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KR101746956B1 - 미립자 발생장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템 - Google Patents

미립자 발생장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템 Download PDF

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KR101746956B1
KR101746956B1 KR1020150151145A KR20150151145A KR101746956B1 KR 101746956 B1 KR101746956 B1 KR 101746956B1 KR 1020150151145 A KR1020150151145 A KR 1020150151145A KR 20150151145 A KR20150151145 A KR 20150151145A KR 101746956 B1 KR101746956 B1 KR 101746956B1
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immersed
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김정국
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주식회사 포스코
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Abstract

본 발명은 작은 열량으로 균일한 미립자를 발생시킬 수 있는 미립자 발생장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템에 관한 것으로서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미립자 발생장치는, 코팅용액이 저장되는 저장용기; 코팅 대상물에 증착되는 미립자를 발생하도록 상기 저장용기의 코팅용액에 침지되어 코팅용액을 국부적으로 가열하는 가열수단; 및, 상기 가열수단이 코팅용액에 침지된 상태에서 상기 가열수단을 이동시켜 코팅용액을 교반하는 교반수단;을 포함하고, 상기 가열수단은, 코팅용액에 침지되는 전열관; 및 상기 전열관의 내부에 배치되고, 외부로부터 전기를 공급받아 열을 발생하는 전열선;을 포함한다. 이러한 구성으로, 용융금속을 국부적으로 가열하여 균일한 미립자를 발생시키고, 소비열량을 감소시켜 에너지를 절약할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

Description

미립자 발생장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템{PARTICLE GENERATION APPARATUS AND COATING SYSTEM INCLUDING THE SAME}
본 발명은 미립자 발생장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 작은 열량으로 균일한 미립자를 발생시킬 수 있는 미립자 발생장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템에 관한 것이다.
연속으로 진행하는 강판을 코팅하는 방법 중 하나로 진공 분위기 하에서 용융금속을 미립자 형태로 변환시켜 연속으로 진행하는 강판에 분사하여 금속증기인 미립자를 강판에 증착시켜 코팅할 수 있다.
도 1 및 도 2에는 상기한 방법으로 강판을 코팅하는 종래의 코팅 시스템을 도시하였다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 종래의 코팅 시스템은 가열부(20)가 코팅용액이 저장되는 저장용기(10)를 감싸도록 배치되고, 상기 가열부(20)가 상기 저장용기(10) 전체를 가열하여 상기 저장용기(10)에 저장되어 있는 코팅용액을 가열하여 금속증기인 미립자를 발생시킨다. 이렇게 발생된 미립자는 미립자 공급관(30)을 통하여 분사노즐(40)로 공급되고, 상기 분사노즐(40)에서 미립자를 분사하여 강판(M)을 코팅한다.
이러한, 종래의 코팅 시스템의 경우 저장용기(10) 전체를 가열하여 금속증기인 미립자를 발생시키는데 상기 저장용기(10) 전체를 가열하기 위하여 과도한 열량이 공급되고, 용융금속 전체가 일시에 끓어올라 용융금속 표면에서 급격한 난류 유동이 형성되어 미립자 이외에, 도 2의 확대도에 도시된 바와 같이, 불균일한 입자가 생성되어 코팅 불량을 발생시키는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 용융금속을 국부적으로 가열하여 작은 열량으로 균일한 미립자를 발생시킬 수 있는 미립자 발생장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템을 제공하는 데에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미립자 발생장치는, 코팅용액이 저장되는 저장용기; 코팅 대상물에 증착되는 미립자를 발생하도록 상기 저장용기의 코팅용액에 침지되어 코팅용액을 국부적으로 가열하는 가열수단; 및, 상기 가열수단이 코팅용액에 침지된 상태에서 상기 가열수단을 이동시켜 코팅용액을 교반하는 교반수단;을 포함하고, 상기 가열수단은, 코팅용액에 침지되는 전열관; 및 상기 전열관의 내부에 배치되고, 외부로부터 전기를 공급받아 열을 발생하는 전열선;을 포함한다.
삭제
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미립자 발생장치는, 코팅용액이 저장되는 저장용기; 및 코팅 대상물에 증착되는 미립자를 발생하도록 상기 저장용기의 코팅용액에 침지되어 코팅용액을 국부적으로 가열하는 가열수단; 을 포함하고, 상기 가열수단은, 코팅용액에 침지되는 전열관; 및 상기 전열관의 내부에 배치되고, 외부로부터 전기를 공급받아 열을 발생하는 전열선;을 포함하고, 상기 전열관은, 복수의 관이 연결되어 모눈 형태를 이루고, 코팅용액의 표면과 평행하게 코팅용액의 상층부에 침지될 수 있다.
삭제
보다 구체적으로, 상기 교반수단은, 일측단이 상기 전열관에 체결되고 타측단이 상기 저장용기의 외측으로 돌출되는 연결부재; 편심되게 돌출부가 구비되고, 상기 돌출부에 상기 연결부재의 타측단이 삽입되는 회전부재; 상기 회전부재를 회전시키는 구동부;를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 교반수단은, 복수로 마련되어 상기 전열관의 전후에 배치되고, 상기 구동부의 동작에 대응하여 회전 운동할 수도 있다.
나아가, 상기 교반수단은, 상기 전열관의 하측면으로 돌출되게 상기 전열관에 체결되어 코팅용액에 침지되고 상기 전열관의 이동시 코팅용액을 교반하는 교반부재;를 더 포함할 수도 있다.
또한, 상기 교반부재는, 단부에 상기 교반부재에 수직하게 믹싱바가 체결될 수도 있다.
이때, 상기 교반부재는, 복수로 마련되고, 이웃하는 믹싱바가 서로 다른 방향을 향하도록 상기 전열관에 체결될 수도 있다.
본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치는, 상기 저장용기와 연계되고, 공급되는 고상 코팅매질을 용융시켜 상기 저장용기로 공급하는 코팅용액 공급수단;을 더 포함할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 코팅용액 공급수단은, 상기 저장용기에 이웃하여 배치되고, 용융된 코팅용액이 일정 수위 이상이 되면 상기 저장용기로 유동하도록 상기 저장용기와 연결된 연통홀이 형성된 용융용기; 및 상기 용융용기를 감싸도록 배치되고, 상기 용융용기에 공급된 고상 코팅매질을 용융시키도록 가열하는 가열부;를 포함할 수 있다.
그리고, 상기 용융용기와 연계되고, 상기 용융용기에 고상 코팅매질을 공급하는 원료입자 공급장치;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 저장용기에 저장된 코팅용액의 수위를 측정하는 수위 감지센서; 및 상기 수위 감지센서로부터 데이터를 수신하고, 코팅용액의 수위에 대응하여 고상 코팅매질을 선택적으로 공급 또는 공급 차단하도록 상기 원료입자 공급장치를 제어하는 제어부;를 더 포함할 수도 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 코팅 시스템은, 상기에서 설명한 미립자 발생장치; 상기 미립자 발생장치의 전체 또는 일부를 포위하고, 진공 상태로 코팅 대상물이 통과하도록 마련되는 진공챔버; 코팅 대상물에 미립자를 분사하여 코팅 대상물을 코팅하는 분사노즐; 및 상기 미립자 발생장치와 상기 분사노즐 간을 연결하고, 상기 미립자 발생장치에서 생성된 미립자를 상기 분사노즐에 공급하는 미립자 공급관;을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 분사노즐에 공급되는 미립자의 유동 단면적 변화를 최소화하기 위하여 상기 미립자 공급관은 상기 분사노즐의 폭과 동일한 폭을 가지도록 마련될 수도 있다.
본 발명에 의한 미립자 발생장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템에 따르면, 용융금속을 국부적으로 가열하여 균일한 미립자를 발생시키고, 소비열량을 감소시켜 에너지를 절약할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
그리고, 본 발명에 의하면, 미립자 공급관의 폭을 분사노즐의 폭과 동일하게 마련하여 공급되는 미립자의 유동 단면적 변화를 최소화하여 분사노즐을 통하여 분사되는 미립자를 균일하게 분사할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 종래의 코팅 시스템을 개략적으로 도시해 보인 사시도,
도 2는 종래의 코팅 시스템을 개략적으로 도시해 보인 단면도,
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치를 개략적으로 도시해 보인 사시도,
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치에서 가열수단과 교반수단을 발췌하여 개략적으로 도시해 보인 사시도,
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치의 동작 상태를 개략적으로 도시해 보인 도면,
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치에서 용융된 코팅용액을 공급하는 구성을 개략적으로 도시해 보인 도면,
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 코팅 시스템을 개략적으로 도시해 보인 사시도,
도 8은 본 발명의 실시예에 코팅 시스템에서 미립자의 이동 경로를 개략적으로 도시해 보인 사시도이다.
본 발명의 특징들에 대한 이해를 돕기 위하여, 이하 본 발명의 실시예와 관련된 미립자 발생장치 및 이를 포함하는 코팅 시스템에 대하여 보다 상세하게 설명하기로 한다.
이하 설명되는 실시예의 이해를 돕기 위하여 첨부된 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 구체적인 실시예에 대하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치를 개략적으로 도시해 보인 사시도이고, 도 4는 상기 미립자 발생장치에서 가열수단과 교반수단을 발췌하여 개략적으로 도시해 보인 사시도이며, 도 5는 상기 미립자 발생장치의 동작 상태를 개략적으로 도시해 보인 도면이다. 그리고, 도 6은 상기 미립자 발생장치에서 용융된 코팅용액을 공급하는 구성을 개략적으로 도시해 보인 도면이다.
도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치(100)는 코팅용액이 저장되는 저장용기(200)와, 코팅 대상물에 증착되는 미립자를 발생하도록 상기 저장용기(200)의 코팅용액에 침지되어 코팅용액을 국부적으로 가열하는 가열수단(300)을 포함한다.
즉, 상기 가열수단(300)은 상기 저장용기(200)를 직접 가열하지 않고, 상기 저장용기(200)에 저장되어 있는 코팅용액에 침지되어 코팅용액의 상층부인 표면을 국부적으로 가열하여 금속증기인 미립자를 발생시킨다.
이러한, 상기 가열수단(300)은 코팅용액에 침지되는 전열관(310)과, 상기 전열관(310)의 내부에 배치되고 외부로부터 전기를 공급받아 열을 발생하는 전열선(320)을 포함한다.
그리고, 상기 전열관(310)은 복수의 관이 연결되어 모눈 형태를 이루도록 마련되고, 코팅용액에 침지된 상태에서 좌우방향으로 이동할 수 있는 유격을 가질 수 있도록 상기 저장용기(200) 보다는 작게 제작되는 것이 바람직하다. 이렇게 마련된 상기 전열관(310)은 코팅용액의 표면과 평행하게 코팅용액의 상층부에 침지되어 코팅용액을 국부적으로 가열한다.
본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치(100)는 상기 가열수단(300)이 코팅용액에 침지된 상태에서 상기 가열수단(300)을 이동시켜 코팅용액을 교반하는 교반수단(400)을 더 포함한다. 즉, 상기 교반수단(400)은 상기 가열수단(300)이 코팅용액에 침지된 상태에서 상기 가열수단(300)을 전후좌우 방향으로 이동시켜 코팅용액을 교반하여 코팅용액의 상층부가 균일하게 가열될 수 있도록 한다.
이를 위하여, 상기 교반수단(400)은 일측단이 상기 전열관(310)에 체결 고정되고 타측단이 상기 저장용기(200)의 외측으로 돌출되는 연결부재(410)와, 편심되게 돌출부(421)가 구비되고 상기 돌출부(421)에 상기 연결부재(410)의 타측단이 삽입되는 회전부재(420), 그리고 상기 회전부재(420)를 회전시키는 구동부(430)를 포함한다.
그리고, 상기 교반수단(400)은 복수로 마련되어 상기 전열관(310)의 전후에 배치되고, 상기 구동부(430)의 동작에 대응하여 회전 운동하여 코팅용액을 교반하도록 구성된다.
상기 교반수단(400)은 상기 전열관(310)의 하측면으로 돌출되게 상기 전열관(310)에 체결되어 코팅용액에 침지되고 상기 전열관(310)의 이동시 코팅용액을 교반하는 교반부재(440)를 더 포함한다. 그리고, 상기 교반부재(440)는 단부에 상기 교반부재(440)에 수직하게 믹싱바(450)가 체결된다. 즉, 상기 교반부재(440)와 상기 믹싱바(450)는 'ㅗ'형태로 마련되어 상기 전열관(310)에 체결된다.
그리고, 상기 교반부재(440)는 복수로 마련되고, 이웃하는 믹싱바가 서로 다른 방향을 향하도록 상기 전열관(310)에 체결될 수 있다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 믹싱바(450)가 서로 다른 방향으로 배치되도록 상기 교반부재(440)가 상기 전열관(310)에 체결되어 있어, 상기 전열관(310)이 회전하는 경우 상기 전열관(310)이 이동하는 방향에 대응하여 각각의 믹싱바(450)가 코팅용액과 마찰을 일으켜 코팅용액을 보다 효과적으로 교반할 수 있다. 물론, 상기 교반부재(440)의 형태가 이에 한정되지 않고, 코팅용액 가열 시 코팅용액을 교반할 수 있는 어떠한 장치로도 마련될 수 있다.
그리고, 본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치(100)는 코팅용액 공급수단(500)과, 원료입자 공급장치(600)와, 수위 감지센서(700), 그리고 제어부(800)를 더 포함할 수 있다.
상기 코팅용액 공급수단(500)은 상기 저장용기(200)와 연계되고, 공급되는 고상 코팅매질을 용융시켜 상기 저장용기(200)로 공급한다.
보다 구체적으로, 상기 코팅용액 공급수단(500)은 상기 저장용기(200)에 이웃하여 배치되고 용융된 코팅용액이 일정 수위 이상이 되면 상기 저장용기(200)로 유동하도록 상기 저장용기(200)와 연결된 연통홀(h)이 형성된 용융용기(510), 그리고 상기 용융용기(510)를 감싸도록 배치되고 상기 용융용기(510)에 공급된 고상 코팅매질을 용융시키도록 가열하는 가열부(520)를 포함한다. 여기서, 상기 가열부(520) 및 상기 용융용기(510)는 상기 저장용기(200)의 양측면에 배치되어 있어 상기 저장용기(200)를 일정 온도 이상으로 보온하는 역할도 수행한다.
상기 원료입자 공급장치(600)는 상기 용융용기(510)와 연계되고, 상기 용융용기(510)에 고상 코팅매질을 공급한다.
상기 수위 감지센서(700)는 상기 저장용기(200)에 배치되어 상기 저장용기(200)에 저장된 코팅용액의 수위를 측정하고, 상기 제어부(800)는 상기 수위 감지센서(700)로부터 데이터를 수신하고 코팅용액의 수위에 대응하여 고상 코팅매질을 선택적으로 공급 또는 공급 차단하도록 상기 원료입자 공급장치(600)를 제어한다. 여기서, 상기 수위 감지센서(700)는 부력부재를 이용하여 코팅용액의 수위를 측정하는 접촉식 센서 또는 레이저를 이용하여 코팅용액의 수위를 측정하는 비접촉식 센서 등 공지의 어떠한 센서도 적용될 수 있다.
즉, 상기 수위 감지센서(700)를 통하여 상기 저장용기(200)에 저장되어 있는 코팅용액의 수위를 측정하고, 측정된 코팅용액의 수위가 특정 값 이하가 되면 상기 제어부(800)는 상기 원료입자 공급장치(600)를 동작시켜 상기 용융용기(510)에 고상 코팅매질을 공급한다. 이때, 상기 용융용기(510)에 공급된 고상 코팅매질에 의하여 용융용기(510)에 용융되어 있던 코팅용액이 상승하면서 상기 저장용기(200)와 상기 용융용기(510) 간을 연통하고 있는 연통홀(h)을 통하여 상기 저장용기(200)로 흘러들어 가게 되어 상기 저장용기(200)에 코팅용액을 채우게 된다. 그리고, 상기 저장용기(200)에 코팅용액이 채워지다가 일정 높이가 되면 상기 수위 감지센서(700)가 이를 감지하여 데이터를 상기 제어부(800)에 전송하고, 상기 제어부(800)는 상기 원료입자 공급장치(600)를 정지시켜 더 이상 코팅용액이 상기 저장용기(200)로 공급되지 않도록 한다.
이러한 구성으로, 상기 저장용기(200)에 항시 일정 높이의 코팅용액을 자동으로 저장할 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 코팅 시스템을 개략적으로 도시해 보인 사시도이고, 도 8은 상기 코팅 시스템에서 미립자의 이동 경로를 개략적으로 도시해 보인 사시도이다.
도 7 및 도 8을 참고하면, 본 발명의 실시예에 의한 코팅 시스템은 상기에서 설명한 본 발명의 실시예에 의한 미립자 발생장치(100)와, 상기 미립자 발생장치(100)의 전체 또는 일부를 포위하고 진공 상태로 코팅 대상물(M)이 통과하도록 마련되는 진공챔버(910)와, 코팅 대상물(M)에 미립자를 분사하여 코팅 대상물(M)을 코팅하는 분사노즐(930), 그리고 상기 미립자 발생장치(100)와 상기 분사노즐(930) 간을 연결하고 상기 미립자 발생장치(100)에서 생성된 미립자를 상기 분사노즐(930)에 공급하는 미립자 공급관(920)을 포함한다.
즉, 연속으로 이동하는 코팅 대상물(M)은 진공챔버(910)를 통과하고, 상기 진공챔버(910) 내부에서 상기 코팅 대상물(M)에 분사노즐(930)을 통하여 금속증기인 미립자를 분사하며, 미립자는 미립자 발생장치(100)에서 생성된다. 이렇게 상기 코팅 대상물(M)에 증착되는 미립자는 아연(Zn) 증기 또는 합금 성분인 아연(Zn)-마그네슘(Mg) 증기 등 일 수 있다. 따라서, 상기 코팅 대상물(M)은 연속으로 상기 진공챔버(910)를 통과하고 상기 코팅 대상물(M)에 미립자가 증착되어 연속으로 코팅이 이루어진다.
그리고, 상기 분사노즐(930)에 공급되는 미립자의 유동 단면적 변화를 최소화하기 위하여 상기 미립자 공급관(920)은 상기 분사노즐(930)의 폭과 동일한 폭을 가지도록 마련된다.
즉, 종래의 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 미립자 공급관이 원통형으로 마련되어 분사노즐에 미립자를 공급하도록 구성되어 있어, 좁은 유동 단면적을 가지는 미립자 공급관을 통하여 유동 단면적이 순간적으로 확장되는 분사노즐로 미립자가 공급되어 분사노즐 내부에서 미립자의 유동 불균일이 발생하여 폭방향 도금피막 두께 편차를 유발시키는 문제가 있다.
따라서, 본 발명은 이러한 문제를 해소하기 위하여, 상기 미립자 공급관(920)을 상기 분사노즐(930)의 폭과 동일한 폭을 가지도록 마련하여 상기 분사노즐(930)에 공급되는 미립자의 유동 단면적 변화를 제거하여 상기 분사노즐(930)을 통하여 분사되는 미립자를 폭방향으로 균일하게 분사할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.
M : 코팅 대상물 100 : 미립자 발생장치
200 : 저장용기 300 : 가열수단
310 : 전열관 320 : 전열선
400 : 교반수단 410 : 연결부재
420 : 회전부재 430 : 구동부
440 : 교반부재 450 : 믹싱바
500 : 코팅용액 공급수단 510 : 용융용기
520 : 가열부 600 : 원료입자 공급장치
700 : 수위 감지센서 800 : 제어부
910 : 진공챔버 920 : 미립자 공급관
930 : 분사노즐

Claims (15)

  1. 코팅용액이 저장되는 저장용기;
    코팅 대상물에 증착되는 미립자를 발생하도록 상기 저장용기의 코팅용액에 침지되어 코팅용액을 국부적으로 가열하는 가열수단; 및,
    상기 가열수단이 코팅용액에 침지된 상태에서 상기 가열수단을 이동시켜 코팅용액을 교반하는 교반수단;을 포함하고,
    상기 가열수단은,
    코팅용액에 침지되는 전열관; 및
    상기 전열관의 내부에 배치되고, 외부로부터 전기를 공급받아 열을 발생하는 전열선;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  2. 삭제
  3. 코팅용액이 저장되는 저장용기; 및
    코팅 대상물에 증착되는 미립자를 발생하도록 상기 저장용기의 코팅용액에 침지되어 코팅용액을 국부적으로 가열하는 가열수단; 을 포함하고,
    상기 가열수단은,
    코팅용액에 침지되는 전열관; 및
    상기 전열관의 내부에 배치되고, 외부로부터 전기를 공급받아 열을 발생하는 전열선;
    을 포함하고,
    상기 전열관은,
    복수의 관이 연결되어 모눈 형태를 이루고, 코팅용액의 표면과 평행하게 코팅용액의 상층부에 침지되는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 교반수단은,
    일측단이 상기 전열관에 체결되고 타측단이 상기 저장용기의 외측으로 돌출되는 연결부재;
    편심되게 돌출부가 구비되고, 상기 돌출부에 상기 연결부재의 타측단이 삽입되는 회전부재;
    상기 회전부재를 회전시키는 구동부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 교반수단은,
    복수로 마련되어 상기 전열관의 전후에 배치되고, 상기 구동부의 동작에 대응하여 회전 운동하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 교반수단은,
    상기 전열관의 하측면으로 돌출되게 상기 전열관에 체결되어 코팅용액에 침지되고 상기 전열관의 이동시 코팅용액을 교반하는 교반부재;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 교반부재는,
    단부에 상기 교반부재에 수직하게 믹싱바가 체결되는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 교반부재는,
    복수로 마련되고, 이웃하는 믹싱바가 서로 다른 방향을 향하도록 상기 전열관에 체결되는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 저장용기와 연계되고, 공급되는 고상 코팅매질을 용융시켜 상기 저장용기로 공급하는 코팅용액 공급수단;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 코팅용액 공급수단은,
    상기 저장용기에 이웃하여 배치되고, 용융된 코팅용액이 일정 수위 이상이 되면 상기 저장용기로 유동하도록 상기 저장용기와 연결된 연통홀이 형성된 용융용기; 및
    상기 용융용기를 감싸도록 배치되고, 상기 용융용기에 공급된 고상 코팅매질을 용융시키도록 가열하는 가열부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 용융용기와 연계되고, 상기 용융용기에 고상 코팅매질을 공급하는 원료입자 공급장치;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 저장용기에 저장된 코팅용액의 수위를 측정하는 수위 감지센서; 및
    상기 수위 감지센서로부터 데이터를 수신하고, 코팅용액의 수위에 대응하여 고상 코팅매질을 선택적으로 공급 또는 공급 차단하도록 상기 원료입자 공급장치를 제어하는 제어부;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미립자 발생장치.
  14. 제1항, 제3항, 제5항 내지 제13항 중 어느 하나의 항에 기재된 미립자 발생장치;
    상기 미립자 발생장치의 전체 또는 일부를 포위하고, 진공 상태로 코팅 대상물이 통과하도록 마련되는 진공챔버;
    코팅 대상물에 미립자를 분사하여 코팅 대상물을 코팅하는 분사노즐; 및
    상기 미립자 발생장치와 상기 분사노즐 간을 연결하고, 상기 미립자 발생장치에서 생성된 미립자를 상기 분사노즐에 공급하는 미립자 공급관;
    을 포함하는 코팅 시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 분사노즐에 공급되는 미립자의 유동 단면적 변화를 최소화하기 위하여 상기 미립자 공급관은 상기 분사노즐의 폭과 동일한 폭을 가지도록 마련되는 것을 특징으로 하는 코팅 시스템.
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