KR101737828B1 - Fiber type transistor with ionic elastomer dielectric and method for manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
본 발명의 이온성 탄성유전체 기반 섬유형 트랜지스터는 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 형성된 제 1 섬유소자; 및 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체층이 코팅된 제 2 섬유소자를 포함한다. 이때, 제 1 섬유소자 및 제 2 섬유소자가 교차하여 배치된다.The ionic elastic dielectric based fiber-based transistor of the present invention comprises: a first fiber element formed by coating a semiconductor active material on a conductive core fiber and sequentially winding conductive fibers; And a second fibrous element coated with an ionic elastic dielectric layer on the conductive core fiber. At this time, the first fiber element and the second fiber element are arranged to cross each other.
Description
본 발명은 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터 및 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an ionic elastic dielectric-based fiber-type transistor and a method of manufacturing the same.
최근 스마트 웨어러블 전자기기에 대한 관심이 집중되고 있다. 웨어러블 전자기기를 구현하기 위해서는 유연한 유전체, 전도체, 및 반도체가 필요하며, 이를 위한 새로운 물질에 대한 연구가 이루어지고 있다. 또한, 새로운 물질뿐만 아니라, 부품 기하학적 구조, 효율적인 장치 및 새로운 요소 공정방법에 대해서도 관심이 증가하고 있다.Recently, attention has been focused on smart wearable electronic devices. Flexible dielectrics, conductors, and semiconductors are needed to implement wearable electronic devices, and new materials are being studied. There is also a growing interest in not only new materials, but also part geometry, efficient devices and new element processing methods.
이러한 필요에 따라 굽힘이나 변형 특성이 우수하고, 변형 상태에서도 원활하게 동작할 수 있는 섬유형 소자에 대한 연구가 진행되고 있다. 그러나, 지금까지의 섬유형 소자에 대한 연구는 구조적 접근이 용이한 슈퍼 커패시터나 배터리 등에 집중되고 있다. 또한, 섬유형 소자를 구현하기 위해 섬유, 직물형태의 기판을 필요로 하거나 제작공정 과정에서 리소그라피 또는 증착 등의 복잡한 공정이 필요하다는 문제점이 있다.Research has been conducted on a fiber type device that is excellent in bending and deformation characteristics and can operate smoothly even in a deformed state. However, research on fiber-type devices up to now has focused on super capacitors and batteries that are easy to structure. Further, in order to realize a fiber-type device, there is a problem that a complicated process such as lithography or deposition is required in the process of manufacturing or requiring a substrate in the form of fiber or fabric.
한편 이와 관련하여, 부품의 기하학적 구조와 관련하여 웨어러블한 섬유의 특성을 이용하기 위한 섬유소재 및 섬유구조에 대해, 한국 공개 특허 공보 제 10-2013-0103835호(발명의 명칭: 드라이버 섬유와 그 응용 방법)는 드라이버 섬유와 그 섬유를 응용하여 능동 구동 디스플레이를 구성하는 제조 방법에 대해서 개시하고 있다. 이와 같은 기술을 통해, 전도성 섬유를 직조방식으로 결합하여 대형 디스플레이를 제조할 수 있다.On the other hand, in relation to the fiber material and the fiber structure for exploiting the characteristics of the wearable fiber in relation to the geometrical structure of the component, Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2013-0103835 (entitled: ≪ / RTI > discloses a manufacturing method for constructing an active drive display by applying driver fibers and fibers thereof. Through such a technique, a large display can be manufactured by combining conductive fibers in a woven manner.
하지만, 이와 같은 전도성 섬유를 이용한 방법은 어레이의 형태로 제작하기 위해서 패터닝 또는 리소그라피와 같은 복잡한 공정이 필요하며 높은 구동 전압이 요구된다.However, such a method using a conductive fiber requires a complicated process such as patterning or lithography in order to form an array, and a high driving voltage is required.
본 발명의 일부 실시예는 섬유 공정을 적용하여 대면적화가 가능하고, 높은 생산성을 가지는 섬유형 트랜지스터 및 이를 이를 제조하는 방법을 제공한다.Some embodiments of the present invention provide fiber-type transistors that can be made large by applying a fiber process, have high productivity, and a method of manufacturing the same.
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.It should be understood, however, that the technical scope of the present invention is not limited to the above-described technical problems, and other technical problems may exist.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 기술적 수단으로서, 본 발명의 제 1 측면에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터는 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 형성된 제 1 섬유소자; 및 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체층이 코팅된 제 2 섬유소자를 포함한다. 이때, 제 1 섬유소자 및 제 2 섬유소자가 교차하여 배치된다.According to a first aspect of the present invention, there is provided an ionic elastic dielectric based fiber-based transistor comprising a conductive core fiber coated with a semiconductor active material, Fiber element; And a second fibrous element coated with an ionic elastic dielectric layer on the conductive core fiber. At this time, the first fiber element and the second fiber element are arranged to cross each other.
또한, 본 발명의 제 2 측면에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터 어레이는 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 형성된 복수의 제 1 섬유소자; 및 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체층이 코팅된 복수의 제 2 섬유소자를 포함한다. 이때, 복수의 제 1 섬유소자 및 복수의 제 2 섬유소자는 교차하여 방직된다.According to a second aspect of the present invention, there is provided an ionic elastic dielectric based fiber-based transistor array comprising: a plurality of first fiber elements formed by coating a semiconductor active material on conductive core fibers and sequentially winding conductive fibers; And a plurality of second fibrous elements coated with an ionic elastic dielectric layer on the conductive core fiber. At this time, the plurality of first fiber elements and the plurality of second fibrous elements are woven crosswise.
또한, 본 발명의 제 3 측면에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터를 제조하는 방법은 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 형성된 제 1 섬유소자와 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체층을 코팅하여 형성된 제 2 섬유소자를 교차하여 방직하는 단계를 포함한다. According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of fabricating an ionic elastic dielectric based fiber-based transistor, comprising: coating a semiconductor active material on a conductive core fiber, sequentially forming a conductive fiber, And crossing the second fibrous element formed by coating the ionic elastic dielectric layer.
전술한 본 발명의 과제 해결 수단에 의하면, 섬유나 직물을 기판으로 이용하지 않고, 섬유공정 자체를 적용하여 대면적화가 가능하며 높은 생산성을 가진 섬유형 트랜지스터를 제조할 수 있다. According to the above-mentioned object of the present invention, it is possible to fabricate a fiber-type transistor having a large area and high productivity by applying a fiber process itself without using a fiber or a fabric as a substrate.
또한, 본 발명의 일부 실시예는 이온성 탄성 유전체를 사용하여, 전압을 인가하였을 때 이온성 탄성체층의 내부에서, 이온의 이동을 통해 반도체 층의 캐리어의 축척을 유도한다. 이로 인해, 게이트 전극이 유전층에 접촉되어 있는 상태라면 반도체 층의 캐리어 축척을 가능하게 하여 소자의 구동이 가능하고, 어레이 형태로도 구현하기 용이하다.Some embodiments of the present invention also use an ionic elastic dielectric to induce a scale of carriers in the semiconductor layer through the movement of ions within the ionic elastomer layer when a voltage is applied. Therefore, if the gate electrode is in contact with the dielectric layer, it is possible to drive the device by making the carrier scale of the semiconductor layer possible, and it is easy to realize the device in an array form.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터의 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성유전체 기반 섬유형 트랜지스터의 제조 방법을 나타내는 순서도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 섬유소자의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 섬유소자의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 2 섬유소자의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제 2 섬유소자의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.1 is a conceptual diagram of an ionic elastic dielectric based fiber-based transistor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart illustrating a method of fabricating an ionic elastic dielectric-based fiber-type transistor according to one embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining a method of manufacturing a first fibrillated element according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a first fibrillated filament according to an embodiment of the present invention.
5 is a view for explaining a method of manufacturing a second fibrous element according to an embodiment of the present invention.
6 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a second fibrillator according to an embodiment of the present invention.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and similar parts are denoted by like reference characters throughout the specification.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is referred to as being "connected" to another part, it includes not only "directly connected" but also "electrically connected" with another part in between . Also, when a part is referred to as "including " an element, it does not exclude other elements unless specifically stated otherwise.
본 발명의 일 실시 예에 따른 이온성 유전체란 유전체로 사용될 수 있는 이온결합 물질을 포함하는 것을 말한다. 본 발명의 일 실시예에서, 탄성력이 있는 고분자 화합물과 이온성 유전체를 포함하는 이온성 유전체층이 사용되었으나 이에 제한되는 것은 아니며, 매트릭스로 사용된 고분자 화학물은 실리콘 계열의 무기재료, 세라믹, 유기물질로 대체될 수 있다.An ionic dielectric according to an embodiment of the present invention includes an ionic material that can be used as a dielectric material. In one embodiment of the present invention, an ionic dielectric layer comprising an elastic polymeric compound and an ionic dielectric is used, but the polymeric material used as the matrix is not limited to silicon-based inorganic materials, ceramics, organic materials ≪ / RTI >
또한, 본 발명에서 사용되는 섬유공정(이하, 방직, 방적, 방사, 및 조방 등)은 실제 섬유를 제조할 때 사용되는 방법과 유사하다. 본 발명의 일 실시예는 섬유공정 방법으로 도전성 물질을 이용하여 소스, 게이트, 및 드레인 전극을 제조하였다. 이때, 이온성 탄성 유전체를 함께 사용하여 섬유형 트랜지스터로서 기능하게 하였다.In addition, the fiber processes (hereinafter referred to as weaving, spinning, spinning, coater, etc.) used in the present invention are similar to those used in producing actual fibers. One embodiment of the present invention has fabricated source, gate, and drain electrodes using a conductive material by a fiber processing method. At this time, ionic elastic dielectrics were used together to function as a fiber type transistor.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터, 및 그 제조 방법에 대하여 자세히 설명한다.Hereinafter, an ionic elastic dielectric-based fiber type transistor according to an embodiment of the present invention and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터의 개념도이다.1 is a conceptual diagram of an ionic elastic dielectric based fiber-based transistor according to an embodiment of the present invention.
먼저, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터는 제 1 섬유소자(100), 및 제 2 섬유소자(200)를 포함한다. 이때, 제 1 섬유소자(100)와 제 2 섬유소자(200)는 서로 접촉하여 배치되어 있다. 도면에 배치된 구조에서는 서로 수직한 형태로 교차되도록 배치되고 있으나 이외에도, 다양한 형태로 서로 교차하여 직물 형태로 배치될 수 있다.First, as shown in FIG. 1 (a), an ionic elastic dielectric-based fiber type transistor according to an embodiment of the present invention includes a
더욱 상세하게, 제 1 섬유소자(100)는 드레인 전극(110), 활성층(120), 및 소스 전극(130)을 포함한다.More specifically, the
제 2 섬유소자(200)는 게이트 전극(210), 및 이온성 탄성 유전체층(220)을 포함한다.The
먼저, 제 1 섬유소자(100)는 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 형성된다. 이때, 제 1 섬유소자(100)의 도전성 코어 섬유는 드레인 전극(110)으로서 기능하고, 반도체 활성물질은 활성층(120)으로서 기능하며, 도전성 섬유는 소스 전극(130)으로서 기능한다.First, the
제 1 섬유소자(100)의 구조를 살펴보면, 제 1 섬유소자(100)는 코어(core)영역에 배치된 드레인 전극(110), 드레인 전극(110)을 둘러싸며 드레인 전극(110)을 코팅하고 있는 활성층(120), 및 활성층(120)과 접촉하며 활성층(120)의 표면을 방사형으로 감싸고 있는 소스 전극(130)을 포함한다. The
여기에서의 활성층(120)은 반도체 물질로 이루어진 것으로, 여기서 반도체 물질이란 유기 반도체, 무기 반도체 및 탄소 반도체 중 어느 하나 이상을 포함하는 것일 수 있다. 일례로, 유기 반도체는 폴리씨오펜, 펜타센 등을 포함하는 것일 수 있으며, 무기 반도체는 실리콘, 게르마늄, 갈륨 및 비소 등을 포함하는 것일 수 있다. 아울러, 탄소 반도체는 탄소를 포함하는 것으로써, 일례로, 그래핀, 탄소나노튜브 등을 포함하는 것일 수 있다. 유기 반도체, 무기 반도체 및 탄소 반도체를 구성하는 물질은 일례일 뿐, 상술한 물질에 제한되는 것은 아니다. Here, the
드레인 전극(110) 및 소스 전극(130)은 금속, 도전성 산화 금속, 도전성 폴리머, 도전성 카본, 도전성 나노 입자 또는 유기 물질이나 도전성 물질 사이에 삽입된 나노 입자에서 선택된 전극 물질로 형성될 수 있다.The
다음으로, 제 2 섬유소자(200)는 도전성 코어 섬유(210)에 이온성 탄성 유전체층(220)이 코팅되어 형성된다. 이때, 제 2 섬유소자(200)의 이온성 탄성 유전체층(220)은 절연막으로서 기능하고, 도전성 코어 섬유는 게이트 전극(210)으로서 기능한다.Next, the
구체적으로, 제 2 섬유소자(200)는 코어(core)영역에 배치된 게이트 전극(210), 및 게이트 전극(210)을 둘러싸며 게이트 전극(210)을 코팅하고 있는 이온성 탄성 유전체층(220)을 포함한다. The
게이트 전극(210)은 전술한 드레인 전극(110) 및 소스 전극(130)과 마찬가지로 금속, 도전성 산화 금속, 도전성 폴리머, 도전성 카본, 도전성 나노 입자 또는 유기 물질이나 도전성 물질 사이에 삽입된 나노 입자에서 선택된 전극 물질로 형성될 수 있다.Like the
전술한 바와 같이, 이온성 탄성 유전체층(220)은 유전체로 사용될 수 있는 이온결합 물질을 포함한다. 본 발명의 일 실시예에서, 이온성 탄성 유전체층(220)은 탄성력이 있는 고분자 화합물 및 이온성 유전체를 포함하는 이온성 유전체층을 포함하나 이에 제한되는 것은 아니다. 이때, 고분자 화합물은 매트릭스로 사용되었으며, 탄성체, 실리콘 계열의 무기재료, 세라믹, 또는 유기물질로 대체될 수 있다. As described above, the ionic elastic
도 1의 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터의 이온성 탄성 유전체층(220) 내에서 전압이 인가되었을 때, 제 1 섬유소자(100)및 제 2 섬유소자(200)의 교차점상에서 나타나는 현상의 개념도이다. FIG. 1 (b) is a cross-sectional view of a
게이트 전극(210)에 전압이 인가되면, 이온성 탄성 유전체층(220) 내부의 이온성 유전체의 양이온과 음이온이 도 1의 (b)와 같이 이동하게 된다. 예를 들면, 양이온은 게이트 전극(210)으로 이동하고, 음이온은 소스 전극(130)과 드레인 전극(110)이 있는 제 1 섬유소자(100)의 표면으로 이동한다. 이로 인해, 이온성 탄성 유전체층(220)은 전기 이중층(electric double layer)을 형성하게 되고, 활성층(120)에 반도체 캐리어(carrier)가 축적된다. 이어서, 드레인 전극(110)에 전압이 인가되면, 소스 전극(130)과 드레인 전극(110) 사이에 전압 차이를 야기하여 소스 전극(130)과 드레인 전극(110)사이에 전류가 흐르게 된다.When a voltage is applied to the
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터의 제조 순서도이다.FIG. 2 is a flow chart for fabricating an ionic elastic dielectric-based fiber-type transistor according to an embodiment of the present invention.
본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터를 제조하는 방법은 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 제 1 섬유소자를 형성하는 단계(S210), 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체층을 코팅하여 제 2 섬유소자를 형성하는 단계(S220), 및 제 1 섬유소자 및 제 2 섬유소자를 교차하여 방직하는 단계(S230)를 포함한다.A method of fabricating an ionic elastic dielectric based fiber-based transistor according to an embodiment of the present invention includes coating a semiconductor active material on a conductive core fiber and sequentially winding conductive fibers to form a first fiber element (S210) Coating the conductive core fiber with an ionic elastic dielectric layer to form a second fibrous element (S220), and weaving the first fibrous element and the second fibrous element crosswise (S230).
다만, 제 1 섬유 소자를 형성하는 단계(S210)와 제 2 섬유소자를 형성하는 단계(S220)의 순서에 특별한 의미가 있는 것은 아니며, 각 단계는 병렬적으로 수행될 수 있다. 즉, 제 2 섬유소자를 형성하는 단계(S220)가 먼저 수행되거나, 각 단계가 동시에 수행되는 것도 가능하다.However, there is no particular significance in the order of forming the first fiber element (S210) and forming the second fiber element (S220), and each step may be performed in parallel. That is, the step of forming the second fiber element (S220) may be performed first, or each step may be performed simultaneously.
먼저, 제 1 섬유소자를 형성하는 단계(S210)를 도 3 및 도 4를 함께 참조하여 보다 자세히 설명하도록 한다.First, a step S210 for forming a first fiber element will be described in more detail with reference to FIGS. 3 and 4. FIG.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 섬유소자의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining a method of manufacturing a first fibrillated element according to an embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 섬유소자의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.4 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a first fibrillated filament according to an embodiment of the present invention.
먼저, 도 4의 순서도를 참조하면 제 1 섬유소자의 제조방법은 도전성 물질 을 이용하여 도전성 코어 섬유를 형성하는 단계(S410), 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 용융 또는 용액방사하여 반도체 활성물질을 도전성 코어 섬유에 코팅하는 단계(S420), 및 도전성 물질을 이용하여 사출된 도전성 섬유를 반도체 활성물질이 코팅된 도전성 코어 섬유에 권취하는 단계(S430)를 포함한다.Referring to the flowchart of FIG. 4, a first method for fabricating a fibrillated fiber includes the steps of forming a conductive core fiber using a conductive material (S410), melting or spinning a semiconductor active material to the conductive core fiber, Coating the conductive fibers on the core fibers (S420), and winding the conductive fibers injected using the conductive material onto the conductive core fibers coated with the semiconductor active material (S430).
단계(S410)에서는 일반적으로 알려진 섬유 공정을 통해도전성 코어 섬유가 형성될 수 있다. 또는, 굵기가 다른 다수의 도전성 물질을 합치고 잡아 늘려 균일한 도전성 물질로 만들고, 일부 물질의 특성에 따라서 이를 가늘게 드래프트(draft)한 후, 강도가 생기도록 꼬임을 주어 보빈에 감는 공정을 수행하여, 도전성 코어 섬유를 형성할 수 있다. In step S410, conductive core fibers may be formed through a generally known fiber process. Alternatively, a plurality of conductive materials having different thicknesses may be combined and stretched to form a uniform conductive material. The conductive material may be finely drafted according to the properties of some materials, and then twisted to form a bobbin, The conductive core fibers can be formed.
다음으로, 도 3의 (b)와 같이, 앞선 단계 (S410)에서 형성된 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 용융 또는 용액방사하여 반도체 활성물질을 도전성 코어 섬유에 코팅한다(S420). 즉, 드레인 전극(110)위에 반도체로 이루어진 활성층(120)을 코팅한다(S420). 이때, 반도체 물질은 유기 반도체, 무기 반도체 및 탄소 반도체 중 어느 하나 이상을 포함하는 것일 수 있다. 일례로, 유기 반도체는 폴리씨오펜, 펜타센 등을 포함하는 것일 수 있으며, 무기 반도체는 실리콘, 게르마늄, 갈륨 및 비소 등을 포함하는 것일 수 있다. 아울러, 탄소 반도체는 탄소를 포함하는 것으로써, 일례로, 그래핀, 탄소나노튜브 등을 포함하는 것일 수 있다. 유기 반도체, 무기 반도체 및 탄소 반도체를 구성하는 물질은 일례일 뿐, 상술한 물질에 제한되는 것은 아니다. Next, as shown in FIG. 3B, the semiconductor active material is coated on the conductive core fibers by melting or spinning the semiconductor active material on the conductive core fibers formed in the preceding step S410 (S420). That is, the
다음으로, 도 3의 (c)와 같이, 앞선 단계 (S420)에서 도전성 물질을 이용하여 사출된 도전성 섬유를 반도체 활성물질이 코팅된 도전성 코어 섬유에 권취한다(S430). 일례로, 사출된 도전성 섬유를 반도체 활성물질이 코팅된 도전성 코어 섬유에 권취하는 단계(S430)에서, 사출된 도전성 섬유가 반도체 활성물질이 코팅된 표면에 접촉하며 나선형(helix) 구조로 권취될 수 있다. 즉, 반도체 활성물질이 코팅된 도전성 코어 섬유 위에, 도전성 섬유를 나선형 구조로 권취함으로써, 활성층(120)이 코팅된 드레인 전극(110)위에, 소스 전극(130)을 나선형 구조로 형성할 수 있다. Next, as shown in FIG. 3C, the conductive fibers injected using the conductive material in the preceding step S420 are wound on the conductive core fiber coated with the semiconductor active material (S430). For example, in the step S430 of winding the injected conductive fibers onto the conductive core fiber coated with the semiconductor active material, the injected conductive fibers may be wound into a helical structure in contact with the coated surface of the semiconductor active material have. That is, the
한편, 제 2 섬유소자를 형성하는 단계(S220)를 도 5 및 도 6를 함께 참조하여 보다 자세히 설명하도록 한다.Meanwhile, the step of forming the second fiber element (S220) will be described in detail with reference to FIGS. 5 and 6. FIG.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 2 섬유소자의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a method of manufacturing a second fibrous element according to an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제 2 섬유소자의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.6 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a second fibrillator according to an embodiment of the present invention.
먼저, 도 6의 순서도를 참조하면, 제 2 섬유소자(200)의 제조방법은 도전성 물질을 이용하여 도전성 코어 섬유를 형성하는 단계(S610), 및 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체를 용융 또는 용액방사하여 이온성 탄성 유전체층을 코팅하는 단계(S620)을 포함한다.6, the method for fabricating the
도전성 코어 섬유를 형성하는 과정은 전술한 도 3의 (a)를 통해 설명한 방법과 동일하므로, 상세한 설명은 생략한다.The process of forming the conductive core fibers is the same as that described above with reference to FIG. 3 (a), and thus a detailed description thereof will be omitted.
도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체를 용융 또는 용액방사하여 이온성 탄성 유전체층을 코팅하는 단계(S620)에서, 도 5의 (b)와 같이, 단계 (S610)에서 형성된 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체를 용융 또는 용액방사하여 이온성 탄성 유전체층을 도전성 코어 섬유에 코팅한다. 즉, 게이트 전극(210)으로 사용되는 도전성 코어 섬유위에 이온성 탄성 유전체로 이루어진 이온성 탄성 유전체층(220)을 코팅한다.In step (S620) of coating the ionic elastic dielectric layer by melting or solution spinning of the ionic elastic dielectric material on the conductive core fiber, the conductive core fiber formed in step (S610) The ionic elastic dielectric layer is coated on the conductive core fiber by melting or solution spinning. That is, the ionic
다음으로, 다시 도 2를 참조하면 앞서서 설명한 도 3 내지 도 6을 통해 형성된 제 1 섬유소자 및 제 2 섬유소자를 교차하여 방직하여 섬유형 트랜지스터를 제조한다(S230). 이때, 섬유형 트랜지스터를 제조하는 방법은 제 1 섬유소자 및 제 2 섬유소자가 서로 접촉할 수 있다면 어떠한 방직방법을 사용해도 상관이 없다.Next, referring again to FIG. 2, a first fiber element and a second fiber element formed through FIGS. 3 to 6 described above are cross-woven to fabricate a fiber-type transistor (S230). At this time, the method of fabricating the fiber-type transistor may use any textile method as long as the first fiber element and the second fiber element can contact each other.
전술한 본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터 및 이를 제조하는 방법에 의하면 제 1 섬유소자(100) 및 제 2 섬유소자(200)가 교차하는 지점에 하나의 트랜지스터가 구현될 수 있다. 따라서, 복수의 제 1 섬유소자(100) 및 제 2 섬유소자(200)를 교차하면, 각 교차 지점에 복수의 트랜지스터가 배치된 어레이 형태로 구현할 수 있다. According to the ionic elastic dielectric-based fiber-type transistor and the method for fabricating the same, one transistor is implemented at the intersection of the
즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 이온성 탄성 유전체 기반 섬유형 트랜지스터 어레이는 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 형성된 복수의 제 1 섬유소자(100), 및 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체층이 코팅된 복수의 제 2 섬유소자(200)를 포함한다. 이때, 섬유형 트랜지스터 어레이는 복수의 제 1 섬유소자 및 복수의 제 2 섬유소자가 교차하여 방직됨으로써 형성될 수 있다.여기에서 제1 섬유소자(100)에 포함된 도전성 코어 섬유는 드레인 전극(110)으로, 반도체 활성물질은 활성층(120)으로 도전성 섬유는 소스 전극(130)으로서 기능하여 섬유형 트랜지스터를 형성한다. That is, the ionic elastic dielectric-based fiber-type transistor array according to an embodiment of the present invention includes a plurality of
이때, 제 2 섬유소자(200)에 포함된 도전성 코어 섬유는 게이트 전극(220)으로 사용될 수 있다.At this time, the conductive core fibers included in the
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that the foregoing description of the present invention is for illustrative purposes only and that those of ordinary skill in the art can readily understand that various changes and modifications may be made without departing from the spirit or essential characteristics of the present invention. will be. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. For example, each component described as a single entity may be distributed and implemented, and components described as being distributed may also be implemented in a combined form.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.
100: 제 1 섬유소자
110: 드레인 전극
120: 활성층
130: 소스 전극
200: 제 2 섬유소자
210: 게이트 전극
220: 이온성 탄성 유전체층100: first fiber element
110: drain electrode
120: active layer
130: source electrode
200: second fiber element
210: gate electrode
220: ionic elastic dielectric layer
Claims (14)
도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 형성된 제 1 섬유소자; 및
도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체층이 코팅된 제 2 섬유소자를 포함하되,
상기 제 1 섬유소자 및 상기 제 2 섬유소자가 교차하여 배치된 것인 섬유형 트랜지스터.In an ionic elastic dielectric-based fiber-type transistor,
A first fiber element formed by coating a conductive active material on a conductive core fiber and sequentially winding conductive fibers; And
And a second fibrous element coated with an ionic elastic dielectric layer on the conductive core fiber,
Wherein the first fiber element and the second fibril element are arranged crossing each other.
상기 이온성 탄성 유전체층은
유전체로 사용될 수 있는 이온결합 물질을 포함하는 것인 섬유형 트랜지스터.The method according to claim 1,
The ionic elastic dielectric layer
Lt; RTI ID = 0.0 > a < / RTI > dielectric material that can be used as a dielectric.
상기 제 1 섬유소자의 도전성 코어 섬유는 드레인 전극으로서 기능하고, 상기 반도체 활성물질은 활성층으로서 기능하고, 상기 도전성 섬유는 소스 전극으로서 기능하고,
상기 제 2 섬유소자의 이온성 탄성 유전체층은 절연막으로서 기능하고, 상기 제 2 섬유소자의 도전성 코어 섬유는 게이트 전극으로서 기능하는 것인 섬유형 트랜지스터.The method according to claim 1,
Wherein the conductive core fiber of the first fibrous element functions as a drain electrode, the semiconductor active material functions as an active layer, the conductive fiber functions as a source electrode,
Wherein the ionic elastic dielectric layer of the second fibrous element functions as an insulating film, and the conductive core fibers of the second fibrous element function as a gate electrode.
상기 게이트 전극에 인가되는 전압에 따라 상기 이온성 탄성 유전체층에 포함된 이온들이 이동하고, 상기 활성층에 인접한 이온들에 의하여 상기 드레인 전극과 상기 소스 전극 사이에 전류가 흐르는 것이되,
상기 게이트 전극에 음전압이 인가되는 경우 상기 이온성 탄성유전체층 내의 양이온은 상기 게이트 전극으로 이동하고, 음이온은 상기 제 1 섬유소자 쪽으로 이동하고,
상기 게이트 전극에 양전압이 인가되는 경우 상기 이온성 탄성유전체층 내의 음이온은 상기 게이트 전극으로 이동하고, 양이온은 상기 제 1 섬유소자 쪽으로 이동하는 것인 섬유형 트랜지스터.The method of claim 3,
Ions included in the ionic elastic dielectric layer move according to a voltage applied to the gate electrode and a current flows between the drain electrode and the source electrode by ions adjacent to the active layer,
When a negative voltage is applied to the gate electrode, positive ions in the ionic elastic dielectric layer move to the gate electrode, negative ions move to the first fiber element,
Wherein an anion in the ionic elastic dielectric layer migrates to the gate electrode when the positive voltage is applied to the gate electrode and a cation moves toward the first fiber element.
상기 이온성 탄성 유전체층은
상기 제 1 섬유소자 및 상기 제 2 섬유소자의 교차점상에서
상기 게이트 전극에 인가되는 전압에 따라,
상기 게이트 전극에 음전압이 인가되는 경우 상기 이온성 탄성유전체층 내의 양이온은 상기 게이트 전극으로 이동하고, 음이온은 상기 제 1 섬유소자 쪽으로 이동하고,
상기 게이트 전극에 양전압이 인가되는 경우 상기 이온성 탄성유전체층 내의 음이온은 상기 게이트 전극으로 이동하고, 양이온은 상기 제 1 섬유소자 쪽으로 이동하여 전기 이중층(electric double layer)을 형성하고, 활성층상에 반도체 캐리어(carrier)를 축적시키는 것인 섬유형 트랜지스터.The method of claim 3,
The ionic elastic dielectric layer
On the intersection of the first fiber element and the second fiber element
According to the voltage applied to the gate electrode,
When a negative voltage is applied to the gate electrode, positive ions in the ionic elastic dielectric layer move to the gate electrode, negative ions move to the first fiber element,
When positive voltage is applied to the gate electrode, anions in the ionic elastic dielectric layer move to the gate electrode, cations move to the first fiber element to form an electric double layer, Wherein a carrier is deposited.
도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 형성된 복수의 제 1 섬유소자; 및
도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체층이 코팅된 복수의 제 2 섬유소자를 포함하되,
상기 복수의 제 1 섬유소자 및 상기 복수의 제 2 섬유소자가 교차하여 방직된 것인 섬유형 트랜지스터 어레이.In an ionically-elastic dielectric-based fiber-type transistor array,
A plurality of first fiber elements formed by coating a conductive semiconductor fiber with a conductive core fiber and sequentially winding conductive fibers; And
A plurality of second fibrous elements coated with an ionic elastic dielectric layer on the conductive core fibers,
Wherein the plurality of first fiber elements and the plurality of second fibrils are woven by crossing.
상기 이온성 탄성 유전체층은
유전체로 사용될 수 있는 이온결합 물질을 포함하는 것인 섬유형 트랜지스터 어레이.The method according to claim 6,
The ionic elastic dielectric layer
Lt; RTI ID = 0.0 > a < / RTI > dielectric material that can be used as a dielectric.
상기 제 1 섬유소자의 도전성 코어 섬유는 드레인 전극으로서 기능하고, 상기 반도체 활성물질은 활성층으로서 기능하고, 상기 도전성 섬유는 소스 전극으로서 기능하고,
상기 제 2 섬유소자의 이온성 탄성 유전체층은 절연막으로서 기능하고, 상기 제 2 섬유소자의 도전성 코어 섬유는 게이트 전극으로서 기능하는 것인 섬유형 트랜지스터 어레이.The method according to claim 6,
Wherein the conductive core fiber of the first fibrous element functions as a drain electrode, the semiconductor active material functions as an active layer, the conductive fiber functions as a source electrode,
Wherein the ionic elastic dielectric layer of the second fibrous element functions as an insulating film and the conductive core fibers of the second fibrous element function as a gate electrode.
상기 게이트 전극에 인가되는 전압에 따라 상기 이온성 탄성 유전체층에 포함된 이온들이 이동하고, 상기 활성층에 인접한 이온들에 의하여 상기 드레인 전극과 상기 소스 전극 사이에 전류가 흐르는 것이되,
상기 게이트 전극에 음전압이 인가되는 경우 상기 이온성 탄성유전체층 내의 양이온은 상기 게이트 전극으로 이동하고, 음이온은 상기 제 1 섬유소자 쪽으로 이동하고,
상기 게이트 전극에 양전압이 인가되는 경우 상기 이온성 탄성유전체층 내의 음이온은 상기 게이트 전극으로 이동하고, 양이온은 상기 제 1 섬유소자 쪽으로 이동하는 것인 섬유형 트랜지스터 어레이.9. The method of claim 8,
Ions included in the ionic elastic dielectric layer move according to a voltage applied to the gate electrode and a current flows between the drain electrode and the source electrode by ions adjacent to the active layer,
When a negative voltage is applied to the gate electrode, positive ions in the ionic elastic dielectric layer move to the gate electrode, negative ions move to the first fiber element,
Wherein anions in the ionic elastic dielectric layer migrate to the gate electrode and positive ions migrate toward the first fiber element when positive voltage is applied to the gate electrode.
상기 이온성 탄성 유전체층은
상기 제 1 섬유소자 및 상기 제 2 섬유소자의 교차점상에서
상기 게이트 전극에 인가되는 전압에 따라,
상기 게이트 전극에 음전압이 인가되는 경우 상기 이온성 탄성유전체층 내의 양이온은 상기 게이트 전극으로 이동하고, 음이온은 상기 제 1 섬유소자 쪽으로 이동하고,
상기 게이트 전극에 양전압이 인가되는 경우 상기 이온성 탄성유전체층 내의 음이온은 상기 게이트 전극으로 이동하고, 양이온은 상기 제 1 섬유소자 쪽으로 이동하여, 전기 이중층(electric double layer)을 형성하고 활성층상에 반도체 캐리어(carrier)를 축적시키는 것인 섬유형 트랜지스터 어레이.9. The method of claim 8,
The ionic elastic dielectric layer
On the intersection of the first fiber element and the second fiber element
According to the voltage applied to the gate electrode,
When a negative voltage is applied to the gate electrode, positive ions in the ionic elastic dielectric layer move to the gate electrode, negative ions move to the first fiber element,
When positive voltage is applied to the gate electrode, anions in the ionic elastic dielectric layer migrate to the gate electrode and positive ions migrate toward the first fiber element to form an electric double layer, Wherein the carrier accumulates the carriers.
도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 코팅하고, 도전성 섬유를 순차적으로 권취하여 형성된 제 1 섬유소자와 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체층을 코팅하여 제 2 섬유소자를 교차하여 방직하는 단계를 포함하는 섬유형 트랜지스터를 제조하는 방법.A method of fabricating an ionic elastic dielectric based fiber-type transistor,
A step of coating a semiconductor active material on the conductive core fibers, coating the first fiber element formed by sequentially winding the conductive fibers, and coating the ionic elastic dielectric layer on the conductive core fibers to cross the second fiber element, ≪ / RTI >
상기 제 1 섬유소자는 도전성 물질을 이용하여 상기 도전성 코어 섬유를 형성하는 단계;
상기 도전성 코어 섬유에 반도체 활성물질을 용융 또는 용액방사하여 반도체 활성물질을 상기 도전성 코어 섬유에 코팅하는 단계; 및
도전성 물질을 이용하여 사출된 도전성 섬유를 상기 반도체 활성물질이 코팅된 도전성 코어 섬유에 권취하는 단계를 통해 형성된 것인 섬유형 트랜지스터를 제조하는 방법.12. The method of claim 11,
The first fibrillation material may include a conductive material to form the conductive core fiber;
Coating a semiconductor active material on the conductive core fibers by melting or solution spinning the semiconductor active material on the conductive core fibers; And
Wherein the step of winding the conductive fiber on the conductive core fiber coated with the semiconductor active material is conducted through a step of winding the conductive fiber injected using the conductive material onto the conductive core fiber coated with the semiconductor active material.
상기 도전성 코어 섬유에 권취하는 단계는
상기 사출된 도전성 섬유가 반도체 활성물질이 코팅된 표면에 접촉하며 나선형 구조로 권취하는 것을 포함하는 섬유형 트랜지스터를 제조하는 방법.13. The method of claim 12,
The step of winding the conductive core fiber
Wherein the injected conductive fibers contact a surface coated with the semiconductor active material and take up a spiral structure.
상기 제 2 섬유소자는 도전성 물질을 이용하여 상기 도전성 코어 섬유를 형성하는 단계; 및
상기 도전성 코어 섬유에 이온성 탄성 유전체를 용융 또는 용액방사하여 상기 이온성 탄성 유전체층을 코팅하는 단계를 통해 형성된 것인 섬유형 트랜지스터를 제조하는 방법.12. The method of claim 11,
The second fibrillation material may include a conductive material to form the conductive core fiber; And
And coating the ionic elastic dielectric layer by melting or solution spinning the ionic elastic dielectric onto the conductive core fibers.
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007528507A (en) | 2004-02-12 | 2007-10-11 | パノラマ ラブズ ピーティーワイ リミテッド | System, method and computer program product for textileized waveguide display and memory |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007528507A (en) | 2004-02-12 | 2007-10-11 | パノラマ ラブズ ピーティーワイ リミテッド | System, method and computer program product for textileized waveguide display and memory |
| JP2010510393A (en) | 2006-10-10 | 2010-04-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | Textile connecting electronic devices |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10915024B2 (en) | 2017-07-18 | 2021-02-09 | Korea Institute Of Science And Technology | Method for manufacturing pattern for electronic devices, and fiber-type electronic device comprising the pattern for electronic devices |
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