KR101651164B1 - 기판처리시스템, 그에 사용되는 기판처리시스템의 공정모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 표면에 증착공정 등의 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 공정모듈에 관한 것이다.

본 발명은 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판이 적재된 트레이를 공급받고, 기판처리가 완료된 기판이 적재된 트레이를 배출하는 진공예비모듈과; 상기 진공예비모듈로부터 기판이 적재된 트레이를 전달받아 트레이에 적재된 기판에 대하여 기판처리를 수행하고, 기판처리 완료 후 트레이를 하측방향으로 이동시켜 상기 진공예비모듈로 전달하는 공정모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.

인라인, 공정모듈, 진공예비

Description

기판처리시스템, 그에 사용되는 기판처리시스템의 공정모듈 {Substrate process system, and process module therefor}

본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 표면에 증착공정 등의 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 기판처리시스템의 공정모듈에 관한 것이다.

반도체, LCD패널용 유리기판, 태양전지 등은 기판에 대하여 증착, 식각 등과 같은 기판처리 공정을 수행하여 제조된다. 여기서 증착공정은 화학기상증착(PECVD) 방법 등을 사용하여 기판의 표면에 박막을 형성하는 공정을 말한다.

그리고 증착공정 등 기판처리를 수행하는 기판처리시스템은 기판로딩모듈, 로드락모듈, 공정모듈, 언로드락모듈 및 기판언로딩모듈로 구성되며, 모듈들의 배치에 따라 각 모듈들이 순차적으로 배치되는 인라인 타입과, 반송모듈을 중심으로 로드락/언로드락모듈과 복수 개의 공정모듈들이 배치되는 클러스터 타입이 있다.

한편 태양전지를 제조하는 기판처리시스템은 일반적으로 인라인 타입으로 배치된다. 즉 기판교환모듈에서 다수의 태양전지용 기판들이 적재된 트레이는 로드락모듈->공정모듈->언로드락모듈을 순차적으로 통과하며, 기판처리가 완료된 트레이 는 기판들을 트레이로부터 언로딩하기 위해 로드락모듈의 전단에 설치된 기판교환모듈로 다시 이송된다.

그리고, 종래 태양전지 제조용 인라인 타입의 기판처리시스템은 공정을 위해 트레이에 기판을 로딩하거나 또는 공정이 완료된 기판을 트레이로부터 언로딩하는 기판교환모듈이 인라인 시스템의 일측에 배치되는 관계로, 언로딩모듈로부터 배출된 트레이를 기판교환모듈로 이송하기 위하여 트레이를 상하로 이동시키는 엘리베이터모듈이 언로딩모듈의 후단에 설치되어야 한다.

그러나 종래 태양전지 제조용 인라인 타입의 기판처리시스템은 기판교환모듈에서 로드락모듈, 공정모듈, 언로드락모듈 및 엘리베이터모듈이 순차적으로 설치됨에 따라 시스템 전체가 차지하는 면적이 커질 뿐만 아니라 그에 따라 제조비용 및 설치비용이 현저하게 증가하는 문제점이 있다.

따라서 기판처리시스템에 있어서 설치를 위한 면적 및 비용을 줄이기 위하여 다양한 방안이 요구된다.

또한 기판처리시스템의 기판처리수행과정에 있어서 각 모듈들의 증가에 따라서 모듈들을 거치는 기판의 이송거리가 길어지게 되는 경우 그 만큼 이송시간이 증가되므로 기판처리를 위한 전체 처리시간이 증가하는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 필요성 및 문제점을 인식하여, 기판처리시스템의 설치를 위한 공간을 현저히 줄여 전제적인 제조비용을 절감할 수 있는 인라인 타입의 기판처리시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 기판처리시스템을 보다 간단화하여 제조비용을 절감함과 아울러 설치공간을 현저히 줄일 수 있는 인라인 타입의 기판처리시스템을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 기판처리시스템에서 기판의 이송거리를 감소시켜 전체 기판처리속도를 현저히 향상시킬 수 있는 인라인 타입의 기판처리시스템을 제공하는데 있다.

본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판이 적재된 트레이를 공급받고, 기판처리가 완료된 기판이 적재된 트레이를 배출하는 진공예비모듈과; 상기 진공예비모듈로부터 기판이 적재된 트레이를 전달받아 트레이에 적재된 기판에 대하여 기판처리를 수행하고, 기판처리 완료 후 트레이를 하측방향으로 이동시켜 상기 진공예비모듈로 전달하는 공정모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.

상기 진공예비모듈은 상기 기판교환모듈로부터 트레이를 전달받아 상기 공정모듈로 전달하는 로드락부와; 상기 로드락부의 하측에 설치되어 상기 공정모듈로부터 트레이를 전달받아 상기 기판교환모듈로 전달하는 언로드락부를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 로드락부 및 상기 언로드락부는 서로 격리되어 구성될 수 있다.

상기 로드락부는 트레이에 적재된 기판들을 가열하는 가열부가 추가로 설치되며, 상기 언로드락부는 트레이에 적재된 기판들을 냉각하는 냉각부가 추가로 설치될 수 있다.

상기 언로드락부의 바닥부는 언로드락부의 몸체로부터 착탈가능하게 구성될 수 있다.

상기 진공예비모듈은 그 하부공간에 트레이의 교체 또는 보수를 위하여 트레이를 외부로 반출하도록 상기 바닥부를 승강시키는 저면승강부를 추가로 포함할 수 있다.

상기 기판교환모듈 또는 상기 공정모듈의 하측에는 상기 저면승강부에 의하여 상기 언로드락부의 저면이 하강된 후 트레이를 전달받을 수 있는 이동경로가 설치될 수 있다.

상기 이동경로에는 트레이의 상면 및 저면 중 적어도 어느 하나를 세정하기 위한 세정모듈이 추가로 설치될 수 있다.

상기 공정모듈은 밀폐된 처리공간을 형성하며 상기 진공예비모듈의 상기 로드락부로부터 트레이를 전달받는 제1게이트와 상기 진공예비모듈의 상기 언로드락 부로 트레이를 반출하는 제2게이트가 형성된 진공챔버와; 상기 진공챔버의 상측에 설치되어 기판처리를 위하여 가스를 분사하는 샤워헤드부와; 상기 진공챔버에 설치되어 트레이를 지지하는 트레이지지부와; 상기 진공챔버에 설치되어 상기 트레이지지부를 승강시키는 트레이승강부를 포함할 수 있다.

상기 트레이승강부는 상기 트레이지지부를 상하로 이동시키는 승강구동부와; 트레이가 상기 진공챔버 내로 인입될 때 트레이의 가장자리를 지지하고 트레이가 상기 승강구동부에 의하여 승강될 때 횡방향으로 이동되어 트레이의 지지를 해제하는 트레이인입부와; 상기 승강구동부에 의하여 전달된 트레이의 가장자리를 지지하여 상기 진공예비모듈의 언로드락부로 배출시키는 트레이배출부를 포함할 수 있다.

상기 트레이인입부는 트레이가 상기 진공챔버 내로 인입될 때 트레이를 지지하는 지지모듈을 포함하며, 상기 지지모듈은 상기 진공챔버 내로 인입될 때 트레이를 지지할 수 있는 위치로 있다가 상기 승강구동부에 의하여 지지되어 트레이가 하강될 때 그 이동이 간섭되지 않도록 횡방향으로 이동될 수 있다.

상기 진공예비모듈과 연결되어 상기 진공예비모듈의 언로드락부로부터 트레이를 전달받아 기판처리가 완료된 하나 이상의 기판을 트레이에서 언로딩하고, 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판을 로딩하여 상기 진공예비모듈의 로드락부로 전달하는 기판교환모듈을 추가로 포함할 수 있다.

본 발명은 또한 상기와 같은 구성을 가지는 기판처리시스템의 공정모듈을 개시한다.

본 발명에 따른 기판처리시스템, 그에 사용되는 기판처리시스템의 공정모듈은 기판교환모듈 및 공정모듈 사이에 설치되는 진공예비모듈을 공정모듈로 트레이를 전달하는 로드락부 및 기판교환모듈로 트레이를 전달하는 언로드락부로 구성하고, 공정모듈을 로드락부 및 언로드락부와의 트레이 교환을 위하여 트레이를 승강시키도록 구성함으로써 기판처리시스템을 구성하는 모듈들의 수를 줄여 제조비용을 절감함과 아울러 설치공간을 현저하게 절감할 수 있는 이점이 있다.

또한 본 발명에 따른 기판처리시스템, 그에 사용되는 기판처리시스템의 공정모듈은 기판이 적재된 트레이의 이동경로가 기판교환모듈⇒진공예비모듈⇒공정모듈⇒진공예비모듈⇒기판교환모듈 순으로 순환시킴으로써 트레이의 이동거리를 줄여 전체 기판처리속도를 현저하게 향상시킬 수 있는 이점이 있다.

이하, 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 기판처리시스템의 공정모듈에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 평면도이고, 도 2는 도 1의 기판처리시스템의 측면도이고, 도 3a은 도 1의 기판처리시스템의 진공예비모듈을 보여주는 단면도들이고, 도 4a 및 도 4b는 도 1의 기판처리시스템의 공정모듈을 보여주는 단면도들이고, 도 5는 도 4a의 공정모듈의 평면도이다.

본 발명에 따른 기판처리시스템은 각 모듈들이 순차적으로 배치된 인라 인(inline) 타입으로서, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 진공예비모듈(200) 및 공정모듈(300)을 포함하여 구성된다.

상기 진공예비모듈(200)은 후술하는 기판교환모듈(100)로부터 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판(10)이 적재된 트레이(20)를 공급받고, 기판처리가 완료된 기판(10)이 적재된 트레이(20)를 기판교환모듈(100)로 배출하기 위한 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.

예를 들면, 상기 진공예비모듈(200)은 도 1 내지 도 3b에 도시된 바와 같이, 기판교환모듈(100)로부터 트레이(20)를 전달받아 공정모듈(300)로 전달하는 로드락부(210)와; 로드락부(210)의 하측에 설치되어 공정모듈(300)로부터 트레이(20)를 전달받아 기판교환모듈(100)로 전달하는 언로드락부(220)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 로드락부(210) 및 언로드락부(220)는 기판교환모듈(100) 및 공정모듈(300) 사이에서 트레이(20)의 전달방향을 위한 구성으로서, 밀폐된 한 개의 로드락챔버와 같은 하나의 구조물 또는 별도로 구성된 두 개의 챔버와 같이 서로 분리된 구조물로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 격벽부(231)에 의하여 분리되어 로드락실(211) 및 언로드락실(221)를 형성하는 하나의 챔버(232)와 같이 서로 조합되어 구성될 수 있다.

여기서 상기 로드락부(210) 및 언로드락부(220)는 기판교환모듈(100) 및 공정모듈(300)과의 트레이(20) 교환을 위하여 대기압 및 진공압 상태의 압력변환이 가능하도록 로드락부(210) 및 언로드락부(220)의 로드락실(211) 및 언로드락 실(221)들이 진공펌프(미도시)와 연결된다.

그리고 상기 진공예비모듈(200)을 구성하는 챔버(232)에는 전후방에 게이트(233, 234, 235, 236)가 형성되고, 게이트(233, 234, 235, 236)들은 그 내부를 밀폐시키기 위한 게이트밸브(243, 244, 245, 246)들에 의하여 개폐된다.

한편 상기 진공예비모듈(200)은 기판처리를 수행하는 공정모듈(200)로 트레이(20)를 전달하기 전에 예열 등의 전처리공정을 수행하거나, 공정모듈(200)로부터 트레이(20)를 전달받아 냉각하는 등 후처리공정을 수행하도록 구성될 수 있다.

예를 들면, 상기 로드락부(210)는 트레이(20)에 적재된 기판(10)들을 가열하는 가열부(미도시)가, 언로드락부(220)는 트레이(20)에 적재된 기판(10)들을 냉각하는 냉각부(미도시)가 추가로 설치될 수 있다.

여기서 상기 로드락부(210) 및 언로드락부(220)는 가열 및 냉각 등과 같이 서로 다른 공정을 수행할 수 있는 바, 상호 영향을 방지하기 위하여 격벽부(231) 등에 의하여 서로 격리되는 것이 바람직하다.

그리고 상기 로드락부(210) 및 언로드락부(220)에 설치되는 가열부 또는 냉각부는 트레이(20)에 직접 면접촉에 의하여 열을 전달하거나 간격을 두고 복사 등에 의하여 열을 전달하도록 구성될 수 있으며, 가열부는 시스히터, 할로겐히터 등 가열온도, 가열환경 등에 따라서 다양하게 구성될 수 있다.

또한 상기 로드락부(210) 및 언로드락부(220)는 트레이(20)의 지지를 위한 구조가 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 복수개의 롤러 및 롤러를 구동하기 위한 구동장치 등의 트레이(20)의 이송을 위한 구조 또한 다양한 형태로 구성될 수 있 다.

여기서 상기 롤러를 구동하기 위한 구동장치는 다양한 구성이 가능하며, 챔버(232) 외부에 설치되어 챔버(232)를 밀폐시키면서 구동력을 전달할 수 있도록 내부에 설치된 롤러들과 다양한 구조로 연결될 수 있다.

한편 상기 기판교환모듈(100)은 진공예비모듈(200)과 연결되어 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판(10)을 트레이(20)에 로딩하여 로드락부(210)로 트레이(20)를 전달하고, 언로드락부(220)로부터 트레이(20)를 전달받아 기판처리가 완료된 하나 이상의 기판(10)을 언로딩하는 구성으로 다양한 구성이 가능하다.

상기 기판교환모듈(100)은 기판(10)의 이송방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며 기판(10)이 트레이(20)에 적재되어 이송되는 경우, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 트레이(20)를 지지하는 트레이지지부(110) 및 다수개의 기판(10)들이 적재된 카세트(미도시)로부터 기판(10)을 인출하여 트레이(20) 상에 하나 이상의 기판(10)을 로딩하기 위하여 설치된 기판적재장치(120)를 포함하여 구성될 수 있다.

여기서 트레이(20)는 하나 이상, 바람직하게는 복수개의 기판(10)을 적재하여 한꺼번에 이송하기 위한 구성으로 설계 및 디자인에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 기판(10)의 증착공정 등 기판처리에 영향을 주지 않는 재질이면 어떠한 재질 및 구조도 가능하다.

예를 들면 상기 트레이(20)는 그레파이트(graphite), 석영 등의 비금속, 알루미늄, 알루미늄 합금 등의 금속 중 적어도 어느 하나로 제조될 수 있으며 그 형 상은 직사각형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.

그리고 상기 기판(10)은 반도체기판, LCD패널용 유리기판, 태양전지용 기판 등이 가능하며, 그 형상은 직사각형, 원형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.

한편 상기 트레이(20)는 후술하는 각 모듈들에서 다양한 방법에 의하여 이송될 수 있다. 예를 들면 상기 트레이(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 각 모듈(100, 200, 300)들 사이에서는 각 모듈(100, 200, 300)들에 설치된 롤러, 벨트 등에 의하여 이송될 수 있다.

상기 트레이지지부(110)는 후술하는 진공예비모듈(200)의 언로드락부(210)로부터 트레이(20)를 전달받아 기판(10)의 로딩/언로딩을 위하여 트레이(20)를 승하강시키기 위한 승하강부(130)가 추가로 설치될 수 있다.

상기 공정모듈(300)은 증착공정과 같은 기판처리를 수행하는 모듈로서 기판처리에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 1, 도 2 및 도 4a 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 진공예비모듈(200)로부터 기판(10)이 적재된 트레이(20)를 전달받아 트레이(20)에 적재된 기판(10)에 대하여 기판처리를 수행하고, 기판처리 완료 후 트레이(20)를 하측방향으로 이동시켜 진공예비모듈(200), 언로드락부(220)로 전달하도록 하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다

예를 들면, 상기 공정모듈(300)은 밀폐된 처리공간(S)을 형성하며 진공예비모듈(200)의 로드락부(210)로부터 트레이(20)를 전달받는 제1게이트(315)와 진공예비모듈(200)의 언로드락부(210)로 트레이(20)를 반출하는 제2게이트(316)가 형성된 진공챔버(310)와; 진공챔버(310)에 설치되어 트레이(20)를 지지하는 트레이지지 부(340)와; 진공챔버(310)에 설치되어 트레이(20)를 승강시키는 트레이승강부(320)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 진공챔버(310)는 증착공정과 같은 기판처리를 수행하기 위한 처리공간(S)을 형성하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 상측이 개방된 챔버본체(312)와 챔버본체(312)와 탈착가능하게 결합되는 상부리드(311)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 챔버본체(312)는 상측이 개방된 그릇 형태를 가지며, 기판(10)이 입출될 수 있는 게이트(315, 316)가 형성된다. 본 실시예에서는 장방형의 챔버본체(312)에서 한 쌍의 게이트(315, 316)들이 챔버본체(312)의 일측면에 상하로 형성된다. 여기서 상기 게이트(315, 316)들은 게이트밸브(245, 246)에 의하여 개폐된다.

상기 상부리드(311)는 실링부재(미도시)가 개재되어 챔버본체(312)의 상측에 결합되어 밀폐된 처리공간(S)을 형성하기 위한 구성으로서, 플레이트 또는 하측이 개방된 그릇 형태를 가질 수 있다.

상기 진공챔버(310)는 기판처리에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 가스분사를 위한 샤워헤드부, 진공챔버(310)의 압력조절 및 배기를 위한 배기관, 트레이(20) 상의 기판(10)의 온도를 조절하기 위한 온도제어부 등 기판처리를 위한 다양한 구성들이 설치될 수 있다.

또한 상기 트레이승강부(320)의 설치 따른 처리공정에 영향을 미치는 것을 고려하여 샤워헤드부(330)에서 분사되는 가스를 가이드하기 위한 가이드부재(미도 시), 트레이지지부(340)를 기준으로 하측으로 플라즈마, 처리가스의 유입 등을 방지하기 위한 배플 등 다양한 구성이 설치될 수 있다.

예를 들면 상기 진공챔버(310)는 도시된 바와 같이, 기판처리를 위하여 가스를 분사하는 샤워헤드부(330)가 진공챔버(310)의 상측에 설치될 수 있다.

상기 샤워헤드부(330)는 기판처리를 수행할 수 있도록 처리공간(S)의 상측에 설치되어 가스공급부(미도시)로부터 가스를 공급받아 처리공간(S)으로 공급하기 위한 구성으로서, 공정 및 가스공급방식에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

상기 트레이지지부(340)는 증착공정이 원활하게 수행될 수 있도록 트레이(20)를 지지하기 위한 구성으로서, 설계조건 및 공정조건에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

상기 트레이지지부(340)는 트레이(20)를 지지할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 처리공정에 따라서 기판(10)을 가열하거나 냉각하는 등 온도조절을 위한 히터 등과 같은 온도조절부, 후술하는 전원인가를 위한 전극 등 다양한 구성들이 설치될 수 있다.

또한 상기 트레이지지부(340)는 트레이(20)와 면접촉에 의하여 지지할 수 있느나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며 트레이(20)의 저면과 간격을 두고 트레이(20)를 지지할 수 있다.

또한 상기 트레이지지부(340)는 하나 또는 복수 개로도 구성이 가능하다.

상기 공정모듈(300)은 기판처리를 수행하기 위해서는 공정모듈(300)에 전원이 인가되도록 구성될 수 있는데 이 경우 그 전원인가방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 일예로서, 샤워헤드부(330)에 하나 이상의 RF전원, 하나 이상의 LF전원 등을 인가하여 상부전원을 구성하고, 트레이지지부(340)를 접지시킴으로써 하부전원을 구성할 수 있다.

한편 상기 공정모듈(300)은 반복된 기판처리 수행에 의하여 진공챔버(310)의 내벽에 퇴적된 퇴적물을 제거하는 등 세정을 위하여 세정공정이 수행될 수 있으며, 세정공정은 RPG 제너레이터(Remote Plasma Generator; 미도시)에 의하여 발생된 원격플라즈마를 샤워헤드부(330)을 통하여 처리공간(S)로 분사하여 수행될 수 있다.

상기 공정모듈(300)은 진공예비모듈(200)과의 트레이(20) 교환을 위하여 트레이(20)의 승하강이 필요한 바 트레이(20)를 승하강시키기 위한 트레이승강부(320)를 포함한다.

일예로서, 상기 트레이승강부(320)는 트레이(20)를 지지하는 트레이지지부(340)를 상하로 이동시키는 승강구동부(321)와; 트레이(20)가 진공챔버(310) 내로 인입될 때 트레이(20)의 가장자리를 지지하고 트레이(20)가 승강구동부(321)에 의하여 승강될 때 횡방향으로 이동되어 트레이(20)의 지지를 해제하는 트레이인입부(322)와; 승강구동부(321)에 의하여 전달된 트레이(20)의 가장자리를 지지하여 진공예비모듈(200)의 언로드락부(220)로 배출시키는 트레이배출부(323)를 포함하여 구성될 수 있다.

상기 트레이인입부(322) 및 트레이배출부(323)는 트레이(20)의 지지 및 이동방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 2, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 복수개의 롤러들을 포함하는 모듈 또는 컨베이어벨트모듈과 같은 지지모 듈(322a, 323a) 및 지지모듈(322a, 323a)을 구동하기 위한 구동모듈(322b, 323b)로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 구동모듈(322b, 323b)들은 구동방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 외부에 설치되어 진공챔버(310)의 진공압에 영향을 주지 않으면서 내부의 지지모듈(322a, 323a)들과 연결되거나, 진공챔버(310)의 내부에 설치될 수 있다.

한편 상기 트레이인입부(322)는 트레이(20)가 진공챔버(310) 내로 인입될 때 트레이(20)를 지지하는 지지모듈(322a, 323a)을 포함하며, 지지모듈(322a, 323a)은 트레이(20)가 진공챔버(310) 내로 인입될 때 트레이(20)를 도 4a에 도시된 바와 같이, 지지할 수 있는 위치로 있다가, 도 4b에 도시된 바와 같이, 트레이(20)가 승강, 즉 하강될 때 그 이동이 간섭되지 않도록 횡방향으로 이동시키는 되도록 구성될 수 있다.

그리고 상기 승강구동부(321)는 트레이(20)를 지지한 상태에서 상하로 이동시키기 위한 구성으로서 선형이동장치인 스크류잭, 유압실린더 등 다양한 구성이 가능하다.

여기서 상기 승강구동부(321)는 트레이(20)의 인입 또는 배출시에는 트레이지지부(340)와 간격을 유지하고, 냉각 또는 가열시에는 면접촉되도록 열전달부(340)에 대하여 상대이동이 가능하도록 설치될 수 있다. 그리고 상기 트레이지지부(340)는 승강구동부(321)의 구성에 따라서 다양한 구성이 가능하다.

한편 상기 트레이인입부(322) 및 트레이배출부(323)는 트레이지지부(340)와 같이 하강되도록 하나로만 구성될 수 있다.

즉, 상기 트레이인입부(322) 및 트레이배출부(323)는 하나의 지지모듈로서 트레이지지부(340)의 일측 또는 양측에 설치되고 승강구동부(321)에 의하여 승하강되도록 구성될 수 있다.

한편 상기 기판처리시스템에서 기판(10)이 적재되는 트레이(20)는 반복된 기판처리과정에서 부산물이 퇴적되어 이를 제거하는 등 보수 또는 교체가 필요하다.

따라서 상기 기판처리시스템은 트레이(20)의 보수 또는 교체를 위하여 트레이(20)를 외부로 반출할 수 있도록 구성될 필요가 있으며, 일예로서, 상기 언로드락부(220)의 바닥부는 언로드락부(220)의 몸체로부터 착탈가능하도록 구성될 수 있으며, 특히 진공예비모듈(200)은 도 2 및 도 3a 및 도 3b에 도시된 바와 같이, 그 하부공간에 트레이(20)의 보수 또는 교체를 위하여 트레이(20)를 외부로 반출하도록 언로드락부(220)의 바닥부(227)를 승강시키는 저면승강부(228)를 추가로 포함하여 구성될 수 있다.

여기서 상기 언로드락부(220)의 바닥부(227)는 로드락챔버(232)의 하측에 실링부재가 개재된 상태로 탈착가능하게 결합된다.

그리고 상기 저면승강부(228)에 의하여 하강된 바닥부(227) 상에 위치된 트레이(20)의 이송을 위하여 기판교환모듈(100) 또는 공정모듈(300)의 하측에는 도 3b에 도시된 바와 같이, 저면승강부(228)에 의하여 언로드락부(220)의 바닥부(227)가 하강된 후 트레이(20)를 전달받을 수 있는 이동경로(229)가 설치될 수 있다.

상기 이동경로(229)는 롤러, 벨트 등 트레이(20)를 이송할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 대차(500)로 이송되도록 설치 될 수 있다.

또한 상기 이동경로(229)에는 트레이(20)의 상면 및 저면 중 적어도 어느 하나를 세정하기 위한 세정모듈(미도시)이 추가로 설치될 수 있다.

상기 세정모듈은 브러쉬 등 트레이(20)의 상면 또는 저면과 마찰에 의하여 퇴적물들을 제거하도록 구성되는 등 트레이(20)를 세정할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며 공정모듈(300)을 지지하는 프레임(도면부호 미부여) 등에 지지되어 설치될 수 있다.

한편 본 발명의 실시예에서 각 구성의 크기 및 디자인은 설명의 편의를 위하여 간단하거나 과장되게 도시한 것으로서, 당업자에 의하여 다양한 변경 및 실시가 가능함은 물론이다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 평면도이다.

도 2는 도 1의 기판처리시스템의 측면도이다.

도 3a은 도 1의 기판처리시스템의 진공예비모듈을 보여주는 단면도들이다.

도 4a 및 도 4b는 도 1의 기판처리시스템의 공정모듈을 보여주는 단면도들이다.

도 5는 도 4a의 공정모듈의 평면도이다.

****** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *****

100: 기판교환모듈 200: 진공예비모듈

300: 공정모듈

Claims (15)

1. 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판이 적재된 트레이를 공급받고, 기판처리가 완료된 기판이 적재된 트레이를 배출하는 진공예비모듈과;

   상기 진공예비모듈로부터 기판이 적재된 트레이를 전달받아 트레이에 적재된 기판에 대하여 기판처리를 수행하고, 기판처리 완료 후 트레이를 하측방향으로 이동시켜 상기 진공예비모듈로 전달하는 공정모듈을 포함하며,

   상기 진공예비모듈은

   트레이를 전달받아 상기 공정모듈로 전달하는 로드락부와; 상기 로드락부의 하측에 설치되어 상기 공정모듈로부터 트레이를 전달받아 배출하는 언로드락부를 포함하며,

   상기 언로드락부의 바닥부는 언로드락부의 몸체로부터 착탈가능한 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
2. 삭제
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 로드락부 및 상기 언로드락부는 서로 격리된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
4. 청구항 1에 있어서,

   상기 로드락부는 트레이에 적재된 기판들을 가열하는 가열부가 추가로 설치되며, 상기 언로드락부는 트레이에 적재된 기판들을 냉각하는 냉각부가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
5. 삭제
6. 청구항 1에 있어서,

   상기 진공예비모듈은 그 하부공간에 트레이의 교체 또는 보수를 위하여 트레이를 외부로 반출하도록 상기 바닥부를 승강시키는 저면승강부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 기판처리시스템.
7. 청구항 6에 있어서,

   상기 공정모듈의 하측에는

   상기 저면승강부에 의하여 상기 언로드락부의 저면이 하강된 후 트레이를 전달받을 수 있는 이동경로가 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
8. 청구항 7에 있어서,

   상기 이동경로에는 트레이의 상면 및 저면 중 적어도 어느 하나를 세정하기 위한 세정모듈이 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
9. 청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 4, 청구항 6 내지 청구항 8 중 어느 하나의 항에 있어서,

   상기 공정모듈은

   밀폐된 처리공간을 형성하며 상기 진공예비모듈의 상기 로드락부로부터 트레이를 전달받는 제1게이트와 상기 진공예비모듈의 상기 언로드락부로 트레이를 반출하는 제2게이트가 형성된 진공챔버와;

   상기 진공챔버의 상측에 설치되어 기판처리를 위하여 가스를 분사하는 샤워헤드부와;

   상기 진공챔버에 설치되어 트레이를 지지하는 트레이지지부와;

   상기 진공챔버에 설치되어 상기 트레이지지부를 승강시키는 트레이승강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
10. 청구항 9에 있어서,

    상기 트레이승강부는

    상기 트레이지지부를 상하로 이동시키는 승강구동부와; 트레이가 상기 진공챔버 내로 인입될 때 트레이의 가장자리를 지지하고 트레이가 상기 승강구동부에 의하여 승강될 때 횡방향으로 이동되어 트레이의 지지를 해제하는 트레이인입부와; 상기 승강구동부에 의하여 전달된 트레이의 가장자리를 지지하여 상기 진공예비모듈의 언로드락부로 배출시키는 트레이배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
11. 청구항 10에 있어서,

    상기 트레이인입부는 트레이가 상기 진공챔버 내로 인입될 때 트레이를 지지하는 지지모듈을 포함하며,

    상기 지지모듈은 상기 진공챔버 내로 인입될 때 트레이를 지지할 수 있는 위치로 있다가 상기 승강구동부에 의하여 지지되어 트레이가 하강될 때 그 이동이 간섭되지 않도록 횡방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
12. 청구항 1, 청구항 3 내지 청구항 4, 청구항 6 내지 청구항 8 중 어느 하나의 항에 있어서,

    상기 진공예비모듈과 연결되어 상기 진공예비모듈의 언로드락부로부터 트레이를 전달받아 기판처리가 완료된 하나 이상의 기판을 트레이에서 언로딩하고, 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판을 로딩하여 상기 진공예비모듈의 로드락부로 전달하는 기판교환모듈을 추가로 포함하는 기판처리시스템.
13. 삭제
14. 삭제
15. 삭제

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