KR101680319B1 - Probe block for testing a liquid crystal panel - Google Patents
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Abstract
액정 패널(210)의 패드에 접촉되는 복수의 프로브 핀(220)들이 접합되는 금속 패드(242)가 구비된 프로브기판(240); 및 상기 프로브기판(240)이 조립되는 MP 블록(260)을 포함하는 액정 패널 테스트용 프로브 블록(200)이 제공된다. 프로브 블록(200)의 프로브 핀(220)은 MEMS 공정으로 제작되어, 납이나 주석(Sn)을 이용하며, 레이저(Laser)를 이용한 납땜(Soldering)에 의해 상기 프로브기판(240)에 접합되며, 니켈(Ni) 또는 니켈(Ni)을 포함한 합금으로 구성되어 탄성체 역할을 하는 바디 부분(212)과, 경도와 전기 전도도가 좋은 로듐 소재로 구성되어 상기 액정 패널(210)의 패드에 직접 접촉(contact)되는 팁(tip) 부분(214)을 포함하며, 적정한 탄성운동에서 수직 운동이 가능하도록 설계된다.A probe substrate 240 having a metal pad 242 to which a plurality of probe pins 220 contacting the pad of the liquid crystal panel 210 are bonded; And an MP block 260 to which the probe substrate 240 is assembled. The probe pin 220 of the probe block 200 is manufactured by a MEMS process and is connected to the probe substrate 240 by soldering using a lead or tin Sn and using a laser, A body part 212 formed of an alloy containing nickel (Ni) or nickel (Ni) and serving as an elastic body, and a rhodium material having good hardness and electrical conductivity, and is in direct contact with the pad of the liquid crystal panel 210 , And is designed to allow vertical movement in the appropriate elastic motion.
Description
본 발명은 액정 패널 테스트용 프로브 블록에 관한 것이다.The present invention relates to a probe block for liquid crystal panel testing.
액정 표시 장치는 인쇄회로기판과, 탭아이씨(TAB IC) 필름 및 패널로 이루어지며, 패널과 인쇄회로기판을 탭아이씨 필름을 이용하여 전기적으로 연결함으로써 완제품을 제작하기 전에 불량 여부를 테스트하는데, 이와 같은 패널의 불량 여부를 테스트하기 위하여 이용하는 것이 프로브 블록이다.The liquid crystal display device is composed of a printed circuit board, a TAB IC film, and a panel. The panel and the printed circuit board are electrically connected to each other using a taped film to test whether the product is defective before the finished product is manufactured. A probe block is used to test whether the same panel is defective.
일반적으로, 패널 테스트용 프로브 블록은 크게 두가지 타입으로 나뉘어진다. 니들이나 핀을 이용한 핀(pin) 타입과, 필름에 컨택 패드 또는 범프를 포함하는 필름 타입의 블록으로 나뉜다.Generally, the probe block for panel test is roughly divided into two types. A pin type using a needle or a pin, and a film type block including a contact pad or a bump in the film.
도 1에는 핀 타입 프로브 블록의 측면을 나타내고 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 프로브 카드(100)는 프로브 핀(40)이 설치되어 단위별로 모듈화된 프로브 핀 블록(60)이 포고 핀(12)과의 접촉 방식으로 카드 몸체(10)와 연결되는 구조를 가진다. 프로브 핀 블록(60)의 피치는 테스트될 웨이퍼의 반도체 소자의 피치에 대응되게 설치된다.Fig. 1 shows a side view of a pin-type probe block. 1, the
프로브 핀 블록(60)은 프레스 블록(20, PRESS BLOCK) 아래에 프로브 핀(40) 끝단의 접합부(41)가 납땜 홀(51)이 형성된 연결 기판(50) 부분은 프레스 블록(20)의 외측으로 돌출되어 있다.The
프레스 블록(20)의 상부면에는 에폭시(30)가 도포되며, 이 에폭시(30)에 의해 프로브 핀(40)의 고정부(42)가 고정되고, 프로브 핀(40)의 접촉부(43)는 에폭시(30) 밖으로 일정길이 돌출되어 반도체 소자의 전극 패드에 탄성적으로 접촉된다.An
이와 같이 니들이나 핀를 이용한 핀 타입의 프로브 블록은 패널 테스트 시, 프로브로서 기능하는 핀이 개별적으로 탄성을 가지면서 액정 패널과 컨택이 되어, 컨택 검사 대상 액정 패널의 평탄도에 미세하게 차이가 있음에도 불구하고 컨택 안정성이 좋은 장점이 있다.In the pin-type probe block using the needles or pins, the pins functioning as the probes are individually resilient and contact with the liquid crystal panel during the panel test. Even though there is a slight difference in the flatness of the liquid crystal panel And the stability of the contact is good.
이러한 핀 타입의 프로브 블록은 프로브를 얇은 금속 판에 애칭 공정을 통해 형상을 넣어 제작하게 되는데, 탄성을 가지는 프로브 바디 부분과 패드 컨택 부분인 팁(Tip) 부분의 두께 차이가 크지 않거나 거의 같기 때문에 패널 검사 시, 프로브 팁(Probe Tip)이 컨택되는 면적이 커서, 패널의 전극라인들에 손상을 발생하므로, 작은 사이즈의 패드 컨택은 불가능하다. 또한, 협피치의 리드선들을 테스크하기 위하여 핀들도 협피치를 가져야 하므로 프로브 블록의 제작에 어려움이 있었다.The pin type probe block is fabricated by inserting a probe into a thin metal plate through a nicking process. Since the difference in thickness between the probe body portion having elasticity and the tip portion as the pad contact portion is not large or nearly the same, In the inspection, the contact area of the probe tip is large, and damage to the electrode lines of the panel is caused, so that a pad contact of a small size is impossible. In addition, since the pins must have a narrow pitch in order to test lead lines of narrow pitch, it has been difficult to manufacture the probe block.
도 2 및 도 3는 각각 종래의 니들 타입 프로브 핀과 세라믹 슬릿의 구조를 나타내는 분해 및 결합 사시도이다.2 and 3 are exploded and assembled perspective views showing the structure of a conventional needle type probe pin and a ceramic slit, respectively.
도 2 및 도 3을 참조하면, 니들 타입 프로브 핀(40)이 슬릿부(70)에 슬라이딩 방식으로 안정되게 체결되거나 분리될 수 있도록 프로브 핀(40)과 슬릿부(70)에는 걸림단, 걸림돌기, 홈부 등으로 구성될 수 있다.2 and 3, the
슬릿부(70)는 제 1 슬릿부(80)와 제 1 슬릿부(80)와 직각으로 벤딩되어 형성되는 제 2 슬릿부(90)를 포함하여 구성되며, 제 1 슬릿부(80)에는 홈부로 형성되어 프로브 핀(40)의 걸림단(45)이 끼워지는 끼움홈(83)(85)과, 프로브 핀(40)의 제 1 걸림돌기(46)의 위치에 대응되는 곳에 걸림홈(87)이 형성되고, 제 2 슬릿부(90)에는 홈부로 형성되어 프로브 핀(40)의 접속단(47)이 수용되는 수용부(93)(95)와, 프로브 핀(40)의 제 2 걸림돌기(48)의 위치에 대응되는 곳에 고정홈(97)이 형성된다. 끼움홈(83)(85)과, 수용부(93)(95)는 모두 각각의 프로브 핀(40)이 개별적으로 수용될 수 있는 슬릿의 형상으로 형성된다. The
이와 같이, 니들 또는 핀 타입의 프로브 블록은 세라믹 슬릿과 같은 홈에 프로브를 끼워 조립하여 제작한다. 이때, 세라믹 슬롯은 프로브의 위치를 유지시키는 역할을 하며, 프로브의 동작 시에도, 프로브의 위치를 유지하여 준다. 이로 인하여 프로브는 세라믹 슬릿안에서 수직방향의 탄성 운동으로 동작할 수 있다. 그러나 세라믹 슬릿의 두께 또한 공간을 차지하기 때문에 미세한 패드 피치를 가지는 액정 패널에는 대응이 불가능하였다. 또한 세라믹 슬릿을 사용하게 되므로 제품 단가 상승이 불가피하여 가격 경쟁력이 떨어지는 단점 또한 존재한다. 이에 최근에는 필름을 직접 패널에 접촉하여 패널을 테스트하는 필름 타입의 프로브 블록이 대두되었다.As described above, the needle or pin type probe block is fabricated by assembling a probe in a groove like a ceramic slit. At this time, the ceramic slot serves to maintain the position of the probe, and maintains the position of the probe even when the probe is in operation. Thus, the probe can operate in the vertical direction in the ceramic slit. However, since the thickness of the ceramic slit also occupies a space, it is impossible to cope with a liquid crystal panel having a fine pad pitch. In addition, since ceramic slits are used, there is also a disadvantage that price increases are inevitable due to an increase in product prices. Recently, a film type of probe block for testing a panel by directly contacting the film with the panel has been developed.
도 4는 필름 타입 프로브 블록의 측면을 나타내고 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 필름 타입 프로브 블록(150)은 바디블록(152), 접촉부재에 해당하는 프로브시트(154), 홈(155)이 형성된 탄성부재(156), 구동시트(158), 구동칩(160), FPCB(162)를 포함한다. 패널(164)에는 패드전극(166)이 돌출형성되고, 프로브시트(154)에는 패드전극(166)과 접촉하기 위한 접촉부(168)가 돌출형성되어 있다. Fig. 4 shows a side view of the film type probe block. 4, the film
이러한 구성의 필름 타입의 프로브 블록의 경우에는 미세 패드 피치를 가지는 액정 패널에 대응이 가능하나 동일한 필름에 패드 또는 범프(bump)가 서로 인접하게 형성되므로, 검사 대상 액정 패널들에 미세하더라도 평탄도에 차이가 있게 되면, 미세한 평탄도의 차이에 의해 컨택 안정성이 낮아 검사 신뢰성이 떨어지는 문제가 있다.In the case of the film-type probe block having such a structure, it is possible to correspond to a liquid crystal panel having a fine pad pitch, but since pads or bumps are formed adjacent to each other on the same film, If there is a difference, there is a problem that the reliability of the inspection is deteriorated due to the low contact stability due to the difference in the fine flatness.
또한 필름 자체 소재의 탄성이 매우 작기 때문에 탄성력에 의한 패드 컨택이 불안정할 수 밖에 없는 문제가 있다.Further, since the elasticity of the film itself is very small, there is a problem that the pad contact due to the elastic force is unstable.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하고자 프로브 타입 블록이 가지는 컨택 안정성을 유지하면서 미세한 피치에도 대응이 가능하도록 개발된 것으로서, 그 목적은 프로브 타입의 컨택 안정성과 필름 타입의 미세 패드 피치 대응의 장점을 모두 가지는 프로브 블록을 제공하는 것이다.In order to solve the above-described problems, the present invention has been developed in order to cope with a fine pitch while maintaining the contact stability of the probe type block. The object of the present invention is to provide a probe- All they have is a probe block.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따르는 액정 패널 테스트용 프로브 블록은 피검사 대상물인 액정 패널의 패드에 접촉되어 전기적 신호를 전달하는 복수의 프로브 핀; 상기 프로브 핀들이 접합되는 미세 금속 패드 및 금속 회로가 구비된 프로브기판; 및 상기 프로브기판이 조립되는 완충 블록; 상기 프로브기판의 금속회로의 전기적 신호를 메인회로기판에 전달하는 연성회로기판; 및 상기 완충 블록 및 상기 메인회로기판에 조립되는 바디 블록을 포함할 수 있다.According to one aspect of the present invention, there is provided a probe block for testing liquid crystal panels, comprising: a plurality of probe pins contacting a pad of a liquid crystal panel to be inspected to transmit an electrical signal; A probe substrate having a fine metal pad to which the probe pins are bonded and a metal circuit; And a buffer block on which the probe substrate is assembled; A flexible circuit board for transmitting an electrical signal of the metal circuit of the probe substrate to a main circuit board; And a body block assembled to the buffer block and the main circuit board.
상기 프로브 핀은 MEMS 공정으로 제작되어, 상기 프로브기판의 미세 금속 패드에 접합될 수 있다.The probe pin may be fabricated by a MEMS process and may be bonded to a fine metal pad of the probe substrate.
상기 프로브 핀의 접합은 납이나 주석(Sn)을 이용하며, 레이저(Laser)를 이용한 납땜(Soldering) 또는 전자빔 또는 티그 용접(TIG welding), 브레이징(brazing)으로 접합될 수 있다.The bonding of the probe pins may be performed by soldering using a laser or by electron beam or TIG welding or brazing using lead or tin (Sn).
상기 프로브 핀은 니켈 또는 니켈을 포함하는 합금으로 구성되어 탄성체 역할을 하는 바디 부분과, 경도와 전기 전도도가 좋은 로듐 소재로 구성되어 상기 액정 패널의 패드에 직접 접촉되는 팁 부분을 포함할 수 있다.The probe pin may include a body portion formed of an alloy including nickel or nickel and serving as an elastic body, and a tip portion formed of a rhodium material having good hardness and electrical conductivity and directly contacting the pad of the liquid crystal panel.
상기 프로브기판은 미세 금속 패드 및 금속 회로가 구성되어 있으며, 다층 회로 제작이 가능한 PCB 또는 세라믹 소재로 구성될 수 있다.The probe substrate may be formed of a PCB or a ceramic material, which is made of a fine metal pad and a metal circuit, and is capable of forming a multilayer circuit.
상기 완충 블록은 제 1 및 제 2 완충 블록을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 완충 블록의 사이에는 수직형 탄성 장치를 포함할 수 있다.The buffer block may include first and second buffer blocks, and may include a vertical elastic device between the first and second buffer blocks.
상기한 과제 해결 수단을 통하여, 본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다.Through the above-mentioned means for solving the problems, the present invention provides the following effects.
본 발명의 다양한 실시예에 따르면, MEMS 공정으로 수 마이크로미터 단위의 치수가 관리되면서, 작고 얇게 제작되는 MEMS 프로브(Probe)를 이용함에 따라 미세 피치(Pitch)의 액정 패널 검사가 가능하다.According to the various embodiments of the present invention, fine-pitch liquid crystal panel inspection can be performed by using MEMS probes which are made small and thin while the dimensions of several micrometers are managed by the MEMS process.
본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 종래의 프로브 핀을 이용한 프로브블록과는 달리 프로브를 고정하는 고가의 세라믹 슬릿을 사용하지 않음으로 인하여 단가 절감이 가능하다.According to various embodiments of the present invention, unlike a probe block using a conventional probe pin, expensive ceramic slits for fixing the probe are not used, thereby reducing the cost.
본 발명의 다양한 실시예에 따르면, 프로브의 수직 동작에 의한 탄성력으로 패드를 접촉하기 때문에 안정적인 접점이 가능하여 접촉(Contact) 신뢰성 또한 높은 것이 특징이다.According to various embodiments of the present invention, since the pad is brought into contact with the elastic force by the vertical operation of the probe, stable contact is possible and contact reliability is also high.
도 1은 액정 패널 테스트를 위한 종래의 핀 타입 프로브 블록을 나타내는 측면도이다.
도 2 및 도 3은 각각 종래의 니들 타입 프로브 핀과 세라믹 슬릿의 구조를 나타내는 분해 및 결합 사시도이다.
도 4는 액정 패널 테스트를 위한 종래의 필름 타입 프로브 블록을 나타내는 측면도이다.
도 5은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 액정 패널 테스트용 프로브 블록의 구조를 나타내는 개략도이다.
도 6는 도 5 프로브 핀의 접합 상태를 상세하게 나타내는 상세도이다.1 is a side view showing a conventional pin-type probe block for a liquid crystal panel test.
2 and 3 are exploded and combined perspective views showing the structure of a conventional needle type probe pin and a ceramic slit, respectively.
4 is a side view showing a conventional film type probe block for a liquid crystal panel test.
5 is a schematic view showing the structure of a probe block for liquid crystal panel testing according to various embodiments of the present invention.
FIG. 6 is a detailed view showing in detail the bonding state of the probe pins of FIG. 5;
이하에서는 본 발명의 사항을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
아울러 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.In the following description of the present invention, detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
도 5는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 액정 패널 테스트용 프로브 블록의 구조를 나타내는 개략도이고, 도 6은 도 5 프로브 핀의 접합 상태를 상세하게 나타내는 상세도이다.FIG. 5 is a schematic view showing a structure of a probe block for liquid crystal panel testing according to various embodiments of the present invention, and FIG. 6 is a detailed view showing the bonding state of the probe pins of FIG. 5 in detail.
도 5를 참조하면, 본 발명의 다양한 실시예에 따른 액정 패널 테스트용 프로브 블록(200)은 피검사 대상물인 액정 패널(210)의 패드에 접촉되는 복수의 프로브 핀(220)들이 접합되는 프로브기판(240); 및 상기 프로브기판(240)이 조립되는 완충 블록(260)을 포함한다.5, a liquid crystal panel
한 실시예에 따르면, 프로브 블록(200)의 각각의 프로브 핀(220)들은 MEMS 공정으로 제작되어, 프로브기판(240)에 접합될 수 있다. 이때 접합은 납이나 주석(Sn)을 이용할 수 있는데, 레이저(Laser)를 이용한 납땜(Soldering) 또는 전자빔 또는 티그 용접(TIG welding), 브레이징(brazing) 등의 기타의 방법으로 접합할 수 있다.According to one embodiment, each
프로브기판(240)에는 프로브 핀(220)들이 접합되는 미세 금속 패드(pad)(242)가 구비되어 있고, 금속 패드(242)에서 전기적 신호를 전달하는 금속 회로가 구성되어 있다. 이에 따라 프로브기판(240)은 미세 금속 패드 및 금속 회로가 구성되어 있으며, 다층 회로 제작이 가능한 소재, 예를 들면 금속 회로 구현이 가능한 PCB 또는 세라믹 소재 등이 적용가능하다.The
접합용 미세 금속 패드(242)는 검사 대상인 액정 패널의 검사용 패드와 같은 피치(Pitch)를 가질 수 있고, 여기에 접합되는 프로브 핀(220) 또한 액정 패널(210)의 패드와 같은 피치를 가질 수 있다.The bonding
프로브 핀(220)들은 MEMS 공정으로 제작될 수 있으므로, 수 마이크로미터 단위의 치수로 관리될 수 있으며 또한 작고 얇게 제작될 수 있다. 프로브 핀(220)은 탄성체 역할을 하는 바디 부분(212)과, 액정 패널의 패드에 직접 접촉(contact)되는 팁(tip) 부분(214)을 포함할 수 있다.Since the
바디 부분(212)은 니켈(Ni) 또는 니켈(Ni)을 포함한 합금이 될 수 있으며 탄성력이 좋은 소재를 사용할 수 있다. 또한 액정 패널의 패드에 직접 접촉 되는 프로브의 팁 부분(214)은 경도와 전기 전도도가 좋은 로듐 소재가 주로 사용될 수 있지만, 기타 다른 소재 또한 적용이 가능하다.The
한편, 본 발명의 다양한 실시예에 따른 프로브 블록(200)의 프로브 핀(220)은 MEMS 공정에 의해, 그 팁 부분(214)의 크기(Size)를 바디 부분(212)의 두께보다 작게 제작하는 것이 가능하므로, 미세한 액정 패널의 패드 크기(Pad Size)와 피치(Pitch)에도 대응이 가능하다.The
본 발명의 다양한 실시예에 따른 프로브 핀(220)은 레이저(Laser)를 이용한 납땜(Soldering)에 의해 프로브기판(240)의 금속 패드(242)에 접합되며, 이때 납땜 장비는 프로브의 포지션을 미세하게 컨트롤하여 수십 마이크로 오차 이내로 프로브 핀(220)을 접합하기 때문에 종래의 프로브 블록에서의 세라믹 슬릿과 같은 프로브 핀의 포지션 유지 장치가 필요 없게 되어 단가 절감이 가능하다.The probe pins 220 according to various embodiments of the present invention are bonded to the
더구나 본 발명의 다양한 실시예에 따른 프로브 블록(200)의 프로브 핀(220)은 소위 MEMS 공정에 의해 제작되는 MEMS 프로브 핀이므로, 이러한 MEMS 프로브 핀의 경우, 설계 시 시뮬레이션(Simulation) 프로그램을 통하여 적정한 탄성운동에서 수직 운동이 가능하도록 설계할 수 있으므로, 세라믹 슬릿과 같은 장치가 없더라도 원활한 수직 운동이 가능하며 포지션 정밀도를 확보할 수 있다.In addition, since the
본 발명의 다양한 실시예에 따른 프로브 블록(200)은 프로브 핀(220)들이 접합된 프로브기판(240)이 완충 블록(Block)(260)에 조립될 수 있다.The
완충 블록(260)은 하부의 제 1 완충 블록(262)과, 제 1 완충 블록(262) 상부의 제 2 완충 블록(264)을 포함하며, 제 1 및 제 2 완충 블록(262)(264)의 사이에 스프링을 포함하는 수직형 탄성 장치(270)를 포함할 수 있다.The
프로브 핀(220)의 전기적 신호는 프로브기판(240)의 금속 회로와 연성회로기판(FPCB)(272) 또는 와이어 커넥터(Wire connector)와 같은 연결 수단을 이용하여 바디 블록(280) 상부의 메인(Main)회로기판(282)의 ZIF 커넥터(Connector)(284)로 연결될 수 있다. The electrical signal of the
완충 블록(260) 내부의 수직형 탄성장치(270)는 과도한 접촉 스트로크(Contact Stroke) 시, 프로브 핀(202)에 일정량 이상의 힘이 작용할 경우, 완충 블록(260)의 수직형 탄성장치(270)가 압축되어 프로브 핀(220)에 가해진 힘을 완충시켜 프로브 핀(Probe pin)(220)와 액정 패널(210)을 보호하는 역할을 수행할 수 있다. 수직형 탄성장치(270)는 통상적인 구성이므로, 상세한 작동의 설명은 생략한다.The vertical
이러한 프로브 블록(200)들이 바디 블록(Base Frame)(280)에 조립되어 본 발명에 따른 액정 패널 테스트용 프로브 블록을 이용한 프로브 카드(Probe Card)를 형성할 수 있다.The probe blocks 200 may be assembled to a
이상 설명한 바와 같은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 액정 패널 테스트용 프로브 블록은 MEMS 프로브 핀을 이용한 미세 피치의 액정 패널 검사가 가능하며, 세라믹 슬릿을 사용하지 않음으로 인하여 단가 절감이 가능하고, 또한 프로브의 수직 동작에 의한 탄성력으로 패드를 접촉하기 때문에 안정적인 접점이 가능하여 접촉 신뢰성 또한 높으므로, 미세 피치 대응과 컨택 안정성을 달성할 수 있다.As described above, the probe block for liquid crystal panel testing according to various embodiments of the present invention is capable of inspecting a liquid crystal panel with a fine pitch using a MEMS probe pin, can reduce the unit cost by not using a ceramic slit, Since the contact is made by the elastic force of the vertical movement of the pad, stable contact can be made and the contact reliability is also high, so that the fine pitch and the contact stability can be achieved.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 하나의 바람직한 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않는 것이므로, 이하의 특허 청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다. 그리고, 본 발명의 기본적인 기술적 사상의 범주 내에서 당해 업계 통상의 지식을 가진 자에 있어서는 다른 많은 변형 및 응용 또한 가능함은 물론이다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention. It should be understood that many other modifications and applications are possible within the scope of the basic technical idea of the present invention.
200 : 프로브 블록 210 : 액정 패널
212 : 바디 부분 214 : 프로브 팁 부분
220 : 프로브 핀 240 : 프로브기판
242 : 금속 패드 260 : 완충 블록
270 : 탄성장치 272 : 연성회로기판(FPCB)
280 : 바디 블록 282 : 메인(Main)회로기판
284 : ZIF 커넥터(Connector)200: probe block 210: liquid crystal panel
212: body part 214: probe tip part
220: probe pin 240: probe substrate
242: metal pad 260: buffer block
270: elastic device 272: flexible circuit board (FPCB)
280: Body block 282: Main circuit board
284: ZIF connector (Connector)
Claims (6)
피검사 대상물인 액정 패널의 패드에 접촉되어 전기적 신호를 전달하는 복수의 프로브 핀;
상기 프로브 핀들이 접합되는 미세 금속 패드 및 금속 회로가 구비된 프로브기판;
상기 프로브기판이 조립되는 완충 블록;
상기 프로브기판의 금속회로의 전기적 신호를 메인회로기판으로 전달하는 연성회로기판; 및
상기 완충 블록 및 메인회로기판과 조립되는 바디 블록을 포함하되,
상기 프로브 핀은 탄성체로서의 바디 부분과, 상기 액정 패널의 패드에 직접 접촉되는 팁 부분을 포함하여 MEMS 공정으로 제작되고, 상기 팁 부분의 크기를 상기 바디 부분의 두께보다 작게 제작하여 상기 프로브기판의 미세 금속 패드에 접합되는
프로브 블록.In the liquid crystal panel test probe block,
A plurality of probe pins contacting the pads of the liquid crystal panel to be inspected to transmit an electrical signal;
A probe substrate having a fine metal pad to which the probe pins are bonded and a metal circuit;
A buffer block on which the probe substrate is assembled;
A flexible circuit board for transmitting an electrical signal of the metal circuit of the probe substrate to a main circuit board; And
And a body block assembled with the buffer block and the main circuit board,
Wherein the probe pin is fabricated by a MEMS process including a body portion as an elastic body and a tip portion that is in direct contact with a pad of the liquid crystal panel and the size of the tip portion is made smaller than the thickness of the body portion, Bonded to a metal pad
Probe block.
상기 프로브 핀의 접합은 납이나 주석(Sn)을 이용하며, 레이저(Laser)를 이용한 납땜(Soldering) 또는 전자빔 또는 티그 용접(TIG welding), 브레이징(brazing)으로 접합되는 프로브 블록.The method according to claim 1,
The probe pin is bonded to the probe pin by soldering or electron beam or TIG welding or brazing using laser or tin (Sn).
상기 프로브 핀은 니켈 또는 니켈을 포함하는 합금으로 구성되어 탄성체 역할을 하는 바디 부분과, 경도와 전기 전도도가 좋은 로듐 소재로 구성되어 상기 액정 패널의 패드에 직접 접촉되는 팁 부분을 포함하는 프로브 블록.The method according to claim 1,
Wherein the probe pin comprises a body part made of an alloy including nickel or nickel and serving as an elastic body, and a tip part made of a rhodium material having good hardness and electrical conductivity and directly contacting the pad of the liquid crystal panel.
상기 프로브기판은 미세 금속 패드 및 금속 회로가 구성되어 있으며, 다층 회로 제작이 가능한 PCB 또는 세라믹 소재로 구성되는 프로브 블록.The method according to claim 1,
Wherein the probe substrate is made of a PCB or a ceramic material capable of fabricating a multilayer circuit.
상기 완충 블록은 제 1 및 제 2 완충 블록을 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 완충 블록의 사이에는 수직형 탄성 장치를 포함하는 프로브 블록.The method according to claim 1,
Wherein the buffer block comprises first and second buffer blocks and a vertical elastic device between the first and second buffer blocks.
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---|---|---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102002256B1 (en) * | 2018-06-12 | 2019-10-01 | 고기돈 | Film type probe card for RF chip test |
KR102265103B1 (en) * | 2020-02-07 | 2021-06-15 | (주)위드멤스 | Probe block assembly |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200471343Y1 (en) | 2013-06-10 | 2014-02-25 | 주식회사 프로이천 | Vertical manipulator |
-
2015
- 2015-08-21 KR KR1020150117674A patent/KR101680319B1/en active IP Right Grant
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