KR101678684B1 - 글래스 기판 패터닝장치 - Google Patents
글래스 기판 패터닝장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101678684B1 KR101678684B1 KR1020150027917A KR20150027917A KR101678684B1 KR 101678684 B1 KR101678684 B1 KR 101678684B1 KR 1020150027917 A KR1020150027917 A KR 1020150027917A KR 20150027917 A KR20150027917 A KR 20150027917A KR 101678684 B1 KR101678684 B1 KR 101678684B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- patterning
- slide
- support frame
- pattern
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000059 patterning Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 17
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- -1 pressure patterning Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0272—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers for lift-off processes
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/50—Mask blanks not covered by G03F1/20 - G03F1/34; Preparation thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02422—Non-crystalline insulating materials, e.g. glass, polymers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/02428—Structure
- H01L21/0243—Surface structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
이러한 목적으로 이루어진 본 발명에 따른 글래스 기판 패터닝장치는;
작업이 용이하도록 일정 높이의 박스형상의 외형을 갖춘 본체의 상측에 소정각도 회동이 가능하도록 배치되는 터닝장치와;
상기 터닝장치의 상측방향과 소정거리 이격된 양단부가 상기 본체에 고정된 지지프레임과;
상기 지지프레임의 일측에 배치되어 상기 터닝장치에 구비된 기판상에 패터닝될 부분에 레진을 도포하는 디스펜싱장치와;
상기 디스펜싱장치의 평면상 직각방향으로 상기 지지프레임에 구비되며, 상기 레진이 도포된 기판 상측에 구비된 패턴 몰딩을 일측 방향으로 압축하며 패턴을 형성하는 패터닝장치와;
상기 패터닝장치의 평면상 직각방향으로 상기 지지프레임에 배치되며, 상기 패터닝장치에서 패턴 몰딩에 의해 형성된 패턴을 경화시키는 경화장치로 이루어진다.
이에 따라, 본 발명에 따른 글래스 기판 패터닝장치에 의하면, 경화장치에 의한 빠른 경화로 인해 글래스 기판상에 형성된 패턴의 불량이 방지됨으로써, 생산성이 향상되었으며, 턴테이블에 의해 연속적 작업이 가능하도록 함으로써, 생산성을 향상시킨 이점이 있다.
Description
도 2는 본 발명에 따른 글래스 기판 패터닝장치를 보인 사시도이고,
도 3은 본 발명에 따른 글래스 기판 패터닝장치의 터닝장치 평면과 일측면에서 보인 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 글래스 기판 패터닝장치의 디스펜싱장치의 구성을 보인 사시도이고,
도 5는 본 발명에 따른 글래스 기판 패터닝장치의 패터닝장치 구성을 보인 사시도이고,
도 6은 본 발명에 따른 글래스 기판 패터닝장치의 경화장치 구성을 보인 사시도이고,
도 7은 본 발명 글래스 기판 패터닝장치의 작용 효과를 보인 참고도이다.
110 : 구동장치 130 : 턴테이블
150 : 작업테이블 151 : 고정판
153 : 패킹부재 154 : 지지가이드
155 : 지지판 170 : 가이드롤러
200 : 지지프레임 300 : 디스펜싱장치
310 : 지지레일 330,350,370 : 제 1, 2, 3이송장치
400 : 패터닝장치 410 : 가이드 프레임
430, 450 : 제 1, 2이송구 470 : 밀착부
500 : 경화장치 510 : 진공장치
511 : 진공판 513 : 슬라이드장치
530 : 유브이 조사장치
Claims (10)
- 작업이 가능하도록 일정 높이의 박스형상의 외형을 갖춘 본체의 상측에 소정 각도 회동이 가능하도록 배치되는 터닝장치와;
상기 터닝장치의 상측방향과 소정거리 이격된 양단부가 상기 본체에 고정된 지지프레임과;
상기 지지프레임의 일측에 배치되어 상기 터닝장치에 구비된 기판상에 패터닝될 부분에 레진을 도포하는 디스펜싱장치와;
상기 디스펜싱장치의 평면상 직각방향으로 상기 지지프레임에 구비되며, 상기 레진이 도포된 기판 상측에 구비된 패턴 몰딩을 일측 방향으로 압축하며 패턴을 형성하는 패터닝장치와;
상기 패터닝장치의 평면상 직각방향으로 상기 지지프레임에 배치되며, 상기 패터닝장치에서 패턴 몰딩에 의해 형성된 패턴을 경화시키는 경화장치로 이루어지고,
상기 패터닝장치는,
상기 디스펜싱장치의 지지프레임 상부 일측 너비방향으로 설치된 가이드프레임과, 상기 가이드프레임의 길이방향으로 이동하도록 상기 가이드프레임에 일단이 결합되는 제 1이송장치와, 상기 제 1이송장치의 일측 하단에서 상, 하 수직방향으로 이동하도록 설치되는 제 2이송장치와, 상기 제 2이송장치 하측에 설치되는 밀착부로 이루어지는 글래스 기판 패터닝장치. - 제 1항에 있어서,
상기 터닝장치는,
상기 본체 상측에 구비된 구동장치와, 상기 구동장치의 출력축과 중심부가 축결합되며, 상기 본체의 상면과 소정거리 떨어져 배치된 턴테이블과, 상기 턴테이블의 직각방향 방사상으로 배치된 작업테이블로 이루어지는 글래스 기판 패터닝장치. - 제 2항에 있어서,
상기 터닝장치는,
상기 턴테이블의 테두리 하측방향에 구름(Rolling)운동이 가능하도록 구비된 가이드롤러를 더 포함하는 글래스 기판 패터닝장치. - 제 2항에 있어서,
상기 작업테이블은,
상기 턴테이블에 방사상으로 형성된 관통공 상측에 설치되는 고정판과, 상기 고정판의 상측 테두리에 설치되는 패킹부재와, 상기 고정판의 상측과 상기 패킹부재 내측에 구비되며, 그 상면에 기판과 패턴 몰딩을 지지하기 위한 지지가이드가 각각 마련되는 지지판으로 이루어지는 글래스 기판 패터닝장치. - 제 4항에 있어서,
상기 고정판은,
에어유니트가 더 설치되는 글래스 기판 패터닝장치. - 제 1항에 있어서,
상기 디스펜싱장치는,
상기 지지프레임의 상부 일측 길이방향으로 설치된 지지레일과, 상기 지지레일의 길이방향인 X축을 따라 이동하도록 상기 지지레일의 직각방향으로 일단이 설치되는 제 1이송장치와, 상기 제 1이송장치의 길이방향인 Y축을 따라 이동하도록 상기 제 1이송장치의 직각방향으로 설치되는 제 2이송장치와, 상기 제 2이송장치의 길이방향인 Z축을 따라 이동하고 상기 기판상에 레진을 도포하도록 디스펜싱 노즐이 하단에 구비되어 상기 제 2이송장치의 일측 수직방향으로 설치되는 제 3이송장치로 이루어지는 글래스 기판 패터닝장치. - 삭제
- 제 4항에 있어서,
상기 경화장치는,
상기 작업테이블 상측에 구비된 패킹부재와 면접하는 하측면에 투명성 필름이 구비되고, 평면상 중심에는 투시창이 형성된 진공판과, 상기 진공판의 상, 하 이동이 가능하도록 일측 수직방향에 구비되는 슬라이드장치로 이루어진 진공장치와;
상기 진공장치의 진공판 상측에서 유브이램프를 조사하는 유브이 조사장치로 이루어지는 글래스 기판 패터닝장치. - 제 8항에 있어서,
상기 슬라이드장치는,
본체바닥에 수직방향으로 구비된 가이드판과, 상기 가이드판의 상측 수직방향으로 구비된 슬라이드 실린더와, 상기 슬라이드 실린더의 실린더 로드와 일단이 결합되어 상, 하 슬라이딩이 가능하도록 상기 진공판과 결합된 슬라이드 브라켓으로 이루어지는 글래스 기판 패터닝장치. - 제 8항에 있어서,
상기 유브이조사장치는,
상기 유브이램프를 일단에서 지지하며, 타단에는 적어도 한 개소 이상 슬라이드 부시가 구비되고, 상기 슬라이드 부시의 일측에 너트가 구비된 지지프레임과;
상기 지지프레임의 슬라이딩이 가능하도록 상기 슬라이드 부시와 축결합된 슬라이드 레일이 수직방향으로 구비되고, 상기 슬라이드 레일의 일측에 상기 너트와 나사결합된 상, 하 조절용 나사를 포함하는 슬라이드프레임으로 이루어지는 글래스 기판 패터닝장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150027917A KR101678684B1 (ko) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | 글래스 기판 패터닝장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150027917A KR101678684B1 (ko) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | 글래스 기판 패터닝장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160105578A KR20160105578A (ko) | 2016-09-07 |
KR101678684B1 true KR101678684B1 (ko) | 2016-11-23 |
Family
ID=56949763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020150027917A Active KR101678684B1 (ko) | 2015-02-27 | 2015-02-27 | 글래스 기판 패터닝장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101678684B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102578650B1 (ko) * | 2021-12-01 | 2023-09-14 | (주)디아이비 | 레진 진공코팅장치 및 이를 이용한 레진 코팅방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08264575A (ja) * | 1995-01-27 | 1996-10-11 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 半導体封止方法 |
KR100706659B1 (ko) * | 2005-05-24 | 2007-04-11 | 주식회사 케이엠티 | 피씨비 어셈블리의 절단장치 |
US7670530B2 (en) * | 2006-01-20 | 2010-03-02 | Molecular Imprints, Inc. | Patterning substrates employing multiple chucks |
KR101479939B1 (ko) * | 2013-05-31 | 2015-01-12 | 주식회사 에스에프에이 | 인쇄장치 |
-
2015
- 2015-02-27 KR KR1020150027917A patent/KR101678684B1/ko active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20160105578A (ko) | 2016-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI515515B (zh) | A semiconductor film making thick film coating apparatus and a method of using the same | |
TWI701157B (zh) | 曲面絲網印刷裝置、曲面絲網印刷方法、及具有印刷層之基材之製造方法 | |
CN203991138U (zh) | 液晶屏ogs 玻璃点胶刮胶机 | |
KR101655530B1 (ko) | 코팅 디바이스 및 코팅 방법 | |
CN208646242U (zh) | 一种贴合设备 | |
KR101526068B1 (ko) | 도포 장치 및 도포 방법 | |
KR101858246B1 (ko) | 도포장치, 도포헤드 및 도포방법 | |
JP5876544B2 (ja) | パネル取り付け装置 | |
CN113600411B (zh) | 一种涂布设备 | |
CN110843327A (zh) | 纹理成型设备 | |
CN101823356B (zh) | 薄膜贴附机台、薄膜贴附方法以及固化膜层的制作方法 | |
CN105289948A (zh) | 涂敷方法、涂敷装置、制造方法及制造装置 | |
KR101678684B1 (ko) | 글래스 기판 패터닝장치 | |
CN204659139U (zh) | 一种贴合设备 | |
CN204544595U (zh) | 五辊涂布小车 | |
US11958250B2 (en) | Reclamation system for additive manufacturing | |
KR20150055369A (ko) | 다이 커팅 프레스 머신 및 그에 의한 필름의 커팅 방법 | |
CN206215466U (zh) | 一种智能点胶设备 | |
CN205130571U (zh) | 一种玻璃拉丝覆膜装置 | |
TWI489582B (zh) | 多重校正定位機台 | |
CN108008580B (zh) | 基板加电装置及其设备 | |
CN207941638U (zh) | 一种聚酯树脂生产用喷淋装置 | |
KR20160063448A (ko) | 도포판에의 피막액 균일 도포장치 | |
JP4412414B2 (ja) | 複層ガラスパネルのグレージングガスケット成形方法及び装置 | |
CN209903926U (zh) | 一种拉丝装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20150227 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20160406 Patent event code: PE09021S01D |
|
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20160627 Patent event code: PE09021S01D |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20160913 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20161116 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20161117 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20201103 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20221018 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20241118 Start annual number: 9 End annual number: 9 |