KR101639769B1 - Led 제조용 세정장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 브러쉬를 이용하여 피세정물에 묻은 얼룩 등을 포함한 이물질을 완전하게 제거하여 세정효과를 극대화시킬 수 있으며, 장치의 구성을 컴팩트하게 구현하면서도 연속적인 작업에 의해 생산성을 증대시킬 수 있는 LED 제조용 세정장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 본체(11)와; 상기 본체(11)의 일측에 위치되어 피세정물(L)을 공급 또는 수납하도록 공급부(20)와; 상기 공급부(20)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 세척하도록 세정부(30)와; 상기 세정부(30)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 건조하도록 된 건조부(60)와; 상기 본체(11) 상에서 직선적으로 왕복운동하도록 구비되어 상기 피세정물(L)을 이송하도록 된 이송부(70)를 포함하여 이루어지며; 상기 세정부(30)는 일정 용적으로 된 세정조(31)와, 상기 세정조(31)에 내재되어 상기 피세정물(L)을 거치하도록 된 세정다이(32)와, 상기 세정조(31)의 일측에 대기한 상태에서 상기 세정다이(32) 상에 출몰 가능하게 구비되어 상기 세정다이(32) 상의 피세정물(L)에 접촉된 상태로 회전 구동되는 롤러브러쉬(41)를 포함한 브러쉬유닛(40)을 포함하는 LED 제조용 세정장치가 제공된다.
본 발명에 따르면, 본체(11)와; 상기 본체(11)의 일측에 위치되어 피세정물(L)을 공급 또는 수납하도록 공급부(20)와; 상기 공급부(20)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 세척하도록 세정부(30)와; 상기 세정부(30)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 건조하도록 된 건조부(60)와; 상기 본체(11) 상에서 직선적으로 왕복운동하도록 구비되어 상기 피세정물(L)을 이송하도록 된 이송부(70)를 포함하여 이루어지며; 상기 세정부(30)는 일정 용적으로 된 세정조(31)와, 상기 세정조(31)에 내재되어 상기 피세정물(L)을 거치하도록 된 세정다이(32)와, 상기 세정조(31)의 일측에 대기한 상태에서 상기 세정다이(32) 상에 출몰 가능하게 구비되어 상기 세정다이(32) 상의 피세정물(L)에 접촉된 상태로 회전 구동되는 롤러브러쉬(41)를 포함한 브러쉬유닛(40)을 포함하는 LED 제조용 세정장치가 제공된다.
Description
본 발명은 LED 제조용 세정장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 브러쉬를 이용하여 피세정물에 묻은 얼룩 등을 포함한 이물질을 완전하게 제거하여 세정효과를 극대화시킬 수 있는 LED 제조용 세정장치에 관한 것이다.
일반적으로 발광다이오우드(LED:Light Emitting Diode)나 반도체 패키지의 제조공정 중에 발생된 이물질을 제거하기 위해 에어를 분사하여 이물질을 털어내는 정도의 제거작업을 행하거나 세정조에 세정수를 충전한 상태에서 초음파에 의해 세정하도록 된 장치 등을 사용하게 된다.
그런데 종래의 세정방법이나 장치에 의해서는 피세정물의 표면에 묻은 얼룩 등을 완전하게 제거하는 데에 한계가 있는 것으로, 특히 LED의 경우에는 표면에 묻은 얼룩 등에 의해 광원의 휘도나 조도에 악영향을 줄 수 있음에 따라 세정공정의 중요성이 상대적으로 커지는 것이다.
구체적으로, 종래처럼 고압의 에어를 분사하는 경우에는 피세정물 상에 직접적으로 고압으로 분사됨에 따라 손상의 문제점이 발생될 수 있는 것이고, 초음파를 이용한 세정장치의 경우에는 세정조 내에서 진동에 의해 발생된 초음파가 피세정물 상에 전달되는 과정에서의 버블의 크기나 세기 등에 따라 세정효과의 차이가 발생될 수 있을 뿐만 아니라 장치 자체의 구성 및 세정과 건조 등의 공정상의 복잡함이 따르는 것이다.
이외에도 일부에서는 브러쉬를 이용한 세정장치가 사용되고 있으나, 종래의 브러쉬타입의 세정장치는 구성의 배치나 작동이 컴팩트하지 못하여 장치를 제작하거나 연속적인 세정작업이 이루어지는 데에 한계가 있어 컴팩트한 장치를 구현함과 동시에 생산성을 증대시킬 수 있는 데에 한계가 있는 것이다
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 브러쉬를 이용하여 피세정물에 묻은 얼룩 등을 포함한 이물질을 완전하게 제거하여 세정효과를 극대화시킬 수 있으며, 장치의 구성을 컴팩트하게 구현하면서도 연속적인 작업에 의해 생산성을 증대시킬 수 있는 LED 제조용 세정장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 특징에 따르면, 본체(11)와;
상기 본체(11)의 일측에 위치되어 다수의 피세정물(L)을 수납하도록 된 매거진(21)이 거치되는 승강대(22)와, 상기 승강대(22)를 상하로 구동하도록 된 승강수단(23)을 포함하여 구성된 공급부(20)와;
상기 공급부(20)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 세척하도록 일정 용적으로 된 세정조(31)와, 상기 세정조(31)에 내재되어 상기 피세정물(L)을 거치하도록 된 세정다이(32)와, 상기 세정조(31)의 일측에 대기한 상태에서 상기 세정다이(32) 상에 출몰 가능하게 구비되어 상기 세정다이(32) 상의 피세정물(L)에 접촉된 상태로 회전 구동되는 롤러브러쉬(41)가 구비된 브러쉬유닛(40)을 포함하여 이루어진 세정부(30)와;
상기 세정부(30)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 건조하도록 된 건조부(60)와;
상기 본체(11) 상에서 직선적으로 왕복운동하도록 구비되어 상기 피세정물(L)을 이송하도록 상기 본체(11) 내에 상기 세정부(30)와 건조부(60)에 이르도록 연장된 가이드레일(71)과, 상기 가이드레일(71) 상에서 이동 가능하게 구비되어 상기 공급부(20)로부터 피세정물(L)을 그립하도록 된 그립퍼(72)로 구성된 이송부(70)를 포함하여 이루어지며;
상기 브러쉬유닛(40)은 저면에 상기 롤러브러쉬(41)가 노출되도록 개구부(43)가 형성된 케이스(42)와, 상기 롤러브러쉬(41)를 회전구동하도록 결합된 구동모터(44)와, 상기 롤러브러쉬(41)를 일정 높이로 승강시키도록 된 다른 승강수단(46) 및 상기 롤러브러쉬(41)를 수평방향으로 이동시키도록 된 이동수단(50)을 포함하여 이루어지고;
상기 본체(11) 상에는 상기 세정부(30)와 건조부(40)를 따라 수평방향으로 연장되어 상기 이송부(70)에 의해 피세정물(L)을 이송할 때에 상기 피세정물(L)의 양측이 지지되는 단턱면(74)을 갖는 가이더(73)가 구비된 것을 특징으로 하는 LED 제조용 세정장치가 제공된다.
상기 본체(11)의 일측에 위치되어 다수의 피세정물(L)을 수납하도록 된 매거진(21)이 거치되는 승강대(22)와, 상기 승강대(22)를 상하로 구동하도록 된 승강수단(23)을 포함하여 구성된 공급부(20)와;
상기 공급부(20)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 세척하도록 일정 용적으로 된 세정조(31)와, 상기 세정조(31)에 내재되어 상기 피세정물(L)을 거치하도록 된 세정다이(32)와, 상기 세정조(31)의 일측에 대기한 상태에서 상기 세정다이(32) 상에 출몰 가능하게 구비되어 상기 세정다이(32) 상의 피세정물(L)에 접촉된 상태로 회전 구동되는 롤러브러쉬(41)가 구비된 브러쉬유닛(40)을 포함하여 이루어진 세정부(30)와;
상기 세정부(30)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 건조하도록 된 건조부(60)와;
상기 본체(11) 상에서 직선적으로 왕복운동하도록 구비되어 상기 피세정물(L)을 이송하도록 상기 본체(11) 내에 상기 세정부(30)와 건조부(60)에 이르도록 연장된 가이드레일(71)과, 상기 가이드레일(71) 상에서 이동 가능하게 구비되어 상기 공급부(20)로부터 피세정물(L)을 그립하도록 된 그립퍼(72)로 구성된 이송부(70)를 포함하여 이루어지며;
상기 브러쉬유닛(40)은 저면에 상기 롤러브러쉬(41)가 노출되도록 개구부(43)가 형성된 케이스(42)와, 상기 롤러브러쉬(41)를 회전구동하도록 결합된 구동모터(44)와, 상기 롤러브러쉬(41)를 일정 높이로 승강시키도록 된 다른 승강수단(46) 및 상기 롤러브러쉬(41)를 수평방향으로 이동시키도록 된 이동수단(50)을 포함하여 이루어지고;
상기 본체(11) 상에는 상기 세정부(30)와 건조부(40)를 따라 수평방향으로 연장되어 상기 이송부(70)에 의해 피세정물(L)을 이송할 때에 상기 피세정물(L)의 양측이 지지되는 단턱면(74)을 갖는 가이더(73)가 구비된 것을 특징으로 하는 LED 제조용 세정장치가 제공된다.
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본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 본체(11)에는 상기 세정부(30) 또는 건조부(60) 측에 위치되어 상기 피세정물(L) 상에 정전기가 발생되는 것을 방지하도록 된 이온나이저(51,67)가 구비된 것을 특징으로 하는 LED 제조용 세정장치가 제공된다.
이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 피세정물(L)을 세정 또는 건조하도록 된 세정부(30)와 건조부(60)를 포함하고, 상기 세정부(30)에 세정다이(32) 상으로 출몰되는 롤러브러쉬(41)를 포함한 브러쉬유닛(40)이 구비됨으로써, 상기 롤러브러쉬(41)에 의해 피세정물(L)의 표면에 직접적으로 접촉된 상태로 세정이 이루어져 표면에 묻은 오일성분이나 얼룩 등을 깔끔하게 닦아내어 세정효과를 극대화시킬 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명의 브러쉬유닛(40)은 저면에 개구부(43)가 형성된 케이스(42) 상에 롤러브러쉬(41)가 내장되어 세정과정 중에 세정액 등이 장치의 외측으로 튀는 것을 방지하여 깔끔한 세정작업이 가능하게 되고, 승강수단(46)과 이동수단(50)에 의해 롤러브러쉬(41)의 승강 및 수평이동이 가능하여 세정부(30)에 피세정물(L)을 이송할 때에 간섭을 회피할 수 있을 뿐만 아니라 피세정물(L)의 표면상에 롤러브러쉬(41)를 적정하게 접촉시켜 작업상의 편리함을 제공할 수 있는 장점이 있다.
또한 본 발명은 세정부(30) 또는 건조부(60) 측에 이온나이저(51,67)가 구비됨에 따라, 상기 세정부(30)에서의 세정과정이나 건조부(60)에서의 건조과정 중에 정전기가 발생되는 것을 방지하여 이물질이 피세정물(L) 상에 재부착되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예를 도시한 정면도
도 2는 도 1의 A부분에 따른 정면도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 구성의 일부를 도시한 사시도
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 다른 구성을 도시한 측면도
도 5는 도 4의 구성에 따른 정면도
도 6은 도 4의 구성에 따른 사시도
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 또 다른 구성을 도시한 정면도
도 2는 도 1의 A부분에 따른 정면도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 구성의 일부를 도시한 사시도
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 다른 구성을 도시한 측면도
도 5는 도 4의 구성에 따른 정면도
도 6은 도 4의 구성에 따른 사시도
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 또 다른 구성을 도시한 정면도
상술한 본 발명의 목적, 특징들 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 7은 본 발명의 바람직한 일실시예를 도시한 것이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 세정장치(10)는 케이스를 포함하는 본체(11) 내에 장치의 구성의 내장한 상태로 피세정물(L)을 공급 및 이송하여 세정과 건조를 행하도록 된 것으로, 상기 본체(11)의 일측에는 피세정물(L)을 수납하도록 된 공급부(20)가 구비되고, 상기 공급부(20)의 일측에 세정부(30)와 건조부(60)가 일렬로 배치되며, 상기 세정부(30)와 건조부(60)의 일측에 일직선상으로 연장되는 가이드레일(71)을 따라 이동되도록 이송부(70)가 구비된 것이다.
이러한 구성에 있어서, 상기 건조부(60)는 상기 공급부(20)에 인접하여 위치되고, 상기 건조부(60)의 일측에 세정부(30)가 위치되는데, 이는 상기 이송부(70)에 의해 상기 공급부(20) 상의 피세정물(L)을 인출하여 상기 세정부(30)와 건조부(60)를 거쳐 다시 상기 공급부(20) 상에 피세정물(L)을 거치함에 따라 최종적으로 세정 및 건조가 완료된 피세정물(L)을 최단시간 내에 상기 공급부(20) 측으로 반송하기 위함이다.
구체적으로, 상기 공급부(20)는 다수의 피세정물(L)을 연속적으로 공급 또는 수납할 수 있도록 다수의 매거진(21)을 거치하도록 다수의 승강대(22)와, 이 승강대(22)를 상하로 구동하도록 모터(24)와 이에 축결된 볼스크류(25) 등으로 이루어진 승강수단(23)으로 구성될 수 있는 것이다.
이러한 공급부(20)는 세정 또는 건조과정 중에 이물질이나 세정액 등이 피세정물(L) 상에 다시 부착되는 것을 방지하기 위해 상기 본체(11)의 내부를 구획하여 상기 세정부(30)와 건조부(60)와는 별도의 공간에 위치되게 된다.
또한 상기 본체(11) 상에는 상기 공급부(20) 상의 피세정물(L)을 개별적으로 인출하여 상기 세정부(30)와 건조부(60)에 공급하거나 세정 및 건조작업이 완료된 피세정물(L)을 상기 공급부(20)에 위치된 매거진(21) 상에 다시 수납할 수 있도록 된 이송부(70)가 구비되는데, 이를 도 2와 도 3을 더하여 설명하면 다음과 같다.
도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 이송부(70)는 상기 본체(11) 내에 상기 세정부(30)와 건조부(60)에 이르도록 가이드레일(71)을 연장 형성되고, 상기 가이드레일(71) 상에 상기 공급부(20)에 위치된 매거진(21)으로부터 피세정물(L)을 그립하도록 된 그립퍼(72)가 이동 가능하게 구비된 것이며, 상기 그립퍼(72)는 상기 가이드레일(71)을 따라 이동되는 슬라이더(72a)와 이 슬라이더에 장착되는 구동수단(72b) 및 이에 의해 작동되는 그립헤드(72c)로 이루어질 수 있는 것이다.
이때에 상기 본체(11) 상에는 상기 공급부(20)와 이송부(70) 사이에 개폐 가능한 게이트가 형성되고, 이 게이트를 개폐하도록 개폐실린더(12a)와 이에 결합된 개폐판(12b)으로 된 개폐수단(12)이 구비되게 된다.
또한 상기 게이트의 개방시에는 상기 공급부(20)의 매거진(21)과 이송부(70)의 그립퍼(72)를 정위치시킨 상태로 피세정물(L)을 인출 또는 수납하게 되는데, 상기 피세정물(L)이 통상의 반도체 또는 LED 등에 사용되는 디스크 형상의 웨이퍼나 렌즈기판인 경우에 상기 그립퍼(72)에 의해 웨이퍼나 렌즈기판의 일단만을 그립함에 따라 인출 또는 수납과정에서 피세정물의 끌림이나 휨 등이 발생되는 것을 방지할 수 있도록 상기 본체(11) 상에 수평방향으로 연장되어 피세정물(L)의 양측이 지지되는 단턱면(74)이 형성된 가이더(73)가 구비될 수 있는 것이다.
이러한 이송부(70)에 의해 피세정물(L)이 세정부(30)와 건조부(60) 측에 이송 공급되어 세정작업과 건조작업을 순차적으로 진행하게 되는데, 이러한 세정부(30)와 건조부(60)의 구성과 작동상태를 도 4 내지 도 7을 더하여 설명하면 다음과 같다.
도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 세정부(30)는 일정 크기로 된 세정조(31) 내에 상기 이송부(70)에 의해 이송된 피세정물(L)을 거치하도록 된 세정다이(32)가 구비되고, 상기 세정조(31)의 일측에는 상기 세정다이(32) 상의 피세정물(L)을 닦아내도록 회전구동되는 롤러브러쉬(41)를 포함한 브러쉬유닛(40)이 구비되게 된다.
또한 상기 세정조(31)의 일측에는 상기 세정다이(32) 상의 피세정물(L)을 세정하도록 세정액이나 린스액을 공급하도록 된 분사수단(33)이 구비되고, 상기 세정조(31)의 하부측에는 상기 세정다이(32)를 상하로 이동시키도록 된 승강수단(34)과 상기 세정다이(32)를 회전시키도록 된 터닝수단(35)이 구비될 수 있는데, 상기 승강수단(34)에 의해서는 상기 세정다이(32)를 상부로 이동시켜 상기 이송부(20)로부터 피세정물(L)을 안착시킨 후에, 하부로 이동되어 세정위치로 정위치되며, 상기 터닝수단(35)에 의해서는 상기 세정다이(32)가 세정위치에 정위치된 상태로 회전시킴에 따라 그에 안착된 피세정물(L) 상에 상기 분사수단(33)에 의해 세정액 등이 골고루 분사됨과 동시에 상기 브러쉬유닛(40)의 작동에 의해 상기 롤러브러쉬(41)가 상기 피세정물(L)의 상면에 접촉되게 정위치된 상태로 세정작업이 이루어지게 된다.
여기에서, 상기 롤러브러쉬(41)는 상기 세정다이(32) 상에 피세정물(L)이 안착되는 과정에서 간섭이 발생되지 않도록 상기 세정다이(32)로부터 벗어나 상기 세정조(31)의 일측에 퇴피된 상태로 대기되고, 상기 세정다이(32)가 세정위치로 정위치된 이후에 상기 피세정물(L) 상에 접촉되도록 이동되도록 구비되는데, 이를 포함한 브러쉬유닛(40)의 세부적인 구성을 도 6을 더하여 설명하면 다음과 같다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 브러쉬유닛(40)은 저면에 개구부(43)가 형성된 사각박스 형태의 케이스(42)가 구비되고, 상기 케이스(42)의 내부에 양단이 회전 가능하게 축지지되는 롤러브러쉬(41)가 내장되는데, 상기 롤러브러쉬(41)는 상기 케이스(42)의 외부 일측에 결합되는 구동모터(44)에 의해 회전 가능하게 결합되고, 상기 케이스(42)와 구동모터(44) 사이에는 일정 면적으로 된 물막이패널(52)이 더 설치될 수 있는 것이다.
또한 상기 케이스(42)와 롤러브러쉬(41)는 상기 구동모터(44)의 일측을 고정 결합하도록 된 승강패널(45) 상에 일체로 설치되는데, 상기 승강패널(45)에는 하부측에는 승강수단(46)이 결합되고, 배면이 상하로 연장되는 승강레일(47)이 결합되어 상기 롤러브러쉬(41)를 일정 높이로 승강시킬 수 있게 된다.
또한 상기 승강레일(47)은 슬라이드패널(48) 상에 구비되고, 상기 슬라이드패널(48)은 배면이 수평방향으로 연장된 슬라이드레일(49) 상에 결합되며, 일측에 이동수단(50)이 결합되어 상기 롤러브러쉬(41)를 수평방향으로 이동시키게 된다.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 세정부(30)의 세정작업을 마친 피세정물(L)은 상기 이송부(70)에 의해 상기 건조부(60)로 이송 공급되는데, 상기 건조부(60)는 전술된 세정부(30)에 유사하게 건조조(61) 내에 상기 피세정물(L)이 안착되는 건조다이(62)가 구비되고, 상기 건조다이(62)는 다른 승강수단(63)과 터닝수단(64)에 의해 승강작동과 회전작동이 이루어지며, 건조작업을 위해 에어 등을 분사하거나 송풍하도록 된 블로잉수단(65)이나 열에 의해 물기 등을 건조시키도록 된 전열히터 등과 같은 가열수단(66)이 구비될 수 있는 것이다.
이상의 세정부(30)와 건조부(60)에 의한 세정 또는 건조공정 중에는 상기 브러쉬유닛(41)이나 가열수단(66) 등에 의해 상기 피세정물(L) 상에 정전기가 발생되어 이물질이 재부착될 수도 있는데, 이를 위해 상기 본체(31) 상에는 상기 세정조(30)와 건조조(60)의 상부측에 정전기를 발생하도록 이온물질을 분사 또는 송풍하도록 된 이온나이저(51,67)가 구비될 수 있는 것이다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.
10: 세정장치 11: 본체
12: 게이트 20: 공급부
21: 매거진 22: 승강대
23: 승강수단 30: 세정부
31: 세정조 32: 세정다이
33: 분사수단 34: 승강수단
35: 터닝수단 40: 브러쉬유닛
41: 롤러브러쉬 42: 케이스
43: 개구부 45: 승강패널
48: 슬라이드패널 51: 이온나이저
60: 건조부 61: 건조조
62: 건조다이 63: 승강수단
64: 터닝수단 65: 블로잉수단
66: 가열수단 67: 이온나이저
70: 이송부 72: 그립퍼
73: 가이더 74: 단턱면
12: 게이트 20: 공급부
21: 매거진 22: 승강대
23: 승강수단 30: 세정부
31: 세정조 32: 세정다이
33: 분사수단 34: 승강수단
35: 터닝수단 40: 브러쉬유닛
41: 롤러브러쉬 42: 케이스
43: 개구부 45: 승강패널
48: 슬라이드패널 51: 이온나이저
60: 건조부 61: 건조조
62: 건조다이 63: 승강수단
64: 터닝수단 65: 블로잉수단
66: 가열수단 67: 이온나이저
70: 이송부 72: 그립퍼
73: 가이더 74: 단턱면
Claims (3)
- 본체(11)와;
상기 본체(11)의 일측에 위치되어 다수의 피세정물(L)을 수납하도록 된 매거진(21)이 거치되는 승강대(22)와, 상기 승강대(22)를 상하로 구동하도록 된 승강수단(23)을 포함하여 구성된 공급부(20)와;
상기 공급부(20)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 세척하도록 일정 용적으로 된 세정조(31)와, 상기 세정조(31)에 내재되어 상기 피세정물(L)을 거치하도록 된 세정다이(32)와, 상기 세정조(31)의 일측에 대기한 상태에서 상기 세정다이(32) 상에 출몰 가능하게 구비되어 상기 세정다이(32) 상의 피세정물(L)에 접촉된 상태로 회전 구동되는 롤러브러쉬(41)가 구비된 브러쉬유닛(40)을 포함하여 이루어진 세정부(30)와;
상기 세정부(30)의 일측에 위치되어 상기 피세정물(L)을 건조하도록 된 건조부(60)와;
상기 본체(11) 상에서 직선적으로 왕복운동하도록 구비되어 상기 피세정물(L)을 이송하도록 상기 본체(11) 내에 상기 세정부(30)와 건조부(60)에 이르도록 연장된 가이드레일(71)과, 상기 가이드레일(71) 상에서 이동 가능하게 구비되어 상기 공급부(20)로부터 피세정물(L)을 그립하도록 된 그립퍼(72)로 구성된 이송부(70)를 포함하여 이루어지며;
상기 브러쉬유닛(40)은 저면에 상기 롤러브러쉬(41)가 노출되도록 개구부(43)가 형성된 케이스(42)와, 상기 롤러브러쉬(41)를 회전구동하도록 결합된 구동모터(44)와, 상기 롤러브러쉬(41)를 일정 높이로 승강시키도록 된 다른 승강수단(46) 및 상기 롤러브러쉬(41)를 수평방향으로 이동시키도록 된 이동수단(50)을 포함하여 이루어지고;
상기 본체(11) 상에는 상기 세정부(30)와 건조부(40)를 따라 수평방향으로 연장되어 상기 이송부(70)에 의해 피세정물(L)을 이송할 때에 상기 피세정물(L)의 양측이 지지되는 단턱면(74)을 갖는 가이더(73)가 구비된 것을 특징으로 하는 LED 제조용 세정장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서, 상기 본체(11)에는 상기 세정부(30) 또는 건조부(60) 측에 위치되어 상기 피세정물(L) 상에 정전기가 발생되는 것을 방지하도록 된 이온나이저(51,67)가 구비된 것을 특징으로 하는 LED 제조용 세정장치.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150157496A KR101639769B1 (ko) | 2015-11-10 | 2015-11-10 | Led 제조용 세정장치 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150157496A KR101639769B1 (ko) | 2015-11-10 | 2015-11-10 | Led 제조용 세정장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101639769B1 true KR101639769B1 (ko) | 2016-07-14 |
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ID=56499365
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| KR1020150157496A Active KR101639769B1 (ko) | 2015-11-10 | 2015-11-10 | Led 제조용 세정장치 |
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|---|---|
| KR (1) | KR101639769B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109720304A (zh) * | 2017-10-30 | 2019-05-07 | 细美事有限公司 | 用于清洁运输车辆的装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19990088484A (ko) | 1998-05-22 | 1999-12-27 | 가네꼬 히사시 | 반도체장치의세정장비및반도체장치의세정방법 |
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-
2015
- 2015-11-10 KR KR1020150157496A patent/KR101639769B1/ko active Active
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Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20151110 |
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Patent event date: 20160223 Patent event code: PA03022R01D Comment text: Request for Accelerated Examination Patent event date: 20151110 Patent event code: PA03021R01I Comment text: Patent Application |
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