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KR101723438B1 - 방사선 검출기 및 그 제조 방법 - Google Patents

방사선 검출기 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR101723438B1
KR101723438B1 KR1020150085347A KR20150085347A KR101723438B1 KR 101723438 B1 KR101723438 B1 KR 101723438B1 KR 1020150085347 A KR1020150085347 A KR 1020150085347A KR 20150085347 A KR20150085347 A KR 20150085347A KR 101723438 B1 KR101723438 B1 KR 101723438B1
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Abstract

본 발명은 방사선을 흡수하는 섬광체와 상기 섬광체에 형성되는 광검출기를 포함하고, 상기 광검출기는 서로 이격된 위치에 배치되는 제1 접촉 전극과 제2 접촉 전극 및 상기 제1 접촉 전극과 상기 제2 접촉 전극의 사이에 연결되어 전자의 이동경로를 형성하는 활성층을 포함하며, 상기 활성층은 상기 섬광체의 형상에 대응하여 변형될 수 있도록, 연성을 부여하는 2차원 나노 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기를 제공한다.

Description

방사선 검출기 및 그 제조 방법{THE RADIATION DETECTOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 방사선 검출기와 그 제조 방법에 관한 것이다.
방사선을 측정하는 방사선 검출기에는 여러 종류가 있으나, 섬광체형 방사선 검출기는 방사선이 입사하면 빛을 발생시키는 섬광체와 그 발생된 빛을 검출하는 광검출기가 결합된 구조를 가지고 있다.
방사선 검출기는 광검출기를 포함하고, 광검출기는 실리콘(Si)이나 게르마늄(Ge) 등의 두께가 두꺼우면서 견고한 반도체 웨이퍼(wafer)를 기반으로 제작되는 것이 일반적이고, 별도로 제작한 섬광체와 결합시켜 방사선 검출기를 구성하게 된다. 통상적으로 광검출기는 딱딱한 실리콘 반도체 웨이퍼를 기반으로 제작되므로 휘어지거나 구부러질 수 없어, 섬광체와 결합할 때 섬광체의 부착면 형상에 제한을 받는다는 단점이 있다. 또한, 웨이퍼 자체의 두께가 두꺼우므로 섬광체에 부착 후에는 그 두께만큼 방사선 검출기의 두께가 증가되는 문제점이 있다.
본 발명의 일 목적은, 광검출기가 섬광체의 부착면 형상에 제한을 받지 않아 다양한 형상을 가질 수 있는 방사선 검출기의 구조를 제안하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 일 목적은, 본 발명에 따르는 방사선 검출기를 제조하는 방법을 제안하기 위한 것이다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 실시예와 관련된 방사선 검출기는,방사선을 흡수하는 섬광체; 및 상기 섬광체에 형성되는 광검출기를 포함하고, 상기 광검출기는, 서로 이격된 위치에 배치되는 제1 접촉 전극과 제2 접촉 전극; 및 상기 제1 접촉 전극과 상기 제2 접촉 전극의 사이를 연결하고 빛을 흡수하면 전자-정공 쌍을 형성하는 활성층을 포함하며, 상기 활성층은 상기 섬광체에 대응된 형상으로 결합될 수 있도록, 연성을 부여하는 2차원 나노 물질로 형성된다.
본 발명과 관련한 일 예에 따르면, 상기 2차원 나노 물질은 그래핀, 그래핀 옥사이드, 환원된 그래핀 옥사이드 및 그래핀 양자점 중 적어도 하나를 포함한다.
본 발명과 관련한 다른 일 예에 따르면, 상기 2차원 나노 물질은 MX2의 화학식을 가지고, 상기 M은 주기율표상 4 내지 6족에 속하는 원소들 중 하나이고, 상기 X는 황(S), 셀레늄(Se) 및 텔루늄(Te) 중 하나이다.
본 발명과 관련한 다른 일 예에 따르면, 상기 광검출기는, 상기 활성층에 밀착되고, 상기 접촉 전극들에 의해 지지되며, 상기 활성층의 외부로의 노출을 제한하는 패시베이션층을 더 포함한다.
본 발명과 관련한 다른 일 예에 따르면, 상기 섬광체와 상기 광검출기 사이에 개재되어 상기 섬광체에서 발생한 전기적 신호가 상기 광검출기로 전달되는 것을 차단하는 절연층을 더 포함한다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따르는 방사선 검출기의 제조 방법은, 섬광체 상에 2차원 나노 물질을 전사하여 활성층을 형성하는 단계; 상기 활성층의 표면에 서로 이격된 두 개의 접촉 전극을 형성하는 단계; 및 상기 활성층을 패터닝하여 상기 접촉 전극들의 사이에 상기 활성층이 위치하도록 하는 단계를 포함한다.
본 발명과 관련한 다른 일 예에 따르는 방사선 검출기의 제조 방법은, 2차원 나노 물질을 포함하는 광검출기를 실리콘옥사이드 기판 위에 형성하는 단계; 소자 전사 임시기판을 상기 광검출기 상에 형성시키고, 상기 실리콘옥사이드 기판을 SiO2 에칭용액에 침전시켜 제거하는 단계; 및 상기 광검출기를 지지하는 상기 소자 전사 임시기판을 섬광체의 표면에 부착하는 단계를 포함한다.
본 발명과 관련한 다른 일 예에 따르는 방사선 검출기의 제조 방법에서, 상기 광검출기를 실리콘옥사이드 기판 상에 형성하는 단계는, 실리콘옥사이드 기판 상에 2차원 나노 물질을 전사하여 활성층을 형성하는 단계; 상기 활성층의 표면에 서로 이격된 두 개의 접촉 전극을 형성하는 단계; 및 상기 활성층을 패터닝하여 상기 접촉 전극들의 사이에 상기 활성층이 위치하도록 하는 단계를 포함한다.
본 발명에 관련한 다른 일 예에 따르는 방사선 검출기를 제조하는 방법은, 상기 섬광체의 표면에 부착된 상기 소자 전사 임시기판의 제거를 위하여 수분을 제거하는 건조 단계; 및 아세톤용액에 침전시켜 화학반응 시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기와 같은 구성의 발명에 의하면, 광검출기는 그래핀을 포함한 2차원 나노 물질을 이용하여 형성될 수 있으므로 두께가 얇아질 수 있다. 그래핀을 포함한 2차원 나노 물질의 특성에 따라 광검출기는 유연성을 가질 수 있으므로, 광검출기는 섬광체와 결합할 때 섬광체의 형상에 제약을 받지 않게 된다. 따라서 다양한 형상을 가지는 방사선 검출기를 제작할 수 있다.
또한, 본 발명은 광검출기를 소자 전사 임시기판을 이용하여 섬광체에 부착하거나, 섬광체의 표면에 직접 광검출기를 전사하는 방식을 사용하여, 고가의 반도체 장비를 사용하는 공정을 거치지 않고 방사선 검출기를 제작할 수 있으므로 제조 비용과 시간을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명인 방사선 검출기의 구조를 개략적으로 나타내는 개념도.
도 2는 본 발명인 방사선 검출기의 구조를 나타내는 사시도.
도 3은 광검출기를 나타내는 사시도.
도 4는 광검출기를 도 3에 표시된 선으로 자르고, A 방향에서 바라본 단면도.
도 5는 패시베이션층이 결합된 광검출기의 사시도.
도 6은 광검출기를 제작하는 과정을 나타내는 개념도.
도 7은 소자 전사 임시기판을 사용하여 섬광체 상에 광검출기를 형성시키는 과정을 나타내는 개념도.
도 8은 소자 전사 임시기판을 사용하여 섬광체 상에 광검출기를 형성시키는 과정을 나타내는 흐름도.
도 9는 섬광체 상에 광검출기를 형성시키는 과정을 나타내는 개념도.
도 10은 섬광체 상에 광검출기를 형성시키는 과정을 나타내는 흐름도.
도 11a, 도 11b는 방사선 검출기의 예를 나타내는 개념도.
도 12는 본 발명을 포함하는 방사선 측정 과정의 개략도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용에 대해서 상세하게 설명한다.
본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일 ·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다. 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르지않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
도 1 및 도 2는 본 발명인 방사선 검출기(100)의 구조를 나타낸다.
일반적으로 방사선 검출기(100)는 방사선의 종류나 세기, 에너지나 인체의 피폭선량을 측정하는 장치를 의미한다. 방사선 검출기(100)는 물질에 따라 기체형, 액체형, 고체형으로 분류되며, 고체형은 다시 섬광체형, 반도체형으로 구분된다. 본 발명에 따르는 방사선 검출기(100)는 고체형으로서 섬광체형으로 분류된다. 방사선 검출기(100)는 섬광체(110)와 광검출기(120)를 포함하며, 섬광체(110)와 광검출기(120)가 밀착하여 결합된 구조를 가진다.
섬광체(110)는 방사선이 부딪힘으로써 섬광을 발하는 물질을 의미하는데, 여기서 섬광(scintillation)이란 물질이 여기(excite)되어 빛을 발생시키는 현상을 의미한다. 섬광체(110)는 방사선 에너지를 흡수하여 원자가 전자대에 있는 전자가 전도대로 여기(excite)되었다가 다시 천이하면서 가시광선을 방출하는 과정을 수행하게 된다.
섬광체(110)가 흡수하는 방사선은 높은 에너지 상태로 운동하는 물질이다. 방사선은 x선, α선, β선, γ선을 포함한다. γ선은 핵 구조에서 생성되고, α선은 질량이 있는 입자로 수십 킬로 전자볼트(KeV) 이상의 높은 에너지를 가진다.
일반적으로 섬광체(110)는 LaBr3, LYSO, Gd2SiO5(GSO), Bi4Ge3O12(BGO), NaI, CsI, TlBr, HgI2등 결정성 화합물을 기반으로 하는 것들이 이용된다. 본 발명에서의 섬광체(110)는 이들 중 하나를 임의로 선택하여 구성이 가능하며, 도면에서 나타난 섬광체(110)의 형상은 하나의 예일 뿐이고, 그 형상에 제한되지 않는다.
방사선 검출기(100)의 섬광체(110)는 방사선을 흡수하면 빛을 발생한다. 여기서 빛이란 가시광선을 의미한다. 광검출기(120)는 빛을 흡수하여 전기적인 신호로 바꾸는 역할을 한다. 그 후 증폭기는 광검출기(120)에서 발생한 전기적인 신호를 증폭하고, 전류/전압 측정기는 증폭된 신호를 이용하여 입사되는 방사선량을 측정하게 된다.
일반적으로 광검출기(120)는 실리콘(Si)를 포함하는 견고한 반도체 웨이퍼(wafer)를 기반으로 하고, 고가의 반도체 장비를 사용한 공정이 반복되어 제작된다. 그리고 방사선 검출기(100)를 제작하기 위해서는 별도로 제작된 섬광체(110)를 광검출기(120)에 부착하는 공정을 더 수행하여야 한다. 이러한 광검출기(120)는 반도체 웨이퍼 특성상 약 300~600㎛의 비교적 두꺼운 두께를 가지며, 웨이퍼를 기반으로 제작되어 견고한 특성을 가지므로 섬광체(110)의 부착 면 형상에 제약을 받는 다는 단점이 있다.
본 발명에 따르는 방사선 검출기(100)는 섬광체(110) 상에 절연층(111)이 형성되고, 그 위에 광검출기(120)가 형성되는 구조를 가진다. 즉, 절연층(111)은 섬광체(110)와 광검출기(120)의 사이에 개재되어 섬광체(110)에서 직접 발생한 전기적인 신호가 광검출기(120)로 전달되는 것을 차단하는 역할을 한다.
섬광체(110)가 방사선을 흡수하여 빛을 발생시키면, 광검출기(120)는 그 빛을 흡수하여 전기적인 신호를 발생시키고, 이 전기적인 신호를 근거로 방사선을 측정하게 된다. 만일 섬광체(110)에서 직접 전기적인 신호가 발생하게 된다면 정확한 방사선량을 측정할 수 없게 된다. 따라서 정확한 방사선량의 측정을 위해 섬광체(110)와 광검출기(120) 사이에는 전기적인 신호의 차단을 위한 절연층(111)이 위치하게 된다.
절연층(111)은 약 30~50nm의 두께로 형성될 수 있다. 절연층(111)은 SiO2, Al2O3, HfO2 등과 같은 산화물이나, SiNx , AlNx 등과 같은 질화물로 구성될 수 있다. 다만, 절연층(111)은 전기 신호만 차단한다면, 상기와 같은 물질에 한정되지는 않을 것이다.
2차원 나노 물질을 활성층(123)의 재료로 사용한 광검출기(120)는 그 재료의 특성에 의해 유연성을 가지게 되고, 섬광체(110)의 형상에 대응하여 변형 가능하므로 섬광체(110)의 부착면 형상에 제약을 받지 않을 수 있다.
2차원 나노 물질이란, 원자 하나 혹은 두 개의 두께를 가지는 물질 또는 그의 조합으로서 두께가 거의 없어 2차원 평면 구조를 가지는 것을 말한다. 2차원 나노 물질은 그래핀(graphene), 그래핀 옥사이드(graphene oxide), 환원된 그래핀 옥사이드(reduced graphene oxide), 그래핀 양자점(graphene quantum dot) 및 MX2의 화학식을 가지는 것을 포함한다. 본 발명에서 2차원 나노 물질은 이들 중 적어도 하나를 의미하며, 개별 물질 각각 혹은 그들 상호간의 결합을 포함한다.
흑연(graphite)은 탄소가 육각형의 벌집 모양으로 층층이 쌓여 있는 구조를 가지는데, 그래핀은 흑연에서 탄소층 하나를 박리해낸 것으로 탄소 원자들이 평면 형태로 펼쳐져 있는 얇은 막의 형태를 가진다. 즉, 그래핀은 탄소 원자로 구성된 2차원 물질로 벌집 모양의 구조를 가지고, 물리·화학적으로 매우 안정하며 실리콘(Si)보다 100배 이상 높은 전하 이동도를 가지는 물질을 말한다.
그래핀은 탄소 원자 하나의 두께(약 0.35nm)를 가지고, 높은 투명도를 가지며, 열·기계적 특성도 우수하다. 그래핀은 높은 전하 이동도, 전류 밀도, 뛰어난 열 전도도 및 낮은 발열량, 간단한 패터닝 공정 가능, 유연성, 신축성 등의 장점을 가지므로, 이를 광검출기(120)의 활성층(123)으로 구성하면 섬광체(110)의 형상에 제한을 받지 않는 광검출기(120)를 얻을 수 있게 된다.
그래핀 옥사이드, 환원된 그래핀 옥사이드 및 그래핀 양자점은 탄소 원자들이 평면 형태로 펼쳐져 있는 얇은 막의 형태를 가지며 그래핀과 유사한 구조를 가진다. 이들은 빛을 받으면, 전자-정공 쌍을 형성하여 전기적인 신호를 발생하는 역할을 하게 된다. 높은 전하 이동도 및 유연성으로 인해 광검출기(120)의 활성층(123)으로 구성될 수 있다.
그래핀 옥사이드(graphene oxide)는 그 화학 구조가 정확하게 규명되어 있지는 않지만, 그래핀이 산화된 형태로서 그래핀 구조에서 산소 작용기들이 나노 그래핀의 윗면과 끝(edge) 부분에서 공유 결합을 통해 결합된 구조를 가진다. 그래핀 옥사이드는 흑연을 산화시킨 산화물로 형성된 것으로 흑연과는 달리 분산 용액을 제조하는 것이 가능하므로 박막화를 통해 막이 형성될 수 있다.
그래핀 옥사이드의 분산 용액을 이용하여 그래핀 옥사이드의 박막화 후, 이를 환원시키면 얇은 층 형태의 그래핀을 형성하는 것이 가능하다. 이를 환원된 그래핀 옥사이드(reduced graphene oxide)라고 한다. 환원된 그래핀 옥사이드는 그래핀 옥사이드를 환원시켜 얻어진 환원물을 의미한다. 환원된 그래핀 옥사이드는 그래핀과 유사한 형태 및 물성을 가진다.
그래핀 양자점(graphene quantum dot)은 도체 물질인 그래핀을 반도체 형태로 만들기 위해서 크기를 약 10nm 이하의 점의 형태로 만든 물질을 말한다. 입자가 수십 nm 이하인 경우, 전자가 공간 벽에 갇혀 특이적으로 도체 물질이 반도체 적인 특성을 가지는 것을 이용한 것이다.
2차원 나노 물질은 MX2의 화학식을 가지는 물질을 포함한다. 층상 화합물인 전이금속 디찰코게나이드계 화합물(TMDs)은 MX2와 같은 화학식을 가지는데, 여기서 M은 주기율표상 4 내지 6족에 속하는 원소들 중 하나이고, X는 칼코겐(chalcogen)원소로서 황(S), 셀레늄(Se), 텔루늄(Te)으로 이루어지는 원소들 중 하나이다. MX2는 각층 내부의 M과 X 사이에서는 공유결합을 형성하는 반면, 층 간에는 반데르발스힘을 통해 결합이 이루어진다. 층상 구조를 가지기 때문에 유연성이 있으며, 광검출기(120)의 활성층(123)으로 구성이 가능한 것이다.
즉, 광검출기(120)의 활성층(123)은 이황화몰리브덴(MoS2), 이셀레늄화몰리브덴(MoSe2), 이황화텅스텐(WS2), 이셀레늄화텅스텐(WSe2) 등의 물질로 형성될 수 있다.
이황화몰리브덴(MoS2)의 경우, 전계효과 트랜지스터, 광 트랜지스터, 이중 층 화학 센서, 논리 회로, 메모리, 증폭기 등에 사용된다. 이황화몰리브덴(MoS2)은 벌크 상태에서 약 1.1 eV, 단일층으로 얇아짐에 따라 약 1.55 eV 수준의 밴드갭(band gap)을 갖는 물질로서 층상 구조를 이루고 있으며, 통상적으로 조각의 크기는 약 1~3㎛, 두께는 약 3~80nm를 가진다.
도 3 내지 도 5는 방사선 검출기(100)에 포함되는 광검출기(120)에 대하여 나타낸다.
광검출기(120)는 실리콘옥사이드 기판(125) 위의 서로 이격된 위치에 제1 접촉 전극(121)과 제2 접촉 전극(122)이 형성되어 있고, 제1 접촉 전극(121)과 제2 접촉 전극(122)의 사이에 활성층(123)이 연결되어 있는 구조를 가진다. 실리콘옥사이드 기판(125)은 실리콘(Si)기판을 산화시켜 형성하는 것으로 SiO2 로 이루어진다.
제1 접촉 전극(121)과 제2 접촉 전극(122)의 구성 및 형상은 서로 동일할 수도 있고, 그렇지 않을 수도 있다. 접촉 전극(121, 122)은 다양한 형상을 가질 수 있으며, 도면에 나타난 형상만으로 제한되지 않는다.
접촉 전극(121, 122)의 재료로는 주로 전도성이 좋은 팔라듐(Pd), 백금(Pt)으로 형성되는 것이 일반적이나, 그 재료에만 한정되지 않을 것이다. 접촉 전극은 실리콘옥사이드 기판(125) 상의 서로 다른 위치에 제1 접촉 전극(121)과 제2 접촉 전극(122)이 배치되는 구조를 가진다.
광검출기(120)의 활성층(123)은 2차원 나노 물질로 형성되는데, 섬광체(110)에서 발생한 빛을 흡수하여, 전자-정공 쌍을 통해서 전자의 이동 경로가 형성된다. 활성층(123)은 2차원 나노 물질로 이루어지고 2차원 나노 물질의 특성에 따라 휘어지는 연성 혹은 탄성을 가지게 된다. 따라서 광검출기(120)는 섬광체(110)의 부착면 형상에 대응하여 변형된 후 섬광체(110)에 결합하여 방사선 검출기(100)를 구성할 수 있게 된다.
도 5에서 나타나듯이, 광검출기(120)는 활성층(123)이 외부로 노출되지 않도록 하는 패시베이션층(124)을 포함할 수 있다.
패시베이션층(124)은 소자의 외부노출을 막아 보호하는 역할을 하는 것이다. 패시베이션층(124)은 돌출된 제1 접촉 전극(121) 및 제2 접촉 전극(122), 실리콘옥사이드 기판(125)에 접하면서, 제1 접촉 전극(121)과 제2 접촉 전극(122)에 의해 지지되고, 활성층(123)에 밀착되는 구조를 가진다.
도면에서 패시베이션층(124)을 일정한 형상이 있는 것으로 구성하였으나, 이는 하나의 예에 불과하며, 다양한 형상으로 이루어질 수 있다. 패시베이션층(124)은 광검출기(120)에 있어서 필수적인 구성요소는 아니며, 이를 제거한 구조라도 광검출기(120)로서의 기능 수행이 가능하다. 패시베이션층(124)은 산화 알루미늄(Al2O3)으로 이루어질 수 있으나, 그 재료에 한정되지는 않을 것이다.
도 3에 나타난 선으로 자르고, A 방향으로 바라본 광검출기(120)의 단면도는 도 4에 나타내었다. 도 4에 나타난 본 발명에 포함되는 광검출기(120)의 단면도를 살펴보면, 광검출기(120)는 실리콘옥사이드(Si02) 기판 위에서 제1 접촉 전극(121)과 제2 접촉 전극(122)이 각각 돌출되어 위치하고, 두 개의 접촉 전극(121, 122) 사이에 2차원 나노 물질로 이루어진 활성층(123)이 연결되어 있는 구조를 가진다.
활성층(123)은 두 개의 접촉 전극(121, 122)과 연결되어 있으면 그 기능을 수행할 수 있다. 활성층(123)은 실리콘옥사이드 기판(125)에는 접하고 있거나 접하지 않을 수 있다. 활성층(123)은 복수 개로 구성될 수 있으며, 서로 다른 구성을 가질 수 있다. 예를 들어 광검출기(120)는 접촉 전극(121, 122) 사이를 두 개 혹은 그 이상의 2차원 나노 물질로 형성되는 활성층(123)이 서로 연결하고 있는 구조를 가질 수 있다.
이상에서는 광검출기(120)를 포함하는 방사선 검출기(100)의 구조에 대해서 설명하였고, 이하에서는 방사선 검출기(100)의 제조 방법에 대해서 설명한다.
도 6은 광검출기(120)를 제작하는 과정을 나타내는 개념도를 나타낸다.
도 6의 (a)를 보면, 실리콘옥사이드(Si02) 기판 위에 그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질을 원자 하나 정도의 두께로 형성시켜 광검출기(120)의 활성층(123)을 구성하게 된다. 그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질이 단원자 두께의 활성층(123)으로 구성되면, 빛 투과율이 높아 불과 2~3%의 빛만 흡수하게 된다. 따라서 활성층(123)의 빛 흡수율을 높이기 위해서 적어도 한번 이상 2차원 나노 물질을 적층시켜 활성층(123)을 형성할 수 있다.
실리콘옥사이드(Si02) 기판 위에 그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질을 형성시킨 후에는 그 위에 도 6의 (b)에서 보는 바와 같이, 돌출된 2개의 접촉 전극(121, 122)을 서로 다른 위치에 형성시킨다.
접촉 전극(121, 122)은 활성층(123)이 빛을 흡수하고서 방출하는 전기적인 신호를 수용하는 역할을 하는 것으로, 통상적으로는 전기 전도성이 좋은 재료인 구리(Cu), 금(Au), 백금(Pt), 팔라듐(Pt) 등이 이용될 것이나, 전기 전도성이 있는 금속이라면 접촉 전극(121, 122)의 재료로 이용 가능할 것이다.
접촉 전극(121, 122)을 형성시킨 후에는 도 6의 (c)와 같이, 두 개의 접촉 전극(121, 122) 사이에 개재되는 그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질 이외에는, 패터닝 과정을 통해 제거되게 된다. 패터닝이란 반복적으로 식각하는 과정을 통해 원하는 것을 형성하는 것을 의미하는 것으로서 운용자는 패터닝 과정을 통해서 활성층(123)을 원하는 형태로 형성시킬 수 있다. 즉, 패터닝 과정을 통해서 실리콘옥사이드 기판(125) 위에는 접촉 전극(121, 122)과 이를 연결하는 활성층(123)을 포함하는 광검출기(120)가 위치하게 된다.
광검출기(120)는 도 6의 (d)와 같이 활성층(123)에 밀착되면서 접촉 전극(121, 122)들에 의해 지지되는 구조를 가지며, 활성층(123)이 외부로 노출되는 것을 막기 위해 패시베이션층(124)을 더 포함할 수 있다.
패시베이션층(124)은 소자를 덮는 방식으로 소자의 노출을 방지하여 보호하는 역할을 한다. 패시베이션층(124)은 약 30nm의 두께로 형성된다. 본 발명에서 패시베이션층(124)은 산화알루미늄(Al2O3)으로 형성되었으나, 그 재료에만 한정되지는 않을 것이다.
즉, 광검출기(120)는 도 6에서와 같이 (a) 그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질의 전사, (b) 접촉 전극(121, 122)의 형성, (c) 활성층(123)의 패터닝의 단계를 통해서 제작되고, (d) 선택적으로 패시베이션층(124)을 더 포함할 수 있다.
도 7은 소자 전사 임시기판(130)을 사용하여 섬광체(110) 상에 광검출기(120)를 형성시키는 과정을 나타낸다.
실리콘옥사이드 기판(125) 위에서 광검출기(120)가 그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질의 전사, 접촉 전극(121, 122)의 형성, 활성층(123)의 패터닝의 단계를 거쳐 형성되면, 소자 전사 임시기판(130)을 그 위에 형성시킨다.
소자 전사 임시기판(130)은 광검출기(120)를 코팅하거나 위에서 덮는 구조로광검출기(120) 상에 형성되게 된다. 소자 전사 임시기판(130)은 약 1㎛ 이내의 얇은 판의 형태로 이루어졌고, 소자를 지지하거나 붙잡을 수 있으며, 연성이 있어 휘어질 수 있는 성질을 가진다. 소자 전사 임시기판(130)은 소자를 부착한 뒤, 다른 부재에 형성되도록 하는 역할을 한다.
소자 전사 임시기판(130)으로는 일반적으로 PMMA(polymethylmethacrylate)를 많이 사용한다. 본 발명에서 소자 전사 임시기판(130)을 이용해서 광검출기(120)를 섬광체(110)에 형성시킬 때에도 PMMA를 이용하여 형성하였다. 소자 전사 임시기판(130)은 소자들 간의 반응에는 아무런 영향을 미치지 않으며, 전사 후에 간단한 공정을 통해서 쉽게 제거될 수 있다.
소자 전사 임시기판(130)을 광검출기(120) 위에 형성시킨 후에는 광검출기(120)를 지지하고 있는 실리콘옥사이드 기판(125)을 SiO2 에칭 용액에 침전시켜 화학적으로 제거하는 공정을 거치게 된다. 그러면, 도 7의 (c)와 같이 소자 전사 임시기판(130)에 광검출기(120)가 부착된 상태가 된다. 즉, 소자 전사 임시기판(130)이 광검출기(120)의 접촉 전극(121, 122)과 활성층(123)을 붙잡고 있는 구조가 된다.
소자 전사 임시기판(130)을 도 7의 (d)와 같은 과정을 통해서 섬광체(110)의 절연체 상에 형성시키면 방사선 검출기(100)가 완성되는데, 소자 전사 임시기판(130)은 수분을 건조 시키는 과정을 거친 후 아세톤 용액에 침전시키면, 아세톤 용액 내에서 화학 반응이 이루어져 제거될 수 있다. 소자 전사 임시기판(130)이 제거되는 경우라도 접촉 전극(121, 122) 및 활성층(123)을 포함하는 광검출기는 별도의 작업이 없더라도 섬광체(110)상에 결합되어 있게 된다.
즉, 방사선 검출기(100)는 도 7과 도 8에서 보듯이, (a) 2차원 나노 물질을 포함하는 광검출기(120)를 실리콘옥사이드 기판(125) 위에 형성시키는 단계(S100), (b) 광검출기(120)를 소자 전사 임시기판(130) 위에 형성시키는 단계(S110), (c) 실리콘옥사이드 기판(125)을 제거하는 단계(S120) (d) 광검출기(120)가 부착된 소자 전사 임시기판(130)을 섬광체(110)의 표면에 부착하는 단계(S130), (e) 소자 전사 임시기판을 제거하는 단계(S140)를 통해서 제조될 수 있다.
도 9는 섬광체(110) 상에 직접 광검출기(120)를 형성시키는 과정을 나타낸다.
방사선 검출기(100)를 제작할 때, 광검출기(120)를 따로 제작하지 않고 섬광체(110) 상에 직접 광검출기(120)의 각 소자를 형성시킨다면 별도의 광검출기 부착과정이 불필요하여 반도체 공정을 거치지 않아도 되므로, 제조 공정과 제조 시간을 단축 시킬 수 있다.
방사선 검출기(100)는 도 6의 과정을 섬광체(110) 상에서 직접 수행하여 제작될 수 있다.
우선, 섬광체(110) 상에 절연층(111)이 형성되어 있다면, 그 위에 그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질을 형성시킨다. 그리고 그 위에 접촉 전극(121, 122)을 형성시킨다. 접촉 전극(121, 122)이 형성되었다면, 그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질을 제거하는 활성층(123) 패터닝 과정을 통해서 방사선 검출기(100)가 완성된다. 그 후, 선택적으로 활성층(123)을 보호하는 패시베이션층(124)을 형성시킬 수 있다.
도 9과 도 10을 참조하면, 방사선 검출기(100)는 (a) 섬광체(110) 상에 2차원 나노 물질로 이루어지는 활성층(123)을 형성시키는 단계(S200), (b) 활성층(123)의 표면에 서로 이격된 두 개의 접촉 전극(121, 122)을 형성하는 단계(S210), (c) 활성층(123)을 패터닝하여 접촉 전극(121, 122)들 사이에 활성층(123)이 위치하도록 하는 단계(S220) 및 (d) 선택적으로 패시베이션층(124)을 형성하는 단계를 통해서 제조될 수 있다.
위와 같은 과정을 통해서 섬광체(110) 상에 접촉 전극(121, 122)과 활성층(123)을 포함하는 광검출기(120)가 결합된 방사선 검출기(100)를 제조할 수 있다. 섬광체(110) 상에 직접 광검출기(120)를 형성시키는 경우에도 광검출기(120)의 활성층(123)은 그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질로 구성되어 유연한 성질을 가지므로 섬광체(110)의 부착면 형상에 제약을 받지 않게 된다.
도 11a 와 도 11b는 다양한 섬광체(110)에 광검출기(120)가 결합된 방사선 검출기(100)의 예를 나타낸다.
그래핀을 포함하는 2차원 나노 물질을 광검출기(120)의 활성층(123)으로 구성함으로써 광검출기(120)는 휘어질 수 있는 연성을 가진다. 이에 섬광체(110)의 부착면 형상에 제한을 받지 않는 광검출기(120)가 제작될 수 있고, 도 11과 같이 여러 형태를 가지는 방사선 검출기(100)를 제작 가능하므로 다양한 산업 분야에서 응용이 가능할 것이다.
방사선 검출기(100)를 다양한 형상으로 제작하면 방사선 검출기가 특정한 방향성을 가지지 않고 장비 운용자는 원하는 장소에 설치하여 방사선을 측정할 수 있으므로 방사선의 측정 효율을 향상시킬 수 있는 장점이 생기게 된다. 구형의 섬광체(110) 상에 전하의 이동도가 빠른 다수의 광검출기(120)가 형성되면, 방사선에 의해 발생된 빛의 속도차를 감지해 낼 수 있을 정도의 시간 분해능을 가지므로, 장비 운용자는 방사선의 입사방향을 알아내고 방사선 이미징 작업을 수행할 수 있게 된다.
장비 운용자는 구형 또는 원기둥형의 방사선 검출기를 제작하여 이들을 네트워크형으로 배치시킨 후 빠른 속도로 방사선 맵핑(mapping) 작업을 할 수 있고, 국부적인 방사선량의 변화를 측정을 통해서 확인할 수 있게 될 것이다. 이러한 방사선 검출기는 동위원소 생산시설 안전관리, 방사선 폐기물 보안 모니터링, 군사용 방사선 3차원 지형도 작성 등에 효과적으로 활용 가능하다. 또한 대면적의 터널과 같은 장소에 방사선 검출기를 다수 부착하면, 차량이 지날 때 혹은 장비가 이동할 때 방사선을 빠르게 측정할 수 있다.
도 12는 방사선 검출기(100)를 포함하는 방사선 측정의 개략적인 순서를 나타내는 순서도이다.
X선, α, β, γ선과 같은 방사선이 섬광체(110) 상에 흡수되면, 섬광체(110)는 가시광선을 발생시키고, 광검출기(120)는 섬광체(110)에서 발생한 빛을 2차원 나노 물질로 형성된 활성층(123)을 통해서 흡수하여 전기적인 신호를 발생시키게 된다. 광검출기(120)가 발생시킨 전류는 증폭기를 통해서 증폭된 후 전류/전압 측정기 쪽으로 전달된다. 그 후 전류/전압 측정기는 전달받은 전류나 전압을 측정하여, 방사선을 탐지하고 방사선량을 측정하게 된다.
이상에서 설명된 방사선 검출기 및 방사선 검출기의 제조 방법은 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
100 : 방사선 검출기 110 : 섬광체
111 : 절연층 120 : 광검출기
123 : 활성층 124 : 패시베이션층
125 : 실리콘옥사이드 기판 130 : 소자 전사 임시기판

Claims (9)

  1. 방사선을 흡수하여 빛을 발생시키는 섬광체; 및
    상기 섬광체 위에 형성되고, 상기 섬광체에서 발생되는 빛을 흡수하여 전기적인 신호를 발생시키는 광검출기; 및
    상기 섬광체와 상기 광검출기 사이에 개재되어 상기 섬광체에서 발생한 전기적 신호가 상기 광검출기에 직접 전달되는 것을 차단하는 절연층을 포함하고,
    상기 광검출기는,
    서로 이격된 위치에 각각 배치되는 제1 접촉 전극과 제2 접촉 전극;
    상기 제1 접촉 전극과 상기 제2 접촉 전극의 사이를 연결하고, 빛을 흡수하여 전자-정공 쌍을 형성하는 활성층; 및
    상기 활성층은, 상기 광검출기가 상기 섬광체에 대응된 형상으로 변형되어 결합될 수 있도록, 연성을 부여하는 2차원 나노 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 2차원 나노 물질은 그래핀, 그래핀 옥사이드, 환원된 그래핀 옥사이드 및 그래핀 양자점 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 2차원 나노 물질은 MX2의 화학식을 가지고,
    상기 M은 주기율표상 4 내지 6족에 속하는 원소들 중 하나이며,
    상기 X는 황(S), 셀레늄(Se) 및 텔루늄(Te) 중 하나인 것을 특징으로 하는 방사선 검출기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 광검출기는,
    상기 활성층에 밀착되고, 상기 접촉 전극들에 의해 지지되며, 상기 활성층의 외부로의 노출을 제한하는 패시베이션층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기.
  5. 삭제
  6. 절연층이 형성된 섬광체 상에 2차원 나노 물질을 전사하여 활성층을 형성하는 단계;
    상기 활성층의 표면에 서로 이격된 두 개의 접촉 전극을 형성하는 단계; 및
    상기 활성층을 패터닝하여 상기 접촉 전극들 사이에 상기 활성층이 위치하도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기의 제조 방법.
  7. 2차원 나노 물질을 포함하는 광검출기를 실리콘옥사이드 기판 위에 형성하는 단계;
    소자 전사 임시기판을 상기 광검출기 상에 형성시키고, 상기 실리콘옥사이드 기판을 SiO2 에칭용액에 침전시켜 제거하는 단계; 및
    상기 광검출기를 지지하는 상기 소자 전사 임시기판을 절연층이 형성된 섬광체의 표면에 부착하는 단계를 포함하고,
    상기 광검출기를 실리콘옥사이드 기판 위에 형성하는 단계는,
    실리콘옥사이드 기판 위에 2차원 나노 물질을 전사하여 활성층을 형성하는 단계;
    상기 활성층의 표면에 서로 이격된 두 개의 접촉 전극을 형성하는 단계; 및
    상기 활성층을 패터닝하여 상기 접촉 전극들 사이에 상기 활성층이 위치하도록 하는 단계를 포함하며,
    상기 광검출기를 실리콘옥사이드 기판 상에 형성하는 단계는,
    실리콘옥사이드 기판 상에 2차원 나노 물질을 전사하여 활성층을 형성하는 단계;
    상기 활성층의 표면에 서로 이격된 두 개의 접촉 전극을 형성하는 단계; 및
    상기 활성층을 패터닝하여 상기 접촉 전극들의 사이에 상기 활성층이 위치하도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기의 제조 방법.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 섬광체의 표면에 부착된 상기 소자 전사 임시기판의 제거를 위하여,
    수분을 제거하는 건조 단계; 및
    아세톤용액에 침전시켜 화학반응이 이루어지도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 검출기의 제조 방법.
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