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KR101694921B1 - 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치 - Google Patents

진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치 Download PDF

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KR101694921B1
KR101694921B1 KR1020160099527A KR20160099527A KR101694921B1 KR 101694921 B1 KR101694921 B1 KR 101694921B1 KR 1020160099527 A KR1020160099527 A KR 1020160099527A KR 20160099527 A KR20160099527 A KR 20160099527A KR 101694921 B1 KR101694921 B1 KR 101694921B1
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air inlet
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차일수
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(주) 엠엠티케이
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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정 중에 사용되는 증착, 식각 공정을 위한 프로세서 챔버에서 발생하는 반도체(반응) 부산물이 진공펌프로 흡입되는 것을 방지하기 위하여 구비되는 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치는, 프로세서 챔버와 진공펌프 사이에 구비되어 프로세서 챔버에서 발생하는 부산물이 진공펌프로 흡입되는 것을 방지하도록 하는 부산물 포집장치에 있어서, 상기 부산물 포집장치는, 진공펌프의 흡입력으로 인하여 유입되는 공기가 회전하도록 함으로써 1차 부산물을 포집하도록 하는 회전발생용 공기 유입구를 포함하는 포집용 몸체와, 상부에 유입공기를 다시 회전시켜 2차 부산물을 포집하도록 하는 회전발생용 공기 유입구를 포함하는 다수의 포집용 콘으로 이루어진 부산물 포집용 콘부재와, 유입공기를 다시 상측으로 이동시켜 3차 부산물을 포집하도록 이루어진 다수의 포집용 구멍을 구비하는 포집용 콘부재 커버를 포함하여 진공펌프의 흡입력으로 인하여 유입되는 공기를 회전 및 상측으로 이동시켜 공기 내의 부산물을 포집하도록 이루어진다.

Description

진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치{Rotation type of by-product trapping apparatus in order to protect the vacuum pump}
본 발명은 반도체 제조공정 중에 사용되는 증착, 식각 공정을 위한 프로세서 챔버에서 발생하는 반도체(반응) 부산물이 진공펌프로 흡입되는 것을 방지하기 위하여 구비되는 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정은 크게 전 공정(Fabrication 공정)과 후 공정(Assembly 공정)으로 이루어지며, 전 공정이라 함은 각종 프로세서 챔버(Chamber)내에서 웨이퍼(Wafer)상에 박막을 증착하고, 증착된 박막을 선택적으로 식각하는 과정을 반복적으로 수행하여 특정의 패턴을 가공하는 것에 의해 이른바, 반도체 칩(Chip)을 제조하는 공정을 말하고, 후공정이라 함은 상기 전 공정에서 제조된 칩을 개별적으로 분리한 후, 리드 프레임과 결합하여 완제품으로 조립하는 공정을 말한다.
이때, 상기 웨이퍼 상에 박막을 증착하거나, 웨이퍼 상에 증착된 박막을 식각하는 공정은 프로세서 챔버 내에서 실란(Silane), 아르신(Arsine) 및 염화 붕소 등의 유해 가스와 수소 등의 프로세서 가스를 사용하여 고온에서 수행되며, 상기 공정이 진행되는 동안 프로세서 챔버 내부에는 각종 발화성 가스와 부식성 이물질 및 유독 성분을 함유한 유해가스 등이 다량 발생하게 된다.
따라서, 반도체 제조장비에는 프로세서 챔버를 진공상태로 만들어 주는 진공펌프의 후단에 상기 프로세서 챔버에서 배출되는 배기가스를 정화시킨 후 대기로 방출하는 스크루버(Scrubber)를 설치한다. 하지만, 상기 프로세서 챔버에서 배출되는 배기가스는 고온의 상태임으로써 일반적인 필터를 이용한 포집(집진)장치는 이용할 수 없다.
또한, 프로세서 챔버에서 배출되는 배기가스(공기)는 대기와 접촉하거나 주변의 온도가 낮으면 고형화되어 파우더로 변하게 되는데, 상기 파우더는 배기라인에 고착되어 배기압력을 상승시킴과 동시에 진공펌프로 유입될 경우 진공펌프의 고장을 유발하고, 배기가스의 역류를 초래하여 프로세서 챔버 내에 있는 웨이퍼를 오염시키는 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 첨부된 특허문헌들과 같이 다양한 반도체 부산물 포집장치가 제공되어 있다.
종래기술로 사용되는 반도체 부산물 포집장치는, 반응부산물이 파우더 상태로 전환되는 시간을 단축하기 위하여 프로세서 챔버와 진공펌프 사이에 상기 프로세서 챔버에서 배출되는 배기가스를 냉각하여 파우더 상태로 응착시키는 냉각수단이 구비된 반도체 부산물 포집장치(등록특허 10-0621660호 특허문헌 참조)를 설치하여 사용하고 있다.
종래의 반도체 부산물 포집장치 내에 구비되어 있는 다수의 트랩 플레이트를 사용하여 반도체 부산물(파우더 등)을 포집하고 있으나, 트랩 플레이트에 포집되지 못한 것이나, 또는 포집 후 공기의 흐름(이동) 등의 영향으로 떨어져 출구를 통하여 배출되는 현상이 발생하여 포집효율이 저하되는 단점이 있다.
이러한 단점 즉, 출구측에 단순하게 차단판을 형성하는 경우에 하우징의 내주면과 충돌 후 반사되는 반도체 부산물과 공기의 흐름을 타고 이동하는 반도체 부산물을 차단하지 못함으로써 포집효율의 상승에 대한 기대를 만족시키지 못하는 문제점 해결하고자 본 발명의 출원인은 반도체 부산물 포집차단수단을 구비한 반도체 부산물 포집장치(등록특허 10-1447629호)를 제공하였다.
(KR) 등록특허 10-0555385호 (KR) 등록특허 10-0621660호 (KR) 등록특허 10-0647725호 (KR) 등록특허 10-1447629호
본 발명은 종래에 사용되는 반도체 공정시 프로세서 챔버에서 배출되는 배출공기 내에 포함되어 있는 부산물을 포집하도록 이루어진 부산물 포집장치에 있어서 보다 개선된 부산물 포집장치를 제공하고자 한다.
즉, 본 발명은 반도체 공정시 프로세서 챔버에서 배출되는 부산물을 포함한 (배출)공기를 진공펌프의 흡입력을 이용하여 회전을 시켜 (배출)공기 중에 포함되어 있는 부산물을 포집하도록 이루어진 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치를 제공하고자 한다.
이러한 상기 목적을 해결하고자 이루어진 본 발명은, 프로세서 챔버와 진공펌프 사이에 구비되어 프로세서 챔버에서 발생하는 부산물이 진공펌프로 흡입되는 것을 방지하도록 하는 부산물 포집장치에 있어서, 상기 부산물 포집장치는, 진공펌프의 흡입력으로 인하여 유입되는 공기가 회전하도록 함으로써 1차 부산물을 포집하도록 하는 회전발생용 공기 유입구를 포함하는 포집용 몸체와, 상부에 유입공기를 다시 회전시켜 2차 부산물을 포집하도록 하는 회전발생용 공기 유입구를 포함하는 다수의 포집용 콘으로 이루어진 부산물 포집용 콘부재와, 유입공기를 다시 상측으로 이동시켜 3차 부산물을 포집하도록 이루어진 다수의 포집용 구멍을 구비하는 포집용 콘부재 커버를 포함하여 진공펌프의 흡입력으로 인하여 유입되는 공기를 회전 및 상측으로 이동시켜 공기 내의 부산물을 포집하도록 이루어진 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치에 의하여 해결될 수 있다.
상기 회전타입의 부산물 포집장치는, 유입공기가 원활하게 회전을 하도록 내부가 원통형으로 이루어지며, 상부에 유입공기가 회전을 하도록 형성된 공기 유입구와, 공기 유입구로 유입된 공기가 진공펌프로 이동하도록 배출되는 공기 배출구를 포함하여 1차 부산물 포집을 위한 포집용 몸체와; 상기 포집용 몸체 내에 구비되는 다수의 구멍을 구비한 거름메쉬망과; 상기 거름메쉬망을 통과한 공기만이 상측방향으로 이동하도록 안내하는 중앙에 이동통로용 홀이 구비된 상부이동안내부재와; 상기 이동통로용 홀을 중심으로 하여 배치되며, 이동통로용 홀로 이동하는 공기가 회전을 하도록 접선형 공기 유입구를 가지는 다수의 포집용 콘(CON)으로 이루어진 2차 부산물을 포집하도록 구비되는 부산물 포집용 콘부재와; 상기 다수의 포집용 콘으로 각각 유입되어 회전하는 공기가 상측으로 이동하도록 다수의 포집용 구멍이 형성된 포집용 콘부재 커버와; 상기 포집용 콘부재의 포집용 콘에서 각각 포집되는 미세입자 부산물만이 저장되도록 공간을 제공하기 위한 미세입자 부산물 저장부재를 포함하도록 이루어진다.
상기 포집용 몸체의 하측면의 일측에는 포집된 1차 부산물용 배출구가 구비되되, 포집용 몸체 내측면에는 회전하는 1차 부산물이 1차 부산물용 배출구로 유입될 수 있도록 안내하는 배출 안내용 날개가 구비될 수도 있다.
상기 미세입자 부산물 저장부재는, 상부에는 포집용 콘부재의 하측 일부가 삽입되는 다수의 콘부재용 홀이 구비되고, 거름메쉬망을 통과한 공기를 상부이동안내부재의 이동통로용 홀로 안내하도록 이루어진 반구형의 상판부재와; 상기 상판부재와 결합되어 포집용 콘부재의 내측과 연통함으로써 포집되는 부산물을 수용하는 포집공간부를 제공하는 깔때기형 포집몸체로 이루어지며, 상기 깔때기형 포집몸체의 내측 둘레면에는 포집된 부산물이 상측으로 비산하지 못하도록 하는 차단부재가 구비될 수도 있다.
상기와 같이 이루어진 본 발명인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치는, 챔버에서 배출되는 공기가 포집용 몸체에 유입되면서 1차 회전을 하여 비교적 크고 중량이 큰 부산물이 1차 유입공기 내에서 분리되어 포집이 이루어지고, 이 공기는 다시 상부이동안내부재의 안내로 다수의 포집용 콘 내에서 2차 회전을 하면서 비교적 작고 중량이 작은 부산물이 2차 유입공기 내에서 분리되어 포집이 이루어지고, 이 공기는 다시 포집용 콘부재 커버에 형성된 포집용 구멍에 구비된 포집용 충돌날개와 충돌하여 유입공기 내에서 분리되어 포집이 이루어지게 되는 회전방식으로 유입공기 내의 부산물을 포집함으로써 부산물의 포집효율(능력)을 높일 수 있다.
이러한 형태로 이루어진 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치는 내구성이 좋고, 포집용 몸체의 구성을 다수개로 분리하는 경우에는 보다 청소가 용이할 수 있도록 하는 장점을 가진다.
또한, 이와 같은 형태의 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치는 제작비용의 절감으로 인한 제품의 가격에 대한 경쟁력을 확보할 수 있는 한편, 운영방식에 있어서 별도의 에너지원을 공급하지 않음으로써 에너지효율을 높일 수 있는 장점을 가질 수 있다.
또한, 모든 구성의 재질을 금속으로 사용할 수 있음으로써 고온의 공기 및 극저온의 공기와 같은 극환 환경의 공기 내에 포함되어 있는 부산물 제거용으로 아주 유용하게 적용될 수 있을 것이다.
도 1과 도 2는 본 발명인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치와 프로세서 챔버와 진공펌프와의 연결상태를 보인 개념개략도.
도 3은 본 발명의 실시 예인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치의 정면개략도.
도 4는 본 발명의 실시 예인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치의 내부를 보인 단면개략도.
도 5는 본 발명의 실시 예인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치의 구성을 알아보기 위한 분리 개략도.
도 6은 본 발명의 실시 예인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치의 구성 중 포집용 몸체에 대한 평면 개략도.
도 7은 본 발명인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치의 구성 중 포집용 몸체의 다른 실시 예를 설명하기 위한 부분 단면 개략도.
도 8은 도 7에 도시된 포집용 몸체에 대한 평단면 개략도.
도 9는 본 발명의 실시 예인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치의 구성 중 부산물 포집용 콘부재에 대한 평면 개략도.
도 10은 본 발명의 실시 예인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치의 구성 중 포집용 콘부재 커버에 대한 개략도이며, (a)는 평면을 도시한 것이며, (b)는 정면을 도시한 것임.
도 11은 본 발명의 실시 예인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치의 구성 중 포집용 콘부재 커버의 작동설명을 위한 부분 단면 개략도.
도 12는 본 발명의 실시 예인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치의 구성 중 미세입자 부산물 저장부재에 대한 단면 개략도.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 될 것이며, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
본 발명인 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치(1)는 반도체 제조공정을 위한 프로세서 챔버(a)와 진공펌프(b) 사이에 설치되어 상기 프로세서 챔버(a)에서 발생하여 배기되는 반도체(반응) 부산물이 진공펌프(b)로 흡입되는 것을 방지하여 진공펌프를 보호하도록 하는 것으로, 도 1과 같이 단독으로 사용되거나 또는 도 2와 같이 다수개가 직렬형태로 설치되어 사용될 수 있으며, 또는 다른 부산물 포집장치와 함께 설치되어 사용될 수 있는 것이다.
이러한 본 발명인 회전타입의 부산물 포집장치에 대하여 첨부된 실시 예 도면을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.
도 3 내지 도 5를 참조하면,
본 발명인 회전타입의 부산물 포집장치(1)은,
프로세서 챔버(a) 측과 연결되며 유입공기가 내측에서 회전할 수 있도록 형성된 공기 유입구(11)와, 진공펌프(b) 측과 연결되는 출구인 공기 배출구(12)를 포함하여 1차 부산물을 포집하는 포집용 몸체(10)와; 상기 포집용 몸체(10)에서 1차 부산물이 제거된 유입공기를 필터링하는 거름메쉬망(20)과; 상기 거름메쉬망(20)에서 필터링된 유입공기를 포집용 몸체(10)의 중앙 상측으로 안내하도록 중앙에 이동통로용 홀(31)이 구비된 상부이동안내부재(30)와; 상기 상부이동안내부재(30)로 안내된 유입공기를 회전시켜 부산물을 분리하는 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)으로 이루어진 부산물 포집용 콘부재(40)와; 상기 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)의 상측에 설치되며, 상기 각 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)으로 유입된 공기가 상측으로 이동하도록 다수의 포집용 구멍(51)이 형성된 포집용 콘부재 커버(50)와; 상기 포집용 콘부재(40)의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)의 하측에 설치되어 포집되는 미세입자 부산물만이 저장되도록 공간을 제공하기 위한 미세입자 부산물 저장부재(60)를 포함하는 구성으로 이루어진다.
이러한 회전타입의 부산물 포집장치(1)은, 포집용 몸체(10)에 유입되는 유입공기는 회전을 하여 회전력에 의하여 1차 부산물이 유입공기 내에서 분리되어 포집용 몸체(10) 내 하측에 포집되고, 1차 부산물이 제거된 유입공기는 거름메쉬망(20)을 통과한 후 상부이동안내부재(30)로 각각의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)에 안내되며, 상기 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)에서 공기는 회전을 하여 회전력에 의한 2차 부산물이 유입공기 내에서 분리된다. 상기 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)에서 분리되는 부산물은 하측에 위치한 미세입자 부산물 저장부재(60)에 포집(저장)이 이루어지고, 상기 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)에서 2차 부산물이 제거된 유입공기는 포집용 콘부재 커버(50)의 포집용 구멍(51)에서 충돌에 의한 3차 부산물 제거가 이루어지게 된다.
이하, 상기 회전타입의 부산물 포집장치(1)의 각 구성에 대하여 상세하게 설명을 한다.
상기 포집용 몸체(10)는 유입되는 유입공기(프로세서 챔버에서 배출되는 배출공기)를 회전시켜 유입공기 내에 포함되어 있는 비교적 큰 부산물을 회전력으로 1차 분리하여 포집을 하는 구성으로 보통 원통(관)형으로 이루어진다.
도 3 내지 도 7을 참조하면,
이러한 상기 포집용 몸체(10)는 크게 유입되는 공기가 내부에서 회전을 하도록 형성된 공기 유입구(11)가 구비되는 제1 포집용 몸체(10a)와, 상기 제1 포집용 몸체(10a)의 상측에 설치되는 공기 유입구(11)를 통해 유입되는 공기가 배출되는 공기 배출구(12)가 구비된 제2 포집용 몸체(10b)와, 상기 제1 포집용 몸체(10a)의 하측에 설치되는 제3 포집용 몸체(10c)로 구성된다.
상기 제1 포집용 몸체(10a)의 상측부에는 상부이동안내부재(30) 설치를 위한 설치턱(16)이 구비된다.
상기 제1 포집용 몸체(10a), 제2 포집용 몸체(10b) 및 제3 포집용 몸체(10c)의 각각의 단에는 보통 플랜지부가 형성되어 분리 및 결합 가능하도록 한다.
상기 제2 포집용 몸체(10b)는 제1 포집용 몸체(10a) 내에 다른 구성(20, 30, 40, 50, 60)들의 삽입 및 분리 가능하도록 하며, 상기 제3 포집용 몸체(10c)는 포집된 부산물의 제거가 용이하도록 한다.
상기 제1 포집용 몸체(10a)에 형성된 공기 유입구(11)는 유입되는 유입공기가 제1 포집용 몸체(10a) 내에서 회전을 하도록 형성된 것으로, 보통 제1 포집용 몸체(10a)의 중심에서 이격된 위치에서 공기가 유입되도록 하며, 바람직하게는 접선방향으로 공기가 유입되도록 한다(도 6참조).
상기 제1 포집용 몸체(10a)에 회전을 하도록 유입되는 공기는 제1 포집용 몸체(10a) 내에서 회전을 하면서 1차 부산물을 분리하게 된다. 공기 중에서 분리되는 부산물을 하측으로 떨어져 제3 포집용 몸체(10c) 내에 포집(저장)된다(도 4 참조).
상기 제3 포집용 몸체(10c)에는 별도로 구비되는 부산물 포집(저장)부재(10d)와 연통하는 1차 부산물용 배출구(13)를 구비할 수 있으며, 상기 1차 부산물용 배출구(13)로 1차 부산물이 잘 유입이 이루어질 수 있도록 하는 배출 안내용 날개(14)가 더 구비될 수 있다(도 7과 도 8 참조).
상기 제3 포집용 몸체(10c)에 포집되는 부산물은 회전하는 유입공기에 의하여 계속 회전을 하게 되며, 이때 소량의 부산물이 회전력에 의하여 다시 유입공기 내에 섞일 수 있는 문제점이 있음으로써, 도 7과 도 8과 같이 포집된 부산물만을 별도로 저장할 수 있는 부산물 포집(저장)부재(10d)를 가지는 경우 이를 해소할 수 있다.
상기 1차 부산물용 배출구(13)는 공기 유입구(11)와 같이 접선방향으로 형성되어 회전하는 부산물이 잘 유입이 이루어질 수 있도록 하는 한편, 1차 부산물용 배출구(13) 측에 배출 안내용 날개(14)를 구비할 수 있다(도면 8 참조)
또한, 제1 포집용 몸체(10a) 또는 제3 포집용 몸체(10c)의 내측면 둘레에는 포집되어 있는 부산물이 회전력에 의하여 내측면을 타고 올라가는 것을 방지할 수 있도록 차단부재(15)를 더 구비할 수 있다.
상기 거름메쉬망(20)는 보통 다수의 구멍이 형성된 원통형으로 이루어져, 하측단은 미세입자 부산물 저장부재(60)와 접촉되고, 상측단은 상부이동안내부재(30)에 접촉하도록 함으로써, 포집용 몸체(10) 내로 유입된 공기가 모두 거름메쉬망(20)를 통과한 후 부산물 포집용 콘부재(40)로 유입될 수 있도록 한다.
상기 상부이동안내부재(30)는 거름메쉬망(20)을 통과한 공기만을 상측방향으로 안내하여 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)의 접선형 공기 유입구(41)에 공기가 유입될 수 있도록 하는 구성으로써, 중앙에 이동통로용 홀(31)이 형성되고, 상기 이동통로용 홀(31)을 중심으로 하는 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)이 각각 관통되도록 다수의 콘용 관통홀(32)이 구비된다.
상기 부산물 포집용 콘부재(40)는 콘(깔때기) 형태로 이루어진 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)으로 이루어지며, 상기 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)의 각각에는 공기의 유입시 회전을 하도록 접선형 공기 유입구(41)가 형성되어 회전력에 의한 부산물을 분리하여 포집하도록 하는 구성이다.
이러한 상기 부산물 포집용 콘부재(40)는 이동통로용 홀(31)을 중심으로 접선형 공기 유입구(41)가 형성되도록 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)가 배치되며, 하측에는 부산물이 배출되는 부산물 배출구(42)가 형성되어 있다(도 9 참조).
즉, 도 9와 도 11과 같이 이동통로용 홀(31)을 안내되는 공기는 접선형 공기 유입구(41)를 통해 각 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)에 유입되고, 유입되는 공기는 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d) 내에서 회전을 하여 공기 내의 부산물을 분리하고, 분리된 부산물은 하측으로 떨어져 부산물 배출구(42)을 통해 배출되어 미세입자 부산물 저장부재(60)의 내측 저장공간(60a)에 저장되게 된다.
상기 포집용 콘부재 커버(50)는 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)로 이루어진 부산물 포집용 콘부재(40)를 덮는 커버로, 각각의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)에 유입된 공기가 상측으로 배출되도록 다수의 포집용 구멍(51)이 형성되다. 상기 포집용 구멍(51)에는 공기의 배출시 내부에 포함되어 있는 부산물이 충돌하여 하측으로 떨어질 수 있게 공기의 회전방향과 대향되게 형성된 포집용 충돌날개(52)가 구비된다.
이러한 포집용 충돌날개(52)는 하나 이상의 복수개가 설치될 수 있으며, 소정의 각도록 경사지게 형성된다. 즉, 포집용 충돌날개(52)는 충돌시 부산물이 하측으로 떨어질 수 있도록 경사지게 형성된다. 만일 수직으로 설치되는 경우 충돌시 부산물이 하측으로 떨어지지 않고 빠져나가는 이동 공기와 함께 상측으로 이동할 수 있다.
특히, 상기 포집용 구멍(51)은 하측으로 돌출이 이루어지도록 관형태로 이루어지며, 입구측인 하측단부(51a)는 포집용 콘에 형성된 접선형 공기 유입구(41)보다 하측에 위치하도록 하여 접선형 공기 유입구(41)로 유입된 공기가 회전하며 하측으로 이동한 후 포집용 구멍(51)으로 이동할 수 있도록 한다.
상기 미세입자 부산물 저장부재(60)는 포집용 콘부재(40)의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)에서 각각 포집되는 미세입자 부산물만을 저장하는 저장공간(60a)을 제공하는 구성이다.
이러한 미세입자 부산물 저장부재(60)는 상부에는 포집용 콘부재(40)의 하측 일부가 삽입되는 다수의 콘부재용 홀(61a)이 구비되고, 거름메쉬망(20)을 통과한 공기를 상부이동안내부재(30)의 이동통로용 홀(31)로 안내하도록 이루어진 반구형의 상판부재(61)와, 상기 상판부재(61)와 결합되어 포집용 콘부재(40)의 내측과 연통함으로써 포집되는 부산물을 수용하는 포집공간부를 제공하는 깔때기형 포집몸체(62)로 이루어진다.
상기 깔때기형 포집몸체(62)의 내측 둘레면에는 포집된 부산물이 상측으로 비산하지 못하도록 하는 차단부재(63)가 구비된다.
또한, 상기 깔때기형 포집몸체(62)의 하측은 제3 포집용 몸체(10c)의 분리로 저장된 부산물을 제거할 수 있도록 개구되며, 사용시에는 기밀을 유지하기 위한 기밀용 패드(64)가 구비된다.
상기 회전타입의 부산물 포집장치(1)는 작동시 진공펌프의 흡입력에 의하여 공기 배출구(12)로 공기가 당겨짐으로써 공기 유입구(11)로 통하여 빠른 속도로 공기가 유입되며, 미세입자 부산물만을 저장하는 저장공간(60a)은 진공의 상태를 유지하게 된다.
상기 공기 유입구(11)을 통하여 빠른 속도로 공기 유입이 이루어지는 공기는 포집용 몸체(10)와 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d) 내에서 빠른 속도로 회전을 하게 되고, 이로 인하여 부산물은 공기 내에서 분리되어 포집이 이루어진다.
이러한 상기 회전타입의 부산물 포집장치(1)는 별도의 구동력이 필요로 하지 않음으로써 에너지 효율면에서 매우 경제적이다.
1 : 회전타입의 부산물 포집장치
10, 10ㅁ, 10b, 10c : 포집용 몸체
20 : 거름메쉬망
30 : 상부이동안내부재 31 : 이동통로용 홀
40 : 포집용 콘부재
40a, 40b, 40c, 40d : 포집용 콘
50 : 포집용 콘부재 커버 51 : 포집용 구멍
60 : 미세입자 부산물 저장부재

Claims (4)

  1. 프로세서 챔버와 진공펌프 사이에 구비되어 프로세서 챔버에서 발생하는 부산물이 진공펌프로 흡입되는 것을 방지하도록 하는 부산물 포집장치에 있어서,
    상기 부산물 포집장치는, 진공펌프의 흡입력으로 인하여 유입되는 공기가 회전하도록 함으로써 1차 부산물을 포집하도록 하는 회전발생용 공기 유입구를 포함하는 포집용 몸체와, 상부에 유입공기를 다시 회전시켜 2차 부산물을 포집하도록 하는 회전발생용 공기 유입구를 포함하는 다수의 포집용 콘으로 이루어진 부산물 포집용 콘부재와, 유입공기를 다시 상측으로 이동시켜 3차 부산물을 포집하도록 이루어진 다수의 포집용 구멍을 구비하는 포집용 콘부재 커버를 포함하며,
    상기 포집용 콘부재 커버에 구비되는 각각의 포집용 구멍(51)에는 포집을 위한 공기의 회전방향과 대향되며, 부산물의 충돌시 하측방향으로 안내할 수 있도록 경사지게 형성된 포집용 충돌날개(52)가 구비되며,
    상기 포집용 구멍(51)의 입구측인 하측단부(51a)는 포집용 콘에 형성된 접선형 공기 유입구(41)보다 하측에 위치하도록 하여 접선형 공기 유입구(41)로 유입된 공기가 회전하며 하측으로 이동한 후 포집용 구멍(51)으로 이동하도록 이루어져,
    진공펌프의 흡입력으로 인하여 유입되는 공기를 회전 및 상측으로 이동시켜 공기 내의 부산물을 포집함을 특징으로 하는 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치.
  2. 프로세서 챔버와 진공펌프 사이에 구비되어 프로세서 챔버에서 발생하는 부산물이 진공펌프로 흡입되는 것을 방지하도록 하는 부산물 포집장치에 있어서,
    상기 부산물 포집장치는, 유입공기가 원활하게 회전을 하도록 내부가 원통형으로 이루어지며, 상부에 유입공기가 회전을 하도록 형성된 공기 유입구(11)와, 공기 유입구(11)로 유입된 공기가 진공펌프로 이동하도록 배출되는 공기 배출구(12)를 포함하여 1차 부산물 포집을 위한 포집용 몸체(10)와;
    상기 포집용 몸체(10) 내에 구비되는 다수의 구멍을 구비한 거름메쉬망(20)과;
    상기 거름메쉬망(20)을 통과한 공기만이 상측방향으로 이동하도록 안내하는 중앙에 이동통로용 홀(31)이 구비된 상부이동안내부재(30)와;
    상기 이동통로용 홀(31)을 중심으로 하여 배치되며, 이동통로용 홀(31)로 이동하는 공기가 회전을 하도록 접선형 공기 유입구(41)를 가지는 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)으로 이루어진 2차 부산물을 포집하도록 구비되는 부산물 포집용 콘부재(40)와;
    상기 다수의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)으로 각각 유입되어 회전하는 공기가 상측으로 이동하도록 다수의 포집용 구멍(51)이 형성된 포집용 콘부재 커버(50)와;
    상기 포집용 콘부재(40)의 포집용 콘(40a, 40b, 40c, 40d)에서 각각 포집되는 미세입자 부산물만이 저장되도록 공간을 제공하기 위한 미세입자 부산물 저장부재(60)를 포함하도록 이루어져,
    진공펌프의 흡입력으로 인하여 유입되는 공기를 회전 및 상측으로 이동시켜 공기 내의 부산물을 포집함을 특징으로 하는 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 포집용 몸체의 하측면의 일측에는 포집된 1차 부산물용 배출구(13)가 구비되되, 포집용 몸체 내측면에는 회전하는 1차 부산물이 1차 부산물용 배출구(13)로 유입될 수 있도록 안내하는 배출 안내용 날개(14)가 구비되고,
    상기 미세입자 부산물 저장부재(60)는, 상부에는 포집용 콘부재(40)의 하측 일부가 삽입되는 다수의 콘부재용 홀(61a)이 구비되고, 거름메쉬망(20)을 통과한 공기를 상부이동안내부재(30)의 이동통로용 홀(31)로 안내하도록 이루어진 반구형의 상판부재(61)와; 상기 상판부재(61)와 결합되어 포집용 콘부재(40)의 내측과 연통함으로써 포집되는 부산물을 수용하는 포집공간부를 제공하는 깔때기형 포집몸체(62)로 이루어지며, 상기 깔때기형 포집몸체(62)의 내측 둘레면에는 포집된 부산물이 상측으로 비산하지 못하도록 하는 차단부재(63)가 구비됨을 특징으로 하는 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 포집용 콘부재 커버에 구비되는 각각의 포집용 구멍(51)에는 포집을 위한 공기의 회전방향과 대향되며, 부산물의 충돌시 하측방향으로 안내할 수 있도록 경사지게 형성된 포집용 충돌날개(52)가 구비되며,
    상기 포집용 구멍(51)의 입구측인 하측단부(51a)는 포집용 콘에 형성된 접선형 공기 유입구(41)보다 하측에 위치하도록 하여 접선형 공기 유입구(41)로 유입된 공기가 회전하며 하측으로 이동한 후 포집용 구멍(51)으로 이동하도록 함을 특징으로 하는 진공펌프 보호를 위한 회전타입의 부산물 포집장치.
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102066183B1 (ko) * 2018-12-03 2020-01-14 (주) 엠엠티케이 반도체 부산물 포집 장치
KR102113249B1 (ko) 2019-12-12 2020-05-20 (주) 엠엠티케이 사이클론을 이용한 부산물 포집장치
KR20240000146A (ko) 2022-06-23 2024-01-02 주식회사 엠엠티 반도체 제조 부산물 포집장치
KR102634912B1 (ko) 2023-08-04 2024-02-08 주식회사 엠엠티 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치
KR102672167B1 (ko) 2022-12-23 2024-06-07 주식회사 엠엠티 바이패스형 반도체 제조 부산물 포집장치
KR102739669B1 (ko) 2023-12-19 2024-12-10 주식회사 엠엠티 반도체 부산물 포집장치
CN119909414A (zh) * 2025-04-02 2025-05-02 天津市恒立华机械制造有限公司 一种防溢自清洁式高效分离器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010083627A (ko) * 2000-02-17 2001-09-01 구자홍 사이클론 집진장치
KR100555385B1 (ko) 2004-02-05 2006-03-03 조재효 반도체장비의 부산물 포집장치
KR100621660B1 (ko) 2005-07-01 2006-09-11 주식회사 뉴프로텍 반도체 부산물 트랩장치
KR100647725B1 (ko) 2006-05-09 2006-11-23 주식회사 미래보 반도체 장치의 부산물 포집장치
KR101447629B1 (ko) 2014-01-10 2014-10-08 (주) 엠엠티케이 반도체 부산물 포집차단수단을 구비한 반도체 부산물 포집장치

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010083627A (ko) * 2000-02-17 2001-09-01 구자홍 사이클론 집진장치
KR100555385B1 (ko) 2004-02-05 2006-03-03 조재효 반도체장비의 부산물 포집장치
KR100621660B1 (ko) 2005-07-01 2006-09-11 주식회사 뉴프로텍 반도체 부산물 트랩장치
KR100647725B1 (ko) 2006-05-09 2006-11-23 주식회사 미래보 반도체 장치의 부산물 포집장치
KR101447629B1 (ko) 2014-01-10 2014-10-08 (주) 엠엠티케이 반도체 부산물 포집차단수단을 구비한 반도체 부산물 포집장치

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102066183B1 (ko) * 2018-12-03 2020-01-14 (주) 엠엠티케이 반도체 부산물 포집 장치
KR102113249B1 (ko) 2019-12-12 2020-05-20 (주) 엠엠티케이 사이클론을 이용한 부산물 포집장치
KR20240000146A (ko) 2022-06-23 2024-01-02 주식회사 엠엠티 반도체 제조 부산물 포집장치
KR102672167B1 (ko) 2022-12-23 2024-06-07 주식회사 엠엠티 바이패스형 반도체 제조 부산물 포집장치
KR102634912B1 (ko) 2023-08-04 2024-02-08 주식회사 엠엠티 반도체 공정시 발생하는 부산물 포집장치
KR102739669B1 (ko) 2023-12-19 2024-12-10 주식회사 엠엠티 반도체 부산물 포집장치
CN119909414A (zh) * 2025-04-02 2025-05-02 天津市恒立华机械制造有限公司 一种防溢自清洁式高效分离器

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