
First and second pressure sensors provided on both end sides of the indirect liquid flow passage for measuring a first pressure in the indirect liquid chamber and a second pressure in the second indirect liquid chamber,
And the chemical liquid pressurizing device.
상기 제 2 간접액 흐름 조절 장치는 상기 제 2 압력이 소정 압력 값을 초과하면 상기 제 2 압력 센서가 이를 감지하여 상기 개폐 밸브를 개방하고, 상기 제 1 압력이 미리 정해진 기준 압력값을 초과하면 상기 제 1 압력 센서가 이를 감지하여 상기 개폐 밸브를 폐쇄하도록 제어하는 약액 가압 장치.The method according to claim 6,
Wherein the second indirect fluid flow control device senses the second pressure sensor when the second pressure exceeds a predetermined pressure value to open the on-off valve, and when the first pressure exceeds a predetermined reference pressure value, And the first pressure sensor senses it and closes the on / off valve.
상기 약액 가압 장치는
상기 제 1 압력 센서에 의해 측정된 상기 제 1 압력 및 상기 제2 압력 센서에 의해 측정된 상기 제 2 압력의 차이값이 미리 정해진 차이값 이상인 경우 상기 개폐 밸브를 개방한 후 상기 피스톤을 전진 방향으로 소정 거리만큼 이동시키는 동작을 반복하고,
상기 제 1 압력 센서에 의해 측정된 상기 제 1 압력 및 상기 제2 압력 센서에 의해 측정된 상기 제 2 압력의 차이값이 미리 정해진 차이값 미만인 경우 상기 개폐 밸브를 폐쇄한 후 해당 위치를 상기 피스톤의 원점 위치로 설정 등록하여 상기 피스톤의 원점 위치를 조정하는
약액 가압 장치.8. The method according to claim 6 or 7,
The chemical liquid pressurizing device
When the difference between the first pressure measured by the first pressure sensor and the second pressure measured by the second pressure sensor is equal to or greater than a predetermined difference, the opening / closing valve is opened and the piston is moved in the advancing direction Repeating the operation of shifting by a predetermined distance,
When the difference between the first pressure measured by the first pressure sensor and the second pressure measured by the second pressure sensor is less than a predetermined difference value, the opening / closing valve is closed, And the home position of the piston is adjusted
Chemical liquid pressure device.
내부에 가압 챔버를 구비하는 제 1 하우징;
상기 제 1 하우징의 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 유입구;
상기 제 1 하우징의 타측에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구;
상기 가압 챔버 내에 제공되며, 상기 약액이 공급되는 튜브;
간접액이 수용되는 간접액 챔버를 구비하는 제 2 하우징;
피스톤의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징에 각각 연결되며, 상기 피스톤의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈;
상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징 사이에 제 2 간접액 챔버를 형성하도록 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징;
상기 내부 하우징의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버와 상기 제 2 간접액 챔버 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로;
상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 1 간접액 흐름 조절 장치;
상기 피스톤과 연결되며, 상기 피스톤을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드; 및
상기 피스톤 로드와 연결되며, 상기 피스톤 로드를 구동하기 위한 구동 부재
를 포함하는 약액 공급 장치.In the chemical liquid supply device,
A first housing having a pressurizing chamber therein;
A chemical liquid inlet provided at one side of the first housing and connected to a chemical liquid tank for containing the chemical liquid;
A chemical solution discharge port provided on the other side of the first housing and connected to a nozzle device for discharging and applying the chemical solution;
A tube provided in the pressurizing chamber and supplied with the chemical liquid;
A second housing having an indirect liquid chamber in which the indirect liquid is accommodated;
A bellows connected to the outer side of the lower end of the piston and to the second housing, the bellows being elastically deformable in the axial direction of the piston;
An inner housing provided between an outer surface of the piston and an inner surface of the second housing to form a second indirect liquid chamber between the outer surface of the piston and the second housing;
An indirect liquid flow passage provided between an outer surface of the inner housing and an inner surface of the second housing, the indirect liquid flow passage being formed so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber and the second indirect liquid chamber;
A first indirect liquid flow regulator provided in the indirect liquid flow passage for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage;
A piston rod connected to the piston and axially moving the piston; And
And a driving member connected to the piston rod for driving the piston rod,
And a chemical liquid supply device.
상기 제 1 간접액 흐름 조절 장치는
상기 간접액 흐름 통로 내에 고정 방식으로 장착되는 탄성 부재; 및
상기 탄성 부재와 접촉하여 이동 가능하게 제공되는 가동 부재
로 구성되는 약액 공급 장치.10. The method of claim 9,
The first indirect liquid flow control device
An elastic member fixedly installed in the indirect liquid flow passage; And
A movable member provided movably in contact with the elastic member,
Wherein the chemical liquid supply device comprises:
상기 탄성 부재는 스프링으로 구현되고,
상기 가동 부재는 구체(spherical body), 직육면체, 정육면체, 원추체, 및 다면체 중 어느 하나의 형상을 구비하며, 금속 재질, 나무 재질, 및 플라스틱 재질 중에서 선택된 어느 하나의 재질로 구현되는
약액 공급 장치.11. The method of claim 10,
The elastic member is embodied as a spring,
The movable member has a shape selected from the group consisting of a spherical body, a rectangular parallelepiped, a cube, a cone, and a polyhedron, and is formed of any one material selected from a metal material, a wood material, and a plastic material
A chemical liquid supply device.
상기 제 1 간접액 흐름 조절 장치는 상기 제 2 간접액 챔버 내의 제 2 압력이 소정 압력 값을 초과하면, 상기 가동 부재를 상기 간접액 흐름 통로가 개방되도록 이동시키고, 상기 제 2 간접액 챔버 내의 상기 제 2 압력이 소정 압력 값 이하이면, 상기 가동 부재를 상기 간접액 흐름 통로가 폐쇄되도록 이동시키는 약액 공급 장치.The method according to claim 10 or 11,
Wherein the first indirect liquid flow control device moves the movable member to open the indirect liquid flow passage when the second pressure in the second indirect liquid chamber exceeds a predetermined pressure value, And moves the movable member to close the indirect liquid flow passage when the second pressure is equal to or less than a predetermined pressure value.
내부에 가압 챔버를 구비하는 제 1 하우징;
상기 제 1 하우징의 일측에 제공되며, 약액을 수용하는 약액 탱크에 연결되는 약액 유입구;
상기 제 1 하우징의 타측에 제공되며, 상기 약액을 토출하여 도포하는 노즐 장치에 연결되는 약액 토출구;
상기 가압 챔버 내에 제공되며, 상기 약액이 공급되는 튜브;
간접액이 수용되는 간접액 챔버를 구비하는 제 2 하우징;
피스톤의 하단부 외측 및 상기 제 2 하우징에 각각 연결되며, 상기 피스톤의 축방향으로 탄성변형이 가능한 벨로우즈;
상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징 사이에 제 2 간접액 챔버를 형성하도록 상기 피스톤의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되는 내부 하우징;
상기 내부 하우징의 외측면과 상기 제 2 하우징의 내측면 사이에 제공되며, 상기 간접액 챔버와 상기 제 2 간접액 챔버 사이에서 상기 간접액이 이동하도록 형성되는 간접액 흐름 통로;
상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되며, 상기 간접액 흐름 통로를 통한 상기 간접액의 이동을 제어하는 제 2 간접액 흐름 조절 장치;
상기 피스톤과 연결되며, 상기 피스톤을 축방향으로 이동시키기 위한 피스톤 로드; 및
상기 피스톤 로드와 연결되며, 상기 피스톤 로드를 구동하기 위한 구동 부재
를 포함하는 약액 공급 장치.In the chemical liquid supply device,
A first housing having a pressurizing chamber therein;
A chemical liquid inlet provided at one side of the first housing and connected to a chemical liquid tank for containing the chemical liquid;
A chemical solution discharge port provided on the other side of the first housing and connected to a nozzle device for discharging and applying the chemical solution;
A tube provided in the pressurizing chamber and supplied with the chemical liquid;
A second housing having an indirect liquid chamber in which the indirect liquid is accommodated;
A bellows connected to the outer side of the lower end of the piston and to the second housing, the bellows being elastically deformable in the axial direction of the piston;
An inner housing provided between an outer surface of the piston and an inner surface of the second housing to form a second indirect liquid chamber between the outer surface of the piston and the second housing;
An indirect liquid flow passage provided between an outer surface of the inner housing and an inner surface of the second housing, the indirect liquid flow passage being formed so that the indirect liquid moves between the indirect liquid chamber and the second indirect liquid chamber;
A second indirect liquid flow regulator provided in the indirect liquid flow passage for controlling the movement of the indirect liquid through the indirect liquid flow passage;
A piston rod connected to the piston and axially moving the piston; And
And a driving member connected to the piston rod for driving the piston rod,
And a chemical liquid supply device.
상기 제 2 간접액 흐름 조절 장치는
상기 간접액 흐름 통로 내에 제공되는 개폐 밸브; 및
상기 간접액 흐름 통로의 양 단부측에 제공되며, 상기 간접액 챔버 내의 제 1 압력과 상기 제 2 간접액 챔버 내의 제 2 압력을 각각 측정하는 제 1 및 제2 압력 센서
로 구성되는 약액 공급 장치.14. The method of claim 13,
The second indirect liquid flow adjustment device
An on-off valve provided in the indirect liquid flow passage; And
First and second pressure sensors provided on both end sides of the indirect liquid flow passage for measuring a first pressure in the indirect liquid chamber and a second pressure in the second indirect liquid chamber,
Wherein the chemical liquid supply device comprises:
상기 제 2 간접액 흐름 조절 장치는 상기 제 2 압력이 소정 압력 값을 초과하면 상기 제 2 압력 센서가 이를 감지하여 상기 개폐 밸브를 개방하고, 상기 제 1 압력이 미리 정해진 기준 압력값을 초과하면 상기 제 1 압력 센서가 이를 감지하여 상기 개폐 밸브를 폐쇄하도록 제어하는 약액 공급 장치.15. The method of claim 14,
Wherein the second indirect fluid flow control device senses the second pressure sensor when the second pressure exceeds a predetermined pressure value to open the on-off valve, and when the first pressure exceeds a predetermined reference pressure value, And the first pressure sensor senses it and closes the on / off valve.
상기 약액 공급 장치는
상기 제 1 압력 센서에 의해 측정된 상기 제 1 압력 및 상기 제2 압력 센서에 의해 측정된 상기 제 2 압력의 차이값이 미리 정해진 차이값 이상인 경우 상기 개폐 밸브를 개방한 후 상기 피스톤을 전진 방향으로 소정 거리만큼 이동시키는 동작을 반복하고,
상기 제 1 압력 센서에 의해 측정된 상기 제 1 압력 및 상기 제2 압력 센서에 의해 측정된 상기 제 2 압력의 차이값이 미리 정해진 차이값 미만인 경우 상기 개폐 밸브를 폐쇄한 후 해당 위치를 상기 피스톤의 원점 위치로 설정 등록하여 상기 피스톤의 원점 위치를 조정하는
약액 공급 장치.
16. The method according to claim 14 or 15,
The chemical liquid supply device
When the difference between the first pressure measured by the first pressure sensor and the second pressure measured by the second pressure sensor is equal to or greater than a predetermined difference, the opening / closing valve is opened and the piston is moved in the advancing direction Repeating the operation of shifting by a predetermined distance,
When the difference between the first pressure measured by the first pressure sensor and the second pressure measured by the second pressure sensor is less than a predetermined difference value, the opening / closing valve is closed, And the home position of the piston is adjusted
A chemical liquid supply device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160024661A KR101763121B1 (en) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | An Improved Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020160024661A KR101763121B1 (en) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | An Improved Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101763121B1 true KR101763121B1 (en) | 2017-08-16 |
Family
ID=59752670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020160024661A Active KR101763121B1 (en) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | An Improved Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101763121B1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210077428A (en) * | 2019-12-17 | 2021-06-25 | 주식회사 휴비츠 | Noncontact-type eye pressure measuring device |
| KR20210105524A (en) | 2020-02-19 | 2021-08-27 | 주식회사 나래나노텍 | Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100294370B1 (en) | 1992-07-13 | 2001-09-17 | 오카야마 노리오 | Flow control valve and its control method |
| JP2009004168A (en) | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Honda Motor Co Ltd | Fuel cell system |
| JP5060766B2 (en) | 2006-06-19 | 2012-10-31 | 株式会社コガネイ | Chemical supply device |
| JP2015055225A (en) | 2013-09-13 | 2015-03-23 | タツモ株式会社 | Constant delivery pump |
-
2016
- 2016-02-29 KR KR1020160024661A patent/KR101763121B1/en active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100294370B1 (en) | 1992-07-13 | 2001-09-17 | 오카야마 노리오 | Flow control valve and its control method |
| JP5060766B2 (en) | 2006-06-19 | 2012-10-31 | 株式会社コガネイ | Chemical supply device |
| JP2009004168A (en) | 2007-06-20 | 2009-01-08 | Honda Motor Co Ltd | Fuel cell system |
| JP2015055225A (en) | 2013-09-13 | 2015-03-23 | タツモ株式会社 | Constant delivery pump |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210077428A (en) * | 2019-12-17 | 2021-06-25 | 주식회사 휴비츠 | Noncontact-type eye pressure measuring device |
| KR102281970B1 (en) * | 2019-12-17 | 2021-07-27 | 주식회사 휴비츠 | Noncontact-type eye pressure measuring device |
| KR20210105524A (en) | 2020-02-19 | 2021-08-27 | 주식회사 나래나노텍 | Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same |
| KR102781539B1 (en) | 2020-02-19 | 2025-03-17 | 주식회사 나래나노텍 | Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100754342B1 (en) | Method and apparatus for dispensing fluids | |
| JP4547368B2 (en) | Chemical supply device | |
| JP6199553B2 (en) | Positive displacement dispenser and method for discharging individual amounts of liquid | |
| JP4547369B2 (en) | Chemical supply device | |
| US8602750B2 (en) | Liquid supply device | |
| JP5416672B2 (en) | Chemical supply device | |
| JP2008101510A (en) | Chemical supply device | |
| JP7228919B2 (en) | Liquid coating device | |
| JP4541069B2 (en) | Chemical supply system | |
| KR101763121B1 (en) | An Improved Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same | |
| JP5816726B2 (en) | Chemical supply system | |
| JP4024076B2 (en) | Fluid pressure operated valve | |
| JP2007154767A (en) | Tube pump | |
| JP5900730B2 (en) | Liquid supply apparatus and printing apparatus | |
| JP5902063B2 (en) | Liquid supply control valve | |
| KR101837001B1 (en) | An Improved Pressing Device and Method for Pumping Chemical Liquids, and A Feeding Device and Method of Chemical Liquids Having the Same | |
| KR102781539B1 (en) | Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same | |
| US10471724B2 (en) | Printing fluid container | |
| JP2006057663A (en) | Chemical liquid valve | |
| KR20130123818A (en) | Regulater | |
| KR101746830B1 (en) | An Improved Device for Pressing Chemical Liquids, and A Feeding Apparatus of Chemical Liquids Having the Same | |
| KR20140026013A (en) | Regulater |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20160229 |
|
| PA0201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20170720 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20170725 Patent event code: PR07011E01D |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20170726 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration | ||
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20200708 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20210706 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20230705 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
| PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20240614 Start annual number: 8 End annual number: 8 |